JP2008130985A - Flux supply/recovery unit in electronic component packaging equipment - Google Patents
Flux supply/recovery unit in electronic component packaging equipment Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008130985A JP2008130985A JP2006317333A JP2006317333A JP2008130985A JP 2008130985 A JP2008130985 A JP 2008130985A JP 2006317333 A JP2006317333 A JP 2006317333A JP 2006317333 A JP2006317333 A JP 2006317333A JP 2008130985 A JP2008130985 A JP 2008130985A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flux
- transfer belt
- transfer
- electronic component
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
Description
本発明は、電子部品実装装置においてフラックス供給・回収を合理的に行うことができ、かつ、電子部品へのフラックスの転写を安定して行うことができる装置に関する。 The present invention relates to an apparatus capable of rationally supplying and collecting flux in an electronic component mounting apparatus and stably performing transfer of flux to the electronic component.
IC、LSI、フリップチップ、抵抗チップ、チップコンデンサなどの電子部品を基板の所定の位置に搭載するための実装装置が開示されている。この種の実装装置は、これらの電子部品を真空吸着する吸着ノズルを有する吸着ヘッドを備え、該吸着ヘッド(具体的にはヘッドを保持しているホルダ)のX−Y方向の移動(水平駆動)及び前記吸着ノズルのZ軸方向の移動(鉛直駆動)と、前記吸着ヘッド自体のZ軸周りの回転(θ駆動)を組み合わせながら、パーツフィーダに供えられた電子部品を基板に搭載する。 A mounting apparatus for mounting electronic components such as an IC, an LSI, a flip chip, a resistor chip, and a chip capacitor at a predetermined position on a substrate is disclosed. This type of mounting apparatus includes a suction head having a suction nozzle that vacuum-sucks these electronic components, and moves the suction head (specifically, a holder that holds the head) in the X and Y directions (horizontal drive). ) And the movement of the suction nozzle in the Z-axis direction (vertical drive) and the rotation of the suction head itself around the Z-axis (θ drive) are mounted on the substrate.
電子部品の実装方法として、半田接合を採用する場合、半田の接合性を向上させる目的で、ペースト状のフラックスを電子部品上のバンプに転写する方法が広く知られている。 As a method for mounting an electronic component, when solder bonding is employed, a method of transferring a paste-like flux to bumps on the electronic component is widely known for the purpose of improving solder bonding.
電子部品のバンプの大きさは電子部品の種類によって変わる。そのため、バンプに付着させるフラックスの量(フラックスの必要転写量)は、当該バンプの大きさに応じて変更する必要がある。 The size of the bump of the electronic component varies depending on the type of the electronic component. Therefore, the amount of flux to be attached to the bump (necessary transfer amount of flux) needs to be changed according to the size of the bump.
特許文献1において、この目的を達成するために、図6に示されるようなフラックス供給装置が開示されている。この供給装置110は、転写部113に、水平な膜厚基準面113aに対してそれぞれ異なる高さで設けられた複数の平坦な塗膜面113b〜113eを形成している。ここで、スキージ114の摺接部114cを塗膜基準面113aに接触させた状態で移動させると、塗膜面113b〜113e上に複数の膜厚が異なるフラックス膜を形成できる。
In
品種切り替えの際においては、この複数のフラックス膜のいずれかの部分にまで電子部品を搭載した吸着ヘッドを移動し、そこで吸着ノズルが降下することにより適正量のフラックスを転写する。 When changing the product type, the suction head on which the electronic component is mounted is moved to any part of the plurality of flux films, and the suction nozzle descends there to transfer an appropriate amount of flux.
近年の電子部品の実装は、ますます少量多品種の傾向が強くなっており、且つ、1個1個の製品に、より高度な品質が求められるようになってきている。フラックスは、一般に腐食性を有するため、転写すべきバンプに対応して、必要最小限の転写が行われる必要がある。従って、電子部品の種類に応じて、よりきめ細かに転写する際のフラックスの供給量を変更・調整したいというニーズが高まっている。 In recent years, mounting of electronic components has been increasingly in a small quantity and a wide variety, and more advanced quality has been required for each product. Since the flux is generally corrosive, it is necessary to perform the minimum transfer corresponding to the bump to be transferred. Accordingly, there is an increasing need to change / adjust the supply amount of flux when transferring more finely according to the type of electronic component.
しかしながら、上述した特許文献1に係るフラックス供給装置にあっては、膜厚の変更範囲、あるいは1段当たりの膜厚変化量が限定されてしまうため、多種類の膜厚を得ようとした場合には、装置がその分、比例的に大きく且つ複雑になってしまうという問題があった。
However, in the above-described flux supply device according to
また、装置の構造上、常にフラックスを広い平面に薄く塗布した状態に維持しておく必要があり、フラックス自体の品質が劣化しやすい、という問題もあった。 In addition, due to the structure of the apparatus, it is necessary to always keep the flux thinly applied on a wide plane, and there is a problem that the quality of the flux itself is likely to deteriorate.
このような問題を解消するために、出願人は、公知ではない先願(特願2005−295307)において、電子部品の種類に応じて、簡易な構造で転写に必要なフラックス量を可変的に供給することができ、且つ、回収機能を有してフラックス自体の品質の劣化を最小限に抑えることのできるフラックス供給・回収装置を提案している。 In order to solve such a problem, the applicant variably changes the amount of flux necessary for transfer with a simple structure according to the type of electronic component in a previously known application (Japanese Patent Application No. 2005-295307). We have proposed a flux supply / recovery device that can be supplied and that has a recovery function and can minimize degradation of the quality of the flux itself.
しかし、このフラックス供給・回収装置においては、剛性の小さい移送ベルト上にフラックスが形成されるため、電子部品にフラックスを転写する際の安定性に欠けるおそれがあった。 However, in this flux supply / recovery device, since the flux is formed on the transfer belt having a small rigidity, there is a possibility that the stability at the time of transferring the flux to the electronic component may be lacking.
