JP2008216021A - 薄膜のヤング率相当の機械特性の測定方法とそれに用いる装置 - Google Patents
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Abstract
本発明は、超薄膜をもそのヤング率を求めることができる手法とそれに使用する装置とを提供することを目的とした。
【解決手段】
本発明の薄膜のヤング率相当の機械特性の測定方法は、機械特性が既知のフィルム基板の片面に、測定対象となる薄膜を成膜し、異なる複数の環境湿度における前記薄膜の厚さを測定し、この値から単位湿度あたりの線膨張率を測定し、前記フィルム基板の歪みとを測定し、前記フィルム基板の歪み変化と前記線膨張率とを、バイメタル効果を利用した歪みの関係式の歪みの量と熱膨張率の項に代入することにより、対象となる薄膜のヤング率相当の機械特性を算定することを特徴とする。
【選択図】図2
Description
一方、生体材料にも同様のことが言える。細胞膜など、特殊環境で利用が期待されるような人造膜は、超薄膜に属し、その強度や機械特性の測定が今だ困難であるものが多い。特に、数ナノメートルの厚みの脂質2分子膜は、薄膜である上多層膜であるため、多種の測定手段を用いても、実効的な機械特性を割り出すことは困難になってしまう。交互吸着法などによる多層膜の正確な構造制御と、精密な測定による機械特性の関連を明らかにしたうえで、目的にかなった成膜を行っていく必要がある。
ヤング率を測定する方法として、膜歪み法、押し込み試験法、ブリュアン散乱法、超音波顕微鏡法、共鳴振動法などがある。これらのうち、薄膜の測定が可能なものは、ナノインデント法、表面弾性波法などがある。しかし、いずれも膜の材質や膜厚に実験的な制限がある。特に、超薄膜に属する有機高分子薄膜は、柔らかいものが多く、これらの手法で測定することは難しい。しかしながら特に薄膜のヤング率を測定する方法としては、下記のものが研究され、実用化されているので、ここではその例と特徴をあげる。
基板の上に成膜した薄膜に、低加重で圧子を押し込むことによって、ヤング率を測定する方法。圧子の作ったスクラッチ痕の形状を測定する方法と、圧子にかかる荷重と変位を測定する方法や、圧子を微小振動させながら荷重をかける方法があり、後者ほど精度が高くなる。基板に比較して柔らかい膜のみ測定可能で、また、測定する膜の厚さに関しては、圧子の先端形状に比較してある程度の膜厚(数ミクロン以上)が必要である。よって超薄膜を測定することは不可能である。
薄膜試料表面にレーザーを照射して音波を励起し、試料表面に沿って伝播した音波を検出器で拾い上げる方法。検出方法が何種類かあり、精度の高いものとしては、フラウンフォーファー研(ドイツ)が開発した検出面が受ける振動をそのまま取り込む方法と、NIST(米国)が開発したレーザーで検出する方法がある。いずれも硬い膜(GPa以上)に適しており、DLC膜(ダイヤモンド状カーボン膜)なら5nmの検出限界を持つ。後者のほうが幾分柔らかい膜まで測定可能な可能性があるが、広範囲で均一な膜を作ることが必要である。従ってGPaに満たない超薄膜の測定は不可能である。
本発明は、このような実情に鑑み、超薄膜をもそのヤング率を求めることができる手法とそれに使用する装置とを提供することを目的とした。
つまり、発明1の薄膜のヤング率相当の機械特性の測定方法は、機械特性が既知のフィルム基板の片面に、測定対象となる薄膜を成膜し、異なる複数の環境湿度における前記薄膜の厚さを測定し、この値から単位湿度あたりの線膨張率を測定し、前記フィルム基板の歪みとを測定し、前記フィルム基板の歪み変化と前記線膨張率とを、バイメタル効果を利用した歪みの関係式の歪みの量と熱膨張率の項に代入することにより、対象となる薄膜のヤング率相当の機械特性を算定することを特徴とする。
