JP2004348928A - Perpendicular recording magnetic head - Google Patents

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Hiroshi Kameda
博史 亀田
Eiji Ozaki
英司 尾崎
Kiyoshi Kobayashi
潔 小林
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a perpendicular recording magnetic head which is excellent in external magnetic resistance and suppresses edge writing by improving the shape of a write shielding layer in particular. <P>SOLUTION: The write shielding layer 62 is separately formed into a front end side shielding layer 63 and a rear end side shielding layer 64. Thus, the flowing of magnetic flux from a coil layer 26, etc., absorbed by the rear end side shielding layer 64 to the front end side shielding layer 63 side is appropriately suppressed to thereby reduce the amount of magnetic flux to be absorbed by the front end side shielding layer 63 even though the write shielding layer 62 is formed larger than a second magnetic part. Then, external magnetic resistance is improved and the occurrence of edge writing is suppressed. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハード膜を有するディスクなどの記録媒体に対して垂直磁界を与えて記録を行う垂直記録磁気ヘッドに係り、特にライトシールド層の形状を改良し、外部磁界耐性に優れ且つエッジライトを抑制できる垂直記録磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ディスクなどの記録媒体に磁気データを高密度で記録する装置として垂直磁気記録方式がある。図１２は前記垂直磁気記録方式の装置に使用される垂直記録磁気ヘッドの一般的な構造を示す部分斜視図である。
【０００３】
図１２に示す垂直磁気記録方式の垂直記録磁気ヘッドＨは、記録媒体上を浮上して移動しまたは摺動するスライダ（図示しない）の側端面に設けられるものである。
【０００４】
符号１は、強磁性材料で形成された補助磁極層であり、前記補助磁極層１の上に所定の間隔を空けて同じく強磁性材料で形成された前記主磁極部２が設けられる。前記補助磁極層１と主磁極部２は記録媒体との対向面で膜厚方向（図示Ｚ方向）で対向する。
【０００５】
図１２に示す垂直記録磁気ヘッドＨは、前記主磁極部２のハイト方向（図示Ｙ方向）後方で、前記主磁極部２と一体となり、前記主磁極部２のトラック幅方向（図示Ｘ方向）における幅寸法Ｔｗよりも広い幅寸法を有するヨーク部３が形成された単磁極型の垂直記録磁気ヘッドである。
【０００６】
図１２に示すように、前記補助磁極層１と前記ヨーク部３とは、両層の基端部間に介在する接続部４によって磁気的に接続される。
【０００７】
また図１２に示すように、前記接続部４の周囲を螺旋状に巻回形成されたコイル層５（図１２ではコイル層の１ターンのみ図示されている）が形成されている。
【０００８】
前記コイル層５に通電されることにより補助磁極層１と、ヨーク部３を通って主磁極部２とに記録磁界が誘導されると、補助磁極層１の前端面１ａと、主磁極部２の前端面２ａとの間での漏れ記録磁界が、記録媒体に垂直方向に向けられる。
【０００９】
図１２に示すように、主磁極部２の前端面２ａの面積が、補助磁極層１の前端面１ａでの面積よりも十分に小さくなっているため、主磁極部２の前端面２ａと対向する記録媒体の面に主磁極部２からの磁束φが集中して与えられ、前記磁束φにより磁気データが記録される。
【００１０】
垂直磁気記録は水平磁気記録に比べて高記録密度化を実現する上で有利である。しかし、高記録密度化には主磁極部２のトラック幅Ｔｗがさらに狭小化され、前記主磁極部２に流入する様々な外部磁界の影響が問題になりやすい。前記主磁極部２は記録媒体からの漏れ磁界や、磁気ヘッド装置内で発生する様々な外部磁界の影響を受けて、磁気飽和に達したり、あるいはこの主磁極部２で予期せぬ記録・消去を行ってしまうといった不具合も発生しやすい。このため高記録密度化を図るためには、外部磁界耐性の向上が必要とされた。
【００１１】
例えば、以下に示す非特許文献１では、ＦＩＧ．４に示すように磁極（Ｐｏｌｅ Ｔｉｐ）の両側にサイドシールド層が設けられている。サイドシールド層を設ければ、設けないよりは外部磁界耐性は向上すると考えられる。しかしＦＩＧ．４の左図にあるように、磁気ヘッドを真上からみるとサイドシールド層は、磁極の両側にわずかに形成されているだけで、この文献におけるサイドシールド層が外部磁界耐性を効果的に向上させる役割を担っているとは考えにくい。
【００１２】
そこで図１２に示すように、例えば前記主磁極部２及びヨーク部３上に所定間隔を空けてライトシールド層６を対向させる構造が提案されている。
【００１３】
【特許文献１】
特開平２−２０１７１０号公報
【非特許文献１】
Ｏｎｅ Ｔｅｒａｂｉｔ ｐｅｒ Ｓｑｕａｒｅ Ｉｎｃｈ Ｐｅｒｐｅｎｄｉｃｕｌａｒ Ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ Ｃｏｎｃｅｐｔｕａｌ Ｄｅｓｉｇｎ（ＩＥＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮ ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ，ＶＯＬ３８，ＮＯ４，ＪＵＬＹ ２００２）
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで図１２に示す構造では、前記外部磁界耐性を向上させるために、例えば前記ライトシールド層６のハイト方向への長さ寸法Ｌ１を長くする必要がある。前記ライトシールド層６のハイト方向への長さ寸法Ｌ１を長く形成することで、前記主磁極部２及びヨーク部３に、外部磁界が集中的に流入するのを抑制でき、外部磁界耐性は向上する。
【００１５】
しかしその一方で、前記ライトシールド層６がコイル層５から発生する磁束を吸収しやくなり、それは前記ライトシールド層６の長さ寸法Ｌ１を長くするほど吸収する磁束量が増えてしまう。磁束は前記ライトシールド層６の対向面でのエッジ部５ａ，５ａに集中するため、吸収した磁束量が多すぎるとこのエッジ部５ａ，５ａで記録媒体に対して記録等を行ってしまう不具合（エッジライトの問題）が発生した。
【００１６】
すなわちライトシールド層６のハイト方向への長さ寸法Ｌ１を長くすれば外部磁界耐性を向上させることができるが、エッジライトが生じやすくなっていた。
【００１７】
上記した特許文献１では、例えばＦＩＧ．１６ＢやＦＩＧ．１６Ｃなどを見てわかるように磁極Ｐの上方、下方及び両側方をシールド３４で囲っている。このようにすることで「目標の信号源以外の磁束を磁極が検知することを防止する（公開公報の第４頁左下欄第１７行以降）」としている。前記磁極をシールド３４で囲めば、外部磁界耐性の向上は図れるものと考えられるが、前記のエッジライトの発生を低減できない。
【００１８】
特に特許文献１の構造では、ＦＩＧ．１６Ｃにあるように、磁極Ｐの下方にあるシールド３４のみならず、前記磁極Ｐの上方にあるシールド３４も、前記磁極Ｐの基端側に磁気的に接続されている。すなわち前記磁極Ｐの上下にあるシールド３４は、図１２に示す補助磁極層１としての役割も担っている。
【００１９】
このためシールド３４で吸収した磁束は、磁気的に繋がっている磁極Ｐまで導かれ、前記磁極Ｐによる垂直記録に悪影響を及ぼす可能性がある。また前記シールド３４は、補助磁極層１としての役割とシールドとしての役割の双方を良好に維持しつつ、前記エッジライトの低減を余儀なくされるため、前記シールド３４の改良の自由度が極端に低い構造となっている。
【００２０】
そこで本発明は上記従来の課題を解決するものであり、特にライトシールド層の形状を改良し、外部磁界耐性に優れ且つエッジライトを抑制できる垂直記録磁気ヘッドを提供することを目的としている。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、記録媒体との対向面で、第１の磁性部がトラック幅よりも広い幅寸法で形成されるとともに、第２の磁性部がトラック幅で形成され、前記第１の磁性部と第２の磁性部とが間隔を開けて位置するとともに、ハイト側で直接あるいは間接的に接続されており、
前記第１の磁性部と第２の磁性部との前記間隔内に位置し前記第１の磁性部と前記第２の磁性部とに記録磁界を与えるコイル層が設けられ、前記第２の磁性部に集中する垂直磁界によって、前記記録媒体に磁気データを記録する垂直記録磁気ヘッドにおいて、
前記第２の磁性部の第１の磁性部が対向する側と反対側に、前記第２の磁性部と所定間隔を空けてライトシールド層が設けられ、
前記ライトシールド層は、前記対向面からハイト方向に所定長さから成る前端側シールド層と、前記前端側シールド層からハイト方向に所定間隔を空けた位置からハイト方向に延びる後端側シールド層とを有して構成されることを特徴とするものである。
【００２２】
本発明では、ライトシールド層を前端側シールド層と、後端側シールド層とに分離形成し、これらシールド層間に所定間隔を設け、前記前端側シールド層と後端側シールド層間の磁気的な接続を抑制している。
【００２３】
このため前記前端側シールド層と後端側シールド層とで構成されるライトシールド層のハイト方向への長さを図１２に示す従来例と同様に長く延ばしても、後端側シールド層が吸収したコイル層等からの磁束が、前記前端側シールド層側に流入するのを適切に抑制でき、前記前端側シールド層が吸収する磁束量を低減できる。
【００２４】
従って本発明によれば、外部磁界耐性の向上とともにエッジライトの発生も抑制することが可能である。
【００２５】
