JP2008158125A - Lens unit centering device - Google Patents
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Description
本発明は、レンズユニットの透過偏心量から調整用レンズを最良位置に調整する調芯装置に関する。 The present invention relates to a centering device that adjusts an adjustment lens to the best position from the amount of transmission eccentricity of a lens unit.
複数のレンズで構成されるカメラレンズ等のレンズユニットは、各レンズの曲面の中心が光軸上で一致していることが理想であるが、現実には鏡筒内における各レンズの位置決め精度やレンズ曲面の加工誤差に起因する偏心が発生してしまう。このようなレンズユニットにおける偏心は光学性能の低下の要因となっているため、決められたレンズ(このレンズを「調整用レンズ」と呼ぶ)をシフト(光軸に直行する面内を移動させる)やティルト(光軸に対して傾ける)させ、所望の結像状態になるように調整する必要があった(例えば、特許文献1参照)。このような調整を行う装置(調芯装置)は、マスターレンズと呼ばれる補償光学系に被検レンズユニットを組み込み、ピンホールの像をマスターレンズ及び被レンズレンズユニットで結像させ、その点像の形から偏心状態をモニタで目視確認して点像が最良になるように被検レンズユニット内の調整用レンズにより調整していた。このような調整方法において、マスターレンズは、被検レンズユニット単体では球面収差等の収差が大きく、偏心成分が検出できない場合に光学ユニットと同じ光学系若しくは被検レンズユニットの収差成分を打ち消す光学系を用いる必要があった。 In a lens unit such as a camera lens composed of a plurality of lenses, the center of the curved surface of each lens is ideally aligned on the optical axis. The eccentricity resulting from the processing error of the lens curved surface occurs. Since the decentering in such a lens unit is a cause of a decrease in optical performance, a predetermined lens (this lens is called an “adjusting lens”) is shifted (moved in a plane perpendicular to the optical axis). Or tilting (tilting with respect to the optical axis) and adjusting so as to obtain a desired imaging state (see, for example, Patent Document 1). An apparatus (alignment apparatus) that performs such adjustment incorporates a test lens unit in an adaptive optics system called a master lens, forms a pinhole image with the master lens and the lens target lens unit, and generates a point image. From the shape, the eccentric state was visually confirmed on a monitor, and adjustment was performed by an adjustment lens in the lens unit to be tested so that the point image was the best. In such an adjustment method, the master lens has a large aberration such as spherical aberration in a single lens unit to be detected, and an optical system that cancels the same optical system as the optical unit or the aberration component of the lens unit to be detected when the decentered component cannot be detected. It was necessary to use.
しかしながら、目視による点像の確認は作業者毎のばらつきが大きく、品質の安定性に欠けるという課題があった。また、マスターレンズの製造誤差やマスターレンズと被検レンズユニットの位置決め誤差によるばらつきが多くなるという課題もあった。さらに、最近のカメラレンズ等のレンズユニットは小型化、高倍率化の要求が高まり、それを満足させるための低コストで、耐環境性を有し、小型で高汎用性を満たす調芯装置を用いて定量的に偏心状態を測定する必要があるが、現状ではそのような手段がないという課題があった。 However, the confirmation of the point image by visual inspection has a problem that the variation among workers is large and the quality is not stable. There is also a problem that variations due to manufacturing errors of the master lens and positioning errors between the master lens and the lens unit to be measured increase. Furthermore, recent lens units such as camera lenses are increasingly required to be smaller and have a higher magnification. To meet these requirements, a low-cost, environment-resistant, compact and highly versatile alignment device is required. It is necessary to measure the eccentric state quantitatively by using it, but there is a problem that there is no such means at present.
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、マスターレンズを必要とせず、レンズユニットの偏心状態を定量的に測定して所望の偏心量以内に調整でき、かつ、低コストで、耐環境性が高く、小型で高汎用性を満たすレンズユニット調芯装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such a problem, does not require a master lens, can quantitatively measure the eccentric state of the lens unit and can be adjusted within a desired amount of eccentricity, and at a low cost. An object of the present invention is to provide a lens unit alignment device that has high environmental resistance, is small, and satisfies high versatility.
