JP2008034558A - Dress cassette - Google Patents
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Abstract
Description
本発明はドレスカセットに係り、 特に半導体ウェーハ等のワークを高速回転する切断刃により切断するダイシング装置の該切断刃のドレッシングに用いられるドレスボードを収納するドレスカセットに関する。 The present invention relates to a dress cassette, and more particularly to a dress cassette for storing a dress board used for dressing the cutting blade of a dicing apparatus that cuts a workpiece such as a semiconductor wafer with a cutting blade that rotates at high speed.
従来、半導体ウエーハを高速回転する切断刃により個々のチップに切断するダイシング装置が知られている(特許文献1参照)。 2. Description of the Related Art Conventionally, a dicing apparatus that cuts a semiconductor wafer into individual chips with a cutting blade that rotates at high speed is known (see Patent Document 1).
特許文献1に記載のダイシング装置は、複数のウェーハを水平姿勢のまま上下方向に多段収納したカセットが装着されたカセット載置部、このカセット載置部を昇降させるエレベータ機構、ウェーハ搬送機構、及び切断刃等を備えている。このダイシング装置は次のよう動作する。
The dicing apparatus described in
まず、ウェーハの切断動作について説明する。ウエーハの切断に際しては、まずカセット載置部がエレベータ機構によりウェーハ引き出し可能位置まで昇降させられて該位置で停止する。次に、該位置に停止したカセット載置部からウェーハ搬送機構によりウェーハが引き出され所定の切断位置まで搬送される。そして、その所定切断位置で切断刃により切断される。この切断されたウエーハはウェーハ搬送機構によりもとのカセット載置部まで搬送され収納される。 First, the wafer cutting operation will be described. When the wafer is cut, the cassette mounting portion is first moved up and down to a position where the wafer can be pulled out by the elevator mechanism and stopped at the position. Next, the wafer is pulled out from the cassette mounting portion stopped at the position by the wafer transport mechanism and transported to a predetermined cutting position. And it cut | disconnects with the cutting blade in the predetermined cutting position. The cut wafer is transported and stored to the original cassette mounting portion by the wafer transport mechanism.
次に、切断刃のドレッシング動作について説明する。特許文献1に記載のダイシング装置は、そのカセット載置部にドレスボードを水平姿勢のまま収納したドレスカセットが装着されており、該ドレスボードを用いて切断刃のドレッシングが可能となっている。
Next, the dressing operation of the cutting blade will be described. In the dicing apparatus described in
切断刃のドレッシングに際しては、まずカセット載置部がエレベータ機構によりドレスボード引き出し可能位置まで昇降させられて該位置で停止する。次に、該位置に停止したカセット載置部からウェーハ搬送機構によりドレスボードが引き出され所定の切断位置まで搬送される。そして、その所定切断位置で切断刃によりドレッシングのための切断が行われる。このドレッシング後のドレスボードはウェーハ搬送機構によりもとのカセット載置部まで搬送され収納される。 When dressing the cutting blade, first, the cassette placing portion is moved up and down to the position where the dressboard can be pulled out by the elevator mechanism and stopped at the position. Next, the dressboard is pulled out by the wafer transfer mechanism from the cassette mounting portion stopped at the position and transferred to a predetermined cutting position. Then, cutting for dressing is performed by the cutting blade at the predetermined cutting position. The dressing board after the dressing is transported and stored to the original cassette mounting portion by the wafer transport mechanism.
次に、インスペクション動作について説明する。特許文献1に記載のダイシング装置は、そのカセット載置部にインスペクションウエーハ(検査用ウエーハ)を水平姿勢のまま収納したインスペクションカセットが装着されており、該インスペクションウエーハを用いてインスペクションが可能となっている。
Next, the inspection operation will be described. In the dicing apparatus described in
インスペクションに際しては、まずカセット載置部がエレベータ機構によりインスペクションウエーハ引き出し可能位置まで昇降させられて該位置で停止する。次に、該位置に停止したカセット載置部からウェーハ搬送機構によりインスペクションウエーハが引き出され所定の切断位置まで搬送される。そして、その所定切断位置で切断刃によりインスペクションのための切断が行われる。このインスペクション後のインスペクションウエーハはウェーハ搬送機構によりもとのカセット載置部まで搬送され収納される。
しかしながら、特許文献1に記載のダイシング装置ではドレスカセットとインスペクションカセットが別々のカセットとされているため、各カセットそれぞれをカセット載置部に装着しなければならず、工数が増加し、操作手順が複雑になるという問題があった。
However, since the dressing cassette and the inspection cassette are separate cassettes in the dicing apparatus described in
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、単一の操作でドレッシングとインスペクションを行うことができるカセットを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a cassette capable of performing dressing and inspection by a single operation.
請求項1に記載の発明は、ドレスボードが水平姿勢のまま載置されるドレスボード載置部を有するカセット本体を備えるドレスカセットにおいて、前記カセット本体は、インスペクションウエーハが水平姿勢のまま載置されるインスペクションウエーハ載置部を備えるとともに、その正面から前記ドレスボード及びインスペクションウエーハを出し入れ可能に構成されていることを特徴とする。
The invention according to
請求項1に記載の発明によれば、カセット本体はドレスボード載置部とインスペクションウエーハ載置部の両方を備えているので、本カセットをカセット載置部に装着するだけで(すなわち単一の操作で)、ドレッシングとインスペクションの両方を行うことが可能となる。 According to the first aspect of the present invention, since the cassette main body includes both the dressboard mounting portion and the inspection wafer mounting portion, the cassette main body is simply mounted on the cassette mounting portion (ie, a single unit). In operation), it is possible to perform both dressing and inspection.
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記インスペクションウエーハ載置部は、前記ドレスボード載置部の上段に設けられており、前記カセット本体の上面から、前記インスペクションウエーハ載置部及び該インスペクションウエーハ載置部にインスペクションウエーハが載置された場合に該載置されたインスペクションウエーハが占有する空間が露出していることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the inspection wafer mounting portion is provided on an upper stage of the dressboard mounting portion, and the inspection wafer is disposed on an upper surface of the cassette body. When the inspection wafer is placed on the placement portion and the inspection wafer placement portion, the space occupied by the placed inspection wafer is exposed.
請求項2に記載の発明によれば、インスペクションウエーハ載置部は、ドレスボード載置部の上段に設けられており、かつ、カセット本体の上面から、インスペクションウエーハ載置部及び該インスペクションウエーハ載置部にインスペクションウエーハが載置された場合に該載置されたインスペクションウエーハが占有する空間が露出しているので、インスペクションウエーハを、カセット本体の正面からだけでなく、上面から極めて容易に出し入れすることが可能となる。 According to the second aspect of the present invention, the inspection wafer mounting part is provided on the upper stage of the dressboard mounting part, and the inspection wafer mounting part and the inspection wafer mounting are arranged from the upper surface of the cassette body. When the inspection wafer is placed on the part, the space occupied by the placed inspection wafer is exposed. Is possible.
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の発明において、前記カセット本体は、エレベータ機構により昇降させられるカセット載置部に着脱自在に装着されることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, the cassette body is detachably mounted on a cassette mounting portion that is moved up and down by an elevator mechanism.
請求項3に記載の発明によれば、カセット本体は、エレベータ機構により昇降させられるカセット載置部に着脱自在に装着されることが可能となる。 According to the third aspect of the present invention, the cassette body can be detachably mounted on the cassette mounting portion that is raised and lowered by the elevator mechanism.
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、前記カセット載置部のカセット装着予定場所にはカセットサイズごとに装着位置決め用の開口が形成されており、前記カセット本体は、前記開口のうち自己のカセットサイズに応じた位置に形成された開口に挿入されるべき装着位置決め用の凸部を備えることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the third aspect of the present invention, an opening for mounting positioning is formed for each cassette size at a cassette mounting planned place of the cassette mounting portion, and the cassette body is A mounting positioning convex portion to be inserted into the opening formed at a position corresponding to the cassette size of the opening is provided.
請求項4に記載の発明によれば、カセット載置部のカセット装着予定場所にはカセットサイズごとに装着位置決め用の開口が形成されており、カセット本体は、前記開口のうち自己のカセットサイズに応じた位置に形成された開口に挿入されるべき装着位置決め用の凸部を備えているので、本カセットをカセットサイズに応じた適正な装着場所に装着することが可能となる。 According to the fourth aspect of the present invention, an opening for positioning positioning is formed for each cassette size at a cassette mounting planned place of the cassette mounting portion, and the cassette body has its own cassette size among the openings. Since the mounting positioning convex portion to be inserted into the opening formed at the corresponding position is provided, the present cassette can be mounted at an appropriate mounting location according to the cassette size.
請求項5に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、前記カセット載置部のカセット装着予定場所にはカセットサイズごとに装着位置決め用の凸部が設けられており、前記カセット本体には、前記凸部のうち自己のカセットサイズに応じた位置に設けられた凸部が挿入されるべき装着位置決め用の開口が形成されていることを特徴とする。 According to a fifth aspect of the present invention, in the third aspect of the present invention, the cassette mounting portion of the cassette mounting portion is provided with a mounting positioning projection for each cassette size. Is characterized in that a mounting positioning opening into which a convex portion provided at a position corresponding to the cassette size of the convex portion is to be inserted is formed.
請求項5に記載の発明によれば、カセット載置部のカセット装着予定場所にはカセットサイズごとに装着位置決め用の凸部が設けられており、カセット本体には、前記凸部のうち自己のカセットサイズに応じた位置に設けられた凸部が挿入されるべき装着位置決め用の開口が形成されているので、本カセットをカセットサイズに応じた適正な装着場所に装着することが可能となる。 According to the fifth aspect of the present invention, the cassette mounting portion is provided with the convex portion for mounting positioning for each cassette size at the cassette mounting planned place, and the cassette body has its own convex portion. Since the mounting positioning opening into which the convex portion provided at a position corresponding to the cassette size is to be inserted is formed, the present cassette can be mounted at an appropriate mounting location according to the cassette size.
本発明によれば、単一の操作でドレッシングとインスペクションを行うことができるカセットを提供することが可能となる。 According to the present invention, it is possible to provide a cassette capable of performing dressing and inspection by a single operation.
以下、本発明の一実施形態であるドレスカセット及びこのドレスカセットが適用されるダイシング装置について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, a dress cassette according to an embodiment of the present invention and a dicing apparatus to which the dress cassette is applied will be described with reference to the drawings.
図1は、本実施形態のドレスカセットが適用されるダイシング装置の全体構成について説明するための図である。 FIG. 1 is a diagram for explaining the overall configuration of a dicing apparatus to which the dress cassette of this embodiment is applied.
図1に示すように、ダイシング装置10は、切断刃22、22を含むワーク切断部20、洗浄部30、ドレスカセット40、カセット載置部50、エレベータ機構60、ワーク搬送手段70等を備えている。
As shown in FIG. 1, the
まず、ダイシング装置10でダイシング処理されるワークについて説明する。図2はワークの斜視図である。図2に示すように、ダイシング装置10でダイシング処理されるワークは、フレームFとその略中央に配置されるウエーハW(半導体ウエーハ)とを備えており、フレームFとウエーハWの裏面にテープTを貼着けることにより両者は一体的に構成されている。ドレスカセット40に収納されるドレスボードやインスペクションウエーハも図2に示すワークとほぼ同様の構成であるが、ドレスボードについてはウエーハWの代わりにダイヤモンド砥石が配置されている。
First, a work to be diced by the
次に、本実施形態のドレスカセット40について説明する。図3は、ドレスカセット40の斜視図であり、図4は、ドレスカセット40の正面図である。
Next, the
図3に示すように、ドレスカセット40は、ドレスボード及びインスペクションウエーハを収納するためのカセットであり、一定間隔をおいて配置される一対の側板41、41やこの一対の側板41、41それぞれの一端縁を連結する背面板42を備えるドレスカセット本体43を備えている。ドレスボード及びインスペクションウエーハは、一対の側板41、41及び背面板42により規定される空間K1に収納される。
As shown in FIG. 3, the
一対の側板41、41それぞれの下端縁は補強用ロッドR1、R2(図3では二本を例示)で連結されており、これにより、ドレスカセット40の剛性が向上している。また、一対の側板41、41それぞれの外側にはドレスカセット40の把持用取っ手44、44が設けられており、これにより、ドレスカセット40の持ち運び等が容易となっている。また、一対の側板41、41のうちの一方の側板(図3では右側を例示)の下端縁には装着位置決め用の凸部45、45(図3では二つの凸部を例示)が設けられており、これにより、ドレスカセット40を適正な姿勢で装着することが可能となっている。
The lower end edges of the pair of
各側板41、41の内側面には水平方向に延びるドレスボード載置面41aが上下方向に所定間隔をおいて設けられており(図3及び図4では三つのドレスボード載置面41aを例示)、同一段に位置する左右一対のドレスボード載置面41aには一つのドレスボードが水平姿勢のまま載置されるようになっている。なお、ドレスボードは、ドレスカセット本体43正面から出し入れ可能となっている。
A
また、各側板41、41の内側面には水平方向に延びるインスペクションウエーハ載置面41bがドレスボード載置面41aの上段に所定間隔をおいて設けられており(図3及び図4では一つのインスペクションウエーハ載置面41bを例示)、同一段に位置する左右一対のインスペクションウエーハ載置面には一つのインスペクションウエーハが載置されるようになっている。図3及び図4に示すように、ドレスカセット本体43の上面は閉塞されていない(すなわち、ドレスカセット本体43の上面は開放されている)。
Further, an inspection
このため、該ドレスカセット本体43の上面から、インスペクションウエーハ載置面41b及び該インスペクションウエーハ載置面41bにインスペクションウエーハが載置された場合に該載置されたインスペクションウエーハが占有する空間K2が露出している。
For this reason, from the upper surface of the dress cassette
したがって、インスペクションウエーハについては、ドレスカセット本体43正面から出し入れ可能であるだけでなく、ドレスカセット本体43上面からも出し入れすることが可能となっている。
Therefore, the inspection wafer can be taken in and out not only from the front of the dress cassette
なお、ドレスカセット40の持ち運び等に際しては、ドレスカセット本体43正面からのドレスボードあるいはインスペクションウエーハの脱落が想定される。これを防止するため、各ドレスボード載置面41a及びインスペクションウエーハ載置面41bのドレスカセット本体43正面側等に脱落防止用ストッパを設けることが望ましい。
When carrying the
次に、カセット載置部50について図面を参照しながら説明する。図5、図6は、カセット載置部の斜視図である。
Next, the
図1に示すように、カセット載置部50は、ドレスカセット40等が装着されるユニットであり、カセット載置部本体51、ドレスカセット40が装着される引き出し部52等を備えている。
As shown in FIG. 1, the
図5に示すように、カセット載置部本体51は、全体として箱形の外観を呈しており、その上面には複数のワークを水平姿勢のまま上下方向に多段収納したワークカセットCの底面に設けられた開口に挿入される装着位置決め用の凸部53(図5では三つの凸部53を例示)が設けられている。これにより、カセット載置部本体51上面にワークカセットCを適正な姿勢で装着することが可能となっている。
As shown in FIG. 5, the cassette mounting portion
図6に示すように、カセット載置部本体51は、その上部内部空間にその両側面54、54や天板等により規定される引き出し部収納空間K3を備えている。該空間K3を規定するカセット載置部本体両側面54、54には水平方向に延びるガイドレール54a、54aが設けられており、このガイドレール54a、54aには引き出し部52両側面52a、52aが連結されている。このため、引き出し部52は、ガイドレール54a、54aに沿ってスライド移動可能となっている。図6は、カセット載置部本体51背面から引き出し部52を引き出した状態である。
As shown in FIG. 6, the cassette mounting portion
引き出し部52にはドレスカセット40が装着される。引き出し部52は、主として、水平姿勢の水平プレート52b、カセット載置部本体51背面の一部を形成する垂直プレート52cを備えており、水平プレート52bの両端縁は補強のため折り返されている。水平プレート52bには、ドレスカセット40の装着位置決め用の凸部45、45が挿入される装着位置決め用の開口h1、h2がドレスカセット40のサイズごとに設けられている。図6では、開口h1、h1が8インチのドレスカセット40装着位置決め用の開口を、開口h2、h2が12インチのドレスカセット40装着位置決め用の開口であることを示している。この水平プレート52bの開口h1、h2にドレスカセット40の装着位置決め用の凸部45、45を挿入することで、ドレスカセット40を適正な姿勢で引き出し部52に装着することが可能となっている。
A
図7に示すように、カセット載置部本体51正面には引き出し部収納空間K3に通じる開口55が形成されており、上記のようにドレスカセット40が装着された引き出し部52をスライド移動させて引き出し部収納空間K3に位置させると、該カセット載置部本体51正面の開口55からドレスカセット40正面が露出し、該開口55を介してドレスボードやインスペクションウエーハを出し入れすることが可能となっている。
As shown in FIG. 7, an
上記構成のカセット載置部50はエレベータ機構60により引き出し可能位置まで昇降させられる。例えば、図7に示すように、鉛直方向に延びステッピングモーター61により回転駆動させられるボールネジ62と、このボールネジ62が螺合しており、かつ、該ボールネジ62が回転駆動させられることにより鉛直方向に延びる一対のガイドレール63、63に沿って昇降させられる昇降台64とでエレベータ機構60を構成し、該昇降台64にカセット載置部50を固定することが考えられる。
The
なお、ワーク切断部20、洗浄部30、ワーク搬送手段70については公知のものと同様であるのでその説明を省略する。
Since the
次に、上記構成のダイシング装置の動作についてフローチャートを参照しながら説明する。図8は、本実施形態のドレスカセットが適用されるダイシング装置10の動作を説明するためのフローチャートである。
Next, the operation of the dicing apparatus having the above configuration will be described with reference to a flowchart. FIG. 8 is a flowchart for explaining the operation of the
まず、ドレスカセット40にドレスボード及びインスペクションウエーハを収納する。すなわち、ドレスカセット40各段のドレスボード載置面41aにドレスボードを載置するとともに、インスペクションウエーハ載置面41bにインスペクションウエーハを載置する。
First, the dress board and the inspection wafer are stored in the
図3及び図4に示すように、ドレスカセット本体43の上面から、インスペクションウエーハ載置面41b及び該インスペクションウエーハ載置面41bにインスペクションウエーハが載置された場合に該載置されたインスペクションウエーハが占有する空間K2が露出している。したがって、インスペクションウエーハについては、ドレスカセット本体43上面から極めて容易に出し入れすることが可能となっている。
As shown in FIGS. 3 and 4, when the inspection wafer is mounted on the inspection
次に、ドレスカセット40をカセット載置部50にセットする(ステップS1)。すなわち、図6に示すように、ドレスカセット載置部50から引き出し部52を引き出し、ドレスカセット40の装着位置決め用の凸部45、45を、引き出し部52の水平プレート52bの開口h1、h2のうち該ドレスカセットサイズ用の開口(例えば開口h1、h1)に挿入する。これにより、ドレスカセット40を適正な姿勢で引き出し部52に装着することが可能となっている。
Next, the
インスペクションの指示あるいはドレスカセット40の装着が検出されると(ステップS2)オートドレスを開始する(ステップS3)。
When an inspection instruction or wearing of the
オートドレスが開始されると、カセット載置部50がエレベータ機構60によりドレスボード引き出し可能位置まで昇降させられて該位置で停止する。次に、該位置に停止したカセット載置部50(ドレスカセット40)からクランプアーム71によりドレスボードが引出され回転アーム72等により所定の切断位置まで搬送される。そして、その所定切断位置で高速回転する切断刃22によりドレスボードに溝入れされる。これにより切断刃22はドレッシングされる。
When the auto dressing is started, the
以上のオートドレスが終了すると(ステップS4)、そのオートドレス後のドレスボードはクランプアーム71、回転アーム72等によりドレスカセット40のもとのドレスボード載置面41aまで搬送され収容される。
When the above automatic dressing is completed (step S4), the dressboard after the autodressing is conveyed and stored to the original
次に、ドレスカセット40にインスペクションウエーハが収納されている場合には、該インスペクションウエーハを用いてインスペクションワークを開始する(ステップS5)。
Next, when the inspection wafer is stored in the
インスペクションワークが開始されると、カセット載置部50がエレベータ機構60によりインスペクションウエーハ引き出し可能位置まで昇降させられて該位置で停止する。次に、該位置に停止したカセット載置部50(ドレスカセット40)からクランプアーム71によりインスペクションウエーハが引き出され(ステップS6)回転アーム72等により所定の切断位置まで搬送される。そして、高速回転する切断刃22によりインスペクションウエーハに溝入れされる。
When the inspection work is started, the
そのインスペクションウエーハはクランプアーム71、回転アーム72等によりドレスカセット40のもとのインスペクションウエーハ載置面41bまで搬送され収容される(ステップS7)。これにより、インスペクションワークが終了する(ステップS8)。
The inspection wafer is conveyed to and stored in the inspection
次に、オペレータ等によりインスペクションワーク後のインスペクションウエーハの品質を目視検査する(ステップS9)。インスペクションワーク後のインスペクションウエーハはドレスカセット40のインスペクションウエーハ載置面41bに載置されているため、カセット載置部50から引き出し部52を引き出すことで、インスペクションワーク後のインスペクションウエーハの品質を目視検査することが可能となる。すなわち、従来のように、インスペクションワーク後のインスペクションウエーハをカセットから抜き取って、手で把持しながら目視検査する手間が不要である。また、図3及び図4に示すように、ドレスカセット本体43の上面から、インスペクションウエーハ載置面41b及び該インスペクションウエーハ載置面41bにインスペクションウエーハが載置された場合に該載置されたインスペクションウエーハが占有する空間K2が露出している。したがって、インスペクションウエーハについては、ドレスカセット本体43上面から極めて容易に出し入れすること(インスペクションウエーハの交換等)が可能となっている。
Next, the quality of the inspection wafer after the inspection work is visually inspected by an operator or the like (step S9). Since the inspection wafer after the inspection work is placed on the inspection
目視検査の結果がNGであれば、再度オートドレスが行われる(ステップS9:NG)。目視検査の結果がOKであれば、生産に移行する(ステップS10)。 If the result of the visual inspection is NG, auto dressing is performed again (step S9: NG). If the result of the visual inspection is OK, the process proceeds to production (step S10).
一方、ドレスカセット40にインスペクションウエーハが収納されていない場合には、ワークカセットC内のワークを用いてインスペクションワークを開始する(ステップS11)。
On the other hand, if the inspection wafer is not stored in the
インスペクションワークが開始されると、カセット載置部50がエレベータ機構60によりワーク引き出し可能位置まで昇降させられて該位置で停止する。次に、該位置に停止したカセット載置部50(ワークカセットC)からクランプアーム71によりワークが引き出され(ステップS12)回転アーム72等により所定の切断位置まで搬送される。そして、高速回転する切断刃22によりワークに溝入れされる。
When the inspection work is started, the
そのワークはクランプアーム71、回転アーム72等によりドレスカセット40インスペクションウエーハ載置面41bまで搬送され収容される(ステップS13)。これによりインスペクションワークが終了する(ステップS14)。
The workpiece is transported and accommodated to the
次に、オペレータ等によりインスペクションワーク後のワークの品質を目視検査する(ステップS15)。インスペクションワーク後のワークはドレスカセット40のインスペクションウエーハ載置面41bに載置されているため、カセット載置部50から引き出し部52を引き出すことで、インスペクションワーク後のワークの品質を目視検査することが可能となる。すなわち、従来のように、インスペクションワーク後のワークをカセットから抜き取って、手で把持しながら目視検査する手間が不要である。
Next, the quality of the work after the inspection work is visually inspected by an operator or the like (step S15). Since the work after the inspection work is placed on the inspection
目視検査の結果がNGであれば、再度オートドレスが行われる(ステップS15:NG)。目視検査の結果がOKであれば、カセット載置部50(ドレスカセット40)からクランプアーム71によりそのインスペクションワーク後のワークが引き出され(ステップS16)、ワークカセットCのもとの段まで搬送され収容される(ステップS17)。その後、生産に移行する(ステップS18)。 If the result of the visual inspection is NG, auto dressing is performed again (step S15: NG). If the result of the visual inspection is OK, the work after the inspection work is pulled out from the cassette mounting portion 50 (dress cassette 40) by the clamp arm 71 (step S16) and conveyed to the original stage of the work cassette C. Accommodated (step S17). Then, it shifts to production (step S18).
