JP2008120636A - Water-resistant aluminum nitride powder and method for producing granules containing the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an aluminum nitride powder and granules having excellent water-resistance, which are obtained without using an organic solvent because there is a problem of safety such as inflammability or toxicity after drying in a conventional production method of the water-resistant aluminum nitride powder using an organic solvent. <P>SOLUTION: A method for producing the water-resistant aluminum nitride powder or granules containing the water-resistant aluminum nitride includes a process for treating an aluminum nitride powder with an aqueous solution of a dicarboxylic acid. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、耐水性に優れた窒化アルミニウム粉末及びそれを含む顆粒の製造方法に関する。   The present invention relates to an aluminum nitride powder excellent in water resistance and a method for producing granules containing the same.

窒化アルミニウムは熱伝導性、機械的強度及び電気絶縁性に優れた特性を持った物質として知られており、構造用材料、機能用材料等多方面に使用されつつある。これらの用途に使用する場合、焼結助剤と混合された顆粒状のものが好まれる。しかし、同時に窒化アルミニウム粉末には、加水分解されやすいという問題点がある。   Aluminum nitride is known as a substance having excellent thermal conductivity, mechanical strength, and electrical insulation, and is being used in various fields such as structural materials and functional materials. When used in these applications, granular materials mixed with a sintering aid are preferred. However, at the same time, the aluminum nitride powder has a problem that it is easily hydrolyzed.

そこで従来から窒化アルミニウム粉末の耐水性を付与する検討がなされている。例えば、ドデカン2酸を表面処理剤として用いて窒化アルミニウムを表面処理することが知られている(特許文献1)。
特開平6−345538号公報
Therefore, studies have been made to impart water resistance to aluminum nitride powder. For example, it is known that aluminum nitride is surface treated using dodecanedioic acid as a surface treating agent (Patent Document 1).
JP-A-6-345538

特許文献1に記載の方法では、ドデカン2酸と窒化アルミニウムを混合する際に有機溶媒であるイソプロピルアルコールを分散媒として用いている。しかし、有機溶剤を用いることで、例えば乾燥後の引火性や毒性などの安全性に関する問題が生じるおそれがある。   In the method described in Patent Document 1, isopropyl alcohol, which is an organic solvent, is used as a dispersion medium when mixing dodecanedioic acid and aluminum nitride. However, the use of an organic solvent may cause safety problems such as flammability and toxicity after drying.

そこで本発明は、有機溶媒を使用せずに優れた耐水性を有する窒化アルミニウム粉末及び顆粒を提供することを目的とする。   Then, an object of this invention is to provide the aluminum nitride powder and granule which have the outstanding water resistance, without using an organic solvent.

本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、分散媒として水を用いた場合であっても耐水性を有する窒化アルミニウム粉末が得られることを見いだし、本発明を完成した。すなわち、本発明は、窒化アルミニウム粉末をジカルボン酸の水溶液で処理する工程を含む、耐水性窒化アルミニウム粉末又は耐水性窒化アルミニウムを含む顆粒の製造方法である。   As a result of intensive studies, the present inventors have found that an aluminum nitride powder having water resistance can be obtained even when water is used as a dispersion medium, and the present invention has been completed. That is, this invention is a manufacturing method of the granule containing the water-resistant aluminum nitride powder or water-resistant aluminum nitride including the process of processing aluminum nitride powder with the aqueous solution of dicarboxylic acid.

本発明により、有機溶媒を使用せずに優れた耐水性を有する窒化アルミニウム粉末又はそれを含む顆粒を製造することができ、工業的にきわめて価値がある。   According to the present invention, an aluminum nitride powder having excellent water resistance or a granule containing the same can be produced without using an organic solvent, which is extremely valuable industrially.

以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の製造方法は、窒化アルミニウム粉末をジカルボン酸の水溶液で処理する工程を含む。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The production method of the present invention includes a step of treating aluminum nitride powder with an aqueous solution of dicarboxylic acid.

本発明で用いる窒化アルミニウム粉末は、その製造方法によって限定されることはなく、通常用いられる窒化アルミニウム粉末が使用できる。例えば、アルキルアルミニウムとアンモニアを反応させた後、加熱するアルキルアルミ法、アルミナと炭素の混合物を窒素中で加熱するアルミナ還元法、アルミニウムと窒素で反応させる直接窒化法等で製造した窒化アルミニウム粉末がいずれも好適に使用可能である。   The aluminum nitride powder used in the present invention is not limited by the production method, and a commonly used aluminum nitride powder can be used. For example, an aluminum nitride powder produced by reacting an alkylaluminum with ammonia and then heating it, an alumina reduction method in which a mixture of alumina and carbon is heated in nitrogen, a direct nitridation method in which aluminum and nitrogen are reacted, etc. Either can be used suitably.