前記課題を解決するために、本発明に係るレンズユニット調芯装置は、調整用レンズを含む複数のレンズから構成される被検レンズユニットに対して、調整用レンズを移動させて当該レンズユニットの偏心量を所望の範囲内に調整する装置であって、点光源(例えば、実施形態における点光源装置9)から出射した光線を平行光束に変換する第1コリメータレンズと、この第1コリメータレンズから出射した平行光束を物体側から入射させて集光する被検レンズユニットと、この被検レンズユニットの像側の焦点近傍に焦点が位置するように配置された第2コリメータレンズと、この第2コリメータレンズにより平行光束に変換された光線を検出し、被検レンズユニットの偏心量を算出する検出装置(例えば、実施形態における測定ユニット3及び解析装置15)とから構成される。
In order to solve the above-described problem, a lens unit alignment device according to the present invention moves an adjustment lens to a test lens unit including a plurality of lenses including an adjustment lens. A device that adjusts the amount of eccentricity within a desired range, a first collimator lens that converts a light beam emitted from a point light source (for example, the point
このような本発明に係るレンズユニット調芯装置において、検出装置が、二次元的に配列された複数のマイクロレンズを有するマイクロレンズアレイと、複数のマイクロレンズの各々で結像された点像を検出する撮像素子と、この撮像素子で検出された点像の位置から、被検レンズユニットの波面収差を算出し、この波面収差のコマ成分から偏心量を算出する解析装置とから構成されることが好ましい。 In such a lens unit aligning device according to the present invention, the detection device includes a microlens array having a plurality of microlenses arranged two-dimensionally, and a point image formed by each of the plurality of microlenses. It is composed of an image sensor to be detected, and an analyzer that calculates the wavefront aberration of the lens unit to be detected from the position of the point image detected by the image sensor and calculates the amount of decentration from the coma component of the wavefront aberration. Is preferred.
また、本発明に係るレンズユニット調芯装置が、調整用レンズを移動させる調整装置(例えば、実施形態における調芯用ステージ16及び調芯爪17)を有し、解析装置が、算出された偏心量に応じて調整装置の作動を制御することにより、調整用レンズを移動させてレンズユニットの偏心量を調整するように構成されることが好ましい。
In addition, the lens unit alignment device according to the present invention includes an adjustment device (for example, the
本発明に係るレンズユニット調芯装置を以上のように構成すると、マスターレンズを必要とすることなく、また、偏心量の測定においては可動部分がないことや、光線のゆらぎ等の影響を受けないため、耐環境性を向上させることができるとともに、被検レンズユニットの偏心量を、高精度かつ定量的に測定することができる。さらに、計測が簡単でであるため、調芯作業を短時間で行うことができる。また、シャック−ハルトマンの原理を用いることにより、白色光源により測定することができるため、被検レンズユニットの使用状態と同一の波長の照明光を用いた検査を可能とするとともに、小型化が可能で、高精度で安価なレンズユニット調芯装置を提供することができる。 When the lens unit aligning device according to the present invention is configured as described above, a master lens is not required, and there is no movable part in the measurement of the amount of eccentricity, and there is no influence of fluctuation of light rays. Therefore, the environmental resistance can be improved, and the amount of eccentricity of the lens unit to be measured can be measured with high accuracy and quantitatively. Furthermore, since the measurement is simple, the alignment work can be performed in a short time. In addition, by using the Shack-Hartmann principle, it is possible to measure with a white light source, enabling inspection using illumination light having the same wavelength as that of the lens unit used, and miniaturization possible. Thus, it is possible to provide a highly accurate and inexpensive lens unit alignment device.
