JP2008110444A - Drill for machining glass substrate for information recording medium - Google Patents

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義弘 松田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drill for machining a glass substrate for information recording medium, with excellent manufacturing efficiency. <P>SOLUTION: This drill for processing a glass substrate for information recording medium, for machining a glass substrate with a circular hole in the center of a disc from a plate glass larger than the glass substrate, enables to separate an inside diameter cutter for machining the outside diameter of the disc and the circular hole at the same time and for machining the circular hole from an outside diameter cutter for containing the inside diameter cutter and for machining the outside diameter of the disc. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、情報記録媒体用ガラス基板加工用ドリルに関する。   The present invention relates to a drill for processing a glass substrate for an information recording medium.

近年、コンピュータの普及に伴い外部記憶装置の一つであるハードディスクの小型化、高容量化などの高性能化への要求は、非常に高まってきている。また同時に、コンピュータの低価格化に伴って、ハードディスクの低価格化が非常に要求されてきている。磁気ディスク用の基板材料としては、アルミニュウム合金が主として用いられてきた。しかし、より強度が大きく、耐熱性も良好で、表面硬度が高く、高精度な平滑性の要求に十分応えることができる磁気ディスク用基板として、ガラス、セラミック、カーボンなど新しい材料が提案されており、中でも、ガラス基板は広く検討されている。上記の磁気ディスク用の基板は、円板状の基板の外周に同心とする内孔が設けてある。このような円板状のガラス基板を得るため、板状ガラスを外周加工、内孔加工を行って円板状ガラス基板としている（例えば、特許文献１参照）。その後、基板表面にスパッタリングによって磁性膜を形成して情報記録媒体を得ることが行われている。内孔を有する円板状のガラス基板を得る方法としては、上記の様に外周加工、内孔加工を別々に行う方法以外に、外周加工と内孔加工とを同時に加工できる同心円状のダイヤモンド砥石を設けた加工用ドリルを使用する方法がある（特許文献２，特許文献３参照）。
特開２００５−６７９４９号公報 特開平１１−１４９６６９号公報 特開２００２−８２２４号公報 In recent years, with the widespread use of computers, the demand for high performance such as downsizing and high capacity of a hard disk, which is one of external storage devices, has been greatly increased. At the same time, along with the price reduction of computers, there is a great demand for price reduction of hard disks. As a substrate material for a magnetic disk, an aluminum alloy has been mainly used. However, new materials such as glass, ceramic, and carbon have been proposed as substrates for magnetic disks that can meet the demands for higher strength, better heat resistance, higher surface hardness, and high precision smoothness. Of these, glass substrates are widely studied. The above magnetic disk substrate has a concentric inner hole formed on the outer periphery of the disk-shaped substrate. In order to obtain such a disk-shaped glass substrate, the disk-shaped glass is subjected to outer periphery processing and inner hole processing to form a disk-shaped glass substrate (see, for example, Patent Document 1). Thereafter, an information recording medium is obtained by forming a magnetic film on the surface of the substrate by sputtering. As a method of obtaining a disk-shaped glass substrate having an inner hole, a concentric diamond grindstone capable of simultaneously processing the outer periphery processing and the inner hole processing in addition to the method of performing the outer periphery processing and the inner hole processing separately as described above. There is a method of using a machining drill provided with (see Patent Document 2 and Patent Document 3).
JP 2005-67949 A JP 11-149669 A Japanese Patent Laid-Open No. 2002-8224

しかしながら、特許文献１に記載の円板状ガラス基板の加工においては、外周加工と内孔加工とを別々に行うため、外周と内孔の内周とを精度良く同心とすることが困難である。また、特許文献２及び特許文献３においては、外周加工のダイヤモンド砥石と内孔加工のダイヤモンド砥石とが一体となっているため、一方のダイヤモンド砥石が消耗して交換が必要な場合、他方が良好であっても交換する必要が有り、製造コストがアップして製造効率が良くないといった課題があった。   However, in the processing of the disk-shaped glass substrate described in Patent Document 1, since the outer periphery processing and the inner hole processing are performed separately, it is difficult to make the outer periphery and the inner periphery of the inner hole concentric with high accuracy. . In Patent Document 2 and Patent Document 3, since the outer peripherally processed diamond grindstone and the inner hole processed diamond grindstone are integrated, when one diamond grindstone is consumed and needs to be replaced, the other is good. However, there is a problem that it is necessary to replace it, and the manufacturing cost increases and the manufacturing efficiency is not good.

