JP2008076770A - Substrate for organic semiconductor element, substrate with organic transistor, and organic semiconductor element using them - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate for an organic semiconductor element from which the organic semiconductor element using an organic transistor and having time-lapse stability of performance can be manufactured, and to provide a substrate with the organic transistor. <P>SOLUTION: The substrate for the organic semiconductor element is characterized in that it has a substrate, a transparent electrode formed on the substrate, and a frame-shaped partition wall part for organic transistor protection formed on the transparent electrode and having an opening part. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、有機半導体素子に用いられる有機半導体素子用基板、有機トランジスタ付基板、および、これらが用いられた有機半導体素子に関するものである。   The present invention relates to a substrate for an organic semiconductor element used for an organic semiconductor element, a substrate with an organic transistor, and an organic semiconductor element using these.

TFTに代表される半導体トランジスタは、近年、ディスプレイ装置の発展に伴ってその用途を拡大する傾向にある。このような半導体トランジスタは、半導体材料を介して電極が接続されていることにより、スイッチング素子としての機能を果たすものである。   In recent years, semiconductor transistors typified by TFTs tend to expand their applications with the development of display devices. Such a semiconductor transistor functions as a switching element when electrodes are connected via a semiconductor material.

従来、上記半導体トランジスタに用いられる半導体材料としては、シリコン(Si)、ガリウム砒素(GaAs)、および、インジウムガリウム砒素(InGaAs)などの無機半導体材料が用いられてきた。このような無機半導体材料が用いられた半導体トランジスタは、近年、普及が拡大している液晶表示装置のディスプレイ用TFTアレイ基板等にも用いられている。   Conventionally, inorganic semiconductor materials such as silicon (Si), gallium arsenide (GaAs), and indium gallium arsenide (InGaAs) have been used as semiconductor materials used in the semiconductor transistors. A semiconductor transistor using such an inorganic semiconductor material is also used for a TFT array substrate for a display of a liquid crystal display device which has been spreading in recent years.

一方、上記半導体材料としては、有機化合物からなる有機半導体材料も知られている。有機半導体材料は、上記無機半導体材料に比べて安価に大面積化が可能であり、フレキシブルなプラスチック基板上に形成できるという利点を有する。さらに機械的衝撃に対して安定であるという利点も有している。このため、有機半導体材料が用いられた有機トランジスタは、電子ペーパーに代表されるフレキシブルディスプレイ等の、次世代ディスプレイ装置への応用などを想定した研究が活発に行われている。   On the other hand, as the semiconductor material, an organic semiconductor material made of an organic compound is also known. The organic semiconductor material has an advantage that the area can be increased at a lower cost than the inorganic semiconductor material and can be formed on a flexible plastic substrate. It also has the advantage of being stable against mechanical shock. For this reason, an organic transistor using an organic semiconductor material has been actively studied assuming application to a next-generation display device such as a flexible display typified by electronic paper.

ところで、上記有機半導体材料は、上述したような利点を有する反面、他の化合物との作用や、空気中の水分や酸素に曝露されること等によって、破壊されたり、経時でその半導体としての性質が損なわれやすいという面を有している。これは、有機半導体材料に顕著に現れる問題である。したがって、上記有機半導体材料が用いられた有機トランジスタを、ディスプレイ装置等において実用化するに際しては、このような有機半導体材料の経時劣化を防止することが必須の技術的課題となっている。   By the way, the organic semiconductor material has the advantages as described above, but it is destroyed or exposed to moisture or oxygen in the air, etc. Has the aspect of being easily damaged. This is a problem that appears prominently in organic semiconductor materials. Therefore, when an organic transistor using the organic semiconductor material is put into practical use in a display device or the like, it is an essential technical problem to prevent such deterioration of the organic semiconductor material over time.

このような状況において、特許文献1および特許文献2には上記有機半導体材料からなる有機半導体層上にパッシベーション層を形成することにより、有機半導体材料の経時劣化を防止する技術が開示されている。
しかしながら、このようなパッシベーション層を形成したとしても、なお、上記有機半導体材料の経時劣化を十分に防止できるには至っていない。また、上述したように上記有機半導体材料は、他の化合物との作用によってもその半導体としての性質が損なわれる場合があるため、特許文献1のように、有機半導体層上にパッシベーション層を形成すると、パッシベーションの膜応力により有機半導体層が破壊されたり、あるいは、パッシーション層を形成する工程において上記有機半導体層に高温がかかることにより、有機半導体層の半導体性能の劣化を引き起こすという問題点がある。さらに、上記パッシベーション層は、上記有機半導体層に接することになるため、これが原因で有機半導体材料が破壊されたり、経時でその半導体としての性質が損なわれるという問題点もある。
Under such circumstances, Patent Documents 1 and 2 disclose a technique for preventing deterioration of an organic semiconductor material over time by forming a passivation layer on the organic semiconductor layer made of the organic semiconductor material.
However, even if such a passivation layer is formed, the deterioration over time of the organic semiconductor material cannot be sufficiently prevented. In addition, as described above, the organic semiconductor material may lose its properties as a semiconductor by the action with other compounds. Therefore, as in Patent Document 1, when a passivation layer is formed on the organic semiconductor layer, The organic semiconductor layer is destroyed due to the film stress of the passivation, or the organic semiconductor layer is heated at a high temperature in the process of forming the passivation layer, thereby causing deterioration of the semiconductor performance of the organic semiconductor layer. . Furthermore, since the passivation layer is in contact with the organic semiconductor layer, there is a problem that the organic semiconductor material is destroyed due to this, and the properties as the semiconductor are deteriorated over time.

このようなことから、上記有機半導体が用いられた有機トランジスタは、その有用性が認知されていながらも、性能の経時安定性に優れたものを得ることが困難であるという問題点があった。   For this reason, the organic transistor using the organic semiconductor has a problem that it is difficult to obtain a transistor with excellent performance stability over time while its usefulness is recognized.

特開2004-247343号公報JP 2004-247343 A 特開平8−306955号公報JP-A-8-306955

本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、有機トランジスタが用いられた有機半導体素子であって、性能の経時安定性に優れた有機半導体素子を製造することが可能な、有機半導体素子用基板および有機トランジスタ付基板を提供することを主目的とするものである。   The present invention has been made in view of such problems, and is an organic semiconductor element using an organic transistor, which is capable of producing an organic semiconductor element having excellent performance stability over time. The main object is to provide a substrate for a semiconductor element and a substrate with an organic transistor.

上記課題を解決するために、本発明は、基板と、上記基板上に形成された透明電極と、上記透明電極上に形成され、開口部を有する枠状の有機トランジスタ保護用隔壁部とを有することを特徴とする有機半導体素子用基板を提供する。   In order to solve the above problems, the present invention includes a substrate, a transparent electrode formed on the substrate, and a frame-shaped organic transistor protection partition wall formed on the transparent electrode and having an opening. An organic semiconductor device substrate is provided.

本発明によれば、例えば、本発明の有機半導体素子用基板を用いて有機半導体素子を製造する際に、上記有機トランジスタ保護用隔壁部の開口部内に有機トランジスタが収まるような構成にすることにより、有機トランジスタが他の化合物と接触すること等によって破壊されたり、経時劣化することを防止できる。このため、本発明の有機半導体素子用基板によれば、性能の経時安定性に優れた有機半導体素子を製造することができる。   According to the present invention, for example, when an organic semiconductor element is manufactured using the organic semiconductor element substrate of the present invention, the organic transistor is accommodated in the opening of the organic transistor protection partition wall. It is possible to prevent the organic transistor from being destroyed by contact with other compounds or being deteriorated with time. For this reason, according to the substrate for organic semiconductor elements of the present invention, an organic semiconductor element having excellent performance stability over time can be produced.

また本発明は、上記本発明に係る有機半導体素子用基板、および、基板と、上記基板上に形成された有機トランジスタと、を有するトランジスタ側基板を有する有機半導体素子であって、上記有機トランジスタ保護用隔壁部の開口部内に上記有機トランジスタが収まるように、上記有機半導体素子用基板と、上記トランジスタ側基板とが対向配置されていることを特徴とする有機半導体素子を提供する。   The present invention also provides an organic semiconductor element having a transistor-side substrate comprising the substrate for an organic semiconductor element according to the present invention, a substrate, and an organic transistor formed on the substrate, wherein the organic transistor protection Provided is an organic semiconductor element characterized in that the organic semiconductor element substrate and the transistor-side substrate are arranged to face each other so that the organic transistor is accommodated in an opening of a partition wall for a semiconductor.

本発明によれば、上記有機トランジスタが上記有機トランジスタ保護用隔壁部の上記開口部内に収まるように、上記有機半導体素子用基板と上記トランジスタ側基板とが対向配置されていることにより、上記有機トランジスタが他の化合物と接触すること等によって経時劣化してしまうことを防止できる。このため、本発明によれば性能の経時安定性に優れた有機半導体素子を得ることができる。   According to the present invention, the organic transistor element substrate and the transistor-side substrate are disposed to face each other so that the organic transistor is accommodated in the opening of the organic transistor protection partition wall. Can be prevented from aging due to contact with other compounds. For this reason, according to this invention, the organic-semiconductor element excellent in the temporal stability of performance can be obtained.

また、上記課題を解決するために本発明は、基板と、上記基板上に形成された複数の有機トランジスタと、上記基板上に上記有機トランジスタを囲うように形成され、開口部を有する枠状の有機トランジスタ保護用隔壁部とを有することを特徴とする有機トランジスタ付基板を提供する。   In order to solve the above problems, the present invention provides a substrate, a plurality of organic transistors formed on the substrate, and a frame-like shape formed on the substrate so as to surround the organic transistor and having an opening. There is provided a substrate with an organic transistor, characterized by having a partition wall for protecting an organic transistor.

本発明によれば、上記有機トランジスタが上記有機トランジスタ保護用隔壁部に囲われていることにより、本発明の有機トランジスタ付基板を用いて有機半導体素子を製造する際に、上記有機トランジスタ隔壁部の開口部は、対向する基板によって塞がれることになる。このため、本発明の有機トランジスタ付基板を用いて製造した有機半導体素子においては、上記有機トランジスタが他の化合物と接触すること等によって経時劣化してしまうことを防止できる。
このようなことから、本発明の有機トランジスタ付基板によれば性能の経時安定性に優れた有機半導体素子を製造することができる。
According to the present invention, since the organic transistor is surrounded by the organic transistor protective partition wall, when the organic semiconductor element is manufactured using the substrate with an organic transistor of the present invention, the organic transistor partition wall The opening is blocked by the opposing substrate. For this reason, in the organic-semiconductor element manufactured using the board | substrate with an organic transistor of this invention, it can prevent that the said organic transistor deteriorates with time by contact with another compound.
Therefore, according to the substrate with an organic transistor of the present invention, an organic semiconductor element having excellent performance over time can be produced.

また本発明は、上記本発明に係る有機トランジスタ付基板、および、基板と、上記基板上に形成された透明電極とを有する対向基板を有する有機半導体素子であって、上記対向基板によって上記有機トランジスタ保護用隔壁部の開口部が塞がれるように、上記有機トランジスタ付基板と、対向基板とが対向配置されていることを特徴とする有機半導体素子を提供する。   The present invention also provides an organic semiconductor element having a substrate with an organic transistor according to the present invention, and a counter substrate having the substrate and a transparent electrode formed on the substrate, wherein the organic transistor is formed by the counter substrate. Provided is an organic semiconductor element characterized in that the substrate with an organic transistor and a counter substrate are arranged to face each other so that an opening of a protective partition wall is closed.

本発明によれば、上記対向基板によって上記有機トランジスタ保護用隔壁部の開口部が塞がれるように、上記有機トランジスタ付基板と、対向基板とが対向配置されていることにより、上記有機トランジスタが他の化合物と接触すること等によって経時劣化してしまうことを防止できる。このため、本発明によれば性能の経時安定性に優れた有機半導体素子を得ることができる。   According to the present invention, the organic transistor includes the organic transistor protection substrate and the opposing substrate so that the opening of the partition for protecting the organic transistor is closed by the opposing substrate. It is possible to prevent deterioration with time due to contact with other compounds. For this reason, according to this invention, the organic-semiconductor element excellent in the temporal stability of performance can be obtained.

上記本発明に係る有機半導体素子は、上記有機トランジスタ保護用隔壁部の内側が減圧されていることが好ましい。上記有機トランジスタ保護用隔壁部の内側が減圧されていることにより、上記有機トランジスタが空気中の酸素や水分に曝露されることによって経時劣化することを防止できるからである。   In the organic semiconductor element according to the present invention, it is preferable that the inside of the organic transistor protecting partition wall is decompressed. This is because when the inside of the organic transistor protecting partition wall is decompressed, the organic transistor can be prevented from being deteriorated with time due to exposure to oxygen or moisture in the air.

本発明の有機半導体素子用基板および有機トランジスタ付基板は、有機トランジスタが用いられた有機半導体素子であって、性能の経時安定性に優れた有機半導体素子を製造することができるという効果を奏する。   The substrate for an organic semiconductor element and the substrate with an organic transistor of the present invention are organic semiconductor elements in which an organic transistor is used, and have an effect that an organic semiconductor element having excellent performance stability over time can be produced.

本発明は、有機半導体素子用基板、有機トランジスタ付基板、および、有機半導体素子に関するものである。
以下、本発明の有機半導体素子用基板、有機トランジスタ付基板、および、有機半導体素子について順に説明する。
The present invention relates to a substrate for an organic semiconductor element, a substrate with an organic transistor, and an organic semiconductor element.
Hereinafter, the substrate for an organic semiconductor element, the substrate with an organic transistor, and the organic semiconductor element of the present invention will be described in order.

A.有機半導体素子用基板
まず、本発明の有機半導体素子用基板について説明する。本発明の有機半導体素子用基板は、基板と、上記基板上に形成された透明電極と、上記透明電極上に形成され、開口部を有する枠状の有機トランジスタ保護用隔壁部とを有することを特徴とするものである。
A. First, the organic semiconductor element substrate of the present invention will be described. The substrate for an organic semiconductor element of the present invention has a substrate, a transparent electrode formed on the substrate, and a frame-shaped organic transistor protection partition wall formed on the transparent electrode and having an opening. It is a feature.

このような本発明の有機半導体素子用基板について図を参照しながら説明する。図1は本発明の有機半導体素子用基板の一例を示す概略図である。ここで、図1(a)は、本発明の有機半導体素子用基板の一例を示す概略図あり、図1(b)は、上記図1(a)におけるX−X’線矢視断面図である。
図1(a)、(b)に例示するように、本発明の有機半導体素子用基板10は、基板1と、上記基板1上に形成された透明電極2と、上記透明電極2上に形成され、開口部を有する枠状の有機トランジスタ保護用隔壁部3とを有するものである。
Such an organic semiconductor element substrate of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic view showing an example of a substrate for an organic semiconductor element of the present invention. Here, FIG. 1A is a schematic view showing an example of the substrate for an organic semiconductor element of the present invention, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line XX ′ in FIG. is there.
As illustrated in FIGS. 1A and 1B, an organic semiconductor element substrate 10 of the present invention is formed on a substrate 1, a transparent electrode 2 formed on the substrate 1, and a transparent electrode 2. And a frame-shaped organic transistor protecting partition wall 3 having an opening.

本発明によれば、例えば、本発明の有機半導体素子用基板を用いて有機半導体素子を製造する際に、上記有機トランジスタ保護用隔壁部の開口部内に有機トランジスタが収まるような構成にすることにより、有機トランジスタが他の化合物と接触すること等によって経時劣化してしまうことを防止できる。このため、本発明の有機半導体素子用基板によれば、性能の経時安定性に優れた有機半導体素子を製造することができる。   According to the present invention, for example, when an organic semiconductor element is manufactured using the organic semiconductor element substrate of the present invention, the organic transistor is accommodated in the opening of the organic transistor protection partition wall. It can be prevented that the organic transistor deteriorates with time due to contact with other compounds. For this reason, according to the substrate for organic semiconductor elements of the present invention, an organic semiconductor element having excellent performance stability over time can be produced.

ここで、本発明の有機半導体素子用基板を用いることにより、性能の経時安定性に優れた有機半導体素子を製造することができる理由について、より具体的に説明する。
本発明の有機半導体素子用基板は、通常、基板と、上記基板上に形成された複数の有機トランジスタを有するトランジスタ側基板と対向配置することによって有機半導体素子を製造するために用いられるものである。
Here, the reason why an organic semiconductor element having excellent performance stability over time can be produced by using the organic semiconductor element substrate of the present invention will be described more specifically.
The substrate for an organic semiconductor element of the present invention is usually used for manufacturing an organic semiconductor element by disposing the substrate and a transistor side substrate having a plurality of organic transistors formed on the substrate. .

本発明の有機半導体素子用基板を用いて有機半導体素子を製造する代表的な方法について図を参照しながら説明する。図2は本発明の有機半導体素子用基板を用いて有機半導体素子を製造する方法の一例を示す概略図である。図2に例示するように、本発明の有機半導体素子用基板を用いて有機半導体素子を製造する場合、本発明の有機半導体素子用基板10と、基板31と、上記基板31上に形成された複数の有機トランジスタ32とを有するトランジスタ側基板30を用い(図2(a))、上記有機半導体素子用基板10の有機トランジスタ保護用隔壁部3の開口部内に、上記有機トランジスタ32が収まるように、上記有機半導体素子用基板10と、有機トランジスタ付基板30とを減圧雰囲気下において対向配置し、その後、大気圧雰囲気に戻すことにより有機半導体素子40Aを製造する方法が用いられる(図2(b))。
こうして製造された有機半導体素子40Aは、上記有機トランジスタ保護用隔壁部3の開口部の内側に、上記有機トランジスタ32が収納された状態となる。このため、本発明の有機半導体素子10を用いて製造した有機半導体素子40Aにおいては、有機トランジスタ32に他の化合物が接触すること等によって、経時で性能が損なわれてしまうことを防止できる。
したがって、例えば、図3に例示するように、上記有機半導体素子用基板10と、上記トランジスタ側基板30との間に液晶材料41を充填することにより、上記有機半導体素子40Aを用いて液晶表示素子を作製した場合であっても、上記有機トランジスタ32に液晶材料41が接することにより、上記有機トランジスタの性能が経時で損なわれしまうことを防止することができる。
このようなことから、本発明の有機半導体素子用基板によれば、性能の経時安定性に優れた有機半導体素子を製造することができる。
A representative method for producing an organic semiconductor element using the organic semiconductor element substrate of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 2 is a schematic view showing an example of a method for producing an organic semiconductor element using the organic semiconductor element substrate of the present invention. As illustrated in FIG. 2, when an organic semiconductor element is manufactured using the organic semiconductor element substrate of the present invention, the organic semiconductor element substrate 10 of the present invention, the substrate 31, and the substrate 31 are formed. A transistor-side substrate 30 having a plurality of organic transistors 32 is used (FIG. 2A), so that the organic transistors 32 are accommodated in the openings of the organic transistor protection partition walls 3 of the organic semiconductor element substrate 10. A method of manufacturing the organic semiconductor element 40A is used by placing the organic semiconductor element substrate 10 and the substrate 30 with an organic transistor facing each other in a reduced pressure atmosphere and then returning to the atmospheric pressure atmosphere (FIG. 2B). )).
The organic semiconductor element 40A thus manufactured is in a state in which the organic transistor 32 is accommodated inside the opening of the organic transistor protecting partition 3. For this reason, in the organic semiconductor element 40A manufactured using the organic semiconductor element 10 of the present invention, it is possible to prevent the performance from being deteriorated over time due to another compound coming into contact with the organic transistor 32 or the like.
Therefore, for example, as illustrated in FIG. 3, a liquid crystal display element is formed using the organic semiconductor element 40 </ b> A by filling the liquid crystal material 41 between the organic semiconductor element substrate 10 and the transistor-side substrate 30. Even in the case where the liquid crystal material 41 is in contact with the organic transistor 32, the performance of the organic transistor can be prevented from being deteriorated over time.
Thus, according to the organic semiconductor element substrate of the present invention, an organic semiconductor element having excellent performance stability over time can be produced.

