JP2008055248A - Ink jet device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink jet device loaded with an ink distributor which is composed of an ink distribution part equipped with a plurality of ink jet heads and an ink manifold for storing ink, a heating part for heating ink and a lid for hermetically closing the ink manifold, and constituted so as to reduce the volume of the ink manifold to the utmost, to suppress the occurrence of ink flocculated foreign matter by the precise finish of the internal curved surface of the ink manifold and to miniaturize to ink distributor. <P>SOLUTION: The opening part of the ink manifold is opposed to the opening part of the head distribution supply port in the ink manifold in the same direction, the heating part is arranged to the upper surface of the opening part of the ink manifold to be also used as a lid, the head distribution supply port is zigzag arranged in a two-raw zigzag state and the ink manifold is formed so as to be branched into two rows corresponding to the two-raw zigzag arrangement. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶ディスプレイ等の、例えば、カラーフィルタの色画素パターンを形成するために用いるインク吐出装置に関する。   The present invention relates to an ink ejection device used for forming a color pixel pattern of a color filter, such as a liquid crystal display.

カラーフィルタを例にとって説明する。従来の液晶ディスプレイなどに用いられるカラーフィルタ(以下CF)の製造方法は、フォトリソグラフィによる方法(以下フォトリソ方式)が一般的であった。この方式では、感光性レジストを角型のガラス基板に塗工し、露光、現像、乾燥の一連の処理工程を各々色毎に複数回繰り返すことで、BMパターンの開口部に格子状カラーパターンを得ることができる。   A color filter will be described as an example. As a method for producing a color filter (hereinafter referred to as CF) used for a conventional liquid crystal display or the like, a photolithography method (hereinafter referred to as a photolithography method) is generally used. In this method, a photosensitive resist is applied to a square glass substrate, and a series of processing steps of exposure, development, and drying are repeated for each color a plurality of times, so that a lattice-like color pattern is formed at the opening of the BM pattern. Obtainable.

しかしながら、近年、CF用の基板の大型化が進むと共に、パネル価格の下落に伴ってCFのコストダウン要求も更に厳しくなっている。従って、次世代の2mを超える基板サイズのCF製造ラインをフォトリソ方式で構築する場合、装置自体のコストが現ライン以上に高くなると共に、製造ラインのサイズアップによるフットプリントの拡大によって、建屋等にかかるコストも嵩んでしまい、イニシャルコストの大幅なアップとなることが予想される。また、基板の大型化と共に、レジストの塗工及び現像される余分なレジスト量の増加や、現像液等の材料使用量の増加により、ランニングコストも更に上がることが予想でき、前述したコストダウン要求を満たすことは困難である。   However, in recent years, CF substrates have become larger in size, and the cost reduction of CF has become more severe as panel prices have fallen. Therefore, when building the next-generation CF production line with a substrate size exceeding 2m by the photolithographic method, the cost of the device itself will be higher than the current line, and the footprint will be increased by increasing the size of the production line. Such costs are also increased, and the initial cost is expected to increase significantly. In addition, with the increase in the size of the substrate, it can be expected that the running cost will increase further due to the increase in the amount of resist applied and developed, and the increase in the amount of materials used such as a developer. It is difficult to satisfy.

そこで、フォトリソ方式に替わる新しいCF製造方法の一つとして、インク吐出方式が注目されている。   Therefore, an ink ejection method has attracted attention as one of new CF manufacturing methods that can replace the photolithography method.

このインク吐出方式を用いたCF製造方法では、インク吐出ヘッドを用いてBMパターン開口部に直接カラーパターンを複数色同時に塗工していくため、フォトリソ方式で必要であった露光、現像等の処理工程を削減できると同時に、その装置のフットプリントを大幅に削減することが可能となる。また、塗工するインキ材料も必要量しか使用せず、更にフォトリソ方式で必要であった現像液等が不要となるため、ランニングコストも削減することが可能である。   In this CF manufacturing method using the ink ejection method, a plurality of color patterns are simultaneously applied directly to the BM pattern opening by using the ink ejection head, so that processing such as exposure and development necessary for the photolithography method is performed. The number of processes can be reduced and the footprint of the apparatus can be greatly reduced. In addition, since only a necessary amount of ink material is applied and a developing solution or the like necessary for the photolithography method is not required, the running cost can be reduced.

上記インク吐出方式において、インクをガラス基板に吐出するためのインク吐出系統を整備する事は非常に重要である。通常インク吐出ヘッドは、1つのインク吐出装置に複数個搭載されており、それぞれのインク吐出ヘッドにインクを分配供給するために、供給経路の途中にインク分配器と呼ばれる冶具を備えている。   In the ink ejection method, it is very important to prepare an ink ejection system for ejecting ink onto a glass substrate. Usually, a plurality of ink ejection heads are mounted on one ink ejection apparatus, and a jig called an ink distributor is provided in the middle of the supply path in order to distribute and supply ink to each ink ejection head.

