JP2008008708A - Judgment knowledge creation system, judgment knowledge creation method, program, and recording medium - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a judgment knowledge creation system which creates judgment knowledge in a short period of time and facilitates an explanation of a derivation process of the judgment knowledge. <P>SOLUTION: The judgment knowledge creation system 20 determines: a characteristic amount suitable for an object to be inspected; and a parameter for calculating the characteristic amount, in an inspection system which inspects whether the object to be inspected is a non-defective item or a defective item on the basis of the characteristic amount which is obtained by performing characteristic amount extraction processing on acquired waveform data. The judgment knowledge creation system 20 comprises: a frequency parameter determination section 30 which determines a frequency parameter indicating an optimum frequency range in which an abnormal waveform component occurs as the parameter from the waveform data of the non-defective item and the defective item provided in advance; and a characteristic amount optimization section 40 which determines an effective characteristic amount on the basis of the waveform component of the optimum frequency range indicated by the frequency parameter determined by the frequency parameter determination section 30. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、取得した波形データに対し、特徴抽出処理を行って得られた特徴量に基づいて、検査対象物が良品であるか不良品であるかを検査する検査装置における、前記検査対象物に適したアルゴリズムである有効特徴を求める判定知識作成装置に関するものである。   The present invention provides the inspection object in an inspection apparatus that inspects whether the inspection object is a non-defective product or a defective product based on a feature amount obtained by performing feature extraction processing on the acquired waveform data. The present invention relates to a judgment knowledge creating apparatus for obtaining effective features that are algorithms suitable for the above.

従来から、製品の品質を保証するために、製品の検査を行っている。製品の検査のうち異音検査では、従来、製品を駆動させたときの音を熟練検査員が聞いて判定する、いわゆる官能検査で、製品の良品・不良品を判定していた。しかしながら、官能検査では、属人性が高く、かつ、高度な専門知識が必要であるため、定量的に安定した検査が行えなかった。   Conventionally, product inspection is performed in order to guarantee the quality of the product. In the abnormal sound inspection among the inspections of products, conventionally, a non-defective product or a defective product has been determined by a so-called sensory inspection in which a skilled inspector hears and determines the sound when the product is driven. However, the sensory test cannot be performed quantitatively and stably because it has a high personality and requires a high level of expertise.

そこで、コスト削減のための省人化と、検査の精度向上やばらつきを低減させて製品の信頼性向上させることを目的として、これまでは熟練検査員の勘・経験に頼るしかなかった官能検査のしくみを自動で行う異音計測システムが近年開発されている。   Therefore, for the purpose of labor saving to reduce costs and improving the reliability of products by improving the accuracy and variation of inspections, sensory inspections that had so far only relied on the intuition and experience of skilled inspectors In recent years, an abnormal sound measurement system that automatically performs the mechanism has been developed.

このような異音計測システムでは、検査対象製品の音や振動を測定し、当該音や振動の波形データから、異常の有無が判断可能な特徴量を演算するための検査用知識(異常音または異常振動を強調させるアルゴリズム)が必要である。当該検査用知識は、対象製品の音や振動、環境ノイズ、時間変化によって、個別に作成される。   Such an abnormal sound measurement system measures the sound and vibration of a product to be inspected, and uses the knowledge for inspection (abnormal sound or An algorithm that emphasizes abnormal vibrations) is required. The inspection knowledge is individually created based on the sound and vibration of the target product, environmental noise, and time change.

ここで、検査用知識の作成、具体的には、特徴(特徴量を演算するためのアルゴリズム)に用いられるパラメータの選択は、従来、分析者(異音検査システムの検査用知識を作成する人)により行われていた。しかしながら、このパラメータの組み合わせ数は、膨大な量である。   Here, the creation of inspection knowledge, specifically, the selection of parameters used for features (algorithms for calculating feature values) has conventionally been performed by an analyst (who creates inspection knowledge for an abnormal sound inspection system). ). However, the number of combinations of parameters is enormous.

例えば、サンプリング周波数:40kHz、分析時間:1秒、フレーム幅(単位時間):0.1秒、フレームシフト幅:0.05秒とする。なお、人間が聞こえる周波数帯域は、10Hz〜20kHzである。ただし、信号処理アルゴリズム上、2倍の分解能が必要であるため、サンプリング周波数を40kHzとしている。また、人間が聞こえる最小の周波数10Hzの波長が最低限1つ入る0.1秒を1フレームとしている。   For example, the sampling frequency is 40 kHz, the analysis time is 1 second, the frame width (unit time) is 0.1 seconds, and the frame shift width is 0.05 seconds. The frequency band that humans can hear is 10 Hz to 20 kHz. However, since the signal processing algorithm requires twice the resolution, the sampling frequency is 40 kHz. In addition, one frame is 0.1 seconds in which at least one wavelength of the minimum frequency 10 Hz that can be heard by humans enters.

周波数フィルタの範囲を決めるパラメータである、上限周波数および下限周波数(例えば、3000〜4000Hz)は、10〜20kHzの10Hz刻みの値をとりうる。そのため、これら上限周波数および下限周波数の組合せ総数は、約200万通り(2048)である。 The upper limit frequency and the lower limit frequency (for example, 3000 to 4000 Hz), which are parameters that determine the range of the frequency filter, can take values in increments of 10 Hz of 10 to 20 kHz. Therefore, the total number of combinations of the upper limit frequency and the lower limit frequency is about 2 million ( 2048 C 2 ).

また、周波数フィルタの範囲において、特徴(アルゴリズム)は、そのパラメータの組合せ総数も含めると、約6万通りである。特徴抽出(特徴(アルゴリズム)によって特徴量を求めること)によって求められる特徴量とは、例えば、時間tのある範囲(下限パラメータTLおよび上限パラメータTHで指定)における、波形データs(t)の値が閾値(パラメータPTで指定)を越えるピークの数PN(Peak Numbers)である。その他、時間tのある範囲(下限パラメータTLおよび上限パラメータTHで指定)における、ある順位(パラメータRPで指定)に位置するピークの値PV(Peak Value)もある。   In the range of the frequency filter, there are about 60,000 features (algorithms) including the total number of combinations of the parameters. The feature amount obtained by feature extraction (obtaining the feature amount by the feature (algorithm)) is, for example, the value of the waveform data s (t) in a certain range of time t (specified by the lower limit parameter TL and the upper limit parameter TH). Is the number of peaks PN (Peak Numbers) exceeding the threshold (specified by the parameter PT). In addition, there is a peak value PV (Peak Value) located at a certain rank (specified by the parameter RP) in a certain range of time t (specified by the lower limit parameter TL and the upper limit parameter TH).

さらに、異常成分が発生している時間帯(フレーム)を選択する必要がある。総フレーム数は20(=1/0.05)であるため、取り得る時間帯は、200(20)通りである。さらに、異常成分は、定常性のものと衝撃性のものがあり、定常性の異常成分は、各フレームの特徴量の値に着目することで確認でき、衝撃性の異常成分は、各フレームの特徴量の前後の変化量に着目することで確認できる。そこで、各フレームの値に着目して時間帯を選択する場合と、各フレームの前後の変化量の値に着目して時間帯を選択することが考えられるため、取り得る時間帯は、400(200×2)通りとなる。 Furthermore, it is necessary to select a time zone (frame) in which an abnormal component occurs. Since the total number of frames is 20 (= 1 / 0.05), there are 200 ( 20 C 2 ) possible time zones. Furthermore, the abnormal component has a stationary component and a shock component, and the stationary abnormal component can be confirmed by paying attention to the value of the feature value of each frame. This can be confirmed by paying attention to the amount of change before and after the feature amount. Therefore, it is conceivable that the time zone is selected by paying attention to the value of each frame and the time zone is selected by paying attention to the value of the amount of change before and after each frame. 200 × 2).

これらの組合せ総数の積は、約48兆通りである。そのため、従来、このような膨大な組合せの中から、分析者が高度な波形解析の専門知識を使って選択していた。また、対象製品の異常音(または異常振動)は非常に細かいものであり、ある周波数帯域や時間帯を強調しなければわからないものが多い。そのため、非常に大きな工数が必要であり、検査業務の自動化の妨げとなっていた。   The product of the total number of these combinations is about 48 trillion. Therefore, in the past, analysts have selected from such enormous combinations using advanced waveform analysis expertise. Moreover, the abnormal sound (or abnormal vibration) of the target product is very fine, and there are many things that cannot be understood unless a certain frequency band or time zone is emphasized. Therefore, a very large man-hour is required, which hinders automation of inspection work.

そこで、特許文献1、非特許文献1,2では、各種の特徴量を個体とし、該特徴量を抽出するための、各種のパラメータ(周波数帯域を示す周波数パラメータ、特徴量を演算するための演算パラメータなど)を遺伝子とし、パラメータの組合せを個体とした遺伝子アルゴリズムなどの最適化手法を用いて、最適のパラメータを探索する知識作成支援装置が開示されている。   Therefore, in Patent Document 1 and Non-Patent Documents 1 and 2, each type of feature amount is an individual, and various parameters (frequency parameter indicating a frequency band, calculation for calculating the feature amount) are extracted. A knowledge creation support device that searches for an optimal parameter using an optimization technique such as a genetic algorithm using a parameter as a gene and a combination of parameters as an individual is disclosed.

