JP2008164390A - Wire cassette inspection method, its inspection device, loader device, unloader device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wire cassette inspection method and device, a loader device, and an unloader device for inspecting a large-sized wire cassette in a short time and with high accuracy. <P>SOLUTION: This method is employed for inspecting a wire cassette which is formed by arranging, in a vertical direction into multiple stages, rows of a plurality of pieces of wire stretched horizontally in the internal space of a frame of a rectangular parallelepiped, for housing boards on the rows of pieces of wire. When one of the rows of pieces of wire and a sensor using a laser are at predetermined positions, the height of the one of the rows of pieces of wire is measured automatically, and the heights of the other rows of pieces of wire are measured automatically one by one, by relatively moving the wire cassette and the sensor using the laser in the vertical direction. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ワイヤーカセットの検査方法、検査装置、ローダー装置及びアンローダー装置に係り、特にレーザ光を用いてワイヤーカセットの変形及びワイヤーの撓みの検査を行う方法及び装置に関する。   The present invention relates to a wire cassette inspection method, inspection device, loader device, and unloader device, and more particularly to a method and device for inspecting deformation of a wire cassette and bending of a wire using a laser beam.

液晶表示パネル用ガラス基板等を収容し、運搬するために使用される収容装置として、複数枚のガラス基板を水平に間にスペーサを介して配置する発泡プラスティック製のボックス状容器が知られている（例えば、特許文献１参照）。   As a storage device used for storing and transporting a glass substrate for a liquid crystal display panel and the like, a box-shaped container made of foam plastic in which a plurality of glass substrates are horizontally arranged with a spacer in between is known. (For example, refer to Patent Document 1).

しかし、このようなボックス状容器では、１ｍ角を超える大面積のガラス基板を多数枚収容するには、その重量に耐えることが困難である。   However, in such a box-shaped container, it is difficult to withstand the weight of a large number of glass substrates having a large area exceeding 1 square meter.

そこで、近年、直方体状のフレーム内に複数のワイヤーを多段に張り、これらワイヤー列上にガラス基板を載置・収納し、運搬する、ワイヤーカセットと呼ばれる収容・運搬具が用いられるようになった。しかし、このようなワイヤーカセットを長期にわたり使用すると、ワイヤーが撓んだり、フレームが変形して、ガラス基板の収納時にガラス基板が破損するという問題が生ずる。このような問題を防止するためには、ワイヤーの撓み量やフレームの外形精度を管理する必要がある。   Therefore, in recent years, an accommodation / transportation tool called a wire cassette has been used, in which a plurality of wires are stretched in multiple stages in a rectangular parallelepiped frame, and a glass substrate is placed on, stored in, and transported on these wire rows. . However, when such a wire cassette is used for a long period of time, there arises a problem that the wire is bent or the frame is deformed, and the glass substrate is damaged when the glass substrate is stored. In order to prevent such a problem, it is necessary to manage the bending amount of the wire and the outer shape accuracy of the frame.

従来、ワイヤーの撓み量の確認方法としては、ワイヤー間の距離やワイヤーの基準位置からの高さを、オフライン作業として人手によりスケールや簡易測定具により測定する方法が一般的であった。また、ワイヤーカセットの外形精度（特に縦フレームの倒れ)については、水平面にワイヤーカセットを置いた状態で、水準器や簡易測定具により測定する方法が一般的であった。   Conventionally, as a method for confirming the amount of bending of a wire, a method of measuring the distance between wires and the height from the reference position of the wire manually with a scale or a simple measuring tool as an off-line operation has been common. In addition, with regard to the external accuracy of the wire cassette (particularly, the vertical frame is tilted), a method of measuring with a level or a simple measuring instrument in a state where the wire cassette is placed on a horizontal surface is generally used.

しかし、上述したような人手による測定方法では、大型のワイヤーカセットでは、作業性が悪い。即ち、ワイヤーカセット上部の測定は、高所の作業となり、中央部は手が届かず、測定に手間と時間を要する。   However, in the manual measuring method as described above, workability is poor with a large wire cassette. In other words, the measurement of the upper part of the wire cassette is a work at a high place, the center part is not reachable, and the measurement takes time and effort.

また、上述したようなオフライン作業による測定では、計画的な管理や記録の保存が十分に出来ないという問題がある。即ち、測定対象カセットの選定や定期的測定を計画的に管理することが困難であり、測定日時や測定データ等の測定記録を整理して保存するための管理負荷が大きいという問題がある。   In addition, there is a problem that planned management and record storage cannot be sufficiently performed in the offline measurement as described above. That is, it is difficult to systematically select the measurement target cassette and periodically measure, and there is a problem that the management load for organizing and storing measurement records such as measurement date and time and measurement data is large.

