JP2008138904A - Heating device - Google Patents

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政美 河野
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Chichibu Iwasaki Co Ltd
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  • Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve miniaturization, reduction of power consumption and operability by efficiently heating a heating medium by a lamp heater. <P>SOLUTION: A heat exchanging cylindrical member 12 is disposed between the lamp heater 8 and an outer cylindrical member 11 to form a first heating medium flow channel 20 and a second heating medium flow channel 19A in a heating space portion 19, and further a ribbed projecting portion 21 is formed in a state of extending to the first heating medium flow channel 20. The heating medium 5 is heated with a larger surface area while reducing influence of the outside air, and straightened and stably injected to a heated body 6 from a nozzle member 13, and thus the heating device can be miniaturized and reduce its power consumption. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、熱源として例えばハロゲンランプ、赤外線ランプ放電灯或いは白熱球灯のランプヒータが用いられ、気体或いは液体等の加熱用媒体を加熱して被加熱体に噴流させて加熱する加熱装置に関する。   The present invention relates to a heating device that uses, for example, a lamp heater of a halogen lamp, an infrared lamp discharge lamp, or an incandescent lamp as a heat source, and heats a heating medium such as a gas or a liquid and jets it to a heated body.

例えば、半導体製造工程等には、素子を封装した樹脂を乾燥したり純水やエッチング液等を所定温度に加熱保持するために、気体や液体等からなる所定の加熱用媒体を加熱する加熱装置が用いられる。加熱装置は、例えば部品等を接着剤により接合する部品接合工程にも設置され、塗布した接着剤を素早く乾燥、硬化させる。かかる加熱装置としては、熱源として高精度の温度制御が可能であり、構造が簡易でクリーン度も高い電気熱源が用いられる。   For example, in a semiconductor manufacturing process or the like, a heating device that heats a predetermined heating medium made of gas, liquid, or the like in order to dry a resin encapsulating an element or heat and hold pure water or an etching solution at a predetermined temperature. Is used. The heating device is also installed, for example, in a component joining process for joining components and the like with an adhesive, and quickly dries and cures the applied adhesive. As such a heating device, an electric heat source that can control temperature with high accuracy as a heat source, has a simple structure, and has a high degree of cleanness is used.

また、かかる加熱装置には、電気熱源として、一般的なニクロム線ヒータ等と比較して熱効率が良好であるとともに長寿命かつランニングコストも有意である等の特性を有するハロゲンヒータ、赤外線ランプ放電灯或いは白熱球灯等のランプヒータを用いたものが提供されている(特許文献1乃至特許文献3を参照)。従来のランプヒータ型加熱装置は、一般に長軸の両口ランプが用いられ、この両口ランプを例えば筒状のハウジングにより全長に亘って被覆して構成する。両口ランプ型加熱装置は、ハウジングの両側に、両口ランプの長さとほぼ等しい間隔を以って対向配置された一対のソケットを有し、これらソケットに両端部に設けた口金を嵌合することにより両口ランプを機械的かつ電気的に結合して支持する。   In addition, such a heating device includes a halogen heater, an infrared lamp discharge lamp, and the like as an electric heat source, which has characteristics such as excellent thermal efficiency, long life, and significant running cost as compared with a general nichrome wire heater or the like. Or the thing using lamp heaters, such as an incandescent lamp, is provided (refer patent document 1 thru | or patent document 3). Conventional lamp heater type heating devices generally use a long-axis double-ended lamp, and the double-ended lamp is configured by covering the entire length with, for example, a cylindrical housing. The double-ended lamp type heating device has a pair of sockets arranged on both sides of the housing so as to face each other with an interval substantially equal to the length of the double-ended lamp, and a base provided at both ends is fitted into these sockets. Thus, the double-ended lamp is supported mechanically and electrically.

両口ランプ型加熱装置においては、ハウジングの内部空間が加熱用媒体の流路と加熱空間部とを構成して、一端側に設けた供給口から供給した加熱用媒体を両口ランプにより所定温度に加熱して他端側に設けた送出口を介して被加熱体に吹き付けて加熱する。かかる両口ランプ型加熱装置においては、ハウジングの両端部位が、両口ランプの支持部位とともに適宜のシールド構造を有する加熱用媒体の供給口及び送出口を構成することから、構造が複雑になるとともに両口ランプの着脱操作が面倒となるといった問題がある。両口ランプ型加熱装置においては、全体として大型となるとともに、例えば送出口と被加熱体との間に加熱用媒体を被加熱体にスポット吹き付けする適宜のガイド構造も必要となり構造も複雑となる等の問題があった。   In the double-ended lamp type heating device, the internal space of the housing constitutes the flow path and the heating space of the heating medium, and the heating medium supplied from the supply port provided on one end side is heated to a predetermined temperature by the double-ended lamp. And heated by spraying the object to be heated through a delivery port provided on the other end side. In such a double-ended lamp type heating apparatus, both end portions of the housing constitute a heating medium supply port and a discharge port having an appropriate shield structure together with a support portion of the double-ended lamp, and the structure becomes complicated. There is a problem that it is troublesome to attach and detach the double-ended lamp. In the double-neck lamp type heating device, the overall size becomes large, and for example, an appropriate guide structure for spraying a heating medium onto the heated body is required between the delivery port and the heated body, and the structure becomes complicated. There was a problem such as.

出願人は、上述した従来の両口ランプ型加熱装置の問題を解決し、取り扱いが簡便で廉価であり、熱損失を低減して加熱用媒体を被加熱体に対して的確かつ効率的に吹き付けることが可能な片口型ランプヒータを用いた加熱装置を提供した(特許文献4を参照)。この新型加熱装置は、一端部に設けた口金を口金部材に結合することにより片持ち状態に支持される片口型ランプヒータと、このランプヒータを略全長に亘って被覆する筒状を呈し内部に加熱用媒体を加熱する加熱用媒体流路を構成するとともに先端側に吹出し口を設けた熱交換部材と、ランプヒータを結合する口金部材と熱交換部材を同心状態で片持ち保持するとともに加熱用媒体の供給口が設けられたホルダ部材とから構成される。   The applicant solves the problems of the conventional double-ended lamp type heating device described above, is easy to handle and inexpensive, reduces heat loss, and accurately and efficiently sprays the heating medium onto the object to be heated. A heating device using a single-necked lamp heater that can be used has been provided (see Patent Document 4). This new heating device has a single-ended lamp heater that is supported in a cantilever state by coupling a base provided at one end to a base member, and a cylindrical shape that covers the lamp heater over substantially the entire length. A heating medium flow path for heating a heating medium and a heat exchange member provided with a blowout port on the tip side, a base member for coupling a lamp heater, and a heat exchange member are cantilevered in a concentric state and are used for heating. And a holder member provided with a medium supply port.

特許第2583159号公報Japanese Patent No. 2583159 特開平8−35724号公報JP-A-8-35724 特許第3344909号公報Japanese Patent No. 3344909 特開平2001−153460号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2001-153460

上述した新型加熱装置においては、ホルダ部材の供給口から熱交換部材の加熱用媒体流路内に供給された加熱用媒体がランプヒータにより加熱されて吹出し口から被加熱体に直接吹き付けられることにより、熱損失が低減されて被加熱体を効率的に加熱することが可能である。新型加熱装置においては、片口型ランプヒータを用いることで交換操作の簡易化が図られ、また吹出し口から漏れる光により被加熱体に対する加熱用媒体の吹付け位置の確認とともに照明も行われてスポット的加熱も正確に行うことが可能である。新型加熱装置においては、小形簡易であるとともに取り扱いや操作も簡易であり、工程変更の対応或いは手持ち使用も可能であり汎用性が大きいといった特徴を有している。   In the above-described new heating apparatus, the heating medium supplied from the supply port of the holder member into the heating medium flow path of the heat exchange member is heated by the lamp heater and directly blown from the outlet to the heated object. The heat loss can be reduced and the object to be heated can be efficiently heated. In the new heating device, the replacement operation is simplified by using a single-neck lamp heater, and the light is leaked from the outlet and the lighting medium is also illuminated along with the confirmation of the heating medium spray position. It is also possible to carry out accurate heating. The new heating device is characterized by being small and simple and easy to handle and operate, capable of handling process changes or being used on hand, and having great versatility.

出願人は、上述した新型加熱装置の特徴を全面的に踏襲し、さらなる性能向上を図るべく鋭意検討を重ねた。出願人は、その結果、ランプヒータによる加熱用媒体の加熱をさらに効率よく行うことにより小型化や低電力消費化或いは操作性の向上が図られる加熱装置を開発するに至った。   The applicant followed the features of the new heating device described above in full, and conducted intensive studies to further improve performance. As a result, the applicant has developed a heating device that can be reduced in size, reduced in power consumption, or improved in operability by further efficiently heating the heating medium with a lamp heater.

本発明にかかる加熱装置は、ランプヒータと、ソケット部材と、ホルダ部材と、外筒部材と、熱交換筒部材と、ノズル部材とを備える。加熱装置は、ランプヒータとして、長軸のガラスバルブの一端側に口金体を設けた、例えばハロゲンランプ、赤外線ランプ放電灯或いは白熱球灯等の片口型ランプヒータが用いられる。加熱装置は、ソケット部材がランプヒータの口金体を着脱するソケットを有し、ランプヒータを片持ち状態で着脱する。加熱装置は、ホルダ部材が、ソケット部材を組み付けるとともに、内部に加熱用媒体供給管を介して加熱用媒体供給源から加熱用媒体が供給される加熱用媒体供給空間部を形成される。加熱装置は、外筒部材が、ステンレス材等の金属材を素材としてランプヒータよりも大径かつ長軸の筒状に形成され、一端側をホルダ部材に対してソケット部材と対向して片持ち状態に組み合わされるとともに、内部空間にホルダ部材の加熱用媒体供給空間部から加熱用媒体が供給される。加熱装置は、熱交換筒部材が、セラミック材により外径が外筒部材の内部空間よりも小径とされるとともに内径がランプヒータよりも大径とされた筒状に形成され、一端側をホルダ部材に片持ち状態に組み合わせて外筒部材の内部空間に収納されるとともにランプヒータを収納する内部空間が外筒部材を介して供給される加熱用媒体を加熱する加熱流路を構成する。加熱装置は、ノズル部材が、外筒部材の先端部側に着脱自在に組み合わされ、外筒部材及び熱交換筒部材内を流れて加熱される加熱用媒体を被加熱体に向かって噴流させる。   The heating device according to the present invention includes a lamp heater, a socket member, a holder member, an outer cylinder member, a heat exchange cylinder member, and a nozzle member. As the lamp heater, for example, a single-ended lamp heater such as a halogen lamp, an infrared lamp discharge lamp, or an incandescent lamp, which is provided with a base on one end side of a long axis glass bulb, is used. In the heating device, the socket member has a socket for attaching and detaching the base of the lamp heater, and the lamp heater is attached and detached in a cantilever state. In the heating device, the holder member is assembled with the socket member, and a heating medium supply space portion in which the heating medium is supplied from the heating medium supply source via the heating medium supply pipe is formed. In the heating device, the outer cylinder member is made of a metal material such as stainless steel and is formed in a cylindrical shape having a larger diameter and a longer axis than the lamp heater, and one end side is cantilevered against the socket member with respect to the socket member The heating medium is supplied to the internal space from the heating medium supply space of the holder member. In the heating device, the heat exchange cylinder member is formed in a cylindrical shape whose outer diameter is smaller than that of the inner space of the outer cylinder member and whose inner diameter is larger than that of the lamp heater. In combination with the member in a cantilever state, the internal space that is housed in the internal space of the outer cylinder member and that houses the lamp heater constitutes a heating flow path for heating the heating medium supplied via the outer tubular member. In the heating apparatus, the nozzle member is detachably combined with the distal end side of the outer cylinder member, and the heating medium that flows and heats in the outer cylinder member and the heat exchange cylinder member is jetted toward the heated object.

加熱装置は、熱交換筒部材の内周壁に、この熱交換筒部材とランプヒータとの間に構成されて加熱用媒体が先端のノズル部材に向かって流れる第1加熱用媒体流路内に延在してランプヒータの外周部と対向する複数の軸方向のリブ状凸部が形成される。加熱装置は、相対する外筒部材の内周壁と熱交換筒部材の外周壁との間に第2加熱用媒体流路が構成される。   The heating device is formed between the heat exchange cylinder member and the lamp heater on the inner peripheral wall of the heat exchange cylinder member and extends into a first heating medium flow path in which the heating medium flows toward the nozzle member at the tip. There are formed a plurality of axial rib-shaped convex portions facing the outer peripheral portion of the lamp heater. In the heating device, a second heating medium flow path is formed between the inner peripheral wall of the opposed outer cylinder member and the outer peripheral wall of the heat exchange cylinder member.

