JP2008140448A - Perpendicular magnetic recording head device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、記録媒体の媒体面に対して垂直方向に磁界を与えて記録を行う垂直磁気記録ヘッド装置に関する。 The present invention relates to a perpendicular magnetic recording head device that performs recording by applying a magnetic field in a direction perpendicular to the medium surface of a recording medium.
垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体に対向する面(媒体対向面)に、主磁極層上に対して非磁性絶縁層を介してリターンヨーク層を設けてなる積層構造を有する。主磁極層とリターンヨーク層とは、媒体対向面よりもハイト方向における奥部で磁気的に接続されている。また、非磁性絶縁層内には、主磁極層及びリターンヨーク層に記録磁界を与えるためのコイル層が埋設されている。このような構成を有する磁気ヘッド装置において、コイル層に通電することにより、主磁極層とリターンヨーク層との間に記録磁界が誘導され、この記録磁界が主磁極層の媒体対向面から記録媒体のハード膜に垂直に入射し、記録媒体のソフト膜を通ってリターンヨーク層に帰還する。これにより、記録媒体における主磁極層と対向する領域に情報記録される(特許文献1)。
垂直磁気記録ヘッド装置におけるリターンヨーク層やシールド層は、一般的に略長方形の薄膜磁性体で構成されており、ハイト方向の外部磁界を印加した場合に磁性体内部の磁束が薄膜のエッジに集中する。このとき、磁化方向成分の中でハイト方向成分が最も大きくなり、これが既存情報の上書き(Edge Write)の原因となる。すなわち、Edge Write磁界を低減するためには、リターンヨーク層やシールド層のエッジから発生するハイト方向成分の磁界を小さくする必要がある。 The return yoke layer and shield layer in a perpendicular magnetic recording head device are generally composed of a substantially rectangular thin film magnetic material. When an external magnetic field in the height direction is applied, the magnetic flux inside the magnetic material is concentrated on the edge of the thin film. To do. At this time, the height direction component is the largest among the magnetization direction components, and this causes overwriting of existing information (Edge Write). That is, in order to reduce the Edge Write magnetic field, it is necessary to reduce the magnetic field of the height direction component generated from the edges of the return yoke layer and the shield layer.
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる垂直磁気記録ヘッド装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of this point, and an object of the present invention is to provide a perpendicular magnetic recording head device that can suppress the edge write magnetic field and improve the external magnetic field resistance.
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する磁性層と、前記磁性層に対して非磁性層を介して設けられ、前記主磁極に対して幅広であるリターンヨーク層と、前記第1磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を具備するシールド型垂直磁気記録ヘッド装置であって、前記リターンヨーク層は、平面視において、前記コイル層を覆う前記リターンヨーク層の突出領域のトラック幅方向における端部から少なくとも前記突出領域に延在するスリットを有することを特徴とする。 The perpendicular magnetic recording head device of the present invention is provided with a magnetic layer having a main magnetic pole exposed at a surface facing a recording medium, and a nonmagnetic layer with respect to the magnetic layer, and is wide with respect to the main magnetic pole. A shield type perpendicular magnetic recording head device comprising: a return yoke layer; and a coil layer for applying a recording magnetic field to the first magnetic layer, wherein the return yoke layer includes the coil layer in plan view. It has a slit extending at least from the end in the track width direction of the protruding region of the return yoke layer to be covered to the protruding region.
この構成によれば、リターンヨーク層にスリットが存在するので、このスリットによりハイト方向における磁束の流れが妨げられて、スリットのエッジ部で磁束集中が起こる。このため、リターンヨーク層において、ハイト方向における磁化方向成分が減少し、Edge Write現象が抑えられる。 According to this configuration, since there is a slit in the return yoke layer, the flow of magnetic flux in the height direction is prevented by this slit, and magnetic flux concentration occurs at the edge portion of the slit. For this reason, in the return yoke layer, the magnetization direction component in the height direction is reduced, and the Edge Write phenomenon is suppressed.