更に、上述したようなオフライン作業では、収納装置が複数台存在し、かつ同時に稼動している場合には、オフライン作業を実施するためのスペースと人手の確保が困難であり、これによりワイヤーカセットへのガラス基板の収納直前にワイヤーの撓み量やフレームの外形精度を確認することが出来ないという問題もある。
特開２００４−１０６８９公報 Further, in the offline work as described above, when a plurality of storage devices exist and are operating at the same time, it is difficult to secure a space and manpower for carrying out the offline work. There is also a problem that it is not possible to confirm the amount of wire deflection or the accuracy of the outer shape of the frame immediately before storing the glass substrate.
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-10589

本発明は、以上のような事情の下になされ、大型のワイヤーカセットの検査を短時間でかつ精度よく行うことの可能なワイヤーカセットの検査方法、検査装置、ローダー装置及びアンローダー装置を提供することを目的とする。   The present invention provides a wire cassette inspection method, an inspection device, a loader device, and an unloader device that can be performed in a short time and with high accuracy under the circumstances described above. For the purpose.

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様は、直方体フレームの内部空間に水平に複数本張られたワイヤー列を垂直方向に多段に配置してなり、前記ワイヤー列上に基板を収納するワイヤーカセットを検査する方法であって、前記ワイヤー列の１つとレーザを用いたセンサとが所定の位置にあるときにレーザを用いて前記ワイヤー列の１つの高さを自動的に測定し、前記ワイヤーカセットとレーザを用いたセンサを相対的に垂直方向に移動させて、順次、他のワイヤー列の高さを自動的に測定することを特徴とするワイヤーカセットの検査方法を提供する。   In order to solve the above-mentioned problem, a first aspect of the present invention includes a plurality of wires arranged horizontally in an inner space of a rectangular parallelepiped frame arranged in multiple stages in a vertical direction, and a substrate is disposed on the wire rows. A method for inspecting a wire cassette to be stored, wherein when one of the wire rows and a sensor using a laser are in a predetermined position, the height of one of the wire rows is automatically measured using a laser. An inspection method of a wire cassette is provided, wherein the wire cassette and a sensor using a laser are moved relative to each other in the vertical direction, and the heights of other wire rows are automatically measured sequentially.

本発明の第２の態様は、直方体フレームの内部空間に水平に複数本張られたワイヤー列を垂直方向に多段に配置してなり、前記ワイヤー列上に基板を収納するワイヤーカセットを検査する方法であって、前記ワイヤーカセットとレーザを用いたセンサを相対的に垂直方向に移動させつつ、レーザを用いて前記ワイヤーカセットの縦フレームの倒れ量を自動的に測定することを特徴とするワイヤーカセットの検査方法を提供する。   According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for inspecting a wire cassette in which a plurality of wire rows horizontally stretched in an internal space of a rectangular parallelepiped frame are arranged in multiple stages in the vertical direction and a substrate is accommodated on the wire row. The wire cassette is characterized in that, by moving the sensor using the wire cassette and the laser relatively in the vertical direction, the amount of tilt of the vertical frame of the wire cassette is automatically measured using the laser. Provide inspection methods.

本発明の第３の態様は、直方体フレームの内部空間に水平に複数本張られたワイヤー列を垂直方向に多段に配置してなり、前記ワイヤー列上に基板を収納するワイヤーカセットを検査する方法であって、前記ワイヤー列の１つとレーザを用いたセンサとが所定の位置にあるときにレーザを用いて前記ワイヤー列の１つの高さを自動的に測定し、前記ワイヤーカセットとレーザを用いたセンサを相対的に垂直方向に移動させて、順次、他のワイヤー列の高さを自動的に測定するとともに、前記ワイヤー列の高さの測定の際に、レーザを用いた他のセンサにより、前記ワイヤーカセットの縦フレームの倒れ量を自動的に測定することを特徴とするワイヤーカセットの検査方法を提供する。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a method for inspecting a wire cassette in which a plurality of wire rows horizontally stretched in an internal space of a rectangular parallelepiped frame are arranged in multiple stages in the vertical direction and a substrate is accommodated on the wire row. When one of the wire rows and a sensor using a laser are in a predetermined position, the height of one of the wire rows is automatically measured using a laser, and the wire cassette and the laser are used. The height of the other wire row is automatically measured in sequence by moving the sensor in the vertical direction relatively, and when measuring the height of the wire row, another sensor using a laser is used. An inspection method for a wire cassette is provided, wherein the amount of tilt of the vertical frame of the wire cassette is automatically measured.

