JP2008215366A - Actuator - Google Patents

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hydrogen storage
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Keitaro Horikawa
敬太郎 堀川
Hidetoshi Kobayashi
秀敏 小林
Nagahiko Kawabata
祥彦 河端
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Osaka University NUC
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Osaka University NUC
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide large driving force and a displacement quantity with a simple constitution, in an actuator using a hydrogen storage alloy. <P>SOLUTION: This actuator has a hydrogen storage alloy piece 1 presenting a plate shape and having a difference in a hydrogen absorbing characteristic between its both surfaces, a hydrogen introducing means 3 for storing hydrogen in the hydrogen storage alloy piece 1, a temperature setting means 4 and a pressure reduction means 5 for discharging the hydrogen stored in the hydrogen storage alloy piece 1, and operates with the hydrogen storage alloy piece 1 as an actuator. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、水素吸蔵合金を利用したアクチュエータに関するものである。   The present invention relates to an actuator using a hydrogen storage alloy.

従来、水素吸蔵合金を利用したアクチュエータとして、水素吸蔵合金の加熱冷却に伴う水素の吸放出によって流体圧力を発生させ、該流体圧力によって被駆動体を駆動するもの(例えば特許文献1、2参照)が提案されている。
特開2005−291289号公報 特開平7−243409号公報
Conventionally, as an actuator using a hydrogen storage alloy, a fluid pressure is generated by the absorption and release of hydrogen accompanying heating and cooling of the hydrogen storage alloy, and the driven body is driven by the fluid pressure (see, for example, Patent Documents 1 and 2). Has been proposed.
JP 2005-291289 A JP 7-243409 A

しかしながら、従来の水素吸蔵合金を利用したアクチュエータにおいては、水素吸蔵合金の加熱冷却に伴う水素の吸放出によって発生する流体圧力は低いため、例えば蓄圧タンク等を用いて流体圧力を高める必要があり、これによって設備が大がかりとなる問題があった。
水素吸蔵合金の水素吸放出に伴う水素吸蔵合金自体の収縮、膨張を利用して被駆動体を駆動する方式によれば、大きな駆動力を得ることが出来るが、水素吸蔵合金自体の収縮量は極めて小さいため、被駆動体を必要な距離だけ移動させることが出来ない問題があった。
However, in the actuator using the conventional hydrogen storage alloy, the fluid pressure generated by the absorption and release of hydrogen accompanying the heating and cooling of the hydrogen storage alloy is low, so it is necessary to increase the fluid pressure using, for example, an accumulator tank, As a result, there is a problem that the equipment becomes large.
According to the method of driving the driven body using the contraction and expansion of the hydrogen storage alloy itself accompanying the hydrogen storage and release of the hydrogen storage alloy, a large driving force can be obtained, but the contraction amount of the hydrogen storage alloy itself is Since it is extremely small, there is a problem that the driven body cannot be moved by a necessary distance.

そこで本発明の目的は、水素吸蔵合金を利用したアクチュエータにおいて簡易な構成で大きな駆動力と変位量を得ることである。   Therefore, an object of the present invention is to obtain a large driving force and displacement with a simple configuration in an actuator using a hydrogen storage alloy.

本発明に係るアクチュエータは、板状を呈してその両面間で水素の吸収特性に違いを有する水素吸蔵合金片(1)と、該水素吸蔵合金片(1)に水素を吸蔵させるための手段と、該水素吸蔵合金片(1)に吸蔵されている水素を排出させるための手段とを具え、該水素吸蔵合金片(1)を作動子としている。   The actuator according to the present invention comprises a hydrogen storage alloy piece (1) which has a plate shape and has a difference in hydrogen absorption characteristics between both surfaces, and means for causing the hydrogen storage alloy piece (1) to store hydrogen. And means for discharging the hydrogen stored in the hydrogen storage alloy piece (1), and the hydrogen storage alloy piece (1) serves as an actuator.

上記本発明のアクチュエータにおいては、水素吸蔵合金片(1)に水素を吸蔵させる過程で、水素吸蔵合金片(1)は、その両面間での水素吸収特性の違いにより、水素吸蔵合金片(1)内へ吸収される水素量に両面間で違いが生じ、より多くの水素が吸収された一方の表面層では他方の表層面よりも大きな膨張が発生して、その結果、水素吸蔵合金片(1)に屈曲変形が生じる。
その後、水素吸蔵合金片(1)から水素を排出させる過程で、水素吸蔵合金片(1)は元の形状に復帰することになる。
そこで、この水素吸蔵合金片(1)の屈曲変形及び復帰の動作を往復移動として取り出すことにより、水素吸蔵合金片(1)を作動子として利用することが出来る。
In the actuator of the present invention described above, in the process of storing hydrogen in the hydrogen storage alloy piece (1), the hydrogen storage alloy piece (1) is different from the hydrogen storage alloy piece (1 ) The amount of hydrogen absorbed into the surface differs between the two surfaces, and one surface layer in which more hydrogen has been absorbed expands more than the other surface layer, resulting in hydrogen storage alloy pieces ( Bending deformation occurs in 1).
Thereafter, in the process of discharging hydrogen from the hydrogen storage alloy piece (1), the hydrogen storage alloy piece (1) returns to its original shape.
Therefore, the hydrogen storage alloy piece (1) can be used as an actuator by taking out the bending deformation and return operation of the hydrogen storage alloy piece (1) as a reciprocating movement.

