JP2008213239A - Method for manufacturing liquid jetting head unit - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a liquid jetting head unit improving the quality of printing by highly precisely positioning a liquid jetting face and a head reference face. <P>SOLUTION: A holding member 210 provided with the head reference face B is held by a first jig 400 with a first reference face C which keeps the head reference face B abutted for positioning, and the liquid jetting head 2 provided with the liquid jetting face A is held by a second jig 410 with a second reference face D which keeps the liquid jetting face A abutted for positioning, and which is positioned to the first reference face C so as to be relatively adjustable, and the holding member 210 and the liquid jetting head 2 are stuck together through an adhesive 215. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドユニットの製造方法に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a liquid ejecting head unit including a liquid ejecting head that ejects liquid, and more particularly, to a method for manufacturing an ink jet recording head unit including an ink jet recording head that ejects ink as liquid.

例えば、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録ヘッドユニット(以下、ヘッドユニットとも言う)としては、インクが充填されたインクカートリッジ等が保持されるカートリッジケースと、カートリッジケースに接着剤を介して接着されてインクカートリッジから供給されたインクをノズル開口から吐出する複数のインクジェット式記録ヘッドとを具備する(例えば、特許文献1参照)。   For example, an ink jet recording head unit (hereinafter also referred to as a head unit) that includes an ink jet recording head that discharges ink as a liquid includes a cartridge case that holds an ink cartridge filled with ink, and a cartridge case. And a plurality of ink jet recording heads that eject ink supplied from an ink cartridge through an adhesive through an adhesive (see, for example, Patent Document 1).

このようなヘッドユニットでは、カートリッジケースに複数のインクジェット式記録ヘッドを接着剤を介して接着する際に、各インクジェット式記録ヘッドの液体噴射面とは反対側を押圧部材によって押圧しながら両者を接着することで、各インクジェット式記録ヘッドの液体噴射面を揃えた状態でカートリッジケースに位置決めしている。   In such a head unit, when a plurality of ink jet recording heads are bonded to the cartridge case via an adhesive, the opposite sides of the liquid jet surface of each ink jet recording head are pressed by a pressing member to bond them together. By doing so, the ink jet recording head is positioned in the cartridge case in a state where the liquid ejection surfaces of the ink jet recording heads are aligned.

特開2005−186587号公報(第5〜9頁、第1、2及び5図)Japanese Patent Laying-Open No. 2005-186587 (pages 5 to 9, FIGS. 1, 2 and 5)

しかしながら、カートリッジケースは、例えば、インクジェット式記録装置の主走査方向に移動するキャリッジなどに搭載されるため、カートリッジケースのキャリッジ等に位置決めされるヘッド基準面と、液体噴射面との距離にばらつきがあると、紙等の記録媒体からの距離にばらつきが生じ、印刷品質が低下してしまうという問題がある。   However, since the cartridge case is mounted on, for example, a carriage that moves in the main scanning direction of the ink jet recording apparatus, the distance between the head reference surface that is positioned on the carriage of the cartridge case and the liquid ejection surface varies. If so, there is a problem that the distance from the recording medium such as paper varies and the print quality deteriorates.

また、カートリッジケースのヘッド基準面と液体噴射面とが傾いた状態であっても、印刷品質が低下してしまうという問題がある。   Further, there is a problem that the print quality is deteriorated even when the head reference surface and the liquid ejecting surface of the cartridge case are inclined.

特に、1つのインクジェット式記録装置に複数のヘッドユニットを搭載した場合、複数のヘッドユニット間でヘッド基準面と液体噴射面との距離及び傾きが揃っていないと、印刷品質は著しく低下してしまうという問題がある。   In particular, when a plurality of head units are mounted on one ink jet recording apparatus, the print quality is significantly deteriorated if the distance and inclination between the head reference surface and the liquid ejection surface are not uniform between the plurality of head units. There is a problem.

なお、このような問題はインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドユニットの製造方法だけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法においても同様に存在する。   Such a problem exists not only in a method for manufacturing an ink jet recording head unit that ejects ink, but also in a method for manufacturing a liquid ejecting head that ejects liquid other than ink.

本発明はこのような事情に鑑み、液体噴射面とヘッド基準面とを高精度に位置決めして、印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッドユニットの製造方法を提供することを目的とする。   In view of such circumstances, it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a liquid ejecting head unit that can position a liquid ejecting surface and a head reference surface with high accuracy and improve print quality.

上記課題を解決する本発明の態様は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド本体と該液体噴射ヘッド本体の液体噴射面とは反対側に接合されるヘッドケースとからなる複数個の液体噴射ヘッドと、これら複数個の液体噴射ヘッドの前記ヘッドケース側に接着剤を介して一体的に接合される保持部材とを具備し、前記保持部材には、当該保持部材を保持する固定部材に当接されて位置決めされるヘッド基準面が設けられた液体噴射ヘッドユニットの製造方法であって、前記保持部材を、前記ヘッド基準面が当接されて位置決めされる第1の基準面を有する第1の治具に保持させると共に、前記液体噴射ヘッドを、前記液体噴射面が当接されて位置決めされると共に前記第1の基準面に対して相対的に調整可能に位置決めされた第2の基準面を有する第2の治具に保持させて、前記保持部材と前記液体噴射ヘッドとを接着剤を介して接着させることを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法にある。
かかる態様では、ヘッド基準面を第1の基準面に当接させて位置決めすると共に、液体噴射面を第2の基準面に当接させて位置決めした状態で、保持部材と液体噴射ヘッドとを接着することで、ヘッド基準面と液体噴射面との位置決めを高精度に行うことができると共に、液体噴射ヘッドユニットを繰り返し製造した際に、各液体噴射ヘッドユニットの液体噴射面とヘッド基準面との距離及び傾きを均一に揃えることができる。また、液体噴射ヘッドを構成するヘッド本体や、ヘッドケース等の部材の厚さにばらつきがあっても、接着剤によって、これらのばらつきを吸収して、各液体噴射面Aとヘッド基準面Bとの位置決めを高精度に行うことができる。したがって、接着剤の厚さを調整することができ、接着剤の流出による不具合を防止できる。
According to an aspect of the present invention for solving the above-described problem, a plurality of liquid ejecting units including a liquid ejecting head main body that ejects liquid from a nozzle opening and a head case that is joined to the opposite side of the liquid ejecting surface of the liquid ejecting head main body A head and a holding member that is integrally bonded to the head case side of the plurality of liquid jet heads via an adhesive, and the holding member corresponds to a fixing member that holds the holding member. A liquid ejecting head unit manufacturing method provided with a head reference surface that is positioned in contact with the head, wherein the holding member includes a first reference surface that is positioned in contact with the head reference surface. And the liquid ejecting head is positioned so that the liquid ejecting surface is in contact with the second reference surface and is positioned so as to be relatively adjustable with respect to the first reference surface. And is held by the second jig having a surface, some of said liquid jet head and the holding member in the method of manufacturing a liquid jet head unit, characterized in that adhering through an adhesive.
In this aspect, the holding member and the liquid ejecting head are bonded together while the head reference surface is positioned in contact with the first reference surface and the liquid ejecting surface is positioned in contact with the second reference surface. Thus, the positioning of the head reference surface and the liquid ejecting surface can be performed with high accuracy, and when the liquid ejecting head unit is repeatedly manufactured, the liquid ejecting surface of each liquid ejecting head unit and the head reference surface Distance and inclination can be made uniform. Further, even if there is a variation in the thickness of the head main body and the head case constituting the liquid ejecting head, the variation is absorbed by the adhesive, and each liquid ejecting surface A and the head reference surface B Can be positioned with high accuracy. Therefore, the thickness of the adhesive can be adjusted, and problems due to the outflow of the adhesive can be prevented.

