JP2008130985A - Flux supply/recovery unit in electronic component packaging equipment - Google Patents

Flux supply/recovery unit in electronic component packaging equipment Download PDF

Info

Publication number
JP2008130985A
JP2008130985A JP2006317333A JP2006317333A JP2008130985A JP 2008130985 A JP2008130985 A JP 2008130985A JP 2006317333 A JP2006317333 A JP 2006317333A JP 2006317333 A JP2006317333 A JP 2006317333A JP 2008130985 A JP2008130985 A JP 2008130985A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flux
transfer belt
transfer
electronic component
chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006317333A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4783717B2 (en
Inventor
Daisaku Sagara
大策 相良
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Juki Corp
Original Assignee
Juki Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Juki Corp filed Critical Juki Corp
Priority to JP2006317333A priority Critical patent/JP4783717B2/en
Priority to CN2007101875547A priority patent/CN101188930B/en
Publication of JP2008130985A publication Critical patent/JP2008130985A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4783717B2 publication Critical patent/JP4783717B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flux supply/recovery unit which can variably supply, because of its simple structure, an amount of flux necessary for transfer depending on the type of electronic components, has a recovery function to minimize the deterioration of quality of the flux itself, and further has excellent stability in transferring the flux to electronic parts. <P>SOLUTION: The device for supplying/recovering flux comprises a transfer belt 12 traveling in one direction and capable of mounting the flux F, a flux chamber 14 having a blade 20 that can be in contact with a surface 12A of the transfer belt 12 and capable of storing the flux F, a belt guide mechanism 16 for altering the traveling direction of the transfer belt 12 from X1 to X2 at a predetermined position P1, and a drive mechanism 18 for altering the distance L1 between a blade and the predetermined position. Furthermore, a backup plate 42 which supports the transfer belt 12 horizontally from underneath during the transfer of flux to an electronic part 82 is arranged underneath the transfer belt 12. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、電子部品実装装置においてフラックス供給・回収を合理的に行うことができ、かつ、電子部品へのフラックスの転写を安定して行うことができる装置に関する。   The present invention relates to an apparatus capable of rationally supplying and collecting flux in an electronic component mounting apparatus and stably performing transfer of flux to the electronic component.

IC、LSI、フリップチップ、抵抗チップ、チップコンデンサなどの電子部品を基板の所定の位置に搭載するための実装装置が開示されている。この種の実装装置は、これらの電子部品を真空吸着する吸着ノズルを有する吸着ヘッドを備え、該吸着ヘッド(具体的にはヘッドを保持しているホルダ)のX−Y方向の移動(水平駆動)及び前記吸着ノズルのZ軸方向の移動(鉛直駆動)と、前記吸着ヘッド自体のZ軸周りの回転(θ駆動)を組み合わせながら、パーツフィーダに供えられた電子部品を基板に搭載する。   A mounting apparatus for mounting electronic components such as an IC, an LSI, a flip chip, a resistor chip, and a chip capacitor at a predetermined position on a substrate is disclosed. This type of mounting apparatus includes a suction head having a suction nozzle that vacuum-sucks these electronic components, and moves the suction head (specifically, a holder that holds the head) in the X and Y directions (horizontal drive). ) And the movement of the suction nozzle in the Z-axis direction (vertical drive) and the rotation of the suction head itself around the Z-axis (θ drive) are mounted on the substrate.

電子部品の実装方法として、半田接合を採用する場合、半田の接合性を向上させる目的で、ペースト状のフラックスを電子部品上のバンプに転写する方法が広く知られている。   As a method for mounting an electronic component, when solder bonding is employed, a method of transferring a paste-like flux to bumps on the electronic component is widely known for the purpose of improving solder bonding.

電子部品のバンプの大きさは電子部品の種類によって変わる。そのため、バンプに付着させるフラックスの量(フラックスの必要転写量)は、当該バンプの大きさに応じて変更する必要がある。   The size of the bump of the electronic component varies depending on the type of the electronic component. Therefore, the amount of flux to be attached to the bump (necessary transfer amount of flux) needs to be changed according to the size of the bump.

特許文献1において、この目的を達成するために、図6に示されるようなフラックス供給装置が開示されている。この供給装置110は、転写部113に、水平な膜厚基準面113aに対してそれぞれ異なる高さで設けられた複数の平坦な塗膜面113b〜113eを形成している。ここで、スキージ114の摺接部114cを塗膜基準面113aに接触させた状態で移動させると、塗膜面113b〜113e上に複数の膜厚が異なるフラックス膜を形成できる。   In Patent Document 1, in order to achieve this object, a flux supply device as shown in FIG. 6 is disclosed. In the transfer device 113, a plurality of flat coating film surfaces 113b to 113e provided at different heights with respect to the horizontal film thickness reference surface 113a are formed on the transfer unit 113. Here, if the sliding contact portion 114c of the squeegee 114 is moved while being in contact with the coating film reference surface 113a, a plurality of flux films having different film thicknesses can be formed on the coating film surfaces 113b to 113e.

品種切り替えの際においては、この複数のフラックス膜のいずれかの部分にまで電子部品を搭載した吸着ヘッドを移動し、そこで吸着ノズルが降下することにより適正量のフラックスを転写する。   When changing the product type, the suction head on which the electronic component is mounted is moved to any part of the plurality of flux films, and the suction nozzle descends there to transfer an appropriate amount of flux.

特開2003−142814号公報JP 2003-142814 A

近年の電子部品の実装は、ますます少量多品種の傾向が強くなっており、且つ、1個1個の製品に、より高度な品質が求められるようになってきている。フラックスは、一般に腐食性を有するため、転写すべきバンプに対応して、必要最小限の転写が行われる必要がある。従って、電子部品の種類に応じて、よりきめ細かに転写する際のフラックスの供給量を変更・調整したいというニーズが高まっている。   In recent years, mounting of electronic components has been increasingly in a small quantity and a wide variety, and more advanced quality has been required for each product. Since the flux is generally corrosive, it is necessary to perform the minimum transfer corresponding to the bump to be transferred. Accordingly, there is an increasing need to change / adjust the supply amount of flux when transferring more finely according to the type of electronic component.

しかしながら、上述した特許文献1に係るフラックス供給装置にあっては、膜厚の変更範囲、あるいは1段当たりの膜厚変化量が限定されてしまうため、多種類の膜厚を得ようとした場合には、装置がその分、比例的に大きく且つ複雑になってしまうという問題があった。   However, in the above-described flux supply device according to Patent Document 1, the range of film thickness change or the amount of change in film thickness per stage is limited, so when a variety of film thicknesses are to be obtained. However, there is a problem that the apparatus becomes proportionally large and complicated accordingly.

また、装置の構造上、常にフラックスを広い平面に薄く塗布した状態に維持しておく必要があり、フラックス自体の品質が劣化しやすい、という問題もあった。   In addition, due to the structure of the apparatus, it is necessary to always keep the flux thinly applied on a wide plane, and there is a problem that the quality of the flux itself is likely to deteriorate.

このような問題を解消するために、出願人は、公知ではない先願(特願2005−295307)において、電子部品の種類に応じて、簡易な構造で転写に必要なフラックス量を可変的に供給することができ、且つ、回収機能を有してフラックス自体の品質の劣化を最小限に抑えることのできるフラックス供給・回収装置を提案している。   In order to solve such a problem, the applicant variably changes the amount of flux necessary for transfer with a simple structure according to the type of electronic component in a previously known application (Japanese Patent Application No. 2005-295307). We have proposed a flux supply / recovery device that can be supplied and that has a recovery function and can minimize degradation of the quality of the flux itself.

しかし、このフラックス供給・回収装置においては、剛性の小さい移送ベルト上にフラックスが形成されるため、電子部品にフラックスを転写する際の安定性に欠けるおそれがあった。   However, in this flux supply / recovery device, since the flux is formed on the transfer belt having a small rigidity, there is a possibility that the stability at the time of transferring the flux to the electronic component may be lacking.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであって、電子部品の種類に応じて、簡易な構造で転写に必要なフラックス量を可変的に供給することができ、且つ、回収機能を有してフラックス自体の品質の劣化を最小限に抑えることができ、さらに電子部品にフラックスを転写する際の安定性に優れるフラックス供給・回収装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and according to the type of electronic component, it is possible to variably supply a flux amount necessary for transfer with a simple structure, and to provide a recovery function. It is an object of the present invention to provide a flux supply / recovery device that can minimize deterioration of the quality of the flux itself and has excellent stability when transferring the flux to an electronic component.

