JP2008064732A - Pressure sensor, attaching structure of pressure sensor, and manufacturing method of pressure sensor - Google Patents

Pressure sensor, attaching structure of pressure sensor, and manufacturing method of pressure sensor Download PDF

Info

Publication number
JP2008064732A
JP2008064732A JP2007012568A JP2007012568A JP2008064732A JP 2008064732 A JP2008064732 A JP 2008064732A JP 2007012568 A JP2007012568 A JP 2007012568A JP 2007012568 A JP2007012568 A JP 2007012568A JP 2008064732 A JP2008064732 A JP 2008064732A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
pressure sensor
medium
case
thermistor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2007012568A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuhiro Yoshino
一博 吉野
Kiyoshi Otsuka
澄 大塚
Hiroshi Naikegashima
寛 内ヶ島
Tetsuya Ogawa
哲哉 小川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2007012568A priority Critical patent/JP2008064732A/en
Priority to DE200710035812 priority patent/DE102007035812A1/en
Publication of JP2008064732A publication Critical patent/JP2008064732A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0061—Electrical connection means
    • G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M57/00—Fuel-injectors combined or associated with other devices
    • F02M57/005—Fuel-injectors combined or associated with other devices the devices being sensors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007—Fluidic connecting means
    • G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0061—Electrical connection means
    • G01L19/0069—Electrical connection means from the sensor to its support
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0092—Pressure sensor associated with other sensors, e.g. for measuring acceleration or temperature
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/148—Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a constitution capable of performing temperature detection while minimizing the attaching space of a member related to the temperature detection of a pressure medium, in attaching a pressure sensor to an attached member and detecting the pressure of the pressure medium. <P>SOLUTION: The attaching structure of the pressure sensor comprises the attached member 200 having a medium passage 202 where the pressure medium 201 flows, and the pressure sensor 100 having an attaching member 1 including a pressure inlet 22 for introducing the pressure from the pressure medium 201 and a sensor chip 23 that receives pressure of the pressure medium 201 from the pressure inlet 22 and detects the pressure. The attaching member 1 is attached to the attached member 200 so that the pressure inlet 22 communicates with the medium passage 202. The attaching member 1 has a thermistor 70 for detecting the temperature of the pressure medium 201. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、内部に圧力媒体が流れる被取付部材に対して取り付けられ、この圧力媒体の圧力を検出する圧力センサ、およびそのような圧力センサの被取付部材への取付構造、ならびにそのような圧力センサの製造方法に関する。   The present invention relates to a pressure sensor that is attached to a mounting member through which a pressure medium flows, detects the pressure of the pressure medium, a structure for mounting such a pressure sensor to the mounting member, and such a pressure. The present invention relates to a method for manufacturing a sensor.

従来より、この種の圧力センサとしては、圧力媒体からの圧力を導入する圧力導入口を有する取付部材と、この取付部材に取り付けられ圧力導入口から圧力媒体の圧力を受けて当該圧力を検出する圧力検出部とを有するものが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。   Conventionally, as this type of pressure sensor, an attachment member having a pressure introduction port for introducing pressure from a pressure medium, and a pressure medium that is attached to the attachment member and receives the pressure of the pressure medium are detected. One having a pressure detection unit has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

そして、このような圧力センサは、一般に圧力媒体が流れる媒体通路を有する被取付部材として、たとえば燃料噴射装置などの配管に取り付けられ、当該配管内の燃料圧を検出する。   And such a pressure sensor is attached to piping, such as a fuel-injection apparatus, as a to-be-attached member which generally has a medium passage through which a pressure medium flows, and detects the fuel pressure in the said piping.

ここで、従来では、圧力媒体の温度を検出するために、被取付部材に対して圧力センサとは別部位に温度センサを取り付けていた。それにより、たとえば、圧力媒体の温度が上がりすぎるのを防止してシステムの保護を図るようにしていた。
特開平１１−９４６７３号公報 Here, conventionally, in order to detect the temperature of the pressure medium, a temperature sensor is attached to a member to be attached to a part different from the pressure sensor. Thereby, for example, the temperature of the pressure medium is prevented from excessively rising to protect the system.
JP-A-11-94673

しかしながら、従来では、上述したように、圧力媒体の温度測定を行うために別体の温度センサが必要であり、被取付部材において当該温度センサの取付スペースが別途必要になるといった問題が生じる。   However, conventionally, as described above, a separate temperature sensor is required to measure the temperature of the pressure medium, and there is a problem that a separate mounting space for the temperature sensor is required in the mounted member.

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、被取付部材に圧力センサを取り付けて圧力媒体の圧力を検出するにあたって、当該圧力媒体の温度検出に関する部材の取付スペースを極力大きくすることなく、当該温度検出を行うことの可能な構成を実現することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and in detecting the pressure of the pressure medium by attaching the pressure sensor to the mounted member, the mounting space of the member related to the temperature detection of the pressure medium is not increased as much as possible. An object of the present invention is to realize a configuration capable of performing the temperature detection.

上記目的を達成するため、本発明は、被取付部材（２００）に取り付けられる圧力センサ（１００）の取付部材（１）に、圧力媒体（２０１）の温度を検出する温度検出部（７０）を備えたことを、第１の特徴とする（後述の図１等参照）。   In order to achieve the above object, according to the present invention, a temperature detection unit (70) for detecting the temperature of the pressure medium (201) is provided on the attachment member (1) of the pressure sensor (100) attached to the attachment member (200). The first feature is that it is provided (see FIG. 1 and the like described later).

それによれば、圧力センサ（１００）に温度検出機能を一体化させたものを実現することができるため、温度検出に関する部材の取付スペースを極力大きくすることなく、圧力媒体（２０１）の温度検出を行うことの可能な構成を実現することができる。   According to this, since the pressure sensor (100) integrated with the temperature detection function can be realized, the temperature detection of the pressure medium (201) can be performed without increasing the mounting space of the members related to the temperature detection as much as possible. A possible configuration can be realized.

ここで、取付部材（１）が、互いに組み付けられた２個の部品（１０、２０）よりなる場合、これら２個の部品（１０、２０）の一方に凹部（２４）を設け、この凹部（２４）に温度検出部（７０）を収納し、２個の部品（１０、２０）の他方が凹部（２４）を覆うように構成することができる（後述の図１〜図７等参照）。   Here, when the mounting member (1) is composed of two parts (10, 20) assembled to each other, a recess (24) is provided in one of the two parts (10, 20). 24) can be configured such that the temperature detection unit (70) is housed and the other of the two components (10, 20) covers the recess (24) (see FIGS. 1 to 7 and the like described later).

また、上記第１の特徴を有する圧力センサにおいて、温度検出部（７０）を、圧力検出部（２３）よりも圧力導入口（２２、２２ａ）側に配置すれば、精度のよい圧力媒体（２０１）の温度検出が可能になる（後述の図１〜図８、図１１等参照）。   Further, in the pressure sensor having the first feature described above, if the temperature detection unit (70) is arranged closer to the pressure introduction port (22, 22a) than the pressure detection unit (23), a highly accurate pressure medium (201 ) Can be detected (see FIGS. 1 to 8 and FIG. 11 described later).

さらに、この場合において、温度検出部（７０）に、当該温度検出部（７０）の信号を取り出すための配線（７１）の一端側が電気的に接続されており、この配線（７１）の他端側が、取付部材（１）における圧力導入口（２２）とは反対側の端部に引き出されているときには、配線（７１）の中間部を、らせん形状としてもよい（後述の図５〜図７等参照）。   Furthermore, in this case, one end side of the wiring (71) for taking out the signal of the temperature detection unit (70) is electrically connected to the temperature detection unit (70), and the other end of the wiring (71). When the side is drawn out to the end of the mounting member (1) opposite to the pressure inlet (22), the intermediate portion of the wiring (71) may be formed in a spiral shape (FIGS. 5 to 7 described later). Etc.).

それによれば、配線（７１）に遊びを持たせることができ、取付部材（１）の伸びや収縮などによる配線への応力の影響を低減できる。この場合、具体的には、配線（７１）の中間部を、取付部材（１）に巻き付けることによってらせん形状を構成すればよい。   According to this, play can be given to the wiring (71), and the influence of stress on the wiring due to expansion and contraction of the attachment member (1) can be reduced. In this case, specifically, a spiral shape may be formed by winding the intermediate portion of the wiring (71) around the attachment member (1).

また、上記第１の特徴を有する圧力センサにおいて、取付部材（１）が、ねじ締めによって前記被取付部材（２００）に取り付けられるものである場合、温度検出部（７０）を、当該ねじ締めにおける周回方向に沿って複数個配置すれば、当該ねじ締め後において複数個の温度検出部（７０）のうち熱応答性の最もよいものを選択して使用することで、精度のよい温度検出が可能となる。   In the pressure sensor having the first feature described above, when the attachment member (1) is attached to the attached member (200) by screw tightening, the temperature detection unit (70) is set in the screw tightening. If a plurality of arrangements are arranged along the circumferential direction, it is possible to detect the temperature with high accuracy by selecting and using the one having the best thermal responsiveness among the plurality of temperature detection sections (70) after the screw tightening. It becomes.

また、上記第１の特徴を有する圧力センサにおいて、温度検出部（７０）を、取付部材（１）からむき出しの状態で露出させ、圧力媒体（２０１）に直接さらされるようすれば、温度検出の感度が向上する（後述の図２１参照）。   Further, in the pressure sensor having the first feature described above, if the temperature detection unit (70) is exposed from the mounting member (1) and is directly exposed to the pressure medium (201), the temperature detection unit (70) is exposed. Sensitivity is improved (see FIG. 21 described later).

また、上記第１の特徴を有する圧力センサにおいて、取付部材（１）を、当該取付部材（１）における圧力媒体（２０１）側の表面に固定されたケース（８０）を備えたものとし、このケース（８０）の内部に温度検出部（７０）を収納するようにしてもよい（後述の図８〜図１２等参照）。   In the pressure sensor having the first feature, the mounting member (1) includes a case (80) fixed to the surface of the mounting member (1) on the pressure medium (201) side. You may make it accommodate a temperature detection part (70) in the inside of a case (80) (refer below-mentioned FIGS. 8-12 etc.).

この場合、ケース（８０）は取付部材（１）に溶接などにより固定されたものにできる。そして、ケース（８０）を、当該ケース（８０）を除く取付部材（１）の部分よりも熱伝導率がよいものにすれば、精度のよい温度検出が可能となる。   In this case, the case (80) can be fixed to the mounting member (1) by welding or the like. If the case (80) has a higher thermal conductivity than the portion of the attachment member (1) excluding the case (80), temperature detection with high accuracy is possible.

また、本発明は、圧力センサ（１００）の取付部材（１）を、当該取付部材（１）の圧力導入口（２２、２２ａ）が被取付部材（２００）の媒体通路（２０２）に連通するように、被取付部材（２００）に取り付けてなる圧力センサの取付構造において、取付部材（１）に、圧力媒体（２０１）の温度を検出する温度検出部（７０）を備えたことを、第２の特徴とする（後述の図２等参照）。   Further, according to the present invention, the mounting member (1) of the pressure sensor (100) is communicated with the medium passageway (202) of the mounted member (200) through the pressure inlets (22, 22a) of the mounting member (1). Thus, in the mounting structure of the pressure sensor attached to the mounted member (200), the mounting member (1) is provided with a temperature detecting unit (70) for detecting the temperature of the pressure medium (201). 2 (see FIG. 2 and the like described later).

この圧力センサの取付構造においても、圧力センサ（１００）に温度検出機能を一体化させたものを実現することができるため、温度検出に関する部材の取付スペースを極力大きくすることなく、圧力媒体（２０１）の温度検出を行うことの可能な構成を実現することができる。   Also in this pressure sensor mounting structure, the pressure sensor (100) integrated with the temperature detection function can be realized. Therefore, the pressure medium (201) can be obtained without increasing the mounting space for the members related to temperature detection as much as possible. ) Can be realized.

ここで、この第２の特徴を有する取付構造において、温度検出部（７０）を、圧力検出部（２３）よりも圧力導入口（２２、２２ａ）側に配置すれば、精度のよい圧力媒体（２０１）の温度検出が可能になる（後述の図１〜図８、図１１等参照）。   Here, in the mounting structure having the second feature, if the temperature detection part (70) is arranged closer to the pressure introduction port (22, 22a) than the pressure detection part (23), an accurate pressure medium ( 201) can be detected (see FIGS. 1 to 8, FIG. 11, etc. described later).

さらに、この場合において、温度検出部（７０）を、取付部材（１）において圧力導入口（２２）よりも媒体通路（２０２）の方向とは反対の方向へ引っ込んだ位置に設ければ、温度検出部（７０）は、圧力媒体（２０１）の本流から引っ込んだ状態となり、圧力媒体（２０１）からの力を受けて破損しにくいものとなる（後述の図２、図５、図８等参照）。   Furthermore, in this case, if the temperature detection part (70) is provided at a position retracted in the direction opposite to the direction of the medium passage (202) from the pressure introduction port (22) in the mounting member (1), the temperature The detection unit (70) is retracted from the main flow of the pressure medium (201) and is not easily damaged by receiving a force from the pressure medium (201) (see FIGS. 2, 5, and 8 to be described later). ).

また、この場合において、温度検出部（７０）を、取付部材（１）において圧力導入口（２２）よりも媒体通路（２０２）の方向へ突出した位置に設ければ、温度検出の感度が向上する（後述の図３、図４、図６、図７等参照）。   In this case, if the temperature detection part (70) is provided at a position protruding from the pressure introduction port (22) in the direction of the medium passage (202) in the mounting member (1), the temperature detection sensitivity is improved. (Refer to FIG. 3, FIG. 4, FIG. 6, FIG. 7, etc. described later).

また、上記第２の特徴を有する取付構造において、温度検出部（７０）を、媒体通路（２０２）の内部にまで突出させ、この突出した温度検出部（７０）と対向する媒体通路（２０２）の内壁に、圧力媒体（２０１）の流れをスムーズにするための窪み（２０４）を設けてもよい（後述の図１６、図１７参照）。   Further, in the mounting structure having the second feature, the temperature detection part (70) is protruded to the inside of the medium path (202), and the medium path (202) facing the protruding temperature detection part (70). A recess (204) for smoothing the flow of the pressure medium (201) may be provided on the inner wall (see FIGS. 16 and 17 described later).

それによれば、温度検出部（７０）が媒体通路（２０２）の内部にまで突出している場合であっても、媒体通路（２０２）を流れる圧力媒体（２０１）の移動が阻害されにくくなる。   According to this, even when the temperature detection unit (70) protrudes to the inside of the medium passage (202), the movement of the pressure medium (201) flowing through the medium passage (202) is not easily inhibited.

また、上記第２の特徴を有する取付構造において、温度検出部（７０）を、媒体通路（２０２）の内部にまで突出させ、この突出した温度検出部（７０）を、媒体通路（２０２）の中央に位置させれば、温度検出のばらつきを抑制できる（後述の図２０参照）。   Further, in the mounting structure having the second feature, the temperature detection part (70) is protruded to the inside of the medium passage (202), and the protruded temperature detection part (70) is connected to the medium passage (202). If it is located at the center, variations in temperature detection can be suppressed (see FIG. 20 described later).

また、上記したケース（８０）に温度検出部（７０）を収納する構成を有する圧力センサを製造する場合には、ケース（８０）として、有底筒状のものであって開口部（８１）側の縁部につば状のつば部（８２）を有するものを用い、ケース（８０）に温度検出部（７０）を収納した後、つば部（８２）を、取付部材（１）における圧力媒体（２０１）側の表面に接触させた状態で、つば部（８２）と取付部材（１）とを溶接するようにすればよい。それによれば、つば部（８２）によって溶接面積を大きく稼げる（後述の図９等参照）。   Moreover, when manufacturing the pressure sensor which has a structure which accommodates the temperature detection part (70) in the above-mentioned case (80), it is a bottomed cylindrical thing as a case (80), and an opening part (81). After the temperature detecting portion (70) is accommodated in the case (80), the collar portion (82) is used as the pressure medium in the mounting member (1). What is necessary is just to weld a collar part (82) and an attachment member (1) in the state made to contact the surface of (201) side. According to this, a large welding area can be gained by the collar portion (82) (see FIG. 9 and the like described later).

また、上記したケース（８０）に温度検出部（７０）を収納する構成を有する圧力センサを製造する場合には、ケース（８０）として、有底筒状をなすとともに外周面の軸方向の途中部分に当該外周面より外側に拡がるつば状のつば部（８２）を有するものを用い、取付部材（１）として、圧力媒体（２０１）側の表面にケース（８０）の開口部（８１）側の部位が圧入可能な穴部（２５）を有するものを用いてもよい（後述の図１２等参照）。   Moreover, when manufacturing the pressure sensor which has a structure which accommodates the temperature detection part (70) in the above-mentioned case (80), as a case (80), while making a bottomed cylinder shape, it is the middle of the axial direction of an outer peripheral surface. A part having a brim-shaped brim portion (82) extending outward from the outer peripheral surface is used as a mounting member (1), and the pressure medium (201) side surface is used as a mounting member (1) side on the opening (81) side. May have a hole (25) in which the portion can be press-fitted (see FIG. 12 and the like to be described later).

この場合には、ケース（８０）に温度検出部（７０）を収納した後、ケース（８０）の開口部（８１）側の部位を、つば部（８２）が取付部材（１）に当たるまで穴部（２５）に圧入し、続いて、つば部（８２）と取付部材（１）とを溶接すればよい。それによれば、溶接時にケース（８０）が圧入にて取付部材（１）に固定されているため、溶接時の位置ずれがなく、位置決め精度が向上する。   In this case, after housing the temperature detection part (70) in the case (80), the hole (82) side part of the case (80) is opened until the collar part (82) hits the mounting member (1). What is necessary is just to press-fit into a part (25) and to weld a collar part (82) and an attachment member (1) subsequently. According to this, since the case (80) is fixed to the mounting member (1) by press-fitting at the time of welding, there is no positional deviation at the time of welding, and the positioning accuracy is improved.

また、上記第１の特徴を有する圧力センサにおいて、温度検出部（７０）を、取付部材（１）を構成する単一の部材（１０）に設けてもよく、この場合には、単一の部材（１０）に、一端が閉塞された閉塞部（１３ａ）、他端が開口部（１３ｂ）となっている空洞部（１３）を設け、温度検出部（７０）を空洞部（１３）の閉塞部（１３ａ）側の内部に配置し、閉塞部（１３ａ）における単一の部材（１０）の肉厚を、当該単一の部材（１０）における閉塞部（１３ａ）以外の部位よりも薄肉とし、この薄肉の部位（１４ａ〜１４ｃ）を介して、圧力媒体（２０１）の温度を温度検出部（７０）に伝達するようにすればよい（後述の図２４〜図２８等参照）。   In the pressure sensor having the first feature, the temperature detection unit (70) may be provided on a single member (10) constituting the attachment member (1). The member (10) is provided with a hollow portion (13a) whose one end is closed, and a hollow portion (13) whose other end is an opening portion (13b), and the temperature detecting portion (70) is provided in the hollow portion (13). It arrange | positions inside the obstruction | occlusion part (13a) side, and the thickness of the single member (10) in the obstruction | occlusion part (13a) is thinner than site | parts other than the obstruction | occlusion part (13a) in the said single member (10) Then, the temperature of the pressure medium (201) may be transmitted to the temperature detector (70) through the thin-walled portions (14a to 14c) (see FIGS. 24 to 28 and the like described later).

