JP2008089574A - Image processor, data processor, parameter adjustment method, and program - Google Patents

Image processor, data processor, parameter adjustment method, and program Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a data processor, an image processor, a parameter adjustment method, and a program which can adjust parameters concerning data processing accurately with an easy manipulation. <P>SOLUTION: For making the adjustment of parameter values concerning image processing, a target data creating part 140 receives a correction directive to result data D2 from an operator and creates target data D3, then, a parameter adjustment making part 170 detects a parameter value which can make result data D2 agreed with the target data D3 within a predetermined tolerance and determines the value for an adjustment value. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、各種のデータ処理(例えば、画像処理)に係るパラメータ(例えば、欠陥検出処理に係るパラメータ)を調整する技術に関する。   The present invention relates to a technique for adjusting parameters (for example, parameters for defect detection processing) related to various data processing (for example, image processing).

印刷ワークフローにおいては、作成された製版フィルム、刷版、印刷物等に予期せぬ欠陥等が生じていないかの検査(以下において「検版/印刷物検査」という。)が行われる。この検版/印刷物検査は、検査対象となる画像(具体的には、検査の対象となる印刷物等をスキャンして取得した画像データ)を、その作成元となった基準となる画像データと比較してその相違点を欠陥として検出することによって行われる。   In the printing workflow, an inspection (hereinafter referred to as “plate inspection / printed material inspection”) is performed to check whether an unexpected defect or the like has occurred in the prepared plate-making film, printing plate, or printed material. In this plate inspection / printed material inspection, an image to be inspected (specifically, image data obtained by scanning a printed material to be inspected) is compared with the reference image data from which the image is created. The difference is detected as a defect.

検版/印刷物検査においては、様々な処理(例えば、ぼかし処理、ゆすらせ処理、比較処理、孤立点除去処理等)を通して検査対象となる画像に生じている欠陥の検出が行われることになるが、欠陥の検出感度は各処理の環境パラメータの値によって変わってくる。つまり、適切な感度で欠陥検出を行うためには、パラメータ値を適切に調整しておく必要がある。   In plate inspection / printed material inspection, defects occurring in an image to be inspected are detected through various processes (for example, blurring process, swaying process, comparison process, isolated point removal process, etc.). The defect detection sensitivity varies depending on the environmental parameter value of each process. That is, in order to detect a defect with an appropriate sensitivity, it is necessary to adjust the parameter value appropriately.

このパラメータ調整の作業は、従来においては各ユーザが経験則で修正してトライアルアンドエラー的な手法で行っていた。   In the past, this parameter adjustment work has been performed by a trial-and-error method in which each user corrects it based on empirical rules.

なお、検版検査処理についての先行技術として、例えば、検版対象となる印刷データを画像特徴に応じて領域分割し、領域毎に当該画像領域の属性に応じたパラメータを用いて検版処理を行う技術が考案されている(特許文献1参照)。この場合においても、各画像領域で適正な欠陥検出を行うためには、パラメータ値を適切に調整しておく必要がある。   As a prior art for plate inspection processing, for example, print data to be subjected to plate inspection is divided into regions according to image characteristics, and plate inspection processing is performed using parameters corresponding to the attributes of the image region for each region. The technique to perform is devised (refer patent document 1). Even in this case, it is necessary to appropriately adjust the parameter value in order to perform proper defect detection in each image region.

特開2004−258470号公報JP 2004-258470 A

ところが、検版/印刷物検査においては上述の通り様々な処理が複合的に行われ、調整すべきパラメータの種類も多い。したがって、パラメータの調整には多くの時間と労力を費やさなければならなかった。   However, in the plate inspection / printed material inspection, various processes are combined as described above, and there are many types of parameters to be adjusted. Therefore, much time and labor had to be spent adjusting the parameters.

また、なんとかパラメータを調整した場合であっても、欠陥の検出感度を急に変更する必要が生じた場合等には、改めてパラメータの値を調整しなおす時間的余裕がないために最終的に目視確認による検査を行わざるをえなかった。   Even if the parameters are somehow adjusted, if there is a need to change the defect detection sensitivity suddenly, there is no time to adjust the parameter values again. I had to do an inspection by confirmation.

この発明は、上記課題に鑑みてさなれたものであり、容易な操作で的確にデータ処理(例えば、画像処理)に係る1以上のパラメータを調整することが可能なデータ処理装置、画像処理装置、パラメータの調整方法、およびプログラムを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and is a data processing apparatus and image processing apparatus capable of accurately adjusting one or more parameters relating to data processing (for example, image processing) with an easy operation. It is an object to provide a parameter adjustment method and a program.

請求項1の発明は、所定の画像処理を行う画像処理手段と、前記画像処理の結果として作成された結果画像に対する修正指示を受け付けて、前記修正指示を前記結果画像に反映させた目標画像を作成する目標画像作成手段と、前記画像処理の結果として作成される結果画像が前記目標画像と一致するように前記画像処理に係るパラメータの値を調整するパラメータ調整手段と、を備える。   According to the first aspect of the present invention, an image processing means for performing predetermined image processing and a correction instruction for a result image created as a result of the image processing are received, and a target image in which the correction instruction is reflected in the result image is obtained. Target image creating means for creating, and parameter adjusting means for adjusting parameter values related to the image processing so that a result image created as a result of the image processing matches the target image.

請求項2の発明は、請求項1に記載の画像処理装置であって、前記画像処理手段は、基準画像と当該基準画像を出力して得られる検査対象画像とを比較して前記検査対象画像に生じている欠陥部分を検出し、その検出された欠陥部分を非欠陥部分とは異なる表示形態にて表示した結果画像を作成する画像処理を行い、前記画像処理に係るパラメータが、前記欠陥部分の検出感度を規定する。   A second aspect of the present invention is the image processing apparatus according to the first aspect, wherein the image processing unit compares the reference image with an inspection target image obtained by outputting the reference image. Image processing is performed to generate a result image in which the detected defective portion is detected and the detected defective portion is displayed in a display form different from that of the non-defective portion. Specify the detection sensitivity of.

請求項3の発明は、請求項1または請求項2に記載の画像処理装置であって、前記目標画像作成手段が、前記結果画像を表示画面上に表示して、前記表示画面上から当該結果画像に対する修正指示の入力を受け付ける。   The invention according to claim 3 is the image processing apparatus according to claim 1 or 2, wherein the target image creating means displays the result image on a display screen, and the result is displayed on the display screen. Accepts input of correction instructions for images.

請求項4の発明は、請求項1から3のいずれかに記載の画像処理装置であって、前記パラメータ調整手段が、前記パラメータの値を変化させながら、各パラメータ値の下で得られた結果画像が前記目標画像と一致するか否かを判断して、前記パラメータの調整値を、前記目標画像と一致する結果画像が得られたパラメータ値に決定する。   A fourth aspect of the present invention is the image processing apparatus according to any one of the first to third aspects, wherein the parameter adjusting means obtains a result obtained under each parameter value while changing the value of the parameter. It is determined whether or not the image matches the target image, and the adjustment value of the parameter is determined to be a parameter value obtained as a result image that matches the target image.

請求項5の発明は、請求項4に記載の画像処理装置であって、前記パラメータ調整手段が、前記パラメータの調整値を、前記目標画像と一致する結果画像が得られたパラメータ値から構成される集合の中央値に決定する。   A fifth aspect of the present invention is the image processing apparatus according to the fourth aspect, wherein the parameter adjusting means is configured to include an adjustment value of the parameter from a parameter value obtained as a result image that matches the target image. To the median of the set.

請求項6の発明は、請求項4に記載の画像処理装置であって、前記パラメータ調整手段が、前記パラメータの調整値を、前記目標画像と一致する結果画像が前記パラメータの値を変化させる過程で最初に得られた際のパラメータ値に決定する。   A sixth aspect of the present invention is the image processing apparatus according to the fourth aspect, wherein the parameter adjusting means changes the parameter adjustment value, and the result image that matches the target image changes the parameter value. To determine the parameter value when first obtained.

請求項7の発明は、請求項1から3のいずれかに記載の画像処理装置であって、前記パラメータ調整手段が、1以上のパラメータの値の組み合わせのうちから、前記目標画像と一致する結果画像を与える組み合わせを遺伝的アルゴリズムにより抽出して、前記パラメータの調整値を、当該抽出された組み合わせを構成する各値に決定する。   A seventh aspect of the present invention is the image processing apparatus according to any one of the first to third aspects, wherein the parameter adjusting means matches the target image from among one or more parameter value combinations. A combination that gives an image is extracted by a genetic algorithm, and an adjustment value of the parameter is determined as each value constituting the extracted combination.

請求項8の発明は、請求項4から7のいずれかに記載の画像処理装置であって、入力された設定値に基づいて、前記パラメータ値を変化させる範囲を特定する調整範囲特定手段、をさらに備える。   The invention according to claim 8 is the image processing device according to any one of claims 4 to 7, further comprising: an adjustment range specifying unit that specifies a range in which the parameter value is changed based on an input set value. Further prepare.

請求項9の発明は、請求項4から8のいずれかに記載の画像処理装置であって、入力された設定値に基づいて、前記パラメータ値を変化させる際の変化量を特定する変化量特定手段、をさらに備える。   A ninth aspect of the present invention is the image processing apparatus according to any one of the fourth to eighth aspects, wherein a change amount specification that specifies a change amount when changing the parameter value based on an input setting value. Means.

請求項10の発明は、請求項1から9のいずれかに記載の画像処理装置であって、前記修正指示から取得した所定の特徴量に基づいて、前記画像処理に係るパラメータのうちから調整の対象となるパラメータを特定する調整対象パラメータ特定手段、を備える。   A tenth aspect of the present invention is the image processing apparatus according to any one of the first to ninth aspects, wherein an adjustment is made among parameters relating to the image processing based on a predetermined feature amount acquired from the correction instruction. Adjustment target parameter specifying means for specifying a target parameter is provided.

請求項11の発明は、画像処理を行われた結果として作成された結果画像に対する修正指示をオペレータから受け付けて、前記修正指示を前記結果画像に反映させた目標画像を作成する目標画像作成工程と、前記画像処理を行われた結果として作成される結果画像が前記目標画像と一致するように前記画像処理に係るパラメータの値を調整するパラメータ調整工程と、を有する。   According to an eleventh aspect of the present invention, there is provided a target image creating step of receiving a correction instruction for a result image created as a result of image processing from an operator and creating a target image in which the correction instruction is reflected in the result image; And a parameter adjustment step of adjusting a parameter value related to the image processing so that a result image created as a result of the image processing matches the target image.

請求項12の発明は、コンピュータによって実行されることにより、前記コンピュータに、所定の画像処理を行う画像処理機能と、前記画像処理の結果として作成された結果画像に対する修正指示を受け付けて、前記修正指示を前記結果画像に反映させた目標画像を作成する目標画像作成機能と、前記画像処理の結果として作成される結果画像が前記目標画像と一致するように前記画像処理に係るパラメータの値を調整するパラメータ調整機能と、を実現する。   According to a twelfth aspect of the present invention, when executed by a computer, the computer receives an image processing function for performing predetermined image processing and a correction instruction for a result image created as a result of the image processing, and the correction is performed. A target image creation function for creating a target image in which an instruction is reflected in the result image, and adjustment of parameter values related to the image processing so that a result image created as a result of the image processing matches the target image And a parameter adjustment function to achieve.

請求項13の発明は、所定のデータ処理を行うデータ処理手段と、前記データ処理の結果として取得された結果データに対する修正指示を受け付けて、前記修正指示を前記結果データに反映させた目標データを作成する目標データ作成手段と、前記データ処理の結果として取得されるデータが前記目標データと一致するように前記データ処理に係るパラメータの値を調整するパラメータ調整手段と、を備える。   According to a thirteenth aspect of the present invention, data processing means for performing predetermined data processing, and a correction instruction for the result data acquired as a result of the data processing are received, and target data in which the correction instruction is reflected in the result data Target data creating means for creating, and parameter adjusting means for adjusting a parameter value related to the data processing so that data acquired as a result of the data processing matches the target data.

請求項14の発明は、請求項13に記載のデータ処理装置であって、前記データ処理手段は、基準画像と当該基準画像を出力して得られる検査対象画像とを比較して前記検査対象画像に生じている欠陥部分を検出し、その検出された欠陥部分を非欠陥部分とは異なる表示形態にて表示した画像データを作成して前記結果データとして取得する画像処理を行い、前記データ処理に係るパラメータが、前記欠陥部分の検出感度を規定する。   The invention according to claim 14 is the data processing apparatus according to claim 13, wherein the data processing means compares the reference image with an inspection target image obtained by outputting the reference image. The image processing is performed to detect the defective portion occurring in the image, and to generate image data in which the detected defective portion is displayed in a display form different from that of the non-defective portion, and obtain the result data. Such parameters define the detection sensitivity of the defective portion.

請求項15の発明は、請求項13または請求項14に記載のデータ処理装置であって、前記目標データ作成手段が、前記結果データを表示画面上に表示して、前記表示画面上から当該結果データに対する修正指示の入力を受け付ける。   The invention of claim 15 is the data processing apparatus according to claim 13 or claim 14, wherein the target data creating means displays the result data on a display screen, and the result is displayed on the display screen. Accepts input of correction instructions for data.

請求項16の発明は、請求項13から15のいずれかに記載のデータ処理装置であって、前記パラメータ調整手段が、前記パラメータの値を変化させながら、各パラメータ値の下で得られた結果データが前記目標データと一致するか否かを判断して、前記パラメータの調整値を、前記目標データと一致する結果データが得られたパラメータ値に決定する。   The invention according to claim 16 is the data processing device according to any one of claims 13 to 15, wherein the parameter adjusting means obtains a result obtained under each parameter value while changing the value of the parameter. It is determined whether or not the data matches the target data, and the adjustment value of the parameter is determined to be a parameter value from which result data matching the target data is obtained.

請求項17の発明は、請求項16に記載のデータ処理装置であって、前記パラメータ調整手段が、前記パラメータの調整値を、前記目標データと一致する結果データが得られたパラメータ値から構成される集合の中央値に決定する。   The invention according to claim 17 is the data processing device according to claim 16, wherein the parameter adjustment means is configured by parameter values obtained from the result data matching the target data with the adjustment values of the parameters. To the median of the set.

請求項18の発明は、請求項16に記載のデータ処理装置であって、前記パラメータ調整手段が、前記パラメータの調整値を、前記目標データと一致する結果データが前記パラメータの値を変化させる過程で最初に得られた際のパラメータ値に決定する。   The invention according to claim 18 is the data processing apparatus according to claim 16, wherein the parameter adjusting means changes the parameter adjustment value, and the result data that matches the target data changes the parameter value. To determine the parameter value when first obtained.

請求項19の発明は、請求項13から15のいずれかに記載のデータ処理装置であって、前記パラメータ調整手段が、1以上のパラメータの値の組み合わせのうちから、前記目標データと一致する結果データを与える組み合わせを遺伝的アルゴリズムにより抽出して、前記パラメータの調整値を、当該抽出された組み合わせを構成する各値に決定する。   The invention according to claim 19 is the data processing apparatus according to any one of claims 13 to 15, wherein the parameter adjusting means matches the target data from among a combination of one or more parameter values. A combination that provides data is extracted by a genetic algorithm, and an adjustment value of the parameter is determined as each value constituting the extracted combination.

請求項20の発明は、請求項16から19のいずれかに記載のデータ処理装置であって、入力された設定値に基づいて、前記パラメータ値を変化させる範囲を特定する調整範囲特定手段、をさらに備える。   A twentieth aspect of the invention is the data processing device according to any one of the sixteenth to nineteenth aspects, further comprising: an adjustment range specifying unit that specifies a range in which the parameter value is changed based on an input setting value. Further prepare.

請求項21の発明は、請求項16から20のいずれかに記載のデータ処理装置であって、入力された設定値に基づいて、前記パラメータ値を変化させる際の変化量を特定する変化量特定手段、をさらに備える。   A twenty-first aspect of the invention is the data processing device according to any one of the sixteenth to twentieth aspects, wherein a change amount specification that specifies a change amount when changing the parameter value based on an input setting value. Means.

請求項22の発明は、請求項13から21のいずれかに記載のデータ処理装置であって、前記修正指示から取得した所定の特徴量に基づいて、前記データ処理に係るパラメータのうちから調整の対象となるパラメータを特定する調整対象パラメータ特定手段、を備える。   The invention according to claim 22 is the data processing device according to any one of claims 13 to 21, wherein the adjustment of the parameters related to the data processing is performed based on the predetermined feature amount acquired from the correction instruction. Adjustment target parameter specifying means for specifying a target parameter is provided.

請求項23の発明は、データ処理を行われた結果として取得された結果データに対する修正指示をオペレータから受け付けて、前記修正指示を前記結果データに反映させた目標データを作成する目標データ作成工程と、前記データ処理を行われた結果として取得されるデータが前記目標データと一致するように前記データ処理に係るパラメータの値を調整するパラメータ調整工程と、を有する。   According to a twenty-third aspect of the present invention, there is provided a target data generating step of receiving a correction instruction for result data acquired as a result of data processing from an operator and generating target data in which the correction instruction is reflected in the result data; And a parameter adjustment step of adjusting a parameter value related to the data processing so that data acquired as a result of the data processing matches the target data.

請求項24の発明は、コンピュータによって実行されることにより、前記コンピュータに、所定のデータ処理を行うデータ処理機能と、前記データ処理の結果として取得された結果データに対する修正指示を受け付けて、前記修正指示を前記結果データに反映させた目標データを作成する目標データ作成機能と、前記データ処理の結果として取得されるデータが前記目標データと一致するように前記データ処理に係るパラメータの値を調整するパラメータ調整機能と、を実現する。   According to a twenty-fourth aspect of the invention, when executed by a computer, the computer receives a data processing function for performing predetermined data processing and a correction instruction for result data obtained as a result of the data processing, and the correction is performed. A target data creation function for creating target data in which an instruction is reflected in the result data, and a parameter value relating to the data processing is adjusted so that data acquired as a result of the data processing matches the target data And a parameter adjustment function.

請求項1,11,12に記載の発明によると、オペレータは、パラメータ値を直接入力するのではなく、結果画像に対する修正指示を与えることによってパラメータの調整を行うことが可能となる。つまり、容易な操作で画像処理に係るパラメータを調整することができる。また、画像処理の結果得られる画像が目標画像と一致するようなパラメータ値に調整するので、オペレータの所望通りの画像処理結果をもたらすパラメータ値が得られることになる。つまり、画像処理に係るパラメータを的確に調整することができる。   According to the first, eleventh, and twelfth aspects of the present invention, the operator can adjust the parameter by giving a correction instruction to the result image, instead of directly inputting the parameter value. That is, the parameters relating to image processing can be adjusted with an easy operation. Further, since the image value obtained as a result of the image processing is adjusted to a parameter value that matches the target image, a parameter value that provides an image processing result desired by the operator can be obtained. That is, it is possible to accurately adjust parameters relating to image processing.

請求項2,14に記載の発明によると、検査対象画像に生じている欠陥部分の検出感度を規定するパラメータを容易かつ的確に調整することができる。   According to the invention described in claims 2 and 14, it is possible to easily and accurately adjust the parameter that defines the detection sensitivity of the defective portion occurring in the inspection target image.

請求項3に記載の発明によると、表示画面上から結果画像に対する修正指示の入力を受け付けるので、オペレータは結果画像に対する修正指示を容易かつ的確に入力することができる。その結果、パラメータ調整をより容易かつ的確に行うことが可能となる。   According to the third aspect of the invention, since the input of the correction instruction for the result image is received from the display screen, the operator can input the correction instruction for the result image easily and accurately. As a result, parameter adjustment can be performed more easily and accurately.

請求項4に記載の発明によると、パラメータの値を変化させながら、適正なパラメータ値(すなわち、当該パラメータ値の下で得られた結果画像が目標画像と一致するようなパラメータ値)を検出するので、適正なパラメータ値を確実に検出することができる。   According to the invention described in claim 4, while changing the parameter value, an appropriate parameter value (that is, a parameter value such that the result image obtained under the parameter value matches the target image) is detected. Therefore, an appropriate parameter value can be reliably detected.

請求項5に記載の発明によると、パラメータの調整値を、目標画像と一致する結果画像が得られたパラメータ値から構成される集合の中央値に決定するので、適正なパラメータ値の中でも最適な値をパラメータの調整値として決定することができる。   According to the fifth aspect of the present invention, the parameter adjustment value is determined to be the median value of the set composed of the parameter values from which the result image matching the target image is obtained. The value can be determined as a parameter adjustment value.

請求項6に記載の発明によると、パラメータの調整値を、目標画像と一致する結果画像がパラメータの値を変化させる過程で最初に得られた際のパラメータ値に決定するので、パラメータ調整を迅速に行うことが可能となる。   According to the sixth aspect of the present invention, the parameter adjustment value is determined to be the parameter value when the result image that matches the target image is first obtained in the process of changing the parameter value. Can be performed.

請求項7,19に記載の発明によると、最適なパラメータ値の組み合わせを遺伝的アルゴリズムを用いて抽出するので、パラメータ調整を迅速に行うことが可能となる。   According to the invention described in claims 7 and 19, since the optimum combination of parameter values is extracted using the genetic algorithm, it is possible to quickly adjust the parameters.

請求項8,20に記載の発明によると、入力された設定値に基づいてパラメータ値を変化させる範囲を特定するので、パラメータの調整範囲を絞りこむことが可能となる。これによって、パラメータ調整を迅速に行うことが可能となる。   According to the eighth and twentieth aspects of the invention, since the range in which the parameter value is changed is specified based on the input set value, the parameter adjustment range can be narrowed down. As a result, parameter adjustment can be performed quickly.

請求項9,21に記載の発明によると、入力された設定値に基づいてパラメータ値を変化させる際の変化量を特定するので、パラメータの調整範囲において取りうるパラメータ値を絞りこむことが可能となる。これによって、パラメータ調整を迅速に行うことが可能となる。   According to the ninth and twenty-first aspects of the present invention, since the amount of change when changing the parameter value is specified based on the input set value, it is possible to narrow down the possible parameter values in the parameter adjustment range. Become. As a result, parameter adjustment can be performed quickly.

請求項10に記載の発明によると、修正指示から取得した所定の特徴量に基づいて調整対象パラメータを特定するので、目標画像と一致するような結果画像を得るために調整すべきパラメータの種類を適切に選択することができる。これによって、パラメータ調整を迅速かつ的確に行うことが可能となる。   According to the invention described in claim 10, since the adjustment target parameter is specified based on the predetermined feature amount acquired from the correction instruction, the type of parameter to be adjusted to obtain a result image that matches the target image is determined. You can choose appropriately. As a result, parameter adjustment can be performed quickly and accurately.

請求項13,23,24に記載の発明によると、オペレータは、パラメータ値を直接入力するのではなく、結果データに対する修正指示を与えることによってパラメータの調整を行うことが可能となる。つまり、容易な操作でデータ処理に係るパラメータを調整することができる。また、データ処理の結果得られるデータが目標データと一致するようなパラメータ値に調整するので、オペレータの所望通りのデータ処理結果をもたらすパラメータ値が得られることになる。つまり、データ処理に係るパラメータを的確に調整することができる。   According to the invention described in claims 13, 23, and 24, the operator can adjust the parameter by giving a correction instruction to the result data, instead of directly inputting the parameter value. That is, the parameters related to data processing can be adjusted with an easy operation. Further, since the parameter value is adjusted so that the data obtained as a result of the data processing matches the target data, a parameter value that provides the data processing result desired by the operator can be obtained. That is, the parameters related to data processing can be adjusted accurately.

請求項15に記載の発明によると、表示画面上から結果データに対する修正指示の入力を受け付けるので、オペレータは結果データに対する修正指示を容易かつ的確に入力することができる。その結果、パラメータ調整をより容易かつ的確に行うことが可能となる。   According to the fifteenth aspect of the present invention, since the input of the correction instruction for the result data is accepted from the display screen, the operator can input the correction instruction for the result data easily and accurately. As a result, parameter adjustment can be performed more easily and accurately.

請求項16に記載の発明によると、パラメータの値を変化させながら、適正なパラメータ値(すなわち、当該パラメータ値の下で得られた結果データが目標データと一致するようなパラメータ値)を検出するので、適正なパラメータ値を確実に検出することができる。   According to the invention of claim 16, an appropriate parameter value (that is, a parameter value that results data obtained under the parameter value matches with the target data) is detected while changing the parameter value. Therefore, an appropriate parameter value can be reliably detected.

請求項17に記載の発明によると、パラメータの調整値を、目標データと一致する結果データが得られたパラメータ値から構成される集合の中央値に決定するので、適正なパラメータ値の中でも最適な値をパラメータの調整値として決定することができる。   According to the invention described in claim 17, since the adjustment value of the parameter is determined to be the median value of the set composed of the parameter values from which the result data matching the target data is obtained, the optimum value among the appropriate parameter values is determined. The value can be determined as a parameter adjustment value.

請求項18に記載の発明によると、パラメータの調整値を、目標データと一致する結果データがパラメータの値を変化させる過程で最初に得られた際のパラメータ値に決定するので、パラメータ調整を迅速に行うことが可能となる。   According to the eighteenth aspect of the invention, the parameter adjustment value is determined to be the parameter value when the result data that matches the target data is first obtained in the process of changing the parameter value. Can be performed.

請求項22に記載の発明によると、修正指示から取得した所定の特徴量に基づいて調整対象パラメータを特定するので、目標データと一致するような結果データを得るために調整すべきパラメータの種類を適切に選択することができる。これによって、パラメータ調整を迅速かつ的確に行うことが可能となる。   According to the invention described in claim 22, since the adjustment target parameter is specified based on the predetermined feature amount acquired from the correction instruction, the type of parameter to be adjusted to obtain result data that matches the target data is determined. You can choose appropriately. As a result, parameter adjustment can be performed quickly and accurately.