本発明の製造方法では、窒化アルミニウム粉末をジカルボン酸の水溶液で処理する。水溶液で処理することによって、有機溶剤による引火性、毒性といった安全性の問題が生じることなく、耐水性窒化アルミニウム粉末を得ることができる。ここで用いるジカルボン酸としては、水溶性であれば良い。好ましいジカルボン酸としては、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸などの低級のジカルボン酸が挙げられ、シュウ酸が特に好ましい。   In the production method of the present invention, the aluminum nitride powder is treated with an aqueous solution of dicarboxylic acid. By treating with an aqueous solution, water-resistant aluminum nitride powder can be obtained without causing safety problems such as flammability and toxicity due to organic solvents. The dicarboxylic acid used here may be water-soluble. Preferred dicarboxylic acids include lower dicarboxylic acids such as oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, and oxalic acid is particularly preferred.

本発明者らは、本発明の製造方法によって窒化アルミニウムに対して、高温耐水性、長時間耐水性等の性能を付与できることを実験的に確認している。このメカニズムの詳細は不明であるが、ジカルボン酸の水溶液で処理することで、窒化アルミニウム粉末の表面に難溶性のジカルボン酸塩が形成され、これを乾燥することにより、ジカルボン酸塩が熱分解し同時に窒化アルミニウム粉末の表面に緻密な酸化アルミニウム層が形成されることためであると推測できる。   The present inventors have experimentally confirmed that performances such as high temperature water resistance and long time water resistance can be imparted to aluminum nitride by the production method of the present invention. The details of this mechanism are unknown, but by treating with an aqueous solution of dicarboxylic acid, a hardly soluble dicarboxylate is formed on the surface of the aluminum nitride powder, and drying this results in thermal decomposition of the dicarboxylate. At the same time, it can be assumed that a dense aluminum oxide layer is formed on the surface of the aluminum nitride powder.

また、水溶液中に溶解しているシュウ酸の量は、窒化アルミニウム粉末の表面積当たり、1×10−6〜1×10−4mol/mの範囲であることが好ましい。2×10−6〜5×10−5mol/mの範囲であることが更に好ましく、3×10−6〜8×10−5mol/mの範囲であることが特に好ましい。窒化アルミニウム粉末の表面積当たりのシュウ酸量がこの範囲内にあることで、良好な耐水性を得ることができ、更に、窒化アルミニウム粉末中の酸素含有量が高くなりすぎないため、窒化アルミニウム本来の特性である熱伝導性も良好となり好ましい。 The amount of oxalic acid dissolved in the aqueous solution is preferably in the range of 1 × 10 −6 to 1 × 10 −4 mol / m 2 per surface area of the aluminum nitride powder. The range is more preferably 2 × 10 −6 to 5 × 10 −5 mol / m 2 , and particularly preferably 3 × 10 −6 to 8 × 10 −5 mol / m 2 . When the amount of oxalic acid per surface area of the aluminum nitride powder is within this range, good water resistance can be obtained, and furthermore, the oxygen content in the aluminum nitride powder does not become too high. The thermal conductivity, which is a characteristic, is also favorable and preferable.

本発明によって得られる耐水性窒化アルミニウム粉末は、好ましくは酸化アルミニウムを0.1〜10重量%の範囲で含有し、更に好ましくは0.2〜8重量%、特に好ましくは0.3〜5重量の範囲で含有する。耐水性窒化アルミニウム粉末の酸化アルミニウム含有量がこの範囲内にあることで、良好な耐水性を得ることができ、更に、窒化アルミニウム粉末中の酸素含有量が高くなりすぎないため、窒化アルミニウム本来の特性である熱伝導性も良好となり好ましい。   The water resistant aluminum nitride powder obtained by the present invention preferably contains aluminum oxide in the range of 0.1 to 10% by weight, more preferably 0.2 to 8% by weight, particularly preferably 0.3 to 5% by weight. In the range of. When the aluminum oxide content of the water-resistant aluminum nitride powder is within this range, good water resistance can be obtained, and furthermore, the oxygen content in the aluminum nitride powder does not become too high. The thermal conductivity, which is a characteristic, is also favorable and preferable.

耐水性窒化アルミニウム中の酸化アルミニウムの含有量は、蛍光X線によって測定することが出来る。蛍光X線で酸素の定量分析を行い、求められた酸素量酸化アルミニウム量を求めることができる。   The content of aluminum oxide in the water-resistant aluminum nitride can be measured by fluorescent X-rays. Quantitative analysis of oxygen can be performed with fluorescent X-rays, and the obtained amount of oxygen can be obtained.