それによれば、単一の部材（１０）にて、温度検出部（７０）の収納が実現でき、温度検出部（７０）による応答性に優れた温度検出が可能となる。   Accordingly, the temperature detection unit (70) can be accommodated by a single member (10), and the temperature detection by the temperature detection unit (70) can be performed with excellent responsiveness.

また、取付部材（１）を、圧力導入口（２２ａ）を備える第１の部品（１０）と圧力検出部（２３）を備える第２の部品（２０）とが互いに組み付けられてなるものとした場合、単一の部材は第１の部品（１０）とすることができる。   In addition, the mounting member (1) is formed by assembling the first component (10) including the pressure introduction port (22a) and the second component (20) including the pressure detection unit (23). In this case, the single member can be the first part (10).

さらに、この単一の部材である第１の部品（１０）としては、先端面が圧力媒体（２０１）に接する柱状の柱状部（１０ａ）を有するとともに、この柱状部（１０ａ）の先端面に圧力導入口（２２ａ）が設けられたものであってもよい。   Further, the first component (10), which is a single member, has a columnar columnar portion (10a) whose tip surface is in contact with the pressure medium (201), and is provided on the distal end surface of the columnar portion (10a). A pressure inlet (22a) may be provided.

そして、このような柱状の第１の部品（１０）において、空洞部（１３）の閉塞部（１３ａ）を、柱状部（１０ａ）の先端面側に位置させて圧力導入口（２２ａ）と隣り合わせ、さらに、閉塞部（１３ａ）と柱状部（１０ａ）の先端面との間の壁（１４ａ）、および、閉塞部（１３ａ）と圧力導入口（２２ａ）との間の壁（１４ｂ）を、薄肉の部位とすれば、応答性に優れた温度検出を実現するうえで好ましい（後述の図２４参照）。   In such a columnar first component (10), the closed portion (13a) of the cavity (13) is positioned on the tip surface side of the columnar portion (10a) and is adjacent to the pressure inlet (22a). Furthermore, a wall (14a) between the closed portion (13a) and the tip surface of the columnar portion (10a), and a wall (14b) between the closed portion (13a) and the pressure inlet (22a), A thin portion is preferable in realizing temperature detection with excellent responsiveness (see FIG. 24 described later).

また、このような柱状の第１の部品（１０）において、空洞部（１３）の閉塞部（１３ａ）を、柱状部（１０ａ）の先端面側に位置させ、圧力導入口（２２ａ）よりも柱状部（１０ａ）の軸方向へ突出させることで、閉塞部（１３ａ）における圧力導入口（２２ａ）側の側壁（１４ｃ）に直接、圧力媒体（２０１）が当たるようにしてもよい。この場合、閉塞部（１３ａ）と柱状部（１０ａ）の先端面との間の壁（１４ａ）、および、閉塞部（１３ａ）における圧力導入口（２２ａ）側の側壁（１４ｃ）を、薄肉の部位とすれば、応答性に優れた温度検出を実現するうえで好ましい（後述の図２５参照）。   Further, in such a columnar first component (10), the closed portion (13a) of the hollow portion (13) is positioned on the tip surface side of the columnar portion (10a), and more than the pressure introduction port (22a). By projecting in the axial direction of the columnar part (10a), the pressure medium (201) may directly hit the side wall (14c) on the pressure introducing port (22a) side in the closed part (13a). In this case, the wall (14a) between the closed portion (13a) and the tip surface of the columnar portion (10a) and the side wall (14c) on the pressure inlet (22a) side of the closed portion (13a) If it is a site | part, it is preferable when implement | achieving the temperature detection excellent in responsiveness (refer FIG. 25 mentioned later).

なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in the claim and this column is an example which shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, parts that are the same or equivalent to each other are given the same reference numerals in the drawings in order to simplify the description.

以下の各実施形態の圧力センサは、限定するものではないが、たとえば、自動車の燃料噴射系（たとえばコモンレ−ルや直噴のガソリンエンジンなど）における燃料パイプに取り付けられ、この燃料パイプ内の圧力媒体としての液体または気液混合気の圧力を検出する圧力センサなどに適用することができる。   Although the pressure sensor of each following embodiment is not limited, For example, it is attached to the fuel pipe in the fuel injection system (for example, a common rail, a direct-injection gasoline engine, etc.) of a motor vehicle, and the pressure in this fuel pipe The present invention can be applied to a pressure sensor that detects the pressure of a liquid or gas-liquid mixture as a medium.

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る圧力センサ１００全体の概略的な断面構成を示す図であり、図２は、図１に示される圧力センサ１００を被取付部材としての上記燃料パイプ２００に取り付けた取付構造の要部を示す概略断面図である。 (First embodiment)
FIG. 1 is a diagram showing a schematic cross-sectional configuration of the entire pressure sensor 100 according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a fuel pipe using the pressure sensor 100 shown in FIG. It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the attachment structure attached to 200.

図１に示されるように、本実施形態の圧力センサ１００は、大きくは、燃料パイプ２００に取り付けられるハウジング１０と、このハウジング１０に固定されたステム２０と、ハウジング１０に一体接合されたコネクタケース５０と、ステム２０に設けられた圧力検出部としてのセンサチップ２３と、コネクタケース５０に設けられたターミナルピン５１と、温度検出部としてのサーミスタ７０とを備えて構成されている。   As shown in FIG. 1, the pressure sensor 100 of the present embodiment is roughly composed of a housing 10 attached to a fuel pipe 200, a stem 20 fixed to the housing 10, and a connector case integrally joined to the housing 10. 50, a sensor chip 23 as a pressure detector provided in the stem 20, a terminal pin 51 provided in the connector case 50, and a thermistor 70 as a temperature detector.

図１において、ハウジング１０は、切削や冷間鍛造等により加工された中空形状の金属製のケースであり、その一端（図１、図２中の下端）側の外周面には、上記燃料パイプ２００にねじ結合可能なねじ部１１が形成されている。   In FIG. 1, a housing 10 is a hollow metal case processed by cutting, cold forging or the like, and the fuel pipe is disposed on the outer peripheral surface on one end (the lower end in FIGS. 1 and 2). A screw portion 11 that can be screwed to 200 is formed.

ここで、燃料パイプ２００は、図２に示されるように、内部を図２中の矢印Ｙ（本流Ｙ）に示されるように、混合気やガソリンなどの圧力媒体２０１が流れる媒体通路２０２が形成されている。この燃料パイプ２００は、特に限定されるものではないが、鉄系金属やアルミニウムなどよりなる。   Here, as shown in FIG. 2, the fuel pipe 200 has a medium passage 202 through which a pressure medium 201 such as air-fuel mixture or gasoline flows, as indicated by an arrow Y (main flow Y) in FIG. Has been. The fuel pipe 200 is not particularly limited, but is made of iron-based metal, aluminum, or the like.

そして、この燃料パイプ２００には、外部から媒体通路２０２の内壁に通じる取付穴としてのねじ穴２０３が設けられている。ここでは、このねじ穴２０３は、その深さ方向が圧力媒体２０１の本流Ｙと直交するように設けられている。そして、ハウジング１０のねじ部１１を、燃料パイプ２００のねじ穴２０３に挿入してねじ締めを行うことにより、圧力センサ１００は燃料パイプ２００に取り付けられる。   The fuel pipe 200 is provided with a screw hole 203 as an attachment hole that communicates with the inner wall of the medium passage 202 from the outside. Here, the screw hole 203 is provided so that the depth direction thereof is orthogonal to the main flow Y of the pressure medium 201. The pressure sensor 100 is attached to the fuel pipe 200 by inserting the screw portion 11 of the housing 10 into the screw hole 203 of the fuel pipe 200 and tightening the screw.

このハウジング１０の中空部には、当該ハウジング１０の一端側からステム２０が挿入されている。このステム２０は、切削や冷間鍛造等により加工された中空円筒形状をなす金属製の部材である。   A stem 20 is inserted into the hollow portion of the housing 10 from one end side of the housing 10. The stem 20 is a metal member having a hollow cylindrical shape processed by cutting or cold forging.

このステム２０は、その軸一端側にハウジング１０に導入された圧力によって変形可能な薄肉状のダイアフラム部２１を有し、軸他端側にダイアフラム部２１に通じる開口部２２を有する。そして、このステム２０は、ダイアフラム部２１側からハウジング１０に挿入されており、ハウジング１０の一端部とステム２０の開口部２２との接触部が、レーザ溶接などの溶接によって固定されている。   The stem 20 has a thin-walled diaphragm portion 21 that can be deformed by pressure introduced into the housing 10 on one end side of the shaft, and an opening portion 22 that communicates with the diaphragm portion 21 on the other end side of the shaft. And this stem 20 is inserted in the housing 10 from the diaphragm part 21 side, and the contact part of the one end part of the housing 10 and the opening part 22 of the stem 20 is being fixed by welding, such as laser welding.

ここで、この溶接された部位である溶接部Ｋによってハウジング１０とステム２０とは、一体に固定されている。なお、このステム２０の外周面とハウジング１０の内周面との間には隙間が存在しており、この隙間には、後述するサーミスタ７０の配線７１が配置されている。   Here, the housing 10 and the stem 20 are integrally fixed by the welded portion K which is the welded portion. A gap exists between the outer peripheral surface of the stem 20 and the inner peripheral surface of the housing 10, and a wiring 71 of the thermistor 70 described later is disposed in the gap.

また、本実施形態では、ステム２０の開口部２２は、圧力導入口２２として構成されており、この圧力導入口２２からステム２０の中空部へ圧力媒体２０１の圧力が導入されるようになっている。   In the present embodiment, the opening 22 of the stem 20 is configured as a pressure introduction port 22, and the pressure of the pressure medium 201 is introduced from the pressure introduction port 22 to the hollow portion of the stem 20. Yes.

具体的に、図２に示されるように、圧力センサ１００を燃料パイプ２００に取り付けた状態では、この圧力導入口２２が媒体通路２０２に連通している。そして、媒体通路２０２を流れる圧力媒体２０１の一部が、本流Ｙから外れて圧力導入口２２へ向かう。これによって、圧力媒体２０１の圧力が圧力導入口２２から圧力センサ１００に導入されるようになっている。   Specifically, as shown in FIG. 2, when the pressure sensor 100 is attached to the fuel pipe 200, the pressure inlet 22 communicates with the medium passage 202. Then, a part of the pressure medium 201 flowing through the medium passage 202 deviates from the main flow Y and moves toward the pressure inlet 22. As a result, the pressure of the pressure medium 201 is introduced into the pressure sensor 100 from the pressure introduction port 22.

このように、本実施形態の圧力センサ１００では、溶接部Ｋにて一体に固定されたハウジング１０およびステム２０が取付部材１として構成されている。そして、この取付部材１は燃料パイプ２００に取付可能であって圧力媒体２０１を導入する圧力導入口２２を有するものである。   Thus, in the pressure sensor 100 of the present embodiment, the housing 10 and the stem 20 that are integrally fixed by the welded portion K are configured as the mounting member 1. The attachment member 1 is attachable to the fuel pipe 200 and has a pressure inlet 22 through which the pressure medium 201 is introduced.

そして、圧力導入口２２から導入された圧力媒体２０１の圧力は、ステム２０の中空部を介して、ステム２０のダイアフラム部２１に伝えられる。すると、この圧力を受けて、ダイアフラム部２１は歪むようになっている。   Then, the pressure of the pressure medium 201 introduced from the pressure introduction port 22 is transmitted to the diaphragm portion 21 of the stem 20 through the hollow portion of the stem 20. Then, under this pressure, the diaphragm portion 21 is distorted.

このステム２０のダイアフラム部２１上には、センサチップ２３が固定されている。このセンサチップ２３は、ダイアフラム部２１の変形に応じた電気信号を出力するもので圧力検出部として構成されている。ここで、センサチップ２３は、たとえば、ステム２０に対して低融点ガラスなどを介したガラス接合などにより固定されている。   A sensor chip 23 is fixed on the diaphragm portion 21 of the stem 20. The sensor chip 23 outputs an electrical signal corresponding to the deformation of the diaphragm unit 21 and is configured as a pressure detection unit. Here, the sensor chip 23 is fixed to the stem 20 by, for example, glass bonding via low-melting glass or the like.

このセンサチップ２３は、単結晶Ｓｉ（シリコン）などの半導体基板からなるものであり、集積回路を有し、ステム２０内部に導入された圧力によってダイアフラム部２１が変形したとき、この変形に応じた抵抗値の変化を電気信号に変換して出力する歪みゲージとして機能するものである。   This sensor chip 23 is made of a semiconductor substrate such as single crystal Si (silicon) and has an integrated circuit. When the diaphragm portion 21 is deformed by the pressure introduced into the stem 20, the sensor chip 23 responds to the deformation. It functions as a strain gauge that converts a change in resistance value into an electrical signal and outputs it.

具体的には、圧力導入口２２からステム２０内に導入された圧力によりダイアフラム部２１が変形すると、これに応じてダイアフラム部２１上に設置されたセンサチップ２３上の図示しない歪みゲージが変形する。このとき、この変形によるピエゾ抵抗効果により、歪みゲージの抵抗値が変化する。   Specifically, when the diaphragm portion 21 is deformed by the pressure introduced into the stem 20 from the pressure introduction port 22, a strain gauge (not shown) on the sensor chip 23 installed on the diaphragm portion 21 is deformed accordingly. . At this time, the resistance value of the strain gauge changes due to the piezoresistance effect caused by this deformation.

したがって、センサチップ２３においては、この抵抗値の変化を検出することにより歪みゲージに加えられた応力、すなわち圧力導入口２２からステム２０内に導入された圧力媒体２０１の圧力を検出することができる。そして、ダイアフラム部２１を伝導した圧力に応じた電気信号をセンサチップ２３が生成する。   Therefore, the sensor chip 23 can detect the stress applied to the strain gauge, that is, the pressure of the pressure medium 201 introduced into the stem 20 from the pressure inlet 22 by detecting the change in the resistance value. . Then, the sensor chip 23 generates an electrical signal corresponding to the pressure conducted through the diaphragm portion 21.

配線基板３０は、ハウジング１０の他端（図１、図２中の上端）側に接着剤などで固定されている。この配線基板３０は、センサチップ２３にて生成された電気信号を受け取り、この電気信号に応じた出力信号を作成するものであり、たとえば、セラミック積層基板などよりなる
ここでは、配線基板３０は、センサチップ２３で検出された信号を外部に出力するための信号に変換する機能を有するＩＣチップ３１や、図示しない信号を処理する回路、配線パターンなどを備えたものにできる。ここで、ＩＣチップ３１は、図示しないボンディングワイヤなどにより配線基板３０に実装されている。 The wiring board 30 is fixed to the other end (upper end in FIGS. 1 and 2) of the housing 10 with an adhesive or the like. The wiring board 30 receives an electrical signal generated by the sensor chip 23 and creates an output signal corresponding to the electrical signal. For example, the wiring board 30 is made of a ceramic laminated substrate. An IC chip 31 having a function of converting a signal detected by the sensor chip 23 into a signal for output to the outside, a circuit for processing a signal (not shown), a wiring pattern, and the like can be provided. Here, the IC chip 31 is mounted on the wiring substrate 30 by a bonding wire (not shown) or the like.

図１に示されるように、配線基板３０は、センサチップ２３およびステム２０のダイアフラム部２１の外周囲に設けられている。たとえば、配線基板３０は、その中央にダイアフラム部２１が入るような中空部を有する基板形状、具体的にはドーナツ盤形状のものにできる。   As shown in FIG. 1, the wiring board 30 is provided on the outer periphery of the sensor chip 23 and the diaphragm portion 21 of the stem 20. For example, the wiring board 30 can be formed into a board shape having a hollow portion in which the diaphragm portion 21 is inserted in the center, specifically, a donut board shape.

そして、センサチップ２３と配線基板３０とは、金やアルミニウムなどからなるボンディングワイヤ３２により結線されて電気的に接続されている。それによって、センサチップ２３の信号が、配線基板３０に配置された回路およびＩＣチップ３１に入力されるようになっている。なお、このボンディングワイヤ３２は、通常のワイヤボンディングにより形成できるものである。   The sensor chip 23 and the wiring substrate 30 are connected by a bonding wire 32 made of gold, aluminum or the like and electrically connected thereto. Thereby, the signal of the sensor chip 23 is input to the circuit and the IC chip 31 arranged on the wiring board 30. The bonding wire 32 can be formed by ordinary wire bonding.

ここで、配線基板３０には、導電性金属よりなるピン部材４０が、はんだや抵抗溶接などにより電気的・機械的に接続されている。そして、このピン部材４０は、コネクタケース５０のターミナルピン５１と、はんだや抵抗溶接などにより電気的・機械的に接続されている。   Here, a pin member 40 made of a conductive metal is electrically and mechanically connected to the wiring board 30 by soldering, resistance welding, or the like. The pin member 40 is electrically and mechanically connected to the terminal pin 51 of the connector case 50 by soldering or resistance welding.

ターミナルピン５１は、導電性金属などにより作製された棒状部材として構成されたものである。ここでは、複数本のターミナルピン５１の一部が樹脂５２によりモールドされており、複数のターミナルピン５１が一体化したアッシーとなっている。さらに、このターミナルピン５１とコネクタケース５０とは、インサート成形などにより一体に固定されている。   The terminal pin 51 is configured as a rod-shaped member made of a conductive metal or the like. Here, a part of the plurality of terminal pins 51 is molded by the resin 52, and the plurality of terminal pins 51 are integrated. Further, the terminal pin 51 and the connector case 50 are integrally fixed by insert molding or the like.

コネクタケース５０は、圧力センサ１００で検出された圧力値の信号を外部に出力するためのコネクタ、いわゆるケースプラグをなすものである。このコネクタケース５０は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）やＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）などの樹脂により成形されたものである。   The connector case 50 is a connector for outputting a signal of the pressure value detected by the pressure sensor 100 to the outside, that is, a so-called case plug. The connector case 50 is formed of a resin such as PPS (polyphenylene sulfide) or PBT (polybutylene terephthalate).