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであって、電子部品の種類に応じて、簡易な構造で転写に必要なフラックス量を可変的に供給することができ、且つ、回収機能を有してフラックス自体の品質の劣化を最小限に抑えることができ、さらに電子部品にフラックスを転写する際の安定性に優れるフラックス供給・回収装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such problems, and according to the type of electronic component, it is possible to variably supply a flux amount necessary for transfer with a simple structure, and to provide a recovery function. It is an object of the present invention to provide a flux supply / recovery device that can minimize deterioration of the quality of the flux itself and has excellent stability when transferring the flux to an electronic component.
本発明者は、公知ではない先願(特願2005−295307)に係る発明において、電子部品へのフラックス転写時に移送ベルトを下から支持するバックアッププレートを、移送ベルトの下に備えさせることにより、前記課題を解決できることを見出した。さらに、このバックアッププレートに所定の工夫を施すことにより、電子部品にフラックスを転写する際の安定性が更に向上することを見出した。 In the invention according to the prior application (Japanese Patent Application No. 2005-295307) that is not publicly known, the present inventor provides a backup plate that supports the transfer belt from below during the flux transfer to the electronic component, It has been found that the above problems can be solved. Furthermore, it has been found that the stability when transferring the flux to the electronic component is further improved by applying a predetermined device to the backup plate.
即ち、本発明は、電子部品実装装置におけるフラックス供給・回収装置において、フラックスを載置可能な所定の幅を有し、エンドレスに進行する移送ベルトと、該移送ベルトの表面に被さるように配置され、該移送ベルトの表面に当接可能なブレードを有すると共に、フラックスを貯留可能なフラックスチャンバと、所定の位置から、前記移送ベルトの進行方向を、前記フラックスチャンバが存在する側と反対の側に変更するベルトガイド機構と、前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルトの表面に沿って移動可能とする駆動機構と、を備え、転写工程時に、前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルト上の下流側へ移動させ、前記所定の位置からの前記ブレードの距離を調整することにより、ブレードと移送ベルトとの間にフラックスを供給可能な間隙を可変的に形成可能とし、転写工程完了後に、前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルト上の上流側へ移動させ、前記所定の位置からブレードを遠ざけることによって該ブレードを移送ベルトの表面に当接させると共に、移送ベルト上に残存するフラックスを前記フラックスチャンバの上流側に形成した回収口から回収可能としており、更に、電子部品へのフラックス転写時に、前記移送ベルトを下から水平に支持するバックアッププレートを、前記移送ベルトの下に備えたことを特徴とする。 That is, the present invention is a flux supply / recovery device in an electronic component mounting apparatus, which has a predetermined width on which a flux can be placed, and is disposed so as to cover the surface of the transfer belt, which proceeds endlessly. A flux chamber capable of abutting against the surface of the transfer belt, and a flux chamber capable of storing the flux, and a moving direction of the transfer belt from a predetermined position to a side opposite to the side where the flux chamber exists A belt guide mechanism to be changed, and a drive mechanism that allows the flux chamber to move along the surface of the transfer belt together with the blade, and the flux chamber is moved downstream of the transfer belt along the blade during the transfer process. By moving the blade to the side and adjusting the distance of the blade from the predetermined position, A gap capable of supplying the flux can be variably formed between the belt and the feeding belt. After the transfer process is completed, the flux chamber is moved to the upstream side of the feeding belt together with the blade, and the blade is moved from the predetermined position. The blade is brought into contact with the surface of the transfer belt by moving away from it, and the flux remaining on the transfer belt can be recovered from a recovery port formed on the upstream side of the flux chamber. A backup plate for horizontally supporting the transfer belt from below is provided under the transfer belt.
前記バックアッププレートは、電子部品にフラックスを転写する際の安定性をさらに向上させる点で、上下動できることが好ましく、また、該バックアッププレートに吸引孔を設けることも好ましい。バックアッププレートに吸引孔を設ける場合には、移送ベルトと接触する表層部を、多孔質素材から形成させてもよい。 The backup plate is preferably movable up and down in terms of further improving the stability when transferring the flux to the electronic component, and it is also preferable to provide a suction hole in the backup plate. When a suction hole is provided in the backup plate, the surface layer portion that comes into contact with the transfer belt may be formed from a porous material.
本発明においては、フラックスを載置した移送ベルトを特定の方向に進行させ、フラックスをフラックス転写部に供給する。移送ベルトに載置されるフラックスの厚さは、フラックスチャンバに備えられたブレードと移送ベルトの表面との間に形成される間隙によって可変的に制御される。本発明では、この間隙の制御を、一般的な「ブレードの先端をフラックスの厚さ方向(ベルトの進行方向と直角の方向、またはその成分を含む方向)に移動する」という手法によってではなく、「所定の位置から移送ベルトの進行方向をフラックスチャンバが存在する方向と逆の方向に変え、この所定の位置とブレードとの相対的な距離を変える」という手法を採用している。これにより、結果として、ブレードと移送ベルトの表面との間隙が調整可能とされ、非常にデリケートな微調整を簡易な構造で実現することができる。 In the present invention, the transfer belt on which the flux is placed is advanced in a specific direction, and the flux is supplied to the flux transfer unit. The thickness of the flux placed on the transfer belt is variably controlled by a gap formed between the blade provided in the flux chamber and the surface of the transfer belt. In the present invention, the control of the gap is not performed by a general technique of “moving the blade tip in the thickness direction of the flux (a direction perpendicular to the belt traveling direction or a direction including the component thereof)” A method of “changing the traveling direction of the transfer belt from a predetermined position to a direction opposite to the direction in which the flux chamber exists and changing the relative distance between the predetermined position and the blade” is employed. As a result, the gap between the blade and the surface of the transfer belt can be adjusted, and a very delicate fine adjustment can be realized with a simple structure.
