JP2007098866A - Multi-head unit and liquid injection apparatus - Google Patents

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JP2007098866A
JP2007098866A JP2005294114A JP2005294114A JP2007098866A JP 2007098866 A JP2007098866 A JP 2007098866A JP 2005294114 A JP2005294114 A JP 2005294114A JP 2005294114 A JP2005294114 A JP 2005294114A JP 2007098866 A JP2007098866 A JP 2007098866A
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Yoshinao Miyata
佳直 宮田
Munehide Kanetani
宗秀 金谷
Hironari Owaki
寛成 大脇
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To enable elongation of a nozzle array, miniaturization of a head, and improvement of the maintainability. <P>SOLUTION: A plurality of head units 200A-200C equipped with liquid injection heads are prepared. The liquid injection heads have nozzle arrays 21A where nozzle openings 21 from which a liquid is injected are arranged side by side in one direction. At least two head units 200A and 200C are fixed to a holding member in a direction which intersects the one direction via fixing parts 214 set projected from head units 200A-200C bodies in the direction which intersects the one direction of the head units 200A-200C. The fixing parts 214 of the head units 200A and 200C fixed to the holding member and set near each other are shifted in the one direction. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、液体噴射ヘッドを具備するヘッドユニットが複数保持されたマルチヘッドユニット及び液体噴射装置に関する。   The present invention relates to a multi-head unit and a liquid ejecting apparatus in which a plurality of head units each including a liquid ejecting head are held.

インクジェット式プリンタやプロッタ等のインクジェット式記録装置は、インクカートリッジやインクタンク等のインク貯留部に貯留されたインクを、インク滴として吐出可能なインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録ヘッドユニット(以下、ヘッドユニットと言う)を有する。   An ink jet recording apparatus, such as an ink jet printer or a plotter, includes an ink jet recording head unit (hereinafter referred to as an ink jet recording head unit) that can eject ink stored in an ink storage section such as an ink cartridge or an ink tank as ink droplets. The head unit).

このようなヘッドユニットは、インクジェット式記録ヘッドと、インクジェット式記録ヘッドの液体供給口側に固定されたヘッドケースとを具備する。また、このようなヘッドユニットを所定位置に配置したものがある(例えば、特許文献1参照)。   Such a head unit includes an ink jet recording head and a head case fixed to the liquid supply port side of the ink jet recording head. In addition, there is one in which such a head unit is arranged at a predetermined position (for example, see Patent Document 1).

しかしながら、複数のヘッドユニットを配置してマルチヘッドユニットとする場合、互いが近傍に設けられるヘッドユニット間に隙間をなくすことで、ノズル列間を狭くしてヘッドを小型化することができると共に、マルチヘッドユニットが搭載されるキャリッジの移動量を少なくすることができ、高速印刷が可能になるものの、互いが近傍に設けられるヘッドユニット間に隙間がないと、ヘッドユニットのインクが供給される側に設けられたフィルター等の交換が煩雑になってしまうという問題がある。   However, when a plurality of head units are arranged to form a multi-head unit, by eliminating the gap between the head units provided in the vicinity of each other, the nozzle rows can be narrowed to reduce the size of the head, Although the amount of movement of the carriage on which the multi-head unit is mounted can be reduced and high-speed printing is possible, if there is no gap between the head units provided in the vicinity of each other, the head unit is supplied with ink. There is a problem that the replacement of the filter or the like provided in is complicated.

なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを具備するマルチヘッドユニットだけではなく、インク以外の液体を吐出する液体噴射ヘッドを具備するマルチヘッドユニットにおいても同様に存在する。   Such a problem exists not only in a multi-head unit including an ink jet recording head that discharges ink but also in a multi-head unit including a liquid ejecting head that discharges liquid other than ink.

特開2004−209964号公報(第8〜11頁、第6〜7図)JP 2004-209964 A (pages 8-11, FIGS. 6-7)

本発明はこのような事情に鑑み、ノズル列の長尺化することができると共に、ヘッドの小型化を図ることができ、且つメンテナンス性を向上したマルチヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することを課題とする。   In view of such circumstances, the present invention provides a multi-head unit and a liquid ejecting apparatus that can increase the length of a nozzle row, reduce the size of a head, and improve maintainability. Let it be an issue.

上記課題を解決する本発明の第1の態様は、液体が噴射されるノズル開口が一方向に並設されたノズル列を有する液体噴射ヘッドを具備するヘッドユニットを複数備え、前記ヘッドユニットの前記一方向に交差する方向にヘッドユニット本体から突出して設けられた固定部を介して少なくとも2つのヘッドユニットが前記一方向に交差する方向に保持部材に固定され、前記保持部材に固定される互いが近傍に設けられるヘッドユニットの固定部が、前記一方向にずれていることを特徴とするマルチヘッドユニットにある。
かかる第1の態様では、保持部材に固定部を介してヘッドユニットを固定することによって、各ヘッドユニットを保持部材から個別に取り外すことができ、各ヘッドユニットの部品の交換などのメンテナンス性を向上することができる。また、保持部材に固定部を介してヘッドユニットを固定する際に、固定部によってヘッドユニットを相対的に位置合わせすることができるため、位置合わせを容易に且つ高精度に行うことができる。さらに、ヘッドユニットの各固定部が互いに当接しないように配置されることで、小型化することができる。
A first aspect of the present invention that solves the above-described problem includes a plurality of head units each including a liquid ejecting head having a nozzle row in which nozzle openings from which liquid is ejected are arranged in one direction, and the head unit includes: At least two head units are fixed to the holding member in a direction crossing the one direction via a fixing portion provided so as to protrude from the head unit main body in a direction intersecting with the one direction, and each other fixed to the holding member is In the multi-head unit, the fixing portion of the head unit provided in the vicinity is displaced in the one direction.
In such a first aspect, by fixing the head unit to the holding member via the fixing portion, each head unit can be individually detached from the holding member, and maintenance performance such as replacement of parts of each head unit is improved. can do. Further, when the head unit is fixed to the holding member via the fixing portion, the head unit can be relatively aligned by the fixing portion, so that the alignment can be performed easily and with high accuracy. Furthermore, it can reduce in size by arrange | positioning so that each fixing | fixed part of a head unit may not contact | abut mutually.

