JP2008041297A - 発光装置およびその製造方法並びに電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】発光装置の構造に支障をきたすことなく電圧降下を抑制し、且つ、補助電極の形成に用いるマスクの強度を確保する。
【解決手段】発光部Eは共通電極22と画素電極21との間に挟まれた発光層23を有する。共通電極22は、光透過性の材料から形成される。共通電極22の上層には、非発光領域A2と重なる位置において、補助電極42としての電極帯42aが複数の列に並ぶように形成される。各列においては、複数の電極帯42aが間隙42bをおいて配置される。補助電極42および画素電極21は遮光性および導電性を有する。
【選択図】図3
【解決手段】発光部Eは共通電極22と画素電極21との間に挟まれた発光層23を有する。共通電極22は、光透過性の材料から形成される。共通電極22の上層には、非発光領域A2と重なる位置において、補助電極42としての電極帯42aが複数の列に並ぶように形成される。各列においては、複数の電極帯42aが間隙42bをおいて配置される。補助電極42および画素電極21は遮光性および導電性を有する。
【選択図】図3
Description
本発明は、有機発光ダイオード素子のように電流量に応じた大きさの光を発光する発光素子を用いた発光装置およびその製造方法、並びに発光装置を備えた電子機器に関する。
基板上に多数の発光素子が配列された発光装置が広く用いられている。各発光素子は、画素電極(例えば、陽極)と共通電極(例えば、陰極)との間に挟まれた発光層を有する。共通電極は基板上において発光素子が配列される領域(以下、「有効領域」という)全体にわたって設けられる。しかしながら、電極自体が有する抵抗により電極の面内において電圧降下が発生し、基板における位置によって発光素子に供給される電位がばらついて発光素子の輝度が位置によってばらつくおそれがある。
この種の発光装置としては、発光層で発した光を基板から放出させるボトムエミッション型と、基板の反対側の射出面から放出させるトップエミッション型が知られている。トップエミッション型では、共通電極に光透過性の部材が用いられる。ところが一般的に、光透過性の部材は遮光性の部材と比較して抵抗率が高いため、発光素子に供給される電位のバラツキが特に顕著となるといった問題がある。そこで、従来から、共通電極と電気的に接続された補助電極を設け、共通電極の抵抗を下げることが行われている。例えば、特許文献1および特許文献2に記載の技術では、帯状、格子状、放射線状など種々のパターンで形成された補助配線が提案されている。また、特許文献3に記載の技術では、マトリクス状に配置された発光素子の間隙に一行おきに補助配線が形成される。
特開2001−230086号公報
特開2002−318556号公報
特開2004−139970号公報
ところで、補助電極はマスクを利用した堆積法(例えば、真空蒸着)によって形成されることが多い。マスクは補助電極に相当する部分を開口部とし、それ以外の領域を覆う形状に形成される。上記特許文献1〜3には各種の補助電極のパターンが開示されている。しかし、実際には、多数の細片としてマスクを配置するのは極めて困難なので、長尺状の開口部を有するマスクを形成する必要がある。このようなマスクを小さい撓みで配置するために張力をかけると、マスク自体が変形して、結果として補助電極の位置の精度が劣る。また、長い距離にわたって補助電極と他の層が接合されると、補助電極の応力や温度変化による熱応力が他の層にかかり破損する。以上の事情を考慮して、本発明は、発光装置の構造に支障をきたすことなく電圧降下を抑制し、且つ、装置の製造に用いるマスクの強度を確保するという課題の解決を目的としている。
以上の課題を解決するために、本発明に係る発光装置は、第1電極(例えば、図1における画素電極21)と発光層(例えば、発光層23)と第2電極(例えば、共通電極22)とが順に積層された発光部(発光素子。例えば、図2における発光部E)が複数配列された有効領域(例えば、有効領域A)と、前記第2電極より抵抗率が低い材料から形成され、前記第2電極に電気的に接続される補助電極(例えば、補助電極42)とを具備し、前記第2電極は前記複数の発光部に共通して設けられた共通電極であって、前記有効領域は前記発光部が発光可能な発光領域(例えば、発光部E。図3における発光領域A1)と、当該発光領域を除く部分である非発光領域(例えば、非発光領域A2)とを有し、前記共通電極は前記発光領域と前記非発光領域とにわたって形成され、前記補助電極は、ほぼ同じ方向(例えば、図2・図6・図8におけるX方向、図9〜図14におけるY方向)に延びる複数の帯状の電極帯(例えば、図2・図6・図8〜図14における電極帯42a)を有しており、前記複数の電極帯は、前記非発光領域に重なるように配置されているとともに、前記方向に延びる複数の列(図2・図6におけるL1〜L4、図8〜図14におけるL)を構成し、各列には間隙(例えば、図2・図6・図8〜図14における間隙42b)をおいて複数の電極帯が配置されている。
本発明においては、補助電極としての電極帯が複数列に配置され、各列において電極帯は間隙をおいて形成される。これらの電極帯を形成する際には、各電極帯に対面する部分を開口部とするマスクが用いられる。これらの開口部は電極帯の各列における間隙に対面する部分を介してつながっているので、間隙を設けることなしに長尺の電極帯を形成する場合と比較して、マスクの強度が高い。よって、補助電極の形成に際してマスクに張力をかけても、マスクの変形が抑制され、結果として、各電極帯の寸法や位置の誤差が低減される。
また、本発明においては、補助電極と共通電極とが接合される距離が短いので、長尺の補助電極を用いる場合と比較して、接合されている層にかかる膜応力や熱応力が解放されやすい。よって、膜応力や熱応力により発光装置が破損するといった事態の発生を低減することができ、温度変化に対する発光装置の寿命が向上する。
くわえて、発光装置を出射面側から人間の目で見た場合、ブラックマトリクス(例えば、図3における遮光層52)の奥に位置する補助電極からの反射光が迷光となって画像の認識の妨げとなることがある。本発明においては、補助電極は一方向に複数列形成され、各列においては、短尺の電極帯が間隙をおいて形成されるので、間隙を設けることなく連続した長尺の電極帯を形成する場合と比較して、反射光が認識されにくく、迷光が低減される。
本発明の好適な態様において、前記電極帯の各列に直交する方向(例えば、図2・図6・図8におけるY方向、図9〜図14におけるX方向)において、1つの列における間隙に、その列の隣の列に属しこの間隙と同一あるいはこの間隙より長い電極帯が並んでいることにより、隣り合う2つの列における間隙が前記電極帯の各列に直交する方向に並んでいない。この態様によれば、反射光が視認されない部分(すなわち、間隙に相当する部分)が連続して並ばないので、反射光が視認される部分と視認されない部分との境界が曖昧となる。よって、反射光の分布が曖昧となり迷光が低減される。