本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、製造効率の良い情報記録媒体用ガラス基板を加工する情報記録媒体用ガラス基板加工用ドリルを提供することである。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a glass substrate processing drill for an information recording medium for processing a glass substrate for an information recording medium with high manufacturing efficiency. It is.

上記の課題は、以下の構成により解決される。   Said subject is solved by the following structures.

１． 円板の中央に円形の孔を有するガラス基板を前記ガラス基板より大きな板状のガラスから加工する情報記録媒体用ガラス基板加工用ドリルにおいて、
前記円形の孔を加工する内径カッターと前記内径カッターを内包し前記円板の外径を加工する外径カッターとが分離可能であることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板加工用ドリル。 1. In a glass substrate processing drill for information recording medium for processing a glass substrate having a circular hole in the center of a disc from a plate-like glass larger than the glass substrate,
A drill for processing a glass substrate for an information recording medium, wherein an inner diameter cutter that processes the circular hole and an outer diameter cutter that includes the inner diameter cutter and processes the outer diameter of the disk can be separated.

２． 前記内径カッターがテーパコレットを備え、前記外径カッターが前記テーパコレットに嵌合するテーパ穴を備えていることを特徴とする１に記載の情報記録媒体用ガラス基板加工用ドリル。   2. 2. The glass substrate processing drill for information recording medium according to 1, wherein the inner diameter cutter includes a taper collet, and the outer diameter cutter includes a taper hole that fits into the taper collet.

３． 前記内径カッターが雄ねじを備え、前記外径カッターが前記雄ねじに螺合する雌ねじを備えていることを特徴とする１に記載の情報記録媒体用ガラス基板加工用ドリル。   3. 2. The drill for processing a glass substrate for an information recording medium according to 1, wherein the inner diameter cutter includes a male screw, and the outer diameter cutter includes a female screw that is screwed onto the male screw.

本発明の情報記録媒体用ガラス基板加工用ドリルによれば、円形の孔と円板の外径とを同時に加工でき、且つ、円形の孔を加工する内径カッターと内径カッターを内包し円板の外径を加工する外径カッターとが分離可能としている。   According to the drill for processing a glass substrate for an information recording medium of the present invention, the circular hole and the outer diameter of the disk can be processed simultaneously, and the inner diameter cutter and the inner diameter cutter for processing the circular hole are included. The outer diameter cutter that processes the outer diameter can be separated.

よって、摩耗等により外径カッター又は内径カッターの何れかの交換が必要となった場合、外径カッターと内径カッターとが分離できるため、両方とも交換すること無く、摩耗等により交換を要するカッターのみを交換して板状のガラス基板から円板の中央に円形の孔を有するガラス基板を加工することができる。   Therefore, when it is necessary to replace either the outer diameter cutter or the inner diameter cutter due to wear or the like, the outer diameter cutter and the inner diameter cutter can be separated. And a glass substrate having a circular hole in the center of the disk can be processed from the plate-like glass substrate.

従って、製造効率の良い記録媒体用ガラス基板を製造する装置を提供することができる。   Therefore, it is possible to provide an apparatus for manufacturing a glass substrate for a recording medium with high manufacturing efficiency.

本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限らない。   Although the present invention will be described based on the illustrated embodiment, the present invention is not limited to the embodiment.

図１に情報記録媒体用ガラス基板の例を示す。例えば、０．８５インチ用磁気ディスク用ガラス基板の場合、図１に示す円形状のガラス基板１の外形寸法は、仕様にもよるが、概ね外周１４の直径がφ２２ｍｍ、内側にある孔１６の直径がφ６ｍｍ、厚み０．４ｍｍ程度である。磁気ディスク用ガラス基板の大きさは、上記の大きさに限定されず、１インチ用、２．５インチ用等としても良い。   FIG. 1 shows an example of a glass substrate for an information recording medium. For example, in the case of a glass substrate for a magnetic disk for 0.85 inches, the outer dimensions of the circular glass substrate 1 shown in FIG. The diameter is about 6 mm and the thickness is about 0.4 mm. The size of the glass substrate for magnetic disk is not limited to the above size, and may be for 1 inch, 2.5 inch, or the like.