本発明の第2の態様は、前記ヘッドユニットの前記固定部が互いが近傍に設けられるヘッドユニットの前記ヘッドユニット本体に当接していることを特徴とする第1の態様記載のマルチヘッドユニットにある。
かかる第2の態様では、各ヘッドユニットの相対的な位置合わせを高精度に行うことができる。
According to a second aspect of the present invention, in the multi-head unit according to the first aspect, the fixed portions of the head unit are in contact with the head unit main body of the head unit provided in the vicinity thereof. is there.
In the second aspect, the relative positioning of the head units can be performed with high accuracy.

本発明の第3の態様は、前記ヘッドユニットのノズル列と、これに互いが近傍に設けられるヘッドユニットのノズル列とが、前記一方向にずれており、且つ前記一方向に沿った領域に連続して存在していることを特徴とする第1又は2の態様に記載のマルチヘッドユニットにある。
かかる第3の態様では、非印刷領域をなくしてノズル列を長尺化することができる。
According to a third aspect of the present invention, the nozzle row of the head unit and the nozzle row of the head unit provided in the vicinity of each other are displaced in the one direction and in a region along the one direction. The multi-head unit according to the first or second aspect is characterized by being continuously present.
In the third aspect, the nozzle row can be lengthened by eliminating the non-printing area.

本発明の第4の態様は、1つのヘッドユニットの前記一方向側に互いが近傍に設けられるヘッドユニットが2つ存在することを特徴とする第1〜3の何れかの態様に記載のマルチヘッドユニットにある。
かかる第4の態様では、ノズル列をさらに長尺化することができる。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a multi-head according to any one of the first to third aspects, wherein there are two head units provided near each other on the one-direction side of one head unit. Located in the head unit.
In the fourth aspect, the nozzle row can be further elongated.

本発明の第5の態様は、前記固定部が、前記ヘッドユニットの前記一方向側両端部にあり、前記一方向側の一方の前記固定部が設けられた領域には、前記ノズル列が存在することを特徴とする第1〜4の何れかの態様に記載のマルチヘッドユニットにある。
かかる第5の態様では、互いが近傍に設けられるヘッドユニットの固定部同士が当接するのを確実に防止することができる。
According to a fifth aspect of the present invention, the fixed portion is provided at both ends of the one direction side of the head unit, and the nozzle row is present in a region where the one fixed portion on the one direction side is provided. The multihead unit according to any one of the first to fourth aspects is characterized in that:
In the fifth aspect, it is possible to reliably prevent the fixed portions of the head units provided in the vicinity from coming into contact with each other.

本発明の第6の態様は、第1〜5の何れかの態様に記載のマルチヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第6の態様では、印刷速度を向上することができる液体噴射装置を実現できる。
According to a sixth aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the multi-head unit according to any one of the first to fifth aspects.
In the sixth aspect, a liquid ejecting apparatus that can improve the printing speed can be realized.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドユニットの分解斜視図である。図示するように、インクジェット式記録ヘッドユニット200(以下、ヘッドユニット200と言う)を構成する保持部材であるカートリッジケース210は、インク供給手段であるインクカートリッジ(図示なし)がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部211を有する。例えば、本実施形態では、インクカートリッジは、ブラック及び3色のカラーインクが充填された別体で構成され、カートリッジケース210には、各色のインクカートリッジがそれぞれ装着される。また、カートリッジケース210には、一端が各カートリッジ装着部211に開口し、他端が後述するヘッドケース側に開口する複数のインク連通路(図示なし)が設けられている。さらに、カートリッジ装着部211のインク連通路の開口部分には、インクカートリッジのインク供給口に挿入されるインク供給針213が、インク内の気泡や異物を除去するためにインク連通路212に形成されたフィルタ(図示なし)を介して固定されている。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is an exploded perspective view of an ink jet recording head unit according to Embodiment 1 of the present invention. As shown in the drawing, a cartridge case 210 which is a holding member constituting the ink jet recording head unit 200 (hereinafter referred to as the head unit 200) is mounted with a cartridge on which an ink cartridge (not shown) which is an ink supply unit is mounted. Part 211. For example, in this embodiment, the ink cartridge is configured as a separate body filled with black and three color inks, and the ink cartridges of the respective colors are mounted in the cartridge case 210. The cartridge case 210 is provided with a plurality of ink communication paths (not shown) having one end opened to each cartridge mounting portion 211 and the other end opened to the head case side described later. Further, an ink supply needle 213 inserted into the ink supply port of the ink cartridge is formed in the ink communication path 212 at the opening portion of the ink communication path of the cartridge mounting portion 211 in order to remove bubbles and foreign matters in the ink. It is fixed via a filter (not shown).