〔第1の実施の形態〕
〈1.構成〉
図1は、この発明の第1の実施の形態に係るデータ処理装置の一態様である欠陥検査装置1を含む印刷システム100の構成を示す図である。欠陥検査装置1は、後に具体的に説明するように、作成した印刷物等に生じた欠陥を検出する装置であり、その欠陥の検出処理に係る画像処理のパラメータを調整する機能を有している。
[First Embodiment]
<1. Constitution>
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a printing system 100 including a defect inspection apparatus 1 which is an aspect of a data processing apparatus according to the first embodiment of the present invention. As will be described in detail later, the defect inspection apparatus 1 is an apparatus that detects a defect that has occurred in a printed matter that has been created, and has a function of adjusting image processing parameters related to the defect detection process. .

〈1−1.印刷システム構成〉
印刷システム100は、欠陥検査装置1と、印刷データ作成装置2と、製版装置3と、出力装置4と、イメージスキャナ5とが、LAN(Local Area Network)などのネットワークNを介して互いに電気的に接続されているシステムである。印刷システム100においては、印刷データの作成から、製版、出力までの印刷の一連のワークフローが行われる。
<1-1. Printing system configuration>
In the printing system 100, a defect inspection device 1, a print data creation device 2, a plate making device 3, an output device 4, and an image scanner 5 are electrically connected to each other via a network N such as a LAN (Local Area Network). It is a system connected to. In the printing system 100, a series of printing workflows from creation of print data to plate making and output is performed.

欠陥検査装置1は、基準画像を出力して得られた印刷物や製版フィルム、刷版等に生じた欠陥を検出する検版/印刷物検査を行う装置である。なお、検版/印刷物検査の検査対象となる印刷物や製版フィルム、刷版等を、以下において、「検査対象物」と総称する。検版/印刷物検査とは、検査対象物の画像データ(以下において、「検査対象データD1」という。)と、当該検査対象物を作成する基準となった画像データ(以下において「基準データD0」という。)との差異を欠陥として検出する処理である。   The defect inspection apparatus 1 is an apparatus that performs plate inspection / printed object inspection for detecting defects generated in a printed material, a plate-making film, a printing plate, or the like obtained by outputting a reference image. Hereinafter, a printed material, a plate making film, a printing plate, or the like, which is an inspection target for plate inspection / printed material inspection, is collectively referred to as “inspection object”. Plate inspection / printed material inspection refers to image data of an inspection object (hereinafter referred to as “inspection data D1”) and image data used as a reference for generating the inspection object (hereinafter referred to as “reference data D0”). This is a process for detecting a difference from that as a defect.

印刷データ作成装置2は、印刷データを作成する装置である。より具体的には、印刷画像における画像配置等のレイアウト処理を行ってレイアウトデータを作成し、さらに、作成されたレイアウトデータをRIP処理(ラスタライズ処理)によって多階調の画像データに変換する。なお、RIP処理については、印刷データ作成装置2とは別の独立した装置において行われる構成としてもよい。   The print data creation device 2 is a device that creates print data. More specifically, layout data such as image layout in a print image is generated to generate layout data, and the generated layout data is converted into multi-gradation image data by RIP processing (rasterization processing). The RIP process may be performed by an independent device different from the print data creation device 2.

印刷データ作成装置2は、同一のレイアウトデータから、使用する目的に応じた種々の解像度の画像データを生成することが可能である。例えば、出力用に用いられる画像データとして2400dpi程度の高解像度の網点化画像データを生成する一方で、検査に用いられる基準データD0として300dpi程度の粗い解像度の多階調の画像データを生成することができる。ただし、基準データD0の解像度は検査対象データD1に応じて決定されることが望ましく、この実施の形態においては、基準データD0の解像度は検査対象データD1と同じレベルに設定される。例えば、印刷物を300dpiの解像度のデジタルカメラで撮影して検査対象データD1を取得する場合、印刷データ作成装置2は、レイアウトデータを300dpiの解像度でRIP展開して基準データD0を作成する。作成された基準データD0は、ネットワークNを介して欠陥検査装置1に送られて、検版/印刷物検査に用いられる。   The print data creation device 2 can generate image data of various resolutions according to the purpose of use from the same layout data. For example, high-resolution halftone image data of about 2400 dpi is generated as image data used for output, while multi-tone image data of coarse resolution of about 300 dpi is generated as reference data D0 used for inspection. be able to. However, it is desirable that the resolution of the reference data D0 is determined according to the inspection object data D1, and in this embodiment, the resolution of the reference data D0 is set to the same level as that of the inspection object data D1. For example, when the printed data is photographed with a digital camera having a resolution of 300 dpi and the inspection object data D1 is acquired, the print data creation device 2 creates the reference data D0 by RIP-developing the layout data at a resolution of 300 dpi. The created reference data D0 is sent to the defect inspection apparatus 1 via the network N and used for plate inspection / printed material inspection.

製版装置3は、網点化画像データに基づいて刷版を出力する装置(いわゆるCTP装置)である。より具体的には、レーザ露光によって網点化画像データに基づく印刷画像を版材上に形成することによって、刷版を作成する。なお、イメージセッタにより網点化画像データに基づく製版フィルムを作成し、作成した製版フィルムを用いて刷版を作成する態様であってもよい。この場合、製版装置3にはイメージセッタを含むものとする。   The plate making apparatus 3 is an apparatus (so-called CTP apparatus) that outputs a printing plate based on halftone image data. More specifically, a printing plate is created by forming a printing image based on halftone image data on a printing plate by laser exposure. In addition, the platemaking film based on halftone image data may be created by an image setter, and the printing plate may be created using the created platemaking film. In this case, the plate making apparatus 3 includes an image setter.

出力装置4は、製版装置3において作成された刷版を用いて、印刷用紙に印刷を行う装置である。なお、刷版を介さずに、網点化画像データから直接に印刷用紙にデジタル出力を行う態様であってもよい。   The output device 4 is a device that performs printing on printing paper using the printing plate created in the plate making device 3. Note that the digital output may be performed directly on the printing paper from the halftone image data without using the printing plate.

イメージスキャナ5は、検版/印刷物検査の検査対象物を読み取って、検査対象データD1を取得する装置である。取得された検査対象データD1は、ネットワークNを介して欠陥検査装置1に送られて、検版/印刷物検査に用いられる。   The image scanner 5 is an apparatus that reads an inspection target for plate inspection / printed material inspection and acquires inspection target data D1. The acquired inspection object data D1 is sent to the defect inspection apparatus 1 via the network N and used for plate inspection / printed material inspection.

〈1−2.欠陥検査装置の構成〉
欠陥検査装置1は、コンピュータによって実現される。より具体的には、欠陥検査装置1は、CPU11a、ROM11b、およびRAM11cから構成され、後述する各機能を実現する制御部11と、このコンピュータを欠陥検査装置1として機能させるためのプログラムPなどを格納するための記憶部12と、オペレータが各種の指示を入力するためのマウスやキーボードなどからなる操作部13と、ディスプレイ等の表示部14と、ハードディスクなどにより構成され、メディアリーダ/ライタ151を通じて記録媒体Mとの間でデータのリード/ライトを行うためのR/W部15と、ネットワークN上の他の装置との間でデータの受け渡しを行うためのインターフェースである通信部16とを主として備えている。
<1-2. Configuration of defect inspection system>
The defect inspection apparatus 1 is realized by a computer. More specifically, the defect inspection apparatus 1 includes a CPU 11a, a ROM 11b, and a RAM 11c. The defect inspection apparatus 1 includes a control unit 11 that realizes functions described later, a program P for causing the computer to function as the defect inspection apparatus 1, and the like. A storage unit 12 for storing, an operation unit 13 including a mouse and a keyboard for an operator to input various instructions, a display unit 14 such as a display, a hard disk, and the like are configured through a media reader / writer 151. The R / W unit 15 for reading / writing data from / to the recording medium M and the communication unit 16 serving as an interface for transferring data to / from other devices on the network N are mainly used. I have.

なお、欠陥検査装置1においては、操作部13を通じた操作内容や、種々の処理についての処理状況などを表示部14にて表示させつつ処理を行うことができる、いわゆるGUI(Graphical User Interface)101(図2参照)が、制御部11、操作部13、表示部14の機能により実現されている。これによって、オペレータは、表示部14に表示された画面を参照しながら操作部13を用いて所定の操作を行うことによりコンピュータに指示を与えることができる。   In the defect inspection apparatus 1, a so-called GUI (Graphical User Interface) 101 that can perform processing while displaying the operation content through the operation unit 13 and the processing status of various processes on the display unit 14. (See FIG. 2) is realized by the functions of the control unit 11, the operation unit 13, and the display unit 14. Thus, the operator can give an instruction to the computer by performing a predetermined operation using the operation unit 13 while referring to the screen displayed on the display unit 14.

〈1−3.パラメータの調整に関する構成〉
欠陥検査装置1は、検版/印刷物検査に係る画像処理のパラメータを調整する機能を有している。図2は、パラメータ調整機能に関する構成を説明する図である。欠陥検査装置1は、パラメータ調整に関する構成として、基準データ取得部110と、検査対象データ取得部120と、欠陥検出処理部130と、目標データ作成部140と、調整対象パラメータ特定部150と、調整定数決定部160と、パラメータ調整処理部170とを備えている。これら各部は、制御部11が記憶部12に記憶されている所定のプログラムPを実行することにより実現される構成要素である。
<1-3. Configuration related to parameter adjustment>
The defect inspection apparatus 1 has a function of adjusting image processing parameters related to plate inspection / printed material inspection. FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration related to the parameter adjustment function. The defect inspection apparatus 1 includes a reference data acquisition unit 110, an inspection target data acquisition unit 120, a defect detection processing unit 130, a target data creation unit 140, an adjustment target parameter identification unit 150, and an adjustment as a configuration related to parameter adjustment. A constant determination unit 160 and a parameter adjustment processing unit 170 are provided. Each of these units is a component realized by the control unit 11 executing a predetermined program P stored in the storage unit 12.

基準データ取得部110は、操作部13を介して受け付けられたオペレータの指示に従って、基準データD0を取得する。より具体的には、ネットワークNを介して印刷データ作成装置2から基準データD0を取得する。また、図1に示されるように、可搬性の記録媒体M(例えば、MO(光磁気ディスク)やCD−R/RWなど)に記録された基準データD0を、MOドライブやCD−R/RWドライブなどからなるメディアリーダ/ライタ151から読み取って基準データD0を取得することも可能である。基準データ取得部110は、取得した基準データD0を記憶部12に格納する。   The reference data acquisition unit 110 acquires reference data D0 in accordance with an operator instruction received via the operation unit 13. More specifically, the reference data D0 is acquired from the print data creation device 2 via the network N. Further, as shown in FIG. 1, reference data D0 recorded on a portable recording medium M (for example, MO (magneto-optical disk) or CD-R / RW) is converted into MO drive or CD-R / RW. It is also possible to acquire the reference data D0 by reading from a media reader / writer 151 such as a drive. The reference data acquisition unit 110 stores the acquired reference data D0 in the storage unit 12.

検査対象データ取得部120は、操作部13を介して受け付けられたオペレータの指示に従って、検査対象データD1を取得する。より具体的には、ネットワークNを介してイメージスキャナ5から検査対象データD1を取得する。また、デジタルカメラ等によって検査対象物を撮影して得られた検査対象データD1が記録された記録媒体Mを、メディアリーダ/ライタ151で読み取って検査対象データD1を取得することも可能である。検査対象データ取得部120は、取得した検査対象データD1を記憶部12に格納する。   The inspection target data acquisition unit 120 acquires the inspection target data D <b> 1 in accordance with an operator instruction received via the operation unit 13. More specifically, the inspection object data D1 is acquired from the image scanner 5 via the network N. It is also possible to read the recording medium M on which the inspection target data D1 obtained by photographing the inspection target with a digital camera or the like is read by the media reader / writer 151 to acquire the inspection target data D1. The inspection target data acquisition unit 120 stores the acquired inspection target data D1 in the storage unit 12.

図3(a)には、基準データD0が例示されている。また、図3(b)には、図3(a)に例示される基準データD0に基づいて作成された検査対象物の検査対象データD1が例示されている。上述の通り、基準データD0は、印刷物を作成する基準となった画像データであり、検査対象データD1は、検査対象物の画像データである。本来であれば、検査対象データD1は基準データD0と完全に一致することが望ましい。しかしながら、印刷工程の中で生じうる各種の要因(例えばホコリの混入や、位置のずれ)によって、図3に示されるように、検査対象データD1において基準データD0と相違する部分(欠陥)が生じる可能性がある。後述する欠陥検出処理部130は、後述する欠陥検出アルゴリズムを実行することによってこの欠陥を検出する。   FIG. 3A illustrates the reference data D0. Further, FIG. 3B illustrates the inspection target data D1 of the inspection target created based on the reference data D0 illustrated in FIG. 3A. As described above, the reference data D0 is image data serving as a reference for creating a printed material, and the inspection target data D1 is image data of the inspection target. Originally, it is desirable that the inspection object data D1 completely coincide with the reference data D0. However, due to various factors that may occur in the printing process (for example, dust contamination or positional deviation), as shown in FIG. 3, a portion (defect) that differs from the reference data D0 occurs in the inspection target data D1. there is a possibility. The defect detection processing unit 130 described later detects this defect by executing a defect detection algorithm described later.

欠陥検出処理部130は、記憶部12に格納された基準データD0と当該基準データD0を出力して得られる検査対象データD1とを比較して検査対象データD1に生じている欠陥部分を検出し、その検出された欠陥部分を非欠陥部分とは異なる表示形態にて表示した結果データD2を作成する画像処理を行う。より具体的には、記憶部12に格納された基準データD0と検査対象データD1とに対して所定の欠陥検出を実行して検査対象データD1に生じている欠陥を検出する。欠陥検出画像処理とは、より具体的には、ぼかし処理、ゆすらせ処理、比較処理、孤立点除去処理であり、これらの画像処理は、欠陥を検出するための一連のアルゴリズム(以下において「欠陥検出アルゴリズム」という。)の中で所定の順序で実行される。   The defect detection processing unit 130 compares the reference data D0 stored in the storage unit 12 with the inspection target data D1 obtained by outputting the reference data D0, and detects a defective portion generated in the inspection target data D1. Then, image processing for creating result data D2 in which the detected defective portion is displayed in a display form different from that of the non-defective portion is performed. More specifically, a predetermined defect detection is performed on the reference data D0 and the inspection target data D1 stored in the storage unit 12 to detect defects occurring in the inspection target data D1. More specifically, the defect detection image processing is blurring processing, swaying processing, comparison processing, and isolated point removal processing. These image processing is a series of algorithms for detecting defects (hereinafter referred to as “defects”). The detection algorithm is executed in a predetermined order.

欠陥検出処理部130は、欠陥検出画像処理を行う処理部であるぼかし処理部131と、ゆすらせ処理部132と、比較処理部133と、孤立点除去処理部134とを備えている。また、検出結果を反映させて結果データD2を作成する結果画像作成部135を備えている。   The defect detection processing unit 130 includes a blur processing unit 131 that is a processing unit that performs defect detection image processing, a sway processing unit 132, a comparison processing unit 133, and an isolated point removal processing unit 134. In addition, a result image creation unit 135 that creates the result data D2 by reflecting the detection result is provided.

ぼかし処理部131は、ぼかし処理に係るパラメータ(ぼかしパラメータP1)に従ってぼかし処理を実行する。ぼかし処理とは、基準データD0と検査対象データD1とにぼかしをかける処理であり、より具体的には、処理対象の画素とその近傍にある所定数個の画素について平均値を算出し、算出された値を当該画素の出力値とすることによって行われる。ここで、ぼかしの程度は、平均値の算出において算入される画素の範囲(より具体的には、ぼかし半径)によって規定されることとなり、このぼかし半径が、ぼかしパラメータP1として設定される。ぼかし処理を欠陥検出アルゴリズムに組み込んで実行することによって、両画像データを同程度のぼけ具合で適正に比較することが可能となる。   The blur processing unit 131 executes blur processing according to a parameter (blur parameter P1) related to the blur processing. The blurring process is a process of blurring the reference data D0 and the inspection target data D1, and more specifically, an average value is calculated and calculated for a pixel to be processed and a predetermined number of pixels in the vicinity thereof. This is done by using the obtained value as the output value of the pixel. Here, the degree of blurring is defined by the pixel range (more specifically, blur radius) that is included in the calculation of the average value, and this blur radius is set as the blur parameter P1. By executing blur processing in a defect detection algorithm, both image data can be properly compared with the same degree of blur.

ゆすらせ処理部132は、ゆすらせ処理に係るパラメータ(ゆすらせパラメータP2)に従ってゆすらせ処理を実行する。ゆすらせ処理とは、基準データD0、検査対象データD1のうちどちらか一方の画像データの配置位置を仮想的にずらして両画像を比較する処理であり、ゆすらせる画素の範囲(より具体的には、ゆすらせる画素範囲を規定するゆすらせ半径)が比較パラメータP2として設定される。ゆすらせ処理を欠陥検出アルゴリズムに組み込んで実行することによって、検査対象データD1における線画や絵柄の配置位置が基準データD0における配置位置からずれている場合(いわゆる画素ずれが生じている場合)であっても、画素ずれをキャンセルして本来の差分値を検出することが可能となる。   The swaying processing unit 132 executes the swaying process according to the parameter related to the swaying process (swaying parameter P2). The swaying process is a process of comparing the two images by virtually shifting the arrangement position of one of the reference data D0 and the inspection target data D1, and is a range of pixels to be swayed (more specifically, Is set as a comparison parameter P2. This is a case where the arrangement position of the line drawing or the pattern in the inspection target data D1 is deviated from the arrangement position in the reference data D0 (when so-called pixel deviation occurs) by executing the sway process by incorporating it in the defect detection algorithm. However, it is possible to cancel the pixel shift and detect the original difference value.

比較処理部133は、比較処理に係るパラメータ(比較パラメータP3)に従って比較処理を実行する。比較処理とは、基準データD0と検査対象データD1との間に生じた階調の差を欠陥として検出する処理である。より具体的には、基準データD0と検査対象データD1とについて、対応する画素毎に階調差の差分値を算出し、算出された差分値が所定の閾値より大きな場合に、当該画素を欠陥と判断する。欠陥として検出すべき階調差を規定する閾値(すなわち、階調マージン)が、比較パラメータP3として設定される。   The comparison processing unit 133 executes the comparison process according to the parameter related to the comparison process (comparison parameter P3). The comparison process is a process for detecting a difference in gradation generated between the reference data D0 and the inspection target data D1 as a defect. More specifically, with respect to the reference data D0 and the inspection target data D1, the difference value of the gradation difference is calculated for each corresponding pixel, and if the calculated difference value is larger than a predetermined threshold value, the pixel is determined to be defective. Judge. A threshold (that is, a gradation margin) that defines a gradation difference to be detected as a defect is set as the comparison parameter P3.

孤立点除去処理部134は、孤立点除去処理に係るパラメータ(孤立点除去パラメータP4)に従って孤立点除去処理を実行する。孤立点除去処理とは、基準データD0と検査対象データD1との間において差分が生じている画素が小さな画素範囲に孤立して存在している場合に、これを不要な孤立点として除去する処理である。ここで、孤立点と判断する画素範囲(より具体的には、孤立点を形成する画素の数を規定する孤立点除去画素数)が、孤立点除去パラメータP4として設定される。   The isolated point removal processing unit 134 executes the isolated point removal process in accordance with a parameter related to the isolated point removal process (isolated point removal parameter P4). The isolated point removal process is a process for removing an isolated point as an unnecessary isolated point when a pixel having a difference between the reference data D0 and the inspection target data D1 exists in a small pixel range. It is. Here, a pixel range that is determined as an isolated point (more specifically, the number of isolated point removal pixels that defines the number of pixels that form an isolated point) is set as the isolated point removal parameter P4.

なお、この実施の形態における欠陥検出アルゴリズムは、これらの各処理部131〜134が記憶部12から読み出された基準データD0、検査対象データD1に対して所定の画像処理を実行することによって行われるものであり、より具体的には、例えば次の流れで行われる。   The defect detection algorithm in this embodiment is performed by executing predetermined image processing on the reference data D0 and inspection target data D1 read by the processing units 131 to 134 from the storage unit 12. More specifically, for example, the following flow is performed.

まず、ぼかし処理部131が、基準データD0と検査対象データD1とに対してぼかし処理を実行する。ぼかし処理が実行されることによって、RIP展開して得られた画像データである基準データD0がカメラなどで撮像されて得られた検査対象データD1と同程度のぼけ具合となるように補正される。   First, the blurring processing unit 131 performs a blurring process on the reference data D0 and the inspection target data D1. By executing the blurring process, the reference data D0, which is image data obtained by RIP development, is corrected so as to have the same degree of blur as the inspection target data D1 obtained by imaging with a camera or the like. .

続いて、ゆすらせ処理部132が検査対象データD1に対してゆすらせ処理を実行し、比較処理部133が、ゆすらせ理が行われた検査対象データD1と基準データD0とに対して比較処理を実行する。これによって、画素ずれをキャンセルした上で、有意な階調差が検出される。   Subsequently, the swaying processing unit 132 performs swaying processing on the inspection target data D1, and the comparison processing unit 133 performs comparison processing on the inspection target data D1 and the reference data D0 on which the swaying process has been performed. Execute. Thus, a significant gradation difference is detected after canceling the pixel shift.

さらに、孤立点除去処理部134が、孤立点除去処理を実行して、比較処理の結果に生じている不要な孤立点を除去する。これによって、欠陥として検出すべきではないほど小さな孤立点までもが欠陥として検出されることが回避される。   Further, the isolated point removal processing unit 134 executes an isolated point removal process to remove unnecessary isolated points generated as a result of the comparison process. This avoids detecting even a small isolated point that should not be detected as a defect as a defect.

再び図2を参照する。結果画像作成部135は、結果データD2を作成する。結果データD2は、検査対象データD1中の欠陥部分(すなわち、基準データD0および検査対象データD1に対して欠陥検出アルゴリズムが実行された結果、検査対象データD1において欠陥として抽出された部分)を非欠陥部分(すなわち、欠陥として抽出された部分以外の部分)とは異なる表示形態にて特徴的に表示した画像データである。   Refer to FIG. 2 again. The result image creation unit 135 creates result data D2. The result data D2 is a non-defect portion in the inspection target data D1 (that is, a portion extracted as a defect in the inspection target data D1 as a result of executing the defect detection algorithm on the reference data D0 and the inspection target data D1). The image data is characteristically displayed in a display form different from the defective portion (that is, the portion other than the portion extracted as the defect).

図4(a)には、図3に例示される基準データD0および検査対象データD1に対して欠陥検出アルゴリズムを実行することによって得られた結果データD2が例示されている。結果データD2は、非欠陥部分、つまり検査対象データD1において基準データD0との間に有意な差分が生じていないと判断された領域(適正領域S1,S2,S3)については薄く表示され、欠陥部分、つまり基準データD0との間で有意な差分が生じていると判断された領域(欠陥領域T1,T2)については、太らせ処理によって太らせた上で、所定の色(例えばマゼンダ色)で表示される。   FIG. 4A illustrates result data D2 obtained by executing the defect detection algorithm on the reference data D0 and the inspection target data D1 illustrated in FIG. In the result data D2, the non-defective portion, that is, the region (appropriate regions S1, S2, S3) in which it is determined that there is no significant difference from the reference data D0 in the inspection target data D1, is displayed lightly. The areas (defect areas T1, T2) that are determined to have a significant difference with respect to the portion, that is, the reference data D0 are fattened by a fattening process and then a predetermined color (for example, magenta color). Is displayed.

目標データ作成部140は、オペレータから結果データD2に対する修正指示を受け付けるとともに、当該指示内容を結果データD2に反映させた画像データ(以下において「目標データD3」という。)を作成する。   The target data creation unit 140 receives a correction instruction for the result data D2 from the operator, and creates image data (hereinafter referred to as “target data D3”) in which the content of the instruction is reflected in the result data D2.

図4(b)には、図4(a)に例示される結果データD2に対するオペレータからの修正指示を受け付けて作成した目標データD3が例示されている。例えば、図4(a)に示される結果データD2における欠陥領域T1,T2のうち、欠陥領域T2を適正領域に修正する指示をオペレータから受けた場合、目標データ作成部140は、図4(b)に示されるように欠陥領域T2を適正領域に修正した目標データD3を作成する。より具体的には、結果データD2における欠陥領域T2の部分を適正領域として薄く表示された状態に修正する。なお、オペレータは、結果データD2に対する修正指示を、結果データD2が表示された画面上から与えることができる(図7参照)。これについては後にさらに具体的に説明する。   FIG. 4B illustrates target data D3 created by receiving a correction instruction from the operator for the result data D2 illustrated in FIG. For example, when receiving an instruction from the operator to correct the defect area T2 to the appropriate area among the defect areas T1 and T2 in the result data D2 shown in FIG. ), Target data D3 in which the defect area T2 is corrected to an appropriate area is created. More specifically, the portion of the defect area T2 in the result data D2 is corrected to a thinly displayed state as an appropriate area. The operator can give a correction instruction for the result data D2 from the screen on which the result data D2 is displayed (see FIG. 7). This will be described more specifically later.

調整対象パラメータ特定部150は、欠陥検出画像処理に係るパラメータP1〜P4のうちから、調整の対象となる1以上のパラメータ(以下において「調整対象パラメータ」という。)を特定する。調整対象パラメータの特定は、より具体的には、オペレータから、パラメータP1〜P4のうちで調整を所望するパラメータの選択入力を受け付けることによって行われる。   The adjustment target parameter specifying unit 150 specifies one or more parameters (hereinafter referred to as “adjustment target parameters”) to be adjusted from the parameters P1 to P4 related to the defect detection image processing. More specifically, the parameter to be adjusted is specified by receiving selection input of a parameter desired to be adjusted among the parameters P1 to P4 from the operator.