このような円形状の磁気記録媒体用ガラス基板を得るために、例えば、磁気記録媒体用ガラス基板より大きい板状のガラス基板より製造するガラス基板製造装置６を模式的に図４に示す。６１は情報記録媒体用ガラス基板加工用ドリルである内外径カッター、６３は記録媒体用ガラス基板に加工される板状ガラス、６５は板状ガラスを固定する載置台、６７は内外径カッターを回転させる回転駆動軸である。板状ガラス６３は、一枚でも良いし複数枚としてもよい。内外径カッター６１は、内径を加工する内径カッター６１ｂと外径を加工する外径カッター６１ａとで構成され、内径を加工するカッターと外径を加工するカッターは同心状となるように内径カッター６１ｂ及び外径カッター６１ａが配置されている。   In order to obtain such a circular glass substrate for a magnetic recording medium, for example, a glass substrate manufacturing apparatus 6 that manufactures a plate-shaped glass substrate larger than the glass substrate for a magnetic recording medium is schematically shown in FIG. 61 is an inner / outer diameter cutter that is a drill for processing a glass substrate for an information recording medium, 63 is a plate glass processed into a glass substrate for a recording medium, 65 is a mounting table for fixing the plate glass, and 67 is a rotating inner / outer diameter cutter. This is a rotational drive shaft to be driven. The sheet glass 63 may be a single sheet or a plurality of sheets. The inner / outer diameter cutter 61 includes an inner diameter cutter 61b that processes the inner diameter and an outer diameter cutter 61a that processes the outer diameter. The inner diameter cutter 61b is configured so that the cutter that processes the inner diameter and the cutter that processes the outer diameter are concentric. And the outer diameter cutter 61a is arrange | positioned.

板状ガラス６３を載置台６５に固定し、次に板状ガラス６３の上方から、内外径カッター６１を図示する矢印Ａの方に回転駆動軸６７により回転させながら、降下させる。このようにして、板状ガラス６３を図１に示すような中央に円形の孔を有する円板状のガラス基板に加工する。   The plate glass 63 is fixed to the mounting table 65, and then the inner and outer diameter cutters 61 are lowered from above the plate glass 63 while being rotated by the rotary drive shaft 67 in the direction of arrow A shown in the figure. In this way, the plate-like glass 63 is processed into a disk-like glass substrate having a circular hole in the center as shown in FIG.

（第１の実施の形態）
第１の実施の形態として、図２に内外径カッターの例を示す。内外径カッター２は、内径カッター２２と外径カッター２１を有している。内径カッター２２及び外径カッター２１は、例えば鋼等からなる回転基体のカッター部２１ａ，２２ａに砥石Ａを備えている。砥石Ａは、カッター部２１ａ，２２ａの内周面、外周面及び先端部に備えられ、ガラス基板を切断することができるガラスより硬い、例えばダイヤモンドの砥粒がニッケルなどの金属でメッキ固着された電着砥石として構成される。 (First embodiment)
As a first embodiment, an example of an inner and outer diameter cutter is shown in FIG. The inner / outer diameter cutter 2 includes an inner diameter cutter 22 and an outer diameter cutter 21. The inner diameter cutter 22 and the outer diameter cutter 21 are provided with a grindstone A on cutter portions 21a and 22a of a rotating base made of, for example, steel. The grindstone A is provided on the inner peripheral surface, outer peripheral surface, and tip of the cutter portions 21a and 22a, and is harder than glass capable of cutting the glass substrate. For example, diamond abrasive grains are fixed by plating with a metal such as nickel. Configured as an electrodeposited grinding wheel.

外径カッター２１のカッター部２１ａの形状は円筒状であり、加工された板状ガラス基板は、円板状となって、この筒の内部に入ることになる。内径カッター２２の形状は円柱状であり、板状ガラスに円形の孔を形成する。従って、先の外径カッター２１により形成された円板状のガラス基板に円形の孔が同時に形成されることになる。このためには、図４に示す板状ガラス基板６３が回転しないように載置台６５に固定しておくことが必要である。   The shape of the cutter portion 21a of the outer diameter cutter 21 is a cylindrical shape, and the processed plate-like glass substrate becomes a disc shape and enters the inside of this cylinder. The shape of the inner diameter cutter 22 is cylindrical, and a circular hole is formed in the sheet glass. Accordingly, circular holes are simultaneously formed in the disk-shaped glass substrate formed by the outer diameter cutter 21. For this purpose, it is necessary to fix to the mounting table 65 so that the plate-like glass substrate 63 shown in FIG. 4 does not rotate.