加熱装置においては、第1加熱用媒体流路を流れる加熱用媒体がリブ状凸部により整流され、安定した流れとなってノズル部材から被加熱体に対して噴流される。加熱装置においては、加熱用媒体に対して、第1加熱用媒体流路内においてランプヒータにより直接加熱するとともに熱交換筒部材による加熱も行うとともに第2加熱用媒体流路内において熱交換筒部材及び外筒部材による加熱も行うことにより、熱損失を低減して効率的な加熱が行われるようにする。加熱装置においては、リブ状凸部を形成した熱交換筒部材を備えることにより加熱用媒体との接触面積が大きくなり、効率的な加熱が行われるようになる。加熱装置においては、ランプヒータと外気に触れる外筒部材との間に介在された熱交換特性が大きな熱交換筒部材が、外筒部材を介してランプヒータに作用される外気の影響を抑制して加熱用媒体に対する安定した加熱が行われるようにする。   In the heating device, the heating medium flowing through the first heating medium flow path is rectified by the rib-shaped convex portion, and is jetted from the nozzle member to the object to be heated in a stable flow. In the heating device, the heating medium is directly heated by the lamp heater in the first heating medium flow path and is also heated by the heat exchange cylindrical member, and the heat exchange cylindrical member is in the second heating medium flow path. Further, heating by the outer cylinder member is also performed, so that heat loss is reduced and efficient heating is performed. In the heating device, by providing the heat exchange cylinder member having the rib-like convex portions, the contact area with the heating medium is increased, and efficient heating is performed. In the heating device, the heat exchange cylinder member having a large heat exchange characteristic interposed between the lamp heater and the outer cylinder member that comes into contact with the outside air suppresses the influence of the outside air acting on the lamp heater via the outer cylinder member. Thus, stable heating of the heating medium is performed.

本発明にかかる加熱装置によれば、ランプヒータと外装材を構成する外筒部材との間に介在するセラミック製の熱交換筒部材を備えて第1加熱用媒体流路と第2加熱用媒体流路を構成するとともに、この熱交換筒部材に第1加熱用媒体流路に延在する複数のリブ状凸部を形成したことにより、加熱用媒体流路を流れる加熱用媒体に対してより大きな表面積でかつ外気の影響を低減して加熱する。したがって、加熱装置によれば、加熱用媒体の効率的かつ安定した加熱が行われて小型化や低電力消費化が図られるとともに、加熱用媒体がリブ状凸部により整流されてノズル部材から安定した状態で被加熱体に噴射されるようになる。   According to the heating device of the present invention, the first heating medium flow path and the second heating medium including the ceramic heat exchange cylinder member interposed between the lamp heater and the outer cylinder member constituting the exterior material. In addition to forming a flow path and forming a plurality of rib-shaped protrusions extending in the first heating medium flow path on the heat exchange cylinder member, the heat exchange cylinder member is more effective against the heating medium flowing through the heating medium flow path. Heat with large surface area and reduced influence of outside air. Therefore, according to the heating device, the heating medium is efficiently and stably heated to reduce the size and reduce the power consumption, and the heating medium is rectified by the rib-shaped convex portion and is stabilized from the nozzle member. In such a state, it is sprayed onto the object to be heated.

以下、本発明の実施の形態として示した加熱装置1について、図面を参照して詳細に説明する。加熱装置1は、図1に示すようにヒータ本体2と、このヒータ本体2を制御するコントローラ3とから構成され、詳細を後述するように加熱用媒体供給源4から供給された清浄な空気を所定の温度まで加熱して加熱用媒体5を生成するとともにこの加熱用媒体5を所定の吹付け量(流量)を以って被加熱体6に吹き付けて加熱する。加熱装置1は、例えばヒータ本体2を詳細を省略するスタンド7により半導体製造工程の封止樹脂硬化工程に設置し、ヒータ本体2から加熱用媒体5を素子を封装した封止樹脂に吹き付けて乾燥、硬化させることにより半導体を製造する。   Hereinafter, a heating apparatus 1 shown as an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the heating device 1 is composed of a heater main body 2 and a controller 3 that controls the heater main body 2, and clean air supplied from a heating medium supply source 4 as will be described in detail later. The heating medium 5 is generated by heating to a predetermined temperature, and the heating medium 5 is sprayed and heated to the heated body 6 with a predetermined spraying amount (flow rate). For example, the heater 1 is installed in the sealing resin curing process of the semiconductor manufacturing process by a stand 7 that omits details, and the heating medium 5 is sprayed from the heater body 2 to the sealing resin in which the element is sealed and dried. The semiconductor is manufactured by curing.

なお、加熱装置1は、後述するようにコントローラ3を介して加熱用媒体5の温度と流量を適宜設定することが可能であることから精密な温度管理を行うとともに、半導体製造工程ばかりでなく様々な分野に用いることも可能である。加熱装置1は、ヒータ本体2をスタンド7により固定設置する使用形態ばかりでなく、適宜の把持構造を設けて手持ち使用することも可能である。加熱装置1は、加熱用媒体5として加熱用媒体供給源4から供給される空気を用いるようにしたが、例えば窒素ガス等の気体或いは水等の適宜の液体を用いるようにしてもよいことは勿論である。なお、以下の説明においては、説明の便宜上加熱用媒体供給源4から供給される加熱前の清浄な空気と所定温度に加熱されて生成された加熱用媒体について、全て加熱用媒体5と表現するものとする。   Since the heating device 1 can appropriately set the temperature and flow rate of the heating medium 5 through the controller 3 as will be described later, the heating device 1 performs precise temperature control and various processes as well as semiconductor manufacturing processes. It can also be used in various fields. The heating device 1 can be used not only in a usage form in which the heater body 2 is fixedly installed by the stand 7 but also in a handheld state with an appropriate gripping structure. The heating device 1 uses air supplied from the heating medium supply source 4 as the heating medium 5. However, for example, a gas such as nitrogen gas or an appropriate liquid such as water may be used. Of course. In the following description, for convenience of description, clean air before heating supplied from the heating medium supply source 4 and a heating medium generated by heating to a predetermined temperature are all expressed as a heating medium 5. Shall.

ヒータ本体2は、図2及び図3に示すように、加熱源を構成するランプヒータ8と、このランプヒータ8を片持ち支持するソケット部材9と、ホルダ部材10と、外筒部材11と、熱交換筒部材12と、ノズル部材13とを備える。ヒータ本体2には、ランプヒータ8として後述する片口型のハロゲンランプが用いられる。なお、ヒータ本体2は、ランプヒータ8としてハロゲンランプに限定されず、例えば片口型の赤外線ランプ、放電灯或いは白熱灯等の適宜の片口型ランプヒータを用いてもよいことは勿論である。   As shown in FIGS. 2 and 3, the heater body 2 includes a lamp heater 8 that constitutes a heating source, a socket member 9 that cantilever-supports the lamp heater 8, a holder member 10, an outer cylinder member 11, A heat exchange cylinder member 12 and a nozzle member 13 are provided. The heater body 2 uses a single-port halogen lamp described later as the lamp heater 8. The heater main body 2 is not limited to the halogen lamp as the lamp heater 8, and it is needless to say that an appropriate single-ended lamp heater such as a single-ended infrared lamp, a discharge lamp or an incandescent lamp may be used.

ランプヒータ8として用いるハロゲンランプは、基本的な構成を従来周知のハロゲンランプと同様とし、図3に示すように石英ガラス等により成形されたバルブ8Aと、このバルブ8A内に封止部8Bを介して封装されたフィラメント8C及び封入ガスと、バルブ8Aの一端側に設けられた口金体8Dとから構成される。ハロゲンランプは、バルブ8Aが一端側を密封された長尺バルブ体により構成されるとともに、フィラメント8Cが加工特性に優れかつ高温での蒸発性が低いタングステン線により形成される。ハロゲンランプは、封入ガスとして例えば窒素、アルゴン及びクリプトン等の不活性ガスとヨウ素系や臭素系或いは塩素系化合物からなる微量のハロゲンガスをバルブ8A内に封入する。   The halogen lamp used as the lamp heater 8 has the same basic structure as a conventionally known halogen lamp, and has a bulb 8A formed of quartz glass or the like as shown in FIG. 3, and a sealing portion 8B in the bulb 8A. The filament 8C and the sealed gas sealed through the base 8D are provided with a base 8D provided on one end side of the valve 8A. The halogen lamp is formed of a long bulb body in which the bulb 8A is sealed at one end, and the filament 8C is formed of a tungsten wire having excellent processing characteristics and low evaporation at high temperatures. The halogen lamp encloses an inert gas such as nitrogen, argon, and krypton and a small amount of halogen gas made of iodine, bromine, or chlorine as an enclosed gas in the bulb 8A.

ハロゲンランプは、バルブ8Aの開口に、セラミック等により形成されフィラメント8Cの基端部を支持する口金体8Dが組み付けられる。ハロゲンランプは、例えばモリブデン箔等からなる封止部8Bが、バルブ8Aと口金体8Dとの間の気密性を保持するとともにバルブ8A内のフィラメント8Cと口金体8Dの外側面に設けた図示しない電極とを電気的に導通する。なお、ハロゲンランプは、口金体8Dが、一般的なピン型或いはスクリュー型のいずれにより構成してもよい。   In the halogen lamp, a base body 8D that is formed of ceramic or the like and supports the base end portion of the filament 8C is assembled in the opening of the bulb 8A. In the halogen lamp, for example, a sealing portion 8B made of, for example, molybdenum foil maintains airtightness between the bulb 8A and the base 8D, and is provided on the outer surface of the filament 8C in the bulb 8A and the base 8D (not shown). It is electrically connected to the electrode. In the halogen lamp, the base body 8D may be formed of a general pin type or screw type.

ソケット部材9は、合成樹脂材により図3に示すように内部に一方側面に開口するソケット嵌合空間部9Aを形成した有底筒状に形成される。ソケット部材9には、ソケット嵌合空間部9Aに詳細を省略するがランプヒータ8のピン型或いはスクリュー型の口金体8Dに対応したピン受け構造或いはねじ受け構造を有するソケット(口金部材)14が組み付けられる。ソケット部材9は、ソケット14に口金体8Dを着脱することにより、ランプヒータ8が着脱されるようにする。   As shown in FIG. 3, the socket member 9 is formed in a bottomed cylindrical shape in which a socket fitting space portion 9 </ b> A that opens to one side surface is formed. The socket member 9 has a socket (base member) 14 having a pin receiving structure or a screw receiving structure corresponding to the pin-type or screw-type base body 8D of the lamp heater 8 although details are omitted in the socket fitting space portion 9A. Assembled. The socket member 9 allows the lamp heater 8 to be attached / detached by attaching / detaching the base 8 </ b> D to / from the socket 14.

ソケット部材9は、図2に示すようにソケット14に口金体8Dを結合した状態でランプヒータ8を片持ち状態で支持するとともに、ソケット14とフィラメント8Cとの電気的接続が行われるようにする。ソケット部材9は、側面部9Bから一端をソケット14の電極に接続した電源コード15が引き出される。電源コード15は、後述するようにコントローラ3に接続され、ソケット14を介してランプヒータ8に対して所定の電圧値に制御された駆動電圧を供給する。ソケット部材9には、外周部に軸方向に貫通する取付孔を有する複数の取付部9Cが一体に突出形成され、後述するようにこれら取付部9Cをストッパとしてホルダ部材10に組み付けられる。   As shown in FIG. 2, the socket member 9 supports the lamp heater 8 in a cantilever state in which the base body 8D is coupled to the socket 14, and makes electrical connection between the socket 14 and the filament 8C. . The socket member 9 is pulled out of the power cord 15 having one end connected to the electrode of the socket 14 from the side surface portion 9B. The power cord 15 is connected to the controller 3 as will be described later, and supplies a drive voltage controlled to a predetermined voltage value to the lamp heater 8 via the socket 14. A plurality of attachment portions 9C having attachment holes penetrating in the axial direction on the outer peripheral portion are integrally formed on the socket member 9, and are assembled to the holder member 10 using these attachment portions 9C as stoppers as will be described later.