本発明者は、公知ではない先願(特願2005−295307)に係る発明において、電子部品へのフラックス転写時に移送ベルトを下から支持するバックアッププレートを、移送ベルトの下に備えさせることにより、前記課題を解決できることを見出した。さらに、このバックアッププレートに所定の工夫を施すことにより、電子部品にフラックスを転写する際の安定性が更に向上することを見出した。   In the invention according to the prior application (Japanese Patent Application No. 2005-295307) that is not publicly known, the present inventor provides a backup plate that supports the transfer belt from below during the flux transfer to the electronic component, It has been found that the above problems can be solved. Furthermore, it has been found that the stability when transferring the flux to the electronic component is further improved by applying a predetermined device to the backup plate.

即ち、本発明は、電子部品実装装置におけるフラックス供給・回収装置において、フラックスを載置可能な所定の幅を有し、エンドレスに進行する移送ベルトと、該移送ベルトの表面に被さるように配置され、該移送ベルトの表面に当接可能なブレードを有すると共に、フラックスを貯留可能なフラックスチャンバと、所定の位置から、前記移送ベルトの進行方向を、前記フラックスチャンバが存在する側と反対の側に変更するベルトガイド機構と、前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルトの表面に沿って移動可能とする駆動機構と、を備え、転写工程時に、前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルト上の下流側へ移動させ、前記所定の位置からの前記ブレードの距離を調整することにより、ブレードと移送ベルトとの間にフラックスを供給可能な間隙を可変的に形成可能とし、転写工程完了後に、前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルト上の上流側へ移動させ、前記所定の位置からブレードを遠ざけることによって該ブレードを移送ベルトの表面に当接させると共に、移送ベルト上に残存するフラックスを前記フラックスチャンバの上流側に形成した回収口から回収可能としており、更に、電子部品へのフラックス転写時に、前記移送ベルトを下から水平に支持するバックアッププレートを、前記移送ベルトの下に備えたことを特徴とする。   That is, the present invention is a flux supply / recovery device in an electronic component mounting apparatus, which has a predetermined width on which a flux can be placed, and is disposed so as to cover the surface of the transfer belt, which proceeds endlessly. A flux chamber capable of abutting against the surface of the transfer belt, and a flux chamber capable of storing the flux, and a moving direction of the transfer belt from a predetermined position to a side opposite to the side where the flux chamber exists A belt guide mechanism to be changed, and a drive mechanism that allows the flux chamber to move along the surface of the transfer belt together with the blade, and the flux chamber is moved downstream of the transfer belt along the blade during the transfer process. By moving the blade to the side and adjusting the distance of the blade from the predetermined position, A gap capable of supplying the flux can be variably formed between the belt and the feeding belt. After the transfer process is completed, the flux chamber is moved to the upstream side of the feeding belt together with the blade, and the blade is moved from the predetermined position. The blade is brought into contact with the surface of the transfer belt by moving away from it, and the flux remaining on the transfer belt can be recovered from a recovery port formed on the upstream side of the flux chamber. A backup plate for horizontally supporting the transfer belt from below is provided under the transfer belt.

前記バックアッププレートは、電子部品にフラックスを転写する際の安定性をさらに向上させる点で、上下動できることが好ましく、また、該バックアッププレートに吸引孔を設けることも好ましい。バックアッププレートに吸引孔を設ける場合には、移送ベルトと接触する表層部を、多孔質素材から形成させてもよい。   The backup plate is preferably movable up and down in terms of further improving the stability when transferring the flux to the electronic component, and it is also preferable to provide a suction hole in the backup plate. When a suction hole is provided in the backup plate, the surface layer portion that comes into contact with the transfer belt may be formed from a porous material.

本発明においては、フラックスを載置した移送ベルトを特定の方向に進行させ、フラックスをフラックス転写部に供給する。移送ベルトに載置されるフラックスの厚さは、フラックスチャンバに備えられたブレードと移送ベルトの表面との間に形成される間隙によって可変的に制御される。本発明では、この間隙の制御を、一般的な「ブレードの先端をフラックスの厚さ方向(ベルトの進行方向と直角の方向、またはその成分を含む方向)に移動する」という手法によってではなく、「所定の位置から移送ベルトの進行方向をフラックスチャンバが存在する方向と逆の方向に変え、この所定の位置とブレードとの相対的な距離を変える」という手法を採用している。これにより、結果として、ブレードと移送ベルトの表面との間隙が調整可能とされ、非常にデリケートな微調整を簡易な構造で実現することができる。   In the present invention, the transfer belt on which the flux is placed is advanced in a specific direction, and the flux is supplied to the flux transfer unit. The thickness of the flux placed on the transfer belt is variably controlled by a gap formed between the blade provided in the flux chamber and the surface of the transfer belt. In the present invention, the control of the gap is not performed by a general technique of “moving the blade tip in the thickness direction of the flux (a direction perpendicular to the belt traveling direction or a direction including the component thereof)” A method of “changing the traveling direction of the transfer belt from a predetermined position to a direction opposite to the direction in which the flux chamber exists and changing the relative distance between the predetermined position and the blade” is employed. As a result, the gap between the blade and the surface of the transfer belt can be adjusted, and a very delicate fine adjustment can be realized with a simple structure.

また、転写に必要なフラックスのみをフラックス転写部に供給し、また、転写が行われた後の残りのフラックスはフラックスチャンバ内に回収されるので、基本的に、大部分のフラックスがフラックスチャンバ内において貯留されるため、経時的な劣化を最小限に抑えることができる。   In addition, only the flux required for transfer is supplied to the flux transfer section, and the remaining flux after transfer is collected in the flux chamber. Therefore, most of the flux is basically in the flux chamber. Therefore, deterioration over time can be minimized.

さらに、電子部品へのフラックス転写時に移送ベルトを下から水平に支持するバックアッププレートを、移送ベルトの下に備えているので、電子部品にフラックスを転写する際の安定性に優れる。   Furthermore, since the backup plate that supports the transfer belt horizontally from the bottom when transferring the flux to the electronic component is provided under the transfer belt, the stability when transferring the flux to the electronic component is excellent.

本発明によれば、電子部品の種類に応じて、簡易な構造で転写に必要なフラックス量を可変的に供給することができ、且つ、回収機能を有してフラックス自体の品質の劣化を最小限に抑えることができ、さらに、電子部品にフラックスを転写する際の安定性に優れる。   According to the present invention, the amount of flux required for transfer can be variably supplied with a simple structure according to the type of electronic component, and the recovery function has a minimum deterioration in quality of the flux itself. Furthermore, the stability when transferring the flux to the electronic component is excellent.

以下、図面に基づいて本発明の実施形態を詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、本発明の第1実施形態に係るフラックス供給・回収装置が適用されたフラックス転写装置の一例を示す全体概略図、図2は、図1の矢視II付近の要部拡大図であり、図3は、図1の矢視III方向から見た斜め平面図である。   FIG. 1 is an overall schematic view showing an example of a flux transfer device to which a flux supply / recovery device according to a first embodiment of the present invention is applied, and FIG. 2 is an enlarged view of a main part in the vicinity of arrow II in FIG. FIG. 3 is an oblique plan view seen from the direction of arrow III in FIG.

このフラックス転写装置10は、移送ベルト12と、フラックスチャンバ14と、ベルトガイド機構16と、駆動機構18と、バックアッププレート42と、を備える。   The flux transfer device 10 includes a transfer belt 12, a flux chamber 14, a belt guide mechanism 16, a drive mechanism 18, and a backup plate 42.

前記移送ベルト12は、フラックスFを載置可能な所定の幅W1を有し(図3参照)、エンドレスに所定の方向Xに進行可能である。前記フラックスチャンバ14は、移送ベルト12の表面12Aに被さるように配置され、移送ベルト12の表面12Aに当接可能なブレード20を有するとともに、フラックスFを貯留可能である。前記ベルトガイド機構16は、移送ベルト12の進行方向をフラックスチャンバ14が存在する側と反対の側に角度αだけ変更するもので、具体的にはアイドラローラ22によって構成されている。移送ベルト12の進行方向Xは、これにより、所定の位置P1以降、図のX1の方向からX2の方向(水平方向)へと変更される。前記駆動機構18は、フラックスチャンバ14をブレード20ごと移送ベルト12の表面12Aに沿って図のX1の方向に往復動させ、ブレード20と前記所定の位置P1との距離L1を変更する。バックアッププレート42は、移送ベルト12の下に水平に配置され、フラックス転写時に移送ベルト12がたわむことを防ぎ、水平を維持できるように下から支持する。   The transfer belt 12 has a predetermined width W1 on which the flux F can be placed (see FIG. 3), and can advance in a predetermined direction X endlessly. The flux chamber 14 is disposed so as to cover the surface 12A of the transfer belt 12, has a blade 20 capable of contacting the surface 12A of the transfer belt 12, and can store the flux F. The belt guide mechanism 16 changes the advancing direction of the transfer belt 12 by an angle α to the side opposite to the side where the flux chamber 14 exists, and is specifically constituted by an idler roller 22. Thus, the traveling direction X of the transfer belt 12 is changed from the direction X1 in the figure to the direction X2 (horizontal direction) after the predetermined position P1. The drive mechanism 18 reciprocates the flux chamber 14 together with the blade 20 along the surface 12A of the transfer belt 12 in the direction of X1 in the drawing to change the distance L1 between the blade 20 and the predetermined position P1. The backup plate 42 is disposed horizontally below the transfer belt 12 and supports the transfer belt 12 from below so that the transfer belt 12 can be prevented from being bent at the time of flux transfer and maintained horizontal.