ここで、前記複数のヘッド本体と前記保持部材とを接合する前に、前記複数のヘッド本体の前記液体噴射面を共通の固定板に接合すると共に、前記液体噴射ヘッドの前記液体噴射面を、前記固定板を介して前記第2の基準面に当接させて位置決めさせることが好ましい。これによれば、複数の液体噴射ヘッドを同時に保持部材に接着することができる。   Here, before joining the plurality of head main bodies and the holding member, the liquid ejecting surfaces of the plurality of head main bodies are joined to a common fixing plate, and the liquid ejecting surfaces of the liquid ejecting heads are It is preferable that the second reference surface is brought into contact with the second reference surface via the fixing plate. According to this, a plurality of liquid ejecting heads can be simultaneously bonded to the holding member.

また、前記保持部材が液体貯留部内の液体を前記液体噴射ヘッド毎に供給するカートリッジケースであると共に、該カートリッジケースの側面にはフランジ部が設けられ、該フランジ部の前記液体噴射面と同一方向の面が前記ヘッド基準面となっていることが好ましい。これによれば、カートリッジケースに液体噴射面と同一方向のヘッド基準面が設けられている場合でもカートリッジケースのヘッド基準面と液体噴射ヘッドの液体噴射面とを高精度に位置決めして、両者を接着することができる。   Further, the holding member is a cartridge case for supplying the liquid in the liquid storage portion for each liquid ejecting head, and a flange portion is provided on a side surface of the cartridge case, and the same direction as the liquid ejecting surface of the flange portion Is preferably the head reference surface. According to this, even when the cartridge case has a head reference surface in the same direction as the liquid ejecting surface, the head reference surface of the cartridge case and the liquid ejecting surface of the liquid ejecting head are positioned with high precision, Can be glued.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置を示す概略図である。図1に示すように、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置Iは、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドを有するインクジェット式記録ヘッドユニット1が複数設けられている。このインクジェット式記録ヘッドユニット1は、インク供給手段を構成するカートリッジ1A及び1Bがそれぞれ着脱可能に設けられている。このカートリッジ1A及び1Bが搭載されたインクジェット式記録ヘッドユニット1は、固定部材であるキャリッジ3に搭載されている。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an ink jet recording apparatus that is an example of a liquid ejecting apparatus according to Embodiment 1 of the invention. As shown in FIG. 1, an ink jet recording apparatus I which is an example of a liquid ejecting apparatus is provided with a plurality of ink jet recording head units 1 each having an ink jet recording head which is an example of a liquid ejecting head. In the ink jet recording head unit 1, cartridges 1A and 1B constituting ink supply means are detachably provided. The ink jet recording head unit 1 on which the cartridges 1A and 1B are mounted is mounted on a carriage 3 which is a fixed member.

インクジェット式記録ヘッドユニット1を搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。なお、インクジェット式記録ヘッドユニット1は、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。   A carriage 3 on which the ink jet recording head unit 1 is mounted is provided on a carriage shaft 5 attached to the apparatus main body 4 so as to be movable in the axial direction. The ink jet recording head unit 1 discharges, for example, a black ink composition and a color ink composition, respectively.

そして、駆動モータ6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、インクジェット式記録ヘッドユニット1を搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8上を搬送されるようになっている。   Then, the driving force of the driving motor 6 is transmitted to the carriage 3 via a plurality of gears and a timing belt 7 (not shown), so that the carriage 3 on which the ink jet recording head unit 1 is mounted is moved along the carriage shaft 5. The On the other hand, the apparatus body 4 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 5, and a recording sheet S, which is a recording medium such as paper fed by a paper feed roller (not shown), is conveyed on the platen 8. It is like that.

ここで、本実施形態の液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニット1について詳細に説明する。なお、図2は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドユニットを示す分解斜視図であり、図3は、インクジェット式記録ヘッドユニットの組立斜視図であり、図4は、その要部断面図である。   Here, the ink jet recording head unit 1 which is an example of the liquid jet head unit of the present embodiment will be described in detail. 2 is an exploded perspective view showing the ink jet recording head unit according to Embodiment 1 of the present invention, FIG. 3 is an assembly perspective view of the ink jet recording head unit, and FIG. It is sectional drawing.

図示するように、インクジェット式記録ヘッドユニット1を構成する保持部材であるカートリッジケース210は、インク供給手段であるインクカートリッジ1A又は1B(図1参照)がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部211を有し、キャリッジ3に当接(保持)される部材である。例えば、本実施形態では、インクカートリッジは、ブラック及び3色のカラーインクが充填された別体で構成され、カートリッジケース210には、各色のインクカートリッジがそれぞれ装着される。また、カートリッジケース210の底面には、図4に示すように、一端が各カートリッジ装着部211に開口し、他端が後述するヘッドケース側に開口する複数のインク連通路212が設けられている。さらに、カートリッジ装着部211のインク連通路212の開口部分には、インクカートリッジのインク供給口に挿入されるインク供給針213が、インク内の気泡や異物を除去するためにインク連通路212に形成されたフィルタ(図示なし)を介して固定されている。   As shown in the drawing, a cartridge case 210 that is a holding member constituting the ink jet recording head unit 1 has a cartridge mounting portion 211 to which an ink cartridge 1A or 1B (see FIG. 1) that is an ink supply means is mounted. The member is brought into contact (held) with the carriage 3. For example, in this embodiment, the ink cartridge is configured as a separate body filled with black and three color inks, and the ink cartridges of the respective colors are mounted in the cartridge case 210. Further, as shown in FIG. 4, a plurality of ink communication paths 212 having one end opened to each cartridge mounting portion 211 and the other end opened to the head case side described later are provided on the bottom surface of the cartridge case 210. . Further, an ink supply needle 213 inserted into the ink supply port of the ink cartridge is formed in the ink communication path 212 in order to remove bubbles and foreign matters in the ink at the opening of the ink communication path 212 of the cartridge mounting portion 211. It is fixed through a filter (not shown).

