JP2008160077A - Mg INTERMETALLIC COMPOUND, AND DEVICE APPLYING THE SAME - Google Patents

Mg INTERMETALLIC COMPOUND, AND DEVICE APPLYING THE SAME Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a p-type Mg metallic compound (Mg<SB>2</SB>X) excellent in conductivity, and to provide a device using the same. <P>SOLUTION: In the general formula: Mg<SB>2</SB>X that has an inverse fluorite structure (wherein: X is a kind or a plurality of group IV elements), the intermetallic compound contains at least two kinds of acceptor dopants, at least one of which forms a shallow impurity level AL2 near a valence band and at least the other of which forms an impurity level AL1 deeper than the acceptor dopant formed near the valence band. A conduction electron which is formed to a deep donor level DL by a native defect when no element is added, and is captured by a hole formed to a deep impurity level, thereby becoming a p-type. Furthermore, the conduction electron has high conductivity because the hole formed to the shallow impurity level becomes a carrier. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、p型のMg金属間化合物及びそれを応用したデバイスに関するものである。   The present invention relates to a p-type Mg intermetallic compound and a device using the same.

半導体材料から成る熱電変換材料としては、これまでBi−Te系等の半導体材料が検討され、一部実用化されている。しかし一般民生用として、300℃以上の中高温で使用できる熱電材料は、未だ特性不十分であり、実用化にはまだ遠いのが現状である。   As thermoelectric conversion materials made of semiconductor materials, semiconductor materials such as Bi-Te have been studied and some of them have been put into practical use. However, thermoelectric materials that can be used for general consumer use at medium and high temperatures of 300 ° C. or higher are still insufficient in characteristics and are still far from being put into practical use.

一方、Mg金属間化合物MgXは、n型の熱電変換材料としては有望であるが、p型伝導性の良好な熱電変換材料が無い。また、p型のMgXが実現できれば、pn素子が作製でき遠赤外用の受発光素子としても有望である。 On the other hand, the Mg intermetallic compound Mg 2 X is promising as an n-type thermoelectric conversion material, but there is no thermoelectric conversion material with good p-type conductivity. Further, if p-type Mg 2 X can be realized, a pn element can be manufactured, and it is promising as a far-infrared light receiving and emitting element.

A. Fukumoto, Physical Review B53, 4458 (1996)A. Fukumoto, Physical Review B53, 4458 (1996) D. Tamura et al., APAC SILICIDE 2006 予稿集 p47D. Tamura et al., APAC SILICIDE 2006 Proceedings p47 J. Soga et al., APAC SILICIDE 2006 予稿集 p107J. Soga et al., APAC SILICIDE 2006 Proceedings p107 熱電変換工学(坂田亮 他編: Realize工学専門書ショップ)p217Thermoelectric conversion engineering (Ryo Sakata et al .: Realize engineering specialty book shop) p217

上述したように、Mg金属間化合物であるMgXは、n型の熱電変換材料については開発されているが、p型伝導性の良好な熱電変換材料は開発されていない。例えば、実際のデバイスに応用するためには、p型とn型の対が必要となり、伝導性に優れたp型の熱電変換材料の開発が望まれている。 As described above, Mg 2 X, which is an Mg intermetallic compound, has been developed for an n-type thermoelectric conversion material, but a thermoelectric conversion material with good p-type conductivity has not been developed. For example, in order to apply to an actual device, a pair of p-type and n-type is required, and development of a p-type thermoelectric conversion material excellent in conductivity is desired.

この発明は上述した課題を解決するもので、その目的は、伝導性に優れたp型のMg金属化合物(MgX)及びそれを応用したデバイスを提供することにある。 This invention is intended to solve the problems described above, and its object is to provide a device that applies an excellent p-type Mg metal compound (Mg 2 X) and it conductive.

上述した目的を達成するために、本発明に係るMg金属間化合物は、逆ホタル石構造を有する一般式:MgX(Xは4族元素Si及びGe及びSnから選択される一種または複数の元素)において、
少なくとも2種類以上のアクセプタードーパントを含み、そのうちの少なくとも1種類は、価電子帯近傍に浅い不純物準位を形成し、
少なくとも別の1種類は、その価電子帯近傍に形成したアクセプタードーパントよりも深い不純物準位を形成するように構成されるようにした。
In order to achieve the above-described object, the Mg intermetallic compound according to the present invention has a general formula having an inverted fluorite structure: Mg 2 X (X is one or more selected from group 4 elements Si, Ge, and Sn) Element)
Including at least two acceptor dopants, at least one of which forms a shallow impurity level near the valence band,
At least one other type is configured to form an impurity level deeper than the acceptor dopant formed in the vicinity of the valence band.

