JP2008209183A - Cable-like piezoelectric element - Google Patents

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Taku Hashida
卓 橋田
Yu Fukuda
祐 福田
Yuko Fujii
優子 藤井
Hiroyuki Ogino
弘之 荻野
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem of a conventional cable-like piezoelectric element wherein, when it is used as a contact detector for generating voltage by contact of a person or an object to it, a part that is not used for the detection of the contact of the person or the object picks up vibration, or the like, generates an output, and causes misdetections. <P>SOLUTION: This cable-like piezoelectric element comprises an internal electrode 4, a flexible pressure-sensitive object 1, an external electrode 2, and a protective layer 3, and an insulator layer 5 is formed between the flexible pressure sensitive object 1 and external electrode 2 regarding a part of a region, and thus a part having the insulator layer becomes a dead band. By using this part of the dead band as a non-detection section, the sensitivity to the noise such as vibration is reduced, and the incorrect detection can be suppressed. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は有機高分子中に圧電セラミックス粉末を配合してなる可撓性感圧体を用いることで可撓性有し、接触検出に用いられるケーブル状圧電素子に関するものである。   The present invention relates to a cable-like piezoelectric element that has flexibility by using a flexible pressure-sensitive body formed by blending piezoelectric ceramic powder in an organic polymer and is used for contact detection.

従来、この種の可撓性感圧体は、チタンカップリング剤と、圧電セラミックス粉末と、塩素化ポリエチレンまたはクロロスルホン化ポリエチレンの少なくとも一方とを含んだ材料を混合、混練して構成されるものがある(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, this type of flexible pressure-sensitive body is constituted by mixing and kneading a material containing a titanium coupling agent, piezoelectric ceramic powder, and at least one of chlorinated polyethylene or chlorosulfonated polyethylene. Yes (see, for example, Patent Document 1).

この可撓性感圧体は上記材料をニーダーやロールなどの加工機械を用い、均一に分散混合及び混練して得られるものであり、塩素化ポリエチレンなどの熱可塑性エラストマーを含んでいるため可撓性を有し、シート状やケーブル状に加工されて圧電素子として用いられている。   This flexible pressure-sensitive body is obtained by uniformly dispersing, mixing and kneading the above materials using a processing machine such as a kneader or a roll, and is flexible because it contains a thermoplastic elastomer such as chlorinated polyethylene. It is processed as a sheet or cable and used as a piezoelectric element.

シート状の圧電素子は、先ずカップリング剤と圧電体粉末と塩素化ポリエチレンをロールで混合、混練した可撓性感圧体をホットプレスでシート状に成型し、このシートの両面に銀ペーストを塗布、印刷処理もしくはゴムにカーボンを分散させた導電シートを融着させることにより電極が形成され、その後、圧電性を発現させるために数十kVの直流電圧を両電極間に印加しポーリング処理を行うことによって得ることができる。この電極面の一部あるいは全面に圧力が印加されると、その部分の可撓性感圧体が歪み、その結果両電極間に電圧が誘起され、この誘起電圧を利用して接触の有無を検出することができるので接触検出器として応用されている。
特開平11−201835号公報
A sheet-shaped piezoelectric element is prepared by first forming a flexible pressure-sensitive body, in which a coupling agent, piezoelectric powder, and chlorinated polyethylene are mixed and kneaded with a roll into a sheet shape by hot pressing, and then applying a silver paste on both sides of the sheet. An electrode is formed by fusing a conductive sheet in which carbon is dispersed in a printing process or rubber, and then a poling process is performed by applying a DC voltage of several tens of kV between both electrodes in order to develop piezoelectricity. Can be obtained. When pressure is applied to part or all of this electrode surface, the flexible pressure-sensitive body in that part is distorted, resulting in a voltage being induced between both electrodes, and the presence or absence of contact is detected using this induced voltage. It can be used as a contact detector.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-201835

しかしながら、前記従来の圧電素子を自動車のスライドドア等の挟み込みや、防犯のために家屋等への侵入を検出する接触検出器として用いる場合、接触以外の振動も検知することがある。特に、直接、回路への接続のために配設された圧電素子部が、侵入や挟み込みとは関係のない配設部からの振動を検知することがある。このため接触検出器として用いる場合、このような誤検知を避けるために、配設方法や、検知や制御のための回路、アルゴリズムが複雑にならざるを得ないという課題があった。   However, when the conventional piezoelectric element is used as a contact detector for detecting an intrusion into a house or the like for pinching of a slide door of an automobile or for crime prevention, vibration other than contact may be detected. In particular, the piezoelectric element portion disposed for direct connection to the circuit may detect vibration from the disposed portion that is not related to intrusion or pinching. For this reason, when using as a contact detector, in order to avoid such a false detection, there existed a subject that the arrangement | positioning method, the circuit for detection and control, and an algorithm had to be complicated.

本発明は、前記従来の課題を解決するもので、直接に外部からの接触を受けず配設のみに用いられる圧電素子部での振動検出による誤検知を抑制し、複雑な設置方法や、複雑な回路を必要としないケーブル状圧電素子を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-described conventional problems, suppresses false detection due to vibration detection in a piezoelectric element portion that is used only for arrangement without receiving direct contact from the outside, and has a complicated installation method or a complicated An object of the present invention is to provide a cable-like piezoelectric element that does not require a simple circuit.

前記従来の課題を解決するために、本発明のケーブル状圧電素子は、内部電極に周設された可撓性感圧体と、前記可撓性感圧体に周設された外部電極とを含んで構成され、前記可撓性感圧体と前記外部電極との間の一部に絶縁体層を形成した不感帯部を有することにより構成される。   In order to solve the above-described conventional problems, a cable-shaped piezoelectric element of the present invention includes a flexible pressure-sensitive body provided around an internal electrode and an external electrode provided around the flexible pressure-sensitive body. It is comprised by having the dead zone part which formed the insulator layer in a part between the said flexible pressure sensitive body and the said external electrode.

また、本発明のケーブル状圧電素子を用いた接触検出器は、上記圧電素子の不感帯部を、接触を検知しない非検出部に使用することで構成される。   Moreover, the contact detector using the cable-shaped piezoelectric element of the present invention is configured by using the dead zone portion of the piezoelectric element as a non-detection portion that does not detect contact.

これによって、ケーブル状圧電素子の、挟み込みや、侵入による接触が生じない部分に
おいて、外部からの振動ノイズに対する感度を抑制される。
As a result, the sensitivity of the cable-like piezoelectric element to vibration noise from the outside is suppressed at a portion where the pinch or contact due to intrusion does not occur.