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。本発明に係るレンズユニット調芯装置(以下、「調芯装置」と称する)は、被検レンズユニットを透過した波面(透過波面)の波面収差を測定してそのコマ成分を算出することにより、被検レンズユニットの偏心量を測定し、また、その測定結果に基づいて被検レンズユニット内の調整レンズを調整することにより、偏心量を所望の範囲内に調整する装置である。この調芯装置1は、図1において上下に延びる光軸上に、照明ユニット2、被検レンズユニット20、及び、測定ユニット3の順で配置されて構成される。この被検レンズユニット20は、鏡筒22に、調整用レンズ21を含む複数のレンズが保持されて構成されるものである。
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The lens unit alignment apparatus according to the present invention (hereinafter referred to as “alignment apparatus”) measures the wavefront aberration of the wavefront (transmission wavefront) that has passed through the lens unit to be measured, and calculates its coma component. This is a device that adjusts the amount of eccentricity within a desired range by measuring the amount of eccentricity of the lens unit to be tested and adjusting the adjusting lens in the lens unit to be tested based on the measurement result. The alignment device 1 is configured by arranging an
照明ユニット2は、反射鏡4、光源5、拡散板6、コンデンサレンズ7、及び、チャート板8から構成される点光源装置9と、第1コリメータレンズ10とが光軸上にこの順で並んで構成される。また、測定ユニット3は、第2コリメータレンズ11、マイクロレンズアレイ12,及び、撮像素子13が光軸上にこの順で並んで構成される。なお、この調芯装置1には、載置された被検レンズユニット20を固定保持するレンズユニットマウント14が設けられており、被検レンズユニット20は、物体側を照明ユニット2に向けてこのレンズユニットマウント12に固定保持される。また、測定ユニット3は、光軸上を移動可能に構成されており、被検レンズユニット20の像側の焦点に、第2コリメータレンズ11の焦点がほぼ一致するように調整される。
In the
光源5から放射された光線は、直接、又は、反射鏡4で反射されて拡散板6に照射され、この拡散板6を透過して均一な照度の光線となる。そして、コンデンサレンズ7により集光されてチャート板8に照射される。このチャート板8には、光軸を含むようにピンホールが形成されており、このピンホールから出射した光線が第1コリメータレンズ10で平行光束に変換されて被検レンズユニット20の物体側から入射する。上述のように、被検レンズユニット20の像側の焦点は、第2コリメータレンズ11の焦点とほぼ一致しているため、被検レンズユニット20の像側から出射した光線は、一旦結像した後、第2コリメータレンズ11に入射して平行光束に変換され、この平行光束は、マイクロレンズアレイ12に入射する。マイクロレンズアレイ12は、微細な複数のレンズ(マイクロレンズ)を二次元的に配列したレンズ集合体であり、各々のマイクロレンズを透過した光線は各々のマイクロレンズの焦点面に配置された撮像素子13に各点像として結像する。撮像素子13には解析装置(PC)15が接続されており、この撮像素子13から出力される画像信号は、解析装置15で解析される。
A light beam emitted from the
この照明ユニット2及び測定ユニット3はシャック−ハルトマンの原理による透過波面の測定光学系の一例であり、マイクロレンズアレイ12により撮像素子13上に結像された各点像の位置を検出することにより解析装置15で波面収差を算出することができる。そして、解析装置15は、求められた波面収差からコマ成分を算出することにより、被検レンズユニット20の偏心量を測定するように構成されている。なお、マイクロレンズアレイ12により結像される各点像の基準となる位置は、被検レンズユニット20及び第2コリメータレンズ11を取り外した状態で、照明ユニット2から出射した平行光束をマイクロレンズアレイ12で結像させた状態であり、予めこの測定を行って解析装置15に記憶させておくことにより、被検レンズユニット20の偏心量を正確に測定することができる。
The
この調芯装置1には、被検レンズユニット20の上方に、調芯用ステージ16が配設されており、この調芯用ステージ16の下部から下方に突出する調芯爪17が、被検レンズユニット20の調整用レンズ21を保持している。この調芯用ステージ16は、光軸と直交する平面内を移動可能に構成されており、この調芯用ステージ16を動かして被検レンズユニット20の調整用レンズ21を移動させることができる。調芯用ステージ16の作動は解析装置15により制御される。そのため、解析装置15は、測定した偏心量を基にこの調芯ステージ16を移動させて調整レンズ21を移動させて、被検レンズユニット20の偏心量を所望の範囲内に調整するように構成されている。なお、解析装置15は、測定した偏心量から調芯用ステージ16の移動方向及び距離を算出し、その算出値を基に調芯用ステージ16を作動させても良いし、常時偏心量をモニタし、この偏心量をフィードバックして所望の範囲内になるように調芯用ステージ16を移動させて調芯させても良い。
The centering device 1 is provided with a
被検レンズユニット20の鏡筒22と調整用レンズ21との間には、紫外線硬化樹脂が充填されている。そのため、上述の処理により偏心量の調整が終了すると、UV照射ユニット18を調芯用ステージ16と照明ユニット2との間に配置してこの調整用レンズ21に紫外光を照射し、紫外線硬化樹脂を固化させることにより、鏡筒22に対して調整用レンズ21が固定される。なお、紫外線硬化樹脂で固定する以外にも、鏡筒22に取り付けられたビスでこの調整用レンズ22を固定するように構成することも可能である。
An ultraviolet curable resin is filled between the
以上のように、本実施例に係る調芯装置1は、シャック−ハルトマンの原理による透過波面の測定光学系を用いているため、レーザ光等の特殊な光源を用いる必要がなく、ハロゲンランプやタングステンランプ等の白色光源(光源5)により測定することができるため、被検レンズユニット20(例えば、カメラレンズ)の使用状態と同一の波長(白色光)の照明光を用いた検査を可能とするとともに、小型化が可能で、高精度で安価な調芯装置1を提供することができる。さらに、シャック−ハルトマンの原理を用いることにより、マスターレンズを必要とすることがなく、また、偏心量の測定においては可動部分がないことや、光線のゆらぎ等の影響を受けないため、耐環境性を向上させることができるとともに、被検レンズユニット20の偏心量を、高精度かつ定量的に測定することができる。さらに、計測が簡単でであるため、調芯作業を短時間で行うことができる。