また、カートリッジケース210には、詳しくは後述するインクジェット式記録ヘッド220のノズル開口21の並設方向である一方向(副走査方向)と交差する方向(主走査方向)に突出した固定部214が設けられている。本実施形態では、固定部214をカートリッジケース210の側面の一方向側の両端部にそれぞれ設けることで、合計4つ設けられている。   Further, the cartridge case 210 has a fixing portion 214 protruding in a direction (main scanning direction) intersecting one direction (sub-scanning direction) which is a direction in which nozzle openings 21 of the ink jet recording head 220 to be described later are arranged in detail. Is provided. In the present embodiment, a total of four fixing portions 214 are provided by providing the fixing portions 214 at both ends on one side of the side surface of the cartridge case 210, respectively.

この固定部214は、詳しくは後述するヘッドユニット200を保持する保持部材であるキャリッジに固定されるものである。具体的には、固定部214には、厚さ方向に貫通した貫通孔215が設けられており、ねじ部材などを固定部214の貫通孔215に挿通させてキャリッジに螺合させることで、ヘッドユニット200はキャリッジに固定される。   The fixing portion 214 is fixed to a carriage that is a holding member that holds the head unit 200 described later in detail. Specifically, the fixing portion 214 is provided with a through-hole 215 that penetrates in the thickness direction. A screw member or the like is inserted into the through-hole 215 of the fixing portion 214 and screwed into the carriage. The unit 200 is fixed to the carriage.

また、このようなカートリッジケース210の底面側には、ヘッドケース230が固定されている。このヘッドケース230のカートリッジケース210とは反対側の端面には、圧電素子300の駆動によってノズル開口21からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド220が固定されている。本実施形態では、インクカートリッジの各色のインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド220がインク色毎に対応して複数設けられ、ヘッドケース230も各インクジェット式記録ヘッド220に対応してそれぞれ独立して複数設けられている。   A head case 230 is fixed to the bottom surface side of the cartridge case 210. An ink jet recording head 220 that discharges ink droplets from the nozzle openings 21 by driving the piezoelectric element 300 is fixed to the end surface of the head case 230 opposite to the cartridge case 210. In the present embodiment, a plurality of ink jet recording heads 220 that eject ink of each color of the ink cartridge are provided corresponding to each ink color, and a plurality of head cases 230 are also provided independently corresponding to each ink jet recording head 220. Is provided.

ここで、カートリッジケース210に搭載される本実施形態のインクジェット式記録ヘッド220及びヘッドケース230について説明する。図2は、実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッド及びヘッドケースの要部の分解斜視図であり、図3は、実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッド及びヘッドケースの要部断面図である。図2及び図3に示すように、インクジェット式記録ヘッド220を構成する流路形成基板10は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる弾性膜50が形成されている。この流路形成基板10には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室12が、幅方向に並設された列が2列形成されている。また、各列の圧力発生室12の長手方向外側には、後述する保護基板30に設けられるリザーバ部31と連通し、各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバ100を構成する連通部13が形成されている。また、連通部13は、インク供給路14を介して各圧力発生室12の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。   Here, the ink jet recording head 220 and the head case 230 of this embodiment mounted on the cartridge case 210 will be described. FIG. 2 is an exploded perspective view of main parts of the ink jet recording head and head case according to the first embodiment, and FIG. 3 is a cross-sectional view of main parts of the ink jet recording head and head case according to the first embodiment. As shown in FIGS. 2 and 3, the flow path forming substrate 10 constituting the ink jet recording head 220 is made of a silicon single crystal substrate in this embodiment, and silicon dioxide previously formed on one surface thereof by thermal oxidation. An elastic film 50 made of is formed. This flow path forming substrate 10 is formed with two rows in which pressure generation chambers 12 partitioned by a plurality of partition walls are arranged in parallel in the width direction by anisotropic etching from the other side. Further, on the outer side in the longitudinal direction of the pressure generating chambers 12 in each row, a communicating portion constituting a reservoir 100 that communicates with a reservoir portion 31 provided on a protective substrate 30 to be described later and serves as a common ink chamber for each pressure generating chamber 12. 13 is formed. The communication portion 13 is in communication with one end portion in the longitudinal direction of each pressure generating chamber 12 via the ink supply path 14.

また、流路形成基板10の開口面側には、各圧力発生室12のインク供給路14とは反対側で連通するノズル開口21が穿設されたノズルプレート20が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。すなわち、本実施形態では、1つのインクジェット式記録ヘッドにノズル開口21の並設されたノズル列21Aが2列設けられている。なお、ノズルプレート20は、厚さが例えば、0.01〜1mmで、線膨張係数が300℃以下で、例えば2.5〜4.5[10−6/℃]であるガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼などからなる。 Further, a nozzle plate 20 having a nozzle opening 21 communicating with the side opposite to the ink supply path 14 of each pressure generating chamber 12 on the opening surface side of the flow path forming substrate 10 is an adhesive, a heat-welded film, or the like. It is fixed through. That is, in this embodiment, two nozzle rows 21A in which the nozzle openings 21 are arranged in parallel are provided in one ink jet recording head. The nozzle plate 20 has a thickness of, for example, 0.01 to 1 mm and a linear expansion coefficient of 300 ° C. or less, for example, 2.5 to 4.5 [10 −6 / ° C.]. It consists of a crystal substrate or stainless steel.