以下、各部の構成について、より詳細に説明する。   Hereinafter, the configuration of each unit will be described in more detail.

フレーム30には、移送ベルト駆動モータM1に連結された駆動ローラ32及び従動ローラ34が設けられている。従動ローラ34の回転により、アイドラローラ36及び前述したアイドラローラ22を介して移送ベルト12がほぼ3角形状にエンドレスに回転する。移送ベルト12は、アイドラローラ36の軸36Aに付いているテンショナねじ38により、一定の張力で張られている。移送ベルト12の幅W1は、フラックスチャンバ14の幅W2より大きく設定されている(図3参照)。   The frame 30 is provided with a drive roller 32 and a driven roller 34 connected to the transfer belt drive motor M1. As the driven roller 34 rotates, the transfer belt 12 rotates endlessly in a substantially triangular shape via the idler roller 36 and the idler roller 22 described above. The transfer belt 12 is stretched at a constant tension by a tensioner screw 38 attached to the shaft 36A of the idler roller 36. The width W1 of the transfer belt 12 is set larger than the width W2 of the flux chamber 14 (see FIG. 3).

アイドラローラ36、22の間における移送ベルト12の内側にはバックアッププレート40が配置されている。このバックアッププレート40は、アイドラローラ36を基点として傾斜しており、その上面はアイドラローラ36及び22との接線上に位置決めされている。フラックスチャンバ14は、この移送ベルト12の進行方向XがX1の方向(角度)に傾斜された部分に配置されている。   A backup plate 40 is disposed inside the transfer belt 12 between the idler rollers 36 and 22. The backup plate 40 is inclined with the idler roller 36 as a base point, and its upper surface is positioned on a tangent to the idler rollers 36 and 22. The flux chamber 14 is disposed in a portion where the traveling direction X of the transfer belt 12 is inclined in the direction (angle) X1.

また、アイドラローラ22と従動ローラ34との間の移送ベルト12の内側にはバックアッププレート42が水平に配置されている。このバックアッププレート42は、その上面がアイドラローラ22と従動ローラ34との接線上に位置決めされており、バックアッププレート42の上面は水平になっている。バックアッププレート42は、フラックス転写時に移送ベルト12がたわむことを防ぎ、水平を維持できるように移送ベルト12を下から支持する。フラックス転写部Aは、このアイドラローラ22によって移送ベルト12の進行方向が水平のX2方向に変更された部分に位置する。   A backup plate 42 is horizontally disposed inside the transfer belt 12 between the idler roller 22 and the driven roller 34. The upper surface of the backup plate 42 is positioned on the tangent line between the idler roller 22 and the driven roller 34, and the upper surface of the backup plate 42 is horizontal. The backup plate 42 supports the transfer belt 12 from below so as to prevent the transfer belt 12 from being bent at the time of flux transfer and maintain the level. The flux transfer portion A is located at a portion where the traveling direction of the transfer belt 12 is changed to the horizontal X2 direction by the idler roller 22.

フラックスチャンバ14は、ベルト進行方向X1に対して、前面壁46、上面壁48、右面壁50、左面壁52の4面を有し、下面側は移送ベルト12に対して開口している。このうち前面壁46は、前記ブレード20と一体化され、後面壁は後述する回収ゲート72が兼用している。フラックスチャンバ14の下面の開口部は、ベルト進行方向下流側(供給側)はW3、上流側(回収側)はW4であって、上流側の方が広く形成されている。チャンバヒンジ54がチャンバフック部55に引っ掛かることで、フラックスチャンバ14がフレーム30に対して位置決めされている。   The flux chamber 14 has four surfaces of a front wall 46, an upper surface wall 48, a right surface wall 50, and a left surface wall 52 with respect to the belt traveling direction X1, and the lower surface side is open to the transfer belt 12. Among these, the front wall 46 is integrated with the blade 20, and the rear wall is also used as a collection gate 72 described later. The opening on the lower surface of the flux chamber 14 is W3 on the downstream side (supply side) in the belt traveling direction and W4 on the upstream side (collection side), and the upstream side is formed wider. The flux chamber 14 is positioned with respect to the frame 30 by the chamber hinge 54 being hooked on the chamber hook portion 55.

チャンバヒンジ54は、2つのチャンバ移動フレーム64にあけられた長孔56を貫通しており、チャンバヒンジ54の両端にはスプリング58がかけられている。スプリング58は、チャンバヒンジ54及びチャンバフック部55を介してフラックスチャンバ14をバックアッププレート40上を通る移送ベルト12側に押し付ける機能を有し、フラックスチャンバ14はフラックスベルト12の表面12Aに密着している。   The chamber hinge 54 passes through a long hole 56 formed in the two chamber moving frames 64, and springs 58 are applied to both ends of the chamber hinge 54. The spring 58 has a function of pressing the flux chamber 14 toward the transfer belt 12 passing over the backup plate 40 via the chamber hinge 54 and the chamber hook portion 55, and the flux chamber 14 is in close contact with the surface 12 A of the flux belt 12. Yes.

フラックスチャンバ14は、前記駆動機構18の主たる構成要素であるフラックスチャンバ移動モータM2及びチャンバ移動ねじ59により、バックアッププレート40の上面に倣って(ブレード20ごと)往復動する。フラックスチャンバ14が下流側に移動してブレード20の先端20Aが前記所定の位置P1を超えてアイドラローラ22のR部にさしかかると、移送ベルト12の表面12Aとの間に間隙60が生ずる構成とされている。フラックスチャンバ14の移動量、すなわちブレード20の先端20Aと所定の位置P1との距離(先端20Aの所定の位置P1からのオーバーハング)L1に応じて、間隙60の高さS(フラックス膜Ffの厚さtに相当)を任意に調整できる。   The flux chamber 14 reciprocates along the upper surface of the backup plate 40 (with each blade 20) by a flux chamber moving motor M2 and a chamber moving screw 59 which are main components of the driving mechanism 18. When the flux chamber 14 moves downstream and the tip 20A of the blade 20 reaches the R portion of the idler roller 22 beyond the predetermined position P1, a gap 60 is formed between the surface 12A of the transfer belt 12 and the front surface 20A. Has been. Depending on the amount of movement of the flux chamber 14, that is, the distance L1 between the tip 20A of the blade 20 and the predetermined position P1 (overhang from the predetermined position P1 of the tip 20A) L1, the height S of the gap 60 (of the flux film Ff (Corresponding to the thickness t) can be arbitrarily adjusted.

なお、移送ベルト12が回転すると、フラックスチャンバ14内のフラックスFは移送ベルト12に粘着しながら間隙60を通過するので、フラックス膜Ffは間隙60によって規制される。また、フラックス膜Ffは、フラックス供給側の開口幅W3によっても規制される。このため、移送ベルト12上には、厚さが間隙60の高さSに相当する厚さtで、幅が供給側の開口幅W3に整形されたシート状の状態で、フラックスチャンバ14からフラックス膜が供給されることになる。   When the transfer belt 12 rotates, the flux F in the flux chamber 14 passes through the gap 60 while adhering to the transfer belt 12, so that the flux film Ff is regulated by the gap 60. The flux film Ff is also regulated by the opening width W3 on the flux supply side. Therefore, on the transfer belt 12, the flux is fed from the flux chamber 14 in a sheet-like state in which the thickness is a thickness t corresponding to the height S of the gap 60 and the width is shaped into the opening width W3 on the supply side. A membrane will be supplied.

アイドラローラ22の下流側には、間隙60から出てくるフラックス膜Ffの厚さtを検出するための膜厚検出センサ62が配置されている。膜厚検出センサ62で計測されたフラックス膜Ffの厚さtが転写対象のバンプに最適な膜厚となっていない場合には、フラックスチャンバ移動モータM2をフィードバック制御し、オーバーハングL1を変更することによって間隙60の高さSを調整する構成とされている。   On the downstream side of the idler roller 22, a film thickness detection sensor 62 for detecting the thickness t of the flux film Ff coming out of the gap 60 is disposed. When the thickness t of the flux film Ff measured by the film thickness detection sensor 62 is not the optimum film thickness for the bump to be transferred, the flux chamber moving motor M2 is feedback controlled to change the overhang L1. Thus, the height S of the gap 60 is adjusted.