また前記ライトシールド層は、第１の磁性部と違って、第２の磁性部に磁気的に接続されているわけではないため、ライトシールド層の加工の自由度は、第１の磁性部を加工する場合よりも高い。
【００２６】
すなわち例えば、前記した特許文献１では、本発明の第１の磁性部に相当するシールド３４は、磁極Ｐに磁気的に繋がっており補助磁極層としての役割もあるため、前記シールド３４を本発明と同様に前端側と後端側とに分離形成することはできない。一方、本発明におけるライトシールド層には、シールドとしての機能のみが備わっていればよいため、前端側と後端側とに分離形成することが可能であり、このようにライトシールド層の形状を改良することで特許文献１では成しえない外部磁界耐性の向上とエッジライトの低減とを同時に成しえることが可能なのである。
【００２７】
本発明では、前記ライトシールド層は、前記前端側シールド層と後端側シールド層間に空けられた間隔内と膜厚方向で対向する部分の前記第２の磁性部を除いた前記第２の磁性部よりも大きい面積で形成されることが好ましい。これにより、より適切に外部磁界耐性の向上を図ることができる。
【００２８】
また本発明では、前記第２の磁性部は、前記対向面でトラック幅で形成された主磁極部と、前記対向面よりもハイト側で前記主磁極部に接続しトラック幅よりも大きい幅寸法で形成されたヨーク部とを有して構成されることが好ましい。
【００２９】
また本発明では、少なくとも前記主磁極部のトラック幅方向の両側には、前記主磁極部の両側面から所定間隔を空けてサイドシールド層が配置されていることが好ましい。これにより外部磁界耐性の更なる向上を図ることができるとともに、前記第２の磁性部から記録媒体に対して垂直に放出されるべき磁束がトラック幅方向に広がるのを抑制でき、記録特性の向上を図ることが可能である。
【００３０】
なお前記サイドシールド層と前記前端側シールド層とが磁気的に接続されていてもよい。
【００３１】
また本発明では、前記前端側シールド層のトラック幅方向への幅寸法は、後端側シールド層のトラック幅方向への幅寸法と同じ寸法かあるいは広くなっていることが好ましい。前記後端側シールド層のトラック幅方向への幅寸法を前端側シールド層のトラック幅方向への幅寸法より大きくすると、前記後端側シールド層の前端面と記録媒体との対向面との間の距離によっては、前記後端側シールド層の前記エッジ部でのエッジライトが問題になる可能性もあるので、前記後端側シールド層のトラック幅方向への幅寸法は、前端側シールド層のトラック幅方向への幅寸法に比べて小さくしておくことが好ましい。
【００３２】
また本発明では、前記後端側シールド層のハイト方向への長さ寸法は、前記前端側シールド層のハイト方向への長さ寸法に比べて大きいことが好ましい。これにより前端側シールド層の磁束吸収量を抑制できるととも、主に後端側シールド層で磁束の吸収を促進させることができ、より効果的に外部磁界耐性の向上を図ることができるとともにエッジライトの低減を図ることができる。
【００３３】
また本発明では、少なくとも前記前端側シールド層の前記対向面側の下縁部が、前記後端側シールド層の下面に比べて前記第１の磁性部に近い位置にあることが好ましい。これにより前記第１の磁性部から記録媒体に対して垂直に放出されるべき磁束の広がりを前記前端側シールド層で効果的に抑制でき、記録特性の向上を図ることが可能である。
【００３４】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の第１実施形態の垂直記録磁気ヘッドを備えた磁気ヘッドの構造を示す縦断面図である。
【００３５】
図１に示す垂直記録磁気ヘッドＨ０は記録媒体Ｍに垂直磁界を与え、記録媒体Ｍのハード膜Ｍａを垂直方向に磁化させるものである。
【００３６】
前記記録媒体Ｍはディスク状であり、その表面に残留磁化の高いハード膜Ｍａが、内方に磁気透過率の高いソフト膜Ｍｂを有しており、ディスクの中心が回転軸中心となって回転させられる。
【００３７】
前記垂直記録磁気ヘッドＨのスライダ１１はＡｌ２Ｏ３・ＴｉＣなどのセラミック材料で形成されており、スライダ１１の対向面１１ａが前記記録媒体Ｍに対向し、記録媒体Ｍが回転すると、表面の空気流によりスライダ１１が記録媒体Ｍの表面から浮上し、またはスライダ１１が記録媒体Ｍに摺動する。図１においてスライダ１１に対する記録媒体Ｍの移動方向は図示Ｚ方向である。垂直記録磁気ヘッドＨ０はスライダ１１のトレーリング側端面に設けられる。
【００３８】
図１ないし図１１において図示Ｘ方向はトラック幅方向を、図示Ｙ方向はハイト方向を表す。また各図において「前端面」「前端側」「前方」とは記録媒体との対向面側に向く面や前記対向面方向を指し、「後端面」「後端側」「後方」とはハイト側に向く面やハイト方向を指す。
【００３９】
図１に示すように、前記スライダ１１の上面１１ｂには、Ａｌ２Ｏ３またはＳｉＯ２などの無機材料による非磁性絶縁層５４が形成されて、この非磁性絶縁層の上に読取り部ＨＲが形成されている。
【００４０】
前記読取り部ＨＲは、下から下部シールド層５２、ギャップ層５５、磁気抵抗効果素子５３、および上部シールド層５１から成る。前記磁気抵抗効果素子５３は、異方性磁気抵抗効果（ＡＭＲ）素子、巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）素子、トンネル型磁気抵抗効果（ＴＭＲ）素子などである。
【００４１】
前記上部シールド層５１の上には、Ａｌ２Ｏ３またはＳｉＯ２などの無機材料による非磁性絶縁層１２が形成されて、前記非磁性絶縁層１２の上に本発明の記録用の垂直記録磁気ヘッドＨ０が設けられている。そして垂直記録磁気ヘッドＨ０は無機非磁性絶縁材料などで形成された保護層１３により被覆されている。そして前記垂直記録磁気ヘッドＨ０の記録媒体との対向面Ｈ０ａは、前記スライダ１１の対向面１１ａとほぼ同一面である。
【００４２】
前記垂直記録磁気ヘッドＨ０では、パーマロイ（Ｎｉ−Ｆｅ）などの強磁性材料がメッキされて補助磁極層（第１の磁性部）２１が形成されている。前記補助磁極層２１の前端面２１ｂは前記対向面Ｈ０ａと同一面を成す。なお前記上部シールド層５１が前記補助磁極層２１として兼用されていてもよい。前記非磁性絶縁層１２は、前記補助磁極層２１の下および前記補助磁極層２１の周囲に形成されている。そして図１に示すように、補助磁極層２１の表面（上面）２１ａと前記非磁性絶縁層１２の表面（上面）１２ａとは同一の平面上に位置している。
【００４３】
図１に示すように、前記対向面Ｈ０ａよりもハイト方向後方（図示Ｙ方向）では、前記補助磁極層２１の表面２１ａ上にＮｉ−Ｆｅなどの接続層２５が形成されている。
【００４４】
前記接続層２５の周囲において、前記補助磁極層２１の表面２１ａおよび前記非磁性絶縁層１２の表面１２ａ上に、Ａｌ２Ｏ３などの絶縁下地層２６が形成されて、この絶縁下地層２６の上にＣｕなどの導電性材料によりコイル層２７が形成されている。このコイル層２７はフレームメッキ法などで形成されたものであり、前記接続層２５の周囲に所定の巻き数となるように螺旋状にパターン形成されている。コイル層２７の巻き中心側の接続端２７ａ上には同じくＣｕなどの導電性材料で形成された底上げ層３１が形成されている。
【００４５】
前記コイル層２７および底上げ層３１は、レジスト材料などの有機材料の絶縁層３２で被覆されており、さらに絶縁層３３で覆われている。
【００４６】
前記絶縁層３３は無機絶縁材料で形成されることが好ましく、前記無機絶縁材料としては、ＡｌＯ、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ、ＡｌＮ、ＡｌＳｉＮ、ＴｉＮ、ＳｉＮ、Ｓｉ３Ｎ４、ＮｉＯ、ＷＯ、ＷＯ３、ＢＮ、ＣｒＮ、ＳｉＯＮのうち少なくとも１種以上を選択できる。
【００４７】
そして前記接続層２５の表面（上面）２５ａ、底上げ層３１の表面（上面）３１ａ、および絶縁層３３の表面（上面）３３ａは、同一面となるように加工されている。このような平坦化加工はＣＭＰ技術などを用いて行なわれる。
【００４８】
前記絶縁層３３の表面３３ａ上には、対向面Ｈ０ａからハイト方向に所定長さで形成されトラック幅方向（図示Ｘ方向）への幅寸法がトラック幅Ｔｗで形成された主磁極部２４が形成され、この主磁極部２４の基端から前記主磁極部２４と一体となりハイト方向へトラック幅方向への幅寸法が前記トラック幅Ｔｗよりも広がって延びるヨーク部３５が形成されている。この主磁極部２４とヨーク部３５とで第２の磁性部が構成される。
【００４９】
図２は図１に示す垂直記録磁気ヘッドを模式図的に示した部分斜視図である。図２に示すように前記主磁極部２４は、前記対向面Ｈ０ａと同一面を成す前端面２４ａからハイト方向（図示Ｙ方向）にトラック幅方向（図示Ｘ方向）への幅寸法がトラック幅Ｔｗで規定されて所定長さＬ２で延びている。前記トラック幅Ｔｗは具体的には０．１μｍ〜１．０μｍ、前記長さＬ２は具体的には０μｍ〜１μｍの範囲内で形成される。
【００５０】
図２に示すように前記主磁極部２４の両側基端部２４ｂから前記主磁極部２４と一体となりトラック幅方向（図示Ｘ方向）への幅寸法が前記トラック幅Ｔｗよりも広がりながらハイト方向へ延びるヨーク部３５が形成されている。前記ヨーク部３５は、トラック幅方向（図示Ｘ方向）への幅寸法Ｔ１が最も広い部分で１μｍ〜１００μｍ程度であり、また前記ヨーク部３５のハイト方向への長さ寸法Ｌ３は１μｍ〜１００μｍ程度である。
【００５１】
図１及び図２に示すように前記ヨーク部３５の基端部３５ａは、前記接続層２５上に形成され、前記ヨーク部３５と前記接続層２５とが磁気的に接続されている。この結果、主磁極部２４−ヨーク部３５−接続層２５−補助磁極層２１を経る磁気回路が形成される。
【００５２】
なお図１及び図２に示す実施形態では前記主磁極部２４とヨーク部３５とが一体で形成されているが別体で形成されていてもかまわない。別体で形成される場合、前記主磁極部２４とヨーク部３５とが膜厚方向で重ね合わされたり、あるいは主磁極部２４の基端から前記主磁極部２４の形成位置と同一位相でヨーク部３５が磁気的に接続されたものなど種々の構成が可能である。また別体で形成される場合には、特に主磁極部２４にヨーク部３５よりも飽和磁束密度の高い磁性材料を用いることができる。
【００５３】
図１に示すように、前記底上げ層３１の表面３１ａにはリード層３６が形成され、リード層３６から前記底上げ層３１およびコイル層２７に記録電流の供給が可能となっている。
【００５４】
図１に示すように、前記主磁極部２４上及びヨーク部３５上はＡｌ２Ｏ３などの絶縁層６０によって覆われている。また前記絶縁層６０は前記ヨーク部３５よりもハイト側の領域を埋めている。前記絶縁層６０の表面（上面）６０ａはＣＭＰ技術などを用いて平坦化面とされている。
【００５５】