本発明のケーブル状圧電素子と、その使用方法により、外部からの振動ノイズに対する感度を抑制して、振動による誤検知を抑制し、優れた接触検知に関する信頼性を実現することができる。   With the cable-like piezoelectric element of the present invention and its method of use, sensitivity to external vibration noise can be suppressed, false detection due to vibration can be suppressed, and excellent contact detection reliability can be realized.

第1の発明のケーブル状圧電素子は、内部電極に周設された可撓性感圧体と、前記可撓性感圧体に周設された外部電極とを含んで構成され、前記可撓性感圧体と前記外部電極との間の一部に絶縁体層を形成してなるものである。そして、一部の領域に絶縁体層が形成されることにより、その部分が不感帯となる。このことにより、振動等のノイズに対する感度が低下し、誤検知の発生を抑制することが可能になる。   A cable-shaped piezoelectric element according to a first aspect of the present invention includes a flexible pressure-sensitive body that is provided around an internal electrode, and an external electrode that is provided around the flexible pressure-sensitive body. An insulator layer is formed in a part between a body and the external electrode. Then, when the insulator layer is formed in a part of the region, the part becomes a dead zone. As a result, sensitivity to noise such as vibration is lowered, and it is possible to suppress the occurrence of erroneous detection.

第2の発明のケーブル状圧電素子は、特に、第1の発明において絶縁体層が、可撓性感圧体表面上に直接形成されている構成を有する。絶縁体層が可撓性感圧体表面に直接形成されることで、外部電極の形態に依らず安定した不感体を形成することが可能となる。   The cable-shaped piezoelectric element according to the second invention has a configuration in which the insulating layer is formed directly on the surface of the flexible pressure sensitive body in the first invention. By forming the insulator layer directly on the surface of the flexible pressure-sensitive body, it becomes possible to form a stable insensitive body regardless of the form of the external electrode.

第3の発明のケーブル状圧電素子は、特に第1または第2の発明において、絶縁体層が、外部電極の可撓性感圧体側の表面に形成されている構成を有する。このため、可撓性感圧体に依らず、外部電極により任意の位置に不感帯部を形成することができる。このように後の工程での変更が容易になり、細かな需要の変化への対応が容易になる効果が得られる。   The cable-like piezoelectric element of the third invention has a configuration in which the insulator layer is formed on the surface of the external electrode on the flexible pressure-sensitive body, particularly in the first or second invention. Therefore, the dead zone can be formed at an arbitrary position by the external electrode regardless of the flexible pressure sensitive body. In this way, it becomes easy to make changes in later processes, and the effect of facilitating the response to fine changes in demand can be obtained.

第4の発明のケーブル状圧電素子は、特に第1から第3の発明において、絶縁体層が、結晶性の有機物重合体を含んで形成される。   In the cable-like piezoelectric element of the fourth invention, particularly in the first to third inventions, the insulator layer is formed including a crystalline organic polymer.

絶縁体層が、結晶性の有機物重合体であるために、丈夫で抵抗の大きな絶縁体層が得られ、良好な不感帯が形成される効果がある。   Since the insulating layer is a crystalline organic polymer, a strong and highly resistant insulating layer can be obtained, and a good dead zone can be formed.

第5の発明のケーブル状圧電素子は、特に第1から第4の発明において、結晶性の有機物重合体が、パラキシレン化合物の重合体である構成を有する。   The cable-shaped piezoelectric element according to the fifth aspect of the invention has a configuration in which the crystalline organic polymer is a polymer of a paraxylene compound, particularly in the first to fourth aspects of the invention.

結晶性の有機物重合体が、パリレンの重合体であるために、絶縁体層がより丈夫で抵抗が大きく均一となり、良好な不感帯が形成される効果が得られる。   Since the crystalline organic polymer is a polymer of parylene, the insulating layer is more durable, the resistance is more uniform, and the effect of forming a good dead zone is obtained.

第6の発明の接触検出器は、特に第1から第5の発明のケーブル状圧電素子を用い、検出すべき対象が接触しない部分に、不感帯部を用いる構成を有するものである。   A contact detector according to a sixth aspect of the invention has a configuration in which a dead band portion is used in a portion where the object to be detected does not contact, particularly using the cable-like piezoelectric element according to the first to fifth aspects of the invention.

検出すべき対象が接触しない部分に、不感帯部を用いることで、不要な振動ノイズ等に対する感度を低減して、誤検知を抑制する効果が得られる。   By using a dead zone at a portion where an object to be detected does not contact, the sensitivity to unnecessary vibration noise or the like is reduced, and an effect of suppressing false detection can be obtained.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments.

(実施の形態1)
図1は、本発明の第1の実施の形態におけるケーブル状圧電素子の断面図である。このうち(a)は長手方向の断面図、(b)は長手方向に垂直な面での断面図である。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a cross-sectional view of a cable-shaped piezoelectric element according to the first embodiment of the present invention. Among these, (a) is a sectional view in the longitudinal direction, and (b) is a sectional view in a plane perpendicular to the longitudinal direction.

図1(a)より、ケーブル状圧電素子は内部電極4の外表面に可撓性感圧体1が形成さ
れ、この可撓性感圧体1の外表面に外部電極2が形成され、さらに電気絶縁性の弾性体からなる保護層3が形成されている。このとき特に、長手方向に沿って左側には、可撓性感圧体1と外部電極2の間に、絶縁体層5が形成されていることがわかる。また、図1(b)より、絶縁体層5は、他の部分と同じく内部電極4を中心に対称に形成されている。
As shown in FIG. 1A, the cable-shaped piezoelectric element has a flexible pressure-sensitive body 1 formed on the outer surface of the internal electrode 4, and an external electrode 2 is formed on the outer surface of the flexible pressure-sensitive body 1. A protective layer 3 made of an elastic material is formed. At this time, in particular, it can be seen that the insulator layer 5 is formed between the flexible pressure-sensitive body 1 and the external electrode 2 on the left side along the longitudinal direction. In addition, as shown in FIG. 1B, the insulator layer 5 is formed symmetrically around the internal electrode 4 as in the other portions.

このように、可撓性感圧体1と外部電極2の間に、絶縁体層5が形成されている場合、人やものの接触による外部からの圧力印可に対応して可撓性感圧体に発生する電圧を、内部電極と外部電極とから取り出そうとすると、絶縁体層5が形成するコンデンサによる電圧降下が生じ、測定される電圧が小さくなる。このため、絶縁体層が形成された部分は、外部からの接触による圧力印可に対する感度が低くなり、良好な不感帯を形成することになる。   As described above, when the insulating layer 5 is formed between the flexible pressure-sensitive body 1 and the external electrode 2, it is generated in the flexible pressure-sensitive body in response to pressure applied from the outside by contact of a person or an object. If the voltage to be taken out is taken out from the internal electrode and the external electrode, a voltage drop due to the capacitor formed by the insulator layer 5 occurs, and the measured voltage becomes small. For this reason, the part in which the insulator layer is formed is less sensitive to pressure applied by contact from the outside, and forms a good dead zone.