チャンバ移動フレーム64は、ガイドレール66によってガイドされ、フラックスチャンバ移動モータM2及びチャンバ移動ねじ59により駆動され、待機位置からフラックス膜形成位置までバックアッププレート40と平行に往復動する。フラックスチャンバ14が該チャンバ移動フレーム64と連動して上流側に移動すると、回収ゲートピン68がゲートスプリング69の付勢力に逆らって回収ゲート開閉カム70により押し上げられるようになっている。この結果、回収ゲートピン68と一体化されている回収ゲート72がゲートヒンジ73を中心として押し開かれ、フラックス回収口74を介して戻ってきたフラックス(転写後に移送ベルト上に残存するフラックス)Fをフラックスチャンバ14内に回収する構成とされている。転写後に移送ベルト上に残存するフラックスFは、フラックスチャンバ14内に回収されるので、経時的な劣化を最小限に抑えることができる。   The chamber moving frame 64 is guided by the guide rail 66 and driven by the flux chamber moving motor M2 and the chamber moving screw 59, and reciprocates in parallel with the backup plate 40 from the standby position to the flux film forming position. When the flux chamber 14 moves upstream in conjunction with the chamber moving frame 64, the collection gate pin 68 is pushed up by the collection gate opening / closing cam 70 against the urging force of the gate spring 69. As a result, the recovery gate 72 integrated with the recovery gate pin 68 is pushed open around the gate hinge 73, and the flux (flux remaining on the transfer belt after transfer) F returned through the flux recovery port 74 is removed. The flux is collected in the flux chamber 14. Since the flux F remaining on the transfer belt after the transfer is collected in the flux chamber 14, deterioration with time can be minimized.

なお、図1の符号78は吸着ヘッド、80は吸着ノズル、82は電子部品、84はバンプをそれぞれ示している。   In FIG. 1, reference numeral 78 denotes a suction head, 80 denotes a suction nozzle, 82 denotes an electronic component, and 84 denotes a bump.

図4は、第1実施形態に係るフラックス供給・回収装置の制御ブロック図である。制御部200は、移送ベルト駆動モータドライバD1を介して移送ベルト駆動モータM1を制御し、移送ベルト12の動きを制御する。また、制御部200には膜厚検出センサ62の測定結果が入力される。入力された測定結果に基づき、膜厚が所定の厚さになるように、制御部200は、フラックスチャンバ移動モータドライバD2を介してフラックスチャンバ移動モータM2を制御し、フラックスチャンバ14のX1方向の位置を調整する。   FIG. 4 is a control block diagram of the flux supply / recovery device according to the first embodiment. The control unit 200 controls the movement of the transfer belt 12 by controlling the transfer belt drive motor M1 via the transfer belt drive motor driver D1. Further, the measurement result of the film thickness detection sensor 62 is input to the control unit 200. Based on the input measurement result, the control unit 200 controls the flux chamber moving motor M2 via the flux chamber moving motor driver D2 so that the film thickness becomes a predetermined thickness, and the flux chamber 14 in the X1 direction is controlled. Adjust the position.

次に、第1実施形態に係るフラックス供給・回収装置が適用されたフラックス転写装置の動作を、図5に示す工程図および図6に示すフローチャートを用いて説明する。   Next, the operation of the flux transfer device to which the flux supply / recovery device according to the first embodiment is applied will be described with reference to the process chart shown in FIG. 5 and the flowchart shown in FIG.

フラックスチャンバ14は、図5(A)で示す待機位置では、間隙60は閉じており、また回収ゲート74も閉じており、フラックスFの乾燥を防ぐために密閉状態となっている。移送ベルト12は、この時点では回転していない。フラックス転写を行うべき電子部品82が選択されると、吸着ノズル80が、部品供給装置(図示せず)から該当する電子部品82を吸着し、フラックス転写部Aに搬送するとともに、電子部品82のバンプ84の大きさに応じたフラックス膜Ffの目標とする厚さtに関するデータが制御部200に入力される(ステップS1)。フラックス膜形成部Bでは、チャンバ移動モータM2によりフラックスチャンバ14が図5(B)で示すフラックス膜形成位置にまで移動し、ブレード20の先端20Aがアイドラローラ22の軸心に対応する所定の位置P1を通過すると、移送ベルト12との間に間隙60が生ずるようになる。所定の位置P1とブレード20の先端20Aとの距離(オーバーハング)L1に応じて間隙60の高さSが変化し、形成されるフラックス膜Ffの厚さが変わる。制御部200に入力されたフラックス膜Ffの目標とする厚さtに関するデータに基づき、フラックスチャンバ14のX1方向の位置が調整され、所定の位置にフラックスチャンバ14が移動する(ステップS2)。ここで移送ベルト12が回転を始める(ステップS3)。   In the standby position shown in FIG. 5 (A), the gap 60 is closed, and the collection gate 74 is also closed, so that the flux chamber 14 is sealed to prevent the flux F from drying. The transfer belt 12 is not rotating at this point. When the electronic component 82 to be flux-transferred is selected, the suction nozzle 80 sucks the corresponding electronic component 82 from a component supply device (not shown) and transports it to the flux transfer unit A. Data relating to the target thickness t of the flux film Ff corresponding to the size of the bump 84 is input to the control unit 200 (step S1). In the flux film forming part B, the flux chamber 14 is moved to the flux film forming position shown in FIG. 5B by the chamber moving motor M2, and the tip 20A of the blade 20 is a predetermined position corresponding to the axis of the idler roller 22. When passing through P1, a gap 60 is formed between the belt 1 and the transfer belt 12. The height S of the gap 60 changes according to the distance (overhang) L1 between the predetermined position P1 and the tip 20A of the blade 20, and the thickness of the formed flux film Ff changes. Based on the data regarding the target thickness t of the flux film Ff input to the controller 200, the position of the flux chamber 14 in the X1 direction is adjusted, and the flux chamber 14 moves to a predetermined position (step S2). Here, the transfer belt 12 starts to rotate (step S3).

膜厚検出センサ62がフラックスチャンバ14から出てくるフラックス膜Ffの厚さtを測定し、測定結果が制御部200に入力される。制御部200は、この測定結果と、ステップ1で入力されたフラックス膜Ffの目標とする厚さtとを比較し、膜厚が適正かどうかを判断する(ステップS4)。   The film thickness detection sensor 62 measures the thickness t of the flux film Ff coming out of the flux chamber 14, and the measurement result is input to the control unit 200. The control unit 200 compares this measurement result with the target thickness t of the flux film Ff input in step 1, and determines whether or not the film thickness is appropriate (step S4).

膜厚が適正でなければ、ステップS2にもどってフラックスチャンバ14を移動させ、膜厚が適正となるまでフラックスチャンバ14の位置をフィードバック制御する。このため、精度の高い厚さを有するフラックス膜Ffを形成することができる。   If the film thickness is not appropriate, the flow returns to step S2 to move the flux chamber 14, and the position of the flux chamber 14 is feedback controlled until the film thickness becomes appropriate. For this reason, the flux film | membrane Ff which has thickness with high precision can be formed.

フラックス膜Ffの厚さtが所定の厚さになると、移送ベルト12は停止する(ステップS5)。そして、電子部品82を吸着した吸着ノズル80が下降して、電子部品82のバンプ84にフラックスの転写を行い(ステップS6)、その後吸着ノズル80は上昇して、基板(図示せず)上の所定の位置に電子部品82を搭載する(ステップS7)。図5(B)は、転写が完了してバンプ84にフラックスFが転写された状態を示している。   When the thickness t of the flux film Ff reaches a predetermined thickness, the transfer belt 12 stops (step S5). Then, the suction nozzle 80 that sucks the electronic component 82 is lowered and the flux is transferred to the bumps 84 of the electronic component 82 (step S6), and then the suction nozzle 80 is lifted and placed on the substrate (not shown). The electronic component 82 is mounted at a predetermined position (step S7). FIG. 5B shows a state where the transfer is completed and the flux F is transferred to the bumps 84.

全部品について、以上の動作が終了する(ステップS8)まで、以上の動作を繰り返す。   The above operations are repeated for all parts until the above operations are completed (step S8).