図１に示すように前記絶縁層６０の表面６０ａにはライトシールド層６２が形成されている。ライトシールド層６２はＮｉＦｅ合金などの磁性材料で形成される。図１の実施形態におけるライトシールド層６２の形状を、図２及び図３を用いて以下に詳述する。なお図３は前記ライトシールド層６２と主磁極部２４及びヨーク部３５との部分平面図である。
【００５６】
図２に示すように前記ライトシールド層６２は、前端側シールド層６３と後端側シールド層６４とに分離形成されている。
【００５７】
前記前端側シールド層６３はその前端面６３ａが前記対向面Ｈ０ａと同一面上にあり、トラック幅方向（図示Ｘ方向）への幅寸法がＴ２、ハイト方向への長さ寸法がＬ４で形成された略矩形状を成している。図３に示すように前記前端側シールド層６３は少なくとも前記主磁極部２４上を完全に覆う大きさで形成される。
【００５８】
前記前端側シールド層６３の後端面６３ｂからは所定の間隔Ｌ５を空けて後端側シールド層６４がハイト方向（図示Ｙ方向）に延びて形成されている。前記後端側シールド層６４は、トラック幅方向（図示Ｘ方向）への幅寸法がＴ３で形成され、ハイト方向（図示Ｙ方向）への長さ寸法がＬ６で形成された略矩形状を成している。前記後端側シールド層６４は膜厚方向（図示Ｚ方向）で対向する位置にあるヨーク部３５上を完全に覆う程度の大きさで形成される。この結果、外部磁界耐性の向上を図ることができる。
【００５９】
しかも図１ないし図３に示すように前記ライトシールド層６２は前端側シールド層６３と後端側シールド層６４とで分離形成されているから、前記前端側シールド層６３と後端側シールド層６４間の磁気的な接続は抑制され、前記後端側シールド層６４が吸収した磁束が前記前端側シールド層６３に流入するのを抑制できる。このため前記前端側シールド層６３に流れ込む磁束量は小さく、前記前端側シールド層６３の前端面６３ａのエッジ部６３ａ１，６３ａ１から記録媒体に対して磁界を与えて記録をしてしまう、いわゆるエッジライトの問題を従来に比べて低減できる。
【００６０】
図３に示すように、前記前端側シールド層６３及び後端側シールド層６４のトラック幅方向（図示Ｘ方向）への幅寸法Ｔ２，Ｔ３は、前記主磁極部２４及びヨーク部３５のトラック幅方向への幅寸法Ｔｗ，Ｔ１に比べて大きくなっている。これにより前記前端側シールド層６３及び後端側シールド層６４は膜厚方向で対向する位置にある主磁極部２４及びヨーク部３５のトラック幅方向における両側面よりもさらにトラック幅方向に広がり、前記主磁極部２４及びヨーク部３５上を適切に覆うことができ、外部磁界耐性の向上を適切に図ることができる。
【００６１】
また前記前端側シールド層６３の幅寸法Ｔ２は、後端側シールド層６４の幅寸法Ｔ３と同じかあるいは広くなっていることが好ましい。前記後端側シールド層６４の幅寸法Ｔ３を前端側シールド層６３の幅寸法Ｔ２より大きくすると、前記後端側シールド層６４がコイル層２７等から発生する磁束を吸収する量が増える。そして前記後端側シールド層６４の前端面６４ａと前記対向面Ｈ０ａとの間の距離によっては、前記後端側シールド層６４の前端面６４ａのエッジ部６４ａ１でのエッジライトが問題になる可能性もあるので、前記後端側シールド層６４の幅寸法Ｔ３は、前端側シールド層６３の幅寸法Ｔ２に比べて小さくしておくことが好ましい。
【００６２】
また前記後端側シールド層６４の後端面６４ｂは、前記ヨーク部３５の後端面３５ｂよりもハイト側に位置していると、前記ヨーク部３５の基端部３５ａ上も前記後端側シールド層６４で適切に覆うことができ、外部磁界耐性の向上を図ることができて好ましい。
【００６３】
本発明では、前記前端側シールド層６３と後端側シールド層６４とで構成されるライトシールド層６２が、前記前端側シールド層６３と後端側シールド層６４との間に空けられた間隔Ｌ５と膜厚方向で対向する部分を除いて主磁極部２４上及びヨーク部３５上を完全に覆うように前記前端側シールド層６３及び後端側シールド層６４の幅寸法Ｔ２，Ｔ３及び長さ寸法Ｌ４，Ｌ６を規定することで、より効果的に外部磁界耐性の向上を図ることができて好ましい。
【００６４】
次に前記後端側シールド層６４のハイト方向への長さ寸法Ｌ６は、前記前端側シールド層６３のハイト方向への長さ寸法Ｌ４に比べて大きいことが好ましい。これによって後端側シールド層６４が吸収する磁束量を多くできるとともに、前端側シールド層６３に流入する磁束量を減らすことができるので外部磁界耐性の向上とともにエッジライトの発生を抑制することが可能になる。
【００６５】
ここで前記前端側シールド層６３及び後端側シールド層６４の具体的な寸法について説明する。前記前端側シールド層６３の幅寸法Ｔ２は５μｍ〜１００μｍの範囲内、長さ寸法Ｌ４は０．１μｍ〜１０μｍの範囲内であることが好ましい。また前記後端側シールド層６４の幅寸法Ｔ３は１μｍ〜１００μｍの範囲内、長さ寸法Ｌ６は１μｍ〜１００μｍの範囲内であることが好ましい。
【００６６】
次に前記前端側シールド層６３と後端側シールド層６４間に空けられた間隔Ｌ５は０．１μｍ〜１０μｍの範囲内であることが好ましい。前記間隔Ｌ５は大きい方が前記後端側シールド６４から前記前端側シールド層６３に磁束が流入するのをより効果的に抑制でき、エッジライトの発生を適切に抑制できるが、前記間隔Ｌ５をあまり大きくしすぎると、特にライトシールド層６２で前記主磁極部２４上及びヨーク部３５上を覆うことができない隙間が大きくなりすぎ外部磁界耐性の低下を招く。よって前記間隔Ｌ５は上記した寸法範囲内であることが好ましい。
【００６７】
図１に示すように、前記間隔Ｌ５内及び前記後端側シールド層６４の後端面６４ｂよりもハイト側の領域は絶縁層７０で埋められ、前記絶縁層７０の上面と前端側シールド層６３及び後端側シールド層６４の上面がＣＭＰ技術等を用いた同一平坦化面となっている。そしてこの同一平坦化面上に保護層１３が形成されて、垂直記録磁気ヘッドが完成する。
【００６８】
図４は、図１に示す補助磁極層２１、接続層２５、主磁極部２４、ヨーク部３５、前端側シールド層６３及び後端側シールド層６４を抜き出して模式図的に示した部分縦断面図である。
【００６９】
図４に示すように前記前端側シールド層６３及び後端側シールド層６４は、共に基準平面Ａに沿った平面上（ここでの基準平面Ａは図１で言う絶縁層６０の上面である）に形成されている。前記主磁極部２４及びヨーク部３５の上面からこの基準平面Ａまでの高さ寸法Ｈ１は、例えば０．０１μｍ〜１０μｍの範囲内である。すなわち図４に示す構造では、主磁極部２４とヨーク部３５とから成る第２の磁性部と、前端側シールド層６３間の距離、及び前記第２の磁性部と後端側シールド層６４間の距離は同じである。
【００７０】
ただし本発明では、図５に示すように、前端側シールド層６３と後端側シールド層６４の主磁極部２４及びヨーク部３５上からの高さを互いに異なる寸法にすることもできる。
【００７１】
図５に示すように、前記前端側シールド層６３は前端面６３ａから後端面６３ｂに向けて前記主磁極部２４との間の距離が離れるように屈曲した形状であり、前端面６３ａの下縁部６３ａ２は、前記後端面６３ｂの下縁部６３ｂ１に比べて主磁極部２４に近い位置に形成される。
【００７２】
前記前端側シールド層６３の前端面６３ａの下縁部６３ａ２を前記主磁極部２４に近づけることで、前記主磁極部２４から記録媒体に向けて垂直方向に出るべき磁界が垂直方向から広がって放出されるのを抑制でき記録特性の向上を図ることが可能である。例えば前記下縁部６３ａ２と主磁極部２４間の距離Ｈ２は０．１μｍ程度である。
【００７３】
図５に示すように前記前端側シールド層６３の後端面６３ｂ側を前記主磁極部２４の上面から離れる方向に屈曲させたのは、前記前端側シールド層６３の下面全体が、前記下縁部６３ａ２と前記主磁極部２４間の距離Ｈ２と同じ距離で形成されていると、前記前端側シールド層６３から前記主磁極部２４に漏れ出る磁束量が多く記録特性の低下を招くため、前記前端側シールド層６３の後端面６３ｂ側は前記主磁極部２４から距離的に離しておいた方がよい。前記後端面６３ｂの下縁部６３ｂ１と主磁極部２４間の距離Ｈ４は例えば１μｍ程度である。
【００７４】
また前記後端側シールド層６４の下面６４ｃとヨーク部３５間の距離Ｈ３は、、前記距離Ｈ２，Ｈ４よりもさらに大きいことが好ましい。前記後端側シールド層６４は特に外部磁界耐性を向上させるために、前記前端側シールド層６３に比べて大きい平面形状で形成され、前記後端側シールド層６４は前記前端側シールド層６３よりもより多くの磁束を吸収する。このため前記後端側シールド層６４が前端側シールド層６３と同様に前記主磁極部２４及びヨーク部３５に近づくと、前記後端側シールド層６４から前記主磁極部２４やヨーク部３５に漏れ出る磁束量が多く記録特性の低下を招きやすくなるので、前記後端側シールド層６４の下面６４ｃとヨーク部３５間の距離Ｈ３は適度に離れていることが望ましい。前記距離Ｈ３は例えば５μｍ程度である。
【００７５】
図６及び図７は本発明の別の実施形態の垂直記録磁気ヘッドの部分縦断面図である。なお図６及び図７において図１ないし図５と同じ符号が付けられている層は図１ないし図５に示す層と同じ層を示している。
【００７６】
図６及び図７に示す垂直記録磁気ヘッドは、主磁極部２４及びヨーク部３５の上方に補助磁極層（第１の磁性部）２１が形成された構造である。なお図６は後述する図８に示すＣ−Ｃ線から垂直記録磁気ヘッドを切断し矢印方向から見た部分縦断面図、図７は、後述する図９に示すＤ−Ｄ線から垂直記録磁気ヘッドを切断し矢印方向から見た部分縦断面図である。
【００７７】
図６に示すように、前端側シールド層６３と後端側シールド層６４とで構成されるライトシールド層６２上にＡｌ２Ｏ３などからなる絶縁層７２が形成され、前記絶縁層７２の上に主磁極部２４及び前記主磁極部２４と一体となって形成されたヨーク部３５とで構成される第２の磁性部が形成されている。前記主磁極部２４及びヨーク部３５の上には絶縁材料製のギャップ層７３が形成され、前記ギャップ層７３上にはレジストなどで形成されたハイト方向規制部７４が形成されている。前記ハイト方向規制部７４は、対向面Ｈ０ａからややハイト方向（図示Ｙ方向）に奥まった位置に形成される。
【００７８】
図６に示すように、前記ハイト方向規制部７４よりもハイト側の空間内にはコイル層２７が形成され、前記コイル層２７上がＡｌ２Ｏ３などの無機絶縁材料やあるいは有機絶縁材料で形成されたコイル絶縁層７５で覆われている。このコイル絶縁層７５はその前端側が、前記ハイト方向規制部７４上の一部にかかる位置まで形成されている。
【００７９】
図６に示すように前記コイル絶縁層７５上には補助磁極層２１が形成される。前記補助磁極層２１は、その前端側が前記ハイト方向規制部７４上、及び前記ハイト方向規制部７４よりも前方にあるギャップ層７３上にかけて形成される。前記補助磁極層２１の前端面２１ｂは前記対向面Ｈ０ａと同一面を成している。
【００８０】
図７に示す垂直記録磁気ヘッドでは、前端側シールド層６３と後端側シールド層６４とで構成されるライトシールド層６２上にＡｌ２Ｏ３などからなる絶縁層７６が形成され、前記絶縁層７６の上に主磁極部２４及び前記主磁極部２４と一体となって形成されたヨーク部３５からなる第２の磁性部が形成されている。前記主磁極部２４及びヨーク部３５の上には絶縁材料製のギャップ層７３が形成される。
