JP2008208411A - 基板の枚葉式スパッタ装置に用いられる内マスクと枚葉式スパッタ方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】光ディスクなどの基板に内マスクを用いた枚葉式スパッタ装置でスパッタを行う際の、基板の歪みによる面ぶれ(うねり)や複屈折の増大を防止できる内マスク、及び該内マスクを用いた枚葉式スパッタ方法を提供
【解決手段】(1)基板の枚葉式スパッタ装置に用いられる内マスクであって、円板上の内マスク本体、及び内マスク本体の基板のスパッタ面に対向する対向面の外縁部に設けられ、基板のスパッタ面に接すると共に、スパッタにより蓄熱した基板から内マスク本体への放熱を阻害する放熱阻害部を備えたことを特徴とする内マスク。
(2)放熱阻害部が、対向面の外縁部に分散配置され、それぞれ基板のスパッタ面と点接触する複数の突起部、又は、外縁部の表面に環状に設けられた断熱部材である(1)に記載の内マスク。
【選択図】図3
【解決手段】(1)基板の枚葉式スパッタ装置に用いられる内マスクであって、円板上の内マスク本体、及び内マスク本体の基板のスパッタ面に対向する対向面の外縁部に設けられ、基板のスパッタ面に接すると共に、スパッタにより蓄熱した基板から内マスク本体への放熱を阻害する放熱阻害部を備えたことを特徴とする内マスク。
(2)放熱阻害部が、対向面の外縁部に分散配置され、それぞれ基板のスパッタ面と点接触する複数の突起部、又は、外縁部の表面に環状に設けられた断熱部材である(1)に記載の内マスク。
【選択図】図3
Description
本発明は、基板の枚葉式スパッタ装置に用いられる内マスクと、このマスクを用いた枚葉式スパッタ方法に関する。
枚葉式スパッタ装置を用いて光ディスクなどの基板(例えばポリカーボネート製)にスパッタを行うことは、本出願前公知である(特許文献1など参照)。
図1に、従来の内マスクの形状を示す。(a)は平面図、(b)は側面図、(c)は側面図中の丸印を付けた部分の拡大断面図である。また、図2は、図1に示した内マスクを用いて基板をスパッタしている状態を示す図である。
図1、図2に示すように、枚葉式スパッタ装置でスパッタを行う際に、基板13は中心孔を介して内マスク11のセンターピン14に保持されている。内マスク11は、環状外縁凸部により基板13のスパッタ面と接している。真空チャンバー内でのスパッタ時にはセンターピンをマグネットなどで保持して基板を搬送する。
スパッタの際はターゲットからの熱により、基板や内マスクの温度が上昇する。
スパッタ後に真空チャンバー外に出た状態では、内マスクは反基板側の内マスク面15をマグネットなどで保持されて搬送される。
この時、基板に貯まった熱は、基板自身から大気中に放出され、また環状外縁凸部を介して内マスクに放出されるが、通常、内マスクは熱伝導率の高い材料(例えばSUS製)で形成されている。このため、基板のスパッタ面においては、内マスクに覆われた領域からの放熱の方が、それ以外の領域からの放熱よりも速いことになる。したがって、基板のスパッタ面が面内で均一に冷却されない。また、基板全体においても、スパッタ面からの放熱の方が、その反対側の面からの放熱よりも速いことになる。したがって、基板が表裏均一に冷却されない。
その結果、基板が歪んで面ぶれ(うねり)や複屈折が増大してしまい、機械特性・光学特性の悪さから光ディスクの記録再生に支障が生じていた。
図1に、従来の内マスクの形状を示す。(a)は平面図、(b)は側面図、(c)は側面図中の丸印を付けた部分の拡大断面図である。また、図2は、図1に示した内マスクを用いて基板をスパッタしている状態を示す図である。
図1、図2に示すように、枚葉式スパッタ装置でスパッタを行う際に、基板13は中心孔を介して内マスク11のセンターピン14に保持されている。内マスク11は、環状外縁凸部により基板13のスパッタ面と接している。真空チャンバー内でのスパッタ時にはセンターピンをマグネットなどで保持して基板を搬送する。
スパッタの際はターゲットからの熱により、基板や内マスクの温度が上昇する。