この知識作成支援装置におけるパラメータ探索手法の手順の概要を、図16に示すフローチャートを参照しながら説明する。   The outline of the procedure of the parameter search method in this knowledge creation support apparatus will be described with reference to the flowchart shown in FIG.

まず、知識作成支援装置は、熟練検査員によって予め良品(OK)/不良品(NG)が判別されている波形データを読み込む(S101)。なお、各波形データには、判定結果(OK/NG)が対応付けされている。   First, the knowledge creation support apparatus reads waveform data in which a non-defective product (OK) / defective product (NG) is discriminated in advance by a skilled inspector (S101). Each waveform data is associated with a determination result (OK / NG).

次に、知識作成支援装置は、ユーザ入力に従って、探索条件を設定する(S102)。パラメータ探索には、様々なアルゴリズムを適用することが可能であるが、遺伝的アルゴリズムを用いた場合の探索条件としては、以下に示すものがある。   Next, the knowledge creation support apparatus sets search conditions according to the user input (S102). Various algorithms can be applied to the parameter search. Search conditions when using a genetic algorithm include the following.

遺伝的アルゴリズムの動作を規定する探索条件としては、個体数、交叉率、突然変異率、世代数がある。個体数は、探索に用いる個体(解候補)の数である。また、交叉率は、個体を交叉させる確率である。突然変異率は、個体の中の遺伝子を突然変異させる確率である。世代数は、遺伝的アルゴリズムを適用する世代数である。   Search conditions that define the operation of the genetic algorithm include the number of individuals, the crossover rate, the mutation rate, and the number of generations. The number of individuals is the number of individuals (solution candidates) used for the search. The crossover rate is the probability of crossing an individual. Mutation rate is the probability of mutating a gene in an individual. The number of generations is the number of generations to which the genetic algorithm is applied.

また、探索方法を規定する探索条件としては、分離度重視か分離数重視かの選択があり、分離数重視の場合は上位いくつを使うか、および、各重み係数がある。   Further, as a search condition for defining a search method, there is a selection of importance on the degree of separation or importance on the number of separations.

さらに、探索終了を規定する探索条件としては、分離度または分離数を示す評価値が一定値を超えた時点(評価値越え)や、評価値が同一の値である世代が一定世代数を超えた時点(回数越え)などがあり、少なくとも1つを具備したときに探索条件を具備したとすることができる。   In addition, the search conditions that define the end of the search include when the evaluation value indicating the degree of separation or the number of separations exceeds a certain value (exceeding the evaluation value), or when the number of generations with the same evaluation value exceeds a certain number of generations. It can be assumed that the search condition is satisfied when there is at least one point (exceeding the number of times) and at least one is included.

続いて、知識作成支援装置は、初期の複数の個体をランダムに生成する(S103)。上述したように、個体とは各種の特徴量であり、記特徴量PN、PVなど、特開平11−173909号公報に開示されているような各種の特徴量がある。   Subsequently, the knowledge creation support device randomly generates a plurality of initial individuals (S103). As described above, the term “individual” refers to various feature quantities, such as the feature quantities PN, PV, and the like, as disclosed in JP-A-11-173909.

次に、各個体(特徴量)の値を演算する(S104)。   Next, the value of each individual (feature value) is calculated (S104).

その後、知識作成支援装置は、各個体について、演算結果を、OK品とNG品とに分けて集計し、個体ごとの評価値を演算する(S105)。   Thereafter, the knowledge creation support apparatus totals the calculation results for each individual into OK products and NG products, and calculates an evaluation value for each individual (S105).

すなわち、まず、特徴量毎の評価値を式(1)を用いて求める。ここで、係数αは、検査実績ファイルでOKとなっているセンサデータ(以下OK品)の平均が検査実績ファイルでNGとなっているセンサデータ(以下NG品)の平均より小さい場合即ち、NG品を高い値で検出している場合に値を大きくするための係数である。一方、計数βはOK品のグループとNG品のグループが完全に分離した場合に加点するための係数である。なお、式(1)は1例であり、他の式であってもよい。   That is, first, an evaluation value for each feature amount is obtained using Expression (1). Here, the coefficient α is NG when the average of the sensor data (hereinafter referred to as OK product) that is OK in the inspection result file is smaller than the average of the sensor data (hereinafter referred to as NG product) that is NG in the inspection result file. This is a coefficient for increasing the value when the product is detected at a high value. On the other hand, the count β is a coefficient for adding points when the OK product group and the NG product group are completely separated. Formula (1) is an example, and other formulas may be used.

Vn=α×β×(NGAven−OKAven)/OKσn ・・・ 式(1)
ここで、
Vn=0:OKσ=0
α=100:OKσ>0、AND、(NGAven−OKAven)>0
−20:OKσ>0、AND、(NGAven−OKAven)≦0
β=2:(NGMinn−OKMaxn)>0
β=1:(NGMinn−OKMaxn)≦0
但し
OKAven:OK品の特徴量nの平均値
OKσn:OK品の特徴量nの分散
NGAven:NG品の特徴量nの平均値
NGσn:NG品の特徴量nの分散
OKMinn,OKMaxn:OK品特徴量nの最大値,最小値
NGMinn,NGMaxn:NG品特徴量nの最大値,最小値
n:0 〜 特徴量数−1 である。
Vn = α × β × (NGAven−OKAven) / OKσn (1)
here,
Vn = 0: OKσ = 0
α = 100: OKσ> 0, AND, (NGAven−OKAven)> 0
−20: OKσ> 0, AND, (NGAven−OKAven) ≦ 0
β = 2: (NGMinn−OKMaxn)> 0
β = 1: (NGMinn−OKMaxn) ≦ 0
However, OKAven: average value of feature value n of OK product OKσn: variance of feature value n of OK product NGven: average value of feature value n of NG product NGσn: variance of feature value n of NG product OKMinn, OKMaxn: feature of OK product Maximum value and minimum value of quantity n NGMinn, NGMaxn: Maximum value and minimum value of NG product feature quantity n: 0 to number of feature quantities -1.

そして、最終的な評価値Valは、以下のようにして求める。すなわち、評価値Valは、ユーザが指定する探索方法によって式(2)と式(2)′を使い分ける。   The final evaluation value Val is obtained as follows. That is, for the evaluation value Val, the expression (2) and the expression (2) ′ are properly used according to the search method designated by the user.

Val=Vm ・・・(2)
Vm:MAX(Vn:n=0〜特徴量数−1)
Val=(w*Vm+(1−w)*Vk)/1 ・・・(2)′
Vm:MAX(Vn:n=0〜特徴量数−1)
Vk:MAX(Vn:n=0〜特徴量数−1かつmを除く)
w: 0.0〜1.0 (ユーザが設定する重み)
探索方法が、分離度優先の場合は式(2)を使い、探索方法が、分離数優先の場合は式(2)′を使う。式(2)′は評価値Vnが上位2つを使う式であるが、任意の上位評価値の重み付き平均でもよい。
Val = Vm (2)
Vm: MAX (Vn: n = 0 to feature quantity −1)
Val = (w * Vm + (1-w) * Vk) / 1 (2) ′
Vm: MAX (Vn: n = 0 to feature quantity −1)
Vk: MAX (Vn: n = 0 to feature quantity −1 and m is excluded)
w: 0.0 to 1.0 (weight set by the user)
When the search method has priority on the degree of separation, Expression (2) is used, and when the search method has priority on the number of separations, Expression (2) ′ is used. Expression (2) ′ is an expression using the upper two evaluation values Vn, but may be a weighted average of arbitrary upper evaluation values.

次に、知識作成支援装置は、上記各式に基づいて算出した評価値が探索終了を規定する探索終了条件を満足するか確認する(S106)。探索終了を規定する探索条件は、S101を実行することにより設定されたものである。   Next, the knowledge creation support apparatus confirms whether the evaluation value calculated based on each of the above expressions satisfies the search end condition that defines the search end (S106). The search condition that defines the end of the search is set by executing S101.

探索終了条件を満たさない場合(S106でNo)、S103の処理に戻り、交叉または突然変異により新個体を生成し、評価値の低い個体を新個体で置き換え、S104〜S106を繰り返す。   When the search end condition is not satisfied (No in S106), the process returns to S103, a new individual is generated by crossover or mutation, an individual with a low evaluation value is replaced with a new individual, and S104 to S106 are repeated.