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置においては、前記スリットは、平面視においてハイト方向奥側に延在することが好ましい。この構成によれば、磁束集中部を媒体対向面からより奥側(ハイト方向奥側)に位置させることができ、主磁極にできるだけ影響を及ぼさないでEdge Write現象を抑えることができる。 In the perpendicular magnetic recording head device of the present invention, it is preferable that the slit extends in the depth direction in the plan view. According to this configuration, the magnetic flux concentrating portion can be positioned on the deeper side (in the height direction) from the medium facing surface, and the edge write phenomenon can be suppressed without affecting the main magnetic pole as much as possible.
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する磁性層と、前記磁性層に対して非磁性層を介して設けられ、前記主磁極に対して幅広であるリターンヨーク層と、前記第1磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を具備するシールド型垂直磁気記録ヘッド装置であって、前記リターンヨーク層は、平面視において、前記コイル層を覆う前記リターンヨーク層の突出領域のトラック幅方向における端部から少なくとも前記突出領域に延在するスリットを有するので、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。 The perpendicular magnetic recording head device of the present invention is provided with a magnetic layer having a main magnetic pole exposed at a surface facing a recording medium, and a nonmagnetic layer with respect to the magnetic layer, and is wide with respect to the main magnetic pole. A shield type perpendicular magnetic recording head device comprising: a return yoke layer; and a coil layer for applying a recording magnetic field to the first magnetic layer, wherein the return yoke layer includes the coil layer in plan view. Since the slit extending from at least the end of the protruding region of the return yoke layer to be covered in the track width direction to the protruding region is provided, the edge write magnetic field can be kept low and the external magnetic field resistance can be improved.
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドを示す縦断面図である。図2は、図1に示す垂直磁気記録ヘッドの部分平面図及びリターンヨーク層の部分正面図である。図1において、Xはトラック幅方向を示し、Yはハイト方向を示し、Zは膜厚方向を示す。各方向は残り2つの方向に対して直交する関係となっている。なお、本実施の形態においては、スリットを有する磁性層がリターンヨーク層である場合について説明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a magnetic head provided with a perpendicular magnetic recording head according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a partial plan view of the perpendicular magnetic recording head shown in FIG. 1 and a partial front view of the return yoke layer. In FIG. 1, X indicates the track width direction, Y indicates the height direction, and Z indicates the film thickness direction. Each direction is orthogonal to the remaining two directions. In the present embodiment, the case where the magnetic layer having a slit is a return yoke layer will be described.
図1に示す垂直磁気記録ヘッドHWは、記録媒体Mに垂直磁界を与え、記録媒体Mのハード膜Maを垂直方向に磁化させる。記録媒体Mは、例えばディスク状であり、その表面に残留磁化の高いハード膜Maを有し、その内側に磁気透過率の高いソフト膜Mbを有しており、ディスクの中心が回転中心となって回転するように構成されている。 The perpendicular magnetic recording head H W shown in FIG. 1, it applies a perpendicular magnetic field to a recording medium M, to magnetize a hard film Ma of the recording medium M in the vertical direction. The recording medium M has, for example, a disk shape, has a hard film Ma with high residual magnetization on its surface, and has a soft film Mb with high magnetic permeability inside, and the center of the disk is the center of rotation. Are configured to rotate.