【００８１】
前記ギャップ層７３上には、前記対向面Ｈ０ａからハイト方向へ所定寸法でシールド層７７が形成されている。前記シールド層７７は、後述するように前記主磁極部２４のトラック幅方向の両側にまで延びて形成されている。
【００８２】
図７に示すように、前記シールド層７７のハイト方向後方はＡｌ２Ｏ３などで形成された絶縁層７８が形成され、前記シールド層７７の上面と前記絶縁層７８の上面とがＣＭＰ技術等によって同一平面とされている。
【００８３】
前記絶縁層７８上にはコイル層２７が形成され、前記コイル層２７上がコイル絶縁層７５で覆われている。前記コイル絶縁層７５の前端面は前記対向面Ｈ０ａよりもハイト方向に奥まった位置にある。前記補助磁極層２１は前記コイル絶縁層７５上から前記前記コイル絶縁層７５よりも前方に位置するシールド層７７の上面にかけて形成され、前記補助磁極層２１の前端面２１ｂは前記対向面Ｈ０ａと同一平面を成している。
【００８４】
図６及び図７に示す実施形態では、いずれもライトシールド層６２が前端側シールド層６３と後端側シールド層６４とに分離形成された構造となっている。
【００８５】
このため前記前端側シールド層６３と後端側シールド層６４とを合わせたライトシールド層６２を、前記主磁極部２４及びヨーク部３５下に広い面積で形成し外部磁界耐性の向上を図ることができるとともに、前記前端側シールド層６３と後端側シールド層６４間に間隔を空けたことで、後端側シールド層が吸収した磁束が、前記前端側シールド層側に流入するのを適切に抑制でき、前記前端側シールド層が吸収する磁束量を低減できる。従って前記前端側シールド層からのエッジライトの問題を従来に比べて抑制できる。
【００８６】
なお前記前端側シールド層６３及び後端側シールド層６４の具体的な形状等に関しては図１ないし図３で説明したものと同じであるのでそちらを参照されたい。また図６及び図７には読み取り部ＨＲが図示されていないが、当然に、前記ライトシールド層６２の下側に前記読み取り部ＨＲが形成されていてもよい。
【００８７】
図８は図６に示す垂直記録磁気ヘッドの部分正面図、図９は図７に示す垂直記録磁気ヘッドの部分正面図である。図８に示す符号８０は主磁極部２４及びヨーク部３５の周囲を埋めるＡｌ２Ｏ３などで形成された絶縁層である。
【００８８】
図９では、主磁極部２４の上面及びトラック幅方向の両側面にはギャップ層７３を介してシールド層７７が形成されている。前記シールド層７７のうち前記主磁極部２４のトラック幅方向の両側に位置する部分がサイドシールド部７７ａ，７７ａとなっている。
【００８９】
図９に示すようにサイドシールド部７７ａは、前端側シールド層６３とメッキ下地層８１を介して磁気的に接続されている。このため前記主磁極部２４を正面から見ると、前記主磁極部２４の下方、上方、及び側方が、前記シールド層７７と前端側シールド層６３とによって囲まれた状態になっている。
【００９０】
前記サイドシールド部７７ａは前記主磁極部２４から記録媒体に向けて垂直方向に出るべき記録磁界がトラック幅方向（図示Ｘ方向）に広がるのを抑制する作用を有する。このため前記主磁極部２４からは前記記録媒体に対してより垂直な記録磁界が生じ記録特性を向上させることができる。
【００９１】
このようなサイドシールド部は、図１ないし図３に示す垂直記録磁気ヘッドの構造にも適用可能である。
【００９２】
図１０は、図１ないし図３に示す垂直記録磁気ヘッドにサイドシールド層９０を設けた形態であり、前記垂直記録磁気ヘッドの部分正面図である。図１０に示すように前記主磁極部２４のトラック方向の両側から絶縁層３３上にかけてＡｌ２Ｏ３などで形成された絶縁層９１が形成され、前記主磁極部２４のトラック幅方向の両側に前記絶縁層９１を介してサイドシールド層９０が形成されている。この実施形態では、前記主磁極部２４の上面とサイドシールド層９０の上面とがＣＭＰ技術等により同一平坦化面にされている。
【００９３】
前記サイドシールド層９０は、図１１（図１０に示す垂直記録磁気ヘッドの部分平面図）に示すように前記主磁極部２４のトラック幅方向の両側に形成される。前記サイドシールド層９０はヨーク部３５のトラック幅方向の両側には設けられていないが、前記ヨーク部３５の両側にも所定の間隔を空けて、前記サイドシールド層９０と一体あるいは別体でシールド層が設けられていてもよい。また前記ヨーク部３５の両側に前記サイドシールド層９０とは別体でシールド層を設ける場合、前記サイドシールド層９０とシールド層との間に間隔を空けることで、外部磁界耐性の向上を図ることができるとともに前記サイドシールド層９０でのエッジライトの発生を抑制できて好ましい。
【００９４】
以上詳述した本発明におけるライトシールド層６２は、前端側シールド層６３と後端側シールド層６４とに分離形成されていることが最も大きな特徴点で、前記前端側シールド層６３及び後端側シールド層６４の形状は、図２に示すように略矩形状であることに限定されない。
【００９５】
また前記後端側シールド層６４は単体ではなく、例えば複数に分離形成された後端側シールド片の集合体であってもよい。このとき各後端側シールド片は、トラック幅方向に沿ってハイト方向に所定間隔を空けて配置される以外の配置であってもよい。また、各後端側シールド片は、各後端側シールド片間に空けられる間隔を狭くして磁気的に接続された状態であってもよいし、そうでなくてもよい。
【００９６】
【発明の効果】
以上のように本発明では、ライトシールド層を前端側シールド層と、後端側シールド層とに分離形成し、これらシールド層間に所定間隔を設け、前記前端側シールド層と後端側シールド層間の磁気的な接続を抑制している。
【００９７】
このため前記前端側シールド層と後端側シールド層とで構成されるライトシールド層を第２の磁性部より大きく形成しても、後端側シールド層が吸収したコイル層等からの磁束が、前記前端側シールド層側に流入するのを適切に抑制でき、前記前端側シールド層が吸収する磁束量を低減できる。
【００９８】
従って本発明によれば、外部磁界耐性の向上とともにエッジライトの発生も抑制することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における第１実施形態の垂直記録磁気ヘッドを備えた磁気ヘッドの縦断面図、
【図２】図１に示す垂直記録磁気ヘッドの部分斜視図、
【図３】図１及び図２に示す垂直記録磁気ヘッドの部分平面図、
【図４】図１ないし図３に示す垂直記録磁気ヘッドの部分縦断面図、
【図５】図４とは異なる構造の垂直記録磁気ヘッドの部分縦断面図、
【図６】本発明における別の実施形態の垂直記録磁気ヘッドの部分縦断面図、
【図７】本発明における別の実施形態の垂直記録磁気ヘッドの部分縦断面図、
【図８】図６に示す垂直記録磁気ヘッドの部分正面図、
【図９】図７に示す垂直記録磁気ヘッドの部分正面図、
【図１０】図１に示す垂直記録磁気ヘッドにサイドシールド層を設けた場合の部分正面図、
【図１１】図１０に示す垂直記録磁気ヘッドの部分平面図、
【図１２】従来における垂直磁気記録ヘッドの部分斜視図、
【符号の説明】
Ｈ０ 垂直記録磁気ヘッド
Ｈ０ａ 対向面
Ｍ 記録媒体
１１ スライダ
２１ 補助磁極層（第１の磁性部）
２４ 主磁極部
２５ 接続層
３５ ヨーク部
６２ ライトシールド層
６３ 前端側シールド層
６４ 後端側シールド層
７７ シールド層
７７ａ サイドシールド部
９０ サイドシールド層[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a perpendicular recording magnetic head that performs recording by applying a perpendicular magnetic field to a recording medium such as a disk having a hard film, and in particular, improves the shape of a write shield layer, is excellent in external magnetic field resistance, and has an edge write function. The present invention relates to a perpendicular recording magnetic head that can be suppressed.
[0002]
[Prior art]
As a device for recording magnetic data at high density on a recording medium such as a disk, there is a perpendicular magnetic recording system. FIG. 12 is a partial perspective view showing a general structure of a perpendicular recording magnetic head used in the perpendicular magnetic recording system.
[0003]
A perpendicular magnetic recording head H of the perpendicular magnetic recording system shown in FIG. 12 is provided on a side end surface of a slider (not shown) that moves or slides while flying above a recording medium.
[0004]
Reference numeral 1 denotes an auxiliary magnetic pole layer formed of a ferromagnetic material. The main magnetic pole portion 2 also formed of a ferromagnetic material is provided on the auxiliary magnetic pole layer 1 at a predetermined interval. The auxiliary magnetic pole layer 1 and the main magnetic pole portion 2 oppose each other in the thickness direction (Z direction in the drawing) on the surface facing the recording medium.