一方、探索終了条件を満たす場合(S106でYes)、知識作成支援装置は、当該探索終了条件を満たす最適解(評価値が最大のパラメータ解1つ)を決定し(S107)、最適解から、良品/不良品の判別知識(判別アルゴリズム)を作成する(S108)。
特開2004−279211(2004年10月7日公開) オムロンテクニクスVol.43 No.1 pp.99−105(2003) オムロンテクニクスVol.44 No.1 pp.48−53(2004)
On the other hand, when the search end condition is satisfied (Yes in S106), the knowledge creation support apparatus determines the optimal solution (one parameter solution having the maximum evaluation value) that satisfies the search end condition (S107), and from the optimal solution, Non-defective / defective product discrimination knowledge (discrimination algorithm) is created (S108).
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-279111 (released on October 7, 2004) OMRON Technics Vol. 43 No. 1 pp. 99-105 (2003) OMRON Technics Vol. 44 no. 1 pp. 48-53 (2004)

新規に異音検査システムを導入しようとする顧客は、それまで熟練検査員の耳による官能検査を行っていることが多い。このような場合、官能検査の置き換えとして異音検査システムを使用するため、それまでの熟練検査員の検査基準と、良品/不良品の判別知識との整合性を顧客に対して説明する必要がある。よって、最適解の導出過程が説明できないと、顧客の信用が得られないこととなる。   Many customers who intend to introduce a new abnormal sound inspection system have conducted sensory inspections by the ears of skilled inspectors. In such a case, since the abnormal sound inspection system is used as a replacement for the sensory inspection, it is necessary to explain to the customer the consistency between the inspection standard of the skilled inspector so far and the discrimination knowledge of good / defective products. is there. Therefore, if the derivation process of the optimum solution cannot be explained, the customer's trust cannot be obtained.

しかしながら、遺伝的アルゴリズムなどの最適化手法は評価関数のみを基準にランダムに探索を行うため、導出過程を合理的に説明することができない。また、探索空間が複雑である場合、最適解の導出に非常に時間がかかる場合もある。   However, an optimization method such as a genetic algorithm performs a search at random based only on the evaluation function, and thus the derivation process cannot be rationally explained. In addition, when the search space is complex, it may take a very long time to derive an optimal solution.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、短時間で判定知識が作成可能であり、その判定知識の導出過程の説明が容易である判定知識作成装置、判定知識作成方法、プログラムおよび記録媒体を実現することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a determination knowledge creation device and a determination that can make determination knowledge in a short time and easily explain the derivation process of the determination knowledge. It is to realize a knowledge creation method, a program, and a recording medium.

本発明に係る判定知識作成装置は、上記課題を解決するために、取得した波形データに対し、特徴抽出処理を行って得られた特徴量に基づいて、検査対象物が良品であるか不良品であるかを検査する検査装置における、上記検査対象物に適したアルゴリズムである有効特徴を求める判定知識作成装置であって、予め与えられた良品の波形データおよび不良品の波形データから、異常波形成分が発生している最適周波数帯域を示す周波数パラメータを決定する周波数パラメータ決定手段と、上記周波数パラメータ決定手段によって決定された周波数パラメータで示される最適周波数帯域の波形成分に基づいて、上記有効特徴を求める特徴最適化手段とを備える。   In order to solve the above-described problem, the determination knowledge creating apparatus according to the present invention is based on a feature amount obtained by performing a feature extraction process on acquired waveform data, and the inspection object is a non-defective product or a defective product. In the inspection apparatus for inspecting whether or not, a determination knowledge creating apparatus for obtaining an effective feature, which is an algorithm suitable for the inspection object, from abnormal waveform data given in advance and defective waveform data, an abnormal waveform A frequency parameter determining means for determining a frequency parameter indicating an optimal frequency band in which the component is generated, and the effective feature based on the waveform component in the optimal frequency band indicated by the frequency parameter determined by the frequency parameter determining means. Characteristic optimization means to be obtained.

本発明に係る判定知識作成方法は、上記課題を解決するために、取得した波形データに対し、特徴抽出処理を行って得られた特徴量に基づいて、検査対象物が良品であるか不良品であるかを検査する検査装置における、上記検査対象物に適したアルゴリズムである有効特徴を求める判定知識作成装置の判定知識作成方法であって、予め与えられた良品の波形データおよび不良品の波形データから、異常波形成分が発生している最適周波数帯域を示す周波数パラメータを決定する周波数パラメータ決定ステップと、上記周波数パラメータで示される最適周波数帯域の波形成分に基づいて、上記有効特徴を求める特徴最適化ステップとを含む。   In order to solve the above-described problem, the determination knowledge creating method according to the present invention is based on the feature amount obtained by performing the feature extraction process on the acquired waveform data, and the inspection object is a non-defective product or a defective product. A determination knowledge generation method for a determination knowledge generation device for obtaining an effective feature that is an algorithm suitable for the inspection object in an inspection device for inspecting whether the waveform is a good product waveform and a defective product waveform that are given in advance A frequency parameter determining step for determining a frequency parameter indicating an optimum frequency band in which an abnormal waveform component is generated from data, and a feature optimization for obtaining the effective feature based on the waveform component in the optimum frequency band indicated by the frequency parameter. Including the step of converting.

ここで、「特徴」(アルゴリズム)とは、波形成分に対する演算アルゴリズムである。「特徴量」とは、波形成分から上記特徴によって求められた値である。「特徴抽出」とは、上記特徴を用いて上記特徴量を計算することを意味する。   Here, the “feature” (algorithm) is an arithmetic algorithm for the waveform component. The “feature amount” is a value obtained from the waveform component by the above feature. “Feature extraction” means calculating the feature amount using the feature.

上述したように、判定知識の一部としての特徴量の演算方式の総数(すなわち、上記「特徴」(アルゴリズム)の数である)は、特徴量を演算するためのパラメータの組合せを考慮すると、約48兆通りもの膨大な数となる。この中で最も組合せ数が多いのは、特徴量の演算に用いる周波数帯域を示す周波数パラメータであり、約200万通りである。   As described above, the total number of feature amount calculation methods (that is, the number of “features” (algorithms)) as a part of the determination knowledge is considered in consideration of a combination of parameters for calculating feature amounts. The number is about 48 trillion. Among them, the number of combinations having the largest number is a frequency parameter indicating a frequency band used for the calculation of the feature amount, which is about 2 million.

従来では、約48兆通りの組合せの中から総当り的に最適解を探索していたが、上記の構成によれば、まず最初に、異常波形成分が発生している最適周波数帯域を周波数パラメータとして決定し、その後に有効特徴(当該有効特徴には、周波数パラメータ以外の演算パラメータが含まれる場合がある)を求める。ここで、有効特徴の求め方としては、公知の最適化手法を用いることができる。   Conventionally, the optimum solution is searched omnidirectionally from about 48 trillion combinations. According to the above configuration, first, the optimum frequency band in which the abnormal waveform component is generated is determined as the frequency parameter. Thereafter, an effective feature (the effective feature may include a calculation parameter other than the frequency parameter) is obtained. Here, as a method of obtaining the effective feature, a known optimization method can be used.

そのため、200万通りから、最適な1つまたは数個の周波数パラメータを探索する時間は、48兆通りから探索する時間に比べて、一層短縮することができる。また、先に周波数パラメータが決定されているので、当該周波数パラメータで示される帯域において、最適な有効特徴を求める時間も短時間で済む。また、周波数パラメータを探索する時間と、有効特徴を求める時間との合計も、48兆通りから探索する時間に比べて、短くなる。このように、段階的に有効特徴を求めることで、判定知識としての有効特徴の最適解を短時間で出力することができる。   Therefore, the time for searching for one or several optimal frequency parameters from 2 million ways can be further shortened compared to the time for searching from 48 trillion ways. In addition, since the frequency parameter is determined first, the time for obtaining the optimum effective feature in the band indicated by the frequency parameter can be shortened. Further, the total time for searching for the frequency parameter and the time for finding the effective feature is also shorter than the time for searching from 48 trillion ways. In this way, by obtaining effective features step by step, an optimal solution of effective features as judgment knowledge can be output in a short time.

また、48兆通りから総当り的に探索する場合に比べて、先に周波数パラメータを決定し、決定した周波数パラメータから有効特徴を求めているという導出過程を顧客に対して説明しやすくなり、顧客の信用を得ることができる。   In addition, compared with the case where the search is brute force from 48 trillion ways, it becomes easier to explain to the customer the derivation process in which the frequency parameter is determined first and the effective feature is obtained from the determined frequency parameter. You can get credit for.

特に、周波数パラメータは、異常波形成分を捉えているか否かを決める重要な要素である。そして、周波数パラメータを決定する段階で、顧客は、良品/不良品の波形データと、決定された周波数パラメータとを比較することで、周波数パラメータが最適であることを確認することも可能である。その結果、有効特徴の導出過程に対する顧客の信用を一層得ることができる。   In particular, the frequency parameter is an important factor that determines whether or not an abnormal waveform component is captured. At the stage of determining the frequency parameter, the customer can confirm that the frequency parameter is optimal by comparing the non-defective / defective product waveform data with the determined frequency parameter. As a result, the customer's confidence in the process of deriving effective features can be further obtained.

