JP2008018518A - Method and device for forming barrier rib of plasma display panel - Google Patents

Method and device for forming barrier rib of plasma display panel Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and a device for forming the barrier rib of a plasma display panel capable of improving the efficiency of collecting an abrasive material to be reused and enhancing the rate of operation. <P>SOLUTION: This is the method for forming the barrier rib of the plasma display panel using a sand blast method. It is provided with a dispersing bath 10 dispersing the abrasive material and the cutting powder of the barrier rib after sand blast into liquid. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、サンドブラスト法を用いてプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法および隔壁形成装置に関する。   The present invention relates to a partition forming method and a partition forming apparatus for a plasma display panel, which form a partition of a plasma display panel using a sandblast method.

従来、例えば、プラズマディスプレイパネルの隔壁（リブ）を形成するには、サンドブラスト法が用いられている。そして、サンドブラスト法を適用したプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置（ブラスト装置）は、一般に、研磨材と隔壁切削粉を気流式分級機（サイクロン）で分級し、その分級した研磨材を再利用するようになっている。   Conventionally, for example, a sandblast method is used to form partition walls (ribs) of a plasma display panel. And, a partition forming apparatus (blasting apparatus) for a plasma display panel to which a sandblasting method is applied generally classifies abrasives and partition wall cutting powder with an airflow classifier (cyclone), and reuses the classified abrasives. It has become.

図１は従来のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置の一例を概略的に示す図であり、図２は図１に示すプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置における研磨剤の流れを説明するためのフローチャートである。   FIG. 1 is a diagram schematically showing an example of a conventional barrier rib forming apparatus for a plasma display panel, and FIG. 2 is a flowchart for explaining the flow of an abrasive in the barrier rib forming apparatus for the plasma display panel shown in FIG. .

図１において、参照符号１は加工室、２はノズル、３は気流式サイクロン、４は研磨材回収タンク（研磨材回収室）、５は研磨材供給部、６は集塵機、７および８は異物除去部、そして、９は隔壁乾燥基板を示している。   1, reference numeral 1 is a processing chamber, 2 is a nozzle, 3 is an airflow cyclone, 4 is an abrasive recovery tank (abrasive recovery chamber), 5 is an abrasive supply unit, 6 is a dust collector, and 7 and 8 are foreign objects. The removal unit and 9 represents a partition wall dry substrate.

図１および図２に示されるように、まず、ステップＳＴ１では、加工室１において、ノズル２から噴射された研磨材が隔壁乾燥基板９を研磨して基板（例えば、プラズマディスプレイパネルの背面基板）上に所定形状の隔壁（リブ）を形成する。   As shown in FIG. 1 and FIG. 2, first, in step ST <b> 1, in the processing chamber 1, the abrasive sprayed from the nozzles 2 polishes the partition wall dry substrate 9 to form a substrate (for example, a back substrate of a plasma display panel). A partition wall (rib) having a predetermined shape is formed thereon.

次に、ステップＳＴ２に進んで、加工室１からの研磨材と隔壁切削粉の混合物は、異物除去部（メッシュ）７によってドライフィルムレジスト等の大きな異物が除去される。ここで、異物除去部７において、例えば、メッシュを通り抜けられない大きな異物は、定期的に集塵機（図示しない）により集塵して廃棄される。   Next, it progresses to step ST2, and big foreign materials, such as a dry film resist, are removed by the foreign material removal part (mesh) 7 from the mixture of the abrasive | polishing material from the processing chamber 1, and a partition cutting powder. Here, in the foreign material removal unit 7, for example, large foreign materials that cannot pass through the mesh are periodically collected by a dust collector (not shown) and discarded.

さらに、ステップＳＴ１０に進んで、異物除去部７により大きな異物が除去された研磨材と隔壁切削粉の混合物は、気流式サイクロン３によって大粒子と小粒子に分離される。   Furthermore, it progresses to step ST10, and the mixture of the abrasive | polishing material from which the big foreign material was removed by the foreign material removal part 7 and a partition cutting powder is isolate | separated into a large particle and a small particle by the airflow type cyclone 3. FIG.