図7は、本発明に係るフラックス供給・回収装置の第2実施形態が適用されたフラックス転写装置の主要部を示す正面図である。第2実施形態では、駆動装置102が第1実施形態に付加されている。具体的には、バックアッププレート43は、下部に配置された駆動装置102のシリンダ102Aに連結保持されており、シリンダ102Aを介して上下に駆動される。図7(A)はバックアッププレートが上昇する前の状態を示し、図7(B)はバックアッププレートが上昇した後の状態を示す。   FIG. 7 is a front view showing a main part of a flux transfer device to which a second embodiment of the flux supply / recovery device according to the present invention is applied. In the second embodiment, a driving device 102 is added to the first embodiment. Specifically, the backup plate 43 is connected and held to the cylinder 102A of the driving device 102 disposed at the lower portion, and is driven up and down via the cylinder 102A. FIG. 7A shows a state before the backup plate rises, and FIG. 7B shows a state after the backup plate rises.

バックアッププレート43が適正な高さだけ上昇すると、移送ベルト12の張力が大きくなり、バックアッププレート43の水平面に倣って移送ベルト12の水平面が確実に保持される。その結果、電子部品82のバンプ84に転写されるフラックス量は、より正確に制御される。   When the backup plate 43 rises by an appropriate height, the tension of the transfer belt 12 increases, and the horizontal plane of the transfer belt 12 is reliably held following the horizontal plane of the backup plate 43. As a result, the amount of flux transferred to the bumps 84 of the electronic component 82 is more accurately controlled.

図8は、本発明に係るフラックス供給・回収装置の第2実施形態の制御ブロック図である。第1実施形態の制御ブロック図(図4)と同一の構成要素には同一の符号を付し、説明は省略する。   FIG. 8 is a control block diagram of the second embodiment of the flux supply / recovery device according to the present invention. The same components as those in the control block diagram (FIG. 4) of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

第2実施形態では、前述のように、バックアッププレート43が駆動装置102により上下に移動でき、第2実施形態の制御ブロック図(図8)においては、バックアッププレート移動モータドライバD3と、バックアッププレート移動モータM3とが付加されている。制御部200は、バックアッププレート移動モータドライバD3を介してバックアッププレート移動モータM3を制御し、駆動装置102のシリンダ102Aを上下に駆動し、バックアッププレート43の高さ位置を調整する。なお、バックアッププレート43を上下に駆動するに際し、モータの代わりにエアシリンダを用いてもよく、この場合は、バックアッププレート移動モータドライバD3に代えて、バックアッププレート移動エアシリンダ切替弁を用い、バックアッププレート移動モータM3に代えて、バックアッププレート移動エアシリンダを用いればよい。   In the second embodiment, as described above, the backup plate 43 can be moved up and down by the drive device 102. In the control block diagram (FIG. 8) of the second embodiment, the backup plate moving motor driver D3 and the backup plate moving A motor M3 is added. The control unit 200 controls the backup plate moving motor M3 via the backup plate moving motor driver D3, drives the cylinder 102A of the driving device 102 up and down, and adjusts the height position of the backup plate 43. When the backup plate 43 is driven up and down, an air cylinder may be used instead of the motor. In this case, a backup plate moving air cylinder switching valve is used instead of the backup plate moving motor driver D3, and the backup plate is moved. A backup plate moving air cylinder may be used in place of the moving motor M3.

次に、第2実施形態に係るフラックス供給・回収装置が適用されたフラックス転写装置の動作を、図9に示すフローチャートを用いて説明する。   Next, the operation of the flux transfer device to which the flux supply / recovery device according to the second embodiment is applied will be described using the flowchart shown in FIG.

ステップS11〜S15は、第1実施形態のステップS1〜S5と同様であるので詳細な説明は省略する。膜厚検出センサ62は、形成されたフラックス膜Ffの厚さtを計測し、計測結果を制御部200に出力する。この計測結果に基づき、形成されたフラックス膜Ffの厚さtが所定の値に安定したことを制御部200が確認すると(ステップS14)、制御部200は、移送ベルト12を停止させ(ステップS15)、バックアッププレート43を駆動装置102によって予め設定された距離だけ上昇させる(ステップS16、図7(B))。移送ベルト12の張力は大きくなり、バックアッププレート43の水平面に倣って移送ベルト12の水平面が確実に保持される。その後、制御部200は吸着ノズル80を下降させ、電子部品82のバンプ84を移送ベルト12に接触するまで下降させて、フラックスの転写を行う(ステップS17)。フラックス転写部Aにおける移送ベルト12は、バックアッププレート43によって水平にバックアップされているため、電子部品82が吸着ノズル80に対して若干斜めに吸着されているような場合であっても、このバックアッププレート43側からの反力を受けて電子部品82は正しく水平に矯正された状態でフラックスFの転写を受けることができる。   Since steps S11 to S15 are the same as steps S1 to S5 of the first embodiment, detailed description thereof is omitted. The film thickness detection sensor 62 measures the thickness t of the formed flux film Ff and outputs the measurement result to the control unit 200. When the control unit 200 confirms that the thickness t of the formed flux film Ff is stabilized at a predetermined value based on the measurement result (step S14), the control unit 200 stops the transfer belt 12 (step S15). ), The backup plate 43 is raised by a distance set in advance by the driving device 102 (step S16, FIG. 7B). The tension of the transfer belt 12 increases, and the horizontal plane of the transfer belt 12 is reliably held following the horizontal plane of the backup plate 43. Thereafter, the control unit 200 lowers the suction nozzle 80 and lowers the bumps 84 of the electronic component 82 until they contact the transfer belt 12, thereby transferring the flux (step S17). Since the transfer belt 12 in the flux transfer section A is backed up horizontally by the backup plate 43, even if the electronic component 82 is attracted to the suction nozzle 80 at an angle, this backup plate 12. In response to the reaction force from the 43 side, the electronic component 82 can receive the transfer of the flux F in a state where the electronic component 82 is correctly leveled.

転写が完了すると、吸着ノズル80は上昇し、バンプ84は移送ベルト12から離れ、電子部品82は基板(図示せず)上の所定の位置に搭載される(ステップS18)。バックアッププレート43が移送ベルト12の回転可能位置まで下降すると(ステップS19)、移送ベルト12は回転を開始し、新しいフラックス膜Ffが次々と連続的に形成され、フラックス転写を連続して行うことができる。また、転写すべき電子部品が変わり、形成すべきフラックス膜Ffの厚さtが変わっても、フラックスチャンバ移動モータM2の駆動によってオーバーハングL1を変更し、間隙60の高さSを変えることにより、容易に対応することができる。   When the transfer is completed, the suction nozzle 80 is raised, the bump 84 is separated from the transfer belt 12, and the electronic component 82 is mounted at a predetermined position on the substrate (not shown) (step S18). When the backup plate 43 is lowered to the position where the transfer belt 12 can be rotated (step S19), the transfer belt 12 starts to rotate, new flux films Ff are successively formed, and flux transfer can be continuously performed. it can. Even if the electronic component to be transferred changes and the thickness t of the flux film Ff to be formed changes, the overhang L1 is changed by driving the flux chamber moving motor M2, and the height S of the gap 60 is changed. Can be easily accommodated.

全部品について、以上の動作が終了する(ステップS20)まで、以上の動作を繰り返す。   The above operation is repeated for all parts until the above operation is completed (step S20).

図10は、本発明に係るフラックス供給・回収装置の第3実施形態が適用されたフラックス転写装置の主要部を示す正面図であり、図10(A)は吸引前の状態を示し、図10(B)は吸引後の状態を示す。図11(A)は第3実施形態のバックアッププレートの斜視図、図11(B)は第3実施形態のバックアッププレートの側面図である。この実施形態では、バックアッププレート44は複数の垂直連結孔44Aを有している。複数の垂直連結孔44Aはその下部を水平連結孔44Bと連結しており、接続継ぎ手104A及び接続管104Bを介して真空発生装置104に接続されている。移送ベルト12は、複数の垂直連結孔44Aを介して真空発生装置104により吸引され、バックアッププレート44と密着する。これによって移送ベルト12は、バックアッププレート44の水平面に倣って密着し、移送ベルト12の水平面が確実に保持される。その結果、電子部品82のバンプ84に転写されるフラックス量は、より正確に制御される。   FIG. 10 is a front view showing the main part of the flux transfer device to which the third embodiment of the flux supply / recovery device according to the present invention is applied. FIG. 10 (A) shows the state before suction. (B) shows the state after suction. FIG. 11A is a perspective view of the backup plate of the third embodiment, and FIG. 11B is a side view of the backup plate of the third embodiment. In this embodiment, the backup plate 44 has a plurality of vertical connection holes 44A. The plurality of vertical coupling holes 44A have their lower portions coupled to the horizontal coupling holes 44B, and are connected to the vacuum generator 104 via the connection joint 104A and the connection pipe 104B. The transfer belt 12 is sucked by the vacuum generator 104 through the plurality of vertical connection holes 44 </ b> A and is in close contact with the backup plate 44. As a result, the transfer belt 12 closely contacts the horizontal surface of the backup plate 44, and the horizontal surface of the transfer belt 12 is securely held. As a result, the amount of flux transferred to the bumps 84 of the electronic component 82 is more accurately controlled.