本発明では、MgSiに代表される逆ホタル石構造を有する一般式:MgX(Xは4族元素)に、深いアクセプター準位を形成する添加元素を添加することにより、伝導電子を捕獲し、p型になるようにする。但し、このようなアクセプタードーパントのみでは、p型にはなっても準位が深いために電気伝導性は低いものになってしまう。そこで、浅いアクセプター準位を形成する元素を添加することにより、移動度の高い正孔をキャリアとして発生させ、低抵抗なp型半導体を構成することができる(高電気伝導度を有するp型を得ることができる)。浅いアクセプター準位を形成する代表的な元素としてGaが挙げられる。Gaは3族の元素であるので、4族元素Xに置換した場合、アクセプターとして働くことになる。そして、逆ホタル石構造を有する一般式:MgX(Xは4族元素)は、環境負荷が少ない狭バンドギャップ半導体となる。 In the present invention, by adding an additive element that forms a deep acceptor level to the general formula: Mg 2 X (X is a group 4 element) having an inverted fluorite structure typified by Mg 2 Si, conduction electrons are obtained. Capture and make it p-type. However, with such an acceptor dopant alone, even if it becomes p-type, the level is deep, so that the electrical conductivity is low. Thus, by adding an element that forms a shallow acceptor level, holes with high mobility can be generated as carriers, and a low-resistance p-type semiconductor can be formed (p-type having high electrical conductivity). Obtainable). Ga is a typical element that forms a shallow acceptor level. Since Ga is a Group 3 element, when it is replaced with a Group 4 element X, it acts as an acceptor. The general formula Mg 2 X (X is a group 4 element) having an inverted fluorite structure becomes a narrow band gap semiconductor with a low environmental load.

浅い不純物準位と深い不純物準位は、互いの相対的なものである。それら”浅い/深い”を具体的に定義するとすれば、例えば、非特許文献1によれば、結晶欠陥のイオン化エネルギーが100meV程度以下の場合に浅い不純物準位といえるので、深いアクセプター準位とは、イオン化エネルギーが100meV程度以上となることを意味する。もちろん、この値は目安(一例)であり、この値に限られるものではない。   The shallow impurity level and the deep impurity level are relative to each other. If these “shallow / deep” are specifically defined, for example, according to Non-Patent Document 1, it can be said that the impurity level is shallow when the ionization energy of the crystal defect is about 100 meV or less. Means that the ionization energy is about 100 meV or more. Of course, this value is a guide (an example) and is not limited to this value.

ここで、浅い不純物準位を形成する元素はGaを含むようにすることができる。また、深い不純物準位を形成する元素は、AgもしくはMg欠損を含むようにすることができる。もちろん、添加する元素は、他の元素としても良い。さらに、浅い不純物準位を形成する元素はGaを含み、そのGaの濃度が全原子の6.4×10−3at%以上3.2at%以下であり、深い不純物準位を形成する元素はAgもしくはMg欠損を含み、そのAgもしくはMg欠損の濃度が全原子の3.2×10−5at%以上3.2at%以下とするとよい。係る範囲とすると、自然欠陥により生成される全ての伝導電子を深い不純物準位(アクセプター準位)に形成される正孔にトラップさせることができる。 Here, the element forming the shallow impurity level can contain Ga. Further, the element that forms a deep impurity level can contain Ag or Mg deficiency. Of course, the element to be added may be another element. Further, the element that forms a shallow impurity level contains Ga, the concentration of Ga is 6.4 × 10 −3 at% or more and 3.2 at% or less of all atoms, and the element that forms a deep impurity level is Including Ag or Mg deficiency, the concentration of Ag or Mg deficiency may be 3.2 × 10 −5 at% or more and 3.2 at% or less of all atoms. In such a range, all conduction electrons generated by natural defects can be trapped in holes formed in a deep impurity level (acceptor level).

MgXは、化学量論組成からずれるだけで、ドナーやアクセプターを提供することができる。たとえば、Mg欠損はアクセプターとして作用し、アクセプタードナーパントの一種とみなせるので、これを深い不純物順位(アクセプター順位)を形成する元素として考えることができる。よって、本発明では、深い不純物準位を形成するに当たり、Agその他の元素を添加物として積極的に添加するのはもちろんのこと、Mgの添加量を抑えMg欠損を生じさせるようにしてもよい。 Mg 2 X can provide a donor or an acceptor only by deviating from the stoichiometric composition. For example, Mg deficiency acts as an acceptor and can be regarded as a kind of acceptor donor punt, and thus can be considered as an element that forms a deep impurity order (acceptor order). Therefore, in the present invention, when forming a deep impurity level, not only Ag and other elements are positively added as additives, but also Mg addition may be suppressed to cause Mg deficiency. .