また、カートリッジケース210の側面には、フランジ部214が設けられている。そして、詳しくは後述するが、フランジ部214のヘッド本体が固定される面と同一方向の面をキャリッジ3に保持された際にキャリッジ3に当接されて位置決めされるヘッド基準面Bとした。   A flange portion 214 is provided on the side surface of the cartridge case 210. As will be described in detail later, a surface in the same direction as the surface to which the head main body of the flange portion 214 is fixed is defined as a head reference surface B that is positioned in contact with the carriage 3 when held by the carriage 3.

また、このようなカートリッジケース210の底面側には、複数のインクジェット式記録ヘッド2が固定されている。   A plurality of ink jet recording heads 2 are fixed to the bottom surface side of such a cartridge case 210.

インクジェット式記録ヘッド2は、インクカートリッジ1A,1Bのインク色毎に対応して複数設けられている。本実施形態では、1つのインクジェット式記録ヘッドユニット1に4つのインクジェット式記録ヘッド2が設けられている。   A plurality of ink jet recording heads 2 are provided corresponding to the ink colors of the ink cartridges 1A and 1B. In this embodiment, one inkjet recording head unit 1 is provided with four inkjet recording heads 2.

ここで、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド2について詳細に説明する。図5は、インクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図6はインクジェット式記録ヘッドの断面図である。図5及び図6に示すように、インクジェット式記録ヘッド2は、液体噴射ヘッド本体であるヘッド本体220と、ヘッド本体220の液体噴射面Aとは反対側に設けられたヘッドケース230とを具備する。   Here, the ink jet recording head 2 which is an example of the liquid jet head of the present embodiment will be described in detail. FIG. 5 is an exploded perspective view of the ink jet recording head, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the ink jet recording head. As shown in FIGS. 5 and 6, the ink jet recording head 2 includes a head main body 220 that is a liquid ejecting head main body, and a head case 230 provided on the side opposite to the liquid ejecting surface A of the head main body 220. To do.

ヘッド本体220を構成する流路形成基板10は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には二酸化シリコンからなる弾性膜50が形成されている。この流路形成基板10には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室12が、幅方向に並設された列が2列形成されている。また、各列の圧力発生室12の長手方向外側には、後述するリザーバ形成基板30に設けられるリザーバ部31と連通し、各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバ100を構成する連通部13が形成されている。また、連通部13は、インク供給路14を介して各圧力発生室12の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。   In this embodiment, the flow path forming substrate 10 constituting the head main body 220 is made of a silicon single crystal substrate, and an elastic film 50 made of silicon dioxide is formed on one surface thereof. This flow path forming substrate 10 is formed with two rows in which pressure generation chambers 12 partitioned by a plurality of partition walls are arranged in parallel in the width direction by anisotropic etching from the other side. Further, on the outer side in the longitudinal direction of the pressure generating chambers 12 in each row, there is communication with a reservoir unit 31 provided on a reservoir forming substrate 30 described later, and a communication composing a reservoir 100 serving as a common ink chamber for each pressure generating chamber 12. A portion 13 is formed. The communication portion 13 is in communication with one end portion in the longitudinal direction of each pressure generating chamber 12 via the ink supply path 14.

また、流路形成基板10の開口面側には、各圧力発生室12のインク供給路14とは反対側で連通するノズル開口21が穿設されたノズルプレート20が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。すなわち、本実施形態では、1つのヘッド本体220にノズル開口21の並設されたノズル列21Aが2列設けられている。   Further, a nozzle plate 20 having a nozzle opening 21 communicating with the side opposite to the ink supply path 14 of each pressure generating chamber 12 on the opening surface side of the flow path forming substrate 10 is an adhesive, a heat-welded film, or the like. It is fixed through. In other words, in this embodiment, two nozzle rows 21 </ b> A in which the nozzle openings 21 are arranged in parallel are provided in one head main body 220.

本実施形態では、このノズルプレート20のノズル開口21が開口する面が、液体噴射面Aとなっている。   In the present embodiment, the surface of the nozzle plate 20 where the nozzle openings 21 are opened is the liquid ejection surface A.

一方、流路形成基板10の開口面とは反対側には、弾性膜50上に、金属からなる下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜とを順次積層することで形成された圧電素子300が形成されている。このような圧電素子300が形成された流路形成基板10上には、リザーバ100の少なくとも一部を構成するリザーバ部31を有するリザーバ形成基板30が接合されている。このリザーバ部31は、本実施形態では、リザーバ形成基板30を厚さ方向に貫通して圧力発生室12の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板10の連通部13と連通されて各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバ100を構成している。   On the other hand, on the side opposite to the opening surface of the flow path forming substrate 10, on the elastic film 50, a lower electrode film made of metal, a piezoelectric layer made of lead zirconate titanate (PZT) or the like, and made of metal. A piezoelectric element 300 formed by sequentially laminating the upper electrode film is formed. On the flow path forming substrate 10 on which such a piezoelectric element 300 is formed, a reservoir forming substrate 30 having a reservoir portion 31 that constitutes at least a part of the reservoir 100 is joined. In this embodiment, the reservoir portion 31 is formed across the reservoir forming substrate 30 in the thickness direction and across the width direction of the pressure generating chamber 12, and as described above, the communication portion of the flow path forming substrate 10 is formed. The reservoir 100 is connected to the pressure generation chamber 12 and serves as a common ink chamber for the pressure generation chambers 12.

また、リザーバ形成基板30の圧電素子300に対向する領域には、圧電素子300の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部32が設けられている。   A piezoelectric element holding portion 32 having a space that does not hinder the movement of the piezoelectric element 300 is provided in a region facing the piezoelectric element 300 of the reservoir forming substrate 30.

さらに、リザーバ形成基板30上には、各圧電素子300を駆動するための駆動IC110が設けられている。この駆動IC110の各端子は、図示しないボンディングワイヤ等を介して各圧電素子300の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動IC110の各端子には、フレキシブルプリント基板(FPC)等の外部配線111を介して外部と接続され、外部から外部配線111を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。   Furthermore, a drive IC 110 for driving each piezoelectric element 300 is provided on the reservoir forming substrate 30. Each terminal of the drive IC 110 is connected to a lead wiring drawn from the individual electrode of each piezoelectric element 300 via a bonding wire or the like (not shown). Each terminal of the drive IC 110 is connected to the outside via an external wiring 111 such as a flexible printed circuit (FPC), and receives various signals such as a print signal from the outside via the external wiring 111. .