[0005]
The perpendicular recording magnetic head H shown in FIG. 12 is integrated with the main magnetic pole portion 2 behind the main magnetic pole portion 2 in the height direction (Y direction in the drawing), and in the track width direction of the main magnetic pole portion 2 (X direction in the drawing). Is a single pole type perpendicular recording magnetic head in which a yoke portion 3 having a width dimension wider than the width dimension Tw is formed.
[0006]
As shown in FIG. 12, the auxiliary magnetic pole layer 1 and the yoke portion 3 are magnetically connected by a connecting portion 4 interposed between the base ends of both layers.
[0007]
As shown in FIG. 12, a coil layer 5 (only one turn of the coil layer is shown in FIG. 12) is formed in a spiral shape around the connection portion 4.
[0008]
When a recording magnetic field is induced in the auxiliary magnetic pole layer 1 and the main magnetic pole part 2 through the yoke part 3 by energizing the coil layer 5, the front end face 1a of the auxiliary magnetic pole layer 1 and the main magnetic pole part 2 The leakage recording magnetic field between the recording medium and the front end face 2a is directed in a direction perpendicular to the recording medium.
[0009]
As shown in FIG. 12, the area of the front end face 2 a of the main magnetic pole part 2 is sufficiently smaller than the area of the front end face 1 a of the auxiliary magnetic pole layer 1. The magnetic flux φ from the main magnetic pole portion 2 is applied to the surface of the recording medium to be concentrated, and magnetic data is recorded by the magnetic flux φ.
[0010]
Perpendicular magnetic recording is advantageous in achieving higher recording density than horizontal magnetic recording. However, to increase the recording density, the track width Tw of the main magnetic pole portion 2 is further narrowed, and the influence of various external magnetic fields flowing into the main magnetic pole portion 2 tends to be a problem. The main magnetic pole 2 reaches magnetic saturation due to the influence of a leakage magnetic field from the recording medium and various external magnetic fields generated in the magnetic head device, or unexpected recording / erasing by the main magnetic pole 2. The problem of performing the operation easily occurs. For this reason, in order to increase the recording density, it is necessary to improve the external magnetic field resistance.
[0011]
For example, in Non-Patent Document 1 shown below, FIG. As shown in FIG. 4, side shield layers are provided on both sides of the magnetic pole (Pole Tip). It is considered that the provision of the side shield layer improves the external magnetic field resistance compared to the case where the side shield layer is not provided. However, FIG. As shown in the left diagram of Fig. 4, when the magnetic head is viewed from directly above, the side shield layers are slightly formed on both sides of the magnetic pole, and the side shield layers in this document effectively improve the external magnetic field resistance. It is hard to imagine that it has a role to make it happen.
[0012]
Therefore, as shown in FIG. 12, for example, a structure in which the write shield layer 6 is opposed to the main magnetic pole portion 2 and the yoke portion 3 at a predetermined interval has been proposed.
[0013]
[Patent Document 1]
JP-A-2-201710
[Non-patent document 1]
One Terabit per Square Inch Perpendicular Recording Conceptual Design (IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS, VOL38, NO4, JULY 2002)
[0014]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the structure shown in FIG. 12, it is necessary to lengthen the length L1 of the write shield layer 6 in the height direction, for example, in order to improve the external magnetic field resistance. By forming the length L1 of the write shield layer 6 in the height direction to be long, it is possible to suppress the external magnetic field from intensively flowing into the main magnetic pole part 2 and the yoke part 3, and to improve the external magnetic field resistance. I do.
[0015]
However, on the other hand, the write shield layer 6 tends to absorb the magnetic flux generated from the coil layer 5, and the longer the length dimension L1 of the write shield layer 6, the larger the amount of the absorbed magnetic flux. Since the magnetic flux concentrates on the edge portions 5a, 5a on the opposing surface of the write shield layer 6, if the absorbed magnetic flux amount is too large, recording or the like is performed on the recording medium at the edge portions 5a, 5a ( Edge light problem).
[0016]
That is, if the length dimension L1 of the write shield layer 6 in the height direction is increased, the resistance to the external magnetic field can be improved, but edge writing tends to occur.
[0017]
In Patent Document 1 described above, for example, FIG. 16B and FIG. As can be seen from 16 C and the like, the upper, lower, and both sides of the magnetic pole P are surrounded by the shield 34. By doing so, it is stated that "preventing the magnetic pole from detecting magnetic fluxes other than the target signal source (page 17, lower left column, line 17 and subsequent pages of the publication)". If the magnetic pole is surrounded by the shield 34, it is considered that the external magnetic field resistance can be improved, but the occurrence of the edge light cannot be reduced.
[0018]
In particular, in the structure of Patent Document 1, FIG. As shown in FIG. 16C, not only the shield 34 below the magnetic pole P but also the shield 34 above the magnetic pole P are magnetically connected to the base end side of the magnetic pole P. That is, the shields 34 above and below the magnetic pole P also serve as the auxiliary magnetic pole layer 1 shown in FIG.
[0019]
For this reason, the magnetic flux absorbed by the shield 34 is guided to the magnetic pole P that is magnetically connected, and may adversely affect perpendicular recording by the magnetic pole P. In addition, since the shield 34 is required to reduce the edge light while maintaining both the role as the auxiliary pole layer 1 and the role as the shield, the degree of freedom of improvement of the shield 34 is extremely low. It has a structure.
[0020]
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a perpendicular recording magnetic head in which the shape of a write shield layer is improved, and which has excellent external magnetic field resistance and can suppress edge writing.
[0021]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention, on a surface facing a recording medium, a first magnetic part is formed with a width dimension wider than a track width, and a second magnetic part is formed with a track width. The second magnetic part is located at an interval and is directly or indirectly connected on the height side,
A coil layer for providing a recording magnetic field to the first magnetic part and the second magnetic part and located within the space between the first magnetic part and the second magnetic part; In a perpendicular recording magnetic head that records magnetic data on the recording medium by a perpendicular magnetic field concentrated on a portion,
A write shield layer is provided on a side of the second magnetic section opposite to a side where the first magnetic section faces, at a predetermined interval from the second magnetic section,
The write shield layer, a front end side shield layer having a predetermined length in the height direction from the facing surface, and a rear end side shield layer extending in the height direction from a position spaced at a predetermined height direction from the front end side shield layer, It is characterized by comprising.
[0022]
In the present invention, the write shield layer is separately formed into a front end shield layer and a rear end shield layer, a predetermined space is provided between these shield layers, and a magnetic connection between the front end shield layer and the rear end shield layer is provided. Has been suppressed.
[0023]
For this reason, even if the length in the height direction of the write shield layer composed of the front end shield layer and the rear end side shield layer is extended as in the conventional example shown in FIG. It is possible to appropriately suppress the magnetic flux from the coil layer and the like flowing into the front end side shield layer side, and it is possible to reduce the amount of magnetic flux absorbed by the front end side shield layer.
[0024]
Therefore, according to the present invention, it is possible to improve the resistance to the external magnetic field and to suppress the occurrence of the edge light.
[0025]
Further, unlike the first magnetic part, the write shield layer is not magnetically connected to the second magnetic part. Therefore, the degree of freedom in processing the write shield layer depends on that of the first magnetic part. Higher than when processing.
[0026]
That is, for example, in Patent Document 1 described above, the shield 34 corresponding to the first magnetic portion of the present invention is magnetically connected to the magnetic pole P and also has a role as an auxiliary magnetic pole layer. Similarly to the above, it is not possible to separately form the front end side and the rear end side. On the other hand, since the write shield layer in the present invention only needs to have a function as a shield, it can be formed separately on the front end side and the rear end side. With the improvement, it is possible to simultaneously improve the resistance to the external magnetic field and reduce the edge light which cannot be achieved by Patent Document 1.
[0027]
In the present invention, the write shield layer is formed by removing the second magnetic portion at a portion opposed in a film thickness direction within a space provided between the front end shield layer and the rear end shield layer. Preferably, it is formed with an area larger than the area. Thereby, the external magnetic field resistance can be more appropriately improved.
[0028]
Further, in the present invention, the second magnetic portion has a main pole portion formed with a track width on the facing surface, and a width dimension larger than the track width connected to the main pole portion on a height side of the facing surface. And a yoke portion formed of
[0029]
Further, in the present invention, it is preferable that side shield layers are arranged at least on both sides of the main magnetic pole portion in the track width direction at predetermined intervals from both side surfaces of the main magnetic pole portion. Thereby, the external magnetic field resistance can be further improved, and the magnetic flux to be emitted perpendicularly to the recording medium from the second magnetic portion can be suppressed from spreading in the track width direction, thereby improving the recording characteristics. It is possible to achieve.
[0030]
The side shield layer and the front end side shield layer may be magnetically connected.
[0031]
In the present invention, it is preferable that the width dimension of the front end side shield layer in the track width direction is equal to or larger than the width dimension of the rear end side shield layer in the track width direction. When the width of the rear end shield layer in the track width direction is larger than the width of the front end shield layer in the track width direction, the distance between the front end surface of the rear end shield layer and the surface facing the recording medium is increased. Depending on the distance, the edge light at the edge of the rear end side shield layer may be a problem, so the width dimension of the rear end side shield layer in the track width direction is equal to the width of the front end side shield layer. It is preferable that the width be smaller than the width in the track width direction.
[0032]
In the present invention, it is preferable that the length of the rear end side shield layer in the height direction is larger than the length of the front end side shield layer in the height direction. As a result, the amount of magnetic flux absorbed by the front end shield layer can be suppressed, and the absorption of magnetic flux can be mainly promoted by the rear end side shield layer, whereby the external magnetic field resistance can be more effectively improved and the edge can be improved. Light can be reduced.
[0033]
In the present invention, it is preferable that at least a lower edge portion of the front end side shield layer on the side of the facing surface is closer to the first magnetic portion than a lower surface of the rear end side shield layer. Thereby, the spread of the magnetic flux to be emitted perpendicularly to the recording medium from the first magnetic portion can be effectively suppressed by the front end side shield layer, and the recording characteristics can be improved.
[0034]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a structure of a magnetic head having a perpendicular recording magnetic head according to a first embodiment of the present invention.
[0035]
The perpendicular recording magnetic head H shown in FIG. 0 Is for applying a perpendicular magnetic field to the recording medium M to magnetize the hard film Ma of the recording medium M in the vertical direction.
[0036]
The recording medium M is disk-shaped, and has a hard film Ma having a high residual magnetization on its surface and a soft film Mb having a high magnetic transmittance inside, and the center of the disk is rotated around the rotation axis. Let me do.