また、本発明に係るp型熱電変換材料としては、上記のMg金属間化合物のゼーベック係数αが、50μV/K以上としたり、或いは、Mg金属間化合物の電気抵抗率ρが、10mΩcm以下とすることである。   Moreover, as the p-type thermoelectric conversion material according to the present invention, the Seebeck coefficient α of the Mg intermetallic compound is 50 μV / K or more, or the electrical resistivity ρ of the Mg intermetallic compound is 10 mΩcm or less. That is.

また、本発明の熱電変換素子は、複数のp型熱電変換材料と複数のn型熱電変換材料とが交互に配置されると共に、電気的に直列接続される熱電変換素子であって、複数のp型熱電変換材料の少なくとも1つが本発明に係る熱電変換材料とすることである。   The thermoelectric conversion element of the present invention is a thermoelectric conversion element in which a plurality of p-type thermoelectric conversion materials and a plurality of n-type thermoelectric conversion materials are alternately arranged and electrically connected in series, At least one of the p-type thermoelectric conversion materials is the thermoelectric conversion material according to the present invention.

そして、本発明に係る熱電冷却装置は、上記の本発明の熱電変換素子と、その熱電変換素子に電気的に接続された直流電源と、を備えて構成することである。また、本発明の熱電発電モジュールは、上記の本発明の熱電変換素子と、その熱電変換素子に電気的に接続され、温度差によって前記熱電変換素子から電位差が生じるように構成することである。さらに本発明の遠赤外受発光素子は、n型Mg金属間化合物と、本発明のp型Mg金属間化合物と、を具備し、それらをpn接合することで構成される。   The thermoelectric cooling device according to the present invention includes the above-described thermoelectric conversion element of the present invention and a DC power supply electrically connected to the thermoelectric conversion element. The thermoelectric power generation module of the present invention is configured to be electrically connected to the thermoelectric conversion element of the present invention and the thermoelectric conversion element so that a potential difference is generated from the thermoelectric conversion element due to a temperature difference. Furthermore, the far-infrared light emitting / receiving element of the present invention comprises an n-type Mg intermetallic compound and the p-type Mg intermetallic compound of the present invention, and is constituted by pn junction.

本発明では、高電気伝導度を有するp型のMg金属間化合物が実現できる。これにより、環境負荷が低い物質を用いた熱電変換素子や赤外線受発光素子その他のデバイスが実現される。   In the present invention, a p-type Mg intermetallic compound having high electrical conductivity can be realized. As a result, a thermoelectric conversion element, an infrared light receiving / emitting element or other device using a substance having a low environmental load is realized.

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。本実施形態のMg金属化合物は、逆ホタル石構造を有する一般式:MgX(Xは4族元素Si及びGe及びSnから選択される一種または複数の元素)において、少なくとも2種類以上のアクセプタードーパントを含み、少なくとも1種類は、価電子帯近傍に浅い不純物準位(アクセプター準位)を形成し、少なくとも別の1種類は、その価電子帯近傍に形成したアクセプタードーパントよりも深い不純物準位を形成するようにした。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described. The Mg metal compound of this embodiment has at least two types of active compounds in the general formula Mg 2 X (X is one or more elements selected from Group 4 elements Si, Ge and Sn) having an inverted fluorite structure. Including a ceptor dopant, at least one type forms a shallow impurity level (acceptor level) in the vicinity of the valence band, and at least another type is an impurity deeper than the acceptor dopant formed in the vicinity of the valence band. A level was formed.

図1は、本発明のMg金属間化合物の一実施形態のエネルギーバンド図を示している。例えばXがSiなどの4族元素の場合、自然欠陥(格子間Mg)により深いドナー準位DLに伝導電子(黒丸)が存在する(図2(a)参照)。本実施形態では、深いアクセプター準位AL1を形成する元素(例えば、AgもしくはMg欠損)と、浅いアクセプター準位AL2を形成する元素(例えばGa)を添加しているため、各添加された元素がMg或いはXと置換され、各アクセプター準位AL1,AL2に正孔(白丸)が形成される。   FIG. 1 shows an energy band diagram of an embodiment of the Mg intermetallic compound of the present invention. For example, when X is a group 4 element such as Si, conduction electrons (black circles) exist in the deep donor level DL due to natural defects (interstitial Mg) (see FIG. 2A). In the present embodiment, an element (for example, Ag or Mg deficiency) that forms the deep acceptor level AL1 and an element (for example, Ga) that forms the shallow acceptor level AL2 are added. Substituting with Mg or X, holes (white circles) are formed at the acceptor levels AL1 and AL2.