図4は、従来のインク分配器を表した説明図であり、(a)は上面図で、(b)は、その水平断面図であり、(c)は、正面図である。インク吐出装置は、図4に示すインク分配器を搭載した装置であって、そのインク分配器1は複数のインク吐出ヘッドと、その吐出ヘッドへインクを分配供給するヘッド分配供給口5と、インクを貯留しておくためのインクマニホールド11と、インクを供給系統よりインクマニホールドへ供給するためのインク供給口6と、インクマニホールドへ溜まったエアーを排出するためのエアーベント口14を備え、インク分配部を加温するための加温部3と、インクマニホールドを密閉するための蓋4とからなる装置である。   4A and 4B are explanatory views showing a conventional ink distributor, in which FIG. 4A is a top view, FIG. 4B is a horizontal sectional view thereof, and FIG. 4C is a front view. The ink discharge device is a device in which the ink distributor shown in FIG. 4 is mounted. The ink distributor 1 includes a plurality of ink discharge heads, a head distribution supply port 5 that supplies and supplies ink to the discharge heads, and an ink. An ink manifold 11 for storing ink, an ink supply port 6 for supplying ink from the supply system to the ink manifold, and an air vent port 14 for discharging the air accumulated in the ink manifold. This is a device that includes a heating unit 3 for heating the printing unit and a lid 4 for sealing the ink manifold.

図4(a)は、図4に示す通り、従来のインク分配器1は、主にインク分配部2、加温部3、蓋4により構成されている。図下面にヘッド分配供給口5が配置され、インク分配器1の上面で、中央にインク供給口6、その左右に温水返還口8、温水供給口7が直線状
に配置されている。
In FIG. 4A, as shown in FIG. 4, the conventional ink distributor 1 is mainly composed of an ink distributor 2, a heating unit 3, and a lid 4. A head distribution supply port 5 is arranged on the lower surface of the drawing, and an ink supply port 6 is arranged in the center on the upper surface of the ink distributor 1, and a hot water return port 8 and a hot water supply port 7 are arranged linearly on the left and right sides thereof.

図4(b)は、インク分配部2の内部にはインクを貯留しておくためのインクマニホールド11が形成されている。インクマニホールド11の開口部は図右側向きで、ヘッド分配供給口5の開口部に対して垂直方向、すなわち、図上側に向けられており、その合流部13の曲面精密仕上げ加工が困難である。   In FIG. 4B, an ink manifold 11 for storing ink is formed inside the ink distributor 2. The opening portion of the ink manifold 11 is directed to the right side in the drawing and is directed to the vertical direction with respect to the opening portion of the head distribution supply port 5, that is, the upper side in the drawing.

尚且つ、インクマニホールド11に蓋4をした上で、加温部3を両側から挟み込むように配置する事で、インクマニホールド11の温調を行っていた。   In addition, the temperature of the ink manifold 11 is controlled by placing the lid 4 on the ink manifold 11 and arranging the heating unit 3 so as to be sandwiched from both sides.

図4(c)は、且つヘッド分配供給口5は1列直線上に配置されている。インク分配器1の上面に温水返還口8、インク供給口6、温水供給口7と、装置下面にエアーベント口14が配置されている。   In FIG. 4C, the head distribution supply port 5 is arranged on a straight line. A hot water return port 8, an ink supply port 6, a hot water supply port 7 are disposed on the upper surface of the ink distributor 1, and an air vent port 14 is disposed on the lower surface of the apparatus.

しかしながら、ガラス基板のサイズアップやタクトアップに伴って、必要なインク吐出ヘッドの個数も増えて、ヘッド分配供給口5及び分岐経路も増えるため、その分インク分配器1の上面、下面方向に長くなり、大型化となり、より大きいスペースが必要となった。また、それに伴ってインクマニホールド11の容積も大きくなるため、それがインクの滞留を引き起こし、更に、前述したように、インクマニホールド11とヘッド分配供給口5の合流部13の曲面精密仕上げ加工が困難であり、それがインク凝集異物の発生に繋がって、インク異物の吐出による欠陥やインク吐出ヘッドの目詰まりによる不吐出を引き起こしていた。   However, as the size of the glass substrate increases and the tact time increases, the number of necessary ink ejection heads increases, and the head distribution supply ports 5 and branch paths also increase. As a result, the size became larger and a larger space was required. In addition, the volume of the ink manifold 11 is increased accordingly, which causes ink retention. Further, as described above, it is difficult to precisely finish the curved surface of the junction portion 13 of the ink manifold 11 and the head distribution supply port 5. This has led to the occurrence of ink agglomerated foreign matter, causing defects due to ejection of ink foreign matter and non-ejection due to clogging of the ink ejection head.