スライダ10は、Al2O3・TiCなどの非磁性材料で構成されている。スライダ10の対向面10aは記録媒体Mに対向しており、記録媒体Mが回転すると、表面の空気流によりスライダ10が記録媒体Mの表面から浮上し、又はスライダ10が記録媒体Mに摺動する。スライダ10のトレーリング側端面(上面)10bには、Al2O3又はSiO2などの無機材料で構成された非磁性絶縁層12が形成されており、この非磁性絶縁層12上に読取り部HRが形成されている。
The
読取り部HRは、非磁性絶縁層12上に形成された下部シールド層13と、下部シールド層13上に無機絶縁層(ギャップ絶縁層)15を介して形成された上部シールド層16とを有する。これらのシールド層13,16は、主磁極に対して幅広に形成されている。無機絶縁層15内には、読み取り素子14が設けられている。読み取り素子14としては、AMR(Anisotropic MagnetoResistance)素子 、GMR(Giant MagnetoResistance)素子、TMR(Tunnel MagnetoResistance)素子などの磁気抵抗効果素子が用いられる。
Reading portion H R includes a
上部シールド層16上には、コイル絶縁下地層17を介して、導電性材料で構成された複数本の下層コイル片18が形成されている。下層コイル片18は、例えばAu,Ag,Pt,Cu,Cr,Al,Ti,NiP,Mo,Pd,Rh,Niから選ばれた少なくとも1種の金属材料で構成される。また、下層コイル片18は、これらの非磁性金属材料で構成された層を積層して構成しても良い。
A plurality of
下層コイル片18の周囲には、Al2O3などの無機絶縁材料や、レジストなどの有機絶縁材料で形成されたコイル絶縁層19が形成されている。コイル絶縁層19の上面は平坦に形成され、この上面に、メッキ下地層(図示せず)が形成され、このメッキ下地層上に、主磁極層24が設けられている。主磁極層24の周囲は、Al2O3やSiO2などで構成された絶縁層32によって埋められ、主磁極層24の上面と絶縁層32の上面とが略同一平面になるように平坦化処理されている。主磁極層24は、例えばNiFe、CoFe、NiFeCoなどの飽和磁束密度の高い強磁性材料で構成されており、例えばメッキにより形成される。
A
図2に示すように、主磁極層24は、記録媒体との対向面H1a(対向面H1aはスライダ10の対向面10aと略同一平面で形成されている)からハイト方向(図示Y方向)にトラック幅Twで形成された細長い形状の前方部24aと、前方部24aのハイト方向後方において前方部24aよりもトラック幅方向(図示X方向)の幅寸法が広い後方部24b(最大幅寸法T2)とを有する。
As shown in FIG. 2, the main
図1に示すように、主磁極層24上には、Al2O3又はSiO2などの無機材料で構成された非磁性層であるギャップ層21が形成されている。ギャップ層21上には、コイル絶縁下地層22を介して上層コイル片23が形成されている。ギャップ層21は、上層コイル片23の絶縁下地としても機能しているので、コイル絶縁下地層22は形成されていなくても良い。上層コイル片23は、下層コイル片18と同様に、導電性材料によって複数本形成されている。上層コイル片23は、例えばAu,Ag,Pt,Cu,Cr,Al,Ti,NiP,Mo,Pd,Rh,Niから選ばれた少なくとも1種の金属材料で構成される。また、上層コイル片23は、これらの非磁性金属材料で構成された層を積層して構成しても良い。
As shown in FIG. 1, a
下層コイル片18と上層コイル片23とは、図2に示すように、ソレノイド状に配置され、各コイル片のトラック幅方向(図示X方向)における端部同士が電気的に接続されている。下層コイル片18及び上層コイル片23には、それぞれ引き出し部18a,23aが形成されており、この引き出し部18a,23aから電流がソレノイド状コイルに供給されるようになっている。
As shown in FIG. 2, the lower
上層コイル片23上には、Al2O3などの無機絶縁材料や、レジストなどの有機絶縁材料で構成されたコイル絶縁層26が形成されている。また、本実施の形態においては、ギャップ層21上に、無機材料又は有機材料で構成された間隔調整絶縁層28が形成されている。コイル絶縁層26の前縁は、間隔調整絶縁層28上に重なっている。図2に示すように、間隔調整絶縁層28の前縁28aは、トラック幅方向(図示X方向)と略平行な方向に向けて直線状に延在している。間隔調整絶縁層28の前縁28aは、対向面H1aからハイト方向に所定距離(ギャップデプス)L1だけ離れて形成されている。間隔調整絶縁層28は、図2に示すように、トラック幅方向(図示X方向)に長く延在している。間隔調整絶縁層28の前縁28aの幅寸法T3は、主磁極層24の最大幅寸法T2よりも小さく形成される。
A