そして、このようなコネクタケース５０において、外部と接続される部位には、開口部５３が形成されており、この開口部５３にターミナルピン５１が露出している。つまり、この開口部５３に露出するターミナルピン５１の部分が、外部と電気的に接続される部分である。そして、この開口部５３に図示しない外部配線部材が嵌め込まれることにより、接続が行われるようになっている。   And in such a connector case 50, the opening part 53 is formed in the site | part connected with the exterior, and the terminal pin 51 is exposed to this opening part 53. FIG. That is, the portion of the terminal pin 51 exposed in the opening 53 is a portion that is electrically connected to the outside. Connection is made by fitting an external wiring member (not shown) into the opening 53.

こうして、本実施形態の圧力センサ１００においては、センサチップ２３および配線基板３０と外部とは、ピン部材４０およびターミナルピン５１を介して信号のやりとりが可能となっている。そして、センサチップ２３からの圧力信号は、ターミナルピン５１から外部へ出力されるようになっている。   Thus, in the pressure sensor 100 of the present embodiment, signals can be exchanged between the sensor chip 23 and the wiring board 30 and the outside via the pin member 40 and the terminal pin 51. A pressure signal from the sensor chip 23 is output from the terminal pin 51 to the outside.

ここで、コネクタケース５０は、Ｏリング６０を介してハウジング１０の他端側にはめ込まれた状態で、ハウジング１０の他端部が、コネクタケース５０を押さえるように、かしめられている。   Here, the connector case 50 is caulked so that the other end portion of the housing 10 presses the connector case 50 in a state of being fitted to the other end side of the housing 10 via the O-ring 60.

これにより、コネクタケース５０とハウジング１０とは一体化して接合されたパッケージを構成し、当該パッケージ内部のセンサチップ２３、配線基板３０、電気的接続部等が湿気・機械的外力より保護されるようになっている。   As a result, the connector case 50 and the housing 10 constitute an integrally joined package, and the sensor chip 23, the wiring board 30, the electrical connection portion, and the like inside the package are protected from moisture and mechanical external force. It has become.

さらに、本実施形態の圧力センサ１００およびその取付構造においては、ハウジング１０およびステム２０よりなる取付部材１には、圧力媒体２０１の温度を検出する温度検出部としてのサーミスタ７０が備えられている
このサーミスタ７０は、たとえばセラミックを焼成してなるもので、温度−抵抗特性により温度検出信号を出力することのできる一般的なものである。そして、このサーミスタ７０には、当該サーミスタ７０からの信号を取り出すための配線７１が電気的に接続されている。 Furthermore, in the pressure sensor 100 and the mounting structure thereof according to the present embodiment, the mounting member 1 including the housing 10 and the stem 20 is provided with a thermistor 70 as a temperature detection unit that detects the temperature of the pressure medium 201. The thermistor 70 is formed by firing ceramic, for example, and is a general one that can output a temperature detection signal based on temperature-resistance characteristics. The thermistor 70 is electrically connected to a wiring 71 for taking out a signal from the thermistor 70.

この配線７１は、たとえばニクロム線などよりなるものであり、たとえば成形されたサーミスタ７０に配線７１の一端側を組み付けて一体に焼成することで、配線７０はサーミスタ７０に固定されている。   The wiring 71 is made of, for example, a nichrome wire. The wiring 70 is fixed to the thermistor 70 by, for example, assembling one end side of the wiring 71 to the molded thermistor 70 and firing it integrally.

上述したが、本実施形態では、取付部材１は、互いに組み付けられた２個の部品すなわち被取付部材２００に固定するねじ部１１を有するハウジング１０と、圧力導入口２２を有しセンサチップ２３が取り付けられるステム２０とからなる。これらハウジング１０およびステム２０の材質は、圧力媒体２０１に対する耐食性などを考慮した上で自由に選択することができる。   As described above, in the present embodiment, the mounting member 1 includes the housing 10 having the screw portion 11 that is fixed to the two components that are assembled to each other, that is, the mounted member 200, and the pressure introduction port 22. And a stem 20 to be attached. The materials of the housing 10 and the stem 20 can be freely selected in consideration of the corrosion resistance against the pressure medium 201 and the like.

このとき、図１、図２に示されるように、ステム２０における圧力導入口２２の近傍に、切削加工などによって形成された凹部２４が設けられており、この凹部２４にサーミスタ７０が収納されている。なお、ここでは図示しないが、この凹部２４には熱伝導性に優れたシリコーン樹脂などからなる接着剤が充填されており、それによって、サーミスタ７０は凹部２４内にて固定されている。   At this time, as shown in FIGS. 1 and 2, a recess 24 formed by cutting or the like is provided in the vicinity of the pressure inlet 22 in the stem 20, and the thermistor 70 is accommodated in the recess 24. Yes. Although not shown here, the recess 24 is filled with an adhesive made of silicone resin or the like having excellent thermal conductivity, so that the thermistor 70 is fixed in the recess 24.

また、このステム２０の凹部２４は、ハウジング１０の内面と接するステム２０の外面に設けられており、当該凹部２４はハウジング１０により覆われた形となっている。また、この凹部２４は、上記したハウジング１０とステム２０との隙間の部分ではハウジング１０に覆われておらず当該隙間に連通している。そして、この連通部分にて凹部２４からの配線７１が当該隙間へ引き出されている。   Further, the recess 24 of the stem 20 is provided on the outer surface of the stem 20 in contact with the inner surface of the housing 10, and the recess 24 is covered with the housing 10. Further, the recess 24 is not covered by the housing 10 at the gap portion between the housing 10 and the stem 20 and communicates with the gap. And the wiring 71 from the recessed part 24 is pulled out to the said clearance gap by this communication part.

そして、配線７１においてサーミスタ７０と接続されている一端部とは反対の他端部側は、上記隙間を介して、取付部材１における圧力導入口２２とは反対側の端部まで引き出されている。   And the other end part side opposite to the one end part connected with the thermistor 70 in the wiring 71 is pulled out to the end part on the opposite side to the pressure inlet 22 in the mounting member 1 through the gap. .

具体的には、配線７１の他端部は、上記隙間を通ってステム２０のダイアフラム部２１側まで引き出されており、配線基板３０に電気的に接続されている。ここで、これら配線７１と配線基板３０との接続は、たとえば、はんだや抵抗溶接などの手法により行うことができる。   Specifically, the other end portion of the wiring 71 is drawn out to the diaphragm portion 21 side of the stem 20 through the gap, and is electrically connected to the wiring substrate 30. Here, the connection between the wiring 71 and the wiring substrate 30 can be performed by a technique such as soldering or resistance welding.

そして、サーミスタ７０の配線７１の中間部は、ステム２０の外周面とハウジング１０の内周面との間に存在する隙間において、真っ直ぐに延びた状態で配置されている。こうして、サーミスタ７０からの信号は配線基板３０に伝達され、上記した圧力信号と同様に信号処理され、ピン部材４０を介して、ターミナルピン５１から外部へ出力されるようになっている。   An intermediate portion of the wiring 71 of the thermistor 70 is arranged in a state of extending straight in a gap existing between the outer peripheral surface of the stem 20 and the inner peripheral surface of the housing 10. Thus, the signal from the thermistor 70 is transmitted to the wiring board 30, processed in the same manner as the pressure signal described above, and output from the terminal pin 51 to the outside via the pin member 40.

また、本実施形態の圧力センサ１００およびその取付構造においては、温度検出部としてのサーミスタ７０は、圧力検出部としてのセンサチップ２３よりも圧力導入口２２側に配置されている。つまり、サーミスタ７０はセンサチップ２３よりも、圧力媒体２０１に近い位置にある。   Further, in the pressure sensor 100 and its mounting structure of the present embodiment, the thermistor 70 as the temperature detection unit is disposed closer to the pressure inlet 22 than the sensor chip 23 as the pressure detection unit. That is, the thermistor 70 is located closer to the pressure medium 201 than the sensor chip 23.

さらに、図２に示される取付構造について、圧力導入口２２とサーミスタ７０との位置関係を言うならば、サーミスタ７０は、取付部材１において圧力導入口２２よりも媒体通路２０２とは反対の方向（図２中の上方）へ引っ込んだ位置に設けられている。また、圧力導入口２２およびサーミスタ７０は、ともに媒体通路２０２の内部にまで突出しておらず、燃料パイプ２００におけるねじ穴２０３の内部にとどまっている。   Furthermore, regarding the mounting structure shown in FIG. 2, if the positional relationship between the pressure introducing port 22 and the thermistor 70 is described, the thermistor 70 has a direction opposite to the medium passage 202 in the mounting member 1 than the pressure introducing port 22 ( It is provided at a position retracted upward in FIG. Further, both the pressure inlet 22 and the thermistor 70 do not protrude into the medium passage 202 and remain in the screw hole 203 in the fuel pipe 200.

かかる構成を有する圧力センサ１００の組付方法について述べる。まず、ステム２０を用意し、このダイアフラム部２１にセンサチップ２３を接合するとともに、ステム２０の凹部２４に、配線７１付きのサーミスタ７０を収納し、上記接着剤などによりサーミスタ７０を固定する。   A method for assembling the pressure sensor 100 having such a configuration will be described. First, the stem 20 is prepared, the sensor chip 23 is joined to the diaphragm portion 21, the thermistor 70 with the wiring 71 is accommodated in the concave portion 24 of the stem 20, and the thermistor 70 is fixed by the adhesive or the like.

そして、このステム２０を、ダイアフラム部２１側からハウジング１０の中空部に挿入していくが、このとき、サーミスタ７０の配線７１をステム２０の外周面に添わせた状態で、ステム２０をハウジング１０の中空部に挿入していく。それにより、サーミスタ７０の配線７１がハウジング１０の他端側に引き出された状態となる。その後、ステム２０をハウジング１０に溶接し固定する。   Then, the stem 20 is inserted into the hollow portion of the housing 10 from the diaphragm portion 21 side. At this time, with the wiring 71 of the thermistor 70 attached to the outer peripheral surface of the stem 20, the stem 20 is inserted into the housing 10. Insert it into the hollow part. Thereby, the wiring 71 of the thermistor 70 is pulled out to the other end side of the housing 10. Thereafter, the stem 20 is welded and fixed to the housing 10.

続いて、ハウジング１０の他端側に配線基板３０を固定し、配線基板３０とサーミスタ７０の配線７１とを接続する。また、配線基板３０とセンサチップ２３とをワイヤボンディングにて接続し、ピン部材４０を配線基板３０に接合する。   Subsequently, the wiring board 30 is fixed to the other end side of the housing 10, and the wiring board 30 and the wiring 71 of the thermistor 70 are connected. Further, the wiring board 30 and the sensor chip 23 are connected by wire bonding, and the pin member 40 is joined to the wiring board 30.

一方、樹脂成形を行うことによりターミナルピン５１が一体化されたコネクタケース５０を用意する。そして、コネクタケース５０とハウジング１０とを、Ｏリング６０を介して組み付けるとともに、ピン部材４０とターミナルピン５１とを電気的に接続する。そして、ハウジング１０とコネクタケース５０とを、かしめ固定する。こうして、図１に示す圧力センサ１００が完成する。   On the other hand, the connector case 50 in which the terminal pins 51 are integrated is prepared by resin molding. Then, the connector case 50 and the housing 10 are assembled via the O-ring 60, and the pin member 40 and the terminal pin 51 are electrically connected. Then, the housing 10 and the connector case 50 are caulked and fixed. Thus, the pressure sensor 100 shown in FIG. 1 is completed.

その後は、この圧力センサ１００におけるハウジング１０を、燃料パイプ２００のねじ穴２０３に挿入しながら、ねじ締めを行う。それにより、圧力センサ１００が燃料パイプ２００に取り付け固定され、図２に示される取付構造が完成する。   Thereafter, the housing 10 in the pressure sensor 100 is screwed while being inserted into the screw hole 203 of the fuel pipe 200. Thereby, the pressure sensor 100 is attached and fixed to the fuel pipe 200, and the attachment structure shown in FIG. 2 is completed.

このような取付構造においては、媒体通路２０２を流れる圧力媒体２０１の圧力を、圧力導入口２２から導入してセンサチップ２３にて検出するとともに、サーミスタ７０により圧力媒体２０１の温度を検出する。たとえば、このサーミスタ７０による圧力媒体２０１の温度が異常に高くなると、システムの故障などにつながるため、当該温度をモニタしながら圧力検出を行うことで、そのような故障を未然に防止できる。   In such an attachment structure, the pressure of the pressure medium 201 flowing through the medium passage 202 is introduced from the pressure introduction port 22 and detected by the sensor chip 23, and the temperature of the pressure medium 201 is detected by the thermistor 70. For example, if the temperature of the pressure medium 201 by the thermistor 70 becomes abnormally high, it may lead to a system failure or the like. Therefore, such a failure can be prevented by performing pressure detection while monitoring the temperature.

ところで、本実施形態によれば、ハウジング１０およびステム２０よりなる取付部材１に、圧力媒体２０１の温度を検出するサーミスタ７０を備えており、圧力センサ１００に温度検出機能を一体化させている。そのため、温度検出に関する部材の取付スペースを極力大きくすることなく、圧力媒体２０１の温度検出を行うことの可能な構成を有する圧力センサ１００およびその取付構造が実現されている。   By the way, according to the present embodiment, the mounting member 1 including the housing 10 and the stem 20 is provided with the thermistor 70 that detects the temperature of the pressure medium 201, and the temperature detection function is integrated with the pressure sensor 100. Therefore, the pressure sensor 100 having a configuration capable of detecting the temperature of the pressure medium 201 and the mounting structure thereof are realized without increasing the mounting space of the members related to temperature detection as much as possible.

また、本実施形態の圧力センサ１００およびその取付構造においては、温度検出部としてのサーミスタ７０を、圧力検出部としてのセンサチップ２３よりも圧力導入口２２側に配置している。これにより、燃料パイプ２００の媒体通路２０２を流れる圧力媒体２０１の本流Ｙに極力近い位置にサーミスタ７０を配置できるため、精度のよい圧力媒体２０１の温度検出が可能になる。   Further, in the pressure sensor 100 and its mounting structure of the present embodiment, the thermistor 70 as the temperature detection unit is disposed closer to the pressure inlet 22 than the sensor chip 23 as the pressure detection unit. As a result, the thermistor 70 can be disposed at a position as close as possible to the main flow Y of the pressure medium 201 flowing through the medium passage 202 of the fuel pipe 200, so that the temperature of the pressure medium 201 can be accurately detected.

ここで、本第１実施形態に適用可能な変形例について、図３、図４を参照して述べる。図３、図４は、それぞれ、圧力センサ１００を燃料パイプ２００に取り付けた取付構造の要部を示す概略断面図である。   Here, modified examples applicable to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 3 and 4 are schematic cross-sectional views showing the main part of the mounting structure in which the pressure sensor 100 is mounted on the fuel pipe 200, respectively.

図３に示される第１の変形例では、サーミスタ７０を、取付部材１において圧力導入口２２よりも媒体通路２０２とは反対の方向（図３中の上方）へ引っ込んだ位置に設けていることは、上記図２に示される例と同様であるが、圧力導入口２２およびサーミスタ７０を、ともに媒体通路２０２の内部にまで突出させたところが相違する。このような構成は、ステム２０の先端部が燃料パイプ２００のねじ穴２０３から突出するように、ハウジング１０およびステム２０の長さを長くすることで実現できる。   In the first modification shown in FIG. 3, the thermistor 70 is provided at a position retracted in the direction opposite to the medium passage 202 (upward in FIG. 3) with respect to the pressure introduction port 22 in the mounting member 1. Is the same as the example shown in FIG. 2, except that both the pressure inlet 22 and the thermistor 70 protrude into the medium passage 202. Such a configuration can be realized by increasing the lengths of the housing 10 and the stem 20 so that the tip of the stem 20 protrudes from the screw hole 203 of the fuel pipe 200.

図４に示される第２の変形例では、圧力導入口２２とサーミスタ７０との位置関係において、サーミスタ７０は、取付部材１において圧力導入口２２よりも媒体通路２０２の方向（図４中の下方）へ突出した位置に設けられているところが、上記図２に示される例と相違する。   In the second modification shown in FIG. 4, in the positional relationship between the pressure introduction port 22 and the thermistor 70, the thermistor 70 is located in the direction of the medium passage 202 in the mounting member 1 relative to the pressure introduction port 22 (downward in FIG. 4). 2) is different from the example shown in FIG. 2 described above.

また、図４では、圧力導入口２２は、媒体通路２０２の内部にまで突出していないが、サーミスタ７０は、媒体通路２０２の内部にまで突出している。このような図４の構成は、ステム２０においてサーミスタ７０を収納する部分がねじ穴２０３から突出し、それ以外のステム２０の部分は、ねじ穴２０３内にとどまるように、ステム２０を成型することにより実現できる。   In FIG. 4, the pressure introduction port 22 does not protrude into the medium passage 202, but the thermistor 70 protrudes into the medium passage 202. 4 is formed by molding the stem 20 so that the portion of the stem 20 that houses the thermistor 70 protrudes from the screw hole 203 and the other portions of the stem 20 remain in the screw hole 203. realizable.

上記図３の場合、サーミスタ７０の熱応答性を向上させることができる。ここで、媒体通路２０２の内部に、圧力導入口２２およびサーミスタ７０の部分が存在すると、圧力媒体２０１の本流Ｙの流れを阻害するおそれがある。しかし、図４に示されるように、サーミスタ７０のみを突出させれば、図３に比べて本流Ｙに対する障害物の面積を小さくできるため、圧力媒体２０１の流れの阻害を極力低減することができる。   In the case of FIG. 3, the thermal response of the thermistor 70 can be improved. Here, if the pressure inlet 22 and the thermistor 70 are present inside the medium passage 202, the flow of the main flow Y of the pressure medium 201 may be hindered. However, as shown in FIG. 4, if only the thermistor 70 is protruded, the area of the obstacle with respect to the main flow Y can be reduced as compared with FIG. 3, so that the obstruction of the flow of the pressure medium 201 can be reduced as much as possible. .

また、上記図４に示されるように、サーミスタ７０を、圧力導入口２２よりも媒体通路２０２の方向へ突出させた場合、当該突出するサーミスタ７０の部分が細くなり、圧力媒体２０１の流れによる力を受けて、当該部分が破損するおそれがある。特に、圧力媒体２０１が高圧・高粘性になると、この圧力媒体２０１による力が大きくなり、問題が顕著になる可能性がある。   Further, as shown in FIG. 4, when the thermistor 70 is protruded in the direction of the medium passage 202 from the pressure introduction port 22, the protruding portion of the thermistor 70 becomes thin, and the force due to the flow of the pressure medium 201 The part may be damaged. In particular, when the pressure medium 201 becomes high pressure and high viscosity, the force by the pressure medium 201 becomes large, and the problem may become remarkable.