以下に公知文献を記す。
特開2003−127343号公報
The known literature is described below.
JP 2003-127343 A

本発明は、かかる従来技術の問題点を解決するものであり、その課題とするところは、複数のインク吐出ヘッドへインクを分配供給するためのヘッド分配供給口と、インクを貯留しておくためのインクマニホールドと、インクを供給系統よりインクマニホールドへ供給するためのインク供給口と、インクマニホールドへ溜まったエアーを排出するためのエアーベント口を備えたインク分配部と、インク分配部を加温するための加温部と、インクマニホールドを密閉するための蓋とからなるインク分配器を搭載したインク吐出装置において、インクマニホールドの容積を極力小さくする事でインクの滞留を軽減し、且つインクマニホールド内部の曲面精密仕上げ加工によってインク凝集異物の発生を抑制させ、尚且つインク分配器自体を小型化、省スペース化することが可能なインク分配器を搭載したインク吐出装置を提供することにある。   The present invention solves the problems of the prior art, and the problem is that a head distribution supply port for distributing and supplying ink to a plurality of ink ejection heads and for storing ink. Ink manifold, an ink supply port for supplying ink from the supply system to the ink manifold, an ink distributor having an air vent port for discharging air accumulated in the ink manifold, and heating the ink distributor In an ink discharge apparatus equipped with an ink distributor comprising a heating unit for sealing and a lid for sealing the ink manifold, ink retention is reduced by reducing the volume of the ink manifold as much as possible, and the ink manifold The internal curved surface precision finish processing suppresses the occurrence of ink agglomerated foreign matter, and the ink distributor itself is downsized. It is to provide an ink ejecting device equipped with the ink distributor capable of space saving.

本発明の請求項1に係る発明は、精密駆動機構73上に装備したステージ71と、ステージ71の上方に向き合う位置に配置したインク分配器21を搭載し、
インク分配器21が、複数のインク吐出ヘッド61、インクを分配供給するヘッド分配供給口25、インクを貯留するためのインクマニホールド31、インクマニホールドへ供給するインク供給口26、インクマニホールドへ溜まったエアーを排出するエアーベント口34を備えたインク分配部22と、
インクを加温するための加温部23と、
インクマニホールドを密閉するための蓋とからなるインク吐出装置において、
前記インクマニホールドの開口部が、インクマニホールド内のヘッド分配供給口25の開
口部と同一方向で相対しており、
且つ、前記加温部23がインクマニホールドの開口部上面に配置し、加温部23が蓋として兼用され、
尚且つ、前記ヘッド分配供給口25が2列千鳥に配置されており、
前記インクマニホールド31が、2列千鳥の配置に合わせて2列に分岐して形成されたインク分配器を搭載したことを特徴とするインク吐出装置である。
The invention according to claim 1 of the present invention is equipped with a stage 71 equipped on the precision drive mechanism 73 and an ink distributor 21 arranged at a position facing above the stage 71,
The ink distributor 21 includes a plurality of ink discharge heads 61, a head distribution supply port 25 for distributing and supplying ink, an ink manifold 31 for storing ink, an ink supply port 26 for supplying ink to the ink manifold, and air accumulated in the ink manifold. An ink distributor 22 having an air vent port 34 for discharging water;
A heating unit 23 for heating the ink;
In an ink ejection device comprising a lid for sealing an ink manifold,
The opening of the ink manifold is opposed to the opening of the head distribution supply port 25 in the ink manifold in the same direction,
The heating unit 23 is disposed on the upper surface of the opening of the ink manifold, and the heating unit 23 is also used as a lid.
In addition, the head distribution supply ports 25 are arranged in two rows in a staggered manner,
The ink manifold 31 is mounted with an ink distributor formed by branching into two rows in accordance with the arrangement of two rows and staggered.

本発明に係わるインク吐出装置、すなわち、複数のインク吐出ヘッドへインクを分配供給するヘッド分配供給口とインクを貯留するインクマニホールドとインクをインクマニホールドへ供給するインク供給口とインクマニホールドへ溜まったエアーを排出するエアーベント口を備えたインク分配部と、インク分配部を加温する加温部からなるインク分配器によれば、加温部をインク分配器上方のみに配置して蓋と兼用し、且つヘッド分配供給口を千鳥に配置することにより、省スペース化を計ることができた。   Ink discharge apparatus according to the present invention, that is, a head distribution supply port that distributes and supplies ink to a plurality of ink discharge heads, an ink manifold that stores ink, an ink supply port that supplies ink to the ink manifold, and an air collected in the ink manifold According to the ink distributor comprising the ink distributor having an air vent port for discharging the ink and the heating section for heating the ink distributor, the heating section is arranged only above the ink distributor and also serves as a lid. In addition, by arranging the head distribution supply ports in a staggered manner, it was possible to save space.

また、本発明に係わるインク吐出装置によれば、インクマニホールドを分岐することにより、インク貯留容積を小さくし、インクの滞留を低減させることができた。   In addition, according to the ink ejection apparatus according to the present invention, the ink storage volume can be reduced and the ink retention can be reduced by branching the ink manifold.

更にまた、本発明に係わるインク吐出装置によれば、インクマニホールドの開口部とヘッド分配供給口の開口部を同じ向きにして、相対させることにより、合流部の曲面精密仕上げ加工状態が良好になり、インク凝集異物の発生を抑制することができた。   Furthermore, according to the ink ejection apparatus according to the present invention, the curved surface precision finishing state of the merging portion is improved by making the opening of the ink manifold and the opening of the head distribution supply port face in the same direction and face each other. In addition, the generation of ink agglomerated foreign matter could be suppressed.

本発明のインク吐出装置を一実施形態に基づいて以下説明する。   The ink ejection apparatus of the present invention will be described below based on an embodiment.