スパッタ後に真空チャンバー外に出た状態では、内マスクは反基板側の内マスク面15をマグネットなどで保持されて搬送される。
この時、基板に貯まった熱は、基板自身から大気中に放出され、また環状外縁凸部を介して内マスクに放出されるが、通常、内マスクは熱伝導率の高い材料(例えばSUS製)で形成されている。このため、基板のスパッタ面においては、内マスクに覆われた領域からの放熱の方が、それ以外の領域からの放熱よりも速いことになる。したがって、基板のスパッタ面が面内で均一に冷却されない。また、基板全体においても、スパッタ面からの放熱の方が、その反対側の面からの放熱よりも速いことになる。したがって、基板が表裏均一に冷却されない。
その結果、基板が歪んで面ぶれ(うねり)や複屈折が増大してしまい、機械特性・光学特性の悪さから光ディスクの記録再生に支障が生じていた。
光ディスクなどの基板に内マスクを用いた枚葉式スパッタ装置でスパッタを行う際の、基板の歪みによる面ぶれ(うねり)や複屈折の増大を防止できる内マスク、及び該内マスクを用いた枚葉式スパッタ方法の提供を目的とする。
上記課題は、次の1)〜5)の発明によって解決される。
1) 基板の枚葉式スパッタ装置に用いられる内マスクであって、円板上の内マスク本体、及び内マスク本体の基板のスパッタ面に対向する対向面の外縁部に設けられ、基板のスパッタ面に接すると共に、スパッタにより蓄熱した基板から内マスク本体への放熱を阻害する放熱阻害部を備えたことを特徴とする内マスク。
2) 放熱阻害部は、対向面の外縁部に分散配置され、それぞれ基板のスパッタ面と点接触する複数の突起部で構成されていることを特徴とする1)に記載の内マスク。
3) 放熱阻害部は、対向面の外縁部に環状に設けられた断熱部材で構成されていることを特徴とする1)に記載の内マスク。
4) 内マスク本体の対向面には、外縁部を残すように円形の凹部が形成されていることを特徴とする1)〜3)の何れかに記載の内マスク。
5) 1)〜4)の何れかに記載の内マスクを用いることを特徴とする基板の枚葉式スパッタ方法。
1) 基板の枚葉式スパッタ装置に用いられる内マスクであって、円板上の内マスク本体、及び内マスク本体の基板のスパッタ面に対向する対向面の外縁部に設けられ、基板のスパッタ面に接すると共に、スパッタにより蓄熱した基板から内マスク本体への放熱を阻害する放熱阻害部を備えたことを特徴とする内マスク。
2) 放熱阻害部は、対向面の外縁部に分散配置され、それぞれ基板のスパッタ面と点接触する複数の突起部で構成されていることを特徴とする1)に記載の内マスク。
3) 放熱阻害部は、対向面の外縁部に環状に設けられた断熱部材で構成されていることを特徴とする1)に記載の内マスク。
4) 内マスク本体の対向面には、外縁部を残すように円形の凹部が形成されていることを特徴とする1)〜3)の何れかに記載の内マスク。
5) 1)〜4)の何れかに記載の内マスクを用いることを特徴とする基板の枚葉式スパッタ方法。
以下、上記本発明について詳しく説明する。
本発明の内マスクは、内マスク本体の基板のスパッタ面に対向する対向面の外縁部に設けられ、基板のスパッタ面に接すると共に、スパッタにより蓄熱した基板から内マスク本体への放熱を阻害する放熱阻害部を備えたことを特徴とする。
放熱阻害部を設けたことにより、基板から内マスク本体への放熱を減らすことができる。したがって、基板のスパッタ面において、面内で均等に放熱することができる。また、基板のスパッタ面側とその反対面側とで均等に放熱することができる。このため、基板の歪みを防止することができる。また、放熱阻害部がスパッタ面に接することで、基板に対して内マスク本体が面ブレすることなく、内マスクを基板にセットすることができる。
放熱阻害部は、基板から内マスク本体への放熱を阻害する形状、構造、材質のものならば特に限定されないが、例えば図3に示すような、外縁部の表面に分散配置され、それぞれ基板のスパッタ面と点接触する複数の突起部16や、図4に示すような、外縁部の表面に環状に設けられた断熱部材17などが挙げられる。更に、同等の放熱阻害効果が得られるのであれば、従来技術の環状外縁凸部の1箇所又は複数箇所を切り欠いたような構成であってもよい。