その点を考慮すれば、上記図２や図３のように、サーミスタ７０を、取付部材１において圧力導入口２２よりも媒体通路２０２の方向とは反対の方向へ引っ込ませることが好ましい。それによって、サーミスタ７０の部分に圧力媒体２０１の力が加わりにくくなるなどの効果が得られ、サーミスタ７０の破損が防止される。   Considering this point, it is preferable that the thermistor 70 is retracted in the mounting member 1 in a direction opposite to the direction of the medium passage 202 as shown in FIGS. As a result, an effect such that the force of the pressure medium 201 is hardly applied to the portion of the thermistor 70 is obtained, and the thermistor 70 is prevented from being damaged.

なお、上記した各図示例では、取付部材１のうちステム２０に凹部２４を設けてサーミスタ７０を収納したが、これとは反対に、ハウジング１０側に同様の凹部を設け、そこにサーミスタ７０を収納してもよい。たとえば、上記図２において、ステム２０側の凹部２４を省略し、当該凹部２４に対向する部分のハウジング１０の面に凹部を形成し、ここにサーミスタ７０を収納すればよい。   In each of the illustrated examples described above, the recess 20 is provided in the stem 20 of the mounting member 1 and the thermistor 70 is accommodated. On the contrary, a similar recess is provided on the housing 10 side, and the thermistor 70 is provided there. It may be stored. For example, in FIG. 2, the concave portion 24 on the stem 20 side is omitted, a concave portion is formed on the surface of the housing 10 at a portion facing the concave portion 24, and the thermistor 70 may be housed therein.

（第２実施形態）
図５は、本発明の第２実施形態に係る圧力センサ１００を被取付部材としての上記燃料パイプ２００に取り付けた取付構造の要部を示す概略断面図である。なお、本実施形態において、図示されない圧力センサ１００の部分は上記第１実施形態と同様である。以下、上記第１実施形態との相違点を中心に述べる。 (Second Embodiment)
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a main part of an attachment structure in which the pressure sensor 100 according to the second embodiment of the present invention is attached to the fuel pipe 200 as an attached member. In the present embodiment, the portion of the pressure sensor 100 (not shown) is the same as that in the first embodiment. Hereinafter, the difference from the first embodiment will be mainly described.

本実施形態においても、図５に示されるように、サーミスタ７０の配線７１において当該サーミスタ７０と接続されている一端部とは反対の他端部側は、取付部材１における圧力導入口２２とは反対側の端部まで引き出されており、配線基板３０に対して電気的に接続されている。   Also in the present embodiment, as shown in FIG. 5, the other end side of the wiring 71 of the thermistor 70 opposite to the one end connected to the thermistor 70 is the pressure inlet 22 in the mounting member 1. It is pulled out to the opposite end and is electrically connected to the wiring board 30.

ここで、本実施形態では、サーミスタ７０の配線７１の中間部を、ステム２０の外周面とハウジング１０の内周面との間に存在する隙間において、上記第１実施形態のように真っ直ぐに延びた状態とするのではなく、図５に示されるように、らせん形状をなすものとしている。   Here, in this embodiment, the intermediate portion of the wiring 71 of the thermistor 70 extends straight as in the first embodiment in a gap existing between the outer peripheral surface of the stem 20 and the inner peripheral surface of the housing 10. Rather than being in a state of being in a closed state, as shown in FIG.

具体的には、サーミスタ７０の配線７１の中間部を、取付部材１としてのステム２０の外周面に巻き付けた構成とすることにより、配線基板３０とサーミスタ７０との間にて配線７１をらせん形状としている。   Specifically, the wiring 71 is spirally formed between the wiring board 30 and the thermistor 70 by winding the intermediate portion of the wiring 71 of the thermistor 70 around the outer peripheral surface of the stem 20 as the mounting member 1. It is said.

このような本実施形態における配線７１のらせん構成は、上記第１実施形態の製造方法において、配線７１をステム２０の外周面に巻き付けて添わせた状態で、当該ステム２０をハウジング１０に挿入することにより形成することができる。   Such a spiral configuration of the wiring 71 in this embodiment is such that, in the manufacturing method of the first embodiment, the stem 20 is inserted into the housing 10 in a state where the wiring 71 is wrapped around and attached to the outer peripheral surface of the stem 20. Can be formed.

上記第１実施形態では、サーミスタ７０の配線７１の中間部を真っ直ぐに張った状態としているが、このような状態では、温度変化などによって取付部材１の伸びや収縮が発生したとき、配線７１に応力が加わり、ダメージの発生ひいては断線などの不具合が懸念される。しかし、本実施形態のようにすれば、配線７１に遊びを持たせることとなり、配線７１への上記応力の影響を低減できる。   In the first embodiment, the intermediate portion of the wiring 71 of the thermistor 70 is straight. However, in such a state, when the attachment member 1 expands or contracts due to a temperature change or the like, the wiring 71 Stress is applied, and there is a concern about the occurrence of damage and failure such as disconnection. However, according to this embodiment, the wiring 71 is given play, and the influence of the stress on the wiring 71 can be reduced.

また、本実施形態においても、取付部材１に、圧力媒体２０１の温度を検出するサーミスタ７０を備えていることにより、温度検出に関する部材の取付スペースを極力大きくすることなく、圧力媒体２０１の温度検出を行うことの可能な構成を有する圧力センサ１００およびその取付構造が実現されている。   Also in the present embodiment, since the mounting member 1 includes the thermistor 70 that detects the temperature of the pressure medium 201, the temperature detection of the pressure medium 201 can be performed without increasing the mounting space of the member related to temperature detection as much as possible. The pressure sensor 100 having a configuration capable of performing the above and the mounting structure thereof are realized.

ここで、本第２実施形態に適用可能な変形例について、図６、図７を参照して述べる。図６、図７は、それぞれ、圧力センサ１００を燃料パイプ２００に取り付けた取付構造の要部を示す概略断面図である。   Here, a modification applicable to the second embodiment will be described with reference to FIGS. 6 and 7 are schematic cross-sectional views showing the main part of the mounting structure in which the pressure sensor 100 is mounted on the fuel pipe 200, respectively.

図６に示される第１の変形例は、本第２実施形態の配線７１のらせん構成を採用しつつ、上記図３に示される取付構造と同様のサーミスタ７０および圧力導入口２２の配置構成を採用したものであり、図７に示される第２の変形例は、本第２実施形態の配線７１のらせん構成を採用しつつ、上記図４に示される取付構造と同様のサーミスタ７０および圧力導入口２２の配置構成を採用したものである。   The first modification shown in FIG. 6 employs the helical configuration of the wiring 71 of the second embodiment, and has the same arrangement structure of the thermistor 70 and the pressure inlet 22 as the mounting structure shown in FIG. The second modification shown in FIG. 7 adopts the thermistor 70 and pressure introduction similar to the mounting structure shown in FIG. 4 while adopting the helical configuration of the wiring 71 of the second embodiment. The arrangement configuration of the mouth 22 is adopted.

これら変形例を含め、本実施形態においても、サーミスタ７０を、センサチップ２３よりも圧力導入口２２側に配置することにより、精度のよい圧力媒体２０１の温度検出が可能になる。   Even in the present embodiment including these modifications, the temperature of the pressure medium 201 can be accurately detected by disposing the thermistor 70 closer to the pressure inlet 22 than the sensor chip 23.

また、サーミスタ７０を突出させることによる熱応答性の向上や、サーミスタ７０を圧力導入口２２よりも引っ込ませることによるサーミスタ７０の破損防止効果についても、上記第１実施形態と同様である。なお、本第２実施形態においても、取付部材１のうちステム２０側ではなくハウジング１０側に凹部を設け、そこにサーミスタ７０を収納する構成としてもよい。   Further, the thermal response is improved by causing the thermistor 70 to protrude, and the effect of preventing the thermistor 70 from being damaged by retracting the thermistor 70 from the pressure inlet 22 is the same as in the first embodiment. In the second embodiment as well, a recess may be provided on the housing 10 side of the mounting member 1 instead of the stem 20 side, and the thermistor 70 may be housed therein.

（第３実施形態）
図８は、本発明の第３実施形態に係る圧力センサ１００を被取付部材としての上記燃料パイプ２００に取り付けた取付構造の要部を示す概略断面図である。また、図９は、図８中のケース８０の部分の拡大断面図であり、図１０は、図８中のステム２０の圧力導入口２２側の面を示す平面図である。なお、本実施形態においても、図示されない圧力センサ１００の部分は上記第１実施形態と同様であり、上記第１実施形態との相違点を中心に述べる。 (Third embodiment)
FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing a main part of an attachment structure in which the pressure sensor 100 according to the third embodiment of the present invention is attached to the fuel pipe 200 as an attached member. 9 is an enlarged cross-sectional view of a portion of the case 80 in FIG. 8, and FIG. 10 is a plan view showing a surface of the stem 20 on the pressure introduction port 22 side in FIG. In this embodiment, the pressure sensor 100 (not shown) is the same as that in the first embodiment, and the differences from the first embodiment will be mainly described.

上記各実施形態では、サーミスタ７０は、取付部材１に設けられた凹部２４に収納されていた。それに対して、本実施形態では、図８に示されるように、取付部材１はハウジング１０およびステム２０以外に、さらにケース８０を有するものであり、このケース８０にサーミスタ７０を収納している。   In each of the above embodiments, the thermistor 70 is housed in the recess 24 provided in the mounting member 1. On the other hand, in this embodiment, as shown in FIG. 8, the attachment member 1 further has a case 80 in addition to the housing 10 and the stem 20, and the thermistor 70 is accommodated in the case 80.

具体的に、図８〜図１０に示されるように、取付部材１は、当該取付部材１における圧力媒体２０１側の表面、ここではステム２０における圧力導入口２２の開口縁部に、ケース８０を固定したものである。   Specifically, as shown in FIGS. 8 to 10, the attachment member 1 has a case 80 on the surface of the attachment member 1 on the pressure medium 201 side, here, the opening edge of the pressure inlet 22 in the stem 20. It is fixed.

このケース８０は、ハウジング１０やステム２０と同一の材料よりなるものでもよいが、異なる材料よりなるものでもよい。好ましくは、ケース８０は、当該ケース８０を除く取付部材１の部分よりも熱伝導率がよいもの、つまり熱伝導性に優れたものとする。具体的には、ハウジング１０やステム２０が炭素鋼やステンレスなどよりなるのに対し、ケース８０はアルミニウムや銅などよりなるものとする。   The case 80 may be made of the same material as the housing 10 and the stem 20, but may be made of a different material. Preferably, the case 80 has a better thermal conductivity than the portion of the mounting member 1 excluding the case 80, that is, has a superior thermal conductivity. Specifically, the housing 10 and the stem 20 are made of carbon steel, stainless steel or the like, whereas the case 80 is made of aluminum or copper.

このケース８０は、一端側に底部を有し、他端側に開口部８１を有する有底筒状のものであり、さらに、開口部８１側の縁部には、径方向につば状に突出するつば部８２を有するものである。このようなつば部８２を有するケース８０は、プレス加工などによって成形される。   The case 80 has a bottomed cylindrical shape having a bottom portion on one end side and an opening portion 81 on the other end side. Further, the case 80 protrudes in a radial manner on the edge portion on the opening portion 81 side. It has a brim portion 82. The case 80 having such a collar portion 82 is formed by press working or the like.

そして、このケース８０の中空部にサーミスタ７０が収納されるとともに、つば部８２がステム２０における圧力導入口２２の開口縁部に溶接されている。この溶接部Ｋ’は、図９、図１０に符号Ｋ’を付けて示してある。   The thermistor 70 is housed in the hollow portion of the case 80, and the collar portion 82 is welded to the opening edge portion of the pressure introduction port 22 in the stem 20. This welded portion K ′ is shown with reference numeral K ′ in FIGS. 9 and 10.

また、図８に示されるように、ステム２０には、ケース８０の開口部８１と連通する位置に、切削加工などにより貫通穴２５が設けられている。ここで、貫通穴２５は、ハウジング１０とステム２０との隙間に連通しており、ケース８０の内部と当該隙間とがステム２０の貫通穴２５を介してつながっている。   Further, as shown in FIG. 8, the stem 20 is provided with a through hole 25 at a position communicating with the opening 81 of the case 80 by cutting or the like. Here, the through hole 25 communicates with a gap between the housing 10 and the stem 20, and the inside of the case 80 and the gap are connected via the through hole 25 of the stem 20.

それにより、このステム２５の貫通穴２５および上記隙間を介して、サーミスタ７０の配線７１が、ハウジング１０の他端（図８中の上端）側に位置する配線基板３０に向かって引き出されている。さらに、ケース８０の内部には、熱伝導性に優れたシリコーン樹脂などからなる接着剤８３が充填されており、それによって、サーミスタ７０がケース８０内に固定されている。   Thereby, the wiring 71 of the thermistor 70 is drawn out toward the wiring board 30 located on the other end (upper end in FIG. 8) side of the housing 10 through the through hole 25 of the stem 25 and the gap. . Further, the inside of the case 80 is filled with an adhesive 83 made of a silicone resin or the like having excellent thermal conductivity, so that the thermistor 70 is fixed in the case 80.

本第３実施形態では、ケース８０にサーミスタ７０を収納し接着剤８３によって固定するとともに、サーミスタ７０の配線７１をステム２０の貫通穴２５に通した後、つば部８２を、ステム２０における圧力導入口２２の開口縁部に接触させる。そして、この状態で、つば部８２とステム２０とをレーザ溶接などにより溶接する。   In the third embodiment, the thermistor 70 is housed in the case 80 and fixed by the adhesive 83, and after the wiring 71 of the thermistor 70 is passed through the through hole 25 of the stem 20, the collar portion 82 is inserted into the stem 20 with pressure. The opening edge of the mouth 22 is brought into contact. In this state, the collar portion 82 and the stem 20 are welded by laser welding or the like.

これ以外の製造方法は、基本的には、上記各実施形態の圧力センサ１００の製造方法と同様である。つまり、サーミスタ７０およびケース８０をステム２０に取り付けた後は、ステム２０をハウジング１０に挿入して固定するなどの工程を経て、本実施形態の圧力センサ１００が製造される。そして、この圧力センサ１００は、上記同様に燃料パイプ２００に取り付けられる。   The manufacturing method other than this is basically the same as the manufacturing method of the pressure sensor 100 of each of the above embodiments. That is, after attaching the thermistor 70 and the case 80 to the stem 20, the pressure sensor 100 of this embodiment is manufactured through steps such as inserting the stem 20 into the housing 10 and fixing it. The pressure sensor 100 is attached to the fuel pipe 200 as described above.

ところで、本第３実施形態においては、取付部材１にケース８０を設け、このケース８０にサーミスタ７０を収納することにより、取付部材１がサーミスタ７０を備えた構成を実現している。それによって、温度検出に関する部材の取付スペースを極力大きくすることなく、圧力媒体２０１の温度検出を行うことの可能な構成を有する圧力センサ１００およびその取付構造を実現している。   By the way, in this 3rd Embodiment, the case 80 is provided in the attachment member 1, and the thermistor 70 is accommodated in this case 80, The structure which the attachment member 1 was equipped with the thermistor 70 is implement | achieved. Thereby, the pressure sensor 100 having a configuration capable of detecting the temperature of the pressure medium 201 and the mounting structure thereof are realized without increasing the mounting space of the members related to temperature detection as much as possible.

また、このケース８０はステム２０に溶接されているが、本実施形態では、ケース８０につば部８２を設け、このつば部８２にて溶接することにより、ケース８０とステム２０との溶接面積を大きくすることができ、これら両部材２０、８０の溶接強度を向上させることが可能となる。   Although the case 80 is welded to the stem 20, in this embodiment, the case 80 is provided with a collar portion 82 and welded at the collar portion 82, thereby increasing the welding area between the case 80 and the stem 20. The welding strength of both the members 20 and 80 can be improved.

また、本実施形態では、サーミスタ７０を、取付部材１において圧力導入口２２よりも媒体通路２０２の方向（図８中の下方）へ突出した位置に設けており、サーミスタ７０の熱応答性の向上の観点から好ましい構成となっている。特に、上述したように、本実施形態では、ケース８０を、当該ケース８０を除く取付部材１の部分よりも熱伝導率がよいものとしているため、サーミスタ７０の熱応答性に優れ、精度のよい圧力媒体２０１の温度検出が可能となる。   Further, in the present embodiment, the thermistor 70 is provided at a position protruding from the pressure introducing port 22 in the direction of the medium passage 202 (downward in FIG. 8) in the mounting member 1, thereby improving the thermal responsiveness of the thermistor 70. From this point of view, the configuration is preferable. In particular, as described above, in the present embodiment, the case 80 has better thermal conductivity than the portion of the mounting member 1 excluding the case 80. Therefore, the thermistor 70 has excellent thermal response and high accuracy. The temperature of the pressure medium 201 can be detected.

また、図１１は、本第３実施形態の変形例としての圧力センサ１００の取付構造の要部を示す概略断面図である。このように、ケース８０を、上記図８に比べて長いものとすることによって、サーミスタ７０を媒体通路２０２内に位置させるようにしてもよい。また、本実施形態においても、配線７１をステム２０に巻き付けることにより、上記第２実施形態に示したような配線７１のらせん構成を適用してもよい。   FIG. 11 is a schematic cross-sectional view showing the main part of the mounting structure of the pressure sensor 100 as a modification of the third embodiment. Thus, the thermistor 70 may be positioned in the medium passage 202 by making the case 80 longer than that in FIG. Also in the present embodiment, the spiral configuration of the wiring 71 as shown in the second embodiment may be applied by winding the wiring 71 around the stem 20.

（第４実施形態）
図１２は、本発明の第４実施形態に係る圧力センサ１００の要部を示す概略断面図である。本実施形態の圧力センサ１００は、上記第３実施形態におけるケース８０に係る部分を一部変更したものであり、それ以外は同一の構成であるため、ここでは、この変更した部分を中心に述べる。 (Fourth embodiment)
FIG. 12 is a schematic cross-sectional view showing a main part of the pressure sensor 100 according to the fourth embodiment of the present invention. The pressure sensor 100 according to the present embodiment is obtained by partially changing the portion related to the case 80 in the third embodiment, and the rest of the configuration is the same. Therefore, here, the changed portion will be mainly described. .

本実施形態においても、図１２に示されるように、取付部材１はケース８０を有するものであり、このケース８０にサーミスタ７０を収納している。本実施形態では、ケース８０は、開口部８１を有する有底筒状をなすとともに外周面の軸方向の途中部分に当該外周面より外側に拡がるつば状のつば部８２を有する。   Also in this embodiment, as shown in FIG. 12, the attachment member 1 has a case 80, and the thermistor 70 is accommodated in the case 80. In the present embodiment, the case 80 has a bottomed cylindrical shape having an opening 81 and has a collar-shaped brim portion 82 that extends outward from the outer circumferential surface at an intermediate portion in the axial direction of the outer circumferential surface.