係る構成を採ることから、本実施形態のMg金属化合物は、深いドナー準位DLに存在する伝導電子(キャリア電子)が深いアクセプター準位AL1の正孔にトラップされる(図2(b)参照)。これにより、無添加ではn型であったMgXをp型にすることができる。例えば、深いアクセプター準位AL1を形成する元素としてAgを添加した場合、非特許文献3、4にあるようにゼーベック係数が正になることから、p型になるといえる。 Since the Mg metal compound of the present embodiment adopts such a configuration, conduction electrons (carrier electrons) existing in the deep donor level DL are trapped in the holes of the deep acceptor level AL1 (see FIG. 2B). ). Thereby, Mg 2 X, which was n-type without addition, can be changed to p-type. For example, when Ag is added as an element that forms the deep acceptor level AL1, the Seebeck coefficient becomes positive as described in Non-Patent Documents 3 and 4, and therefore it can be said that the p-type is obtained.

但し、深いアクセプター準位に所定の元素を配置するようにしただけでは、p型になるものの、電気伝導度は低い。そこで本実施形態では、浅いアクセプター準位AL2を形成する元素を添加した。これにより、係るアクセプター準位AL2の正孔がキャリアとなり、高電気伝導度を有するp型半導体を構成することができる。   However, if only a predetermined element is arranged at a deep acceptor level, it becomes p-type, but its electrical conductivity is low. Therefore, in the present embodiment, an element that forms the shallow acceptor level AL2 is added. Thereby, the hole of the acceptor level AL2 becomes a carrier, and a p-type semiconductor having high electrical conductivity can be configured.

なお、浅いアクセプター準位に対応する元素のみを添加すると、n型のままとなる(p型にならない)。これは、図3に示すように、自然欠陥によるドナー準位DLに存在する伝導電子が浅いアクセプター準位AL2の正孔にトラップされる。これにより、浅いアクセプター準位AL2の正孔がキャリアになれないためと考えられる。   Note that if only the element corresponding to the shallow acceptor level is added, the n-type remains (not p-type). As shown in FIG. 3, the conduction electrons existing in the donor level DL due to natural defects are trapped in the holes of the shallow acceptor level AL2. This is considered to be because the holes of the shallow acceptor level AL2 cannot be carriers.

本実施形態のMg金属間化合物を製造するには、例えば以下のプロセスを実行することで行える。まず、XとしてSi、深いアクセプター準位を形成する元素としてAg、浅いアクセプター準位を形成する元素としてGaの場合を示す。係る元素を用いてMg金属間化合物を製造するには、溶解凝固法や垂直ブリッジマン法に代表される実験手法によって作製可能である。   In order to manufacture the Mg intermetallic compound of this embodiment, it can carry out by performing the following processes, for example. First, the case where X is Si, Ag is an element that forms a deep acceptor level, and Ga is an element that forms a shallow acceptor level is shown. In order to produce an Mg intermetallic compound using such an element, it can be produced by an experimental technique typified by a solution solidification method or a vertical Bridgman method.

垂直ブリッジマン法を用いた場合、Si、Mg、Ag、Gaの原料粉末をMg2/3Si1/3AgGa(x=1.0*10−2,y=1.3*10−2)の組成比になるように秤量し、グラファイト坩堝に充填する。そのグラファイト坩堝を石英管に封入し、Mgの蒸発を抑制するために、アルゴンガスをチャージした雰囲気にする。1373Kで溶解後、5mm/hの速度で坩堝を下げ、結晶成長を行なうことでMg金属間化合物を製造できる。 When the vertical Bridgman method is used, the raw material powder of Si, Mg, Ag, and Ga is changed to Mg 2/3 Si 1/3 Ag x Ga y (x = 1.0 * 10 −2 , y = 1.3 * 10 -2 ) is weighed so as to have the composition ratio and filled in a graphite crucible. The graphite crucible is sealed in a quartz tube, and an atmosphere charged with argon gas is used to suppress the evaporation of Mg. After melting at 1373K, the crucible is lowered at a rate of 5 mm / h and crystal growth is performed, whereby an Mg intermetallic compound can be produced.

上述の実施形態では、深いアクセプター準位を形成するためにAgを積極的に添加するようにしたが、本発明はこれに限ることはなく、Mg欠損を利用することができる。すなわち、MgX(Xは4族元素から選択される一種又は複数数の元素)は、欠損しやすい性質があり、Mgが欠損した場合にはAgを添加したのと同様の効果を発揮する。つまり、積極的に添加する添加物としては、浅いアクセプター準位を形成するための元素(Ga)1種類とし、深いアクセプター準位を構成する元素は、MgXの構成要素の1つであるMgの欠損を利用するようにしてもよい。 In the above-described embodiment, Ag is positively added to form a deep acceptor level. However, the present invention is not limited to this, and Mg deficiency can be used. That is, Mg 2 X (X is one or more elements selected from Group 4 elements) has a property of being easily lost, and when Mg is lost, the same effect as that of adding Ag is exhibited. . In other words, the additive that is positively added is one kind of element (Ga) for forming a shallow acceptor level, and the element constituting the deep acceptor level is one of the constituent elements of Mg 2 X. You may make it utilize the defect | deletion of Mg.