気流式サイクロン３により分離された小粒子は、ステップＳＴ６において、集塵機６により集塵され、さらに、ステップＳＴ７に進んで、隔壁切削粉および研磨剤が廃棄される。   The small particles separated by the airflow type cyclone 3 are collected by the dust collector 6 in step ST6, and further proceeded to step ST7, where the partition wall cutting powder and the abrasive are discarded.

一方、気流式サイクロン３により分離された大粒子は、ステップＳＴ３において、研磨材回収タンク４に供給され、さらに、ステップＳＴ４に進んで、研磨材供給部５に戻されて研磨剤として再利用される。ここで、研磨材供給部５には、外部から新たな研磨材も補充されている。   On the other hand, the large particles separated by the airflow type cyclone 3 are supplied to the abrasive recovery tank 4 in step ST3, and further proceed to step ST4 to be returned to the abrasive supply unit 5 and reused as an abrasive. The Here, the abrasive supply unit 5 is also replenished with a new abrasive from the outside.

そして、研磨材供給部５からの研磨剤は、ステップＳＴ５において、異物除去部８による異物の除去が行われた後、ステップＳＴ１に戻って、加工室１におけるノズル２から噴射されて基板上に所定形状の隔壁を形成するために使用される。   The abrasive from the abrasive material supply unit 5 is removed from the foreign material by the foreign material removing unit 8 in step ST5, and then returns to step ST1 to be sprayed from the nozzle 2 in the processing chamber 1 and onto the substrate. Used to form a partition having a predetermined shape.

なお、異物除去部８により除去された異物は、ステップＳＴ８において、例えば、定期的に集塵機による集塵が行われ、ステップＳＴ９に進んで、再利用できない研磨剤として廃棄される。   The foreign matter removed by the foreign matter removing unit 8 is periodically collected by a dust collector, for example, in step ST8, and then proceeds to step ST9 to be discarded as an abrasive that cannot be reused.

ところで、従来、サンドブラストを用いるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法として、基板表面における表示領域とその外側とを覆う層状の隔壁材を設ける工程、表示領域とその外側とに跨るパターニング用のマスクを設け、その際にマスクにおける表示領域の外側に配置される部分のパターンを格子状パターンとする工程、マスクによって部分的に覆われた前記隔壁材をサンドブラストによってパターニングする工程、および、パターニングされた隔壁材を焼成する工程を備えるものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。   By the way, conventionally, as a method for forming a partition of a plasma display panel using sandblasting, a step of providing a layered partition material covering the display region on the substrate surface and the outside thereof, a mask for patterning extending over the display region and the outside thereof, At that time, a step of forming a pattern of a portion arranged outside the display area in the mask into a lattice pattern, a step of patterning the partition material partially covered by the mask by sandblast, and a patterned partition material The thing provided with the process to bake is proposed (for example, refer patent document 1).

さらに、従来、ブラスト装置とは異なる処理として行うものではあるが、フラットパネルディスプレイの隔壁および電極をサンドブラストにより形成する際に生じるサンドブラスト屑を再利可能にするために、研磨材をステンレスに固定し、サンドブラスト屑を溶媒中に分散させた分散液から磁気分離によって研磨材屑を回収し、分散液中の固形分に研磨材の溶解剤を添加して磁気分離によって回収されなかった研磨材微細粉を溶解除去し、溶解しない固形分残分である隔壁形成材料および／または電極形成材料を回収する技術も提案されている（例えば、特許文献２参照）。   Further, conventionally, this is performed as a different process from the blasting apparatus, but in order to recycle the sandblasting waste generated when the partition and electrodes of the flat panel display are formed by sandblasting, the abrasive is fixed to stainless steel. Abrasive fine powder that was recovered by magnetic separation from a dispersion in which sandblast waste was dispersed in a solvent, and that was not recovered by magnetic separation by adding an abrasive solvent to the solid content of the dispersion There is also proposed a technique of dissolving and removing the metal and recovering the partition wall forming material and / or electrode forming material, which is a solid residue that does not dissolve (see, for example, Patent Document 2).