[0037]
The slider 11 of the perpendicular recording magnetic head H is made of Al. 2 O 3 The slider 11 is made of a ceramic material such as TiC, the opposing surface 11a of the slider 11 faces the recording medium M, and when the recording medium M rotates, the slider 11 floats from the surface of the recording medium M by the airflow on the surface. Or the slider 11 slides on the recording medium M. In FIG. 1, the moving direction of the recording medium M with respect to the slider 11 is the Z direction in the drawing. Perpendicular recording magnetic head H 0 Is provided on the trailing end surface of the slider 11.
[0038]
1 to 11, the X direction in the drawing indicates the track width direction, and the Y direction in the drawing indicates the height direction. In each figure, “front end surface”, “front end side”, and “front” indicate a surface facing the surface facing the recording medium and the direction of the facing surface, and “rear end surface”, “rear end side”, and “rear” refer to Refers to the surface facing the side or the height direction.
[0039]
As shown in FIG. 1, the upper surface 11b of the slider 11 2 O 3 Or SiO 2 A non-magnetic insulating layer 54 made of an inorganic material such as R Is formed.
[0040]
The reading section H R Consists of a lower shield layer 52, a gap layer 55, a magnetoresistive element 53, and an upper shield layer 51 from below. The magnetoresistance effect element 53 is an anisotropic magnetoresistance effect (AMR) element, a giant magnetoresistance effect (GMR) element, a tunnel type magnetoresistance effect (TMR) element, or the like.
[0041]
On the upper shield layer 51, Al 2 O 3 Or SiO 2 A non-magnetic insulating layer 12 made of an inorganic material such as, for example, is formed, and the perpendicular recording magnetic head H for recording of the present invention is formed on the non-magnetic insulating layer 12. 0 Is provided. And the perpendicular recording magnetic head H 0 Is covered with a protective layer 13 formed of an inorganic nonmagnetic insulating material or the like. And the perpendicular recording magnetic head H 0 Facing surface H of recording medium 0 a is substantially the same as the facing surface 11a of the slider 11.
[0042]
The perpendicular recording magnetic head H 0 Here, a ferromagnetic material such as permalloy (Ni-Fe) is plated to form an auxiliary magnetic pole layer (first magnetic portion) 21. The front end face 21b of the auxiliary magnetic pole layer 21 is 0 It forms the same plane as a. The upper shield layer 51 may also be used as the auxiliary magnetic pole layer 21. The nonmagnetic insulating layer 12 is formed below the auxiliary magnetic pole layer 21 and around the auxiliary magnetic pole layer 21. As shown in FIG. 1, the surface (upper surface) 21a of the auxiliary magnetic pole layer 21 and the surface (upper surface) 12a of the nonmagnetic insulating layer 12 are located on the same plane.
[0043]
As shown in FIG. 0 A connection layer 25 such as Ni-Fe is formed on the surface 21a of the auxiliary magnetic pole layer 21 behind the height a in the height direction (the Y direction in the drawing).
[0044]
Around the connection layer 25, the surface 21a of the auxiliary pole layer 21 and the surface 12a of the nonmagnetic insulating layer 12 2 O 3 And the like, and a coil layer 27 made of a conductive material such as Cu is formed on the insulating base layer 26. The coil layer 27 is formed by a frame plating method or the like, and is spirally patterned around the connection layer 25 so as to have a predetermined number of turns. On the connection end 27a on the winding center side of the coil layer 27, a bottom raising layer 31 also formed of a conductive material such as Cu is formed.
[0045]
The coil layer 27 and the bottom raising layer 31 are covered with an insulating layer 32 made of an organic material such as a resist material, and further covered with an insulating layer 33.
[0046]
Preferably, the insulating layer 33 is formed of an inorganic insulating material. As the inorganic insulating material, AlO, Al 2 O 3 , SiO 2 , Ta 2 O 5 , TiO, AlN, AlSiN, TiN, SiN, Si 3 N 4 , NiO, WO, WO 3 , BN, CrN, SiON.
[0047]
The surface (upper surface) 25a of the connection layer 25, the surface (upper surface) 31a of the raised layer 31, and the surface (upper surface) 33a of the insulating layer 33 are processed to be the same surface. Such a flattening process is performed using a CMP technique or the like.
[0048]
On the surface 33a of the insulating layer 33, an opposing surface H 0 a main pole portion 24 having a predetermined length in the height direction from a and a track width Tw in the track width direction (X direction in the drawing) is formed. The main pole portion 24 is formed from the base end of the main pole portion 24 to the main pole portion 24. A yoke portion 35 is formed integrally with the magnetic pole portion 24 and extends in the height direction in the track width direction so as to be wider than the track width Tw. The main magnetic pole part 24 and the yoke part 35 constitute a second magnetic part.
[0049]
FIG. 2 is a partial perspective view schematically showing the perpendicular recording magnetic head shown in FIG. As shown in FIG. 2, the main magnetic pole portion 24 is 0 The width dimension in the track width direction (X direction in the drawing) in the height direction (Y direction in the drawing) is defined by the track width Tw and extends by a predetermined length L2 from the front end surface 24a, which forms the same plane as a. Specifically, the track width Tw is formed in a range of 0.1 μm to 1.0 μm, and the length L2 is formed in a range of 0 μm to 1 μm.
[0050]
As shown in FIG. 2, the width dimension in the track width direction (X direction in the drawing) is integrated with the main magnetic pole section 24 from both base ends 24b of the main magnetic pole section 24 and increases in the height direction while expanding beyond the track width Tw. An extending yoke portion 35 is formed. The yoke portion 35 has a width T1 in the track width direction (X direction in the drawing) of about 1 μm to 100 μm at the widest portion, and the length L3 of the yoke portion 35 in the height direction is about 1 μm to 100 μm. It is.
[0051]
As shown in FIGS. 1 and 2, a base end 35a of the yoke portion 35 is formed on the connection layer 25, and the yoke portion 35 and the connection layer 25 are magnetically connected. As a result, a magnetic circuit passing through the main magnetic pole part 24, the yoke part 35, the connection layer 25, and the auxiliary magnetic pole layer 21 is formed.
[0052]
In the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the main magnetic pole portion 24 and the yoke portion 35 are formed integrally, but may be formed separately. When formed separately, the main magnetic pole portion 24 and the yoke portion 35 are overlapped in the film thickness direction, or the yoke portion is formed in the same phase from the base end of the main magnetic pole portion 24 with the formation position of the main magnetic pole portion 24. Various configurations are possible, such as a configuration in which 35 is magnetically connected. When formed separately, a magnetic material having a higher saturation magnetic flux density than the yoke portion 35 can be used for the main magnetic pole portion 24 in particular.
[0053]
As shown in FIG. 1, a lead layer 36 is formed on the surface 31 a of the bottom raising layer 31, and a recording current can be supplied from the lead layer 36 to the bottom raising layer 31 and the coil layer 27.
[0054]
As shown in FIG. 1, the upper portion of the main magnetic pole portion 24 and the upper portion of the yoke portion 35 are formed of Al. 2 O 3 And the like. The insulating layer 60 fills a region on the height side of the yoke 35. The surface (upper surface) 60a of the insulating layer 60 is a flattened surface using a CMP technique or the like.
[0055]
As shown in FIG. 1, a write shield layer 62 is formed on a surface 60a of the insulating layer 60. The write shield layer 62 is formed of a magnetic material such as a NiFe alloy. The shape of the write shield layer 62 in the embodiment of FIG. 1 will be described in detail below with reference to FIGS. FIG. 3 is a partial plan view of the write shield layer 62, the main magnetic pole portion 24, and the yoke portion 35.
[0056]
As shown in FIG. 2, the write shield layer 62 is separately formed into a front end side shield layer 63 and a rear end side shield layer 64.
[0057]
The front end side shield layer 63 has a front end surface 63a formed on the opposite surface H. 0 It is on the same plane as a and has a substantially rectangular shape with a width dimension T2 in the track width direction (X direction in the drawing) and a length dimension L4 in the height direction. As shown in FIG. 3, the front end side shield layer 63 is formed to have a size that completely covers at least the main magnetic pole portion 24.
[0058]
A rear end side shield layer 64 extends in the height direction (Y direction in the drawing) at a predetermined interval L5 from the rear end surface 63b of the front end side shield layer 63. The rear end side shield layer 64 has a substantially rectangular shape with a width dimension T3 in the track width direction (X direction in the drawing) and a length dimension L6 in the height direction (Y direction in the drawing). are doing. The rear end side shield layer 64 is formed in such a size that the rear end side shield layer 64 completely covers the yoke portion 35 at a position facing the film thickness direction (Z direction in the drawing). As a result, the external magnetic field resistance can be improved.
[0059]
Further, as shown in FIGS. 1 to 3, the write shield layer 62 is formed separately from the front end shield layer 63 and the rear end shield layer 64, so that the front end shield layer 63 and the rear end shield layer 64 are formed. The magnetic connection therebetween is suppressed, and the magnetic flux absorbed by the rear end shield layer 64 can be suppressed from flowing into the front end shield layer 63. Therefore, the amount of magnetic flux flowing into the front end side shield layer 63 is small, and a magnetic field is applied to the recording medium from the edge portions 63a1 and 63a1 of the front end surface 63a of the front end side shield layer 63 to perform recording. Can be reduced as compared with the related art.
[0060]
As shown in FIG. 3, the widths T2 and T3 of the front end shield layer 63 and the rear end shield layer 64 in the track width direction (X direction in the drawing) are equal to the track widths of the main magnetic pole portion 24 and the yoke portion 35. It is larger than the width dimensions Tw and T1 in the direction. Thereby, the front end side shield layer 63 and the rear end side shield layer 64 spread in the track width direction more than both side surfaces in the track width direction of the main magnetic pole portion 24 and the yoke portion 35 which are located at positions opposed to each other in the film thickness direction. The main magnetic pole portion 24 and the yoke portion 35 can be appropriately covered, and the external magnetic field resistance can be appropriately improved.
[0061]
Further, it is preferable that the width dimension T2 of the front end side shield layer 63 is equal to or larger than the width dimension T3 of the rear end side shield layer 64. When the width T3 of the rear shield layer 64 is larger than the width T2 of the front shield layer 63, the amount of the rear shield layer 64 absorbing magnetic flux generated from the coil layer 27 and the like increases. The front end surface 64a of the rear end side shield layer 64 and the facing surface H 0 Depending on the distance between the rear shield layer 64 and the edge portion 64a1 of the front end surface 64a of the rear shield layer 64, there is a possibility that an edge light may become a problem. It is preferable that the width be smaller than the width dimension T2 of the front end side shield layer 63.