内径カッター２２は、外径カッター２１に固定されている。内径カッター２２のカッター部２２ａと反対側の端部には外径カッター２１に固定するためのテーパコレット２２ｂが設けてある。一方、外径カッター２１には、内径カッター２２のテーパコレット２２ｂと嵌合するテーパ孔２１ｂが設けてある。内径カッター２２のテーパコレット２２ｂは、内径カッター２２の円柱状のカッター部２２ａを形成する時と同じ、所謂同時加工（例えば、旋造加工）にて形成することができる。このため、円柱形状のカッター部２２ａの回転軸中心とテーパコレット２２ｂの回転軸中心とがほぼ同一とすることができる。   The inner diameter cutter 22 is fixed to the outer diameter cutter 21. A taper collet 22b for fixing to the outer diameter cutter 21 is provided at the end of the inner diameter cutter 22 opposite to the cutter portion 22a. On the other hand, the outer diameter cutter 21 is provided with a tapered hole 21b that fits into the tapered collet 22b of the inner diameter cutter 22. The taper collet 22b of the inner diameter cutter 22 can be formed by the same so-called simultaneous processing (for example, turning processing) that is the same as when the cylindrical cutter portion 22a of the inner diameter cutter 22 is formed. For this reason, the rotation axis center of the cylindrical cutter portion 22a and the rotation axis center of the taper collet 22b can be made substantially the same.

同様に、外径カッター２１のテーパ孔２１ｂは、外径カッター２１の円筒状のカッター部２１ａを形成する時と同じ、所謂同時加工（例えば、旋造加工）にて形成することができる。このため、円筒状のカッター部２１ａの回転軸中心とテーパ孔２１ｂの回転軸中心とがほぼ同一とすることができる。よって、外径カッター２１のテーパ孔２１ｂと内径カッター２２のテーパコレット２２ｂを合わせると、外径カッター２１の円筒の断面形状と内径カッター２２の円柱の断面形状はほぼ同心に配置されることになる。   Similarly, the taper hole 21b of the outer diameter cutter 21 can be formed by the same so-called simultaneous processing (for example, turning processing) as that when the cylindrical cutter portion 21a of the outer diameter cutter 21 is formed. For this reason, the rotation axis center of the cylindrical cutter part 21a and the rotation axis center of the taper hole 21b can be made substantially the same. Therefore, when the tapered hole 21b of the outer diameter cutter 21 and the taper collet 22b of the inner diameter cutter 22 are combined, the cylindrical sectional shape of the outer diameter cutter 21 and the cylindrical sectional shape of the inner diameter cutter 22 are arranged substantially concentrically. .

従って、外径カッター２１と内径カッター２２とを一体化した内外径カッター２で加工される板状ガラスは、中央に円形の孔を同心位置に有する円板状のガラス基板とすることができる。尚、内径カッター２２を円柱状としているが、外径カッター２１と同様に円筒形状としてもよい。また、内径カッター２２のカッター部２２ａの先端部と外径カッター２１のカッター部２１ａの先端部が、加工される板ガラスの加工条件に応じて同じ平面内でも良いし、同じ平面内で無くてどちらかが長く（短く）てもよい。同じ平面内に２つのカッター部２１ａ，２２ａの先端が揃っていない場合、例えば、図４の加工される板ガラス６３の下側にダミー基板を設けても良い。   Therefore, the plate glass processed by the inner / outer diameter cutter 2 in which the outer diameter cutter 21 and the inner diameter cutter 22 are integrated can be a disk-shaped glass substrate having a circular hole in the center at a concentric position. Although the inner diameter cutter 22 has a cylindrical shape, it may have a cylindrical shape like the outer diameter cutter 21. Further, the tip of the cutter portion 22a of the inner diameter cutter 22 and the tip of the cutter portion 21a of the outer diameter cutter 21 may be in the same plane or not in the same plane depending on the processing conditions of the plate glass to be processed. May be long (short). When the tips of the two cutter portions 21a and 22a are not aligned within the same plane, for example, a dummy substrate may be provided below the plate glass 63 to be processed in FIG.