本発明の第４の態様は、直方体フレームの内部空間に水平に複数本張られたワイヤー列を垂直方向に多段に配置してなり、前記ワイヤー列上に基板を収納するワイヤーカセットを検査する装置であって、前記ワイヤー列の高さを自動的に測定するための、レーザを用いたセンサと、前記ワイヤーカセットとレーザを用いたセンサを相対的に垂直方向に移動させる手段とを具備することを特徴とするワイヤーカセットの検査装置を提供する。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting a wire cassette that accommodates a plurality of wires arranged horizontally in an inner space of a rectangular parallelepiped frame in multiple stages in the vertical direction, and stores a substrate on the wire array. A sensor using a laser for automatically measuring the height of the wire row and a means for moving the wire cassette and the sensor using a laser in a relatively vertical direction. A wire cassette inspection apparatus characterized by the above is provided.

本発明の第５の態様は、直方体フレームの内部空間に水平に複数本張られたワイヤー列を垂直方向に多段に配置してなり、前記ワイヤー列上に基板を収納するワイヤーカセットを検査する装置であって、前記ワイヤーカセットの縦フレームの倒れ量を自動的に測定するための、レーザを用いたセンサと、前記ワイヤーカセットとレーザを用いたセンサを相対的に垂直方向に移動させる手段とを具備することを特徴とするワイヤーカセットの検査装置を提供する。   According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting a wire cassette that accommodates a plurality of wires arranged horizontally in an inner space of a rectangular parallelepiped frame in multiple stages in the vertical direction, and stores a substrate on the wire array. A sensor using a laser for automatically measuring a tilt amount of the vertical frame of the wire cassette, and a means for moving the wire cassette and the sensor using the laser in a relatively vertical direction. Provided is an inspection apparatus for a wire cassette.

本発明の第６の態様は、直方体フレームの内部空間に水平に複数本張られたワイヤー列を垂直方向に多段に配置してなり、前記ワイヤー列上に基板を収納するワイヤーカセットを検査する装置であって、前記ワイヤー列の高さを自動的に測定するための、レーザを用いた第１のセンサと、前記ワイヤーカセットの縦フレームの倒れ量を自動的に測定するための、レーザを用いた第２のセンサと、前記ワイヤーカセットとレーザを用いた第１及び第２のセンサを相対的に垂直方向に移動させる手段とを具備することを特徴とするワイヤーカセットの検査装置を提供する。   According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting a wire cassette that accommodates a plurality of wires arranged horizontally in an inner space of a rectangular parallelepiped frame in multiple stages in a vertical direction, and stores a substrate on the wire array. The first sensor using a laser for automatically measuring the height of the wire row and the laser for automatically measuring the amount of tilt of the vertical frame of the wire cassette are used. And a means for moving the first sensor and the second sensor using a laser in the vertical direction relative to each other, and a wire cassette inspection apparatus.

本発明の第７の態様は、上述したワイヤーカセットの検査装置を具備し、複数の基板を収納する前記ワイヤーカセットからすべての基板を取り出し、処理装置に搬入するローダー装置であって、すべての基板を取り出した後の前記ワイヤーカセットを上昇させつつ、前記ワイヤーカセットのワイヤー列の高さ及び／又は縦フレームの倒れ量を測定することを特徴とするローダー装置を提供する。   According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a loader device that includes the above-described wire cassette inspection apparatus, takes out all the substrates from the wire cassette that houses a plurality of substrates, and carries them into a processing apparatus. A loader device is provided that measures the height of the wire row of the wire cassette and / or the amount of collapse of the vertical frame while raising the wire cassette after taking out the wire.

本発明の第８の態様は、上述したワイヤーカセットの検査装置を具備し、処理装置から基板を搬出して、前記ワイヤーカセットに複数の基板を収納するアンローダー装置であって、空のワイヤーカセットを下降させつつ、前記ワイヤーカセットのワイヤー列の高さ及び／又は縦フレームの倒れ量を測定し、次いで前記ワイヤーカセットを上昇させつつ前記ワイヤーカセットに複数の基板を収納することを特徴とするアンローダー装置を提供する。   An eighth aspect of the present invention is an unloader device that includes the above-described wire cassette inspection device, unloads a substrate from a processing device, and stores a plurality of substrates in the wire cassette, and is an empty wire cassette. Measuring the height of the wire row of the wire cassette and / or the amount of fall of the vertical frame while lowering the wire cassette, and then storing the plurality of substrates in the wire cassette while raising the wire cassette. Provide a loader device.

本発明によると、ワイヤー列の高さと縦フレームの倒れ量をレーザーを用いて自動的に測定することにより、大型のワイヤーカセットの検査を短時間でかつ精度よく行うことの可能なワイヤーカセットの検査方法、検査装置、ローダー装置及びアンローダー装置が提供される。   According to the present invention, a wire cassette can be inspected in a short time and with high accuracy by automatically measuring the height of the wire row and the amount of vertical frame tilt using a laser. A method, inspection device, loader device, and unloader device are provided.

以下、本発明の実施形態について説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.