さらには、電極帯の各列に直交する方向に2つの間隙が連続して並んでいない(すなわち、1つの列における間隙に、その列の隣の列に属する電極帯が並んでいる)ことにより、マスクの開口部の長手方向に直交する方向には電極帯の間隙に対面する部分としての接続部分が並んでいる。よって、隣り合う2つの列において2つの開口部が並んでいる場合と比較して、マスクの強度が向上し、結果として、補助電極の寸法や位置の精度が向上する。
他の態様において、前記各発光部に供給される電流を制御する複数の駆動トランジスタ(例えば、図6・図7における駆動トランジスタTdr)と、前記複数の駆動トランジスタを被覆する絶縁層(例えば、図7における第2絶縁層F2)とをさらに具備し、前記第1電極は、前記絶縁層の面上に配置され、前記絶縁層に形成されたコンタクトホール(例えば、コンタクトホールCH)を介して前記駆動トランジスタと電気的に接続され、前記コンタクトホールは、前記補助電極の各電極帯に重ならない位置に形成される。コンタクトホールの凹部に重なる部分は段差が生じやすい。このため、補助電極をコンタクトホールに重なる位置に形成すると補助電極に亀裂が生じる場合があり、結果として、亀裂部分における抵抗が却って増大する。この態様によれば、補助電極はコンタクトホールと重ならない位置に形成されるので、補助電極に亀裂が生じるといった事態の発生が防止され、補助電極の抵抗が増大しない。補助電極の役割は共通電極の導電性を補助することであるから、その役割が阻害されない。
他の態様においては、前記発光部が千鳥状に配置(例えば、デルタ配列)されており、隣り合う2つの列に属する複数の電極帯が千鳥状に配置されている。発光部がマトリクス状に整列する構成においては、隣り合う2個(あるいは3個)の発光部おきに電極帯を一方向(例えば、Y方向)に延在するように形成すると、電極帯の方向に直交する方向(例えば、X方向)の解像度が低下するように見える場合がある。この態様によれば、発光部が千鳥状に配列されているので、電極帯を介在させても解像度が低下して見えず、ひいては高品位な画質が実現される。くわえて、電極帯も千鳥状に配列されているので、反射光が分散され、結果として上述したような迷光が低減される。
本発明に係る発光装置は各種の電子機器に利用される。この電子機器の典型例は、発光装置を表示装置として利用した機器である。この種の電子機器としては、パーソナルコンピュータや携帯電話機などがある。もっとも、本発明に係る発光装置の用途は画像の表示に限定されない。例えば、光線の照射によって感光体ドラムなどの像担持体に潜像を形成するための露光装置(露光ヘッド)、液晶装置の背面側に配置されてこれを照明する装置(バックライト)、あるいは、スキャナなどの画像読取装置に搭載されて原稿を照明する装置など各種の照明装置など、様々な用途に本発明の発光装置を適用することができる。
本発明は、以上の各態様に係る発光装置を製造する方法としても特定される。この製造方法は、前記有効領域のうち、前記補助電極の各電極帯が形成される領域を開口部(例えば、図4(a)における43a)とするマスク(例えば、43A)を用意する第1工程と、前記マスクの前記開口部が前記発光領域に重ならないように、前記第2電極の前記表面に前記マスクを対向させる第2工程と、前記第2電極に前記マスクを対向させた状態で導電性材料を堆積させることにより、前記補助電極を形成する第3工程とを含む。
以上の方法に使用されるマスクは、開口部が短尺に形成される。また、開口部の長手方向(例えば、図4(a)のX方向)と同じ方向において、複数の開口部が間隙(電極帯の間隙に対面する部分としての間隙)をおいて配置される。したがって、例えば、長尺の補助電極の形成に使用されるマスク(例えば、図4(b)のマスク43B)と比較して、強度が高い。くわえて、開口部の間隙(電極帯の間隙に対面する部分としての間隙)は、開口部の長手方向(すなわち、電極帯の長手方向。例えば、図4(a)のX方向)に直交する方向(例えば、図4(a)のY方向)において並んでいないので、この直交する方向(例えば、図4(a)の方向)におけるマスクの強度が高い。したがって、マスクの変形(撓み)に起因した補助配線の誤差やマスクの破損を抑制することが可能である。
<A:第1実施形態>
<発光装置の構成>
図1は、本発明に係る発光装置Dの電気的な構成を示す回路図である。発光装置Dは、複数の画素回路Uが配列された有効領域Aを具備する。有効領域Aには、X方向に延在する複数の走査線12と、X方向と直交するY方向に延在する複数のデータ線14とが形成される。各画素回路Uは、走査線12とデータ線14との各交差に対応した位置に配置される。したがって、複数の画素回路Uは、X方向およびY方向にわたってマトリクス状に配列する。
<発光装置の構成>
図1は、本発明に係る発光装置Dの電気的な構成を示す回路図である。発光装置Dは、複数の画素回路Uが配列された有効領域Aを具備する。有効領域Aには、X方向に延在する複数の走査線12と、X方向と直交するY方向に延在する複数のデータ線14とが形成される。各画素回路Uは、走査線12とデータ線14との各交差に対応した位置に配置される。したがって、複数の画素回路Uは、X方向およびY方向にわたってマトリクス状に配列する。
ひとつの画素回路Uは、電源線16(電源電圧VEL)から接地線18(接地電圧Gnd)に至る経路上に配置された駆動トランジスタTdrと発光部Eとを含む。発光部Eは、相互に対向する画素電極(陽極)21と共通電極(陰極)22との間に有機EL(Electro Luminescence)材料の発光層23を介在させた有機発光ダイオード素子である。発光部Eは、発光層23に流れる電流(以下「駆動電流」という)Ielに応じた輝度に発光する。画素電極21は発光部Eごとに相互に離間して形成される。共通電極22は、複数の発光部Eにわたって連続に形成されて接地線18に導通する。ただし、接地電位Gndを基準として負極性の電圧が共通電極22に供給される構成としてもよい。
駆動トランジスタTdrは、駆動電流Ielの電流量をゲートの電圧に応じて制御するpチャネル型のトランジスタである。駆動トランジスタTdrのドレインは発光部Eの画素電極21に接続される。各画素回路Uにおける駆動トランジスタTdrのソースは電源線16に対して共通に接続される。駆動トランジスタTdrのゲートとソース(電源線16)との間には容量素子Cが介挿される。また、駆動トランジスタTdrのゲートとデータ線14との間には両者の電気的な接続を制御する選択トランジスタTslが介在する。