本発明の内マスクは、内マスク本体の基板のスパッタ面に対向する対向面の外縁部に設けられ、基板のスパッタ面に接すると共に、スパッタにより蓄熱した基板から内マスク本体への放熱を阻害する放熱阻害部を備えたことを特徴とする。
放熱阻害部を設けたことにより、基板から内マスク本体への放熱を減らすことができる。したがって、基板のスパッタ面において、面内で均等に放熱することができる。また、基板のスパッタ面側とその反対面側とで均等に放熱することができる。このため、基板の歪みを防止することができる。また、放熱阻害部がスパッタ面に接することで、基板に対して内マスク本体が面ブレすることなく、内マスクを基板にセットすることができる。
放熱阻害部は、基板から内マスク本体への放熱を阻害する形状、構造、材質のものならば特に限定されないが、例えば図3に示すような、外縁部の表面に分散配置され、それぞれ基板のスパッタ面と点接触する複数の突起部16や、図4に示すような、外縁部の表面に環状に設けられた断熱部材17などが挙げられる。更に、同等の放熱阻害効果が得られるのであれば、従来技術の環状外縁凸部の1箇所又は複数箇所を切り欠いたような構成であってもよい。
ここで、断熱部材17は、内マスク本体に比べて熱伝導率が非常に低いもの、数値で言えば、内マスク本体に比べて熱伝導率が1/10以下程度、好ましくは1/100以下程度、より好ましくは1/1000以下程度のものである。また、複数の突起部16を設けた構成(図3)も、上記の熱伝導率を有する断熱部材17を設けた構成と同等(図4)に、基板から内マスク本体への放熱を阻害するものである。つまり、特許請求の範囲における「放熱阻害部」とは、熱伝導率が1/10以下程度であるか、それに相当する程度に放熱を阻害するものである。
従来のように、内マスク本体と基板スパッタ面が円環状に面接触している場合には、内マスク表面から基板スパッタ面に亘って連続的にスパッタ膜が形成されるため、内マスクを取り外す際に、基板スパッタ面に形成されたスパッタ膜が内マスクと共に剥がされてしまい、欠陥の原因となる。
これに対し、図3、図4のような構成にすれば、内マスク本体と基板スパッタ面が直接接触することがないため、内マスク表面に形成されるスパッタ膜と基板スパッタ面に形成されるスパッタ膜が不連続になるので、内マスクを取り外す際に、基板スパッタ面に形成されたスパッタ膜が剥がれることがなく、適切にスパッタ処理が為された基板を得ることができる。
従来のように、内マスク本体と基板スパッタ面が円環状に面接触している場合には、内マスク表面から基板スパッタ面に亘って連続的にスパッタ膜が形成されるため、内マスクを取り外す際に、基板スパッタ面に形成されたスパッタ膜が内マスクと共に剥がされてしまい、欠陥の原因となる。
これに対し、図3、図4のような構成にすれば、内マスク本体と基板スパッタ面が直接接触することがないため、内マスク表面に形成されるスパッタ膜と基板スパッタ面に形成されるスパッタ膜が不連続になるので、内マスクを取り外す際に、基板スパッタ面に形成されたスパッタ膜が剥がれることがなく、適切にスパッタ処理が為された基板を得ることができる。
内マスク本体の直径は通常、17〜34mm程度、厚さは2〜6mm程度である。材料としては、一般にSUSなどが用いられる。
上記突起部の高さは、0.2mm以上程度とする。0.2mmより低いと、上記膜剥がれの防止効果が不十分となるため好ましくない。
環状断熱部材の幅は、適宜選択すればよいが、通常は、0.2〜1mm程度とする。
突起部の形状は、特に限定されないが、例えば、円錐形、半球形などが挙げられる。
突起部の数は、基板を水平に保つことさえ出来れば幾つでもよいが、3個以上は必要である。
突起部は、内マスク本体と同じ材料で内マスク本体と一体に形成してもよく、断熱材で構成してもよい。前者の場合には、突起部を内マスクに取り付ける手間が省け、簡易に内マスクを製造することができる。後者の場合には、より高い放熱阻害効果を得ることができる。