また、このようなリザーバ形成基板30上には、コンプライアンス基板40が接合されている。コンプライアンス基板40のリザーバ100に対向する領域には、リザーバ100にインクを供給するためのインク導入口44が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板40のリザーバ100に対向する領域のインク導入口44以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部43となっており、リザーバ100は、可撓部43により封止されている。この可撓部43により、リザーバ100内にコンプライアンスを与えている。   A compliance substrate 40 is bonded on the reservoir forming substrate 30. An ink inlet 44 for supplying ink to the reservoir 100 is formed in a region facing the reservoir 100 of the compliance substrate 40 by penetrating in the thickness direction. In addition, the region of the compliance substrate 40 other than the ink introduction port 44 in the region facing the reservoir 100 is a flexible portion 43 formed thin in the thickness direction, and the reservoir 100 is sealed by the flexible portion 43. Has been. Compliance is given to the reservoir 100 by the flexible portion 43.

また、各ヘッド本体220の液体噴射面Aとは反対側の面、すなわち、コンプライアンス基板40上には、ヘッドケース230が固定されている。   A head case 230 is fixed on the surface of each head body 220 opposite to the liquid ejection surface A, that is, on the compliance substrate 40.

ヘッドケース230は、インク導入口44に連通すると共にカートリッジケース210のインク連通路212に連通して、カートリッジケース210からのインクをインク導入口44に供給するインク供給連通路231が設けられている。このヘッドケース230には、コンプライアンス基板40の可撓部43に対向する領域に凹部232が形成され、可撓部43の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース230には、リザーバ形成基板30上に設けられた駆動IC110に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動IC保持部233が設けられており、外部配線111は、駆動IC保持部233を挿通して駆動IC110と接続されている。   The head case 230 communicates with the ink introduction port 44 and communicates with the ink communication passage 212 of the cartridge case 210, and is provided with an ink supply communication passage 231 that supplies ink from the cartridge case 210 to the ink introduction port 44. . In the head case 230, a recess 232 is formed in a region facing the flexible portion 43 of the compliance substrate 40 so that the flexible portion 43 is appropriately deformed. The head case 230 is provided with a drive IC holding part 233 penetrating in the thickness direction in a region facing the drive IC 110 provided on the reservoir forming substrate 30, and the external wiring 111 is connected to the drive IC holding part. The drive IC 110 is connected through the H.233.

このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド2は、インクカートリッジ1A,1Bからのインクをインク連通路212及びインク供給連通路231を介してインク導入口44から取り込み、リザーバ100からノズル開口21に至るまで内部をインクで満たした後、駆動IC110からの記録信号に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの圧電素子300に電圧を印加し、弾性膜及び圧電素子300をたわみ変形させることにより、各圧力発生室12内の圧力が高まりノズル開口21からインク滴が吐出する。   In the ink jet recording head 2 of this embodiment, ink from the ink cartridges 1 </ b> A and 1 </ b> B is taken from the ink introduction port 44 through the ink communication path 212 and the ink supply communication path 231, and is transferred from the reservoir 100 to the nozzle opening 21. After filling the inside with ink, according to a recording signal from the drive IC 110, a voltage is applied to each piezoelectric element 300 corresponding to the pressure generating chamber 12, and the elastic film and the piezoelectric element 300 are bent and deformed. The pressure in the pressure generating chamber 12 increases and ink droplets are ejected from the nozzle openings 21.

なお、上述したヘッド本体220は、1枚のシリコンウェハ上に多数のチップを同時に形成し、ノズルプレート20及びコンプライアンス基板40を接着して一体化し、その後、図5に示すような1つのチップサイズの流路形成基板10毎に分割することによってヘッド本体220となる。   The above-described head main body 220 forms a large number of chips on one silicon wafer at the same time, and bonds and integrates the nozzle plate 20 and the compliance substrate 40, and then a single chip size as shown in FIG. The head main body 220 is obtained by dividing each flow path forming substrate 10.

このようなインクジェット式記録ヘッド2は、カートリッジケース210の底面に4つ接着剤215を介して固定されている。本実施形態では、4つのインクジェット式記録ヘッド2は、ノズル列21Aの並び方向に所定の間隔となるように配置されている。すなわち、本実施形態の1つのインクジェット式記録ヘッド2には、ノズル列21Aが8列設けられていることになる。このように複数のインクジェット式記録ヘッド2を用いて並設されたノズル開口21からなるノズル列21Aの多列化を図ることで、1つのインクジェット式記録ヘッド2にノズル列21Aを多列形成するのに比べて歩留まりの低下を防止することができる。また、ノズル列21Aの多列化を図るために複数のインクジェット式記録ヘッド2を用いることで、1枚のシリコンウェハから形成できるヘッド本体220(インクジェット式記録ヘッド2)の取り数を増大させることができ、シリコンウェハの無駄な領域を減少させて製造コストを低減することができる。   Such an ink jet recording head 2 is fixed to the bottom surface of the cartridge case 210 via four adhesives 215. In the present embodiment, the four ink jet recording heads 2 are arranged at a predetermined interval in the arrangement direction of the nozzle rows 21A. That is, one nozzle type recording head 2 of this embodiment is provided with eight nozzle rows 21A. In this way, the nozzle rows 21A including the nozzle openings 21 arranged side by side using a plurality of ink jet recording heads 2 are arranged in multiple rows, thereby forming a plurality of nozzle rows 21A in one ink jet recording head 2. Compared to the above, the yield can be prevented from decreasing. Further, by using a plurality of ink jet recording heads 2 in order to increase the number of nozzle rows 21A, the number of head main bodies 220 (ink jet recording heads 2) that can be formed from one silicon wafer is increased. It is possible to reduce the use cost of the silicon wafer and reduce the manufacturing cost.

また、このような4つのインクジェット式記録ヘッド2は、図2及び図4に示すように、複数のインクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aに接合された共通の固定板250によって位置決めされて保持されている。固定板250は、複数のヘッド本体220を共通の部材に固定する際の当該共通の部材としての機能を有し、ノズル開口21を露出する露出開口部251と、露出開口部251を画成すると共にヘッド本体220の液体噴射面Aの少なくともノズル列21Aの両端部側に接合される接合部252とを具備する。   Further, as shown in FIGS. 2 and 4, the four ink jet recording heads 2 are positioned and held by a common fixing plate 250 bonded to the liquid ejecting surface A of the plurality of ink jet recording heads 2. Has been. The fixing plate 250 has a function as a common member when the plurality of head main bodies 220 are fixed to a common member, and defines an exposed opening 251 that exposes the nozzle opening 21 and an exposed opening 251. In addition, a joining portion 252 that is joined to at least both ends of the nozzle row 21A of the liquid ejection surface A of the head body 220 is provided.