つまり、本実施形態のケース８０は、つば部８２がケース８０における軸方向の途中部分に位置したものとなっている。そして、取付部材１におけるステム２０は、圧力媒体２０１側の表面に穴部２５を有する。この穴部２５は、上記第３実施形態にて上記図８に示されるステム２０の貫通穴２５と同様のものであるが、本実施形態では、ケース８０の開口部８１側の部位がこの穴部２５に圧入可能となっている。   That is, in the case 80 of this embodiment, the collar portion 82 is located in the middle portion of the case 80 in the axial direction. The stem 20 of the mounting member 1 has a hole 25 on the surface on the pressure medium 201 side. The hole portion 25 is the same as the through hole 25 of the stem 20 shown in FIG. 8 in the third embodiment, but in this embodiment, the portion on the opening 81 side of the case 80 is the hole. The part 25 can be press-fitted.

そして、本実施形態では、ケース８０にサーミスタ７０を収納した後、ケース８０の開口部８１側の部位を、図１２に示されるように、つば部８２がステム２０に当たるまで穴部２５に圧入し、続いて、つば部８２とステム２０とを、レーザ溶接などにより溶接する。このようして、本実施形態におけるケース８０およびサーミスタ７０の組み付けがなされる。   In this embodiment, after the thermistor 70 is housed in the case 80, the portion on the opening 81 side of the case 80 is press-fitted into the hole 25 until the collar portion 82 contacts the stem 20 as shown in FIG. 12. Subsequently, the collar portion 82 and the stem 20 are welded by laser welding or the like. In this manner, the case 80 and the thermistor 70 in the present embodiment are assembled.

本実施形態によれば、上記第３実施形態と同様の効果が得られるとともに、ケース８０の溶接時には、当該ケース８０が、取付部材１であるステム２０に対して圧入によって固定されているため、溶接時におけるケース８０の位置ずれが抑えられ、位置決め精度を向上させることができる。   According to the present embodiment, the same effects as those of the third embodiment can be obtained, and when the case 80 is welded, the case 80 is fixed to the stem 20 as the mounting member 1 by press-fitting. The positional deviation of the case 80 during welding is suppressed, and the positioning accuracy can be improved.

なお、本第４実施形態および上記第３実施形態においては、ケース８０はステム２０における圧力媒体２０１側の表面に溶接しているが、これに代えてハウジング１０における圧力媒体２０１側の表面にケース８０を溶接してもよい。この場合、たとえば、ケース８０に収納されるサーミスタ７０からの配線７１を取り出す穴を、切削加工などによりハウジング１０に設けてやればよい（この構成については後述の図１８参照）。   In the fourth embodiment and the third embodiment, the case 80 is welded to the surface of the stem 20 on the pressure medium 201 side. Instead, the case 80 is attached to the surface of the housing 10 on the pressure medium 201 side. 80 may be welded. In this case, for example, a hole for taking out the wiring 71 from the thermistor 70 accommodated in the case 80 may be provided in the housing 10 by cutting or the like (refer to FIG. 18 described later for this configuration).

（第５実施形態）
図１３は、本発明の第５実施形態に係る圧力センサ１００を被取付部材としての上記燃料パイプ２００に取り付けた取付構造の要部を示す概略断面図であり、図１４は、図１３中のＡ−Ａ一点鎖線に沿った概略断面を示す図である。 (Fifth embodiment)
FIG. 13 is a schematic cross-sectional view showing a main part of an attachment structure in which a pressure sensor 100 according to a fifth embodiment of the present invention is attached to the fuel pipe 200 as an attached member, and FIG. It is a figure which shows the schematic cross section along the AA dashed-dotted line.

図１３、図１４に示されるように、本実施形態においては、サーミスタ７０を、取付部材１のねじ締め際の周回方向（回転方向）Ｙ’に沿って複数個設けたことが、上記第１実施形態と相違するところであり、それ以外は、圧力センサ１００およびその取付構造について、上記第１実施形態と同様である。   As shown in FIGS. 13 and 14, in the present embodiment, a plurality of thermistors 70 are provided along the circumferential direction (rotation direction) Y ′ when the mounting member 1 is screwed. Other than that, the pressure sensor 100 and its mounting structure are the same as in the first embodiment.

上述したように、取付部材１は、これを構成するハウジング１０のねじ部１１によって被取付部材である燃料パイプ２００にねじ締めされて取り付けられる。このとき、取付部材１は、図１４中の周回方向Ｙ’に沿って回転する。ここで、たとえば、上記図２に示されるようにサーミスタ７０が１個であると、ねじ締め後におけるサーミスタ７０の位置は、ねじ締めの周回方向Ｙ’にてばらつき、一定にすることが難しい。   As described above, the attachment member 1 is attached by being screwed to the fuel pipe 200 that is a member to be attached by the screw portion 11 of the housing 10 constituting the attachment member 1. At this time, the attachment member 1 rotates along the circumferential direction Y ′ in FIG. 14. Here, for example, if the thermistor 70 is one as shown in FIG. 2, the position of the thermistor 70 after screw tightening varies in the circumferential direction Y ′ of screw tightening, and it is difficult to make it constant.

このようなサーミスタ７０の位置ばらつきが生じた場合には、サーミスタ７０の測定箇所がばらつくことになり、サーミスタ７０の熱応答性の変動が懸念され、精度のよい温度検出が難しくなる。   When such a variation in the position of the thermistor 70 occurs, the measurement location of the thermistor 70 varies, and there is concern about fluctuations in the thermal responsiveness of the thermistor 70, making it difficult to detect temperature accurately.

そこで、本実施形態では、複数個のサーミスタ７０を取付部材１のねじ締めの周回方向Ｙ’に沿って配列している。図１４では当該周回方向に沿って４個のサーミスタ７０を設けている。それにより、ねじ締め後に各サーミスタ７０の熱応答性を調べ、最も熱応答性の速いサーミスタ７０を使用することにより、常に安定した速い応答性を確保することができるため、温度検出精度の向上が可能となる。   Therefore, in the present embodiment, a plurality of thermistors 70 are arranged along the circumferential direction Y ′ of the tightening of the mounting member 1. In FIG. 14, four thermistors 70 are provided along the circumferential direction. As a result, the thermal responsiveness of each thermistor 70 is checked after screw tightening, and by using the thermistor 70 having the fastest thermal responsiveness, a stable and fast responsiveness can always be ensured. It becomes possible.

また、本実施形態では、サーミスタ７０を複数個設けることにより、サーミスタ７０の診断機能を持たせることができる。複数個のサーミスタ７０からの検出値を、互いに比較することによって、ある１個のサーミスタ７０が故障した場合には、すぐにその異常を検出することができる。   In the present embodiment, a plurality of thermistors 70 are provided so that the thermistor 70 can have a diagnostic function. By comparing the detection values from a plurality of thermistors 70 with each other, if a certain thermistor 70 fails, the abnormality can be detected immediately.

また、図１５は、本第５実施形態の変形例としての圧力センサ１００の取付構造の要部を示す概略断面図である。このように、本実施形態においては、上記第３および第４実施形態に示したようなサーミスタ７０をケース８０に収納した構成を採用してもよい。この場合のサーミスタ７０およびケース８０の平面配置は、たとえば上記図１４に示される配置構成と同様のものにできる。   FIG. 15 is a schematic cross-sectional view showing the main part of the mounting structure of the pressure sensor 100 as a modification of the fifth embodiment. Thus, in the present embodiment, a configuration in which the thermistor 70 as shown in the third and fourth embodiments is housed in the case 80 may be employed. The planar arrangement of the thermistor 70 and the case 80 in this case can be the same as the arrangement shown in FIG.

また、本実施形態では、複数個のサーミスタ７０は上記周回方向Ｙ’に沿って配置されていればよく、その個数や位置は上記図１４に示されるサーミスタ７０の配置例に限定されるものではない。   Further, in the present embodiment, the plurality of thermistors 70 may be arranged along the circumferential direction Y ′, and the number and position thereof are not limited to the arrangement example of the thermistor 70 shown in FIG. Absent.

また、本第５実施形態では、サーミスタ７０と圧力導入口２２との位置関係や、サーミスタ７０と媒体通路２０２との位置関係については、上記の図１３〜１５に示される例に限定されることなく、それ以外にも、上記各実施形態にて図示したような位置関係を採用できる。また、本実施形態においても、上記第２実施形態におけるサーミスタ７０の配線７１のらせん構成を採用できる。   In the fifth embodiment, the positional relationship between the thermistor 70 and the pressure inlet 22 and the positional relationship between the thermistor 70 and the medium passage 202 are limited to the examples shown in FIGS. In addition, the positional relationship as illustrated in the above embodiments can be adopted. Also in this embodiment, the spiral configuration of the wiring 71 of the thermistor 70 in the second embodiment can be adopted.

（第６実施形態）
図１６は、本発明の第６実施形態に係る圧力センサ１００を被取付部材としての上記燃料パイプ２００に取り付けた取付構造の要部を示す概略断面図である。本実施形態においても、図示されない圧力センサ１００の部分は上記第１実施形態と同様であり、上記第１実施形態との相違点を中心に述べる。 (Sixth embodiment)
FIG. 16 is a schematic cross-sectional view showing a main part of an attachment structure in which a pressure sensor 100 according to a sixth embodiment of the present invention is attached to the fuel pipe 200 as an attached member. Also in the present embodiment, the portion of the pressure sensor 100 (not shown) is the same as that of the first embodiment, and the difference from the first embodiment will be mainly described.

すなわち、本実施形態の取付構造は、図１６に示されるように、サーミスタ７０が媒体通路２０２の内部にまで突出しており、この突出したサーミスタ７０と対向する媒体通路２０２の内壁に、窪み２０４を設けたものである。このような窪み２０４は、切削加工などにより形成することができる。   That is, in the mounting structure of the present embodiment, as shown in FIG. 16, the thermistor 70 protrudes to the inside of the medium passage 202, and a recess 204 is formed on the inner wall of the medium passage 202 facing the protruding thermistor 70. It is provided. Such a depression 204 can be formed by cutting or the like.

この窪み２０４は、媒体通路２０２内を流れる圧力媒体２０１が、当該媒体通路２０２に位置するサーミスタ７０によって移動を阻害されないように、圧力媒体２０１の流れをスムーズにするためものである。そのような窪み２０４であれば、その形状については特に限定するものではない。   The depression 204 is for smoothening the flow of the pressure medium 201 so that the movement of the pressure medium 201 flowing in the medium path 202 is not hindered by the thermistor 70 located in the medium path 202. The shape of the depression 204 is not particularly limited.

そして、本実施形態によれば、サーミスタ７０が媒体通路２０２の内部にまで突出している場合であっても、圧力媒体２０１が、窪み２０４の方へ回り込むように流れることにより、圧力媒体２０１の移動がスムーズになる。   According to the present embodiment, even when the thermistor 70 protrudes to the inside of the medium passage 202, the pressure medium 201 moves around the depression 204, so that the pressure medium 201 moves. Becomes smooth.

また、図１７は、本第６実施形態の変形例としての圧力センサ１００の取付構造の要部を示す概略断面図である。このように、本実施形態においては、上記第３および第４実施形態に示したようなサーミスタ７０をケース８０に収納した構成を採用してもよく、この場合には、媒体通路２０４の内壁の内ケース８０に対向する部分に、窪み２０４を設けることになる。   FIG. 17 is a schematic cross-sectional view showing the main part of the mounting structure of the pressure sensor 100 as a modified example of the sixth embodiment. As described above, in this embodiment, a configuration in which the thermistor 70 as shown in the third and fourth embodiments is housed in the case 80 may be employed. In this case, the inner wall of the medium passage 204 A recess 204 is provided in a portion facing the inner case 80.

なお、本第６実施形態は、上記図１６、図１７に示した例以外にも、上記各実施形態に示した圧力センサ１００の取付構造において、サーミスタ７０が媒体通路２０２の内部にまで突出したものに関して適用が可能である。   In the sixth embodiment, in addition to the examples shown in FIGS. 16 and 17, the thermistor 70 protrudes into the medium passage 202 in the mounting structure of the pressure sensor 100 shown in each of the above embodiments. Applicable for things.

（第７実施形態）
図１８は、本発明の第７実施形態に係る圧力センサ１００を被取付部材としての上記燃料パイプ２００に取り付けた取付構造を示す概略断面図である。また、図１９は、図１８に示される圧力センサ１００におけるサーミスタ７０の近傍部の拡大図であり、図２０は、媒体通路２０２中のサーミスタ７０の種々の位置関係を模式的に示す図である。ここでも、上記第１実施形態との相違を中心に述べる。 (Seventh embodiment)
FIG. 18 is a schematic cross-sectional view showing an attachment structure in which a pressure sensor 100 according to a seventh embodiment of the present invention is attached to the fuel pipe 200 as an attached member. FIG. 19 is an enlarged view of the vicinity of the thermistor 70 in the pressure sensor 100 shown in FIG. 18, and FIG. 20 is a diagram schematically showing various positional relationships of the thermistor 70 in the medium passage 202. . Here, the difference from the first embodiment will be mainly described.

本第７実施形態では、圧力センサ１００の取付構造において、取付部材１に備えられているサーミスタ７０を媒体通路２０２の内部にまで突出させるとともに、この突出したサーミスタ７０を媒体通路２０２の中央に位置させたものである。   In the seventh embodiment, in the mounting structure of the pressure sensor 100, the thermistor 70 provided in the mounting member 1 protrudes to the inside of the medium passage 202, and the protruding thermistor 70 is positioned at the center of the medium passage 202. It has been made.

この様子は、図２０（ａ）に示される。図２０では、圧力媒体２０１の本流とは直交する方向における媒体通路２０２の断面を示しており、図２０中の紙面垂直方向に圧力媒体２０１が流れるものである。   This situation is shown in FIG. 20 shows a cross section of the medium passage 202 in a direction orthogonal to the main flow of the pressure medium 201, and the pressure medium 201 flows in a direction perpendicular to the paper surface in FIG.

ここで、本実施形態では、サーミスタ７０は、図２０（ｂ）、（ｃ）に示されるように媒体通路２０２の端に位置するのではなく、図２０（ａ）に示されるように中央部に位置している。媒体通路２０２の中央部とは、媒体通路２０２における圧力媒体２０１の流れと直交する方向に沿った断面の中央部である。   Here, in this embodiment, the thermistor 70 is not located at the end of the medium passage 202 as shown in FIGS. 20B and 20C, but as shown in FIG. 20A. Is located. The central portion of the medium passage 202 is a central portion of a cross section along a direction orthogonal to the flow of the pressure medium 201 in the medium passage 202.

サーミスタ７０が媒体通路２０２の端に位置する場合、サーミスタ７０による温度検出にばらつきが生じやすく、精度のよい検出が難しいものとなる。しかし、本実施形態のように、サーミスタ７０を媒体通路２０２の中央に位置させれば、温度検出のばらつきを抑制でき、安定した検出精度を得ることが可能となる。   When the thermistor 70 is located at the end of the medium passage 202, the temperature detection by the thermistor 70 is likely to vary, and accurate detection is difficult. However, if the thermistor 70 is positioned at the center of the medium passage 202 as in this embodiment, variations in temperature detection can be suppressed, and stable detection accuracy can be obtained.

このようなサーミスタ７０の中央への配置を実現しやすくするために、本実施形態の圧力センサ１００においては、取付部材１の中央部付近にサーミスタ７０を配置した構成を採用している。   In order to make it easy to realize the center arrangement of the thermistor 70, the pressure sensor 100 according to the present embodiment employs a configuration in which the thermistor 70 is disposed near the center of the mounting member 1.

本実施形態でも、図１８に示されるように、ハウジング１０とステム２０とが取付部材１を構成しているが、これらハウジング１０およびステム２０の構成を、上記各実施形態に比べて一部変更することにより、サーミスタ７０の位置が取付部材１の中央付近に位置するようにしている。   Also in this embodiment, as shown in FIG. 18, the housing 10 and the stem 20 constitute the mounting member 1, but the configurations of the housing 10 and the stem 20 are partially changed compared to the above embodiments. By doing so, the position of the thermistor 70 is positioned near the center of the mounting member 1.

これら変更点について具体的に述べると、ステム２０は、上記各実施形態と同様にダイアフラム部２１と開口部２２とを有する有底筒状のものであるが、本実施形態では、上記各実施形態に比べて軸方向の長さが短いものとしている。このステム２０は、ハウジング１０の他端（図１８中の上端）側に設けられており、開口部２２側にてハウジング１０と溶接部Ｋにて溶接され固定されている。   When these changes are described in detail, the stem 20 has a bottomed cylindrical shape having a diaphragm portion 21 and an opening portion 22 as in the above embodiments, but in the present embodiment, each of the above embodiments. The axial length is shorter than the above. The stem 20 is provided on the other end (upper end in FIG. 18) side of the housing 10, and is welded and fixed to the housing 10 and the welded portion K on the opening 22 side.

そして、本実施形態では、圧力導入口２２ａは、ハウジング１０における圧力媒体２０１に接する面である一端（図１８中の下端）側の面に設けられている。つまり、このハウジング１０は、上記実施形態のものと同様に、先端面が圧力媒体２０１に接する柱状の柱状部１０ａ（図１８参照）を有するとともに、この柱状部１０ａの先端面に圧力導入口２２ａが設けられたものである。   In the present embodiment, the pressure introduction port 22a is provided on a surface on one end (the lower end in FIG. 18) side that is a surface in contact with the pressure medium 201 in the housing 10. That is, the housing 10 has a columnar columnar portion 10a (see FIG. 18) whose tip surface is in contact with the pressure medium 201, as in the above-described embodiment, and a pressure introduction port 22a at the distal end surface of the columnar portion 10a. Is provided.

この圧力導入口２２ａは、一方では媒体通路２０２に連通し、他方では、ハウジング１０内の穴を介してステム２０の開口部２２に連通している。それにより、圧力媒体２０１の圧力は、圧力導入口２２ａから導入され、ダイアフラム部２１を介して、センサチップ２３に受圧されるようになっている。   The pressure introduction port 22 a communicates with the medium passage 202 on the one hand, and communicates with the opening 22 of the stem 20 through a hole in the housing 10 on the other hand. Thereby, the pressure of the pressure medium 201 is introduced from the pressure introduction port 22 a and is received by the sensor chip 23 via the diaphragm portion 21.

さらに、本実施形態では、ケース８０にサーミスタ７０を収納した構成を採用している。特に、ここでは、ケース８０は、取付部材１のうちステム２０ではなくハウジング１０における圧力媒体２０１側の面に固定されている。なお、このケース８０のハウジング１０への固定方法は、上記第４実施形態と同じく、ケース８０を圧入し、つば部８２にて溶接するものである。   Further, in this embodiment, a configuration in which the thermistor 70 is housed in the case 80 is employed. In particular, here, the case 80 is fixed to the pressure medium 201 side surface of the housing 10 instead of the stem 20 of the mounting member 1. The method of fixing the case 80 to the housing 10 is to press-fit the case 80 and weld it at the collar portion 82, as in the fourth embodiment.