一方、流路形成基板10の開口面とは反対側には、弾性膜50上に、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜と、金属からなる下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜とを順次積層することで形成された圧電素子300が形成されている。このような圧電素子300が形成された流路形成基板10上には、リザーバ100の少なくとも一部を構成するリザーバ部31を有する保護基板30が接合されている。このリザーバ部31は、本実施形態では、保護基板30を厚さ方向に貫通して圧力発生室12の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板10の連通部13と連通されて各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバ100を構成している。   On the other hand, on the side opposite to the opening surface of the flow path forming substrate 10, an insulator film made of zirconium oxide, a lower electrode film made of metal, lead zirconate titanate (PZT), etc. are formed on the elastic film 50. A piezoelectric element 300 is formed by sequentially stacking a piezoelectric layer and a metal upper electrode film. On the flow path forming substrate 10 on which such a piezoelectric element 300 is formed, a protective substrate 30 having a reservoir portion 31 constituting at least a part of the reservoir 100 is bonded. In the present embodiment, the reservoir portion 31 is formed through the protective substrate 30 in the thickness direction and across the width direction of the pressure generation chamber 12. As described above, the communication portion 13 of the flow path forming substrate 10. The reservoir 100 is configured as a common ink chamber for the pressure generation chambers 12.

また、保護基板30の圧電素子300に対向する領域には、圧電素子300の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部32が設けられている。このような保護基板30としては、ガラス、セラミック、金属、プラスチック等を挙げることができるが、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。   A piezoelectric element holding portion 32 having a space that does not hinder the movement of the piezoelectric element 300 is provided in a region of the protective substrate 30 that faces the piezoelectric element 300. Examples of such a protective substrate 30 include glass, ceramic, metal, plastic, and the like, but it is preferable to use a material that is substantially the same as the coefficient of thermal expansion of the flow path forming substrate 10. It was formed using a silicon single crystal substrate made of the same material as the path forming substrate 10.

さらに、保護基板30上には、各圧電素子300を駆動するための駆動IC110が設けられている。この駆動IC110の各端子は、図示しないボンディングワイヤ等を介して各圧電素子300の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動IC110の各端子には、図1に示すような、フレキシブルプリントケーブル(FPC)等の外部配線111を介して外部と接続され、外部から外部配線111を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。   Furthermore, a drive IC 110 for driving each piezoelectric element 300 is provided on the protective substrate 30. Each terminal of the drive IC 110 is connected to a lead wiring drawn from the individual electrode of each piezoelectric element 300 via a bonding wire or the like (not shown). Each terminal of the driving IC 110 is connected to the outside via an external wiring 111 such as a flexible printed cable (FPC) as shown in FIG. 1, and various signals such as a print signal from the outside via the external wiring 111. To receive.

また、このような保護基板30上には、コンプライアンス基板40が接合されている。コンプライアンス基板40のリザーバ100に対向する領域には、リザーバ100にインクを供給するためのインク導入口44が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板40のリザーバ100に対向する領域のインク導入口44以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部43となっており、リザーバ100は、可撓部43により封止されている。この可撓部43により、リザーバ100内にコンプライアンスを与えている。   In addition, the compliance substrate 40 is bonded onto the protective substrate 30. An ink inlet 44 for supplying ink to the reservoir 100 is formed in a region facing the reservoir 100 of the compliance substrate 40 by penetrating in the thickness direction. In addition, the region of the compliance substrate 40 other than the ink introduction port 44 in the region facing the reservoir 100 is a flexible portion 43 formed thin in the thickness direction, and the reservoir 100 is sealed by the flexible portion 43. Has been. Compliance is given to the reservoir 100 by the flexible portion 43.

このように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド220は、ノズルプレート20、流路形成基板10、保護基板30及びコンプライアンス基板40の4つの基板で構成されている。そして、このようなインクジェット式記録ヘッド220のコンプライアンス基板40上には、インク導入口44に連通すると共にカートリッジケース210のインク連通路212に連通して、カートリッジケース210からのインクをインク導入口44に供給するインク供給連通路231が設けられたヘッドケース230が設けられている。このヘッドケース230には、可撓部43に対向する領域に凹部232が形成され、可撓部43の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース230には、保護基板30上に設けられた駆動IC110に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動IC保持部233が設けられており、外部配線111は、駆動IC保持部233を挿通して駆動IC110と接続されている。   As described above, the ink jet recording head 220 according to the present embodiment includes the four substrates of the nozzle plate 20, the flow path forming substrate 10, the protective substrate 30, and the compliance substrate 40. On the compliance substrate 40 of the ink jet recording head 220, the ink is introduced into the ink introduction port 44 and is also communicated with the ink communication path 212 of the cartridge case 210. A head case 230 is provided in which an ink supply communication path 231 is provided. The head case 230 is formed with a recess 232 in a region facing the flexible portion 43 so that the flexible portion 43 is appropriately deformed. The head case 230 is provided with a drive IC holding part 233 penetrating in the thickness direction in a region facing the drive IC 110 provided on the protective substrate 30, and the external wiring 111 is connected to the drive IC holding part 233. Is connected to the drive IC 110.

このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド220は、インクカートリッジからのインクをインク供給連通路231を介してインク導入口44から取り込み、リザーバ100からノズル開口21に至るまで内部をインクで満たした後、駆動IC110からの記録信号に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの圧電素子300に電圧を印加し、弾性膜50及び圧電素子300をたわみ変形させることにより、各圧力発生室12内の圧力が高まりノズル開口21からインク滴が吐出する。   The ink jet recording head 220 of this embodiment takes in ink from the ink cartridge from the ink inlet 44 via the ink supply communication path 231 and fills the interior from the reservoir 100 to the nozzle opening 21 with ink. Thereafter, in accordance with a recording signal from the drive IC 110, a voltage is applied to each piezoelectric element 300 corresponding to the pressure generation chamber 12 to bend and deform the elastic film 50 and the piezoelectric element 300, whereby the pressure in each pressure generation chamber 12 is changed. And the ink droplets are ejected from the nozzle openings 21.

そして、カートリッジケース210には、図1に示すように、インクジェット式記録ヘッド220がノズル開口21の並設方向とは交差する一方向に複数、本実施形態では4つ並設されて固定されている。すなわち、一つのヘッドユニット200には、4つのインクジェット式記録ヘッド220が保持され、ノズル列21Aが8列設けられている。   As shown in FIG. 1, a plurality of ink jet recording heads 220 are arranged in the cartridge case 210 in one direction intersecting the direction in which the nozzle openings 21 are arranged, and four in this embodiment are fixed. Yes. That is, in one head unit 200, four ink jet recording heads 220 are held, and eight nozzle rows 21A are provided.

また、カートリッジケース210にヘッドケース230を介して保持された4つのインクジェット式記録ヘッド220は、図1に示すように、箱形状を有するカバーヘッド240によって覆われている。   Further, the four ink jet recording heads 220 held by the cartridge case 210 via the head case 230 are covered with a cover head 240 having a box shape as shown in FIG.

カバーヘッド240は、ノズル開口21を露出する露出開口部241と、露出開口部241を画成する接合部242とを具備する。接合部242は、本実施形態では、複数のインクジェット式記録ヘッド220に亘ってインク滴吐出面の外周に沿って設けられた枠部243と、互いが近傍に設けられるインクジェット式記録ヘッド220の間に延設されて露出開口部241を分割する梁部244とで構成されている。   The cover head 240 includes an exposed opening 241 that exposes the nozzle opening 21 and a joint 242 that defines the exposed opening 241. In the present embodiment, the joint portion 242 is between the frame portion 243 provided along the outer periphery of the ink droplet discharge surface across the plurality of ink jet recording heads 220 and the ink jet recording head 220 provided in the vicinity thereof. And a beam portion 244 that divides the exposed opening 241.

また、カバーヘッド240には、インクジェット式記録ヘッド220のインク滴吐出面の側面側に、インク滴吐出面の外周縁部に亘って屈曲するように延設された側壁部245が設けられている。   Further, the cover head 240 is provided with a side wall portion 245 that extends so as to bend over the outer peripheral edge portion of the ink droplet ejection surface on the side surface side of the ink droplet ejection surface of the ink jet recording head 220. .

このようなカバーヘッド240としては、例えば、ステンレス鋼などの金属材料が挙げられ、金属板をプレス加工により形成してもよく、成形により形成するようにしてもよい。なお、カバーヘッド240の接合部242を、インクジェット式記録ヘッド220のインク滴吐出面に接着剤を介して接着するようにしてもよく、接着せずに当接させるだけでもよい。   As such a cover head 240, metal materials, such as stainless steel, are mentioned, for example, A metal plate may be formed by press work and may be formed by shaping | molding. It should be noted that the joint portion 242 of the cover head 240 may be adhered to the ink droplet ejection surface of the ink jet recording head 220 via an adhesive, or may be merely abutted without being adhered.

そして、複数のインクジェット式記録ヘッド220及びヘッドケース230と、カバーヘッド240と、カートリッジケース210とで構成されたヘッドユニット200は、固定部を介して後述する保持部材であるキャリッジに複数保持され、マルチヘッドユニットを構成している。   A plurality of head units 200 including a plurality of ink jet recording heads 220 and head cases 230, a cover head 240, and a cartridge case 210 are held by a carriage, which is a holding member, which will be described later, via a fixing portion. A multi-head unit is configured.

ここで、マルチヘッドユニットを構成する複数のヘッドユニット200A〜200Cの配置について図4を参照して説明する。なお、図4は、実施形態1に係るヘッドユニットの配置を示す平面図である。   Here, the arrangement of the plurality of head units 200A to 200C constituting the multi-head unit will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a plan view showing the arrangement of the head unit according to the first embodiment.