また、転写に必要なフラックスのみをフラックス転写部に供給し、また、転写が行われた後の残りのフラックスはフラックスチャンバ内に回収されるので、基本的に、大部分のフラックスがフラックスチャンバ内において貯留されるため、経時的な劣化を最小限に抑えることができる。 In addition, only the flux required for transfer is supplied to the flux transfer section, and the remaining flux after transfer is collected in the flux chamber. Therefore, most of the flux is basically in the flux chamber. Therefore, deterioration over time can be minimized.
さらに、電子部品へのフラックス転写時に移送ベルトを下から水平に支持するバックアッププレートを、移送ベルトの下に備えているので、電子部品にフラックスを転写する際の安定性に優れる。 Furthermore, since the backup plate that supports the transfer belt horizontally from the bottom when transferring the flux to the electronic component is provided under the transfer belt, the stability when transferring the flux to the electronic component is excellent.
本発明によれば、電子部品の種類に応じて、簡易な構造で転写に必要なフラックス量を可変的に供給することができ、且つ、回収機能を有してフラックス自体の品質の劣化を最小限に抑えることができ、さらに、電子部品にフラックスを転写する際の安定性に優れる。 According to the present invention, the amount of flux required for transfer can be variably supplied with a simple structure according to the type of electronic component, and the recovery function has a minimum deterioration in quality of the flux itself. Furthermore, the stability when transferring the flux to the electronic component is excellent.
以下、図面に基づいて本発明の実施形態を詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1は、本発明の第1実施形態に係るフラックス供給・回収装置が適用されたフラックス転写装置の一例を示す全体概略図、図2は、図1の矢視II付近の要部拡大図であり、図3は、図1の矢視III方向から見た斜め平面図である。 FIG. 1 is an overall schematic view showing an example of a flux transfer device to which a flux supply / recovery device according to a first embodiment of the present invention is applied, and FIG. 2 is an enlarged view of a main part in the vicinity of arrow II in FIG. FIG. 3 is an oblique plan view seen from the direction of arrow III in FIG.
このフラックス転写装置10は、移送ベルト12と、フラックスチャンバ14と、ベルトガイド機構16と、駆動機構18と、バックアッププレート42と、を備える。
The flux transfer device 10 includes a
前記移送ベルト12は、フラックスFを載置可能な所定の幅W1を有し(図3参照)、エンドレスに所定の方向Xに進行可能である。前記フラックスチャンバ14は、移送ベルト12の表面12Aに被さるように配置され、移送ベルト12の表面12Aに当接可能なブレード20を有するとともに、フラックスFを貯留可能である。前記ベルトガイド機構16は、移送ベルト12の進行方向をフラックスチャンバ14が存在する側と反対の側に角度αだけ変更するもので、具体的にはアイドラローラ22によって構成されている。移送ベルト12の進行方向Xは、これにより、所定の位置P1以降、図のX1の方向からX2の方向(水平方向)へと変更される。前記駆動機構18は、フラックスチャンバ14をブレード20ごと移送ベルト12の表面12Aに沿って図のX1の方向に往復動させ、ブレード20と前記所定の位置P1との距離L1を変更する。バックアッププレート42は、移送ベルト12の下に水平に配置され、フラックス転写時に移送ベルト12がたわむことを防ぎ、水平を維持できるように下から支持する。
The
以下、各部の構成について、より詳細に説明する。 Hereinafter, the configuration of each unit will be described in more detail.
フレーム30には、移送ベルト駆動モータM1に連結された駆動ローラ32及び従動ローラ34が設けられている。従動ローラ34の回転により、アイドラローラ36及び前述したアイドラローラ22を介して移送ベルト12がほぼ3角形状にエンドレスに回転する。移送ベルト12は、アイドラローラ36の軸36Aに付いているテンショナねじ38により、一定の張力で張られている。移送ベルト12の幅W1は、フラックスチャンバ14の幅W2より大きく設定されている(図3参照)。
The
アイドラローラ36、22の間における移送ベルト12の内側にはバックアッププレート40が配置されている。このバックアッププレート40は、アイドラローラ36を基点として傾斜しており、その上面はアイドラローラ36及び22との接線上に位置決めされている。フラックスチャンバ14は、この移送ベルト12の進行方向XがX1の方向(角度)に傾斜された部分に配置されている。
A
また、アイドラローラ22と従動ローラ34との間の移送ベルト12の内側にはバックアッププレート42が水平に配置されている。このバックアッププレート42は、その上面がアイドラローラ22と従動ローラ34との接線上に位置決めされており、バックアッププレート42の上面は水平になっている。バックアッププレート42は、フラックス転写時に移送ベルト12がたわむことを防ぎ、水平を維持できるように移送ベルト12を下から支持する。フラックス転写部Aは、このアイドラローラ22によって移送ベルト12の進行方向が水平のX2方向に変更された部分に位置する。
A
フラックスチャンバ14は、ベルト進行方向X1に対して、前面壁46、上面壁48、右面壁50、左面壁52の4面を有し、下面側は移送ベルト12に対して開口している。このうち前面壁46は、前記ブレード20と一体化され、後面壁は後述する回収ゲート72が兼用している。フラックスチャンバ14の下面の開口部は、ベルト進行方向下流側(供給側)はW3、上流側(回収側)はW4であって、上流側の方が広く形成されている。チャンバヒンジ54がチャンバフック部55に引っ掛かることで、フラックスチャンバ14がフレーム30に対して位置決めされている。
The