このように、Mg欠損を利用して構成されるMg金属間化合物の製造方法の一例を示すと、以下のようになる。ここでは、XとしてSiとGe、深いアクセプター準位を形成する元素としてMg欠損、浅いアクセプター準位を形成する元素としてGaを用いた場合を示す。   As described above, an example of a method for producing an Mg intermetallic compound configured using Mg deficiency is as follows. Here, a case where Si and Ge are used as X, Mg deficiency is used as an element that forms a deep acceptor level, and Ga is used as an element that forms a shallow acceptor level.

垂直ブリッジマン法を用いた場合、Si、Ge、Mg、Gaの原料粉末を試料作製後の組成として、Mg2/3-xSi1/6Ge(x=1.0*10−2,y=1.3*10−2)の組成比になるように秤量し、グラファイト坩堝に充填する。そのグラファイト坩堝を石英管に封入し、Mgの蒸発を抑制するために、アルゴンガスをチャージした雰囲気にする。1373Kで溶解後、5mm/hの速度で坩堝を下げ、結晶成長を行なうことでMg金属間化合物を製造できる。つまり、Mgの添加量を少なくすることで、必要量のMg欠損を生じさせ、深いアクセプター準位を形成することができる。 When the vertical Bridgman method is used, the raw material powder of Si, Ge, Mg, Ga is used as a composition after sample preparation, and Mg 2 / 3-x Si 1/6 Ge y (x = 1.0 * 10 −2 , y = 1.3 * 10 −2 ) and weigh it to fill the graphite crucible. The graphite crucible is sealed in a quartz tube, and an atmosphere charged with argon gas is used to suppress the evaporation of Mg. After melting at 1373K, the crucible is lowered at a rate of 5 mm / h and crystal growth is performed, whereby an Mg intermetallic compound can be produced. That is, by reducing the amount of Mg added, a necessary amount of Mg deficiency can be generated and a deep acceptor level can be formed.

ところで、非特許文献2によれば、自然欠陥によるn型キャリア密度は、少なくとも5×1015cm−3程度は存在するといわれている。そこで、これらのキャリアを全て捕獲するためには、少なくとも全原子に対して3.2×10−5at%の割合以上に添加する必要がある。 By the way, according to Non-Patent Document 2, it is said that the n-type carrier density due to natural defects is at least about 5 × 10 15 cm −3 . Therefore, in order to capture all of these carriers, it is necessary to add at least a ratio of 3.2 × 10 −5 at% to all atoms.

第一原理解析によってキャリア(正孔)密度ごとに計算されたMgSiのパワーファクター(α/ρ)を図4に示す。ここでτはキャリア伝導における緩和時間である。第一原理解析の便宜上の理由のためパワーファクターをτで割った量で議論する。また、この量は温度によって多少異なるが、代表的な温度として800Kでの結果を示している。図4より正孔密度が1×1018cm−3以下または5×1020cm−3以上の正孔密度でパワーファクターが小さくなる。また、浅いアクセプター準位を形成する添加物による欠陥は、イオン化エネルギーが小さいために、アクセプターとして正孔を提供するものの他に、正孔を提供しない不活性な中性の結晶欠陥として存在するものが考えられる。これをアクセプターとしての活性化率に反映させると全原子に対して6.4×10−3at%以上3.2at%以下の割合とするのがよいことになる。 FIG. 4 shows the Mg 2 Si power factor (α 2 / ρ) calculated for each carrier (hole) density by the first principle analysis. Here, τ is a relaxation time in carrier conduction. For convenience of first-principles analysis, we discuss the power factor divided by τ. Further, although this amount varies somewhat depending on the temperature, the result at 800 K is shown as a typical temperature. As shown in FIG. 4, the power factor becomes small at a hole density of 1 × 10 18 cm −3 or less or 5 × 10 20 cm −3 or more. Defects due to additives that form shallow acceptor levels are present as inert neutral crystal defects that do not provide holes in addition to those that provide holes as acceptors because of their low ionization energy. Can be considered. When this is reflected in the activation rate as an acceptor, it is preferable to set the ratio to 6.4 × 10 −3 at% or more and 3.2 at% or less with respect to all atoms.