ソレノイド状のコイル層を用いる場合、上層コイル片23のトラック幅方向の幅寸法は、主磁極層24の最大幅寸法T2よりも必ず大きくなるので、上層コイル片23上を覆うコイル絶縁層26の最大幅寸法T4は、主磁極層24の最大幅寸法T2より必ず大きくなる。間隔調整絶縁層28は、例えば有機絶縁材料で構成され、熱硬化により形成される。熱処理により間隔調整絶縁層28の縦断面形状は、矩形状から略半楕円形状(あるいは少なくとも上面は曲面状)となる。間隔調整絶縁層28上に一部重なってハイト方向に向けて形成されるコイル絶縁層26も有機絶縁材料で構成され、熱硬化により形成されたものであり、コイル絶縁層26の対向面側上面は、間隔調整絶縁層28の上面から曲面形状に盛り上がって形成される。間隔調整絶縁層28及びコイル絶縁層26(以下、この2層を「絶縁層30」と称する場合がある)は、ギャップ層21の上面を基準平面としたとき、基準平面よりも上方(図示Z方向)に盛り上がって形成されている。絶縁層30の周囲には、ギャップ層21の上面が露出している。以下では、間隔調整絶縁層28の前縁28aと対向面H1aとの間の領域を前方領域Aと称し、絶縁層30のトラック幅方向(図示X方向)における両側の領域を両側領域Bと称する。
When the solenoid coil layer is used, the width dimension of the
図1及び図2に示すように、前方領域A上、絶縁層30上、及び両側領域B上には、パーマロイなどの磁性材料で構成された第2磁性層であるリターンヨーク層27が形成されている。図1に示すように、リターンヨーク層27のハイト方向の後端部は、主磁極層24と磁気的に接続する接続部27cとなっている。リターンヨーク層27上は、無機絶縁材料などで構成された保護層31により覆われている。なお、第2磁性層としては、接続部27cを有しない、すなわち主磁極を有する磁性層と磁気的結合のない、単なるシールド作用を有する層であっても良い。このリターンヨーク層27は、主磁極に対して幅広に形成されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, a
リターンヨーク層27は、中央部27aと、中央部27aのトラック幅方向(図示X方向)の両側に位置する両側端部27bとで形成される。中央部27aは、主磁極層24と膜厚方向(図示Z方向)で対向する位置に形成されている。図1及び図2に示すように、中央部27aには、絶縁層30上から前方領域A上にかけて上方に向けて突出する突出部27a1が形成されている。絶縁層30上に形成されるリターンヨーク層27は、そもそも絶縁層30が両側領域Bよりも盛り上がって形成されているから両側領域B上に形成されるリターンヨーク層27に比べて突出して形成される。このとき、絶縁層30上に形成されるリターンヨーク層27の膜厚と、両側領域B上に形成されるリターンヨーク層27の膜厚はあまり変わらない。なお、リターンヨーク層27の厚さは、PTP(Pole Tip Protrusion)現象を抑制することを考慮すると、0.1μm〜1.0μmであることが好ましい。
The
本発明に係る垂直磁気記録ヘッドにおけるリターンヨーク層27は、図3に示すように、コイル層を覆うリターンヨーク層の突出領域27eを有する、いわゆるシールデッドポール構造を有する。この突出領域27eは、コイル絶縁層26の形状に追従した略アーチ形状を有する。なお、ここで、突出領域27eは、コイル絶縁層26の隆起した形状に追従して隆起するリターンヨーク層27の部分から開始するものとする。
As shown in FIG. 3, the
また、本発明に係る垂直磁気記録ヘッドにおけるリターンヨーク層27は、図4(b)に示すように、スリット27dを有する。上述したように、リターンヨーク層は、一般的に略長方形の薄膜磁性体で構成されており、ハイト方向の外部磁界を印加した場合に、図4(a)に示すように、磁性体内部の磁束が薄膜のエッジに集中する(図中Xは磁束集中部を示す)。このとき、磁化方向成分の中でハイト方向成分が最も大きくなり、これが既存情報のEdge Writeの原因となる。本発明者らは、このような点に着目し、リターンヨーク層に、平面視においてトラック幅方向における端部から少なくとも突出領域に延在するスリットを設けることにより、ハイト方向における磁化方向成分を減少させてEdge Write現象を抑えることができることを見出し本発明をするに至った。特に、シールデッドポール構造のリターンヨーク層において、略アーチ形状を有する突出領域27eにスリット27dを設けることにより、反磁界の大きい略アーチ形状部分に磁束集中部を位置させることができるので、Edge Write現象をより効果的に抑制することができる。
In addition, the
本発明者らは、薄い磁性体膜であるリターンヨーク層の反磁界に着目し、略アーチ形状を設けて反磁界を利用することにより、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができることを見出し本発明をするに至った。 The inventors pay attention to the demagnetizing field of the return yoke layer, which is a thin magnetic film, and use the demagnetizing field by providing a substantially arched shape, thereby reducing the Edge Write magnetic field and improving the external magnetic field resistance. As a result, the present invention has been found.