調整定数決定部160は、各調整対象パラメータの「調整幅」と「分割数」とを決定する。調整幅および分割数の決定は、より具体的には、オペレータから調整幅および分割数の値の入力を受け付けることによって行われる。ただし、「調整幅」とは調整対象パラメータの調整範囲(すなわち、後述するパラメータ調整処理部170が変化させるパラメータ値の範囲)であり、パラメータ値の最小値と最大値とによって規定される。また、「分割数」とは、パラメータ値の変化幅(すなわち、パラメータ調整処理部170がパラメータ値を変化させる際の変化量)である。   The adjustment constant determination unit 160 determines the “adjustment width” and “number of divisions” of each adjustment target parameter. More specifically, the adjustment width and the number of divisions are determined by receiving input of values of the adjustment width and the number of divisions from the operator. However, the “adjustment width” is an adjustment range of the parameter to be adjusted (that is, a parameter value range changed by the parameter adjustment processing unit 170 described later), and is defined by the minimum value and the maximum value of the parameter value. The “number of divisions” is a change width of the parameter value (that is, a change amount when the parameter adjustment processing unit 170 changes the parameter value).

例えば、ぼかしパラメータP1の調整幅が「最大値=8pix」「最小値=1pix」と設定され、分割数が「1pix」と設定された場合(図9参照)、パラメータ調整処理部170は、ぼかしパラメータP1の値を「1pix」から「8pix」まで、「1pix」毎に変化させながら、その中で最適なぼかしパラメータP1の値を決定する。なお、以下において、調整幅によって規定される調整範囲を分割数によって規定される変化幅で変化させた際に取りうるパラメータの値を「試行値」という。つまり、パラメータの調整値は試行値のいずれかに決定されることになる。   For example, when the adjustment range of the blur parameter P1 is set to “maximum value = 8 pix” and “minimum value = 1 pix” and the number of divisions is set to “1 pix” (see FIG. 9), the parameter adjustment processing unit 170 While changing the value of the parameter P1 from “1 pix” to “8 pix” for each “1 pix”, the optimum value of the blurring parameter P 1 is determined. Hereinafter, a parameter value that can be taken when the adjustment range defined by the adjustment range is changed by the change range defined by the number of divisions is referred to as a “trial value”. That is, the parameter adjustment value is determined as one of the trial values.

なお、最小値に「0」が設定された場合、パラメータの調整値が「0」に決定される可能性もある。この場合、パラメータ値が「0」に設定された調整処理は、欠陥検出アルゴリズムにおいて実質的には行われないことになる。   If “0” is set as the minimum value, the parameter adjustment value may be determined to be “0”. In this case, the adjustment process in which the parameter value is set to “0” is not substantially performed in the defect detection algorithm.

パラメータ調整処理部170は、調整対象パラメータの調整値を決定する。パラメータ調整処理部170は、パラメータ値適否判断部171と、パラメータ値決定部172とを備えている。   The parameter adjustment processing unit 170 determines an adjustment value of the adjustment target parameter. The parameter adjustment processing unit 170 includes a parameter value suitability determination unit 171 and a parameter value determination unit 172.

パラメータ値適否判断部171は、パラメータの値を順に変化させながら(より具体的には、パラメータの値を調整幅によって規定される調整範囲を分割数によって規定される変化幅で変化させながら(さらに換言すると、欠陥検出画像処理に係るパラメータP1〜P4の各値により構成されるパラメータ値群(P1,P2,P3,P4)(すなわち、パラメータP1〜P4の各値の組み合わせ)において、調整対象パラメータの値を順に変化させながら))、各パラメータ値の下で得られた結果データD2が目標データD3と一致するか否かを判断する。つまり、パラメータP1〜P4の各試行値の全通りの組み合わせについて、各組み合わせが、目標データD3と一致する結果データD2を与えるパラメータ値の組み合わせであるか否かを判断する。ただし、目標データD3と結果データD2とが一致するか否かの判断は、より具体的には、両画像データの欠陥領域の部分が一致するか否かを判断することにより行われる。なお、パラメータ値適否判断部171が目標データD3と一致すると判断した結果データD2が得られたパラメータ値を以下において「適正値」という。また、目標データD3と一致する結果データD2を与えるパラメータ値群を、以下において「適正パラメータ値群」という。つまり、適正パラメータ値群を構成するパラメータ値が「適正値」となる。例えば、パラメータP1〜P4のうちで調整対象パラメータがパラメータP3である場合において、調整対象パラメータP3の値が「n」のパラメータ値群の下で欠陥検出アルゴリズムを実行したとする。そこで得られた結果データD2の欠陥領域の部分が目標データD3の欠陥領域の部分と一致する場合、このパラメータ値群は適正パラメータ値群であるといえる。また、パラメータP3についてパラメータ値「n」は適正値であるといえる。   The parameter value suitability determination unit 171 changes the parameter value in order (more specifically, changing the parameter value within the adjustment range defined by the adjustment range with the change range defined by the number of divisions (further, In other words, in the parameter value group (P1, P2, P3, P4) composed of the values of the parameters P1 to P4 related to the defect detection image processing (that is, the combination of the values of the parameters P1 to P4), It is determined whether the result data D2 obtained under each parameter value matches the target data D3. That is, for all combinations of the trial values of the parameters P1 to P4, it is determined whether or not each combination is a combination of parameter values that gives result data D2 that matches the target data D3. However, the determination as to whether or not the target data D3 and the result data D2 match is made more specifically by determining whether or not the defective areas of both image data match. The parameter value from which the data D2 obtained as a result of determining that the parameter value suitability determining unit 171 matches the target data D3 is hereinafter referred to as “appropriate value”. In addition, the parameter value group that gives the result data D2 that matches the target data D3 is hereinafter referred to as an “appropriate parameter value group”. That is, the parameter values constituting the appropriate parameter value group are “appropriate values”. For example, when the adjustment target parameter is the parameter P3 among the parameters P1 to P4, it is assumed that the defect detection algorithm is executed under a parameter value group in which the value of the adjustment target parameter P3 is “n”. If the defect area portion of the result data D2 obtained there coincides with the defect area portion of the target data D3, it can be said that this parameter value group is an appropriate parameter value group. Further, it can be said that the parameter value “n” is an appropriate value for the parameter P3.

パラメータ値決定部172は、調整対象パラメータの調整結果として出力する値(すなわち調整値)を決定する。より具体的には、適正パラメータ値群から構成される集合の中央値に決定する。すなわち、各調整対象パラメータについての適正値から構成される集合の中央値を選択して調整値に決定する。例えば、調整対象パラメータが1種類の場合、図11(a)に示されるように、適正値Taから構成される集合Q1の中央値である試行値Taoを選択して調整値に決定する。   The parameter value determination unit 172 determines a value (that is, an adjustment value) to be output as an adjustment result of the adjustment target parameter. More specifically, it is determined to be the median value of a set composed of appropriate parameter value groups. That is, a median value of a set composed of appropriate values for each adjustment target parameter is selected and determined as an adjustment value. For example, when there is one type of parameter to be adjusted, as shown in FIG. 11A, the trial value Tao, which is the median value of the set Q1 composed of appropriate values Ta, is selected and determined as the adjustment value.

〈2.処理〉
次に、欠陥検査装置1におけるパラメータ調整処理について説明する。
<2. processing>
Next, parameter adjustment processing in the defect inspection apparatus 1 will be described.

〈パラメータ調整処理の全体の流れ〉
図5は、欠陥検査装置1におけるパラメータ調整処理(より具体的には、欠陥検出画像処理に係るパラメータP1〜P4の調整処理)の全体の流れを示す図である。
<Overall flow of parameter adjustment processing>
FIG. 5 is a diagram illustrating an overall flow of parameter adjustment processing (more specifically, adjustment processing of parameters P1 to P4 related to defect detection image processing) in the defect inspection apparatus 1.

まず、基準データ取得部110と検査対象データ取得部120とが、それぞれ基準データD0(図3(a)参照)と検査対象データD1(図3(b)参照)とを取得して記憶部12に格納する(ステップS1)。   First, the reference data acquisition unit 110 and the inspection target data acquisition unit 120 acquire the reference data D0 (see FIG. 3A) and the inspection target data D1 (see FIG. 3B), respectively, and store the storage unit 12. (Step S1).

続いて、欠陥検出処理部130が、ステップS1で取得された基準データD0と検査対象データD1に対して欠陥検出アルゴリズムを実行して検査対象データD1における欠陥を検出し、検出結果を反映させた結果データD2(図4(a)参照)を作成する(ステップS2)。   Subsequently, the defect detection processing unit 130 executes a defect detection algorithm on the reference data D0 and the inspection target data D1 acquired in step S1, detects a defect in the inspection target data D1, and reflects the detection result. Result data D2 (see FIG. 4A) is created (step S2).

続いて、目標データ作成部140が、オペレータから結果データD2に対する修正指示を受け付けるとともに、当該指示内容を結果データD2に反映させた目標データD3(図4(b)参照)を作成する(ステップS3)。   Subsequently, the target data creation unit 140 receives a correction instruction for the result data D2 from the operator, and creates target data D3 (see FIG. 4B) in which the content of the instruction is reflected in the result data D2 (step S3). ).

続いて、調整対象パラメータ特定部150が、欠陥検出画像処理に係るパラメータP1〜P4のうちから調整対象パラメータを特定するとともに、各調整対象パラメータの調整幅と分割数とを決定する(ステップS4)。   Subsequently, the adjustment target parameter specifying unit 150 specifies the adjustment target parameter from the parameters P1 to P4 related to the defect detection image processing, and determines the adjustment width and the number of divisions of each adjustment target parameter (step S4). .

続いて、パラメータ調整処理部170が、調整対象パラメータの調整値を決定する(ステップS5)。   Subsequently, the parameter adjustment processing unit 170 determines an adjustment value of the adjustment target parameter (step S5).

続いて、パラメータ調整処理部170が、ステップS5で決定された調整値と、ステップS3で作成された目標データD3と、決定されたパラメータ値の下で欠陥検出アルゴリズムを実行した際に得られた結果データD2とを、表示部14に表示する(ステップS6)。   Subsequently, the parameter adjustment processing unit 170 is obtained when the defect detection algorithm is executed under the adjustment value determined in step S5, the target data D3 created in step S3, and the determined parameter value. The result data D2 is displayed on the display unit 14 (step S6).

ステップS6の表示結果をみたオペレータから、調整対象パラメータの値を表示された調整値に設定する旨の指示が受け付けられた場合(ステップS7でYES)、パラメータ調整処理部170は、調整対象パラメータの値をステップS5で決定された調整値に設定する(ステップS8)。以上でパラメータ値の調整処理が終了する。以下において、ステップS3,S4,S5の各処理についてより具体的に説明する。   When an instruction to set the adjustment target parameter value to the displayed adjustment value is received from the operator who has seen the display result of step S6 (YES in step S7), the parameter adjustment processing unit 170 displays the adjustment target parameter value. The value is set to the adjustment value determined in step S5 (step S8). This completes the parameter value adjustment process. Below, each process of step S3, S4, S5 is demonstrated more concretely.

〈2−1.目標データD3の作成処理〉
ステップS3の処理についてより具体的に説明する。図6は、ステップS3の処理の流れを示す図である。
<2-1. Processing for creating target data D3>
The process of step S3 will be described more specifically. FIG. 6 is a diagram showing the flow of processing in step S3.

はじめに、目標データ作成部140は、結果データD2に対する修正指示の受付画面Gを表示部14に表示する(ステップS11)。図7は、受付画面Gの構成例を示す図である。受付画面Gは、修正の対象となる結果データD2の全体を表示するフィールドg1と、結果データD2のうちで修正対象となる領域を拡大して表示するフィールドg2と、修正内容を決定する選択パネルを表示するフィールドg3とから構成されている。   First, the target data creation unit 140 displays a correction instruction reception screen G for the result data D2 on the display unit 14 (step S11). FIG. 7 is a diagram illustrating a configuration example of the reception screen G. The reception screen G includes a field g1 for displaying the entire result data D2 to be corrected, a field g2 for displaying a region to be corrected in the result data D2, and a selection panel for determining correction contents. And a field g3 for displaying.

まず、目標データ作成部140は、フィールドg1において修正対象となる領域の指定を受け付ける(ステップS12)。つまり、オペレータは、フィールドg1に表示された結果データD2の全体を見て結果データD2において修正したい部分が存在するか否かを判断し、修正したい部分が見つかった場合、マウスのドラッグ操作によって修正対象となる領域を指定する。目標データ作成部140は、当該領域指定を受け付ける。なお、領域指定はマウス以外の各種のポインティングデバイス(例えば、トラックボール、タッチパッド、タブレット等)によって行われてもよい。   First, the target data creation unit 140 accepts designation of an area to be corrected in the field g1 (step S12). That is, the operator looks at the entire result data D2 displayed in the field g1, determines whether there is a part to be corrected in the result data D2, and if a part to be corrected is found, corrects it by dragging the mouse. Specify the target area. The target data creation unit 140 accepts the area designation. The area designation may be performed by various pointing devices other than the mouse (for example, a trackball, a touch pad, a tablet, etc.).

フィールドg1において修正対象となる領域の指定を受け付けると、目標データ作成部140は、続いて当該指定された領域内をフィールドg2に拡大して表示する(ステップS13)。例えば、オペレータが、図7に示されるように、フィールドg1に表示された結果データD2において領域U0を指定した場合、目標データ作成部140は、領域U0の指定を受け付けて、フィールドg2に領域U0内を拡大して表示する。   When receiving the designation of the area to be corrected in the field g1, the target data creation unit 140 subsequently enlarges and displays the designated area in the field g2 (step S13). For example, as shown in FIG. 7, when the operator designates the area U0 in the result data D2 displayed in the field g1, the target data creation unit 140 accepts the designation of the area U0 and receives the area U0 in the field g2. The inside is enlarged and displayed.

続いて、目標データ作成部140は、フィールドg2において修正指示を実行する領域(以下において「修正対象領域U」という。)の指定を受け付ける(ステップS14)。つまり、オペレータにフィールドg2において結果データD2における修正したい部分をマウスのドラッグ操作等によってさらに細かく指定させて、目標データ作成部140が当該指定された領域を修正対象領域Uとして受け付ける。フィールドg2には結果データD2の一部領域が拡大表示されているので、オペレータはフィールドg1での領域指定よりもさらに細かい領域指定を行うことができる。   Subsequently, the target data creation unit 140 accepts designation of an area for executing a correction instruction in the field g2 (hereinafter referred to as “correction target area U”) (step S14). That is, the operator is caused to specify the portion to be corrected in the result data D2 in the field g2 more finely by dragging the mouse or the like, and the target data creation unit 140 accepts the specified region as the correction target region U. Since the partial area of the result data D2 is enlarged and displayed in the field g2, the operator can specify an area that is finer than the area specified in the field g1.

修正領域Uの領域指定を受け付けると、目標データ作成部140は、続いて修正対象領域Uに対して実行する修正の内容の入力を受け付ける(ステップS15)。この入力操作は、より具体的には、オペレータが、フィールドg3に表示された選択パネルのうち、修正内容を入力するパネル「追加」「削除」のいずれかを選択してクリックすることによって行われる。   When the area specification of the correction area U is received, the target data creation unit 140 subsequently receives an input of the content of correction to be performed on the correction target area U (step S15). More specifically, this input operation is performed when the operator selects and clicks one of the “addition” and “deletion” panels for inputting correction contents among the selection panels displayed in the field g3. .

修正内容の入力を受け付けると、目標データ作成部140は、結果データD2に対して指示された内容の修正を実行する(ステップS16)。例えば、オペレータが、「削除」のパネルを選択した場合、目標データ作成部140は修正対象領域U内に含まれる欠陥領域を適正領域に修正する。オペレータが、「追加」のパネルを選択した場合、目標データ作成部140は修正対象領域U内に含まれる適正領域を欠陥領域に修正する。以下において修正対象領域Uのなかで、実際に欠陥領域や適正領域に変更される対象となる領域のことを「差異領域V」という。   When the input of the correction content is received, the target data creation unit 140 executes the correction of the instructed content with respect to the result data D2 (step S16). For example, when the operator selects the “delete” panel, the target data creation unit 140 corrects the defect area included in the correction target area U into an appropriate area. When the operator selects the “add” panel, the target data creation unit 140 corrects the appropriate area included in the correction target area U to a defective area. Hereinafter, in the correction target area U, an area that is actually changed to a defective area or an appropriate area is referred to as a “difference area V”.

なお、上記においては、一旦フィールドg2において修正対象領域Uの指定を受け付けて(ステップS14)そこに含まれる差異領域Vに対して修正を実行している(ステップS16)が、フィールドg2において直接に差異領域Vの指定を受け付けることも可能である。この場合、オペレータは、例えばフィールドg2においてに表示された適正領域や欠陥領域の一部を、欠陥領域や適正領域に修正する指示を与えることができる(例えば、図13の修正指示E3参照)。   In the above description, once the designation of the correction target area U is received in the field g2 (step S14), the correction is performed on the difference area V included therein (step S16). It is also possible to accept the designation of the difference area V. In this case, for example, the operator can give an instruction to correct a part of the appropriate area or the defective area displayed in the field g2 to the defective area or the appropriate area (for example, refer to the correction instruction E3 in FIG. 13).

続いて、目標データ作成部140は、結果データD2にステップS15で受け付けた修正内容を反映したものをフィールドg1に表示する(ステップS17)。つまり、差異領域Vの表示態様を変更してフィールドg1に表示する。   Subsequently, the target data creation unit 140 displays in the field g1 the result data D2 reflecting the correction content received in step S15 (step S17). That is, the display mode of the difference area V is changed and displayed in the field g1.

続いて、目標データ作成部140は、修正完了の指示入力を待つ(ステップS18)。この指示入力操作は、より具体的には、オペレータが、フィールドg3に表示された選択パネルのうち、修正指示を終了して、調整すべきパラメータについての詳細を設定するための画面に移行する旨の指示を入力するパネル「詳細」を選択してクリックすることによって行われる。オペレータは、フィールドg1に表示された画像を見てさらに修正したい部分が存在するか否かを判断し、さらに修正したい部分が見つかった場合には、「詳細」パネルを選択することなくフィールドg1において修正対象となる領域を再度指定する。この場合、目標データ作成部140は、再びステップS12〜S17の処理を行って結果データD2に対する修正指示を受け付ける。一方、オペレータは、すべての修正箇所についての指示入力が完了したと判断した場合には「詳細」パネルを選択して修正指示終了の指示を入力する。   Subsequently, the target data creation unit 140 waits for an instruction input for completion of correction (step S18). More specifically, in this instruction input operation, the operator finishes the correction instruction in the selection panel displayed in the field g3, and shifts to a screen for setting details of parameters to be adjusted. This is done by selecting and clicking the panel “Details” for inputting the instruction. The operator looks at the image displayed in the field g1 to determine whether or not there is a part to be further corrected. If a part to be further corrected is found, the operator selects the field “g1” without selecting the “detail” panel. Specify the area to be corrected again. In this case, the target data creation unit 140 performs the processing of steps S12 to S17 again and receives a correction instruction for the result data D2. On the other hand, when the operator determines that the instruction input for all the correction points has been completed, the operator selects the “detail” panel and inputs an instruction to end the correction instruction.

修正指示終了の入力を受け付けると(ステップS18でYES)、目標データ作成部140は目標データD3の作成を完了して、作成された目標データD3を記憶部12に格納する(ステップS19)。以上で、ステップS3の処理が終了する。   When the input of the end of the correction instruction is accepted (YES in step S18), the target data creation unit 140 completes the creation of the target data D3 and stores the created target data D3 in the storage unit 12 (step S19). Above, the process of step S3 is complete | finished.

〈2−2.調整対象パラメータの特定処理〉
ステップS4の処理についてより具体的に説明する。図8は、ステップS4の処理の流れを示す図である。
<2-2. Identifying parameters to be adjusted>
The process of step S4 will be described more specifically. FIG. 8 is a diagram showing the flow of processing in step S4.

ステップS3の処理が完了すると(すなわち、受付画面Gにおいて「詳細」パネルの操作が受け付けられると)、調整対象パラメータ特定部150は、パラメータ調整についての設定入力の受付画面Hを表示部14に表示する(ステップS21)。図9は、受付画面Hの構成例を示す図である。受付画面Hは、調整対象パラメータの選択入力を受け付けるフィールドh1と、調整幅と分割数の入力を受け付けるフィールドh2と、設定入力の決定、キャンセルの選択パネルを表示するフィールドh3とから構成されている。   When the process of step S3 is completed (that is, when an operation on the “details” panel is accepted on the acceptance screen G), the adjustment target parameter specifying unit 150 displays a setting input acceptance screen H for parameter adjustment on the display unit 14. (Step S21). FIG. 9 is a diagram illustrating a configuration example of the reception screen H. The reception screen H includes a field h1 for receiving an input for selecting an adjustment target parameter, a field h2 for receiving an input of an adjustment width and the number of divisions, and a field h3 for displaying a selection input / decision selection panel. .

調整対象パラメータ特定部150は、はじめにフィールドh1において調整対象となるパラメータの選択を受け付ける(ステップS22)。より具体的には、フィールドh1に欠陥検出画像処理に係るパラメータP1〜P4の種類を表示するとともに、各パラメータP1〜P4についてのチェックボックスを表示する。オペレータは、マウス操作によってチェックボックスにチェックを入れることによってパラメータP1〜P4のうちから調整を所望するパラメータを選択することができる。   First, the adjustment target parameter specifying unit 150 accepts selection of a parameter to be adjusted in the field h1 (step S22). More specifically, the types of parameters P1 to P4 related to the defect detection image processing are displayed in the field h1, and check boxes for the parameters P1 to P4 are displayed. The operator can select a parameter desired to be adjusted from parameters P1 to P4 by checking a check box by operating the mouse.

図9の例においては、フィールドh1にはぼかしパラメータP1を示す「ぼかし半径」の項目と、ゆすらせパラメータP2を示す「ゆすらせ半径」の項目と、孤立点除去パラメータP4を示す「孤立点除去画素数」の項目とが表示されている。また、図9においては隠れた状態にあるが、フィールドh1の右側部分に表示されたバーをドラッグすると、さらに比較パラメータP3を示す「階調マージン」の項目が表示される。オペレータは、所望のパラメータのチェックボックスCにチェックを入れることによって調整を所望するパラメータを選択することができる。   In the example of FIG. 9, the field h1 includes an item “blur radius” indicating the blur parameter P1, an item “sway radius” indicating the blur parameter P2, and “isolation point removal” indicating the isolated point removal parameter P4. “Number of pixels” is displayed. In addition, although hidden in FIG. 9, when the bar displayed on the right side of the field h1 is dragged, an item of “gradation margin” indicating the comparison parameter P3 is further displayed. The operator can select the parameter desired to be adjusted by checking the checkbox C of the desired parameter.

オペレータがいずれかのチェックボックスにチェックを入れてパラメータを選択した場合、調整対象パラメータ特定部150は、フィールドh2においてステップS22で選択されたパラメータについての調整幅と分割数の入力を受け付ける(ステップS23)。より具体的には、フィールドh2に調整幅(すなわち調整範囲の最大値と最小値)の入力ボックスと、分割数の入力ボックスを表示する。オペレータは、各入力ボックスに値を入力することによって、所望の調整幅と分割数とを入力することができる。   When the operator checks one of the check boxes and selects a parameter, the adjustment target parameter specifying unit 150 receives input of the adjustment width and the number of divisions for the parameter selected in step S22 in the field h2 (step S23). ). More specifically, an input box for an adjustment width (that is, a maximum value and a minimum value of the adjustment range) and an input box for the number of divisions are displayed in the field h2. The operator can input a desired adjustment width and the number of divisions by inputting a value in each input box.

例えば、図9に示されるように、オペレータが「ぼかし半径」の項目にチェックを入れてぼかしパラメータP1を調整対象パラメータに選択した場合、調整対象パラメータ特定部150は、「ぼかし半径」の表示部分を網掛けにするとともに、フィールドh2にぼかしパラメータP1の調整幅の入力ボックスと、分割数の入力ボックスを表示する。図9には、オペレータがぼかしパラメータP1の調整幅として最大値「8(pix)」、最小値「1(pix)」を、分割数として「1(pix)」を入力した様子が示されている。   For example, as shown in FIG. 9, when the operator checks the “blur radius” item and selects the blur parameter P1 as the adjustment target parameter, the adjustment target parameter specifying unit 150 displays the “blur radius” display portion. And an input box for the adjustment width of the blurring parameter P1 and an input box for the number of divisions are displayed in the field h2. FIG. 9 shows a state where the operator inputs the maximum value “8 (pix)”, the minimum value “1 (pix)” as the adjustment range of the blurring parameter P1, and “1 (pix)” as the number of divisions. Yes.

続いて、調整対象パラメータ特定部150は、調整対象パラメータの選択および各調整対象パラメータについての調整幅と分割数の設定入力の完了の指示入力を待つ(ステップS24)。この指示入力操作は、より具体的には、オペレータが、フィールドh3に表示された選択パネルのうち、パラメータについての詳細設定を完了する旨の指示を入力するパネル「決定」を選択してクリックすることによって行われる。オペレータは、調整対象に加えたいパラメータがまだあると判断した場合には、「決定」パネルを選択することなく、フィールドh1においてパラメータをさらに選択する。この場合、調整対象パラメータ特定部150は、再びステップS22〜S24の処理を行ってパラメータについての詳細設定入力を受け付ける。一方、オペレータは、パラメータについての詳細設定が完了したと判断した場合には「決定」パネルを選択して詳細設定終了の指示を入力する。   Subsequently, the adjustment target parameter specifying unit 150 waits for input of selection of the adjustment target parameter and completion of setting input of the adjustment width and the number of divisions for each adjustment target parameter (step S24). More specifically, in this instruction input operation, the operator selects and clicks a panel “decision” for inputting an instruction to complete the detailed setting of the parameter among the selection panels displayed in the field h3. Is done by. When the operator determines that there are still parameters to be added to the adjustment target, the operator further selects parameters in the field h1 without selecting the “decision” panel. In this case, the adjustment target parameter specifying unit 150 performs the processes of steps S22 to S24 again and receives a detailed setting input for the parameter. On the other hand, when the operator determines that the detailed setting for the parameter has been completed, the operator selects the “decision” panel and inputs an instruction to end the detailed setting.