図１は、本発明の一実施形態に係る検査方法の対象となるワイヤーカセットを示す斜視図である。図１に示すように、ワイヤーカセット１は、直方体のフレーム２からなり、左右側部には、複数本（図では６本）の縦フレーム３ａ〜３ｆがある。ワイヤーカセット１の内部空間には、左右に水平に、手前から奥行きに平行に６本のワイヤー４ａ〜４ｆが張られており、このワイヤー列を１段として垂直方向に６０段設けられている。従って、１つのワイヤーカセットに張られたワイヤーの数は、３６０本である。なお、図１では、最上段と最下段のワイヤー列のみが示されている。   FIG. 1 is a perspective view showing a wire cassette that is an object of an inspection method according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the wire cassette 1 includes a rectangular parallelepiped frame 2, and there are a plurality (six in the figure) of vertical frames 3 a to 3 f on the left and right sides. In the internal space of the wire cassette 1, six wires 4 a to 4 f are stretched horizontally from side to side and parallel to the depth from the front, and 60 stages are provided in the vertical direction with this wire row as one stage. Therefore, the number of wires stretched on one wire cassette is 360. In FIG. 1, only the uppermost and lowermost wire rows are shown.

ワイヤーは、太さ２．０ｍｍ径のステンレスワイヤーの表面に樹脂（ＰＥＥＫ）コーティングを施したものである。カラーフィルタ基板等のガラス基板は、図１の手前から収納され、６本のワイヤー上に載置される。１つのワイヤーカセット内には６０枚のガラス基板を収納することができる。   The wire is obtained by applying a resin (PEEK) coating on the surface of a stainless steel wire having a diameter of 2.0 mm. A glass substrate such as a color filter substrate is accommodated from the front of FIG. 1 and placed on six wires. 60 glass substrates can be stored in one wire cassette.

このようなワイヤーカセットを長期にわたり使用すると、ガラス基板は１枚で１０ｋｇもの重量を有するため、ワイヤーが撓んだり、ワイヤーカセットが変形してしまう場合がある。このようなワイヤーカセットにガラス基板を収納すると、上述したように、ガラス基板が破損してしまう。従って、そのようなワイヤーカセットを検査して、不良品を発見し、修理を施したり、廃棄する必要がある。   When such a wire cassette is used over a long period of time, the glass substrate has a weight of 10 kg, so that the wire may be bent or the wire cassette may be deformed. When the glass substrate is stored in such a wire cassette, the glass substrate is damaged as described above. Therefore, it is necessary to inspect such wire cassettes to find defective products, repair them, and dispose of them.

そこで、本発明の一実施形態に係る検査方法は、ワイヤーの撓みとワイヤーカセットの外形精度を自動的に短時間で精度よく検査しようとするものである。なお、ワイヤーの撓みは、ワイヤーの高さを測定することにより検査することができ、ワイヤーカセットの外形精度は縦フレームの倒れ量を測定することで、検査することができる。   Therefore, the inspection method according to an embodiment of the present invention automatically and accurately inspects the bending of the wire and the external accuracy of the wire cassette in a short time. In addition, the bending of a wire can be test | inspected by measuring the height of a wire, and the external precision of a wire cassette can be test | inspected by measuring the amount of fall of a vertical frame.

以下、一例として、液晶表示装置用カラーフィルタ製造プロセスにおけるカラーフィルタ基板を収納するためのワイヤーカセットのワイヤー高さ及びカセット外形精度を、図２に示す基板収納装置（アンローダー装置）において自動的に測定する場合について説明する。   Hereinafter, as an example, the wire height of the wire cassette for housing the color filter substrate in the color filter manufacturing process for the liquid crystal display device and the cassette outline accuracy are automatically determined in the substrate storage device (unloader device) shown in FIG. The case of measuring will be described.

図２に示すカセットへの基板収納装置（アンローダー装置）のカセットポートは、装置本体１１と、この装置本体１１の固定された位置に取り付けられたワイヤー高さ測定センサ１２及び縦フレーム位置センサ１３と、検査対象であるワイヤーカセット１を昇降させる昇降台１４とを備えている。ワイヤー高さ測定センサ１２は、ワイヤーカセット１の前方に配置されたセンサヘッドと後方に配置された反射板（図示せず)とからなり、センサヘッドに設けられた発振器から放出されたレーザ光を反射板で反射し、センサヘッドに設けられた受光素子で受光する際に、レーザ光がワイヤーで遮られたタイミングを検出してワイヤーの高さを測定する。   The cassette port of the substrate storage device (unloader device) to the cassette shown in FIG. 2 includes an apparatus main body 11, a wire height measurement sensor 12 and a vertical frame position sensor 13 attached to a fixed position of the apparatus main body 11. And the raising / lowering stand 14 which raises / lowers the wire cassette 1 which is a test object is provided. The wire height measurement sensor 12 is composed of a sensor head disposed in front of the wire cassette 1 and a reflector (not shown) disposed in the rear, and receives laser light emitted from an oscillator provided in the sensor head. When the light is reflected by the reflecting plate and received by the light receiving element provided in the sensor head, the height of the wire is measured by detecting the timing at which the laser light is blocked by the wire.