[0062]
When the rear end face 64b of the rear end side shield layer 64 is located on the height side with respect to the rear end face 35b of the yoke part 35, the base end part 35a of the yoke part 35 also has the rear end side shield layer. 64, which is preferable because it can appropriately improve the external magnetic field resistance.
[0063]
In the present invention, the write shield layer 62 composed of the front-end shield layer 63 and the rear-end shield layer 64 is separated by a distance L5 between the front-end shield layer 63 and the rear-end shield layer 64. The width dimensions T2, T3 and the length dimensions of the front-end side shield layer 63 and the rear-end side shield layer 64 so as to completely cover the main magnetic pole portion 24 and the yoke portion 35 except for a portion opposed to the film thickness direction. By defining L4 and L6, the external magnetic field resistance can be more effectively improved, which is preferable.
[0064]
Next, it is preferable that the length L6 of the rear end side shield layer 64 in the height direction is larger than the length L4 of the front end side shield layer 63 in the height direction. As a result, the amount of magnetic flux absorbed by the rear end shield layer 64 can be increased, and the amount of magnetic flux flowing into the front end shield layer 63 can be reduced, so that the external magnetic field resistance can be improved and the occurrence of edge light can be suppressed. become.
[0065]
Here, specific dimensions of the front end side shield layer 63 and the rear end side shield layer 64 will be described. It is preferable that the width dimension T2 of the front end side shield layer 63 is in the range of 5 μm to 100 μm, and the length dimension L4 is in the range of 0.1 μm to 10 μm. Further, it is preferable that the width dimension T3 of the rear end side shield layer 64 is in the range of 1 μm to 100 μm, and the length dimension L6 is in the range of 1 μm to 100 μm.
[0066]
Next, it is preferable that an interval L5 provided between the front end side shield layer 63 and the rear end side shield layer 64 is in a range of 0.1 μm to 10 μm. The larger the distance L5, the more effectively the flow of magnetic flux from the rear shield 64 to the front shield layer 63 can be suppressed, and the occurrence of edge light can be appropriately suppressed. If it is too large, the gap that cannot cover the main magnetic pole portion 24 and the yoke portion 35 particularly with the write shield layer 62 becomes too large, and the external magnetic field resistance is lowered. Therefore, it is preferable that the distance L5 is within the above-described dimension range.
[0067]
As shown in FIG. 1, the area within the distance L5 and on the height side of the rear end face 64b of the rear end side shield layer 64 is filled with an insulating layer 70, and the upper surface of the insulating layer 70 and the front end side shield layer 63 and The upper surface of the rear end side shield layer 64 is the same flattened surface using a CMP technique or the like. Then, the protective layer 13 is formed on the same flat surface, and the perpendicular recording magnetic head is completed.
[0068]
FIG. 4 is a partial vertical cross-sectional view schematically showing the auxiliary magnetic pole layer 21, the connection layer 25, the main magnetic pole part 24, the yoke part 35, the front end side shield layer 63, and the rear end side shield layer 64 shown in FIG. FIG.
[0069]
As shown in FIG. 4, both the front end shield layer 63 and the rear end shield layer 64 are on a plane along the reference plane A (the reference plane A is the upper surface of the insulating layer 60 in FIG. 1). Is formed. The height dimension H1 from the upper surfaces of the main magnetic pole portion 24 and the yoke portion 35 to the reference plane A is, for example, in the range of 0.01 μm to 10 μm. That is, in the structure shown in FIG. 4, the distance between the second magnetic part including the main magnetic pole part 24 and the yoke part 35 and the front end side shield layer 63, and the distance between the second magnetic part and the rear end side shield layer 64 Are the same.
[0070]
However, in the present invention, as shown in FIG. 5, the heights of the front end shield layer 63 and the rear end shield layer 64 above the main magnetic pole portion 24 and the yoke portion 35 can be different from each other.
[0071]
As shown in FIG. 5, the front end side shield layer 63 is bent from the front end surface 63a to the rear end surface 63b so that the distance from the main magnetic pole portion 24 is increased, and the lower edge of the front end surface 63a is formed. The portion 63a2 is formed at a position closer to the main magnetic pole portion 24 than the lower edge 63b1 of the rear end face 63b.
[0072]
By bringing the lower edge 63a2 of the front end face 63a of the front end side shield layer 63 closer to the main magnetic pole part 24, the magnetic field to be emitted vertically from the main magnetic pole part 24 toward the recording medium spreads from the vertical direction and emits. And the recording characteristics can be improved. For example, a distance H2 between the lower edge portion 63a2 and the main magnetic pole portion 24 is about 0.1 μm.
[0073]
As shown in FIG. 5, the rear end face 63b side of the front end side shield layer 63 is bent in a direction away from the upper surface of the main magnetic pole part 24 because the entire lower surface of the front end side shield layer 63 is If it is formed at the same distance as the distance H2 between 63a2 and the main magnetic pole portion 24, a large amount of magnetic flux leaks from the front end side shield layer 63 to the main magnetic pole portion 24, which causes a decrease in recording characteristics. It is preferable that the rear end face 63b side of the side shield layer 63 be spaced apart from the main magnetic pole section 24. The distance H4 between the lower edge 63b1 of the rear end face 63b and the main magnetic pole part 24 is, for example, about 1 μm.
[0074]
Further, it is preferable that the distance H3 between the lower surface 64c of the rear end side shield layer 64 and the yoke portion 35 is larger than the distances H2 and H4. The rear end side shield layer 64 is formed in a larger planar shape than the front end side shield layer 63 in order to improve the external magnetic field resistance in particular, and the rear end side shield layer 64 is larger than the front end side shield layer 63. Absorb more magnetic flux. Therefore, when the rear end side shield layer 64 approaches the main magnetic pole portion 24 and the yoke portion 35 in the same manner as the front end side shield layer 63, leakage from the rear end side shield layer 64 to the main magnetic pole portion 24 and the yoke portion 35 occurs. Since the amount of magnetic flux to be emitted is large and recording characteristics are likely to be deteriorated, it is desirable that the distance H3 between the lower surface 64c of the rear end side shield layer 64 and the yoke portion 35 is appropriately separated. The distance H3 is, for example, about 5 μm.
[0075]
6 and 7 are partial longitudinal sectional views of a perpendicular recording magnetic head according to another embodiment of the present invention. 6 and 7, the layers denoted by the same reference numerals as those in FIGS. 1 to 5 indicate the same layers as the layers shown in FIGS. 1 to 5.
[0076]
The perpendicular recording magnetic head shown in FIGS. 6 and 7 has a structure in which an auxiliary magnetic pole layer (first magnetic part) 21 is formed above the main magnetic pole part 24 and the yoke part 35. 6 is a partial longitudinal sectional view of the perpendicular recording magnetic head taken along a line CC shown in FIG. 8 described later and viewed from the direction of the arrow, and FIG. 7 is a perpendicular recording magnetic head taken along a line DD shown in FIG. FIG. 3 is a partial vertical cross-sectional view of the head, viewed from the direction of the arrow.
[0077]
As shown in FIG. 6, an Al layer is formed on a write shield layer 62 composed of a front end shield layer 63 and a rear end shield layer 64. 2 O 3 An insulating layer 72 made of, for example, is formed. On the insulating layer 72, a second magnetic portion including the main magnetic pole portion 24 and the yoke portion 35 formed integrally with the main magnetic pole portion 24 is formed. Have been. A gap layer 73 made of an insulating material is formed on the main magnetic pole portion 24 and the yoke portion 35, and a height direction regulating portion 74 made of a resist or the like is formed on the gap layer 73. The height direction restricting portion 74 includes an opposing surface H. 0 It is formed at a position slightly depressed in the height direction (Y direction in the drawing) from a.
[0078]
As shown in FIG. 6, a coil layer 27 is formed in a space on the height side of the height direction restricting portion 74, and 2 O 3 And a coil insulating layer 75 formed of an inorganic insulating material or an organic insulating material. The coil insulating layer 75 is formed so that its front end side extends to a position on a part of the height direction restricting portion 74.
[0079]
As shown in FIG. 6, an auxiliary pole layer 21 is formed on the coil insulating layer 75. The auxiliary pole layer 21 is formed so that its front end extends over the height direction restricting portion 74 and the gap layer 73 located forward of the height direction restricting portion 74. The front end face 21b of the auxiliary magnetic pole layer 21 is 0 It is on the same plane as a.
[0080]
In the perpendicular recording magnetic head shown in FIG. 7, an Al layer is formed on a write shield layer 62 composed of a front end shield layer 63 and a rear end shield layer 64. 2 O 3 An insulating layer 76 made of, for example, is formed. On the insulating layer 76, a second magnetic part including a main magnetic pole part 24 and a yoke part 35 formed integrally with the main magnetic pole part 24 is formed. . A gap layer 73 made of an insulating material is formed on the main magnetic pole part 24 and the yoke part 35.
[0081]
On the gap layer 73, the facing surface H 0 A shield layer 77 having a predetermined size is formed in the height direction from a. The shield layer 77 is formed so as to extend to both sides of the main magnetic pole portion 24 in the track width direction as described later.
[0082]
As shown in FIG. 7, the rear of the shield layer 77 in the height direction is Al. 2 O 3 The upper surface of the shield layer 77 and the upper surface of the insulating layer 78 are made flush with each other by a CMP technique or the like.
[0083]
The coil layer 27 is formed on the insulating layer 78, and the coil layer 27 is covered with a coil insulating layer 75. The front end face of the coil insulating layer 75 is the opposite face H 0 It is at a position deeper in the height direction than a. The auxiliary magnetic pole layer 21 is formed from above the coil insulating layer 75 to the upper surface of the shield layer 77 located forward of the coil insulating layer 75, and the front end face 21b of the auxiliary magnetic pole layer 21 is 0 a is the same plane.
[0084]
Each of the embodiments shown in FIGS. 6 and 7 has a structure in which the write shield layer 62 is formed separately in the front end shield layer 63 and the rear end shield layer 64.
[0085]
Therefore, the write shield layer 62 combining the front end shield layer 63 and the rear end side shield layer 64 can be formed with a large area under the main magnetic pole portion 24 and the yoke portion 35 to improve external magnetic field resistance. In addition, by providing a space between the front-end shield layer 63 and the rear-end shield layer 64, the magnetic flux absorbed by the rear-end shield layer is appropriately suppressed from flowing into the front-end shield layer. Thus, the amount of magnetic flux absorbed by the front end side shield layer can be reduced. Therefore, the problem of the edge light from the front end side shield layer can be suppressed as compared with the related art.
[0086]
The specific shapes and the like of the front end side shield layer 63 and the rear end side shield layer 64 are the same as those described with reference to FIGS. 6 and 7 show the reading unit H. R Although not shown, the reading section H is naturally provided below the write shield layer 62. R May be formed.