このような部分を、接触を検出しない配設部等の非検出部に使用することで、ノイズとなる振動成分に起因する電圧を抑制し、誤検知が少なく信頼性の高い接触検出器の提供が可能となる。   By using such a part as a non-detection part such as an arrangement part that does not detect contact, it is possible to suppress a voltage caused by a vibration component that becomes noise, and to provide a highly reliable contact detector with few false detections. Is possible.

この絶縁体層5は、絶縁体であれば、有機物、無機物に限らず使用することができる。例えば、一般的な樹脂を塗布、印刷あるいは金属酸化物等の無機物を蒸着、スパッタ等の方法により、可撓性感圧体1上に直接形成することが可能である。スパッタ、蒸着による場合は、適当なマスクを用いれば長手方向の特定の場所に絶縁体層5を形成することができる。   If this insulator layer 5 is an insulator, it can use not only organic substance and an inorganic substance. For example, it can be directly formed on the flexible pressure-sensitive body 1 by applying a general resin, printing, or depositing an inorganic material such as a metal oxide, or sputtering. In the case of sputtering or vapor deposition, the insulator layer 5 can be formed at a specific location in the longitudinal direction by using an appropriate mask.

可撓性感圧体1が可撓性を有して変形するため、絶縁体層5も柔軟性を有することが好ましく、このため有機物で構成されることが好ましい。さらに、その強度を考慮すると、結晶性の有機物重合体であることが好ましく。例えばパラキシレン化合物の重合体が好適に用いられる。パラキシレン化合物としては、ポリパレキシレン、ポリモノクロロパラキシレン、ポリヘキサフルオロパラキシレン等がある。ポリパラキシレン化合物は、対応するダイマーを熱分解してラジカルとしたものを、可撓性感圧体1上で重合させることで絶縁体層5として形成される。また、パレキシレン化合物の重合体は、結晶性で強度が高い上に、優れた撥水性を有し、また摩擦係数も小さいという特徴を有する。   Since the flexible pressure-sensitive body 1 is flexible and deforms, the insulator layer 5 is also preferably flexible, and thus is preferably composed of an organic material. Furthermore, in view of the strength, it is preferably a crystalline organic polymer. For example, a polymer of a paraxylene compound is preferably used. Examples of paraxylene compounds include polyparaxylene, polymonochloroparaxylene, polyhexafluoroparaxylene, and the like. The polyparaxylene compound is formed as the insulator layer 5 by polymerizing the corresponding dimer into a radical by thermal decomposition on the flexible pressure-sensitive body 1. A polymer of parexylene compound is characterized by being crystalline and high in strength, having excellent water repellency, and having a small coefficient of friction.

優れた撥水性を有するために、ケーブル状圧電素子としての耐湿性、耐水性が向上し、湿度、水が原因の出力電圧の変化を抑制し、誤検知を回避する効果がある。特に、屋外で使用される場合や、自動車等の移動体に搭載される場合であれば、夏場の雨天による高温水蒸気環境、高温高湿の環境下で使用される可能性が高く、その際の効果は大となる。   Due to the excellent water repellency, the moisture resistance and water resistance of the cable-like piezoelectric element are improved, and the change in the output voltage caused by the humidity and water is suppressed, and there is an effect of avoiding false detection. In particular, when used outdoors or when mounted on a moving body such as an automobile, there is a high possibility that it will be used in a high-temperature steam environment or high-temperature and high-humidity environment due to rain in summer. The effect is great.

また、外部からの接触物により圧力が印可された場合に、外部電極2と可撓性感圧体1との摩擦により静電気が発生する(トリボ効果)ことがある。このトリボ効果による静電気もパラキシレン化合物の低摩擦係数のために抑制される。このノイズも低減できるため、より誤検知がなく高い信頼性が得られる効果が得られる。   In addition, when pressure is applied by an external contact object, static electricity may be generated due to friction between the external electrode 2 and the flexible pressure-sensitive body 1 (tribo effect). Static electricity due to the tribo effect is also suppressed due to the low coefficient of friction of the para-xylene compound. Since this noise can also be reduced, there is an effect that there is no false detection and high reliability is obtained.

以下で、本実施の形態のケーブル状圧電素子の具体的な材料構成に関して説明する。   Hereinafter, a specific material configuration of the cable-like piezoelectric element of the present embodiment will be described.

図1において、ケーブル状圧電素子を構成する可撓性感圧体1は圧電セラミックス粉末と可撓性を有する有機高分子とチタンカップリング剤から構成され、圧電セラミックス粉末が可撓性を有する有機高分子とチタンカップリング剤に均一に分散した状態にある。このとき、圧電セラミックス粉末は、撥水処理されていることが好ましい。撥水処理されることにより、耐湿性が向上し、圧電素子としての静電容量、抵抗の吸湿による変化が抑制され、圧電素子としての出力の安定化が実現できる。   In FIG. 1, a flexible pressure-sensitive body 1 constituting a cable-like piezoelectric element is composed of a piezoelectric ceramic powder, a flexible organic polymer, and a titanium coupling agent. It is in a state of being uniformly dispersed in the molecule and the titanium coupling agent. At this time, the piezoelectric ceramic powder is preferably subjected to water repellent treatment. By performing the water repellent treatment, moisture resistance is improved, changes in capacitance and resistance due to moisture absorption as a piezoelectric element are suppressed, and stabilization of output as a piezoelectric element can be realized.

内部電極4は、複数の金属線、あるいは多数のポリエステル繊維の収束線に銅などの金属を巻回した構成のものが用いられ、外部電極2は、ポリエチレンテレフタレ−トなどの高分子フィルムの両面にC、Pt、Au、Pd、Ag、Cu、Al、Niの少なくとも1種の箔を接着した導電性フィルムをケーブル状の可撓性感圧体1に巻回して形成され、保護層3は、可撓性感圧体1や外部電極2の可撓性を損なわないように電気絶縁性の弾性体である熱可塑性エラストマー、ゴム材料が用いられる。   The internal electrode 4 has a configuration in which a metal such as copper is wound around a plurality of metal wires or converging wires of many polyester fibers, and the external electrode 2 is made of a polymer film such as polyethylene terephthalate. A protective film 3 is formed by winding a conductive film in which at least one foil of C, Pt, Au, Pd, Ag, Cu, Al, and Ni is bonded on both sides around a cable-like flexible pressure-sensitive body 1. A thermoplastic elastomer or rubber material, which is an electrically insulating elastic body, is used so as not to impair the flexibility of the flexible pressure-sensitive body 1 and the external electrode 2.