次に、添加元素が正孔キャリアを生成するか否かの議論を行う。キャリアは、完全結晶に対して欠陥ができることによって生成する。特に正孔は結晶中の自然欠陥や添加元素による欠陥によって結晶中の電子が捕獲され、完全結晶の場合より電子が少なくなることによって生成する。すなわち、添加元素がアクセプターとして作用するためには、添加元素によってできる結晶中の欠陥が電子を捕獲する、つまり、負に帯電した欠陥が結晶中に形成されればよい。   Next, discussion will be made on whether or not the additive element generates hole carriers. Carriers are generated when defects are formed in a perfect crystal. In particular, holes are generated by trapping electrons in the crystal due to natural defects in the crystal or defects due to additive elements, resulting in fewer electrons than in the case of a complete crystal. That is, in order for the additive element to act as an acceptor, a defect in the crystal formed by the additive element may capture an electron, that is, a negatively charged defect may be formed in the crystal.

図5にMgSiにGaを添加した際の、欠陥構造毎の欠陥形成エネルギーの第一原理解析の結果を示す。欠陥形成エネルギーとは、欠陥構造ができる際に必要なエネルギーを完全結晶を基準にして表したものであり、その値が小さいほど欠陥を形成しやすいことを表す。欠陥形成エネルギーはフェルミエネルギー依存性があり、図5では、フェルミエネルギーの原点を完全結晶の価電子帯の上端としている。フェルミエネルギーはp型の極限である場合は価電子帯上端付近、すなわち図5の原点付近であると考えられる。また、n型の極限の場合は伝導帯の下端付近であると考えられる。第一原理計算により、MgSiの伝導帯の下端は、価電子帯上端から0.195eV大きい結果が得られたので、図5では、フェルミエネルギーが0.195eVのところがn型の極限の場合を表す。欠陥構造としては、Gaによる全ての点欠陥構造の帯電状態を計算した。すなわち、GaがSiサイトに置換した欠陥構造(記号GaSi)、Mgサイトに置換した場合の欠陥構造(記号GaMg)、格子間に侵入した場合の欠陥構造(記号Ga)における−4eから+4e(eは素電荷>0)に帯電した場合の欠陥形成エネルギーを計算した。図5中の欠陥を表す記号横の括弧内は帯電状態をeを単位として表している。そのうち、エネルギーが低い状態、すなわち、欠陥構造としてできやすい構造は、GaがSiサイトに置換した負に帯電した欠陥と、Gaが格子間に侵入し正に帯電した欠陥構造であり、これらのみを図5に示した。 FIG. 5 shows the results of first-principles analysis of the defect formation energy for each defect structure when Ga is added to Mg 2 Si. The defect formation energy is the energy required when a defect structure is formed on the basis of a complete crystal, and the smaller the value, the easier the defect is formed. The defect formation energy depends on Fermi energy. In FIG. 5, the origin of Fermi energy is the upper end of the valence band of a complete crystal. When the Fermi energy is at the p-type limit, it is considered to be near the upper end of the valence band, that is, near the origin of FIG. In the case of the n-type limit, it is considered to be near the lower end of the conduction band. According to the first principle calculation, the lower end of the conduction band of Mg 2 Si was 0.195 eV larger than the upper end of the valence band, so in FIG. 5, the Fermi energy is 0.195 eV where the n-type limit is Represents. As the defect structure, the charged state of all point defect structures by Ga was calculated. That is, from −4e in a defect structure (symbol Ga Si ) in which Ga is replaced with a Si site, a defect structure (symbol Ga Mg ) in a case where it is replaced with a Mg site, and a defect structure (symbol Ga i ) in the case of entering between lattices The defect formation energy when charged to + 4e (e is elementary charge> 0) was calculated. In the parentheses next to the symbol representing the defect in FIG. 5, the charged state is expressed in units of e. Among them, the low energy state, that is, the structure that can be easily formed as a defect structure is a negatively charged defect in which Ga is replaced with a Si site, and a defect structure in which Ga enters between the lattices and is positively charged. This is shown in FIG.

図から明らかなように、フェルミエネルギーのほぼ全域、すなわち、p型極限からn型極限にいたるまで、GaがSiサイトに置換し、負に帯電した欠陥がもっとも形成しやすいことがわかる。欠陥が負に帯電しているということは、結晶中の電子を捕獲していることを意味するので、正孔を生み出し、すなわち、アクセプターとしてはたらくことを表す。しかも、非特許文献1によれば、中性の場合との形成エネルギーの差(イオン化エネルギー)が100meV程度以下であれば、浅いアクセプターであることが示されている(SiCの場合)。図5より、p型極限環境の場合、SiサイトにGaが置換した場合のイオン化エネルギーは37meVと極めて浅いアクセプター準位を形成することがわかる。   As is apparent from the figure, it is understood that Ga is substituted for the Si site and the negatively charged defect is most easily formed from almost the entire Fermi energy, that is, from the p-type limit to the n-type limit. The fact that the defect is negatively charged means that an electron in the crystal is captured, and thus it means that a hole is generated, that is, it acts as an acceptor. Moreover, according to Non-Patent Document 1, it is shown that a shallow acceptor is formed if the difference in formation energy (ionization energy) from the neutral case is about 100 meV or less (in the case of SiC). FIG. 5 shows that in the p-type extreme environment, the ionization energy when Ga is substituted at the Si site forms an extremely shallow acceptor level of 37 meV.