なお、水平連結孔44Bはドリル等によって形成することができ、その場合は片方の側面は貫通させずに残しておき、孔を開けた側には栓44Cをしておけばよい(図11(B)参照)。   The horizontal connecting hole 44B can be formed by a drill or the like. In that case, one side surface is left without being penetrated, and a plug 44C is provided on the side where the hole is formed (FIG. 11 ( B)).

バックアッププレート44は複数の垂直連結孔44Aを設けたものであるが、複数の垂直連結孔44Aを設ける代わりに、図12(A)斜視図、(B)側面図に示すように、スポンジ状の多孔質素材45Aの下方部及び周辺部を金属プレート45Bで形成してバックアッププレート45としてもよい。また、焼結金属を用いてバックアッププレート46とすることもでき、具体的には、図13(A)斜視図、(B)側面図に示すように、吸着部46A以外の下方部及び周辺部をサイジング処理して孔を塞いだサイジング処理部46Bとした焼結金属からなるバックアッププレート46としてもよい。   The backup plate 44 is provided with a plurality of vertical connection holes 44A. Instead of providing the plurality of vertical connection holes 44A, as shown in FIG. 12 (A) perspective view and (B) side view, The lower part and the peripheral part of the porous material 45A may be formed of the metal plate 45B to serve as the backup plate 45. Further, the backup plate 46 can be made of sintered metal. Specifically, as shown in the perspective view of FIG. 13A and the side view of FIG. 13B, the lower portion and the peripheral portion other than the suction portion 46A. A backup plate 46 made of sintered metal may be used as a sizing treatment portion 46B in which the holes are closed by sizing treatment.

図14は、本発明に係るフラックス供給・回収装置の第3実施形態の制御ブロック図である。第1実施形態の制御ブロック図(図4)と同一の構成要素には同一の符号を付し、説明は省略する。   FIG. 14 is a control block diagram of the third embodiment of the flux supply / recovery device according to the present invention. The same components as those in the control block diagram (FIG. 4) of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

第3実施形態では、前述のように、移送ベルト12は、バックアッププレート44の複数の垂直連結孔44Aを介して真空発生装置104により吸引され、バックアッププレート44と密着するので、第3実施形態の制御ブロック図(図14)においては、真空発生装置切替弁V1と、真空発生装置104とが付加されている。制御部200は、真空発生装置切替弁V1を介して真空発生装置104による吸引を制御し、移送ベルト12をバックアッププレート44に密着させる。   In the third embodiment, as described above, the transfer belt 12 is sucked by the vacuum generator 104 through the plurality of vertical connection holes 44A of the backup plate 44 and is in close contact with the backup plate 44. In the control block diagram (FIG. 14), a vacuum generator switching valve V1 and a vacuum generator 104 are added. The control unit 200 controls the suction by the vacuum generator 104 via the vacuum generator switching valve V <b> 1 to bring the transfer belt 12 into close contact with the backup plate 44.

次に、第3実施形態に係るフラックス供給・回収装置が適用されたフラックス転写装置の動作を、図15に示すフローチャートを用いて説明する。   Next, the operation of the flux transfer device to which the flux supply / recovery device according to the third embodiment is applied will be described with reference to the flowchart shown in FIG.

ステップS21〜S25は、第1実施形態のステップS1〜S5と同様であるので詳細な説明は省略する。膜厚検出センサ62は、形成されたフラックス膜Ffの厚さtを計測し、計測結果を制御部200に出力する。この計測結果に基づき、形成されたフラックス膜Ffの厚さtが所定の値に安定したことを制御部200が確認すると(ステップS24)、制御部200は、移送ベルト12を停止させ(ステップS25)、真空発生装置104による吸引を開始させる(ステップS26、図10(B))。移送ベルト12は、バックアッププレート44の水平面に倣って密着し、移送ベルト12の水平面が確実に保持される。その後、制御部200は吸着ノズル80を下降させ、電子部品82のバンプ84を移送ベルト12に接触するまで下降させて、フラックスの転写を行う(ステップS27)。フラックス転写部Aにおける移送ベルト12は、バックアッププレート44によって水平にバックアップされているため、電子部品82が吸着ノズル80に対して若干斜めに吸着されているような場合であっても、このバックアッププレート43側からの反力を受けて電子部品82は正しく水平に矯正された状態でフラックスFの転写を受けることができる。   Since steps S21 to S25 are the same as steps S1 to S5 of the first embodiment, detailed description thereof is omitted. The film thickness detection sensor 62 measures the thickness t of the formed flux film Ff and outputs the measurement result to the control unit 200. When the control unit 200 confirms that the thickness t of the formed flux film Ff is stabilized at a predetermined value based on the measurement result (step S24), the control unit 200 stops the transfer belt 12 (step S25). ), Suction by the vacuum generator 104 is started (step S26, FIG. 10B). The transfer belt 12 closely contacts the horizontal surface of the backup plate 44, and the horizontal surface of the transfer belt 12 is securely held. Thereafter, the control unit 200 lowers the suction nozzle 80 and lowers the bump 84 of the electronic component 82 until it contacts the transfer belt 12, thereby transferring the flux (step S27). Since the transfer belt 12 in the flux transfer portion A is horizontally backed up by the backup plate 44, even if the electronic component 82 is attracted to the suction nozzle 80 at a slight angle, this backup plate In response to the reaction force from the 43 side, the electronic component 82 can receive the transfer of the flux F in a state where the electronic component 82 is correctly leveled.

転写が完了すると、吸着ノズル80は上昇し、バンプ84は移送ベルト12から離れ、電子部品82は基板(図示せず)上の所定の位置に搭載される(ステップS28)。真空発生装置104による吸引が解除されると(ステップS29)、移送ベルト12は回転を開始し、新しいフラックス膜Ffが次々と連続的に形成され、フラックス転写を連続して行うことができる。また、転写すべき電子部品が変わり、形成すべきフラックス膜Ffの厚さtが変わっても、フラックスチャンバ移動モータM2の駆動によってオーバーハングL1を変更し、間隙60の高さSを変えることにより、容易に対応することができる。   When the transfer is completed, the suction nozzle 80 is raised, the bump 84 is separated from the transfer belt 12, and the electronic component 82 is mounted at a predetermined position on the substrate (not shown) (step S28). When the suction by the vacuum generator 104 is released (step S29), the transfer belt 12 starts to rotate, new flux films Ff are successively formed, and flux transfer can be performed continuously. Even if the electronic component to be transferred changes and the thickness t of the flux film Ff to be formed changes, the overhang L1 is changed by driving the flux chamber moving motor M2, and the height S of the gap 60 is changed. Can be easily accommodated.

全部品について、以上の動作が終了する(ステップS30)まで、以上の動作を繰り返す。   The above operation is repeated for all parts until the above operation is completed (step S30).

なお、第2実施形態と第3実施形態を組み合わせ、バックアッププレートを、上下に移動でき、かつ、吸引もできるものにしてもよい(第4実施形態)。この場合、動作は、図16のフローチャートに示すように、バックアッププレートが上昇(ステップS36)した後、吸引を開始し(ステップS37)する。そして、吸着搭載ヘッド78が下降してフラックスを転写し(ステップS38)、吸着搭載ヘッド78が上昇(ステップS39)した後、吸引を解除し(ステップS40)、バックアッププレートを下降させる(ステップS41)。   Note that the second embodiment and the third embodiment may be combined so that the backup plate can be moved up and down and can also be sucked (fourth embodiment). In this case, as shown in the flowchart of FIG. 16, the operation starts suction after the backup plate has been lifted (step S36) (step S37). Then, the suction mounting head 78 is lowered to transfer the flux (step S38). After the suction mounting head 78 is lifted (step S39), the suction is released (step S40) and the backup plate is lowered (step S41). .