また、発明2は、前記測定方法を実施するための装置であって、薄膜の膜厚を測定する膜厚測定部と薄膜の湿度による膜膨張を測定する膜膨張測定部とを有し、前記両部に設置された被測定膜の周辺環境に、一つの調湿装置により調湿された調湿ガスを分配供給するように配管してあることを特徴とする。
発明1により、超薄膜を含む各種の薄膜の機械特性を測定できるようになった。それゆえに、実際に利用する薄膜材料や生体材料の、実効的な(薄膜条件、かつ利用環境下での)ヤング率を決定することができるようになった。
また一方、多種の高分子膜を再現性良く成膜し、膜の構造と機械特性を関連付けることも可能にあった。
なお、応力研究で用いていた応力と、歪み、ヤング率などの関係は非特許文献1に示されたStonyの式(1)で定義した。
(1)
E ;ヤング率、 n;ポアソン比、d:片側を固定したときの自由端の歪みの大きさ、h,l;カンチレバーの長さ(数〜数百ミクロン程度)、厚さ(0.5〜10ミクロン程度)など。
これらの膜のヤング率を見積もると、5WのPPAA膜では20MPa、90WのPPAA膜では99MPaという非常に小さい値となった。(実験装置を後述するが、非特許文献7に示すように、膜厚方向の測定はSPR(表面プラズモン共鳴分光法)で測定し、横方向の測定はカンチレバーの歪みを介してインターフェロメータで測定している。カンチレバーの歪み測定を利用した膜平面方向の膨張率を検出する装置に関しては、非特許文献4と特許文献1に示すとおり、装置雰囲気を問わず、高分解能で測定する装置が公知でありまた特許化されている。)
ポリマー膜は非常に柔らかく、また、このような薄い膜は、通常の方法ではヤング率を求めることは難しい。
従来公知の表面弾性波測定法では、薄膜試料表面にレーザーを照射して音波を励起し、試料表面に沿って伝播した音波を検出器で拾い上げる方法であり、検出面が受ける振動をそのままピエゾで取り込む方法と、レーザーで検出する方法がある。
前者の手法で、この手法で測定可能な膜厚である170nmの膜厚のプラズマ重合アリルアミン膜を測定し、100MPaオーダーのヤング率を検出している(レーザーで振動検出する方法も試みたが、測定不可能だった)。
ここで問題になってくるのが、ヤング率の絶対値の違いである。表面弾性波測定法の計算では、材料の密度を変数として使用するので、薄膜の密度を直接測定(X線吸収による手法)したが、非特許文献5により発表したとおり測定方法に絶対値の違いは解消されなかった。原因として、薄膜においては密度が一様ではない可能性があること、測定環境が違うこと(表面弾性波測定は、大気中で行った)などである。
ここで問題になったのが以下のことである。
1)薄膜の密度は、バルク材料とは違い、また、膜厚によっても変化する。
2)界面の構造の違いなどから、一様な膜とみなせない。
3)高分子膜など環境応答性の高い物質のヤング率は、湿度、温度などの測定環境で、大きく変る可能性がある。
これらの違いを考慮して、我々の手法で測定したヤング率相当機械特性は、前述の表面弾性波測定法によるヤング率と比較して、信頼のおける数値を示しているといえる。
膜厚方向の測定はSPR(3)で測定し、平面方向の測定はカンチレバー(4c)のたわみを介してインターフェロメータ(4d)で測定した。この平面方向の測定の具体的な内容は、非特許文献7に示された内容と同じなので詳しい説明は省略する。
ヤング率を測定することを目的とした装置系ではなかったので湿度を自在に変えられる湿度コントロ−ル系にすることとが必要であるが、コンセプトは、膜厚方向の膨張と、平面方向の膨張を、同条件で同時に、独立の装置で測定することである。
本装置は、湿度コントローラ(1)、乾燥窒素供給部(2)、SPRによる膜厚測定部(3)及びカンチレバーによる横方向の膨張測定部(4)により構成されている。