図1は、本発明に係わるインク分配器を表した説明図であり、(a)は、全体の斜視図であり、(b)は、上面図で、(c)は、その水平断面図であり、(d)は正面図で、(e)は、その正面断面図である。   FIG. 1 is an explanatory view showing an ink distributor according to the present invention, (a) is a perspective view of the whole, (b) is a top view, and (c) is a horizontal sectional view thereof. Yes, (d) is a front view, and (e) is a front sectional view thereof.

図1の(a)、(b)、(c)及び(d)、(e)で示す通り、図1(a)は、本発明のインク分配器21の全体図であり、インク分配部22と加温部23からなっている。本発明のインク吐出装置は、精密駆動機構73上に装備したステージ71と、ステージ71の上方に向き合うよう位置に配置したインク分配器21を搭載し装置である。前記インク分配器21は、図1(a)に示すように、複数のインク吐出ヘッドと、インクを分配供給するヘッド分配供給口25、インクを貯留するためのインクマニホールド31、インクマニホールドへ供給するインク供給口26、インクマニホールドへ溜まったエアーを排出するエアーベント口34を備えたインク分配部22と、インクを加温するための加温部23から構成されている。   As shown by (a), (b), (c) and (d), (e) in FIG. 1, FIG. 1 (a) is an overall view of the ink distributor 21 of the present invention. And the heating unit 23. The ink ejection apparatus of the present invention is an apparatus equipped with a stage 71 equipped on a precision drive mechanism 73 and an ink distributor 21 disposed at a position facing the stage 71 above. As shown in FIG. 1A, the ink distributor 21 supplies a plurality of ink ejection heads, a head distribution supply port 25 for distributing and supplying ink, an ink manifold 31 for storing ink, and an ink manifold. The ink distribution unit 22 includes an ink supply port 26, an air vent port 34 for discharging air accumulated in the ink manifold, and a heating unit 23 for heating ink.

図1(b)は、加温部23には温水供給口27、温水返還口28があり、インク分配部22にはインク供給口26がある。加温部23は、インク分配部22を覆い、蓋の役割を荷っている。図下面には2列に並んだヘッド分配供給口25が配置されている。   In FIG. 1B, the heating unit 23 has a warm water supply port 27 and a warm water return port 28, and the ink distribution unit 22 has an ink supply port 26. The heating unit 23 covers the ink distribution unit 22 and serves as a lid. On the lower surface of the drawing, head distribution supply ports 25 arranged in two rows are arranged.

図1(c)は、インクマニホールド31の開口方向は図上側向であり、ヘッド分配供給口25の開口方向、すなわち、図上側と相対する方向に設置されているため、その合流部33の曲面精密仕上げ加工がし易く、仕上げ精度を従来品よりも向上する事ができる。   In FIG. 1C, the opening direction of the ink manifold 31 is upward in the figure, and the ink manifold 31 is installed in the opening direction of the head distribution supply port 25, that is, in the direction opposite to the upper side in the figure. Precision finishing is easy, and finishing accuracy can be improved compared to conventional products.

その加温部23の内部には温水マニホールド32が設けられており、形状を円筒形状にする事で蓋の代用となる構造とした。また、加温部23をインク分配部22上方に設置する事で、加温部23の個数を削減し、且つインクマニホールド31の蓋を兼用する事で、
より省スペースになるようにした。
A warm water manifold 32 is provided inside the warming portion 23, and the structure is a substitute for the lid by making the shape cylindrical. Further, by installing the heating unit 23 above the ink distribution unit 22, the number of the heating units 23 is reduced and the lid of the ink manifold 31 is also used.
More space saving.

図1(d)では、インク分配部22よりインク吐出ヘッドへインクを分配供給するためのヘッド分配供給口25は、インク吐出ヘッドの個数だけ2列千鳥状に配列されている。各々のヘッド分配供給口25の間隔Xは、従来のインク分配器1のヘッド分配供給口5の間隔Xと同じ長さに設定しているため、本発明のインク分配器21の方が、上面、下面の長さをより短くすることができる。加温部23の上面、下面方向の両端には温水供給口27と温水返還口28が設けられており、常に一定温度の温水を循環させる事で、インク分配部22内部のインクを温調する。また、インク分配部22の上面、下面方向の両端にはインク供給口26とエアーベント口34が設けられている。   In FIG. 1D, the head distribution supply ports 25 for distributing and supplying ink from the ink distribution unit 22 to the ink discharge heads are arranged in a staggered manner in two rows corresponding to the number of ink discharge heads. Since the distance X between the head distribution supply ports 25 is set to the same length as the distance X between the head distribution supply ports 5 of the conventional ink distributor 1, the ink distributor 21 of the present invention has the upper surface. The length of the lower surface can be further shortened. A warm water supply port 27 and a warm water return port 28 are provided at both ends of the warming unit 23 in the upper and lower surface directions, and the temperature of the ink inside the ink distribution unit 22 is controlled by constantly circulating warm water at a constant temperature. . In addition, an ink supply port 26 and an air vent port 34 are provided at both ends of the upper and lower surfaces of the ink distribution unit 22.