詳細設定終了の指示入力を受け付けると(ステップS24でYES)、調整対象パラメータ特定部150は、チェックボックスにチェックされたパラメータを調整対象パラメータとして読み込み(ステップS25)、さらに各調整対象パラメータについて設定された調整幅と分割数を読み込む(ステップS26)。   When an instruction to end the detailed setting is received (YES in step S24), the adjustment target parameter specifying unit 150 reads the parameter checked in the check box as the adjustment target parameter (step S25), and is further set for each adjustment target parameter. The adjustment width and the number of divisions are read (step S26).

なお、オペレータは、フィールドh3に表示されたキャンセルパネルをクリック操作すれば、パラメータの選択や調整幅と分割数の入力をやり直すことができる。キャンセルパネルが操作された場合、調整対象パラメータ特定部150は、先のオペレータの操作を無効とする。以上で、ステップS4の処理が終了する。   The operator can click on the cancel panel displayed in the field h3 and redo the selection of parameters and the input of the adjustment width and the number of divisions. When the cancel panel is operated, the adjustment target parameter specifying unit 150 invalidates the operation of the previous operator. Above, the process of step S4 is complete | finished.

〈2−3.調整値の決定処理〉
ステップS5の処理についてより具体的に説明する。図10は、ステップS5の処理の流れを示す図である。
<2-3. Adjustment value determination process>
The process of step S5 will be described more specifically. FIG. 10 is a diagram showing the flow of processing in step S5.

ステップS4の処理が完了すると(すなわち受付画面Hにおいて「決定」パネルの操作が受け付けられると)、再び受付画面Gが表示部14に表示される。受付画面Gにおいて「再演算」パネルの操作が受け付けられると、ステップS5の処理が開始される。   When the process of step S4 is completed (that is, when the operation of the “decision” panel is accepted on the acceptance screen H), the acceptance screen G is displayed on the display unit 14 again. When an operation on the “recalculation” panel is accepted on the acceptance screen G, the process of step S5 is started.

はじめに、パラメータ調整処理部170は、欠陥検出画像処理に係るパラメータP1〜P4の初期値を設定する(ステップS31)。より具体的には、パラメータP1〜P4のうち、調整対象パラメータの値を当該調整対象パラメータについて設定された調整幅の最小値に設定する。なお、調整対象パラメータでないパラメータについては、現在設定されている値を初期値として設定する。調整対象でないパラメータの値はこの初期値のままで固定される。パラメータP1〜P4の各初期値により構成されるパラメータ値群を、以下において、「初期パラメータ値群」という。   First, the parameter adjustment processing unit 170 sets initial values of parameters P1 to P4 related to defect detection image processing (step S31). More specifically, among the parameters P1 to P4, the value of the adjustment target parameter is set to the minimum value of the adjustment range set for the adjustment target parameter. For parameters that are not adjustment target parameters, the currently set value is set as the initial value. The value of the parameter that is not the adjustment target is fixed at this initial value. A parameter value group constituted by the initial values of the parameters P1 to P4 is hereinafter referred to as an “initial parameter value group”.

続いて、欠陥検出処理部130が、設定されたパラメータ値(すなわち、初期パラメータ値群)を判定対象パラメータ値群とし、この判定対象パラメータ値群の下で、ステップS1で取得された基準データD0と検査対象データD1に対して欠陥検出アルゴリズムを実行して、検出結果を反映させた結果データD2を作成する(ステップS32)。   Subsequently, the defect detection processing unit 130 sets the set parameter value (that is, the initial parameter value group) as a determination target parameter value group, and the reference data D0 acquired in step S1 under the determination target parameter value group. The defect detection algorithm is executed on the inspection target data D1, and result data D2 reflecting the detection result is created (step S32).

続いて、ステップS32で作成された結果データD2を記憶部12に格納する(ステップS33)。   Subsequently, the result data D2 created in step S32 is stored in the storage unit 12 (step S33).

続いて、パラメータ値適否判断部171が、ステップS32において作成された結果データD2と、ステップS3で作成された目標データD3とを比較して、結果データD2の欠陥領域の部分が目標データD3の欠陥領域の部分と一致するか否かを判断する(ステップS34)。より具体的には、結果データD2において欠陥領域となる部分が目標データD3において欠陥領域であるとともに目標データD3においてそれ以外の欠陥領域が存在しない場合(つまりは、結果データD2と目標データD3とに含まれる欠陥領域が完全に一致している場合)、結果データD2と目標データD3とが一致する判断し、それ以外の場合は両画像データは一致しないと判断する。   Subsequently, the parameter value suitability determination unit 171 compares the result data D2 created in step S32 with the target data D3 created in step S3, and the defective area portion of the result data D2 is the target data D3. It is determined whether or not it coincides with the defective area (step S34). More specifically, in the result data D2, when a portion that becomes a defective area is a defective area in the target data D3 and no other defective area exists in the target data D3 (that is, the result data D2 and the target data D3 If the defect area included in the image data is completely matched), it is determined that the result data D2 and the target data D3 match. Otherwise, it is determined that the two image data do not match.

ステップS34で、両画像データの欠陥領域の部分が一致すると判断された場合、パラメータ値適否判断部171は、ステップS32で実行された欠陥検出アルゴリズムにおいて採用されていたパラメータの値(調整対象パラメータが複数の場合には、当該欠陥検出アルゴリズムにおいて採用されていたパラメータの値の組み合わせ)が適正値であると判断して、当該パラメータ値(調整対象パラメータが複数の場合には、当該パラメータ値の組み合わせ)を記憶部12に記憶する(ステップS35)。換言すると、ステップS32で実行された欠陥検出アルゴリズムにおいて採用されていた判定対象パラメータ値群が適正パラメータ値群であると判断して(すなわち、判定対象パラメータ値群を構成する調整対象パラメータの各値を適正値と判断して)、適正値と判断された調整対象パラメータの各値を記憶部12に記憶する。   When it is determined in step S34 that the defect area portions of the two image data match, the parameter value suitability determination unit 171 determines the parameter value (adjustment target parameter is the adjustment target parameter) employed in the defect detection algorithm executed in step S32. When there are a plurality of parameters, a combination of the parameter values employed in the defect detection algorithm is determined to be an appropriate value, and when there are a plurality of parameters to be adjusted (a combination of the parameter values). ) Is stored in the storage unit 12 (step S35). In other words, it is determined that the determination target parameter value group employed in the defect detection algorithm executed in step S32 is an appropriate parameter value group (that is, each value of the adjustment target parameter constituting the determination target parameter value group). Are determined as appropriate values), and each value of the adjustment target parameter determined as the appropriate value is stored in the storage unit 12.

一方、ステップS34で、両画像データの欠陥領域の部分が一致しないと判断された場合、パラメータ値適否判断部171は、ステップS32で実行された欠陥検出アルゴリズムにおいて採用されていたパラメータの値(調整対象パラメータが複数の場合には、当該欠陥検出アルゴリズムにおいて採用されていたパラメータの値の組み合わせ)が適正値でないと判断する(ステップS36)。換言すると、ステップS32で実行された欠陥検出アルゴリズムにおいて採用されていた判定対象パラメータ値群が適正パラメータ値群ではないと判断する。   On the other hand, if it is determined in step S34 that the defect areas of the two image data do not match, the parameter value suitability determination unit 171 uses the parameter values (adjustments) employed in the defect detection algorithm executed in step S32. If there are a plurality of target parameters, it is determined that the combination of the parameter values employed in the defect detection algorithm is not an appropriate value (step S36). In other words, it is determined that the determination target parameter value group employed in the defect detection algorithm executed in step S32 is not an appropriate parameter value group.

続いて、調整対象パラメータのそれぞれについて設定されている値(換言すると、判定対象パラメータ値群において、調整対象パラメータのそれぞれについて設定されている値)が当該パラメータの調整幅の最大値であるか否かを判断する(ステップS37)。   Subsequently, whether the value set for each adjustment target parameter (in other words, the value set for each adjustment target parameter in the determination target parameter value group) is the maximum value of the adjustment range of the parameter. Is determined (step S37).

ステップS37で、当該パラメータの調整幅の最大値に設定されていない調整対象パラメータが少なくとも1以上あると判断された場合には、パラメータ値(すなわち、判定対象パラメータ値群を構成するパラメータの値)の設定変更を行う(ステップS38)。この処理はより具体的には、次のように行われる。   If it is determined in step S37 that there is at least one parameter to be adjusted that is not set to the maximum adjustment range of the parameter, the parameter value (that is, the value of the parameter constituting the parameter value group to be determined) The setting is changed (step S38). More specifically, this process is performed as follows.

調整対象パラメータが1種類の場合は、当該調整対象パラメータについて現在設定されている値を、当該調整対象パラメータの分割数だけ増加させた値に設定変更して、新たな判定対象パラメータ値群として取得する。   When there is one type of adjustment target parameter, the value currently set for the adjustment target parameter is changed to a value increased by the number of divisions of the adjustment target parameter, and acquired as a new determination target parameter value group To do.

ただし、調整対象パラメータについて設定されている値が当該パラメータの調整幅の最大値に設定されると、当該パラメータ値の下での欠陥検出アルゴリズムが完了した時点において、全試行値についての適否判断が終了したと判断され(すなわち、ステップS37でYES)、それ以上のパラメータの設定変更が行われることなくステップS39の処理に移行することになる。   However, if the value set for the parameter to be adjusted is set to the maximum value of the adjustment range for the parameter, the suitability determination for all trial values is made when the defect detection algorithm under the parameter value is completed. It is determined that the process has been completed (that is, YES in step S37), and the process proceeds to step S39 without any further parameter setting change.

調整対象パラメータが2種類の場合は、調整対象パラメータのうちの一方のパラメータ値(第2の調整対象パラメータとする)を固定したままで、他方の調整対象パラメータ(第1の調整対象パラメータとする)について現在設定されている値を、当該調整対象パラメータの分割数だけ増加させた値に設定変更して、新たな判定対象パラメータ値群として取得する。   When there are two types of adjustment target parameters, one of the adjustment target parameters (the second adjustment target parameter) remains fixed and the other adjustment target parameter (the first adjustment target parameter is used). ) Is changed to a value increased by the number of divisions of the adjustment target parameter, and acquired as a new determination target parameter value group.

第1の調整対象パラメータについて設定されている値が当該調整対象パラメータの調整幅の最大値である場合には、第2の調整対象パラメータについて現在設定されている値を、当該調整対象パラメータの分割数だけ増加させた値に設定変更するとともに、第1の調整対象パラメータの値を、再び当該調整対象パラメータの調整幅の最小値に設定して、新たな判定対象パラメータ値群として取得する。   When the value set for the first adjustment target parameter is the maximum value of the adjustment range of the adjustment target parameter, the value currently set for the second adjustment target parameter is divided into the adjustment target parameter. While changing the setting to a value increased by the number, the value of the first adjustment target parameter is set again to the minimum value of the adjustment range of the adjustment target parameter, and acquired as a new determination target parameter value group.

ただし、第1、第2の各調整対象パラメータについて設定されている値がいずれも当該パラメータの調整幅の最大値に設定されると、当該パラメータ値の下での欠陥検出アルゴリズムが完了した時点において、調整対象パラメータの試行値の全通りの組み合わせについて適否判断が終了したと判断され(すなわち、ステップS37でYES)、それ以上のパラメータの設定変更が行われることなくステップS39の処理に移行することになる。   However, if the value set for each of the first and second adjustment target parameters is set to the maximum value of the adjustment range of the parameter, at the time when the defect detection algorithm under the parameter value is completed. Then, it is determined that the suitability determination has been completed for all combinations of adjustment values of the parameter to be adjusted (that is, YES in step S37), and the process proceeds to step S39 without any further parameter setting change. become.

調整対象パラメータが3種類以上の場合も、調整対象パラメータが2種類の場合と同様に、調整対象パラメータの試行値の全通りの組み合わせについて適否判断が実行されるまでパラメータ値を順に設定変更する。   Even when there are three or more types of adjustment target parameters, the parameter values are sequentially changed until appropriateness determination is performed for all combinations of trial values of the adjustment target parameters, as in the case of two types of adjustment target parameters.

再び図10を参照する。ステップS37で、調整対象パラメータのすべてについて設定されている値が当該パラメータの調整幅の最大値であると判断された場合(つまり、調整対象パラメータの試行値の全通りの組み合わせ(すなわち、とりうる全てのパラメータ値群)について欠陥検出アルゴリズムが実行された場合)、続いてパラメータ値決定部172が、調整対象パラメータの調整値を決定する。この処理はより具体的には、次のように行われる。   Refer to FIG. 10 again. If it is determined in step S37 that the values set for all of the adjustment target parameters are the maximum value of the adjustment range of the parameters (that is, all combinations of trial values of the adjustment target parameters (ie, possible combinations) When the defect detection algorithm is executed for all parameter value groups), the parameter value determining unit 172 determines the adjustment value of the adjustment target parameter. More specifically, this process is performed as follows.

まず、適正値であると判断されたパラメータ値(調整対象パラメータが複数の場合は、適正値であると判断されたパラメータ値の組み合わせ)があるか否かを判断する(ステップS39)。より具体的には、記憶部12に、適正値であると判断されたパラメータ値が格納されているか否かを判断する。   First, it is determined whether there is a parameter value determined to be an appropriate value (a combination of parameter values determined to be an appropriate value when there are a plurality of adjustment target parameters) (step S39). More specifically, it is determined whether or not the parameter value determined to be an appropriate value is stored in the storage unit 12.

適正値と判断されたパラメータ値が記憶部12に記憶されていない場合、パラメータ値適否判断部171は、適正なパラメータ値が見つからなかった旨をオペレータに通知する(ステップS40)。例えば、「パラメータ調整に失敗しました」とのメッセージを表示部14に表示する。   If the parameter value determined to be an appropriate value is not stored in the storage unit 12, the parameter value appropriateness determination unit 171 notifies the operator that an appropriate parameter value has not been found (step S40). For example, a message “Parameter adjustment failed” is displayed on the display unit 14.

適正値と判断されたパラメータ値が記憶部12に記憶されている場合、パラメータ値適否判断部171は、適正値のうちで最適なパラメータ値(調整対象パラメータが複数の場合には、最適なパラメータ値の組み合わせ)を調整値に選択する(ステップS41)。より具体的には、適正値と判断された試行値の中央値を調整値として選択する。   When the parameter value determined to be an appropriate value is stored in the storage unit 12, the parameter value appropriateness determination unit 171 selects an optimum parameter value among the appropriate values (in the case where there are a plurality of adjustment target parameters, the optimum parameter value). Value combination) is selected as the adjustment value (step S41). More specifically, the median value of trial values determined as appropriate values is selected as the adjustment value.

この処理は、具体的には次のように行われる。調整対象パラメータが1種類の場合は、図11(a)に示すように、当該調整対象パラメータの試行値Tのうちで適正値と判断された試行値Taから構成される集合Q1の中央値Taoを選択して調整値に決定する。   Specifically, this process is performed as follows. When there is only one type of adjustment target parameter, as shown in FIG. 11A, the median value Tao of the set Q1 composed of trial values Ta determined to be appropriate values among the trial values T of the adjustment target parameter. To select an adjustment value.

調整対象パラメータが2種類の場合は、図11(b)に示すように、第1の調整対象パラメータと第2の調整対象パラメータの試行値の組み合わせTのうちで適正と判断されたパラメータ値の組み合わせTaから構成される集合Q2の中央値Taoを選択して調整値に決定する。   In the case where there are two types of adjustment target parameters, as shown in FIG. 11B, the parameter values determined to be appropriate among the combinations T of the trial values of the first adjustment target parameter and the second adjustment target parameter. The median value Tao of the set Q2 composed of the combinations Ta is selected and determined as an adjustment value.

調整対象パラメータが3種類以上の場合も、調整対象パラメータが2種類の場合と同様に、調整対象パラメータの試行値の組み合わせのうちで適正値と判断されたパラメータ値の組み合わせから構成される集合の中央値を選択して調整値に決定する。以上で、ステップS5の処理が終了する。   When there are three or more types of adjustment target parameters, as in the case of two types of adjustment target parameters, a set of parameter values that are determined to be appropriate values among the trial value combinations of the adjustment target parameters Select the median and determine the adjustment value. Above, the process of step S5 is complete | finished.

〈3.効果〉
この発明の第1の実施の形態に係る欠陥検査装置1においては、画像処理に係るパラメータ値の調整を行うにあたり、目標データ作成部140がオペレータから結果データD2に対する修正指示を受け付けて目標データD3を作成し、パラメータ調整処理部170が目標データD3と一致するような結果データD2が得られるパラメータ値を調整値に決定する。これによりオペレータは、パラメータ値を直接に設定入力しなくとも(すなわち、トライアルアンドエラー的な手法で所望のパラメータ値を探して設定入力しなくとも)、結果データD2に対する修正指示を与えるだけで容易に所望のパラメータ値を得ることができる。また、パラメータ調整処理部170が、調整値を目標データD3と一致する結果データD2が得られる値に決定するので、パラメータの調整を的確に行うことができる。
<3. effect>
In the defect inspection apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention, when adjusting the parameter values related to image processing, the target data creation unit 140 receives a correction instruction for the result data D2 from the operator and receives the target data D3. And the parameter adjustment processing unit 170 determines the parameter value from which the result data D2 that matches the target data D3 is obtained as the adjustment value. As a result, the operator does not need to directly set and input the parameter value (that is, without searching for and inputting the desired parameter value using a trial and error method), and simply giving a correction instruction to the result data D2. Desired parameter values can be obtained. In addition, since the parameter adjustment processing unit 170 determines the adjustment value as a value from which the result data D2 that matches the target data D3 is obtained, the parameter adjustment can be performed accurately.

また、容易に適切なパラメータ調整を行うことが可能となるので、従来であればサービスマンタスクで行われることが多かったパラメータ調整をユーザタスクに変更することができる。これによって、メンテナンス費用を削減することが可能となる。   In addition, since appropriate parameter adjustment can be easily performed, parameter adjustment, which has been often performed by a serviceman task in the past, can be changed to a user task. This makes it possible to reduce maintenance costs.

特に、欠陥検査装置1においては、欠陥の検出感度を規定するパラメータP1〜P4を容易かつ的確に調整することができるので、欠陥検査装置1においてオペレータが所望する検出感度で欠陥を検出することが可能となる。   In particular, since the defect inspection apparatus 1 can easily and accurately adjust the parameters P1 to P4 that define the defect detection sensitivity, the defect inspection apparatus 1 can detect defects with the detection sensitivity desired by the operator. It becomes possible.

特に、目標データ作成部140が、検査対象データD1を表示部14に表示して、表示画面上から結果データD2に対する修正指示の入力を受け付けるので、オペレータは結果データD2に対する修正指示を容易かつ的確に入力することが可能となる。その結果、パラメータ調整をさらに容易かつ的確に行うことが可能となる。   In particular, since the target data creation unit 140 displays the inspection target data D1 on the display unit 14 and accepts an input of a correction instruction for the result data D2 from the display screen, the operator can easily and accurately correct the correction instruction for the result data D2. Can be entered. As a result, parameter adjustment can be performed more easily and accurately.

特に、パラメータ値適否判断部171が、調整対象パラメータの値を順に変化させながらパラメータ値が適正値であるか否かを判断し(より具体的には、各パラメータ値の下で得られた結果データD2が目標データD3と一致するか否かを判断することによって、当該パラメータ値が適正値であるか否かを判断し)、パラメータ値決定部172が、調整対象パラメータの調整値を適正値に決定するので、目標データD3と一致するような結果データD2が得られるパラメータ値を確実に検出することが可能となる。   In particular, the parameter value suitability determination unit 171 determines whether or not the parameter value is an appropriate value while sequentially changing the value of the adjustment target parameter (more specifically, the result obtained under each parameter value). By determining whether or not the data D2 matches the target data D3, it is determined whether or not the parameter value is an appropriate value), and the parameter value determination unit 172 sets the adjustment value of the adjustment target parameter to the appropriate value. Therefore, it is possible to reliably detect a parameter value for obtaining result data D2 that matches the target data D3.

特に、パラメータ値決定部172が、調整対象パラメータの調整値を、適正値と判断されたパラメータ値から構成される集合の中央値を選択して調整値に決定するので、適正値の中でも最適な値(つまりは、目標データD3と一致するような結果データD2が最も確実に得られるパラメータ値)をパラメータの調整値として決定することが可能となる。   In particular, since the parameter value determination unit 172 selects the adjustment value of the adjustment target parameter as the adjustment value by selecting the median value of the set composed of the parameter values determined to be appropriate values, the optimum value among the appropriate values is determined. It is possible to determine the value (that is, the parameter value with which the result data D2 that matches the target data D3 most reliably is obtained) as the parameter adjustment value.

特に、調整定数決定部160が、オペレータからの入力に基づいて調整対象パラメータの調整幅を規定するので、パラメータの調整範囲を絞りこむことが可能となる。これによって、パラメータ調整を迅速に行うことが可能となる。   In particular, the adjustment constant determination unit 160 defines the adjustment range of the parameter to be adjusted based on the input from the operator, so that the parameter adjustment range can be narrowed down. As a result, parameter adjustment can be performed quickly.

また、調整定数決定部160が、オペレータからの入力に基づいて調整対象パラメータの分割数を規定するので、調整範囲において取りうるパラメータ値を絞りこむことが可能となる。これによって、パラメータ調整をさらに迅速に行うことが可能となる。   In addition, since the adjustment constant determination unit 160 defines the number of divisions of the adjustment target parameter based on the input from the operator, it is possible to narrow down the parameter values that can be taken in the adjustment range. As a result, parameter adjustment can be performed more quickly.

特に、調整対象パラメータ特定部150が、オペレータからの入力に基づいて欠陥検出画像処理に係るパラメータのうちから調整の対象となるパラメータを特定するので、調整対象となるパラメータの種類を絞りこむことが可能となる。これによって、パラメータ調整を迅速に行うことが可能となる。   In particular, the adjustment target parameter specifying unit 150 specifies the parameter to be adjusted from the parameters related to the defect detection image processing based on the input from the operator, so that the type of parameter to be adjusted can be narrowed down. It becomes possible. As a result, parameter adjustment can be performed quickly.

〔第2の実施の形態〕
〈1.構成〉
この発明の第2の実施の形態に係るデータ処理装置の一態様である欠陥検査装置は、第1の実施の形態において説明した欠陥検査装置1と同様の装置構成において実現されるのでその説明を省略する。また、以下においては、第2の実施の形態に係る欠陥検査装置の構成要素を示すにあたって、第1の実施の形態に係る欠陥検査装置1と同じ構成要素については、第1の実施の形態の説明に用いた参照符号を用いる。
[Second Embodiment]
<1. Constitution>
Since the defect inspection apparatus which is one aspect of the data processing apparatus according to the second embodiment of the present invention is realized in the same apparatus configuration as the defect inspection apparatus 1 described in the first embodiment, the description thereof will be given. Omitted. In the following, in showing the components of the defect inspection apparatus according to the second embodiment, the same components as those of the defect inspection apparatus 1 according to the first embodiment are the same as those in the first embodiment. The reference numerals used in the description are used.

〈1−1.パラメータの調整に関する構成〉
この実施の形態に係る欠陥検査装置は、検版/印刷物検査に係る画像処理のパラメータを調整する機能を有している。図12は、パラメータ調整機能に関する構成を説明する図である。
<1-1. Configuration related to parameter adjustment>
The defect inspection apparatus according to this embodiment has a function of adjusting image processing parameters related to plate inspection / printed material inspection. FIG. 12 is a diagram illustrating a configuration related to the parameter adjustment function.

この実施の形態に係る欠陥検査装置は、調整対象パラメータ特定部150に換えて、調整対象パラメータ判定部250を備えている点が第1の実施の形態に係る欠陥検査装置1と相違する。以下においては、第1の実施の形態に係る欠陥検査装置1と相違する点のみを説明し、相違しない点については説明を省略する。また、同じ構成要素については、同じ符号を付して示すことにする。   The defect inspection apparatus according to this embodiment is different from the defect inspection apparatus 1 according to the first embodiment in that an adjustment target parameter determination unit 250 is provided instead of the adjustment target parameter specifying unit 150. In the following, only points that differ from the defect inspection apparatus 1 according to the first embodiment will be described, and descriptions of points that are not different will be omitted. In addition, the same components are denoted by the same reference numerals.

調整対象パラメータ判定部250は、調整対象パラメータ特定部150と同様、欠陥検出画像処理に係るパラメータP1〜P4のうちから調整対象パラメータを特定する。ただし調整対象パラメータ判定部250は、オペレータからの選択入力を受け付けることによって調整対象パラメータを特定するのではなく、目標データ作成部140において受け付けられたオペレータからの結果データD2に対する修正指示に基づいて調整対象パラメータを特定する。   Similar to the adjustment target parameter specifying unit 150, the adjustment target parameter determination unit 250 specifies the adjustment target parameter from the parameters P1 to P4 related to the defect detection image processing. However, the adjustment target parameter determination unit 250 does not specify the adjustment target parameter by receiving the selection input from the operator, but adjusts based on the correction instruction for the result data D2 received from the operator by the target data creation unit 140. Identify the target parameter.

調整対象パラメータ判定部250は、特徴量取得部251と、相応パラメータ判定部252と、調整対象パラメータ決定部253とを備えている。   The adjustment target parameter determination unit 250 includes a feature amount acquisition unit 251, a corresponding parameter determination unit 252, and an adjustment target parameter determination unit 253.