国際公開第０２／０８４６８９号パンフレットInternational Publication No. 02/084689 Pamphlet 特開２００２−１２７０１４JP 2002-127014 A

図１および図２を参照して説明したように、従来のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置（方法）は、気流式サイクロン３により大粒子と小粒子を分離（ステップＳＴ１０）することにより研磨剤の再利用を行っていた。   As described with reference to FIG. 1 and FIG. 2, the conventional apparatus for forming a partition of a plasma display panel (method) separates large particles and small particles with an airflow cyclone 3 (step ST10), thereby removing the abrasive. We were reusing.

しかしながら、このような気流式分級機では分散が不十分なため、隔壁切削粉もしくは研磨材と隔壁切削粉が凝集し、分級後の研磨材に隔壁切削粉が混入してサンブラレートの低下や隔壁のダメージを生じる恐れがあった。そのため、従来のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置（ブラスト装置）では、例えば、一定間時間毎（一定処理数毎）に空運転を行って隔壁切削粉の増加を抑制するため、装置の稼働率が低下することになっていた。   However, since the dispersion is insufficient in such an airflow classifier, the partition wall cutting powder or the abrasive and the partition wall cutting powder agglomerate, and the partition wall cutting powder is mixed into the abrasive after classification, resulting in a decrease in sambra rate or partition wall. There was a risk of causing damage. Therefore, in a conventional plasma display panel partition wall forming device (blast device), for example, since the idle operation is performed at regular intervals of time (every fixed number of processes) to suppress increase in partition wall cutting powder, the operating rate of the device is low. It was supposed to decline.

さらに、例えば、隔壁切削粉の増加を抑制するためにカットポイントの変更を行うと、研磨材の回収率が低下することになり、また、近年の高精細パネルをブラスト処理するためには研磨材の小粒径化は必須であるが、上述した理由等により研磨材の変更は容易に行うことができなかった。   Furthermore, for example, if the cut point is changed in order to suppress the increase in the partition wall cutting powder, the recovery rate of the abrasive will decrease, and in order to blast a recent high-definition panel, the abrasive However, it was not possible to change the abrasive easily due to the reasons described above.

本発明は、上述した従来技術が有する課題に鑑み、再利用する研磨材の回収効率を向上させると共に、プラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置の稼働率を向上させることを目的とする。さらに、本発明は、プラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置に使用する研磨材の変更を容易に行うことも目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems of the related art, and it is an object of the present invention to improve the recovery efficiency of abrasives to be reused and to improve the operation rate of a partition forming apparatus for a plasma display panel. Another object of the present invention is to easily change the abrasive used in the partition forming apparatus of the plasma display panel.

本発明の第１の形態によれば、サンドブラスト法を用いてプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法であって、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。   According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for forming a partition of a plasma display panel using a sand blasting method, wherein the abrasive after polishing and the partition cutting powder are dispersed in a liquid. A method for forming a partition wall of a plasma display panel is provided.

本発明の第２の形態によれば、サンドブラスト法を用いてプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置であって、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる分散槽を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置が提供される。   According to a second aspect of the present invention, there is provided a plasma display panel barrier rib forming apparatus for forming barrier ribs of a plasma display panel using a sand blasting method, wherein the abrasive and the barrier rib cutting powder after sand blasting are dispersed in a liquid. A partition forming apparatus for a plasma display panel comprising a tank is provided.

ここで、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を分散させる液体は、有機溶剤、水、或いは、水および分散剤であることが好ましい。また、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものは、湿式分級するのが好ましい。   Here, the liquid in which the abrasive after sandblasting and the partition wall cutting powder are dispersed is preferably an organic solvent, water, or water and a dispersant. In addition, it is preferable to wet-classify the sandblasted abrasive and the partition wall cutting powder dispersed in a liquid.