本実施の形態におけるケーブル状圧電素子は、例えば以下のようにして作製される。ここでは、圧電セラミックス粉末を撥水処理する工程を含んだものに関して説明しているが、必ずしも必要ではない。   The cable-like piezoelectric element in the present embodiment is manufactured as follows, for example. Here, the piezoelectric ceramic powder including the step of water repellent treatment is described, but it is not always necessary.

先ず、圧電セラミックス粉末を適切な溶媒で希釈して所定の濃度に調整した撥水材料を含む溶液、または融解する温度に加熱された撥水材料の溶液に浸漬して乾燥、または圧電セラミックス粉末を所定量の撥水材料の粉末と混合することによって圧電セラミックス粉末に撥水材料の被覆層を形成し、撥水処理された圧電セラミックス粉末を作製する。   First, immerse and dry the piezoelectric ceramic powder by immersing it in a solution containing a water-repellent material diluted to a predetermined concentration by diluting the piezoelectric ceramic powder with a suitable solvent, or a solution of a water-repellent material heated to a melting temperature. A water-repellent-treated piezoelectric ceramic powder is formed by forming a coating layer of the water-repellent material on the piezoelectric ceramic powder by mixing with a predetermined amount of water-repellent material powder.

次に、撥水処理された圧電セラミックス粉末と可撓性を有する有機高分子とチタンカップリング剤をニーダーやロールなどの加工機を用い、撥水処理された圧電セラミックス粉末が可撓性を有する有機高分子に均一に混合・分散された状態となるように混練を行なった後、ロール加工機でシート状の可撓性感圧体を作製し、このシート状の可撓性感圧体をペレタイザーなどの加工機を用いてペレット状に加工する。   Next, the water-repellent treated piezoelectric ceramic powder, the flexible organic polymer, and the titanium coupling agent are processed by using a processing machine such as a kneader or a roll, and the water-repellent treated piezoelectric ceramic powder has flexibility. After kneading so as to be uniformly mixed and dispersed in the organic polymer, a sheet-like flexible pressure-sensitive body is produced with a roll processing machine, and the sheet-like flexible pressure-sensitive body is used as a pelletizer, etc. It is processed into pellets using a processing machine.

次に、内部電極4を芯材とし、ペレット状の可撓性感圧体1を押出成型の加工機を用いて押し出し、内部電極4の周囲に可撓性感圧体1を形成する。その後、金属箔を表面に樹脂シートをラミネートして得られる可撓性導電フィルムを可撓性感圧体1の外表面に巻回し、外部電極2を形成する。   Next, the flexible electrode 1 is formed around the internal electrode 4 by using the internal electrode 4 as a core material and extruding the pellet-shaped flexible pressure sensor 1 using an extrusion processing machine. Thereafter, a flexible conductive film obtained by laminating a resin sheet on the surface of the metal foil is wound around the outer surface of the flexible pressure-sensitive body 1 to form the external electrode 2.

さらに、前述の電気絶縁性の弾性体を押出成型の加工機を用いて押し出し、保護層3を形成する。その後、圧電性を発現させるために空気中またはシリコンオイル浴中で内部電極4と外部電極2の間に直流高電圧を印加してポーリング処理を行い、ケーブル状圧電素子を作製する。なお、保護層3はポーリング処理を行った後、設けてもよい。   Further, the protective layer 3 is formed by extruding the above-described electrically insulating elastic body using an extrusion molding machine. Thereafter, a poling process is performed by applying a DC high voltage between the internal electrode 4 and the external electrode 2 in the air or in a silicon oil bath in order to develop the piezoelectricity, thereby producing a cable-shaped piezoelectric element. The protective layer 3 may be provided after performing the polling process.

以上のように構成されたケーブル状圧電素子について、以下その動作、作用を説明する。   The operation and action of the cable-shaped piezoelectric element configured as described above will be described below.

ケーブル状圧電素子の圧電性は、内部電極4と外部電極2の間に直流電圧を印加し、可撓性感圧体1をポーリング処理することにより発現する。可撓性感圧体1に圧電性を発現させることにより、ケーブル状圧電素子の一部あるいは全面に人やものの接触等により、時間的に変化する圧力が印加されたとき、内部電極4と外部電極2の間には、その部分のケーブル状圧電素子に生じる加速度に応じた電圧が誘起される。この誘起電圧を利用して接触の有無を検出することができる。この際、絶縁体層5が形成された部分では、先に述べた絶縁体層5が形成するコンデンサによる電圧降下により、測定される電圧が抑制され、その部分が感度の低い不感帯となる。実施の形態3で述べるように、この不感帯の部分を、接触を検出せず、単に配設に用いられる部分に使用することで、振動等のノイズに対する出力を抑制して、誤検知を回避することが可能となる。   The piezoelectricity of the cable-like piezoelectric element is manifested by applying a DC voltage between the internal electrode 4 and the external electrode 2 and poling the flexible pressure sensitive body 1. By causing the flexible pressure-sensitive body 1 to exhibit piezoelectricity, when a time-varying pressure is applied to a part or the entire surface of the cable-like piezoelectric element due to contact of a person or an object, the internal electrode 4 and the external electrode Between 2, a voltage corresponding to the acceleration generated in the cable-shaped piezoelectric element in that portion is induced. The presence or absence of contact can be detected using this induced voltage. At this time, in the portion where the insulator layer 5 is formed, the voltage to be measured is suppressed by the voltage drop due to the capacitor formed by the insulator layer 5 described above, and that portion becomes a dead zone with low sensitivity. As described in the third embodiment, this dead zone portion is used for a portion that is simply used for arrangement without detecting a contact, thereby suppressing output against noise such as vibration and avoiding false detection. It becomes possible.

以下に、本実施の形態のケーブル状圧電素子の各部の構成の詳細に関して説明する。   Below, the detail of a structure of each part of the cable-shaped piezoelectric element of this Embodiment is demonstrated.