具体的構成において、水素吸蔵合金片(1)が配備されている環境(2)には、水素吸蔵合金片(1)に水素を吸蔵させるための手段と、水素吸蔵合金片(1)に吸蔵されている水素を排出させるための手段が接続されている。
水素吸蔵合金片(1)に水素を吸蔵させるための手段は、環境(2)内に高圧の水素を供給する水素導入手段(3)によって構成することが出来る。又、水素吸蔵合金片(1)に吸蔵されている水素を排出させるための手段は、環境(2)内を加熱するための温度設定手段(4)と、環境(2)内を減圧する減圧手段(5)とから構成することが出来る。
該具体的構成によれば、簡易な設備によって、水素吸蔵合金片(1)に水素を吸蔵させ、或いは水素吸蔵合金片(1)から水素を排出させることが出来る。
In a specific configuration, the environment (2) in which the hydrogen storage alloy piece (1) is disposed includes means for storing hydrogen in the hydrogen storage alloy piece (1), and storage in the hydrogen storage alloy piece (1). Means for discharging the hydrogen that is being discharged are connected.
The means for storing hydrogen in the hydrogen storage alloy piece (1) can be constituted by hydrogen introduction means (3) for supplying high-pressure hydrogen into the environment (2). Further, the means for discharging the hydrogen stored in the hydrogen storage alloy piece (1) includes a temperature setting means (4) for heating the environment (2) and a decompression for reducing the pressure in the environment (2). Means (5).
According to the specific configuration, the hydrogen storage alloy piece (1) can store hydrogen or the hydrogen storage alloy piece (1) can be discharged with simple equipment.

又、他の具体的構成において、前記水素吸蔵合金片(1)は、その両面における酸化物層(11)の有無、若しくは酸化物層(11)の厚さの差異によって、その両面間に水素ガス吸収特性の違いを有している。
該具体的構成においては、例えばその一方の表面のみを研磨することにより、その両面における酸化物層(11)の有無、若しくは酸化物層(11)の厚さの差異を実現することが出来、これによって、容易に、水素吸蔵合金片(1)の両面における水素ガスの吸収特性に違いを与えることが出来る。
前記研磨としては、バフ研磨、又はエメリー研磨後のバフ研磨を採用することが出来る。
In another specific configuration, the hydrogen storage alloy piece (1) has a hydrogen content between both surfaces depending on the presence or absence of the oxide layer (11) on the both surfaces or the difference in thickness of the oxide layer (11). It has a difference in gas absorption characteristics.
In the specific configuration, for example, by polishing only one surface thereof, it is possible to realize the presence or absence of the oxide layer (11) on both surfaces, or the difference in thickness of the oxide layer (11), Thereby, it is possible to easily give a difference to the absorption characteristics of hydrogen gas on both surfaces of the hydrogen storage alloy piece (1).
As the polishing, buffing or buffing after emery polishing can be employed.

更に具体的な構成において、前記水素吸蔵合金片(1)は、一方の端部を固定端、他方の端部を自由端として、水素吸蔵及び排出に伴う該自由端の変位を出力するものである。これによって、水素吸蔵合金片(1)の自由端に大きな変位を発生させることが出来る。   In a more specific configuration, the hydrogen storage alloy piece (1) outputs a displacement of the free end that accompanies hydrogen storage and discharge, with one end serving as a fixed end and the other end serving as a free end. is there. Thereby, a large displacement can be generated at the free end of the hydrogen storage alloy piece (1).

そこで、水素吸蔵合金片(1)の自由端に往復移動機構を連結すれば、水素吸蔵合金片(1)の自由端の変位を一方向に沿う往復移動として取り出すことが出来る。   Therefore, if the reciprocating mechanism is connected to the free end of the hydrogen storage alloy piece (1), the displacement of the free end of the hydrogen storage alloy piece (1) can be taken out as reciprocation along one direction.

本発明に係るアクチュエータによれば、単に水素吸蔵合金片の両面間に水素吸収特性の違いを与えるだけの簡易な方法により、水素吸蔵合金片の屈曲変形を変位として出力する構成を有しているので、大きな変位量が得られるばかりでなく、大きな駆動力を得ることが出来る。   The actuator according to the present invention has a configuration in which the bending deformation of the hydrogen storage alloy piece is output as a displacement by a simple method that merely gives a difference in hydrogen absorption characteristics between both surfaces of the hydrogen storage alloy piece. Therefore, not only a large displacement amount but also a large driving force can be obtained.

以下、本発明の実施の形態につき、図面に沿って具体的に説明する。
本発明に係るアクチュエータは、図1に示す如く、環境(2)内に帯板状の水素吸蔵合金片(1)を作動子として配備したものであり、該水素吸蔵合金片(1)の両面間には、水素の吸収特性(通過容易性)に違いが与えられている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the actuator according to the present invention is provided with a strip-shaped hydrogen storage alloy piece (1) as an actuator in an environment (2), and both surfaces of the hydrogen storage alloy piece (1). In the meantime, there is a difference in hydrogen absorption characteristics (easiness to pass through).

具体的には、水素吸蔵合金片(1)の一方の表面Sbには酸化物層(11)が形成されており、他方の表面Saは研磨によって酸化物層(11)が除去され、これによって、水素吸蔵合金片(1)の研磨面Saは、非研磨面Sbよりも容易に水素を通過させることが可能となっている。又、非研磨面Sbは酸化物層(11)によって水素の吸収が抑制されている。   Specifically, the oxide layer (11) is formed on one surface Sb of the hydrogen storage alloy piece (1), and the oxide layer (11) is removed by polishing on the other surface Sa. The polishing surface Sa of the hydrogen storage alloy piece (1) allows hydrogen to pass more easily than the non-polishing surface Sb. Further, the non-polished surface Sb is suppressed from absorbing hydrogen by the oxide layer (11).

環境(2)には、水素吸蔵合金片(1)に水素を吸蔵させるための水素導入手段(3)と、水素吸蔵合金片(1)に吸蔵されている水素を排出させるための温度設定手段(4)及び減圧手段(5)が接続されている。
水素導入手段(3)から環境(2)内に高圧(例えば10気圧)の水素ガスを供給することが可能である。又、温度設定手段(4)によって環境(2)内を室温(25℃)から約900℃程度まで加熱し、その後、室温まで冷却することが可能である。更に、減圧手段(5)によって環境(2)内を真空圧まで減圧することが可能である。
The environment (2) includes a hydrogen introducing means (3) for storing hydrogen in the hydrogen storage alloy piece (1) and a temperature setting means for discharging the hydrogen stored in the hydrogen storage alloy piece (1). (4) and the decompression means (5) are connected.
It is possible to supply high-pressure (for example, 10 atm) hydrogen gas from the hydrogen introduction means (3) into the environment (2). Further, the environment (2) can be heated from room temperature (25 ° C.) to about 900 ° C. by the temperature setting means (4), and then cooled to room temperature. Furthermore, the inside of the environment (2) can be reduced to a vacuum pressure by the pressure reducing means (5).