そして、このようなケース８０によるサーミスタ７０の配置構成を採用することによって、サーミスタ７０は、センサチップ２３よりも圧力導入口２２ａ側に位置し、さらに、媒体通路２０２の内部にまで突出している。   By adopting such an arrangement configuration of the thermistor 70 by the case 80, the thermistor 70 is positioned closer to the pressure introduction port 22 a than the sensor chip 23, and further protrudes into the medium passage 202.

また、ケース８０のハウジング１０への圧入は、ハウジング１０を軸方向に貫通する貫通穴１２に対して行われている。この貫通穴１２は、ハウジング１０に切削加工を行うなどにより形成できる。   The case 80 is press-fitted into the housing 10 with respect to the through hole 12 that passes through the housing 10 in the axial direction. The through hole 12 can be formed by cutting the housing 10 or the like.

ここで、ケース８０内のサーミスタ７０の配線７１は、このハウジング１０の貫通穴１２を介して、配線基板３０まで引き出され、配線基板３０と電気的に接続されている。なお、図１８では、配線７１は、ハウジング１０の貫通穴１２内を真っ直ぐに延びているが、らせん形状に延びたものとしてもよい。   Here, the wiring 71 of the thermistor 70 in the case 80 is drawn out to the wiring board 30 through the through hole 12 of the housing 10 and is electrically connected to the wiring board 30. In FIG. 18, the wiring 71 extends straight in the through hole 12 of the housing 10, but may be extended in a spiral shape.

さらに、図１８、図１９に示されるように、ケース８０の内部には、熱伝導性に優れたシリコーン樹脂などからなる接着剤８３が充填されており、それによって、サーミスタ７０が固定されている。   Further, as shown in FIGS. 18 and 19, the inside of the case 80 is filled with an adhesive 83 made of silicone resin or the like having excellent thermal conductivity, thereby fixing the thermistor 70. .

また、ハウジング１０の貫通穴１２内には、接着剤８４が充填されており、それによって、貫通穴１２内にてサーミスタ７０の配線７１が固定されている。なお、貫通穴１２内の接着剤８４は、配線７１の固定機能を果たすことができるものならば、ケース８０内の接着剤８３と同一のものでもよいし、異なるものでもよい。   The through hole 12 of the housing 10 is filled with an adhesive 84, whereby the wiring 71 of the thermistor 70 is fixed in the through hole 12. The adhesive 84 in the through hole 12 may be the same as or different from the adhesive 83 in the case 80 as long as it can perform the function of fixing the wiring 71.

ここで、燃料パイプ２００のねじ穴２０３に挿入されるハウジング１０の部分は、略円柱形状の柱状部１０ａであるが、本実施形態では、ハウジング１０の径方向において圧力導入口２２ａを周辺部側に移動させ、サーミスタ７０を上記各実施形態に比べて中央部寄りに位置させたものとなっている。   Here, the portion of the housing 10 that is inserted into the screw hole 203 of the fuel pipe 200 is a substantially columnar columnar portion 10a. In the present embodiment, the pressure inlet 22a is connected to the peripheral portion side in the radial direction of the housing 10. The thermistor 70 is positioned closer to the center than in the above embodiments.

本実施形態では、ケース８０にサーミスタ７０を収納し接着剤８３によって固定するとともに、サーミスタ７０の配線７１をハウジング１０の貫通穴１２に通した後、つば部８２を、ステム２０における圧力導入口２２の開口縁部に接触させる。そして、この状態で、つば部８２とステム２０とをレーザ溶接などにより溶接する。その後、ハウジング１０の貫通穴１２に接着剤８４を充填する。   In the present embodiment, the thermistor 70 is housed in the case 80 and fixed with the adhesive 83, and after the wiring 71 of the thermistor 70 is passed through the through hole 12 of the housing 10, the collar portion 82 is connected to the pressure inlet 22 in the stem 20. In contact with the opening edge. In this state, the collar portion 82 and the stem 20 are welded by laser welding or the like. Thereafter, the adhesive 84 is filled into the through hole 12 of the housing 10.

ここで、ハウジング１０には、適宜、ステム２０の溶接による固定、配線基板３０の固定を行っておく。そして、ハウジング１０にサーミスタ７０およびケース８０を取り付けた後、サーミスタ７０の配線７１と配線基板３０とを接続する。その後は、上記第１実施形態と同様の要領で、本実施形態の圧力センサ１００を製造することができる。   Here, the housing 10 is appropriately fixed by welding the stem 20 and the wiring board 30. Then, after attaching the thermistor 70 and the case 80 to the housing 10, the wiring 71 of the thermistor 70 and the wiring board 30 are connected. Thereafter, the pressure sensor 100 of the present embodiment can be manufactured in the same manner as in the first embodiment.

こうして、できあがった圧力センサ１００を、燃料パイプ２００のねじ穴２０３にねじ締めして取り付けることで、本第７実施形態の圧力センサ１００の取付構造においては、サーミスタ７０が媒体通路２０２の中央に位置したものとなる。   Thus, by attaching the completed pressure sensor 100 to the screw hole 203 of the fuel pipe 200, the thermistor 70 is positioned at the center of the medium passage 202 in the mounting structure of the pressure sensor 100 of the seventh embodiment. Will be.

なお、本第７実施形態では、圧力センサ１００の取付構造において、サーミスタ７０が媒体通路２０２の中央に位置していればよく、サーミスタ７０の取付部材１への配置構成としては、上記図１８、図１９に示した例に限定されるものではない。また、本実施形態においても、サーミスタ７０の配置構成などを変えることにより、上記した各実施形態と適宜組み合わせが可能であることは言うまでもない。   In the seventh embodiment, in the mounting structure of the pressure sensor 100, it is sufficient that the thermistor 70 is positioned at the center of the medium passage 202. The arrangement of the thermistor 70 on the mounting member 1 is as shown in FIG. It is not limited to the example shown in FIG. Also in this embodiment, it is needless to say that the above-described embodiments can be appropriately combined by changing the arrangement configuration of the thermistor 70 and the like.

（第８実施形態）
図２１は、本発明の第８実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。この図２１に示される圧力センサは、上記第７実施形態におけるサーミスタ７０に係る部分を一部変更したものであり、それ以外は同一の構成である。 (Eighth embodiment)
FIG. 21 is a schematic cross-sectional view showing a main part of a pressure sensor according to the eighth embodiment of the present invention. The pressure sensor shown in FIG. 21 is obtained by partially changing the portion related to the thermistor 70 in the seventh embodiment, and the other configuration is the same.

本実施形態では、図２１に示されるように、温度検出部としてのサーミスタ７０を、取付部材１であるハウジング１０からむき出しの状態で露出させている。それによって、サーミスタ７０は圧力媒体２０１に直接さらされることになるため、温度検出の感度が向上する。また、ここでは、ハウジング１０の貫通穴１２内の接着剤８４としては、ハーメチックガラスなどが採用される。   In the present embodiment, as shown in FIG. 21, the thermistor 70 serving as the temperature detection unit is exposed from the housing 10 that is the mounting member 1. As a result, the thermistor 70 is directly exposed to the pressure medium 201, so that the sensitivity of temperature detection is improved. Here, as the adhesive 84 in the through hole 12 of the housing 10, hermetic glass or the like is employed.

なお、本第８実施形態では、ハウジング１０にサーミスタ７０を設けた場合において、サーミスタ７０のむき出し構成を採用した例を示したが、この構成は、たとえばステム２０にサーミスタ７０を設けた場合であっても採用できることは言うまでもない。   In the eighth embodiment, when the thermistor 70 is provided in the housing 10, an example in which the exposed structure of the thermistor 70 is employed is shown. However, this configuration is, for example, the case where the thermistor 70 is provided in the stem 20. However, it goes without saying that it can be adopted.

（第９実施形態）
図２２、図２３は、それぞれ本発明の第９実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。これら図２２、図２３に示される例は、ともにケース８０にサーミスタ７０を収納した構成のものである。このような構成の場合、上述したようにケース８０につば部８２を設けて、溶接面積を稼ぐようにしているが、図２２、図２３では、そのつば部８２の変形例を示す。 (Ninth embodiment)
22 and 23 are schematic cross-sectional views showing the main parts of a pressure sensor according to the ninth embodiment of the present invention. The examples shown in FIGS. 22 and 23 both have a configuration in which the thermistor 70 is housed in the case 80. In the case of such a configuration, as described above, the collar portion 82 is provided on the case 80 so as to increase the welding area. However, FIGS. 22 and 23 show modified examples of the collar portion 82.

図２２に示される例では、取付部材１としてのハウジング１０における圧力媒体２０１側の表面において、ケース８０を溶接する部位に凹みを設け、ケース８０のつば部８２を、この凹みに沿って折り曲げた状態で溶接を行っている。このようにすれば、ハウジング１０とケース８０との固定部分を増加させることができるため、接合強度の向上につながる。   In the example shown in FIG. 22, a recess is provided in a portion where the case 80 is welded on the surface of the housing 10 as the mounting member 1 on the pressure medium 201 side, and the collar portion 82 of the case 80 is bent along the recess. Welding in the state. By doing so, the fixing portion between the housing 10 and the case 80 can be increased, which leads to an improvement in bonding strength.

図２３に示される例では、ケース８０のつば部８２を、圧力導入口２２ａを除くハウジング１０における圧力媒体２０１側の表面全体を覆う大きさのものとすることにより、ケース８０の接合強度を増している。なお、これら図２２および図２３に示されるケース８０の構成は、ケース８０をステム２０に溶接する場合であっても適用できることは言うまでもない。   In the example shown in FIG. 23, the flange portion 82 of the case 80 has a size that covers the entire surface on the pressure medium 201 side of the housing 10 excluding the pressure introduction port 22a, thereby increasing the bonding strength of the case 80. ing. Note that the configuration of the case 80 shown in FIGS. 22 and 23 can be applied even when the case 80 is welded to the stem 20.

（第１０実施形態）
図２４は、本発明の第１０実施形態に係る圧力センサ１００の全体構成を示す概略断面図である。本実施形態は、上記第１実施形態の圧力センサにおいて、取付部材１へのサーミスタ７０の設置形態を変更したところが相違するものである。以下、上記第１実施形態との相違を中心に述べる。 (10th Embodiment)
FIG. 24 is a schematic cross-sectional view showing the overall configuration of the pressure sensor 100 according to the tenth embodiment of the present invention. The present embodiment is different from the pressure sensor of the first embodiment in that the installation form of the thermistor 70 on the mounting member 1 is changed. Hereinafter, differences from the first embodiment will be mainly described.

上記第１実施形態では、取付部材１を構成するハウジング１０とステム２０との隙間にサーミスタ７０を設け、また、上記第３実施形態では別体のケース８０を用いてサーミスタ７０を収納しており、いずれも、２部品以上の構成によりサーミスタ７０を収納していた。それに対して、本実施形態は、圧力センサ１００において、サーミスタ７０を、取付部材１を構成する単一の部材としてのハウジング１０に設けたものである。   In the first embodiment, the thermistor 70 is provided in the gap between the housing 10 and the stem 20 constituting the mounting member 1, and in the third embodiment, the thermistor 70 is housed using a separate case 80. In either case, the thermistor 70 is housed in a configuration of two or more parts. On the other hand, in this embodiment, in the pressure sensor 100, the thermistor 70 is provided in the housing 10 as a single member constituting the mounting member 1.

まず、図２４に示されるように、本圧力センサ１００においては、ステム２０はダイアフラム部２１と開口部２２とを有する有底筒状のものであるが、上記図１８に示される圧力センサと同様に、ハウジング１０の他端（図２４中の上端）側に設けられている。ここでは、ステム２０とハウジング１０とは、ステム２０の外周面に設けられたネジ部２４を介したネジ結合により固定されている。   First, as shown in FIG. 24, in this pressure sensor 100, the stem 20 has a bottomed cylindrical shape having a diaphragm portion 21 and an opening portion 22, but is the same as the pressure sensor shown in FIG. The other end (the upper end in FIG. 24) of the housing 10 is provided. Here, the stem 20 and the housing 10 are fixed by screw connection via a screw portion 24 provided on the outer peripheral surface of the stem 20.

そして、本実施形態では、上記図１８に示される圧力センサと同様に、ハウジング１０は、先端面が圧力媒体２０１に接する柱状の柱状部１０ａを有するとともに、この柱状部１０ａの先端面に圧力導入口２２ａが設けられたものである。   In the present embodiment, as in the pressure sensor shown in FIG. 18, the housing 10 has a columnar columnar portion 10a whose tip surface is in contact with the pressure medium 201, and pressure is introduced to the tip surface of the columnar portion 10a. A mouth 22a is provided.

なお、図２４では示さないが、本実施形態の圧力センサ１００の取付構造は、上記図１８と同様であり、ハウジング１０のねじ部１１を介して燃料パイプに取り付けられるものである。   Although not shown in FIG. 24, the mounting structure of the pressure sensor 100 of the present embodiment is the same as that of FIG. 18 described above, and is attached to the fuel pipe via the screw portion 11 of the housing 10.

この圧力導入口２２ａは、一方では図示しない媒体通路に連通し、他方では、ハウジング１０内の穴を介してステム２０の開口部２２に連通している。また、ここでは、上記したステム２０とハウジング１０とのネジ結合により、ステム２０の開口部２２の端面がハウジング１０に押しつけられてシールされている。それにより、圧力導入口２２ａから導入された圧力媒体の圧力は、ダイアフラム部２１を介して、センサチップ２３に受圧されるようになっている。   The pressure introduction port 22a communicates with a medium passage (not shown) on the one hand, and communicates with the opening 22 of the stem 20 through a hole in the housing 10 on the other hand. Further, here, the end face of the opening 22 of the stem 20 is pressed against the housing 10 and sealed by the screw connection between the stem 20 and the housing 10 described above. Thereby, the pressure of the pressure medium introduced from the pressure inlet 22 a is received by the sensor chip 23 via the diaphragm portion 21.

なお、図２４では、上記図１や図１８に示したものと多少形状が変わっているところはあるが、配線基板３０、ボンディングワイヤ３２、ピン部材４０、コネクタケース５０、ターミナルピン５１、樹脂５２、Ｏリング６０などの機能および結合形態は、本実施形態の圧力センサ１００も上記実施形態のものと同様である。   In FIG. 24, although the shape is slightly different from that shown in FIGS. 1 and 18, the wiring board 30, the bonding wire 32, the pin member 40, the connector case 50, the terminal pin 51, and the resin 52. The function and coupling form of the O-ring 60 and the like are the same as those of the pressure sensor 100 of the present embodiment.

そして、本実施形態において、取付部材１は、圧力導入口２２ａを備える第１の部品としてのハウジング１０とセンサチップ２３を備える第２の部品としてのステム２０とが互いに組み付けられてなるが、本実施形態では、単一の部材としてのハウジング１０にサーミスタ７０を設けている。   In the present embodiment, the mounting member 1 is formed by assembling the housing 10 as the first part including the pressure introduction port 22a and the stem 20 as the second part including the sensor chip 23 together. In the embodiment, the thermistor 70 is provided in the housing 10 as a single member.

具体的には、図２４に示されるように、ハウジング１０に対して、一端が閉塞された閉塞部１３ａ、他端が開口部１３ｂとなっている空洞部１３を設け、この空洞部１３にサーミスタ７０を収納している。   Specifically, as shown in FIG. 24, the housing 10 is provided with a closed portion 13 a with one end closed and a hollow portion 13 with the other end being an opening portion 13 b, and the thermistor is provided in the hollow portion 13. 70 is housed.

この空洞部１３は、ハウジング１３における柱状部１０ａの先端面側に向かって延びる穴であるが、その穴形状は、サーミスタ７０が収納できればよく、断面円形の丸穴でも、断面多角形の角穴でもよい。このような空洞部１３は、型加工や切削加工などにより作製することができる。   The hollow portion 13 is a hole extending toward the front end surface side of the columnar portion 10a in the housing 13, and the hole shape only needs to be able to accommodate the thermistor 70. But you can. Such a cavity 13 can be produced by die machining or cutting.

ここで、空洞部１３の閉塞部１３ａは、空洞部１３の底部であるが、サーミスタ７０は、空洞部１３内において閉塞部１３ａ側に配置されている。つまり、閉塞部１３ａは、ハウジング１０の柱状部１０ａの先端面側に位置しており、サーミスタ７０も当該柱状部１０ａの先端面側に位置した構成となっている。   Here, the closing part 13 a of the cavity part 13 is the bottom part of the cavity part 13, but the thermistor 70 is disposed in the cavity part 13 on the closing part 13 a side. That is, the closing portion 13a is located on the front end surface side of the columnar portion 10a of the housing 10, and the thermistor 70 is also located on the front end surface side of the columnar portion 10a.

また、空洞部１３内には、上記図１８などに示したものと同様の接着剤８３が充填されており、サーミスタ７０およびサーミスタ７０の配線７１を固定している。この配線７１は、配線基板３０に設けられた貫通穴３０ａを介して配線基板３０に電気的に接続されている。   The cavity 13 is filled with an adhesive 83 similar to that shown in FIG. 18 and the like, and the thermistor 70 and the wiring 71 of the thermistor 70 are fixed. The wiring 71 is electrically connected to the wiring board 30 through a through hole 30 a provided in the wiring board 30.

上述したように、ハウジング１０においては、柱状部１０ａの先端面に開口する開口部としての圧力導入口２２ａが設けられているが、空洞部１３の閉塞部１３ａは、この圧力導入口２２ａに隣り合った位置にある。   As described above, the housing 10 is provided with the pressure introduction port 22a as an opening that opens to the tip surface of the columnar portion 10a. However, the closing portion 13a of the cavity 13 is adjacent to the pressure introduction port 22a. In the right position.

ここで、閉塞部１３ａにおけるハウジング１０の肉厚を、ハウジング１０における閉塞部１３ａ以外の部位よりも薄肉となった薄肉部１４ａ、１４ｂとしている。これは、この薄肉部１４ａ、１４ｂを介して、圧力媒体の温度をサーミスタ７０に伝達させることで、温度検出の応答性を向上させるためである。このような肉厚の変化は、切削や型加工などにより容易に実現できる。   Here, the thickness of the housing 10 in the closed portion 13 a is set to be thin portions 14 a and 14 b that are thinner than the portion other than the closed portion 13 a in the housing 10. This is to improve the temperature detection responsiveness by transmitting the temperature of the pressure medium to the thermistor 70 through the thin wall portions 14a and 14b. Such a change in wall thickness can be easily realized by cutting, die machining, or the like.