縦フレーム位置センサ１３は、ワイヤーカセット１の左右に設けられ、センサヘッドに設けられた発振器から放出されたレーザ光を縦フレームで反射し、センサヘッドに設けられた受光素子で受光することにより縦フレームまでの距離を測定する。   The vertical frame position sensors 13 are provided on the left and right sides of the wire cassette 1, and reflect the laser light emitted from the oscillator provided in the sensor head with the vertical frame and receive it with the light receiving element provided in the sensor head. Measure the distance to the frame.

なお、図２では、ワイヤーカセット１が測定前の装置上部にある状態と、ワイヤーカセット１が測定終了時である最上段(部)がセンサ１２，１３に対応する位置にある状態を示す。   FIG. 2 shows a state in which the wire cassette 1 is in the upper part of the apparatus before the measurement and a state in which the uppermost stage (part) when the wire cassette 1 is at the end of the measurement is in a position corresponding to the sensors 12 and 13.

＜ワイヤー高さの測定＞
以下の手順でワイヤーの高さを測定する。 <Measurement of wire height>
The height of the wire is measured by the following procedure.

１．カラーフィルタ基板を収納していない空のワイヤーカセット１を、図２に示す検査装置に装荷し、サーボモータ駆動の昇降台１４により、ワイヤーカセット１の最下段の基板収納スロットが、所定の高さに設置されたワイヤー高さ測定センサ２の測定可能高さ付近になるまで高速で下降させる。   1. An empty wire cassette 1 that does not store a color filter substrate is loaded on the inspection apparatus shown in FIG. 2, and the lowermost substrate storage slot of the wire cassette 1 has a predetermined height by a lift 14 that is driven by a servo motor. The wire height measuring sensor 2 installed at the position is lowered at a high speed until it is close to the measurable height.

２．レーザ発振器と受光素子を備えるセンサヘッドにより最下段のワイヤー列の高さを測定する。即ち、昇降台１４の高さ情報と測定センサ２により測定されたワイヤー列の高さ情報により、昇降台１４の上面（カセットの底面）を基準としたワイヤー高さを測定する。測定方法は、大型カセットでも測定が可能なように、長距離対応レーザーセンサ(反射型)により、センサヘッドと反射板との間をワイヤー列が通過する(センサ２は反射光が遮られることで通過と検出する)タイミングを捉え、その瞬間の昇降台１４の高さからワイヤー高さを記憶するものである。その際、昇降速度を低下させた方が、センサ１２からのＯＮ／ＯＦＦ信号入力タイミングを精度良く捕らえることが可能である。   2. The height of the lowermost wire row is measured by a sensor head including a laser oscillator and a light receiving element. That is, based on the height information of the lifting platform 14 and the height information of the wire row measured by the measurement sensor 2, the wire height with respect to the upper surface (bottom surface of the cassette) of the lifting platform 14 is measured. The measurement method uses a long-distance laser sensor (reflective type) that allows a wire row to pass between the sensor head and the reflector so that even large cassettes can be measured. The wire height is stored from the height of the lifting platform 14 at that moment. At that time, the ON / OFF signal input timing from the sensor 12 can be captured with higher accuracy by lowering the lifting speed.

３．以上のように最下段のワイヤー高さを測定した後、ワイヤーカセット１を測定センサ２が次の基板収納スロットの高さ付近に達するまで高速で下降させ、上述と同様にして、ワイヤー高さを測定する。   3. After measuring the lowermost wire height as described above, the wire cassette 1 is lowered at a high speed until the measurement sensor 2 reaches the height of the next substrate storage slot, and the wire height is adjusted in the same manner as described above. taking measurement.

４．順次ワイヤーカセット１を下降させて、最上段の基板収納スロットまでワイヤー高さの測定を繰り返し、全ワイヤー列(全基板収納スロット)の高さを測定する。   4). The wire cassette 1 is sequentially lowered, and the measurement of the wire height is repeated up to the uppermost substrate storage slot, and the heights of all wire rows (all substrate storage slots) are measured.

以上のようにしてワイヤーカセット１のワイヤー列の高さを測定し、その測定結果が、予め設定された許容範囲外である場合には、測定完了後、ワイヤーカセット１を排出可能な高さまで上昇させて、ワイヤーカセット１を排出する。   When the height of the wire row of the wire cassette 1 is measured as described above and the measurement result is outside the preset allowable range, the wire cassette 1 is raised to a height at which the wire cassette 1 can be discharged after the measurement is completed. The wire cassette 1 is discharged.