本発明の有機半導体素子用基板は、少なくとも基板、透明電極、および、有機トランジスタ保護用隔壁部を有するものであり、必要に応じて他の構成を有してもよいものである。
以下、本発明の有機半導体素子用基板に用いられる各構成について順に説明する。
The substrate for an organic semiconductor element of the present invention has at least a substrate, a transparent electrode, and a partition wall for protecting an organic transistor, and may have other configurations as necessary.
Hereinafter, each structure used for the organic semiconductor element substrate of the present invention will be described in order.

1.有機トランジスタ保護用隔壁部
まず、本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部について説明する。本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部は、後述する透明電極上に形成されるものであり、開口部を有する枠状の形状を有するものである。また、本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部は、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造される有機半導体素子において、有機トランジスタが経時劣化することを防止する保護機能を有するものである。さらに、本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部は、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造される有機半導体素子において、本発明の有機半導体素子用基板に対向するように配置される基板との間隔を制御する機能を有するものである。
以下、このような有機トランジスタ保護用隔壁部について詳細に説明する。
1. First, the organic transistor protecting partition used in the present invention will be described. The organic transistor protecting partition used in the present invention is formed on a transparent electrode to be described later, and has a frame shape having an opening. The organic transistor protecting partition used in the present invention has a protective function for preventing the organic transistor from aging in an organic semiconductor element manufactured using the organic semiconductor element substrate of the present invention. is there. Furthermore, the organic transistor protecting partition used in the present invention is disposed so as to face the organic semiconductor element substrate of the present invention in an organic semiconductor element manufactured using the organic semiconductor element substrate of the present invention. It has a function of controlling the distance from the substrate.
Hereinafter, the organic transistor protecting partition wall will be described in detail.

本発明の有機半導体素子用基板において、後述する透明基板上に有機トランジスタ保護用隔壁部が形成される位置としては、後述する透明電極上であって、本発明の有機半導体素子用基板を用いて有機半導体素子を製造する際に、有機トランジスタが有機トランジスタ保護用隔壁部の開口部内に収まる位置であれば特に限定されるものではない。   In the organic semiconductor element substrate of the present invention, the organic transistor protecting partition wall is formed on the transparent substrate described later on the transparent electrode described later, using the organic semiconductor element substrate of the present invention. When the organic semiconductor element is manufactured, the organic transistor is not particularly limited as long as the organic transistor is located within the opening of the organic transistor protection partition wall.

なお、本発明の有機半導体素子用基板を用いて有機半導体素子を製造する際に、各有機トランジスタ保護用隔壁部の開口部の内側に収納される有機トランジスタの数は、1つであってもよく、または、複数であってもよい。   In addition, when manufacturing an organic semiconductor element using the organic semiconductor element substrate of the present invention, the number of organic transistors housed inside the opening of each organic transistor protection partition wall is one. It may be good or plural.

また、本発明の有機半導体素子用基板において、単位面積当たりに形成されている有機トランジスタ保護用隔壁部の数としては、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造する際に、すべての有機トランジスタを保護することができ、かつ、有機半導体素子の種類および大きさ等に応じて、対向する基板との間隔を所望の範囲内にできる範囲であれば特に限定されるものではない。   Further, in the organic semiconductor element substrate of the present invention, the number of organic transistor protection partition walls formed per unit area is the same as that of the organic semiconductor element substrate of the present invention. There is no particular limitation as long as the transistor can be protected and the distance from the opposing substrate can be within a desired range in accordance with the type and size of the organic semiconductor element.

なお、本発明においては、通常、複数の有機トランジスタ保護用隔壁部が等間隔に配置される。   In the present invention, usually, a plurality of organic transistor protecting partition walls are arranged at equal intervals.

また、本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部の高さは、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造される有機半導体素子において、上記有機半導体素子用基板と、対向する基板との間隔に相当するものになる。このため、上記有機トランジスタ保護用隔壁部の高さは、上記間隔として好ましい高さにすればよく、特に限定されるものではない。
例えば、本発明の有機半導体素子用基板を強誘電性液晶を用いた液晶表示装置を作製するために用いる場合、上記高さは0.5μm〜2.5μmの範囲内であることが好ましく、特に1μm〜2μmの範囲内であることが好ましい。また、強誘電性液晶ではなく、他の液晶が用いられた液晶表示装置を作製するために用いる場合、上記高さは2μm〜10μmの範囲内であることが好ましく、なかでも5μm〜7μmの範囲内であることが好ましい。さらに、本発明の有機半導体素子用基板を電子ペーパーを作製するために用いる場合、上記高さは、10μm〜300μmの範囲内であることが好ましく、特に30μm〜100μmの範囲内であることが好ましい。
In addition, the height of the organic transistor protecting partition used in the present invention is the same as that of the organic semiconductor element manufactured using the organic semiconductor element substrate of the present invention. It corresponds to the interval. For this reason, the height of the partition for protecting the organic transistor is not particularly limited as long as the height is preferable as the interval.
For example, when the organic semiconductor element substrate of the present invention is used for producing a liquid crystal display device using a ferroelectric liquid crystal, the height is preferably in the range of 0.5 μm to 2.5 μm, particularly It is preferably in the range of 1 μm to 2 μm. In addition, when used for manufacturing a liquid crystal display device using other liquid crystals instead of ferroelectric liquid crystals, the height is preferably in the range of 2 μm to 10 μm, and more preferably in the range of 5 μm to 7 μm. It is preferable to be within. Furthermore, when the substrate for an organic semiconductor element of the present invention is used for producing electronic paper, the height is preferably within a range of 10 μm to 300 μm, and particularly preferably within a range of 30 μm to 100 μm. .

本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部の形状としては、本発明の有機半導体素子用基板を用いて有機半導体素子を作製する際に、有機トランジスタをその内側に納めることができる程度の開口部を有する枠状の形状であれば特に限定されるものではない。このような形状としては、四角形等の多角形であってもよく、または、円形であってもよい。   The shape of the partition for protecting the organic transistor used in the present invention is an opening that can accommodate the organic transistor inside the organic semiconductor element when the organic semiconductor element substrate of the present invention is used. There is no particular limitation as long as it has a frame shape having a shape. Such a shape may be a polygon such as a quadrangle, or may be a circle.

また、本発明においては形状の異なる複数種類の有機トランジスタ保護用隔壁部が用いられていてもよい。   In the present invention, a plurality of types of organic transistor protecting partition walls having different shapes may be used.

さらに、本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部が形成されている態様としては、上記開口部を有する枠状の部位を有するように形成されている態様であれば特に限定されるものではない。したがって、上記有機トランジスタ保護用隔壁部が形成されている態様としては、例えば、図1(a)に例示したように、枠状のものが個別に形成されている態様であってもよく、または、例えば、図4(1)〜(3)に例示するように、複数の有機トランジスタ保護用隔壁部が一体となって形成されている態様であってもよい。   Furthermore, the aspect in which the partition part for protecting an organic transistor used in the present invention is formed is not particularly limited as long as the aspect is formed so as to have a frame-like portion having the opening. . Therefore, as an aspect in which the organic transistor protecting partition wall portion is formed, for example, as illustrated in FIG. 1A, a frame-shaped one may be formed individually, or For example, as illustrated in FIGS. 4 (1) to (3), a plurality of organic transistor protecting partition walls may be integrally formed.

ここで、本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部が、複数の有機トランジスタ保護用隔壁部が一体となって形成されている態様の具体例としては、液晶材料の配列状態を規制するリブ等の他の部材の一部として形成されている態様を挙げることができる。   Here, as a specific example of the aspect in which the organic transistor protection partition wall portion used in the present invention is integrally formed with a plurality of organic transistor protection partition wall portions, ribs or the like that regulate the alignment state of the liquid crystal material The aspect currently formed as a part of other member can be mentioned.

本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部の開口部の内側の面積としては、本発明の有機半導体素子用基板を用いて有機半導体素子を作製する際に、有機トランジスタを開口部の内側に収納できる範囲であれば特に限定されるものではなく、上記有機トランジスタの大きさ等に応じて、適宜決定すればよい。   The area inside the opening of the partition for protecting the organic transistor used in the present invention is that the organic transistor is stored inside the opening when the organic semiconductor element is manufactured using the substrate for the organic semiconductor element of the present invention. It is not particularly limited as long as it is within the range, and may be determined as appropriate according to the size of the organic transistor.

このような本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部は、例えば、2P(Photo Polymerization)法、フォトリソグラフィー法等の公知の方法により形成することができる。2P法では、例えば、エチレングリコール(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ヘキサングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、グリセリントリジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、ペンタエリスリトール(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等のモノマー、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、エポキシ、ビニルエーテル、ポリエン・チオール系等のオリゴマー、光二量化反応を起こすポリビニル桂皮酸系樹脂等の光架橋型ポリマー等を基材上に塗布し、有機トランジスタ保護用隔壁部形成用の原版を塗布膜に圧着した状態で紫外線を照射して硬化させ、その後、原版を剥離することにより有機トランジスタ保護用隔壁部を形成することができる。
また、フォトリソグラフィー法では、上述の2P法で例示したような材料を基材上に塗布し、有機トランジスタ保護用隔壁部形成用の所望のフォトマスクを介して塗布膜を露光した後、現像することにより有機トランジスタ保護用隔壁部を形成することができる。
なお、上記の(メタ)アクリレートとは、アクリレートあるいはメタクリレートを意味するものとする。
Such an organic transistor protecting partition used in the present invention can be formed by a known method such as a 2P (Photo Polymerization) method or a photolithography method. In the 2P method, for example, ethylene glycol (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, dipropylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) ) Acrylate, hexane glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, glycerin tridi (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di Acrylate, pentaerythritol (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate , Monomers such as dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, urethane acrylate, epoxy acrylate, polyester acrylate, epoxy, vinyl ether, polyene / thiol-based oligomers, polyvinyl cinnamon that causes photodimerization reaction A photocrosslinkable polymer such as an acid-based resin is applied on a substrate, cured by irradiating with ultraviolet rays in a state where the original plate for forming an organic transistor protection partition wall is pressed against the coating film, and then the original plate is peeled off. As a result, an organic transistor protection partition wall can be formed.
In the photolithography method, a material as exemplified in the above-described 2P method is applied onto a base material, and the coating film is exposed through a desired photomask for forming an organic transistor protection partition wall, and then developed. As a result, an organic transistor protection partition wall can be formed.
In addition, said (meth) acrylate shall mean an acrylate or a methacrylate.

2.透明電極
次に、本発明に用いられる透明電極について説明する。本発明に用いられる透明電極は、後述する基板上に形成されたものである。また、本発明に用いられる透明電極は、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造した有機半導体素子をディスプレイ装置に用いる場合に、各画素の発光強度を制御する電極として機能するものである。
2. Transparent electrode Next, the transparent electrode used for this invention is demonstrated. The transparent electrode used for this invention is formed on the board | substrate mentioned later. Moreover, the transparent electrode used for this invention functions as an electrode which controls the light emission intensity of each pixel, when using the organic-semiconductor element manufactured using the board | substrate for organic-semiconductor elements of this invention for a display apparatus. .

本発明に用いられる透明電極を構成する材料としては、所望の透明性と導電性とを備えるものであれば特に限定されるものではなく、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造される有機半導体素子の用途等に応じて適宜選択して用いることができる。なかでも本発明においては、酸化インジウム、酸化錫、酸化インジウム錫(ITO)からなる透明電極が好適に用いられる。   The material constituting the transparent electrode used in the present invention is not particularly limited as long as it has desired transparency and conductivity, and is manufactured using the organic semiconductor element substrate of the present invention. It can be appropriately selected and used according to the use of the organic semiconductor element. In particular, in the present invention, a transparent electrode made of indium oxide, tin oxide, or indium tin oxide (ITO) is preferably used.

3.基板
次に、本発明に用いられる基板について説明する。本発明に用いられる基板は上記透明電極および上記有機トランジスタ保護用隔壁部を支持するものである。
以下、このような基板について詳細に説明する。
3. Substrate Next, the substrate used in the present invention will be described. The substrate used in the present invention supports the transparent electrode and the partition for protecting the organic transistor.
Hereinafter, such a substrate will be described in detail.

本発明の有機半導体素子用基板としては、所望の透明性を備えるものであれば特に限定されるものではない。なかでも本発明に用いられる基板は、可視光領域における透過率が80%以上であることが好ましく、90%以上であることがより好ましい。透過率が上記範囲であることにより、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造される有機半導体素子をディスプレイ装置に用いた場合に、表示輝度が低下すること等を防止することができるからである。
ここで、基板の透過率は、JIS K7361−1(プラスチックー透明材料の全光透過率の試験方法)により測定することができる。
The organic semiconductor element substrate of the present invention is not particularly limited as long as it has desired transparency. Among them, the substrate used in the present invention preferably has a transmittance in the visible light region of 80% or more, and more preferably 90% or more. When the transmittance is in the above range, it is possible to prevent a decrease in display luminance when an organic semiconductor element manufactured using the organic semiconductor element substrate of the present invention is used in a display device. It is.
Here, the transmittance | permeability of a board | substrate can be measured by JISK7361-1 (the test method of the total light transmittance of a plastic transparent material).

本発明に用いられる基板は、ガラス基板等の可撓性を有さないリジッド基板であってもよく、または、樹脂製フィルム基材等の可撓性を有するフレキシブル基板であってもよい。なかでも本発明においてはフレキシブル基板を用いることが好ましい。フレキシブル基板を用いることにより、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造される有機半導体素子をフレキシブルディスプレイ装置の製造に用いることが可能となるからである。また、フレキシブル基板を用いることにより、本発明の有機半導体素子用基板をRoll to Rollプロセスによって製造することが可能となるという利点もあるからである。   The substrate used in the present invention may be a rigid substrate having no flexibility such as a glass substrate, or may be a flexible substrate having flexibility such as a resin film substrate. In particular, in the present invention, it is preferable to use a flexible substrate. This is because by using the flexible substrate, the organic semiconductor element manufactured using the organic semiconductor element substrate of the present invention can be used for manufacturing a flexible display device. In addition, the use of a flexible substrate also has an advantage that the organic semiconductor element substrate of the present invention can be manufactured by a Roll to Roll process.

上記樹脂製フィルム基材としては、例えば、ポリエチレンレテフタレート(PET)、ポリカーボネート(PC)、ポリエーテルスルホン(PES)等の熱可塑性プラスチックフィルム、エポキシ樹脂等の架橋性樹脂、有機-無機複合材料、ポリイミド(PI)、ポリアミド、芳香族ポリアミド、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリアクリルニトリル、エチレン酢酸ビニル共重合体(EVA)、三酢酸セルロース(TAC)、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)等からなるフィルムを挙げることができる。   Examples of the resin film substrate include thermoplastic films such as polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC), and polyethersulfone (PES), crosslinkable resins such as epoxy resins, organic-inorganic composite materials, Polyimide (PI), polyamide, aromatic polyamide, polyethylene (PE), polypropylene (PP), polyester, polyolefin, polyacrylonitrile, ethylene vinyl acetate copolymer (EVA), cellulose triacetate (TAC), polyethylene naphthalate, The film which consists of polyphenylene sulfide (PPS), polyether ether ketone (PEEK), etc. can be mentioned.

本発明に用いられる基板の構成は、単一の層からなる構成であってもよく、または、複数の層が積層された構成であってもよい。また、複数の層が積層された構成を有する場合においては、同一組成の層が積層された構成であってもよく、また、異なった組成を有する複数の層が積層された構成であってもよい。   The structure of the substrate used in the present invention may be a structure composed of a single layer or a structure in which a plurality of layers are laminated. Further, in the case of having a configuration in which a plurality of layers are laminated, a configuration in which layers having the same composition are laminated may be used, or a configuration in which a plurality of layers having different compositions may be laminated. Good.

また、本発明に用いられる基板の厚みは、通常、0.01mm〜3mmの範囲内であることが好ましく、なかでも0.25mm〜2mmの範囲内であることが好ましく、特に0.1mm〜1mmの範囲内であることが好ましい。
なお、本発明に用いられる基板が複数の層が積層された構成を有するものである場合、上記厚みは各層の厚みを合計した基板全体としての厚みを指すものとする。
In addition, the thickness of the substrate used in the present invention is usually preferably in the range of 0.01 mm to 3 mm, more preferably in the range of 0.25 mm to 2 mm, particularly 0.1 mm to 1 mm. It is preferable to be within the range.
In addition, when the board | substrate used for this invention has the structure by which the several layer was laminated | stacked, the said thickness shall point out the thickness as the whole board | substrate which totaled the thickness of each layer.

また、本発明に用いられる基板は、表面粗さ(RSM値)が、10nm以下であることが好ましく、なかでも3nm以下であることが好ましく、特に1nm以下であることが好ましい。
ここで、上記表面粗さは、原子間力顕微鏡(AFM:ATOMIC FORCE MICROSCOPE)またはレーザー干渉形式形状測定機により測定することができる。
In addition, the substrate used in the present invention preferably has a surface roughness (RSM value) of 10 nm or less, more preferably 3 nm or less, and particularly preferably 1 nm or less.
Here, the surface roughness can be measured with an atomic force microscope (AFM) or a laser interference type profilometer.

4.その他の構成
本発明の有機半導体素子用基板は、上記有機トランジスタ保護用隔壁部、透明電極、および、基板以外に他の構成を有するものであってもよい。このような他の構成としては特に限定されるものではなく、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造する有機半導体素子の用途等に応じて任意の機能を備える構成を用いることができる。
なかでも本発明に好適に用いられる他の構成としては、上記基板と上記透明電極との間に形成され、複数の着色層を有するカラーフィルター層、上記透明電極上に形成され、液晶材料に対して配向規制力を有する配向層、および、上記透明電極上に形成されるスペーサー部を挙げることができる。
以下、このようなカラーフィルター層、配向層、および、スペーサー部について順に説明する。
4). Other Configurations The organic semiconductor element substrate of the present invention may have other configurations in addition to the organic transistor protecting partition wall, the transparent electrode, and the substrate. Such other configuration is not particularly limited, and a configuration having an arbitrary function can be used according to the use of the organic semiconductor element manufactured using the organic semiconductor element substrate of the present invention.
Among these, other configurations suitably used in the present invention include a color filter layer formed between the substrate and the transparent electrode, having a plurality of colored layers, formed on the transparent electrode, and a liquid crystal material. And an alignment layer having an alignment regulating force, and a spacer portion formed on the transparent electrode.
Hereinafter, the color filter layer, the alignment layer, and the spacer portion will be described in order.

(1)カラーフィルター層
まず、上記カラーフィルター層について説明する。本発明に用いられるカラーフィルター層は、上記基板と上記透明電極との間に形成され、複数の着色層を有するものである。このようなカラーフィルター層を有することにより、本発明の有機半導体素子用基板を用いて、カラーフィルター方式の液晶表示装置に好適に用いられる有機半導体素子を製造することができる。
(1) Color filter layer First, the color filter layer will be described. The color filter layer used in the present invention is formed between the substrate and the transparent electrode and has a plurality of colored layers. By having such a color filter layer, an organic semiconductor element suitably used for a color filter type liquid crystal display device can be produced using the organic semiconductor element substrate of the present invention.