第1〜4のいずれの実施形態においても、一連の転写工程が終了すると、フラックスチャンバ14は、図5(C)に示すフラックス回収位置に移動し、間隙60を閉じる。従って、新たなフラックス膜Ffの形成がここで中止される。一方、この位置では、回収ゲートピン68が回収ゲート開閉カム70によって押し上げられた状態とされているため、回収ゲート72がゲートヒンジ73を中心として開かれ、フラックス回収口74が開かれた状態を維持しており、戻ってきたフラックスFがフラックスチャンバ14に回収される。   In any of the first to fourth embodiments, when the series of transfer steps is completed, the flux chamber 14 moves to the flux collection position shown in FIG. 5C and closes the gap 60. Accordingly, the formation of a new flux film Ff is stopped here. On the other hand, at this position, the collection gate pin 68 is pushed up by the collection gate opening / closing cam 70, so that the collection gate 72 is opened around the gate hinge 73 and the flux collection port 74 is kept open. Thus, the returned flux F is collected in the flux chamber 14.

移送ベルト12が一周分以上回転してフラックスFの回収が完了すると、フラックスチャンバ14は図5(A)に示す待機状態に戻り、フラックス回収口74がゲートスプリング69の作用によって閉じられ、フラックスチャンバ14が密閉される。このように、フラックスチャンバ14内のフラックスFは、基本的に必要なときにのみ移送ベルト12上に載置されるが、1周するたびにフラックスチャンバ14に回収され、転写工程が終了すると完全に密閉された状態に保管されることになる。そのため、品質劣化を最小限に抑えることができる。   When the transfer belt 12 rotates for one round or more and the recovery of the flux F is completed, the flux chamber 14 returns to the standby state shown in FIG. 5A, the flux recovery port 74 is closed by the action of the gate spring 69, and the flux chamber 14 is sealed. As described above, the flux F in the flux chamber 14 is basically placed on the transfer belt 12 only when necessary, but is collected in the flux chamber 14 each time one round is completed, and complete when the transfer process is completed. It will be stored in a sealed state. Therefore, quality degradation can be minimized.

なお、上記実施形態においては、移送ベルト12が傾斜している部分にフラックスチャンバ14を配置し、アイドラローラ22に移送ベルト12のエンドレスの回転機構の一部を構成する機能と移送ベルト12の進行方向を変更するためのベルトガイド機構の機能とを兼用させるようにして、構成の簡略化を図っているが、本発明に係るフラックス供給・回収措置は、フラックスチャンバを必ずしも傾斜させた部分に配置する必要はない。   In the above-described embodiment, the flux chamber 14 is disposed in the portion where the transfer belt 12 is inclined, and the idler roller 22 functions as a part of the endless rotation mechanism of the transfer belt 12 and the movement of the transfer belt 12. Although the configuration of the belt guide mechanism for changing the direction is shared and the configuration is simplified, the flux supply / recovery measure according to the present invention is arranged in a portion where the flux chamber is not necessarily inclined. do not have to.

また、上記実施形態においては、移送ベルト12の進行方向の変更を、アイドラローラ22を利用して行うようにしていたが、本発明においては、移送ベルトの進行方向をフラックスチャンバが存在する側と逆の側に変更する構成についても、この方法に限定されない。例えば、図1のアイドラローラ22に代え、摩擦係数の小さな素材で所望の(変更させようとする)形状に形成したバックアッププレート(図示略)を、この位置に移送ベルト12の背面側から当接させるようにしても進行方向を変更することができる。この方法は、特に間隙60付近の移送ベルト12の挙動を安定させることができるため、間隙60の高さ調整を、より正確に、且つ、少ないばらつきで行うことができる。   Further, in the above embodiment, the moving belt 12 is changed in the traveling direction by using the idler roller 22, but in the present invention, the moving belt is moved in the direction where the flux chamber exists. The configuration for changing to the opposite side is not limited to this method. For example, instead of the idler roller 22 in FIG. 1, a backup plate (not shown) formed with a material having a small friction coefficient and having a desired shape (not shown) is brought into contact with this position from the back side of the transfer belt 12. The traveling direction can be changed even if it is made to do. Since this method can stabilize the behavior of the transfer belt 12 particularly in the vicinity of the gap 60, the height of the gap 60 can be adjusted more accurately and with less variation.

また、上記実施形態では、転写の際、移送ベルト12を停止させるようにしていたが、これを停止させずに、吸着ヘッド78を移送ベルト12の進行と同期して水平方向に移動させながら吸着ノズル80を降下させるようにしてもよい。   In the above embodiment, the transfer belt 12 is stopped at the time of transfer. However, the suction belt 78 is moved in the horizontal direction in synchronization with the movement of the transfer belt 12 without stopping the transfer belt 12. The nozzle 80 may be lowered.

電子部品実装装置において該電子部品のバンプにフラックスを転写する装置に適用できる。   The present invention can be applied to an apparatus for transferring flux onto bumps of an electronic component mounting apparatus.

本発明に係るフラックス供給・回収装置の第1実施形態が適用されたフラックス転写装置の全体概略正面図1 is an overall schematic front view of a flux transfer device to which a first embodiment of a flux supply / recovery device according to the present invention is applied. 第1実施形態が適用されたフラックス転写装置の要部拡大断面図(図1の矢視II付近)The principal part expanded sectional view of the flux transcription | transfer apparatus to which 1st Embodiment was applied (the arrow II vicinity of FIG. 1) 第1実施形態が適用されたフラックス転写装置の全体概略正面図(図1)を矢視III方向から見た斜め平面図Oblique plan view of the overall schematic front view (FIG. 1) of the flux transfer apparatus to which the first embodiment is applied as viewed from the direction of arrow III. 第1実施形態に係るフラックス供給・回収装置の制御ブロック図Control block diagram of the flux supply / recovery device according to the first embodiment 第1実施形態が適用されたフラックス転写装置におけるフラックスの供給・回収作用を説明するための工程図Process drawing for demonstrating the supply and collection | recovery effect | action of the flux in the flux transcription | transfer apparatus to which 1st Embodiment was applied 第1実施形態が適用されたフラックス転写装置の動作を示すフローチャートThe flowchart which shows operation | movement of the flux transfer apparatus with which 1st Embodiment was applied. 本発明に係るフラックス供給・回収装置の第2実施形態が適用されたフラックス転写装置の主要部を示す正面図((A)はバックアッププレート上昇前、(B)はバックアッププレート上昇後)The front view which shows the principal part of the flux transcription | transfer apparatus to which 2nd Embodiment of the flux supply / collection apparatus which concerns on this invention was applied ((A) is before a backup plate raises, (B) is after a backup plate rises) 第2実施形態に係るフラックス供給・回収装置の制御ブロック図Control block diagram of flux supply / recovery device according to second embodiment 第2実施形態が適用されたフラックス転写装置の動作を示すフローチャートThe flowchart which shows operation | movement of the flux transfer apparatus with which 2nd Embodiment was applied. 本発明に係るフラックス供給・回収装置の第3実施形態が適用されたフラックス転写装置の主要部を示す正面図((A)は吸引開始前、(B)は吸引開始後)The front view which shows the principal part of the flux transcription | transfer apparatus with which 3rd Embodiment of the flux supply / collection apparatus which concerns on this invention was applied ((A) is before suction start, (B) is after suction start) 第3実施形態のバックアッププレートの一例を示す(A)斜視図、(B)側面図(A) Perspective view showing an example of a backup plate of the third embodiment, (B) side view 第3実施形態のバックアッププレートの他の一例を示す(A)斜視図、(B)側面図(A) A perspective view which shows other examples of the backup plate of 3rd Embodiment, (B) Side view 第3実施形態のバックアッププレートのさらに他の一例を示す(A)斜視図、(B)側面図(A) Perspective view showing still another example of backup plate of third embodiment, (B) side view 第3実施形態に係るフラックス供給・回収装置の制御ブロック図Control block diagram of flux supply / recovery device according to third embodiment 第3実施形態が適用されたフラックス転写装置の動作を示すフローチャートThe flowchart which shows operation | movement of the flux transfer apparatus with which 3rd Embodiment was applied. 第4実施形態が適用されたフラックス転写装置の動作を示すフローチャートThe flowchart which shows operation | movement of the flux transfer apparatus with which 4th Embodiment was applied. 従来のフラックス供給装置の構成を示す斜視図The perspective view which shows the structure of the conventional flux supply apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