断熱部材の材質、形状は、断熱性さえ保てれば特に限定されないが、例えば起毛シートやプラスチックフィルムなどが挙げられる。
また、内マスク本体の表面に外縁部を残すように円形の凹部を形成し、凹部の底面中心部にセンターピンを突設することが好ましい。
上記突起部の高さは、0.2mm以上程度とする。0.2mmより低いと、上記膜剥がれの防止効果が不十分となるため好ましくない。
環状断熱部材の幅は、適宜選択すればよいが、通常は、0.2〜1mm程度とする。
突起部の形状は、特に限定されないが、例えば、円錐形、半球形などが挙げられる。
突起部の数は、基板を水平に保つことさえ出来れば幾つでもよいが、3個以上は必要である。
突起部は、内マスク本体と同じ材料で内マスク本体と一体に形成してもよく、断熱材で構成してもよい。前者の場合には、突起部を内マスクに取り付ける手間が省け、簡易に内マスクを製造することができる。後者の場合には、より高い放熱阻害効果を得ることができる。
断熱部材の材質、形状は、断熱性さえ保てれば特に限定されないが、例えば起毛シートやプラスチックフィルムなどが挙げられる。
また、内マスク本体の表面に外縁部を残すように円形の凹部を形成し、凹部の底面中心部にセンターピンを突設することが好ましい。
本発明によれば、光ディスクなどの基板に内マスクを用いた枚葉式スパッタ装置でスパッタを行う際の、基板の歪みによる面ぶれ(うねり)や複屈折の増大を防止できる内マスク、及び該内マスクを用いた枚葉式スパッタ方法を提供できる。
以下、実施例により本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
実施例1
直径1mm、高さ0.5mmの円錐形の突起部16個を、内径30mm、外径34mmの外縁部に、直径32mmの環状に設けた。
その結果、本実施例では、同突起部を設けていない比較例(図1の従来技術)において0.2mmあった半径58mmの面振れが、0.05mmに低減した。
ここで、面振れとはディスクの記録再生面が一周する間に持つ軸方向の振れ幅をいう。
また、本実施例では、比較例で見られる連続成膜での内マスクからの膜剥がれは見られなかった。
直径1mm、高さ0.5mmの円錐形の突起部16個を、内径30mm、外径34mmの外縁部に、直径32mmの環状に設けた。
その結果、本実施例では、同突起部を設けていない比較例(図1の従来技術)において0.2mmあった半径58mmの面振れが、0.05mmに低減した。
ここで、面振れとはディスクの記録再生面が一周する間に持つ軸方向の振れ幅をいう。
また、本実施例では、比較例で見られる連続成膜での内マスクからの膜剥がれは見られなかった。
実施例2
内径31mm、外径33mm(幅1mm)、厚さ0.5mmのフェルトのシートを、内径30mm、外径34mmの外縁部に同心円状に貼り付けた。
その結果、本実施例では、同シートを設けていない比較例において0.2mmあった半径58mmの面振れが、0.05mmに低減した。
また、本実施例では、比較例で見られる連続成膜での内マスクからの膜剥がれは見られなかった。
内径31mm、外径33mm(幅1mm)、厚さ0.5mmのフェルトのシートを、内径30mm、外径34mmの外縁部に同心円状に貼り付けた。
その結果、本実施例では、同シートを設けていない比較例において0.2mmあった半径58mmの面振れが、0.05mmに低減した。
また、本実施例では、比較例で見られる連続成膜での内マスクからの膜剥がれは見られなかった。
実施例3
内径30.5mm、外径33.5mm(幅1.5mm)、厚さ0.5mmのポリカーボネートのシートを、内径30mm、外径34mmの外縁部に同心円状に設けた。このシートには、エンボス加工により、直径1mm、高さ0.5mmの円錐形の突起部16個が、内径30mm、外径34mmの外縁部に、直径32mmの環状に形成されている。
その結果、本実施例では、同シートを設けていない比較例において0.2mmあった半径58mmの面振れが、0.02mmに低減した。