本発明は内部電極4として複数の金属線を収束したものを用いることにより、内部電極4に周設される可撓性感圧体1が内部電極4の複数の金属線の間に入り込み、内部電極4
と可撓性感圧体1の間に空気層の介在を少なくすることができるのでポーリング処理の際の内部電極4と可撓性感圧体1の間の電圧降下を抑制することができ、ポーリング処理の実効電圧を高くすることができる。
In the present invention, by using a converging metal wire as the internal electrode 4, the flexible pressure-sensitive body 1 provided around the internal electrode 4 enters between the metal wires of the internal electrode 4. 4
And the flexible pressure-sensitive body 1 can reduce the interposition of the air layer, so that the voltage drop between the internal electrode 4 and the flexible pressure-sensitive body 1 during the poling process can be suppressed, and the poling process. The effective voltage can be increased.

また、内部電極4として多数のポリエステル繊維の収束線に金属線または金属箔を巻回したものを用いる場合は、内部電極4に周設される可撓性感圧体1がポリエステル繊維の収束線の間、巻回した金属線または金属箔の間に入り込むので内部電極4と可撓性感圧体1の密着性が向上し、複数の金属線を収束した内部電極4の作用、効果に加えて可撓性感圧体1の引っ張り強度を高くすることができる。   Moreover, when using what wound the metal wire or metal foil around the converging line of many polyester fibers as the internal electrode 4, the flexible pressure-sensitive body 1 provided around the internal electrode 4 is the converging line of the polyester fiber. Since it enters between the wound metal wire or the metal foil, the adhesion between the internal electrode 4 and the flexible pressure-sensitive body 1 is improved, which is possible in addition to the action and effect of the internal electrode 4 in which a plurality of metal wires are converged. The tensile strength of the flexible pressure sensitive body 1 can be increased.

また、内部電極4に用いられる金属線または金属箔の材料としてC、Pt、Au、Pd、Ag、Cu、Al、Niの少なくとも1種を含むものを用いることにより、特に優れた導電性と耐食性を実現することができる。   Further, by using a material containing at least one of C, Pt, Au, Pd, Ag, Cu, Al, and Ni as the material of the metal wire or metal foil used for the internal electrode 4, particularly excellent conductivity and corrosion resistance. Can be realized.

本発明に用いられる可撓性を有する有機高分子としては、熱可塑性エラストマー、ゴムの少なくとも1種を含む材料が挙げられる。これらの可撓性を有する高分子は、ケーブル状圧電素子に優れた弾性と可撓性を付与することができるので印加された圧力に対して大きな反発力と変位量を得ることができ、圧電特性を向上させることができる。   Examples of the flexible organic polymer used in the present invention include materials containing at least one of a thermoplastic elastomer and rubber. These flexible polymers can provide excellent elasticity and flexibility to the cable-like piezoelectric element, so that a large repulsive force and displacement can be obtained with respect to the applied pressure, and the piezoelectric Characteristics can be improved.

特に、前述の熱可塑性エラストマーとして、塩素化ポリエチレン、クロルスルホン化ポリエチレンは可撓性感圧体1中の圧電セラミックス粉末の含有量を多くすることができるのでケーブル状圧電素子の圧電特性を向上させることができる。   In particular, as the above-mentioned thermoplastic elastomer, chlorinated polyethylene and chlorosulfonated polyethylene can increase the content of the piezoelectric ceramic powder in the flexible pressure-sensitive body 1, so that the piezoelectric characteristics of the cable-like piezoelectric element can be improved. Can do.

本発明に用いられるチタンカップリング剤は、撥水処理された圧電セラミックス粉末を覆い、外側に疎水性の側鎖有機官能基をもたせることにより、可撓性を有する有機高分子との馴染み(濡れ性)を改善し、全体の粘度を下げ、加工性、可撓性、さらに撥水処理された圧電セラミックス粉末の分散性を向上させることにより圧電性の発現を顕著に改善することができる。   The titanium coupling agent used in the present invention covers the water-repellently treated piezoelectric ceramic powder, and has a hydrophobic side chain organic functional group on the outside, so that it can become familiar with wet organic polymers (wetting). Property), lowering the overall viscosity, improving processability, flexibility, and dispersibility of the water-repellent treated piezoelectric ceramic powder, the expression of piezoelectricity can be remarkably improved.

特に、チタンカップリング剤としてイソプロポキシトリイソステアロイルチタネート、イソプロポキシトリス(ジオクチルパイロフォスフェート)チタネート、可撓性を有する有機高分子として塩素化ポリエチレン、クロルスルホン化ポリエチレンを用いた場合は、圧電セラミックス粉末との馴染みが一層改善されるので混練加工時間の短縮化、圧電特性の向上、圧電特性の安定化、可撓性の向上を実現することができるとともに、任意の形状に容易に成型することができる。   Especially when isopropoxy triisostearoyl titanate, isopropoxy tris (dioctyl pyrophosphate) titanate as titanium coupling agent, and chlorinated polyethylene or chlorosulfonated polyethylene as flexible organic polymer are used, piezoelectric ceramics Since the familiarity with the powder is further improved, the kneading process time can be shortened, the piezoelectric characteristics can be improved, the piezoelectric characteristics can be stabilized and the flexibility can be improved, and it can be easily molded into any shape. Can do.

なお、上記の馴染みが良い理由は、イソプロポキシトリイソステアロイルチタネート、イソプロポキシトリス(ジオクチルパイロフォスフェート)チタネートのSP値(溶解性パラメーター)が8〜9の値を有し、一方塩素化ポリエチレン、クロルスルホン化ポリエチレンのSP値は9〜9.5の値であり、類似したSP値を有していることにあると考えられる。   The reason why the above-mentioned familiarity is good is that the SP value (solubility parameter) of isopropoxytriisostearoyl titanate, isopropoxytris (dioctyl pyrophosphate) titanate has a value of 8 to 9, while chlorinated polyethylene, The SP value of chlorosulfonated polyethylene is 9 to 9.5, which is considered to have a similar SP value.

また、本発明に用いられる保護層3は電気絶縁性の熱可塑性エラストマー、ゴムの少なくとも1種を含む材料とすることにより、可撓性感圧体1と外部電極2の密着性を向上させることができるので圧電素子の感度を向上させることができるとともに、外部からの機械的な力によるケーブル状圧電素子の破損を防止することができる。   In addition, the protective layer 3 used in the present invention can improve the adhesion between the flexible pressure-sensitive body 1 and the external electrode 2 by using a material containing at least one of an electrically insulating thermoplastic elastomer and rubber. Therefore, the sensitivity of the piezoelectric element can be improved, and the cable-shaped piezoelectric element can be prevented from being damaged by an external mechanical force.