例えば図2に示す様に、水素吸蔵合金片(1)の基端部をベース(10)上に固定した状態で、ステップS1にて、環境(2)内に高圧の水素を導入すると、水素吸蔵合金片(1)の研磨面Saからは多量の水素が吸収される一方、水素吸蔵合金片(1)の非研磨面SBからは殆ど水素が吸収されることはない。
この結果、水素吸蔵合金片(1)の内部には、厚さ方向に水素吸蔵量の勾配が生じ、これによって、水素吸蔵合金片(1)の研磨面Sa側の表面層は非研磨面Sb側の表面層よりも大きく膨張し、水素吸蔵合金片(1)は図示の如く研磨面Saを背面として屈曲変形し、水素吸蔵合金片(1)の自由端に垂直変位を生じることになる。
For example, as shown in FIG. 2, when high-pressure hydrogen is introduced into the environment (2) in step S1 with the base end of the hydrogen storage alloy piece (1) fixed on the base (10), A large amount of hydrogen is absorbed from the polished surface Sa of the storage alloy piece (1), while almost no hydrogen is absorbed from the non-polished surface SB of the hydrogen storage alloy piece (1).
As a result, a gradient of the hydrogen storage amount occurs in the thickness direction inside the hydrogen storage alloy piece (1), whereby the surface layer on the polishing surface Sa side of the hydrogen storage alloy piece (1) becomes the non-polishing surface Sb. As shown in the drawing, the hydrogen storage alloy piece (1) bends and deforms with the polishing surface Sa as the back surface, and a vertical displacement occurs at the free end of the hydrogen storage alloy piece (1).

その後、ステップS2にて、環境(2)内を真空加熱すると、水素吸蔵合金片(1)に吸蔵されていた水素が環境(2)内に放出される。この結果、水素吸蔵合金片(1)内の水素吸蔵量の勾配は消失し、これによって水素吸蔵合金片(1)は元の形状に復帰することになる。最後にステップS3では環境(2)内を室温まで冷却する。   Thereafter, in Step S2, when the environment (2) is heated in a vacuum, hydrogen stored in the hydrogen storage alloy piece (1) is released into the environment (2). As a result, the gradient of the hydrogen storage amount in the hydrogen storage alloy piece (1) disappears, whereby the hydrogen storage alloy piece (1) returns to its original shape. Finally, in step S3, the environment (2) is cooled to room temperature.

上述のサイクルを繰り返せば、水素吸蔵合金片(1)の自由端は垂直変位を生じた位置と復帰した位置の間で往復移動することになる。この往復移動を外部に取り出すことにより、水素吸蔵合金片(1)を作動子として利用することが出来る。   If the above cycle is repeated, the free end of the hydrogen storage alloy piece (1) will reciprocate between the position where the vertical displacement has occurred and the position where it has returned. By taking out this reciprocating movement to the outside, the hydrogen storage alloy piece (1) can be used as an actuator.

この様に水素吸蔵合金片(1)を作動子としてアクチュエータを構成すれば、単に水素吸蔵合金片(1)の両面に水素吸収特性の違いを与えただけの簡易な構成で大きな変位量を得ることが出来る。図8〜図20は、その効果を実証するために行なった実験の内容及び結果を表わしている。   In this way, if the actuator is configured using the hydrogen storage alloy piece (1) as an actuator, a large displacement can be obtained with a simple configuration in which a difference in hydrogen absorption characteristics is simply given to both surfaces of the hydrogen storage alloy piece (1). I can do it. 8 to 20 show the contents and results of an experiment conducted to verify the effect.

水素吸蔵合金片(1)としては、図8に示す組成を有するNi−Ti合金を用いた。該Ni−Ti合金の素材履歴は図9に示す通りである。又、該Ni−Ti合金のマルテンサイト変態開始温度Ms、マルテンサイト変態終了温度Mf、逆変態開始温度As、逆変態終了温度Afはそれぞれ図10に示す通りである。
水素吸蔵合金片(1)は、図11の如く厚さtが1mmの試験片形状を有している。
As the hydrogen storage alloy piece (1), a Ni—Ti alloy having the composition shown in FIG. 8 was used. The material history of the Ni—Ti alloy is as shown in FIG. Further, the martensite transformation start temperature Ms, martensite transformation end temperature Mf, reverse transformation start temperature As, and reverse transformation end temperature Af of the Ni—Ti alloy are as shown in FIG.
The hydrogen storage alloy piece (1) has a test piece shape with a thickness t of 1 mm as shown in FIG.

水素吸蔵合金片(1)に水素を導入する方法としては、図12に示す如く水素吸蔵合金片(1)と、水素吸蔵合金片(1)を包囲するPtワイヤ(35)とを、0.9質量%NaCl水溶液(36)中に浸漬し、水素吸蔵合金片(1)とPtワイヤ(35)には直流電源(37)を接続して100A/mの電流密度で通電を行なう、所謂電解陰極水素チャージを用いた。 As a method of introducing hydrogen into the hydrogen storage alloy piece (1), as shown in FIG. 12, a hydrogen storage alloy piece (1) and a Pt wire (35) surrounding the hydrogen storage alloy piece (1) are set to 0.1. It is soaked in a 9% by mass NaCl aqueous solution (36), and a DC power source (37) is connected to the hydrogen storage alloy piece (1) and the Pt wire (35) to conduct electricity at a current density of 100 A / m 2. An electrolytic cathodic hydrogen charge was used.

水素吸蔵合金片(1)の両面に水素吸収特性の差異を与える方法としては、水素吸蔵合金片(1)の片面のみを研磨する方法を採用し、♯2000のエメリー研磨と0.3μmのアルミナ粉によるバフ研磨を用いて、図13(a)の如く、研磨状態の異なる4種類の試験片A、B、C、Dを作製した。   As a method of giving a difference in hydrogen absorption characteristics on both sides of the hydrogen storage alloy piece (1), a method of polishing only one side of the hydrogen storage alloy piece (1) is adopted, and # 2000 emery polishing and 0.3 μm alumina. Using buffing with powder, as shown in FIG. 13A, four types of test pieces A, B, C, and D having different polishing states were produced.

