JP2008052091A - Method of manufacturing liquid crystal display - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To technically easily and inexpensively provide a liquid crystal display comprising a film base material of high display quality in a method of manufacturing the liquid crystal display panelizing the film liquid crystal display comprising at least a color filter, a TFT element and a liquid crystal by supplying two roll film base materials. <P>SOLUTION: The method of manufacturing the liquid crystal display includes aligning the color filter and the TFT element to laminate on one roll film base material, laminating opposite electrodes on the other roll film base material, and bonding to sandwich the liquid crystal by each roll film base material. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ロールフィルム基材を用いた液晶表示装置製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for producing a liquid crystal display device using a roll film substrate.

従来より、薄膜トランジスタ等のスイッチング素子及び素子駆動用電極(以下TFT素子と省略する)を規則的に配列したアクティブマトリクス型の液晶表示装置用電極板を用いた液晶表示装置の構造は、カラーフィルター(以下CFと省略する)にTFT素子を有する対向電極基板と液晶を挟んで正確な位置合わせの下に貼り合わせた構造のものである。   Conventionally, a structure of a liquid crystal display device using an electrode plate for an active matrix liquid crystal display device in which switching elements such as thin film transistors and element drive electrodes (hereinafter abbreviated as TFT elements) are regularly arranged is a color filter ( (Hereinafter abbreviated as CF) having a structure in which a counter electrode substrate having a TFT element and a liquid crystal are sandwiched and bonded under accurate alignment.

しかしながら、近年、モバイル用途でもより高精細化が進み、緻密で明るい高品位表示が求められるようになり、パネルを構成する2枚の基板の貼り合わせの精度が益々高度に求められ、貼り合わせの僅かなズレが表示品位を大きく低下させる事態を引き起こす。   However, in recent years, higher definition has been developed even for mobile applications, and a precise and bright high-quality display has been demanded. The accuracy of bonding of two substrates constituting a panel has been demanded more and more. A slight deviation causes a situation where the display quality is greatly lowered.

このため、TFT素子と画素の表示領域を規定するCFを1枚の硝子基板上に重ねて形成する方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。この方式は、硝子基板上にカラーフィルターを設け、オーバーコートを介してスイッチング素子と画素駆動用透明電極を形成するもので、基材に硝子を用いる事でプロセス温度を220℃以上であることが前提になっている。   For this reason, a method has been proposed in which a CF defining a display area of a TFT element and a pixel is formed on a single glass substrate (see, for example, Patent Document 1). In this method, a color filter is provided on a glass substrate and a switching element and a pixel driving transparent electrode are formed through an overcoat. By using glass as a base material, the process temperature may be 220 ° C. or higher. It is a premise.

近年、割れない、軽い、薄い表示装置を求める要求を叶えるべく、プラスチック基板を用いる液晶表示装置が開発され始めている。プラスチック基材はその柔軟さによりフィルム形態での搬送が可能である一方、耐熱性の低さ、熱膨張率の大きさ、歪みの内ゆう、など問題が多く、材料面の開発によりそれらの改善が図られているとはいえ総合的に硝子を越える特性を持つに至っていない。この為、プラスチック基材を用いて高品位な緻密な表示装置をつくる上で、硝子基板を用いた工程以上の対策が求められる。   In recent years, liquid crystal display devices using a plastic substrate have begun to be developed in order to meet the demand for a light, thin display device that does not break. Plastic substrates can be transported in the form of a film due to their flexibility, but there are many problems such as low heat resistance, large thermal expansion coefficient, internal distortion, etc. Although it has been planned, it does not have the characteristics that exceed glass. For this reason, in producing a high-quality and precise display device using a plastic substrate, a countermeasure more than the process using a glass substrate is required.

硝子基板を用いる製造工程では枚葉搬送の為対向基板間の位置合わせ・貼合が容易である。一方、フィルム基材の使用により連続搬送によるCF、TFT素子の形成が可能となるが、フィルム同士の位置合わせ・貼合を行う場合、基材の伸び等の影響で各々のフィルムの画面間のピッチが安定せず制御が難しい為、片方ないし両方の基材を断裁し枚葉に変更して処理しており、ロールフィルム基材の使用によるメリットを損なっている。   In the manufacturing process using a glass substrate, positioning and bonding between the opposing substrates is easy because of the single wafer conveyance. On the other hand, the use of film base material enables the formation of CF and TFT elements by continuous conveyance. However, when aligning and bonding films, the effect of the base material stretches between the screens of each film. Since the pitch is not stable and difficult to control, one or both of the base materials are cut and processed into single wafers, and the advantages of using a roll film base material are lost.