また、外径カッター２１のカッター部２１ａと反対の端部には、外径カッター２１を回転させるガラス基板製造装置が備えている回転駆動軸６７（図４参照）に取り付けるための取り付けねじ２９が設けてある。よって、外径カッター２１は回転駆動軸６７に板状ガラスの加工に耐えうる十分な強度で固定される。   Moreover, the attachment screw 29 for attaching to the rotation drive shaft 67 (refer FIG. 4) with which the glass substrate manufacturing apparatus which rotates the outer diameter cutter 21 is provided in the edge part opposite to the cutter part 21a of the outer diameter cutter 21 is provided. It is provided. Therefore, the outer diameter cutter 21 is fixed to the rotary drive shaft 67 with sufficient strength to withstand the processing of the sheet glass.

更に、内径カッター２２のテーパコレット２２ｂの先端部にはねじ孔２２ｃが設けてある。このねじ孔２２ｃに固定板２７を介してねじ２８をねじ込むことで、内径カッター２２のテーパコレット２２ｂと外径カッター２１のテーパ孔２１ｂとが圧接される。従って、内径カッター２２は外径カッター２１に板状ガラスの加工に耐えうる十分な強度で固定される。   Further, a screw hole 22c is provided at the tip of the taper collet 22b of the inner diameter cutter 22. By screwing the screw 28 into the screw hole 22c through the fixing plate 27, the taper collet 22b of the inner diameter cutter 22 and the taper hole 21b of the outer diameter cutter 21 are brought into pressure contact. Therefore, the inner diameter cutter 22 is fixed to the outer diameter cutter 21 with sufficient strength to withstand the processing of the sheet glass.

板状ガラスの加工を繰り返し行うと、内径カッター２２、外径カッター２１それぞれのカッター部２２ａ、２１ａは、摩耗してついには板状ガラスを十分に加工できない状態となる。この時、内径カッター２２と外径カッター２１それぞれのカッター部２２ａ、２１ａの摩耗状態は、回転するカッター部が板状ガラスと接する周速が異なることからも同じ状態とはならない場合が多い。カッター部２２ａ、２１ａが摩耗した時、ねじ２８を取り外して、内径カッター２２と外径カッター２１を分離し、摩耗したカッターを容易に新しいカッターと交換して、板状ガラスを加工することができる。従って、分離可能な内外径カッター２においては、内径カッターと外径カッターとが分離できないために一方のカッターが摩耗したために両カッターを交換する内外径カッターの場合と比較して製造コストを抑えることができる。   When the processing of the sheet glass is repeated, the cutter portions 22a and 21a of the inner diameter cutter 22 and the outer diameter cutter 21 are worn and finally cannot be processed sufficiently. At this time, the wear states of the cutter portions 22a and 21a of the inner diameter cutter 22 and the outer diameter cutter 21 are often not the same because the rotating cutter portions have different peripheral speeds in contact with the glass sheet. When the cutter portions 22a and 21a are worn, the screw 28 is removed, the inner diameter cutter 22 and the outer diameter cutter 21 are separated, and the worn cutter can be easily replaced with a new cutter to process the sheet glass. . Therefore, in the separable inner / outer diameter cutter 2, the inner diameter cutter and the outer diameter cutter cannot be separated, and one cutter is worn, so that the manufacturing cost is reduced compared with the case of the inner / outer diameter cutter in which both cutters are replaced. Can do.

（第２の実施の形態）
第２の実施の形態として、図３に内外径カッターの例を示す。内外径カッター３は、内径カッター３２と外径カッター３１を有している。内径カッター３２及び外径カッター３１は、例えば鋼等からなる回転基体のカッター部３１ａ，３２ａに砥石Ｂを備えている。砥石Ｂは、カッター部３１ａ，３２ａの内周面、外周面及び先端部に備えられ、ガラス基板を切断することができるガラスより硬い、例えばダイヤモンドの砥粒がニッケルなどの金属でメッキ固着された電着砥石として構成される。 (Second Embodiment)
As a second embodiment, FIG. 3 shows an example of an inner and outer diameter cutter. The inner / outer diameter cutter 3 includes an inner diameter cutter 32 and an outer diameter cutter 31. The inner diameter cutter 32 and the outer diameter cutter 31 are provided with a grindstone B on cutter parts 31a and 32a of a rotating base made of, for example, steel. The grindstone B is provided on the inner peripheral surface, outer peripheral surface and tip of the cutter portions 31a and 32a and is harder than glass capable of cutting the glass substrate. For example, diamond abrasive grains are fixed by plating with a metal such as nickel. Configured as an electrodeposited grinding wheel.