外部電極2として、熱可塑性樹脂、熱可塑性エラストマー、ゴムの少なくとも1種を含む弾性体と導電性粉末の導電層で構成することができる。この構成では、外部電極2を伸びのある可撓性に優れた外電極とすることができるので高い耐屈曲性を有し、耐久性に優
れたケーブル状圧電素子を得ることができる。この導電層は熱可塑性樹脂、熱可塑性エラストマー、ゴムの少なくとも1種を含む弾性体と導電性粉末を混練したものを押出機などの加工機を用いて、押し出し成型することによって可撓性感圧体に形成される。
The external electrode 2 can be composed of an elastic body including at least one of a thermoplastic resin, a thermoplastic elastomer, and rubber and a conductive layer of conductive powder. In this configuration, since the external electrode 2 can be an extended outer electrode having excellent flexibility, a cable-shaped piezoelectric element having high bending resistance and excellent durability can be obtained. This conductive layer is a flexible pressure-sensitive material obtained by extruding an elastic material containing at least one of a thermoplastic resin, a thermoplastic elastomer, and rubber and a conductive powder using a processing machine such as an extruder. Formed.

また、外部電極2として、主成分が導電性粉末と有機高分子に混合物である導電塗料もしくは導電ペーストの塗布膜、印刷膜で構成することもできる。この構成では、可撓性感圧体1と外部電極2の密着性を高くすることができるとともに、外部電極2と可撓性感圧体1の間に空気層の介在を少なくすることができるのでポーリング処理の際の内部電極4と可撓性感圧体1の間の電圧降下を抑制することができ、ポーリング処理の実効電圧を高くすることができる。   Further, the external electrode 2 can also be constituted by a coating film or a printing film of a conductive paint or conductive paste whose main component is a mixture of conductive powder and organic polymer. In this configuration, the adhesion between the flexible pressure-sensitive body 1 and the external electrode 2 can be increased, and the interposition of an air layer between the external electrode 2 and the flexible pressure-sensitive body 1 can be reduced. The voltage drop between the internal electrode 4 and the flexible pressure sensitive body 1 during the treatment can be suppressed, and the effective voltage of the polling treatment can be increased.

また、外部電極2として、導電性材料の蒸着膜で構成することもできる。この構成では、外部電極2を薄膜で形成することができるので可撓性感圧体1の優れた可撓性を維持することができ、可撓性感圧体1の有する圧電特性の低下を防止することができる。この薄膜は真空蒸着、スパッタリング、CVDなどの装置を用い、可撓性感圧体に蒸着によって形成される。   Further, the external electrode 2 can be composed of a deposited film of a conductive material. In this configuration, since the external electrode 2 can be formed of a thin film, the excellent flexibility of the flexible pressure sensitive body 1 can be maintained, and the deterioration of the piezoelectric characteristics of the flexible pressure sensitive body 1 can be prevented. be able to. This thin film is formed by vapor deposition on a flexible pressure sensitive body using an apparatus such as vacuum vapor deposition, sputtering, or CVD.

なお、前述の導電性粉末、導電性材料は、C、Pt、Au、Pd、Ag、Cu、Al、Niの少なくとも1種を用いることにより、特に優れた導電性と耐食性を実現することができる。   The conductive powder and conductive material described above can achieve particularly excellent conductivity and corrosion resistance by using at least one of C, Pt, Au, Pd, Ag, Cu, Al, and Ni. .

また、第2の実施の形態で述べた外部電極2は、可撓性感圧体1との密着性が優れているので第1の実施の形態で述べた外部電極2に周設される保護層3を形成しなくてもケーブル状圧電素子として使用することができるが、保護層3を形成してもよい。   Further, since the external electrode 2 described in the second embodiment has excellent adhesion to the flexible pressure-sensitive body 1, a protective layer is provided around the external electrode 2 described in the first embodiment. Although it can be used as a cable-like piezoelectric element without forming 3, protective layer 3 may be formed.

なお、ケーブル状圧電素子は可撓性を有しかつ形状がケーブル状であるので屈曲した部位を含んだ配設や取り付け幅に制限を有する省スペースの配設に対応可能であり、かつ高温高湿環境下で使用されても初期の電気的特性、圧電特性、機械的強度を維持できる優れた特性を有している。したがってこのような配設条件や特性が要求される屋外使用の接触検知用の圧電素子として、特に車などに設置して挟み込み検知用の圧電素子として使用するのに適している。   The cable-shaped piezoelectric element is flexible and has a cable shape, so that it can be used for arrangements including bent portions and space-saving arrangements with limited mounting widths, and high temperature and high Even when used in a humid environment, it has excellent characteristics capable of maintaining the initial electrical characteristics, piezoelectric characteristics, and mechanical strength. Therefore, it is suitable for use as a piezoelectric element for contact detection for outdoor use that requires such arrangement conditions and characteristics, particularly as a piezoelectric element for detecting pinching by being installed in a car or the like.

(実施の形態2)
本実施の形態のケーブル状圧電素子は、実施の形態1の図1と同様の構成を有するが、本実施の形態では、絶縁体層5が外部電極3の可撓性感圧体1側と接する側に形成されていることが特徴である。なお以下の説明では、第1の実施の形態と同一部材は同じ符号を付けている。また、各部の材料に関しては、詳しく説明していないが、前述の第1の実施の形態で述べた材料が用いられる。
(Embodiment 2)
The cable-like piezoelectric element of the present embodiment has the same configuration as that of FIG. 1 of the first embodiment, but in this embodiment, the insulator layer 5 is in contact with the flexible pressure-sensitive body 1 side of the external electrode 3. It is characterized by being formed on the side. In the following description, the same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals. Further, the material of each part is not described in detail, but the material described in the first embodiment is used.

図2は、本実施の形態のケーブル状圧電素子6に用いられるテープ状の外部電極2の構成を示したものである。このうち(a)は長手方向の断面図、(b)は長手方向に垂直な面での断面図である。   FIG. 2 shows a configuration of the tape-like external electrode 2 used in the cable-like piezoelectric element 6 of the present embodiment. Among these, (a) is a sectional view in the longitudinal direction, and (b) is a sectional view in a plane perpendicular to the longitudinal direction.

図2(a)より、外部電極2は、樹脂シート8の両側に金属層9が形成されて構成される。また、一方の表面の長手方向の一部領域に絶縁体層5が形成される。   As shown in FIG. 2A, the external electrode 2 is configured by forming metal layers 9 on both sides of the resin sheet 8. Moreover, the insulator layer 5 is formed in a partial region in the longitudinal direction of one surface.