また、本実施例では、比較例で見られる連続成膜での内マスクからの膜剥がれは見られなかった。
内径30.5mm、外径33.5mm(幅1.5mm)、厚さ0.5mmのポリカーボネートのシートを、内径30mm、外径34mmの外縁部に同心円状に設けた。このシートには、エンボス加工により、直径1mm、高さ0.5mmの円錐形の突起部16個が、内径30mm、外径34mmの外縁部に、直径32mmの環状に形成されている。
その結果、本実施例では、同シートを設けていない比較例において0.2mmあった半径58mmの面振れが、0.02mmに低減した。
また、本実施例では、比較例で見られる連続成膜での内マスクからの膜剥がれは見られなかった。
11 内マスク
12 内マスクと基板の接触面
13 基板
14 センターピン
15 反基板側の内マスク面
16 突起部(放熱阻害部)
17 断熱部材
12 内マスクと基板の接触面
13 基板
14 センターピン
15 反基板側の内マスク面
16 突起部(放熱阻害部)
17 断熱部材
Claims (5)
- 基板の枚葉式スパッタ装置に用いられる内マスクであって、円板上の内マスク本体、及び内マスク本体の基板のスパッタ面に対向する対向面の外縁部に設けられ、基板のスパッタ面に接すると共に、スパッタにより蓄熱した基板から内マスク本体への放熱を阻害する放熱阻害部を備えたことを特徴とする内マスク。
- 放熱阻害部は、対向面の外縁部に分散配置され、それぞれ基板のスパッタ面と点接触する複数の突起部で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の内マスク。
- 放熱阻害部は、対向面の外縁部に環状に設けられた断熱部材で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の内マスク。
- 内マスク本体の対向面には、外縁部を残すように円形の凹部が形成されていることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の内マスク。
- 請求項1〜4の何れかに記載の内マスクを用いることを特徴とする基板の枚葉式スパッタ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007045269A JP2008208411A (ja) | 2007-02-26 | 2007-02-26 | 基板の枚葉式スパッタ装置に用いられる内マスクと枚葉式スパッタ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007045269A JP2008208411A (ja) | 2007-02-26 | 2007-02-26 | 基板の枚葉式スパッタ装置に用いられる内マスクと枚葉式スパッタ方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008208411A true JP2008208411A (ja) | 2008-09-11 |
Family
ID=39784969
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007045269A Pending JP2008208411A (ja) | 2007-02-26 | 2007-02-26 | 基板の枚葉式スパッタ装置に用いられる内マスクと枚葉式スパッタ方法 |
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Country | Link |
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2007
- 2007-02-26 JP JP2007045269A patent/JP2008208411A/ja active Pending
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