特徴量取得部251は、目標データ作成部140において受け付けられたオペレータからの結果データD2に対する修正指示(以下において単に「修正指示」という。)のそれぞれから所定の特徴量を取得する。   The feature quantity acquisition unit 251 acquires a predetermined feature quantity from each of the correction instructions (hereinafter simply referred to as “correction instructions”) for the result data D2 received from the operator by the target data creation unit 140.

ここで特徴量について図13〜図15を参照しながらより具体的に説明する。ただし、図13(a)には結果データD2が例示されており、図13(b)には図3(a)に例示される結果データD2に対するオペレータからの修正指示E1〜E3を受け付けて作成した目標データD3が例示されている。   Here, the feature amount will be described more specifically with reference to FIGS. However, FIG. 13A illustrates the result data D2, and FIG. 13B receives and generates correction instructions E1 to E3 from the operator for the result data D2 illustrated in FIG. 3A. The target data D3 is illustrated.

ここで、修正指示E1は、修正対象領域U1内にある1つの孤立点(差異領域V1)を適正領域から欠陥領域に修正する指示であるとする。また、修正指示E2は、修正対象領域U2内にある複数個の孤立点(差異領域V2a,V2b,V2c,V2d)を適正領域から欠陥領域に修正する指示であるとする。また、修正指示E3は、差異領域V3を適正領域から欠陥領域に修正する指示であるとする。   Here, it is assumed that the correction instruction E1 is an instruction for correcting one isolated point (difference area V1) in the correction target area U1 from the appropriate area to the defective area. The correction instruction E2 is an instruction to correct a plurality of isolated points (difference areas V2a, V2b, V2c, V2d) in the correction target area U2 from a proper area to a defective area. Further, it is assumed that the correction instruction E3 is an instruction to correct the difference area V3 from the appropriate area to the defective area.

修正指示の特徴量とは、当該修正指示内容に応じた結果データD2が作成されるために調整するべきパラメータの種類を特定するための判断要素となる値である。特徴量取得部251は各修正指示から、面積S、個数A、明度分布Hの3つの情報を特徴量として取得する。   The feature amount of the correction instruction is a value that serves as a determination element for specifying the type of parameter to be adjusted in order to generate the result data D2 corresponding to the content of the correction instruction. The feature amount acquisition unit 251 acquires three pieces of information of area S, number A, and brightness distribution H as feature amounts from each correction instruction.

面積Sは、1つの修正指示に係る差異領域Vの総面積である。例えば、修正指示E2から取得される面積Sは、修正対象領域U2に含まれる各差異領域V2a〜V2dの面積の総和である。また例えば、修正指示E3から取得される面積Sは、差異領域V3の面積となる。   The area S is the total area of the difference region V related to one correction instruction. For example, the area S acquired from the correction instruction E2 is the sum of the areas of the different areas V2a to V2d included in the correction target area U2. Further, for example, the area S acquired from the correction instruction E3 is the area of the difference region V3.

個数Aは、1つの修正指示に係る差異領域Vの個数である。例えば、修正指示E2のように、修正対象領域U2内に、独立した4個の差異領域V1a〜V2dがある場合は、個数Aは「4」となる。一方、修正指示E1のように、修正対象領域U1内に、独立した1個の差異領域V1しかない場合は、個数Aは「1」となる。また、修正指示E3のように、直接に差異領域Vが指定された場合には、個数Aは「1」となる。   The number A is the number of different areas V related to one correction instruction. For example, when there are four independent difference areas V1a to V2d in the correction target area U2 as in the correction instruction E2, the number A is “4”. On the other hand, when there is only one independent difference area V1 in the correction target area U1 as in the correction instruction E1, the number A is “1”. Further, when the difference area V is directly designated as in the correction instruction E3, the number A is “1”.

明度分布Hは、検査対象データD1の所定領域(すなわち、差異領域Vの中心から所定範囲を占める領域であり、以下において「明度量取得領域W」という。)の明度分布である。   The lightness distribution H is a lightness distribution of a predetermined region (that is, a region occupying a predetermined range from the center of the difference region V, hereinafter referred to as “lightness amount acquisition region W”) of the inspection target data D1.

ここで、明度分布Hの取得についてより具体的に説明する。明度分布Hを取得するにあたって、調整対象パラメータ判定部250は、まず、明度量取得領域Wを特定する。より具体的には、まず、差異領域Vの中心Vo(1つの修正指示に係る差異領域Vが複数ある場合には、全差異領域Vの中心)を特定し、特定された中心Voを中心とする明度量取得領域Wを規定する。   Here, acquisition of the lightness distribution H will be described more specifically. In acquiring the brightness distribution H, the adjustment target parameter determination unit 250 first specifies the brightness amount acquisition region W. More specifically, first, the center Vo of the different area V (or the center of all the different areas V when there are a plurality of different areas V related to one correction instruction) is specified, and the specified center Vo is set as the center. The brightness amount acquisition area W to be defined is defined.

続いて、調整対象パラメータ判定部250は、検査対象データD1における明度量取得領域Wの明度分布を取得する。例えば修正指示E1の場合、明度量取得領域W1の中心は差異領域V1の中心Voと一致する(図14(a)参照)。ここで、検査対象データD1において、差異領域V1が図14(a)に示されるように白い背景中に存在する点であるとすると、明度量取得領域Wの明度分布として、例えば図15(a)のようなヒストグラムが取得される。   Subsequently, the adjustment target parameter determination unit 250 acquires the lightness distribution of the lightness amount acquisition region W in the inspection target data D1. For example, in the case of the correction instruction E1, the center of the brightness amount acquisition area W1 coincides with the center Vo of the difference area V1 (see FIG. 14A). Here, in the inspection target data D1, assuming that the difference area V1 is a point existing in a white background as shown in FIG. 14A, as the brightness distribution of the brightness amount acquisition area W, for example, FIG. ) Is obtained.

また、例えば修正指示E3の場合、明度量取得領域Wの中心は差異領域V3の中心Voと一致する(図14(b)参照)。ここで、差異領域V3が検査対象データD1において、図14(b)に示されるように絵柄と背景の境界部分にある場合、明度量取得領域Wの明度分布として、例えば図15(b)のようなヒストグラムが取得される。   Further, for example, in the case of the correction instruction E3, the center of the brightness amount acquisition area W coincides with the center Vo of the difference area V3 (see FIG. 14B). Here, when the difference area V3 is in the boundary portion between the pattern and the background as shown in FIG. 14B in the inspection object data D1, as the brightness distribution of the brightness amount acquisition area W, for example, as shown in FIG. A histogram like this is acquired.

一方、差異領域V3が検査対象データD1において、図14(c)に示されるようにグラデーションに変化する領域部分にある場合、明度量取得領域Wの明度分布として、例えば図15(c)のようなヒストグラムが取得される。   On the other hand, when the difference area V3 is in the area portion that changes to gradation as shown in FIG. 14C in the inspection object data D1, as the brightness distribution of the brightness amount acquisition area W, for example, as shown in FIG. A simple histogram is obtained.

再び図12を参照する。相応パラメータ判定部252は、特徴量取得部251が取得した各特徴量に基づいて、調整すべきパラメータの種類を判定する。   Refer to FIG. 12 again. The corresponding parameter determination unit 252 determines the type of parameter to be adjusted based on each feature amount acquired by the feature amount acquisition unit 251.

ここで判定方法についてより具体的に説明する。面積Sに基づく判定は、次のように行われる。まず、面積Sの値が所定値s1よりも大きいか否かを判断する。ここで、面積Sの値が所定値s1よりも大きいと判断された場合には、比較パラメータP3を調整すべきと判定される。   Here, the determination method will be described more specifically. The determination based on the area S is performed as follows. First, it is determined whether or not the value of the area S is larger than a predetermined value s1. Here, when it is determined that the value of the area S is larger than the predetermined value s1, it is determined that the comparison parameter P3 should be adjusted.

面積Sの値が所定値s1よりも大きくないと判断された場合には、続いて、面積Sの値が所定値s2(ただし、s1>s2)よりも大きいか否かを判断する。ここで、面積Sの値が所定値s2よりも大きいと判断された場合には、ぼかしパラメータP1を調整すべきと判定される。一方、面積Sの値が所定値s2よりも大きくないと判断された場合には、孤立点除去パラメータP4を調整すべきと判定される。   When it is determined that the value of the area S is not larger than the predetermined value s1, it is subsequently determined whether or not the value of the area S is larger than the predetermined value s2 (where s1> s2). Here, when it is determined that the value of the area S is larger than the predetermined value s2, it is determined that the blurring parameter P1 should be adjusted. On the other hand, if it is determined that the value of the area S is not greater than the predetermined value s2, it is determined that the isolated point removal parameter P4 should be adjusted.

個数Aに基づく判定は、次のように行われる。まず、個数Aの値が所定値n1よりも大きいか否かを判断する。ここで、個数Aが所定値n1よりも大きい場合には、ゆすらせパラメータP2を調整すべきと判定される。一方、個数Aが所定値n1よりも大きくない場合には、孤立点除去パラメータP4を調整すべきと判定される。   The determination based on the number A is performed as follows. First, it is determined whether or not the value of the number A is larger than a predetermined value n1. Here, when the number A is larger than the predetermined value n1, it is determined that the sway parameter P2 should be adjusted. On the other hand, when the number A is not larger than the predetermined value n1, it is determined that the isolated point removal parameter P4 should be adjusted.

明度分布Hに基づく判定は、次のように行われる。まず、調整対象パラメータ判定部250は、取得した明度情報のヒストグラム形状が、「第1分布形状h1」「第2分布形状h2」「第3分布形状h3」のいずれであるかを判定する。   The determination based on the lightness distribution H is performed as follows. First, the adjustment target parameter determination unit 250 determines whether the histogram shape of the acquired brightness information is “first distribution shape h1”, “second distribution shape h2”, or “third distribution shape h3”.

その結果、ヒストグラム形状が、第1分布形状h1と判定された場合には孤立点除去パラメータP4を、第2分布形状h2と判定された場合にはぼかしパラメータP1を、第3分布形状h3と判定された場合には比較パラメータP3を、それぞれ調整すべきと判定される。   As a result, when the histogram shape is determined to be the first distribution shape h1, the isolated point removal parameter P4 is determined to be the second distribution shape h2, and when the histogram shape is determined to be the second distribution shape h2, the blurring parameter P1 is determined to be the third distribution shape h3. If so, it is determined that the comparison parameter P3 should be adjusted.

ここで、ヒストグラム形状が、いずれの分布形状h1〜h3であるかを判定する方法について、図15、図16を参照しながら説明する。ただし、図16は、ヒストグラム形状の種類を判定する流れを示す図である。   Here, a method for determining which of the distribution shapes h1 to h3 is the histogram shape will be described with reference to FIGS. However, FIG. 16 is a diagram illustrating a flow of determining the type of histogram shape.

まず、ヒストグラム分布のうちで、最も大きい明度の値(最大値M)を取得する(ステップS101)。   First, the largest brightness value (maximum value M) in the histogram distribution is acquired (step S101).

続いて、基準値Nを算出する(ステップS102)。ただし、基準値Nは最大値Mの半分の値(N=M/2)である。   Subsequently, a reference value N is calculated (step S102). However, the reference value N is half the maximum value M (N = M / 2).

続いて、明度値が基準値Nであるところの分布幅が、所定値よりも大きいか否かを判断する(ステップS103)。ただし、図15(b)のように、明度値が基準値Nであるところに2以上の独立した分布領域が現れている場合、最も広い分布幅が所定値よりも大きいか否かを判断する。   Subsequently, it is determined whether or not the distribution width where the lightness value is the reference value N is larger than a predetermined value (step S103). However, as shown in FIG. 15B, when two or more independent distribution regions appear where the lightness value is the reference value N, it is determined whether or not the widest distribution width is larger than a predetermined value. .

ステップS103で、分布幅が所定値よりも大きいと判断された場合(すなわち、所定幅よりも大きい分布幅が存在する場合)、ヒストグラム分布は第3分布形状h3であると判定する(ステップS104)。   When it is determined in step S103 that the distribution width is larger than the predetermined value (that is, when there is a distribution width larger than the predetermined width), it is determined that the histogram distribution is the third distribution shape h3 (step S104). .

ステップS103で、分布幅が所定値よりも大きくないと判断された場合(すなわち、所定幅よりも大きい分布幅が存在しない場合)、続いて2以上の分布領域が現れているか否かを判断する(ステップS105)。   When it is determined in step S103 that the distribution width is not larger than the predetermined value (that is, when there is no distribution width larger than the predetermined width), it is subsequently determined whether or not two or more distribution regions appear. (Step S105).

ステップS106で、2以上の分布形状が現れていると判断された場合、ヒストグラム分布は第2分布形状h2であると判定する(ステップS106)。   When it is determined in step S106 that two or more distribution shapes appear, it is determined that the histogram distribution is the second distribution shape h2 (step S106).

ステップS106で、2以上の分布領域が現れていると判断されない場合、ヒストグラム分布は第1分布形状h1であると判定する(ステップS107)。   If it is not determined in step S106 that two or more distribution regions have appeared, the histogram distribution is determined to be the first distribution shape h1 (step S107).

例えば、図15(a)〜(c)のヒストグラム形状について上記の判定処理を行った場合、図15(a)のヒストグラムは第1分布形状h1であり孤立点除去パラメータP4を調整すべきと判定される。また、図15(b)のヒストグラムは第2分布形状h2でありぼかしパラメータP1を調整すべきと判定される。また、図15(c)のヒストグラムは第3分布形状h3であり比較パラメータP3を調整すべきと判定される。   For example, when the above determination processing is performed on the histogram shapes of FIGS. 15A to 15C, it is determined that the histogram of FIG. 15A is the first distribution shape h1 and the isolated point removal parameter P4 should be adjusted. Is done. Further, the histogram of FIG. 15B is the second distribution shape h2, and it is determined that the blurring parameter P1 should be adjusted. Further, the histogram of FIG. 15C is the third distribution shape h3, and it is determined that the comparison parameter P3 should be adjusted.

再び図12を参照する。調整対象パラメータ決定部253は、相応パラメータ判定部252が出力した判定結果を総合して、最終的に調整対象パラメータを特定する。より具体的には、蓄積された判定結果のなかで各パラメータの占める割合を算出し、割合の高い順に2つのパラメータを調整対象パラメータに決定する。   Refer to FIG. 12 again. The adjustment target parameter determination unit 253 finally identifies the adjustment target parameter by combining the determination results output by the corresponding parameter determination unit 252. More specifically, the proportion of each parameter in the accumulated determination result is calculated, and two parameters are determined as adjustment target parameters in descending order of proportion.

〈2.処理〉
第2の実施の形態に係る欠陥検査装置1におけるパラメータ調整処理について説明する。パラメータ調整処理の全体の流れは図5に示される通りである。ただし、この実施の形態においては、調整対象パラメータの特定処理(すなわち、ステップS4に相当する処理)が次のように行われる。
<2. processing>
A parameter adjustment process in the defect inspection apparatus 1 according to the second embodiment will be described. The overall flow of the parameter adjustment process is as shown in FIG. However, in this embodiment, the adjustment target parameter specifying process (that is, the process corresponding to step S4) is performed as follows.

〈2−1.調整対象パラメータの特定処理〉
図17は、この実施の形態において実行される調整対象パラメータの特定処理の流れを示す図である。
<2-1. Identifying parameters to be adjusted>
FIG. 17 is a diagram showing the flow of the adjustment target parameter specifying process executed in this embodiment.

はじめに、特徴量取得部251が、ステップS3で目標データ作成部140が受け付けた結果データD2に対する修正指示のそれぞれから、所定の特徴量(すなわち、面積S、個数A、明度分布H)を取得する(ステップS111)。   First, the feature quantity acquisition unit 251 acquires a predetermined feature quantity (that is, area S, number A, brightness distribution H) from each of the correction instructions for the result data D2 received by the target data creation unit 140 in step S3. (Step S111).

例えば目標データD3の作成にあたって、図13に示されるように、3つの修正指示E1〜E3が受け付けられていた場合、特徴量取得部251は各修正指示E1〜E3のそれぞれについて、面積S、個数A、明度分布Hを取得する。   For example, when generating the target data D3, as shown in FIG. 13, when three correction instructions E1 to E3 are received, the feature amount acquisition unit 251 determines the area S and the number of pieces for each of the correction instructions E1 to E3. A, brightness distribution H is acquired.

続いて、相応パラメータ判定部252が、ステップS111で取得した特徴量のそれぞれに基づいて調整すべきパラメータの種類を判定する(ステップS112)。なお、判定結果は順に相応パラメータ判定部252から調整対象パラメータ決定部253へと送られ、調整対象パラメータ決定部253は判定結果を蓄積していく。   Subsequently, the corresponding parameter determination unit 252 determines the type of parameter to be adjusted based on each of the feature amounts acquired in step S111 (step S112). The determination results are sequentially sent from the corresponding parameter determination unit 252 to the adjustment target parameter determination unit 253, and the adjustment target parameter determination unit 253 accumulates the determination results.

相応パラメータ判定部252が取得された特徴量のすべてについての判定を完了し、調整対象パラメータ決定部253が全特徴量についての判定結果を取得したと判断されると(ステップS113でYES)、調整対象パラメータ決定部253が、蓄積された判定結果を総合して調整対象となるパラメータを特定する(ステップS114)。より具体的には、蓄積された判定結果のなかで各パラメータの占める割合を算出し、割合の高い順に2つのパラメータを調整対象パラメータに決定する。   When the corresponding parameter determination unit 252 completes the determination for all the acquired feature values and determines that the adjustment target parameter determination unit 253 has acquired the determination results for all the feature values (YES in step S113), the adjustment is performed. The target parameter determination unit 253 identifies the parameters to be adjusted by integrating the accumulated determination results (step S114). More specifically, the proportion of each parameter in the accumulated determination result is calculated, and two parameters are determined as adjustment target parameters in descending order of proportion.

例えば、ステップS111において特徴量取得部251が修正指示E1〜E3のそれぞれについて面積S、個数A、明度分布Hを取得した場合、ステップS112において相応パラメータ判定部252は、取得された9つの特徴量のそれぞれに基づいて調整すべきパラメータの種類を順に判定していく。この判定結果は調整対象パラメータ決定部253に送られて、調整対象パラメータ決定部253は、図18に示されるように9つの判定結果を蓄積することになる。図18の例においては、調整対象パラメータ決定部253は、蓄積された判定結果のなかで最も多い割合を占めるパラメータである孤立点除去パラメータP4と、次に割合の多いぼかしパラメータP1とを調整対象パラメータに決定する。   For example, when the feature amount acquisition unit 251 acquires the area S, the number A, and the brightness distribution H for each of the correction instructions E1 to E3 in step S111, the corresponding parameter determination unit 252 acquires the nine feature amounts acquired in step S112. The types of parameters to be adjusted are sequentially determined based on each of the above. This determination result is sent to the adjustment target parameter determination unit 253, and the adjustment target parameter determination unit 253 accumulates nine determination results as shown in FIG. In the example of FIG. 18, the adjustment target parameter determination unit 253 adjusts the isolated point removal parameter P4, which is the parameter that occupies the largest proportion of the accumulated determination results, and the blur parameter P1 that has the next largest proportion. Determine the parameters.

再び図17を参照する。ステップS114で、2つの調整対象パラメータが決定されると、調整対象パラメータ判定部250は、パラメータ調整についての設定入力の受付画面H(図9参照)を表示部14に表示する(ステップS115)。なお、この実施の形態においては、受付画面Hにおけるフィールドh1は、調整対象パラメータの選択入力を受け付けるためのフィールドではなく、調整対象パラメータの決定結果を表示するためのフィールドとして機能する。すなわち、調整対象パラメータ判定部250は、ここで、フィールドh1に表示されるチェックボックスのうちで、ステップS114で調整対象パラメータに決定されたパラメータについてのチェックボックスにチェックが入った状態の受付画面Hを表示する。フィールドh2、フィールドh3については、第1の実施と同じである。   Refer to FIG. 17 again. When two adjustment target parameters are determined in step S114, the adjustment target parameter determination unit 250 displays a setting input reception screen H (see FIG. 9) for parameter adjustment on the display unit 14 (step S115). In this embodiment, the field h1 on the reception screen H functions not as a field for receiving an adjustment target parameter selection input but as a field for displaying the adjustment target parameter determination result. That is, the adjustment target parameter determination unit 250 receives the reception screen H in which the check box for the parameter determined as the adjustment target parameter in step S114 is checked among the check boxes displayed in the field h1. Is displayed. The fields h2 and h3 are the same as in the first implementation.

続いて、調整対象パラメータ判定部250は、調整対象パラメータのそれぞれについての調整幅と分割数の入力を受け付ける(ステップS116)。この処理は、先に説明したステップS23(図8)の処理と同じである。   Subsequently, the adjustment target parameter determination unit 250 receives input of the adjustment width and the number of divisions for each of the adjustment target parameters (step S116). This process is the same as the process of step S23 (FIG. 8) described above.

続いて、各調整対象パラメータについて調整幅と分割数が入力完了して、決定パネルの操作が受け付けられた場合(ステップS117でYES)、調整対象パラメータ判定部250は、各調整対象パラメータについて設定された調整幅と分割数を読み込む(ステップS118)。以上で、調整対象パラメータの特定処理が終了する。   Subsequently, when the adjustment width and the number of divisions have been input for each adjustment target parameter and the operation of the determination panel is accepted (YES in step S117), the adjustment target parameter determination unit 250 is set for each adjustment target parameter. The adjustment width and the number of divisions are read (step S118). This completes the adjustment target parameter identification processing.

〈3.効果〉
この発明の第2の実施の形態に係る欠陥検査装置においては、特に、調整対象パラメータ判定部250が、オペレータからの修正指示に基づいて欠陥検出画像処理に係るパラメータのうちから調整の対象となるパラメータを決定するので、目標データD3と一致するような結果データD2が得られるために調整すべきパラメータの種類を適切に選択することが可能となる。これによって、パラメータ調整を迅速かつ的確に行うことが可能となる。
<3. effect>
In the defect inspection apparatus according to the second embodiment of the present invention, in particular, the adjustment target parameter determination unit 250 becomes an adjustment target from among parameters related to defect detection image processing based on a correction instruction from the operator. Since the parameter is determined, it is possible to appropriately select the type of parameter to be adjusted in order to obtain the result data D2 that matches the target data D3. As a result, parameter adjustment can be performed quickly and accurately.

〔第3の実施の形態〕
〈1.構成〉
この発明の第3の実施の形態に係るデータ処理装置の一態様である欠陥検査装置は、第1の実施の形態において説明した欠陥検査装置1と同様の装置構成において実現されるのでその説明を省略する。また、以下においては、第3の実施の形態に係る欠陥検査装置の構成要素を示すにあたって、第1の実施の形態の説明に用いた参照符号を用いる。
[Third Embodiment]
<1. Constitution>
The defect inspection apparatus, which is an aspect of the data processing apparatus according to the third embodiment of the present invention, is realized in the same apparatus configuration as the defect inspection apparatus 1 described in the first embodiment. Omitted. In the following description, the reference numerals used in the description of the first embodiment are used to show the components of the defect inspection apparatus according to the third embodiment.

この実施の形態に係る欠陥検査装置は、第1の実施の形態に係る欠陥検査装置1と同様、調整定数決定部170を備えている。ただし、この実施の形態においては調整定数決定部170は、適正値から構成される集合の中央値を選択することによって調整値を決定するのではなく、はじめに検出された適正値を調整値に決定する。   Similar to the defect inspection apparatus 1 according to the first embodiment, the defect inspection apparatus according to this embodiment includes an adjustment constant determination unit 170. However, in this embodiment, the adjustment constant determination unit 170 does not determine the adjustment value by selecting the median of the set composed of the appropriate values, but determines the appropriate value first detected as the adjustment value. To do.

〈2.処理〉
第3の実施の形態に係る欠陥検査装置1におけるパラメータ調整処理について説明する。パラメータ調整処理の全体の流れは図5に示される通りである。ただし、この実施の形態においては、パラメータの調整値の決定処理(すなわち、ステップS5に相当する処理)が次のように行われる。
<2. processing>
A parameter adjustment process in the defect inspection apparatus 1 according to the third embodiment will be described. The overall flow of the parameter adjustment process is as shown in FIG. However, in this embodiment, the parameter adjustment value determination process (that is, the process corresponding to step S5) is performed as follows.

〈2−1.調整値の決定処理〉
図19は、この実施の形態において実行される調整対象パラメータの調整値の決定処理の流れを示す図である。
<2-1. Adjustment value determination process>
FIG. 19 is a diagram showing the flow of the adjustment value determination process for the adjustment target parameter executed in this embodiment.

まず、先に説明したステップS31〜ステップS34(図10)と同様の処理が行われる(ステップS211〜ステップS214)。   First, processing similar to that described above in steps S31 to S34 (FIG. 10) is performed (steps S211 to S214).

ステップS214で、両画像データの欠陥領域の部分が一致すると判断された場合、パラメータ値適否判断部171は、ステップS212で実行された欠陥検出アルゴリズムにおいて採用されていたパラメータの値(調整対象パラメータが複数の場合には、当該欠陥検出アルゴリズムにおいて採用されていたパラメータの値の組み合わせ)が適正値であると判断する。この場合、当該適正値と判断されたパラメータ値を調整対象パラメータの調整値に決定する(ステップS215)。つまり、第1の実施の形態のように各調整対象パラメータの試行値の全通りの組み合わせについて欠陥検出アルゴリズムを実行するまでもなく、適正なパラメータ値が見つかった時点で、当該パラメータ値を調整値に決定する。つまり、はじめに検出された適正値を調整値に決定する。   If it is determined in step S214 that the defect area portions of the two image data match, the parameter value suitability determination unit 171 determines the parameter value (adjustment target parameter is the adjustment target parameter) employed in the defect detection algorithm executed in step S212. In the case of a plurality of parameters, it is determined that the combination of parameter values employed in the defect detection algorithm is an appropriate value. In this case, the parameter value determined to be the appropriate value is determined as the adjustment value of the adjustment target parameter (step S215). That is, it is not necessary to execute the defect detection algorithm for all combinations of trial values of each adjustment target parameter as in the first embodiment, and when an appropriate parameter value is found, the parameter value is adjusted to the adjustment value. To decide. That is, the appropriate value detected first is determined as the adjustment value.