更に、図1(e)は、インク分配部22の内部にインクマニホールド31があり、その上面と下面両端にはインクマニホールド31にインクを供給するためのインク供給口26と、インクマニホールド31に溜まったエアー及び不要インクを排出するためのエアーベント口34が設けられている。また、インクマニホールドの容積をより少なくするために、インク分配部22の内部にはインクマニホールド31が平行して2列設けられており、それらはインク分配部22の上面、下面の両端で合流している。この合流部の形状は流体シミュレーションにより、予め滞留を起こさないような形状とする必要がある。   Further, in FIG. 1E, an ink manifold 31 is provided inside the ink distributor 22, and an ink supply port 26 for supplying ink to the ink manifold 31 and an ink manifold 31 are collected at both upper and lower ends thereof. An air vent port 34 is provided for discharging fresh air and unnecessary ink. Further, in order to reduce the volume of the ink manifold, two rows of ink manifolds 31 are provided in parallel inside the ink distributor 22, and they merge at both ends of the upper surface and the lower surface of the ink distributor 22. ing. The shape of the merging portion needs to be preliminarily shaped so as not to stay by fluid simulation.

図2は、本発明に係わるインク吐出装置を説明する斜視図である。   FIG. 2 is a perspective view for explaining an ink ejection apparatus according to the present invention.

図2で示す通り、インク分配器21にはヘッド分配配管62を介してインク吐出ヘッド61が接続されている。また、インク分配器21の加温部には温水循環装置63が接続されており、その間には温水を加温部へ供給するための温水供給バルブ64と温水供給配管65、温水を温水循環装置63へ返還するための温水返還バルブ66と温水返還配管67が設けられている。   As shown in FIG. 2, an ink discharge head 61 is connected to the ink distributor 21 via a head distribution pipe 62. Further, a warm water circulation device 63 is connected to the warming portion of the ink distributor 21, and a warm water supply valve 64 and a warm water supply pipe 65 for supplying warm water to the warming portion in the meantime, and the warm water circulation device. A hot water return valve 66 and a hot water return pipe 67 for returning to 63 are provided.

インク分配器21へインクを供給するための供給系統は、主に供給タンク41、ポンプ48、圧力制御装置51から構成される。供給タンク41とポンプ48の間にはポンプ供給バルブ44とフィルター47が設けられている。また、ポンプ48と圧力制御装置51の間にはポンプ吐出バルブ49が設けられている。圧力制御装置51からインク供給配管52を経由しインク供給バブル53からインク分配器21に接続されている。更に、ポンプ48の内部に溜まったエアーの排出はポンプエアーベントバルブ50により行う。   A supply system for supplying ink to the ink distributor 21 mainly includes a supply tank 41, a pump 48, and a pressure control device 51. A pump supply valve 44 and a filter 47 are provided between the supply tank 41 and the pump 48. A pump discharge valve 49 is provided between the pump 48 and the pressure control device 51. The pressure control device 51 is connected to the ink distributor 21 from the ink supply bubble 53 via the ink supply pipe 52. Further, the air accumulated in the pump 48 is discharged by a pump air vent valve 50.

供給タンク41にはエアー加圧を行うための加圧バルブ46とレギュレーター45、圧力表示器43が接続されている。   The supply tank 41 is connected with a pressurizing valve 46 for performing air pressurization, a regulator 45 and a pressure indicator 43.

分配器エアーベントバルブ54とポンプエアーベントバルブ50を含む排液系統はエアーベント配管55を介して廃液タンク42に接続されている。   A drainage system including a distributor air vent valve 54 and a pump air vent valve 50 is connected to the waste liquid tank 42 via an air vent pipe 55.

ステージ71には塗工されるガラス基板72が載置される。インク吐出ヘッド61とガラス基板72との間には一定の狭隙間が設けられている。   A glass substrate 72 to be coated is placed on the stage 71. A certain narrow gap is provided between the ink discharge head 61 and the glass substrate 72.

図3(a)〜(c)は、本発明に係わるインク吐出装置の動作を説明する側断面図である。   3A to 3C are side sectional views for explaining the operation of the ink ejection apparatus according to the present invention.

図3(a)で示す通り、ステージ71は、精密駆動機構73によって水平移動することができる。また、インク吐出ヘッド61よりガラス基板72への塗布開始前にインクを予備吐出するためのメンテナンスポッド74が備えられている。なお、このステージ状態をA位置と記す。   As shown in FIG. 3A, the stage 71 can be moved horizontally by the precision drive mechanism 73. Further, a maintenance pod 74 for preliminarily ejecting ink from the ink ejection head 61 before starting application to the glass substrate 72 is provided. This stage state is referred to as A position.

図3(b)は、真空吸着及び予備吐出動作が終わると、ステージ71は塗工開始位置であるB位置まで移動する。   In FIG. 3B, when the vacuum suction and preliminary discharge operations are completed, the stage 71 moves to the B position, which is the coating start position.

図3(c)は、ステージ71は塗工開始位置からインク吐出ヘッド61よりガラス基板72へ順次インクを吐出しながら塗工終了位置であるC位置までの方向に一定の速度で水平移動する。   In FIG. 3C, the stage 71 moves horizontally at a constant speed in the direction from the coating start position to the C position, which is the coating end position, while sequentially discharging ink from the ink discharge head 61 to the glass substrate 72.