また、ロールフィルム基材上にCFとTFT素子を含む電極をフォトリソ法で積層形成する事も検討されているが、TFT素子の形成で使用する薬液や熱処理工程によるCFの退色や劣化、工程が長くなる事による歩留まり低下などの課題をクリアする必要がある。   In addition, the formation of an electrode including CF and a TFT element on a roll film substrate by a photolithographic method is also being studied. However, there is a process of fading or deterioration of CF due to a chemical solution used for forming a TFT element or a heat treatment process. It is necessary to clear issues such as yield reduction due to the longer period.

以上述べたように、ロールフィルム基板を用いて液晶表示装置を製造する場合、従来の硝子基板を用いた製造工程とは異なる技術の使用が求められる。   As described above, when a liquid crystal display device is manufactured using a roll film substrate, it is required to use a technique different from a manufacturing process using a conventional glass substrate.

以下に公知の文献を記す。
特開平10−239680号公報
Known documents are described below.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-239680

本発明は上記問題点になされたもので、その目的とするところは、表示品位の高いフィ
ルム基材からなる液晶表示装置を技術的容易に且つ安価に提供することである。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a liquid crystal display device comprising a film base material having a high display quality technically easily and inexpensively.

本発明は係る課題に鑑みなされたもので、請求項1の発明は、少なくともカラーフィルター、TFT素子、液晶とからなるフィルム液晶表示装置を、2本のロールフィルム基材を供給することでパネル化する液晶表示装置の製造方法であって、一方のロールフィルム基材上にカラーフィルターとTFT素子とをアライメントして積層し、他方のロールフィルム基材上に対向電極を積層し、前記各ロールフィルム基材により液晶を挟持し貼合する事を特徴とする液晶表示装置の製造方法としたものである。   SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and the invention of claim 1 is to form a film liquid crystal display device comprising at least a color filter, a TFT element, and liquid crystal by supplying two roll film substrates. A method of manufacturing a liquid crystal display device, wherein a color filter and a TFT element are aligned and laminated on one roll film substrate, a counter electrode is laminated on the other roll film substrate, and each of the roll films The liquid crystal display device is manufactured by sandwiching and bonding liquid crystal with a base material.

本発明の請求項2の発明は、ロールフィルム基材上に、カラーフィルターとTFT素子を積層する工程が、
(1)ロールフィルム基材上にカラーフィルターを形成する第1の工程
(2)剥離層を介して硝子基盤上にTFT素子を形成する第2の工程
(3)TFT素子を第1の工程で形成したロールフィルム基材上に、TFT素子と剥離層の界面で剥離し直接積層するか、または、TFT素子を剥離層との界面で剥離し別途用意したロールフィルム基材に反転転写した後、第1の工程で形成したロールフィルム基材上に積層するする第3の工程
よりなることを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置の製造方法としたものである。
The invention of claim 2 of the present invention comprises a step of laminating a color filter and a TFT element on a roll film substrate.
(1) First step of forming a color filter on a roll film substrate (2) Second step of forming a TFT element on a glass substrate via a release layer (3) First step of forming a TFT element On the formed roll film substrate, peel and laminate directly at the interface between the TFT element and the release layer, or peel off the TFT element at the interface with the release layer and reversely transfer to a separately prepared roll film substrate, The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, comprising a third step of laminating on the roll film substrate formed in the first step.

本発明の請求項3の発明は、ロールフィルム基材上に、カラーフィルターとTFT素子を積層する工程が、
(1)ロールフィルム基材上にカラーフィルターを形成する第1の工程
(2)別途剥離層を形成したロールフィルム基材上にTFT素子を形成する第2の工程
(3)第1の工程で形成したカラーフィルターと、第2の工程で形成したTFT素子を、剥離層との界面で剥離し、透明絶縁層を挟んで積層する工程
よりなることを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置の製造方法としたものである。
The invention of claim 3 of the present invention is the step of laminating a color filter and a TFT element on a roll film substrate.
(1) First step of forming a color filter on a roll film substrate (2) Second step of forming a TFT element on a roll film substrate separately formed with a release layer (3) In the first step 2. The liquid crystal display device according to claim 1, comprising a step of peeling the formed color filter and the TFT element formed in the second step at the interface with the peeling layer, and laminating the transparent insulating layer. This is a manufacturing method.