これらの試験片A、B、C、Dを用いて水素導入時間に応じた垂直変位の変化を測定したところ、図13(b)に示す結果が得られた。エメリー研磨もバフ研磨も施されていない試験片Aでは、水素導入によっても垂直変位はゼロのままであるのに対し、エメリー研磨のみが施された試験片Bでは、6時間で6.65mmの垂直変位が得られた。又、バフ研磨のみが施された試験片Cでは、6時間で28.5mmの垂直変位が得られ、エメリー研磨及びバフ研磨の両方が施された試験片Dでは、6時間で25.9mmの垂直変位が得られた。   Using these test pieces A, B, C, and D, the change in vertical displacement according to the hydrogen introduction time was measured, and the result shown in FIG. 13B was obtained. In specimen A that was neither emery-polished nor buffed, the vertical displacement remained zero even when hydrogen was introduced, whereas in specimen B that was emery-polished only, 6.65 mm in 6 hours. Vertical displacement was obtained. In addition, in the test piece C subjected to only buffing, a vertical displacement of 28.5 mm was obtained in 6 hours, and in the test piece D subjected to both emery polishing and buffing, 25.9 mm was obtained in 6 hours. Vertical displacement was obtained.

この様に、片面にエメリー研磨のみが施された試験片によれば、その自由端にある程度の大きさの垂直変位が得られ、更にエメリー研磨後にバフ研磨が施され、若しくはバフ研磨のみが施された試験片によれば、その自由端に充分な大きさの垂直変位が得られることが分かる。これは、研磨によって試験片の片面に形成されている酸化物層が除去されて、水素の吸収特性が向上したものである。   In this way, according to the test piece in which only one surface is emery-polished, a certain amount of vertical displacement is obtained at the free end, and further, buffing is performed after emery polishing, or only buffing is performed. It can be seen that a sufficiently large vertical displacement can be obtained at the free end of the test piece. This is because the oxide layer formed on one side of the test piece is removed by polishing, and the hydrogen absorption characteristics are improved.

図14(a)(b)は、試験片A、B、C、Dの温度上昇に伴う放出水素量の変化を昇温ガスクロマトグラフ法で測定した結果を表わしている。
試験片Aにおいては、その両面に酸化物層が形成されたままであるため、水素収蔵量が少なく、その結果、放出水素量も少なくなっている。これに対し、試験片Bにおいては、エメリー研磨によって水素吸蔵量が増大したため、水素放出水素量も増大しており、更に試験片C及びDにおいては、バフ研磨によって水素吸蔵量が更に増大したため、水素放出水素量も更に増大している。
14 (a) and 14 (b) show the results of measuring the change in the amount of released hydrogen accompanying the temperature rise of the test pieces A, B, C and D by the temperature rising gas chromatograph method.
In the test piece A, since the oxide layers are still formed on both surfaces, the hydrogen storage amount is small, and as a result, the released hydrogen amount is also small. On the other hand, in test piece B, the hydrogen occlusion amount increased by emery polishing, so the hydrogen released hydrogen amount also increased, and in test pieces C and D, the hydrogen occlusion amount further increased by buffing, The amount of hydrogen released hydrogen is further increased.

図13(b)及び図14(b)に示す結果から、水素吸蔵合金片(1)の両面における研磨状態によって水素吸収特性に差が生じ、これによって水素吸蔵合金片(1)の厚さ方向に水素吸蔵量の勾配が与えられ、その勾配の大小に応じて水素吸蔵合金片(1)に屈曲変形が生じることが明らかである。   From the results shown in FIGS. 13 (b) and 14 (b), there is a difference in the hydrogen absorption characteristics depending on the polishing state on both surfaces of the hydrogen storage alloy piece (1). It is apparent that the hydrogen storage amount is given a gradient, and bending deformation occurs in the hydrogen storage alloy piece (1) depending on the magnitude of the gradient.

図15は、試験片Cと、試験片Cとはバフ研磨後の酸化処理の有無が異なる試験片Fについて、垂直変位を測定する手順を示しており、図16は、試験片Cと試験片Fについての垂直変位の変化を表わしている。試験片Fにおいては、バフ研磨後の酸化処理によって、その両面に酸化物層が形成されることとなって、両面の水素吸収特性が同一となったため、垂直変位はゼロのままとなっている。
又、図17は、試験片Fについての温度と水素放出量の関係を表わしており、温度上昇によっても水素放出量は極めて低い値となっている。
図16及び図17の結果から、酸化物層の有無が両面の水素吸収特性を左右し、酸化物層の除去によって垂直変位が発生することが明らかである。
FIG. 15 shows a procedure for measuring the vertical displacement of the test piece C and the test piece F which is different from the test piece C in the presence or absence of the oxidation treatment after buffing. FIG. 16 shows the test piece C and the test piece. The change of the vertical displacement about F is represented. In the test piece F, the oxide layer was formed on both sides by the oxidation treatment after buffing, and the hydrogen absorption characteristics on both sides became the same, so the vertical displacement remained zero. .
FIG. 17 shows the relationship between the temperature and the hydrogen release amount for the test piece F, and the hydrogen release amount becomes a very low value even when the temperature rises.
From the results of FIGS. 16 and 17, it is clear that the presence or absence of the oxide layer affects the hydrogen absorption characteristics on both sides, and vertical displacement occurs due to the removal of the oxide layer.