窒化アルミニウム粉末に対するシュウ酸溶液の使用量は特に制限はないが、窒化アルミニウム粉末100質量部に対して25〜200質量部の範囲が好ましく、30〜100質量部であることが更に好ましい。この範囲とすることで、窒化アルミニウム粉末をシュウ酸水溶液を均一に混合することができ、好ましい。   Although the usage-amount of the oxalic acid solution with respect to aluminum nitride powder does not have a restriction | limiting in particular, The range of 25-200 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of aluminum nitride powder, and it is still more preferable that it is 30-100 mass parts. By setting it in this range, the aluminum nitride powder can be uniformly mixed with the oxalic acid aqueous solution, which is preferable.

窒化アルミニウム粉末をシュウ酸水溶液で処理する温度は、0〜70℃の範囲が好ましく、18〜50℃の範囲が更に好ましい。この範囲内とすることで、窒化アルミニウム粉末とシュウ酸水溶液が速やかに反応し、更に、処理容器からの不純物の混入がなく、窒化アルミニウム本来の特性である熱伝導性も良好となり好ましい。   The temperature at which the aluminum nitride powder is treated with the oxalic acid aqueous solution is preferably in the range of 0 to 70 ° C, and more preferably in the range of 18 to 50 ° C. By setting it within this range, the aluminum nitride powder and the aqueous oxalic acid solution react quickly, and further, no impurities are mixed from the processing vessel, and the thermal conductivity, which is the original characteristic of aluminum nitride, is favorable.

窒化アルミニウム粉末をシュウ酸水溶液で処理する時間は、シュウ酸の濃度、使用量、温度等により一概にはいえないが5〜120分が好ましく、10〜60分が更に好ましい。   The time for treating the aluminum nitride powder with the oxalic acid aqueous solution is not generally determined depending on the concentration of oxalic acid, the amount used, the temperature, etc., but is preferably 5 to 120 minutes, more preferably 10 to 60 minutes.

ジカルボン酸水溶液で処理された窒化アルミニウムのスラリーは、そのまま乾燥することができる。乾燥には、スラリーをバットに移して、乾燥器にて乾燥する方法や、スプレードライヤーを用いて噴霧乾燥する方法等を用いることができる。乾燥器で乾燥する場合、スラリーを80〜300℃で3〜15時間乾燥させることができる。用いる乾燥機には、熱風乾燥機、蒸気乾燥機等を用いることができる。乾燥したケーキは凝集している場合があるので、乾燥後に粉砕を行うこともできる。粉砕には、ジェットミル、サンプルミル、ボールミル等を用いることができる。なお、この粉砕は、二次粒子を一次粒子にすることであり、被覆表面を破壊しないことが好ましい。   The aluminum nitride slurry treated with the dicarboxylic acid aqueous solution can be dried as it is. For drying, a method of transferring the slurry to a vat and drying with a drier, a method of spray drying using a spray dryer, or the like can be used. When drying with a drier, the slurry can be dried at 80-300 ° C. for 3-15 hours. As the dryer used, a hot air dryer, a steam dryer or the like can be used. Since the dried cake may be agglomerated, it can be pulverized after drying. For the pulverization, a jet mill, a sample mill, a ball mill or the like can be used. In addition, this grinding | pulverization is making a secondary particle into a primary particle, and it is preferable not to destroy a coating | coated surface.

また、顆粒状の乾燥粉を得るには、スプレードライヤーで乾燥することができる。スプレードライヤーは、アトマイザーと呼ばれる噴霧器で噴霧し気流乾燥することで、球状の顆粒をつくることができる。気流を発生する供給側のガス温度は、150〜200℃に設定して瞬時に乾燥させることができる。   Moreover, in order to obtain granular dry powder, it can be dried with a spray dryer. A spray dryer can produce spherical granules by spraying with an atomizer called an atomizer and air-drying. The gas temperature on the supply side that generates the airflow can be set to 150 to 200 ° C. and dried instantaneously.

顆粒状の窒化アルミニウムの用途は、これを高温で焼結させて焼結板や、球状フィラーといった材料の原料として用いられる。この焼結を迅速かつ低エネルギーで行うために、焼結助剤が用いられる。従ってこれらの焼結助剤を予めスラリーに添加して、スプレードライヤーで乾燥させて、顆粒をつくることが出来る。   Granular aluminum nitride is used as a raw material for materials such as sintered plates and spherical fillers by sintering at high temperatures. In order to perform this sintering quickly and with low energy, a sintering aid is used. Therefore, these sintering aids can be added to the slurry in advance and dried with a spray dryer to produce granules.