本発明の請求項4の発明は、他方のロールフィルム基材上に形成された対向電極の構成が、透明電極上と配向膜がベタ膜で形成されている事を特徴とする請求項1〜3いずれか1項記載の液晶表示装置の製造方法としたものである。   The invention of claim 4 of the present invention is characterized in that the structure of the counter electrode formed on the other roll film substrate is that the transparent film and the alignment film are formed of a solid film. 3. The method for producing a liquid crystal display device according to any one of 3 above.

本発明の請求項5の発明は、カラーフィルターを形成したロールフィルム基材、TFT素子を形成したロールフィルム基材、及び対向電極を形成したロールフィルム基材の熱膨張率の差が6×10-6cm/cm/℃以下である事を特徴とする請求項1〜4いずれか1項記載の液晶表示装置の製造方法としたものである。 The invention of claim 5 of the present invention is such that the difference in thermal expansion coefficient between the roll film substrate on which the color filter is formed, the roll film substrate on which the TFT element is formed, and the roll film substrate on which the counter electrode is formed is 6 × 10. It is a manufacturing method of the liquid crystal display device of any one of Claims 1-4 characterized by being -6 cm / cm / degrees C or less.

本発明は、ロールフィルム基材からなる液晶表示装置において、片側の基材上にCFとTFT素子からなる画像表示機能を集約する事で、対向電極との貼合を容易にした液晶表示装置製造方法である。   The present invention relates to a liquid crystal display device comprising a roll film substrate, and a liquid crystal display device that facilitates bonding with a counter electrode by consolidating an image display function comprising CF and TFT elements on a substrate on one side. Is the method.

本発明の構成によれば、ロールフィルム基材を用いた従来の構成で記述の諸々の不具合、表示欠陥や色ムラなどが生じない。   According to the configuration of the present invention, various problems described in the conventional configuration using a roll film substrate, display defects, color unevenness, and the like do not occur.

また、従来形状や精度改善のためにほどこしていた工夫や精度の維持管理等の手数が低減され、工程が簡素化されるため、製造が比較的容易になる。   In addition, the number of steps required to improve the shape and accuracy of the conventional device and the maintenance of accuracy are reduced, and the process is simplified.

まず本発明の請求項1の発明では、少なくともカラーフィルター、TFT素子、液晶と
からなるフィルム液晶表示装置を、2本のロールフィルム基材を供給することでパネル化する液晶表示装置の製造方法であって、一方のロールフィルム基材上にカラーフィルターとTFT素子とをアライメントして積層させおき、他方のロールフィルム基材上に対向電極を積層させておき、前記各ロールフィルム基材により液晶を挟持させて貼合させる事を特徴とするものである。
First, in the first aspect of the present invention, a liquid crystal display device comprising a film liquid crystal display device comprising at least a color filter, a TFT element, and a liquid crystal panel by supplying two roll film substrates is provided. The color filter and the TFT element are aligned and laminated on one roll film substrate, the counter electrode is laminated on the other roll film substrate, and the liquid crystal is formed by each roll film substrate. It is characterized by being sandwiched and bonded.

本発明の液晶表示装置の製造方法では、対向電極用フィルム基材は、例えばSiOxなどの無機膜からなるバリア層、ベタ膜からなる透明導電膜及び配向膜を積層した構成とすることで、位置合わせの為のアライメントマークを具備する必要が無い。2枚のロールフィルム基材の貼合前にCFとTFT素子を積層したロールフィルム基材にシール材の形成、液晶材料の塗布を行えば、2枚のロールフィルム基材のアライメント処理をする必要が無くロールラミネーター等の貼り合わせ装置を用いて連続して加工することが可能となる。   In the method for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention, the film substrate for the counter electrode has a configuration in which, for example, a barrier layer made of an inorganic film such as SiOx, a transparent conductive film made of a solid film, and an alignment film are laminated. There is no need to provide alignment marks for alignment. If the sealing material is formed and the liquid crystal material is applied to the roll film base material on which the CF and TFT elements are laminated before the two roll film base materials are bonded, the alignment processing of the two roll film base materials is necessary. It is possible to process continuously using a laminating device such as a roll laminator.