本発明のカラーフィルタ用インク吐出装置を用いて、BMパターニング基板上にインクを塗工した。その実施例1を以下説明する(図2、図3参照)。   The ink was applied on the BM patterning substrate using the color filter ink ejection device of the present invention. Example 1 will be described below (see FIGS. 2 and 3).

実施例1では、塗工するインクは市販のレッドインク(以下Rインクと記す)を用い、塗工するガラス基板は無アルカリガラスで、サイズは680mm×880mm×0.7mm厚の基板を使用した。前記基板は、樹脂BMパターニング品を用いた。インク吐出装置のフィルター及びインク吐出ヘッドは市販品を用い、インク吐出ヘッドの配列数は6個とした。   In Example 1, a commercially available red ink (hereinafter referred to as R ink) was used as the ink to be applied, the glass substrate to be applied was non-alkali glass, and a substrate having a size of 680 mm × 880 mm × 0.7 mm was used. . A resin BM patterning product was used as the substrate. Commercially available filters and ink discharge heads of the ink discharge apparatus were used, and the number of ink discharge heads arranged was six.

以下に、実施例1のインク吐出装置の動作を詳細に示す。塗工の事前準備として、Rインクを配管系統、インク分配器及びインク吐出ヘッドへ供給した。まず、供給タンク41にRインクを充填し、加圧バルブ46を開いてエアーを供給タンク41内に供給し、レギュレーター45と圧力表示器43にてタンク内圧力を調節した。実施例1では圧力を20kPaに設定した。   The operation of the ink ejection apparatus of Example 1 is shown in detail below. As preliminary preparation for coating, R ink was supplied to a piping system, an ink distributor, and an ink discharge head. First, the supply tank 41 was filled with R ink, the pressure valve 46 was opened, air was supplied into the supply tank 41, and the tank internal pressure was adjusted by the regulator 45 and the pressure indicator 43. In Example 1, the pressure was set to 20 kPa.

次に、ポンプ供給バルブ44を開きながらポンプ48を作動させ、エアーによる加圧サポートを受けながらポンプ48の内部にRインクを供給した。この時、Rインクはフィルター47を通過することで、Rインクの初期混入異物の除去を行った。ポンプ48の内部にRインクが充填されたあと、ポンプ供給バルブ44を閉じてポンプエアーベントバルブ50を開き、再びポンプ44を作動させて、ポンプ内部に溜まったエアーを廃液タンク42に排出した。この動作によりポンプ内部のエアーが完全に抜けた。   Next, the pump 48 was operated while the pump supply valve 44 was opened, and the R ink was supplied into the pump 48 while receiving a pressurization support by air. At this time, the R ink passed through the filter 47 to remove the initial mixed foreign matter of the R ink. After the inside of the pump 48 was filled with R ink, the pump supply valve 44 was closed and the pump air vent valve 50 was opened, the pump 44 was operated again, and the air accumulated in the pump was discharged into the waste liquid tank 42. By this operation, the air inside the pump was completely removed.

次に、再度ポンプ44にRインクを充填し、ポンプ吐出バルブ49を開きながらポンプ44を作動させることで、圧力制御装置51にRインクを供給した。この動作により圧力制御装置51内部にインクが充填した。   Next, the R ink was supplied to the pressure control device 51 by refilling the pump 44 with R ink and operating the pump 44 while opening the pump discharge valve 49. By this operation, the ink was filled in the pressure control device 51.

圧力制御装置51内部にインクが充填された後、インク供給バルブ53及び分配器エアーベントバルブ54を開きながらポンプ44を作動させてインク分配器21にRインクを供給しつつ、廃液タンク42へエアーを排出した。   After the ink is filled in the pressure control device 51, the pump 44 is operated while the ink supply valve 53 and the distributor air vent valve 54 are opened to supply the R ink to the ink distributor 21, and the air is supplied to the waste liquid tank 42. Was discharged.

インクマニホールド内部のエアーが完全に抜けた後、分配器エアーベントバルブ54を閉じて、インク吐出ヘッド61へRインクを供給した。この時、ステージ71は、図3(a)で示す通り待機位置Aに位置しており、インク吐出ヘッドの直下にはメンテナンスポッド74が配置され、このメンテナンスポッド74上でRインクを吐出させた。   After the air inside the ink manifold was completely removed, the distributor air vent valve 54 was closed and the R ink was supplied to the ink discharge head 61. At this time, the stage 71 is positioned at the standby position A as shown in FIG. 3A, and the maintenance pod 74 is disposed immediately below the ink discharge head, and the R ink is discharged on the maintenance pod 74. .

全てのインク吐出ヘッド61にRインクが完全に充填された後、ポンプ48の動作を止めてポンプ吐出バルブ49を閉じ、供給バルブ53は開いたままで圧力制御装置51により配管内部の圧力を調節した。   After all the ink discharge heads 61 are completely filled with R ink, the operation of the pump 48 is stopped, the pump discharge valve 49 is closed, and the pressure inside the pipe is adjusted by the pressure control device 51 while the supply valve 53 remains open. .