さらに、本発明に係る判定知識作成装置において、上記周波数パラメータ決定手段は、上記良品の波形データおよび不良品の波形データから、複数の単位周波数帯域の波形成分を抽出し、各波形成分に基づいて第1の値を算出する第1算出手段と、上記単位周波数帯域ごとに、良品の波形データに対応する第1の値と、不良品の波形データに対応する第1の値との分離状態を示す第2の値を算出する第2算出手段とを備え、上記第2の値に基づいて、上記周波数パラメータを決定する。   Further, in the determination knowledge creating device according to the present invention, the frequency parameter determining means extracts a plurality of unit frequency band waveform components from the non-defective waveform data and the defective waveform data, and based on each waveform component A first calculation unit that calculates a first value, and a separation state between a first value corresponding to good waveform data and a first value corresponding to defective waveform data for each unit frequency band. Second frequency calculation means for calculating a second value to be indicated, and determining the frequency parameter based on the second value.

ここで、ある単位周波数帯域において、良品の波形データに対応する第1の値と不良品の波形データに対応する第1の値とが分離しているということは、当該単位周波数帯域において、不良品の波形成分と良品の波形成分とが異なっている、つまり、不良品の波形成分に異常波形成分が発生していることを意味する。   Here, in a certain unit frequency band, the first value corresponding to the non-defective product waveform data and the first value corresponding to the defective waveform data are separated from each other in the unit frequency band. It means that the waveform component of the non-defective product and the waveform component of the non-defective product are different, that is, an abnormal waveform component is generated in the waveform component of the defective product.

そのため、上記の構成によれば、良品の波形データに対応する第1の値と、不良品の波形データに対応する第1の値とがより一層分離していることを示す第2の値を持つ単位周波数帯域、つまり、異常波形成分が発生している単位周波数帯域を、最適周波数帯域として決定することができる。   Therefore, according to the above configuration, the second value indicating that the first value corresponding to the non-defective product waveform data and the first value corresponding to the defective waveform data are further separated. The unit frequency band possessed, that is, the unit frequency band in which the abnormal waveform component is generated can be determined as the optimum frequency band.

さらに、本発明に係る判定知識作成装置において、上記第1算出手段は、上記第1の値として、上記波形成分の強度を示す値を算出することが好ましい。   Furthermore, in the determination knowledge creating apparatus according to the present invention, it is preferable that the first calculation means calculates a value indicating the intensity of the waveform component as the first value.

時間に拘わらず発生する異常波形成分(定常性の異常波形成分)は、良品にはない強度が、不良品において追加される。そのため、上記の構成によれば、第1の値を波形成分の強度を示す値とすることで、定常性の異常波形成分が発生している周波数帯域を最適周波数帯域として決定することができる。   As for the abnormal waveform component (stationary abnormal waveform component) generated regardless of time, the strength that is not found in a non-defective product is added to the defective product. Therefore, according to the above configuration, by setting the first value as a value indicating the intensity of the waveform component, the frequency band in which the stationary abnormal waveform component is generated can be determined as the optimum frequency band.

なお、波形成分の強度を示す値としては、該強度の平均値または中央値がある。   The value indicating the intensity of the waveform component includes an average value or a median value of the intensity.

さらに、本発明に係る判定知識作成装置において、上記第1算出手段は、上記第1の値として、上記波形成分における単位時間ごとの強度の、ばらつきを示す値を算出することが好ましい。   Furthermore, in the determination knowledge creating apparatus according to the present invention, it is preferable that the first calculation means calculates a value indicating a variation in intensity for each unit time in the waveform component as the first value.

突発的または定期的に発生する異常波形成分(衝撃性の異常波形成分)は、単位時間の強度が、異なる単位時間の間でばらつくものである。すなわち、一単位時間を1フレームとすると、衝撃性の異常波形成分を含むフレームの強度は、衝撃性の異常波形成分を含まないフレームの強度よりも大きくなる。そのため、上記の構成によれば、フレームの強度を第1の値の算出のために用いることで、衝撃性の異常波形成分が発生している周波数帯域を最適周波数帯域として決定することができる。   The abnormal waveform component (impact abnormal waveform component) that occurs suddenly or periodically has a unit time intensity varying between different unit times. That is, assuming that one unit time is one frame, the strength of the frame including the shocking abnormal waveform component is larger than the strength of the frame not including the shocking abnormal waveform component. Therefore, according to the above configuration, the frequency band in which the shocking abnormal waveform component is generated can be determined as the optimum frequency band by using the strength of the frame for calculating the first value.

なお、当該第1の値としては、上記波形成分における単位時間ごとの強度の分散値、上記波形成分の尖り度、または、上記波形成分の最大値がある。衝撃性の異常波形成分を含むフレームの強度が、衝撃性の異常波形成分を含むフレームの強度よりも十分に大きい場合には、分散値を用いることができる。また、衝撃性の異常波形成分を含む波形成分データの強度の最大値が、衝撃性の異常波形成分を含まない波形成分データの強度の最大値よりも十分大きい場合には、最大値を第2指標として用いることができる。また、衝撃性の異常波形成分を含むフレームの数が、衝撃性の異常波形成分を含む波形の全フレーム数と比較して十分に少ない場合には、尖り度を第2指標として用いることができる。尖り度を用いることにより、衝撃度合いを評価することができる。また、最大値を用いることにより、単発の異常を捉えることができる。   The first value includes a variance value of intensity per unit time in the waveform component, a kurtosis degree of the waveform component, or a maximum value of the waveform component. When the strength of the frame including the impact abnormal waveform component is sufficiently larger than the strength of the frame including the impact abnormal waveform component, the dispersion value can be used. Further, when the maximum value of the waveform component data including the shocking abnormal waveform component is sufficiently larger than the maximum value of the waveform component data not including the shocking abnormal waveform component, the maximum value is set to the second value. It can be used as an indicator. In addition, when the number of frames including the shocking abnormal waveform component is sufficiently smaller than the total number of frames including the shocking abnormal waveform component, the kurtosis can be used as the second index. . The degree of impact can be evaluated by using the kurtosis degree. Also, by using the maximum value, it is possible to catch a single abnormality.

さらに、本発明に係る判定知識作成装置において、上記単位周波数帯域ごとの第2の値を、良品の波形データに対応する第1の値と不良品の波形データに対応する第1の値とがより分離している順に並べたときの順位を分離順位とするとき、上記周波数パラメータ決定手段は、上記分離順位の上位の複数の単位周波数帯域を、上記最適周波数帯域として決定することが好ましい。   Furthermore, in the determination knowledge creating apparatus according to the present invention, the second value for each unit frequency band is divided into a first value corresponding to non-defective waveform data and a first value corresponding to defective waveform data. When the rank when arranged in the order of further separation is the separation rank, the frequency parameter determining means preferably determines a plurality of unit frequency bands higher in the separation rank as the optimum frequency band.

上記の構成によれば、良品の波形データに対応する第1の値と、不良品の波形データに対応する第1の値とがより分離している複数の単位周波数帯域を最適周波数帯域として決定することができる。異常波形成分は、故障モードによって発生する周波数が異なる。そのため、複数種類の故障モードに対応する異常波形成分が発生している場合でも、各異常波形成分が発生している周波数帯域を最適周波数帯域として決定することができる。   According to the above configuration, a plurality of unit frequency bands in which the first value corresponding to the non-defective product waveform data and the first value corresponding to the non-defective product waveform data are further separated are determined as the optimum frequency bands. can do. The frequency of the abnormal waveform component varies depending on the failure mode. Therefore, even when abnormal waveform components corresponding to a plurality of types of failure modes are generated, the frequency band in which each abnormal waveform component is generated can be determined as the optimum frequency band.

さらに、本発明に係る判定知識作成装置において、上記単位周波数帯域ごとの第2の値を、良品の波形データに対応する第1の値と不良品の波形データに対応する第1の値とがより分離している順に並べたときの順位を分離順位とするとき、上記周波数パラメータ決定手段は、上記分離順位の上位の複数の単位周波数帯域を候補周波数帯域として選定する選定手段と、上記良品の波形データに対応するFFT(高速フーリエ変換)強度グラフ、ならびに、上記不良品の波形データに対応するFFT強度グラフを作成するグラフ作成手段と、上記FFT強度グラフと上記選定手段が選定した複数の候補周波数帯域とを表示装置に表示させ、ユーザ入力に従って、該複数の候補周波数帯域の中から最適周波数帯域を決定する最適周波数帯域決定手段とを備えることが好ましい。   Furthermore, in the determination knowledge creating apparatus according to the present invention, the second value for each unit frequency band is divided into a first value corresponding to non-defective waveform data and a first value corresponding to defective waveform data. When the order when arranged in the order of separation is the separation order, the frequency parameter determination means includes a selection means for selecting a plurality of unit frequency bands higher in the separation order as candidate frequency bands, FFT (Fast Fourier Transform) intensity graph corresponding to waveform data, graph creation means for creating an FFT intensity graph corresponding to the waveform data of the defective product, and a plurality of candidates selected by the FFT intensity graph and the selection means The frequency band is displayed on the display device, and the optimum frequency band determining means for determining the optimum frequency band from the plurality of candidate frequency bands according to the user input It is preferably provided and.

上記の構成によれば、ユーザは、表示されたFFT強度グラフと候補周波数帯域とを比較しながら、どの候補周波数帯域を最適周波数帯域とするかを選択することができる。ユーザは、FFT強度グラフを確認することで、例えば異常なノイズや外れ値の影響によって選定された候補周波数帯域を最適周波数帯域から除外することが可能となる。   According to the above configuration, the user can select which candidate frequency band is the optimum frequency band while comparing the displayed FFT intensity graph with the candidate frequency band. By checking the FFT intensity graph, the user can exclude the candidate frequency band selected, for example, due to the influence of abnormal noise or outliers from the optimum frequency band.

さらに、本発明に係る判定知識作成装置において、上記選定手段は、上記分離順位の上位の複数の単位周波数帯域の中に、隣り合う単位周波数帯域がある場合、これら隣り合う単位周波数帯域をまとめて、1つの上記候補周波数帯域とすることが好ましい。   Furthermore, in the determination knowledge creating device according to the present invention, the selecting means collectively includes the adjacent unit frequency bands when there are adjacent unit frequency bands in the plurality of unit frequency bands higher in the separation order. One candidate frequency band is preferable.

検査装置では、複数の故障モードを一度の検査で判定することが望まれる。しかしながら、故障モードによって異常波形成分が発生する周波数帯域は異なる。また、検査装置によって一度に検査できる周波数帯域の個数には制限がある(例えば5個)。   In the inspection apparatus, it is desired to determine a plurality of failure modes by a single inspection. However, the frequency band in which the abnormal waveform component is generated differs depending on the failure mode. In addition, there is a limit to the number of frequency bands that can be inspected at once by the inspection apparatus (for example, 5).

しかしながら、上記の構成によれば、隣り合う単位周波数帯域をまとめて、1つの候補周波数帯域とする。その結果、この候補周波数帯域を選択することで、異常波形成分が発生している複数の隣り合う単位周波数帯域を1つの最適周波数帯域として決定することができる。この1つの最適周波数帯域には、複数の異常波形成分が含まれており、これら異常波形成分が異なる故障モードによるものであるとき、複数の故障モードを一度に検査することが可能となる。   However, according to the above configuration, adjacent unit frequency bands are grouped into one candidate frequency band. As a result, by selecting this candidate frequency band, a plurality of adjacent unit frequency bands in which abnormal waveform components are generated can be determined as one optimum frequency band. The single optimum frequency band includes a plurality of abnormal waveform components, and when these abnormal waveform components are due to different failure modes, the plurality of failure modes can be inspected at a time.

なお、上記判定知識作成装置は、コンピュータによって実現してもよく、この場合には、コンピュータを上記各手段として動作させることにより判定知識作成装置をコンピュータにて実現させるプログラム、およびそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も、本発明の範疇に入る。   The determination knowledge creation device may be realized by a computer. In this case, a program for causing the determination knowledge creation device to be realized by a computer by operating the computer as each of the means, and a computer recording the same A readable recording medium falls within the scope of the present invention.

本発明に係る判定知識作成装置は、以上のように、予め与えられた良品の波形データおよび不良品の波形データから、異常波形成分が発生している最適周波数帯域を示す周波数パラメータを決定する周波数パラメータ決定手段と、上記周波数パラメータ決定手段によって決定された周波数パラメータで示される最適周波数帯域の波形成分に基づいて、上記有効特徴を求める特徴最適化手段とを備える。これにより、短時間で判定知識が作成可能であり、その判定知識の導出過程の説明が容易でとなる。   As described above, the determination knowledge creating apparatus according to the present invention determines the frequency parameter indicating the optimum frequency band in which the abnormal waveform component is generated from the waveform data of the non-defective product and the waveform data of the defective product given in advance. Parameter determining means, and feature optimizing means for obtaining the effective feature based on the waveform component of the optimum frequency band indicated by the frequency parameter determined by the frequency parameter determining means. Thereby, judgment knowledge can be created in a short time, and the derivation process of the judgment knowledge can be easily explained.

本発明の判定知識作成装置に関する実施の一形態の説明の前に、本装置により設定される判定ルール(判定知識)を用いて、対象製品の良否判定を行う検査装置について説明する。   Prior to the description of an embodiment relating to the determination knowledge creating apparatus of the present invention, an inspection apparatus that performs pass / fail determination of a target product using determination rules (determination knowledge) set by the apparatus will be described.

図2は、検査装置10の構成を示すブロック図である。図2に示されるように、検査装置10は、波形取得部11と、特徴抽出部12と、判定部13と、検査結果出力部14と、特徴量演算パラメータ記憶部15と、ファジィルール記憶部16とを備えている。   FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the inspection apparatus 10. As shown in FIG. 2, the inspection apparatus 10 includes a waveform acquisition unit 11, a feature extraction unit 12, a determination unit 13, an inspection result output unit 14, a feature amount calculation parameter storage unit 15, and a fuzzy rule storage unit. 16.

波形取得部11は、製品毎に、製品の駆動時の音や振動から波形データを取得する。また製品の駆動時の振動から波形データを取得する。ここで、製品の駆動時の音は、例えばマイク等の音センサ3から得られるものとする。この音センサ3は、製品に接触または近接するように配されており、製品を駆動させた際に生じる音を収集する。また、製品の駆動時の振動は、例えば加速度センサ3から得られるものとする。この加速度センサ3は、製品に接触または近接するように配されており、製品を駆動させた際に生じる振動を収集するものである。収集された音および振動はアンプ(図示せず)により増幅され、A/D変換器5を通して、波形取得部11に送られる。   For each product, the waveform acquisition unit 11 acquires waveform data from sound and vibration when the product is driven. Also, waveform data is acquired from vibrations during product driving. Here, it is assumed that the sound when the product is driven is obtained from the sound sensor 3 such as a microphone. The sound sensor 3 is arranged so as to be in contact with or close to the product, and collects sound generated when the product is driven. Further, the vibration at the time of driving the product is obtained from the acceleration sensor 3, for example. The acceleration sensor 3 is arranged so as to be in contact with or close to the product, and collects vibrations generated when the product is driven. The collected sound and vibration are amplified by an amplifier (not shown), and sent to the waveform acquisition unit 11 through the A / D converter 5.

特徴量演算パラメータ記憶部15は、波形データから特徴量を演算するための演算アルゴリズムであり、当該波形データに適した有効特徴を記憶するものである。特徴量演算パラメータ記憶部15は、当該有効特徴として、波形データからフィルタリングする周波数帯域の上限周波数および下限周波数を示す周波数パラメータと、当該周波数パラメータによりフィルタリングされた波形データから演算可能であり、対象製品の良否判定に用いられる特徴量を識別する特徴量識別情報とを記憶するものである。特徴量とは、波形データから得られる値で示され、製品が良品である場合と不良品である場合とを区別可能とする要素(計測項目)のことである。特徴量とは、製品が良品であるか否かを判定するために用いる物理的特性であり、製品の品質をよく表す特性(品質特性)としてみなすことができる。   The feature amount calculation parameter storage unit 15 is a calculation algorithm for calculating a feature amount from waveform data, and stores effective features suitable for the waveform data. The feature quantity calculation parameter storage unit 15 can calculate from the frequency parameter indicating the upper limit frequency and the lower limit frequency of the frequency band to be filtered from the waveform data and the waveform data filtered by the frequency parameter as the effective feature. And feature amount identification information for identifying a feature amount used for quality determination. The feature amount is an element (measurement item) that is indicated by a value obtained from the waveform data and makes it possible to distinguish between a case where the product is a good product and a case where the product is a defective product. The feature amount is a physical characteristic used for determining whether or not a product is a non-defective product, and can be regarded as a characteristic (quality characteristic) that well represents the quality of the product.

特徴量には、該特徴量を演算するために何らかのパラメータが必要な「パラメータ有の特徴量」と、パラメータが不要な「パラメータ無の特徴量」とがある。パラメータ無の特徴量の例としては、波形データの強度の平均値や分散値などが挙げられる。   The feature quantity includes “a feature quantity with parameters” that requires some parameters to calculate the feature quantities and “feature quantities without parameters” that do not require parameters. Examples of the feature quantity without parameters include an average value and a variance value of the intensity of waveform data.

一方、パラメータ有の特徴量の例としては、図3に示されるような、時間tのある範囲(下限パラメータTLおよび上限パラメータTHで指定)における、波形データs(t)の値が閾値(パラメータPTで指定)を越えるピークの数PN(Peak Numbers)や、時間tのある範囲(下限パラメータTLおよび上限パラメータTHで指定)における、ある順位(パラメータRPで指定)に位置するピークの値PV(Peak Value)がある。特徴量演算パラメータ記憶部15は、「パラメータ有の特徴量」の特徴量識別情報を記憶している場合、当該特徴量を演算するための各種パラメータの値(特徴量PNの場合、パラメータTL、TH、PTの値)も記憶している。   On the other hand, as an example of the feature quantity having parameters, the value of the waveform data s (t) in a certain range of time t (specified by the lower limit parameter TL and the upper limit parameter TH) as shown in FIG. The number PN (Peak Numbers) of peaks exceeding (specified by PT) and the value PV of a peak located at a certain rank (specified by parameter RP) in a certain range of time t (specified by lower limit parameter TL and upper limit parameter TH) ( Peak Value). When the feature quantity calculation parameter storage unit 15 stores the feature quantity identification information of “feature quantity with parameters”, the values of various parameters for calculating the feature quantity (in the case of the feature quantity PN, the parameter TL, (TH and PT values) are also stored.

特徴抽出部12は、特徴量演算パラメータ記憶部15に格納されている特徴量識別情報で示される特徴量を、波形取得部11が取得した波形データから算出する。ただし、特徴量識別情報で示される特徴量がパラメータ有の特徴量である場合、特徴抽出部12は、特徴量演算パラメータ記憶部15に格納されている各種パラメータの値を用いて、特徴量を算出する。   The feature extraction unit 12 calculates the feature amount indicated by the feature amount identification information stored in the feature amount calculation parameter storage unit 15 from the waveform data acquired by the waveform acquisition unit 11. However, when the feature quantity indicated by the feature quantity identification information is a feature quantity with a parameter, the feature extraction unit 12 uses the values of various parameters stored in the feature quantity calculation parameter storage unit 15 to calculate the feature quantity. calculate.

ファジィルール記憶部16は、判定部13にて良否判定処理を行う際に使用するファジィルールを記憶するものである。   The fuzzy rule storage unit 16 stores a fuzzy rule used when the determination unit 13 performs pass / fail determination processing.

判定部13は、ファジィルール記憶部16に格納されたファジィルールに従い、特徴抽出部12にて算出された特徴量に対してファジィ推論を行い、許容範囲(閾値)との比較により良否判定を行う。   The determination unit 13 performs fuzzy inference on the feature amount calculated by the feature extraction unit 12 in accordance with the fuzzy rules stored in the fuzzy rule storage unit 16, and performs pass / fail determination by comparison with an allowable range (threshold). .

検査結果出力部14は、例えば、表示デバイス(図示せず)に、判定部13が判定した結果を含む情報、つまり、製品の検査結果の情報を表示したり、記憶装置(図示せず)に格納したりする。   The inspection result output unit 14 displays, for example, information including a result determined by the determination unit 13 on a display device (not shown), that is, information on the inspection result of the product, or a storage device (not shown). Or store.

この検査装置10の具体的な構成は、従来公知の各種のものを適用可能であるため、詳細な説明を省略する。本発明に係る判定知識作成装置は、上述した特徴量演算パラメータ記憶部15に格納される周波数パラメータ、特徴量識別情報ならびにパラメータ有の特徴量の場合の各種パラメータの値と、ファジィルール記憶部16に格納されるファジィルールを作成するものである。   As the specific configuration of the inspection apparatus 10, various types of conventionally known ones can be applied, and thus detailed description thereof is omitted. The determination knowledge creating apparatus according to the present invention includes a frequency parameter stored in the above-described feature amount calculation parameter storage unit 15, feature amount identification information, values of various parameters in the case of a feature amount with parameters, and a fuzzy rule storage unit 16. The fuzzy rule stored in is created.

(判定知識作成装置の構成)
図4は、本実施形態の判定知識作成装置20の概略構成を示すブロック図である。図4に示されるように、判定知識作成装置20は、波形データベース21と、検査実績データベース22と、良否判定アルゴリズム生成部23とを備えている。また、判定知識作成装置20には、ユーザインターフェイスとして、キーボードやマウスなどの入力装置1と、表示装置2とが接続されている。
(Configuration of judgment knowledge creation device)
FIG. 4 is a block diagram showing a schematic configuration of the determination knowledge creation device 20 of the present embodiment. As shown in FIG. 4, the determination knowledge creation device 20 includes a waveform database 21, an inspection result database 22, and a pass / fail determination algorithm generation unit 23. The determination knowledge creating apparatus 20 is connected with an input device 1 such as a keyboard and a mouse and a display device 2 as a user interface.

波形データベース21は、図5に示されるように、サンプル品等を動作させた時に生じる音や振動をセンサ3で取得した複数の波形データを記憶するものである。波形データベース21は、各波形データに対応づけて、該波形データを識別するための波形IDを記憶している。   As shown in FIG. 5, the waveform database 21 stores a plurality of waveform data obtained by the sensor 3 for sound and vibration generated when a sample product or the like is operated. The waveform database 21 stores a waveform ID for identifying the waveform data in association with each waveform data.

検査実績データベース22は、波形IDと、当該波形IDに対応する波形データに対する良品/不良品の判定結果とが対応付けられた検査実績情報を記憶している。   The inspection result database 22 stores inspection result information in which the waveform ID is associated with the non-defective / defective product determination result for the waveform data corresponding to the waveform ID.

なお、良品/不良品の判定は、予め熟練検査員によって行われている。例えば、波形データの取得時に検査員が実際に対象製品から発生する音等を聴いて判断したり、一旦格納した波形データを再生し、熟練検査員が再生音を聴いて判断する。   The determination of non-defective / defective is performed in advance by a skilled inspector. For example, at the time of waveform data acquisition, an inspector listens to sound actually generated from the target product and makes a judgment, or the stored waveform data is reproduced, and a skilled inspector listens to the reproduced sound to make a judgment.

良否判定アルゴリズム生成部23は、波形データベース21に格納されている波形データと、検査実績データベース22に格納されている検査実績情報とに基づいて、上述した特徴量演算パラメータ記憶部15に格納される特徴量識別情報および各種パラメータの値(パラメータ有の特徴量に限る)と、ファジィルール記憶部16に格納されるファジィルールとを作成するものである。   The pass / fail judgment algorithm generation unit 23 is stored in the above-described feature amount calculation parameter storage unit 15 based on the waveform data stored in the waveform database 21 and the inspection result information stored in the inspection result database 22. The feature amount identification information and the values of various parameters (limited to the feature amount having parameters) and the fuzzy rules stored in the fuzzy rule storage unit 16 are created.

良否判定アルゴリズム生成部23は、周波数パラメータ決定部(周波数パラメータ決定手段)30と、特徴最適化部(特徴最適化手段)40と、ルール作成部50とを備えている。   The pass / fail judgment algorithm generation unit 23 includes a frequency parameter determination unit (frequency parameter determination unit) 30, a feature optimization unit (feature optimization unit) 40, and a rule creation unit 50.

周波数パラメータ決定部30は、波形データベース21に格納されている波形データと、検査実績データベース22に格納されている検査実績情報とに基づいて、異常波形成分が最もよく発生している周波数帯域(最適周波数帯域)を決定し、決定した最適周波数帯域の上限および下限周波数を周波数パラメータとして、検査装置10の特徴量演算パラメータ記憶部15に格納するものである。なお、周波数パラメータ決定部30の詳細な構成については後述する。   Based on the waveform data stored in the waveform database 21 and the inspection result information stored in the inspection result database 22, the frequency parameter determination unit 30 generates a frequency band (optimum) in which the abnormal waveform component is most frequently generated. Frequency band) is determined, and the determined upper limit frequency and lower limit frequency of the optimum frequency band are stored as frequency parameters in the feature amount calculation parameter storage unit 15 of the inspection apparatus 10. The detailed configuration of the frequency parameter determination unit 30 will be described later.

特徴最適化部40は、周波数パラメータ決定部30によって決定された周波数帯域において、良品と不良品とを最もよく分離できる特徴量(最適特徴量)を算出するための演算アルゴリズムである有効特徴を探索するものである。また、特徴最適化部40は、パラメータ有の特徴量を最適特徴量として決定する際には、有効特徴として、当該特徴量を演算するための演算パラメータも求める。   The feature optimization unit 40 searches for an effective feature that is an arithmetic algorithm for calculating a feature amount (optimum feature amount) that can best separate a non-defective product and a defective product in the frequency band determined by the frequency parameter determination unit 30. To do. Further, when determining the feature quantity with parameters as the optimum feature quantity, the feature optimization unit 40 also obtains a computation parameter for computing the feature quantity as an effective feature.