さらに、湿式分級により分級した粗粉側は、連続乾燥炉で乾燥させて研磨材を再利用することができ、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる処理、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものを湿式分級する処理、および、湿式分級により分級した粗粉側を連続乾燥炉で乾燥させて研磨材を再利用する処理は、連続して行うのが好ましい。なお、乾燥させた研磨材の含水率は５％以下とし、また、湿式分級により分級した微粉側は、脱水処理して固形分を廃棄すると共に、液体を再利用することができる。   Furthermore, the coarse powder side classified by wet classification can be dried in a continuous drying furnace to reuse the abrasive, and the abrasive after sandblasting and the partition wall cutting powder are dispersed in liquid, the abrasive after sandblasting The process of wet-classifying what is dispersed in the liquid and the partition wall cutting powder, and the process of reusing the abrasive by drying the coarse powder side classified by the wet classification in a continuous drying furnace are performed continuously. preferable. Note that the moisture content of the dried abrasive is 5% or less, and the fine powder side classified by wet classification can be dehydrated to discard the solid content and reuse the liquid.

本発明によれば、再利用する研磨材の回収効率を向上させると共に、プラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置の稼働率を向上させることができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, while improving the collection | recovery efficiency of the abrasive | polishing material to reuse, the operation rate of the partition formation apparatus of a plasma display panel can be improved.

以下、本発明に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法および隔壁形成装置の一実施例を、添付図面を参照して詳述する。   Hereinafter, an embodiment of a partition forming method and a partition forming apparatus for a plasma display panel according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図３は本発明に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置の一実施例を概略的に示す図であり、図４は図３に示すプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置を模式的に示す図であり、そして、図５は図３および図４に示すプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置における研磨剤の流れを説明するためのフローチャートである。   FIG. 3 is a view schematically showing an embodiment of a partition forming apparatus for a plasma display panel according to the present invention, and FIG. 4 is a view schematically showing a partition forming apparatus for the plasma display panel shown in FIG. FIG. 5 is a flowchart for explaining the flow of the abrasive in the partition forming apparatus of the plasma display panel shown in FIGS.

図３において、参照符号１は加工室、２はノズル、３は気流式サイクロン、４は研磨材回収タンク、５は研磨材供給部、６は集塵機、７および８は異物除去部、そして、９は隔壁乾燥基板を示している。さらに、参照符号１０は分散槽、１１はモーター、１２は液送ポンプ、１３はハイドロサイクロン、１４は連続式乾燥炉、そして、１５は遠心式脱水機を示している。なお、図３〜図５、並びに、図１および図２において、同じ参照符号の構成および処理は、同様のものを示している。   In FIG. 3, reference numeral 1 is a processing chamber, 2 is a nozzle, 3 is an airflow type cyclone, 4 is an abrasive recovery tank, 5 is an abrasive supply unit, 6 is a dust collector, 7 and 8 are foreign substance removal units, and 9 Indicates a partition dry substrate. Further, reference numeral 10 is a dispersion tank, 11 is a motor, 12 is a liquid feed pump, 13 is a hydrocyclone, 14 is a continuous drying furnace, and 15 is a centrifugal dehydrator. 3 to 5, and FIGS. 1 and 2, the configurations and processes of the same reference numerals are the same.

すなわち、図３〜図５に示されるように、まず、ステップＳＴ１では、加工室１において、ノズル２から噴射された研磨材が隔壁乾燥基板９を研磨して基板上に所定形状の隔壁を形成する。   That is, as shown in FIGS. 3 to 5, first, in step ST <b> 1, in the processing chamber 1, the abrasive sprayed from the nozzle 2 polishes the partition dry substrate 9 to form a partition having a predetermined shape on the substrate. To do.

次に、ステップＳＴ２に進んで、加工室１からの研磨材と隔壁切削粉の混合物は、異物除去部７によってドライフィルムレジスト等の大きな異物が除去される。ここで、異物除去部７において、例えば、メッシュを通り抜けられない大きな異物は、定期的に集塵機（図示しない）により集塵して廃棄される。   Next, it progresses to step ST2, and big foreign materials, such as a dry film resist, are removed by the foreign material removal part 7 from the mixture of the abrasive | polishing material from the processing chamber 1, and a partition cutting powder. Here, in the foreign material removal unit 7, for example, large foreign materials that cannot pass through the mesh are periodically collected by a dust collector (not shown) and discarded.