なお、液晶層への水分、ガスの侵入を防止するためのSiOxなどの無機膜からなるバリア層を、CFを形成する前にロールフィルム基材表面や、CFとTFT素子の積層面に透明絶縁性の有機または無機の電気絶縁性のガス遮断機能、イオン性不純物の遮断機能を具備した膜を形成するのが好ましい。透明絶縁膜層を形成する事でTFT素子層へのCF層からのイオン性不純物の遮断機能を付与することができる。   It should be noted that a barrier layer made of an inorganic film such as SiOx to prevent the intrusion of moisture and gas into the liquid crystal layer is transparently insulated on the surface of the roll film substrate or the laminated surface of the CF and TFT elements before forming the CF. It is preferable to form a film having a functional organic or inorganic electrically insulating gas blocking function and an ionic impurity blocking function. By forming the transparent insulating film layer, the TFT element layer can be provided with a function of blocking ionic impurities from the CF layer.

更に透明絶縁層に、CF層とTFT素子層の接着層として液状ないしドライフィルム状の熱硬化樹脂や光硬化樹脂からなる樹脂材料を用いることが可能である。
CFはRed、Green、Blueの3色と遮光膜としてのブラック、補色としてシアン、イエロー、マゼンダをパタニングしたもので、形成方法は、感光性顔料分散レジストをフォトリソ処理によってパタニングする方法、印刷により形成する方法、インクジエット法による方法が可能である。
Furthermore, a resin material made of a liquid or dry film thermosetting resin or photo-curing resin can be used for the transparent insulating layer as an adhesive layer between the CF layer and the TFT element layer.
CF is a pattern in which three colors of red, green, and blue, black as a light-shielding film, cyan, yellow, and magenta as complementary colors are patterned. The forming method is a method of patterning a photosensitive pigment-dispersed resist by photolithography processing, and printing. Or a method based on an ink jet method is possible.

TFT素子は、印刷法や、低温スパッタ法にて導電性膜、機能性膜、絶縁膜を形成しパタニングすれば良い。導電成膜としてはAl、Au膜などからなる金属膜ないし金属化合物膜、酸化インジウム、酸化ジルコニウムなどの金属酸化膜からなる透明導電膜、銀などの導電ペースト分散したインキが使用可能である。機能性膜としては銅フェタロシアニン(CuPc)などが使用可能である。また、絶縁膜としては有機化合物やSiO2などの無機酸化膜、Ta2O5などの非晶質の金属酸化膜などが使用可能である。   The TFT element may be patterned by forming a conductive film, a functional film, and an insulating film by a printing method or a low-temperature sputtering method. As the conductive film, a metal film or metal compound film made of an Al or Au film, a transparent conductive film made of a metal oxide film such as indium oxide or zirconium oxide, or ink dispersed in a conductive paste such as silver can be used. Copper fetalocyanine (CuPc) or the like can be used as the functional film. As the insulating film, an organic compound, an inorganic oxide film such as SiO2, an amorphous metal oxide film such as Ta2O5, or the like can be used.

配向膜は、ポリイミド膜をフレキソ印刷により成膜しラビング処理する方法や、光硬化性液晶を露光処理し形成する方法が使用可能である。   As the alignment film, a polyimide film can be formed by flexographic printing and rubbed, or a photocurable liquid crystal can be exposed and formed.

本発明の請求項2、3の発明では、CFを形成したロールフィルム基材と、別に形成したTFT素子を積層し、対向電極を形成したロールフィルム基材と貼合する迄の処理工程に係るものであり、請求項2,3は各々TFT素子を形成するベース基材が異なるものである。   According to the second and third aspects of the present invention, the roll film base material on which CF is formed and the TFT element formed separately are laminated, and the processing steps until bonding with the roll film base material on which the counter electrode is formed are concerned. In the second and third aspects, the base substrates on which the TFT elements are formed are different.

請求項2はTFT素子を形成するベース基材を硝子基板としたプロセスで、CF上に形成した透明絶縁膜を挟んで、硝子基板上から直接ないし転写用のロールフィルム基材を介して間接的にTFT素子を転写する方法である。   Claim 2 is a process in which the base substrate for forming the TFT element is a glass substrate, with the transparent insulating film formed on the CF sandwiched therebetween, directly from the glass substrate or indirectly through the roll film substrate for transfer. In this method, the TFT element is transferred.