絶縁体層5が可撓性感圧体1に接するように、連続して巻き付けることで、上記外部電極2が形成され、図1のようなケーブル状圧電素子を構成することができる。この場合、図1では、テープ状の外部電極2を巻き付けた場合の、外部電極の重なりと境目に関しては省略して記載している。   The external electrode 2 is formed by continuously winding the insulating layer 5 so as to be in contact with the flexible pressure-sensitive body 1, and a cable-like piezoelectric element as shown in FIG. 1 can be configured. In this case, in FIG. 1, the overlap and boundary of the external electrodes when the tape-like external electrode 2 is wound are not shown.

尚、図2では、金属層9の一方の表面の一部領域に絶縁体層5が形成されているが、一部領域の金属層9の両面あるいは表面全体に絶縁体層5を形成することもできる。具体的には、樹脂の塗布、印刷や、有機、無機物の蒸着、スパッタ等のドライプロセスにより形成できる。   In FIG. 2, the insulator layer 5 is formed in a partial region on one surface of the metal layer 9. However, the insulator layer 5 is formed on both surfaces or the entire surface of the metal layer 9 in the partial region. You can also. Specifically, it can be formed by a dry process such as resin coating, printing, organic or inorganic vapor deposition, or sputtering.

図1のように絶縁体層5が外部電極3に直接形成されていることにより、可撓性感圧体1が押し出し成型等で形成された後に、外部電極3の形成により任意の領域に不感帯を形成することが可能となる。絶縁体層5により不感帯7が形成される作用は、実施の形態1で説明した通りである。このように、設計の自由度が大きくなり、細かな需要の変化への対応が容易となる効果が得られる。   Since the insulating layer 5 is directly formed on the external electrode 3 as shown in FIG. 1, a dead zone is formed in an arbitrary region by forming the external electrode 3 after the flexible pressure-sensitive body 1 is formed by extrusion molding or the like. It becomes possible to form. The operation of forming the dead zone 7 by the insulator layer 5 is as described in the first embodiment. In this way, the degree of freedom in design is increased, and the effect of facilitating the response to minute changes in demand can be obtained.

(実施の形態3)
本実施の形態では、実施の形態1あるいは2のケーブル状圧電素子を用いた接触検出器に関して説明する。なお以下の説明では、第1の実施の形態と同一部材は同じ符号を用いている。また、各部の材料に関しては、前述の第1の実施の形態で述べた材料が用いられる。
(Embodiment 3)
In this embodiment, a contact detector using the cable-like piezoelectric element of Embodiment 1 or 2 will be described. In the following description, the same reference numerals are used for the same members as those in the first embodiment. In addition, regarding the material of each part, the materials described in the first embodiment are used.

図3は、本実施の形態の接触検出器の構成を示した図である。ケーブル状の圧電素子6の大部分は、接触検知用支持固定部10の中に納められて固定されている。上記ケーブル状圧電素子6は、その一端の保護層3と可撓性感圧体1を取り除き、内部電極4と外部電極2を露出させることにより回路11に接続され、接触検出器として使用される。   FIG. 3 is a diagram showing the configuration of the contact detector of the present embodiment. Most of the cable-shaped piezoelectric element 6 is housed and fixed in the contact detection support fixing portion 10. The cable-like piezoelectric element 6 is connected to the circuit 11 by removing the protective layer 3 and the flexible pressure-sensitive body 1 at one end and exposing the internal electrode 4 and the external electrode 2, and is used as a contact detector.

このとき、接触検知用支持固定部10を出て回路11に至る非検出部13は、ケーブル状圧電素子6の不感帯7で構成されている。不感帯7では、図1と同様に、可撓性感圧体1と外部電極2との間に絶縁体層5が形成されている。   At this time, the non-detecting portion 13 that comes out of the contact detection supporting and fixing portion 10 and reaches the circuit 11 is constituted by the dead zone 7 of the cable-like piezoelectric element 6. In the dead zone 7, as in FIG. 1, an insulator layer 5 is formed between the flexible pressure sensitive body 1 and the external electrode 2.

次に、本実施の形態の接触検出器の作用に関して説明する。   Next, the operation of the contact detector according to the present embodiment will be described.

接触検知用支持固定部10に外部から、人やものが接触すると、接触検知用支持固定部10が変形し、その変形によりケーブル状圧電素子6に圧力が伝わる。このことにより、可撓性感圧体1に電荷が発生して、内部電極4と外部電極2の間に電位差が生じる。これを回路11で検出し、ある閾値以上の電圧が発生した場合に接触したと判断が下される。   When a person or object comes into contact with the contact detection support fixing portion 10 from the outside, the contact detection support fixing portion 10 is deformed, and pressure is transmitted to the cable-like piezoelectric element 6 due to the deformation. As a result, electric charges are generated in the flexible pressure-sensitive body 1, and a potential difference is generated between the internal electrode 4 and the external electrode 2. This is detected by the circuit 11, and it is determined that contact has occurred when a voltage exceeding a certain threshold is generated.

接触検知用支持固定部10に収まっていないケーブル状圧電素子6の非検出部13は、直接人やものの接触を検知しないが、配設されている基体、例えば自動車のスライドドアに、配設される場合は、非検出部13の部分にも自動車の本体等からの振動が直接伝わる。伝わってくる振動は、接触検知用支持固定部10中に納められたケーブル状圧電素子6よりも大きいため、従来は、上記振動により、ケーブル状の圧電素子6の非検出部に閾値以上の電圧が発生し誤検知が生ずることがあった。   The non-detecting portion 13 of the cable-like piezoelectric element 6 that is not housed in the contact detection support fixing portion 10 does not directly detect contact of a person or an object, but is disposed on a disposed base, for example, a sliding door of an automobile. In this case, vibrations from the main body of the automobile are directly transmitted to the non-detecting portion 13 as well. Since the transmitted vibration is larger than that of the cable-shaped piezoelectric element 6 housed in the contact-detecting support / fixing portion 10, conventionally, a voltage equal to or higher than a threshold value is applied to the non-detection portion of the cable-shaped piezoelectric element 6 due to the vibration. May occur and false detection may occur.

しかし、本実施の形態では、振動等のノイズが大きい非検出部13には不感帯7が用いられ、不感帯7では絶縁体層5の形成により、圧力印可に対する感度が低い。このため、振動等の弱い圧力刺激によっては、閾値以上の電圧は発生しない。こうして、振動等に起因する出力ノイズが抑制され、誤検知のない接触検出が可能となる。   However, in the present embodiment, the dead zone 7 is used for the non-detecting portion 13 where the noise such as vibration is large, and the dead zone 7 has low sensitivity to pressure application due to the formation of the insulating layer 5. For this reason, the voltage more than a threshold value does not generate | occur | produce by weak pressure stimuli, such as a vibration. In this way, output noise caused by vibration or the like is suppressed, and contact detection without erroneous detection becomes possible.