そして、ステップＳＴ１０に進んで、異物除去部７により大きな異物が除去された研磨材と隔壁切削粉の混合物は、気流式サイクロン３によって大粒子と小粒子に分離される。   And it progresses to step ST10, and the mixture of the abrasive | polishing material from which the big foreign material was removed by the foreign material removal part 7 and a partition cutting powder is isolate | separated into a large particle and a small particle by the airflow type cyclone 3. FIG.

気流式サイクロン３により分離された小粒子は、ステップＳＴ６において、集塵機（６）により集塵され、さらに、ステップＳＴ７に進んで、隔壁切削粉および研磨剤が廃棄される。ここで、気流式サイクロン３により分離された小粒子中に固形分は存在しない。   The small particles separated by the airflow cyclone 3 are collected by the dust collector (6) in step ST6, and further proceeded to step ST7, where the partition wall cutting powder and the abrasive are discarded. Here, there is no solid content in the small particles separated by the airflow cyclone 3.

一方、気流式サイクロン３により分離された大粒子は、ステップＳＴ２１において、分散槽１０の液体中に分散される。ここで、研磨材および隔壁切削粉は比重が比較的重いため、例えば、モーター１１により回転駆動される攪拌羽根１６によって絶えず攪拌される。なお、攪拌機は、分散槽１０、モーター１１および攪拌羽根１６等で構成される。また、分散槽１０における液体としては、例えば、エタノール等の有機溶剤、水、或いは、水および分散剤を使用することができる。   On the other hand, the large particles separated by the airflow type cyclone 3 are dispersed in the liquid in the dispersion tank 10 in step ST21. Here, since the specific gravity of the abrasive and the partition wall cutting powder is relatively heavy, for example, the abrasive and the partition wall cutting powder are constantly stirred by the stirring blade 16 that is rotationally driven by the motor 11. The stirrer includes a dispersion tank 10, a motor 11, a stirring blade 16, and the like. Moreover, as a liquid in the dispersion tank 10, organic solvents, such as ethanol, water, or water and a dispersing agent can be used, for example.

分散槽１０において大粒子が攪拌された混合液は、液送ポンプ１２によりハイドロサイクロン１３に供給され、ステップＳＴ２２において、湿式分級される。   The mixed liquid in which the large particles are stirred in the dispersion tank 10 is supplied to the hydrocyclone 13 by the liquid feed pump 12, and is subjected to wet classification in step ST22.

ハイドロサイクロン１３により湿式分級された粗粉側は、ステップ２３において、連続式乾燥炉１４で乾燥され、ステップＳＴ３に進んで、研磨材回収タンク４に供給される。さらに、ステップＳＴ４に進んで、研磨材供給部５に戻されて研磨剤として再利用される。ここで、研磨材供給部５には、外部から新たな研磨材も補充されている。   The coarse powder side wet-classified by the hydrocyclone 13 is dried in the continuous drying furnace 14 in step 23, proceeds to step ST 3, and is supplied to the abrasive recovery tank 4. Furthermore, it progresses to step ST4, is returned to the abrasive supply part 5, and is reused as an abrasive | polishing agent. Here, the abrasive supply unit 5 is also replenished with a new abrasive from the outside.

そして、研磨材供給部５からの研磨剤は、ステップＳＴ５において、異物除去部８による異物の除去が行われた後、ステップＳＴ１に戻って、加工室１におけるノズル２から噴射されて基板上に所定形状の隔壁を形成するために使用される。   The abrasive from the abrasive material supply unit 5 is removed from the foreign material by the foreign material removing unit 8 in step ST5, and then returns to step ST1 to be sprayed from the nozzle 2 in the processing chamber 1 and onto the substrate. Used to form a partition having a predetermined shape.

なお、異物除去部８により除去された異物は、ステップＳＴ８において、例えば、定期的に集塵機による集塵が行われ、ステップＳＴ９に進んで、再利用できない研磨剤として廃棄される。   The foreign matter removed by the foreign matter removing unit 8 is periodically collected by a dust collector, for example, in step ST8, and then proceeds to step ST9 to be discarded as an abrasive that cannot be reused.