請求項3はTFT素子を形成するベース基材をロールフィルム基材としたプロセスで、CF上に形成した透明絶縁膜を挟んで、TFT素子をロールフィルム基材上から直接転写する方法である。   A third aspect of the present invention is a process in which the base substrate for forming the TFT element is a roll film substrate, and the TFT element is directly transferred from the roll film substrate with a transparent insulating film formed on the CF interposed therebetween.

型性の高い有機や無機膜を用いればよい。   A highly moldable organic or inorganic film may be used.

フィルム基材上のCFとTFT素子の位置合わせ方法としては、CF上ないしTFT素子上に接着材料を塗布後、被接着層をアライメントマークを合わせながら重ね、光硬化反応ないし熱硬化反応により固定する事で、高い位置制御が可能となる。   As a method of aligning the CF on the film substrate and the TFT element, after applying an adhesive material on the CF or TFT element, the layer to be adhered is overlapped while aligning the alignment marks, and fixed by photocuring reaction or thermosetting reaction. This enables high position control.

また、TFT素子の転写にロールフィルム基材を使用する場合、巻き出されたフィルム状で積層処理を行っても良いが、CF画面パタン毎の位置合わせを容易にする為に枚葉状態に断裁して行うのが望ましい。   In addition, when a roll film substrate is used for transferring a TFT element, lamination processing may be performed in the form of an unwound film. However, in order to facilitate alignment for each CF screen pattern, it is cut into a single wafer state. It is desirable to do so.

本発明の請求項4の発明では、CFとTFT素子を積層形成したロールフィルム基材と貼合するための対向電極ロールフィルム基材の構成に係るもので、対向電極ロールフィルム基材はSiOxなどの無機膜からなるバリア層、ベタ膜からなる透明導電膜及び配向膜を積層した構成からなり、位置合わせの為のアライメントマークを具備しない事を特徴とするものである。   In the invention of claim 4 of the present invention, it relates to the configuration of the counter electrode roll film base material to be bonded to the roll film base material on which CF and TFT elements are laminated, and the counter electrode roll film base material is SiOx or the like. It has a structure in which a barrier layer made of an inorganic film, a transparent conductive film made of a solid film, and an alignment film are laminated, and it is characterized by not having an alignment mark for alignment.

従来の硝子基板を用いた液晶表示装置ではTFT素子の駆動とCFによる色表示を制御する為に、CFとTFT素子のトータルピッチを±3ミクロン以下で制御する事で対応している。CF形成基板と対向電極形成基板は熱膨張率の同じ硝子材料を使用し、露光も熱膨張率の低いクウォーツ製のフォトマスクを使用して、温度制御によりトータルピッチの制御を行っている。   In a conventional liquid crystal display device using a glass substrate, in order to control driving of TFT elements and color display by CF, the total pitch of CF and TFT elements is controlled by ± 3 microns or less. The CF forming substrate and the counter electrode forming substrate use a glass material having the same thermal expansion coefficient, and exposure is performed using a quartz photomask having a low thermal expansion coefficient, and the total pitch is controlled by temperature control.

ロールフィルム基材上に形成したCF層と別工程で製造したTFT素子の位置精度を高める為にTFT素子製造時のベース基材及び転写用ロールフィルム基材の変形量の制御、温度制御が重要となる。ロールフィルム基材の変形量の制御には製造工程で使用するロールフィルム基材の熱膨張率の近い材料を使用する事が望ましい。   In order to improve the positional accuracy of the TFT element manufactured in a separate process from the CF layer formed on the roll film substrate, it is important to control the amount of deformation and temperature control of the base substrate and the roll film substrate for transfer when manufacturing the TFT element. It becomes. For controlling the deformation amount of the roll film substrate, it is desirable to use a material having a thermal expansion coefficient close to that of the roll film substrate used in the production process.

現状液晶表示装置用に開発されたロールフィルム基材の熱膨張率は20×10-6cm/cm/℃程度であり、250mmの画面サイズで1℃温度が変化すると5ミクロン基材の長さが変化する。液晶表示装置の高精細化が進んでおり表示品位を確保する為には、CF層とTFT素子のトータルピッチの差は±1.5ミクロン以下で制御する必要があり、熱膨張率の差として6×10-6cm/cm/℃以下である事が望ましい。 The thermal expansion coefficient of the roll film base material developed for the current liquid crystal display device is about 20 × 10 −6 cm / cm / ° C., and the length of the 5 micron base material changes when the temperature of 1 ° C. changes with a screen size of 250 mm. Changes. In order to ensure the display quality of liquid crystal display devices, the difference in the total pitch between the CF layer and the TFT element must be controlled within ± 1.5 microns. It is desirable that it is 6 × 10 −6 cm / cm / ° C. or less.