接合部252は、本実施形態では、複数のヘッド本体220に亘って液体噴射面Aの外周に沿って設けられた固定用枠部253と、隣接するヘッド本体220の間に延設されて露出開口部251を分割する固定用梁部254とで構成され、固定用枠部253及び固定用梁部254からなる接合部252が複数のヘッド本体220の液体噴射面Aに同時に接合されている。このように固定板250に複数のヘッド本体220を接合することで、ヘッド本体220の液体噴射面Aを平面上に揃えることができる。   In the present embodiment, the joining portion 252 extends between the fixing frame portion 253 provided along the outer periphery of the liquid ejecting surface A across the plurality of head main bodies 220 and the adjacent head main body 220 so as to be exposed. The joint portion 252 including the fixing frame portion 253 and the fixing beam portion 254 is joined to the liquid ejecting surfaces A of the plurality of head main bodies 220 at the same time. In this way, by bonding the plurality of head main bodies 220 to the fixed plate 250, the liquid ejecting surface A of the head main body 220 can be aligned on a plane.

一方、インクジェット式記録ヘッドユニット1には、図2及び図3に示すように、固定板250のインクジェット式記録ヘッド2とは反対側に、複数のインクジェット式記録ヘッド2を覆うような箱形状を有するカバーヘッド240が設けられている。このカバーヘッド240は、固定板250の露出開口部251に対応して開口部241が設けられた固定部242と、ヘッド本体220のインク滴吐出面の側面側に、固定板250の外周に亘って屈曲するように設けられた側壁部245とを具備する。   On the other hand, as shown in FIGS. 2 and 3, the ink jet recording head unit 1 has a box shape that covers the plurality of ink jet recording heads 2 on the opposite side of the fixing plate 250 from the ink jet recording head 2. A cover head 240 is provided. The cover head 240 has a fixing portion 242 provided with an opening 241 corresponding to the exposed opening 251 of the fixing plate 250, and a side surface side of the ink droplet ejection surface of the head main body 220, and extends around the outer periphery of the fixing plate 250. And a side wall portion 245 provided so as to be bent.

固定部242は、本実施形態では、固定板250の固定用枠部253に対応して設けられた枠部243と、固定板250の固定用梁部254に対応して設けられて開口部241を分割する梁部244とで構成されている。また、このような枠部243及び梁部244からなる固定部242は、固定板250の接合部252に接合されている。   In this embodiment, the fixing portion 242 is provided corresponding to the frame portion 243 provided corresponding to the fixing frame portion 253 of the fixing plate 250, and the opening portion 241 provided corresponding to the fixing beam portion 254 of the fixing plate 250. It is comprised with the beam part 244 which divides | segments. Further, the fixing part 242 including the frame part 243 and the beam part 244 is joined to the joining part 252 of the fixing plate 250.

このように、ヘッド本体220の液体噴射面Aとカバーヘッド240との間が隙間なく接合されているため、隙間に記録媒体が入り込むのを防止してカバーヘッド240の変形及び紙ジャムを防止することができる。また、カバーヘッド240の側壁部245が、複数のヘッド本体220の外周縁部を覆うことで、ヘッド本体220の側面へのインクの回り込みを確実に防止することができる。   As described above, since the liquid ejection surface A of the head body 220 and the cover head 240 are joined without a gap, the recording medium is prevented from entering the gap to prevent the cover head 240 from being deformed and a paper jam. be able to. Further, since the side wall portion 245 of the cover head 240 covers the outer peripheral edge portions of the plurality of head main bodies 220, it is possible to reliably prevent the ink from flowing into the side surfaces of the head main bodies 220.

また、固定部242には、図2及び図4に示すように、カバーヘッド240をカートリッジケース210に位置決め固定するための固定孔247が設けられた支持部246が設けられている。この支持部246は、側壁部245から液滴吐出面の面方向と同一方向に突出するように屈曲して設けられている。そして、本実施形態では、カバーヘッド240は、カートリッジケース210に固定されている。すなわち、カートリッジケース210には、液体噴射面A側に突出して、カバーヘッド240の固定孔247に挿入される突起部216が設けられており、この突起部216をカバーヘッド240の固定孔247に挿入すると共に、突起部216の先端部を加熱してかしめることで、カートリッジケース210にカバーヘッド240が固定されている。   Further, as shown in FIGS. 2 and 4, the fixing portion 242 is provided with a support portion 246 provided with a fixing hole 247 for positioning and fixing the cover head 240 to the cartridge case 210. The support portion 246 is bent and provided so as to protrude from the side wall portion 245 in the same direction as the surface direction of the droplet discharge surface. In this embodiment, the cover head 240 is fixed to the cartridge case 210. That is, the cartridge case 210 is provided with a protruding portion 216 that protrudes toward the liquid ejecting surface A and is inserted into the fixing hole 247 of the cover head 240. The protruding portion 216 is provided in the fixing hole 247 of the cover head 240. The cover head 240 is fixed to the cartridge case 210 by inserting and heating and caulking the tip of the protrusion 216.

なお、上述した例では、カバーヘッド240を固定板250のヘッド本体220とは反対側の面に接合するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、カバーヘッド240を固定板250に接合せずに、所定の間隔となるように設けるようにしてもよく、当接するように設けるようにしてもよい。   In the above-described example, the cover head 240 is bonded to the surface of the fixing plate 250 opposite to the head body 220. However, the present invention is not limited to this. For example, the cover head 240 is bonded to the fixing plate 250. Instead, it may be provided at a predetermined interval or may be provided so as to abut.

ここで、このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドユニット1の製造方法について詳細に説明する。なお、図7及び図8は、本発明の液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットの製造方法を示す要部断面図である。   Here, the manufacturing method of the ink jet recording head unit 1 of this embodiment will be described in detail. 7 and 8 are principal part cross-sectional views showing a manufacturing method of an ink jet recording head unit which is an example of the liquid jet head unit of the present invention.

まず、図7(a)に示すように、カートリッジケース210を第1の治具400に保持させる。この第1の治具400には、カートリッジケース210のヘッド基準面Bが当接されて位置決めされる第1の基準面Cが設けられている。すなわち、第1の治具400は、第1の基準面Cにカートリッジケース210のヘッド基準面Bを当接させて位置決めした状態でカートリッジケース210を保持する。なお、ヘッド基準面Bとは、上述したようにカートリッジケース210のフランジ部214がキャリッジ3に当接する面のことである。   First, as shown in FIG. 7A, the cartridge case 210 is held by the first jig 400. The first jig 400 is provided with a first reference surface C on which the head reference surface B of the cartridge case 210 is abutted and positioned. That is, the first jig 400 holds the cartridge case 210 in a state where the head reference surface B of the cartridge case 210 is brought into contact with the first reference surface C and positioned. The head reference surface B is a surface on which the flange portion 214 of the cartridge case 210 contacts the carriage 3 as described above.