図18は、両面にバフ研磨を施した後に酸化処理を施し、その後に片面のみにバフ研磨を施した試験片Gと、両面にバフ研磨を施した後に酸化処理を施し、その後に研磨を施さない試験片Hとについて、垂直変位を測定する手順を示しており、図19は、試験片Gと試験片Hについての垂直変位の変化を表わしている。
試験片Gにおいては、酸化処理後の片面バフ研磨によって、両面の水素吸収特性に差が生じたため、大きな垂直変位が発生しているのに対し、試験片Hにおいては、バフ研磨後の酸化処理により、その両面に酸化物層が形成された後、酸化処理後の片面バフ研磨が省略されたことにより、両面の水素吸収特性が同一となったため、垂直変位は極めて低い値となっている。
又、図20は、試験片Hについての温度と水素放出量の関係を表わしており、温度上昇によっても水素放出量は低い値となっている。
図19及び図20の結果からも、酸化物層の有無が両面の水素吸収特性を左右し、酸化物層の除去によって垂直変位が発生することが明らかである。
FIG. 18 shows a test piece G that is buffed on both sides and then oxidized, and then buffed only on one side, and then oxidized and then buffed on both sides and then polished. The procedure for measuring the vertical displacement is shown for the test piece H that is not present, and FIG. 19 shows the change in the vertical displacement for the test piece G and the test piece H.
In the test piece G, the single-side buffing after the oxidation treatment caused a difference in hydrogen absorption characteristics on both sides, so that a large vertical displacement occurred. In the test piece H, the oxidation treatment after the buffing was performed. Thus, after the oxide layer is formed on both sides, the single-sided buffing after the oxidation treatment is omitted, and the hydrogen absorption characteristics on both sides become the same, so the vertical displacement is extremely low.
FIG. 20 shows the relationship between the temperature and the hydrogen release amount for the test piece H, and the hydrogen release amount becomes a low value even when the temperature rises.
From the results of FIG. 19 and FIG. 20, it is clear that the presence or absence of the oxide layer affects the hydrogen absorption characteristics on both sides, and vertical displacement occurs when the oxide layer is removed.

図3は、複数の水素吸蔵合金片(1)を用いてアクチュエータを構成した例を示している。該アクチュエータにおいては、図4に示す如く、チャンバー(21)の底部に支持部材(6)を配備する一方、チャンバー(21)の天井部にシリンダー機構(7)を配備している。チャンバー(21)内においては、支持部材(6)に複数の水素吸蔵合金片(1)の基端部を固定すると共に、シリンダー機構(7)には複数の水素吸蔵合金片(1)の基端部を固定し、互いに対向する2つの水素吸蔵合金片(1)(1)の自由端どうしを弾性連結片(12)によって連結している。
尚、複数の水素吸蔵合金片(1)は、研磨面Saを内側に向けた姿勢に取り付けられている。
FIG. 3 shows an example in which an actuator is configured using a plurality of hydrogen storage alloy pieces (1). In the actuator, as shown in FIG. 4, a support member (6) is provided at the bottom of the chamber (21), while a cylinder mechanism (7) is provided at the ceiling of the chamber (21). In the chamber (21), the base end portions of the plurality of hydrogen storage alloy pieces (1) are fixed to the support member (6), and the base of the plurality of hydrogen storage alloy pieces (1) is fixed to the cylinder mechanism (7). The ends of the two hydrogen storage alloy pieces (1) and (1) facing each other are connected to each other by elastic connecting pieces (12).
The plurality of hydrogen storage alloy pieces (1) are attached in a posture with the polishing surface Sa facing inward.

支持部材(6)にはガス導入管(62)が貫通しており、ガス導入管(62)からチャンバー(21)内に水素ガスが導入される。
又、シリンダー機構(7)の外周面にはベローズ(71)が配備されており、シリンダー機構(7)の往復移動を許容すると共に、チャンバー(21)内を封止している。
A gas introduction pipe (62) passes through the support member (6), and hydrogen gas is introduced into the chamber (21) from the gas introduction pipe (62).
Further, a bellows (71) is provided on the outer peripheral surface of the cylinder mechanism (7) to allow the cylinder mechanism (7) to reciprocate and to seal the inside of the chamber (21).

図3に示す如く、チャンバー(21)は機台(61)上に設置されており、支持部材(6)及び支持部材(6)をガス導入管(62)が貫通し、該ガス導入管(62)はメタルホース(34)を介して水素タンク(31)及び真空ポンプ(51)に繋がっている。
水素タンク(31)の出口にはバルブ(33)及び減圧弁(32)が接続され、真空ポンプ(51)の出口にはバルブ(52)が接続されている。
As shown in FIG. 3, the chamber (21) is installed on the machine base (61), and the gas introduction pipe (62) passes through the support member (6) and the support member (6). 62) is connected to a hydrogen tank (31) and a vacuum pump (51) via a metal hose (34).
A valve (33) and a pressure reducing valve (32) are connected to the outlet of the hydrogen tank (31), and a valve (52) is connected to the outlet of the vacuum pump (51).

チャンバー(21)内のガス導入管(62)の先端部には、熱電対(44)が取り付けられており、該熱電対(44)は、温度調節器(41)と接続されている。
又、チャンバー(21)の外周面を包囲して、図3に示す如く環状抵抗炉(42)と水冷銅パイプ(43)が配備され、環状抵抗炉(42)には温度調節器(41)が接続されている。
A thermocouple (44) is attached to the tip of the gas introduction pipe (62) in the chamber (21), and the thermocouple (44) is connected to the temperature controller (41).
Further, an annular resistance furnace (42) and a water-cooled copper pipe (43) are provided surrounding the outer peripheral surface of the chamber (21) as shown in FIG. 3, and the temperature resistance (41) is provided in the annular resistance furnace (42). Is connected.

上記アクチュエータにおいては、水素タンク(31)からチャンバー(21)内へ高圧の水素ガスを供給することによって、室温状態のチャンバー(21)内が高圧の水素ガスで満たされ、この結果、チャンバー(21)内の複数の水素吸蔵合金片(1)に水素が吸収されることになる。ここで、水素吸蔵合金片(1)には研磨面と非研磨面に水素吸収特性の差が与えられているので、各水素吸蔵合金片(1)は研磨面を背面として屈曲変形する。   In the actuator, by supplying high-pressure hydrogen gas from the hydrogen tank (31) into the chamber (21), the chamber (21) at room temperature is filled with high-pressure hydrogen gas. The hydrogen is absorbed by the plurality of hydrogen storage alloy pieces (1) in (). Here, since the hydrogen storage alloy piece (1) has a difference in hydrogen absorption characteristics between the polished surface and the non-polished surface, each hydrogen storage alloy piece (1) is bent and deformed with the polished surface as the back surface.