また、対向電極用ロールフィルム基材はアライメントフリーでありトータルピッチ精度は要求されないが、貼合後の表裏層の伸び率の差による液晶表示装置の反り量を低減する為に、CFとTFT素子の形成された側のロールフィルム基材との熱膨張率の差は工程材料と同様6×10-6cm/cm/℃以下である事が望ましい。ロールフィルム基材としては、ガラスプラスチック板等のように可撓性を有さないもの以外であれば適用できるが、本発明の製造工程の乾燥温度に合わせて選定すればよく、ポリエーテルサルフォン、シクロオレフィンポリマー、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、トリアセチルセルロース等のフィルムやシートを用いることができる。中でも、耐熱性のポリエーテルサルフォン、シクロオレフィンポリマー、ポリイミド等が好適である。また、無機フィラーを上記樹脂に添加して耐熱性を向上させた材料から成る基材でも良い。フィルムおよびシートは、延伸でも未延伸でも良い。 The roll film substrate for the counter electrode is alignment-free and does not require total pitch accuracy, but in order to reduce the amount of warpage of the liquid crystal display device due to the difference in elongation between the front and back layers after bonding, CF and TFT elements The difference in the coefficient of thermal expansion from the roll film substrate on the side where the film is formed is preferably 6 × 10 −6 cm / cm / ° C. or less as in the case of the process material. As the roll film base material, any material other than a flexible material such as a glass plastic plate can be applied, but it may be selected according to the drying temperature in the production process of the present invention. Films or sheets of cycloolefin polymer, polyimide, polycarbonate, polymethyl methacrylate, triacetyl cellulose, etc. can be used. Of these, heat-resistant polyether sulfone, cycloolefin polymer, polyimide and the like are preferable. Moreover, the base material which consists of material which added the inorganic filler to the said resin and improved heat resistance may be sufficient. The film and sheet may be stretched or unstretched.

以下実施例により本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail by way of examples.

CF上にTFT素子を積層する製造プロセスの一例を図1に沿って説明する。
図1(a)に示すように、SiOxからなるバリア層12を設けたロールフィルム基材
11上にアクリレート樹脂を樹脂成分とする顔料分散CF13を形成した。
シランカップリング剤を下地層15として形成した硝子基板14上に透明被覆層17を設けた上にスイッチング素子と画素電極からなるTFT素子16をプラズマCVD法で成膜しパタニング形成した(図1(b))。
An example of a manufacturing process for laminating TFT elements on CF will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 1A, a roll film substrate provided with a barrier layer 12 made of SiOx.
On 11, pigment dispersion CF13 containing an acrylate resin as a resin component was formed.
A transparent coating layer 17 is provided on a glass substrate 14 on which a silane coupling agent is formed as an underlayer 15, and a TFT element 16 including a switching element and a pixel electrode is formed by a plasma CVD method and patterned (FIG. 1 ( b)).

透明被覆層の材料は、一般のフィルム基板上のガスバリア層の形成材料と共通でよい。主に水分と酸素等のガス透過性を小さくするには、アクリル樹脂、ポリカーボネイト樹脂や、SiOx、SiN4等の無機層との多層膜が上げられる。
TFT素子16を粘着剤をコートしたフィルム基材PEN18に転写し、CF13上に光硬化性の接着材19を塗布しTFT素子16と位置を合わせて重ね合せた後、接着剤19を光硬化して、積層基板10を形成した(図1(b、c、d))。
その後、スペーサ材をフォトリソ法でパタニング形成した。
得られた積層基板はトータルピッチ±1.5ミクロンで制御する事ができ、CF画素とTFT素子の重ね合わせ精度の高く、連続搬送の可能なロールフィルムCFが得られた。
The material for the transparent coating layer may be the same as the material for forming the gas barrier layer on a general film substrate. In order to reduce the gas permeability mainly of moisture and oxygen, a multilayer film including an acrylic resin, a polycarbonate resin, and an inorganic layer such as SiOx and SiN 4 is raised.
The TFT element 16 is transferred to a film substrate PEN 18 coated with an adhesive, a photocurable adhesive 19 is applied on the CF 13, and the TFT element 16 is aligned with the TFT element 16, and then the adhesive 19 is photocured. Thus, the laminated substrate 10 was formed (FIGS. 1B, C, and D).
Thereafter, the spacer material was patterned by photolithography.
The obtained multilayer substrate could be controlled with a total pitch of ± 1.5 microns, and a roll film CF capable of continuous conveyance with high overlay accuracy between the CF pixel and the TFT element was obtained.