一方、ステップS214で、両画像データの欠陥領域の部分が一致しないと判断された場合、パラメータ値適否判断部171は、ステップS212で実行された欠陥検出アルゴリズムにおいて採用されていたパラメータの値(調整対象パラメータが複数の場合には、当該欠陥検出アルゴリズムにおいて採用されていたパラメータの値の組み合わせ)が適正値でないと判断する(ステップS216)。   On the other hand, if it is determined in step S214 that the defect areas of the two image data do not match, the parameter value suitability determination unit 171 uses the parameter values (adjustments) employed in the defect detection algorithm executed in step S212. If there are a plurality of target parameters, it is determined that the combination of parameter values employed in the defect detection algorithm is not an appropriate value (step S216).

この場合、続いて、調整対象パラメータのそれぞれについて設定されている値が当該パラメータの調整幅の最大値であるか否かを判断する(ステップS217)。   In this case, subsequently, it is determined whether or not the value set for each parameter to be adjusted is the maximum value of the adjustment range of the parameter (step S217).

ステップS217で、当該パラメータの調整幅の最大値に設定されていない調整対象パラメータが少なくとも1以上あると判断された場合には、パラメータ値の設定変更を行う(ステップS218)。この処理は、先に説明したステップS38(図10)の処理と同様である。   If it is determined in step S217 that there is at least one parameter to be adjusted that is not set to the maximum adjustment width of the parameter, the parameter value setting is changed (step S218). This process is the same as the process of step S38 (FIG. 10) described above.

ステップS217で、調整対象パラメータのすべてついて設定されている値が当該パラメータの調整幅の最大値であると判断された場合(つまり、調整対象パラメータの試行値の全通りの組み合わせについて欠陥検出アルゴリズムが実行された場合)、パラメータ値適否判断部171は、適正なパラメータ値が見つからなかった旨をオペレータに通知する(ステップS219)。つまり、各調整対象パラメータの試行値の全通りの組み合わせについて欠陥検出アルゴリズムを実行しても、適正なパラメータ値が見つからなかった場合には、ステップS219の処理が行われる。以上で、調整対象パラメータの調整値の決定処理が終了する。   In step S217, when it is determined that the values set for all of the adjustment target parameters are the maximum value of the adjustment range of the parameter (that is, the defect detection algorithm is used for all combinations of adjustment values of the adjustment target parameters). When executed, the parameter value suitability determination unit 171 notifies the operator that an appropriate parameter value has not been found (step S219). That is, even if the defect detection algorithm is executed for all combinations of trial values of each adjustment target parameter, if an appropriate parameter value is not found, the process of step S219 is performed. This completes the adjustment value determination process for the adjustment target parameter.

〈3.効果〉
この発明の第3の実施の形態に係る欠陥検査装置においては、調整対象パラメータの調整値を、はじめに適正値と判断されたパラメータ値を調整値に決定するので、パラメータ調整を迅速に行うことが可能となる。
<3. effect>
In the defect inspection apparatus according to the third embodiment of the present invention, the adjustment value of the parameter to be adjusted is first determined as the adjustment value that is determined to be an appropriate value, so that parameter adjustment can be performed quickly. It becomes possible.

〔第4の実施の形態〕
〈1.構成〉
この発明の第4の実施の形態に係るデータ処理装置の一態様である欠陥検査装置は、第1の実施の形態において説明した欠陥検査装置1と同様の装置構成において実現されるのでその説明を省略する。また、以下においては、第4の実施の形態に係る欠陥検査装置の構成要素を示すにあたって、第1の実施の形態の説明に用いた参照符号を用いる。
[Fourth Embodiment]
<1. Constitution>
The defect inspection apparatus, which is an aspect of the data processing apparatus according to the fourth embodiment of the present invention, is realized in the same apparatus configuration as the defect inspection apparatus 1 described in the first embodiment. Omitted. In the following description, the reference numerals used in the description of the first embodiment are used to indicate the components of the defect inspection apparatus according to the fourth embodiment.

〈1−1.パラメータの調整に関する構成〉
この実施の形態に係る欠陥検査装置は、検版/印刷物検査に係る画像処理のパラメータを調整する機能を有している。図20は、パラメータ調整機能に関する構成を説明する図である。
<1-1. Configuration related to parameter adjustment>
The defect inspection apparatus according to this embodiment has a function of adjusting image processing parameters related to plate inspection / printed material inspection. FIG. 20 is a diagram illustrating a configuration related to the parameter adjustment function.

この実施の形態に係る欠陥検査装置は、パラメータの調整値を決定する態様が第1の実施の形態に係る欠陥検査装置1と相違する。以下においては、第1の実施の形態に係る欠陥検査装置1と相違する点のみを説明し、相違しない点については説明を省略する。また、同じ構成要素については、同じ符号を付して示すことにする。   The defect inspection apparatus according to this embodiment is different from the defect inspection apparatus 1 according to the first embodiment in the aspect of determining parameter adjustment values. In the following, only points that differ from the defect inspection apparatus 1 according to the first embodiment will be described, and descriptions of points that are not different will be omitted. In addition, the same components are denoted by the same reference numerals.

この実施の形態に係る欠陥検査装置は、検版/印刷物検査に係る画像処理のパラメータを調整する機能を有している。図20は、パラメータ調整機能に関する構成を説明する図である。なお、以下においては、図21、図22を適宜参照する。図21、図22は、遺伝的アルゴリズムを用いた調整値の決定態様を説明する概念図である。   The defect inspection apparatus according to this embodiment has a function of adjusting image processing parameters related to plate inspection / printed material inspection. FIG. 20 is a diagram illustrating a configuration related to the parameter adjustment function. In the following, FIGS. 21 and 22 are referred to as appropriate. FIG. 21 and FIG. 22 are conceptual diagrams illustrating how adjustment values are determined using a genetic algorithm.

この実施の形態に係る欠陥検査装置は、パラメータ調整処理部470を備えている。パラメータ調整処理部470は、調整対象パラメータの調整値を遺伝的アルゴリズムを用いて決定する。より具体的には、調整対象パラメータの各試行値の全通りの組み合わせに対応する複数のパラメータ値群のうちから、目標データD3と一致する結果データD2を与えるパラメータ値群を遺伝的アルゴリズムにより抽出する。そして、抽出したパラメータ値群を構成する値を、調整対象パラメータの調整値に決定する。   The defect inspection apparatus according to this embodiment includes a parameter adjustment processing unit 470. The parameter adjustment processing unit 470 determines an adjustment value of the adjustment target parameter using a genetic algorithm. More specifically, a parameter value group that provides result data D2 that matches the target data D3 is extracted by a genetic algorithm from among a plurality of parameter value groups corresponding to all combinations of the trial values of the adjustment target parameter. To do. And the value which comprises the extracted parameter value group is determined to the adjustment value of a parameter for adjustment.

パラメータ調整処理部470は、図20に示すように、第1世代固体群生成部471と、適応値取得部472と、ペア生成部473と、交叉処理部474と、突然変異実行部475と、最適パラメータ値決定部476とを備えている。   As shown in FIG. 20, the parameter adjustment processing unit 470 includes a first generation solid group generation unit 471, an adaptive value acquisition unit 472, a pair generation unit 473, a crossover processing unit 474, a mutation execution unit 475, And an optimum parameter value determination unit 476.

第1世代固体群生成部471は、所定数N個(ただし、Nは所定の自然数であり、その値は任意に設定することができる。また、図21の例ではN=4である。)の固体群を生成して、第1世代の固体群として取得する。各固体は、M個の遺伝子により構成される染色体を有する。ただし、遺伝子とは、より具体的には、0.0〜1.0の範囲のいずれかの数値であり、第1世代の各個体が有する遺伝子の数値はそれぞれランダムに選択される。また、染色体に含まれる遺伝子の個数M(図21の例では、M=7)は、欠陥検出画像処理に係るパラメータの個数と一致しており、図22に示すように、各遺伝子1,2,…7は欠陥検出画像処理に係るパラメータのいずれかと対応している。すなわち、各染色体はパラメータ値群と対応している。   The first generation solid group generation unit 471 has a predetermined number N (where N is a predetermined natural number, and the value can be arbitrarily set. In the example of FIG. 21, N = 4). Are obtained as a first generation solid group. Each solid has a chromosome composed of M genes. However, the gene is more specifically any numerical value in the range of 0.0 to 1.0, and the numerical value of the gene possessed by each individual of the first generation is selected at random. Further, the number M of genes included in the chromosome (M = 7 in the example of FIG. 21) matches the number of parameters related to the defect detection image processing, and as shown in FIG. ,... Correspond to any of parameters relating to defect detection image processing. That is, each chromosome corresponds to a parameter value group.

なお、欠陥検出画像処理に係るパラメータのうちから選択した1以上のパラメータを調整対象パラメータとする場合、各遺伝子を調整対象パラメータのいずれかと対応させる。つまりこの場合、遺伝子の個数は調整対象パラメータの個数と一致することになる。   When one or more parameters selected from parameters related to defect detection image processing are used as adjustment target parameters, each gene is associated with one of the adjustment target parameters. That is, in this case, the number of genes coincides with the number of parameters to be adjusted.

適応値取得部472は、個体の適応値を取得する。適応値取得部472は、各世代を構成するN個の固体のそれぞれについて後述する処理を行うことによって、N個の個体のそれぞれの適応値を取得する。そして、取得した適応値を、各個体と対応づけて記憶部12に記憶する。   The adaptation value acquisition unit 472 acquires the adaptation value of the individual. The adaptive value acquisition unit 472 acquires the adaptive value of each of the N individuals by performing processing to be described later on each of the N solids constituting each generation. Then, the acquired adaptation value is stored in the storage unit 12 in association with each individual.

適応値を取得する処理について、図22を参照しながら説明する。適応値を取得するにあたっては、まず、固体に含まれるM個(図22の例では、M=7)の遺伝子のそれぞれを解釈して、M個のパラメータ値を取得する。すなわち、1個の染色体から1個のパラメータ値群を取得する。遺伝子を解釈してパラメータの値を取得する処理は、次の(式1)に示される演算処理を実行することによって行われる。ただし(式1)中、「Gi」は遺伝子の値であり、「Pi」は当該遺伝子と対応付けられるパラメータの値である(i=1,2,…,M)。また、「min」および「max」は、それぞれ、当該パラメータについて設定された調整幅の最小値および最大値である。また、「div」は、当該パラメータについて設定された分割数である。また、「int{}」は、小数点以下の値を切り捨てる演算処理を示す。   The process for acquiring the adaptive value will be described with reference to FIG. In acquiring the adaptive value, first, each of M genes (M = 7 in the example of FIG. 22) included in the solid is interpreted, and M parameter values are acquired. That is, one parameter value group is acquired from one chromosome. The process of obtaining the parameter value by interpreting the gene is performed by executing the calculation process shown in the following (Equation 1). However, in (Equation 1), “Gi” is a gene value, and “Pi” is a parameter value associated with the gene (i = 1, 2,..., M). “Min” and “max” are the minimum value and the maximum value of the adjustment range set for the parameter, respectively. “Div” is the number of divisions set for the parameter. “Int {}” indicates a calculation process for truncating a value after the decimal point.

Pi=min+(max−min)*int{Gi*div}/div ・・・(式1)
続いて、取得されたパラメータ値群の下で欠陥検出アルゴリズムを実行して、結果データD3を取得する。そして、取得された結果データD2を目標データD3と比較して、個体の適応値を算出する。ただし、この「適応値」とは、結果データD2と目標画像データD3とが一致する部分の面積率(画像全体の面積に対する一致部分の面積の比率)である。つまり、個体の適応値は、当該固体(染色体)と対応するパラメータ値群が与える結果データD2が目標データD3と一致する度合いを示す値であり、その値が大きいほど優れた個体(目標データD3と高度に一致する結果データD2を与えるパラメータ値群と対応する個体)であることがわかる。ただし、適応値は0〜1の範囲の数値を取りうる。例えば、適応値が「1」の個体は、目標データD3と完全に一致する結果データD3を与えるパラメータ値群に対応する最も優れた個体であるといえる。
Pi = min + (max−min) * int {Gi * div} / div (Formula 1)
Subsequently, a defect detection algorithm is executed under the acquired parameter value group, and result data D3 is acquired. Then, the acquired result data D2 is compared with the target data D3 to calculate an adaptive value of the individual. However, this “adaptive value” is the area ratio of the portion where the result data D2 and the target image data D3 match (the ratio of the area of the matching portion to the area of the entire image). That is, the adaptation value of the individual is a value indicating the degree to which the result data D2 given by the parameter value group corresponding to the solid (chromosome) matches the target data D3, and the larger the value, the better the individual (target data D3 And the individual corresponding to the parameter value group that gives the result data D2 that is highly consistent with each other. However, the adaptive value can take a numerical value in the range of 0-1. For example, it can be said that the individual whose adaptation value is “1” is the best individual corresponding to the parameter value group that gives the result data D3 that completely matches the target data D3.

ペア生成部473は、同世代のN個の固体から、〔(N/2)−1〕組(ただし、Nが偶数の場合。Nが奇数の場合は(N−1)/2組)のペアを生成する。より具体的には、まず、同世代のN個の固体群のうちから、適応値を用いた自然淘汰の原理によって、(N−2)個(Nが奇数の場合は(N−1)個)の固体を選択する。ここで選択された個体が次世代の個体を生成する親の個体となる。自然淘汰の原理とは、優秀な個体(すなわちここでは、適応値の高い個体)の遺伝子を優先的に次世代に引き継がせていく原理であり、同世代のN個の個体のうちで、優秀な個体ほど親の個体として選択される確率を高くすることによって実現される。例えば、適応値を親の個体として選択される選択確率とする。また、適応値が大きな順に個体を順位付けして、高順位の個体から順に高い値の選択確率を割り当てていく構成としてもよい。ペア生成部473は、上記の原理にしたがって選択された(N−2)個(Nが奇数の場合は(N−1)個)の固体から、互いに異なる2つの固体をペアにして、〔(N/2)−1〕組(Nが奇数の場合は(N−1)/2組)のペアを生成する。   The pair generation unit 473 generates [(N / 2) -1] sets (N is an even number. If N is an odd number, (N-1) / 2 sets) from N solids of the same generation. Generate a pair. More specifically, first, from the N solid groups of the same generation, according to the principle of natural selection using adaptive values, (N-2) (if N is an odd number, (N-1) ) Solids are selected. The individual selected here becomes a parent individual that generates the next generation individual. The principle of natural selection is the principle of preferentially handing over the genes of excellent individuals (in this case, individuals with high adaptation values) to the next generation. Among the N individuals of the same generation, This is realized by increasing the probability of selecting an individual as a parent individual. For example, the adaptive value is a selection probability of being selected as a parent individual. Moreover, it is good also as a structure which ranks an individual in order with a large adaptive value, and assigns the selection probability of a high value in an order from a high-order individual. The pair generation unit 473 pairs two different solids from (N-2) solids selected according to the above principle (or (N-1) when N is an odd number). N / 2) -1] pairs (if N is an odd number, (N-1) / 2 pairs) are generated.

なお、後述する交叉・突然変異を行うことによって、次世代の個体を生成するのであるが、生成される次世代の個体数が前の世代の個体数と同数となるように(すなわち、世代を経ても個体数が変化しないように)、個体数の調整を行う。上記の場合、交叉に使用される個体の数(すなわち、後述するように、交叉により生成される個体の数)は、Nが偶数の場合は(N−2)個、Nが奇数の場合は(N−1)個であるので、このままでは生成される次世代の個体数が減少してしまう。したがって、この不足分を補充する調整処理を行う。   The next-generation individuals are generated by performing crossover / mutation, which will be described later, so that the number of next-generation individuals generated will be the same as the number of individuals in the previous generation (that is, Adjust the number of individuals so that the number of individuals does not change over time). In the above case, the number of individuals used for crossover (that is, the number of individuals generated by crossover as will be described later) is (N-2) when N is an even number, and when N is an odd number. Since the number is (N-1), the number of next-generation individuals to be generated is reduced as it is. Therefore, an adjustment process for replenishing this shortage is performed.

Nが偶数の場合は2個の個体が不足している。この場合、例えば、エリート戦略(適応値の高い個体をそのまま次世代の個体として残す方法)によって個体を1個補充するとともに、ランダムに選択した遺伝子を備える個体を1個補充する。一方、Nが奇数の場合は1個の個体が不足している。この場合、例えば、エリート戦略によって個体を1個補充する。   When N is an even number, two individuals are lacking. In this case, for example, one individual is supplemented by an elite strategy (a method in which an individual with a high adaptive value is left as the next generation individual as it is), and one individual having a randomly selected gene is supplemented. On the other hand, when N is an odd number, one individual is insufficient. In this case, for example, one individual is supplemented by an elite strategy.

なお、ここで生成するペアの数を、(N/2)組(ただし、Nが偶数の場合。Nが奇数の場合は〔(N+1)/2〕組)としてもよい。この場合、交叉に使用される個体の数は、Nが偶数の場合はN個、Nが奇数の場合は(N+1)個であるので、Nが奇数の場合には生成される次世代の個体数が増加してしまう。したがって、この場合、Nが奇数の場合には、交叉処理後に、生成された次世代の個体から1個の個体をランダムに選択して削除して、個体数の調整を行う。   Note that the number of pairs generated here may be (N / 2) sets (where N is an even number, and when N is an odd number, [(N + 1) / 2] sets). In this case, the number of individuals used for crossover is N when N is an even number, and (N + 1) when N is an odd number. Therefore, the next generation individuals generated when N is an odd number. The number will increase. Therefore, in this case, when N is an odd number, after the crossover process, one individual is randomly selected from the generated next-generation individuals and deleted to adjust the number of individuals.

交叉処理部474は、ペアとされた2つの固体を交叉させて、次世代の固体を生成する。より具体的には、図21に示すように、所定の交叉位置Q(ただし、交叉位置は、染色体上からランダムに選択された位置とする)よりも後半部分にある遺伝子を入れ替えて、新たな固体を生成する。これにより、各ペアから次世代の固体が2つ生成されることになる。図21に示すように、前世代から選択された優秀な親個体の交叉により新たに生成された個体の適応値は、親の適応値よりもさらに良好なものとなっている可能性が高い。つまり、世代が進むにつれて、適応値の低い固体が自然淘汰されていき、適応値の高い優秀な固体が生まれる可能性が高くなる。ただし、図21において網掛けで示されている遺伝子は、適応値に対応する遺伝子を意味している。ここでは、第2世代において、適応値が「0.5」の個体2’が生成される様子が例示されている。   The crossover processing unit 474 crosses the paired two solids to generate a next generation solid. More specifically, as shown in FIG. 21, a gene located in the latter half of a predetermined crossover position Q (where the crossover position is a position randomly selected from the chromosome) is replaced with a new one. A solid is produced. As a result, two next-generation solids are generated from each pair. As shown in FIG. 21, there is a high possibility that the adaptation value of the individual newly generated by crossing the excellent parent individuals selected from the previous generation is even better than the adaptation value of the parent. In other words, as the generation progresses, solids with low adaptation values are naturally deceived, and there is a high possibility that excellent solids with high adaptation values will be born. However, the genes indicated by hatching in FIG. 21 mean the genes corresponding to the adaptive values. Here, a state in which an individual 2 ′ having an adaptation value “0.5” is generated in the second generation is illustrated.

なお、上述した通り、ここで、生成される次世代の個体数が前の世代の個体数と同数となるように、個体数の調整を行う。すなわち、交叉に使用される個体の数が、(N−2)個の場合には、生成される固体の数がN個になるように、不足分の固体をエリート戦略およびランダムな遺伝子選択によって1個ずつ補充する。また、交叉に使用される個体の数が、(N−1)個の場合には、不足分の固体をエリート戦略によって1個補充する。さらにまた、交叉に使用される固体の数が、(N+1)個の場合には、生成された次世代の個体から1個の個体をランダムに選択して削除する。   As described above, the number of individuals is adjusted so that the number of next-generation individuals generated is the same as the number of individuals of the previous generation. That is, when the number of individuals used for crossover is (N-2), the shortage of solids is determined by elite strategy and random gene selection so that the number of solids generated is N. Refill one by one. When the number of individuals used for crossover is (N-1), one shortage of solids is supplemented by an elite strategy. Furthermore, when the number of solids used for crossover is (N + 1), one individual is randomly selected from the generated next generation individuals and deleted.

突然変異実行部475は、交叉により新たな個体群が生成された際に、当該生成された新たな個体群の遺伝子に所定の確率で突然変異を起こす。突然変異とは、新たに生成されたN個の個体の遺伝子の値の変更である。所定の確率で遺伝子を突然変異させる(すなわち、所定の確率で遺伝子の値をランダムに変更する)ことによって、遺伝子の値の偏りが解消され、最適化処理においてローカルミニマムに陥る危険を回避することができる。   When a new population is generated by crossover, the mutation execution unit 475 causes a mutation in the gene of the generated new population with a predetermined probability. A mutation is a change in the gene value of N newly generated individuals. By mutating a gene with a predetermined probability (that is, changing the value of a gene randomly with a predetermined probability), the bias of the gene value is eliminated, and the risk of falling into a local minimum in the optimization process is avoided. Can do.

最適パラメータ値決定部476は、調整対象パラメータの調整値(調整結果として出力する値)を決定する。より具体的には、所定の世代(例えば第T世代(ただし、Tは任意に設定された2以上の自然数))の個体が生成されると、当該世代の個体のうちで最も高い適応値を有する個体を最適個体として抽出する。そして、抽出した最適個体の染色体に対応するパラメータ値群を最適なパラメータ値群と判断し、この最適なパラメータ値群を構成するM個のパラメータ値を各パラメータの調整値に決定する。換言すると、最適個体の染色体に含まれるM個の遺伝子を解釈して取得されるM個のパラメータ値を、各パラメータの調整値に決定する。なお、世代数に関係なく、所定の値よりも高い適応値を有する個体が生まれた時点で、当該個体を最適個体として抽出する構成としてもよい。   The optimum parameter value determination unit 476 determines an adjustment value (value to be output as an adjustment result) of the adjustment target parameter. More specifically, when an individual of a predetermined generation (for example, T-th generation (where T is a natural number of 2 or more arbitrarily set)) is generated, the highest adaptive value among the individuals of the generation is obtained. The individual that has it is extracted as the optimum individual. Then, the parameter value group corresponding to the extracted chromosome of the optimum individual is determined as the optimum parameter value group, and the M parameter values constituting the optimum parameter value group are determined as the adjustment values of each parameter. In other words, M parameter values obtained by interpreting M genes included in the chromosome of the optimum individual are determined as adjustment values for each parameter. In addition, it is good also as a structure which extracts the said individual | organism | solid as an optimal individual | organism | solid when the individual | organism | solid which has an adaptation value higher than a predetermined value was born irrespective of the number of generations.

〈2.処理〉
第4の実施の形態に係る欠陥検査装置におけるパラメータ調整処理について説明する。パラメータ調整処理の全体の流れは図5に示される通りである。ただし、この実施の形態においては、調整値の決定処理(すなわち、ステップS5に相当する処理)が次のように行われる。
<2. processing>
A parameter adjustment process in the defect inspection apparatus according to the fourth embodiment will be described. The overall flow of the parameter adjustment process is as shown in FIG. However, in this embodiment, the adjustment value determination process (that is, the process corresponding to step S5) is performed as follows.

〈2−1.調整値の決定処理〉
図23は、この実施の形態において実行される調整値の決定処理の流れを示す図である。なお、以下においても、図21、図22を適宜参照する。
<2-1. Adjustment value determination process>
FIG. 23 is a diagram showing a flow of adjustment value determination processing executed in this embodiment. In the following, FIGS. 21 and 22 will be referred to as appropriate.

ステップS4(図5)の処理が完了すると、再び受付画面Gが表示部14に表示される。受付画面Gにおいて「再演算」パネルの操作が受け付けられると、ステップS5の処理が開始される。   When the process of step S4 (FIG. 5) is completed, the acceptance screen G is displayed on the display unit 14 again. When an operation on the “recalculation” panel is accepted on the acceptance screen G, the process of step S5 is started.

はじめに、第1世代固体群生成部471が、第1世代を構成するN個の個体(図21の例においては、個体1,2,3,4)を生成する(ステップS311)。ここで生成された各個体は、上述の通り、ランダムに選択されたM個の遺伝子により構成される染色体を有している。   First, the first generation solid group generation unit 471 generates N individuals (in the example of FIG. 21, individuals 1, 2, 3, and 4) constituting the first generation (step S311). Each individual generated here has a chromosome composed of M genes selected at random as described above.

続いて、適応値取得部472が、第1世代を構成するN個の個体のそれぞれの適応値を取得し、取得した適応値を各個体と対応づけて記憶部12に記憶する(ステップS312)。   Subsequently, the adaptive value acquisition unit 472 acquires the adaptive value of each of the N individuals constituting the first generation, and stores the acquired adaptive value in association with each individual in the storage unit 12 (step S312). .

続いて、ペア生成部473が、第1世代のN個の個体から、〔(N/2)−1〕組(Nが奇数の場合は(N−1)/2組)のペアを生成する(ステップS313)。より具体的には、第1世代のN個の固体群のうちから、適応値を用いた自然淘汰の原理によって、(N−2)個(Nが奇数の場合は(N−1)個))の固体を選択し、選択された(N−2)個(Nが奇数の場合は(N−1)個)の固体から、互いに異なる2つの固体をペアとして、〔(N/2)−1〕組(Nが奇数の場合は(N−1)/2組)のペアを生成する。   Subsequently, the pair generation unit 473 generates [(N / 2) -1] pairs (if N is an odd number, (N-1) / 2 pairs) from the first generation N individuals. (Step S313). More specifically, from the first generation N solid groups, according to the principle of natural selection using adaptive values, (N-2) (if N is an odd number, (N-1)) ) Solids, and from the selected (N−2) (or (N−1) when N is an odd number) solids, two different solids are paired, and [(N / 2) − 1] Pairs (if N is an odd number, (N-1) / 2 pairs) are generated.