＜カセット外形測定＞
以下の手順でカセット外形を検査する。 <Cassette profile measurement>
Inspect the outline of the cassette in the following procedure.

１．カラーフィルタ基板を収納していない空のワイヤーカセット１を、図２に示す検査装置に装荷し、サーボモータ駆動の昇降台１４により、ワイヤーカセットの縦フレームの最下部が、所定の高さに設置された縦フレーム位置測定センサ１３の測定可能高さ付近になるまで高速で下降させる。   1. An empty wire cassette 1 that does not contain a color filter substrate is loaded on the inspection apparatus shown in FIG. 2, and the lowermost part of the vertical frame of the wire cassette is set at a predetermined height by a lifting / lowering platform 14 driven by a servo motor. The vertical frame position measurement sensor 13 is lowered at a high speed until it reaches the vicinity of the measurable height.

２．測定センサ１３により最下部の縦フレーム位置(距離)を測定する。即ち、昇降台１４の高さ情報と縦フレーム位置測定センサ１３により測定された縦フレーム位置(距離)情報により、昇降台１４の高さにおけるセンサ位置を基準とした縦フレーム位置(距離)を測定する。測定方法は、レーザー変移センサにより、センサヘッドと縦フレームとの間の距離を測定し、その値をその瞬間の昇降台１４の高さとともに記憶するものである。   2. The lowest vertical frame position (distance) is measured by the measurement sensor 13. That is, the vertical frame position (distance) based on the sensor position at the height of the lifting / lowering platform 14 is measured based on the height information of the lifting / lowering platform 14 and the vertical frame position (distance) information measured by the vertical frame position measuring sensor 13. To do. In the measuring method, a distance between the sensor head and the vertical frame is measured by a laser displacement sensor, and the value is stored together with the height of the elevator 14 at that moment.

この測定は、ワイヤーカセット１の縦フレームの最下部から最上部までの連続した下降動作において、定周期で行うことが、測定の所要時間を低減するためには望ましいが、上述したワイヤー高さの測定と同時に行うことにより、ワイヤー高さ測定の送りピッチに合わせて行っても、ワイヤー高さの測定とのトータルの所要時間は変わらない。   In order to reduce the time required for the measurement, it is preferable to perform this measurement at a constant cycle in the continuous descending operation from the lowest part to the uppermost part of the vertical frame of the wire cassette 1. By performing the measurement simultaneously with the measurement, the total time required for the measurement of the wire height does not change even if the measurement is performed in accordance with the feed pitch of the wire height measurement.

以上のようにして縦フレーム位置(距離)を測定し、その測定結果が、予め設定された許容範囲外である場合には、測定完了後、ワイヤーカセット１を排出可能な高さまで上昇させて、ワイヤーカセット１を排出する。   When the vertical frame position (distance) is measured as described above and the measurement result is outside the preset allowable range, the wire cassette 1 is raised to a height at which the wire cassette 1 can be discharged after the measurement is completed. The wire cassette 1 is discharged.

以上のように、本実施形態に係る検査方法によると、すべてのワイヤー列の高さと縦フレームの倒れ量をレーザーを用いて自動的に測定することができるので、大型のワイヤーカセットの検査を短時間でかつ精度よく行うことが可能である。そのため、従来困難であった、ワイヤーカセットにガラス基板を収納する直前にも、ワイヤーカセットの変形やワイヤーの撓みを検査することが可能となった。   As described above, according to the inspection method according to the present embodiment, the height of all wire rows and the amount of vertical frame tilt can be automatically measured using a laser, so that the inspection of a large-sized wire cassette can be shortened. It can be done in time and with high accuracy. For this reason, it has become possible to inspect the deformation of the wire cassette and the bending of the wire just before the glass substrate is stored in the wire cassette, which has been difficult in the past.

また、ＣＩＭ（コンピュータ・インテグレイテッド・マニファクチュアリング）を用い、本発明の方法及び装置による自動測定を行うことにより、例えばワイヤーカセットを調整した後、最も使用期間の長いワイヤーカセットから選択する等の、検査対象となるワイヤーカセットの自動選定を行うことができる。また、ワイヤーカセット製造後の使用期間、最終調整日、調整後の使用回数等のワイヤーカセットの付随情報の抽出を行うことにより、管理精度の向上と、これに費やす作業負荷の解消を図ることが可能である。更に、実施情報をデータベース化することにより、統計的手法での最適調整間隔の検討等も可能である。   Further, by using CIM (Computer Integrated Manufacturing) and performing automatic measurement by the method and apparatus of the present invention, for example, after adjusting the wire cassette, selecting from the wire cassette with the longest use period, etc. Automatic selection of the wire cassette to be inspected can be performed. Also, by extracting the accompanying information of the wire cassette such as the usage period after the wire cassette manufacturing, the final adjustment date, the number of times after adjustment, etc., it is possible to improve the management accuracy and eliminate the work load spent on this. Is possible. Further, by making the implementation information into a database, it is possible to study the optimum adjustment interval by a statistical method.