乾燥窒素供給部(2)は、外部より供給された窒素ガスをシリカゲル槽(2a)とシカペント槽(2b)とを順次通過させ、完全に乾燥させた後に、前記湿度コントローラ(1)に供給するようになっている。
そして、湿度コントローラ(1)は、供給された窒素ガスを、直接下流に流す第一弁(1a)、KOH槽(1b2)への透過量を調整するための第二弁(1b1)(1b3)、MgCl2槽(1c2)に透過調整するための第三弁(1c1)(1c3)、NaCl槽(1d2)に透過調整するための第四弁(1d1)(1d3)から構成されていて、何れの槽を透過した窒素ガスは、一旦集約されてから、前記膜厚測定部(3)と膨張測定部(4)に分配供給するように配管されている。
このようにして、両部(3)(4)に全く同じ湿度の窒素ガスを供給するようにしてある。
なお、湿度の調整は、室温におけるこれらの溶液の飽和蒸気圧を利用し、(1b3)弁を通ったものは湿度14パーセント、(1c3)弁を通ったものは湿度40パーセント、(1d3)弁を通ったものは湿度80パーセントに制御されている。また、紫外線(6)と紫外線透過ガラス(3b)、(4b)は、今回の測定には使用していない。
なお、ひずみとヤング率の関係は、非特許文献6に示された下記式(2)を用いている。
基盤となるシリコン(4c)とPPAA膜(7b)のヤング率をそれぞれESi, Efilm、他の長さを図4のようにとり、ひずみの値δを湿度Hと、湿度による膨張率αの関数として測定する。上記の実験ではここでのαを湿度を変えたときの膜厚方向の膨張率から求めている。
なお、薄膜の構造はバルク材とは異なっていることも多く、機械特性を調べてバルク材と直接比較する場合には、構造をおさえておく必要がある。
上記のPPAA膜(4c1)については、FTIR測定により、非特許文献7に示す方法にて構造決定を行った。より薄膜化し、また、膜方向の構造の不均一性が問題になり界面に特別な構造を持ってしまうような膜に関しては、膜厚と構造の関係、膜の深さ方向分析が可能な角度分解ができる装置で膜の構造を確認する必要がある。
本実施例では、上記方法により、表1に示すサンプルを測定し、その結果を得た。
(1a) 第一弁
(1b1)(1b3)第二弁
(1b2)KOH槽
(1c1)(1c3)第三弁
(1c2)MgCl2槽
(1d1)(1d3)第四弁
(1d2)NaCl槽
(2)乾燥窒素供給部
(1a)シリカゲル槽
(1b)シカペント槽
(3)膜厚測定部
(3a)プリズム
(3b)紫外線透過ガラス
(4)膨張測定部
(4a)湿度計
(4b)紫外線透過ガラス
(4c)カンチレバー
(4d)歪み測定器
(4e)基台
(5)レーザー光
(6)紫外線
(7a)(7b)被測定膜
Claims (2)
- 薄膜のヤング率相当の機械特性を測定する方法であって、機械特性が既知のフィルム基板の片面に、前記薄膜を成膜し、異なる複数の環境湿度若しくは温度における前記薄膜の厚さと前記フィルム基板の歪みとを測定し、前記フィルム基板の歪み変化と、前記薄膜の厚さ変化により、バイメタル効果を考慮して基板と薄膜の膨張率とひずみの関係を表す式のヤング率の項を変数として書き直した関係式に基づき、前記ヤング率相当の機械特性を算定することを特徴とする薄膜のヤング率相当の機械特性の測定方法。
- 請求項1の測定方法を実施するための装置であって、薄膜の膜厚を測定する膜厚測定部と薄膜の湿度による膜膨張を測定する膜膨張測定部とを有し、前記両部に設置された被測定膜の周辺環境に、一つの調湿装置により調湿された調湿ガスを分配供給するように配管してあることを特徴とする薄膜のヤング率相当の機械特性の測定方法に用いる装置。
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