次に、図7(b)に示すように、インクジェット式記録ヘッド2を第2の治具410に保持させる。この第2の治具410には、インクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aが当接されて位置決めされる第2の基準面Dが設けられている。すなわち、第2の治具410は、第2の基準面Dにインクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aを当接させて位置決めした状態でインクジェット式記録ヘッド2を保持する。   Next, as shown in FIG. 7B, the ink jet recording head 2 is held by the second jig 410. The second jig 410 is provided with a second reference surface D on which the liquid ejecting surface A of the ink jet recording head 2 is abutted and positioned. That is, the second jig 410 holds the ink jet recording head 2 in a state where the liquid ejecting surface A of the ink jet recording head 2 is brought into contact with the second reference surface D and positioned.

なお、本実施形態では、予め複数のインクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aを共通の固定板250に接合してある。したがって、第2の治具410には、複数のインクジェット式記録ヘッド2が固定板250によって一体化された状態で保持されて、複数のインクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aが面内方向に揃うことになる。このとき、第2の基準面Dには、固定板250の液体噴射面Aとは反対側の面が当接されて位置決めされる。このような場合であっても、実質的に第2の治具410の第2の基準面Dに複数のインクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aが位置決めされていることになる。そして、第2の治具410には、複数のインクジェット式記録ヘッド2が固定板250によって一体化された状態で保持されて、複数のインクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aが面内方向に揃うことになるので、各インクジェット式記録ヘッド2毎の高さのばらつきの影響は、複数のインクジェット式記録ヘッド2のヘッドケース230のカートリッジケース210側の面に現れる。この複数のインクジェット式記録ヘッド2の高さのばらつきの補正については、後で詳述する。   In the present embodiment, the liquid ejection surfaces A of the plurality of ink jet recording heads 2 are bonded to the common fixing plate 250 in advance. Accordingly, the plurality of ink jet recording heads 2 are held in the second jig 410 in an integrated state by the fixed plate 250, and the liquid ejection surfaces A of the plurality of ink jet recording heads 2 are in the in-plane direction. Will be aligned. At this time, the second reference surface D is positioned by contacting the surface of the fixed plate 250 opposite to the liquid ejection surface A. Even in such a case, the liquid ejecting surfaces A of the plurality of ink jet recording heads 2 are substantially positioned on the second reference surface D of the second jig 410. The plurality of ink jet recording heads 2 are held by the second jig 410 in an integrated state by the fixed plate 250, and the liquid ejection surfaces A of the plurality of ink jet recording heads 2 are in the in-plane direction. Therefore, the influence of the height variation for each ink jet recording head 2 appears on the surface of the head case 230 of the plurality of ink jet recording heads 2 on the cartridge case 210 side. The correction of the height variation of the plurality of ink jet recording heads 2 will be described in detail later.

このような第2の治具410には、第2の基準面D側から突出する複数の規制ピン411が設けられている。この規制ピン411は、第2の基準面Dに対する先端の突出量が調整可能に設けられている。本実施形態では、規制ピン411を雄ねじとし、第2の治具410に規制ピン411を螺合させることで、先端の突出量を調整可能とした。   Such a second jig 410 is provided with a plurality of restricting pins 411 protruding from the second reference plane D side. The restriction pin 411 is provided such that the protruding amount of the tip with respect to the second reference surface D can be adjusted. In the present embodiment, the protruding amount of the tip can be adjusted by using the restriction pin 411 as a male screw and screwing the restriction pin 411 into the second jig 410.

また、第2の治具410に保持されたインクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aとは反対側、本実施形態では、ヘッドケース230上に接着剤215を塗布する。   Further, the adhesive 215 is applied on the head case 230 on the side opposite to the liquid ejecting surface A of the ink jet recording head 2 held by the second jig 410.

次に、図8に示すように、第1の治具400に保持されたカートリッジケース210に、第2の治具410に保持されたインクジェット式記録ヘッド2を接着剤215を介して接着する。このとき、第2の治具410は、規制ピン411の先端が第1の治具400に当接することによって、第1の治具400の第1の基準面Cに対して、第2の治具410の第2の基準面Dは位置決めされる。これにより、第1の基準面Cに位置決めされたカートリッジケース210のヘッド基準面Bと、第2の基準面Dに位置決めされたインクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aとを位置決めした状態で、カートリッジケース210とインクジェット式記録ヘッド2とを接着することができる。なお、規制ピン411は、第1の治具400から突き出して、第2の治具410に当接するようにしても同様の効果が得られる。また、規制ピン411は複数存在するが、この規制ピン411の治具への当接位置が複数の規制ピン411間で平面上に揃っている必要がある。そして、規制ピン411が第1の治具400に形成されているのであれば、第1の基準面Bと複数の規制ピン411の上記当接位置が平行な関係になり、規制ピン411が第2の治具410に形成されているのであれば、第2の基準面Dと複数の規制ピン411の上記当接位置が平行な関係になる。   Next, as shown in FIG. 8, the ink jet recording head 2 held by the second jig 410 is bonded to the cartridge case 210 held by the first jig 400 via an adhesive 215. At this time, the second jig 410 has the second jig 410 with respect to the first reference plane C of the first jig 400 by the tip of the regulation pin 411 coming into contact with the first jig 400. The second reference plane D of the tool 410 is positioned. Thus, with the head reference surface B of the cartridge case 210 positioned on the first reference surface C and the liquid ejection surface A of the ink jet recording head 2 positioned on the second reference surface D being positioned, The cartridge case 210 and the ink jet recording head 2 can be bonded. The same effect can be obtained even if the regulation pin 411 protrudes from the first jig 400 and comes into contact with the second jig 410. Further, although there are a plurality of restriction pins 411, the contact positions of the restriction pins 411 with the jig need to be aligned on the plane between the plurality of restriction pins 411. If the restriction pin 411 is formed on the first jig 400, the contact positions of the first reference surface B and the plurality of restriction pins 411 are parallel, and the restriction pin 411 is If the second jig 410 is formed, the second reference surface D and the contact positions of the plurality of restricting pins 411 are parallel to each other.