反磁界(Hd)は、磁性体の磁化と同時に、磁極が磁性体内部に作り出す磁化方向と逆向きの磁界である。そして、一般的に直交座標系における反磁界係数は、Nx+Ny+Nz=1という関係がある。 The demagnetizing field (Hd) is a magnetic field opposite to the magnetization direction created by the magnetic pole inside the magnetic body at the same time as the magnetization of the magnetic body. In general, the demagnetizing field coefficient in the orthogonal coordinate system has a relationship of Nx + Ny + Nz = 1.
磁性体を膜厚≒0の薄膜とすると、磁性体の反磁界係数Nx,Nyが0であり、Nzが1であると考えることができる。この場合において、磁性体に外部磁界が印加されることを考える。磁化容易軸方向に外部磁界が印加されると、図5(a)に示すように、磁性体が磁化し易く、発生する磁界が大きくなり、一方、磁化困難軸方向に外部磁界が印加されると、図5(b)に示すように、磁性体が磁化し難く、発生する磁界が小さくなると考えられる。
If the magnetic material is a thin film with a
このような考え方を垂直磁気記録ヘッドのリターンヨーク層27に適用すると、薄膜のリターンヨーク層27においては、図5(c)に示すように、突出領域27eを設けることにより、図5(a)の状態から図5(b)の状態へ変化させ、ハイト方向の反磁界を大きくさせることができる。すなわち、突出領域27eを設けることにより、突出部27a1の面の反磁界が大きくなり、突出領域27eに磁束集中部を位置させることができる。
When such a concept is applied to the
この場合において、スリット27dの位置や大きさは、リターンヨーク層27が主磁極層24に対して十分なシールド効果を発揮しながら、Edge Write現象を抑制することを考慮して決定される。すなわち、スリット27dは主磁極層24の前方部24aにおける主磁極層24とリターンヨーク層27との間の磁気的な関係に影響を与えない領域に設ける。
In this case, the position and size of the
このような要件を考慮すると、スリット27dは、平面視においてトラック幅方向における端部から少なくとも内側に延在するように設ける。この場合、図4(b)に示すように、スリット27dは、平面視においてハイト方向奥側に延在するように設けることが好ましい。このようにすることにより、磁束集中部Xを媒体対向面からより奥側(ハイト方向奥側)に位置させることができ、主磁極層24の前方部24aにできるだけ影響を及ぼさないでEdge Write現象を抑えることができる。
Considering such requirements, the
この場合において、ハイト方向に対するスリット27dの長手方向の角度θは、45°〜135°であることが好ましい。さらに、スリット27dの幅は、1μm以上であることが好ましい。
In this case, the longitudinal angle θ of the
このように、リターンヨーク層27に、平面視においてトラック幅方向における端部から少なくとも内側に延在するスリット27dが形成されている垂直磁気記録ヘッドにおいては、リターンヨーク層27にスリット27dが存在するので、このスリット27dによりハイト方向における磁束の流れが妨げられて、スリット27dのエッジ部で磁束集中が起こる(図4(b))。このため、リターンヨーク層27において、ハイト方向における磁化方向成分が減少してEdge Write現象が抑えられる。特に、シールデッドポール構造のリターンヨーク層において、略アーチ形状を有する突出領域27eにスリット27dを設けるので、反磁界の大きい略アーチ形状部分に磁束集中部を位置させることができ、Edge
Write現象をより効果的に抑制することができる。
Thus, in the perpendicular magnetic recording head in which the
Write phenomenon can be suppressed more effectively.