以下、本発明を実施例によって説明する。   Hereinafter, the present invention will be described by way of examples.

<酸化アルミニウムの含有量の測定>
本実施例において、酸化アルミニウムの含有量は以下のように求めた。株式会社リガク製の全自動蛍光X線回析装置3070型を用い、また分光結晶にはRX−35を使用した。酸素量の既知資料を用い、2θ=52.61の酸素ピークを測定し検量線を作成した。その後、窒化アルミニウムのサンプルを測定し、この検量線から酸素量を求めた。
<Measurement of aluminum oxide content>
In this example, the content of aluminum oxide was determined as follows. A fully automatic fluorescent X-ray diffraction apparatus 3070 manufactured by Rigaku Corporation was used, and RX-35 was used as a spectroscopic crystal. A calibration curve was created by measuring the oxygen peak at 2θ = 52.61 using known oxygen content data. Thereafter, a sample of aluminum nitride was measured, and the amount of oxygen was determined from this calibration curve.

<窒化アルミニウムの耐水性試験>
窒化アルミニウム粉末又は窒化アルミニウムを含む顆粒1gを60℃の純水100g中に分散させた。この分散液を60℃に維持し、pH変化を経時的に測定した。
<Water resistance test of aluminum nitride>
1 g of granules containing aluminum nitride powder or aluminum nitride was dispersed in 100 g of pure water at 60 ° C. This dispersion was maintained at 60 ° C., and the change in pH was measured over time.

(実施例1)
容量5Lのガラス製容器に純水500Lとシュウ酸二水和物10gを混合し、シュウ酸水溶液を調製した後、このシュウ酸水溶液に比表面積10m/gの窒化アルミニウム粉末1kgを加えて水溶液中に分散させ、処理温度30℃で30分間撹拌処理を行った。
このときのシュウ酸量は、窒化アルミニウム粉末の表面積当たり、8×10−6mol/mであった。次にこのスラリーを120℃で熱風乾燥乾燥器にて5時間乾燥し、乾燥後、ジェットミルで粉砕し、耐水性窒化アルミニウム粉末を得た。耐水性窒化アルミニウム粉末の耐水性試験結果を、表1に示す。
更に、この耐水性窒化アルミニウム粉末をプレス成形し、N雰囲気炉で1700℃にて焼結させ、熱伝導度を測定したところ、170W/k・mであった。
(Example 1)
After mixing 500 L of pure water and 10 g of oxalic acid dihydrate in a glass container having a capacity of 5 L to prepare an aqueous oxalic acid solution, 1 kg of aluminum nitride powder having a specific surface area of 10 m 2 / g is added to the aqueous oxalic acid solution to prepare an aqueous solution. The mixture was dispersed therein and stirred at a treatment temperature of 30 ° C. for 30 minutes.
The amount of oxalic acid at this time was 8 × 10 −6 mol / m 2 per surface area of the aluminum nitride powder. Next, this slurry was dried at 120 ° C. with a hot air dryer for 5 hours, dried, and then pulverized with a jet mill to obtain a water-resistant aluminum nitride powder. Table 1 shows the results of the water resistance test of the water resistant aluminum nitride powder.
Further, this water-resistant aluminum nitride powder was press-molded, sintered at 1700 ° C. in an N 2 atmosphere furnace, and the thermal conductivity was measured and found to be 170 W / k · m.

(実施例2〜6)
使用した窒化アルミニウム粉末及びシュウ酸二水和物量を表1に示す量に変更した以外は、実施例1と同様に行った。その結果を表1に示す。
(Examples 2 to 6)
The same procedure as in Example 1 was conducted except that the amounts of aluminum nitride powder and oxalic acid dihydrate used were changed to the amounts shown in Table 1. The results are shown in Table 1.

(実施例7)
容量5Lのガラス製容器に純水900Lとシュウ酸二水和物10gを混合し、シュウ酸水溶液を調製した後、このシュウ酸水溶液に平均粒径1μmの窒化アルミニウム粉末1kgを分散させ、処理温度30℃で30分間撹拌処理を行った。次にこのスラリーをスプレードライヤ−で噴霧乾燥した。尚、スプレードライヤーの供給側の熱風の温度は200℃とした。その結果を表1に示す。
(Example 7)
After mixing 900 L of pure water and 10 g of oxalic acid dihydrate in a 5 L glass container to prepare an oxalic acid aqueous solution, 1 kg of aluminum nitride powder having an average particle diameter of 1 μm is dispersed in this oxalic acid aqueous solution, and the processing temperature Stir processing was performed at 30 ° C. for 30 minutes. Next, this slurry was spray-dried with a spray dryer. The temperature of the hot air on the supply side of the spray dryer was 200 ° C. The results are shown in Table 1.