また、ハイドロサイクロン１３により湿式分級された微粉側は、ステップ２４において、遠心式脱水機１５で液体と固形物（隔壁切削粉）に分離され、液体は分散槽１０に戻され、固形物は廃棄される。   Further, the fine powder side wet-classified by the hydrocyclone 13 is separated into liquid and solid matter (partition cutting powder) by the centrifugal dehydrator 15 in step 24, the liquid is returned to the dispersion tank 10, and the solid matter is discarded. Is done.

なお、本実施例では、一連の処理（例えば、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる処理、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものを湿式分級する処理、および、湿式分級により分級した粗粉側を連続乾燥炉で乾燥させて研磨材を再利用する処理）を連続的に行うことにより、研磨材と隔壁切削粉の分散および分級を、高精度で且つインライン処理することができ、さらに、研磨材の回収効率および装置の稼働率も向上させることができる。   In this embodiment, a series of processes (for example, a process of dispersing the abrasive after sandblasting and the partition wall cutting powder in a liquid, a process of performing wet classification of a material after dispersing the sandblasting and the partition wall cutting powder in a liquid) , And the process of reusing the abrasive by drying the coarse powder side classified by wet classification in a continuous drying furnace), the dispersion and classification of the abrasive and the partition wall cutting powder can be performed with high accuracy. Further, in-line processing can be performed, and further, the recovery efficiency of the abrasive and the operating rate of the apparatus can be improved.

上述した実施例では、気流式サイクロン３により分離された大粒子を分散槽１０の液体中に分散および攪拌し、ハイドロサイクロン１３により湿式分級するようになっているが、本発明の特徴は、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させることであり、例えば、気流式サイクロン３は必ずしも設けなくてもよい。   In the embodiment described above, the large particles separated by the airflow type cyclone 3 are dispersed and stirred in the liquid in the dispersion tank 10 and wet-classified by the hydrocyclone 13, but the feature of the present invention is sandblasting. The subsequent abrasive and partition cutting powder are dispersed in a liquid. For example, the airflow cyclone 3 is not necessarily provided.

以上、詳述したように、本発明によれば、湿式分級機（ハイドロサイクロン）を使用することによって、隔壁切削粉や研磨剤の分散度を向上させることができる。また、ハイドロサイクロンの剪断力によっても分散が向上するため、より一層分級精度を向上させることができる。さらに、プラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置に使用する研磨材の変更も容易に行うことができる。   As described above in detail, according to the present invention, by using a wet classifier (hydrocyclone), it is possible to improve the dispersity of the partition wall cutting powder and the abrasive. Further, since the dispersion is improved by the shearing force of the hydrocyclone, the classification accuracy can be further improved. Furthermore, it is possible to easily change the abrasive used in the partition forming apparatus of the plasma display panel.

（付記１）
サンドブラスト法を用いてプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法であって、
サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。 (Appendix 1)
A plasma display panel partition forming method for forming a plasma display panel partition using a sandblasting method,
A method for forming partition walls of a plasma display panel, wherein the abrasive after sandblasting and partition wall cutting powder are dispersed in a liquid.

（付記２）
付記１に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、前記液体は、有機溶剤、水、或いは、水および分散剤であることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。 (Appendix 2)
2. The method for forming a partition for a plasma display panel according to claim 1, wherein the liquid is an organic solvent, water, water, or a dispersant.

（付記３）
付記１に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、
前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものを、湿式分級することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。 (Appendix 3)
In the method for forming a partition wall of the plasma display panel according to appendix 1,
A partition forming method for a plasma display panel, characterized by wet classification of a material obtained by dispersing the sandblasted abrasive and partition cutting powder in a liquid.

（付記４）
付記３に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、
前記湿式分級により分級した粗粉側を、連続乾燥炉で乾燥させて研磨材を再利用することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。 (Appendix 4)
In the method for forming a partition wall of the plasma display panel according to attachment 3,
A method for forming partition walls of a plasma display panel, wherein the coarse powder side classified by the wet classification is dried in a continuous drying furnace and the abrasive is reused.