チャンバヒンジ54は、2つのチャンバ移動フレーム64にあけられた長孔56を貫通しており、チャンバヒンジ54の両端にはスプリング58がかけられている。スプリング58は、チャンバヒンジ54及びチャンバフック部55を介してフラックスチャンバ14をバックアッププレート40上を通る移送ベルト12側に押し付ける機能を有し、フラックスチャンバ14はフラックスベルト12の表面12Aに密着している。
The chamber hinge 54 passes through a long hole 56 formed in the two
フラックスチャンバ14は、前記駆動機構18の主たる構成要素であるフラックスチャンバ移動モータM2及びチャンバ移動ねじ59により、バックアッププレート40の上面に倣って(ブレード20ごと)往復動する。フラックスチャンバ14が下流側に移動してブレード20の先端20Aが前記所定の位置P1を超えてアイドラローラ22のR部にさしかかると、移送ベルト12の表面12Aとの間に間隙60が生ずる構成とされている。フラックスチャンバ14の移動量、すなわちブレード20の先端20Aと所定の位置P1との距離(先端20Aの所定の位置P1からのオーバーハング)L1に応じて、間隙60の高さS(フラックス膜Ffの厚さtに相当)を任意に調整できる。
The
なお、移送ベルト12が回転すると、フラックスチャンバ14内のフラックスFは移送ベルト12に粘着しながら間隙60を通過するので、フラックス膜Ffは間隙60によって規制される。また、フラックス膜Ffは、フラックス供給側の開口幅W3によっても規制される。このため、移送ベルト12上には、厚さが間隙60の高さSに相当する厚さtで、幅が供給側の開口幅W3に整形されたシート状の状態で、フラックスチャンバ14からフラックス膜が供給されることになる。
When the
アイドラローラ22の下流側には、間隙60から出てくるフラックス膜Ffの厚さtを検出するための膜厚検出センサ62が配置されている。膜厚検出センサ62で計測されたフラックス膜Ffの厚さtが転写対象のバンプに最適な膜厚となっていない場合には、フラックスチャンバ移動モータM2をフィードバック制御し、オーバーハングL1を変更することによって間隙60の高さSを調整する構成とされている。
On the downstream side of the
チャンバ移動フレーム64は、ガイドレール66によってガイドされ、フラックスチャンバ移動モータM2及びチャンバ移動ねじ59により駆動され、待機位置からフラックス膜形成位置までバックアッププレート40と平行に往復動する。フラックスチャンバ14が該チャンバ移動フレーム64と連動して上流側に移動すると、回収ゲートピン68がゲートスプリング69の付勢力に逆らって回収ゲート開閉カム70により押し上げられるようになっている。この結果、回収ゲートピン68と一体化されている回収ゲート72がゲートヒンジ73を中心として押し開かれ、フラックス回収口74を介して戻ってきたフラックス(転写後に移送ベルト上に残存するフラックス)Fをフラックスチャンバ14内に回収する構成とされている。転写後に移送ベルト上に残存するフラックスFは、フラックスチャンバ14内に回収されるので、経時的な劣化を最小限に抑えることができる。
The
なお、図1の符号78は吸着ヘッド、80は吸着ノズル、82は電子部品、84はバンプをそれぞれ示している。
In FIG. 1,
図4は、第1実施形態に係るフラックス供給・回収装置の制御ブロック図である。制御部200は、移送ベルト駆動モータドライバD1を介して移送ベルト駆動モータM1を制御し、移送ベルト12の動きを制御する。また、制御部200には膜厚検出センサ62の測定結果が入力される。入力された測定結果に基づき、膜厚が所定の厚さになるように、制御部200は、フラックスチャンバ移動モータドライバD2を介してフラックスチャンバ移動モータM2を制御し、フラックスチャンバ14のX1方向の位置を調整する。
FIG. 4 is a control block diagram of the flux supply / recovery device according to the first embodiment. The
次に、第1実施形態に係るフラックス供給・回収装置が適用されたフラックス転写装置の動作を、図5に示す工程図および図6に示すフローチャートを用いて説明する。 Next, the operation of the flux transfer device to which the flux supply / recovery device according to the first embodiment is applied will be described with reference to the process chart shown in FIG. 5 and the flowchart shown in FIG.
フラックスチャンバ14は、図5(A)で示す待機位置では、間隙60は閉じており、また回収ゲート74も閉じており、フラックスFの乾燥を防ぐために密閉状態となっている。移送ベルト12は、この時点では回転していない。フラックス転写を行うべき電子部品82が選択されると、吸着ノズル80が、部品供給装置(図示せず)から該当する電子部品82を吸着し、フラックス転写部Aに搬送するとともに、電子部品82のバンプ84の大きさに応じたフラックス膜Ffの目標とする厚さtに関するデータが制御部200に入力される(ステップS1)。フラックス膜形成部Bでは、チャンバ移動モータM2によりフラックスチャンバ14が図5(B)で示すフラックス膜形成位置にまで移動し、ブレード20の先端20Aがアイドラローラ22の軸心に対応する所定の位置P1を通過すると、移送ベルト12との間に間隙60が生ずるようになる。所定の位置P1とブレード20の先端20Aとの距離(オーバーハング)L1に応じて間隙60の高さSが変化し、形成されるフラックス膜Ffの厚さが変わる。制御部200に入力されたフラックス膜Ffの目標とする厚さtに関するデータに基づき、フラックスチャンバ14のX1方向の位置が調整され、所定の位置にフラックスチャンバ14が移動する(ステップS2)。ここで移送ベルト12が回転を始める(ステップS3)。
In the standby position shown in FIG. 5 (A), the gap 60 is closed, and the
膜厚検出センサ62がフラックスチャンバ14から出てくるフラックス膜Ffの厚さtを測定し、測定結果が制御部200に入力される。制御部200は、この測定結果と、ステップ1で入力されたフラックス膜Ffの目標とする厚さtとを比較し、膜厚が適正かどうかを判断する(ステップS4)。
The film
膜厚が適正でなければ、ステップS2にもどってフラックスチャンバ14を移動させ、膜厚が適正となるまでフラックスチャンバ14の位置をフィードバック制御する。このため、精度の高い厚さを有するフラックス膜Ffを形成することができる。
If the film thickness is not appropriate, the flow returns to step S2 to move the
フラックス膜Ffの厚さtが所定の厚さになると、移送ベルト12は停止する(ステップS5)。そして、電子部品82を吸着した吸着ノズル80が下降して、電子部品82のバンプ84にフラックスの転写を行い(ステップS6)、その後吸着ノズル80は上昇して、基板(図示せず)上の所定の位置に電子部品82を搭載する(ステップS7)。図5(B)は、転写が完了してバンプ84にフラックスFが転写された状態を示している。
When the thickness t of the flux film Ff reaches a predetermined thickness, the
全部品について、以上の動作が終了する(ステップS8)まで、以上の動作を繰り返す。 The above operations are repeated for all parts until the above operations are completed (step S8).