具体的に、図２４に示される例では、薄肉部１４ａ、１４ｂは、閉塞部１３ａと柱状部１０ａの先端面との間に位置する壁１４ａ、および、閉塞部１３ａと圧力導入口２２ａとの間に位置する壁１４ｂである。このような本実施形態の圧力センサ１００は、ステム２０とハウジング１０との固定やサーミスタ７０の収納形態が、多少異なるものの、上記した実施形態と同様の要領で製造できる。   Specifically, in the example shown in FIG. 24, the thin-walled portions 14a and 14b include a wall 14a positioned between the closed portion 13a and the tip end surface of the columnar portion 10a, and the closed portion 13a and the pressure introduction port 22a. It is the wall 14b located in between. The pressure sensor 100 according to the present embodiment can be manufactured in the same manner as the above-described embodiment, although the fixing of the stem 20 and the housing 10 and the storage form of the thermistor 70 are slightly different.

本実施形態によれば、取付部材１のうちハウジング１０のみでサーミスタ７０の収納を行うことができ、上記した薄肉部１４ａ、１４ｂを設けることにより、サーミスタ７０による応答性に優れた温度検出が可能となる。そして、本実施形態においても、温度検出に関する部材の取付スペースを極力大きくすることなく、圧力媒体の温度検出を行うことの可能な構成を有する圧力センサ１００およびその取付構造を実現できる。   According to the present embodiment, the thermistor 70 can be stored only by the housing 10 of the mounting member 1, and the temperature detection with excellent responsiveness by the thermistor 70 is possible by providing the thin portions 14 a and 14 b described above. It becomes. Also in this embodiment, the pressure sensor 100 having a configuration capable of detecting the temperature of the pressure medium and the mounting structure thereof can be realized without increasing the mounting space of the members related to temperature detection as much as possible.

図２４に示される例では、ハウジング１０のうち圧力媒体の流れに直接接する部位である柱状部１０ａの先端面と閉塞部１３ａとの間の壁１４ａを薄肉部１４ａとして構成しているため、高応答な検出を実現できる。   In the example shown in FIG. 24, the wall 14a between the distal end surface of the columnar part 10a, which is a part directly in contact with the flow of the pressure medium in the housing 10, and the blocking part 13a is configured as a thin part 14a. Responsive detection can be realized.

それに加えて、閉塞部１３ａと圧力導入口２２ａとの間の壁１４ｂも薄肉部１４ｂとしている。すなわち、ハウジング１０において圧力導入口２２ａから吸い込まれる圧力媒体と接する部位も薄肉であるため、圧力媒体の温度のサーミスタ７０への伝達効率を大きくする点で好ましい。   In addition, the wall 14b between the blocking portion 13a and the pressure introducing port 22a is also a thin portion 14b. That is, the portion of the housing 10 that contacts the pressure medium sucked from the pressure inlet 22a is also thin, which is preferable in terms of increasing the efficiency of transmitting the temperature of the pressure medium to the thermistor 70.

図２５は、本第１０実施形態の第１の変形例としての圧力センサの要部を示す概略断面図である。なお、この図２５および以下に示す本実施形態の各変形例を示す図においては、圧力センサの要部を示してあるが、これらの図に示されていないセンサの部分は、上記図２４の構成と同様である。   FIG. 25 is a schematic cross-sectional view showing a main part of a pressure sensor as a first modification of the tenth embodiment. Note that, in FIG. 25 and the drawings showing modifications of the present embodiment shown below, the main part of the pressure sensor is shown, but the sensor part not shown in these figures is shown in FIG. The configuration is the same.

この場合、上記したような柱状のハウジング１０において、空洞部１３の閉塞部１３ａを、柱状部１０ａの先端面側に位置させるとともに、圧力導入口２２ａよりも柱状部１０ａの軸方向へ突出させている。   In this case, in the columnar housing 10 as described above, the closing portion 13a of the hollow portion 13 is positioned on the distal end surface side of the columnar portion 10a, and is protruded in the axial direction of the columnar portion 10a from the pressure introduction port 22a. Yes.

具体的には、ハウジング１０のうち閉塞部１３ａの側方に切り欠きを設け、当該閉塞部１３ａの側方部分の先端面を閉塞部１３ａよりも引っ込ませ、この引っ込んだ先端面に圧力導入口２２ａを設けた構成としている。それにより、閉塞部１３ａにおける圧力導入口２２ａ側の側壁１４ｃに直接、圧力媒体２０１が当たるようにしている。   Specifically, a notch is provided on the side of the closed portion 13a in the housing 10, the distal end surface of the side portion of the closed portion 13a is retracted from the closed portion 13a, and the pressure introduction port is inserted into the retracted distal end surface. 22a is provided. As a result, the pressure medium 201 directly contacts the side wall 14c on the pressure introduction port 22a side in the closed portion 13a.

そして、本例では、上記図２４の場合と同様に、閉塞部１３ａと柱状部１０ａの先端面との間の壁１４ａを薄肉部１４ａとして構成するとともに、さらに、閉塞部１３ａにおける圧力導入口２２ａ側の側壁１４ｃも、薄肉部１４ｃとしている。本例の場合も、応答性に優れた温度検出を実現するうえで好ましい構成が実現される。   In this example, as in the case of FIG. 24 described above, the wall 14a between the closed portion 13a and the tip surface of the columnar portion 10a is configured as a thin portion 14a, and further, the pressure introduction port 22a in the closed portion 13a. The side wall 14c on the side is also a thin portion 14c. Also in the case of this example, a preferable configuration is realized in realizing temperature detection with excellent responsiveness.

図２６は、本第１０実施形態の第２の変形例としての圧力センサの要部を示す概略断面図であり、図２７は、本実施形態の第３の変形例としての圧力センサの要部を示す概略断面図である。   FIG. 26 is a schematic cross-sectional view showing the main part of a pressure sensor as a second modification of the tenth embodiment, and FIG. 27 shows the main part of a pressure sensor as a third modification of the present embodiment. It is a schematic sectional drawing which shows.

上記図２４に示される例では、閉塞部１３ａと柱状部１０ａの先端面との間の壁１４ａ、および、閉塞部１３ａと圧力導入口２２ａとの間の壁１４ｂの両方を、薄肉部１４ａ、１４ｂとしたが、片方のみを薄肉部としてもよい。   In the example shown in FIG. 24, both the wall 14a between the blocking portion 13a and the tip end surface of the columnar portion 10a and the wall 14b between the blocking portion 13a and the pressure inlet 22a are replaced with the thin-walled portion 14a, 14b, but only one side may be a thin portion.

図２６に示される例では、閉塞部１３ａと柱状部１０ａの先端面との間の壁１４ａのみを薄肉部１４ａとし、図２７に示される例では、閉塞部１３ａと圧力導入口２２ａとの間の壁１４ｂのみを、薄肉部１４ｂとしている。   In the example shown in FIG. 26, only the wall 14a between the closed portion 13a and the tip surface of the columnar portion 10a is the thin wall portion 14a, and in the example shown in FIG. 27, between the closed portion 13a and the pressure introduction port 22a. Only the wall 14b is a thin-walled portion 14b.

また、図２８は、本第１０実施形態の第４の変形例としての圧力センサの要部を示す概略断面図であるが、このように、圧力導入口２２ａとステム２０の開口部２２とをつなぐハウジング１０内の穴を、柱状部１０ａの軸に対して平行ではなく、傾いた方向に延びる穴としてもよい。   FIG. 28 is a schematic cross-sectional view showing the main part of a pressure sensor as a fourth modification of the tenth embodiment. In this way, the pressure inlet 22a and the opening 22 of the stem 20 are connected. The hole in the housing 10 to be connected may be a hole that is not parallel to the axis of the columnar portion 10a but extends in an inclined direction.

また、サーミスタ７０を、取付部材１を構成する単一の部材である第２の部品としてのステム２０に設けてもよい。この場合、たとえば、上記図１に示される圧力センサにおいて、ステム２０の周面を構成する壁の内部に、上記図２４に示したような薄肉の閉塞部を有する空洞部を設け、その中にサーミスタ７０を収納すればよい。   Further, the thermistor 70 may be provided on the stem 20 as the second component which is a single member constituting the mounting member 1. In this case, for example, in the pressure sensor shown in FIG. 1, a hollow portion having a thin closed portion as shown in FIG. 24 is provided in the wall constituting the peripheral surface of the stem 20, and the inside thereof is provided therein. The thermistor 70 may be stored.

（他の実施形態）
なお、温度検出部としては、上記したサーミスタ７０に限定されるものではなく、圧力センサ１００の取付部材１に取付可能であって圧力媒体２０１の温度を検出できるものであれば、任意のものを採用できる。 (Other embodiments)
The temperature detection unit is not limited to the above-described thermistor 70, and any temperature detection unit may be used as long as it can be attached to the attachment member 1 of the pressure sensor 100 and can detect the temperature of the pressure medium 201. Can be adopted.

また、上記第１実施形態などに示したように、ハウジング１０の内周面とステム２０の外周面との隙間にサーミスタ７０の配線７１を配置させる構成においては、たとえば、ハウジング１０とステム２０とを組み付けた後に、これらの隙間に接着剤を注入することにより、当該配線７１を固定するようにしてもよい。   In the configuration in which the wiring 71 of the thermistor 70 is disposed in the gap between the inner peripheral surface of the housing 10 and the outer peripheral surface of the stem 20, as shown in the first embodiment, for example, the housing 10 and the stem 20 After assembling, the wiring 71 may be fixed by injecting an adhesive into these gaps.

また、圧力検出部として、上記各実施形態では、ステム２０のダイアフラム部２１に支持され、ダイアフラム部２１が受けた圧力によって歪むものであったが、例えば、ダイアフラム部２１を介さずに、圧力媒体２０１からの圧力を直接、センサチップ２３に当てて検出するようにしてもよい。また、圧力検出部としては、センサチップ２３以外にも種々の圧力検出素子が適用可能である。   Moreover, as a pressure detection part, in each said embodiment, it supported by the diaphragm part 21 of the stem 20, and was distorted by the pressure which the diaphragm part 21 received, For example, without passing through the diaphragm part 21, a pressure medium The pressure from 201 may be directly applied to the sensor chip 23 for detection. In addition to the sensor chip 23, various pressure detection elements can be applied as the pressure detection unit.

また、圧力センサとしては、燃料パイプ２００に取り付けられるものに限定されることはなく、圧力媒体が流れる媒体通路を有する被取付部材に取り付けられ、当該圧力媒体の圧力を検出するものであれば、かまわない。   In addition, the pressure sensor is not limited to the one attached to the fuel pipe 200, and is attached to a member to be attached having a medium passage through which the pressure medium flows and detects the pressure of the pressure medium. It doesn't matter.

また、圧力センサにおいて、取付部材は、圧力導入口を有し圧力検出部を取付可能なものであればよく、上記各実施形態に示したようなハウジング１０およびステム２０の２部品よりなるものに限定されない。たとえば、取付部材としては、単一の部品であってもよいし、３個以上の部品を組み合わせたものであってもよい。また、取付部材と被取付部材との固定は、上述したようなねじ締めに限定されるものではなく、接着や圧入などであってもよい。   Further, in the pressure sensor, the mounting member only needs to have a pressure introduction port and be capable of mounting the pressure detection unit, and is composed of two parts of the housing 10 and the stem 20 as shown in the above embodiments. It is not limited. For example, the mounting member may be a single part or a combination of three or more parts. Further, the fixing of the attachment member and the member to be attached is not limited to the screw tightening as described above, and may be adhesion or press-fitting.

本発明の第１実施形態に係る圧力センサの全体概略断面図である。1 is an overall schematic cross-sectional view of a pressure sensor according to a first embodiment of the present invention. 図１に示される圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the attachment structure of the pressure sensor shown by FIG. 上記第１実施形態の第１の変形例としての圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the attachment structure of the pressure sensor as a 1st modification of the said 1st Embodiment. 上記第１実施形態の第２の変形例としての圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the attachment structure of the pressure sensor as a 2nd modification of the said 1st Embodiment. 本発明の第２実施形態に係る圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the attachment structure of the pressure sensor which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 上記第２実施形態の第１の変形例としての圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the attachment structure of the pressure sensor as a 1st modification of the said 2nd Embodiment. 上記第２実施形態の第２の変形例としての圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the attachment structure of the pressure sensor as a 2nd modification of the said 2nd Embodiment. 本発明の第３実施形態に係る圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the attachment structure of the pressure sensor which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 図８中のケース部分の拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the case part in FIG. 図８中のステムの圧力導入口側の面を示す平面図である。It is a top view which shows the surface by the side of the pressure inlet of the stem in FIG. 上記第３実施形態の変形例としての圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the attachment structure of the pressure sensor as a modification of the said 3rd Embodiment. 本発明の第４実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the pressure sensor which concerns on 4th Embodiment of this invention. 本発明の第５実施形態に係る圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the attachment structure of the pressure sensor which concerns on 5th Embodiment of this invention. 図１３中のＡ−Ａ概略断面図である。It is AA schematic sectional drawing in FIG. 上記第５実施形態の変形例としての圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the attachment structure of the pressure sensor as a modification of the said 5th Embodiment. 本発明の第６実施形態に係る圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the attachment structure of the pressure sensor which concerns on 6th Embodiment of this invention. 上記第６実施形態の変形例としての圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the attachment structure of the pressure sensor as a modification of the said 6th Embodiment. 本発明の第７実施形態に係る圧力センサの取付構造の要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the attachment structure of the pressure sensor which concerns on 7th Embodiment of this invention. 図１８に示される圧力センサにおけるサーミスタ近傍部の拡大図である。It is an enlarged view of the thermistor vicinity part in the pressure sensor shown by FIG. 媒体通路中のサーミスタの種々の位置関係を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically various positional relationships of the thermistor in a medium path. 本発明の第８実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the pressure sensor which concerns on 8th Embodiment of this invention. 本発明の第９実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the pressure sensor which concerns on 9th Embodiment of this invention. 本発明の第９実施形態に係るもう一つの圧力センサの要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of another pressure sensor which concerns on 9th Embodiment of this invention. 本発明の第１０実施形態に係る圧力センサを示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the pressure sensor which concerns on 10th Embodiment of this invention. 上記第１０実施形態における第１の変形例としての圧力センサの要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the pressure sensor as a 1st modification in the said 10th Embodiment. 上記第１０実施形態における第２の変形例としての圧力センサの要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the pressure sensor as a 2nd modification in the said 10th Embodiment. 上記第１０実施形態における第３の変形例としての圧力センサの要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the pressure sensor as a 3rd modification in the said 10th Embodiment. 上記第１０実施形態における第４の変形例としての圧力センサの要部を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the pressure sensor as a 4th modification in the said 10th Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１…取付部材、１０…取付部材としてのハウジング、１０ａ…ハウジングの柱状部、
１３…空洞部、１３ａ…空洞部の閉塞部、１３ｂ…空洞部の開口部、
１４ａ…薄肉部としての閉塞部と柱状部の先端面との間の壁、
１４ｂ…薄肉部としての閉塞部と圧力導入口との間の壁、
１４ｃ…薄肉部としての閉塞部における圧力導入口側の側壁、
２０…取付部材としてのステム、２２…圧力導入口としてのステムの開口部、
２２ａ…ハウジングに設けられた圧力導入口、
２３…圧力検出部としてのセンサチップ、２４…凹部、２５…ステムの貫通穴、
７０…温度検出部としてのサーミスタ、７１…サーミスタの配線、８０…ケース、
８１…ケースの開口部、８２…ケースのつば部、１００…圧力センサ、
２００…被取付部材としての燃料パイプ、２０１…圧力媒体、２０２…媒体通路、
２０４…窪み。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Mounting member, 10 ... Housing as mounting member, 10a ... Columnar part of housing,
13 ... Cavity part, 13a ... Clogging part of cavity part, 13b ... Opening part of cavity part,
14a: a wall between the closed portion as the thin portion and the tip surface of the columnar portion,
14b: a wall between the closed portion as the thin portion and the pressure inlet,
14c ... Side wall on the pressure inlet side in the closed portion as a thin portion,
20 ... Stem as mounting member, 22 ... Opening of stem as pressure inlet,
22a ... Pressure inlet provided in the housing,
23 ... Sensor chip as a pressure detection unit, 24 ... Recess, 25 ... Stem through hole,
70: Thermistor as temperature detection unit, 71: Thermistor wiring, 80 ... Case,
81 ... opening of the case, 82 ... collar of the case, 100 ... pressure sensor,
200 ... Fuel pipe as a member to be attached, 201 ... Pressure medium, 202 ... Medium passage,
204: A depression.