（付記５）
付記４に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、
前記乾燥させた研磨材の含水率は、５％以下であることを特徴としたプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。 (Appendix 5)
In the method for forming a partition wall of the plasma display panel according to appendix 4,
A method for forming partition walls of a plasma display panel, wherein the moisture content of the dried abrasive is 5% or less.

（付記６）
付記４に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、
前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる処理、前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものを湿式分級する処理、および、前記湿式分級により分級した粗粉側を連続乾燥炉で乾燥させて研磨材を再利用する処理を、連続して行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。 (Appendix 6)
In the method for forming a partition wall of the plasma display panel according to appendix 4,
A process of dispersing the sandblasted abrasive and partition cutting powder in liquid, a process of wet-sorting the sandblasted abrasive and partition cutting powder dispersed in liquid, and a coarse powder classified by the wet classification A partition forming method for a plasma display panel, characterized in that the side is dried in a continuous drying furnace and the abrasive is reused continuously.

（付記７）
付記３に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、
前記湿式分級により分級した微粉側を、脱水処理して固形分を廃棄すると共に、液体を再利用することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。 (Appendix 7)
In the method for forming a partition wall of the plasma display panel according to attachment 3,
A method for forming a partition wall for a plasma display panel, wherein the fine powder side classified by the wet classification is dehydrated to dispose of the solid content and the liquid is reused.

（付記８）
サンドブラスト法を用いてプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置であって、
サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる分散槽を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置。 (Appendix 8)
A plasma display panel partition forming apparatus for forming a plasma display panel partition using a sandblasting method,
A partition forming apparatus for a plasma display panel, comprising a dispersion tank that disperses a polishing material after sandblasting and partition cutting powder into a liquid.

（付記９）
付記８に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置において、前記液体は、有機溶剤、水、或いは、水および分散剤であることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置。 (Appendix 9)
9. The partition forming apparatus for a plasma display panel according to appendix 8, wherein the liquid is an organic solvent, water, or water and a dispersing agent.

（付記１０）
付記８に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置において、さらに、
前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものを、湿式分級するハイドロサイクロンを備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置。 (Appendix 10)
In the partition forming apparatus for a plasma display panel according to appendix 8,
A partition forming apparatus for a plasma display panel, comprising: a hydrocyclone that performs wet classification on a material obtained by dispersing the sandblasted abrasive and partition partition powder in a liquid.

（付記１１）
付記１０に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置において、さらに、
前記湿式分級により分級した粗粉側を、乾燥させて研磨材を再利用するための連続式乾燥炉を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置。 (Appendix 11)
In the partition forming apparatus for a plasma display panel according to appendix 10,
A partition wall forming apparatus for a plasma display panel, comprising a continuous drying furnace for drying the coarse powder side classified by the wet classification and reusing the abrasive.

（付記１２）
付記１１に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置において、
前記連続式乾燥炉は、前記再利用される研磨剤を含水率が５％以下となるように乾燥させることを特徴としたプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置。 (Appendix 12)
In the partition forming apparatus for a plasma display panel according to attachment 11,
The apparatus for forming a partition wall of a plasma display panel, wherein the continuous drying oven dries the recycled abrasive so that the moisture content is 5% or less.

（付記１３）
付記１１に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置において、
前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる分散槽、前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものを湿式分級するハイドロサイクロン、および、前記湿式分級により分級した粗粉側を乾燥させて研磨材を再利用するための連続式乾燥炉は、連続処理するように配置されることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置。 (Appendix 13)
In the partition forming apparatus for a plasma display panel according to attachment 11,
Dispersion tank that disperses the abrasive after the sandblasting and the partition cutting powder in a liquid, hydrocyclone that performs wet classification on the abrasive after the sandblasting and the partition cutting powder dispersed in the liquid, and classification by the wet classification An apparatus for forming a partition wall of a plasma display panel, wherein a continuous drying furnace for drying the coarse powder side and reusing the abrasive is arranged to perform continuous processing.