続いて、交叉処理部474が、ステップS313で生成されたペアのそれぞれについて、ペアになった2つの固体を交叉させて、新たな固体を生成する(ステップS314)。より具体的には、図21に示すように、染色体上からランダムに選択された所定の交叉位置よりも後半部分にある遺伝子を入れ替えて、(N−2)個(Nが奇数の場合は(N−1)個)の個体を新たに生成する。さらにここで、生成される次世代の個体数が前の世代の個体数と同数となるように、個体数の調整を行う。すなわち、生成された個体数が(N−2)個の場合、エリート戦略によって1個の個体を補充するとともに、ランダムに選択した遺伝子を備える個体を1個補充する。一方、生成された個体数が(N−1)個の場合、エリート戦略によって1個の個体を補充する。   Subsequently, for each of the pairs generated in step S313, the crossover processing unit 474 crosses the paired two solids to generate a new solid (step S314). More specifically, as shown in FIG. 21, the genes in the latter half of the predetermined crossover position randomly selected from the chromosome are replaced, and (N-2) (if N is an odd number ( N-1)) individuals are newly generated. Furthermore, the number of individuals is adjusted so that the number of next-generation individuals generated is the same as the number of individuals of the previous generation. That is, when the number of generated individuals is (N-2), one individual is supplemented by an elite strategy and one individual having a randomly selected gene is supplemented. On the other hand, when the number of generated individuals is (N-1), one individual is supplemented by an elite strategy.

続いて、突然変異実行部475が、ステップS314で生成された新たな固体に、所定の確率で遺伝子の突然変異を起こす(ステップS315)。   Subsequently, the mutation execution unit 475 causes a gene mutation at a predetermined probability in the new object generated in step S314 (step S315).

ステップS314〜ステップS315の処理によって、N個の個体が新たに生成され、ここで生成されたN個の個体(図21の例においては、個体1’,2’,3’,4’)が、第2世代を構成する固体群となる。   N individuals are newly generated by the processing from step S314 to step S315, and the N individuals generated here (in the example of FIG. 21, individuals 1 ′, 2 ′, 3 ′, 4 ′) are generated. The solid group constituting the second generation.

続いて、最適パラメータ値決定部476が、所定の世代(第T世代(ただし、Tは任意に設定された自然数))の固体が生成されたか否かを判断する(ステップS316)。換言すると、ステップS312からステップS315までの処理が所定回数(T−1回)だけ実行されたか否かを判断する。   Subsequently, the optimum parameter value determining unit 476 determines whether or not a solid of a predetermined generation (T generation (where T is a natural number set arbitrarily)) has been generated (step S316). In other words, it is determined whether or not the processing from step S312 to step S315 has been executed a predetermined number of times (T-1 times).

ステップS316において、第T世代の固体が生成されていないと判断された場合、再びステップS312の処理に戻る。例えばT=3の場合、ステップS315の処理において第2世代の個体群が生成されているとすると、再びステップS312の処理に戻る。この場合、第2世代の個体群に対してステップS312〜ステップS315の処理が実行されることによって、第3世代を構成する個体群が生成されることになる。   If it is determined in step S316 that no T-th generation solid has been generated, the process returns to step S312 again. For example, in the case of T = 3, if the second generation individual group is generated in the process of step S315, the process returns to the process of step S312 again. In this case, the individuals constituting the third generation are generated by executing the processes of steps S312 to S315 on the second-generation individuals.

ステップS316において、第T世代の固体が生成されたと判断された場合、適応値取得部472が、第T世代を構成するN個の個体のそれぞれの適応値を取得し、最適パラメータ値決定部476が、第T世代の個体のうちで最も高い適応値を有する個体を最適個体として抽出する(ステップS317)。例えばT=3の場合、ステップS315の処理において第3世代の個体群が生成されているとすると、最適パラメータ値決定部476は、第3世代の個体のうちで最も高い適応値を有する個体を最適個体として抽出する。   If it is determined in step S316 that a T-th generation solid has been generated, the adaptive value acquisition unit 472 acquires the adaptive values of the N individuals that constitute the T-th generation, and the optimal parameter value determination unit 476. However, the individual having the highest adaptation value among the T-th generation individuals is extracted as the optimum individual (step S317). For example, in the case of T = 3, assuming that the third generation individual group is generated in the process of step S315, the optimum parameter value determination unit 476 selects the individual having the highest adaptive value among the third generation individuals. Extract as the optimal individual.

なお、ステップS316の判断処理に変えて、ステップS312の処理の後(すなわち、各個体の適応値が取得された後)に、所定値よりも高い適応値を有する個体が存在するか否かを判定する処理を実行してもよい。この場合、そのような固体が存在すると判断された時点で、当該個体を最適個体として抽出する。   Note that, instead of the determination process in step S316, whether or not there is an individual having an adaptation value higher than the predetermined value after the process in step S312 (that is, after the adaptation value of each individual is acquired). Processing for determining may be executed. In this case, when it is determined that such a solid exists, the individual is extracted as the optimum individual.

続いて、最適パラメータ値決定部476は、ステップS317で抽出された最適個体の染色体に含まれるM個の遺伝子を解釈してM個のパラメータ値を取得し、当該取得された値を各パラメータの調整値に決定する(ステップS318)。以上で、ステップS5(図5)の処理が終了する。   Subsequently, the optimum parameter value determining unit 476 obtains M parameter values by interpreting the M genes included in the chromosome of the optimum individual extracted in step S317, and uses the obtained values for each parameter. The adjustment value is determined (step S318). Thus, the process of step S5 (FIG. 5) is completed.

なお、上記においては、次世代の個体は、適応値を用いた自然淘汰の原理によって選択された個体からペアを作り、そのペアを交叉させて生成する構成としているが、次世代の個体の生成方法はこれに限らない。例えば、適応値の高い個体をそのまま次世代の個体として残す方法(エリート戦略)を採用してもよい。また、ランダムに次世代の個体を生成する方法を採用してもよい。   In the above, the next-generation individuals are configured to create a pair from individuals selected based on the principle of natural selection using adaptive values and cross the pair. The method is not limited to this. For example, a method (elite strategy) of leaving an individual with a high adaptive value as a next generation individual as it is may be adopted. Further, a method of randomly generating a next generation individual may be adopted.

〈3.効果〉
この発明の第4の実施の形態に係る欠陥検査装置においては、調整対象パラメータの調整値を、遺伝的アルゴリズムを用いて取得するので、最適なパラメータ値を迅速に取得することができる。
<3. effect>
In the defect inspection apparatus according to the fourth embodiment of the present invention, the adjustment value of the parameter to be adjusted is obtained using the genetic algorithm, so that the optimum parameter value can be obtained quickly.

また、この実施の形態に係る欠陥検査装置においては、各種のパラメータを染色体に含まれる複数の遺伝子のそれぞれと対応付けて(すなわち、各個体を、各パラメータ値の組み合わせに対応付けて)、適応値の高い優秀な個体(すなわち、目標データD3を与える最適な調整値の組み合わせ)を遺伝的アルゴリズムを用いて取得する。したがって、調整対象パラメータの種類が多くなっても迅速に最適な調整値を得ることができる。   Further, in the defect inspection apparatus according to this embodiment, various parameters are associated with each of a plurality of genes included in a chromosome (that is, each individual is associated with a combination of parameter values) and adapted. An excellent individual having a high value (that is, an optimal combination of adjustment values that gives the target data D3) is obtained using a genetic algorithm. Therefore, an optimum adjustment value can be obtained quickly even if the types of adjustment target parameters increase.

〔変形例〕
〈第1の変形例〉
上記の各実施の形態においては、欠陥検出アルゴリズムにおいて、ぼかし処理、ゆすらせ処理、比較処理、孤立点除去処理が所定順で実行されるとしていたが、欠陥検査装置1において実行される欠陥検出アルゴリズムはこの態様に限らない。例えば、上記の各画像処理に換えてもしくは併せて、カーネル指定ぼかし処理や、太らせ処理を欠陥検出アルゴリズムに組み込むことができる。そして、組み込まれた各種の処理において必要とされるパラメータを上記の態様により調整することができる。つまり、上記の実施の形態においては、欠陥検出画像処理に係る複数のパラメータとして、ぼかしパラメータP1,ゆすらせパラメータP2,比較パラメータP3,孤立点除去パラメータP4を挙げているが、欠陥検出画像処理に係るパラメータはこれに限らない。
[Modification]
<First Modification>
In each of the above embodiments, in the defect detection algorithm, the blurring process, the swaying process, the comparison process, and the isolated point removal process are executed in a predetermined order. However, the defect detection algorithm executed in the defect inspection apparatus 1 Is not limited to this mode. For example, in place of or in combination with each of the above image processes, a kernel designated blurring process or a fattening process can be incorporated into the defect detection algorithm. And the parameter required in the various processes incorporated can be adjusted with said aspect. That is, in the above embodiment, the blur parameter P1, the sway parameter P2, the comparison parameter P3, and the isolated point removal parameter P4 are cited as the plurality of parameters related to the defect detection image processing. Such parameters are not limited to this.

例えば、フィルタ処理におけるフィルタ半径値、特定の色範囲の抽出処理において抽出すべき色範囲(例えば、Lab色空間におけるL値、a値およびb値の各範囲)、太らせ処理における太らせ幅、細らせ処理における細らせ幅、エッジ成分の検出処理におけるフィルタ半径値およびフィルタID値、マスク合成処理や比較処理等の各種の処理を実行するか否かを規定するフラグ値、面積判定処理における面積範囲(最小面積値および最大面積値の各値)、特徴量抽出処理における最大輪郭長の値等といった各種のパラメータを調整対象パラメータとすることができる。   For example, a filter radius value in the filter process, a color range to be extracted in the extraction process of a specific color range (for example, each range of L value, a value, and b value in the Lab color space), a fattening width in the fattening process, Thinning width in thinning processing, filter radius value and filter ID value in edge component detection processing, flag value specifying whether various processing such as mask composition processing and comparison processing is executed, area determination processing Various parameters such as the area range (each value of the minimum area value and the maximum area value), the value of the maximum contour length in the feature amount extraction processing, and the like can be used as the adjustment target parameters.

また、欠陥検出画像処理に係るパラメータだけでなく、検査対象データD1を取得する際の各種パラメータ(例えば、イメージスキャナ5の照明角度、光源色、光学倍率、画像読取やノイズの除去等の処理に係る各種の調整変数等)を調整対象パラメータに含めてもよい。   In addition to parameters related to defect detection image processing, various parameters (for example, illumination angle of the image scanner 5, light source color, optical magnification, image reading, noise removal, and the like) when acquiring the inspection target data D1. Such various adjustment variables) may be included in the adjustment target parameter.

また、欠陥検出アルゴリズム処理を実行するか否か(アルゴリズム処理機能自体のON/OFF)を、調整対象パラメータの1つとして含めることもできる。   Further, whether or not to execute the defect detection algorithm processing (ON / OFF of the algorithm processing function itself) can be included as one of the adjustment target parameters.

〈第2の変形例〉
上記の各実施の形態においては、データ処理装置の一態様である欠陥検査装置1において欠陥検出画像処理に係るパラメータの調整を行う場合について説明しているが、欠陥検出画像処理に限らず各種の画像処理(例えば、画像の変形処理、ノイズ除去処理、画像変換処理、コントラスト調整処理など)を行う装置に上記の態様を適用して、装置にて実行される画像処理に係るパラメータの値を調整することができる。一例として、液晶パターンに生じているムラを検査する装置(ムラ検査装置)に上記の態様を適用する場合について説明する。ただし、液晶パターンの「ムラ」とは、例えば、液晶の表示部となるカラーフィルタにおいて、全面にわたり均一の濃度とされるべきR(赤)、G(緑)、B(青紫)の各色に生じてしまう濃度の不均一部分を指す。
<Second Modification>
In each of the above-described embodiments, the case where the defect inspection apparatus 1 which is an aspect of the data processing apparatus adjusts the parameters related to the defect detection image processing has been described. Apply the above aspect to a device that performs image processing (for example, image deformation processing, noise removal processing, image conversion processing, contrast adjustment processing, etc.), and adjust parameter values related to image processing executed by the device can do. As an example, a case will be described in which the above aspect is applied to an apparatus (unevenness inspection apparatus) for inspecting unevenness occurring in a liquid crystal pattern. However, the “unevenness” of the liquid crystal pattern occurs, for example, in each color of R (red), G (green), and B (blue purple) that should have a uniform density over the entire surface in a color filter that is a liquid crystal display unit. This refers to a non-uniform part of the density.

ムラ検査装置においては、所定のムラ検出処理を実行することによって、カラーフィルタ等の検査対象物に生じている有意なムラ部分を特定する。ただし、ムラ検出処理は、例えば次のように実行される。まず、検査対象物の画像データをデータ解析して検査対象物に生じているムラを抽出する(例えばこの処理は、濃度分析、フィルタ処理、コントラスト強調処理、高速フーリエ変換(Fast Fourier Transform, FFT)および2値化処理等が組み込まれたムラ抽出アルゴリズムを実行することにより行われる)。そして、抽出されたムラ部分を評価して有意なムラ部分を検出する(例えばこの処理は、太らせ処理、細らせ処理、画像の縦横比、面積、位置等の理論値との比較判定判定処理等が組み込まれたムラ判定アルゴリズムを実行することにより行われる)。ここで、ムラの抽出精度や、ムラの検出感度は、各処理に係るパラメータにより規定される。したがって、適切な精度でムラを抽出し、さらに適切な(すなわちユーザの所望する通りの)感度でムラを検出するためには、処理に係るパラメータ値を適切に調整しておく必要がある。   In the unevenness inspection apparatus, a significant unevenness portion occurring in an inspection object such as a color filter is specified by executing a predetermined unevenness detection process. However, the unevenness detection process is executed as follows, for example. First, image data of the inspection object is analyzed to extract unevenness generated in the inspection object (for example, this processing includes concentration analysis, filter processing, contrast enhancement processing, and fast Fourier transform (FFT)). And a non-uniformity extraction algorithm incorporating a binarization process or the like is performed). Then, the extracted uneven portion is evaluated to detect a significant uneven portion (for example, this process is a thickening process, a thinning process, a comparison determination determination with theoretical values such as an aspect ratio, area, and position of an image) This is performed by executing an unevenness determination algorithm in which processing and the like are incorporated). Here, the unevenness extraction accuracy and the unevenness detection sensitivity are defined by parameters relating to each process. Therefore, in order to extract unevenness with appropriate accuracy and detect unevenness with appropriate sensitivity (that is, as desired by the user), it is necessary to appropriately adjust the parameter values for processing.

この変形例に係るムラ検査装置は、欠陥検出処理部130(図2)に相当する機能部としてムラ検出処理を実行する処理部を備える。当該処理部は、検査対象物の画像データに対して所定のムラ検出処理を実行することによって、当該画像データに生じているムラ部分を検出し、その検出されたムラ部分を特徴的に表示したデータ(すなわち、結果データD2)を作成する画像処理を行う。   The unevenness inspection apparatus according to this modification includes a processing unit that executes unevenness detection processing as a functional unit corresponding to the defect detection processing unit 130 (FIG. 2). The processing unit detects predetermined unevenness in the image data by executing predetermined unevenness detection processing on the image data of the inspection object, and displays the detected unevenness in a characteristic manner. Image processing for creating data (that is, result data D2) is performed.

パラメータ調整に関するその他の機能部については、上記の実施の形態と同様であり(図2参照)、目標データ作成部140が、オペレータからこの結果データD2に対する修正指示を受け付けるとともに当該指示内容を結果データD2に反映させた画像データ(目標データD3)を作成し、さらにパラメータ調整処理部170が調整対象パラメータの調整値を決定する。これによって、ムラ検出処理に係るパラメータを調整することができる。   Other functional units related to parameter adjustment are the same as those in the above-described embodiment (see FIG. 2), and the target data creation unit 140 accepts a correction instruction for the result data D2 from the operator and uses the instruction content as result data. Image data (target data D3) reflected in D2 is created, and the parameter adjustment processing unit 170 determines an adjustment value of the adjustment target parameter. Thereby, it is possible to adjust a parameter related to the unevenness detection processing.

〈第3の変形例〉
上記の各実施の形態においては、画像処理に係るパラメータの調整を行う場合について説明しているが、画像データ以外のデータ(例えばベクトルデータ)に対する各種の処理に係るパラメータの調整を行うこともできる。ベクトルデータに対する処理に係るパラメータの調整を行う場合の例として、ノイズを含む測定データから、被測定物を正確に特定するデータを試行錯誤により取得する作業に上記の態様を適用する場合について説明する。
<Third Modification>
In each of the above-described embodiments, the case where the parameter adjustment related to image processing is performed has been described. However, the parameter adjustment related to various processing on data other than image data (for example, vector data) can also be performed. . As an example of adjusting parameters related to processing for vector data, a case will be described in which the above-described aspect is applied to an operation of acquiring data for accurately specifying an object to be measured from measurement data including noise by trial and error. .

例えば、測定データが、基板の膜厚測定データ(その表面に溝(パターン)が形成された基板の膜厚を、分光式膜厚計によって測定することによって取得されたデータ)であるとする。通常、測定データにはノイズが含まれる。この膜厚測定データもやはりノイズの影響を含んでおり、実際の溝の幅や深さを測定データから直接に読み取ることは難しい。そこで、次のようなシミュレーションを用いた手法により溝の幅や深さを推定する作業が行われる。   For example, it is assumed that the measurement data is substrate thickness measurement data (data obtained by measuring the thickness of a substrate having a groove (pattern) formed on the surface thereof with a spectroscopic film thickness meter). Normally, measurement data includes noise. This film thickness measurement data also includes the influence of noise, and it is difficult to directly read the actual groove width and depth from the measurement data. Therefore, an operation for estimating the width and depth of the groove is performed by a technique using the following simulation.

まず、適当な幅と深さを規定するベクトルデータ(すなわち、溝形状を表現するベクトルデータ)を生成し、当該ベクトルデータに対して分光シミュレーションを行う。すなわち、当該ベクトルデータにより表現される溝を分光式膜厚計によって測定した場合に得られる測定データを仮想的に生成する(以下においてこれを「仮想データ」という)。この仮想データが、測定データからノイズを除いた状態と一致していれば、当該仮想データを与えるベクトルデータこそが溝の幅や深さを正しくを表現しているデータであるといえる。そこで、オペレータは、このような仮想データを与えるベクトルデータを、試行錯誤によって探していく(より具体的には、得られた仮想データを測定データと比較した上で、両データ間に生じている相違部分をなくすようにベクトルデータの形状に変更を加える。そして、変更後のベクトルデータから再び仮想データを生成し、得られた仮想データを測定データと比較する、といった作業を繰り返しながら探していく)のである。   First, vector data defining an appropriate width and depth (that is, vector data expressing a groove shape) is generated, and spectral simulation is performed on the vector data. That is, measurement data obtained when the groove represented by the vector data is measured by a spectroscopic film thickness meter is virtually generated (hereinafter referred to as “virtual data”). If the virtual data matches the state obtained by removing noise from the measurement data, it can be said that the vector data giving the virtual data is data that correctly represents the width and depth of the groove. Therefore, the operator searches for vector data that gives such virtual data by trial and error (more specifically, after the obtained virtual data is compared with the measured data, it is generated between the two data. Change the shape of the vector data so as to eliminate the difference, and generate virtual data from the changed vector data again, and compare the obtained virtual data with the measurement data and search for it repeatedly ).

この作業に、上記のパラメータの調整機能を適用することができる。この変形例においては、欠陥検出処理部130(図2)に相当する機能部としてベクトルデータの生成処理を実行する処理部(ベクトルデータ生成処理部)を備える。当該処理部は、所定の幅と深さをもつ溝を表現するベクトルデータを生成する。ただし、表現される溝の幅や深さは、当該ベクトルデータの生成処理部に与えられるパラメータの値によって規定されることになり、この変形例においては、当該パラメータを調整対象パラメータとする。ベクトルデータ生成処理部が生成したベクトルデータに対して所定の分光シミュレーションを行うことによって、仮想データが取得される。この変形例においては、ここで得られる仮想データが結果データD2となる。   The parameter adjustment function described above can be applied to this work. In this modification, a processing unit (vector data generation processing unit) that executes vector data generation processing is provided as a functional unit corresponding to the defect detection processing unit 130 (FIG. 2). The processing unit generates vector data representing a groove having a predetermined width and depth. However, the width and depth of the expressed groove are defined by the parameter values given to the vector data generation processing unit. In this modification, the parameters are used as adjustment target parameters. Virtual data is acquired by performing a predetermined spectral simulation on the vector data generated by the vector data generation processing unit. In this modification, the virtual data obtained here is the result data D2.

パラメータ調整に関するその他の機能部については、上記の実施の形態と同様である(図2参照)。すなわち、目標データ作成部140が、オペレータから結果データD2に対する修正指示を受け付けるとともに当該指示内容を結果データD2に反映させたデータ(目標データD3)を作成する。この変形例においては、オペレータは、作成される目標データD3が測定データからノイズを除いた状態と一致したものとなるように結果データD2に対する修正を加える。   Other functional units related to parameter adjustment are the same as those in the above embodiment (see FIG. 2). That is, the target data creation unit 140 receives a correction instruction for the result data D2 from the operator and creates data (target data D3) in which the content of the instruction is reflected in the result data D2. In this modification, the operator modifies the result data D2 so that the created target data D3 matches the state obtained by removing noise from the measurement data.

そして、パラメータ調整処理部170が、目標データD3と一致するような結果データD2を与えることができるパラメータの値を調整値として取得する。つまり、パラメータ調整処理部170によって、適切なベクトルデータ(すなわち、測定データからノイズを除いた状態と一致する仮想データを与えることができるベクトルデータ)を生成可能なパラメータ値が取得されることになる。このパラメータ値を用いて生成されたベクトルデータは、溝の幅や深さを正しくを表現しているデータとなる。このように、パラメータの調整機能を用いることによって、測定データから実際の溝の幅や深さを推定する作業を容易かつ適確に行うことが可能となる。   Then, the parameter adjustment processing unit 170 acquires the value of the parameter that can give the result data D2 that matches the target data D3 as the adjustment value. That is, the parameter adjustment processing unit 170 acquires parameter values that can generate appropriate vector data (that is, vector data that can provide virtual data that matches the state obtained by removing noise from measurement data). . The vector data generated using this parameter value is data that correctly represents the width and depth of the groove. As described above, by using the parameter adjustment function, it is possible to easily and accurately perform an operation of estimating the actual groove width and depth from the measurement data.

〈第4の変形例〉
上記の各実施の形態は、第3の変形例としても説明したとおり、シミュレーションが使われる分野において有効な技術である。例えば、各種の物品製造工程においては、加工前の素材の形状から加工後の形状をシミュレーションにより生成して、加工後の形状が目標とする形状となるかを確認する作業が行われることがある。
<Fourth modification>
Each of the above embodiments is a technique that is effective in the field where simulation is used, as described as the third modification. For example, in various article manufacturing processes, there is a case in which a shape after processing is generated from a shape of a material before processing by simulation to check whether the shape after processing becomes a target shape. .

この作業に、上記のパラメータの調整機能を適用することができる。この変形例においては、欠陥検出処理部130(図2)に相当する機能部として加工前の素材形状を示す形状データの生成処理を実行する処理部(素材形状生成処理部)を備える。当該処理部は、所定の素材形状を表現する形状データを生成する。ただし、表現される形状は、当該素材形状生成処理部に与えられるパラメータの値によって規定されることになり、この変形例においては、当該パラメータを調整対象パラメータとする。特に、形状を表現するメッシュの粗密状態も、調整対象パラメータの1つとすることができる。素材形状生成処理部が生成した形状データに対して所定の加工作業のシミュレーションを行うことによって、当該素材形状を加工した後の形状を示す形状データが取得される。この変形例においては、ここで得られるデータが結果データD2となる。   The parameter adjustment function described above can be applied to this work. In this modification, a processing unit (material shape generation processing unit) that executes generation processing of shape data indicating a material shape before processing is provided as a functional unit corresponding to the defect detection processing unit 130 (FIG. 2). The processing unit generates shape data representing a predetermined material shape. However, the shape to be expressed is defined by the value of the parameter given to the material shape generation processing unit. In this modification, the parameter is set as the adjustment target parameter. In particular, the coarse / dense state of the mesh expressing the shape can be one of the adjustment target parameters. By performing simulation of a predetermined processing operation on the shape data generated by the material shape generation processing unit, shape data indicating the shape after processing the material shape is acquired. In this modification, the data obtained here is the result data D2.

パラメータ調整に関するその他の機能部については、上記の実施の形態と同様である(図2参照)。すなわち、目標データ作成部140が、オペレータから結果データD2に対する修正指示を受け付けるとともに当該指示内容を結果データD2に反映させたデータ(目標データD3)を作成する。この変形例においては、オペレータは、作成される目標データD3が自らが所望する加工後の形状を示すものとなるように結果データD2に対する修正を加える。   Other functional units related to parameter adjustment are the same as those in the above embodiment (see FIG. 2). That is, the target data creation unit 140 receives a correction instruction for the result data D2 from the operator and creates data (target data D3) in which the content of the instruction is reflected in the result data D2. In this modified example, the operator corrects the result data D2 so that the target data D3 to be created indicates the shape after processing desired by the operator.