図4に示すように、マルチヘッドユニット1を構成するヘッドユニット200A及びヘッドユニット200Bは、ノズル開口21の並設方向である一方向(副走査方向)に若干の隙間を有した状態で設けられている。また、ヘッドユニット200A、200Bの一方向とは交差する方向(主走査方向)に、ヘッドユニット200Cが設けられている。このヘッドユニット200A及び200Bとヘッドユニット200Cとは、互いに固定部214同士が当接しないように、ヘッドユニット200Cをヘッドユニット200Aに対して一方向にずらした位置に配置されている。すなわち、一方のヘッドユニット200A及び200Bの固定部214は、ヘッドユニット200Cの側面にも当接せず、ヘッドユニット200Cの固定部214は、ヘッドユニット200A及び200Bの側面にも当接しないようになっている。このように、ヘッドユニット200A〜200Cに固定部214を設けることによって、各ヘッドユニット200A〜200Cを保持部材であるキャリッジから個別に取り外すことができ、各ヘッドユニット200A〜200Cのインク供給側に設けられたフィルター等の交換を容易に行うことができ、メンテナンス性を向上することができる。また、ヘッドユニット200A〜200Cを固定部214を介してキャリッジに固定する際に、固定部214によってヘッドユニット200A〜200Cを相対的に位置合わせすることができるため、位置合わせを容易に行うことができる。   As shown in FIG. 4, the head unit 200 </ b> A and the head unit 200 </ b> B constituting the multi-head unit 1 are provided with a slight gap in one direction (sub-scanning direction) that is the direction in which the nozzle openings 21 are arranged side by side. ing. In addition, the head unit 200C is provided in a direction (main scanning direction) intersecting with one direction of the head units 200A and 200B. The head units 200A and 200B and the head unit 200C are arranged at positions where the head unit 200C is shifted in one direction with respect to the head unit 200A so that the fixing portions 214 do not contact each other. That is, the fixing portion 214 of one head unit 200A and 200B does not contact the side surface of the head unit 200C, and the fixing portion 214 of the head unit 200C does not contact the side surface of the head units 200A and 200B. It has become. As described above, by providing the fixing unit 214 in the head units 200A to 200C, the head units 200A to 200C can be individually detached from the carriage as a holding member, and are provided on the ink supply side of the head units 200A to 200C. Therefore, it is possible to easily replace the filter and the like, and it is possible to improve maintainability. Further, when the head units 200A to 200C are fixed to the carriage via the fixing portion 214, the head units 200A to 200C can be relatively aligned by the fixing portion 214, so that the alignment can be easily performed. it can.

さらに、ヘッドユニット200A〜200Cの各固定部214が互いに当接しないように配置されることで、主走査方向を小型化することができ、キャリッジの移動量を減少させて印刷速度を向上することができる。   Further, by disposing the fixing portions 214 of the head units 200A to 200C so as not to contact each other, the main scanning direction can be reduced, and the printing speed can be improved by reducing the movement amount of the carriage. Can do.

なお、本実施形態では、ヘッドユニット200Aとヘッドユニット200Bとのノズル列21Aの間に、ヘッドユニット200Cのノズル列21Aが配置され、一方向に沿って各ノズル列21Aが連続するようにした。すなわち、このようにヘッドユニット200A〜200Cを配置することで、固定部214がヘッドユニット200A〜200Cの一方向側両端部に設けられているため、ヘッドユニット200A及び200Bが互いが近傍に設けられる側の一方の固定部214が設けられた領域には、ヘッドユニット200Cのノズル列21Aが存在する。逆にヘッドユニット200Cの各固定部214が設けられた領域には、ヘッドユニット200Aのノズル列21A及びヘッドユニット200Bのノズル列21Aが存在する。   In the present embodiment, the nozzle row 21A of the head unit 200C is arranged between the nozzle rows 21A of the head unit 200A and the head unit 200B, and each nozzle row 21A is continuous along one direction. That is, by arranging the head units 200A to 200C in this way, the fixing portions 214 are provided at both ends of the head units 200A to 200C in one direction, so that the head units 200A and 200B are provided in the vicinity of each other. The nozzle row 21A of the head unit 200C exists in the area where the one fixing portion 214 on the side is provided. On the contrary, the nozzle row 21A of the head unit 200A and the nozzle row 21A of the head unit 200B exist in the area where the fixing portions 214 of the head unit 200C are provided.

このように、各ヘッドユニット200A〜200Cの一方向に沿ってノズル列21Aを連続させることで、ノズル列21Aを長尺化することができ、印刷速度を向上することができる。   In this way, by making the nozzle row 21A continuous along one direction of each of the head units 200A to 200C, the nozzle row 21A can be lengthened, and the printing speed can be improved.

このようなマルチヘッドユニットは、インクジェット式記録装置に搭載される。図5は、実施形態1に係るインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図5に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有するマルチヘッドユニット1は、インク供給手段を構成するカートリッジ2A及び2Bが着脱可能に設けられ、このマルチヘッドユニット1を搭載した保持部材であるキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。このマルチヘッドユニット1の各インクジェット式記録ヘッドは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。   Such a multi-head unit is mounted on an ink jet recording apparatus. FIG. 5 is a schematic diagram illustrating an example of an ink jet recording apparatus according to the first embodiment. As shown in FIG. 5, a multihead unit 1 having an ink jet recording head is provided with cartridges 2 </ b> A and 2 </ b> B constituting an ink supply means in a detachable manner, and a carriage 3 as a holding member on which the multihead unit 1 is mounted. Is provided on a carriage shaft 5 attached to the apparatus body 4 so as to be movable in the axial direction. Each inkjet recording head of the multi-head unit 1 ejects, for example, a black ink composition and a color ink composition, respectively.

そして、駆動モータ6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、マルチヘッドユニット1を搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される(主走査方向)。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8上を搬送されるようになっている(副走査方向)。   Then, the driving force of the driving motor 6 is transmitted to the carriage 3 via a plurality of gears and a timing belt 7 (not shown), so that the carriage 3 on which the multi-head unit 1 is mounted is moved along the carriage shaft 5 ( Main scanning direction). On the other hand, the apparatus body 4 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 5, and a recording sheet S, which is a recording medium such as paper fed by a paper feed roller (not shown), is conveyed on the platen 8. (Sub-scanning direction).