なお、本実施の形態の接触検知用支持固定部10は、ケーブル状圧電素子6を収納し、様々な曲面に固定するために、また外部からの人やものの接触による圧力を自ら変形することでケーブル状圧電素子6に伝えるために、可撓性を有することが好ましい。このため、熱可塑性エラストマー、ゴム材料が好適に用いられる。なお、接触検知用支持固定部1
0へのケーブル状圧電素子6の収納は、例えば、接触検知用支持固定部10に形成された空孔部にケーブル状圧電素子6を挿入することによって行われる。
The contact detection support and fixing portion 10 of the present embodiment accommodates the cable-like piezoelectric element 6 and fixes it to various curved surfaces, and also deforms the pressure caused by the contact of people and objects from the outside. In order to transmit to the cable-shaped piezoelectric element 6, it is preferable to have flexibility. For this reason, thermoplastic elastomers and rubber materials are preferably used. In addition, the support fixing part 1 for contact detection
For example, the cable-shaped piezoelectric element 6 is accommodated in 0 by inserting the cable-shaped piezoelectric element 6 into a hole formed in the contact detection support fixing portion 10.

なお、本発明の接触検知器11では、ケーブル状圧電素子6が可撓性を有しかつ形状がケーブル状であるために、また接触検知用支持固定部10も可撓性を有した材料が好適に用いられるために、屈曲した部位を含んだ配設や取り付け幅に制限を有する省スペースの配設に対応可能であり、屋外使用の侵入検知器、特に車などに設置してドアと人やものとの挟み込みを防止する接触検知センサとして使用するのに適している。   In the contact detector 11 of the present invention, since the cable-like piezoelectric element 6 has flexibility and the shape is cable-like, the contact detection support fixing portion 10 is also made of a flexible material. Because it can be used suitably, it can be used for installation including bent parts and space-saving installation with limited mounting width. It can be installed on intrusion detectors for outdoor use, especially in cars, etc. It is suitable for use as a contact detection sensor that prevents pinching with objects.

以上のように、本発明にかかるケーブル状圧電素子は、接触検知に用いる場合、接触を検知する部分と回路とを結ぶ、配設のために使用される非検出部に不感帯を用いることで、振動等のノイズを抑制し、誤検知を回避する効果が得られる。したがって接触を検知する各種検出器、例えば自動車のドアやウィンドウのへの人やものの接触を検知して、挟み込みを防止する挟み込みセンサ、バルコニー等に設置して、外部からの侵入者のバルコニー等への接触を検知する防犯センサ等、振動の多い場所で使用する幅広い用途に適用できるものである。   As described above, when the cable-shaped piezoelectric element according to the present invention is used for contact detection, the dead zone is used in the non-detection part used for the arrangement that connects the contact detection part and the circuit. The effect of suppressing noise such as vibration and avoiding false detection can be obtained. Therefore, various detectors that detect contact, for example, a pinch sensor that detects the touch of a person or an object to the door or window of an automobile and prevents pinching, and installed on a balcony, etc., to the balcony of an intruder from the outside It can be applied to a wide range of uses such as a security sensor that detects the contact of the sensor in a place with a lot of vibration.

(a)本発明の実施の形態1におけるケーブル状圧電素子の長手方向の断面図(b)同ケーブル状圧電素子のA−A線位置の断面図(A) Longitudinal cross-sectional view of the cable-like piezoelectric element according to Embodiment 1 of the present invention (b) Cross-sectional view of the cable-like piezoelectric element taken along the line AA (a)本発明の実施の形態2における絶縁体層を形成された外部電極の長手方向の断面図(b)同外部電極のB−B線位置の断面図(A) Longitudinal cross-sectional view of an external electrode on which an insulator layer is formed in Embodiment 2 of the present invention (b) Cross-sectional view of the external electrode taken along line BB 本発明の実施の形態3におけるケーブル状圧電素子を用いた接触検知器の構成を示した図The figure which showed the structure of the contact detector using the cable-shaped piezoelectric element in Embodiment 3 of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 可撓性感圧体
2 外部電極
3 保護層
4 内部電極
5 絶縁体層
6 ケーブル状圧電素子
7 不感体(ケーブル状圧電素子)
8 樹脂シート
9 金属層
10 接触検知用支持固定部
11 回路
12 接触検知器
13 非検出部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flexible pressure sensitive body 2 External electrode 3 Protective layer 4 Internal electrode 5 Insulator layer 6 Cable-shaped piezoelectric element 7 Dead body (cable-shaped piezoelectric element)
8 Resin sheet 9 Metal layer 10 Support fixing part for contact detection 11 Circuit 12 Contact detector 13 Non-detection part

Claims (6)

内部電極に周設された可撓性感圧体と、前記可撓性感圧体に周設された外部電極とを含んで構成され、前記可撓性感圧体と前記外部電極との間の一部に絶縁体層を形成した不感帯部を有するケーブル状圧電素子。 A part between the flexible pressure sensitive body and the external electrode, including a flexible pressure sensitive body provided around the internal electrode and an external electrode provided around the flexible pressure sensitive body. A cable-like piezoelectric element having a dead zone having an insulator layer formed on the surface thereof. 絶縁体層が、可撓性感圧体表面に直接形成されている請求項1に記載のケーブル状圧電素子。 The cable-like piezoelectric element according to claim 1, wherein the insulating layer is formed directly on the surface of the flexible pressure sensitive body. 絶縁体層が、外部電極の可撓性感圧体側の表面に形成されている請求項1また2に記載のケーブル状圧電素子。 The cable-like piezoelectric element according to claim 1 or 2, wherein the insulator layer is formed on a surface of the external electrode on the flexible pressure sensitive body side. 絶縁体層が、結晶性の有機物重合体を含んで形成されている請求項1〜3のいずれか1項に記載のケーブル状圧電素子。 The cable-shaped piezoelectric element according to any one of claims 1 to 3, wherein the insulator layer is formed including a crystalline organic polymer. 結晶性の有機物重合体が、パラキシレン化合物重合体である請求項1〜4のいずれか1項に記載のケーブル状圧電素子。 The cable-like piezoelectric element according to claim 1, wherein the crystalline organic polymer is a para-xylene compound polymer. 接触を検出しない非検出部に、不感帯を用いる請求項1〜5のいずれか1項のケーブル状圧電素子を用いた接触検出器。 The contact detector using the cable-like piezoelectric element according to claim 1, wherein a dead zone is used for a non-detecting portion that does not detect contact.
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