[0087]
8 is a partial front view of the perpendicular recording magnetic head shown in FIG. 6, and FIG. 9 is a partial front view of the perpendicular recording magnetic head shown in FIG. Reference numeral 80 shown in FIG. 8 denotes Al which fills the periphery of the main magnetic pole portion 24 and the yoke portion 35. 2 O 3 It is an insulating layer formed by the above method.
[0088]
9, a shield layer 77 is formed on the upper surface of the main magnetic pole portion 24 and on both side surfaces in the track width direction with a gap layer 73 interposed therebetween. Portions of the shield layer 77 located on both sides of the main magnetic pole portion 24 in the track width direction are side shield portions 77a, 77a.
[0089]
As shown in FIG. 9, the side shield portion 77 a is magnetically connected to the front end side shield layer 63 via the plating base layer 81. Therefore, when the main magnetic pole portion 24 is viewed from the front, the lower, upper, and side sides of the main magnetic pole portion 24 are surrounded by the shield layer 77 and the front end shield layer 63.
[0090]
The side shield portion 77a has a function of suppressing a recording magnetic field to be emitted in a vertical direction from the main magnetic pole portion 24 toward the recording medium from spreading in the track width direction (X direction in the drawing). For this reason, a recording magnetic field more perpendicular to the recording medium is generated from the main magnetic pole portion 24, and the recording characteristics can be improved.
[0091]
Such a side shield portion is also applicable to the structure of the perpendicular recording magnetic head shown in FIGS.
[0092]
FIG. 10 shows a form in which a side shield layer 90 is provided on the perpendicular recording magnetic head shown in FIGS. 1 to 3, and is a partial front view of the perpendicular recording magnetic head. As shown in FIG. 10, Al is applied from both sides in the track direction of the main magnetic pole portion 24 to the insulating layer 33. 2 O 3 An insulating layer 91 is formed, and a side shield layer 90 is formed on both sides of the main magnetic pole portion 24 in the track width direction with the insulating layer 91 interposed therebetween. In this embodiment, the upper surface of the main magnetic pole portion 24 and the upper surface of the side shield layer 90 are made the same flat surface by a CMP technique or the like.
[0093]
As shown in FIG. 11 (partial plan view of the perpendicular recording magnetic head shown in FIG. 10), the side shield layers 90 are formed on both sides of the main magnetic pole portion 24 in the track width direction. The side shield layers 90 are not provided on both sides of the yoke portion 35 in the track width direction, but are also provided at predetermined intervals on both sides of the yoke portion 35 so as to be integrated with or separate from the side shield layers 90. A layer may be provided. When shield layers are provided separately from the side shield layers 90 on both sides of the yoke portion 35, the gap between the side shield layers 90 and the shield layers is increased to improve the external magnetic field resistance. This is preferable because edge light can be suppressed from being generated in the side shield layer 90.
[0094]
The most distinctive feature of the write shield layer 62 of the present invention described in detail above is that the write shield layer 62 is separated and formed into a front end side shield layer 63 and a rear end side shield layer 64. The shape of the shield layer 64 is not limited to a substantially rectangular shape as shown in FIG.
[0095]
Further, the rear end side shield layer 64 is not limited to a single unit, and may be, for example, an aggregate of a plurality of rear end side shield pieces separately formed. At this time, the rear end side shield pieces may be arranged other than being arranged at predetermined intervals in the height direction along the track width direction. Further, the rear end side shield pieces may or may not be magnetically connected to each other with a reduced space between the rear end side shield pieces.
[0096]
【The invention's effect】
As described above, in the present invention, the write shield layer is formed separately in the front end side shield layer and the rear end side shield layer, a predetermined interval is provided between these shield layers, and between the front end side shield layer and the rear end side shield layer. Magnetic connection is suppressed.
[0097]
Therefore, even if the write shield layer including the front shield layer and the rear shield layer is formed larger than the second magnetic portion, the magnetic flux from the coil layer or the like absorbed by the rear shield layer is The flow to the front end side shield layer can be appropriately suppressed, and the amount of magnetic flux absorbed by the front end side shield layer can be reduced.
[0098]
Therefore, according to the present invention, it is possible to improve the resistance to the external magnetic field and to suppress the occurrence of the edge light.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a magnetic head including a perpendicular recording magnetic head according to a first embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a partial perspective view of the perpendicular recording magnetic head shown in FIG. 1,
FIG. 3 is a partial plan view of the perpendicular recording magnetic head shown in FIGS. 1 and 2;
FIG. 4 is a partial longitudinal sectional view of the perpendicular recording magnetic head shown in FIGS. 1 to 3;
FIG. 5 is a partial longitudinal sectional view of a perpendicular recording magnetic head having a structure different from that of FIG. 4;
FIG. 6 is a partial longitudinal sectional view of a perpendicular recording magnetic head according to another embodiment of the present invention;
FIG. 7 is a partial longitudinal sectional view of a perpendicular recording magnetic head according to another embodiment of the present invention;
FIG. 8 is a partial front view of the perpendicular recording magnetic head shown in FIG. 6;
FIG. 9 is a partial front view of the perpendicular recording magnetic head shown in FIG. 7;
FIG. 10 is a partial front view in the case where a side shield layer is provided in the perpendicular recording magnetic head shown in FIG. 1;
FIG. 11 is a partial plan view of the perpendicular recording magnetic head shown in FIG. 10;
FIG. 12 is a partial perspective view of a conventional perpendicular magnetic recording head.
[Explanation of symbols]
H 0 Perpendicular recording magnetic head
H 0 a Opposed surface
M recording medium
11 Slider
21 Auxiliary pole layer (first magnetic part)
24 Main magnetic pole
25 Connection layer
35 Yoke part
62 Light shield layer
63 Front end shield layer
64 Rear end shield layer
77 Shield layer
77a Side shield
90 Side shield layer

Claims (8)

記録媒体との対向面で、第１の磁性部がトラック幅よりも広い幅寸法で形成されるとともに、第２の磁性部がトラック幅で形成され、前記第１の磁性部と第２の磁性部とが間隔を開けて位置するとともに、ハイト側で直接あるいは間接的に接続されており、
前記第１の磁性部と第２の磁性部との前記間隔内に位置し前記第１の磁性部と前記第２の磁性部とに記録磁界を与えるコイル層が設けられ、前記第２の磁性部に集中する垂直磁界によって、前記記録媒体に磁気データを記録する垂直記録磁気ヘッドにおいて、
前記第２の磁性部の第１の磁性部が対向する側と反対側に、前記第２の磁性部と所定間隔を空けてライトシールド層が設けられ、
前記ライトシールド層は、前記対向面からハイト方向に所定長さから成る前端側シールド層と、前記前端側シールド層からハイト方向に所定間隔を空けた位置からハイト方向に延びる後端側シールド層とを有して構成されることを特徴とする垂直記録磁気ヘッド。On the surface facing the recording medium, the first magnetic section is formed with a width dimension wider than the track width, and the second magnetic section is formed with the track width. Parts are located at an interval and are connected directly or indirectly on the height side,
A coil layer for providing a recording magnetic field to the first magnetic part and the second magnetic part and located within the space between the first magnetic part and the second magnetic part; In a perpendicular recording magnetic head that records magnetic data on the recording medium by a perpendicular magnetic field concentrated on a portion,
A write shield layer is provided on a side of the second magnetic section opposite to a side where the first magnetic section faces, at a predetermined interval from the second magnetic section,
The write shield layer, a front end side shield layer having a predetermined length in the height direction from the facing surface, and a rear end side shield layer extending in the height direction from a position spaced apart from the front end side shield layer by a predetermined height in the height direction. A perpendicular recording magnetic head, comprising: 前記ライトシールド層は、前記前端側シールド層と後端側シールド層間に空けられた間隔内と膜厚方向で対向する部分の前記第２の磁性部を除いた前記第２の磁性部よりも大きい面積で形成される請求項１記載の垂直記録磁気ヘッド。The write shield layer is larger than the second magnetic portion excluding the second magnetic portion in a portion opposed in the film thickness direction within a space provided between the front end shield layer and the rear end shield layer. 2. The perpendicular recording magnetic head according to claim 1, wherein the perpendicular recording magnetic head is formed in an area. 前記第２の磁性部は、前記対向面でトラック幅で形成された主磁極部と、前記対向面よりもハイト側で前記主磁極部に接続しトラック幅よりも大きい幅寸法で形成されたヨーク部とを有して構成される請求項１または２に記載の垂直記録磁気ヘッド。The second magnetic portion has a main pole portion formed with a track width on the facing surface, and a yoke connected to the main pole portion on the height side of the facing surface and having a width dimension larger than the track width. The perpendicular recording magnetic head according to claim 1, wherein the perpendicular recording magnetic head comprises: 少なくとも前記主磁極部のトラック幅方向の両側には、前記主磁極部の両側面から所定間隔を空けてサイドシールド層が配置されている請求項１ないし３のいずれかに記載の垂直記録磁気ヘッド。4. The perpendicular recording magnetic head according to claim 1, wherein a side shield layer is arranged at least on both sides of the main pole portion in the track width direction at a predetermined interval from both side surfaces of the main pole portion. . 前記サイドシールド層と前記前端側シールド層とが磁気的に接続されている請求項４記載の垂直記録磁気ヘッド。5. The perpendicular recording magnetic head according to claim 4, wherein the side shield layer and the front end side shield layer are magnetically connected. 前記前端側シールド層のトラック幅方向への幅寸法は、後端側シールド層のトラック幅方向への幅寸法と同じ寸法かあるいは広くなっている請求項１ないし５のいずれかに記載の垂直記録磁気ヘッド。6. The perpendicular recording according to claim 1, wherein the width of the front end shield layer in the track width direction is equal to or larger than the width of the rear end shield layer in the track width direction. Magnetic head. 前記後端側シールド層のハイト方向への長さ寸法は、前記前端側シールド層のハイト方向への長さ寸法に比べて大きい請求項１ないし６のいずれかに記載の垂直記録磁気ヘッド。7. The perpendicular recording magnetic head according to claim 1, wherein a length of the rear end side shield layer in the height direction is larger than a length of the front end side shield layer in the height direction. 少なくとも前記前端側シールド層の前記対向面側の下縁部が、前記後端側シールド層の下面に比べて前記第１の磁性部に近い位置にある請求項１ないし７のいずれかに記載の垂直記録磁気ヘッド。8. The device according to claim 1, wherein at least a lower edge of the front end side shield layer on the facing surface side is closer to the first magnetic unit than a lower surface of the rear end side shield layer. 9. Perpendicular recording magnetic head.
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