CF上にTFT素子を積層する製造プロセスの一例を図2に沿って説明する。
図2(a)に示すように、SiOxからなるバリア層22を設けたロールフィルム基材21上にアクリレート樹脂を樹脂成分とする顔料分散CF23を形成した。
シランカップリング剤を下地層25として形成したプラスチック基材24上にTFT素子26を低温スパッタ成膜と印刷法によりパタニングし形成した図2(b)。更にTFT素子上にCF23からの不純物イオンの滲みだしを防ぐ透明被覆層27を形成した図2(c)。
TFT素子26上に光硬化性の接着材28を塗布し図2(d)、CF23と位置を合わせて重ね合せた後、接着剤28を光硬化して、積層基板20を形成した図2(e)。
その後、スペーサー材をインクジェット法でパタニング形成した図2(f)。
得られた積層基板はトータルピッチ±1.5ミクロンで制御する事ができ、CF画素とTFT素子の重ね合わせ精度の高く、連続搬送の可能なロールフィルムCFが得られた。
An example of a manufacturing process for laminating TFT elements on CF will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 2A, a pigment-dispersed CF 23 containing an acrylate resin as a resin component was formed on a roll film substrate 21 provided with a barrier layer 22 made of SiOx.
FIG. 2B shows a TFT element 26 formed by patterning by a low-temperature sputter film formation and printing method on a plastic substrate 24 formed with a silane coupling agent as a base layer 25. Further, a transparent coating layer 27 for preventing the impurity ions from bleeding from the CF 23 is formed on the TFT element as shown in FIG.
A photocurable adhesive 28 is applied on the TFT element 26, and FIG. 2 (d) is aligned and overlapped with the CF 23. Then, the adhesive 28 is photocured to form the laminated substrate 20 (FIG. 2). e).
Thereafter, the spacer material was formed by patterning by an ink jet method (FIG. 2F).
The obtained multilayer substrate could be controlled with a total pitch of ± 1.5 microns, and a roll film CF capable of continuous conveyance with high overlay accuracy between the CF pixel and the TFT element was obtained.

CF上にTFT素子を積層したロールフィルム基材を、対向電極を形成したロールフィルム基材と貼合する製造プロセスの一例を図3に沿って説明する。
図3(a)に示すように、CF32上にTFT素子33を積層したロールフィルム基材30上に、PI配向膜31を塗布しラビング処理を行った。
次に、ディスペンサにてシール剤34を印刷形成した図3(b)。
次に、ODF法により液晶材料35を滴下した後図3(c)、透明電極36とPI配向膜31を形成した対向電極基板38と重合せ、密封して液晶表示装置とした図3(d、e)。
得られた液晶表示装置は、表示欠陥や色ムラなど発生せず高品位な画面画得られた。
An example of a manufacturing process in which a roll film base material in which a TFT element is laminated on CF and a roll film base material on which a counter electrode is formed will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 3A, a PI alignment film 31 was applied on the roll film substrate 30 in which the TFT elements 33 were laminated on the CF 32, and a rubbing process was performed.
Next, FIG. 3B shows the sealant 34 formed by printing with a dispenser.
Next, after dropping the liquid crystal material 35 by the ODF method, FIG. 3C, the transparent electrode 36 and the counter electrode substrate 38 on which the PI alignment film 31 is formed are superposed and sealed to obtain a liquid crystal display device. E).
The obtained liquid crystal display device produced a high-quality screen image without causing display defects or color unevenness.