図5では、p型極限(フェルミエネルギーの原点付近)では、格子間にGaが侵入し、正に帯電することによってドナーとして働く欠陥も形成されることもわかるが、ドナーとして働いた場合は、電子が増加した分だけフェルミエネルギーがn型方向にシフト、すなわち、フェルミエネルギーが増加することになり、図5からわかるように、格子間にGaが侵入した欠陥の形成エネルギーが増加し、このような欠陥は形成されないことになる。したがって、Gaを添加した場合はアクセプターとして働くことになることが示された。   In FIG. 5, it can be seen that in the p-type limit (near the origin of Fermi energy), Ga enters between the lattices, and a defect acting as a donor is formed by being positively charged. The Fermi energy is shifted in the n-type direction by the amount of electrons, that is, the Fermi energy is increased. As can be seen from FIG. 5, the formation energy of defects in which Ga has entered between the lattices is increased. No defects will be formed. Therefore, it was shown that when Ga is added, it acts as an acceptor.

さらに、本実施形態のMg金属間化合物をp型熱電変換材料として用いる場合には、ゼーベック係数αが50μV/K以上になるように設定するとよい。或いは、電気抵抗率ρが10mΩcm以下になるように設定するとよい。このような場合において、パワーファクター(α/ρ)を大きくすることができる。 Furthermore, when the Mg intermetallic compound of the present embodiment is used as a p-type thermoelectric conversion material, the Seebeck coefficient α may be set to 50 μV / K or more. Alternatively, the electrical resistivity ρ may be set to 10 mΩcm or less. In such a case, the power factor (α 2 / ρ) can be increased.

一方、MgX金属間化合物を用いたn型の熱電変換材料は、従来から製造されている。そこで、係るn型の熱電変換材料と、本実施形態のMgX金属間化合物からなるp型の熱電変換材料とを、それぞれ複数用意するとともに交互に配置し、かつ電気的に直列接続されるように形成することで、本発明の熱電変換素子の一実施形態を構成することができる。この例では、全ての熱電変換材料をMgX金属間化合物で構成したが、本発明はこれに限ることはなく、複数のp型熱電変換材料と複数のn型熱電変換材料とが交互にかつ電気的に直列接続される構成において、複数のp型熱電変換材料の少なくとも一つが本発明の熱電変換材料とすればよい。 On the other hand, n-type thermoelectric conversion materials using Mg 2 X intermetallic compounds have been conventionally produced. Therefore, a plurality of such n-type thermoelectric conversion materials and p-type thermoelectric conversion materials made of the Mg 2 X intermetallic compound of this embodiment are prepared, arranged alternately, and electrically connected in series. By forming as described above, an embodiment of the thermoelectric conversion element of the present invention can be configured. In this example, all the thermoelectric conversion materials are composed of Mg 2 X intermetallic compounds, but the present invention is not limited to this, and a plurality of p-type thermoelectric conversion materials and a plurality of n-type thermoelectric conversion materials are alternately arranged. And in the structure electrically connected in series, at least one of the plurality of p-type thermoelectric conversion materials may be the thermoelectric conversion material of the present invention.

そして、上記の熱電変換素子に対し、直流電源を電気的に接続することで、本発明の熱電冷却装置の一実施形態を構成できる。また、上記の熱電変換素子を用いることで、温度差によって当該熱電変換素子から電位差が生じる熱電発電モジュールを構築することもできる。さらに、p型のMg金属間化合物とn型のMg金属間化合物をpn接合させることで、遠赤外受発光素子を形成できる。   And one Embodiment of the thermoelectric cooling device of this invention can be comprised by electrically connecting DC power supply with respect to said thermoelectric conversion element. In addition, by using the thermoelectric conversion element, it is possible to construct a thermoelectric power generation module that generates a potential difference from the thermoelectric conversion element due to a temperature difference. Furthermore, a far-infrared light emitting / receiving element can be formed by pn junction of a p-type Mg intermetallic compound and an n-type Mg intermetallic compound.