以上の構成において、走査線12に供給される走査信号Gに応じて選択トランジスタTslがオン状態に変化すると、発光部Eに指定された階調に応じたデータ電圧Sがデータ線14から選択トランジスタTslを経由して駆動トランジスタTdrのゲートに供給される。このときにデータ電圧Sに応じた電荷が容量素子Cに蓄積されるから、選択トランジスタTslがオフ状態に変化しても、駆動トランジスタTdrのゲートはデータ電圧Sに維持される。したがって、発光部Eにはデータ電圧Sに応じた駆動電流Ielが継続的に供給される。
次に、図2および図3を参照して有効領域Aの具体的な構成を説明する。図2は、有効領域Aの構成を示す平面図であり、図3は、図2におけるIII−III線からみた断面図である。なお、図2や図3においては、走査線12やデータ線14や選択トランジスタTslといった各要素の図示が適宜に省略されている。また、以下で参照する各図においては、説明の便宜のために、各要素の寸法の比率を実際の装置から適宜に異ならせてある。
図2に示されるように、本実施形態では、複数の発光部Eは有効領域Aにおいてマトリクス状に整列させられている。説明の簡易のため、本実施形態では、図中X方向を「列」、Y方向を「行」とした場合に各列8個(行a〜h)の発光部Eが3列(列1〜3)に整列されている例を用いるが、実際には、多数の発光部Eが多数行多数列にわたって配列されている。また、図2においては、本実施形態の理解を容易にする目的で、発光部Eと後段で説明する補助電極42のみが実線で示されているが、実際には、有効領域Aは様々な層が幾重にも重なり合った積層構造を有し、発光部Eと補助電極42は他の層に覆われている。このため、まず図3を主に参照してこの積層構造の具体例を説明する。
図3に示すように、駆動トランジスタTdrや発光部Eといった図1の各要素は基板10の面上に形成される。基板10は、ガラスやプラスチックなど各種の絶縁材料からなる板材である。なお、本実施形態の発光装置Dは発光部Eからの放射光が基板10とは反対側に出射するトップエミッション型であるから、基板10に光透過性は要求されない。
基板10の面上には駆動トランジスタTdrが配置される。駆動トランジスタTdrは、基板10の表面に半導体材料によって形成された半導体層31と、ゲート絶縁層F0を挟んで半導体層31(チャネル領域)に対向するゲート電極32とを含む。ゲート電極32は第1絶縁層F1に覆われる。駆動トランジスタTdrのソース電極33およびドレイン電極35は、第1絶縁層F1の面上に形成されるとともに第1絶縁層F1のコンタクトホールを介して半導体層31(ソース領域・ドレイン領域)に導通する。駆動トランジスタTdrが形成された基板10の表面は第2絶縁層F2に覆われる。第1絶縁層F1や第2絶縁層F2はSiO2などの絶縁材料で形成された膜体である。
第2絶縁層F2の面上には画素電極21が発光部Eごとに相互に離間して形成される。画素電極21は、Y方向を長手とする長方形状の電極であり、有機発光ダイオードの陽極として機能させるのであれば、共通電極22よりも仕事関数が高い光反射性の導電材料によって形成される。画素電極21は、第2絶縁層F2を厚さ方向に貫通するコンタクトホールCHを介して駆動トランジスタTdrのドレイン電極35に電気的に接続される。
画素電極21が形成された第2絶縁層F2の表面には隔壁層40が形成される。図3に示すように、隔壁層40は絶縁性の膜体であり、開口部40aを有する。開口部40aの各々の全体は、画素電極21に重なる。より詳細には、発光層23が形成される前の段階では、開口部40aを通して画素電極21が露出している。開口部40aは画素電極21よりも狭く、画素電極21の端部は隔壁層40により部分的に覆われている。隔壁層40は、画素電極21とその後に形成される共通電極22との間を絶縁するとともに、複数の画素電極21同士の間を絶縁する。隔壁層40は、例えば、アクリルもしくはポリイミド等の透明樹脂が隔壁層40の材料である。
発光層23は、白色の有機材料から成り、隔壁層40が形成された第2絶縁層F2の全域を被覆するように複数の発光部Eにわたって連続に形成される。この発光層23は開口部40aの内側に入り込んで画素電極21に接触する部分(すなわち実際に発光する部分)と隔壁層40の面上に位置する部分とを含む。すなわち、発光層23は隔壁層40により区画されている。よって、隔壁層40を設けることにより画素電極21の各々を独立して制御することができ、複数の発光部Eの各々に独立して電流を流すことができる。発光層23は、例えば、真空蒸着などの、有機材料を表面に堆積させる堆積法により形成される。発光層23は、白色の有機材料を全面に形成する代わりに、R・G・B各色に対応する有機材料を画素ごとにパターニングする方法を用いて形成してもよい。この場合、後述するカラーフィルタ54は必ずしも設けずともよい。画素ごとに有機材料をパターニングする場合には、堆積法あるいはインクジェットにより有機材料を吐出させる方法が用いられる。なお、発光層23による発光を促進または効率化するための各種の機能層(正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層、正孔ブロック層、電子ブロック層)が発光層23に積層された構成としてもよい。
共通電極22は、複数の発光部Eにわたって連続に形成されて発光層23と隔壁層40とを覆う電極であり、開口部40a各々の内部にも配置される。すなわち、共通電極22は、開口部40aの内側にて発光層23を挟んで画素電極21に対向する部分と隔壁層40の面上に位置する部分とを含む。図2および図3に示すように、画素電極21と共通電極22と発光層23との積層のうちZ方向からみて開口部40aの内周縁の内側に位置する部分(すなわち画素電極21から共通電極22に駆動電流Ielが流れる領域)が発光部Eである。発光層23のうち隔壁層40と重なり合う領域は、画素電極21と共通電極22との間に介在する隔壁層40によって電流が遮断されるから発光しない。すなわち、隔壁層40は、各発光部Eの輪郭線を確定する手段として機能する。
共通電極22は、光透過性の導電材料によって形成される。共通電極22は、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)やIZO(Indium Zinc Oxide)といった酸化導電材料や、光透過性を有する程度の膜厚で形成されたMgAgやAlなどの導電材料が用いられる。共通電極22を陰極として機能させるため、共通電極22はアルカリ金属やアルカリ土類金属などの仕事関数が3.5eV以下の材料を含んでいてもよい。したがって、発光層23から基板10とは反対側に出射した光と発光層23から基板10側に出射して画素電極21の表面で反射した光とは共通電極22を透過して出射する。すなわち、本実施形態の発光装置Dはトップエミッション型である。トップエミッション型の発光装置Dでは、発光層23が画素電極21と接する領域(隔壁層40に囲まれた領域、図2における発光部E)から発光した光は駆動トランジスタTdrなどの素子に遮られることなく出射するから、発光部Eは発光領域(以下、「発光領域A1」という)として把握され、隔壁層40に覆われる領域(図2において発光部Eを除く領域)は非発光領域(以下、「非発光領域A2」という)として把握される。共通電極22は発光領域A1と非発光領域A2とにわたって形成される。
ところで、共通電極22を光透過性を有するように形成する場合には、共通電極22の抵抗率が高くなり、その面内における電圧降下が顕著となる。したがって、各発光部Eに印加される電圧が共通電極22の面内(X−Y平面内)の位置に応じて相違し、この結果として各発光部Eの輝度にムラが発生する場合がある。以上のような光量のバラツキを抑制するために、本実施形態においては、共通電極22の導電性を補助するために共通電極22の上層に補助電極42が形成される。補助電極42は、共通電極22よりも抵抗率が低い遮光性の導電材料(例えばアルミニウム)によって形成されて共通電極22に導通する。ところが、補助電極42は遮光性の部材であるので、発光領域A1と重なるように配置すると有効領域Aのうち発光領域A1が占める割合である開口率(発光面積率)が低下する。このため、図2および図3に示されるように、補助電極42は発光領域A1から出射する光を遮断しないように隔壁層40(すなわち、非発光領域A2)と重なる位置に配置される。なお、図示の形態では、共通電極22の上層に補助電極42が形成されているが、共通電極22の下層に補助電極42が形成されてもよい。
このように発光部Eが形成された基板10には、キャップ封止体としての対向基板50が取り付けられる。これらは、図示しない位置で接合されている。対向基板50は例えばガラスまたは透明なプラスチックから形成されている。対向基板50の下層には、ブラックマトリクスとしての遮光層52が形成されている。遮光層52には複数の光透過部52aが形成されており、発光部Eから発した光は光透過部52aを通じて図の上方に放出される。光透過部52aの各々には、カラーフィルタ54(54R,54Gまたは54B)が配置されている。遮光層52は、Z方向からみたときに、非発光領域A2に重なる位置に格子状に形成される。
図2に示されるように、本実施形態の補助電極42は、マトリクス状に整列する発光部Eの各行間(すなわち、非発光領域A2の部分)においてX方向に延在する帯状の電極帯42aであり、複数の列L(L1〜L4)をなすように配置される。また、各列Lには複数の電極帯42aが互いに間隙42bを置いて横一列に並ぶように配置される。より詳細には、補助電極42の列L1において、電極帯42aはX方向に並ぶ3個の発光部E(1列a〜c行目、1列e〜g行目に位置)の配列幅に相当する距離(d1)にわたって配置される。また、列L1内において隣り合って並ぶ2つの電極帯42aの間隙42bは1個の発光部E(1列d行目とn行目に位置)分のX方向の幅(d2)を有する。すなわち、幅d1の電極帯42aと幅d2の間隙42bとが交互に配置される。換言すれば、1個の発光部Eの幅を有する間隙42bが3個の発光部Eおきに配置される。このことは各列L2〜L4においても同様である。一方、X方向と直行するY方向において隣り合う列(例えば、列L1とL2)において間隙42bは並んでいない。具体的には、例えば、1列d行目に位置する発光部Eの図中上側には間隙42bが配置されているが、下側にはこの間隙42bよりも長い電極帯42aが配置されている。これに対し、3列b行目に位置する発光部Eの下側には間隙42bが配置されているが、上側にはこの間隙42bよりも長い電極帯42aが配置されている。このように、上側または下側のいずれか一方に間隙42bを有する発光部Eの他方の側には、その間隙42bよりも長い電極帯42aが配置される。それによって、電極帯42aの配列する方向に直交する方向に間隙42bが並んでいない。
ここで、遮光層52は非発光領域A2において格子状に形成されるから、補助電極42は発光装置Dを発光側(すなわち、対向基板50側)からみたときに遮光層52の奥側に位置する。ところが、発光装置Dを特定の角度(例えば、図3に示すV1およびV2)から人間の目でみたときに、カラーフィルタ54の向こう側に補助電極42が視認される場合がある。補助電極42はアルミニウムなどの金属材料であるから、人間の目には反射光として映る。このため、補助電極42が長い距離にわたって配置されていると、この反射光が線をなして際立ってしまう。そこで、本実施形態では、補助電極42が長い距離にわたって連続することがないように補助電極42を短く分割し所定の間隔で間隙42bを配置している。また、各列L1〜L4において間隙42bを特定の行に集中配置すると(例えば、すべての列において間隙42bをd行目とh行目に設けると)、反射光が視認される行の間隙に反射光が途切れる行が存在することになり反射光が却って際立って見えてしまう場合がある。そこで、本実施形態においては補助電極42の配列方向に直交する方向において、隣り合う2つの列における間隙42bが並ばないように、上側または下側のいずれか一方に間隙42bを有する発光部Eの他方の側には電極帯42aが必ず配置される構成としている。
また、上述したように、本実施形態の発光装置Dはトップエミッション型であるので、共通電極22はITOなどの光透過性材料から形成される。一方、補助電極は共通電極22よりも抵抗が低い金属などの材料で形成される。このため、材質が異なる補助電極42と共通電極22とを互いに接合させて長い距離にわたって配置すると、補助電極の膜自体の応力(引っ張り応力、圧縮応力などのストレス)や温度変化による熱歪みの違いによる熱応力が発生し電極が変形・破損する場合が起こり得る。そこで、本実施形態では、補助電極42の各電極帯42aの長手方向の距離を短くし、これにより、電極帯42aと共通電極22との間で生じる応力を部分的に解放している。
ところで、発光装置Dの製造工程において補助電極42を形成するに際しては、電極以外の部分をマスクで覆って材料を堆積させる堆積法(例えば、真空蒸着、スパッタ法など)を用いる場合が多い。図4(a)は、堆積法によって本実施形態の補助電極42を形成する場合に用いるマスクの形状の一例を示す図であり、図4(b)は、他のマスクの形状を示す比較例である。
図4(a)に示されるように、マスク43Aは、複数の開口部43aを有するシート状の部材であり、金属材料から形成される。マスク43Aは、有効領域Aと略一致する寸法および形状を有する。図5から理解されるように、堆積法においては、マスク43Aを製造中の発光装置Dの被堆積面(すなわち、共通電極22)に対向させて接近させた状態において、マスク43Aを挟んで発光装置Dとは反対側から材料を吹き付けて堆積させる。この方法においては、開口部43aを通り抜けて共通電極22に到達した材料だけが堆積して補助電極42となる。このため、開口部43aの寸法および形状は電極帯42aのそれに略一致する。したがって、開口部43aは列L1’〜L4’の複数列をなすように並び、各列内においては補助電極42の間隙42bに相当する間隔をおくように形成される。換言すれば、マスク43Aの開口部43aは、間隙42bに相当する領域において接続されている(つながっている)。
図4(b)に示す形状のマスク43Bには、開口部43aの代わりに開口部43bが設けられる。すなわち、マスク43Bによれば、開口部43bの寸法および形状に相当する長尺の補助電極が共通電極22の表面に形成される。
ここで、本実施形態に係る発光装置Dを製造する方法のうち補助電極42を形成する工程について説明する。本実施形態の補助電極42は、マスクを利用した蒸着(真空蒸着)によって形成される。なお、補助電極42以外のすべての要素は公知の技術によって生成することができる。
図5は、補助電極42を形成する工程を説明するための断面図(図3に対応する断面)であるが、図3とは天地を逆に図示してある。これは、真空蒸着においては、被蒸着面を下方に向けた上でマスクを被蒸着面に対向させ、熱により気化した材料が上昇して被蒸着面に堆積されるためである。
まず、補助電極42の形成に先立って蒸着用のマスク43Aが用意される。図4(a)に示されるように、マスク43Aは、開口部43aが開口するとともにそれ以外の領域を遮蔽する形状に作成される。マスク43Aの開口部43aは、補助電極42が形成される領域と対向するようにX方向に沿って延在するスリット状の領域(以下、「領域MA」という;図4(a))である。一方、マスク43Aの開口部43a以外の領域(以下、「領域MB」という;図4(a))は、発光部Eが形成される領域(発光領域A1)と、非発光領域A2のうち補助電極42を除く領域であって間隙42bを含む領域と、に対面する各領域を含む。
以上のマスク43Aを利用した蒸着によって補助電極42が形成される。すなわち、共通電極22が形成された段階(対向基板50の設置前)にある発光装置Dが真空中に配置され、発光層23と対向するようにマスク43Aが配置される。そして、共通電極22よりも抵抗率が低い導電材料の蒸気Mをマスク43A側から発光装置Dに吹き付ける。以上の工程において、マスク43Aの領域MBによって遮断された蒸気Mは発光装置Dに到達せず、マスク43Aの領域MAを通過した蒸気Mが選択的に発光層23の表面に付着・堆積することで補助電極42が図2の形状に形成される。
蒸着に際しては、マスク43を被蒸着面に対して平行に配置することが好適であるから、マスク43の端部を把持して張力をかける(付与する)ことにより、マスク43の撓みを抑制するといったことが行われる。マスク43Aおよびマスク43Bに同じ大きさの張力を付与する場合を想定する。その場合、マスク43Bは有効領域AのX方向の幅全体にわたって開口する部分(開口部43b)を有するので、Y方向における強度が十分でない。このため張力があるレベルを超えると開口部43bの周縁部分がY方向に引っ張られて開口部43bがY方向に拡がるといったことが起こり得る。結果として補助電極42が所期の領域からズレたりはみ出した状態で形成されてしまう。つまり、補助電極42の位置や寸法の精度が低下する。一方、付与する張力が弱すぎると自らの重みでマスクが撓んでしまうので同様のことが起こり得る。これに対し、マスク43Aの開口部43aのX方向の距離はマスク43Bの開口部43bと比較して短い。また、各列L1’〜L4’に形成された間隙(マスクにとっての接続部分)は、隣り合う列においてY方向に一直線に並ばないように分散して配置される。このため、マスク43Bと比較してY方向にかかる力に対する強度が強い。したがって、マスク43Aの構成によれば、補助電極42の位置や寸法の精度を損なわない程度に、マスク43Aを小さい撓みで配置することが可能となる。
以上説明したように、本実施形態に係る発光装置Dにおいては、補助電極42は、3個の発光部EのX方向の配列幅に相当する距離を長辺とする電極帯42aとして一方向に複数列に並ぶように配置される。また、各列においては、複数の電極帯42aは間隙42bをおいて配置される。上記発光装置Dによれば、補助電極42と共通電極22が接する部分においては抵抗が緩和されるので、共通電極22の面内における電圧降下が抑制され、発光装置Dの発光輝度のバラツキが低減する。その結果、高品位な画質の実現が可能となる。さらには、間隙42bを設けることなく連続した電極帯を形成する場合と比較して、発光装置Dを出射面側(対向基板50の側)から人間の目で見て視認され得る補助電極42からの反射光を低減することができる。本実施形態では、3個の発光部Eおきに1個の発光部Eの短辺に相当する幅(X方向)の間隙42bが配置されるので、連続した電極帯を形成する場合と比較して反射光はおおよそ4分の3となる。また、間隙42bはY方向において隣り合う列において一列に並ばないように分散して配置されるから、反射光が視認される部分(電極帯42a部分)と視認されない部分(間隙42b部分)が分散し、その分布が視認される可能性が低減される。
また、電極帯42aと共通電極22とを長い距離にわたって接合した場合には、温度変化により接合された層に膜応力や熱応力がかかり、発光装置Dが変形したり破損する場合が考えられる。しかしながら、本実施形態の発光装置Dによれば、各電極帯42aの長辺側の距離が短いので、有効領域AのX方向の幅全体にわたって連続した電極帯を形成する場合と比較して応力が緩和され、温度変化に対する発光装置Dの耐性が向上する。
さらには、マスクを用いた堆積法により補助電極を形成する場合には、補助電極に対応する部分を開口部とするマスクが使用される。本実施形態の補助電極42を形成する際に使用するマスク43Aは、比較例で挙げたマスク43Bと比較して開口部43aの長辺の長さ(X方向の長さ)が短い。つまり、マスク43Aの開口部43aは長い距離にわたって開口することなく短尺に分割される(マスクは補助電極42の間隙42bに対応する部分でつながっている)。よって、図4(b)に示すように、長尺の開口部43bを有するマスク43Bを使用して補助電極42を形成する場合と比較して、マスク43Aの強度を充分に維持することができる。したがって、マスク43Aの変形(例えば張力の付加による変形や自重による撓み)に起因した補助電極42の寸法や位置の誤差を抑制することが可能である。なお、補助電極42は遮光性の部材であるので、補助電極42が形成されるべき領域からズレたりはみ出して形成されると、補助電極42が発光部Eと重なり、発光部Eから発光する光を遮ってしまう(すなわち、開口率が低下する)ことがある。発光装置Dの開口率が低下すると、十分な輝度が確保されず画質が劣化する。これに対し、本実施形態の発光装置Dにおいては、マスクの強度を確保することにより補助電極42が適正な位置に配置されるので、開口率を低下させることがなく、ひいては、高品位な画質の実現が可能となる。
<B:第2実施形態>
次に、本発明の第2実施形態について説明する。なお、本実施形態のうち第1実施形態と共通する要素については以上と同じ符号を付してその詳細な説明を適宜に省略する。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。なお、本実施形態のうち第1実施形態と共通する要素については以上と同じ符号を付してその詳細な説明を適宜に省略する。
図6は、本実施形態に係る有効領域Aの構成を示す平面図である。第1実施形態においては、補助電極42が発光部Eの短辺に沿って延在する構成を例示した(図2)。これに対し、本実施形態における補助電極42は、図6に示すように発光部Eの長辺に沿って延在する。なお、図6においては、各発光部EはX方向を長辺とする長方形の形状を有するが、Y方向を長辺としてもよい。その場合、補助電極42はY方向に沿って延在するよう配置される。
図7は、図6におけるVII−VII線からみた断面図である。図6および図7に示されるように、発光部Eと長辺側において隣接する非発光領域A2(隣り合う発光部Eの長辺側の間隙)には、各発光部Eごとに1個の駆動トランジスタTdrが設けられる。また、画素電極21は非発光領域A2に張り出す部分(以下、「張り出し部分」という)21aを有する。図7から理解されるように、この張り出し部分21aは隔壁層40によって発光層23との間が絶縁された非発光の領域である。駆動トランジスタTdrは、非発光領域A2においてX方向に延在し、画素電極21の張り出し部分21aと重なる位置に配置される。駆動トランジスタTdrのドレイン電極35はコンタクトホールCHを介して画素電極21の張り出し部分21aと電気的に接続される。
図6に示されるように、補助電極42は、発光部Eの配列(1〜4列)の列間においてX方向に延在する複数の電極帯42aから成り、これらの電極帯42aは複数列L1〜L4に並ぶ。第1実施形態と同様に、これら複数の電極帯42aは各列において間隙42bを置いて配列し、この間隙42bはY方向において隣り合う2つの列(例えば、L1とL2)において並ばない。また、図6および図7に示されるように、電極帯42aはコンタクトホールCHと重ならない位置に形成される。すなわち、コンタクトホールCHの上層に電極帯42aは形成されない。さらに換言すれば、電極帯42aの配列と重ならない位置にコンタクトホールCHが形成される。
より詳細には、駆動トランジスタTdrおよび画素電極21の張り出し部分21aおよびコンタクトホールCH(以下、単に「コンタクトホールCH」という)は、非発光領域A2のうち、対応する発光部Eの長辺の左右いずれかの一方の端部に寄せた位置に配置され、X方向において隣り合う2つの発光部Eで連続して同じ側(例えば、右端部側)に配置されない。例えば、1列a行目の発光部Eでは、コンタクトホールCHは、発光部Eの長辺の右端部側に配置されるが、次行の1列b行目の発光部Eでは左端部側に配置され、さらに次行の1列c行目の発光部Eでは右端部側に配置される。このように、各列(X方向)において、コンタクトホールCHは各発光部Eの長辺の左端部側と右端部側に交互に配置される。また、コンタクトホールCHは、Y方向において隣り合う2つの発光部Eで連続して同じ側(右端部側あるいは左端部側)に形成されない。例えば、a行目において、1列目の発光部EのコンタクトホールCHは右端部側に形成され、2列目の発光部EのコンタクトホールCHは左端部側に形成され、3列目の発光部EのコンタクトホールCHは右端部側に形成される。その結果、発光部Eの列間において、隣り合う発光部Eの境目には、コンタクトホールCHが2個並ぶ領域と、コンタクトホールCHが一切形成されない領域とがX方向Y方向ともに交互に形成される。そして、補助電極42の電極帯42aはコンタクトホールCHが形成されない領域において2個の発光部Eの配列に沿うように形成される。結果として、間隙42bはコンタクトホールCHが2個並ぶ領域に重なる位置にとなり、Y方向の隣り合う列においてはY方向一直線に並ばない構成となる。具体的には、1つの列(例えば、L1)における間隙42bのY方向において隣り合う列(例えば、L2)では、間隙42bよりも長い電極帯42aが並ぶ。
ここで、上述したように、コンタクトホールCHは、駆動トランジスタTdrのドレイン電極35と画素電極21とを電気的に導通させるために第2絶縁層F2に設けられた開口部である。画素電極21は、コンタクトホールCHの開口部に入り込んで形成されて、ドレイン電極35と接する。コンタクトホールCHと画素電極21の上層には、隔壁層40、発光層23、共通電極22が順に積層されるが、各層がコンタクトホールCHに重なる部分はコンタクトホールCHの凹部に入り込むため、段差が形成され易い(図示省略)。補助電極42をこの段差部分に形成すると、段差により補助電極42に亀裂が生じ、補助電極42の抵抗が却って増大するといったことが起こり得る。このため、本実施形態では、補助電極42の各電極帯42aは、コンタクトホールCHと重ならない位置に形成する構成としている。
以上説明したように、本実施形態においては、共通電極22に接する補助電極42は、非発光領域A2において一方向(X方向)に延在する複数の電極帯42aから成り、これらの電極帯42aは複数列に並ぶ。また、各列において電極帯42aは間隙42bを置いて配列される。さらには、間隙42bは、Y方向において隣り合う2つの列において並んでいない。したがって、本実施形態の発光装置Dによれば、上記第1実施形態と同様の効果が得られる。
また、本実施形態の発光装置Dにおいては、補助電極42の電極帯42aはコンタクトホールCHが形成されている位置を避けるように配置されるので、電極帯42aはコンタクトホールCHの凹部に重なることに起因する影響を受けることがない。このため、電極帯42a自体に亀裂が生じ、却って抵抗が増大してしまうといった事態の発生を防ぐことが可能となる。
<C:補助電極42の配置例>
図8〜図14は、上記第1実施形態の変形としての、補助電極42の様々な配置例を示す平面図である。
図8(a)に示す配置例においては、R・G・Bの3種類の発光部Eが縦(Y方向)ストライプ状に配列する構成において、電極帯42aは、隣り合う2個の発光部EのX方向の配列幅に対応し、発光部Eの間隙(非発光領域A2)においてX方向に延在する。この電極帯42aは有効領域Aにおいて複数列Lをなすように並び、各列Lにおいて、複数の電極帯42aが間隙42bをおいて配置される。具体的には、電極帯42aは、各発光部Eの2つの短辺のいずれか一方のみに沿って設けられる。すなわち、間隙42bは、各発光部Eの2つの短辺のいずれか一方のみに沿って設けられる。さらに換言すれば、Y方向において隣り合う2つの列Lの直交する位置において、1つの列Lには間隙42bが配置され、もう一方の列Lには電極帯42aが配置される。また、発光部Eは、上下2つの電極帯42aに挟まれる4個の発光部E(2列2行の発光部E)を一単位としてX方向に千鳥状に配列される(Y方向は直線状に配置される)。図8(b)に示す配置例は、各電極帯42aがX方向に隣り合う3個の発光部Eの配列幅に対応する長さを有する点を除いて、図8(a)に示す配置例と同様である。