本発明請求項2に係るCF上にTFT素子を積層する工程の部分断面図である。It is a fragmentary sectional view of the process of laminating a TFT element on CF concerning claim 2 of the present invention. 本発明請求項3に係るCF上にTFT素子を積層する工程の部分断面図である。It is a fragmentary sectional view of the process of laminating a TFT element on CF concerning the present invention claim 3. 本発明に係るの貼合工程の説明図である。It is explanatory drawing of the bonding process of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

11、18、21、24、30、37 ロールフィルム基材
12,22 バリア層
13、23、32 カラーフィルター
14 硝子基板
15、25 剥離層
16、26、33 TFT素子
17、27 透明被覆層
19、28 接着剤
31 PI配光膜
34 シール剤
35 液晶
36 透明電極
11, 18, 21, 24, 30, 37 Roll film substrate 12, 22 Barrier layer 13, 23, 32 Color filter 14 Glass substrate 15, 25 Peeling layer 16, 26, 33 TFT element 17, 27 Transparent coating layer 19, 28 Adhesive 31 PI light distribution film 34 Sealant 35 Liquid crystal 36 Transparent electrode

Claims (5)

少なくともカラーフィルター、TFT素子、液晶とからなるフィルム液晶表示装置を、2本のロールフィルム基材を供給することでパネル化する液晶表示装置の製造方法であって、一方のロールフィルム基材上にカラーフィルターとTFT素子とをアライメントして積層し、他方のロールフィルム基材上に対向電極を積層し、前記各ロールフィルム基材により液晶を挟持し貼合する事を特徴とする液晶表示装置の製造方法。   A method of manufacturing a liquid crystal display device comprising a film liquid crystal display device comprising at least a color filter, a TFT element, and a liquid crystal panel by supplying two roll film base materials, on one roll film base material A color filter and a TFT element are aligned and laminated, a counter electrode is laminated on the other roll film substrate, and a liquid crystal is sandwiched and bonded by each of the roll film substrates. Production method. ロールフィルム基材上に、カラーフィルターとTFT素子を積層する工程が、
(1)ロールフィルム基材上にカラーフィルターを形成する第1の工程
(2)剥離層を介して硝子基盤上にTFT素子を形成する第2の工程
(3)TFT素子を第1の工程で形成したロールフィルム基材上に、TFT素子と剥離層
の界面で剥離し直接積層するか、または、TFT素子を剥離層との界面で剥離し別
途用意したロールフィルム基材に反転転写した後、第1の工程で形成したロールフ
ィルム基材上に積層するする第3の工程
よりなることを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置の製造方法。
The process of laminating color filters and TFT elements on a roll film substrate
(1) First step of forming a color filter on a roll film substrate (2) Second step of forming a TFT element on a glass substrate via a release layer (3) First step of forming a TFT element After peeling and laminating directly on the formed roll film substrate at the interface between the TFT element and the peeling layer, or after peeling off the TFT element at the interface with the peeling layer and transferring to a roll film substrate prepared separately. 2. The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, further comprising a third step of laminating on the roll film substrate formed in the first step.
ロールフィルム基材上に、カラーフィルターとTFT素子を積層する工程が、
(1)ロールフィルム基材上にカラーフィルターを形成する第1の工程
(2)別途剥離層を形成したロールフィルム基材上にTFT素子を形成する第2の工程
(3)第1の工程で形成したカラーフィルターと、第2の工程で形成したTFT素子を、
剥離層との界面で剥離し、透明絶縁層を挟んで積層する工程
よりなることを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置の製造方法。
The process of laminating color filters and TFT elements on a roll film substrate
(1) First step of forming a color filter on a roll film substrate (2) Second step of forming a TFT element on a roll film substrate separately formed with a release layer (3) In the first step The formed color filter and the TFT element formed in the second step
The method for producing a liquid crystal display device according to claim 1, comprising a step of peeling at an interface with the peeling layer and laminating with a transparent insulating layer interposed therebetween.
他方のロールフィルム基材上に形成された対向電極の構成が、透明電極上と配向膜がベタ膜で形成されている事を特徴とする請求項1〜3いずれか1項記載の液晶表示装置の製造方法。   4. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the counter electrode formed on the other roll film substrate has a solid film on the transparent electrode and the alignment film. Manufacturing method. カラーフィルターを形成したロールフィルム基材、TFT素子を形成したロールフィルム基材、及び対向電極を形成したロールフィルム基材の熱膨張率の差が6×10-6cm/cm/℃以下である事を特徴とする請求項1〜4いずれか1項記載の液晶表示装置の製造方法。 The difference in coefficient of thermal expansion between the roll film substrate on which the color filter is formed, the roll film substrate on which the TFT element is formed, and the roll film substrate on which the counter electrode is formed is 6 × 10 −6 cm / cm / ° C. or less. The manufacturing method of the liquid crystal display device of any one of Claims 1-4 characterized by the above-mentioned.
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