ホルダ部材10は、例えばステンレス材等の金属材或いは適宜の合成樹脂材により図3に示すように内部に一方側面に開口する加熱用媒体供給空間部16を形成した有底筒状に形成される。ホルダ部材10は、上述したソケット部材9よりも大径とされ、側面部10Aを貫通して加熱用媒体供給空間部16に連通するソケット部材9の外径とほぼ等しい内径のソケット組付け開口10Bが形成される。ホルダ部材10には、図2に示すようにソケット組付け開口10Bから加熱用媒体供給空間部16内にソケット14の組付け部位側を突出させて、ソケット部材9が組み付けられる。   As shown in FIG. 3, the holder member 10 is formed in a bottomed cylindrical shape in which a heating medium supply space portion 16 opened on one side surface is formed inside by a metal material such as stainless steel or an appropriate synthetic resin material. . The holder member 10 has a larger diameter than the socket member 9 described above, and has a socket assembly opening 10B having an inner diameter substantially equal to the outer diameter of the socket member 9 that penetrates the side surface portion 10A and communicates with the heating medium supply space portion 16. Is formed. As shown in FIG. 2, the socket member 9 is assembled to the holder member 10 by projecting the assembly portion side of the socket 14 into the heating medium supply space 16 from the socket assembly opening 10 </ b> B.

ホルダ部材10には、図示を省略するがソケット組付け開口10Bを囲んで側面部10Aに複数の取付けネジ孔が形成されており、これら取付けネジ孔に対して取付部9Cに形成した図示を省略する取付け孔を位置決めしてソケット部材9が側面部10Aに組み付けられる。ホルダ部材10は、各取付孔に嵌挿した取付ネジが取付けネジ孔にネジ込まれることにより、加熱用媒体供給空間部16内にソケット嵌合空間部9Aを突出させソケット14を開口に臨ませてソケット部材9を側面部10Aに固定する。なお、ホルダ部材10は、ソケット部材9を適宜のシール材を介して側面部10Aに固定することにより、ソケット組付け開口10Bからの加熱用媒体5の漏れを防止する。   Although not illustrated, the holder member 10 has a plurality of mounting screw holes formed in the side surface portion 10A surrounding the socket assembly opening 10B, and the mounting portion 9C is not illustrated with respect to these mounting screw holes. The socket member 9 is assembled to the side surface portion 10A by positioning the mounting hole to be performed. The holder member 10 is configured so that the socket fitting space portion 9A protrudes into the heating medium supply space portion 16 and the socket 14 faces the opening when the attachment screws inserted into the attachment holes are screwed into the attachment screw holes. The socket member 9 is fixed to the side surface portion 10A. In addition, the holder member 10 prevents the heating medium 5 from leaking from the socket assembly opening 10B by fixing the socket member 9 to the side surface portion 10A via an appropriate sealing material.

ホルダ部材10には、図3に示すように外周部10Cに加熱用媒体供給空間部16に貫通する供給管取付孔10Dが形成され、この供給管取付孔10Dに加熱用媒体供給源4と接続されて加熱用媒体6が供給される加熱用媒体供給管17が取り付けられる。なお、ホルダ部材10は、例えば供給管取付孔10Dに外周ネジ部を形成した接続管をネジ止めや熱カシメ止め等により固定し、この接続管に対して加熱用媒体供給管17を取り付けるようにしてもよい。   As shown in FIG. 3, the holder member 10 is provided with a supply pipe mounting hole 10D penetrating the heating medium supply space 16 in the outer peripheral part 10C, and the heating medium supply source 4 is connected to the supply pipe mounting hole 10D. Then, a heating medium supply pipe 17 to which the heating medium 6 is supplied is attached. The holder member 10 is configured such that, for example, a connecting pipe having an outer peripheral thread portion formed in the supply pipe mounting hole 10D is fixed by screwing or heat caulking, and the heating medium supply pipe 17 is attached to the connecting pipe. May be.

ホルダ部材10には、外周部10Cの側面部10Aと対向する外周縁部位に外周ネジ10Eが形成され、この外周ネジ10Eを介して後述するように外筒部材11の第1端部11A側を片持ち状態で組み合わせる。ホルダ部材10には、図3及び図4に示すように加熱用媒体供給空間部16を構成する内周壁に複数の熱交換筒部材保持凸部18が一体に形成される。各熱交換筒部材保持凸部18は、図4に示すように加熱用媒体供給空間部16内において円周方向に対して互いに等間隔に配列された軸方向のリブ状凸部からなる。ホルダ部材10は、各熱交換筒部材保持凸部18を、その先端部により構成する内周円の内径が後述する熱交換筒部材12の外径とほぼ等しくなる高さを以って形成する。   The holder member 10 is formed with an outer peripheral screw 10E at an outer peripheral portion facing the side surface portion 10A of the outer peripheral portion 10C, and the first end portion 11A side of the outer cylinder member 11 is connected to the holder member 10 as will be described later. Combine in a cantilevered state. As shown in FIGS. 3 and 4, the holder member 10 is integrally formed with a plurality of heat exchange cylinder member holding convex portions 18 on the inner peripheral wall constituting the heating medium supply space portion 16. As shown in FIG. 4, each heat exchange cylinder member holding convex portion 18 includes axial rib-shaped convex portions arranged at equal intervals with respect to the circumferential direction in the heating medium supply space portion 16. The holder member 10 forms each heat exchange cylinder member holding convex part 18 with a height at which the inner diameter of the inner circumferential circle formed by the tip part thereof is substantially equal to the outer diameter of the heat exchange cylinder member 12 described later. .

外筒部材11は、例えばステンレス材等の金属材により、図3に示すように内部に軸方向に貫通する加熱空間部19が構成された筒状に形成される。外筒部材11は、上述したランプヒータ8よりも大径かつ長軸でありかつホルダ部材10とほぼ同径に形成される。外筒部材11には、第1端部11A側の内周壁に第1内周ネジ11Bが形成されるとともに、相対する第2端部11C側の内周壁に第2内周ネジ11Dが形成される。   The outer cylinder member 11 is formed of a metal material such as stainless steel, for example, in a cylindrical shape in which a heating space portion 19 penetrating in the axial direction is formed inside as shown in FIG. The outer cylinder member 11 has a larger diameter and a longer axis than the lamp heater 8 described above, and is formed to have substantially the same diameter as the holder member 10. In the outer cylinder member 11, a first inner peripheral screw 11B is formed on the inner peripheral wall on the first end portion 11A side, and a second inner peripheral screw 11D is formed on the inner peripheral wall on the opposite second end portion 11C side. The

外筒部材11は、第1内周ネジ11Bを外周ネジ10Eにねじ込むことにより、図2に示すようにホルダ部材10に対して第1端部11Aを固定されて片持ち状態に組み合わされる。外筒部材11は、ホルダ部材10に組み合わされるランプヒータ8と後述する熱交換筒部材12とを全長に亘って被覆するように加熱空間部19内に収納してホルダ部材10に組み合わされる。外筒部材11は、この状態で加熱空間部19が内周壁と熱交換筒部材12の外周壁との間に、ホルダ部材10の加熱用媒体供給空間部16から供給される加熱用媒体6を加熱しながら第2端部11C側へと供給する第2加熱用媒体流路19Aを構成する。   The outer cylinder member 11 is combined in a cantilever state with the first end 11A fixed to the holder member 10 by screwing the first inner peripheral screw 11B into the outer peripheral screw 10E as shown in FIG. The outer cylinder member 11 is housed in the heating space 19 and combined with the holder member 10 so as to cover the lamp heater 8 combined with the holder member 10 and the heat exchange cylinder member 12 described later over the entire length. In this state, the outer cylinder member 11 is configured so that the heating space 6 is supplied from the heating medium supply space 16 of the holder member 10 between the inner peripheral wall and the outer peripheral wall of the heat exchange cylinder member 12. A second heating medium flow path 19A that supplies the second end 11C while heating is formed.

熱交換筒部材12は、セラミック材により図3に示すように内部に軸方向に貫通する第1加熱用媒体流路20を構成する内部空間を有する筒状に形成される。熱交換筒部材12は、外筒部材11に対してその軸長よりもやや短軸とされるとともに加熱空間部19よりも小径に形成される。また、熱交換筒部材12は、ランプヒータ8のバルブ8Aとほぼ同長に形成されるとともに、上述したようにホルダ部材10の各熱交換筒部材保持凸部18の先端部により構成する内円径とほぼ同径に形成される。   As shown in FIG. 3, the heat exchange cylinder member 12 is formed in a cylindrical shape having an internal space that constitutes the first heating medium flow path 20 that penetrates in the axial direction therein. The heat exchange cylinder member 12 is formed to have a slightly shorter axis than the axial length of the outer cylinder member 11 and a smaller diameter than the heating space portion 19. Further, the heat exchange cylinder member 12 is formed to have substantially the same length as the bulb 8A of the lamp heater 8, and as described above, an inner circle formed by the tip of each heat exchange cylinder member holding convex portion 18 of the holder member 10. The diameter is substantially the same as the diameter.

熱交換筒部材12には、図3及び図4に示すように第1加熱用媒体流路20を構成する内周壁に複数のリブ状凸部21が円周方向に対して互いに等間隔に配列されて一体に形成される。熱交換筒部材12は、各リブ状凸部21を、その先端部により構成する内円径がランプヒータ8のバルブ径よりもやや大径となる高さを以って形成する。   As shown in FIGS. 3 and 4, the heat exchange cylinder member 12 has a plurality of rib-like convex portions 21 arranged at equal intervals in the circumferential direction on the inner peripheral wall constituting the first heating medium flow path 20. And are integrally formed. The heat exchange cylinder member 12 forms each rib-like convex portion 21 with a height at which the inner circle diameter formed by the tip portion is slightly larger than the bulb diameter of the lamp heater 8.

熱交換筒部材12は、ホルダ部材10に対して一端部を加熱用媒体供給空間部16内に嵌合することにより、図2に示すように外周部が各熱交換筒部材保持凸部18の先端部により保持されて片持ち状態で組み合わされる。熱交換筒部材12は、同図に示すように一端部が供給管取付孔10Dに対して開口側に位置するようにして加熱用媒体供給空間部16に嵌合されることにより、この加熱用媒体供給空間部16内に供給された加熱用媒体5が第1加熱用媒体流路20内へと流れ込むようにする。   As shown in FIG. 2, the heat exchange cylinder member 12 is fitted with one end of the heat exchange cylinder member 12 in the heating medium supply space 16 with respect to the holder member 10. It is held by the tip and combined in a cantilever state. As shown in the figure, the heat exchange cylinder member 12 is fitted into the heating medium supply space 16 so that one end thereof is positioned on the opening side with respect to the supply pipe mounting hole 10D. The heating medium 5 supplied into the medium supply space 16 is made to flow into the first heating medium flow path 20.

熱交換筒部材12は、ホルダ部材10に組み合わされた状態において外周部を外筒部材11により全長に亘って覆われるとともに、第1加熱用媒体流路20内にランプヒータ8を全長に亘って収納する。熱交換筒部材12においては、ランプヒータ8からの発生熱により第1加熱用媒体流路20内を流れる加熱用媒体5が直接加熱されるようにするとともに、自らもランプヒータ8により熱せられることにより加熱用媒体5を加熱する。   In the state where the heat exchange cylinder member 12 is combined with the holder member 10, the outer peripheral portion is covered over the entire length by the outer cylinder member 11, and the lamp heater 8 is extended over the entire length in the first heating medium flow path 20. Store. In the heat exchange cylinder member 12, the heating medium 5 flowing in the first heating medium flow path 20 is directly heated by the heat generated from the lamp heater 8, and is also heated by the lamp heater 8 itself. The heating medium 5 is heated by the above.

熱交換筒部材12においては、ランプヒータ8と外気に触れる外筒部材11との間に介在することにより、ランプヒータ8に作用される外気の影響を抑制して加熱用媒体5に対する安定した加熱が行われるようにする。熱交換筒部材12においては、上述したように第1加熱用媒体流路20と第2加熱用媒体流路19A内を流れる加熱用媒体5を加熱することで、ランプヒータ8による加熱用媒体5の加熱効率が向上されるようにする。   In the heat exchange cylinder member 12, by interposing between the lamp heater 8 and the outer cylinder member 11 that comes into contact with the outside air, the influence of the outside air acting on the lamp heater 8 is suppressed, and the heating medium 5 is stably heated. To be done. In the heat exchange cylinder member 12, the heating medium 5 by the lamp heater 8 is heated by heating the heating medium 5 flowing in the first heating medium flow path 20 and the second heating medium flow path 19A as described above. The heating efficiency is improved.

熱交換筒部材12には、上述したように第1加熱用媒体流路20を構成する内周壁にランプヒータ8のバルブ8Aの外周部と略全長に亘って対向して延在する複数のリブ状凸部21が一体に突出形成されている。熱交換筒部材12においては、これらリブ状凸部21を形成したことにより第1加熱用媒体流路20内における加熱用媒体5との接触面積が大きくなり、さらに効率的な加熱が行われるようにする。また、熱交換筒部材12においては、第1加熱用媒体流路20内において加熱用媒体5が各リブ状凸部21間に構成される凹部を流れることにより整流されて安定した流れとなるようにする。熱交換筒部材12においては、リブ状凸部21を形成したことにより実質的な厚みを大きくして機械的強度の向上が図られるようにするとともに、熱交換効率の向上が図られるように構成される。   The heat exchange cylinder member 12 has a plurality of ribs extending on the inner peripheral wall constituting the first heating medium flow path 20 so as to face the outer peripheral portion of the bulb 8A of the lamp heater 8 over substantially the entire length as described above. A convex portion 21 is formed so as to project integrally. In the heat exchange cylinder member 12, by forming these rib-like convex portions 21, the contact area with the heating medium 5 in the first heating medium flow path 20 is increased, and more efficient heating is performed. To. Further, in the heat exchange cylinder member 12, the heating medium 5 is rectified by flowing through the concave portions formed between the rib-shaped convex portions 21 in the first heating medium flow path 20 so that a stable flow is obtained. To. In the heat exchange cylinder member 12, the rib-like convex portion 21 is formed so that the substantial thickness is increased to improve the mechanical strength, and the heat exchange efficiency is improved. Is done.

熱交換筒部材12は、加熱用媒体供給空間部16に嵌合された一端部の外周部が、各熱交換筒部材保持凸部18に保持されてホルダ部材10に組み合わされる。熱交換筒部材12は、その外周部と各熱交換筒部材保持凸部18間に構成される軸方向の凹部を介して、加熱用媒体供給空間部16と上述した第2加熱用媒体流路19Aとが連通されるようにする。熱交換筒部材12においては、第1加熱用媒体流路20内を流れる加熱用媒体5とともに第2加熱用媒体流路19Aを流れる加熱用媒体5も加熱することで、ランプヒータ8による加熱用媒体5の加熱効率が向上されるようにする。   The heat exchange cylinder member 12 is combined with the holder member 10 with the outer peripheral portion of one end fitted into the heating medium supply space 16 being held by each heat exchange cylinder member holding projection 18. The heat exchange cylinder member 12 is connected to the heating medium supply space 16 and the above-described second heating medium flow path via an axial recess formed between the outer peripheral portion and each heat exchange cylinder member holding projection 18. 19A is communicated with. In the heat exchange cylinder member 12, the heating medium 5 flowing in the second heating medium flow path 19 </ b> A is heated together with the heating medium 5 flowing in the first heating medium flow path 20, thereby heating for the lamp heater 8. The heating efficiency of the medium 5 is improved.

なお、熱交換筒部材12は、上述したように加熱用媒体供給空間部16に形成した各熱交換筒部材保持凸部18により一端部の外周部を保持されてホルダ部材10に片持ち状態で組み合わされるように構成したが、かかる構成に限定されないことは勿論である。図5に第2の実施の形態として示した熱交換筒部材22も、セラミック材により全体円筒状に形成され、基本的な構成及び作用を熱交換筒部材12と同様とすることから対応する部位に同一符号を付して説明を省略するが、ホルダ部材10に形成した熱交換筒部材保持凸部18に代えて外周部に複数の軸方向のリブ状保持凸部23を一体に形成した構造に特徴がある。   In addition, the heat exchange cylinder member 12 is held in a cantilevered state by the holder member 10 while the outer peripheral portion of one end thereof is held by each heat exchange cylinder member holding convex portion 18 formed in the heating medium supply space portion 16 as described above. Although configured to be combined, it is needless to say that the present invention is not limited to such a configuration. The heat exchange cylinder member 22 shown as the second embodiment in FIG. 5 is also formed in an overall cylindrical shape by a ceramic material, and the basic configuration and operation are the same as those of the heat exchange cylinder member 12, so that the corresponding parts Although the description is omitted with the same reference numerals, a structure in which a plurality of axial rib-shaped holding convex portions 23 are integrally formed on the outer peripheral portion in place of the heat exchange cylindrical member holding convex portion 18 formed on the holder member 10. There is a feature.

各リブ状保持凸部23は、加熱用媒体供給空間部16の軸方向の長さと略同一の長さを有して円周方向に対して互いに等間隔に配列して形成される。各リブ状保持凸部23は、ホルダ部材10の加熱用媒体供給空間部16の内径とほぼ同径の外周円を構成する高さを以って形成される。熱交換筒部材22は、各リブ状保持凸部23が加熱用媒体供給空間部16の内周壁にはめ込まれることによりホルダ部材10に片持ち状態で組み合わされる。   Each rib-shaped holding convex portion 23 has a length substantially the same as the length of the heating medium supply space portion 16 in the axial direction, and is formed so as to be arranged at equal intervals in the circumferential direction. Each rib-shaped holding convex portion 23 is formed with a height that forms an outer peripheral circle having substantially the same diameter as the inner diameter of the heating medium supply space portion 16 of the holder member 10. The heat exchange cylinder member 22 is combined with the holder member 10 in a cantilever state by fitting each rib-like holding projection 23 into the inner peripheral wall of the heating medium supply space 16.

なお、熱交換筒部材22は、各リブ状保持凸部23を加熱用媒体供給空間部16との嵌め込み領域に対応する長さを以って形成したが、それぞれ全長に亘って形成するようにしてもよいことは勿論である。かかる熱交換筒部材22は、外筒部材11との間に構成する第2加熱用媒体流路19A内に、各リブ状保持凸部23間により軸方向の複数の凹部を構成する。熱交換筒部材22においては、第2加熱用媒体流路19A内において加熱用媒体5との接触面積が大きくなって効率的な加熱が行われるようにするとともに整流作用も奏し、かつ機械的強度の向上も図られるようにする。   In the heat exchange cylinder member 22, each rib-like holding projection 23 is formed with a length corresponding to the fitting region with the heating medium supply space 16, but it is formed over the entire length. Of course, it may be. The heat exchange cylinder member 22 forms a plurality of axial recesses between the rib-shaped holding projections 23 in the second heating medium flow path 19 </ b> A that is formed between the heat exchange cylinder member 22 and the outer cylinder member 11. In the heat exchange cylinder member 22, the contact area with the heating medium 5 is increased in the second heating medium flow path 19 </ b> A so that efficient heating is performed, and a rectifying action is also achieved, and mechanical strength is increased. The improvement is also planned.

ノズル部材13は、図3に示すようにそれぞれステンレス材等の金属材により形成される第1ノズル部材24と第2ノズル部材25が組み合わされて構成される。ノズル部材13は、図1及び図2に示すように第1ノズル部材24が外筒部材11の第2端部11Cに組み付けられるとともに第2ノズル部材25が第1ノズル部材22に組み付けられ、上述したように第1加熱用媒体流路20と第2加熱用媒体流路19Aを流れて加熱された加熱用媒体5の流速を高めて被加熱体6に噴流させる。   As shown in FIG. 3, the nozzle member 13 is configured by combining a first nozzle member 24 and a second nozzle member 25 each formed of a metal material such as a stainless material. As shown in FIGS. 1 and 2, the nozzle member 13 has the first nozzle member 24 assembled to the second end portion 11C of the outer cylinder member 11 and the second nozzle member 25 assembled to the first nozzle member 22. As described above, the flow rate of the heated heating medium 5 flowing through the first heating medium flow path 20 and the second heating medium flow path 19A is increased and jetted to the heated body 6.

第1ノズル部材24は、図3に示すように外筒部材11の外径とほぼ同径の筒部24Aと、この筒部24Aに一体に形成された略円錐台形状の取付筒部24Bとからなり、内部に略円錐台形状の第1ノズル空間24Cを構成する。第1ノズル部材24は、筒部24Aの外周部に取付外周ネジ24Dが形成されるとともに、取付筒部24Bの側面中央部に第1ノズル空間24Cに貫通する取付内周ネジ孔24Eが形成される。第1ノズル部材24は、取付外周ネジ24Dを第2内周ネジ11Dにネジ合わせすることにより、外筒部材11に対してその先端部に着脱される。第1ノズル部材24は、外筒部材11に取り付けた状態で、第1ノズル空間24Cが加熱空間部19の先端と連通する。   As shown in FIG. 3, the first nozzle member 24 includes a cylindrical portion 24A having substantially the same diameter as the outer diameter of the outer cylindrical member 11, and a substantially frustoconical mounting cylindrical portion 24B formed integrally with the cylindrical portion 24A. The first nozzle space 24C having a substantially truncated cone shape is formed inside. In the first nozzle member 24, a mounting outer peripheral screw 24D is formed on the outer peripheral portion of the cylindrical portion 24A, and a mounting inner peripheral screw hole 24E penetrating the first nozzle space 24C is formed in the center of the side surface of the mounting cylindrical portion 24B. The The first nozzle member 24 is attached to and detached from the distal end portion of the outer cylinder member 11 by screwing the mounting outer peripheral screw 24D with the second inner peripheral screw 11D. In the state where the first nozzle member 24 is attached to the outer cylinder member 11, the first nozzle space 24 </ b> C communicates with the tip of the heating space portion 19.

第2ノズル部材25は、図3に示すように全体が略矢尻状の筒部材からなり、軸方向の貫通孔が大径側の側面に開口する第2ノズル空間25Aと、小径側の側面に開口するノズル孔25Bとから構成される。第2ノズル部材25は、第2ノズル空間25A側の筒部に第1ノズル部材24の取付ネジ孔24Eにねじ込まれる外周ネジ25Cが形成される。第2ノズル部材25は、外周ネジ25Cを取付内周ネジ孔24Eにネジ合わせすることにより、第1ノズル部材24に対してその先端部に着脱される。   As shown in FIG. 3, the second nozzle member 25 is composed of a substantially arrowhead-shaped tubular member as a whole, and has a second nozzle space 25 </ b> A in which an axial through hole opens on the large-diameter side surface, and a small-diameter side surface. The nozzle hole 25B is opened. As for the 2nd nozzle member 25, the outer periphery screw | thread 25C screwed in the attachment screw hole 24E of the 1st nozzle member 24 is formed in the cylinder part by the side of the 2nd nozzle space 25A. The second nozzle member 25 is attached to and detached from the tip of the first nozzle member 24 by screwing the outer peripheral screw 25C into the mounting inner peripheral screw hole 24E.

ノズル部材13は、比較的大径の加熱空間部19内で加熱された加熱用媒体5を小径のノズル孔25Bまで絞り込んで被加熱体6に効率的に噴射させる。ノズル部材13は、このために高加工精度が得やすい大径部位の第1ノズル部材24と小径部位の第2ノズル部材25を分割して形成してこれらを組み合わせて構成したが、かかる構成に限定されないことは勿論である。   The nozzle member 13 squeezes the heating medium 5 heated in the heating space 19 having a relatively large diameter to the nozzle hole 25B having a small diameter, and efficiently ejects the heating medium 6 onto the heated object 6. For this reason, the nozzle member 13 is formed by dividing the first nozzle member 24 having a large diameter portion and the second nozzle member 25 having a small diameter portion, which are easy to obtain high processing accuracy, and combining them. Of course, it is not limited.

ノズル部材13は、ノズル孔25Bがやや大径であったり、高温仕様として用いない場合にステンレス材に代わる適宜の金属材料を選択して押出加工等により第1ノズル部材24と第2ノズル部材25を一体に形成することも可能である。また、ノズル部材13は、第1ノズル部材24に対してノズル孔の孔径を異にする第2ノズル部材を選択して用いることにより、被加熱体6に対して加熱用媒体5の噴流範囲を変えることが可能である。   For the nozzle member 13, when the nozzle hole 25 </ b> B has a slightly large diameter or is not used as a high temperature specification, an appropriate metal material instead of a stainless steel material is selected, and the first nozzle member 24 and the second nozzle member 25 are subjected to extrusion or the like. Can also be formed integrally. Further, the nozzle member 13 selects and uses the second nozzle member having a different nozzle hole diameter with respect to the first nozzle member 24, whereby the jet range of the heating medium 5 with respect to the heated body 6 is set. It is possible to change.

ヒータ本体2においては、図2に示すようにホルダ部材10に対して、ソケット部材9がソケット組付開口10Bからソケット嵌合空間部9Aを加熱用媒体供給空間部16内に突出させて組み付けられる。ヒータ本体2においては、この状態でソケット部材9に設けられたソケット14が加熱用媒体供給空間部16の開口に臨ませられる。ヒータ本体2においては、ホルダ部材10に対してその供給管取付孔10Dに加熱用媒体供給管17が取り付けられる。   In the heater body 2, as shown in FIG. 2, the socket member 9 is assembled to the holder member 10 by projecting the socket fitting space portion 9 </ b> A into the heating medium supply space portion 16 from the socket assembly opening 10 </ b> B. . In the heater main body 2, the socket 14 provided on the socket member 9 faces the opening of the heating medium supply space 16 in this state. In the heater body 2, the heating medium supply pipe 17 is attached to the holder member 10 in the supply pipe attachment hole 10 </ b> D.

ヒータ本体2においては、ランプヒータ8が、ホルダ部材10に対して開口側から加熱用媒体供給空間部16内に嵌合してその口金体8Dをソケット部材9に組み込んだソケット14に結合することにより、バルブ8Aを加熱用媒体供給空間部16から突出させてホルダ部材10に片持ち状態で支持される。ヒータ本体2においては、熱交換筒部材12が、第1加熱用媒体流路20内にランプヒータ8を嵌挿させるようにして加熱用媒体供給空間部16の開口側からホルダ部材10に組み合わされる。ヒータ本体2においては、熱交換筒部材12が、嵌挿した一端部の外周部を熱交換筒部材保持凸部18により保持され、ランプヒータ8を全長に亘って覆ってホルダ部材10に片持ち状態で支持される。   In the heater body 2, the lamp heater 8 is fitted into the heating medium supply space 16 from the opening side with respect to the holder member 10, and is coupled to the socket 14 in which the base 8 </ b> D is incorporated in the socket member 9. Thus, the valve 8A is protruded from the heating medium supply space 16 and supported by the holder member 10 in a cantilever state. In the heater body 2, the heat exchange cylinder member 12 is combined with the holder member 10 from the opening side of the heating medium supply space 16 so that the lamp heater 8 is fitted into the first heating medium flow path 20. . In the heater body 2, the heat exchange cylinder member 12 is held by the heat exchange cylinder member holding convex portion 18 at the outer peripheral portion of one end portion into which the heat exchange cylinder member 12 is inserted, covers the lamp heater 8 over the entire length, and is cantilevered by the holder member 10. Supported in state.

ヒータ本体2においては、外筒部材11が、加熱空間部19内にランプヒータ8を覆った熱交換筒部材12を嵌挿させるようにして加熱用媒体供給空間部16の開口側からホルダ部材10に組み合わされる。ヒータ本体2においては、外筒部材11が、第1端部11Aの第1内周ネジ11Bを外周ネジ10Eにねじ込むことにより、ランプヒータ8と熱交換筒部材12を全長に亘って覆ってホルダ部材10に片持ち状態で組み合わされる。   In the heater body 2, the outer cylinder member 11 is inserted into the heating space 19 so that the heat exchange cylinder member 12 covering the lamp heater 8 is inserted into the holder member 10 from the opening side of the heating medium supply space 16. To be combined. In the heater body 2, the outer cylinder member 11 covers the lamp heater 8 and the heat exchange cylinder member 12 over the entire length by screwing the first inner peripheral screw 11B of the first end portion 11A into the outer peripheral screw 10E. It is combined with the member 10 in a cantilever state.

ヒータ本体2においては、第1ノズル部材24が、外周ネジ部24Dを第2端部11Cの第2内周ネジ11Dにねじ込むことにより、加熱用媒体供給空間部16の開口側を閉塞するようにして外筒部材11に組み合わされる。ヒータ本体2においては、第2ノズル部材25が、外周ネジ25Cを取付ネジ孔24Eにねじ込むことにより、外筒部材11の先端部に一体化される。ヒータ本体2においては、図1に示すように例えばホルダ部材10がその外周部をスタンド7に保持され、ノズル部材13を被加熱体6に対向させて工程中に設置される。   In the heater body 2, the first nozzle member 24 closes the opening side of the heating medium supply space portion 16 by screwing the outer peripheral screw portion 24 </ b> D into the second inner peripheral screw 11 </ b> D of the second end portion 11 </ b> C. The outer cylinder member 11 is combined. In the heater main body 2, the second nozzle member 25 is integrated with the distal end portion of the outer cylinder member 11 by screwing the outer peripheral screw 25C into the mounting screw hole 24E. In the heater main body 2, as shown in FIG. 1, for example, the holder member 10 is installed in the process while the outer peripheral portion thereof is held by the stand 7 and the nozzle member 13 is opposed to the heated body 6.

ヒータ本体2においては、加熱用媒体供給源4から供給される加熱用媒体5が、後述するようにコントローラ3により流量を調整されて供給される。ヒータ本体2においては、加熱用媒体5が、図2矢印で示すように加熱用媒体供給管17からホルダ部材10の加熱用媒体供給空間部16内へと供給される。ヒータ本体2においては、加熱用媒体5が、この加熱用媒体供給空間部16からランプヒータ8を収納した熱交換筒部材12内の第1加熱用媒体流路20とともに、熱交換筒部材保持凸部18間の各凹部を介して外筒部材11と熱交換筒部材12との間に構成された第2加熱用媒体流路19Aに流れ込む。   In the heater body 2, the heating medium 5 supplied from the heating medium supply source 4 is supplied with the flow rate adjusted by the controller 3 as will be described later. In the heater body 2, the heating medium 5 is supplied from the heating medium supply pipe 17 into the heating medium supply space 16 of the holder member 10 as indicated by the arrow in FIG. 2. In the heater main body 2, the heating medium 5, together with the first heating medium flow path 20 in the heat exchange cylinder member 12 in which the lamp heater 8 is accommodated from the heating medium supply space 16, has a heat exchange cylinder member holding projection. It flows into the second heating medium flow path 19 </ b> A configured between the outer cylinder member 11 and the heat exchange cylinder member 12 through each recess between the portions 18.

ヒータ本体2においては、後述するコントローラ3により所定の電圧値に設定された駆動電圧が供給されることにより、ランプヒータ8の発熱量が調整される。ヒータ本体2においては、ランプヒータ8が、バルブ8Aに沿って第1加熱用媒体流路20内を流れる加熱用媒体5を直接加熱するとともに熱交換筒部材12を加熱する。ヒータ本体2においては、熱せられた熱交換筒部材12が、第1加熱用媒体流路20内を流れる加熱用媒体5を加熱するとともに、第2加熱用媒体流路19Aを流れる加熱用媒体5と外筒部材11を加熱する。ヒータ本体2においては、加熱用媒体5が、長軸のランプヒータ8と熱交換筒部材12及び外筒部材11により第1加熱用媒体流路20と第2加熱用媒体流路19A内を流れて比較的長い間隔を以って効率的に加熱される。   In the heater body 2, the amount of heat generated by the lamp heater 8 is adjusted by supplying a drive voltage set to a predetermined voltage value by a controller 3 described later. In the heater body 2, the lamp heater 8 directly heats the heating medium 5 flowing in the first heating medium flow path 20 along the bulb 8 </ b> A and heats the heat exchange cylinder member 12. In the heater body 2, the heated heat exchange cylinder member 12 heats the heating medium 5 flowing in the first heating medium flow path 20 and the heating medium 5 flowing in the second heating medium flow path 19 </ b> A. The outer cylinder member 11 is heated. In the heater body 2, the heating medium 5 flows through the first heating medium flow path 20 and the second heating medium flow path 19 </ b> A by the long-axis lamp heater 8, the heat exchange cylinder member 12, and the outer cylinder member 11. Thus, it is heated efficiently with a relatively long interval.

ヒータ本体2においては、熱交換筒部材12に第1加熱用媒体流路20に全長に亘って突出する複数のリブ状凸部21を形成したことにより、第1加熱用媒体流路20内を流れる加熱用媒体5がより大きな表面積で加熱されるようになるとともに整流されて安定した状態で流れるようになる。ヒータ本体2においては、外気の影響を受けやすい外筒部材11の内周壁に沿った第2加熱用媒体流路19Aを流れる加熱用媒体5も熱交換筒部材12により加熱され、外気の影響が低減される。ヒータ本体2においては、加熱用媒体5に対する効率的な加熱により小型化や低電力消費化が図られる。   In the heater main body 2, the inside of the first heating medium flow path 20 is formed by forming a plurality of rib-shaped convex portions 21 projecting over the entire length of the first heating medium flow path 20 in the heat exchange cylinder member 12. The flowing heating medium 5 is heated with a larger surface area and is rectified and flows in a stable state. In the heater body 2, the heating medium 5 flowing through the second heating medium flow path 19 </ b> A along the inner peripheral wall of the outer cylinder member 11 that is easily affected by outside air is also heated by the heat exchange cylinder member 12, and the influence of outside air is exerted. Reduced. In the heater main body 2, reduction in size and power consumption can be achieved by efficient heating of the heating medium 5.

ヒータ本体2においては、第1加熱用媒体流路20と第2加熱用媒体流路19Aを流れてランプヒータ8と熱交換筒部材12により加熱された加熱用媒体5を、ノズル部材13から所定の温度と流量を以って被加熱体6に噴流させる。ヒータ本体2においては、加熱用媒体5が、図2矢印で示すように第1加熱用媒体流路20と第2加熱用媒体流路19Aから第1ノズル部材24の第1ノズル空間24C内に流速を高めて流れ込む。   In the heater body 2, the heating medium 5 flowing through the first heating medium flow path 20 and the second heating medium flow path 19 </ b> A and heated by the lamp heater 8 and the heat exchange cylinder member 12 is supplied from the nozzle member 13 to a predetermined level. The heated body 6 is jetted with a temperature and a flow rate. In the heater body 2, the heating medium 5 enters the first nozzle space 24 </ b> C of the first nozzle member 24 from the first heating medium flow path 20 and the second heating medium flow path 19 </ b> A as indicated by arrows in FIG. 2. Increase the flow rate and flow in.

ヒータ本体2においては、加熱用媒体5が、第1ノズル空間24Cから第2ノズル部材25の第2ノズル空間25Aを介してノズル孔25に流れ込む。ヒータ本体2においては、加熱用媒体5が、ノズル孔25によりさらに流速を高められて被加熱体6に噴流されることで、この被加熱体6を効率的に加熱する。ヒータ本体2においても、ノズル孔25からの露光により被加熱体6に対する加熱用媒体5の噴流位置が照明されることで、加熱用媒体5をより正確に噴流させることが可能である。   In the heater body 2, the heating medium 5 flows from the first nozzle space 24 </ b> C into the nozzle hole 25 through the second nozzle space 25 </ b> A of the second nozzle member 25. In the heater main body 2, the heating medium 5 is efficiently heated by being jetted to the heated body 6 with the flow velocity further increased by the nozzle holes 25. Also in the heater main body 2, the heating medium 5 can be more accurately jetted by illuminating the jet position of the heating medium 5 with respect to the heated body 6 by exposure from the nozzle hole 25.

加熱装置1においては、上述したようにコントローラ3によりヒータ本体2への加熱用媒体5の供給制御と電圧調整によるランプヒータ8の発熱制御を行うことにより、被加熱体6における加熱温度や加熱時間或いは加熱用媒体5の流量等の加熱仕様に適合した条件による加熱動作を精密に制御することが可能である。加熱装置1は、ランプヒータ8に供給する駆動電圧を高電圧化するに従ってランプヒータ8の発熱量が大きくなり、またランプヒータ8に一定電圧を供給した状態で加熱用媒体5の単位時間当たりの供給量を多くするに従って加熱用媒体5の温度が低下する。   In the heating device 1, as described above, the controller 3 controls the supply of the heating medium 5 to the heater body 2 and the heat generation control of the lamp heater 8 by adjusting the voltage, whereby the heating temperature and the heating time of the object 6 to be heated are controlled. Alternatively, it is possible to precisely control the heating operation under conditions suitable for heating specifications such as the flow rate of the heating medium 5. In the heating device 1, the heating value of the lamp heater 8 increases as the drive voltage supplied to the lamp heater 8 increases, and the heating medium 5 per unit time of the heating medium 5 is supplied with a constant voltage supplied to the lamp heater 8. As the supply amount increases, the temperature of the heating medium 5 decreases.

加熱装置1においては、詳細を後述するようにコントローラ3が、加熱用媒体5の流量制御とランプヒータ8への電圧調整を同時に行い、また加熱用媒体5の流量を一定に保持してランプヒータ8への電圧調整を行い、或いはランプヒータ8への電圧を一定に保持して加熱用媒体5の流量制御を行う機能を有する。加熱装置1においては、かかる機能を有するコントローラ3を備えることにより、被加熱体6に対してヒータ本体2から精密に温度管理された加熱用媒体5を噴流させる。   In the heating device 1, as will be described in detail later, the controller 3 simultaneously controls the flow rate of the heating medium 5 and adjusts the voltage to the lamp heater 8, and keeps the flow rate of the heating medium 5 constant to maintain the lamp heater. 8 or a function of controlling the flow rate of the heating medium 5 while keeping the voltage to the lamp heater 8 constant. In the heating apparatus 1, the controller 3 having such a function is provided, so that the heating medium 5 precisely controlled in temperature is jetted from the heater body 2 to the heated body 6.

上述した機能を有するコントローラ3は、図1及び図6に示すように筐体30の操作面30Aに上述したヒータ本体2の各部を接続する詳細を後述する接続部が設けられるとともに、筐体30の内部に詳細を後述する図7に示す構成各部が備えられる。コントローラ3は、上述したように半導体製造工程に設置されたヒータ本体2の近傍に位置して設置され、各部を接続した後に商用電源等の外部電源50と接続される。   As shown in FIGS. 1 and 6, the controller 3 having the above-described function is provided with a connection portion that will be described later in detail for connecting each portion of the heater body 2 described above to the operation surface 30 </ b> A of the housing 30. Each of the components shown in FIG. 7 will be described in detail later. As described above, the controller 3 is installed in the vicinity of the heater body 2 installed in the semiconductor manufacturing process, and is connected to an external power source 50 such as a commercial power source after connecting each part.

コントローラ3は、図1及び図6に示すように筐体30の主面30Aに、一対のジャック31A、31Bを有する電源接続端子部31が設けられる。筐体30には、主面30Aに、加熱用媒体供給管17と接続した供給配管32が結合され供給継ぎ手管33と、加熱用媒体供給源4とフィルタ34を介して接続した流入配管35が結合される流入継ぎ手管36が設けられる。筐体30には、主面30Aに、ヒータ本体2のノズル部材13から噴流される加熱用媒体5の温度を検出する温度検出センサ37を接続する一対のジャック39A、39Bを有するセンサ接続端子部39が設けられる。筐体30には、これらヒータ本体2との接続部とともに、主面30Aに電源スイッチ40と、詳細を後述する温度コントローラ部42の温度表示器42A及び温度設定操作部42Bと、流量コントローラ部43の流量表示器43A及び流量設定操作部43Bが設けられる。   As shown in FIGS. 1 and 6, the controller 3 is provided with a power connection terminal portion 31 having a pair of jacks 31 </ b> A and 31 </ b> B on the main surface 30 </ b> A of the housing 30. A supply pipe 32 connected to the heating medium supply pipe 17 is coupled to the main surface 30A of the housing 30 and a supply joint pipe 33, and an inflow pipe 35 connected to the heating medium supply source 4 via the filter 34 are provided. An inflow joint tube 36 is provided that is coupled. The housing 30 has a sensor connection terminal portion having a pair of jacks 39A and 39B for connecting a temperature detection sensor 37 for detecting the temperature of the heating medium 5 jetted from the nozzle member 13 of the heater body 2 to the main surface 30A. 39 is provided. The casing 30 has a power switch 40 on the main surface 30 </ b> A, a temperature indicator 42 </ b> A and a temperature setting operation unit 42 </ b> B of the temperature controller unit 42, which will be described in detail later, and a flow rate controller unit 43. A flow rate indicator 43A and a flow rate setting operation unit 43B are provided.

コントローラ3には、図7に示すように、筐体30の内部に制御処理手段を構成するCPU(Central Processing Unit)44と、電圧コントローラ45と、ランプヒータ駆動回路部46と、調整電磁弁48の開閉動作を制御する加熱用媒体供給制御部を構成する電磁弁制御回路部47と、外部電源50と接続された電源回路部49等の回路部を搭載した詳細を省略する制御基板が備えられる。コントローラ3は、温度コントローラ部42により被加熱体6に噴流する加熱用媒体5の温度設定が行われて、その設定情報信号がCPU44に入力される。コントローラ3は、流量コントローラ部43によりヒータ本体2から被加熱体6に噴流する加熱用媒体5の流量設定が行われて、その設定情報信号がCPU44に入力される。コントローラ3は、これらの入力信号に基づいてCPU44からランプヒータ制御回路部46或いは電磁弁制御回路部47に制御信号が出力され、ヒータ本体2におけるランプヒータ8の発熱制御と加熱用媒体5の流量制御が行われるようにする。   As shown in FIG. 7, the controller 3 includes a central processing unit (CPU) 44, a voltage controller 45, a lamp heater drive circuit unit 46, and an adjusting electromagnetic valve 48 that constitute control processing means inside the housing 30. A control board that omits the details of mounting a solenoid valve control circuit portion 47 that constitutes a heating medium supply control portion that controls the opening / closing operation of the power supply circuit portion and a power supply circuit portion 49 that is connected to the external power supply 50 is provided. . In the controller 3, the temperature of the heating medium 5 jetted to the heated body 6 is set by the temperature controller unit 42, and the setting information signal is input to the CPU 44. In the controller 3, the flow rate controller 43 sets the flow rate of the heating medium 5 jetted from the heater body 2 to the heated body 6, and the setting information signal is input to the CPU 44. Based on these input signals, the controller 3 outputs a control signal from the CPU 44 to the lamp heater control circuit section 46 or the electromagnetic valve control circuit section 47, and controls the heat generation of the lamp heater 8 in the heater body 2 and the flow rate of the heating medium 5. Allow control to take place.

コントローラ3は、電源接続端子部31の詳細を省略するジャック31A、31Bにそれぞれヒータ本体2から引き出した電源コード15に設けられたプラグ15A、15Bを着脱自在に結合することにより、使用時においてヒータ本体2を接続して電源供給が行われるようにする。コントローラ3は、センサ接続端子部39の詳細を省略するジャック39A、39Bに後述する温度検出センサ37から引き出されたセンサコード38に設けられたプラグ38A、38Bを着脱自在に結合し、使用時において温度検出センサ37を接続して加熱用媒体5の温度情報が入力されるようにする。   The controller 3 removably couples the plugs 15A and 15B provided on the power cord 15 drawn from the heater body 2 to the jacks 31A and 31B, which omit the details of the power connection terminal portion 31, respectively. The main body 2 is connected so that power is supplied. The controller 3 removably couples plugs 38A and 38B provided on a sensor cord 38 drawn out from a temperature detection sensor 37 (described later) to jacks 39A and 39B, which omit details of the sensor connection terminal portion 39. A temperature detection sensor 37 is connected to input temperature information of the heating medium 5.

コントローラ3は、供給継ぎ手管33及び流入継ぎ手管36がそれぞれ一般的な流体管接続用に用いられる継ぎ手管であることから詳細を省略するが、供給配管32や流入配管35を着脱自在に結合し、使用時においてヒータ本体2と加熱用媒体供給源4とを接続して加熱用媒体5が供給されるようにする。コントローラ3には、供給継ぎ手管33と流入継ぎ手管36との間に、加熱用媒体供給源4から加圧状態で供給される加熱用媒体5の流量を調整する調整電磁弁48が設けられる。調整電磁弁48は、詳細を省略するが電磁弁制御回路部47から出力される制御信号によりソレノイド等の駆動手段を駆動して管路を開閉する電磁弁の動作が制御され、ヒータ本体2に供給する加熱用媒体5の流量を調整する。電磁弁制御回路部47は、CPU44から出力される制御信号により駆動される。   The controller 3 omits the details because the supply joint pipe 33 and the inflow joint pipe 36 are joint pipes used for connecting general fluid pipes, but the supply pipe 32 and the inflow pipe 35 are detachably coupled. In use, the heater body 2 and the heating medium supply source 4 are connected so that the heating medium 5 is supplied. The controller 3 is provided with an adjusting electromagnetic valve 48 that adjusts the flow rate of the heating medium 5 supplied in a pressurized state from the heating medium supply source 4 between the supply joint pipe 33 and the inflow joint pipe 36. Although the details of the adjusting solenoid valve 48 are omitted, the operation of the solenoid valve that opens and closes the pipe line by driving a driving means such as a solenoid is controlled by a control signal output from the solenoid valve control circuit unit 47. The flow rate of the heating medium 5 to be supplied is adjusted. The solenoid valve control circuit unit 47 is driven by a control signal output from the CPU 44.

コントローラ3は、電源コード51が先端部に設けたプラグを例えば商用電源コンセントに結合することにより、外部電源50と接続される。コントローラ3は、電源回路部49の前段に電源スイッチ40と図示しない電源ヒューズが設けられ、電源スイッチ40により全体のオン・オフ操作が行われるようにするとともに、過大電流が流れた場合に電源ヒューズが切れるようにする。電源回路部49は、詳細を省略するが商用電源に対してAC−DC変換処理や所定電圧の変換処理を行い、CPU44やランプヒータ制御回路部46或いは他の構成各部に対して所定仕様の電源を供給する。   The controller 3 is connected to the external power source 50 by coupling a plug provided at the tip of the power cord 51 to, for example, a commercial power outlet. The controller 3 is provided with a power switch 40 and a power fuse (not shown) at the front stage of the power circuit section 49 so that the power switch 40 can be turned on and off as a whole, and when an excessive current flows, the power fuse Try to cut it. Although not described in detail, the power supply circuit unit 49 performs AC-DC conversion processing and predetermined voltage conversion processing on the commercial power supply, and supplies power of a predetermined specification to the CPU 44, the lamp heater control circuit unit 46, and other components. Supply.

コントローラ3においては、ヒータ本体2のノズル部材13から噴流される加熱用媒体5の温度を検出する温度検出センサ37からの検出信号に基づいてランプヒータ制御回路部46を制御し、ランプヒータ8に印加する駆動電圧を自動調整する。ランプヒータ制御回路部46は、ヒータ本体2のランプヒータ8に電源を供給してランプヒータ8を点灯させて加熱用媒体5の加熱動作が行われるようにするが、後述するように調整された駆動電圧を供給することによりランプヒータ8の発熱制御が行われるようにする。   In the controller 3, the lamp heater control circuit unit 46 is controlled based on a detection signal from a temperature detection sensor 37 that detects the temperature of the heating medium 5 jetted from the nozzle member 13 of the heater body 2. The drive voltage to be applied is automatically adjusted. The lamp heater control circuit unit 46 supplies power to the lamp heater 8 of the heater body 2 to turn on the lamp heater 8 so that the heating operation of the heating medium 5 is performed. Heat generation control of the lamp heater 8 is performed by supplying a driving voltage.

温度検出センサ37は、図1に示すようにセンサ部をヒータ本体2の加熱用媒体5が噴流されるノズル部材13と被加熱体6との間に配置することにより、実際に被加熱体6を加熱する加熱用媒体5の温度を直接かつ高精度に検出する。したがって、温度検出センサ37としては、1000℃程度までの比較的高温領域の温度測定用に用いられる温度センサ、例えば銅とコンスタンタンや白金と白金ロジウム合金等の2種類の金属を組み合わせてこれら金属により熱起電力を励起させて温度測定を行う熱電対センサが用いられる。   As shown in FIG. 1, the temperature detection sensor 37 is arranged between the nozzle member 13 through which the heating medium 5 of the heater body 2 is jetted and the heated body 6, so that the heated body 6 is actually heated. The temperature of the heating medium 5 for heating is detected directly and with high accuracy. Therefore, as the temperature detection sensor 37, a temperature sensor used for measuring a temperature in a relatively high temperature region up to about 1000 ° C., for example, two kinds of metals such as copper and constantan, platinum and platinum rhodium alloy are used in combination. A thermocouple sensor is used that measures temperature by exciting thermoelectromotive force.

コントローラ3においては、加熱用媒体5の温度を測定した温度検出センサ37から温度検出信号がCPU44へと出力されるとともに、温度コントローラ部42に出力されて測定した温度が温度表示器42Aに表示されるようにする。CPU44は、この温度検出信号に基づく温度情報と温度コントローラ部42により設定した設定温度とを比較し、差異結果に基づいてランプヒータ制御回路部46や電磁弁制御回路部47に制御信号を出力する。   In the controller 3, a temperature detection signal is output to the CPU 44 from the temperature detection sensor 37 that measures the temperature of the heating medium 5, and the temperature measured by being output to the temperature controller unit 42 is displayed on the temperature indicator 42 </ b> A. So that The CPU 44 compares the temperature information based on the temperature detection signal with the set temperature set by the temperature controller unit 42, and outputs a control signal to the lamp heater control circuit unit 46 and the electromagnetic valve control circuit unit 47 based on the difference result. .

CPU44には、上述したように温度コントローラ部42から加熱用媒体5の温度設定情報信号が入力されるとともに、流量コントローラ部43から加熱用媒体5の流量設定情報信号が入力される。CPU44は、上述したように温度検出センサ37から出力された温度検出信号と温度設定情報信号とを比較して、ランプヒータ制御回路部46に対してランプヒータ8に供給する駆動電圧の電圧値を指示する制御信号と電磁弁制御回路部47に対して供給する加熱用媒体5の流量を規定する調整電磁弁48の駆動量を指示する制御信号を出力する。CPU44は、上述した温度検出信号に基づいて、温度表示器42Aに加熱用媒体5の温度を表示させる。   As described above, the temperature setting information signal of the heating medium 5 is input from the temperature controller unit 42 to the CPU 44, and the flow rate setting information signal of the heating medium 5 is input from the flow rate controller unit 43. The CPU 44 compares the temperature detection signal output from the temperature detection sensor 37 with the temperature setting information signal as described above, and determines the voltage value of the drive voltage supplied to the lamp heater 8 to the lamp heater control circuit unit 46. The control signal for instructing and the control signal for instructing the driving amount of the adjusting electromagnetic valve 48 for defining the flow rate of the heating medium 5 supplied to the electromagnetic valve control circuit unit 47 are output. The CPU 44 causes the temperature indicator 42A to display the temperature of the heating medium 5 based on the temperature detection signal described above.