その後、熱電対(44)からの温度検出信号に基づく温度調節器(41)の制御の下で環状抵抗炉(42)によってチャンバー(21)内を加熱すると共に、真空ポンプ(51)によってチャンバー(21)内を真空圧まで減圧する。これによって水素吸蔵合金片(1)は水素を放出して、元の形状に復帰することになる。
その後、水冷銅パイプ(43)に冷却水を流すことにより、チャンバー(21)内を室温まで冷却する。
Thereafter, the inside of the chamber (21) is heated by the annular resistance furnace (42) under the control of the temperature controller (41) based on the temperature detection signal from the thermocouple (44), and the chamber ( 21) Depressurize the inside to a vacuum pressure. As a result, the hydrogen storage alloy piece (1) releases hydrogen and returns to its original shape.
Thereafter, the inside of the chamber (21) is cooled to room temperature by flowing cooling water through the water-cooled copper pipe (43).

上述の水素吸蔵合金片(1)の屈曲変形及び復帰が、シリンダー機構(7)によって往復移動に変換され、該シリンダー機構(7)によって後段の被駆動部(図示省略)が駆動されるのである。   The bending deformation and restoration of the hydrogen storage alloy piece (1) described above are converted into reciprocating movement by the cylinder mechanism (7), and the driven part (not shown) in the subsequent stage is driven by the cylinder mechanism (7). .

図5は、水素吸蔵合金片(1)を作動子とする他のアクチュエータの要部を示しており、空気孔(22)を有するチャンバー(21)内には電解質溶液(23)が満たされている。又、チャンバー(21)の底部には絶縁パッキン(84)を介して絶縁性支持部材(82)が取り付けられる一方、チャンバー(21)の天井部にはシリンダー機構(7)が取り付けられている。   FIG. 5 shows a main part of another actuator using the hydrogen storage alloy piece (1) as an actuator. The chamber (21) having the air holes (22) is filled with the electrolyte solution (23). Yes. An insulating support member (82) is attached to the bottom of the chamber (21) via an insulating packing (84), while a cylinder mechanism (7) is attached to the ceiling of the chamber (21).

そして、チャンバー(21)内において、絶縁性支持部材(82)には複数の水素吸蔵合金片(1)の基端部が固定されると共に、シリンダー機構(7)には複数の水素吸蔵合金片(1)の基端部が固定され、互いに対向する2つの水素吸蔵合金片(1)(1)の自由端どうしが弾性連結片(12)によって連結されている。   In the chamber (21), the base end portions of the plurality of hydrogen storage alloy pieces (1) are fixed to the insulating support member (82), and the plurality of hydrogen storage alloy pieces are fixed to the cylinder mechanism (7). The base end of (1) is fixed, and the free ends of the two hydrogen storage alloy pieces (1) and (1) facing each other are connected by an elastic connecting piece (12).

絶縁性支持部材(82)には電極部材(8)が貫通してその先端部が電解質溶液(23)中へ突出すると共に、絶縁パッキン(84)には導線(85)が貫通してその先端部が水素吸蔵合金片(1)に接続されている。そして、電極部材(8)及び導線(85)は電源回路(83)に接続されている。   The electrode member (8) passes through the insulating support member (82) and its tip protrudes into the electrolyte solution (23), and the conductor (85) passes through the insulating packing (84) and its tip. The part is connected to the hydrogen storage alloy piece (1). The electrode member (8) and the conductive wire (85) are connected to the power supply circuit (83).

上記アクチュエータにおいては、電源回路(83)によって電解質溶液(23)中の電極部材(8)と各水素吸蔵合金片(1)の間に所定の電圧を印加する。これによって、チャンバー(21)内の複数の水素吸蔵合金片(1)に水素が吸収されることになる。ここで、水素吸蔵合金片(1)には研磨面と非研磨面に水素吸収特性の差が与えられているので、各水素吸蔵合金片(1)は研磨面を背面として屈曲変形する。
この水素吸蔵合金片(1)の屈曲変形がシリンダー機構(7)に伝えられ、該シリンダー機構(7)によって後段の被駆動部が駆動されるのである。
In the actuator, a predetermined voltage is applied between the electrode member (8) in the electrolyte solution (23) and each hydrogen storage alloy piece (1) by the power supply circuit (83). Thus, hydrogen is absorbed by the plurality of hydrogen storage alloy pieces (1) in the chamber (21). Here, since the hydrogen storage alloy piece (1) has a difference in hydrogen absorption characteristics between the polished surface and the non-polished surface, each hydrogen storage alloy piece (1) is bent and deformed with the polished surface as the back surface.
The bending deformation of the hydrogen storage alloy piece (1) is transmitted to the cylinder mechanism (7), and the driven part at the rear stage is driven by the cylinder mechanism (7).

図6(a)(b)は、水素吸蔵合金片(1)を作動子とする他のアクチュエータの構成を示しており、環境(2)内に基端部を固定して設置された水素吸蔵合金片(1)と、該水素吸蔵合金片(1)の自由端に対向して配備された電極片(91)とによって、ランプ(9)を点灯すべきスイッチ回路が構成されている。
環境(2)内に水素ガスを導入することによって水素吸蔵合金片(1)に水素を吸蔵させると、水素吸蔵合金片(1)の研磨面Saへの水素の優先的導入により、水素吸蔵合金片(1)が同図(b)の如く屈曲変形し、スイッチ回路がオンとなって、ランプ(9)が点灯することになる。
従って、該アクチュエータは、環境(2)内の水素ガスの検出に応用することが出来る。
FIGS. 6 (a) and 6 (b) show the structure of another actuator using the hydrogen storage alloy piece (1) as an actuator, and the hydrogen storage installed in the environment (2) with the base end fixed. The alloy piece (1) and the electrode piece (91) arranged to face the free end of the hydrogen storage alloy piece (1) constitute a switch circuit for lighting the lamp (9).
When hydrogen is stored in the hydrogen storage alloy piece (1) by introducing hydrogen gas into the environment (2), the hydrogen storage alloy is preferentially introduced into the polishing surface Sa of the hydrogen storage alloy piece (1). The piece (1) is bent and deformed as shown in FIG. 5B, the switch circuit is turned on, and the lamp (9) is lit.
Therefore, the actuator can be applied to detection of hydrogen gas in the environment (2).