本発明の有機半導体素子用基板に上記カラーフィルター層が形成されている態様について図を参照しながら説明する。図5は、本発明の有機半導体素子用基板に上記カラーフィルター層が形成されている場合の一例を示す概略図である。図5に例示するように、本発明の有機半導体素子用基板10’は、基板1と透明電極2との間に、複数の着色層4a(4a’、4a’’、4a’’’)を有するカラーフィルター層4が形成されているものであってもよい。
なお、図5に例示するように、本発明の有機半導体素子用基板10’にカラーフィルター層4が形成されている場合、通常、有機トランジスタ保護用隔壁部3は上記着色層4a’、4a’’、4a’’’の境界上に形成されることになる。
また、図5に例示するように、本発明に用いられるカラーフィルター層4は、上記着色層4aを覆うようにオーバーコート層4bが形成されているものであってもよい。
An embodiment in which the color filter layer is formed on the organic semiconductor element substrate of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is a schematic view showing an example in which the color filter layer is formed on the organic semiconductor element substrate of the present invention. As illustrated in FIG. 5, the organic semiconductor element substrate 10 ′ of the present invention includes a plurality of colored layers 4 a (4 a ′, 4 a ″, 4 a ′ ″) between the substrate 1 and the transparent electrode 2. The color filter layer 4 to be formed may be formed.
As illustrated in FIG. 5, when the color filter layer 4 is formed on the organic semiconductor element substrate 10 ′ of the present invention, the organic transistor protecting partition wall portion 3 is usually provided with the colored layers 4 a ′ and 4 a ′. It is formed on the boundary of “4a”.
Further, as illustrated in FIG. 5, the color filter layer 4 used in the present invention may have an overcoat layer 4b formed so as to cover the colored layer 4a.

以下、このようなカラーフィルター層について詳細に説明する。   Hereinafter, such a color filter layer will be described in detail.

a.着色層
本発明に用いられるカラーフィルター層が有する着色層としては、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造する有機半導体素子の用途に応じて、所望の色を発色できるものであれば特に限定されるものではない。このような着色層としては、一般的に液晶表示装置用のカラーフィルターに用いられている各色の着色層を用いることができる。なかでも本発明においては、通常、R、G、Bの3色からなる複数の着色層が用いられる。
a. Colored layer As the colored layer of the color filter layer used in the present invention, any color can be produced as long as it can develop a desired color according to the use of the organic semiconductor element produced using the organic semiconductor element substrate of the present invention. It is not limited. As such a colored layer, a colored layer of each color generally used for a color filter for a liquid crystal display device can be used. In particular, in the present invention, a plurality of colored layers composed of three colors of R, G, and B are usually used.

また、本発明に用いられる着色層は、通常、複数色が規則的に配置されるようにパターン状に形成される。本発明に採用されるパターンは特に限定されるものではなく、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造する有機半導体素子の用途等に応じて適宜選択することができる。このようなパターンとしては、例えば、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型および4画素配置型等を挙げることができる。このとき、個々の着色層の面積および厚みは、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造する有機半導体素子の解像度等に応じて適宜調整することになる。   Further, the colored layer used in the present invention is usually formed in a pattern so that a plurality of colors are regularly arranged. The pattern employ | adopted for this invention is not specifically limited, According to the use etc. of the organic-semiconductor element manufactured using the board | substrate for organic-semiconductor elements of this invention, it can select suitably. Examples of such a pattern include a stripe type, a mosaic type, a triangle type, and a 4-pixel arrangement type. At this time, the area and thickness of each colored layer are appropriately adjusted according to the resolution of the organic semiconductor element produced using the organic semiconductor element substrate of the present invention.

なお、上記着色層の構成成分としては、各着色層に所望の発色性を付与できるものであれば特に限定されるものではない。このような着色層を構成する材料としては、一般的なカラーフィルターの着色層に用いられるものと同様であるため、ここでの詳しい説明は省略する。   In addition, as a structural component of the said colored layer, if a desired color development property can be provided to each colored layer, it will not specifically limit. Since the material constituting such a colored layer is the same as that used for the colored layer of a general color filter, detailed description thereof is omitted here.

b.カラーフィルター層
本発明に用いられるカラーフィルター層は、少なくとも上述した着色層を有するものであるが、必要に応じて上記着色層以外の他の構成を有するものであってもよい。このような他の構成としては特に限定されるものではなく、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造する有機半導体素子の用途等に応じて任意の機能を備えるものを用いることができる。なかでも本発明においては、このような他の構成として上述した着色層の境界に形成される遮光部を有することが好ましい。このような遮光部を有することにより、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造した有機半導体素子において、有機トランジスタに光が照射されることによって誤作動が起こることを防止できるからである。
b. Color filter layer The color filter layer used in the present invention has at least the above-described colored layer, but may have a configuration other than the above colored layer as necessary. Such other configurations are not particularly limited, and those having an arbitrary function can be used according to the use of the organic semiconductor element manufactured using the organic semiconductor element substrate of the present invention. Especially in this invention, it is preferable to have the light-shielding part formed in the boundary of the colored layer mentioned above as such another structure. This is because, by having such a light-shielding portion, in the organic semiconductor element manufactured using the substrate for organic semiconductor elements of the present invention, it is possible to prevent malfunctions from occurring when the organic transistor is irradiated with light.

本発明に用いられるカラーフィルター層がこのような遮光部を有する場合について図を参照しながら説明する。図6は、本発明に用いられるカラーフィルター層が上記遮光部を有する場合の一例を示す概略図である。図6に例示するように、本発明に用いられるカラーフィルター層4’は、着色層4a’、4a’’、4a’’’の境界に遮光部4cが形成されているものであることが好ましい。   A case where the color filter layer used in the present invention has such a light shielding portion will be described with reference to the drawings. FIG. 6 is a schematic view showing an example of the case where the color filter layer used in the present invention has the light shielding portion. As illustrated in FIG. 6, the color filter layer 4 ′ used in the present invention preferably has a light shielding portion 4c formed at the boundary between the colored layers 4a ′, 4a ″ and 4a ′ ″. .

本発明に用いられる遮光部としては、所望の遮光性を有する材料からなるものであれば特に限定されるものではなく、一般的な液晶表示装置用のカラーフィルターの遮光部に用いられる材料を用いることができる。このような材料としては、例えば、遮光材料および樹脂からなる材料、または、クロム等の金属材料を挙げることができる。   The light shielding portion used in the present invention is not particularly limited as long as it is made of a material having a desired light shielding property, and a material used for a light shielding portion of a color filter for a general liquid crystal display device is used. be able to. Examples of such a material include a material made of a light shielding material and a resin, or a metal material such as chromium.

また、本発明に用いられるカラーフィルター層は、上記着色層を覆うようにオーバーコート層が形成されているものであってもよい。ここで、本発明に用いられるオーバーコート層については、一般的な液晶表示装置等に用いられるカラーフィルターに用いられているものと同様であるため、ここでの詳しい説明は省略する。   The color filter layer used in the present invention may be one in which an overcoat layer is formed so as to cover the colored layer. Here, since the overcoat layer used in the present invention is the same as that used in a color filter used in a general liquid crystal display device or the like, detailed description thereof is omitted here.

(2)配向層
次に、本発明に用いられる配向層について説明する。本発明に用いられる配向層は、上記透明電極上に形成されるものであり、液晶材料に対して配向規制力を有するものである。このような配向層が形成されていることにより、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造される有機半導体素子を、液晶表示装置に好適に用いられるものにできる。
(2) Orientation layer Next, the orientation layer used for this invention is demonstrated. The alignment layer used in the present invention is formed on the transparent electrode and has an alignment regulating force for the liquid crystal material. By forming such an alignment layer, the organic semiconductor element manufactured using the organic semiconductor element substrate of the present invention can be suitably used for a liquid crystal display device.

本発明の有機半導体素子用基板が上記配向層を有する場合について図を参照しながら説明する。図7は本発明の有機半導体素子用基板が上記配向層を有する場合の一例を示す概略図である。図7に例示するように、本発明の有機半導体素子用基板10’’は、有機トランジスタ保護用隔壁部3および透明電極2上に液晶材料に対して配向規制力を有する配向層5を有するものであってもよい。   The case where the substrate for organic semiconductor elements of the present invention has the alignment layer will be described with reference to the drawings. FIG. 7 is a schematic view showing an example when the substrate for an organic semiconductor element of the present invention has the alignment layer. As illustrated in FIG. 7, the organic semiconductor element substrate 10 ″ of the present invention has the organic transistor protecting partition wall 3 and the alignment layer 5 having an alignment regulating force for the liquid crystal material on the transparent electrode 2. It may be.

以下、このような配向層について詳細に説明する。   Hereinafter, such an alignment layer will be described in detail.

本発明の有機半導体素子用基板において上記配向層が形成されている態様としては、上記透明電極上であり、かつ、本発明の有機半導体素子用基板を用いて有機半導体素子を作製した際に、当該配向層の配向規制力により液晶材料を配列させることができる態様であれば特に限定されるものではない。このような態様としては、例えば、上記図7に示したように、上記透明電極2上および上記有機トランジスタ保護用隔壁部3上に形成されている態様であってもよく、または、図8に示すように、透明電極2上であって、有機トランジスタ保護用隔壁部3の間に形成されている態様であってもよい。   As an aspect in which the alignment layer is formed in the organic semiconductor element substrate of the present invention, when the organic semiconductor element is produced on the transparent electrode and using the organic semiconductor element substrate of the present invention, There is no particular limitation as long as the liquid crystal material can be aligned by the alignment regulating force of the alignment layer. As such an embodiment, for example, as shown in FIG. 7, it may be formed on the transparent electrode 2 and the organic transistor protecting partition wall 3, or in FIG. 8. As shown, it may be formed on the transparent electrode 2 and between the organic transistor protecting partition walls 3.

本発明に用いられる配向層としては、液晶材料に対して配向規制力を有するものであれば特に限定されるものではない。このような配向層としては、ポリイミド等の高分子材料にラビング処理を施したラビング膜や、光異性化型化合物または光反応型化合物等を含有する光配向材料に光配向処理を施した光配向膜等を挙げることができる。なかでも本発明に用いられる配向層は、上記配向処理膜として光配向膜が用いられたものであることが好ましい。光配向膜は、非接触で配向処理を行うことが可能であることから静電気や塵の発生がなく、定量的な配向処理の制御ができる点で有用であるからである。
なお、本発明に用いられる上記ラビング膜および上記光配向膜については、一般的に液晶表示装置に用いられるラビング膜および光配向膜として公知のものを用いることができるため、ここでの詳しい説明は省略する。
The alignment layer used in the present invention is not particularly limited as long as it has an alignment regulating force for the liquid crystal material. Such alignment layers include a rubbing film obtained by subjecting a polymer material such as polyimide to a rubbing treatment, or a photo-alignment treatment obtained by subjecting a photo-alignment material containing a photoisomerizable compound or a photoreactive compound to a photo-alignment treatment. A film etc. can be mentioned. In particular, the alignment layer used in the present invention is preferably one in which a photo-alignment film is used as the alignment treatment film. This is because the photo-alignment film is useful in that the alignment process can be performed in a non-contact manner, so that no static electricity or dust is generated and the alignment process can be controlled quantitatively.
In addition, about the said rubbing film | membrane and said photo-alignment film used for this invention, since a well-known thing can be used as a rubbing film | membrane and photo-alignment film | membrane generally used for a liquid crystal display device, detailed description here Omitted.

また、本発明に用いられる配向層は、上記ラビング膜または光配向膜上に反応性液晶を固定化してなる反応性液晶層が形成された構成を有するものであってもよい。本発明に用いられる配向層が、このような反応性液晶層が形成された構成を有するものであることにより、例えば、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造される有機半導体素子を、強誘電性液晶を用いた液晶表示装置に用いる場合に、上記強誘電性液晶の配向安定性を向上することができるからである。   In addition, the alignment layer used in the present invention may have a configuration in which a reactive liquid crystal layer formed by fixing reactive liquid crystals on the rubbing film or the photo alignment film is formed. When the alignment layer used in the present invention has a configuration in which such a reactive liquid crystal layer is formed, for example, an organic semiconductor element manufactured using the substrate for an organic semiconductor element of the present invention, This is because the alignment stability of the ferroelectric liquid crystal can be improved when used in a liquid crystal display device using a ferroelectric liquid crystal.

本発明に用いられる反応性液晶層としては、例えば、モノアクリレートモノマー、ジアクリレートモノマー等の重合性液晶モノマーを重合されてなるもの等を挙げることができる。   Examples of the reactive liquid crystal layer used in the present invention include those obtained by polymerizing a polymerizable liquid crystal monomer such as a monoacrylate monomer and a diacrylate monomer.

(3)スペーサー部
次に、本発明に用いられるスペーサー部について説明する。本発明に用いられるスペーサー部は、上記透明電極上に形成されるものである。また、本発明に用いられるスペーサー部は、本発明の有機半導体素子用基板を用いて製造される有機半導体素子において、上記有機半導体素子用基板と、当該有機半導体素子用基板に対向して配置される基板との間隔を均一に保持する機能を有するものである。
(3) Spacer part Next, the spacer part used for this invention is demonstrated. The spacer part used in the present invention is formed on the transparent electrode. Moreover, the spacer part used for this invention is arrange | positioned facing the said organic-semiconductor-element board | substrate and the said organic-semiconductor-element board | substrate in the organic-semiconductor element manufactured using the organic-semiconductor-element board | substrate of this invention. It has a function of maintaining a uniform distance from the substrate.

本発明の有機半導体素子用基板に上記スペーサー部が形成されている場合について図を参照しながら説明する。図9は、本発明の有機半導体素子用基板に上記スペーサー部が形成されている場合の一例を示す概略図である。ここで、図9(a)は、本発明の有機半導体素子用基板にスペーサー部が形成されている場合の一例を示す概略図であり、図9(b)は、上記図9(a)におけるY−Y’線矢視断面図である。
図9(a)に例示するように本発明の有機半導体素子用基板10’’’は、上記透明電極2上にスペーサー部6が形成されているものであってもよい。
また、図9(b)に例示するように、本発明の有機半導体素子用基板10’’’にスペーサー部6が形成されている場合、上記スペーサー部6は、通常、有機トランジスタ保護用隔壁部3と同一の高さに形成される。
The case where the said spacer part is formed in the board | substrate for organic-semiconductor elements of this invention is demonstrated, referring a figure. FIG. 9 is a schematic view showing an example in which the spacer portion is formed on the organic semiconductor element substrate of the present invention. Here, FIG. 9A is a schematic view showing an example of the case where the spacer portion is formed on the organic semiconductor element substrate of the present invention, and FIG. 9B is the above-mentioned FIG. 9A. It is YY 'arrow sectional drawing.
As illustrated in FIG. 9A, the organic semiconductor element substrate 10 ′ ″ of the present invention may have a spacer portion 6 formed on the transparent electrode 2.
Further, as illustrated in FIG. 9B, when the spacer portion 6 is formed on the organic semiconductor element substrate 10 ′ ″ of the present invention, the spacer portion 6 is usually an organic transistor protection partition wall portion. 3 and the same height.

本発明に用いられるスペーサー部としては、上述した機能を有するものであれば特に限定されるものではなく、一般的に液晶表示装置においてセルギャップを調整するために用いられるスペーサーを用いることができる。このようなスペーサー部としては、例えば、壁状スペーサー、柱状スペーサー、および、ビーズと樹脂材料とを含有するビーズ含有スペーサー等からなるものを挙げることができる。本発明においては、これらのいずれのスペーサーからなるスペーサー部であっても好適に用いることができるが、なかでも壁状スペーサー、または、柱状スペーサーからなるスペーサー部を用いることが好ましい。上記ビーズスペーサーは、配置される位置を制御することが困難であるため、例えば、本発明の有機半導体素子用基板を用いて有機半導体素子を作製した際に、画像表示に寄与する画素領域にスペーサー部が配置されてしまい、その結果として上記有機半導体素子の表示品質が損なわれる恐れがある。しかしながら、上記壁状スペーサーおよび柱状スペーサーは、形成される位置を制御することが可能であるためこのような問題が少ないからである。   The spacer portion used in the present invention is not particularly limited as long as it has the above-described function, and a spacer generally used for adjusting a cell gap in a liquid crystal display device can be used. Examples of such a spacer portion include a wall spacer, a columnar spacer, and a bead-containing spacer containing beads and a resin material. In the present invention, any spacer portion composed of any of these spacers can be suitably used, but among them, a spacer portion composed of a wall spacer or a columnar spacer is preferably used. Since it is difficult to control the position where the bead spacer is arranged, for example, when an organic semiconductor element is produced using the organic semiconductor element substrate of the present invention, the spacer is provided in a pixel region that contributes to image display. As a result, the display quality of the organic semiconductor element may be impaired. However, this is because the wall-shaped spacer and the columnar spacer are less likely to have such a problem because the positions where they are formed can be controlled.

上記の壁状スペーサーおよび上記柱状スペーサーからなるスペーサー部の形成方法としては、所定の形状のスペーサー部を形成できる方法であれば特に限定されるものではない。このような方法としては、例えば、上記「1.有機トランジスタ保護用隔壁部」の項に記載した、有機トランジスタ保護用隔壁部の形成方法と同様の方法を用いることができる。   The method for forming the spacer portion composed of the wall spacer and the columnar spacer is not particularly limited as long as it can form a spacer portion having a predetermined shape. As such a method, for example, a method similar to the method for forming the organic transistor protective partition wall described in the above section “1. Organic transistor protective partition wall” can be used.

なお、本発明に用いられるスペーサー部は、上記有機トランジスタ保護用隔壁部と一体に形成されているものであってもよい。また、本発明に用いられるスペーサー部は、通常、上記有機トランジスタ保護用隔壁部と同じ高さに形成される。   In addition, the spacer part used for this invention may be formed integrally with the said partition part for organic transistor protection. Moreover, the spacer part used for this invention is normally formed in the same height as the said organic transistor protective partition part.

4.有機半導体素子用基板の製造方法
次に、本発明の有機半導体素子用基板の製造方法について説明する。本発明の有機半導体素子用基板の製造方法としては、上記構成を有する有機半導体素子用基板を製造できる方法であれば特に限定されるものではない。このような製造方法としては、例えば、上記基板を用い、上記基板上に透明電極を形成する透明電極形成工程と、上記透明電極上に上記有機トランジスタ保護用隔壁部を形成する有機トランジスタ保護用隔壁部形成工程とからなる方法を例示することができる。
4). Next, the manufacturing method of the substrate for organic semiconductor elements of the present invention will be described. The method for producing an organic semiconductor element substrate of the present invention is not particularly limited as long as it is a method capable of producing an organic semiconductor element substrate having the above-described configuration. As such a manufacturing method, for example, using the substrate, a transparent electrode forming step of forming a transparent electrode on the substrate, and an organic transistor protection partition wall forming the organic transistor protection partition wall portion on the transparent electrode The method which consists of a part formation process can be illustrated.

上記透明電極形成工程において上記基板上に透明電極を形成する方法としては、所望の材料からなる透明電極を均一な膜厚で形成できる方法であれば特に限定されるものではない。このような方法としては、例えば、CVD法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の、一般的に液晶表示装置に用いられる透明電極を形成する際に用いられる方法として公知の方法を用いることができる。   The method for forming the transparent electrode on the substrate in the transparent electrode forming step is not particularly limited as long as the transparent electrode made of a desired material can be formed with a uniform film thickness. As such a method, for example, a known method can be used as a method used for forming a transparent electrode generally used in a liquid crystal display device, such as a CVD method, a sputtering method, an ion plating method, or the like. .