図7は、本発明に係るフラックス供給・回収装置の第2実施形態が適用されたフラックス転写装置の主要部を示す正面図である。第2実施形態では、駆動装置102が第1実施形態に付加されている。具体的には、バックアッププレート43は、下部に配置された駆動装置102のシリンダ102Aに連結保持されており、シリンダ102Aを介して上下に駆動される。図7(A)はバックアッププレートが上昇する前の状態を示し、図7(B)はバックアッププレートが上昇した後の状態を示す。
FIG. 7 is a front view showing a main part of a flux transfer device to which a second embodiment of the flux supply / recovery device according to the present invention is applied. In the second embodiment, a
バックアッププレート43が適正な高さだけ上昇すると、移送ベルト12の張力が大きくなり、バックアッププレート43の水平面に倣って移送ベルト12の水平面が確実に保持される。その結果、電子部品82のバンプ84に転写されるフラックス量は、より正確に制御される。
When the backup plate 43 rises by an appropriate height, the tension of the
図8は、本発明に係るフラックス供給・回収装置の第2実施形態の制御ブロック図である。第1実施形態の制御ブロック図(図4)と同一の構成要素には同一の符号を付し、説明は省略する。 FIG. 8 is a control block diagram of the second embodiment of the flux supply / recovery device according to the present invention. The same components as those in the control block diagram (FIG. 4) of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
第2実施形態では、前述のように、バックアッププレート43が駆動装置102により上下に移動でき、第2実施形態の制御ブロック図(図8)においては、バックアッププレート移動モータドライバD3と、バックアッププレート移動モータM3とが付加されている。制御部200は、バックアッププレート移動モータドライバD3を介してバックアッププレート移動モータM3を制御し、駆動装置102のシリンダ102Aを上下に駆動し、バックアッププレート43の高さ位置を調整する。なお、バックアッププレート43を上下に駆動するに際し、モータの代わりにエアシリンダを用いてもよく、この場合は、バックアッププレート移動モータドライバD3に代えて、バックアッププレート移動エアシリンダ切替弁を用い、バックアッププレート移動モータM3に代えて、バックアッププレート移動エアシリンダを用いればよい。
In the second embodiment, as described above, the backup plate 43 can be moved up and down by the
次に、第2実施形態に係るフラックス供給・回収装置が適用されたフラックス転写装置の動作を、図9に示すフローチャートを用いて説明する。 Next, the operation of the flux transfer device to which the flux supply / recovery device according to the second embodiment is applied will be described using the flowchart shown in FIG.
ステップS11〜S15は、第1実施形態のステップS1〜S5と同様であるので詳細な説明は省略する。膜厚検出センサ62は、形成されたフラックス膜Ffの厚さtを計測し、計測結果を制御部200に出力する。この計測結果に基づき、形成されたフラックス膜Ffの厚さtが所定の値に安定したことを制御部200が確認すると(ステップS14)、制御部200は、移送ベルト12を停止させ(ステップS15)、バックアッププレート43を駆動装置102によって予め設定された距離だけ上昇させる(ステップS16、図7(B))。移送ベルト12の張力は大きくなり、バックアッププレート43の水平面に倣って移送ベルト12の水平面が確実に保持される。その後、制御部200は吸着ノズル80を下降させ、電子部品82のバンプ84を移送ベルト12に接触するまで下降させて、フラックスの転写を行う(ステップS17)。フラックス転写部Aにおける移送ベルト12は、バックアッププレート43によって水平にバックアップされているため、電子部品82が吸着ノズル80に対して若干斜めに吸着されているような場合であっても、このバックアッププレート43側からの反力を受けて電子部品82は正しく水平に矯正された状態でフラックスFの転写を受けることができる。
Since steps S11 to S15 are the same as steps S1 to S5 of the first embodiment, detailed description thereof is omitted. The film
転写が完了すると、吸着ノズル80は上昇し、バンプ84は移送ベルト12から離れ、電子部品82は基板(図示せず)上の所定の位置に搭載される(ステップS18)。バックアッププレート43が移送ベルト12の回転可能位置まで下降すると(ステップS19)、移送ベルト12は回転を開始し、新しいフラックス膜Ffが次々と連続的に形成され、フラックス転写を連続して行うことができる。また、転写すべき電子部品が変わり、形成すべきフラックス膜Ffの厚さtが変わっても、フラックスチャンバ移動モータM2の駆動によってオーバーハングL1を変更し、間隙60の高さSを変えることにより、容易に対応することができる。
When the transfer is completed, the
全部品について、以上の動作が終了する(ステップS20)まで、以上の動作を繰り返す。 The above operation is repeated for all parts until the above operation is completed (step S20).