図7は、水素吸蔵合金片(1)を作動子とする更に他のアクチュエータの構成を示しており、水素導入口(25)と水素排出口(24)を有する水素貯蔵容器(26)の内部には、流路孔(27)を開閉する弁体となる水素吸蔵合金片(1)が取り付けられている。該水素吸蔵合金片(1)は湾曲した形状を有し、凹曲面側が研磨面Saとなっており、通常は流路孔(27)を開いている。
水素貯蔵容器(26)内に過剰な水素ガスが導入されると、水素貯蔵容器(26)の内圧が上昇し、水素吸蔵合金片(1)の研磨面Saへの水素の優先的導入により、水素吸蔵合金片(1)が平板形状に向かって屈曲変形し、流路孔(27)を閉じることになる。この結果、水素貯蔵容器(26)内への水素ガスの導入が停止される。
従って、該アクチュエータは、水素貯蔵容器(26)内への水素ガスの供給過剰を防止する装置として利用することが出来る。
FIG. 7 shows the configuration of still another actuator using the hydrogen storage alloy piece (1) as an actuator, and the inside of the hydrogen storage container (26) having a hydrogen inlet (25) and a hydrogen outlet (24). A hydrogen storage alloy piece (1) serving as a valve body that opens and closes the flow path hole (27) is attached. The hydrogen-absorbing alloy piece (1) has a curved shape, the concave curved surface side is a polished surface Sa, and normally the flow path hole (27) is opened.
When excessive hydrogen gas is introduced into the hydrogen storage container (26), the internal pressure of the hydrogen storage container (26) increases, and hydrogen is preferentially introduced into the polishing surface Sa of the hydrogen storage alloy piece (1), The hydrogen storage alloy piece (1) is bent and deformed toward the flat plate shape, and the flow path hole (27) is closed. As a result, the introduction of hydrogen gas into the hydrogen storage container (26) is stopped.
Therefore, the actuator can be used as a device for preventing excessive supply of hydrogen gas into the hydrogen storage container (26).

尚、本発明の各部構成は上記実施の形態に限らず、特許請求の範囲に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能である。例えば水素吸蔵合金片(1)の片面を研磨する方法としては、エメリー研磨やバフ研磨に限らず、電解研磨を採用することも可能である。
又、水素吸蔵合金片(1)の両面に水素吸収特性の差異を与える方法としては、一方の表面に研磨等の処理を施して水素吸収特性を向上させる方法に限らず、他方の表面に水素吸収特性を低下させるための処理を施す方法を採用することも可能である。
更に、水素吸蔵合金片(1)の材質としては、NiTi合金に限らず、大きな変形能を有する周知の種々の水素吸蔵合金を採用することが出来る。
更に又、本発明は、水素吸蔵合金片(1)の作動子として利用するものであれば、上記以外の種々のアクチュエータに応用することが出来る。
In addition, each part structure of this invention is not restricted to the said embodiment, A various deformation | transformation is possible within the technical scope as described in a claim. For example, the method for polishing one surface of the hydrogen storage alloy piece (1) is not limited to emery polishing or buff polishing, and electrolytic polishing can also be employed.
Further, the method for giving a difference in hydrogen absorption characteristics on both surfaces of the hydrogen storage alloy piece (1) is not limited to the method of improving the hydrogen absorption characteristics by subjecting one surface to polishing or the like. It is also possible to employ a method for performing a treatment for reducing the absorption characteristics.
Furthermore, the material of the hydrogen storage alloy piece (1) is not limited to the NiTi alloy, and various known hydrogen storage alloys having a large deformability can be employed.
Furthermore, the present invention can be applied to various actuators other than the above as long as it is used as an actuator for the hydrogen storage alloy piece (1).

本発明に係るアクチュエータの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the actuator which concerns on this invention. 本発明に係るアクチュエータの動作を説明する図である。It is a figure explaining operation | movement of the actuator which concerns on this invention. 本発明に係るアクチュエータの応用例を示す図である。It is a figure which shows the application example of the actuator which concerns on this invention. 該応用例の要部を示す図である。It is a figure which shows the principal part of this application example. 他の応用例の要部を示す図である。It is a figure which shows the principal part of another application example. 他の応用例の原理を説明する図である。It is a figure explaining the principle of another application example. 更に他の応用例の原理を説明する図である。It is a figure explaining the principle of another application example. 試験片の組成を示す図表である。It is a chart which shows the composition of a test piece. 試験片の素材履歴を示す図表である。It is a graph which shows the raw material log | history of a test piece. 試験片の変態及び逆変態特性を示す図表である。It is a graph which shows the transformation and reverse transformation characteristic of a test piece. 試験片の形状を示す平面図である。It is a top view which shows the shape of a test piece. 試験片への水素導入方法を説明する図である。It is a figure explaining the hydrogen introduction | transduction method to a test piece. 試験片A〜Dの研磨状態と垂直変位の変化を示す図である。It is a figure which shows the grinding | polishing state of test piece AD, and the change of a vertical displacement. 試験片A〜Dの研磨状態と放出水素量の変化を示す図である。It is a figure which shows the grinding | polishing state of test piece AD, and the change of the amount of discharge | released hydrogen. 試験片C及びFについての垂直変位測定手順を表わすフローチャートである。4 is a flowchart showing a vertical displacement measurement procedure for test pieces C and F. 試験片C及びFについての垂直変位の変化を表わすグラフである。5 is a graph showing changes in vertical displacement for test pieces C and F. 試験片Fについての水素放出量の変化を表わすグラフである。5 is a graph showing a change in hydrogen release amount for test piece F. FIG. 試験片G及びHについての垂直変位測定手順を表わすフローチャートである。It is a flowchart showing the vertical displacement measurement procedure about the test pieces G and H. 試験片G及びHについての垂直変位の変化を表わすグラフである。It is a graph showing the change of the vertical displacement about the test pieces G and H. 試験片Hについての水素放出量の変化を表わすグラフである。5 is a graph showing a change in hydrogen release amount for test piece H.