更にまた、例えば、ワイヤーカセットに収納されて輸送等される液晶表示装置用ガラス基板を用いた製造プロセスにおけるトラブルの未然防止と稼働率低下を抑制することができるとともに、ガラス基板の破損による歩留り低下の防止や、ガラス基板の破損、及び変形したワイヤーカセットの接触による装置の損傷を回避することができる。   Furthermore, for example, troubles in the manufacturing process using a glass substrate for a liquid crystal display device that is housed in a wire cassette and transported can be prevented and a reduction in the operating rate can be suppressed. It is possible to prevent the damage of the apparatus due to the prevention of breakage, the breakage of the glass substrate, and the contact of the deformed wire cassette.

本発明の一実施形態に係る検査方法の対象となるワイヤーカセットの構造を示す図。The figure which shows the structure of the wire cassette used as the object of the inspection method which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るワイヤーカセットの検査装置を備えるアンローダー装置を示す正面図。The front view which shows an unloader apparatus provided with the inspection apparatus of the wire cassette which concerns on one Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１…ワイヤーカセット、２…フレーム、３ａ〜３ｆ…縦フレーム、４ａ〜４ｆ…ワイヤー、１１…装置本体、１２…ワイヤー高さ測定センサ、１３…縦フレーム位置センサ、１４…昇降台。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Wire cassette, 2 ... Frame, 3a-3f ... Vertical frame, 4a-4f ... Wire, 11 ... Apparatus main body, 12 ... Wire height measurement sensor, 13 ... Vertical frame position sensor, 14 ... Lifting stand.

Claims (8)