また、上記有機トランジスタ保護用隔壁部形成工程において、上記透明電極上に有機トランジスタ保護用隔壁部を形成する方法としては、所定の位置に所望の形状を有する有機トランジスタ保護用隔壁部を形成できる方法であれば特に限定されるものではない。このような方法としては、例えば、リソグラフィー法や転写法等の一般的に液晶表示装置を製造する際に壁状または柱状スペーサーを形成するために用いられる方法を用いることができる。   Further, in the organic transistor protection partition wall forming step, as a method of forming the organic transistor protection partition wall on the transparent electrode, a method capable of forming an organic transistor protection partition wall having a desired shape at a predetermined position. If it is, it will not specifically limit. As such a method, for example, a method generally used for forming a wall-like or columnar spacer when manufacturing a liquid crystal display device such as a lithography method or a transfer method can be used.

なお、上記有機トランジスタ保護用隔壁部形成工程は、上記有機トランジスタ保護用隔壁部と、上記有機トランジスタ保護用隔壁部と同一材料からなるスペーサー部を同時に形成するものであってもよい。   The organic transistor protecting partition wall forming step may simultaneously form the organic transistor protecting partition wall and a spacer portion made of the same material as the organic transistor protecting partition wall.

B.有機トランジスタ付基板
次に、本発明の有機トランジスタ付基板について説明する。本発明の有機トランジスタ付基板は、基板と、上記基板上に形成された複数の有機トランジスタと、上記基板上に、上記有機トランジスタを囲うように形成され、開口部を有する枠状の有機トランジスタ保護用隔壁部とを有することを特徴とするものである。
B. Next, the substrate with an organic transistor of the present invention will be described. The substrate with an organic transistor of the present invention includes a substrate, a plurality of organic transistors formed on the substrate, and a frame-shaped organic transistor protection having an opening formed on the substrate so as to surround the organic transistor. And a partition wall portion.

このような本発明の有機トランジスタ付基板について図を参照しながら説明する。図10は、本発明の有機トランジスタ付基板の一例を示す概略図である。ここで、図10(a)は、本発明の有機トランジスタ付基板の一例を示す概略図であり、図10(b)は上記図10(a)におけるx−x’線矢視断面図である。
図10(a)、(b)に例示するように、本発明の有機トランジスタ付基板20は、基板21と、上記基板21上に形成された、複数の有機トランジスタ22と、上記基板21上に、上記有機トランジスタ22を囲うように形成され、開口部を有する枠状の有機トランジスタ保護用隔壁部23とを有するものである。
Such a substrate with an organic transistor of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 10 is a schematic view showing an example of the substrate with an organic transistor of the present invention. Here, FIG. 10A is a schematic view showing an example of the substrate with an organic transistor of the present invention, and FIG. 10B is a cross-sectional view taken along line xx ′ in FIG. .
As illustrated in FIGS. 10A and 10B, the substrate 20 with an organic transistor of the present invention includes a substrate 21, a plurality of organic transistors 22 formed on the substrate 21, and the substrate 21. The organic transistor 22 includes a frame-shaped organic transistor protection partition wall 23 formed so as to surround the organic transistor 22 and having an opening.

本発明によれば、上記有機トランジスタが上記有機トランジスタ保護用隔壁部に囲われていることにより、本発明の有機トランジスタ付基板を用いて有機半導体素子を製造する際に、上記有機トランジスタ隔壁部の開口部は、本発明の有機トランジスタ付基板に対向して配置される基板によって塞がれることになる。このため、本発明の有機トランジスタ付基板を用いて製造した有機半導体素子においては、上記有機トランジスタが、他の化合物と接触すること等によって経時劣化してしまうことを防止できる。
このようなことから、本発明の有機トランジスタ付基板によれば性能の経時安定性に優れた有機半導体素子を製造することができる。
According to the present invention, since the organic transistor is surrounded by the organic transistor protective partition wall, when the organic semiconductor element is manufactured using the substrate with an organic transistor of the present invention, the organic transistor partition wall The opening is closed by a substrate disposed opposite to the substrate with an organic transistor of the present invention. For this reason, in the organic semiconductor element manufactured using the board | substrate with an organic transistor of this invention, it can prevent that the said organic transistor deteriorates with time by contacting with another compound.
Therefore, according to the substrate with an organic transistor of the present invention, an organic semiconductor element having excellent performance over time can be produced.

本発明の有機トランジスタ付基板を用いることにより、性能の経時安定性に優れた有機半導体素子を製造することができる理由についてより具体的に説明する。
本発明の有機トランジスタ付基板は、通常、基板と、上記基板上に形成された透明電極を有する対向基板と対向配置することによって、有機半導体素子を製造するために用いられるものである。
The reason why an organic semiconductor element having excellent performance stability over time can be produced by using the substrate with an organic transistor of the present invention will be described more specifically.
The substrate with an organic transistor of the present invention is usually used for producing an organic semiconductor element by disposing a substrate and a counter substrate having a transparent electrode formed on the substrate.

本発明の有機トランジスタ付基板を用いて有機半導体素子を製造する代表的な方法について図を参照しながら説明する。図11は本発明の有機トランジスタ付基板を用いて有機半導体素子を製造する方法の一例を示す概略図である。図11に例示するように、本発明の有機トランジスタ付基板を用いて有機半導体素子を作成する場合、本発明の有機トランジスタ付基板20、および、基板51と、上記基板51上に形成された透明電極52とを有する対向基板50を用い(図11(a))、上記有機トランジスタ付基板20が有する有機トランジスタ保護用隔壁部23の開口部が、上記透明基板50によって塞がれるように、上記有機トランジスタ付基板20と、上記透明基板50とを減圧雰囲気下において対向配置し、その後、大気圧雰囲気に戻すことにより有機半導体素子40Bを製造する方法が用いられる(図11(b))。
こうして製造された有機半導体素子40Bは、上記有機トランジスタ保護用隔壁部23の開口部の内側に、上記有機トランジスタ22が密封された状態となる。このため、本発明の有機トランジスタ付基板20を用いて製造した有機半導体素子40Bは、有機トランジスタ22に他の化合物が接触すること等によって、経時で性能が損なわれてしまうことを防止できる。
このようなことから、本発明の有機トランジスタ付基板によれば、性能の経時安定性に優れた有機半導体素子を製造することができる。
A typical method for producing an organic semiconductor element using the substrate with an organic transistor of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 11 is a schematic view showing an example of a method for producing an organic semiconductor element using the substrate with an organic transistor of the present invention. As illustrated in FIG. 11, when an organic semiconductor element is formed using the substrate with an organic transistor of the present invention, the substrate with an organic transistor 20 of the present invention, the substrate 51, and the transparent formed on the substrate 51. The counter substrate 50 having the electrode 52 is used (FIG. 11A), and the opening of the organic transistor protection partition wall 23 included in the organic transistor-attached substrate 20 is closed by the transparent substrate 50. A method of manufacturing the organic semiconductor element 40B by placing the organic transistor-equipped substrate 20 and the transparent substrate 50 facing each other in a reduced pressure atmosphere and then returning to the atmospheric pressure atmosphere is used (FIG. 11B).
The organic semiconductor element 40B thus manufactured is in a state where the organic transistor 22 is sealed inside the opening of the organic transistor protecting partition wall 23. For this reason, the organic semiconductor element 40B manufactured using the board | substrate 20 with an organic transistor of this invention can prevent that a performance deteriorates with time, when another compound contacts the organic transistor 22, etc.
For this reason, according to the substrate with an organic transistor of the present invention, it is possible to manufacture an organic semiconductor element having excellent performance stability over time.

本発明の有機トランジスタ付基板は、少なくとも基板、有機トランジスタ、および、有機トランジスタ保護用隔壁部を有するものであり、必要に応じて他の構成を有してもよいものである。
以下、本発明の有機トランジスタ付基板に用いられる各構成について詳細に説明する。
The board | substrate with an organic transistor of this invention has a board | substrate, an organic transistor, and the partition part for organic transistor protection at least, and may have another structure as needed.
Hereafter, each structure used for the board | substrate with an organic transistor of this invention is demonstrated in detail.

1.有機トランジスタ保護用隔壁部
まず、本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部について説明する。本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部は、後述する基板上に、有機トランジスタを囲うように形成されるものであり、開口部を有する枠状の形状を有するものである。また、本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部は、本発明の有機トランジスタ付基板を用いて製造された有機半導体素子において有機トランジスタが経時劣化することを防止する保護機能を有するものである。さらに、本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部は、本発明の有機トランジスタ付基板を用いて製造される有機半導体素子において、本発明の有機トランジスタ付基板に対向するように配置される基板との間隔を制御する機能を有するものである
以下、このような有機トランジスタ保護用隔壁部について詳細に説明する。
1. First, the organic transistor protecting partition used in the present invention will be described. The partition part for protecting an organic transistor used in the present invention is formed on a substrate described later so as to surround the organic transistor, and has a frame shape having an opening. Moreover, the partition part for organic transistor protection used for this invention has a protection function which prevents that an organic transistor deteriorates with time in the organic-semiconductor element manufactured using the board | substrate with an organic transistor of this invention. Furthermore, the organic transistor protecting partition used in the present invention is an organic semiconductor element manufactured using the substrate with an organic transistor of the present invention, and a substrate disposed so as to face the substrate with an organic transistor of the present invention. Hereinafter, such an organic transistor protection partition wall portion will be described in detail.

本発明の有機トランジスタ付基板において、有機トランジスタ保護用隔壁部が形成されている態様としては、後述する有機トランジスタの周囲を囲うように形成されている態様であれば特に限定されるものではない。このような形成態様としては、後述する有機トランジスタ毎に、個別に有機トランジスタ保護用隔壁部が形成されている態様であってもよく、または、複数の有機トランジスタ保護用隔壁部が一体となって形成されている態様であってもよい。   In the substrate with an organic transistor of the present invention, the aspect in which the organic transistor protective partition is formed is not particularly limited as long as it is formed so as to surround the organic transistor described later. As such a form of formation, an organic transistor protection partition wall may be formed individually for each organic transistor to be described later, or a plurality of organic transistor protection partition walls may be integrated. The aspect currently formed may be sufficient.

本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部が、複数の有機トランジスタ保護用隔壁部が一体となって形成されている態様の具体例としては、液晶材料の配列状態を規制するリブ等の他の部材の一部として形成されている態様を挙げることができる。   As a specific example of the aspect in which the organic transistor protection partition wall portion used in the present invention is formed integrally with a plurality of organic transistor protection partition wall portions, there are other ribs or the like that regulate the alignment state of the liquid crystal material. The aspect currently formed as a part of member can be mentioned.

また、本発明の有機トランジスタ付基板においては、後述する有機トランジスタのすべてが有機トランジスタ保護用隔壁部によって囲われていることが好ましい。したがって、本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部の個数は、本発明における有機トランジスタの数等に応じて、適宜決定すればよい。   In the substrate with an organic transistor of the present invention, it is preferable that all of the organic transistors described later are surrounded by an organic transistor protection partition wall. Therefore, the number of partition walls for protecting the organic transistor used in the present invention may be appropriately determined according to the number of organic transistors in the present invention.

また、本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部の高さは、後述する有機トランジスタの高さよりも高ければ特に限定されるものではない。また、上記有機トランジスタ保護用隔壁部の高さは、本発明の有機トランジスタ付基板を用いて製造される有機半導体素子において、上記有機半導体素子用基板と対向する基板との間隔に相当するものになる。このため、上記有機トランジスタ保護用隔壁部の高さは、上記後述する有機トランジスタの高さよりも高い範囲で、上記間隔として好ましい高さにすればよい。例えば、本発明の有機トランジスタ付基板を、強誘電性液晶を用いた液晶表示装置を作製するために用いる場合、上記高さは0.5μm〜2.5μmの範囲内であることが好ましく、特に1μm〜2μmの範囲内であることが好ましい。また、強誘電性液晶ではなく、他の液晶が用いられた液晶表示装置を作製するために用いる場合、上記高さは2μm〜10μmの範囲内であることが好ましく、なかでも5μm〜7μmの範囲内であることが好ましい。さらに、本発明の有機トランジスタ付基板を電子ペーパーを作製するために用いる場合、上記高さは10μm〜300μmの範囲内であることが好ましく、特に30μm〜100μmの範囲内であることが好ましい。   The height of the organic transistor protecting partition used in the present invention is not particularly limited as long as it is higher than the height of the organic transistor described later. Further, the height of the partition for protecting the organic transistor corresponds to the distance between the substrate for organic semiconductor element and the substrate facing the organic semiconductor element manufactured using the substrate with organic transistor of the present invention. Become. For this reason, the height of the organic transistor protecting partition wall may be set to a preferable height as the interval in a range higher than the height of the organic transistor described later. For example, when the substrate with an organic transistor of the present invention is used for producing a liquid crystal display device using a ferroelectric liquid crystal, the height is preferably in the range of 0.5 μm to 2.5 μm, particularly It is preferably in the range of 1 μm to 2 μm. In addition, when used for manufacturing a liquid crystal display device using other liquid crystals instead of ferroelectric liquid crystals, the height is preferably in the range of 2 μm to 10 μm, and more preferably in the range of 5 μm to 7 μm. It is preferable to be within. Furthermore, when using the board | substrate with an organic transistor of this invention in order to produce electronic paper, it is preferable that the said height exists in the range of 10 micrometers-300 micrometers, and it is especially preferable that it exists in the range of 30 micrometers-100 micrometers.

また、本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部の形状としては、本発明の有機半導体素子用基板を用いて有機半導体素子を作製する際に、有機トランジスタをその内側に納めることができる程度の開口部を有する枠状の形状であれば特に限定されるものではない。このような形状としては、上記「A.有機半導体素子用基板」の項において説明したものと同様であるため、ここでの説明は省略する。   In addition, the shape of the partition for protecting the organic transistor used in the present invention is such that when the organic semiconductor element is produced using the organic semiconductor element substrate of the present invention, the organic transistor can be accommodated inside the organic semiconductor element. It is not particularly limited as long as it has a frame shape having an opening. Such a shape is the same as that described in the above section “A. Substrate for Organic Semiconductor Element”, and thus the description thereof is omitted here.

本発明に用いられる有機トランジスタ保護用隔壁部の開口部の内側の面積は、後述する有機トランジスタを開口部内に収納できる程度の面積であれば特に限定されるものではない。   The area inside the opening of the partition part for protecting an organic transistor used in the present invention is not particularly limited as long as it can accommodate an organic transistor described later in the opening.

なお、本発明に用いられる有機トランジスタ保護用基板を形成する方法については、上記「A.有機半導体素子用基板」の項において説明した方法と同様であるため、ここでの説明は省略する。   The method for forming the organic transistor protective substrate used in the present invention is the same as the method described in the section “A. Substrate for organic semiconductor element”, and the description thereof is omitted here.

2.有機トランジスタ
次に、本発明に用いられる有機トランジスタについて説明する。本発明に用いられる有機トランジスタは、有機半導体材料が用いられたものである。
2. Next, the organic transistor used in the present invention will be described. The organic transistor used in the present invention uses an organic semiconductor material.

本発明に用いられる有機トランジスタについて図を参照しながら具体的に説明する。図12は本発明に用いられる有機トランジスタの一例を示す概略図である。図12に例示するように本発明に用いられる有機トランジスタ22は、通常、ゲート電極22Aと、上記ゲート電極22A上に形成されたゲート絶縁膜22Bと、上記ゲート絶縁膜22B上に形成され、有機半導体材料からなる有機半導体層22Cと、上記有機半導体層22C上に一定に間隔を空けて対向するように形成されたソース電極22Dおよびドレイン電極22Eとを有するものである。   The organic transistor used in the present invention will be specifically described with reference to the drawings. FIG. 12 is a schematic view showing an example of an organic transistor used in the present invention. As illustrated in FIG. 12, the organic transistor 22 used in the present invention is generally formed of a gate electrode 22A, a gate insulating film 22B formed on the gate electrode 22A, and the gate insulating film 22B. It has an organic semiconductor layer 22C made of a semiconductor material, and a source electrode 22D and a drain electrode 22E formed on the organic semiconductor layer 22C so as to face each other at a constant interval.

なお、上記図12においては、本発明に用いられる有機トランジスタとして、ボトムゲート・トップコンタクト構造を有する有機トランジスタの例を説明したが、本発明に用いられる有機トランジスタは、このような構造を有するものに限定されるものではない。したがって、本発明に用いられる有機トランジスタは、ボトムゲート・ボトムコンタクト構造、トップゲート・トップコンタクト構造、または、トップゲート・ボトムコンタクト構構造を有するものであってもよい。なかでも本発明においては、特に、ボトムゲート・トップコンタクト構造とボトムゲート・ボトムコンタクト構造が好ましい、
以下、このような有機トランジスタについて説明する。
In FIG. 12, an example of an organic transistor having a bottom gate / top contact structure has been described as the organic transistor used in the present invention. However, the organic transistor used in the present invention has such a structure. It is not limited to. Therefore, the organic transistor used in the present invention may have a bottom gate / bottom contact structure, a top gate / top contact structure, or a top gate / bottom contact structure. Among them, in the present invention, the bottom gate / top contact structure and the bottom gate / bottom contact structure are particularly preferable.
Hereinafter, such an organic transistor will be described.

(1)有機半導体層
まず、本発明に用いられる有機半導体層について説明する。本発明に用いられる有機半導体層は、有機半導体材料からなるものである。
(1) Organic Semiconductor Layer First, the organic semiconductor layer used in the present invention will be described. The organic semiconductor layer used in the present invention is made of an organic semiconductor material.

上記有機半導体材料としては、本発明の有機トランジスタ付基板を用いて製造される有機半導体素子の用途等に応じて、所望の半導体特性を備える有機半導体層を形成できる材料であれば特に限定されるものではない。このような有機半導体材料としては、例えば、π電子共役系の芳香族化合物、鎖式化合物、有機顔料、有機ケイ素化合物等を挙げることができる。より具体的には、ペンタセン等の低分子系有機半導体材料、および、ポリピロール、ポリ(N−置換ピロール)、ポリ(3−置換ピロール)、ポリ(3,4−二置換ピロール)等のポリピロール類、ポリチオフェン、ポリ(3−置換チオフェン)、ポリ(3,4−二置換チオフェン)、ポリベンゾチオフェン等のポリチオフェン類、ポリイソチアナフテン等のポリイソチアナフテン類、ポリチェニレンビニレン等のポリチェニレンビニレン類、ポリ(p−フェニレンビニレン)等のポリ(p−フェニレンビニレン)類、ポリアニリン、ポリ(N−置換アニリン)等のポリアニリン類、ポリアセチレン等のポリアセチレン類、ポリジアセチレン、ポリアズレン等のポリアズレン類等の高分子系有機半導体材料を挙げることができる。なかでも本発明においては、ペンタセンまたはポリチオフェン類を好適に用いることができる。   The organic semiconductor material is not particularly limited as long as it is a material capable of forming an organic semiconductor layer having desired semiconductor characteristics, depending on the use of an organic semiconductor element manufactured using the substrate with an organic transistor of the present invention. It is not a thing. Examples of such organic semiconductor materials include π-electron conjugated aromatic compounds, chain compounds, organic pigments, and organosilicon compounds. More specifically, low molecular organic semiconductor materials such as pentacene, and polypyrroles such as polypyrrole, poly (N-substituted pyrrole), poly (3-substituted pyrrole), and poly (3,4-disubstituted pyrrole). , Polythiophene, poly (3-substituted thiophene), poly (3,4-disubstituted thiophene), polythiophenes such as polybenzothiophene, polyisothianaphthenes such as polyisothianaphthene, and polychess such as polychenylene vinylene Nylene vinylenes, poly (p-phenylene vinylenes) such as poly (p-phenylene vinylene), polyanilines such as polyaniline and poly (N-substituted aniline), polyacetylenes such as polyacetylene, polyazulenes such as polydiacetylene and polyazulene High molecular organic semiconductor materials such as Of these, pentacene or polythiophenes can be preferably used in the present invention.