図8〜図14は、上記第1実施形態の変形としての、補助電極42の様々な配置例を示す平面図である。
図8(a)に示す配置例においては、R・G・Bの3種類の発光部Eが縦(Y方向)ストライプ状に配列する構成において、電極帯42aは、隣り合う2個の発光部EのX方向の配列幅に対応し、発光部Eの間隙(非発光領域A2)においてX方向に延在する。この電極帯42aは有効領域Aにおいて複数列Lをなすように並び、各列Lにおいて、複数の電極帯42aが間隙42bをおいて配置される。具体的には、電極帯42aは、各発光部Eの2つの短辺のいずれか一方のみに沿って設けられる。すなわち、間隙42bは、各発光部Eの2つの短辺のいずれか一方のみに沿って設けられる。さらに換言すれば、Y方向において隣り合う2つの列Lの直交する位置において、1つの列Lには間隙42bが配置され、もう一方の列Lには電極帯42aが配置される。また、発光部Eは、上下2つの電極帯42aに挟まれる4個の発光部E(2列2行の発光部E)を一単位としてX方向に千鳥状に配列される(Y方向は直線状に配置される)。図8(b)に示す配置例は、各電極帯42aがX方向に隣り合う3個の発光部Eの配列幅に対応する長さを有する点を除いて、図8(a)に示す配置例と同様である。
図9〜図11は、R・G・Bの3種類の発光部Eが3角形をなすように略半画素分(発光部Eの1/2個分)ずらして配列する構成(いわゆる、デルタ配列)における補助電極42の配置例を示す。図9に示す配置例においては、発光部Eが1列単位でデルタ配列される場合において、1個の発光部Eの長辺の幅に相当する長さを長辺とする電極帯42aが、X方向に隣り合う2個の発光部EごとにY方向に設けられる。発光部Eの配列自体が一列ごとに略半画素ずつずれているので、結果として、電極帯42aはY方向千鳥状の配置となる。つまり、この配置例においては、複数の電極帯42aがY方向に複数列Lに配置され、各列Lにおいては複数の電極帯42aが間隙42bをおいて配置される。この間隙42bは、電極帯42aの各列Lにおいて2つの電極帯42aの隣り合う短辺によって挟まれる領域、すなわち、1個の発光部Eに相当する。よって、電極帯42aのY方向における長さと間隙42bのY方向における長さは同一である。また、各列Lのうち、ある間隙42bが属する列LにX方向において隣り合う列Lには、間隙42bと同じ長さの電極帯42aが並んでいる。これにより、Y方向に直交する方向(すなわち、X方向)において間隙42bが並ばない。図10は、発光部Eが2列単位でデルタ配列され、2個の発光部Eの長辺の幅に相当する長さを長辺とする電極帯42aが、X方向に隣り合う2個の発光部Eごとに、Y方向に延在する配置例を示す。すなわち、デルタ配列が2列単位である点を除いて図9と同様の構成を有する。ただし、電極帯42aおよび間隙42bのY方向における長さは、発光部Eの長辺の長さ2個分に相当する。図11は、発光部Eが3列単位でデルタ配列される点を除いて図9、図10と同様の構成を有する。ただし、電極帯42aおよび間隙42bのY方向における長さは、発光部Eの長辺の長さ3個分に相当するものとなる。
図12〜図14は、図9〜図11の場合と同様にR・G・Bの3種類の発光部Eがデルタ配列された構成における補助電極42の配置例を示すが、電極帯42aが2個の発光部Eごとに配置される代わりに、R・G・Bの3個の発光部Eごとに配置される。図12に示す配置例では、発光部Eが1列単位でデルタ配列される構成において、1個の発光部Eの長辺の幅に相当する長さの電極帯42aが3個の発光部Eごとに設けられ、複数列Lをなす。各列Lにおいては、複数の電極帯42aが、各電極帯42aと同じ長さを有する間隙42bをおいて形成される。これにより、Y方向に直交する方向(すなわち、X方向)において間隙42bが並ばない。図13に示す配置例では、発光部Eが2列単位でデルタ配列され、各電極帯42aと間隙42bは発光部Eの長辺の長さ2個分に相当する長さを有する。図14に示す配置例では、発光部Eは3列単位でデルタ配列され、各電極帯42aと間隙42bは発光部Eの長辺の長さ3個分に相当する長さを有する。
ところで、発光部Eがマトリクス状に整列した構成において、X方向に隣り合う2個以上の発光部EごとにY方向の電極帯42aを形成すると、X方向における発光部Eの間に電極帯42aが介在させられるため、発光部Eの配列がX方向に不均一となり、結果として、X方向の解像度が低下するように見える場合がある。そこで、図9〜図14の配置例においては、Y方向に電極帯42aを形成するとともに、発光部EをX方向にずらしてデルタ配列としている。逆に、図8(a)、(b)の配置例においては、X方向に電極帯42aを形成し、Y方向に発光部Eをずらして配置している。このように、電極帯42aを介在させることにより発光部Eのピッチが不均一になる方向(電極帯42aの配列Lと直交する方向)と同じ方向に発光部Eをずらして配置することにより、見た目の解像度の低下を防止している。
以上説明したように、図8〜図14を参照して述べた何れの構成も第1実施形態と同様の構成を有する。よって、上記第1実施形態と同様の効果が得られる。また、発光部Eのピッチが不均一となる方向に揃えて、発光部Eをずらして配置するので、解像度の低下を防止することが可能となる。
<D:変形例>
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に述べる変形が可能である。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に述べる変形が可能である。
上記第1および第2実施形態においては、発光部Eの各列(行)ごとに補助電極42を形成する構成としていたが、2列(行)ごとに補助電極42を形成する構成としてもよい。この構成においては、マスクの開口部の数が減少するので、マスクの強度が向上する。また、マスクを被堆積面に対向させるに際しては、マスクの開口部が発光部Eに重ならないように(開口率を低下させないように)位置を調整する必要があるが、2列(行)ごとに開口部が設けられるので、位置の調整が簡易となり、マスク合わせ精度が向上する。
くわえて、上記第1実施形態においては、間隙42bは1個の発光部Eに対応する位置に配置される構成としていたが、2個以上の発光部Eに対応する位置に配置してもよいし、逆に、2分の1個の発光部Eに対応する位置に配置してもよい。また、上記第1実施形態では、上下ともに電極帯42aで挟まれる(上下何れにも間隙42bがない)発光部Eは1個である(つまり、2個以上並ばない)構成としていたが(図2の領域B参照)、2個以上としてもよい。なお、上述したように、補助電極42は共通電極22で発生する電圧の降下を抑制するために形成される。よって、解像度数や有効領域Aの大きさ等の種々の条件によって、補助電極42の粗密を適宜調整できることは当業者にとって自明である。
また、上記第1および第2実施形態においては、共通電極22を陰極として説明したが、陽極であってもよい。また、共通電極22は有効領域Aにおける総ての発光部Eに共通して設けられる必要は必ずしもなく、有効領域Aを区分されたサブ領域ごとに設けられる態様としてもよい。
また、画素電極21を光透過性の部材で構成し、この画素電極21の下層に反射層を形成することにより、特定波長の光が共通電極22と反射層との間を往復することによって強められる構成としてもよい。
上述した実施形態においては、トップエミッション型の発光装置Dについて説明したが、ボトムエミッション型であってもよい。この場合、共通陰極22が光透過性の部材であることは要求されないが、発光層にかかる膜応力(ストレス)の関係で、共通陰極22を厚膜化することができない(すなわち、抵抗値が高くなる)場合がある。そこで、ボトムエミッション型の場合であっても、上記実施形態と同様に補助電極42を用いることにより、共通電極22の低抵抗化が可能となる。
<E:応用例>
次に、本発明に係る発光装置Dを適用した電子機器について説明する。図15は、上記実施形態に係る発光装置Dを表示装置に適用したモバイル型のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。パーソナルコンピュータ2000は、表示装置としての発光装置Dと本体部2010とを備える。本体部2010には、電源スイッチ2001およびキーボード2002が設けられている。
次に、本発明に係る発光装置Dを適用した電子機器について説明する。図15は、上記実施形態に係る発光装置Dを表示装置に適用したモバイル型のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。パーソナルコンピュータ2000は、表示装置としての発光装置Dと本体部2010とを備える。本体部2010には、電源スイッチ2001およびキーボード2002が設けられている。
図16に、上記実施形態に係る発光装置Dを適用した携帯電話機を示す。携帯電話機3000は、複数の操作ボタン3001およびスクロールボタン3002、ならびに表示装置としての発光装置Dを備える。スクロールボタン3002を操作することによって、発光装置Dに表示される画面がスクロールされる。
図17に、上記実施形態に係る発光装置Dを適用した情報携帯端末(PDA:Personal Digital Assistant)を示す。情報携帯端末4000は、複数の操作ボタン4001および電源スイッチ4002、ならびに表示装置としての発光装置Dを備える。電源スイッチ4002を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が発光装置Dに表示される。
本発明に係る発光装置が適用される電子機器としては、図15から図17に示したもののほか、デジタルスチルカメラ、テレビ、ビデオカメラ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電子ペーパー、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、電子写真方式を利用した画像印刷装置における像担持体に光を照射して潜像を形成するプリンタヘッドのような発光源、プリンタ、スキャナ、複写機、ビデオプレーヤ、タッチパネルを備えた機器等が挙げられる。
10……基板、12……走査線、14……データ線、16……電源線、18……接地線、21……画素電極(第1電極)、21a……張り出し部分、22……共通電極(第2電極)、23……発光層、31……半導体層、32……ゲート電極、33……ソース電極、35……ドレイン電極、40……隔壁層、40a……開口部、42……補助電極、42a……電極帯、42b……間隙、43,43A,43B……マスク、43a,43b……開口部、50……対向基板、52……遮光層、52a……光透過部、54……カラーフィルタ、A……有効領域、A1……発光領域、A2……非発光領域、CH……コンタクトホール、D…発光装置、E……発光部、F0……ゲート絶縁層、F1……第1絶縁層、F2……第2絶縁層、B,MA,MB……領域、Tdr……駆動トランジスタ、Tsl……選択トランジスタ、U……画素回路。
Claims (6)
- 第1電極と発光層と第2電極とが順に積層された発光部が複数配列された有効領域と、
前記第2電極より抵抗率が低い材料から形成され、前記第2電極に電気的に接続される補助電極とを具備し、
前記第2電極は前記複数の発光部に共通して設けられた共通電極であり、
前記有効領域は前記発光部が発光可能な発光領域と、当該発光領域を除く部分である非発光領域とを有し、前記共通電極は前記発光領域と前記非発光領域とにわたって形成され、
前記補助電極は、ほぼ同じ方向に延びる複数の帯状の電極帯を有しており、
前記複数の電極帯は、前記非発光領域に重なるように配置されているとともに、前記方向に延びる複数の列を構成し、各列には間隙をおいて複数の電極帯が配置されている
発光装置。 - 前記電極帯の各列に直交する方向において、1つの列における間隙に、その列の隣の列に属しこの間隙と同一あるいはこの間隙より長い電極帯が並んでいることにより、隣り合う2つの列における間隙が前記電極帯の各列に直交する方向に並んでいない
請求項1に記載の発光装置。 - 前記各発光部に供給される電流を制御する複数の駆動トランジスタと、
前記複数の駆動トランジスタを被覆する絶縁層とをさらに具備し、
前記第1電極は、前記絶縁層の面上に配置され、前記絶縁層に形成されたコンタクトホールを介して前記駆動トランジスタと電気的に接続され、
前記コンタクトホールは、前記補助電極の各電極帯に重ならない位置に形成される
請求項1または請求項2に記載の発光装置。 - 前記発光部が千鳥状に配置されており、隣り合う2つの列に属する複数の電極帯が千鳥状に配置されている
請求項1または請求項2に記載の発光装置。 - 請求項1から請求項4の何れかに記載の発光装置を備えた電子機器。
- 請求項1に記載の発光装置の製造方法であって、
前記有効領域のうち、前記補助電極の各電極帯が形成される領域を開口部とするマスクを用意する第1工程と、
前記マスクの前記開口部が前記発光領域に重ならないように、前記第2電極の前記表面に前記マスクを対向させる第2工程と、
前記第2電極に前記マスクを対向させた状態で導電性材料を堆積させることにより、前記補助電極を形成する第3工程と
を含む発光装置の製造方法。
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