すなわち、第1の治具400の第1の基準面Cと、第2の治具410の第2の基準面Dとを予め位置決めしておくことで、第1の基準面Cに当接するヘッド基準面Bと、第2の基準面Dに当接する液体噴射面Aとの位置決めを行うことができる。これにより、規制ピン411を調整するなどして、各ヘッド本体220や、ヘッドケース230の厚さにばらつきがある場合であっても、接着剤215によって、ヘッドケース230とカートリッジケース210との間に接着剤を保持することができるが、ヘッドケース230とカートリッジケース210との間に所定の間隔を開けることで、これらのばらつきをより吸収して、各液体噴射面Aとヘッド基準面Bとの位置決めを高精度に行うことができる。したがって、カートリッジケース210のヘッド基準面Bとインクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aとを平行にして、インクジェット式記録ヘッドユニット1がキャリッジ3に搭載された際に、記録媒体Sに対して液体噴射面Aが傾斜することなく平行にすることができ、印刷品質を向上することができる。特に、上述したインクジェット式記録装置Iのように、複数個のインクジェット式記録ヘッドユニット1を設けた場合には、上述した製造方法によって各インクジェット式記録ヘッドユニット1を製造すれば、各インクジェット式記録ヘッドユニット1のヘッド基準面Bと液体噴射面Aとの距離を均一に保つことができ、印刷品質をさらに向上することができる。   That is, the head that contacts the first reference surface C by positioning the first reference surface C of the first jig 400 and the second reference surface D of the second jig 410 in advance. Positioning of the reference surface B and the liquid ejection surface A that is in contact with the second reference surface D can be performed. As a result, even if the thickness of each head body 220 or head case 230 varies, for example, by adjusting the regulation pin 411, the adhesive 215 can be used between the head case 230 and the cartridge case 210. Although the adhesive can be held on the head case 230 and the cartridge case 210 by providing a predetermined gap, these variations are absorbed more and each liquid ejection surface A and head reference surface B Can be positioned with high accuracy. Therefore, when the ink jet recording head unit 1 is mounted on the carriage 3 with the head reference surface B of the cartridge case 210 and the liquid ejecting surface A of the ink jet recording head 2 parallel, the liquid is applied to the recording medium S. The ejection surface A can be made parallel without being inclined, and the printing quality can be improved. In particular, when a plurality of ink jet recording head units 1 are provided as in the ink jet recording apparatus I described above, each ink jet recording head unit 1 is manufactured by the above manufacturing method. The distance between the head reference surface B and the liquid ejection surface A of the head unit 1 can be kept uniform, and the print quality can be further improved.

なお、第2の治具410の規制ピン411は、突出量が調整可能に設けられているため、カートリッジケース210とインクジェット式記録ヘッド2とを接着する接着剤215の厚さを調整することができ、接着剤215がインクジェット式記録ヘッド2の圧電素子300等側に流れ出て圧電素子300の変位を阻害するのを防止することができると共に、ノズル開口21やインク供給系でのインクの流れが接着剤215によって阻害されるのを防止することができる。   Since the regulation pin 411 of the second jig 410 is provided so that the amount of protrusion can be adjusted, the thickness of the adhesive 215 that bonds the cartridge case 210 and the ink jet recording head 2 can be adjusted. It is possible to prevent the adhesive 215 from flowing out to the piezoelectric element 300 or the like side of the ink jet recording head 2 and inhibiting the displacement of the piezoelectric element 300, and the ink flow in the nozzle opening 21 or the ink supply system can be prevented. Inhibition by the adhesive 215 can be prevented.

ここで、本実施形態では、第2の治具410の第2の基準面Dに、複数のインクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aが固定された固定板250を当接させるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、図9に示すように、第2の治具410の第2の基準面Dに各インクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aを直接当接させるようにしてもよい。また、固定板250を省略して、直接複数のインクジェット式記録ヘッド2をカバーヘッド240に接合してもよい。このような場合であっても、各インクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aとカートリッジケース210のヘッド基準面Bとの位置決めを高精度に行うことができる。   Here, in the present embodiment, the fixed plate 250 on which the liquid ejection surfaces A of the plurality of ink jet recording heads 2 are fixed is brought into contact with the second reference surface D of the second jig 410. For example, as shown in FIG. 9, the liquid ejecting surface A of each ink jet recording head 2 is brought into direct contact with the second reference surface D of the second jig 410. Also good. Further, the plurality of ink jet recording heads 2 may be directly joined to the cover head 240 without the fixing plate 250. Even in such a case, the positioning of the liquid ejecting surface A of each ink jet recording head 2 and the head reference surface B of the cartridge case 210 can be performed with high accuracy.

(他の実施形態)
以上、本発明の実施形態1を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、本実施形態では、第1の治具400によるカートリッジケース210の保持方法及び第2の治具410によるインクジェット式記録ヘッド2の保持方法につては、特に言及していないが、これらの保持方法は特に限定されず、例えば、第1の治具400及び第2の治具410がそれぞれヘッド基準面B及び液体噴射面Aを吸着保持させるようにしてもよく、また、第1の治具400及び第2の治具410がカートリッジケース210及びインクジェット式記録ヘッド2をチャック等により機械的に保持するようにしてもよい。ここで、例えば、図10に示すように、インクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aとは反対側を押圧して、インクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aを第2の治具410の第2の基準面Dに所定の圧力で当接させる押圧ピン420を設けるようにしてもよい。このように、押圧ピン420によって各インクジェット式記録ヘッド2を第2の治具410側に押圧させることで、第2の治具410にインクジェット式記録ヘッド2を保持させることで、各インクジェット式記録ヘッド2にカートリッジケース210を接着した際に、各インクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aのそれぞれが傾いてしまうのを確実に防止することができる。特に、図9に示すように、第2の治具410が複数のインクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aを直接当接される場合に有効である。
(Other embodiments)
As mentioned above, although Embodiment 1 of this invention was demonstrated, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above. For example, in the first embodiment described above, in this embodiment, the method for holding the cartridge case 210 by the first jig 400 and the method for holding the ink jet recording head 2 by the second jig 410 are particularly referred to. Although these holding methods are not particularly limited, for example, the first jig 400 and the second jig 410 may hold the head reference surface B and the liquid ejection surface A by suction, respectively. Further, the first jig 400 and the second jig 410 may mechanically hold the cartridge case 210 and the ink jet recording head 2 by a chuck or the like. Here, for example, as shown in FIG. 10, the side opposite to the liquid ejecting surface A of the ink jet recording head 2 is pressed so that the liquid ejecting surface A of the ink jet recording head 2 is moved to the second jig 410. You may make it provide the press pin 420 made to contact | abut to the 2nd reference plane D with a predetermined pressure. As described above, the inkjet recording head 2 is pressed against the second jig 410 by the pressing pin 420, and the inkjet recording head 2 is held by the second jig 410. When the cartridge case 210 is bonded to the head 2, it is possible to reliably prevent the liquid ejection surfaces A of the respective ink jet recording heads 2 from being inclined. In particular, as shown in FIG. 9, it is effective when the second jig 410 is brought into direct contact with the liquid ejection surfaces A of the plurality of ink jet recording heads 2.