スリット27dの形状については、図4(b)に示す形状に限定されず、種々変更することができる。なお、本実施の形態においては、スリット27dがリターンヨーク層27のトラック幅方向における端部からそれぞれ設けられている場合について説明しているが、本発明においては、スリット27dがトラック幅方向におけるいずれか一方の端部に設けられていても良い。
The shape of the
次に、本発明の効果を明確にするために行った実施例について説明する。
ここでは、静磁界シミュレーションにより効果を確認した。このシミュレーションでは、垂直磁気記録ヘッドにおいて、外部磁界耐性にかかわる部位をモデル化し、外部磁界印加時の磁化状態を計算した。なお、磁界強度最大量は、リターンヨーク層27から発生するハイト方向成分の磁界強度分布のうち、磁界強度が最大の値とした。また、ハイト方向成分の磁界強度分布は、記録磁性膜の膜厚中央に位置する平面において測定した。
Next, examples performed for clarifying the effects of the present invention will be described.
Here, the effect was confirmed by a static magnetic field simulation. In this simulation, in the perpendicular magnetic recording head, the part related to the external magnetic field resistance was modeled, and the magnetization state when the external magnetic field was applied was calculated. Note that the maximum amount of magnetic field strength is the maximum value of the magnetic field strength distribution of the height direction component generated from the
平面視においてトラック幅方向における端部から少なくとも突出領域27eに延在するスリット27dを設けたリターンヨーク層27を含む垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドについて磁界強度最大量を求めた。その結果を図6に示す。この場合、図4(b)に示す形状のスリットを有するものを実施例とした。また、比較例として、リターンヨーク層27にスリットを有しない垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドについて磁界強度最大値を上記と同様にして求めた。その結果を図6に併記する。
The maximum magnetic field strength was determined for a magnetic head including a perpendicular magnetic recording head including a
図6から分かるように、本発明に係る垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッド(実施例)については、スリット27dをリターンヨーク層27に設けているので、磁界強度が3kOe(×103/4π A/m)以下であり、外部磁界耐性を向上させることができる。一方、磁性層にスリットを有しない垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッド(比較例)については、磁界強度最大量が4kOe(×103/4π A/m)近くあり、記録媒体の保磁力(Hc)によってはEdge Writeが発生する可能性がある。
As can be seen from FIG. 6, in the magnetic head (Example) provided with the perpendicular magnetic recording head according to the present invention, since the
本発明においては、リターンヨーク層27について、トラック幅方向の端部に厚いエッジ部や略アーチ形状を設けても良い。これにより、よりEdge Writeを抑えることができる。なお、リターンヨーク層にエッジ部を設ける場合の方法については、本出願人の特願2006−199726号に記載の方法により形成することができる。すなわち、コイル絶縁下地層及び上層コイル片を含むギャップ層上にレジスト層を形成し、そのレジスト層上にメッキ処理によりリターンヨーク層を形成し、リターンヨーク層のエッジ部に追加的にメッキ処理を施すことにより厚膜部を形成する。また、図7に示すように、リターンヨーク層にアーチ部を設ける場合の方法については、本出願人の特願2006−199727号に記載の方法により形成することができる。すなわち、コイル絶縁下地層及び上層コイル片を含むギャップ層上に第1レジスト層を形成し、さらにアーチ部を形成する領域に第2レジスト層を形成し、第2レジスト層上にメッキ処理によりリターンヨーク層を形成する。このリターンヨーク層は、第2レジスト層に沿ってアーチ形状に形成される。これらの内容はここに含めておく。
In the present invention, the
本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。例えば、上記実施の形態で説明した数値や材質、部材の形状、特にスリットの形状については特に制限はない。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更することが可能である。 The present invention is not limited to the embodiment described above, and can be implemented with various modifications. For example, there are no particular limitations on the numerical values, materials, and member shapes, particularly the slit shapes described in the above embodiments. Other modifications may be made as appropriate without departing from the scope of the object of the present invention.
10 スライダ
12 非磁性絶縁層
13 下部シールド層
14 読み取り素子
15 無機絶縁層
16 上部シールド層
18 下層コイル片
21 ギャップ層
23 上層コイル片
24 主磁極層
24a 前方部
26 コイル絶縁層
27 リターンヨーク層
27c 接続部
27d スリット
27e 突出領域
28 間隔調整絶縁層
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20100202 |