図10は、本発明に係るフラックス供給・回収装置の第3実施形態が適用されたフラックス転写装置の主要部を示す正面図であり、図10(A)は吸引前の状態を示し、図10(B)は吸引後の状態を示す。図11(A)は第3実施形態のバックアッププレートの斜視図、図11(B)は第3実施形態のバックアッププレートの側面図である。この実施形態では、バックアッププレート44は複数の垂直連結孔44Aを有している。複数の垂直連結孔44Aはその下部を水平連結孔44Bと連結しており、接続継ぎ手104A及び接続管104Bを介して真空発生装置104に接続されている。移送ベルト12は、複数の垂直連結孔44Aを介して真空発生装置104により吸引され、バックアッププレート44と密着する。これによって移送ベルト12は、バックアッププレート44の水平面に倣って密着し、移送ベルト12の水平面が確実に保持される。その結果、電子部品82のバンプ84に転写されるフラックス量は、より正確に制御される。
FIG. 10 is a front view showing the main part of the flux transfer device to which the third embodiment of the flux supply / recovery device according to the present invention is applied. FIG. 10 (A) shows the state before suction. (B) shows the state after suction. FIG. 11A is a perspective view of the backup plate of the third embodiment, and FIG. 11B is a side view of the backup plate of the third embodiment. In this embodiment, the
なお、水平連結孔44Bはドリル等によって形成することができ、その場合は片方の側面は貫通させずに残しておき、孔を開けた側には栓44Cをしておけばよい(図11(B)参照)。 The horizontal connecting hole 44B can be formed by a drill or the like. In that case, one side surface is left without being penetrated, and a plug 44C is provided on the side where the hole is formed (FIG. 11 ( B)).
バックアッププレート44は複数の垂直連結孔44Aを設けたものであるが、複数の垂直連結孔44Aを設ける代わりに、図12(A)斜視図、(B)側面図に示すように、スポンジ状の多孔質素材45Aの下方部及び周辺部を金属プレート45Bで形成してバックアッププレート45としてもよい。また、焼結金属を用いてバックアッププレート46とすることもでき、具体的には、図13(A)斜視図、(B)側面図に示すように、吸着部46A以外の下方部及び周辺部をサイジング処理して孔を塞いだサイジング処理部46Bとした焼結金属からなるバックアッププレート46としてもよい。
The
図14は、本発明に係るフラックス供給・回収装置の第3実施形態の制御ブロック図である。第1実施形態の制御ブロック図(図4)と同一の構成要素には同一の符号を付し、説明は省略する。 FIG. 14 is a control block diagram of the third embodiment of the flux supply / recovery device according to the present invention. The same components as those in the control block diagram (FIG. 4) of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
第3実施形態では、前述のように、移送ベルト12は、バックアッププレート44の複数の垂直連結孔44Aを介して真空発生装置104により吸引され、バックアッププレート44と密着するので、第3実施形態の制御ブロック図(図14)においては、真空発生装置切替弁V1と、真空発生装置104とが付加されている。制御部200は、真空発生装置切替弁V1を介して真空発生装置104による吸引を制御し、移送ベルト12をバックアッププレート44に密着させる。
In the third embodiment, as described above, the
次に、第3実施形態に係るフラックス供給・回収装置が適用されたフラックス転写装置の動作を、図15に示すフローチャートを用いて説明する。 Next, the operation of the flux transfer device to which the flux supply / recovery device according to the third embodiment is applied will be described with reference to the flowchart shown in FIG.
ステップS21〜S25は、第1実施形態のステップS1〜S5と同様であるので詳細な説明は省略する。膜厚検出センサ62は、形成されたフラックス膜Ffの厚さtを計測し、計測結果を制御部200に出力する。この計測結果に基づき、形成されたフラックス膜Ffの厚さtが所定の値に安定したことを制御部200が確認すると(ステップS24)、制御部200は、移送ベルト12を停止させ(ステップS25)、真空発生装置104による吸引を開始させる(ステップS26、図10(B))。移送ベルト12は、バックアッププレート44の水平面に倣って密着し、移送ベルト12の水平面が確実に保持される。その後、制御部200は吸着ノズル80を下降させ、電子部品82のバンプ84を移送ベルト12に接触するまで下降させて、フラックスの転写を行う(ステップS27)。フラックス転写部Aにおける移送ベルト12は、バックアッププレート44によって水平にバックアップされているため、電子部品82が吸着ノズル80に対して若干斜めに吸着されているような場合であっても、このバックアッププレート43側からの反力を受けて電子部品82は正しく水平に矯正された状態でフラックスFの転写を受けることができる。
Since steps S21 to S25 are the same as steps S1 to S5 of the first embodiment, detailed description thereof is omitted. The film
転写が完了すると、吸着ノズル80は上昇し、バンプ84は移送ベルト12から離れ、電子部品82は基板(図示せず)上の所定の位置に搭載される(ステップS28)。真空発生装置104による吸引が解除されると(ステップS29)、移送ベルト12は回転を開始し、新しいフラックス膜Ffが次々と連続的に形成され、フラックス転写を連続して行うことができる。また、転写すべき電子部品が変わり、形成すべきフラックス膜Ffの厚さtが変わっても、フラックスチャンバ移動モータM2の駆動によってオーバーハングL1を変更し、間隙60の高さSを変えることにより、容易に対応することができる。
When the transfer is completed, the
全部品について、以上の動作が終了する(ステップS30)まで、以上の動作を繰り返す。 The above operation is repeated for all parts until the above operation is completed (step S30).