また、上述した実施形態1では、撓み振動型の圧電素子300を有するインクジェット式記録ヘッド2を例示したが、これに限定されず、例えば、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型のインクジェット式記録ヘッドや発熱素子等の発熱で発生するバブルによってインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド等、種々の構造のインクジェット式記録ヘッドを有するヘッドユニットに応用することができることは言うまでもない。   In the first embodiment described above, the ink jet recording head 2 having the flexural vibration type piezoelectric element 300 is exemplified. However, the present invention is not limited to this. For example, the piezoelectric material and the electrode forming material are alternately laminated to form the shaft. Application to head units having ink jet recording heads of various structures, such as longitudinal vibration type ink jet recording heads that expand and contract in the direction and ink jet recording heads that eject ink droplets by bubbles generated by heat generation from heating elements, etc. Needless to say, you can.

なお、液体噴射ヘッドとしてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを有するヘッドユニットを一例として説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッドを有する液体噴射ヘッドユニットの製造方法を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(電界放出ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。   Note that the head unit having an ink jet recording head that discharges ink as a liquid ejecting head has been described as an example, but the present invention is intended for a method of manufacturing a liquid ejecting head unit having a liquid ejecting head widely. Examples of the liquid ejecting head include a recording head used for an image recording apparatus such as a printer, a color material ejecting head used for manufacturing a color filter such as a liquid crystal display, an organic EL display, and an electrode formation such as an FED (field emission display). Electrode material ejecting heads used in manufacturing, bioorganic matter ejecting heads used in biochip production, and the like.

実施形態1に係るインクジェット式記録装置の概略図である。1 is a schematic diagram of an ink jet recording apparatus according to Embodiment 1. FIG. 実施形態1に係るヘッドユニットの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the head unit according to the first embodiment. 実施形態1に係るヘッドユニットの組立斜視図である。FIG. 3 is an assembled perspective view of the head unit according to the first embodiment. 実施形態1に係るヘッドユニットの要部断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part of the head unit according to the first embodiment. 実施形態1に係る記録ヘッドの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the recording head according to the first embodiment. 実施形態1に係る記録ヘッドの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the recording head according to the first embodiment. 実施形態1に係るヘッドユニットの製造方法を示す要部断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of the main part showing the method for manufacturing the head unit according to the first embodiment. 実施形態1に係るヘッドユニットの製造方法を示す要部断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of the main part showing the method for manufacturing the head unit according to the first embodiment. 実施形態1に係るヘッドユニットの他の製造方法を示す要部断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of a main part showing another method for manufacturing the head unit according to Embodiment 1. 他の実施形態に係るヘッドユニットの製造方法を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows the manufacturing method of the head unit which concerns on other embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

A 液体噴射面、 B ヘッド基準面、 C 第1の基準面、 D 第2の基準面、 I インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、 1 インクジェット式記録ヘッドユニット(液体噴射ヘッドユニット)、 2 インクジェット式記録ヘッド(液体噴射ヘッド)、 3 キャリッジ、 10 流路形成基板、 12 圧力発生室、 100 リザーバ、 210 カートリッジケース(保持部材)、 220 ヘッド本体、 230 ヘッドケース、 240 カバーヘッド、 250 固定板、 300 圧電素子、 400 第1の治具、 410 第2の治具、 420 押圧ピン   A liquid ejecting surface, B head reference surface, C first reference surface, D second reference surface, I ink jet recording apparatus (liquid ejecting apparatus), 1 ink jet recording head unit (liquid ejecting head unit), 2 ink jet Type recording head (liquid ejecting head), 3 carriage, 10 flow path forming substrate, 12 pressure generating chamber, 100 reservoir, 210 cartridge case (holding member), 220 head body, 230 head case, 240 cover head, 250 fixing plate, 300 piezoelectric element, 400 first jig, 410 second jig, 420 pressing pin

Claims (3)

ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド本体と該液体噴射ヘッド本体の液体噴射面とは反対側に接合されるヘッドケースとからなる複数個の液体噴射ヘッドと、これら複数個の液体噴射ヘッドの前記ヘッドケース側に接着剤を介して一体的に接合される保持部材とを具備し、前記保持部材には、当該保持部材を保持する固定部材に当接されて位置決めされるヘッド基準面が設けられた液体噴射ヘッドユニットの製造方法であって、
前記保持部材を、前記ヘッド基準面が当接されて位置決めされる第1の基準面を有する第1の治具に保持させると共に、前記液体噴射ヘッドを、前記液体噴射面が当接されて位置決めされると共に前記第1の基準面に対して相対的に調整可能に位置決めされた第2の基準面を有する第2の治具に保持させて、前記保持部材と前記液体噴射ヘッドとを接着剤を介して接着させることを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
A plurality of liquid ejecting heads each including a liquid ejecting head body that ejects liquid from a nozzle opening and a head case that is joined to the opposite side of the liquid ejecting surface of the liquid ejecting head body; A holding member that is integrally joined to the head case via an adhesive, and the holding member is provided with a head reference surface that is positioned in contact with a fixing member that holds the holding member. A method for manufacturing a liquid jet head unit, comprising:
The holding member is held by a first jig having a first reference surface that is positioned by contacting the head reference surface, and the liquid ejecting head is positioned by contacting the liquid ejecting surface. The holding member and the liquid ejecting head are held in a second jig having a second reference surface that is positioned so as to be adjustable relative to the first reference surface. A method of manufacturing a liquid jet head unit, wherein the liquid jet head unit is bonded via
前記複数のヘッド本体と前記保持部材とを接合する前に、前記複数のヘッド本体の前記液体噴射面を共通の固定板に接合すると共に、前記液体噴射ヘッドの前記液体噴射面を、前記固定板を介して前記第2の基準面に当接させて位置決めさせることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。   Before joining the plurality of head main bodies and the holding member, the liquid ejecting surfaces of the plurality of head main bodies are joined to a common fixing plate, and the liquid ejecting surfaces of the liquid ejecting heads are joined to the fixing plate. The method of manufacturing a liquid jet head unit according to claim 1, wherein the liquid jet head unit is positioned by being brought into contact with the second reference plane via 前記保持部材が液体貯留部内の液体を前記液体噴射ヘッド毎に供給するカートリッジケースであると共に、該カートリッジケースの側面にはフランジ部が設けられ、該フランジ部の前記液体噴射面と同一方向の面が前記ヘッド基準面となっていることを特徴とする請求項1又は2記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。   The holding member is a cartridge case for supplying the liquid in the liquid storage portion for each liquid ejecting head, and a flange portion is provided on a side surface of the cartridge case, and a surface of the flange portion in the same direction as the liquid ejecting surface. 3. The method of manufacturing a liquid jet head unit according to claim 1, wherein is a head reference surface.
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