(他の実施形態)
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、各ヘッドユニット200の両側面の一方向側の端部に固定部214を合計4つ設けるようにしたが、固定部214の数は、特にこれに限定されず、例えば、図6に示すように、一方の側面の両端部に固定部214を2つ設け、他方の側面の一端部に固定部214を1つだけ設けて、1つのヘッドユニット200に固定部214を合計3つ設けるようにしてもよい。なお、図6は、他の実施形態に係るヘッドユニットの配置を示す平面図である。
(Other embodiments)
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above. For example, in the first embodiment described above, a total of four fixing portions 214 are provided at the end portions on one side of both side surfaces of each head unit 200, but the number of fixing portions 214 is not particularly limited thereto. For example, as shown in FIG. 6, two fixing portions 214 are provided at both end portions of one side surface, and only one fixing portion 214 is provided at one end portion of the other side surface. A total of three 214 may be provided. FIG. 6 is a plan view showing the arrangement of head units according to another embodiment.

また、上述した実施形態1では、各ヘッドユニット200にノズル開口21の並設方向である一方向と交差する方向の両側に、一方側の両端部に固定部214を設けるようにしたが、固定部214は、ヘッドユニット200の固定部214に当接せず、且つ互いが近傍に設けられるヘッドユニット200の側面に当接しなければ、その位置は特に限定されるものではない。   In the first embodiment described above, each head unit 200 is provided with the fixing portions 214 at both ends in one direction on both sides in the direction intersecting with one direction which is the direction in which the nozzle openings 21 are arranged side by side. The position of the portion 214 is not particularly limited as long as it does not contact the fixed portion 214 of the head unit 200 and does not contact the side surface of the head unit 200 provided in the vicinity thereof.

さらに、上述した実施形態1では、ヘッドユニット200のカートリッジケース210に固定部214を設けるようにしたが、固定部214は、ヘッドユニット200を構成する他の部材に設けるようにしてもよい。例えば、カートリッジケース210とヘッドケース230との間に基板プレートが設けられている場合には、この基板プレートに固定部214を設けるようにしてもよい。   Furthermore, in the first embodiment described above, the fixing portion 214 is provided in the cartridge case 210 of the head unit 200. However, the fixing portion 214 may be provided in another member constituting the head unit 200. For example, when a substrate plate is provided between the cartridge case 210 and the head case 230, the fixing portion 214 may be provided on the substrate plate.

また、上述した実施形態1では、マルチヘッドユニット1として、ヘッドユニット200A〜200Cを3つ設けるようにしたが、ヘッドユニット200の数は特に限定されるものではない。また、各ヘッドユニット200にインクジェット式記録ヘッド220を4つ搭載するようにしたが、各ヘッドユニット200に搭載するインクジェット式記録ヘッド220の数は特にこれに限定されない。さらに、上述した実施形態1では、マルチヘッドユニット1を構成する複数のヘッドユニット200を同じ大きさのものとしたが、特にこれに限定されるものではない。このような例を図7に示す。なお、図7は、他の実施形態に係るヘッドユニットの配置を示す平面図である。図7に示すように、マルチヘッドユニット1は、長尺のヘッドユニット200Dがノズル開口21の並設方向である一方向に2つ並設され、一方向と交差する方向にヘッドユニット200Dよりも短尺のヘッドユニット200Eが並設されている。   In the first embodiment described above, three head units 200A to 200C are provided as the multi-head unit 1, but the number of head units 200 is not particularly limited. Further, four ink jet recording heads 220 are mounted on each head unit 200, but the number of ink jet recording heads 220 mounted on each head unit 200 is not particularly limited to this. Furthermore, in Embodiment 1 mentioned above, although the several head unit 200 which comprises the multi-head unit 1 was made into the thing of the same magnitude | size, it is not limited to this in particular. Such an example is shown in FIG. FIG. 7 is a plan view showing the arrangement of head units according to another embodiment. As shown in FIG. 7, in the multi-head unit 1, two long head units 200D are arranged side by side in one direction that is the direction in which the nozzle openings 21 are arranged side by side, and in a direction intersecting with one direction, the head unit 200D A short head unit 200E is provided in parallel.

また、上述した実施形態1では、撓み振動型のインクジェット式記録ヘッド220を例示したが、これに限定されず、例えば、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型のインクジェット式記録ヘッドや発熱素子等の発熱で発生するバブルによってインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド等、種々の構造のインクジェット式記録ヘッドを有するヘッドユニットに応用することができることは言うまでもない。   Further, in the first embodiment described above, the flexural vibration type ink jet recording head 220 is exemplified, but the present invention is not limited to this. For example, the longitudinal direction in which piezoelectric materials and electrode forming materials are alternately stacked and expanded and contracted in the axial direction is used. Needless to say, the present invention can be applied to a head unit having an ink jet recording head having various structures, such as an ink jet recording head that ejects ink droplets by bubbles generated by heat generation of a vibration type ink jet recording head or a heating element. .

なお、液体噴射ヘッドとしてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを有するマルチヘッドユニット及びインクジェット式記録装置を一例として説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッドを有するマルチヘッドユニット全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(面発光ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。   The multi-head unit and the ink-jet recording apparatus having an ink jet recording head that discharges ink as the liquid ejecting head have been described as examples. However, the present invention is intended for all multi-head units having a liquid ejecting head. It is. Examples of the liquid ejecting head include a recording head used in an image recording apparatus such as a printer, a color material ejecting head used for manufacturing a color filter such as a liquid crystal display, an organic EL display, and an electrode formation such as an FED (surface emitting display). Electrode material ejecting heads used in manufacturing, bioorganic matter ejecting heads used in biochip production, and the like.