(実施例8)
容量5Lのガラス製容器に純水900Lとシュウ酸二水和物10gを混合し、シュウ酸水溶液を調製した後、このシュウ酸水溶液に平均粒径1μmの窒化アルミニウム粉末1kg、を分散させ、処理温度30℃で20分間撹拌処理を行った。次に、このスラリーにY(和光純薬1級試薬)3g、CaCO(和光純薬1級試薬)3.5gを加え、更に10分間撹拌処理を行った。このスラリーにポリビニルアルコールの10%水溶液を100g加え、ゆっくりと1分間撹拌したのち、スプレードライヤ−で噴霧乾燥した。尚、スプレードライヤーの供給側の熱風の温度は200℃とした。得られた窒化アルミニウムを含む顆粒の耐水性試験の結果を表1に示す。
得られた顆粒は、平均粒径50μmで、この顆粒を原料として、1500〜2000℃で焼成すれば、球状の焼結フィラーを造ることが出来る。またこの顆粒を加圧成形して1500〜2000℃で焼成すれば、焼結板を造ることが出来る。
(Example 8)
After mixing 900 L of pure water and 10 g of oxalic acid dihydrate in a glass container with a capacity of 5 L to prepare an oxalic acid aqueous solution, 1 kg of aluminum nitride powder having an average particle diameter of 1 μm is dispersed in the oxalic acid aqueous solution, followed by treatment. Stirring was performed at a temperature of 30 ° C. for 20 minutes. Next, 3 g of Y 2 O 3 (Wako Pure Chemicals Grade 1 Reagent) and 3.5 g of CaCO 3 (Wako Pure Chemicals Grade 1 Reagent) were added to this slurry, and further stirred for 10 minutes. To this slurry, 100 g of a 10% aqueous solution of polyvinyl alcohol was added, and after slowly stirring for 1 minute, it was spray-dried with a spray dryer. The temperature of the hot air on the supply side of the spray dryer was 200 ° C. Table 1 shows the results of the water resistance test of the obtained granules containing aluminum nitride.
The obtained granule has an average particle size of 50 μm. If this granule is used as a raw material and fired at 1500 to 2000 ° C., a spherical sintered filler can be produced. Moreover, if this granule is pressure-molded and fired at 1500 to 2000 ° C., a sintered plate can be produced.

(比較例1)
実施例1で使用した窒化アルミニウム1gを用い、実施例1と同様に耐水性試験を行った。結果は、表1に示す通り5分後にはpH値は9を越える結果であった。また、同時にアンモニア臭が発生した。これは、窒化アルミニウムが加水分解していることを示すものである。
(Comparative Example 1)
Using 1 g of aluminum nitride used in Example 1, a water resistance test was conducted in the same manner as in Example 1. As a result, as shown in Table 1, the pH value exceeded 9 after 5 minutes. At the same time, an ammonia odor was generated. This indicates that aluminum nitride is hydrolyzed.

Figure 2008120636
Figure 2008120636

Claims (4)

窒化アルミニウム粉末をジカルボン酸の水溶液で処理する工程を含む、耐水性窒化アルミニウム粉末又は耐水性窒化アルミニウムを含む顆粒の製造方法。 A method for producing granules comprising water-resistant aluminum nitride powder or water-resistant aluminum nitride, comprising a step of treating the aluminum nitride powder with an aqueous solution of dicarboxylic acid. ジカルボン酸が、シュウ酸であることを特徴とする請求項1記載の製造方法。 The production method according to claim 1, wherein the dicarboxylic acid is oxalic acid. 処理溶液に含まれるシュウ酸の量(mol)が、窒化アルミニウム粉末の表面積(m)に対して1×10−6〜1×10−4mol/mであることを特徴とする請求項2記載の製造方法。 The amount (mol) of oxalic acid contained in the treatment solution is 1 × 10 −6 to 1 × 10 −4 mol / m 2 with respect to the surface area (m 2 ) of the aluminum nitride powder. 2. The production method according to 2. 請求項1〜3の何れかの方法で製造され、酸化アルミニウムを0.1〜10質量%含有する耐水性窒化アルミニウム粉末又は耐水性窒化アルミニウムを含む顆粒。 A granule containing water-resistant aluminum nitride powder or water-resistant aluminum nitride produced by the method according to any one of claims 1 to 3 and containing 0.1 to 10% by mass of aluminum oxide.
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