なお、第2実施形態と第3実施形態を組み合わせ、バックアッププレートを、上下に移動でき、かつ、吸引もできるものにしてもよい(第4実施形態)。この場合、動作は、図16のフローチャートに示すように、バックアッププレートが上昇(ステップS36)した後、吸引を開始し(ステップS37)する。そして、吸着搭載ヘッド78が下降してフラックスを転写し(ステップS38)、吸着搭載ヘッド78が上昇(ステップS39)した後、吸引を解除し(ステップS40)、バックアッププレートを下降させる(ステップS41)。
Note that the second embodiment and the third embodiment may be combined so that the backup plate can be moved up and down and can also be sucked (fourth embodiment). In this case, as shown in the flowchart of FIG. 16, the operation starts suction after the backup plate has been lifted (step S36) (step S37). Then, the
第1〜4のいずれの実施形態においても、一連の転写工程が終了すると、フラックスチャンバ14は、図5(C)に示すフラックス回収位置に移動し、間隙60を閉じる。従って、新たなフラックス膜Ffの形成がここで中止される。一方、この位置では、回収ゲートピン68が回収ゲート開閉カム70によって押し上げられた状態とされているため、回収ゲート72がゲートヒンジ73を中心として開かれ、フラックス回収口74が開かれた状態を維持しており、戻ってきたフラックスFがフラックスチャンバ14に回収される。
In any of the first to fourth embodiments, when the series of transfer steps is completed, the
移送ベルト12が一周分以上回転してフラックスFの回収が完了すると、フラックスチャンバ14は図5(A)に示す待機状態に戻り、フラックス回収口74がゲートスプリング69の作用によって閉じられ、フラックスチャンバ14が密閉される。このように、フラックスチャンバ14内のフラックスFは、基本的に必要なときにのみ移送ベルト12上に載置されるが、1周するたびにフラックスチャンバ14に回収され、転写工程が終了すると完全に密閉された状態に保管されることになる。そのため、品質劣化を最小限に抑えることができる。
When the
なお、上記実施形態においては、移送ベルト12が傾斜している部分にフラックスチャンバ14を配置し、アイドラローラ22に移送ベルト12のエンドレスの回転機構の一部を構成する機能と移送ベルト12の進行方向を変更するためのベルトガイド機構の機能とを兼用させるようにして、構成の簡略化を図っているが、本発明に係るフラックス供給・回収措置は、フラックスチャンバを必ずしも傾斜させた部分に配置する必要はない。
In the above-described embodiment, the
また、上記実施形態においては、移送ベルト12の進行方向の変更を、アイドラローラ22を利用して行うようにしていたが、本発明においては、移送ベルトの進行方向をフラックスチャンバが存在する側と逆の側に変更する構成についても、この方法に限定されない。例えば、図1のアイドラローラ22に代え、摩擦係数の小さな素材で所望の(変更させようとする)形状に形成したバックアッププレート(図示略)を、この位置に移送ベルト12の背面側から当接させるようにしても進行方向を変更することができる。この方法は、特に間隙60付近の移送ベルト12の挙動を安定させることができるため、間隙60の高さ調整を、より正確に、且つ、少ないばらつきで行うことができる。
Further, in the above embodiment, the moving
また、上記実施形態では、転写の際、移送ベルト12を停止させるようにしていたが、これを停止させずに、吸着ヘッド78を移送ベルト12の進行と同期して水平方向に移動させながら吸着ノズル80を降下させるようにしてもよい。
In the above embodiment, the
電子部品実装装置において該電子部品のバンプにフラックスを転写する装置に適用できる。 The present invention can be applied to an apparatus for transferring flux onto bumps of an electronic component mounting apparatus.
10…転写装置
12…移送ベルト
12A…移送ベルトの表面
14…フラックスチャンバ
16…ベルトガイド機構
18…駆動機構
20…ブレード
22…アイドラローラ
30…フレーム
32…駆動ローラ
34…従動ローラ
36…アイドラローラ
36A…軸
38…テンショナねじ
40、42、43、44…バックアッププレート
44A…垂直連結孔
44B…水平連結孔
44C…栓
46…前面壁
48…上面壁
50…右面壁
52…左面壁
54…チャンバヒンジ
55…チャンバフック部
56…長孔
58…スプリング
59…チャンバ移動ねじ
60…間隙
62…膜厚検出センサ
64…チャンバ移動フレーム
66…ガイドレール
68…回収ゲートピン
70…回収ゲート開閉カム
72…回収ゲート
73…ゲートヒンジ
74…フラックス回収口
78…吸着ヘッド
80…吸着ノズル
82…電子部品
84…バンプ
102…駆動装置
102A…シリンダ
104…真空発生装置
104A…接続継ぎ手
104B…接続管
P1…所定の位置
L1…距離(オーバーハング)
F…フラックス
Ff…フラックス膜
S…間隙の高さ
t…フラックス膜の厚さ
W3…フラックス膜の幅
M1…移送ベルト駆動モータ
M2…フラックスチャンバ移動モータ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ...