10…転写装置
12…移送ベルト
12A…移送ベルトの表面
14…フラックスチャンバ
16…ベルトガイド機構
18…駆動機構
20…ブレード
22…アイドラローラ
30…フレーム
32…駆動ローラ
34…従動ローラ
36…アイドラローラ
36A…軸
38…テンショナねじ
40、42、43、44…バックアッププレート
44A…垂直連結孔
44B…水平連結孔
44C…栓
46…前面壁
48…上面壁
50…右面壁
52…左面壁
54…チャンバヒンジ
55…チャンバフック部
56…長孔
58…スプリング
59…チャンバ移動ねじ
60…間隙
62…膜厚検出センサ
64…チャンバ移動フレーム
66…ガイドレール
68…回収ゲートピン
70…回収ゲート開閉カム
72…回収ゲート
73…ゲートヒンジ
74…フラックス回収口
78…吸着ヘッド
80…吸着ノズル
82…電子部品
84…バンプ
102…駆動装置
102A…シリンダ
104…真空発生装置
104A…接続継ぎ手
104B…接続管
P1…所定の位置
L1…距離(オーバーハング)
F…フラックス
Ff…フラックス膜
S…間隙の高さ
t…フラックス膜の厚さ
W3…フラックス膜の幅
M1…移送ベルト駆動モータ
M2…フラックスチャンバ移動モータ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Transfer apparatus 12 ... Transfer belt 12A ... Transfer belt surface 14 ... Flux chamber 16 ... Belt guide mechanism 18 ... Drive mechanism 20 ... Blade 22 ... Idler roller 30 ... Frame 32 ... Drive roller 34 ... Driven roller 36 ... Idler roller 36A ... Shaft 38 ... Tensioner screw 40, 42, 43, 44 ... Backup plate 44A ... Vertical connection hole 44B ... Horizontal connection hole 44C ... Plug 46 ... Front wall 48 ... Top wall 50 ... Right side wall 52 ... Left side wall 54 ... Chamber hinge 55 ... chamber hook part 56 ... long hole 58 ... spring 59 ... chamber moving screw 60 ... gap 62 ... film thickness detection sensor 64 ... chamber moving frame 66 ... guide rail 68 ... recovery gate pin 70 ... recovery gate open / close cam 72 ... recovery gate 73 ... Gate hinge 74 ... Flux times Mouth 78 ... suction head 80 ... suction nozzle 82 ... electronic component 84 ... bump 102 ... driving device 102A ... cylinder 104 ... vacuum generator 104A ... connection joint 104B ... connecting pipe P1 ... place L1 ... distance (overhang)
F ... Flux Ff ... Flux film S ... Hap height t ... Flux film thickness W3 ... Flux film width M1 ... Transfer belt drive motor M2 ... Flux chamber movement motor

Claims (4)

電子部品実装装置におけるフラックス供給・回収装置において、
フラックスを載置可能な所定の幅を有し、エンドレスに進行する移送ベルトと、
該移送ベルトの表面に被さるように配置され、該移送ベルトの表面に当接可能なブレードを有すると共に、フラックスを貯留可能なフラックスチャンバと、
所定の位置から、前記移送ベルトの進行方向を、前記フラックスチャンバが存在する側と反対の側に変更するベルトガイド機構と、
前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルトの表面に沿って移動可能とする駆動機構と、を備え、
転写工程時に、前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルト上の下流側へ移動させ、前記所定の位置からの前記ブレードの距離を調整することにより、ブレードと移送ベルトとの間にフラックスを供給可能な間隙を可変的に形成可能とし、
転写工程完了後に、前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルト上の上流側へ移動させ、前記所定の位置からブレードを遠ざけることによって該ブレードを移送ベルトの表面に当接させると共に、移送ベルト上に残存するフラックスを前記フラックスチャンバの上流側に形成した回収口から回収可能としており、
更に、電子部品へのフラックス転写時に、前記移送ベルトを下から水平に支持するバックアッププレートを、前記移送ベルトの下に備えたことを特徴とする電子部品実装装置におけるフラックス供給・回収装置。
In the flux supply / recovery device for electronic component mounting equipment,
A transfer belt having a predetermined width on which the flux can be placed and proceeding endlessly;
A flux chamber that is disposed so as to cover the surface of the transfer belt, has a blade that can contact the surface of the transfer belt, and can store a flux;
A belt guide mechanism that changes a traveling direction of the transfer belt from a predetermined position to a side opposite to a side where the flux chamber exists;
A drive mechanism capable of moving the flux chamber along the surface of the transfer belt together with the blades,
During the transfer process, the flux chamber can be moved to the downstream side of the transfer belt together with the blade, and the flux can be supplied between the blade and the transfer belt by adjusting the distance of the blade from the predetermined position. The gap can be variably formed,
After completion of the transfer process, the flux chamber is moved to the upstream side of the transfer belt together with the blade, and the blade is brought into contact with the surface of the transfer belt by moving the blade away from the predetermined position. The remaining flux can be recovered from a recovery port formed on the upstream side of the flux chamber,
Further, the flux supply / recovery device in the electronic component mounting apparatus, further comprising a backup plate under the transfer belt for supporting the transfer belt horizontally from below when transferring the flux to the electronic component.
請求項1において、
前記バックアッププレートは、上下動することを特徴とする電子部品実装装置におけるフラックス供給・回収装置。
In claim 1,
The backup plate moves up and down, and is a flux supply / recovery device in an electronic component mounting apparatus.
請求項1又は2において、
前記バックアッププレートは、吸引孔を有することを特徴とする電子部品実装装置におけるフラックス供給・回収装置。
In claim 1 or 2,
The backup plate has a suction hole, and is a flux supply / recovery device in an electronic component mounting apparatus.
請求項3において、
前記バックアッププレートは、少なくとも前記移送ベルトと接触する表層部が、多孔質素材からなることを特徴とする電子部品実装装置におけるフラックス供給・回収装置。
In claim 3,
A flux supply / recovery device in an electronic component mounting apparatus, wherein at least a surface layer portion of the backup plate that contacts the transfer belt is made of a porous material.
JP2006317333A 2006-11-24 2006-11-24 Flux supply / recovery device for electronic component mounting equipment Expired - Fee Related JP4783717B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006317333A JP4783717B2 (en) 2006-11-24 2006-11-24 Flux supply / recovery device for electronic component mounting equipment
CN2007101875547A CN101188930B (en) 2006-11-24 2007-11-26 Supplying and reclaiming device for viscous electric material in electronic components mounting device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006317333A JP4783717B2 (en) 2006-11-24 2006-11-24 Flux supply / recovery device for electronic component mounting equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008130985A true JP2008130985A (en) 2008-06-05
JP4783717B2 JP4783717B2 (en) 2011-09-28

Family

ID=39481031

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006317333A Expired - Fee Related JP4783717B2 (en) 2006-11-24 2006-11-24 Flux supply / recovery device for electronic component mounting equipment

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP4783717B2 (en)
CN (1) CN101188930B (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015097731A1 (en) 2013-12-23 2015-07-02 富士機械製造株式会社 Electronic component mounting machine

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09283311A (en) * 1996-04-16 1997-10-31 Nitto Kogyo Co Ltd Electrode coating means for chip electronic component

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09283311A (en) * 1996-04-16 1997-10-31 Nitto Kogyo Co Ltd Electrode coating means for chip electronic component

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015097731A1 (en) 2013-12-23 2015-07-02 富士機械製造株式会社 Electronic component mounting machine
US9961818B2 (en) 2013-12-23 2018-05-01 Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. Electronic component mounting machine including a film thickness gauge

Also Published As

Publication number Publication date
CN101188930B (en) 2012-02-01
CN101188930A (en) 2008-05-28
JP4783717B2 (en) 2011-09-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7497365B2 (en) Paste coater and PoP automatic mounting apparatus employing the same
KR20030076267A (en) Apparatus and method for fabricating bonded substrate
JP4783717B2 (en) Flux supply / recovery device for electronic component mounting equipment
JP3048789B2 (en) Fluid coating device
JP6324772B2 (en) Die bonder dipping mechanism and flip chip bonder
JP2004303797A (en) Packaging method of electronic component
TWI590875B (en) Viscous fluid supply device and component mounting device
JP2001062370A (en) Application method and apparatus
JP6450455B2 (en) Viscous fluid supply device and component mounting device
JP4890830B2 (en) Flux supply / recovery device for electronic component mounting equipment
JP4799988B2 (en) Flux transfer device for electronic component mounting equipment
TWI781812B (en) Application apparatus and application method
JP3811740B2 (en) Coating equipment
JP2009039624A (en) Slit-coat type coating method
CN108000592A (en) Adhesive tape cutting method and adhesive tape cutting device
JP2004141810A (en) Coating equipment
JP2004241685A (en) Pellet carrying device, and method and device for pellet bonding
JP4409969B2 (en) Coating equipment
JP2012199326A (en) Flux transfer device
KR950002148Y1 (en) Roll coating apparatus for forming film of uniform thickness
JP2001321710A (en) Coating apparatus
JPH05226884A (en) Part mounting device
JP2004186317A (en) Surface mounting apparatus
JPH0263199A (en) Electronic component mounting equipment
JPH03181362A (en) Device for applying solder

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20091104

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110315

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110412

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110608

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110628

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110711

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140715

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees