JP2008014494A - 精密芯出し用流体軸受ワークホルダ - Google Patents

Abstract

【課題】流体軸受を用いたワークホルダでワークを把持することにより、ノイズを軽減すると共に、ワークの一時的脱着後の再度のワークホルダ上への再装着の再現性を向上させる。
【解決手段】ワークホルダは、ラジアル流体軸受（１４）、スラスト流体軸受（１６）ならびに流体とで構成される胴部を含み、流体を被把持ワーク（１２）とワークホルダとの間の間隙に保持してワークに対して軸方向力と径方向力とを発生させてワークを高精度で芯出ししてワークを把持する。
【選択図】図１Ｂ

Description

本発明は、概して工作機械に関し、特に流体軸受で構成されるワークホルダに関する。

旋盤チャックのような従来のワークホルダは、例えば、ジョウを用いてワークの表面を把持している。ジョウと把持面との間のインタフェース（２つの領域をつなぐ手段）で誤差を生じ、結果として精度が低下するのが通常である。さらに、別種の作業を行うためにワークを除去し、その後に該ワークを同じワークホルダの同一の中心線に正確に再取付けすることは困難である。機械的インタフェースが問題となる傍ら、チャックの主軸軸受自身の不正確さから誤動作も生ずる。

種々の静圧ワークホルダは、既知である。例えば、米国特許第５５１６２４３号には、流体を含む一つ以上の室を設け、この流体を加圧することによって比較的薄い金属スリーブを収縮させてスリーブ内で受ける工具柄をしっかりと保持して位置決めするホルダが開示されている。この静圧工具ホルダは有効かつ信頼性良く使用できるものであるが、中実の鋼鉄スリーブは、その弾性限界内で使用流体の圧力下で僅かな量だけ収縮する。米国特許第６０１５１５４号には、スリーブに印加される比較的低い流体圧力下でスリーブが大きく変位可能で、スリーブに隣接して受け入れられているワークをしっかりと保持する金属スリーブを有する静圧ワークホルダが開示されている。

流体動圧軸受、静圧軸受などを含めた流体軸受は、流体あるいは気体の薄い層上で負荷を支える軸受である。これら流体軸受は、玉軸受では短寿命となり高ノイズおよび振動を生じてしまうような、高負荷、高速あるいは高精密の状態で多く使用されている。また、これら流体軸受は、コスト低減のためにも使用されている。例えば、ハートディスクのドライブモータの流体軸受は、玉軸受に比し静かで廉価であるので玉軸受に代えて使用されている。

流体軸受は、軸受面間で液体あるいは気体などの流体の薄層を利用するものであり、回転軸の周囲ならびに下方でシールされている。軸受に流体を導入するために主に二つの方法がある。気体軸受や静圧軸受では、流体がオリフィス或いは多孔質材料を通してポンプにより注入される。流体動圧軸受では、軸受の回転により軸受中へ流体が導入されて回転軸の下方および周囲に潤滑楔が形成される。

静圧軸受には流体分離を維持するために外部加圧流体源が必要となる。流体動圧軸受内で軸受面の相対運動により流体膜内でせん断成分が全体的に生じ、軸受面間が非接触状態になる。静圧軸受は、負荷分布を一定にする必要がある場合に良く使用されている。

軸受面間にスペースを有して、支持面に対して被支持面を担時する静圧軸受は、既知である。一般に、このような軸受は、二つの形式に分類される。一つの形式は、流体循環系を利用するべく設計されたものである。既知の静圧軸受のもう一つの形式は、被支持面と支持面の双方に接触し作動液を保有する一つ以上のシールが使用されている。

静圧軸受に利用される代表的な流体循環系は、作用流体を二つの面、すなわち支持面および被支持面間のスペースを通して流すためのポンプを含む。ポンプは、流体を充分加圧して支持面に対して被支持面を浮上させて両者が接触しないようにするものである。作用流体は、この二つの被接触面の間の空間の周辺部を通過した後収集されポンプに戻されて循環される。流体循環系は、比較的低圧、すなわち３０００ｐｓｉ或いはそれ以下のオーダの静圧軸受システムでは充分なものであると考えられているが、作用流体の循環と非常に高圧のレベルの維持の双方を同時に行う必要があり過剰な動力となるために高圧で動作するシステムには適していない。

被支持面と支持面の双方に接触する一つ以上のシールを使用する静圧軸受の場合、これらシールは、両面間のスペースの周辺から作用流体が漏れるのを回避すべく用いられており、他方においてポンプにより流体の圧力を維持して支持面に対して被支持面を浮上させる。このような装置を使用する際には一般的に高圧機能が求められ、また、当然ながら、比較的小さな表面面積で比較的高い負荷を支えなければならない。

流体動圧軸受では、潤滑流体あるいは潤滑気体が、例えば、ハウジングの固定部材とハブの回転部材との間で軸受面を呈する。印加された負荷は、流体内に生じた圧力により支持され、運動に抗する摩擦抵抗は、もっぱら粘性流体のせん断作用に起因して生ずる。潤滑材の代表的なものは、オイルか強磁性流体である。流体動圧軸受の軸受面は、一連の点状インタフェースで構成される玉軸受に比較してかなり大きな面積になる。軸受面が大きいことは、回転部材と固定部材との間のふらつき（ｗｏｂｂｌｅ）および振れ（ｒｕｎ−ｏｕｔ）を低減するので好ましい。流体動圧軸受は、軸受内に流体を吸引する軸受運動利用するものである。この流体は、内部で粘性せん断により加圧される。流体動圧軸受は、低速あるいは動作の開始および停止時に高摩擦となり、寿命が短い。よって、流体動軸受の損傷を防ぐために、動作の開始および停止時に第２の軸受を使用することもある。第２の軸受は、高摩擦で作動時間が短いが、軸受の動作の開始および停止が頻繁でなければ、使用期間を長くすることができる。

現在の多くの流体軸受は、ジャーナル軸受とスラスト軸受の組合せである。しばしば、これらの設計としては、一端にスラストプレートを有する軸ジャーナル軸受け設計か、あるいは軸の各端に、あるいはこれに近接して円錐軸受を有するデュアル円錐軸受の設計がある。円錐軸受は、典型的には各円錐上に溝面を有し、スラストプレート軸受は、典型的には、スラストプレートスリーブにより画成される間隙とスラストプレートとカウンタプレートで画成される間隙にそれぞれ面する二つの溝面を含んでいる。

最も良く知られている流体軸受は、固定軸とその固定軸の回りを回転するスリーブとをベースとする設計である。しかしながら、固定軸を回転軸へ変更することにより、性能を犠牲にすることなく動力消費と振動応答性の優れた改良が達成できる。

スリーブが固定されており、ベースへ片持ち梁で支持することにより、振動動作が軸剛性にあまり依存しない。その結果として、小径の軸を用いることができ、これにより動力消費が低減できる。

流体軸受は、定格荷重が同じ場合にその他の軸受と比較するとかなり廉価である。流体軸受は、シールした二つの滑らかな面で作用流体を保持するので簡単なものである。他方、従来の軸受は、複雑な形状で非常に高精度のローラを多数必要とする。静圧軸受および気体軸受は、複雑で高価な外部ポンプを必要とする。ほとんどの流体軸受は、メンテナンスが極くわずかですみ、寿命が非常に長い。従来の機械的玉軸受は、一般に寿命が短く、定期的なメンテナンスを必要とする。流体を送り込まれる静圧軸受および静空気（気体）軸受は、速度がゼロになるまで低摩擦を維持し、ポンプに故障がなければ、動作開始の際および停止の際における摩損を生ずることがない。流体軸受は、機械的軸受に比べて一般に非常に底摩擦である。流体軸受の摩擦の一つの要因は、当然ながら流体の粘性である。

流体の粘性は、せん断応力を受けて変形する流体の抵抗の尺度である。粘性は、一般に「濃度（ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ）」、すなわち流入抵抗と理解されている。粘性は、流れの流体内部抵抗で記述され、流体摩擦の尺度と考えられている。よって、水は、低濃度（ｔｈｉｎ）で低粘性であり、植物性オイルは、高濃度（ｔｈｉｃｋ）で高粘性である。全ての現実的流体（超流動体は除く）は、せん断応力に対して抵抗を有するが、理想的な流体は、せん断応力に対して抵抗がなく、理想流体として知られている。一般に、どの流れにおいても、各流体層が異なる速度で移動するので、層間せん断応力により異なる濃度が生じ、これが印加される力に対抗する。ニュートンの仮説では、直線で平行な一様流れに対して、層間のせん断応力τは、層に垂直な方向の速度勾配δｕ／δｙすなわち層の相対運動に比例する。
τ ＝ μ＊δｕ／δｙ

上述の等式では、定数μは、粘性係数、粘性あるいは動粘性として知られている。水やほとんどの気体などの多くの流体は、ニュートンの法則を満たし、よってニュートン流体である。非ニュートン流体は、せん断応力と速度勾配との関係が単純線形性でなくかなり複雑である。

せん断応力と速度勾配の関係は、密接する距離ｔの間隔で設けた二枚の板を考察することによっても得られる。板が非常に大きく、大きな面積Ａを有し、周辺効果が無視でき、下方の板は固定されているという仮定のもとで、上方の板に力Ｆを加える。ちなみに、もしこの力が板を動かすなら、物質は流体であると判断することができる。移動する板および最上層の速度に関し、印加した力は、板の面積と速度に比例し、板間の距離に逆比例する。これら３つの関係を結びつけると、等式Ｆ＝μ（ＡＵ／ｔ）が得られる。ここでは、μは、絶対密度（単位がＰａ−ｓあるいはｓｌｕｇｓ／ｓ−ｆｔ）と称する比例因子である。この等式は、せん断応力の項で表示でき、ρ＝Ｆ／Ａ＝μ（Ｕ／ｔ）である。Ｕ／ｔは、角度方向の変形の割合であり、角速度ｄｕ／ｄｙで記述できる。よって、この方法により、せん断応力と、速度勾配の関係が求められる。

静圧ガス軸受は、低摩擦の軸受である。しかしながら、低流動粘性であるから軸受面からの漏れも早くなるのが通常である。よって、ポンプ動力を増やしたり、またシールが必要である。

負荷を支持するための剛性の機械要素がないため、流体軸受は、精度が低いと考えられがちである。実際には、流体軸受は、機械的軸受より負荷による隙間の変動が少ない（剛性が高い）。最大設計負荷としての軸受剛性は、平均流体圧力と軸受面の面積の単純な関数と考えられる。実際には、軸受面が互いに押し合うと、流体の流出が大きな抵抗を受ける。これにより２つの軸受面間における流体の圧力が大きく増大する。流体軸受面は比較的大きな面積を有するので、僅かな圧力差であっても大きな復元力が得られ、隙間が維持される。

流体軸受は、一般に機械的軸受より静かでスムース（摩擦の変動がより少ない。）である。機械的軸受をほぼ完全にスムースで丸くすることは非常に困難である。また機械的軸受は、高速で動作中、求心力により高速で変形する。これに対して、流体軸受は、僅かな狂いを自己修正する能力がある。例えば、流体軸受を用いて製造されたハードディスクの軸受或いはモータの騒音値は、２０〜２４ｄＢである。この値は、静寂な部屋の背景雑音の値より僅かに高いものである。回転体を有する軸受で構成された駆動装置では、これよりも通常少なくとも４ｄＢ高い。

粘性と耐磨耗性能は、流体軸受において考慮される問題である。制御可能の潤滑特性および得られる制御の度合いは、このタイプの軸受では独特である。摩擦および耐磨耗性に加えて、その他の重要な特性は、動力損失、流体移動、蒸気圧力および蒸発率、酸化および腐食に対する抵抗、粘弾性、境界条件ならびにシステム互換性などがある。粘性が、動力損失および軸受剛性を決定するが、これらは、種々の動作状態で比較的一定でなければならない。潤滑材は、流体移動が少ないので潤滑材が軸受から抜け出ることがない。潤滑材は、酸化及び反応性に対して抵抗が高く、かつ軸受の寿命を長くする作用を有する。粘弾性は、変形およびせん断に対する流動応答性である。潤滑材は、その他の材料との相性が良い。

本発明の実施例は、流体軸受および流体を含む胴部を有するワークホルダに関し、流体軸受は、ワークホルダとワークとの間の間隙に流体を保持させることによりワークを解放可能に保持し、流体軸受は、ワークに径方向力と軸方向力とを発生し、ワークホルダは、ワークを開放可能に保持する機械的なインターフェース（２つの領域又は部分をつなぐ手段）を有しない。

好ましくは、ワークホルダは、さらに、流体源を有する。好ましくは、流体軸受は、静圧軸受か、あるいは流体動圧軸受である。好ましくは、流体は、外部流体源から間隙に供給されるガスあるいは液体である。流体は好ましくは粘性せん断により、その内部で加圧される。好ましくは、機械的インターフェースは、ジョウ、コレット、チャック、磁気チャックまたはクランク装置である。好ましくは、ワークは、ワークの軸に沿う回転のみを許されるべく拘束される。好ましくは、ワークの回転誤差は１μｍ以下である。

本発明の別の実施例は、流体軸受および流体を含む胴部を有するワークホルダに、ワークを保持する方法に関し、この方法は、流体軸受にワークを配置する段階と、ワークホルダとワークとの間の間隙に流体を保持する段階と、ワークホルダにワークを解放可能に保持する段階とを含み、流体軸受は、径方向力および／もしくは軸方向力をワークに与えるべく発生し、ワークホルダは、ワークを開放可能に保持するための機械的インターフェースを有していない。

当該方法は、流体源を提供する段階を含む。好ましくは、流体軸受は、静圧軸受か、あるいは流体動圧軸受である。好ましくは、流体は、外部流体源から間隙に供給される液体あるいは気体である。好ましくは、流体は、粘性せん断により内部加圧される。好ましくは、機械的インターフェースは、ジョウ、コレット、チャック、磁気チャックまたはクランク装置である。好ましくは、ワークは、ワークの軸に沿う回転のみを許されるべく拘束される。好ましくは、ワークの回転誤差は１μｍ以下である。

しかして、本発明のさらに別の実施例は、ワークホルダを製造する方法であり、ワークホルダとワークとの間の間隙に流体を保持してワークを開放可能に保持するようにした流体軸受を組み立てる段階を含み、流体軸受は、ワークに作用する径方向力および／もしくは軸方向力を発生し、ワークホルダは、ワークを開放可能に保持する機械的インターフェースおよび外部駆動／回転装置を有していない。

好ましくは、製造方法は、さらに、流体源を提供する段階を有する。好ましくは、流体軸受は、静圧軸受か流体動圧軸受である。好ましくは、機械的インターフェースは、ジョウ、コレット、チャック、磁気チャックまたはクランク装置である。

当然ながら、本発明は、その他の実施例の可能性を有し、詳細には、種々の観点で、本発明の概念を逸脱せずに修正可能である。よって、添付の図面及び詳細説明は、例示的なものであり、限定的なものでない。

本発明の実施例は、ワークを該ワークの一つあるいは複数の面に対して位置決めするに際して、高精度で行うには非常に困難な問題に対処するものである。この問題は、ワークホルダとワークとの間の間隙に流体を保持することにより流体軸受がワークを保持し、流体軸受は、ワークに作用する径方向力および／もしくは軸方向力を発生し、さらにワークホルダは、ワークを開放可能に保持する機械的インターフェースを有していない流体軸受および流体を含む胴部を有するワークホルダを開発することにより解消され。

本発明のワークホルダは、静圧軸受か、あるいは流体動圧軸受を使用可能である。一実施例では、流体供給源も含む。流体は、ワークホルダとワークの間の間隙に外部流体源から供給される液体あるいは気体である。別の実施例によれば、流体は、粘性せん断により流体内において加圧されるようにしても良い。

従来のワークホルダに関する問題の一つを解消するために、ワークの表面を把持するジョウは用いられていない。機械的インターフェース、例えば、ジョウ、コレット、チャック、磁気チャックあるいはクランク装置を用いる代わりに、ワークそれ自身が流体軸受の一要素となるように、流体がワークホルダの内面との間の間隙内に保持される。ワークは、円筒形、円錐形、球形、平面形、不定形などいろいろである。

ある実施例では、ワークは、ワークの軸に沿った回転のみ許されるように拘束される。別の実施例では、ワークの回転誤差運動は、好ましくは、１μｍより小さくより好ましくは、０．１μｍより小さい。

ある実施例では、空気、オイル、水、アルコール、ＮａＣｌ，ＮａＮＯ_３、ＨＦ，ＨＣｌ，ＨＮＯ_３，ＮａＯＨなどの水溶液を含む、事実上あらゆる流体でも使用することができる。潤滑材の流体は、非導電性潤滑材および粘性、酸化防止機能、腐食防止機能および磨耗防止機能のような所望の潤滑特性を損わず、且つ潤滑材の導電性を改良するような導電性、非金属性、非磁性の添加剤を含んでいても良い。ベースとなる潤滑材は、無機の炭化水素、合成炭化水素、エステルでも良く、また、ベースとなる潤滑材の組合せでも良い。無機の炭化水素は、好ましくは、充分純化されたもの（高純度）ものが良い。添加剤は、好ましくは芳香族および脂肪族炭化水素中に添加した１／４高分子有機ポリマアミノアマイドエステル、ニトリロポリマ、クロロベンゼン、二塩化エチレンジなどの市販の溶液でも良い。芳香族および脂肪族炭化水素は、添加剤溶液の残余の成分に対して４０〜７０％の濃度である。このような市販の溶液の一例は、米国Ｐｅｔｒｏｌｉｔｅ社のＴｏｌａｄ５１１である。市販の有機ポリマの別の例としては、溶剤（トルエン、イソプロピルアルコール、その他の芳香溶剤Ｃ９〜Ｃ１６）の溶液、ドデシル、ベンゼンならびにスルホン酸の溶液を含む。その他の市販の溶液も使用できる。添加剤が非金属で非磁性であるので、添加剤が、磨耗や粘性機能に悪影響を与えることはない。その他の非金属添加剤溶液も使用可能である。

潤滑材中の添加剤の濃度は、所望の導電性を得るように変更できる。しかしながら、濃度は、低く保って潤滑材全体の濃度が変化しないようにすることが好ましい。よって、適した流体軸受の特性を有する流体を決定するためには、汎用潤滑材として用いられる流体とは異なる考察が必要となる。

一実施例を図示の図１を参照して、ワークホルダ１０は、流体軸受の外径および頂部の平面を位置決め面および静圧軸受面として使用できる。ワーク１２は、ラジアル静圧軸受１４および／もしくはスラスト静圧軸受１６により保持することができる。もし軸受が、表面積、流体圧力などの多数の要因で決定される充分な剛性を有する場合には、ワーク１２を数多くの工程で機械加工することができる。なお、ワーク１２の加工方法は本発明の主題ではないので詳しくは説明しないが、公知又は公知でない様々な方法により加工することができる。

ワーク１２は、外部駆動装置１８によって回転されるようにしても良い。この回転は、好ましくは、ワーク１２の表面で決まる回転軸への各種影響を最小にするように決定される。外部駆動装置１８における軸受は、傾斜抵抗を最小にするように設計可能である。外部駆動／回転装置１８は、それ自身の磁石および固定子、ならびにワーク１２ホルダの軸受とは別に、それ自身の静圧軸受を有することができる。精密な芯出しだけが必要な場合はワーク１２を、回転を生ずることなく静的に保持することができる。

別の実施例では、ワーク１２は、渦電流クラッチ磁気カップリングや軸受パッドを介して流体を逃がすことにより生ずるせん断力を用いて回転運動を誘起するなど、機械的でない手段で回転するようにできる。

一実施例では、油圧ピストン２０を使用してスラスト静圧軸受１６をワーク１２に押し付ける軸方向負荷力を発生させることができる。これにより、ワーク１２が外部駆動装置１８に押し付けられて該ワークが回転する。

ワーク１２と内部軸受面との間の間隙は、軸受に使用した流体の粘性に基づいて調整することができる。一実施例では、ワーク１２と内部軸受面との間の間隙は、好ましくは、１２〜１５μｍである。

再び図１を参照するに、ワークホルダ１０の製造は、ワーク１２に径方向力を発生させる流体軸受１４および／もしくはワーク１２に軸方向力を発生させる流体軸受１６ならびに外部駆動装置／ロータ１８を組み立てる工程を含む。別の実施例では、複数個の油圧ピストン２０を設ける工程を加えて、スラスト静圧軸受１６をワーク１２に押し付ける軸方向力を発生することができ、これにより、ワーク１２が外部駆動装置１８に押し付けられて該ワーク１２が回転可能となる。

一実施例では、ワークホルダ１０の軸受組立体の構成部品を、４３０シリーズのステンレススチールから製造可能である。その他の好適材料は、チタニウム、陽極腐食に高抵抗を有する金属、水吸収力の低いプラスティックおよびセラミックである。構成部品は、鋳造、成型あるいは粉末冶金によって製造可能である。

図２に、静圧軸受を使用したワークホルダの一実施例の振動解析（ｒｏｔｏｒｄｙｎａｍｉｃｓ）試験結果を示す。振動解析試験は、高速回転する機械の振動を測定する試験である。本実施例では、キャパシタンスプローブを用い、信号処理によって回転誤差運動（軸の振れ）を測定した、代表的試験サンプルとして、ワークの回転誤差運動を測定したが、ワークの装着および除去を何回繰り返したかにかかわらず、該ワークの回転誤差運動は約０．１μｍに近似できる。この結果は、緩衝および誤差運動がほとんどの場合適切な範囲内におさまることを示している。

上述の説明は、当業者が本発明を実施および使用可能なように提示したものであり、具体的な適用および必要条件に関して説明したものである。好適実施例に対する種々の修正よび変更は、当業者であれば直ぐに理解されるものであり、本明細書で開示する包括的な原理は、本発明の精神および範囲を逸脱せずにその他の実施例および応用事項にも適応できるものである。よって本発明は、図示の実施例にのみ限定されず、本明細書で説明する原理および特徴事項を満たす広い範囲で適用しうるものである。

本明細書では正確な範囲の限定事項を逐一記述してないが、開示された数値の範囲に含まれる全ての範囲で本発明を実施可能であるから、本願発明は、開示された数値範囲に含まれる範囲の全ての根拠となる多数の数値範囲の限定事項を開示していることになる。最後に、本願に引用する特許および公報の開示内容は、本願発明を理解する上で重要な参考となるものである。

本発明の一実施例の斜視図である。 本発明の一実施例の断面図である。 本発明の一実施例の振動解析試験結果を示す図である。

Claims (20)

1. 流体軸受および流体を含む胴部を有するワークホルダにおいて、該流体軸受が、該流体を前記ワークホルダとワークとの間の間隙に保持させることにより該ワークを開放可能に保持し、かつ該流体軸受は、径方向力および／もしくは軸方向力をワークに対して発生し、該ワークホルダは、該ワークを開放可能に保持するための機械的インターフェースを有していないワークホルダ。
2. さらに流体源を有する請求項１に記載のワークホルダ。
3. 前記流体軸受は、静圧軸受または流体動圧軸受である請求項１に記載のワークホルダ。
4. 前記流体は、外部流体源から前記間隙に供給される液体または気体である請求項１に記載のワークホルダ。
5. 前記流体は、その内部で粘性せん断により加圧される請求項１に記載のワークホルダ。
6. 機械的インターフェースがジョウ、コレット、チャック、磁気チャックまたはクランク装置である請求項１に記載のワークホルダ。
7. 前記ワークは、前記ワークの軸に沿った回転のみ許容されるように拘束されている請求項１に記載のワークホルダ。
8. ワークの回転誤差運動は、１μｍ以下である請求項１に記載のワークホルダ。
9. 流体軸受と流体とを含む胴部を有するワークホルダにワークを保持する方法において、前記流体軸受に前記ワークを配置する段階と、該ワークホルダと該ワークとの間の間隙に流体を保持させる段階と、該ワークホルダに該ワークを開放可能に保持する段階とを有し、前記流体軸受は、前記ワークに径方向力および／もしくは軸方向力を発生させるようになっているものであり、前記ワークホルダは、前記ワークを開放可能に保持する機械的インターフェースを有していないものである方法。
10. さらに流体源を提供する段階を有する請求項９に記載の方法。
11. 前記流体軸受けは、静圧軸受または流体動圧軸受である請求項９に記載の方法。
12. 前記流体は、外部流体源から前記間隙に供給される液体または気体である請求項９に記載の方法。
13. 前記流体は、その内部で粘性せん断により加圧される請求項９に記載の方法。
14. 機械的インターフェースがジョウ、コレット、チャック、磁気チャックまたはクランク装置である請求項９に記載の方法。
15. 前記ワークは、前記ワークの軸に沿った回転のみ許容されるように拘束されている請求項９に記載の方法。
16. ワークの回転誤差運動は、１μｍ以下である請求項９に記載の方法。
17. ワークホルダを製造する方法にして、該ワークホルダとワークとの間の間隙に流体を保持して該ワークを開放可能に保持するようにした流体軸受を組み立てる段階を有し、前記流体軸受は、前記ワークに径方向力および／もしくは軸方向力を発生させるようになっており、前記ワークホルダは、該ワークおよび外部駆動／回転装置を開放可能に保持する機械的インターフェースを有していない方法。
18. 流体源を提供する段階をさらに有する請求項１７に記載の方法。
19. 前記流体軸受は、静圧軸受または流体動圧軸受である請求項１７に記載の方法。
20. 機械的インターフェースがジョウ、コレット、チャック、磁気チャックまたはクランク装置である請求項１７に記載の方法。

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