外径カッター３１のカッター部３１ａの形状は円筒状であり、加工された板状ガラス基板は、円板状となって、この筒の内部に入ることになる。内径カッター３２の形状は円柱状であり、板状ガラスに円形の孔を形成する。従って、先の外径カッター３１により形成された円板状のガラス基板に円形の孔が同時に形成されることになる。このためには、図４に示す板状ガラス基板６３が回転しないように載置台６５に固定しておくことが必要である。   The shape of the cutter part 31a of the outer diameter cutter 31 is a cylindrical shape, and the processed plate-shaped glass substrate becomes a disk shape and enters the inside of this cylinder. The shape of the inner diameter cutter 32 is cylindrical, and a circular hole is formed in the sheet glass. Accordingly, circular holes are simultaneously formed in the disk-shaped glass substrate formed by the outer diameter cutter 31. For this purpose, it is necessary to fix to the mounting table 65 so that the plate-like glass substrate 63 shown in FIG. 4 does not rotate.

内径カッター３２は、外径カッター３１固定されている。内径カッター３２のカッター部３２ａと反対側の端部には外径カッター３１に固定するための雄ねじ３２ｂが設けてある。一方、外径カッター３１には、内径カッター３２の雄ねじ３２ｂが螺合する雌ねじ３１ｂが設けてある。内径カッター３２の雄ねじ３２ｂは、内径カッター３２の円柱状のカッター部３２ａを形成する時と同じ、所謂同時加工（例えば、旋造加工）にて形成することができる。このため、円柱状のカッターの回転軸中心と雄ねじの回転軸中心とがほぼ同一とすることができる。   The inner diameter cutter 32 is fixed to the outer diameter cutter 31. A male screw 32 b for fixing to the outer diameter cutter 31 is provided at the end of the inner diameter cutter 32 opposite to the cutter portion 32 a. On the other hand, the outer diameter cutter 31 is provided with a female screw 31b into which the male thread 32b of the inner diameter cutter 32 is screwed. The external thread 32b of the inner diameter cutter 32 can be formed by the same so-called simultaneous processing (for example, turning processing) as when forming the cylindrical cutter portion 32a of the inner diameter cutter 32. For this reason, the center of rotation of the cylindrical cutter and the center of rotation of the male screw can be made substantially the same.

同様に、外径カッター３１の雌ねじ３１ｂは、外径カッター３１の円筒状のカッター部３１ａを形成する時と同じ、所謂同時加工（例えば、旋造加工）にて形成することができる。このため、円筒状のカッター部３１ａの回転軸中心と雌ねじ３１ｂの回転軸中心とがほぼ同一とすることができる。よって、外径カッター３１の雌ねじ３１ｂと内径カッター３２の雄ねじ３２ｂを螺合させると、外径カッター３１の円筒の断面形状と内径カッター３２の円柱状の断面形状はほぼ同心に配置されることになる。   Similarly, the internal thread 31b of the outer diameter cutter 31 can be formed by the same so-called simultaneous processing (for example, turning processing) as that when the cylindrical cutter portion 31a of the outer diameter cutter 31 is formed. For this reason, the rotation axis center of the cylindrical cutter part 31a and the rotation axis center of the female screw 31b can be made substantially the same. Therefore, when the female screw 31b of the outer diameter cutter 31 and the male screw 32b of the inner diameter cutter 32 are screwed together, the cylindrical sectional shape of the outer diameter cutter 31 and the cylindrical sectional shape of the inner diameter cutter 32 are arranged substantially concentrically. Become.