上述したように、特徴量を算出するために必要な、周波数パラメータおよび演算パラメータを含む全てのパラメータの組合せは約48兆通りもの膨大な量である。しかしながら、本実施形態では、先に周波数パラメータ決定部30が周波数パラメータを決定する。周波数パラメータの組合せ総数は、約200万通りである。そのため、周波数パラメータ以外のパラメータの組合せ総数は、全数評価が可能な範囲となる。そこで、特徴最適化部40は、全ての「特徴(アルゴリズム)」(パラメータ有の特徴量の場合には、その演算パラメータの値も含む)について、良品/不良品を最も良く分離可能な評価値(以下、特徴量決定用評価値という)を算出し、当該特徴量決定用評価値が最も大きな特徴(アルゴリズム)を最適解(有効特徴)としてルール作成部50に出力する。   As described above, the combination of all parameters including frequency parameters and calculation parameters necessary for calculating the feature amount is an enormous amount of about 48 trillion. However, in this embodiment, the frequency parameter determination unit 30 first determines the frequency parameter. The total number of combinations of frequency parameters is about 2 million. For this reason, the total number of combinations of parameters other than the frequency parameters is within a range in which the total number can be evaluated. Therefore, the feature optimizing unit 40 evaluates all the “features (algorithms)” (in the case of a feature quantity with a parameter, including the value of the operation parameter) so that the non-defective product / defective product can be best separated (Hereinafter referred to as a feature value determination evaluation value) is calculated, and a feature (algorithm) having the largest feature value determination evaluation value is output to the rule creation unit 50 as an optimal solution (effective feature).

そして、特徴最適化部40は、求めた有効特徴を特徴量演算パラメータ記憶部15に格納する。具体的には、特徴最適化部40は、検査装置10の特徴量演算パラメータ記憶部15にアクセスし、最適解で算出される特徴量を識別する特徴量識別情報、ならびに、パラメータ有の特徴量の場合には、その演算パラメータの値を格納する。   Then, the feature optimization unit 40 stores the obtained effective feature in the feature amount calculation parameter storage unit 15. Specifically, the feature optimizing unit 40 accesses the feature amount calculation parameter storage unit 15 of the inspection apparatus 10, and feature amount identification information for identifying the feature amount calculated by the optimal solution, and the feature amount with parameters In the case of, the value of the calculation parameter is stored.

ルール作成部50は、周波数パラメータ決定部30によって決定された周波数パラメータと、特徴最適化部40によって求められた最適解の特徴量(パラメータ有の特徴量の場合には、その演算パラメータの値)とに基づいて、ファジィルールを作成するものである。ファジィルール作成のために使用する特徴量ならびにパラメータが既に決定されているので、公知の手法により、“IF THEN方式”のルールを簡単に作成することができる。また、これに基づいてメンバシップ関数も作成できる。そして、ルール作成部50は、検査装置10のファジィルール記憶部16にアクセスし、作成したファジィルールを格納する。   The rule creation unit 50 uses the frequency parameter determined by the frequency parameter determination unit 30 and the feature value of the optimum solution obtained by the feature optimization unit 40 (in the case of a feature value with parameters, the value of the operation parameter). Based on the above, a fuzzy rule is created. Since the feature values and parameters used for creating the fuzzy rule have already been determined, the “IF THEN method” rule can be easily created by a known method. A membership function can also be created based on this. Then, the rule creation unit 50 accesses the fuzzy rule storage unit 16 of the inspection apparatus 10 and stores the created fuzzy rule.

(周波数パラメータ決定部の構成)
次に、周波数パラメータ決定部30の詳細構成について説明する。図1は、周波数パラメータ決定部30の構成を示すブロック図である。図1に示されるように、周波数パラメータ決定部30は、探索条件設定部31と、波形データ分割処理部32と、指標演算部(第1算出手段)33と、評価値演算部(第2算出手段)34と、候補帯域選定部(選定手段)35と、FFT強度グラフ作成部(FFT強度グラフ作成手段)36と、最適帯域設定部(特徴最適化手段)37とを備えている。
(Configuration of frequency parameter determination unit)
Next, the detailed configuration of the frequency parameter determination unit 30 will be described. FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of the frequency parameter determination unit 30. As shown in FIG. 1, the frequency parameter determination unit 30 includes a search condition setting unit 31, a waveform data division processing unit 32, an index calculation unit (first calculation means) 33, and an evaluation value calculation unit (second calculation). Means) 34, a candidate band selection section (selection means) 35, an FFT intensity graph creation section (FFT intensity graph creation means) 36, and an optimum band setting section (feature optimization means) 37.

波形データ分割処理部32は、波形データベース21に格納されている各波形データから、フレームシフト幅だけずらした、所定の単位時間の複数のフレームデータを抽出するとともに、該フレームデータに対してフィルタリング処理を行い、単位周波数帯域ごとの波形成分データに分割するものである。このとき、波形データ分割処理部32は、各波形成分データに対して、分割前の波形データに対応付けられていた波形IDを付加する。   The waveform data division processing unit 32 extracts a plurality of frame data of a predetermined unit time shifted by the frame shift width from each waveform data stored in the waveform database 21, and performs a filtering process on the frame data. Is divided into waveform component data for each unit frequency band. At this time, the waveform data division processing unit 32 adds the waveform ID associated with the waveform data before division to each waveform component data.

指標演算部33は、図6に示されるように、各波形データについて、波形データ分割処理部32によって単位周波数帯域ごとに分割された、良品および不良品の各波形成分データから強度を読み取り、該強度に基づいて、異常波形成分の有無を評価するための指標(後述する第1指標および第2指標)を算出する。   As shown in FIG. 6, the index calculation unit 33 reads the intensity of each waveform data from the waveform component data of the non-defective product and the defective product divided by the waveform data division processing unit 32 for each unit frequency band. Based on the intensity, an index (a first index and a second index to be described later) for evaluating the presence or absence of an abnormal waveform component is calculated.

異常波形成分とは、良品の波形成分データには現れず、不良品の波形成分データに現れる波形成分である。異常波形成分には、定常性の異常波形成分と、衝撃性の異常波形成分との2種類のものが想定される。   The abnormal waveform component is a waveform component that does not appear in the waveform component data of the non-defective product but appears in the waveform component data of the defective product. There are two types of abnormal waveform components, a stationary abnormal waveform component and an impact abnormal waveform component.

定常性の異常波形成分とは、良品の波形成分データの強度(パワー)に対して、時間方向に拘わらずに追加される強度である。例えば、定常的に発生している音(ブー音)である。   The stationary abnormal waveform component is an intensity added to the intensity (power) of non-defective waveform component data regardless of the time direction. For example, it is a sound (boo sound) that is constantly generated.

一方、衝撃性の異常波形成分とは、単位時間の強度が、異なる単位時間の間でばらつくものである。ここで、一単位時間を1フレームとする。この場合、衝撃性の異常波形成分を含むフレームの強度は、衝撃性の異常波形成分を含まないフレームの強度よりも大きくなる。例えば、衝撃性の異常波形成分は、一定期間ごとに発生する音(キッキッ音)である。   On the other hand, the shocking abnormal waveform component is one in which the intensity of unit time varies between different unit times. Here, one unit time is defined as one frame. In this case, the strength of the frame including the shocking abnormal waveform component is larger than the strength of the frame not including the shocking abnormal waveform component. For example, a shocking abnormal waveform component is a sound (kick sound) generated every certain period.

そこで、指標演算部33は、各波形データについて、単位周波数帯域ごとに、定常性の異常波形成分の有無を評価するための第1指標と、衝撃性の異常波形成分の有無を評価するための第2指標とを算出する。なお、後述するように、第1指標としては平均値が、第2指標としては分散値がある。そして、指標演算部33は、図9に示されるように、波形IDと、単位周波数帯域と、第1指標と、第2指標とが対応付けられた指標データを生成する。   Therefore, the index calculation unit 33 evaluates, for each unit of frequency data, a first index for evaluating the presence / absence of a stationary abnormal waveform component and the presence / absence of a shocking abnormal waveform component for each unit frequency band. A second index is calculated. As will be described later, the first index is an average value, and the second index is a variance value. Then, as illustrated in FIG. 9, the index calculation unit 33 generates index data in which the waveform ID, the unit frequency band, the first index, and the second index are associated with each other.

探索条件設定部31は、最適周波数帯域を決定するための周波数パラメータ探索条件として、上述の単位時間、フレームシフト幅、単位周波数帯域、第1指標および第2指標を設定するものである。探索条件設定部31は、ユーザ入力に従って周波数パラメータ探索条件を設定するが、ユーザからの入力が無い場合、デフォルトとして定められた条件に設定する。   The search condition setting unit 31 sets the above-described unit time, frame shift width, unit frequency band, first index, and second index as frequency parameter search conditions for determining the optimum frequency band. The search condition setting unit 31 sets the frequency parameter search condition in accordance with the user input. If there is no input from the user, the search condition setting unit 31 sets the default condition.

単位時間のデフォルトとして0.1秒、フレームシフト幅のデフォルトとして0.05秒が定めれらている。これは、人間が聴くことのできる最低の周波数10Hzの波が最低1つ入る時間が、0.1秒であるからである。なお、探索条件設定部31は、例えば、対象製品がエンジン等の回転駆動するものである場合、ユーザ入力に従って、回転周期の所定倍を単位時間に設定することができる。   The default unit time is 0.1 second, and the default frame shift width is 0.05 seconds. This is because the time required for at least one wave having the lowest frequency of 10 Hz that can be heard by humans is 0.1 second. The search condition setting unit 31 can set a predetermined multiple of the rotation cycle as a unit time according to a user input, for example, when the target product is rotationally driven such as an engine.