Claims (21)

内部に圧力媒体（２０１）が流れる被取付部材（２００）に対して取付可能であって前記圧力媒体（２０１）からの圧力を導入する圧力導入口（２２、２２ａ）を有する取付部材（１）と、
前記取付部材（１）に取り付けられ前記圧力導入口（２２、２２ａ）から前記圧力媒体（２０１）の圧力を受けて当該圧力を検出する圧力検出部（２３）と、を有する圧力センサにおいて、
前記取付部材（１）には、前記圧力媒体（２０１）の温度を検出する温度検出部（７０）が備えられていることを特徴とする圧力センサ。 A mounting member (1) having a pressure introduction port (22, 22a) that can be mounted on a mounted member (200) through which a pressure medium (201) flows and that introduces pressure from the pressure medium (201). When,
A pressure sensor having a pressure detector (23) attached to the attachment member (1) and receiving the pressure of the pressure medium (201) from the pressure introduction port (22, 22a) to detect the pressure;
The pressure sensor according to claim 1, wherein the mounting member (1) includes a temperature detection unit (70) for detecting the temperature of the pressure medium (201). 前記温度検出部（７０）は、前記圧力検出部（２３）よりも前記圧力導入口（２２、２２ａ）側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。 The pressure sensor according to claim 1, wherein the temperature detection unit (70) is disposed closer to the pressure introduction port (22, 22a) than the pressure detection unit (23). 前記温度検出部（７０）には、当該温度検出部（７０）の信号を取り出すための配線（７１）の一端側が電気的に接続されており、
この配線（７１）の他端側は、前記取付部材（１）における前記圧力導入口（２２）とは反対側の端部に引き出されており、
前記配線（７１）の中間部は、らせん形状となっていることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。 One end side of a wiring (71) for extracting a signal from the temperature detection unit (70) is electrically connected to the temperature detection unit (70),
The other end side of the wiring (71) is drawn out to the end of the mounting member (1) opposite to the pressure introduction port (22),
The pressure sensor according to claim 2, wherein an intermediate portion of the wiring (71) has a spiral shape. 前記配線（７１）の中間部は、前記取付部材（１）に巻き付けられていることによって前記らせん形状を構成していることを特徴とする請求項３に記載の圧力センサ。 The pressure sensor according to claim 3, wherein the intermediate part of the wiring (71) forms the spiral shape by being wound around the attachment member (1). 前記取付部材（１）は、ねじ締めによって前記被取付部材（２００）に取り付けられるものであり
前記温度検出部（７０）は、前記ねじ締めにおける周回方向に沿って複数個配置されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The attachment member (1) is attached to the member to be attached (200) by screw tightening, and a plurality of the temperature detection parts (70) are arranged along a circumferential direction in the screw tightening. The pressure sensor according to any one of claims 1 to 4, characterized in that: 前記取付部材（１）は、互いに組み付けられた２個の部品（１０、２０）よりなり、これら２個の部品（１０、２０）の一方に凹部（２４）が設けられ、この凹部（２４）に前記温度検出部（７０）が収納されており、前記２個の部品（１０、２０）の他方が前記凹部（２４）を覆っていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The mounting member (1) is composed of two parts (10, 20) assembled to each other, and a recess (24) is provided in one of the two parts (10, 20), and the recess (24). The temperature detection part (70) is housed in a housing, and the other of the two parts (10, 20) covers the recess (24). The pressure sensor described in 1. 前記温度検出部（７０）は、前記取付部材（１）からむき出しの状態で露出しており、前記圧力媒体（２０１）に直接さらされるようになっていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The said temperature detection part (70) is exposed from the said attachment member (1) in the exposed state, and is directly exposed to the said pressure medium (201), The Claim 1 thru | or 5 characterized by the above-mentioned. The pressure sensor according to any one of the above. 前記取付部材（１）は、当該取付部材（１）における前記圧力媒体（２０１）側の表面に固定されたケース（８０）を備えており、このケース（８０）の内部に前記温度検出部（７０）が収納されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The attachment member (1) includes a case (80) fixed to a surface of the attachment member (1) on the pressure medium (201) side, and the temperature detection unit (80) is provided inside the case (80). 70) is housed, and the pressure sensor according to any one of claims 1 to 5. 前記ケース（８０）は、前記ケース（８０）を除く前記取付部材（１）の部分よりも熱伝導率がよいものであることを特徴とする請求項８に記載の圧力センサ。 The pressure sensor according to claim 8, wherein the case (80) has a thermal conductivity better than that of the mounting member (1) excluding the case (80). 圧力媒体（２０１）が流れる媒体通路（２０２）を有する被取付部材（２００）と、
前記圧力媒体（２０１）からの圧力を導入する圧力導入口（２２、２２ａ）を有する取付部材（１）および前記圧力導入口（２２、２２ａ）から前記圧力媒体（２０１）の圧力を受けて当該圧力を検出する圧力検出部（２３）を有する圧力センサ（１００）とを備え、
前記圧力導入口（２２、２２ａ）が前記媒体通路（２０２）に連通するように、前記取付部材（１）を前記被取付部材（２００）に取り付けてなる圧力センサの取付構造において、
前記取付部材（１）には、前記圧力媒体（２０１）の温度を検出する温度検出部（７０）が備えられていることを特徴とする圧力センサの取付構造。 A mounted member (200) having a medium passage (202) through which the pressure medium (201) flows;
The mounting member (1) having a pressure introduction port (22, 22a) for introducing pressure from the pressure medium (201) and the pressure medium (201) receiving the pressure of the pressure medium (201) from the pressure introduction port (22, 22a) A pressure sensor (100) having a pressure detector (23) for detecting pressure,
In the pressure sensor mounting structure in which the mounting member (1) is mounted to the mounted member (200) such that the pressure introduction port (22, 22a) communicates with the medium passage (202).
A mounting structure of a pressure sensor, wherein the mounting member (1) is provided with a temperature detection section (70) for detecting the temperature of the pressure medium (201). 前記温度検出部（７０）は、前記圧力検出部（２３）よりも前記圧力導入口（２２、２２ａ）側に配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の圧力センサの取付構造。 11. The pressure sensor mounting structure according to claim 10, wherein the temperature detection unit is arranged closer to the pressure introduction port than the pressure detection unit. 前記温度検出部（７０）は、前記取付部材（１）において前記圧力導入口（２２）よりも前記媒体通路（２０２）の方向とは反対の方向へ引っ込んだ位置に設けられていることを特徴とする請求項１１に記載の圧力センサの取付構造。 The temperature detector (70) is provided at a position in the attachment member (1) that is retracted in a direction opposite to the direction of the medium passage (202) from the pressure inlet (22). The pressure sensor mounting structure according to claim 11. 前記温度検出部（７０）は、前記取付部材（１）において前記圧力導入口（２２）よりも前記媒体通路（２０２）の方向へ突出した位置に設けられていることを特徴とする請求項１１に記載の圧力センサの取付構造。 The temperature detection part (70) is provided at a position protruding in the direction of the medium passage (202) from the pressure introduction port (22) in the attachment member (1). Mounting structure of the pressure sensor described in 1. 前記温度検出部（７０）は、前記媒体通路（２０２）の内部にまで突出しており、
この突出した温度検出部（７０）と対向する前記媒体通路（２０２）の内壁には、前記圧力媒体（２０１）の流れをスムーズにするための窪み（２０４）が設けられていることを特徴とする請求項１０ないし１３のいずれか１つに記載の圧力センサの取付構造。 The temperature detector (70) protrudes into the medium passage (202),
The inner wall of the medium passage (202) facing the protruding temperature detection part (70) is provided with a recess (204) for smoothing the flow of the pressure medium (201). The pressure sensor mounting structure according to any one of claims 10 to 13. 前記温度検出部（７０）は、前記媒体通路（２０２）の内部にまで突出しており、この突出した温度検出部（７０）は、前記媒体通路（２０２）の中央に位置していることを特徴とする請求項１０ないし１４のいずれか１つに記載の圧力センサの取付構造。 The temperature detector (70) protrudes into the medium passage (202), and the protruding temperature detector (70) is located at the center of the medium passage (202). The pressure sensor mounting structure according to any one of claims 10 to 14. 請求項８または請求項９に記載の圧力センサを製造する製造方法であって、
前記ケース（８０）として、有底筒状のものであって開口部（８１）側の縁部につば状のつば部（８２）を有するものを用い、
前記ケース（８０）に前記温度検出部（７０）を収納した後、前記つば部（８２）を、前記取付部材（１）における前記圧力媒体（２０１）側の表面に接触させた状態で、前記つば部（８２）と前記取付部材（１）とを溶接することを特徴とする圧力センサの製造方法。 A manufacturing method for manufacturing the pressure sensor according to claim 8 or 9,
As the case (80), a case having a bottomed cylindrical shape and having a collar-shaped collar part (82) at the edge on the opening (81) side is used.
After accommodating the temperature detection part (70) in the case (80), the collar part (82) is in contact with the surface of the attachment member (1) on the pressure medium (201) side, and A method of manufacturing a pressure sensor, comprising welding a collar portion (82) and the mounting member (1). 請求項８または請求項９に記載の圧力センサを製造する製造方法であって、
前記ケース（８０）として、有底筒状をなすとともに外周面の軸方向の途中部分に当該外周面より外側に拡がるつば状のつば部（８２）を有するものを用い、
前記取付部材（１）として、前記圧力媒体（２０１）側の表面に前記ケース（８０）の開口部（８１）側の部位が圧入可能な穴部（２５）を有するものを用い、
前記ケース（８０）に前記温度検出部（７０）を収納した後、前記ケース（８０）の開口部（８１）側の部位を、前記つば部（８２）が前記取付部材（１）に当たるまで前記穴部（２５）に圧入し、
続いて、前記つば部（８２）と前記取付部材（１）とを溶接することを特徴とする圧力センサの製造方法。 A manufacturing method for manufacturing the pressure sensor according to claim 8 or 9,
As the case (80), a case having a bottomed cylindrical shape and having a brim-shaped brim portion (82) extending outward from the outer peripheral surface at an intermediate portion in the axial direction of the outer peripheral surface is used.
As the mounting member (1), a member having a hole (25) into which the portion on the opening (81) side of the case (80) can be press-fitted on the surface on the pressure medium (201) side,
After housing the temperature detection portion (70) in the case (80), the portion on the opening (81) side of the case (80) is moved until the collar portion (82) hits the mounting member (1). Press fit into the hole (25),
Then, the manufacturing method of the pressure sensor characterized by welding the said collar part (82) and the said attachment member (1). 前記温度検出部（７０）は、前記取付部材（１）を構成する単一の部材（１０）に設けられたものであり、
前記単一の部材（１０）には、一端が閉塞された閉塞部（１３ａ）、他端が開口部（１３ｂ）となっている空洞部（１３）が設けられており、
前記温度検出部（７０）は、前記空洞部（１３）の前記閉塞部（１３ａ）側の内部に配置されており、
前記閉塞部（１３ａ）における前記単一の部材（１０）の肉厚は、当該単一の部材（１０）における前記閉塞部（１３ａ）以外の部位よりも薄肉となっており、この薄肉の部位（１４ａ〜１４ｃ）を介して、前記圧力媒体（２０１）の温度が前記温度検出部（７０）に伝達されるようになっていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。 The temperature detector (70) is provided on a single member (10) constituting the mounting member (1),
The single member (10) is provided with a closed portion (13a) whose one end is closed and a hollow portion (13) whose other end is an opening (13b),
The temperature detection part (70) is disposed inside the hollow part (13) on the closed part (13a) side,
The thickness of the single member (10) in the closed portion (13a) is thinner than the portion other than the closed portion (13a) in the single member (10), and this thin portion. The pressure sensor according to claim 1, wherein the temperature of the pressure medium (201) is transmitted to the temperature detection unit (70) via (14a to 14c). 前記取付部材（１）は、前記圧力導入口（２２ａ）を備える第１の部品（１０）と、前記圧力検出部（２３）を備える第２の部品（２０）とが互いに組み付けられてなるものであり、
前記単一の部材は前記第１の部品（１０）であることを特徴とする請求項１８に記載の圧力センサ。 The mounting member (1) is formed by assembling a first component (10) having the pressure introduction port (22a) and a second component (20) having the pressure detector (23). And
19. Pressure sensor according to claim 18, characterized in that the single member is the first part (10). 前記第１の部品（１０）は、先端面が前記圧力媒体（２０１）に接する柱状の柱状部（１０ａ）を有するものであって、この柱状部（１０ａ）の前記先端面に前記圧力導入口（２２ａ）が設けられたものであり、
前記空洞部（１３）の前記閉塞部（１３ａ）は、前記柱状部（１０ａ）の前記先端面側に位置して前記圧力導入口（２２ａ）と隣り合っており、
前記閉塞部（１３ａ）と前記柱状部（１０ａ）の前記先端面との間の壁（１４ａ）、および、前記閉塞部（１３ａ）と前記圧力導入口（２２ａ）との間の壁（１４ｂ）が、前記薄肉の部位となっていることを特徴とする請求項１９に記載の圧力センサ。 The first component (10) has a columnar columnar portion (10a) whose tip surface is in contact with the pressure medium (201), and the pressure introduction port is formed on the tip surface of the columnar portion (10a). (22a) is provided,
The closed portion (13a) of the hollow portion (13) is located on the tip surface side of the columnar portion (10a) and is adjacent to the pressure introducing port (22a),
A wall (14a) between the closed part (13a) and the tip end surface of the columnar part (10a), and a wall (14b) between the closed part (13a) and the pressure inlet (22a) The pressure sensor according to claim 19, wherein the pressure sensor is the thin portion. 前記第１の部品（１０）は、先端面が前記圧力媒体（２０１）に接する柱状の柱状部（１０ａ）を有するとともに、この柱状部（１０ａ）の前記先端面に前記圧力導入口（２２ａ）が設けられたものであり、
前記空洞部（１３）の前記閉塞部（１３ａ）は、前記柱状部（１０ａ）の前記先端面側にて前記圧力導入口（２２ａ）よりも前記柱状部（１０ａ）の軸方向へ突出することで、前記閉塞部（１３ａ）における前記圧力導入口（２２ａ）側の側壁（１４ｃ）に直接、前記圧力媒体（２０１）が当たるようになっており、
前記閉塞部（１３ａ）と前記柱状部（１０ａ）の前記先端面との間の壁（１４ａ）、および、前記閉塞部（１３ａ）における前記圧力導入口（２２ａ）側の側壁（１４ｃ）が、前記薄肉の部位となっていることを特徴とする請求項１９に記載の圧力センサ。 The first component (10) has a columnar columnar portion (10a) whose tip surface is in contact with the pressure medium (201), and the pressure introduction port (22a) is formed on the tip surface of the columnar portion (10a). Is provided,
The closed portion (13a) of the hollow portion (13) protrudes in the axial direction of the columnar portion (10a) from the pressure inlet (22a) on the tip surface side of the columnar portion (10a). Then, the pressure medium (201) directly hits the side wall (14c) on the pressure inlet (22a) side in the closed portion (13a),
The wall (14a) between the closed portion (13a) and the tip surface of the columnar portion (10a), and the side wall (14c) on the pressure inlet (22a) side in the closed portion (13a), The pressure sensor according to claim 19, wherein the pressure sensor is a thin portion.
JP2007012568A 2006-08-11 2007-01-23 Pressure sensor, attaching structure of pressure sensor, and manufacturing method of pressure sensor Withdrawn JP2008064732A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007012568A JP2008064732A (en) 2006-08-11 2007-01-23 Pressure sensor, attaching structure of pressure sensor, and manufacturing method of pressure sensor
DE200710035812 DE102007035812A1 (en) 2006-08-11 2007-07-31 Pressure sensor, in a motor common rail fuel injection system, has a chip to measure pressure and a monitor to register the fuel temperature

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006219476 2006-08-11
JP2007012568A JP2008064732A (en) 2006-08-11 2007-01-23 Pressure sensor, attaching structure of pressure sensor, and manufacturing method of pressure sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008064732A true JP2008064732A (en) 2008-03-21

Family

ID=38922335

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007012568A Withdrawn JP2008064732A (en) 2006-08-11 2007-01-23 Pressure sensor, attaching structure of pressure sensor, and manufacturing method of pressure sensor

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2008064732A (en)
DE (1) DE102007035812A1 (en)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010242572A (en) * 2009-04-03 2010-10-28 Denso Corp Fuel injection apparatus
CN104204757A (en) * 2012-03-28 2014-12-10 罗伯特·博世有限公司 Sensor for detecting a pressure and a temperature of a fluid medium
WO2016163109A1 (en) * 2015-04-08 2016-10-13 株式会社デンソー Temperature sensor and mounting structure for same
CN106050502A (en) * 2015-04-02 2016-10-26 罗伯特·博世有限公司 Fuel injector and fuel injector system
JP2018044956A (en) * 2016-09-14 2018-03-22 センサータ テクノロジーズ インコーポレーテッド Integrated pressure and temperature sensor
JP2020085720A (en) * 2018-11-28 2020-06-04 長野計器株式会社 Sensor assy and physical quantity measuring device
CN112504347A (en) * 2020-12-10 2021-03-16 宁波旭日温压仪表有限公司 High-reliability temperature pressure gauge with integrated axial structure
CN113218565A (en) * 2021-05-27 2021-08-06 南京特敏传感技术有限公司 Pressure measurement sensitive assembly

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ITTO20100490A1 (en) * 2010-06-10 2011-12-11 Bitron Spa INTEGRATED DEVICE FOR DETECTION OF THE PRESSURE AND TEMPERATURE OF A FUEL FLOW.
CN104062046B (en) * 2013-03-21 2016-06-22 精亮科技（深圳）有限公司 A kind of pressure transducer
DE102014011724B3 (en) 2014-08-06 2015-12-10 Abb Technology Ag Protective tube device for protecting a temperature sensor from contact with a fluid
EP3418707A1 (en) * 2017-06-21 2018-12-26 First Sensor Mobility GmbH Mountable pressure sensor

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8444069B2 (en) 2009-04-03 2013-05-21 Denso Corporation Fuel injection apparatus
JP2010242572A (en) * 2009-04-03 2010-10-28 Denso Corp Fuel injection apparatus
CN104204757A (en) * 2012-03-28 2014-12-10 罗伯特·博世有限公司 Sensor for detecting a pressure and a temperature of a fluid medium
CN106050502A (en) * 2015-04-02 2016-10-26 罗伯特·博世有限公司 Fuel injector and fuel injector system
CN107407604A (en) * 2015-04-08 2017-11-28 株式会社电装 Temperature sensor and its installation constitution
JP2016200452A (en) * 2015-04-08 2016-12-01 株式会社デンソー Temperature sensor and fitting structure thereof
WO2016163109A1 (en) * 2015-04-08 2016-10-13 株式会社デンソー Temperature sensor and mounting structure for same
US10401230B2 (en) 2015-04-08 2019-09-03 Denso Corporation Temperature sensor and mounting structure for same
JP2018044956A (en) * 2016-09-14 2018-03-22 センサータ テクノロジーズ インコーポレーテッド Integrated pressure and temperature sensor
JP2020085720A (en) * 2018-11-28 2020-06-04 長野計器株式会社 Sensor assy and physical quantity measuring device
CN111238720A (en) * 2018-11-28 2020-06-05 长野计器株式会社 Sensor module and physical quantity measuring device
US11293824B2 (en) 2018-11-28 2022-04-05 Nagano Keiki Co., Ltd. Sensor assembly and physical quantity measuring device
CN112504347A (en) * 2020-12-10 2021-03-16 宁波旭日温压仪表有限公司 High-reliability temperature pressure gauge with integrated axial structure
CN113218565A (en) * 2021-05-27 2021-08-06 南京特敏传感技术有限公司 Pressure measurement sensitive assembly

Also Published As

Publication number Publication date
DE102007035812A1 (en) 2008-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2008064732A (en) Pressure sensor, attaching structure of pressure sensor, and manufacturing method of pressure sensor
US7712361B2 (en) Flow rate measuring apparatus having a resin plate for supporting a flow rate detecting element and a circuit board
US7628078B2 (en) Combustion pressure sensor
US7316164B2 (en) Pressure detection device and manufacturing method of the same
EP1980830B1 (en) Pressure sensor device including temperature sensor contained in common housing
US7372258B2 (en) Rotation detection device
KR20150083029A (en) Sensor for detecting a temperature and a pressure of a fluid medium
JP4453729B2 (en) Pressure sensor
JP2008151738A (en) Pressure sensor
JP4301048B2 (en) Pressure sensor and manufacturing method thereof
CN107407604B (en) Temperature sensor and mounting structure thereof
US9116074B2 (en) Measuring plug and method for assembling a measuring plug
JP2012507001A (en) Temperature sensor, manufacturing method and mounting method thereof
JP2008088937A (en) Detector and engine control device
JP6056562B2 (en) Pressure sensor and manufacturing method thereof
JP2005300456A (en) Temperature sensor integrated pressure sensor apparatus and its mounting method
JP2023552853A (en) Sensor assembly and valve gear
JP4534894B2 (en) Pressure detection device
JP5067138B2 (en) Pressure sensor
JP5280753B2 (en) Temperature sensor and manufacturing method thereof
JP2006258471A (en) Pressure sensor
JP4525297B2 (en) Pressure detection device
JP2006208087A (en) Pressure sensor
JP6111766B2 (en) Pressure sensor mounting structure and mounting method
JP6554979B2 (en) Pressure sensor

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20100406