従って、外径カッター３１と内径カッター３２とを一体化した内外径カッター３で加工される板状ガラスは、中央に円形の孔を同心位置に有する円板状のガラス基板とすることができる。尚、内径カッター２２を円柱状としているが、外径カッター２１と同様に円筒形状としてもよい。また、内径カッター３２のカッター部３２ａの先端部と外径カッター３１のカッター部３１ａの先端部が、加工される板ガラスの加工条件に応じて同じ平面内でも良いし、同じ平面内で無くてどちらかが長く（短く）てもよい。同じ平面内に２つのカッター部３１ａ，３２ａの先端が揃っていない場合、例えば、図４の加工される板ガラス６３の下側にダミー基板を設けても良い。   Therefore, the plate-like glass processed by the inner / outer diameter cutter 3 in which the outer diameter cutter 31 and the inner diameter cutter 32 are integrated can be a disc-shaped glass substrate having a circular hole in the center at a concentric position. Although the inner diameter cutter 22 has a cylindrical shape, it may have a cylindrical shape like the outer diameter cutter 21. Further, the tip of the cutter part 32a of the inner diameter cutter 32 and the tip of the cutter part 31a of the outer diameter cutter 31 may be in the same plane or not in the same plane depending on the processing conditions of the plate glass to be processed. May be long (short). When the tips of the two cutter portions 31a and 32a are not aligned in the same plane, for example, a dummy substrate may be provided below the plate glass 63 to be processed in FIG.

また、外径カッター３１のカッター部３１ａと反対の端部には、外径カッター３２を回転させるガラス基板製造装置が備えている回転駆動軸６７（図４参照）に取り付けるための取り付けねじ３９が設けてある。よって、外径カッター２１は雄ねじ２９で回転駆動軸６７に板状ガラスの加工に耐えうる十分な強度で固定される。   Further, an attachment screw 39 for attaching to the rotation drive shaft 67 (see FIG. 4) provided in the glass substrate manufacturing apparatus for rotating the outer diameter cutter 32 is provided at the end of the outer diameter cutter 31 opposite to the cutter portion 31a. It is provided. Therefore, the outer diameter cutter 21 is fixed to the rotary drive shaft 67 with the male screw 29 with sufficient strength to withstand the processing of the sheet glass.

更に、外径カッター３１の雌ねじ３１ｂにおいて、内径カッター３２の雄ねじ３２ｂの先端部に、ロックねじ３７が設けてある。このロックねじ３７をねじ込むことで、外径カッター３１の雌ねじ３１ｂにロックねじ３７と内径カッター３２の雄ねじ３１ｂとが圧接される。従って、内径カッター３２は外径カッター３１に板状ガラスの加工に耐えうる十分な強度に固定される。   Further, in the female screw 31 b of the outer diameter cutter 31, a lock screw 37 is provided at the tip of the male screw 32 b of the inner diameter cutter 32. By screwing the lock screw 37, the lock screw 37 and the male screw 31 b of the inner diameter cutter 32 are pressed against the female screw 31 b of the outer diameter cutter 31. Therefore, the inner diameter cutter 32 is fixed to the outer diameter cutter 31 with sufficient strength to withstand the processing of the sheet glass.

板状ガラスの加工を繰り返し行うと、内径カッター３２、外径カッター３１それぞれのカッター部３２ａ、３１ａは、摩耗してついには板状ガラスを十分に加工できない状態となる。この時、内径カッター３２と外径カッター３１それぞれのカッター部３２ａ、３１ａの摩耗状態は、回転するカッター部が板状ガラスと接する周速が異なることからも同じ状態とはならない場合が多い。カッター部３２ａ、３１ａが摩耗した時、ロックねじ３７を緩め、必要に応じて取り除いて、内径カッター３２と外径カッター３１を分離し、摩耗したカッターを容易に新しいカッターと交換して、板状ガラスを加工することができる。よって、摩耗したカッターを容易に新しいカッターと交換することができる。従って、分離可能な内外径カッター３においては、内径カッターと外径カッターとが分離できないために一方のカッターが摩耗したために両カッターを交換する内外径カッターの場合と比較して製造コストを抑えることができる。   When the processing of the sheet glass is repeated, the cutter portions 32a and 31a of the inner diameter cutter 32 and the outer diameter cutter 31 are worn and finally cannot be processed sufficiently. At this time, the wear states of the cutter portions 32a and 31a of the inner diameter cutter 32 and the outer diameter cutter 31 are often not the same because the rotating cutter portions have different peripheral speeds in contact with the glass sheet. When the cutter parts 32a and 31a are worn, the lock screw 37 is loosened and removed as necessary, the inner diameter cutter 32 and the outer diameter cutter 31 are separated, and the worn cutter is easily replaced with a new cutter to obtain a plate shape. Glass can be processed. Therefore, the worn cutter can be easily replaced with a new cutter. Therefore, in the separable inner / outer diameter cutter 3, since the inner diameter cutter and the outer diameter cutter cannot be separated, one cutter is worn, so that the manufacturing cost can be reduced compared with the case of the inner / outer diameter cutter in which both cutters are replaced. Can do.