また、本発明に用いられる有機半導体層の厚みは、上記有機半導体材料の種類等に応じて所望の半導体特性を備える有機半導体層を発現できる範囲であれば特に限定されない。なかでも本発明においては、1000nm以下であることが好ましく、特に5nm〜300nmの範囲内であることが好ましく、さらに20nm〜100nmの範囲内であることが好ましい。   In addition, the thickness of the organic semiconductor layer used in the present invention is not particularly limited as long as the organic semiconductor layer having desired semiconductor characteristics can be developed according to the kind of the organic semiconductor material. In particular, in the present invention, the thickness is preferably 1000 nm or less, particularly preferably in the range of 5 nm to 300 nm, and more preferably in the range of 20 nm to 100 nm.

(2)ゲート絶縁層
次に、本発明に用いられるゲート絶縁層について説明する。本発明に用いられるゲート絶縁層は、絶縁性材料によって構成されるものである。
(2) Gate Insulating Layer Next, the gate insulating layer used in the present invention will be described. The gate insulating layer used in the present invention is made of an insulating material.

上記絶縁性材料としては、ゲート絶縁層に所望の絶縁性を付与することができるものであれば特に限定されるものではない。したがって、本発明に用いられる絶縁性材料としては、無機材料であってもよく、または、有機材料であってもよい。   The insulating material is not particularly limited as long as a desired insulating property can be imparted to the gate insulating layer. Therefore, the insulating material used in the present invention may be an inorganic material or an organic material.

このような絶縁性材料としては、例えば、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化チタン、ポリエチレン、ポリエステル、ポリイミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリパラキシレン、ポリアクリロニトリルおよび各種絶縁性LB膜等、Ta、ZrO、La、TiO、Y、CeOなどの酸化物、Siなどの窒化物、SiOなどの酸化窒化物、CaFなどのフッ化物、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)などや熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、UVなどによる光硬化性樹脂などの有機材料、および、PVP、PVA等を挙げることができる。 Examples of such insulating materials include silicon oxide, silicon nitride, aluminum oxide, aluminum nitride, titanium oxide, polyethylene, polyester, polyimide, polyphenylene sulfide, polyparaxylene, polyacrylonitrile, and various insulating LB films. Oxides such as 2 O 5 , ZrO 2 , La 2 O 3 , TiO 2 , Y 2 O 3 , CeO 2 , nitrides such as Si 2 N 3 , oxynitrides such as SiO x N y , fluorine such as CaF And organic materials such as a compound, diamond-like carbon (DLC), a thermosetting resin, a thermoplastic resin, a photo-curing resin by UV, and the like, and PVP, PVA, and the like.

本発明においては、このような絶縁性材料を単独で用いてもよく、または、2種類以上を併せて用いてもよい。   In the present invention, such an insulating material may be used alone, or two or more kinds may be used in combination.

本発明に用いられるゲート絶縁層の厚みとしては、ゲート絶縁層を構成する絶縁性材料の種類等に応じて、ゲート絶縁層に所望の絶縁性を付与できる範囲内であれば特に限定されるものではない。なかでも発明においては100μm以下であることが好ましく、特に0.1μm〜10μmの範囲内であることが好ましく、さらには0.3μm〜1μmの範囲内であることが好ましい。   The thickness of the gate insulating layer used in the present invention is particularly limited as long as it is within a range in which a desired insulating property can be imparted to the gate insulating layer, depending on the type of insulating material constituting the gate insulating layer. is not. In particular, in the invention, it is preferably 100 μm or less, particularly preferably in the range of 0.1 μm to 10 μm, and more preferably in the range of 0.3 μm to 1 μm.

(3)ソース電極およびドレイン電極
次に、本発明に用いられるソース電極およびドレイン電極について説明する。本発明に用いられるソース電極およびドレイン電極は、上記有機半導体層と接するように形成されるものである。
(3) Source and drain electrodes Next, the source and drain electrodes used in the present invention will be described. The source electrode and the drain electrode used in the present invention are formed so as to be in contact with the organic semiconductor layer.

本発明に用いられるソース電極およびドレイン電極は、通常、金属材料から構成されるものである。このような金属材料としては所望の導電性を有するものであれば特に限定されるものではなく、一般的にトランジスタの電極に用いられている金属材料を用いることができる。   The source electrode and drain electrode used in the present invention are usually composed of a metal material. Such a metal material is not particularly limited as long as it has desired conductivity, and a metal material generally used for an electrode of a transistor can be used.

本発明に用いられる上記金属材料としては、例えば、Au、ITO、白金、クロム、パラジウム、アルミニウム、インジウム、モリブデン、低抵抗ポリシリコン、低抵抗アモルファスシリコン等の金属や、錫酸化物、酸化インジウムおよびインジウム・錫酸化物(ITO)、Al、Cu、Cr等の金属、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、アルミニウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al)混合物、インジウム、リチウム/アルミニウム混合物、希土類等を挙げることができる。 Examples of the metal material used in the present invention include metals such as Au, ITO, platinum, chromium, palladium, aluminum, indium, molybdenum, low-resistance polysilicon, low-resistance amorphous silicon, tin oxide, indium oxide, and the like. Metals such as indium tin oxide (ITO), Al, Cu, Cr, sodium, sodium-potassium alloy, magnesium, lithium, aluminum, magnesium / copper mixture, magnesium / silver mixture, magnesium / aluminum mixture, magnesium / indium mixture , Aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) mixture, indium, lithium / aluminum mixture, rare earth, and the like.

なお、本発明に用いられるソース電極およびドレイン電極は、通常、同一の金属材料から構成される。   In addition, the source electrode and drain electrode used for this invention are normally comprised from the same metal material.

(4)ゲート電極
次に、本発明に用いられるゲート電極について説明する。本発明に用いられるゲート電極は、上記ゲート絶縁層上に形成されるものである。
ここで、本発明に用いられるゲート電極については一般的に有機トランジスタに用いられるものと同様であるため、ここでの詳しい説明は省略する。
(4) Gate electrode Next, the gate electrode used for this invention is demonstrated. The gate electrode used in the present invention is formed on the gate insulating layer.
Here, since the gate electrode used in the present invention is generally the same as that used in an organic transistor, a detailed description thereof is omitted here.

(5)その他
本発明に用いられる有機トランジスタは、上記ゲート絶縁層、有機半導体層、ソース電極、ドレイン電極、および、ゲート電極以外に他の構成を有するものであってもよい。このような他の構成としては、本発明の有機トランジスタ付基板を用いて製造される有機半導体素子の用途等に応じて任意の機能を有するものを用いることができる。なかでも上記他の構成として本発明に好適に用いられるものとしては、有機半導体層の経時劣化を防止するために、有機トランジスタの最表面に位置するように形成されるパッシベーション層を挙げることができる。このようなパッシベーション層としては、例えば、フッ素系樹脂、PVA、および、PVP等からなるものを用いることができる。
(5) Others The organic transistor used in the present invention may have other configurations in addition to the gate insulating layer, the organic semiconductor layer, the source electrode, the drain electrode, and the gate electrode. As such another structure, what has arbitrary functions according to the use etc. of the organic-semiconductor element manufactured using the board | substrate with an organic transistor of this invention can be used. Among them, as the above-described other configuration, a passivation layer formed so as to be positioned on the outermost surface of the organic transistor can be exemplified to prevent deterioration with time of the organic semiconductor layer. . As such a passivation layer, what consists of fluororesin, PVA, PVP, etc. can be used, for example.

3.基板
次に、本発明に用いられる基板について説明する。本発明に用いられる基板は上記有機トランジスタ、および、上記有機トランジスタ保護用隔壁部を支持するものである。
ここで、本発明に用いられる基板は、上記「A.有機半導体素子用基板」の項において説明したものと同様であるため、ここでの説明は省略する。
3. Substrate Next, the substrate used in the present invention will be described. The substrate used in the present invention supports the organic transistor and the organic transistor protecting partition wall.
Here, the substrate used in the present invention is the same as that described in the above section “A. Substrate for Organic Semiconductor Element”, and therefore the description thereof is omitted here.

4.その他の構成
本発明の有機トランジスタ付基板は、上記有機トランジスタ保護用隔壁部、有機トランジスタ、および、基板以外に他の構成を有するものであってもよい。このような他の構成としては特に限定されるものではなく、本発明の有機トランジスタ付基板を用いて製造される有機半導体素子の用途等に応じて任意の機能を備える構成を用いることができる。なかでも本発明に好適に用いられる上記他の構成としては、液晶材料に対して配向規制力を有する配向層、スペーサー部、および、上記有機トランジスタのドレイン電極に接続するように形成された画素電極を挙げることができる。
以下、このような配向層、スペーサー部、および、画素電極について順に説明する。
4). Other Configurations The substrate with an organic transistor of the present invention may have other configurations in addition to the organic transistor protecting partition wall, the organic transistor, and the substrate. Such other configuration is not particularly limited, and a configuration having an arbitrary function can be used according to the use of the organic semiconductor element manufactured using the substrate with an organic transistor of the present invention. Among these, the other configuration suitably used in the present invention includes an alignment layer having an alignment regulating force for the liquid crystal material, a spacer portion, and a pixel electrode formed so as to be connected to the drain electrode of the organic transistor. Can be mentioned.
Hereinafter, such an alignment layer, a spacer portion, and a pixel electrode will be described in order.

(1)配向層
まず、本発明に用いられる配向層について説明する。本発明に用いられる配向層は、液晶材料に対して配向規制力を有するものである。このような配向層が形成されていることにより、本発明の有機トランジスタ付基板を用いて製造される有機半導体素子を、液晶表示装置に好適に用いられるものにできる。
(1) Orientation layer First, the orientation layer used for this invention is demonstrated. The alignment layer used in the present invention has an alignment regulating force for the liquid crystal material. By forming such an alignment layer, the organic semiconductor element manufactured using the substrate with an organic transistor of the present invention can be suitably used for a liquid crystal display device.

本発明の有機トランジスタ付基板が上記配向層を有する場合について図を参照しながら説明する。図13は本発明の有機トランジスタ付基板が上記配向層を有する場合の一例を示す概略図である。図13に例示するように、本発明の有機トランジスタ付基板20’は、有機トランジスタ保護用隔壁部23、および、有機トランジスタ22上に液晶材料に対して配向規制力を有する配向層24が形成されたものであってもよい。   A case where the substrate with an organic transistor of the present invention has the alignment layer will be described with reference to the drawings. FIG. 13 is a schematic view showing an example in the case where the substrate with an organic transistor of the present invention has the alignment layer. As illustrated in FIG. 13, the organic transistor-attached substrate 20 ′ of the present invention includes an organic transistor protection partition wall 23 and an alignment layer 24 having an alignment regulating force with respect to the liquid crystal material on the organic transistor 22. It may be.

また、本発明の有機トランジスタ付基板において上記配向層が形成されている態様としては、本発明の有機トランジスタ付基板を用いて製造される有機半導体素子を液晶表示装置に用いた場合に、液晶材料の配向を規制できる態様であれば特に限定されるものではない。このような態様としては、例えば、上記図13に示したように、上記有機トランジスタおよび有機トランジスタ保護用隔壁部上に形成されている態様であってもよく、または、図14に示すように、基板21上であって、有機トランジスタ保護用隔壁部23の間に形成されている態様であってもよい。   In addition, as an aspect in which the alignment layer is formed in the substrate with an organic transistor of the present invention, a liquid crystal material is used when an organic semiconductor element manufactured using the substrate with an organic transistor of the present invention is used in a liquid crystal display device. There is no particular limitation as long as the orientation can be regulated. As such an embodiment, for example, as shown in FIG. 13, the organic transistor and the organic transistor protection partition wall may be formed on the organic transistor, or as shown in FIG. It may be formed on the substrate 21 and between the organic transistor protecting partition wall portions 23.

ここで、本発明に用いられる配向層については、上記「A.有機半導体素子用基板」の項において説明したものと同様であるため、ここでの説明は省略する。   Here, the alignment layer used in the present invention is the same as that described in the above section “A. Substrate for organic semiconductor element”, and thus the description thereof is omitted here.

(2)スペーサー部
次に、本発明に用いられるスペーサー部について説明する。本発明に用いられるスペーサー部は、本発明の有機トランジスタ付基板を用いて製造される有機半導体素子において、本発明の有機トランジスタ付基板と、当該有機トランジスタ付基板に対向するように配置される基板との間隔を均一に保持する機能を有するものである。
(2) Spacer part Next, the spacer part used for this invention is demonstrated. The spacer part used for this invention is a board | substrate arrange | positioned so as to oppose the board | substrate with an organic transistor of this invention, and the board | substrate with an organic transistor in the organic-semiconductor element manufactured using the board | substrate with an organic transistor of this invention. It has the function to hold | maintain the space | interval uniformly.

本発明の有機トランジスタ付基板に上記スペーサー部が形成されている場合について図を参照しながら説明する。図15は、本発明の有機トランジスタ付基板にスペーサー部が形成されている場合の一例を示す概略図である。ここで、図15(a)は、本発明の有機トランジスタ付基板にスペーサー部が形成されている場合の一例を示す概略図である。また、図15(b)は、上記図15(a)におけるy−y’線矢視断面図である。
図15(a)に例示するように本発明の有機トランジスタ付基板20’’は、上記基板21上にスペーサー部25が形成されているものであってもよい。
また、図22(b)に例示するように、本発明の有機トランジスタ付基板20’’にスペーサ部25が形成されている場合、上記スペーサー部25は、通常、有機トランジスタ保護用隔壁部23と同一の高さに形成される。
The case where the spacer portion is formed on the substrate with an organic transistor of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 15 is a schematic view showing an example in which a spacer portion is formed on the substrate with an organic transistor of the present invention. Here, FIG. 15A is a schematic diagram showing an example in which a spacer portion is formed on the substrate with an organic transistor of the present invention. FIG. 15B is a cross-sectional view taken along line yy ′ in FIG.
As illustrated in FIG. 15A, the organic transistor-attached substrate 20 ″ of the present invention may have a spacer portion 25 formed on the substrate 21.
Further, as illustrated in FIG. 22B, when the spacer portion 25 is formed on the organic transistor-attached substrate 20 ″ of the present invention, the spacer portion 25 is usually formed with the organic transistor protecting partition wall portion 23. They are formed at the same height.

ここで、本発明に用いられるスペーサー部については、上記「A.有機半導体素子用基板」の項において説明したものと同様であるため、ここでの説明は省略する。   Here, the spacer portion used in the present invention is the same as that described in the above section “A. Organic Semiconductor Element Substrate”, and therefore, the description thereof is omitted here.

(3)画素電極
次に、本発明に用いられる画素電極について説明する。本発明に用いられる画素電極は、本発明の有機トランジスタ付基板が備える各有機トランジスタのドレイン電極に接続されるように形成されるものである。
このような画素電極が形成されていることにより、本発明の有機トランジスタ付基板を用いて製造した有機半導体素子を、ディスプレイ装置に好適に用いられるものにできる。
(3) Pixel Electrode Next, the pixel electrode used in the present invention will be described. The pixel electrode used in the present invention is formed so as to be connected to the drain electrode of each organic transistor included in the substrate with an organic transistor of the present invention.
By forming such a pixel electrode, the organic semiconductor element manufactured using the substrate with an organic transistor of the present invention can be suitably used for a display device.

本発明に用いられる画素電極としては、一般的に液晶表示装置用の画素電極として用いられているものを用いることができる。なかでも本発明においては、酸化インジウム、酸化錫、酸化インジウム錫(ITO)からなる画素電極が好適に用いられる。   As the pixel electrode used in the present invention, those generally used as a pixel electrode for a liquid crystal display device can be used. In particular, in the present invention, a pixel electrode made of indium oxide, tin oxide, or indium tin oxide (ITO) is preferably used.

5.有機トランジスタ付基板の製造方法
次に、本発明の有機トランジスタ付基板の製造方法について説明する。本発明の有機トランジスタ付基板の製造方法としては、上記構成を有する有機トランジスタ付基板を製造できる方法であれば特に限定されるものではない。このような製造方法としては、例えば、上記基板を用い、上記基板上に有機トランジスタを形成する有機トランジスタ形成工程と、上記有機トランジスタを囲うように、上記有機トランジスタ保護用隔壁部を形成する有機トランジスタ保護用隔壁部形成工程とからなる方法を例示することができる。
5. Next, a method for manufacturing a substrate with an organic transistor according to the present invention will be described. The method for producing a substrate with an organic transistor of the present invention is not particularly limited as long as it is a method capable of producing a substrate with an organic transistor having the above-described configuration. As such a manufacturing method, for example, an organic transistor forming step for forming an organic transistor on the substrate using the substrate, and an organic transistor for forming the organic transistor protection partition wall so as to surround the organic transistor A method comprising a protective partition wall forming step can be exemplified.

上記有機トランジスタ形成工程において、有機トランジスタを形成する方法としては、所望の構造を有する有機トランジスタを形成できる方法であれば特に限定されるものではない。このような方法としては、一般的に有機トランジスタを形成する方法として、公知の方法を用いることができる。   In the organic transistor forming step, the method for forming the organic transistor is not particularly limited as long as it is a method capable of forming an organic transistor having a desired structure. As such a method, a generally known method can be used as a method for forming an organic transistor.

また、上記有機トランジスタ保護用隔壁部形成工程において、上記有機トランジスタ保護用隔壁部を形成する方法としては、上記有機トランジスタを囲うように有機トランジスタ保護用隔壁部を形成できる方法であれば特に限定されるものではない。このような方法としては、上記「A.有機半導体素子用基板」の項において説明した方法と同様の方法を用いることができるため、ここでの説明は省略する。   Further, in the organic transistor protection partition wall forming step, the method for forming the organic transistor protection partition wall is not particularly limited as long as it can form the organic transistor protection partition wall so as to surround the organic transistor. It is not something. As such a method, a method similar to the method described in the above section “A. Organic Semiconductor Device Substrate” can be used, and thus the description thereof is omitted here.

C.有機半導体素子
次に、本発明の有機半導体素子について説明する。本発明の有機半導体素子は、上記本発明に係る有機半導体素子用基板が用いられた態様(第1態様)と、上記本発明に係る有機トランジスタ付基板が用いられた態様(第2態様)とに分けることができる。したがって、以下、各態様に分けて本発明の有機半導体素子について説明する。
C. Organic Semiconductor Element Next, the organic semiconductor element of the present invention will be described. The organic semiconductor element of the present invention includes an aspect (first aspect) in which the substrate for an organic semiconductor element according to the present invention is used, and an aspect (second aspect) in which the substrate with an organic transistor according to the present invention is used. Can be divided into Therefore, hereinafter, the organic semiconductor element of the present invention will be described separately for each embodiment.