直方体フレームの内部空間に水平に複数本張られたワイヤー列を垂直方向に多段に配置してなり、前記ワイヤー列上に基板を収納するワイヤーカセットを検査する方法であって、前記ワイヤー列の１つとレーザを用いたセンサとが所定の位置にあるときにレーザを用いて前記ワイヤー列の１つの高さを自動的に測定し、前記ワイヤーカセットとレーザを用いたセンサを相対的に垂直方向に移動させて、順次、他のワイヤー列の高さを自動的に測定することを特徴とするワイヤーカセットの検査方法。   A method of inspecting a wire cassette that accommodates a plurality of wires arranged horizontally in the inner space of a rectangular parallelepiped frame in multiple stages in the vertical direction, and that accommodates a substrate on the wire array. When a laser and a sensor using a laser are in a predetermined position, the height of one of the wire rows is automatically measured using a laser, and the sensor using the wire cassette and the laser is relatively vertically oriented. A method of inspecting a wire cassette, characterized by automatically moving and sequentially measuring the heights of other wire rows. 直方体フレームの内部空間に水平に複数本張られたワイヤー列を垂直方向に多段に配置してなり、前記ワイヤー列上に基板を収納するワイヤーカセットを検査する方法であって、前記ワイヤーカセットとレーザを用いたセンサを相対的に垂直方向に移動させつつ、レーザを用いて前記ワイヤーカセットの縦フレームの倒れ量を自動的に測定することを特徴とするワイヤーカセットの検査方法。   A method of inspecting a wire cassette in which a plurality of wire rows horizontally stretched in an internal space of a rectangular parallelepiped frame are arranged in multiple stages in the vertical direction and a substrate is accommodated on the wire row, the wire cassette and a laser A method of inspecting a wire cassette, wherein a tilt amount of a vertical frame of the wire cassette is automatically measured using a laser while moving a sensor using a laser in a relatively vertical direction. 直方体フレームの内部空間に水平に複数本張られたワイヤー列を垂直方向に多段に配置してなり、前記ワイヤー列上に基板を収納するワイヤーカセットを検査する方法であって、前記ワイヤー列の１つとレーザを用いた第１のセンサとが所定の位置にあるときにレーザを用いて前記ワイヤー列の１つの高さを自動的に測定し、前記ワイヤーカセットとレーザを用いた第１のセンサを相対的に垂直方向に移動させて、順次、他のワイヤー列の高さを自動的に測定するとともに、前記ワイヤー列の高さの測定の際に、レーザを用いた第２のセンサにより、前記ワイヤーカセットの縦フレームの倒れ量を自動的に測定することを特徴とするワイヤーカセットの検査方法。   A method of inspecting a wire cassette that accommodates a plurality of wires arranged horizontally in the inner space of a rectangular parallelepiped frame in multiple stages in the vertical direction, and that accommodates a substrate on the wire array. When the first sensor using the laser and the first sensor using the laser are in a predetermined position, the height of one of the wire rows is automatically measured using the laser, and the first sensor using the wire cassette and the laser is measured. The height of other wire rows is automatically measured in order by moving in a relatively vertical direction, and when measuring the height of the wire row, the second sensor using a laser, A method for inspecting a wire cassette, wherein the amount of tilt of the vertical frame of the wire cassette is automatically measured. 直方体フレームの内部空間に水平に複数本張られたワイヤー列を垂直方向に多段に配置してなり、前記ワイヤー列上に基板を収納するワイヤーカセットを検査する装置であって、前記ワイヤー列の高さを自動的に測定するための、レーザを用いたセンサと、前記ワイヤーカセットとレーザを用いたセンサを相対的に垂直方向に移動させる手段とを具備することを特徴とするワイヤーカセットの検査装置。   A device for inspecting a wire cassette that accommodates a plurality of wires arranged horizontally in the inner space of a rectangular parallelepiped frame in multiple stages in the vertical direction. A wire cassette inspection apparatus comprising: a sensor using a laser for automatically measuring the length; and a means for moving the wire cassette and the sensor using a laser in a relatively vertical direction. . 直方体フレームの内部空間に水平に複数本張られたワイヤー列を垂直方向に多段に配置してなり、前記ワイヤー列上に基板を収納するワイヤーカセットを検査する装置であって、前記ワイヤーカセットの縦フレームの倒れ量を自動的に測定するための、レーザを用いたセンサと、前記ワイヤーカセットとレーザを用いたセンサを相対的に垂直方向に移動させる手段とを具備することを特徴とするワイヤーカセットの検査装置。   A device for inspecting a wire cassette for storing a substrate on the wire row, in which a plurality of wire rows horizontally stretched in an internal space of a rectangular parallelepiped frame are arranged in multiple stages in the vertical direction. A wire cassette comprising: a sensor using a laser for automatically measuring a tilt amount of the frame; and a means for moving the wire cassette and the sensor using the laser in a relatively vertical direction. Inspection equipment. 直方体フレームの内部空間に水平に複数本張られたワイヤー列を垂直方向に多段に配置してなり、前記ワイヤー列上に基板を収納するワイヤーカセットを検査する装置であって、前記ワイヤー列の高さを自動的に測定するための、レーザを用いた第１のセンサと、前記ワイヤーカセットの縦フレームの倒れ量を自動的に測定するための、レーザを用いた第２のセンサと、前記ワイヤーカセットとレーザを用いた第１及び第２のセンサを相対的に垂直方向に移動させる手段とを具備することを特徴とするワイヤーカセットの検査装置。   A device for inspecting a wire cassette that accommodates a plurality of wires arranged horizontally in the inner space of a rectangular parallelepiped frame in multiple stages in the vertical direction. A first sensor using a laser for automatically measuring the length, a second sensor using a laser for automatically measuring a tilt amount of the vertical frame of the wire cassette, and the wire An inspection apparatus for a wire cassette, comprising: a cassette and means for moving the first and second sensors using a laser in a relatively vertical direction. 請求項４〜６のいずれかに記載のワイヤーカセットの検査装置を具備し、複数の基板を収納する前記ワイヤーカセットからすべての基板を取り出し、処理装置に搬入するローダー装置であって、すべての基板を取り出した後の前記ワイヤーカセットを上昇させつつ、前記ワイヤーカセットのワイヤー列の高さ及び／又は縦フレームの倒れ量を測定することを特徴とするローダー装置。   A loader device comprising the wire cassette inspection apparatus according to any one of claims 4 to 6, wherein all substrates are taken out from the wire cassette storing a plurality of substrates and loaded into a processing apparatus. A loader device that measures the height of the wire row of the wire cassette and / or the amount of collapse of the vertical frame while raising the wire cassette after taking out the wire. 請求項４〜６のいずれかに記載のワイヤーカセットの検査装置を具備し、処理装置から基板を搬出して、前記ワイヤーカセットに複数の基板を収納するアンローダー装置であって、空のワイヤーカセットを下降させつつ、前記ワイヤーカセットのワイヤー列の高さ及び／又は縦フレームの倒れ量を測定し、次いで前記ワイヤーカセットを上昇させつつ前記ワイヤーカセットに複数の基板を収納することを特徴とするアンローダー装置。   An unloader device comprising the wire cassette inspection device according to any one of claims 4 to 6, unloading a substrate from a processing device and storing a plurality of substrates in the wire cassette, wherein the wire cassette is an empty wire cassette Measuring the height of the wire row of the wire cassette and / or the amount of fall of the vertical frame while lowering the wire cassette, and then storing the plurality of substrates in the wire cassette while raising the wire cassette. Loader device.
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