実施形態1に係るヘッドユニットの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the head unit according to the first embodiment. 実施形態1に係るヘッドユニットの要部の分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of a main part of the head unit according to the first embodiment. 実施形態1に係るヘッドユニットの要部断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part of the head unit according to the first embodiment. 実施形態1に係るヘッドユニットの配置を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing the arrangement of head units according to the first embodiment. 実施形態1に係るインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。1 is a schematic diagram illustrating an example of an ink jet recording apparatus according to Embodiment 1. FIG. 他の実施形態に係るヘッドユニットの配置を示す平面図である。It is a top view which shows arrangement | positioning of the head unit which concerns on other embodiment. 他の実施形態に係るヘッドユニットの配置を示す平面図である。It is a top view which shows arrangement | positioning of the head unit which concerns on other embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1 マルチヘッドユニット、 3 キャリッジ、 10 流路形成基板、 12 圧力発生室、 100 リザーバ、 200、200A〜200E ヘッドユニット、 210 カートリッジケース、 214 固定部、 215 貫通孔、 220 インクジェット式記録ヘッド、 230 ヘッドケース、 234 貫通孔、 235 位置決め孔、 240 カバーヘッド、 241 露出開口部、 242 接合部、 245 側壁部、 300 圧電素子   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Multi head unit, 3 Carriage, 10 Flow path formation board | substrate, 12 Pressure generation chamber, 100 Reservoir, 200, 200A-200E Head unit, 210 Cartridge case, 214 Fixing part, 215 Through-hole, 220 Inkjet recording head, 230 head Case, 234 Through-hole, 235 Positioning hole, 240 Cover head, 241 Exposed opening, 242 Joint, 245 Side wall, 300 Piezoelectric element

Claims (6)

液体が噴射されるノズル開口が一方向に並設されたノズル列を有する液体噴射ヘッドを具備するヘッドユニットを複数備え、前記ヘッドユニットの前記一方向に交差する方向にヘッドユニット本体から突出して設けられた固定部を介して少なくとも2つのヘッドユニットが前記一方向に交差する方向に保持部材に固定され、前記保持部材に固定される互いが近傍に設けられるヘッドユニットの固定部が、前記一方向にずれていることを特徴とするマルチヘッドユニット。 A plurality of head units each including a liquid ejecting head having nozzle rows in which nozzle openings for ejecting liquid are arranged in parallel in one direction are provided so as to protrude from the head unit main body in a direction intersecting the one direction of the head unit. At least two head units are fixed to the holding member in a direction intersecting the one direction via the fixed portion, and the fixing unit of the head unit provided in the vicinity of each other is fixed to the holding member. Multi-head unit characterized by being shifted to 前記ヘッドユニットの前記固定部が互いが近傍に設けられるヘッドユニットの前記ヘッドユニット本体に当接していないことを特徴とする請求項1記載のマルチヘッドユニット。 2. The multi-head unit according to claim 1, wherein the fixing portions of the head unit are not in contact with the head unit main body of the head unit provided in the vicinity thereof. 3. 前記ヘッドユニットのノズル列と、これに互いが近傍に設けられるヘッドユニットのノズル列とが、前記一方向にずれており、且つ前記一方向に沿った領域に連続して存在していることを特徴とする請求項1又は2に記載のマルチヘッドユニット。 The nozzle row of the head unit and the nozzle row of the head unit provided near each other are displaced in the one direction and continuously exist in a region along the one direction. The multi-head unit according to claim 1 or 2, characterized in that: 1つのヘッドユニットの前記一方向側に互いが近傍に設けられるヘッドユニットが2つ存在することを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のマルチヘッドユニット。 The multi-head unit according to claim 1, wherein there are two head units provided near each other on the one-direction side of one head unit. 前記固定部が、前記ヘッドユニットの前記一方向側両端部にあり、前記一方向側の一方の前記固定部が設けられた領域には、前記ノズル列が存在することを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のマルチヘッドユニット。 2. The fixing unit is provided at both ends of the head unit on the one-direction side, and the nozzle row is present in a region where the one fixing unit on the one-direction side is provided. The multi-head unit according to any one of -4. 請求項1〜5の何れかに記載のマルチヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。 A liquid ejecting apparatus comprising the multi-head unit according to claim 1.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010264747A (en) * 2009-01-30 2010-11-25 Fujifilm Corp Apparatus for printhead mounting
EP2857203A1 (en) 2013-09-27 2015-04-08 Seiko Epson Corporation Recording apparatus and recording method
EP2857203B1 (en) * 2013-09-27 2018-10-10 Seiko Epson Corporation Recording apparatus and recording method
EP3045317A1 (en) 2015-01-14 2016-07-20 Seiko Epson Corporation Recording apparatus and recording method
EP3045316A1 (en) 2015-01-14 2016-07-20 Seiko Epson Corporation Recording apparatus and recording method
US10807393B2 (en) 2018-01-18 2020-10-20 Seiko Epson Corporation Printing apparatus
US11267268B2 (en) 2018-01-18 2022-03-08 Seiko Epson Corporation Printing apparatus

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