（付記１４）
付記１０に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置において、さらに、
前記湿式分級により分級した微粉側を、脱水処理して固形分を廃棄すると共に、液体を再利用するための脱水機を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置。 (Appendix 14)
In the partition forming apparatus for a plasma display panel according to appendix 10,
A partition forming apparatus for a plasma display panel, comprising a dehydrator for reusing the liquid while dehydrating the fine powder side classified by the wet classification to discard the solid content.

本発明は、プラズマディスプレイパネルにおける様々な形状の隔壁を、サンドブラスト法を用いて形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置に対して幅広く適用することができる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be widely applied to a partition forming apparatus for a plasma display panel in which partition walls having various shapes in a plasma display panel are formed using a sandblast method.

従来のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置の一例を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly an example of the partition formation apparatus of the conventional plasma display panel. 図１に示すプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置における研磨剤の流れを説明するためのフローチャートである。2 is a flowchart for explaining the flow of an abrasive in the partition forming apparatus of the plasma display panel shown in FIG. 本発明に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置の一実施例を概略的に示す図である。1 is a diagram schematically illustrating an embodiment of a partition forming apparatus for a plasma display panel according to the present invention. 図３に示すプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the partition formation apparatus of the plasma display panel shown in FIG. 図３および図４に示すプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置における研磨剤の流れを説明するためのフローチャートである。5 is a flowchart for explaining the flow of an abrasive in the partition forming apparatus of the plasma display panel shown in FIGS. 3 and 4.

符号の説明Explanation of symbols

１ 加工室
２ ノズル
３ 気流式サイクロン
４ 研磨材回収タンク
５ 研磨材供給部
６ 集塵機
７，８ 異物除去部
９ 隔壁乾燥基板
１０ 分散槽
１１ モーター
１２ 液送ポンプ
１３ ハイドロサイクロン
１４ 連続式乾燥炉
１５ 遠心式脱水機
１６ 攪拌羽根 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Processing chamber 2 Nozzle 3 Airflow type cyclone 4 Abrasive material collection tank 5 Abrasive material supply part 6 Dust collector 7, 8 Foreign material removal part 9 Bulkhead drying substrate 10 Dispersion tank 11 Motor 12 Liquid feed pump 13 Hydrocyclone 14 Continuous drying furnace 15 Centrifugal Type dehydrator 16 stirring blade

Claims (5)

サンドブラスト法を用いてプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法であって、
サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。 A plasma display panel partition forming method for forming a plasma display panel partition using a sandblasting method,
A method for forming partition walls of a plasma display panel, wherein the abrasive after sandblasting and partition wall cutting powder are dispersed in a liquid. 請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、
前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものを、湿式分級することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。 In the plasma display panel partition forming method according to claim 1,
A partition forming method for a plasma display panel, characterized by wet classification of a material obtained by dispersing the sandblasted abrasive and partition cutting powder in a liquid. 請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、
前記湿式分級により分級した粗粉側を、連続乾燥炉で乾燥させて研磨材を再利用することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。 In the plasma display panel partition forming method according to claim 2,
A method for forming partition walls of a plasma display panel, wherein the coarse powder side classified by the wet classification is dried in a continuous drying furnace and the abrasive is reused. 請求項３に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、
前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる処理、前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものを湿式分級する処理、および、前記湿式分級により分級した粗粉側を連続乾燥炉で乾燥させて研磨材を再利用する処理を、連続して行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。 In the plasma display panel partition formation method according to claim 3,
A process of dispersing the sandblasted abrasive and partition cutting powder in liquid, a process of wet-sorting the sandblasted abrasive and partition cutting powder dispersed in liquid, and a coarse powder classified by the wet classification A partition forming method for a plasma display panel, characterized in that the side is dried in a continuous drying furnace and the abrasive is reused continuously. サンドブラスト法を用いてプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置であって、
サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる分散槽を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置。 A plasma display panel partition forming apparatus for forming a plasma display panel partition using a sandblasting method,
A partition forming apparatus for a plasma display panel, comprising a dispersion tank that disperses a polishing material after sandblasting and partition cutting powder into a liquid.
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