尚、内径カッター３２のカッター部と反対の雄ねじの端面に内径カッター３２を外径カッター３１にねじ込みしやすいように、例えば、ドライバーのビットに合うマイナス又はプラス形状の溝３２ｄを設けておくことが好ましい。   In order to easily screw the inner diameter cutter 32 into the outer diameter cutter 31 on the end face of the male screw opposite to the cutter portion of the inner diameter cutter 32, for example, a minus or plus-shaped groove 32d that fits the bit of the driver may be provided. preferable.

情報記録媒体用ガラス基板の外形の例を示す。The example of the external shape of the glass substrate for information recording media is shown. 内径カッターと外径カッターとを固定するためにテーパコレットを備えた内外径カッターの例の断面形状を示す図である。It is a figure which shows the cross-sectional shape of the example of the inner / outer diameter cutter provided with the taper collet in order to fix an inner diameter cutter and an outer diameter cutter. 内径カッターと外径カッターとを固定するためにねじを備えた内外径カッターの例の断面形状を示す図である。It is a figure which shows the cross-sectional shape of the example of the inner-outer diameter cutter provided with the screw | thread in order to fix an inner diameter cutter and an outer diameter cutter. ガラス基板製造装置の例を示す図である。It is a figure which shows the example of a glass substrate manufacturing apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１ ガラス基板
２、３、６１ 内外径カッター（情報記録媒体用ガラス基板加工用ドリル）
６ ガラス基板製造装置
１４ 外周
１６ 孔
２１、３１、６１ａ 外径カッター
２２，３２、６１ｂ 内径カッター
２１ａ、２２ａ、３１ａ、３２ａ カッター部
２１ｂ テーパ孔
２２ｂ テーパコレット
２７ 固定板
２８ ねじ
２９、３９ 取り付けねじ
３１ｂ 雌ねじ
３２ｂ 雄ねじ
３２ｄ 溝
３７ ロックねじ
６３ 板状ガラス基板
６５ 載置台
６７ 回転駆動軸
Ａ、Ｂ 砥石 1 glass substrate 2, 3, 61 inner and outer diameter cutter (drill for processing glass substrate for information recording medium)
6 Glass substrate manufacturing apparatus 14 Outer periphery 16 hole 21, 31, 61a Outer diameter cutter 22, 32, 61b Inner diameter cutter 21a, 22a, 31a, 32a Cutter part 21b Taper hole 22b Taper collet 27 Fixing plate 28 Screw 29, 39 Mounting screw 31b Female screw 32b Male screw 32d Groove 37 Lock screw 63 Sheet glass substrate 65 Mounting table 67 Rotating drive shaft A, B Grinding wheel

Claims (3)

円板の中央に円形の孔を有するガラス基板を前記ガラス基板より大きな板状のガラスから加工する情報記録媒体用ガラス基板加工用ドリルにおいて、
前記円形の孔を加工する内径カッターと前記内径カッターを内包し前記円板の外径を加工する外径カッターとが分離可能であることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板加工用ドリル。 In a glass substrate processing drill for information recording medium for processing a glass substrate having a circular hole in the center of a disc from a plate-like glass larger than the glass substrate,
A drill for processing a glass substrate for an information recording medium, wherein an inner diameter cutter that processes the circular hole and an outer diameter cutter that includes the inner diameter cutter and processes the outer diameter of the disk can be separated. 前記内径カッターがテーパコレットを備え、前記外径カッターが前記テーパコレットに嵌合するテーパ穴を備えていることを特徴とする請求項１に記載の情報記録媒体用ガラス基板加工用ドリル。 2. The glass substrate processing drill for an information recording medium according to claim 1, wherein the inner diameter cutter includes a taper collet, and the outer diameter cutter includes a taper hole that fits into the taper collet. 前記内径カッターが雄ねじを備え、前記外径カッターが前記雄ねじに螺合する雌ねじを備えていることを特徴とする請求項１に記載の情報記録媒体用ガラス基板加工用ドリル。 2. The glass substrate processing drill for an information recording medium according to claim 1, wherein the inner diameter cutter includes a male screw, and the outer diameter cutter includes a female screw that is screwed onto the male screw.
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