また、Rインクが配管内に充填された時点で、温水循環装置63を作動させて温水供給バルブ64及び温水返還バルブ66を開き、温水を加温部に循環させてインク分配器21
内部のRインクは所望のインク温度に到達した。実施例1では、Rインクの温度を45℃に設定した。なお、Rインク温度が設定値に達したら、塗工待機状態となる。塗工準備が完了した。
Further, when the R ink is filled in the pipe, the hot water circulation device 63 is operated to open the hot water supply valve 64 and the hot water return valve 66, and the hot water is circulated to the heating unit to cause the ink distributor 21 to circulate.
The internal R ink reached the desired ink temperature. In Example 1, the temperature of the R ink was set to 45 ° C. When the R ink temperature reaches the set value, the coating standby state is entered. Coating preparation is complete.

次いで、塗工待機状態になると、この時、ステージ71は、待機位置Aに位置しており、インク吐出ヘッドの直下にはメンテナンスポッド74が配置されおり、ステージ71上に図示されない基板搬送ロボットによりガラス基板72が載置して、真空吸着した。前記作業と並行して、インク吐出ヘッド61よりメンテナンスポッド74にインクを予備吐出し(図3(a)参照)、真空吸着及び予備吐出動作が終わると、ステージ71は塗工開始位置B(図3(b)参照)と、塗工終了位置C(図3(c)参照)の方向に一定の速度で水平移動した。本実施例では移動速度を50mm/秒に設定した。   Next, when the coating standby state is entered, at this time, the stage 71 is positioned at the standby position A, and the maintenance pod 74 is disposed immediately below the ink discharge head. A substrate transport robot (not shown) is placed on the stage 71. A glass substrate 72 was placed and vacuum-adsorbed. In parallel with the above operation, ink is preliminarily ejected from the ink ejection head 61 to the maintenance pod 74 (see FIG. 3A), and when the vacuum suction and preliminary ejection operations are completed, the stage 71 moves to the coating start position B (FIG. 3 (b)) and horizontally moved at a constant speed in the direction of the coating end position C (see FIG. 3 (c)). In this example, the moving speed was set to 50 mm / second.

その水平移動の際に、塗工開始位置B(図3(b)参照)に達した時点からインク吐出ヘッド61よりRインクを吐出しながら、ガラス基板72にRインク塗工を実行した。ステージ71が塗工終了位置C(図3(c)参照)まで移動するとインクの吐出を停止し、その後ステージ71を停止させて、塗工終了した。次いで、塗工が終了すると、ステージ71は再び待機位置Aまで水平移動し、次のガラス基板がステージに移載されるまで待機する。   During the horizontal movement, the R ink coating was performed on the glass substrate 72 while discharging the R ink from the ink discharge head 61 from the time when the coating start position B (see FIG. 3B) was reached. When the stage 71 moved to the coating end position C (see FIG. 3C), the ink ejection was stopped, and then the stage 71 was stopped to complete the coating. Next, when the coating is completed, the stage 71 moves horizontally again to the standby position A, and waits until the next glass substrate is transferred to the stage.

ステージ71が待機位置Aまで移動すると、塗工されたガラス基板72の吸着を解除し、再び図示されない基板搬送ロボットによりガラス基板は回収した。   When the stage 71 moved to the standby position A, suction of the coated glass substrate 72 was released, and the glass substrate was recovered again by a substrate transfer robot (not shown).

以上でガラス基板への塗工の一サイクルが終了する。   Thus, one cycle of coating on the glass substrate is completed.

なお、本発明のインク吐出装置では、一定量のインクが吐出されると、ポンプ吐出バルブ49を開きつつポンプ48を作動させる事で再び圧力制御装置にインクを供給する。インクの供給が終わるとポンプ48の動作を停止させてポンプ吐出バルブ49を閉じる。続いてポンプ供給バルブ44を開きつつポンプ48を作動させる事で、再びポンプ48内部にインクを供給する。   In the ink discharge device of the present invention, when a certain amount of ink is discharged, the ink is supplied again to the pressure control device by operating the pump 48 while opening the pump discharge valve 49. When the ink supply is finished, the operation of the pump 48 is stopped and the pump discharge valve 49 is closed. Subsequently, by operating the pump 48 while opening the pump supply valve 44, the ink is again supplied into the pump 48.

上記塗工サイクルをガラス基板100枚に対して連続処理した結果、インク凝集異物起因によるインク吐出ヘッドの不吐出等は発生せず、また塗工後のガラス基板を検査した結果、インク凝集異物による異物欠陥は見られなかった。   As a result of continuous processing of the above coating cycle on 100 glass substrates, no non-ejection of the ink ejection head due to ink agglomerated foreign matter occurs, and as a result of inspecting the glass substrate after coating, There were no foreign body defects.

ELディスプレイの発光材料のパターン形成や回路基板の回路パターン形成に用いることができる。   It can be used for pattern formation of a luminescent material of an EL display and circuit pattern formation of a circuit board.

