JP2008076383A5

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Publication number: JP2008076383A5
Application number: JP2007199482A
Authority: JP
Filing date: 2007-07-31
Publication date: 2012-04-19
Anticipated expiration: 2027-07-31

Claims

欠陥検出方法であって、
オブジェクトの第１の画像のテスト済み画素に対応するオブジェクトの第２の画像の第２の画素を検索するステップを備え、
前記第１の画像および第２の画像は、異なる取得方法を使用して得られたものであり、
さらに、
前記第２の画素の隣接部分が第３の画素の隣接部分に類似するような前記第２の画像の前記第３の画素を探すステップと、
前記第３の画素に対応する前記第１の画像の第４の画素を検索するステップと、
前記テスト済み画素と前記第４の画素を比較するステップと、
を備える方法。
前記第２の画像の第５の画素に対応する前記第１の画像の第６の画素を検索するステップと、
第７の画素の隣接部分が前記第６の画素の隣接部分に類似するような前記第１の画像の前記第７の画素を探すステップと、
前記第７の画素に対応する前記第２の画像の第８の画素を検索するステップと、
前記第５の画素の隣接部分と前記第８の画素の隣接部分を比較するステップと、
をさらに備える、請求項１に記載の方法。
前記異なる取得方法が透過取得方法および反射取得方法を備える、請求項１に記載の方法。
前記探すステップが、第３の画素の隣接部分が前記第２の画素の前記隣接部分の最近の隣接部分であるような前記第３の画素を探すステップを備える、請求項１に記載の方法。
前記第２の画素の前記隣接部分がＭ個の要素を備えており、前記第３の画素を探すステップが、前記第２の画素の前記隣接部分のＮ次元表示を利用するステップを備えており、ここでＭ＞Ｎである、請求項１に記載の方法。
前記探すステップが、前記第２の画素の前記隣接部分の前記Ｎ次元表示を発生させるために、主成分分析を適用するステップを備える、請求項５に記載の方法。
前記探すステップがＮ次元ＫＤツリーを探すステップを備える、請求項５に記載の方法。
欠陥検出方法のリソース消費レベルおよび欠陥検出方法の適切さに応じて前記欠陥検出方法を選択するステップをさらに備える、請求項１に記載の方法。
前記第２の画素の前記隣接部分が複数の粗解像度画素および複数の精解像度画素を備えており、前記複数の精画素が前記第２の画素の前記隣接部分の一部を表す、請求項１に記載の方法。
前記第４の画素と前記テスト済み画素を比較する前に、前記テスト済み画素の隣接部分と前記第４の画素の隣接部分との間のサブ画素登録を実行するステップをさらに備える、請求項１に記載の方法。
前記探すステップに、前記第１の画像内および前記第２の画像内の画素を選択するステップと、前記選択済み画素の隣接部分の表示を発生させるステップとが先行する、請求項１に記載の方法。
欠陥検出システムであって、オブジェクトの第１の画像内および前記オブジェクトの第２の画像内の画素の隣接部分を表す情報を記憶するように適合されたメモリユニットと、前記メモリユニットに結合されたプロセッサとを備えており、前記プロセッサが：
前記オブジェクトの前記第１の画像のテスト済み画素に対応する前記第２の画像の第２の画素を検索し；
前記第２の画素の隣接部分が第３の画素の隣接部分に類似するような前記第２の画像の前記第３の画素を探し；
前記第３の画素に対応する前記第１の画像の第４の画素を検索し；
前記テスト済み画素と前記第４の画素を比較する；
ように適合されている、前記システム。
前記プロセッサが、さらに、
前記第２の画像の第５の画素に対応する前記第１の画像の第６の画素を検索し、
第７の画素の隣接部分が前記第６の画素の隣接部分に類似するような前記第１の画像の前記第７の画素を探し、
前記第７の画素に対応する前記第２の画像の第８の画素を検索し、
前記第５の画素の隣接部分と前記第８の画素の隣接部分を比較するように適合されている、請求項１２に記載のシステム。
前記プロセッサが、前記第３の画素の隣接部分が前記第２の画素の前記隣接部分の最近の隣接部分であるような前記第３の画素を探すようにさらに適合されている、請求項１２に記載のシステム。
前記第２の画素の前記隣接部分がＭ個の要素を備えており、前記プロセッサが、前記第２の画素の前記隣接部分のＮ次元表示を利用するようにさらに適合されており、ここでＭ＞Ｎである、請求項１２に記載のシステム。
前記プロセッサが、前記第２の画素の前記隣接部分の前記Ｎ次元表示を発生させるために、主成分分析を適用するようにさらに適合されている、請求項１５に記載のシステム。
前記プロセッサが、Ｎ次元ＫＤツリーを探すようにさらに適合されている、請求項１５に記載のシステム。
前記プロセッサが、欠陥検出方法のリソース消費レベルおよび欠陥検出方法の適切さに応じて前記欠陥検出方法を選択するようにさらに適合されている、請求項１２に記載のシステム。
前記第２の画素の前記隣接部分が複数の粗解像度画素および複数の精解像度画素を備えており、前記複数の精画素が前記第２の画素の前記隣接部分の一部を表す、請求項１２に記載のシステム。
前記プロセッサが、前記第４の画素と前記テスト済み画素を比較する前に、前記テスト済み画素の隣接部分と前記第４の画素の隣接部分との間のサブ画素登録を実行するようにさらに適合されている、請求項１２に記載のシステム。
前記プロセッサが、前記第１の画像内および前記第２の画像内の画素を選択し、前記選択済み画素の隣接部分の表示を発生させるように適合されている、請求項１２に記載のシステム。
欠陥検出方法であって、
オブジェクトの第１の画像のテスト済み画素に対応する前記オブジェクトの第２の画像の第２の画素を検索するステップを備え、
前記第１の画像および第２の画像は、異なる取得方法を使用して得られたものであり、さらに、
前記第２の画素の隣接部分が第３の画素の隣接部分に類似するような前記オブジェクトの前記第２の画像内の前記第３の画素を探すステップと、
前記第２の画像以外の画像まで、前記第３の画素を探すことを拡張するステップと、
前記第３の画素に対応する前記第１の画像の第４の画素を検索するステップと、
前記テスト済み画素と前記第４の画素を比較するステップと、
を備える方法。
欠陥検出方法であって、
オブジェクトの第１の画像のテスト済み特徴に対応する前記オブジェクトの第２の画像の第２の特徴を検索するステップであって、前記第１の画像および第２の画像が異なる取得方法を使用して得られたステップと、
前記第２の特徴の隣接部分が第３の特徴の隣接部分に類似するような前記第２の画像の前記第３の特徴を探すステップと、
前記第３の特徴に対応する前記第１の画像の第４の特徴を検索するステップと、
前記テスト済み特徴と前記第４の特徴を比較するステップと、
を備える方法。