温度コントローラ部42は、上述したように加熱用媒体5の温度を表示する温度表示器42Aと、加熱用媒体5の温度を設定する温度設定操作部42Bとから構成される。温度コントローラ部42は、温度設定操作部42Bが、詳細を省略するが被加熱体6を加熱する加熱用媒体5の温度を設定するための設定操作ボタンや温度表示器42Aの表示を切り替える表示切換ボタン或いは出力操作ボタン等の操作ボタンと、これら各操作ボタンの操作に基づいてCPU44に所定の信号を出力する回路部等を有する。   As described above, the temperature controller unit 42 includes the temperature indicator 42A that displays the temperature of the heating medium 5 and the temperature setting operation unit 42B that sets the temperature of the heating medium 5. The temperature controller section 42 is a display switch for switching the display of the setting operation button and the temperature indicator 42A for setting the temperature of the heating medium 5 that heats the heated body 6 although the temperature setting operation section 42B omits details. Operation buttons such as buttons or output operation buttons, and a circuit unit that outputs a predetermined signal to the CPU 44 based on operations of these operation buttons are provided.

温度コントローラ部42は、例えば温度表示器42Aに表示された設定温度の変更を行う場合に、表示切換ボタンを操作して温度設定モードに設定した状態で設定操作ボタンを操作して表示温度を変更する。温度コントローラ部42は、温度表示器42Aに表示された変更後の表示温度値を確認して出力操作ボタンを操作することにより、CPU44に対して設定した温度情報信号を出力する。温度コントローラ部42は、上述したように温度検出センサ37により検出されCPU44に出力された加熱用媒体5の温度を温度表示器42Aに表示する。   For example, when changing the set temperature displayed on the temperature indicator 42A, the temperature controller unit 42 changes the display temperature by operating the display operation button and setting the temperature setting mode. To do. The temperature controller unit 42 outputs the set temperature information signal to the CPU 44 by confirming the changed display temperature value displayed on the temperature indicator 42A and operating the output operation button. As described above, the temperature controller unit 42 displays the temperature of the heating medium 5 detected by the temperature detection sensor 37 and output to the CPU 44 on the temperature indicator 42A.

コントローラ3においては、CPU44が、温度コントローラ部42から出力された温度情報信号に基づいてランプヒータ8の発熱特性に応じて供給すべき駆動電圧値を設定して、ランプヒータ制御回路部46に対して所定の制御信号を出力する。コントローラ3においては、この制御信号に基づいて電圧コントローラ45が駆動されてランプヒータ制御回路部46を介してランプヒータ8に所定電圧値の駆動電圧を供給する。   In the controller 3, the CPU 44 sets a drive voltage value to be supplied according to the heat generation characteristic of the lamp heater 8 based on the temperature information signal output from the temperature controller unit 42, and supplies the drive voltage value to the lamp heater control circuit unit 46. To output a predetermined control signal. In the controller 3, the voltage controller 45 is driven based on this control signal, and a driving voltage having a predetermined voltage value is supplied to the lamp heater 8 through the lamp heater control circuit unit 46.

流量コントローラ部43も、上述したように加熱用媒体5の流量を表示する流量表示器43Aと、加熱用媒体5の流量を設定する流量設定操作部43Bとから構成される。流量コントローラ部43は、流量設定操作部43Bが、詳細を省略するがヒータ本体2に供給する被加熱体6の単位時間当たりの供給量、すなわち流量を設定するための設定操作ボタンや流量表示器43Aの表示を切り替える表示切換ボタン或いは出力操作ボタン等の操作ボタンと、これら各操作ボタンの操作に基づいてCPU44に所定の信号を出力する制御回路部等を有する。   The flow rate controller 43 is also composed of the flow rate indicator 43A that displays the flow rate of the heating medium 5 and the flow rate setting operation unit 43B that sets the flow rate of the heating medium 5 as described above. The flow rate controller 43 includes a setting operation button and a flow rate indicator for setting the supply amount per unit time of the heated body 6 to be supplied to the heater body 2, that is, the flow rate, although the flow rate setting operation unit 43 </ b> B omits details. 43A includes an operation button such as a display switching button or an output operation button for switching the display of 43A, and a control circuit unit that outputs a predetermined signal to the CPU 44 based on the operation of each operation button.

流量コントローラ部43は、例えば流量表示器43Aに表示された設定流量の変更を行う場合に、表示切換ボタンを操作して流量設定モードに設定した状態で設定操作ボタンを操作して流量を変更する。流量コントローラ部43は、流量表示器43Aに表示された変更後の流量値を確認して出力操作ボタンを操作することにより、制御回路部からCPU44に対して設定した流量情報信号を出力する。   For example, when the set flow rate displayed on the flow rate indicator 43A is changed, the flow rate controller unit 43 changes the flow rate by operating the setting operation button while operating the display switching button and setting the flow rate setting mode. . The flow rate controller unit 43 outputs the flow rate information signal set to the CPU 44 from the control circuit unit by checking the changed flow rate value displayed on the flow rate indicator 43A and operating the output operation button.

コントローラ3においては、CPU44が、流量コントローラ部43から出力された流量情報信号に基づいてヒータ本体2から噴流する加熱用媒体5の流量値を設定して、電磁弁制御回路部47に対して所定の制御信号を出力する。コントローラ3においては、この制御信号に基づいて電磁弁制御回路部47から調整電磁弁48に対して所定の駆動信号が出力され、流量を調整された加熱用媒体5がヒータ本体2に供給されるようにする。   In the controller 3, the CPU 44 sets the flow rate value of the heating medium 5 jetted from the heater body 2 based on the flow rate information signal output from the flow rate controller unit 43, and sets a predetermined value for the electromagnetic valve control circuit unit 47. The control signal is output. In the controller 3, a predetermined drive signal is output from the electromagnetic valve control circuit 47 to the adjusting electromagnetic valve 48 based on this control signal, and the heating medium 5 whose flow rate is adjusted is supplied to the heater body 2. Like that.

コントローラ3においては、上述した温度コントローラ部42により加熱用媒体5の温度設定を行った状態で流量コントローラ部43による流量設定を行うことにより、ランプヒータ8に対して電圧値が自動調整された駆動電圧が供給されるようにする。加熱用媒体5は、流量が多くなるにしたがって次第に温度が低下するとともに、流量が少なくなるにしたがって次第に温度が上昇する。コントローラ3においては、加熱用媒体5が流量コントローラ部43により設定した流量で噴流することにより生じる温度変化を温度検出センサ37により検出する。コントローラ3においては、上述したフィードバック制御動作により電圧コントローラ45により制御された所定電圧値の駆動電圧をランプヒータ制御回路部46を介してランプヒータ8に供給することにより、ランプヒータ8から所定の発熱量が発生されるようにする。   In the controller 3, the voltage value is automatically adjusted with respect to the lamp heater 8 by performing the flow rate setting by the flow rate controller unit 43 in the state where the temperature of the heating medium 5 is set by the temperature controller unit 42 described above. Ensure that voltage is supplied. The temperature of the heating medium 5 gradually decreases as the flow rate increases, and the temperature gradually increases as the flow rate decreases. In the controller 3, a temperature change sensor 37 detects a temperature change caused by the heating medium 5 being jetted at a flow rate set by the flow rate controller 43. In the controller 3, a predetermined heat value is generated from the lamp heater 8 by supplying a driving voltage having a predetermined voltage value controlled by the voltage controller 45 to the lamp heater 8 through the lamp heater control circuit 46 by the feedback control operation described above. Let the amount be generated.

一方、コントローラ3においては、上述した流量コントローラ部43により加熱用媒体5の流量設定を行った状態で温度コントローラ部42による温度設定を行うことによっても、ランプヒータ8に対して電圧値が自動調整された駆動電圧が供給されるようにする。ランプヒータ8は、供給される駆動電圧が高くなるにしたがって次第に発熱量が大きくなるとともに駆動電圧が低くなるにしたがって次第に発熱量が小さくなる。コントローラ3においては、電圧変動による加熱用媒体5の温度変化を温度検出センサ37により検出する。コントローラ3においては、上述したフィードバック制御動作によりCPU44から電圧コントローラ45に制御信号が出力され、所定電圧値の駆動電圧をランプヒータ制御回路部46を介してランプヒータ8に供給することにより、ランプヒータ8から所定の発熱量が発生されるようにする。   On the other hand, in the controller 3, the voltage value is automatically adjusted with respect to the lamp heater 8 by setting the temperature by the temperature controller unit 42 while the flow rate of the heating medium 5 is set by the flow rate controller unit 43 described above. The supplied drive voltage is supplied. The lamp heater 8 gradually increases in heat generation as the drive voltage supplied increases, and gradually decreases in heat as the drive voltage decreases. In the controller 3, the temperature detection sensor 37 detects the temperature change of the heating medium 5 due to voltage fluctuation. In the controller 3, a control signal is output from the CPU 44 to the voltage controller 45 by the feedback control operation described above, and a driving voltage having a predetermined voltage value is supplied to the lamp heater 8 via the lamp heater control circuit unit 46, whereby the lamp heater A predetermined heat generation amount is generated from 8.

以上のように構成されたコントローラ3においては、上述したように工程中に設置されたヒータ本体2が、電源接続端子部31に電源コード15を接続し、供給継ぎ手管33に供給配管32を接続される。コントローラ3においては、ヒータ本体2のノズル部材13に近接して設置した温度検出センサ37が、センサ接続端子部39にセンサコード38を接続される。コントローラ3においては、流入継ぎ手管36に加熱用媒体供給源4からフィルタ34を介して導かれた流入配管35が接続されるとともに、電源コード51が外部電源50に接続される。   In the controller 3 configured as described above, the heater body 2 installed in the process as described above connects the power cord 15 to the power connection terminal portion 31 and connects the supply pipe 32 to the supply joint tube 33. Is done. In the controller 3, a sensor cord 38 is connected to a sensor connection terminal portion 39 of a temperature detection sensor 37 installed in the vicinity of the nozzle member 13 of the heater body 2. In the controller 3, the inflow pipe 35 led from the heating medium supply source 4 through the filter 34 is connected to the inflow joint pipe 36, and the power cord 51 is connected to the external power source 50.

コントローラ3においては、電源スイッチ40をオン操作して構成各部に対して電源供給を行う。コントローラ3においては、温度コントローラ部42の温度設定操作部42Bによりヒータ本体2による被加熱体6の加熱温度を設定する操作を行うことにより、温度表示器42に設定温度が表示されるとともにCPU44に温度情報信号が出力される。コントローラ3においては、流量コントローラ部43の流量設定操作部43Bによりヒータ本体2に供給する加熱用媒体5の流量を設定する操作を行うことにより、流量表示器43Aに設定流量が表示されるとともにCPU44に流量情報信号が出力される。   In the controller 3, the power switch 40 is turned on to supply power to each component. In the controller 3, the setting temperature is displayed on the temperature indicator 42 and the CPU 44 is displayed on the CPU 44 by performing an operation of setting the heating temperature of the heated body 6 by the heater body 2 by the temperature setting operation unit 42 </ b> B of the temperature controller unit 42. A temperature information signal is output. In the controller 3, by performing an operation for setting the flow rate of the heating medium 5 supplied to the heater body 2 by the flow rate setting operation unit 43B of the flow rate controller unit 43, the set flow rate is displayed on the flow rate display 43A and the CPU 44 is set. A flow rate information signal is output.

コントローラ3においては、流量コントローラ部43からの流量情報信号に基づいてCPU44から電磁弁制御回路部47に対して制御信号が出力され、この制御信号に基づいて電磁弁制御回路部47から出力される駆動信号により調整電磁弁48が駆動される。コントローラ3においては、加熱用媒体供給源4から供給される加熱用媒体5を調整電磁弁48により流量を調整してヒータ本体2に供給する。コントローラ3においては、ヒータ本体2のノズル部材13から噴流する加熱用媒体5の温度が温度検出センサ37により検出され、温度検出センサ37からCPU44に温度検出信号が出力される。   In the controller 3, a control signal is output from the CPU 44 to the electromagnetic valve control circuit unit 47 based on the flow rate information signal from the flow rate controller unit 43, and output from the electromagnetic valve control circuit unit 47 based on this control signal. The adjustment electromagnetic valve 48 is driven by the drive signal. In the controller 3, the heating medium 5 supplied from the heating medium supply source 4 is supplied to the heater body 2 by adjusting the flow rate by the adjusting electromagnetic valve 48. In the controller 3, the temperature of the heating medium 5 jetted from the nozzle member 13 of the heater body 2 is detected by the temperature detection sensor 37, and a temperature detection signal is output from the temperature detection sensor 37 to the CPU 44.

コントローラ3においては、温度検出センサ37からの温度検出信号に基づいてCPU44から電圧コントローラ45に対してランプヒータ8に供給する駆動電圧の電圧値を指示する制御信号を出力する。コントローラ3においては、電圧コントローラ45からランプヒータ制御回路部46に制御信号を出力し、この制御信号に基づいてランプヒータ制御回路部46からヒータ本体2のランプヒータ8に所定電圧値の駆動電圧を供給してランプヒータ8から所定の発熱量が発生されるようにする。   In the controller 3, based on the temperature detection signal from the temperature detection sensor 37, the CPU 44 outputs a control signal instructing the voltage value of the drive voltage supplied to the lamp heater 8 to the voltage controller 45. In the controller 3, a control signal is output from the voltage controller 45 to the lamp heater control circuit unit 46, and a driving voltage having a predetermined voltage value is applied from the lamp heater control circuit unit 46 to the lamp heater 8 of the heater body 2 based on this control signal. It is supplied so that a predetermined amount of heat is generated from the lamp heater 8.

コントローラ3においては、ヒータ本体2のノズル部材13から噴流する加熱用媒体5の温度を温度検出センサ37により引き続いて検出する。コントローラ3においては、温度検出センサ37により加熱用媒体5が設定温度よりも高くなった状態を検出するとCPU44からの指示に基づいて駆動電圧を低圧化してランプヒータ8からの発熱量を低下させるとともに、設定温度よりも低い状態では駆動電圧を高圧化してランプヒータ8からの所定の発熱量を高くする。   In the controller 3, the temperature of the heating medium 5 jetted from the nozzle member 13 of the heater main body 2 is subsequently detected by the temperature detection sensor 37. In the controller 3, when the temperature detection sensor 37 detects that the heating medium 5 has become higher than the set temperature, the drive voltage is reduced based on an instruction from the CPU 44 to reduce the amount of heat generated from the lamp heater 8. When the temperature is lower than the set temperature, the driving voltage is increased to increase the predetermined heat generation amount from the lamp heater 8.

コントローラ3においては、上述したようにヒータ本体2に供給する加熱用媒体5の流量と温度検出センサ37により検出した加熱用媒体5の温度とによりランプヒータ8に供給する駆動電圧を自動制御するようにしたが、かかる制御方法に限定されないことは勿論である。コントローラ3においては、例えば温度検出センサ37からの温度検出信号に基づいてCPU44から電磁弁駆動制御回路部47に対して制御信号を出力して調整電磁弁48を駆動し、加熱用媒体5の流量を調整するようにしてもよい。コントローラ3においては、温度検出センサ37により加熱用媒体5が設定温度よりも高い状態を検出すると加熱用媒体5の流量を増加させるとともに、設定温度よりも低い状態を検出すると加熱用媒体5の流量を低下させる。   In the controller 3, as described above, the drive voltage supplied to the lamp heater 8 is automatically controlled by the flow rate of the heating medium 5 supplied to the heater body 2 and the temperature of the heating medium 5 detected by the temperature detection sensor 37. However, it is needless to say that the present invention is not limited to such a control method. In the controller 3, for example, based on a temperature detection signal from the temperature detection sensor 37, a control signal is output from the CPU 44 to the electromagnetic valve drive control circuit unit 47 to drive the adjustment electromagnetic valve 48, and the flow rate of the heating medium 5 is increased. May be adjusted. In the controller 3, the flow rate of the heating medium 5 is increased when the temperature detection sensor 37 detects that the heating medium 5 is higher than the set temperature, and the flow rate of the heating medium 5 is detected when a temperature lower than the set temperature is detected. Reduce.

また、コントローラ3においては、例えば筐体30の主面30Aに手動操作される電圧調整ダイヤルを設け、この電圧調整ダイヤルにより電圧コントローラ45を駆動してランプヒータ制御回路部46から所定電圧値の駆動電圧をヒータ本体2に供給するように構成してもよい。コントローラ3においては、例えば電圧調整ダイヤルを手動操作してヒータ本体2に供給する駆動電圧を設定し、温度検出センサ37により検出されて温度コントローラ部42の温度表示器42Aに表示される加熱用媒体5の温度を確認しながら、流量コントローラ部43の流量設定操作部43Bによりヒータ本体2に供給する加熱用媒体5の流量を調整する。   In the controller 3, for example, a voltage adjustment dial that is manually operated is provided on the main surface 30A of the housing 30, and the voltage controller 45 is driven by the voltage adjustment dial to drive a predetermined voltage value from the lamp heater control circuit unit 46. You may comprise so that a voltage may be supplied to the heater main body 2. FIG. In the controller 3, for example, a driving voltage supplied to the heater body 2 is set by manually operating a voltage adjustment dial, detected by the temperature detection sensor 37, and displayed on the temperature indicator 42 </ b> A of the temperature controller unit 42. 5 is adjusted, the flow rate of the heating medium 5 supplied to the heater body 2 is adjusted by the flow rate setting operation unit 43B of the flow rate controller unit 43.

加熱装置1においては、上述したようにコントローラ3を備えてヒータ本体2に対してランプヒータ8の発熱量とノズル部材13から噴流する加熱用媒体5の流量を制御することにより、被加熱体6の温度制御を行うように構成される。加熱装置1においては、特に精密な温度管理を不要とする場合にはヒータ本体2の制御を行うコントローラ3を備えることなく、ヒータ本体2が被加熱体6を加熱するように構成してもよい。また、加熱装置1においては、コントローラ3の使用を手動スイッチの切替操作により選択するようにしてもよい。   In the heating apparatus 1, the controller 3 is provided as described above, and the heating target 6 is controlled by controlling the heat generation amount of the lamp heater 8 and the flow rate of the heating medium 5 jetted from the nozzle member 13 with respect to the heater body 2. It is comprised so that temperature control may be performed. The heating device 1 may be configured such that the heater body 2 heats the object to be heated 6 without including the controller 3 that controls the heater body 2 when precise temperature management is not required. . Moreover, in the heating apparatus 1, you may make it select use of the controller 3 by switching operation of a manual switch.

実施の形態として示す加熱装置の斜視図である。It is a perspective view of the heating device shown as an embodiment. ヒータ本体の断面図である。It is sectional drawing of a heater main body. ヒータ本体の分解断面図である。It is an exploded sectional view of a heater main part. ヒータ本体のホルダ部材と熱交換筒部材の組み合わせ部位の断面図である。It is sectional drawing of the combination site | part of the holder member of a heater main body, and a heat exchange cylinder member. 他の熱交換筒部材の断面図である。It is sectional drawing of another heat exchange cylinder member. コントローラの正面図である。It is a front view of a controller. コントローラの構成図である。It is a block diagram of a controller.

符号の説明Explanation of symbols

1 加熱装置、2 ヒータ本体、3 コントローラ、4 加熱用媒体供給源、5 加熱用媒体、6 被加熱体、8 ランプヒータ、9 ソケット部材、10 ホルダ部材、11 外筒部材、12 熱交換筒部材、13 ノズル部材、14 ソケット、16 加熱用媒体供給空間部、17 加熱用媒体供給管、18 熱交換筒部材保持凸部、19 加熱空間部、19A 第2加熱用媒体流路、20 第1加熱用媒体流路、21 リブ状凸部、22 熱交換筒部材、23 保持凸部、24 第1ノズル部材、25 第2ノズル部材、30 筐体、31 電源接続端子部、供給配管、33 供給継ぎ手管、34 フィルタ、35 流入配管、36 流入継ぎ手管、37 温度検出センサ、39 センサ接続端子部、40 電源スイッチ、42 温度コントローラ部、43 流量コントローラ部、44 CPU、45 電圧コントローラ、46 ランプヒータ制御回路部、47 電磁弁制御回路部、48 調整電磁弁、49 電源回路部、50 外部電源   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Heating device, 2 Heater main body, 3 Controller, 4 Heating medium supply source, 5 Heating medium, 6 Heated body, 8 Lamp heater, 9 Socket member, 10 Holder member, 11 Outer cylinder member, 12 Heat exchange cylinder member , 13 Nozzle member, 14 Socket, 16 Heating medium supply space part, 17 Heating medium supply pipe, 18 Heat exchange cylinder member holding convex part, 19 Heating space part, 19A Second heating medium flow path, 20 First heating Medium flow path, 21 rib-shaped convex part, 22 heat exchange cylinder member, 23 holding convex part, 24 first nozzle member, 25 second nozzle member, 30 housing, 31 power connection terminal part, supply piping, 33 supply joint Pipe, 34 Filter, 35 Inflow piping, 36 Inflow joint pipe, 37 Temperature detection sensor, 39 Sensor connection terminal section, 40 Power switch, 42 Temperature controller section, 43 flow Volume controller section, 44 CPU, 45 Voltage controller, 46 Lamp heater control circuit section, 47 Solenoid valve control circuit section, 48 Adjustment solenoid valve, 49 Power supply circuit section, 50 External power supply

Claims (1)

一端側に口金体を設けた片口型ランプヒータと、
上記口金体が着脱されるソケットを有し、上記ランプヒータを片持ち状態で着脱するソケット部材と、
上記ソケット部材を組み付けるとともに、内部に加熱用媒体供給管を介して加熱用媒体供給源から加熱用媒体が供給される加熱用媒体供給空間部を形成したホルダ部材と、
上記ランプヒータよりも大径かつ長軸の筒状に形成され、一端側を上記ホルダ部材に対して上記ソケット部材と対向する側から片持ち状態に組み合わされるとともに、加熱空間部を構成する内部空間に上記ホルダ部材の加熱用媒体供給空間部から上記加熱用媒体が供給される金属製の外筒部材と、
外径が上記外筒部材の内部空間よりも小径とされるとともに内径が上記ランプヒータよりも大径とされた筒状に形成され、一端側を上記ホルダ部材に片持ち状態に組み合わせて上記外筒部材の上記内部空間内に収納されるとともに上記ランプヒータを収納する内部空間が上記外筒部材を介して供給される上記加熱用媒体の加熱流路を構成するセラミック製の熱交換筒部材と、
上記外筒部材の先端部側に着脱自在に組み合わされ、上記外筒部材と上記熱交換筒部材の内部空間を流れて加熱された上記加熱用媒体を被加熱体に噴流させるノズル部材とを備え、
上記ホルダ部材から供給される上記加熱用媒体が、上記熱交換筒部材の内周壁に軸方向に形成した複数のリブ状凸部により上記ランプヒータとの間に構成される第1加熱用媒体流路と、上記外筒部材の内周壁と上記熱交換筒部材の外周壁との間に構成される第2加熱用媒体流路とを流れて加熱されて上記ノズル部材から被加熱体に噴流されることを特徴とする加熱装置。
A single-ended lamp heater provided with a base on one end side;
A socket member for attaching and detaching the base body, and a socket member for attaching and detaching the lamp heater in a cantilever state;
A holder member in which the socket member is assembled, and a heating medium supply space portion to which a heating medium is supplied from a heating medium supply source via a heating medium supply pipe is formed.
An internal space which is formed in a cylindrical shape having a larger diameter and a longer axis than the lamp heater, and is combined in a cantilevered state from the side facing the socket member with respect to the holder member, and constitutes a heating space portion A metal outer cylinder member to which the heating medium is supplied from the heating medium supply space of the holder member;
The outer diameter is smaller than the inner space of the outer cylinder member and the inner diameter is larger than that of the lamp heater, and the outer end is combined with the holder member in a cantilevered state. A ceramic heat exchange cylinder member that is housed in the internal space of the tubular member and that constitutes a heating flow path of the heating medium in which the internal space for housing the lamp heater is supplied via the outer tubular member; ,
A nozzle member that is detachably assembled to the distal end side of the outer cylinder member, and jets the heating medium flowing through the inner space of the heat exchange cylinder member to the heated body. ,
The heating medium supplied from the holder member is a first heating medium flow configured between the lamp heater by a plurality of rib-shaped protrusions formed in the axial direction on the inner peripheral wall of the heat exchange cylinder member. The second heating medium flow path configured between the path, the inner peripheral wall of the outer cylindrical member, and the outer peripheral wall of the heat exchange cylindrical member is heated and jetted from the nozzle member to the object to be heated. A heating device characterized by that.
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