C−1.第1態様の有機半導体素子
まず、本発明の第1態様の有機半導体素子について説明する。本態様の有機半導体素子は、上記本発明に係る有機半導体素子用基板が用いられたものである。すなわち、本態様の有機半導体素子は、上記本発明に係る有機半導体素子用基板、および、基板と、上記基板上に形成された有機トランジスタと、を有するトランジスタ側基板を有する有機半導体素子であって、上記有機トランジスタ保護用隔壁部の開口部内に上記有機トランジスタが収まるように、上記有機半導体素子用基板と、上記トランジスタ側基板とが対向配置されていることを特徴とするものである。
C-1. First, the organic semiconductor element according to the first aspect of the present invention will be described. The organic semiconductor element of this embodiment is one in which the organic semiconductor element substrate according to the present invention is used. That is, the organic semiconductor element of this aspect is an organic semiconductor element having a transistor-side substrate having the substrate for an organic semiconductor element according to the present invention, and a substrate and an organic transistor formed on the substrate. The organic semiconductor element substrate and the transistor side substrate are arranged to face each other so that the organic transistor is accommodated in the opening of the organic transistor protection partition wall.

このような本態様の有機半導体素子について図を参照しながら説明する。図16は本態様の有機半導体素子の一例を示す概略図である。図16に例示するように本態様の有機半導体素子40Aは、上記本発明に係る有機半導体素子用基板10、および、基板31と、上記基板上31に形成された有機トランジスタ32と、を有するトランジスタ側基板30が用いられており、上記有機半導体素子用基板10が有する有機トランジスタ保護用隔壁部3の開口部内に、上記トランジスタ側基板30が有する有機トランジスタ32が収まるように、上記有機半導体素子用基板10と上記トランジスタ側基板30とが対向配置されていることを特徴とするものである。   Such an organic semiconductor element of this embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 16 is a schematic view showing an example of the organic semiconductor element of this embodiment. As illustrated in FIG. 16, the organic semiconductor element 40 </ b> A of this embodiment includes a substrate 10 for an organic semiconductor element according to the present invention, a substrate 31, and an organic transistor 32 formed on the substrate 31. The side substrate 30 is used, and the organic transistor 32 for the organic semiconductor element is arranged so that the organic transistor 32 included in the transistor side substrate 30 is accommodated in the opening of the partition 3 for protecting the organic transistor included in the substrate 10 for organic semiconductor element. The substrate 10 and the transistor side substrate 30 are arranged to face each other.

本態様によれば、上記有機トランジスタが上記有機トランジスタ保護用隔壁部の開口部内に収まるように、上記有機半導体素子用基板と上記トランジスタ側基板とが対向配置されていることにより、上記有機トランジスタが他の化合物と接触すること等によって経時劣化してしまうことを防止できる。このため、本態様によれば性能の経時安定性に優れた有機半導体素子を得ることができる。   According to this aspect, the organic transistor is placed in the opening of the organic transistor protection partition wall so that the organic semiconductor element substrate and the transistor side substrate are opposed to each other. It is possible to prevent deterioration with time due to contact with other compounds. For this reason, according to this aspect, an organic semiconductor element excellent in performance stability over time can be obtained.

本態様の有機半導体素子は、少なくとも有機半導体素子用基板、および、トランジスタ側基板を有するものであり、必要に応じて他の構成を有してもよいものである。
以下、本態様の有機半導体素子に用いられる各構成について順に説明する。
The organic semiconductor element of this embodiment has at least a substrate for an organic semiconductor element and a transistor side substrate, and may have other configurations as necessary.
Hereinafter, each structure used for the organic semiconductor element of this aspect is demonstrated in order.

1.有機半導体素子用基板
まず、本態様に用いられる有機半導体素子用基板について説明する。本態様に用いられる有機半導体素子用基板は、上記本発明の有機半導体素子用基板である。したがって、本態様に用いられる有機半導体素子用基板については、上記「A.有機半導体素子用基板」の項において説明したものと同様であるため、ここでの説明は省略する。
1. First, an organic semiconductor element substrate used in this embodiment will be described. The substrate for an organic semiconductor element used in this embodiment is the organic semiconductor element substrate of the present invention. Accordingly, the organic semiconductor element substrate used in this embodiment is the same as that described in the above section “A. Organic Semiconductor Element Substrate”, and the description thereof is omitted here.

2.トランジスタ側基板
次に、本態様に用いられるトランジスタ側基板について説明する。本態様に用いられるトランジスタ側基板は、基板と、上記基板上に形成された複数の有機トランジスタとを有するものである。
2. Next, the transistor side substrate used in this embodiment will be described. The transistor side substrate used in this embodiment has a substrate and a plurality of organic transistors formed on the substrate.

ここで、上記基板および上記有機トランジスタについては、上記「B.有機トランジスタ付基板」の項において説明したものと同様であるため、ここでの説明は省略する。   Here, the substrate and the organic transistor are the same as those described in the section “B. Substrate with Organic Transistor”, and thus the description thereof is omitted here.

また、本態様に用いられるトランジスタ側基板は、上記基板および有機トランジスタ以外の他の構成を有するものであってもよい。このような他の構成としては、本態様の有機半導体素子の用途等に応じて、所望の機能を有する構成を用いることができる。なかでも本態様の有機半導体素子に好適に用いられる他の構成としては、例えば、上記有機トランジスタを構成するドレイン電極に接続するように形成された画素電極、および、液晶材料に対する配向規制力を有する配向層を挙げることができる。
なお、上記画素電極および配向層については、上記「B.有機トランジスタ付基板」の項において説明したものと同様であるため、ここでの説明は省略する。
Moreover, the transistor side substrate used in this embodiment may have a configuration other than the above substrate and the organic transistor. As such another structure, the structure which has a desired function can be used according to the use etc. of the organic-semiconductor element of this aspect. In particular, other configurations suitably used for the organic semiconductor element of the present embodiment include, for example, a pixel electrode formed so as to be connected to the drain electrode that constitutes the organic transistor, and an alignment regulating force for the liquid crystal material An alignment layer can be mentioned.
Note that the pixel electrode and the alignment layer are the same as those described in the section “B. Substrate with Organic Transistor”, and thus the description thereof is omitted here.

3.有機半導体素子
本態様の有機半導体素子は、上記有機半導体素子用基板、および、上記トランジスタ側基板以外の他の構成を有するものであってもよい。このような他の構成としては特に限定されるものではなく、本態様の有機半導体素子の用途等に応じて、任意の機能を有するものを用いることができる。
3. Organic Semiconductor Element The organic semiconductor element of this embodiment may have a configuration other than the organic semiconductor element substrate and the transistor side substrate. Such other configurations are not particularly limited, and those having an arbitrary function can be used depending on the use of the organic semiconductor element of this embodiment.

本態様の有機半導体素子は、上記有機トランジスタ保護用隔壁部の内側が減圧されていることが好ましい。上記有機トランジスタ保護用隔壁部の内側が減圧されていることにより、上記有機トランジスタが空気中の酸素や水分に曝露されることによって経時劣化することを防止できるからである。   In the organic semiconductor element of this aspect, it is preferable that the inside of the organic transistor protecting partition wall is decompressed. This is because when the inside of the organic transistor protecting partition wall is decompressed, the organic transistor can be prevented from being deteriorated with time due to exposure to oxygen or moisture in the air.

本態様において上記有機トランジスタ保護用隔壁部の内側が減圧されている場合、その減圧の程度は0.00001Torr〜100Torrの範囲内であることが好ましく、特に0.001Torr〜50Torrの範囲内であることが好ましく、さらには0.05Torr〜10Torrの範囲内であることが好ましい。上記減圧の程度がこのような範囲内であることにより、本態様の有機半導体素子を、より性能の経時安定性に優れたものにできるからである。   In this embodiment, when the inside of the organic transistor protecting partition wall is depressurized, the degree of depressurization is preferably within a range of 0.00001 Torr to 100 Torr, and particularly within a range of 0.001 Torr to 50 Torr. Is more preferable, and it is preferable to be within the range of 0.05 Torr to 10 Torr. This is because, when the degree of decompression is within such a range, the organic semiconductor element of this embodiment can be made more excellent in stability over time of performance.

なお、上記有機トランジスタ保護用隔壁部内の気圧は、通常、本態様の有機半導体素子を製造する工程において、上記有機半導体素子用基板と、上記トランジスタ側基板とを貼り合わせる際の気圧となる。したがって、上記有機トランジスタ保護用隔壁部内の気圧を上記範囲内にするには、本態様の有機半導体素子を製造する工程において、上記有機半導体素子用基板と、上記トランジスタ側基板とを貼り合わせる際の気圧を上記範囲内とすればよい。
また、逆に本態様の有機半導体素子を製造する工程において、上記有機半導体素子用基板と、上記トランジスタ側基板とを減圧下で貼り合わせた場合は、上記有機トランジスタ保護用隔壁部内が減圧されることになる。
In addition, the atmospheric pressure in the organic transistor protecting partition wall is normally the atmospheric pressure when the organic semiconductor element substrate and the transistor side substrate are bonded together in the process of manufacturing the organic semiconductor element of this aspect. Therefore, in order to bring the atmospheric pressure in the organic transistor protection partition wall into the above range, in the step of manufacturing the organic semiconductor element of this embodiment, the organic semiconductor element substrate and the transistor side substrate are bonded together. The atmospheric pressure may be within the above range.
Conversely, in the step of manufacturing the organic semiconductor element of this embodiment, when the organic semiconductor element substrate and the transistor side substrate are bonded together under reduced pressure, the inside of the organic transistor protection partition wall is decompressed. It will be.

4.有機半導体素子の用途
本態様の有機半導体素子は、例えば、上記有機半導体素子用基板と、上記トランジスタ側基板との間に液晶材料を充填することにより、液晶表示素子として用いることができる。
また、本態様の有機半導体素子は、液晶表示素子以外に、マイクロカプセル型電気泳動ディスプレイ、ツイストボール型電子ペーパー、電子粉流体型電子ペーパー、インプレーン型電気泳動ディスプレイ、着色溶液型電気泳動ディスプレイ、粒子移動型電子ペーパーなどの電気泳動型ディスプレイ等に用いることができる。
4). Use of Organic Semiconductor Element The organic semiconductor element of this embodiment can be used as a liquid crystal display element by, for example, filling a liquid crystal material between the organic semiconductor element substrate and the transistor side substrate.
In addition to the liquid crystal display element, the organic semiconductor element of this embodiment includes a microcapsule type electrophoretic display, a twist ball type electronic paper, an electronic powder fluid type electronic paper, an in-plane type electrophoretic display, a colored solution type electrophoretic display, It can be used for electrophoretic displays such as particle transfer electronic paper.

5.有機半導体素子の製造方法
本態様の有機半導体素子は、上記有機半導体素子用基板と、上記トランジスタ側基板とを貼り合わせることによって製造することができる。また、上記有機半導体素子用基板と、上記トランジスタ側基板とを減圧下で張り合わせることにより、上記有機トランジスタ保護用隔壁部内が減圧された有機半導体素子を製造することができる。ここで、上記有機半導体素子用基板と、上記トランジスタ側基板とを貼り合わせる方法としては、一般的に公知の方法を用いることができるため、ここでの詳しい説明は省略する。
5. Manufacturing method of organic semiconductor element The organic semiconductor element of this aspect can be manufactured by bonding the substrate for an organic semiconductor element and the transistor-side substrate. Moreover, the organic semiconductor element by which the inside of the said organic-transistor protection partition part was pressure-reduced can be manufactured by bonding together the said board | substrate for organic-semiconductor elements, and the said transistor side board | substrate under pressure reduction. Here, as a method for bonding the organic semiconductor element substrate and the transistor side substrate, generally known methods can be used, and therefore detailed description thereof is omitted.

C−2.第2態様の有機半導体素子
次に、本発明の第2態様の有機半導体素子について説明する。本態様の有機半導体素子は、上記本発明に係る有機トランジスタ付基板が用いられたものである。すなわち、本態様の有機半導体素子は、上記本発明に係る有機トランジスタ付基板、および、基板と、上記基板上に形成された透明電極とを有する対向基板を有する有機半導体素子であって、上記対向基板によって上記有機トランジスタ保護用隔壁部の開口部が塞がれるように、上記有機トランジスタ付基板と、対向基板とが対向配置されていることを特徴とするものである。
C-2. Next, the organic semiconductor element according to the second aspect of the present invention will be described. The organic semiconductor element of this embodiment uses the substrate with an organic transistor according to the present invention. That is, the organic semiconductor element of this embodiment is an organic semiconductor element having a substrate with an organic transistor according to the present invention, and a counter substrate having a substrate and a transparent electrode formed on the substrate. The substrate with an organic transistor and the counter substrate are arranged to face each other so that the opening of the partition for protecting the organic transistor is closed by the substrate.

このような本態様の有機半導体素子について図を参照しながら説明する。図17は本態様の有機半導体素子の一例を示す概略図である。図17に例示するように、本態様の有機半導体素子40Bは、上記本発明に係る有機トランジスタ付基板20、および、基板51と、上記基板51上に形成された透明電極52とを有する対向基板50が用いられたものであって、上記対向基板50によって、上記有機トランジスタ付基板20が有する有機トランジスタ保護用隔壁部23の開口部が塞がれるように、上記有機トランジスタ付基板20と、対向基板50とが対向配置されているものである。   Such an organic semiconductor element of this embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 17 is a schematic view showing an example of the organic semiconductor element of this embodiment. As illustrated in FIG. 17, the organic semiconductor element 40 </ b> B of this aspect includes a counter substrate having the substrate 20 with an organic transistor according to the present invention, a substrate 51, and a transparent electrode 52 formed on the substrate 51. 50, and the counter substrate 50 is opposed to the organic transistor-coated substrate 20 so that the opening of the organic transistor protecting partition wall 23 of the organic transistor-coated substrate 20 is closed. The substrate 50 is disposed opposite to the substrate 50.

本発明によれば、上記対向基板によって上記有機トランジスタ保護用隔壁部の開口部が塞がれるように、上記有機トランジスタ付基板と、対向基板とが対向配置されていることにより、上記有機トランジスタが他の化合物と接触すること等によって経時劣化してしまうことを防止できる。このため、本発明によれば性能の経時安定性に優れた有機半導体素子を得ることができる。   According to the present invention, the organic transistor includes the organic transistor protection substrate and the opposing substrate so that the opening of the partition for protecting the organic transistor is closed by the opposing substrate. It is possible to prevent deterioration with time due to contact with other compounds. For this reason, according to this invention, the organic-semiconductor element excellent in the temporal stability of performance can be obtained.

本態様の有機半導体素子は、少なくとも上記有機トランジスタ付基板、および、対向基板を有するものであり、必要に応じて他の構成を有してもよいものである。
以下、本態様の液晶表示装置に用いられる各構成について順に説明する。
The organic semiconductor element of this embodiment has at least the above-mentioned substrate with an organic transistor and a counter substrate, and may have other configurations as necessary.
Hereafter, each structure used for the liquid crystal display device of this aspect is demonstrated in order.

1.有機トランジスタ付基板
まず、本態様に用いられる有機トランジスタ付基板について説明する。本態様に用いられる有機トランジスタ付基板は、上記本発明の有機トランジスタ付基板である。したがって、本態様に用いられる有機トランジスタ付基板については、上記「B.有機トランジスタ付基板」の項において説明したものと同様であるため、ここでの説明は省略する。
1. First, the substrate with an organic transistor used in this embodiment will be described. The substrate with an organic transistor used in this embodiment is the substrate with an organic transistor of the present invention. Therefore, the substrate with an organic transistor used in this embodiment is the same as that described in the section “B. Substrate with an organic transistor”, and the description thereof is omitted here.

2.対向基板
次に、本態様に用いられる対向基板について説明する。本態様に用いられる対向基板は基板と、上記基板上に形成された透明電極とを有するものである。
ここで、上記対向基板に用いられる上記基板および透明電極については、上記「A.有機半導体素子用基板」の項において説明したものと同様であるため、ここでの説明は省略する。
2. Next, the counter substrate used in this embodiment will be described. The counter substrate used in this embodiment has a substrate and a transparent electrode formed on the substrate.
Here, the substrate and the transparent electrode used for the counter substrate are the same as those described in the section of “A. Substrate for organic semiconductor element”, and thus the description thereof is omitted here.

本態様に用いられる対向基板は、上記基板、透明電極および透明電極以外に他の構成を有するものであってもよい。このような他の構成としては、本態様の有機半導体素子の用途等に応じて、所望の機能を有する構成を用いることができる。なかでも上記対向基板に好適に用いられる他の構成としては、上記基板と上記透明電極との間に形成され、複数の着色層を備えるカラーフィルター層を挙げることができる。このようなカラーフィルター層が形成されていることにより、本態様の有機半導体素子をカラーフィルター方式による液晶表示素子に好適に用いられるものにできる。   The counter substrate used in this embodiment may have other configurations besides the substrate, the transparent electrode, and the transparent electrode. As such another structure, the structure which has a desired function can be used according to the use etc. of the organic-semiconductor element of this aspect. In particular, as another configuration suitably used for the counter substrate, a color filter layer formed between the substrate and the transparent electrode and including a plurality of colored layers can be exemplified. By forming such a color filter layer, the organic semiconductor element of this embodiment can be suitably used for a liquid crystal display element by a color filter method.

なお、本態様に用いられる上記カラーフィルター層としては、上記「A.有機半導体素子用基板」の項において説明したものと同様であるため、ここでの説明は省略する。   The color filter layer used in this embodiment is the same as that described in the section “A. Substrate for organic semiconductor element”, and the description thereof is omitted here.

3.有機半導体素子
本態様の有機半導体素子は、上記有機トランジスタ付基板、および、上記対向基板以外の他の構成を有するものであってもよい。このような他の構成としては特に限定されるものではなく、本態様の有機半導体素子の用途等に応じて、任意の機能を有するものを用いることができる。
3. Organic Semiconductor Element The organic semiconductor element of this embodiment may have a configuration other than the substrate with an organic transistor and the counter substrate. Such other configurations are not particularly limited, and those having an arbitrary function can be used depending on the use of the organic semiconductor element of this embodiment.

本態様の有機半導体素子は、上記有機トランジスタ保護用隔壁部の内側が減圧されていることが好ましい。上記有機トランジスタ保護用隔壁部の内側が減圧されていることにより、上記有機トランジスタが空気中の酸素や水分に曝露されることによって経時劣化することを防止できるからである。   In the organic semiconductor element of this aspect, it is preferable that the inside of the organic transistor protecting partition wall is decompressed. This is because when the inside of the organic transistor protecting partition wall is decompressed, the organic transistor can be prevented from being deteriorated with time due to exposure to oxygen or moisture in the air.

本態様において、上記有機トランジスタ保護用隔壁部の内側が減圧されている場合、その減圧の程度は0.00001Torr〜100Torrの範囲内であることが好ましく、特に0.001Torr〜50Torrの範囲内であることが好ましく、さらには0.05Torr〜10Torrの範囲内であることが好ましい。上記減圧の程度がこのような範囲内であることにより、本態様の有機半導体素子を、より性能の経時安定性に優れたものにできるからである。   In this embodiment, when the inside of the organic transistor protecting partition wall is depressurized, the degree of depressurization is preferably in the range of 0.00001 Torr to 100 Torr, and particularly in the range of 0.001 Torr to 50 Torr. It is preferable that it is in the range of 0.05 Torr to 10 Torr. This is because, when the degree of decompression is within such a range, the organic semiconductor element of this embodiment can be made more excellent in stability over time of performance.

なお、上記有機トランジスタ保護用隔壁部内の気圧は、通常、本態様の有機半導体素子を製造する工程において、上記有機トランジスタ付基板と、上記対向基板とを貼り合わせる際の気圧となる。したがって、上記有機トランジスタ保護用隔壁部内の気圧を上記範囲内にするには、本態様の有機半導体素子を製造する工程において、上記有機トランジスタ付基板と、上記対向基板とを貼り合わせる際の気圧を上記範囲内とすればよい。
また、逆に本態様の有機半導体素子を製造する工程において、上記有機トランジスタ付基板と、上記対向基板とを減圧下で張り合わせた場合は、上記有機トランジスタ保護用隔壁部内が減圧されることになる。
Note that the atmospheric pressure in the organic transistor protecting partition wall is normally the atmospheric pressure when the organic transistor-attached substrate and the counter substrate are bonded together in the step of manufacturing the organic semiconductor element of this aspect. Therefore, in order to bring the atmospheric pressure in the partition for protecting the organic transistor into the above range, in the step of manufacturing the organic semiconductor element of this aspect, the atmospheric pressure when the substrate with the organic transistor and the counter substrate are bonded together is set. It may be within the above range.
Conversely, in the process of manufacturing the organic semiconductor element of this embodiment, when the organic transistor-attached substrate and the counter substrate are bonded together under reduced pressure, the inside of the organic transistor protection partition wall is decompressed. .

4.有機半導体素子の用途
本態様の有機半導体素子は、例えば、上記有機トランジスタ付基板と、上記対向基板との間に液晶材料を充填することにより液層表示素子として用いることができる。また、本態様の有機半導体素子は、液晶表示素子以外に、マイクロカプセル型電気泳動ディスプレイ、ツイストボール型電子ペーパー、電子粉流体型電子ペーパー、インプレーン型電気泳動ディスプレイ、着色溶液型電気泳動ディスプレイ、粒子移動型電子ペーパーなどの電気泳動型ディスプレイ等に用いることができる。
4). Use of Organic Semiconductor Element The organic semiconductor element of this embodiment can be used as a liquid layer display element by filling a liquid crystal material between the substrate with an organic transistor and the counter substrate, for example. In addition to the liquid crystal display element, the organic semiconductor element of this embodiment includes a microcapsule type electrophoretic display, a twist ball type electronic paper, an electronic powder fluid type electronic paper, an in-plane type electrophoretic display, a colored solution type electrophoretic display, It can be used for electrophoretic displays such as particle transfer electronic paper.

5.有機半導体素子の製造方法
本態様の有機半導体素子は、上記有機トランジスタ付基板と、上記対向基板とを貼り合わせることによって製造することができる。また、上記有機トランジスタ付基板と、上記対向基板とを減圧下で張り合わせることにより、上記有機トランジスタ保護用隔壁部内が減圧された有機半導体素子を製造することができる。ここで、上記有機トランジスタ付基板と、上記対向基板とを貼り合わせる方法としては、一般的に公知の方法を用いることができるため、ここでの詳しい説明は省略する。
5. Manufacturing method of organic-semiconductor element The organic-semiconductor element of this aspect can be manufactured by bonding together the said board | substrate with an organic transistor, and the said opposing board | substrate. Moreover, the organic-semiconductor element by which the inside of the said organic-transistor protection partition part was pressure-reduced can be manufactured by bonding together the said board | substrate with an organic transistor, and the said opposing board | substrate under pressure reduction. Here, since a generally known method can be used as a method for bonding the substrate with an organic transistor and the counter substrate, detailed description thereof is omitted here.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。   The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.

以下、実施例を示すことにより、本発明をより具体的に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically by showing examples.

1.実施例
(1)有機トランジスタ付基板の作製
(ゲート電極形成工程)
まず、大きさ150mm×150mm×0.7mmのガラス基板表面に、ゲート電極形状の開口部を有するメタルマスクを配置した後、膜厚10nmのクロム膜を形成した。次いで、200nmのアルミニウム膜を蒸着し、ゲート電極を形成した。蒸着の際の真空度は、1×10Paとし、蒸着速度は約1Å/secとした。
1. Example (1) Production of a substrate with an organic transistor (step of forming a gate electrode)
First, a metal mask having a gate electrode-shaped opening was placed on the surface of a glass substrate having a size of 150 mm × 150 mm × 0.7 mm, and then a chromium film having a thickness of 10 nm was formed. Next, a 200 nm aluminum film was deposited to form a gate electrode. The degree of vacuum at the time of vapor deposition was 1 × 10 4 Pa, and the vapor deposition rate was about 1 kg / sec.

(ゲート絶縁層形成工程)
次に、上記基板にゲート絶縁層としてフォトレジスト(アクリル系ネガレジスト)をスピンコートした。このときのスピンコートは、800rpmで10sec保持させた。その後、基板を80℃で3分乾燥させた後、350mJ/cmでパターン露光した。次いで、ゲート電極以外の部分を除去するために現像工程を行い、その後、200℃のオーブンで30分乾燥させた。
(Gate insulation layer formation process)
Next, a photoresist (acrylic negative resist) was spin-coated on the substrate as a gate insulating layer. The spin coating at this time was held at 800 rpm for 10 seconds. Thereafter, the substrate was dried at 80 ° C. for 3 minutes and then subjected to pattern exposure at 350 mJ / cm 2 . Next, a development step was performed to remove portions other than the gate electrode, and then the substrate was dried in an oven at 200 ° C. for 30 minutes.

(配向層形成工程)
上記基板上に光二量化反応型の光配向膜材料(商品名:ROP-102、ロリックテクノロジー社製)の2質量%シクロペンタノン溶液をスピンコートし、130℃で10分間乾燥した後、直線紫外線偏光を約100mJ/cm照射し、配向処理を行った。
(Alignment layer formation process)
A 2% by mass cyclopentanone solution of a photo-dimerization reaction type photo-alignment film material (trade name: ROP-102, manufactured by Roric Technology) is spin-coated on the substrate, dried at 130 ° C. for 10 minutes, and then subjected to linear ultraviolet radiation. The alignment treatment was performed by irradiating polarized light of about 100 mJ / cm 2 .

(ソース・ドレイン電極形成工程)
次にゲート絶縁層形成後の基板表面に、ソース・ドレイン電極形状の開口部を有するメタルマスクを配置した後、膜厚50nmのAu膜を蒸着し、ソース・ドレイン電極を形成した。このとき、蒸着の際の真空度は1×10Paとし、蒸着速度は約1Å/secとした。形成されたソース電極およびドレイン電極を反射型光学顕微鏡にて観察したところ、ソース電極とドレイン電極との電極間距離(チャネル長)は50μmであった。
(Source / drain electrode formation process)
Next, a metal mask having source / drain electrode-shaped openings was disposed on the surface of the substrate after forming the gate insulating layer, and then an Au film having a thickness of 50 nm was deposited to form source / drain electrodes. At this time, the degree of vacuum at the time of vapor deposition was 1 × 10 4 Pa, and the vapor deposition rate was about 1 kg / sec. When the formed source electrode and drain electrode were observed with a reflection optical microscope, the distance between the source electrode and the drain electrode (channel length) was 50 μm.

(有機トランジスタ保護用隔壁部作製工程)
有機トランジスタが形成された基板上に透明レジスト(商品名:NN780、JSR社製)をスピンコートして、減圧乾燥し、90℃で3分間プリベークを行った。
次いで、100mJ/cmの紫外線でマスク露光し、無機アルカリ溶液で現像を行い、230℃で30分間ポストベークを行った。
これにより、有機TFT部を取り囲む高さ1.5μmの有機トランジスタ保護用隔壁部を形成した。
(Organic transistor protection partition wall manufacturing process)
A transparent resist (trade name: NN780, manufactured by JSR) was spin-coated on the substrate on which the organic transistor was formed, dried under reduced pressure, and pre-baked at 90 ° C. for 3 minutes.
Subsequently, it exposed to a mask with 100 mJ / cm 2 ultraviolet rays, developed with an inorganic alkali solution, and post-baked at 230 ° C. for 30 minutes.
Thus, an organic transistor protection partition wall portion having a height of 1.5 μm surrounding the organic TFT portion was formed.

(有機半導体層形成工程)
上記ソース電極およびドレイン電極が形成された側の基板の全面に膜厚50nmのチオフェン系有機半導体からなる有機半導体層を蒸着した。
以上の工程により、有機トランジスタを有する有機トランジスタ付基板を作製した。
(Organic semiconductor layer formation process)
An organic semiconductor layer made of a thiophene-based organic semiconductor having a thickness of 50 nm was deposited on the entire surface of the substrate on which the source electrode and the drain electrode were formed.
Through the above steps, a substrate with an organic transistor having an organic transistor was produced.

作製した有機トランジスタ付基板の有機トランジスタのトランジスタ特性を測定した結果、トランジスタとして駆動していることが分かった。このとき、有機トランジスタのON電流は1×10−4A、OFF電流は1×10−11Aであった。測定条件はゲート電圧を100V〜−80Vまで−2V刻みで印加した。
次いで、ソース・ドレイン電圧を−80Vと固定し、ソース・ドレイン間に流れる電流値を測定した。また、トランジスタ評価においてはいずれの場合においても大気中で測定を行った。
As a result of measuring the transistor characteristics of the organic transistor of the produced substrate with an organic transistor, it was found that it was driven as a transistor. At this time, the ON current of the organic transistor was 1 × 10 −4 A, and the OFF current was 1 × 10 −11 A. The measurement conditions were that the gate voltage was applied in increments of -2V from 100V to -80V.
Next, the source-drain voltage was fixed at −80 V, and the current value flowing between the source and drain was measured. In any transistor evaluation, measurement was performed in the air in any case.

(2)対向基板の作製
共通電極としてITO電極が形成されたガラス基板をよく洗浄し、このガラス基板上に光二量化反応型の光配向膜材料(商品名:ROP-103、ロリックテクノロジー社製)の2質量%シクロペンタノン溶液をスピンコートし、130℃で10分間乾燥した後、直線紫外線偏光を約100mJ/cm照射し、配向処理を行った。
(2) Production of counter substrate A glass substrate on which an ITO electrode is formed as a common electrode is thoroughly washed, and a photodimerization reaction type photo-alignment film material (trade name: ROP-103, manufactured by Roric Technology) on this glass substrate A 2 mass% cyclopentanone solution was spin-coated, dried at 130 ° C. for 10 minutes, and then irradiated with about 100 mJ / cm 2 of linear ultraviolet light for alignment treatment.

(3)液晶表示素子(有機半導体素子)の作製
対向基板の周縁部に紫外線硬化型シール材を塗布し、有機TFTを形成したガラス基板との関係が、上記の偏光紫外線照射方向と平行かつアンチパラレルの状態となるように両基板を対向させ圧力をかけながらシール剤を光硬化させた。
(3) Production of liquid crystal display element (organic semiconductor element) The relationship with the glass substrate on which the organic TFT has been formed by applying an ultraviolet curable sealing material to the peripheral edge of the counter substrate is parallel to the polarized ultraviolet irradiation direction and anti The sealing agent was photocured while applying pressure while facing both substrates so as to be in a parallel state.

次いで、両ガラス基板のセルギャップ内に液晶を注入するための注入口を一端に設け、この注入口の上部に、液晶物質(AZエレクトロニックマテリアルズ社製 R2301)を付着し、真空チャンバー内が10Torrになるように排気を行った状態で、ネマチック相−等方転移温度より10〜20℃高い温度でセルギャップ内に注入した。注入後、液晶物質を徐冷して常温に戻した。   Next, an inlet for injecting liquid crystal into the cell gap of both glass substrates is provided at one end, and a liquid crystal material (R2301 manufactured by AZ Electronic Materials) is attached to the upper part of the inlet, and the inside of the vacuum chamber is 10 Torr. In a state where exhaust was performed, the cell gap was injected at a temperature 10 to 20 ° C. higher than the nematic phase-isotropic transition temperature. After the injection, the liquid crystal material was gradually cooled to room temperature.

(4)評価
有機トランジスタは液晶を注入した後も破壊されておらず、有機トランジスタのトランジスタ特性を測定した結果、トランジスタとして駆動していることが分かった。このとき、有機トランジスタのON電流は1×10−4A、OFF電流は1×10−11Aで変化が無かった。測定条件はゲート電圧を100V〜−80Vまで−2V刻みで印加し、次いで、ソース・ドレイン電圧を−80Vと固定し、ソース・ドレイン間に流れる電流値を測定した。また、トランジスタ評価においてはいずれの場合においても大気中で測定を行った。
また、このトランジスタ特性の経時変化を作製直後、1日後、3日後、7日後、2週間後、1ヶ月後と評価したところ、ON電流およびOFF電流ともに低下は見られなかった。
(4) Evaluation The organic transistor was not destroyed even after the liquid crystal was injected, and as a result of measuring the transistor characteristics of the organic transistor, it was found that it was driven as a transistor. At this time, the ON current of the organic transistor was 1 × 10 −4 A and the OFF current was 1 × 10 −11 A, and there was no change. The measurement conditions were that the gate voltage was applied from 100 V to -80 V in increments of -2 V, then the source-drain voltage was fixed at -80 V, and the current value flowing between the source and drain was measured. In any transistor evaluation, measurement was performed in the air in any case.
Further, when the change in the transistor characteristics with time was evaluated as immediately after production, 1 day, 3 days, 7 days, 2 weeks, and 1 month, no decrease was observed in both ON current and OFF current.

2.比較例1
(1)有機トランジスタ付基板の作製
有機トランジスタ保護用隔壁部作製工程を実施しなかったこと以外は、実施例と同様の方法により有機トランジスタを有する有機トランジスタ付基板を作製した。
2. Comparative Example 1
(1) Production of substrate with organic transistor A substrate with an organic transistor having an organic transistor was produced in the same manner as in Example, except that the organic transistor protection partition wall production step was not performed.

作製した有機トランジスタ付基板の有機トランジスタのトランジスタ特性を測定した結果、トランジスタとして駆動していることが分かった。このとき、有機トランジスタのON電流は1×10−4A、OFF電流は1×10−11Aであった。測定条件はゲート電圧を100V〜−80Vまで−2V刻みで印加し、次いで、ソース・ドレイン電圧を−80Vと固定し、ソース・ドレイン間に流れる電流値を測定した。また、トランジスタ評価においてはいずれの場合においても大気中で測定を行った。 As a result of measuring the transistor characteristics of the organic transistor of the produced substrate with an organic transistor, it was found that it was driven as a transistor. At this time, the ON current of the organic transistor was 1 × 10 −4 A, and the OFF current was 1 × 10 −11 A. The measurement conditions were that the gate voltage was applied from 100 V to -80 V in increments of -2 V, then the source-drain voltage was fixed at -80 V, and the current value flowing between the source and drain was measured. In any transistor evaluation, measurement was performed in the air in any case.

(2)対向基板の作製
共通電極としてITO電極が形成されたガラス基板をよく洗浄し、このガラス基板上に光二量化反応型の光配向膜材料(商品名:ROP-103、ロリックテクノロジー社製)の2質量%シクロペンタノン溶液をスピンコートし、130℃で10分間乾燥した後、直線紫外線偏光を約100mJ/cm照射し、配向処理を行った。次に1.5μのビーズスペーサーをスピンコーターにて散布した。
(2) Production of counter substrate A glass substrate on which an ITO electrode is formed as a common electrode is thoroughly washed, and a photodimerization reaction type photo-alignment film material (trade name: ROP-103, manufactured by Roric Technology) on this glass substrate A 2 mass% cyclopentanone solution was spin-coated, dried at 130 ° C. for 10 minutes, and then irradiated with about 100 mJ / cm 2 of linear ultraviolet light for alignment treatment. Next, 1.5 μm bead spacers were dispersed with a spin coater.

(3)液晶表示素子(有機半導体素子)の作製
対向基板の周縁部に紫外線硬化型シール材を塗布し、有機TFTを形成したガラス基板との関係が、上記の偏光紫外線照射方向と平行かつアンチパラレルの状態となるように両基板を対向させ圧力をかけながらシール剤を光硬化させた。次いで、両ガラス基板のセルギャップ内に液晶を注入するための注入口を一端に設け、この注入口の上部に、液晶物質(AZエレクトロニックマテリアルズ社製 R2301)を付着し、真空チャンバー内が10Torrになるように排気を行った状態で、ネマチック相−等方転移温度より10〜20℃高い温度でセルギャップ内に注入した。注入後、液晶物質を徐冷して常温に戻した。
(3) Production of liquid crystal display element (organic semiconductor element) The relationship with the glass substrate on which the organic TFT has been formed by applying an ultraviolet curable sealing material to the peripheral edge of the counter substrate is parallel to the polarized ultraviolet irradiation direction and anti The sealing agent was photocured while applying pressure while facing both substrates so as to be in a parallel state. Next, an inlet for injecting liquid crystal into the cell gap of both glass substrates is provided at one end, and a liquid crystal material (R2301 made by AZ Electronic Materials) is attached to the upper part of the inlet, and the inside of the vacuum chamber is 10 Torr. In a state where exhaust was performed, the cell gap was injected at a temperature 10 to 20 ° C. higher than the nematic phase-isotropic transition temperature. After the injection, the liquid crystal material was gradually cooled to room temperature.

(4)評価
有機トランジスタは液晶を注入した後、液晶により破壊されており、トランジスタとして駆動していないことが分かった。
(4) Evaluation After injecting the liquid crystal, the organic transistor was destroyed by the liquid crystal and was found not to be driven as a transistor.

3.比較例2
(1)有機トランジスタ付基板の作製
有機トランジスタ保護用隔壁部作製工程を実施せず、かつ有機半導体層形成工程後に以下のパッシベーション層形成工程を行ったこと以外は、実施例と同様の方法により有機トランジスタを有する有機トランジスタ付基板を作製した。
3. Comparative Example 2
(1) Preparation of substrate with organic transistor Organic substrate was formed by the same method as in Example, except that the organic transistor protective partition wall manufacturing step was not performed and the following passivation layer forming step was performed after the organic semiconductor layer forming step. A substrate with an organic transistor having a transistor was manufactured.

(パッシベーション層形成工程)
パッシベーション層の形成は、エタノール溶媒で15質量%に希釈したPVP溶液を有機半導体層形成後の基板にスピンコートすることにより行った。このとき、スピンコートは2000rpm、15sec保持で行った。その後、基板を100℃のホットプレートで30min乾燥させた。
(Passivation layer formation process)
The passivation layer was formed by spin-coating a PVP solution diluted to 15% by mass with an ethanol solvent onto the substrate after forming the organic semiconductor layer. At this time, spin coating was performed at 2000 rpm for 15 seconds. Thereafter, the substrate was dried on a hot plate at 100 ° C. for 30 minutes.

作製した有機半導体素子の有機トランジスタのトランジスタ特性を測定した結果、トランジスタとして駆動していることが分かった。このとき、有機トランジスタのON電流は1×10−5A、OFF電流は1×10−11Aであった。測定条件はゲート電圧を100V〜−80Vまで−2V刻みで印加し、次いで、ソース・ドレイン電圧を−80Vと固定し、ソース・ドレイン間に流れる電流値を測定した。また、トランジスタ評価においてはいずれの場合においても大気中で測定を行った。 As a result of measuring the transistor characteristics of the organic transistor of the produced organic semiconductor element, it was found that the transistor was driven as a transistor. At this time, the ON current of the organic transistor was 1 × 10 −5 A, and the OFF current was 1 × 10 −11 A. The measurement conditions were that the gate voltage was applied from 100 V to -80 V in increments of -2 V, then the source-drain voltage was fixed at -80 V, and the current value flowing between the source and drain was measured. In any transistor evaluation, measurement was performed in the air in any case.