F ... Flux Ff ... Flux film S ... Hap height t ... Flux film thickness W3 ... Flux film width M1 ... Transfer belt drive motor M2 ... Flux chamber movement motor
Claims (4)
フラックスを載置可能な所定の幅を有し、エンドレスに進行する移送ベルトと、
該移送ベルトの表面に被さるように配置され、該移送ベルトの表面に当接可能なブレードを有すると共に、フラックスを貯留可能なフラックスチャンバと、
所定の位置から、前記移送ベルトの進行方向を、前記フラックスチャンバが存在する側と反対の側に変更するベルトガイド機構と、
前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルトの表面に沿って移動可能とする駆動機構と、を備え、
転写工程時に、前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルト上の下流側へ移動させ、前記所定の位置からの前記ブレードの距離を調整することにより、ブレードと移送ベルトとの間にフラックスを供給可能な間隙を可変的に形成可能とし、
転写工程完了後に、前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルト上の上流側へ移動させ、前記所定の位置からブレードを遠ざけることによって該ブレードを移送ベルトの表面に当接させると共に、移送ベルト上に残存するフラックスを前記フラックスチャンバの上流側に形成した回収口から回収可能としており、
更に、電子部品へのフラックス転写時に、前記移送ベルトを下から水平に支持するバックアッププレートを、前記移送ベルトの下に備えたことを特徴とする電子部品実装装置におけるフラックス供給・回収装置。 In the flux supply / recovery device for electronic component mounting equipment,
A transfer belt having a predetermined width on which the flux can be placed and proceeding endlessly;
A flux chamber that is disposed so as to cover the surface of the transfer belt, has a blade that can contact the surface of the transfer belt, and can store a flux;
A belt guide mechanism that changes a traveling direction of the transfer belt from a predetermined position to a side opposite to a side where the flux chamber exists;
A drive mechanism capable of moving the flux chamber along the surface of the transfer belt together with the blades,
During the transfer process, the flux chamber can be moved to the downstream side of the transfer belt together with the blade, and the flux can be supplied between the blade and the transfer belt by adjusting the distance of the blade from the predetermined position. The gap can be variably formed,
After completion of the transfer process, the flux chamber is moved to the upstream side of the transfer belt together with the blade, and the blade is brought into contact with the surface of the transfer belt by moving the blade away from the predetermined position. The remaining flux can be recovered from a recovery port formed on the upstream side of the flux chamber,
Further, the flux supply / recovery device in the electronic component mounting apparatus, further comprising a backup plate under the transfer belt for supporting the transfer belt horizontally from below when transferring the flux to the electronic component.
前記バックアッププレートは、上下動することを特徴とする電子部品実装装置におけるフラックス供給・回収装置。 In claim 1,
The backup plate moves up and down, and is a flux supply / recovery device in an electronic component mounting apparatus.
前記バックアッププレートは、吸引孔を有することを特徴とする電子部品実装装置におけるフラックス供給・回収装置。 In claim 1 or 2,
The backup plate has a suction hole, and is a flux supply / recovery device in an electronic component mounting apparatus.
前記バックアッププレートは、少なくとも前記移送ベルトと接触する表層部が、多孔質素材からなることを特徴とする電子部品実装装置におけるフラックス供給・回収装置。 In claim 3,
A flux supply / recovery device in an electronic component mounting apparatus, wherein at least a surface layer portion of the backup plate that contacts the transfer belt is made of a porous material.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006317333A JP4783717B2 (en) | 2006-11-24 | 2006-11-24 | Flux supply / recovery device for electronic component mounting equipment |
CN2007101875547A CN101188930B (en) | 2006-11-24 | 2007-11-26 | Supplying and reclaiming device for viscous electric material in electronic components mounting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006317333A JP4783717B2 (en) | 2006-11-24 | 2006-11-24 | Flux supply / recovery device for electronic component mounting equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008130985A true JP2008130985A (en) | 2008-06-05 |
JP4783717B2 JP4783717B2 (en) | 2011-09-28 |
Family
ID=39481031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006317333A Expired - Fee Related JP4783717B2 (en) | 2006-11-24 | 2006-11-24 | Flux supply / recovery device for electronic component mounting equipment |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4783717B2 (en) |
CN (1) | CN101188930B (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015097731A1 (en) | 2013-12-23 | 2015-07-02 | 富士機械製造株式会社 | Electronic component mounting machine |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09283311A (en) * | 1996-04-16 | 1997-10-31 | Nitto Kogyo Co Ltd | Electrode coating means for chip electronic component |
-
2006
- 2006-11-24 JP JP2006317333A patent/JP4783717B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-11-26 CN CN2007101875547A patent/CN101188930B/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09283311A (en) * | 1996-04-16 | 1997-10-31 | Nitto Kogyo Co Ltd | Electrode coating means for chip electronic component |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015097731A1 (en) | 2013-12-23 | 2015-07-02 | 富士機械製造株式会社 | Electronic component mounting machine |
US9961818B2 (en) | 2013-12-23 | 2018-05-01 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Electronic component mounting machine including a film thickness gauge |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101188930B (en) | 2012-02-01 |
CN101188930A (en) | 2008-05-28 |
JP4783717B2 (en) | 2011-09-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7497365B2 (en) | Paste coater and PoP automatic mounting apparatus employing the same | |
KR20030076267A (en) | Apparatus and method for fabricating bonded substrate | |
JP4783717B2 (en) | Flux supply / recovery device for electronic component mounting equipment | |
JP3048789B2 (en) | Fluid coating device | |
JP6324772B2 (en) | Die bonder dipping mechanism and flip chip bonder | |
JP2004303797A (en) | Packaging method of electronic component | |
TWI590875B (en) | Viscous fluid supply device and component mounting device | |
JP2001062370A (en) | Application method and apparatus | |
JP6450455B2 (en) | Viscous fluid supply device and component mounting device | |
JP4890830B2 (en) | Flux supply / recovery device for electronic component mounting equipment | |
JP4799988B2 (en) | Flux transfer device for electronic component mounting equipment | |
TWI781812B (en) | Application apparatus and application method | |
JP3811740B2 (en) | Coating equipment | |
JP2009039624A (en) | Slit-coat type coating method | |
CN108000592A (en) | Adhesive tape cutting method and adhesive tape cutting device | |
JP2004141810A (en) | Coating equipment | |
JP2004241685A (en) | Pellet carrying device, and method and device for pellet bonding | |
JP4409969B2 (en) | Coating equipment | |
JP2012199326A (en) | Flux transfer device | |
KR950002148Y1 (en) | Roll coating apparatus for forming film of uniform thickness | |
JP2001321710A (en) | Coating apparatus | |
JPH05226884A (en) | Part mounting device | |
JP2004186317A (en) | Surface mounting apparatus | |
JPH0263199A (en) | Electronic component mounting equipment | |
JPH03181362A (en) | Device for applying solder |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091104 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110315 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110412 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110608 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110628 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110711 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140715 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |