JP2008032310A - Combustion detoxifying device - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、半導体や液晶デスプレーの製造過程で発生するフロンガス系ガス等の廃棄ガスを、高温燃焼ガスにより燃焼することにより分解し、CO2やCl2、SiO2などに変換する燃焼除害装置に関するものであり、特に、高温でないと分解が難しいCF4等の燃焼除害に適する装置であるが、他の有害ガスやPCBなどの有害物質の無害化処理にも利用できる。 The present invention relates to a combustion abatement apparatus that decomposes waste gas such as chlorofluorocarbon gas generated in the manufacturing process of semiconductors and liquid crystal displays by burning it with high-temperature combustion gas and converts it into CO 2 , Cl 2 , SiO 2, etc. In particular, it is an apparatus suitable for the combustion detoxification of CF 4 or the like that is difficult to decompose unless it is at a high temperature, but can also be used for detoxification of other harmful gases and harmful substances such as PCB.
半導体製造装置や液晶パネル製造装置からは、シラン(SiH4)やジシラン(Si2H6)等の廃棄ガスが発生するが、この廃棄ガスは、有害であるので、そのまま大気に放出することができない。そこで、従来、前記廃棄ガスは燃焼除害装置を用いて無害化処理を行っている。 Waste gases such as silane (SiH 4 ) and disilane (Si 2 H 6 ) are generated from semiconductor manufacturing equipment and liquid crystal panel manufacturing equipment. However, since this waste gas is harmful, it can be released into the atmosphere as it is. Can not. Therefore, conventionally, the waste gas has been detoxified using a combustion abatement apparatus.
従来の燃焼除害装置は、上端面を閉鎖した円筒状のバーナ部と、該バーナ部の下流側に設けた燃焼室とを備え、該バーナ部より燃焼室に向けて燃焼炎を形成し、該燃焼炎に廃棄ガスを導入して該廃棄ガスを酸化分解させている(例えば、特許文献1、参照)。 A conventional combustion abatement apparatus includes a cylindrical burner portion whose upper end surface is closed, and a combustion chamber provided on the downstream side of the burner portion, and forms a combustion flame from the burner portion toward the combustion chamber, Waste gas is introduced into the combustion flame to oxidatively decompose the waste gas (see, for example, Patent Document 1).
前記燃焼除害装置のバーナ部頂壁には、空気ノズルと助燃ノズルと廃棄ガス導入管が設けられ、前記空気ノズルは、前記バーナ部内に旋回流を形成するように空気を噴出させ、又、前記助燃ノズルは、前記バーナ部内に旋回流を形成するように助燃ガスを噴出させる。 An air nozzle, an auxiliary combustion nozzle, and a waste gas introduction pipe are provided on the top wall of the burner part of the combustion abatement device, and the air nozzle ejects air so as to form a swirling flow in the burner part, and The auxiliary combustion nozzle ejects auxiliary combustion gas so as to form a swirling flow in the burner portion.
前記空気ノズルは、助燃ノズルから噴出された助燃ガスの着火を促進し、開口下方に向かって形成された燃焼炎に旋回空気を下方に向かって吹き付ける。又、廃棄ガス導入管は、バーナ部内に廃棄ガスを噴出させるが、この廃棄ガスは助燃ガスの旋回流と混合しながら燃焼する。 The air nozzle promotes ignition of the auxiliary combustion gas ejected from the auxiliary combustion nozzle, and blows swirling air downward on the combustion flame formed downward of the opening. Further, the waste gas introduction pipe ejects waste gas into the burner part, and this waste gas burns while being mixed with the swirling flow of auxiliary combustion gas.
従来の燃焼除害装置では、空気と燃料との混合が十分に行われず、廃棄ガスと高温燃焼ガスとの混合も不十分である。そのため、好適な除害効率を得られず、また、燃料の無駄も発生するので、運転コストも嵩んでしまう。 In the conventional combustion abatement apparatus, air and fuel are not sufficiently mixed, and mixing of waste gas and high-temperature combustion gas is insufficient. For this reason, it is not possible to obtain a suitable detoxification efficiency, and fuel is wasted, resulting in an increase in operating cost.
この発明は、上記事情に鑑み、除害効率を向上させると共に、運転コストの軽減を図ることを目的とする。 In view of the above circumstances, an object of the present invention is to improve the removal efficiency and reduce the operating cost.
この発明は、一端が燃焼室端壁により、かつ周囲が周壁によって定められた円筒状の燃焼室を備えた燃焼除害装置において;前記端壁には、廃棄ガスの導入口と複数個のバーナとが配設され、前記各バーナには、燃料噴射手段と空気旋回手段とが配設され、前記各空気旋回手段は、前記燃焼室内で互いに同方向の空気の旋回流を形成し、その旋回流の相互の干渉により全体として前記燃焼室内に前記燃焼室の中心軸回りの合成旋回流が形成できるように配設されていることを特徴とする。 The present invention relates to a combustion abatement apparatus provided with a cylindrical combustion chamber having one end defined by a combustion chamber end wall and a periphery defined by a peripheral wall; the end wall includes a waste gas inlet and a plurality of burners Each of the burners is provided with fuel injection means and air swirling means, and each air swirling means forms a swirling flow of air in the same direction in the combustion chamber. A combined swirl around the central axis of the combustion chamber can be formed in the combustion chamber as a whole by mutual interference of flows.
前記燃焼室の周壁の外部周部には、前記空気旋回手段と連通する空気通路が設けられ、この空気通路に空気を流通させることにより、前記燃焼室の周壁を冷却するとともに該空気を予熱するようにしたことを特徴とする。 An air passage communicating with the air swirling means is provided in an outer peripheral portion of the peripheral wall of the combustion chamber, and air is circulated through the air passage to cool the peripheral wall of the combustion chamber and preheat the air. It is characterized by doing so.
前記バーナには、酸素噴射手段が配設されていることを特徴とする。前記廃棄ガスの導入口には、廃棄ガス管体が接続され、該廃棄ガス管体には、燃料添加管が接続され、前記廃棄ガスが前記燃焼室に流入する前に燃料を添加できるようにしたことを特徴とする。 The burner is provided with oxygen injection means. A waste gas pipe is connected to the waste gas inlet, and a fuel addition pipe is connected to the waste gas pipe so that fuel can be added before the waste gas flows into the combustion chamber. It is characterized by that.
前記廃棄ガスの導入口が、複数設けられていることを特徴とする。前記廃棄ガスの導入口に、廃棄ガス旋回手段が設けられていることを特徴とする。前記廃棄ガス旋回手段は、前記空気旋回手段により形成される旋回流と反対方向の旋回流を形成することを特徴とする。 A plurality of the introduction ports for the waste gas are provided. A waste gas swirling means is provided at the waste gas introduction port. The waste gas swirling means forms a swirling flow in a direction opposite to the swirling flow formed by the air swirling means.
前記燃焼室の周壁の内側には、耐熱保護カバーが交換可能に配設されていることを特徴とする。 A heat-resistant protective cover is replaceably disposed inside the peripheral wall of the combustion chamber.
この発明は、燃焼室の端壁には、廃棄ガスの導入口と複数個のバーナとが配設され、前記各バーナには、燃料噴射手段と空気旋回手段とが配設され、前記各空気旋回手段は、前記燃焼室内で互いに同方向の空気の旋回流を形成し、その旋回流の相互の干渉により全体として前記燃焼室内に前記燃焼室の中心軸回りの合成旋回流が形成できるように配設されているので、空気と燃料との混合が十分に行われ、廃棄ガスと高温燃焼ガスとの混合が促進される。その結果、除害効率を飛躍的に向上できるとともに、燃料や追加酸素の無駄がなく、結局運転コストも軽減することができる。 In the present invention, a waste gas inlet and a plurality of burners are arranged on the end wall of the combustion chamber, and each of the burners is provided with a fuel injection means and an air swirling means, and each of the air The swirling means forms a swirling flow of air in the same direction in the combustion chamber, and a combined swirling flow around the central axis of the combustion chamber can be formed in the combustion chamber as a whole by mutual interference of the swirling flow. Since it is disposed, the air and the fuel are sufficiently mixed, and the mixing of the waste gas and the high-temperature combustion gas is promoted. As a result, the abatement efficiency can be dramatically improved, fuel and additional oxygen are not wasted, and the operating cost can be reduced after all.
この発明の前記合成旋回流は、燃焼室内壁に接触しながら旋回するので、廃棄ガスの燃焼によって発生するSiO2粉等が前記内壁に堆積するのを防止することができる。 Since the synthetic swirl of this invention swirls while contacting the combustion chamber wall, it is possible to prevent SiO 2 powder or the like generated by combustion of waste gas from accumulating on the inner wall.
この発明の前記燃焼室の周壁の外周部には、前記空気旋回手段と連通する空気通路が設けられ、この空気通路に空気を流通させるので、前記燃焼室の周壁を冷却するとともに該空気を予熱することができる。 An air passage communicating with the air swirling means is provided on the outer peripheral portion of the peripheral wall of the combustion chamber of the present invention, and air is circulated through the air passage, so that the peripheral wall of the combustion chamber is cooled and preheated. can do.
この発明の前記空気旋回手段は、その中心軸が前記燃焼室の中心軸と所定角度をなして傾斜しているので、前記空気旋回手段の中心軸回りの旋回流が、相互に干渉して全体として前記燃焼室内に前記燃焼室の中心軸回りの合成旋回流を形成することができる。 Since the center axis of the air swirling means of the present invention is inclined at a predetermined angle with the center axis of the combustion chamber, the swirling flow around the center axis of the air swirling means interferes with each other and is entirely As a result, a combined swirl around the central axis of the combustion chamber can be formed in the combustion chamber.
この発明の前記バーナには、酸素噴射手段が配設されているので、該バーナから放出される空気を酸素富化(酸素リッチ)の状態にすることができる。そのため、燃焼ガス温度の高温化を図り、難分解ガスでも高い分解率を達成することができる。 Since the burner according to the present invention is provided with oxygen injection means, the air released from the burner can be brought into an oxygen-enriched (oxygen-rich) state. Therefore, the combustion gas temperature can be increased and a high decomposition rate can be achieved even with a hardly decomposed gas.
この発明の前記廃棄ガスの導入口には、廃棄ガス管体が接続され、該廃棄ガス管体には、燃料添加管が接続され、前記廃棄ガスが前記燃焼室に流入する前に燃料を添加できるようにしたので、還元性の反応雰囲気を形成することができる。 A waste gas pipe is connected to the waste gas inlet of the present invention, a fuel addition pipe is connected to the waste gas pipe, and fuel is added before the waste gas flows into the combustion chamber. Since it was made possible, a reducing reaction atmosphere can be formed.
この発明の前記廃棄ガスの導入口は、複数設けられているので、各導入口に異なった種類の廃棄ガスを供給することができ、複数台つなげることができる。 Since a plurality of waste gas inlets according to the present invention are provided, different types of waste gas can be supplied to each inlet, and a plurality of waste gas inlets can be connected.
この発明の前記廃棄ガスの導入口に、廃棄ガス旋回手段が設けられているので、該廃棄ガスを分散させることができる。そのため、該廃棄ガスを混合、燃焼しやすい状態にすることができる。 Since waste gas swirling means is provided at the waste gas inlet of the present invention, the waste gas can be dispersed. Therefore, the waste gas can be easily mixed and burned.
この発明の前記廃棄ガス旋回手段は、前記空気旋回手段により形成される旋回流と反対方向の旋回流を形成するので、該廃棄ガスは、燃焼室内において、空気旋回手段の中心軸回りの旋回流、及び燃焼室の中心軸回りの合成旋回流、と十分に混合される。そのため、除害効率を向上させることができる。 The waste gas swirling means of the present invention forms a swirling flow in a direction opposite to the swirling flow formed by the air swirling means, so that the waste gas is swirled around the central axis of the air swirling means in the combustion chamber. , And the resultant swirl flow around the central axis of the combustion chamber. Therefore, the removal efficiency can be improved.
この発明の前記燃焼室の周壁の内側には、耐熱保護カバーが交換可能に配設されているので、該周壁を保護することができると共に、該耐熱保護カバーのメンテナンスを容易に行うことができる。 Since the heat-resistant protective cover is replaceably disposed inside the peripheral wall of the combustion chamber of the present invention, the peripheral wall can be protected and maintenance of the heat-resistant protective cover can be easily performed. .
この発明の第1実施の形態を図1、図2により説明する。
燃焼除害装置1の燃焼室3は、円筒状に形成され、その一端は端壁5により閉鎖され、他端は開放されている。前記端壁5には、廃棄ガスの導入口7と複数個のバーナ9が設けられている。該バーナ9の先端は、端壁5の内面から突出しているが、その突出量は、必要に応じて適宜選択される。例えば、その突出量を零とし、該バーナ9の先端が、前記端壁5の内面と面一になるようにしても良い。
A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
The
前記導入口7は、端壁5の中央部に設けられ、その中心軸5cは、燃焼室3の中心軸3c上に位置している。なお、前記中心軸5cの位置は、必要に応じて適宜選択され、必ずしも前記中心軸3cと一致させる必要はない。
The
バーナ9は、前記導入口7を囲むように配設され、周方向に等間隔をおいて4個設けられている。バーナ9は、燃料噴射手段と空気旋回手段とを備えている。
Four
前記燃料噴射手段として、例えば、ノズル10を有する燃料噴射器11が用いられる。又、前記空気旋回手段として、例えば、空気旋回器13が用いられているが、この空気旋回器13には、空気供給手段に連通する筒状の空気管13aが設けられている。該空気管13aには、前記ノズル10が同心状に内蔵されており、該空気管13aの先端には旋回翼13bが設けられている。この旋回翼13bは、空気管13aの先端又は該先端より少し退いた位置に設けられているが、この位置は必要に応じて適宜選択することができる。
As the fuel injection means, for example, a
前記バーナ9の中心軸11cは、前記燃焼室3の中心軸3cに対し、所定角度θ傾斜している。この傾斜角度θは、必要に応じて選択されるが、例えば、30度〜60度の範囲で適宜選択される。
The
燃焼室3の周壁3aの内面には、耐熱保護カバー16が設けられている。この保護カバー16は、耐熱材、例えば、セラミック材料で形成され、前記燃焼室3の周壁3aに着脱自在に取り付けられている。
A heat-resistant
次に、本実施の形態の作動について説明する。
空気旋回器13の空気室13aに空気Aを圧送すると、該空気Aは旋回翼13bを通って旋回流dとなりながら、燃焼室3内に放出される。前記各空気旋回器13により形成された旋回流dは、該バーナ9の中心軸9c回りの旋回流dであり、互いに同一方向、例えば時計方向に旋回している。
Next, the operation of the present embodiment will be described.
When the air A is pumped to the
前記空気Aは、燃料Gを燃焼するための酸化剤として用いられ、又、燃料Gとして、例えば、天然ガス、プロパン、水素などが用いられる。
なお、空気Aと燃料Gは、燃焼室3に噴出された後に混合されるので、予め両者を混合した状態で燃焼室に放出する方式(予混合方式)と異なり、逆火現象は発生しない。そのため、燃料の引火爆発事故の発生を防止することができるので、安全である。
The air A is used as an oxidant for burning the fuel G. As the fuel G, for example, natural gas, propane, hydrogen, or the like is used.
In addition, since the air A and the fuel G are mixed after being jetted into the
前記空気Aの旋回流dが燃料Gと混合されると、該燃料Gが燃焼し、旋回炎となりながら燃焼室3の中心軸3cに向かって斜め下方に進行する。
この時、廃棄ガスの導入口7からは、廃棄ガスHが燃焼室3内に圧送されるが、この廃棄ガスHとして、例えば、半導体製造装置から排出される、シラン(SiH4)やジシラン(SiH6)等の有害可燃ガスHが用いられる。前記廃棄ガスHは、前記旋回流dに巻き込まれ、分散しながら燃焼する。
When the swirling flow d of the air A is mixed with the fuel G, the fuel G burns and proceeds obliquely downward toward the central axis 3c of the
At this time, the waste gas H is pumped into the
前記各旋回流(旋回炎)dは、互いに同一方向に回転しながら前記中心軸3cに向かって斜め下方に進行するとともに、互いに干渉し合い、全体として前記中心軸3c回りの旋回流(旋回炎)Dとなる。この旋回流Dを、合成旋回流(合成旋回炎)と呼ぶことにする。前記合成旋回流Dは、廃棄ガスHを燃焼させるとともに、前記周壁3aの内面(耐熱保護カバー16)を擦りながら旋回するので、燃焼により生成されるシリカ(SiO2)等が前記内面に付着し堆積するのを防止することができる。 The swirling flows (swirl flames) d rotate in the same direction and proceed obliquely downward toward the central axis 3c and interfere with each other, and as a whole swirl flows (swirl flames) around the central axis 3c. ) D. This swirl flow D will be referred to as a synthetic swirl flow (synthetic swirl flame). The synthetic swirl flow D combusts the waste gas H and swirls while rubbing the inner surface (heat-resistant protective cover 16) of the peripheral wall 3a, so that silica (SiO 2 ) and the like produced by the combustion adhere to the inner surface. Accumulation can be prevented.
なお、耐熱保護カバー16は、燃焼室3に着脱自在に設けられているので、メンテナンス時には、容易に着脱し、新品と交換することができる。
In addition, since the heat-resistant
この発明の第2実施の形態を図3、図4により説明するが、前記図1,図2の図面符号と同一図面符号は、その名称も機能も同一である。
この実施の形態と前記第1実施の形態との相違点は、空気旋回器の空気管として、燃料噴射器と同軸状に配設する代わりに、燃焼室を包囲する空気通路28を用いることである。即ち、この実施の形態では、燃焼室3の周壁3aの外周に、空気通路28が設けられている。
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 and 4. The same reference numerals as those in FIGS. 1 and 2 have the same names and functions.
The difference between this embodiment and the first embodiment is that an
この空気通路28は、垂直通路部28aと、該垂直通路28aの上端部に連続する傾斜通路部28bとを備えている。この垂直通路部28aの下部には、一対の空気供給口30が、点対称に配設され、又、前記傾斜通路部28bには、旋回翼13bが設けられている。
The
この実施の形態では、バーナ9Aの空気供給口30から圧送される空気Aは、垂直通路部28a内を上昇して傾斜通路部28bに到達した後、旋回翼13bを通って旋回流となりながら燃焼室3内に放出される。そのため、燃焼室3の周壁3aは冷却されるので、前記周壁3aが熱により損傷するのを防止することができる。又、前記空気Aは、空気通路28を通りながら予熱されるので、室温の空気を燃焼室に吹き込む場合に比べ、燃焼室内における熱損失を少なくすることができる。
In this embodiment, the air A pumped from the
なお、この実施の形態では、バーナ9が6本設けられ、該バーナ9の先端は、端壁5の内面と面一に形成され、又、耐熱保護カバーは省略されている。
In this embodiment, six
この発明の第3実施の形態を図5〜図7により説明するが、前記図3,図4の図面符号と同一図面符号は、その名称も機能も同一である。
この実施の形態と前記第2実施の形態(図3、図4)との相違点は、次の通りである。
(1)バーナ9Bに酸素噴射手段が設けられていること。
この酸素噴射手段として、例えば、酸素噴射器22が用いられるが、この酸素噴射器22は、燃料噴射器11を包囲する管体部22aと、該管体部22aに設けられた導入口22bと、を備えている。
A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 7. The same reference numerals as those in FIGS. 3 and 4 have the same names and functions.
The difference between this embodiment and the second embodiment (FIGS. 3 and 4) is as follows.
(1) The oxygen injection means is provided in the
As the oxygen injection means, for example, an
(2)廃棄ガスの導入口が、複数設けられていること。
前記導入口のうち、中央導入口7Aに連結された廃棄ガス管体8には、廃棄ガスの旋回手段が設けられているが、この旋回手段として、旋回流形成ノズル24が用いられる。このノズル24は、前記管体8の内周円とほぼ接線方向に向いて設けられている。なお、前記管体8の上端は、蓋25により閉鎖されている。
(2) A plurality of waste gas inlets are provided.
Among the inlets, the
他の導入口7Bは、周方向に等間隔をおいて3個設けられ、該導入口7Bに連接した廃棄ガス管体8aには、燃料添加管26が連設されている。
Three
(3)空気供給口30が、1個しか設けられていないこと及びバーナ9Bが3個であること。
(3) Only one
この実施の形態では、酸素噴出器22から酸素Sが噴射されるので、空気Aに酸素Sが添加される。そのため、空気の旋回流dは、酸素富化の状態となるので、ここに燃料Gを噴射すると、燃焼ガスの温度が上昇し、難分解性ガスでも高い分解率を達成することができる。
In this embodiment, since oxygen S is injected from the
又、旋回流形成ノズル24に廃棄ガスHを圧送すると、該廃棄ガスHは導入口7Aの中心軸回りに旋回しながら燃焼室3内に入り、空気の旋回流dと混合される。この時、廃棄ガスの旋回流Hdを、前記空気の旋回流dと反対方向(反時計回り)に旋回させると、効率良く混合することができる。
When the waste gas H is pumped to the swirl
前記導入口7Bの廃棄ガス管体8aに、廃棄ガスH1を供給するとともに、燃料添加管26に燃料Gを供給すると、前記廃棄ガスH1は、燃料Gと混合された状態で燃焼室3内に放出される。そうすると、還元性の反応雰囲気を形成することができる。なお、前記導入口7Aと導入口7Bに供給される廃棄ガスH、H1は、異なった種類のものを用いたが、同一種類の廃棄ガスを用いても良いことは勿論である。
When the waste gas H1 is supplied to the waste gas pipe 8a of the
発明の第4実施の形態を図8、図9により説明するが、前記図5〜図7の図面符号と同一図面符号は、その名称も機能も同一である。
この実施の形態と前記第3実施の形態(図5〜図7)との相違点は、次の通りである。
(1)廃棄ガスの導入口は、複数設けられているが、中央導入口7Cの廃棄ガス管体8に燃料添加管32が設けられ、該管体8の下端には、旋回翼13cが設けられている。又、他の導入口7Dの廃棄ガス管体8aの下端にも旋回翼13dが設けられている。
(2)燃焼室3の下端部に冷却空気供給管34を接続して、冷却部36を形成するとともに、この燃焼除害装置を該冷却部36を介して図示しない水スクラバー(除害装置)に連結したこと。
The fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 8 and 9. The same reference numerals as those in FIGS. 5 to 7 have the same names and functions.
The differences between this embodiment and the third embodiment (FIGS. 5 to 7) are as follows.
(1) Although a plurality of waste gas inlets are provided, a
(2) A cooling
この実施の形態では、前記導入口7Cの廃棄ガス管体8に圧送された廃棄ガスHは、燃料添加管32から供給される燃料Gと混合された後、旋回翼13cを通り旋回流Hdとなって燃焼室3内に放出される。
In this embodiment, the waste gas H pumped to the
又、前記導入口7Dの廃棄ガス管体8a内を流れる廃棄ガスH1は、燃料添加管26から供給される燃料Gと混合されながら旋回翼13dを通り、旋回流H1dとなる。
Further, the waste gas H1 flowing through the waste gas pipe body 8a of the
前記廃棄ガスの旋回流Hd、H1dは、前記バーナ9Bにより形成された旋回流dと混合されるが、前者の旋回方向を後者の旋回方向と反対(反時計方向)にすると、効率良く混合することができる。
The waste gas swirl flows Hd and H1d are mixed with the swirl flow d formed by the
冷却空気A1を冷却空気供給管34に圧送すると、該冷却空気A1は燃焼室3内の下端側に入り、高温燃焼ガスを冷却する。この時、温度が高いために乖離されていたCOは、再結合されてCO2に戻される。そして、該冷却空気A1により冷却されたガスは、CO2等とともに水スクラバー(湿式除害装置)に送られる。
When the cooling air A1 is pumped to the cooling
1 燃焼除害装置
3 燃焼室
3a 周壁
3c 中心軸
5 端壁
7 廃棄ガスの導入口
8 廃棄ガス管体
9 バーナ
9c 中心軸
11 燃料噴射器
13 空気旋回器
16 耐熱保護カバー
22 酸素噴出器
24 旋回流形成ノズル
26 燃料添加管
28 空気通路
36 冷却部
A 空気
d 旋回流
D 合成旋回流
G 燃料
H 廃棄ガス
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
11 Fuel injector
13 Air swirler
16 Heat-resistant protective cover
22 Oxygen ejector
24 Swirling flow forming nozzle
26 Fuel addition pipe
28 Air passage
36 Cooling part A Air d Swirl D Synthetic swirl G Fuel H Waste gas
Claims (10)
前記端壁には、廃棄ガスの導入口と複数個のバーナとが配設され、
前記各バーナには、燃料噴射手段と空気旋回手段とが配設され、
前記各空気旋回手段は、前記燃焼室内で互いに同方向の空気の旋回流を形成し、その旋回流の相互の干渉により全体として前記燃焼室内に前記燃焼室の中心軸回りの合成旋回流が形成できるように配設されていることを特徴とする燃焼除害装置。 A combustion abatement apparatus comprising a cylindrical combustion chamber having one end defined by a combustion chamber end wall and a periphery defined by a peripheral wall;
The end wall is provided with a waste gas inlet and a plurality of burners,
Each burner is provided with fuel injection means and air swirling means,
Each of the air swirling means forms a swirling flow of air in the same direction in the combustion chamber, and a combined swirling flow around the central axis of the combustion chamber is formed in the combustion chamber as a whole by mutual interference of the swirling flow. Combustion abatement apparatus characterized by being arranged so as to be able to.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006206071A JP4840986B2 (en) | 2006-07-28 | 2006-07-28 | Combustion abatement equipment |
TW96127191A TW200819682A (en) | 2006-07-28 | 2007-07-26 | Incineration exhaust gas abatement equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006206071A JP4840986B2 (en) | 2006-07-28 | 2006-07-28 | Combustion abatement equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008032310A true JP2008032310A (en) | 2008-02-14 |
JP4840986B2 JP4840986B2 (en) | 2011-12-21 |
Family
ID=39121929
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006206071A Expired - Fee Related JP4840986B2 (en) | 2006-07-28 | 2006-07-28 | Combustion abatement equipment |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4840986B2 (en) |
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A621 | Written request for application examination |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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