As described above, the alignment apparatus 1 according to the present embodiment uses a transmission wavefront measuring optical system based on the Shack-Hartmann principle, so that it is not necessary to use a special light source such as a laser beam. Since it can be measured by a white light source (light source 5) such as a tungsten lamp, it is possible to inspect using illumination light having the same wavelength (white light) as the use state of the lens unit 20 (for example, a camera lens). In addition, it is possible to provide a centering device 1 that can be miniaturized and that is highly accurate and inexpensive. Furthermore, by using the Shack-Hartmann principle, there is no need for a master lens, and there is no moving part in the measurement of the amount of eccentricity, and it is not affected by fluctuations in the light beam. The amount of decentering of the
1 レンズユニット調芯装置
3 測定ユニット(検出装置)
9 点光源装置(点光源)
10 第1コリメータレンズ
11 第2コリメータレンズ
12 マイクロレンズアレイ
13 撮像素子
15 解析装置(検出装置)
16 調芯用ステージ(調整装置)
17 調芯爪(調整装置)
20 レンズユニット
21 調整用レンズ
1 Lens unit alignment device 3 Measurement unit (detection device)
9 Point light source device (point light source)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10
16 Alignment stage (adjustment device)
17 Alignment claw (Adjustment device)
20
Claims (3)
点光源から出射した光線を平行光束に変換する第1コリメータレンズと、
前記第1コリメータレンズから出射した平行光束を物体側から入射させて集光する前記被検レンズユニットと、
前記被検レンズユニットの像側の焦点近傍に焦点が位置するように配置された第2コリメータレンズと、
前記第2コリメータレンズにより平行光束に変換された光線を検出し、前記偏心量を算出する検出装置とから構成されるレンズユニット調芯装置。 A lens unit aligning device for adjusting a decentering amount of a lens unit within a desired range by moving the adjustment lens with respect to a test lens unit including a plurality of lenses including an adjustment lens. ,
A first collimator lens that converts a light beam emitted from a point light source into a parallel light beam;
The lens unit to be tested that collects the collimated light beam emitted from the first collimator lens by entering from the object side; and
A second collimator lens arranged so that the focal point is located near the focal point on the image side of the lens unit to be examined;
A lens unit alignment apparatus comprising: a detection device that detects a light beam converted into a parallel light beam by the second collimator lens and calculates the amount of eccentricity.
二次元的に配列された複数のマイクロレンズを有するマイクロレンズアレイと、
前記複数のマイクロレンズの各々で結像された点像を検出する撮像素子と、
前記撮像素子で検出された点像の位置から、前記被検レンズユニットの波面収差を算出し、前記波面収差のコマ成分から前記偏心量を算出する解析装置とから構成される請求項1に記載のレンズユニット調芯装置。 The detection device is
A microlens array having a plurality of microlenses arranged two-dimensionally;
An image sensor for detecting a point image formed by each of the plurality of microlenses;
2. The analyzer according to claim 1, further comprising: an analysis device that calculates a wavefront aberration of the lens unit to be detected from a position of a point image detected by the image sensor and calculates the decentering amount from a coma component of the wavefront aberration. Lens unit alignment device.
前記解析装置が、算出された前記偏心量に応じて前記調整装置の作動を制御することにより、前記調整用レンズを移動させて前記レンズユニットの偏心量を調整するように構成される請求項2に記載のレンズユニット調芯装置。 An adjustment device for moving the adjustment lens;
The analysis device is configured to adjust the eccentric amount of the lens unit by moving the adjustment lens by controlling the operation of the adjusting device according to the calculated eccentric amount. The lens unit aligning device according to 1.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006345234A JP5126648B2 (en) | 2006-12-22 | 2006-12-22 | Lens unit alignment device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006345234A JP5126648B2 (en) | 2006-12-22 | 2006-12-22 | Lens unit alignment device |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2008158125A true JP2008158125A (en) | 2008-07-10 |
JP5126648B2 JP5126648B2 (en) | 2013-01-23 |
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Family Applications (1)
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JP (1) | JP5126648B2 (en) |
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