以上説明したように、本実施形態のドレスカセットによれば、カセット本体43はドレスボード載置部41aとインスペクションウエーハ載置部41bの両方を備えているので、本ドレスカセット40をカセット載置部50に装着するだけで(すなわち単一の操作で)、ドレッシングとインスペクションの両方を行うことが可能となる。
As described above, according to the dress cassette of the present embodiment, since the
また、インスペクションウエーハ載置部41bは、ドレスボード載置面41aの上段に設けられており、かつ、カセット本体43の上面から、インスペクションウエーハ載置面41b及び該インスペクションウエーハ載置面41bにインスペクションウエーハが載置された場合に該載置されたインスペクションウエーハが占有する空間K2が露出しているので、インスペクションウエーハを、カセット本体43の正面からだけでなく、上面から極めて容易に出し入れすることが可能となる。また、ドレスボード載置面41aとインスペクションウエーハ載置面41bとは隣接して配置されているので、オートドレス終了からインスペクションを開始するまでにカセット載置部50を昇降させる距離を短くできる。
The inspection
また、カセット載置部50のカセット装着予定場所(水平プレート52b)にはカセットサイズごとに装着位置決め用の開口h1、h2が形成されており、カセット本体43は、前記開口h1、h2のうち自己のカセットサイズに応じた位置に形成された開口に挿入されるべき装着位置決め用の凸部45を備えているので、本ドレスカセット40をカセットサイズに応じた適正な装着場所に装着することが可能となる。なお、カセット載置部50のカセット装着予定場所(水平プレート52b)にカセットサイズごとに装着位置決め用の凸部を設け、カセット本体43に、前記凸部のうち自己のカセットサイズに応じた位置に設けられた凸部が挿入されるべき装着位置決め用の開口を形成するようにしてもよい。これによっても、本ドレスカセット40をカセットサイズに応じた適正な装着場所に装着することが可能となる。
Further, openings for positioning and positioning h1 and h2 are formed for each cassette size in the cassette mounting planned place (
上記実施形態はあらゆる点で単なる例示にすぎない。これらの記載によって本発明は限定的に解釈されるものではない。本発明はその精神または主要な特徴から逸脱することなく他の様々な形で実施することができる。 The above embodiment is merely an example in all respects. The present invention is not construed as being limited to these descriptions. The present invention can be implemented in various other forms without departing from the spirit or main features thereof.
10…ダイシング装置、20…ワーク切断部、22…切断刃、30…洗浄部、40…ドレスカセット、41…側板、41a…ドレスボード載置面、41b…インスペクションウエーハ載置面、42…背面板、43…ドレスカセット本体、44…取っ手、45…凸部、50…カセット載置部、51…カセット載置部本体、52…引き出し部、52a…側面、52b…水平プレート、52c…垂直プレート、53…凸部、54…側面、54a…ガイドレール、55…開口、60…エレベータ機構、61…ステッピングモーター、62…ボールネジ、63…ガイドレール、64…昇降台、70…ワーク搬送手段、71…クランプアーム、72…回転アーム、C…ワークカセット、F…フレーム、h1…開口、h2…開口、K1…空間、K2…空間、K3…空間、R1…補強用ロッド、T…テープ、W…ウエーハ
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記カセット本体は、インスペクションウエーハが水平姿勢のまま載置されるインスペクションウエーハ載置部を備えるとともに、その正面から前記ドレスボード及びインスペクションウエーハを出し入れ可能に構成されていることを特徴とするドレスカセット。 In a dress cassette including a cassette body having a dressboard placement portion on which the dressboard is placed in a horizontal posture,
The said cassette main body is equipped with the inspection wafer mounting part by which an inspection wafer is mounted with a horizontal attitude | position, and it is comprised so that the said dress board and an inspection wafer can be taken in / out from the front.
前記カセット本体の上面から、前記インスペクションウエーハ載置部及び該インスペクションウエーハ載置部にインスペクションウエーハが載置された場合に該載置されたインスペクションウエーハが占有する空間が露出していることを特徴とする請求項1に記載のドレスカセット。 The inspection wafer mounting part is provided on the upper stage of the dressboard mounting part,
From the upper surface of the cassette body, when the inspection wafer is placed on the inspection wafer placement portion and the inspection wafer placement portion, a space occupied by the placed inspection wafer is exposed. The dress cassette according to claim 1.
前記カセット本体は、前記開口のうち自己のカセットサイズに応じた位置に形成された開口に挿入されるべき装着位置決め用の凸部を備えることを特徴とする請求項3に記載のドレスカセット。 An opening for mounting positioning is formed for each cassette size in the cassette mounting planned place of the cassette mounting portion,
4. The dress cassette according to claim 3, wherein the cassette body includes a mounting positioning convex portion to be inserted into an opening formed at a position corresponding to the cassette size of the opening. 5.
前記カセット本体には、前記凸部のうち自己のカセットサイズに応じた位置に設けられた凸部が挿入されるべき装着位置決め用の開口が形成されていることを特徴とする請求項3に記載のドレスカセット。 In the cassette mounting planned place of the cassette mounting part, a convex part for mounting positioning is provided for each cassette size,
4. The mounting positioning opening into which the convex portion provided at a position corresponding to the cassette size of the convex portion is to be inserted is formed in the cassette body. 5. Dress cassette.
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