(2)対向基板の作製
共通電極としてITO電極が形成されたガラス基板をよく洗浄し、このガラス基板上に光二量化反応型の光配向膜材料(商品名:ROP-103、ロリックテクノロジー社製)の2質量%シクロペンタノン溶液をスピンコートし、130℃で10分間乾燥した後、直線紫外線偏光を約100mJ/cm照射し、配向処理を行った。次に1.5μのビーズスペーサーをスピンコーターにて散布した。
(2) Production of counter substrate A glass substrate on which an ITO electrode is formed as a common electrode is thoroughly washed, and a photodimerization reaction type photo-alignment film material (trade name: ROP-103, manufactured by Roric Technology) on this glass substrate A 2 mass% cyclopentanone solution was spin-coated, dried at 130 ° C. for 10 minutes, and then irradiated with about 100 mJ / cm 2 of linear ultraviolet light for alignment treatment. Next, 1.5 μm bead spacers were dispersed with a spin coater.

(3)液晶表示素子(有機半導体素子)の作製
対向基板の周縁部に紫外線硬化型シール材を塗布し、有機TFTを形成したガラス基板との関係が、上記の偏光紫外線照射方向と平行かつアンチパラレルの状態となるように両基板を対向させ圧力をかけながらシール剤を光硬化させた。
次いで、両ガラス基板のセルギャップ内に液晶を注入するための注入口を一端に設け、この注入口の上部に、液晶物質(AZエレクトロニックマテリアルズ社製 R2301)を付着し、真空チャンバー内が10Torrになるように排気を行った状態で、ネマチック相−等方転移温度より10〜20℃高い温度でセルギャップ内に注入した。注入後、液晶物質を徐冷して常温に戻した。
(3) Production of liquid crystal display element (organic semiconductor element) The relationship with the glass substrate on which the organic TFT has been formed by applying an ultraviolet curable sealing material to the peripheral edge of the counter substrate is parallel to the polarized ultraviolet irradiation direction and anti The sealing agent was photocured while applying pressure while facing both substrates so as to be in a parallel state.
Next, an inlet for injecting liquid crystal into the cell gap of both glass substrates is provided at one end, and a liquid crystal material (R2301 made by AZ Electronic Materials) is attached to the upper part of the inlet, and the inside of the vacuum chamber is 10 Torr. In a state where exhaust was performed, the cell gap was injected at a temperature 10 to 20 ° C. higher than the nematic phase-isotropic transition temperature. After the injection, the liquid crystal material was gradually cooled to room temperature.

(4)評価
有機トランジスタは液晶を注入した後、特性を評価したところ、トランジスタとして駆動していないことが分かった。
(4) Evaluation When the characteristics of the organic transistor were evaluated after injecting the liquid crystal, it was found that the organic transistor was not driven as a transistor.

4.実施例2
(1)有機半導体素子用基板の作製
透明電極としてITO電極が形成されたガラス基板をよく洗浄し、このガラス基板上に透明レジスト(商品名:NN780、JSR社製)をスピンコートして、減圧乾燥し、90℃で3分間プリベークを行った。
次いで、100mJ/cmの紫外線でマスク露光し、無機アルカリ溶液で現像を行い、230℃で30分間ポストベークを行った。これにより、有機トランジスタを取り囲む高さ1.5μmの有機トランジスタ保護用隔壁部を形成した。
4). Example 2
(1) Production of substrate for organic semiconductor element A glass substrate on which an ITO electrode is formed as a transparent electrode is thoroughly washed, and a transparent resist (trade name: NN780, manufactured by JSR) is spin-coated on the glass substrate to reduce the pressure. It dried and prebaked at 90 degreeC for 3 minute (s).
Subsequently, it exposed to a mask with 100 mJ / cm 2 ultraviolet rays, developed with an inorganic alkali solution, and post-baked at 230 ° C. for 30 minutes. Thus, an organic transistor protection partition wall having a height of 1.5 μm surrounding the organic transistor was formed.

上記有機トランジスタ保護用隔壁部を形成したガラス基板上に、光二量化反応型の光配向膜材料(商品名:ROP-103、ロリックテクノロジー社製)の2質量%シクロペンタノン溶液をスピンコートし、130℃で10分間乾燥した後、直線偏光紫外線を約100mJ/cm照射し、配向処理を行った。 A 2% by mass cyclopentanone solution of a photodimerization reaction type photo-alignment film material (trade name: ROP-103, manufactured by Roric Technology) was spin-coated on the glass substrate on which the organic transistor protecting partition wall was formed, After drying at 130 ° C. for 10 minutes, alignment treatment was performed by irradiation with about 100 mJ / cm 2 of linearly polarized ultraviolet rays.

(2)トランジスタ側基板の作製
(ゲート電極形成工程)
まず、大きさ150mm×150mm×0.7mmのガラス基板表面に、ゲート電極形状の開口部を有するメタルマスクを配置した後、膜厚10nmのクロム膜を形成した。次いで、200nmのアルミニウム膜を蒸着し、ゲート電極を形成した。蒸着の際の真空度は、1×10Paとし、蒸着速度は約1Å/secとした。
(2) Fabrication of transistor side substrate (gate electrode forming step)
First, a metal mask having a gate electrode-shaped opening was placed on the surface of a glass substrate having a size of 150 mm × 150 mm × 0.7 mm, and then a chromium film having a thickness of 10 nm was formed. Next, a 200 nm aluminum film was deposited to form a gate electrode. The degree of vacuum at the time of vapor deposition was 1 × 10 4 Pa, and the vapor deposition rate was about 1 kg / sec.

(ゲート絶縁層形成工程)
次に、上記基板にゲート絶縁層としてフォトレジスト(アクリル系ネガレジスト)をスピンコートした。このときのスピンコートは、800rpmで10sec保持させた。その後、基板を80℃で3分乾燥させた後、350mJ/cmでパターン露光した。次いで、ゲート電極以外の部分を除去するために現像工程を行い、その後、200℃のオーブンで30分乾燥させた。
(Gate insulation layer formation process)
Next, a photoresist (acrylic negative resist) was spin-coated on the substrate as a gate insulating layer. The spin coating at this time was held at 800 rpm for 10 seconds. Thereafter, the substrate was dried at 80 ° C. for 3 minutes and then subjected to pattern exposure at 350 mJ / cm 2 . Next, a development step was performed to remove portions other than the gate electrode, and then the substrate was dried in an oven at 200 ° C. for 30 minutes.

(配向層形成工程)
上記基板上に光二量化反応型の光配向膜材料(商品名:ROP-102、ロリックテクノロジー社製)の2質量%シクロペンタノン溶液をスピンコートし、130℃で10分間乾燥した後、直線紫外線偏光を約100mJ/cm照射し、配向処理を行った。
(Alignment layer formation process)
A 2% by mass cyclopentanone solution of a photo-dimerization reaction type photo-alignment film material (trade name: ROP-102, manufactured by Roric Technology) is spin-coated on the substrate, dried at 130 ° C. for 10 minutes, and then subjected to linear ultraviolet radiation. The alignment treatment was performed by irradiating polarized light of about 100 mJ / cm 2 .

(ソース・ドレイン電極形成工程)
次にゲート絶縁層形成後の基板表面に、ソース・ドレイン電極形状の開口部を有するメタルマスクを配置した後、膜厚50nmのAu膜を蒸着し、ソース・ドレイン電極を形成した。このとき、蒸着の際の真空度は1×10Paとし、蒸着速度は約1Å/secとした。形成されたソース電極およびドレイン電極を反射型光学顕微鏡にて観察したところ、ソース電極とドレイン電極との電極間距離(チャネル長)は50μmであった。
(Source / drain electrode formation process)
Next, a metal mask having source / drain electrode-shaped openings was disposed on the surface of the substrate after forming the gate insulating layer, and then an Au film having a thickness of 50 nm was deposited to form source / drain electrodes. At this time, the degree of vacuum at the time of vapor deposition was 1 × 10 4 Pa, and the vapor deposition rate was about 1 kg / sec. When the formed source electrode and drain electrode were observed with a reflection optical microscope, the distance between the source electrode and the drain electrode (channel length) was 50 μm.

(有機半導体層形成工程)
上記ソース電極およびドレイン電極が形成された側の基板の全面に膜厚50nmのチオフェン系有機半導体からなる有機半導体層を蒸着した。
(Organic semiconductor layer formation process)
An organic semiconductor layer made of a thiophene-based organic semiconductor having a thickness of 50 nm was deposited on the entire surface of the substrate on which the source electrode and the drain electrode were formed.

作製したトランジスタ側基板の有機トランジスタのトランジスタ特性を測定した結果、トランジスタとして駆動していることが分かった。このとき、有機トランジスタのON電流は1×10−4A、OFF電流は1×10−11Aであった。測定条件はゲート電圧を100V〜−80Vまで−2V刻みで印加した。ソース・ドレイン電圧を−80Vと固定し、ソース・ドレイン間に流れる電流値を測定した。また、トランジスタ評価においてはいずれの場合においても大気中で測定を行った。 As a result of measuring the transistor characteristics of the organic transistor of the manufactured transistor side substrate, it was found that the transistor was driven as a transistor. At this time, the ON current of the organic transistor was 1 × 10 −4 A, and the OFF current was 1 × 10 −11 A. The measurement conditions were that the gate voltage was applied in increments of -2V from 100V to -80V. The source / drain voltage was fixed at −80 V, and the value of the current flowing between the source and drain was measured. In any transistor evaluation, measurement was performed in the air in any case.

(3)液晶表示素子(有機半導体素子)の作製
上記有機半導体素子用基板の周縁部に紫外線硬化型シール材を塗布し、トランジスタ側基板との関係が、上記の偏光紫外線照射方向と平行かつアンチパラレルの状態となるように両基板を対向させ圧力をかけながらシール剤を光硬化させた。次いで、両基板のセルギャップ内に液晶を注入するための注入口を一端に設け、この注入口の上部に、液晶物質(AZエレクトロニックマテリアルズ社製 R2301)を付着し、真空チャンバー内が10Torrになるように排気を行った状態で、ネマチック相−等方転移温度より10〜20℃高い温度でセルギャップ内に注入した。注入後、液晶物質を徐冷して常温に戻した。
(3) Production of liquid crystal display element (organic semiconductor element) An ultraviolet curable sealant is applied to the peripheral portion of the organic semiconductor element substrate, and the relationship with the transistor side substrate is parallel to the polarized ultraviolet irradiation direction and anti-polarized. The sealing agent was photocured while applying pressure while facing both substrates so as to be in a parallel state. Next, an inlet for injecting liquid crystal into the cell gap of both substrates is provided at one end, and a liquid crystal material (R2301 manufactured by AZ Electronic Materials) is attached to the upper part of the inlet, and the inside of the vacuum chamber is 10 Torr. In a state where exhaust was performed, the gas was injected into the cell gap at a temperature 10 to 20 ° C. higher than the nematic phase-isotropic transition temperature. After the injection, the liquid crystal material was gradually cooled to room temperature.

(4)評価
有機トランジスタは液晶を注入した後も破壊されておらず、有機トランジスタのトランジスタ特性を測定した結果、トランジスタとして駆動していることが分かった。このとき、有機トランジスタのON電流は1×10−4A、OFF電流は1×10−11Aで変化が無かった。測定条件はゲート電圧を100V〜−80Vまで−2V刻みで印加し、次いで、ソース・ドレイン電圧を−80Vと固定し、ソース・ドレイン間に流れる電流値を測定した。また、トランジスタ評価においてはいずれの場合においても大気中で測定を行った。
(4) Evaluation The organic transistor was not destroyed even after the liquid crystal was injected, and as a result of measuring the transistor characteristics of the organic transistor, it was found that it was driven as a transistor. At this time, the ON current of the organic transistor was 1 × 10 −4 A and the OFF current was 1 × 10 −11 A, and there was no change. The measurement conditions were that the gate voltage was applied from 100 V to -80 V in increments of -2 V, then the source-drain voltage was fixed at -80 V, and the current value flowing between the source and drain was measured. In any transistor evaluation, measurement was performed in the air in any case.

5.比較例3
(1)液晶表示素子(有機半導体素子)の作製
以下の方法で作製した有機半導体素子用基板を用いたこと以外は、実施例2と同様の方法により、液晶表示素子(有機半導体素子)を作製した。
5. Comparative Example 3
(1) Production of liquid crystal display element (organic semiconductor element) A liquid crystal display element (organic semiconductor element) was produced in the same manner as in Example 2 except that the substrate for organic semiconductor element produced by the following method was used. did.

(有機半導体素子用基板の作製方法)
透明電極としてITO電極が形成されたガラス基板をよく洗浄し、このガラス基板上に直径1.5μのビーズスペーサーを塗布した。
(Method for producing substrate for organic semiconductor element)
A glass substrate on which an ITO electrode was formed as a transparent electrode was thoroughly washed, and a bead spacer having a diameter of 1.5 μm was applied on the glass substrate.

次に、上記ビーズスペーサーを塗布したガラス基板上に、光二量化反応型の光配向膜材料(商品名:ROP-103、ロリックテクノロジー社製)の2質量%シクロペンタノン溶液をスピンコートし、130℃で10分間乾燥した後、直線偏光紫外線を約100mJ/cm照射し、配向処理を行った。 Next, a 2% by mass cyclopentanone solution of a photodimerization reaction type photo-alignment film material (trade name: ROP-103, manufactured by Rorlic Technology Co., Ltd.) is spin-coated on the glass substrate coated with the bead spacer, and 130 After drying at 10 ° C. for 10 minutes, alignment treatment was performed by irradiating with linearly polarized ultraviolet rays at about 100 mJ / cm 2 .

(2)評価
有機トランジスタは液晶を注入した後に破壊されており、有機トランジスタのトランジスタ特性を測定した結果、トランジスタとして駆動していないことが分かった。
(2) Evaluation The organic transistor was destroyed after injecting the liquid crystal, and as a result of measuring the transistor characteristics of the organic transistor, it was found that it was not driven as a transistor.

本発明の有機半導体素子用基板の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the board | substrate for organic-semiconductor elements of this invention. 本発明の有機半導体素子用基板の作用効果を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the effect of the board | substrate for organic-semiconductor elements of this invention. 本発明の有機半導体素子用基板の作用効果を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the effect of the board | substrate for organic-semiconductor elements of this invention. 本発明の有機半導体素子用基板の他の例を示す概略図である。It is the schematic which shows the other example of the board | substrate for organic-semiconductor elements of this invention. 本発明の有機半導体素子用基板の他の例を示す概略図である。It is the schematic which shows the other example of the board | substrate for organic-semiconductor elements of this invention. 本発明の有機半導体素子用基板の他の例を示す概略図である。It is the schematic which shows the other example of the board | substrate for organic-semiconductor elements of this invention. 本発明の有機半導体素子用基板の他の例を示す概略図である。It is the schematic which shows the other example of the board | substrate for organic-semiconductor elements of this invention. 本発明の有機半導体素子用基板の他の例を示す概略図である。It is the schematic which shows the other example of the board | substrate for organic-semiconductor elements of this invention. 本発明の有機半導体素子用基板の他の例を示す概略図である。It is the schematic which shows the other example of the board | substrate for organic-semiconductor elements of this invention. 本発明の有機トランジスタ付基板の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the board | substrate with an organic transistor of this invention. 本発明の有機トランジスタ付基板の作用効果を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the effect of the board | substrate with an organic transistor of this invention. 本発明の有機トランジスタ付基板に用いられる有機トランジスタの一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the organic transistor used for the board | substrate with an organic transistor of this invention. 本発明の有機トランジスタ付基板の他の例を示す概略図である。It is the schematic which shows the other example of the board | substrate with an organic transistor of this invention. 本発明の有機トランジスタ付基板の他の例を示す概略図である。It is the schematic which shows the other example of the board | substrate with an organic transistor of this invention. 本発明の有機トランジスタ付基板の他の例を示す概略図である。It is the schematic which shows the other example of the board | substrate with an organic transistor of this invention. 本発明の第1態様の有機半導体素子の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the organic-semiconductor element of the 1st aspect of this invention. 本発明の第2態様の有機半導体素子の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the organic-semiconductor element of the 2nd aspect of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1、21、31、51 … 基板
2、52 … 透明電極
3、23 … 有機トランジスタ保護用隔壁部
4 … カラーフィルター層
4a、4a’、4a’’、4a’’’ … 着色層
4b … オーバーコート層
4c … 遮光部
5、24 … 配向層
6、25… スペーサー部
10、10’、10’’、10’’’ … 有機半導体素子用基板
20、20’、20’’ … 有機トランジスタ付基板
22、32 … 有機トランジスタ
22A … ゲート電極
22B … ゲート絶縁膜
22C … 半導体層
22D … ソース電極
22E … ドレイン電極
30 … トランジスタ側基板
40A、40B … 有機半導体素子
41 … 液晶材料
1, 2, 31, 51 ... Substrate 2, 52 ... Transparent electrode 3, 23 ... Organic transistor protecting partition 4 ... Color filter layer 4a, 4a ', 4a'',4a''' ... Colored layer 4b ... Overcoat Layer 4c ... Light-shielding part 5, 24 ... Orientation layer 6, 25 ... Spacer part 10, 10 ′, 10 ″, 10 ′ ″... Organic semiconductor element substrate 20, 20 ′, 20 ″. 32 ... Organic transistor 22A ... Gate electrode 22B ... Gate insulating film 22C ... Semiconductor layer 22D ... Source electrode 22E ... Drain electrode 30 ... Transistor side substrate 40A, 40B ... Organic semiconductor element 41 ... Liquid crystal material

Claims (5)

基板と、前記基板上に形成された透明電極と、前記透明電極上に形成され、開口部を有する枠状の有機トランジスタ保護用隔壁部とを有することを特徴とする、有機半導体素子用基板。   A substrate for an organic semiconductor element, comprising: a substrate; a transparent electrode formed on the substrate; and a frame-shaped organic transistor protective partition wall formed on the transparent electrode and having an opening. 請求項1に記載の有機半導体素子用基板、および、基板と、前記基板上に形成された有機トランジスタと、を有するトランジスタ側基板を有する有機半導体素子であって、
前記有機トランジスタ保護用隔壁部の開口部内に前記有機トランジスタが収まるように、前記有機半導体素子用基板と、前記トランジスタ側基板とが対向配置されていることを特徴とする、有機半導体素子。
An organic semiconductor element having a transistor-side substrate comprising the substrate for an organic semiconductor element according to claim 1 and a substrate and an organic transistor formed on the substrate,
The organic semiconductor element, wherein the organic semiconductor element substrate and the transistor side substrate are arranged to face each other so that the organic transistor is accommodated in an opening of the organic transistor protecting partition wall.
基板と、前記基板上に形成された複数の有機トランジスタと、前記基板上に前記有機トランジスタを囲うように形成され、開口部を有する枠状の有機トランジスタ保護用隔壁部とを有することを特徴とする、有機トランジスタ付基板。   A substrate, a plurality of organic transistors formed on the substrate, and a frame-shaped organic transistor protection partition wall formed on the substrate so as to surround the organic transistor and having an opening. A substrate with an organic transistor. 請求項3に記載の有機トランジスタ付基板、および、基板と、前記基板上に形成された透明電極とを有する対向基板を有する有機半導体素子であって、
前記対向基板によって前記有機トランジスタ保護用隔壁部の開口部が塞がれるように、前記有機トランジスタ付基板と、対向基板とが対向配置されていることを特徴とする、有機半導体素子。
An organic semiconductor element having a substrate with an organic transistor according to claim 3 and a counter substrate having a substrate and a transparent electrode formed on the substrate,
The organic semiconductor element, wherein the substrate with an organic transistor and the counter substrate are arranged to face each other so that the opening of the partition for protecting the organic transistor is closed by the counter substrate.
前記有機トランジスタ保護用隔壁部の内側が減圧されていることを特徴とする、請求項2または請求項4に記載の有機半導体素子。   5. The organic semiconductor element according to claim 2, wherein the inside of the organic transistor protecting partition wall is depressurized. 6.
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