本発明に係るMg金属間化合物の好適な一実施形態を示すエネルギーバンド図である。It is an energy band figure which shows suitable one Embodiment of Mg intermetallic compound which concerns on this invention. 作用を説明するためのエネルギーバンド図である。It is an energy band figure for demonstrating an effect | action. 比較例を説明するエネルギーバンド図である。It is an energy band figure explaining a comparative example. 本発明の作用効果を説明するグラフである。It is a graph explaining the effect of this invention. 本発明の作用効果を説明するグラフである。It is a graph explaining the effect of this invention.

Claims (10)

逆ホタル石構造を有する一般式:MgX(Xは4族元素Si及びGe及びSnから選択される一種または複数の元素)において、
少なくとも2種類以上のアクセプタードーパントを含み、そのうちの少なくとも1種類は、価電子帯近傍に浅い不純物準位を形成し、
少なくとも別の1種類は、その価電子帯近傍に形成したアクセプタードーパントよりも深い不純物準位を形成するように構成されることを特徴とするMg金属間化合物。
In the general formula having an inverted fluorite structure: Mg 2 X (X is one or more elements selected from Group 4 elements Si and Ge and Sn)
Including at least two acceptor dopants, at least one of which forms a shallow impurity level near the valence band,
At least another type is an Mg intermetallic compound characterized by forming an impurity level deeper than an acceptor dopant formed in the vicinity of the valence band.
前記浅い不純物準位を形成する元素は、Gaを含むことを特徴とする請求項1に記載のMg金属間化合物。   The Mg intermetallic compound according to claim 1, wherein the element forming the shallow impurity level contains Ga. 前記深い不純物準位を形成する元素は、AgもしくはMg欠損を含むことを特徴とする請求項1または2に記載のMg金属間化合物。   3. The Mg intermetallic compound according to claim 1, wherein the element forming the deep impurity level contains Ag or Mg deficiency. 前記浅い不純物準位を形成する元素はGaを含み、そのGaの濃度が全原子の6.4×10−3at%以上3.2at%以下であり、
前記深い不純物準位を形成する元素はAgもしくはMg欠損を含み、そのAgもしくはMg欠損の濃度が全原子の3.2×10−5at%以上3.2at%以下であることを特徴とする請求項1に記載のMg金属間化合物。
The element that forms the shallow impurity level includes Ga, and the concentration of Ga is 6.4 × 10 −3 at% or more and 3.2 at% or less of all atoms,
The element forming the deep impurity level includes Ag or Mg deficiency, and the concentration of Ag or Mg deficiency is 3.2 × 10 −5 at% or more and 3.2 at% or less of all atoms. The Mg intermetallic compound according to claim 1.
請求項1から4のいずれかに記載のMg金属間化合物のゼーベック係数αが、50μV/K以上であることを特徴とすp型熱電変換材料。   A p-type thermoelectric conversion material, wherein the Seebeck coefficient α of the Mg intermetallic compound according to claim 1 is 50 μV / K or more. 請求項1から4のいずれかに記載のMg金属間化合物の電気抵抗率ρが、10mΩcm以下であることを特徴とするp型熱電変換材料。   A p-type thermoelectric conversion material, wherein the electrical resistivity ρ of the Mg intermetallic compound according to claim 1 is 10 mΩcm or less. 複数のp型熱電変換材料と複数のn型熱電変換材料とが交互に配置されると共に、電気的に直列接続される熱電変換素子であって、
前記複数のp型熱電変換材料の少なくとも1つが請求項5または6に記載の熱電変換材料であることを特徴とする熱電変換素子。
A thermoelectric conversion element in which a plurality of p-type thermoelectric conversion materials and a plurality of n-type thermoelectric conversion materials are alternately arranged and electrically connected in series,
A thermoelectric conversion element, wherein at least one of the plurality of p-type thermoelectric conversion materials is the thermoelectric conversion material according to claim 5 or 6.
請求項7に記載の熱電変換素子と、その熱電変換素子に電気的に接続された直流電源と、を備えたことを特徴とする熱電冷却装置。   A thermoelectric cooling device comprising: the thermoelectric conversion element according to claim 7; and a DC power source electrically connected to the thermoelectric conversion element. 請求項7に記載の熱電変換素子と、その熱電変換素子に電気的に接続され、温度差によって前記熱電変換素子から電位差が生じるように構成したことを特徴とする熱電発電モジュール。   8. A thermoelectric power generation module comprising: the thermoelectric conversion element according to claim 7; and a thermoelectric generation module configured to be electrically connected to the thermoelectric conversion element and to generate a potential difference from the thermoelectric conversion element due to a temperature difference. n型Mg金属間化合物と、請求項1から4のいずれかに記載のp型Mg金属間化合物と、を具備し、それらがpn接合されたことを特徴とする遠赤外受発光素子。 A far-infrared light emitting / receiving device comprising: an n-type Mg intermetallic compound; and the p-type Mg intermetallic compound according to claim 1, which are pn-junctioned.
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