そして、パラメータ調整処理部170が、目標データD3と一致するような結果データD2を与えることができるパラメータの値を調整値として取得する。つまり、適切な素材形状(すなわち、オペレータが所望する加工形状を与えることができる素材形状)を示すデータを生成可能なパラメータ値が取得されることになる。このように、パラメータの調整機能を用いることによって、所望の加工形状を得るための素材形状を容易かつ適確に推定することができる。   Then, the parameter adjustment processing unit 170 acquires the value of the parameter that can give the result data D2 that matches the target data D3 as the adjustment value. That is, a parameter value capable of generating data indicating an appropriate material shape (that is, a material shape capable of giving a processing shape desired by the operator) is acquired. In this way, by using the parameter adjustment function, the material shape for obtaining a desired machining shape can be estimated easily and accurately.

〈第5の変形例〉
上記の各実施の形態において説明したパラメータを調整する機能部として、取得された調整値を評価する構成(パラメータ評価部(図示省略))をさらに設けてもよい。
<Fifth Modification>
A configuration (parameter evaluation unit (not shown)) that evaluates the acquired adjustment value may be further provided as a function unit that adjusts the parameters described in the above embodiments.

パラメータ評価部は、パラメータ調整処理部170(図2)が決定した調整対象パラメータの調整値が適正な値か否かを評価する。例えば、決定された調整値の下で欠陥検出アルゴリズムを実行して得られるデータ(最終結果データ)と目標データD3とを比較して、両データの一致部分の面積率を算出し、当該値を調整値の評価値として取得する。つまり、評価値が高いほど、得られた調整値の下で得られるデータが目標データD3と一致する度合いが高いといえる。得られた評価値は、例えば表示部14に表示してオペレータに知得させてもよい。また、評価値が所定値よりも低い場合には、パラメータ値を最終的に微調整する構成をさらに設けてもよいし、パラメータ調整処理部170に再度調整値の算出処理を実行させるとしてもよい。   The parameter evaluation unit evaluates whether the adjustment value of the adjustment target parameter determined by the parameter adjustment processing unit 170 (FIG. 2) is an appropriate value. For example, by comparing the data (final result data) obtained by executing the defect detection algorithm under the determined adjustment value and the target data D3, the area ratio of the matching portion of both data is calculated, and the value is calculated. Acquired as the evaluation value of the adjustment value. That is, it can be said that the higher the evaluation value, the higher the degree of matching of the data obtained under the obtained adjustment value with the target data D3. The obtained evaluation value may be displayed on the display unit 14, for example, so as to make the operator know. Further, when the evaluation value is lower than the predetermined value, a configuration for finally finely adjusting the parameter value may be further provided, or the parameter adjustment processing unit 170 may execute the adjustment value calculation process again. .

〈その他の変形例〉
上記の各実施の形態においては、検査対象データD1においては、欠陥領域T1,T2をマゼンダ色で表示するものとし、これによって欠陥領域が特徴的に表示される態様を採用しているが、欠陥領域を特徴的に表示する態様はこれに限らない。例えば、欠陥領域を適正領域よりも濃く表示する態様、欠陥領域を明滅表示する態様、適正領域を所定の色(例えば薄いグレー)で表示する態様、等を採用してもよい。
<Other variations>
In each of the above embodiments, in the inspection target data D1, the defect areas T1 and T2 are displayed in magenta color, thereby adopting a mode in which the defect area is characteristically displayed. The mode of displaying the area characteristically is not limited to this. For example, an aspect in which the defective area is displayed darker than the appropriate area, an aspect in which the defective area is blinked, an aspect in which the appropriate area is displayed in a predetermined color (for example, light gray), or the like may be employed.

また、上記の各実施の形態においては、結果データD2の欠陥領域の部分が目標データD3の欠陥領域の部分と完全に一致する場合に限って、当該結果データD2を作成するにあたって採用されていた試行値が調整対象パラメータの適正値であると判断していたが、結果データD2の欠陥領域の部分と目標データD3の欠陥領域の部分とが完全に一致していなくとも、不一致の程度が所定の許容範囲内にある場合には両データが一致するとみなして、当該結果データD2を作成するにあたって採用されていた試行値が調整対象パラメータの適正値であると判断してもよい。例えば、両データにおいて一致しない欠陥領域の面積が所定値よりも小さい場合には、両データが一致するものとみなして、当該試行値が調整対象パラメータの適正値であると判断してもよい。   Further, in each of the above-described embodiments, only when the defective area portion of the result data D2 completely matches the defective area portion of the target data D3, the result data D2 is used for creating the result data D2. Although it has been determined that the trial value is an appropriate value for the parameter to be adjusted, the degree of mismatch is predetermined even if the defective area portion of the result data D2 and the defective area portion of the target data D3 do not completely match. If it is within the permissible range, it may be determined that the two data coincide with each other, and the trial value employed in creating the result data D2 is an appropriate value for the adjustment target parameter. For example, when the area of the defect region that does not match in both data is smaller than a predetermined value, it may be determined that both data match and the trial value is an appropriate value for the adjustment target parameter.

また、上記の各実施の形態においては、調整値の決定処理においてパラメータ調整処理部170がパラメータの値を変化させるにあたり、パラメータの値を調整幅によって規定される調整範囲を最小値から順に増加させる構成としていたが(図10のステップS31)、パラメータの値を変化させる態様はこれに限らない。例えば、調整範囲の最大値から順に減少させてもよいし、調整範囲の中央値から分割数づつ増減させながら変化させてもよい。また、調整前に設定されている値を初期値として変化させてもよい。   In each of the above embodiments, when the parameter adjustment processing unit 170 changes the parameter value in the adjustment value determination process, the adjustment range defined by the adjustment width is increased in order from the minimum value. Although it was configured (step S31 in FIG. 10), the mode of changing the parameter value is not limited to this. For example, it may be decreased in order from the maximum value of the adjustment range, or may be changed while increasing or decreasing from the median value of the adjustment range by the number of divisions. Further, a value set before adjustment may be changed as an initial value.

また、第1の各実施の形態においては、パラメータ値適否判断部171が適正値と判断された試行値の中央値を調整値として選択するとしていたが(図10のステップS41)、適正値から中央値を決定する態様はこれに限らない。例えば、適正値と判断された試行値(調整対象パラメータが複数の場合は適正値と判断されたパラメータ値の組み合わせ))を表示部14に一覧表示して、オペレータにいずれかの適正値を選択させてもよい。   In each of the first embodiments, the parameter value suitability determination unit 171 selects the median value of trial values determined to be appropriate values as adjustment values (step S41 in FIG. 10). The mode for determining the median value is not limited to this. For example, trial values determined to be appropriate values (a combination of parameter values determined to be appropriate values when there are a plurality of adjustment target parameters) are displayed in a list on the display unit 14 and any appropriate value is selected by the operator. You may let them.

また、第2の実施の形態においては、特徴量として3つの情報(面積S、個数A、明度分布H)を取得しているが、これら特徴量の少なくとも1つを特徴量として取得する構成としてもよい。また、特徴量として取得する情報はこれに限らない。例えば、オペレータが修正対象領域Uを指定した際のドラッグ領域を特徴量として取得してもよい。また、調整対象パラメータ決定部253が、蓄積された判定結果を総合して調整対象となるパラメータを特定するにあたって、特定の特徴量から得られた判定結果については重み付けをして各パラメータの占める割合を算出してもよい。   In the second embodiment, three pieces of information (area S, number A, brightness distribution H) are acquired as feature amounts. However, at least one of these feature amounts is acquired as a feature amount. Also good. Moreover, the information acquired as a feature-value is not restricted to this. For example, a drag region when the operator designates the correction target region U may be acquired as a feature amount. In addition, when the adjustment target parameter determination unit 253 identifies the parameters to be adjusted by integrating the accumulated determination results, the determination results obtained from specific feature amounts are weighted and the proportion of each parameter May be calculated.

また、第2の実施の形態においては、第1の実施の形態に係る欠陥検査装置1が備えていた調整対象パラメータ特定部150に換えて調整対象パラメータ判定部250を備える構成としているが、調整対象パラメータ特定部150と調整対象パラメータ判定部250とを併せて備える構成としてもよい。この場合、調整対象パラメータの特定を調整対象パラメータ判定部250によって自動に行うか、調整対象パラメータ特定部150がオペレータの選択入力を受け付けることによって行うかを、オペレータが選択可能な構成としてもよい。   In the second embodiment, the adjustment target parameter determination unit 250 is provided in place of the adjustment target parameter specifying unit 150 provided in the defect inspection apparatus 1 according to the first embodiment. It is good also as a structure provided with the object parameter specific | specification part 150 and the adjustment object parameter determination part 250 collectively. In this case, the configuration may be such that the operator can select whether the adjustment target parameter is specified automatically by the adjustment target parameter determination unit 250 or whether the adjustment target parameter specification unit 150 receives the operator's selection input.

また、第2の実施の形態においては、調整対象パラメータ決定部253が、判定結果のなかで占める割合の高いパラメータから順に2つのパラメータを調整対象パラメータに決定していたが、占める割合の高い順に、1つもしくは2以上のパラメータを選択して調整対象パラメータに決定してもよい。   In the second embodiment, the adjustment target parameter determination unit 253 determines the two parameters as the adjustment target parameters in order from the parameter with the highest proportion in the determination result. One or two or more parameters may be selected and determined as adjustment target parameters.

この発明の第1の実施の形態に係る画像処理装置の一態様である欠陥検査装置1を含む印刷システム100の構成を示す図である。1 is a diagram illustrating a configuration of a printing system 100 including a defect inspection apparatus 1 that is an aspect of an image processing apparatus according to a first embodiment of the present invention. パラメータ調整機能に関する構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure regarding a parameter adjustment function. 基準データD0と検査対象データD1を例示する図である。It is a figure which illustrates standard data D0 and inspection object data D1. 結果データD2と目標データD3を例示する図である。It is a figure which illustrates result data D2 and target data D3. 欠陥検査装置1におけるパラメータ調整処理の全体の流れを示す図である。It is a figure which shows the whole flow of the parameter adjustment process in the defect inspection apparatus. 目標データD3の作成処理の流れを示す図である。It is a figure which shows the flow of the production process of the target data D3. 受付画面Gの構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the reception screen G. FIG. 調整対象パラメータの特定処理の流れを示す図である。It is a figure which shows the flow of the specific process of a parameter for adjustment. 受付画面Hの構成例を示す図である。6 is a diagram illustrating a configuration example of a reception screen H. FIG. パラメータ値の決定処理の流れを示す図である。It is a figure which shows the flow of the determination process of a parameter value. 適正値と判断された試行値の中央値を調整値に選択することを説明するための図である。It is a figure for demonstrating selecting the median value of the trial value judged to be an appropriate value as an adjustment value. パラメータ調整機能に関する構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure regarding a parameter adjustment function. 結果データD2と目標データD3を例示する図である。It is a figure which illustrates result data D2 and target data D3. 明度量取得領域を例示する図である。It is a figure which illustrates the lightness amount acquisition area. 明度分布のヒストグラム形状を例示する図である。It is a figure which illustrates the histogram shape of brightness distribution. ヒストグラム形状の種類を判定する流れを示す図である。It is a figure which shows the flow which determines the kind of histogram shape. 調整対象パラメータの特定処理の流れを示す図である。It is a figure which shows the flow of the specific process of a parameter for adjustment. 調整対象パラメータ決定部253に蓄積された判定結果を例示する図である。It is a figure which illustrates the determination result accumulate | stored in the adjustment object parameter determination part 253. FIG. パラメータ値の決定処理の流れを示す図である。It is a figure which shows the flow of the determination process of a parameter value. パラメータ調整機能に関する構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure regarding a parameter adjustment function. 遺伝的アルゴリズムを用いた調整値の決定態様を説明する概念図である。It is a conceptual diagram explaining the determination mode of the adjustment value using a genetic algorithm. 遺伝的アルゴリズムを用いた調整値の決定態様を説明する概念図である。It is a conceptual diagram explaining the determination mode of the adjustment value using a genetic algorithm. 調整値の決定処理の流れを示す図である。It is a figure which shows the flow of the determination process of an adjustment value.

符号の説明Explanation of symbols

1 欠陥検査装置
130 欠陥検出処理部
140 目標データ作成部
150 調整対象パラメータ特定部
160 調整定数決定部
170 パラメータ調整処理部
250 調整対象パラメータ判定部
D0 基準データ
D1 検査対象データ
D2 結果データ
D3 目標データ
P プログラム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Defect inspection apparatus 130 Defect detection process part 140 Target data preparation part 150 Adjustment object parameter specific | specification part 160 Adjustment constant determination part 170 Parameter adjustment process part 250 Adjustment object parameter determination part D0 Reference | standard data D1 Inspection object data D2 Result data D3 Target data P program

Claims (24)

所定の画像処理を行う画像処理手段と、
前記画像処理の結果として作成された結果画像に対する修正指示を受け付けて、前記修正指示を前記結果画像に反映させた目標画像を作成する目標画像作成手段と、
前記画像処理の結果として作成される結果画像が前記目標画像と一致するように前記画像処理に係るパラメータの値を調整するパラメータ調整手段と、
を備えることを特徴とする画像処理装置。
Image processing means for performing predetermined image processing;
A target image creating means for accepting a correction instruction for a result image created as a result of the image processing, and creating a target image in which the correction instruction is reflected in the result image;
Parameter adjusting means for adjusting a value of a parameter related to the image processing so that a result image created as a result of the image processing matches the target image;
An image processing apparatus comprising:
請求項1に記載の画像処理装置であって、
前記画像処理手段は、基準画像と当該基準画像を出力して得られる検査対象画像とを比較して前記検査対象画像に生じている欠陥部分を検出し、その検出された欠陥部分を非欠陥部分とは異なる表示形態にて表示した結果画像を作成する画像処理を行い、
前記画像処理に係るパラメータが、前記欠陥部分の検出感度を規定することを特徴とする画像処理装置。
The image processing apparatus according to claim 1,
The image processing means detects a defective portion occurring in the inspection target image by comparing a reference image and an inspection target image obtained by outputting the reference image, and detects the detected defective portion as a non-defective portion. Perform image processing to create a result image displayed in a different display form,
The image processing apparatus, wherein the parameter relating to the image processing defines a detection sensitivity of the defective portion.
請求項1または請求項2に記載の画像処理装置であって、
前記目標画像作成手段が、前記結果画像を表示画面上に表示して、前記表示画面上から当該結果画像に対する修正指示の入力を受け付けることを特徴とする画像処理装置。
The image processing apparatus according to claim 1 or 2,
The image processing apparatus, wherein the target image creating means displays the result image on a display screen and receives an input of a correction instruction for the result image from the display screen.
請求項1から3のいずれかに記載の画像処理装置であって、
前記パラメータ調整手段が、前記パラメータの値を変化させながら、各パラメータ値の下で得られた結果画像が前記目標画像と一致するか否かを判断して、前記パラメータの調整値を、前記目標画像と一致する結果画像が得られたパラメータ値に決定することを特徴とする画像処理装置。
The image processing apparatus according to any one of claims 1 to 3,
The parameter adjustment means determines whether the result image obtained under each parameter value matches the target image while changing the parameter value, and sets the parameter adjustment value as the target value. An image processing apparatus, wherein a parameter value obtained as a result image that matches an image is determined.
請求項4に記載の画像処理装置であって、
前記パラメータ調整手段が、前記パラメータの調整値を、前記目標画像と一致する結果画像が得られたパラメータ値から構成される集合の中央値に決定することを特徴とする画像処理装置。
The image processing apparatus according to claim 4,
The image processing apparatus, wherein the parameter adjustment unit determines an adjustment value of the parameter as a median value of a set composed of parameter values from which a result image matching the target image is obtained.
請求項4に記載の画像処理装置であって、
前記パラメータ調整手段が、前記パラメータの調整値を、前記目標画像と一致する結果画像が前記パラメータの値を変化させる過程で最初に得られた際のパラメータ値に決定することを特徴とする画像処理装置。
The image processing apparatus according to claim 4,
The parameter adjustment means determines the adjustment value of the parameter as a parameter value when a result image that matches the target image is first obtained in the process of changing the value of the parameter. apparatus.
請求項1から3のいずれかに記載の画像処理装置であって、
前記パラメータ調整手段が、1以上のパラメータの値の組み合わせのうちから、前記目標画像と一致する結果画像を与える組み合わせを遺伝的アルゴリズムにより抽出して、前記パラメータの調整値を、当該抽出された組み合わせを構成する各値に決定することを特徴とする画像処理装置。
The image processing apparatus according to any one of claims 1 to 3,
The parameter adjusting means extracts a combination that gives a result image that matches the target image from a combination of one or more parameter values using a genetic algorithm, and sets the parameter adjustment value as the extracted combination An image processing apparatus characterized in that the values are determined for respective values.
請求項4から7のいずれかに記載の画像処理装置であって、
入力された設定値に基づいて、前記パラメータ値を変化させる範囲を特定する調整範囲特定手段、
をさらに備えることを特徴とする画像処理装置。
The image processing apparatus according to any one of claims 4 to 7,
An adjustment range specifying means for specifying a range for changing the parameter value based on the input set value;
An image processing apparatus further comprising:
請求項4から8のいずれかに記載の画像処理装置であって、
入力された設定値に基づいて、前記パラメータ値を変化させる際の変化量を特定する変化量特定手段、
をさらに備えることを特徴とする画像処理装置。
The image processing apparatus according to any one of claims 4 to 8,
A change amount specifying means for specifying a change amount when changing the parameter value based on the input set value;
An image processing apparatus further comprising:
請求項1から9のいずれかに記載の画像処理装置であって、
前記修正指示から取得した所定の特徴量に基づいて、前記画像処理に係るパラメータのうちから調整の対象となるパラメータを特定する調整対象パラメータ特定手段、
を備えることを特徴とする画像処理装置。
The image processing apparatus according to claim 1,
An adjustment target parameter specifying means for specifying a parameter to be adjusted from parameters related to the image processing based on a predetermined feature amount acquired from the correction instruction;
An image processing apparatus comprising:
画像処理を行われた結果として作成された結果画像に対する修正指示をオペレータから受け付けて、前記修正指示を前記結果画像に反映させた目標画像を作成する目標画像作成工程と、
前記画像処理を行われた結果として作成される結果画像が前記目標画像と一致するように前記画像処理に係るパラメータの値を調整するパラメータ調整工程と、
を有することを特徴とするパラメータ調整方法。
A target image creating step of receiving a correction instruction for a result image created as a result of image processing from an operator and creating a target image in which the correction instruction is reflected in the result image;
A parameter adjustment step of adjusting a value of a parameter related to the image processing so that a result image created as a result of the image processing matches the target image;
A parameter adjustment method characterized by comprising:
コンピュータによって実行されることにより、前記コンピュータに、
所定の画像処理を行う画像処理機能と、
前記画像処理の結果として作成された結果画像に対する修正指示を受け付けて、前記修正指示を前記結果画像に反映させた目標画像を作成する目標画像作成機能と、
前記画像処理の結果として作成される結果画像が前記目標画像と一致するように前記画像処理に係るパラメータの値を調整するパラメータ調整機能と、
を実現することができるプログラム。
By being executed by a computer, the computer
An image processing function for performing predetermined image processing;
A target image creation function for accepting a correction instruction for a result image created as a result of the image processing and creating a target image in which the correction instruction is reflected in the result image;
A parameter adjustment function for adjusting a value of a parameter related to the image processing so that a result image created as a result of the image processing matches the target image;
A program that can realize
所定のデータ処理を行うデータ処理手段と、
前記データ処理の結果として取得された結果データに対する修正指示を受け付けて、前記修正指示を前記結果データに反映させた目標データを作成する目標データ作成手段と、
前記データ処理の結果として取得されるデータが前記目標データと一致するように前記データ処理に係るパラメータの値を調整するパラメータ調整手段と、
を備えることを特徴とするデータ処理装置。
Data processing means for performing predetermined data processing;
Target data creation means for accepting a correction instruction for the result data acquired as a result of the data processing, and creating target data in which the correction instruction is reflected in the result data;
Parameter adjusting means for adjusting a parameter value related to the data processing so that data acquired as a result of the data processing matches the target data;
A data processing apparatus comprising:
請求項13に記載のデータ処理装置であって、
前記データ処理手段は、基準画像と当該基準画像を出力して得られる検査対象画像とを比較して前記検査対象画像に生じている欠陥部分を検出し、その検出された欠陥部分を非欠陥部分とは異なる表示形態にて表示した画像データを作成して前記結果データとして取得する画像処理を行い、
前記データ処理に係るパラメータが、前記欠陥部分の検出感度を規定することを特徴とするデータ処理装置。
14. A data processing apparatus according to claim 13, comprising:
The data processing means detects a defective portion occurring in the inspection target image by comparing a reference image and an inspection target image obtained by outputting the reference image, and detects the detected defective portion as a non-defective portion. Image processing is performed to create image data displayed in a display form different from that obtained as the result data,
The data processing apparatus, wherein the parameter relating to the data processing defines a detection sensitivity of the defective portion.
請求項13または請求項14に記載のデータ処理装置であって、
前記目標データ作成手段が、前記結果データを表示画面上に表示して、前記表示画面上から当該結果データに対する修正指示の入力を受け付けることを特徴とするデータ処理装置。
The data processing device according to claim 13 or 14,
The data processing apparatus, wherein the target data creating means displays the result data on a display screen and receives an input of a correction instruction for the result data from the display screen.
請求項13から15のいずれかに記載のデータ処理装置であって、
前記パラメータ調整手段が、前記パラメータの値を変化させながら、各パラメータ値の下で得られた結果データが前記目標データと一致するか否かを判断して、前記パラメータの調整値を、前記目標データと一致する結果データが得られたパラメータ値に決定することを特徴とするデータ処理装置。
The data processing device according to any one of claims 13 to 15,
The parameter adjustment means determines whether the result data obtained under each parameter value matches the target data while changing the parameter value, and sets the parameter adjustment value as the target value. A data processing apparatus characterized by determining a parameter value from which result data matching with data is obtained.
請求項16に記載のデータ処理装置であって、
前記パラメータ調整手段が、前記パラメータの調整値を、前記目標データと一致する結果データが得られたパラメータ値から構成される集合の中央値に決定することを特徴とするデータ処理装置。
The data processing apparatus according to claim 16, comprising:
The data processing apparatus, wherein the parameter adjustment means determines an adjustment value of the parameter as a median value of a set composed of parameter values from which result data matching the target data is obtained.
請求項16に記載のデータ処理装置であって、
前記パラメータ調整手段が、前記パラメータの調整値を、前記目標データと一致する結果データが前記パラメータの値を変化させる過程で最初に得られた際のパラメータ値に決定することを特徴とするデータ処理装置。
The data processing apparatus according to claim 16, comprising:
Data processing characterized in that the parameter adjustment means determines an adjustment value of the parameter as a parameter value when the result data matching the target data is first obtained in the process of changing the value of the parameter apparatus.
請求項13から15のいずれかに記載のデータ処理装置であって、
前記パラメータ調整手段が、1以上のパラメータの値の組み合わせのうちから、前記目標データと一致する結果データを与える組み合わせを遺伝的アルゴリズムにより抽出して、前記パラメータの調整値を、当該抽出された組み合わせを構成する各値に決定することを特徴とするデータ処理装置。
The data processing device according to any one of claims 13 to 15,
The parameter adjusting means extracts a combination that gives result data that matches the target data from a combination of one or more parameter values by a genetic algorithm, and sets the parameter adjustment value as the extracted combination A data processing apparatus characterized in that the value is determined for each of the values.
請求項16から19のいずれかに記載のデータ処理装置であって、
入力された設定値に基づいて、前記パラメータ値を変化させる範囲を特定する調整範囲特定手段、
をさらに備えることを特徴とするデータ処理装置。
A data processing device according to any of claims 16 to 19, wherein
An adjustment range specifying means for specifying a range for changing the parameter value based on the input set value;
A data processing apparatus further comprising:
請求項16から20のいずれかに記載のデータ処理装置であって、
入力された設定値に基づいて、前記パラメータ値を変化させる際の変化量を特定する変化量特定手段、
をさらに備えることを特徴とするデータ処理装置。
A data processing device according to any of claims 16 to 20, wherein
A change amount specifying means for specifying a change amount when changing the parameter value based on the input set value;
A data processing apparatus further comprising:
請求項13から21のいずれかに記載のデータ処理装置であって、
前記修正指示から取得した所定の特徴量に基づいて、前記データ処理に係るパラメータのうちから調整の対象となるパラメータを特定する調整対象パラメータ特定手段、
を備えることを特徴とするデータ処理装置。
A data processing apparatus according to any of claims 13 to 21,
Adjustment target parameter specifying means for specifying a parameter to be adjusted from parameters related to the data processing based on a predetermined feature amount acquired from the correction instruction;
A data processing apparatus comprising:
データ処理を行われた結果として取得された結果データに対する修正指示をオペレータから受け付けて、前記修正指示を前記結果データに反映させた目標データを作成する目標データ作成工程と、
前記データ処理を行われた結果として取得されるデータが前記目標データと一致するように前記データ処理に係るパラメータの値を調整するパラメータ調整工程と、
を有することを特徴とするパラメータ調整方法。
A target data creation step of receiving a correction instruction for the result data acquired as a result of the data processing from an operator, and creating target data in which the correction instruction is reflected in the result data;
A parameter adjustment step of adjusting a value of a parameter related to the data processing so that data acquired as a result of the data processing matches the target data;
A parameter adjustment method characterized by comprising:
コンピュータによって実行されることにより、前記コンピュータに、
所定のデータ処理を行うデータ処理機能と、
前記データ処理の結果として取得された結果データに対する修正指示を受け付けて、前記修正指示を前記結果データに反映させた目標データを作成する目標データ作成機能と、
前記データ処理の結果として取得されるデータが前記目標データと一致するように前記データ処理に係るパラメータの値を調整するパラメータ調整機能と、
を実現することができるプログラム。
By being executed by a computer, the computer
A data processing function for performing predetermined data processing;
A target data creation function for accepting a correction instruction for result data acquired as a result of the data processing, and creating target data in which the correction instruction is reflected in the result data;
A parameter adjustment function for adjusting a value of a parameter related to the data processing so that data acquired as a result of the data processing matches the target data;
A program that can realize
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