本発明に係わるインク分配器を表した説明図であり、(a)は、斜視図で、(b)は上面図で、(c)は、その水平断面図であり、(d)は、正面図で、(e)は、その正面断面図である。It is explanatory drawing showing the ink distributor concerning this invention, (a) is a perspective view, (b) is a top view, (c) is the horizontal sectional view, (d) is a front view. In the figure, (e) is a front sectional view thereof. 本発明に係わるインク吐出装置を斜視で表した説明図である。It is explanatory drawing which represented the ink discharge apparatus concerning this invention by the perspective view. 本発明に係わるインク吐出装置の動作を側面で模式的に表した説明図である。It is explanatory drawing which represented typically the operation | movement of the ink discharge apparatus concerning this invention by the side surface. 従来のインク分配器を表した説明図であり、(a)は、上面図で、(b)は、その水平断面図であり、(c)は、正面図である。It is explanatory drawing showing the conventional ink distributor, (a) is a top view, (b) is the horizontal sectional view, (c) is a front view.

符号の説明Explanation of symbols

1…インク分配器
2…インク分配部
3…加温部
4…蓋
5…ヘッド分配供給口
6…インク供給口
7…温水供給口
8…温水返還口
11…インクマニホールド
12…温水マニホールド
13…合流部
14…エアーベント口
21…インク分配器
22…インク分配部
23…加温部
25…ヘッド分配供給口
26…インク供給口
27…温水供給口
28…返還口
31…インクマニホールド
32…温水マニホールド
33…合流部
34…エアーベント口
41…供給タンク
42…廃液タンク
43…圧力表示器
44…ポンプ供給バルブ
45…レギュレーター
46…加圧バルブ
47…フィルター
48…ポンプ
49…ポンプ吐出バルブ
50…ポンプエアーベントバルブ
51…圧力制御装置
52…インク供給配管
53…インク供給バルブ
54…分配器エアーベントバルブ
55…エアーベント配管
61…インク吐出ヘッド
62…ヘッド分配配管
63…温水循環装置
64…温水供給バルブ
65…温水供給配管
66…温水返還バルブ
67…温水返還配管
71…ステージ
72…ガラス基板
73…精密駆動機構
74…メンテナンスポッド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ink distributor 2 ... Ink distribution part 3 ... Heating part 4 ... Cover 5 ... Head distribution supply port 6 ... Ink supply port 7 ... Hot water supply port 8 ... Hot water return port 11 ... Ink manifold 12 ... Hot water manifold 13 ... Confluence Unit 14 ... Air vent port 21 ... Ink distributor 22 ... Ink distributor 23 ... Heating unit 25 ... Head distribution supply port 26 ... Ink supply port 27 ... Hot water supply port 28 ... Return port 31 ... Ink manifold 32 ... Hot water manifold 33 ... Merging section 34 ... Air vent port 41 ... Supply tank 42 ... Waste liquid tank 43 ... Pressure indicator 44 ... Pump supply valve 45 ... Regulator 46 ... Pressure valve 47 ... Filter 48 ... Pump 49 ... Pump discharge valve 50 ... Pump air vent Valve 51 ... Pressure controller 52 ... Ink supply pipe 53 ... Ink supply valve 54 ... Distributor air vent valve 55 ... Arvent pipe 61 ... Ink discharge head 62 ... Head distribution pipe 63 ... Hot water circulation device 64 ... Hot water supply valve 65 ... Hot water supply pipe 66 ... Hot water return valve 67 ... Hot water return pipe 71 ... Stage 72 ... Glass substrate 73 ... Precision drive mechanism 74 ... Maintenance pod

Claims (1)

精密駆動機構上に装備したステージと、ステージの上方に向き合う位置に配置したインク分配器を搭載し、
インク分配器が、複数のインク吐出ヘッド、インクを分配供給するヘッド分配供給口、インクを貯留するためのインクマニホールド、インクマニホールドへ供給するインク供給口、インクマニホールドへ溜まったエアーを排出するエアーベント口を備えたインク分配部と、
インクを加温するための加温部と、
インクマニホールドを密閉するための蓋とからなるインク吐出装置において、
前記インクマニホールドの開口部が、インクマニホールド内のヘッド分配供給口の開口部と同一方向で相対しており、
且つ、前記加温部がインクマニホールドの開口部上面に配置し、加温部が蓋として兼用され、
尚且つ、前記ヘッド分配供給口が2列千鳥に配置されており、
前記インクマニホールドが、2列千鳥の配置に合わせて2列に分岐して形成されたインク分配器を搭載したことを特徴とするインク吐出装置。
Equipped with a stage equipped on a precision drive mechanism and an ink distributor placed at a position facing the top of the stage,
The ink distributor has a plurality of ink ejection heads, a head distribution supply port for distributing and supplying ink, an ink manifold for storing ink, an ink supply port for supplying ink to the ink manifold, and an air vent for discharging air accumulated in the ink manifold. An ink distributor with a mouth;
A heating unit for heating the ink;
In an ink ejection device comprising a lid for sealing an ink manifold,
The opening of the ink manifold is opposed to the opening of the head distribution supply port in the ink manifold in the same direction,
In addition, the heating unit is disposed on the upper surface of the opening of the ink manifold, and the heating unit is also used as a lid.
In addition, the head distribution supply ports are arranged in two rows in a staggered manner,
An ink ejecting apparatus, wherein the ink manifold is mounted with an ink distributor formed by branching into two rows in accordance with a two-row staggered arrangement.
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