符号の説明Explanation of symbols

(1) 水素吸蔵合金片
(2) 環境
(3) 水素導入手段
(4) 温度設定手段
(5) 減圧手段
Sa 研磨面
Sb 非研磨面
(1) Hydrogen storage alloy pieces
(2) Environment
(3) Hydrogen introduction means
(4) Temperature setting means
(5) Pressure reducing means Sa Polished surface Sb Non-polished surface

Claims (12)

板状を呈してその両面間で水素の吸収特性に違いを有する水素吸蔵合金片(1)と、該水素吸蔵合金片(1)に水素を吸蔵させるための手段と、該水素吸蔵合金片(1)に吸蔵されている水素を排出させるための手段とを具え、該水素吸蔵合金片(1)を作動子とするアクチュエータ。   A hydrogen storage alloy piece (1) which has a plate shape and has a difference in hydrogen absorption characteristics between both surfaces thereof, means for storing hydrogen in the hydrogen storage alloy piece (1), and the hydrogen storage alloy piece ( 1) means for discharging the stored hydrogen, and an actuator using the hydrogen storage alloy piece (1) as an actuator. 前記水素吸蔵合金片(1)の一方の表面には、他方の表面よりも水素の吸収特性を向上させるための処理が施されている請求項1に記載のアクチュエータ。   2. The actuator according to claim 1, wherein one surface of the hydrogen storage alloy piece (1) is subjected to a treatment for improving hydrogen absorption characteristics as compared with the other surface. 前記水素吸蔵合金片(1)の一方の表面には、他方の表面よりも水素の吸収特性を低下させるための処理が施されている請求項1に記載のアクチュエータ。   2. The actuator according to claim 1, wherein one surface of the hydrogen storage alloy piece (1) is subjected to a treatment for lowering hydrogen absorption characteristics than the other surface. 前記水素吸蔵合金片(1)が配備されている環境(2)には、水素吸蔵合金片(1)に水素を吸蔵させるための手段と、水素吸蔵合金片(1)に吸蔵されている水素を排出させるための手段が接続されている請求項1乃至請求項3の何れかに記載のアクチュエータ。   The environment (2) in which the hydrogen storage alloy piece (1) is disposed includes means for allowing the hydrogen storage alloy piece (1) to store hydrogen, and hydrogen stored in the hydrogen storage alloy piece (1). The actuator according to any one of claims 1 to 3, wherein means for discharging the gas is connected. 前記水素吸蔵合金片(1)に水素を吸蔵させるための手段は、環境(2)内に高圧の水素を供給するものである請求項4に記載のアクチュエータ。   The actuator according to claim 4, wherein the means for storing hydrogen in the hydrogen storage alloy piece (1) supplies high pressure hydrogen into the environment (2). 前記水素吸蔵合金片(1)に水素を吸蔵させるための手段は、環境(2)内の電解溶液から水素吸蔵合金片(1)へ水素を導入するものである請求項4に記載のアクチュエータ。   The actuator according to claim 4, wherein the means for storing hydrogen in the hydrogen storage alloy piece (1) introduces hydrogen from the electrolytic solution in the environment (2) into the hydrogen storage alloy piece (1). 前記水素吸蔵合金片(1)に吸蔵されている水素を排出させるための手段は、環境(2)内を加熱するための温度設定手段(4)と、環境(2)内を減圧する減圧手段(5)とから構成されている請求項4に記載のアクチュエータ。   The means for discharging the hydrogen stored in the hydrogen storage alloy piece (1) includes a temperature setting means (4) for heating the environment (2), and a pressure reducing means for reducing the pressure in the environment (2). The actuator according to claim 4, comprising: (5). 前記水素吸蔵合金片(1)は、その両面における酸化物層(11)の有無、若しくは酸化物層(11)の厚さの差異によって、その両面間に水素ガス吸収特性の違いを有している請求項1乃至請求項7の何れかに記載のアクチュエータ。   The hydrogen storage alloy piece (1) has a difference in hydrogen gas absorption characteristics between both surfaces depending on the presence or absence of the oxide layer (11) on both surfaces or the difference in thickness of the oxide layer (11). The actuator according to any one of claims 1 to 7. 前記水素吸蔵合金片(1)は、その一方の表面のみに研磨が施されて、両面における酸化物層(11)の有無若しくは厚さについて差異が与えられ、これによって両面間に水素ガス吸収特性の違いを有している請求項2に記載のアクチュエータ。   The hydrogen-absorbing alloy piece (1) is polished on only one surface thereof, and a difference is given in the presence or absence or thickness of the oxide layer (11) on both sides. The actuator according to claim 2, which has a difference of 前記研磨は、バフ研磨、又はエメリー研磨後のバフ研磨である請求項9に記載のアクチュエータ。 The actuator according to claim 9, wherein the polishing is buffing or buffing after emery polishing. 前記水素吸蔵合金片(1)は、一方の端部を固定端、他方の端部を自由端として、水素吸蔵及び排出に伴う該自由端の変位を出力するものである請求項1乃至請求項10の何れかに記載のアクチュエータ。   The hydrogen storage alloy piece (1) outputs a displacement of the free end accompanying hydrogen storage and discharge, with one end serving as a fixed end and the other end serving as a free end. The actuator according to any one of 10. 前記水素吸蔵合金片(1)の自由端の変位を一方向に沿う往復移動として取り出すための往復移動機構を具えている請求項11に記載のアクチュエータ。   The actuator according to claim 11, further comprising a reciprocating mechanism for taking out the displacement of the free end of the hydrogen storage alloy piece (1) as a reciprocating movement along one direction.
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