単位周波数帯域のデフォルトとして1/3オクターブバンドが定められている。なお、探索条件設定部31は、ユーザ入力に従って、単位周波数帯域として、1/nオクターブバンド(n≠3)、所定周波数ごとの等間隔の帯域、などが設定可能である。   The 1/3 octave band is defined as the default unit frequency band. The search condition setting unit 31 can set a 1 / n octave band (n ≠ 3), an equally spaced band for each predetermined frequency, and the like as a unit frequency band according to a user input.

第1指標のデフォルトとして、波形成分データの強度(パワー)の平均値が定められている。これは、定常性の異常波形成分が発生している不良品の波形成分データの強度が、良品の波形成分データの強度に比べて大きくなるからである。図7に示されるように、例えば8000〜10000Hzで定常性の異常波形成分が発生する場合、8000〜10000Hzの単位周波数帯域において、良品の波形成分データの強度における時間方向の平均値よりも、不良品の波形成分データの強度における時間方向の平均値が大きくなる。   As a default of the first index, an average value of the intensity (power) of the waveform component data is defined. This is because the strength of the waveform component data of the defective product in which the stationary abnormal waveform component is generated is larger than the strength of the waveform component data of the non-defective product. As shown in FIG. 7, for example, when a stationary abnormal waveform component is generated at 8000 to 10000 Hz, in a unit frequency band of 8000 to 10000 Hz, it is less than the average value in the time direction in the intensity of the waveform component data of good products. The average value in the time direction in the intensity of the waveform component data of the non-defective product becomes large.

なお、探索条件設定部31は、ユーザ入力に従って、第1指標として、波形成分データの強度の中央値などが設定可能である。中央値である場合、ノイズや外れ値の影響が少なくなる。   The search condition setting unit 31 can set the median value of the intensity of the waveform component data as the first index according to the user input. In the case of the median value, the influence of noise and outliers is reduced.

第2指標としては、衝撃性の異常波形成分を含むフレームの強度が、衝撃性の異常波形成分を含むフレームの強度よりも十分に大きい場合には、波形成分データにおける単位時間ごとの強度、のばらつきを示す分散値を用いることができる。図8に示されるように、例えば8000〜10000Hzで衝撃性の異常波形成分が発生する場合、良品の波形成分データの単位時間ごとの強度の分散値よりも、不良品の波形成分データのの単位時間ごとの強度の分散値が大きくなる。   As a second index, when the intensity of the frame including the shocking abnormal waveform component is sufficiently larger than the intensity of the frame including the shocking abnormal waveform component, the intensity per unit time in the waveform component data, A dispersion value indicating variation can be used. As shown in FIG. 8, when an abnormal waveform component with impact is generated at 8000 to 10000 Hz, for example, the unit of the waveform component data of the defective product is more than the variance value of the intensity per unit time of the waveform component data of the non-defective product. The dispersion value of the intensity for each time increases.

その他、第2指標として、波形成分データの尖り度や最大値が設定可能である。衝撃性の異常波形成分を含む波形成分データの強度の最大値が、衝撃性の異常波形成分を含まない波形成分データの強度の最大値よりも十分大きい場合には、最大値を第2指標として用いることができる。また、衝撃性の異常波形成分を含むフレームの数が、衝撃性の異常波形成分を含む波形の全フレーム数と比較して十分に少ない場合には、尖り度を第2指標として用いることができる。尖り度を用いることにより、衝撃度合いを評価することができる。また、最大値を用いることにより、単発の異常を捉えることができる。   In addition, the kurtosis and the maximum value of the waveform component data can be set as the second index. When the maximum value of the intensity of the waveform component data including the abnormal abnormal waveform component is sufficiently larger than the maximum value of the intensity of the waveform component data not including the abnormal abnormal waveform component, the maximum value is used as the second index. Can be used. In addition, when the number of frames including the shocking abnormal waveform component is sufficiently smaller than the total number of frames including the shocking abnormal waveform component, the kurtosis can be used as the second index. . The degree of impact can be evaluated by using the kurtosis degree. Also, by using the maximum value, a single abnormality can be captured.

探索条件設定部31は、ユーザ入力に従って、第2指標を設定する。ここでは、第2指標として、「単位時間ごとの強度」の分散値が設定されたものとする。   The search condition setting unit 31 sets the second index according to the user input. Here, it is assumed that a variance value of “intensity per unit time” is set as the second index.

評価値演算部34は、検査実績データベース22に格納されている検査実績情報に基づいて、単位周波数帯域ごとに、良品の波形データに対して指標演算部33によって演算された第1指標の値と、不良品の波形データに対して指標演算部33によって演算された第1指標の値と、の分離度合いを示す評価値(以下、周波数決定用評価値という)を演算する。同様に、評価値演算部34は、検査実績データベース22に格納されている検査実績情報に基づいて、単位周波数帯域ごとに、良品の波形データに対して指標演算部33によって演算された第2指標の値と、不良品の波形データに対して指標演算部33によって演算された第2指標の値と、の分離度合いを示す周波数決定用評価値を演算する。そして、評価値演算部34は、図11に示されるように、単位周波数帯域と、第1指標に対する周波数決定用評価値と、第2指標に対する周波数決定用評価値とが対応付けられた評価値データを生成する。   The evaluation value calculation unit 34 is based on the inspection result information stored in the inspection result database 22 and the value of the first index calculated by the index calculation unit 33 for the non-defective waveform data for each unit frequency band. Then, an evaluation value indicating the degree of separation between the value of the first index calculated by the index calculation unit 33 with respect to the waveform data of the defective product (hereinafter referred to as a frequency determination evaluation value) is calculated. Similarly, the evaluation value calculation unit 34 uses the second index calculated by the index calculation unit 33 for the non-defective waveform data for each unit frequency band based on the inspection result information stored in the inspection result database 22. And an evaluation value for frequency determination indicating the degree of separation of the second index value calculated by the index calculating unit 33 with respect to the waveform data of the defective product. Then, as shown in FIG. 11, the evaluation value calculation unit 34 is an evaluation value in which a unit frequency band, a frequency determination evaluation value for the first index, and a frequency determination evaluation value for the second index are associated with each other. Generate data.

本実施形態では、評価値演算部34は、周波数決定用評価値として、以下の式(3)で示される望大特性のSN比を演算する。   In the present embodiment, the evaluation value calculation unit 34 calculates the SN ratio of the desired characteristic indicated by the following formula (3) as the frequency determination evaluation value.

Figure 2008008708
Figure 2008008708

式(3)に示される望大特性のSN比は、異常波形成分が含まれる場合に、不良品の波形データから演算された第1指標(または第2指標)が、良品の波形データから演算された第1指標(または第2指標)の分布から離れるほど値が大きくなるものである。この望大特性のSN比は、不良品の波形データの数が少なくても、精度の良い値となるというメリットがある。生産ラインによっては、製造される製品のほぼ全てが良品であり、不良品の発生する確率が少ないものがある。このような場合、判定知識を作成する際にも、良品サンプルの波形データの数に比べて、不良品サンプルの波形データの数が少なくなる。しかしながら、このような場合であっても、式(3)に示したSN比を用いることで、良品の波形データに対して指標演算部33によって演算された第1指標(または第2指標)と、不良品の波形データに対して指標演算部33によって演算された第1指標(または第2指標)と、の分離度合いを精度良く評価することができる。   When the abnormal signal component is included, the first index (or the second index) calculated from the waveform data of the defective product is calculated from the waveform data of the non-defective product. The value increases with distance from the distribution of the first index (or second index). The SN ratio of the desired large characteristic has an advantage that it is a highly accurate value even if the number of defective waveform data is small. Depending on the production line, almost all manufactured products are non-defective products, and there is a low probability that defective products will occur. In such a case, when creating the determination knowledge, the number of waveform data of defective samples is smaller than the number of waveform data of non-defective samples. However, even in such a case, by using the S / N ratio shown in Expression (3), the first index (or the second index) calculated by the index calculation unit 33 on the non-defective waveform data can be obtained. The degree of separation between the first index (or the second index) calculated by the index calculation unit 33 with respect to the waveform data of the defective product can be accurately evaluated.

図10は、SN比の大小と、良品/不良品の波形データから演算された第1指標(または第2指標)との関係を示す図である。不良品の波形成分データに異常波形成分が含まれている単位周波数帯域では、不良品の波形データから演算された第1指標(または第2指標)が良品の波形データから演算された第1指標(または第2指標)の分布から離れることとなる。このとき、図10に示されるように、SN比が大きくなる。一方、不良品の波形成分データに異常波形成分が含まれていない単位周波数帯域では、不良品の波形データから演算された第1指標(または第2指標)が良品の波形データから演算された第1指標(または第2指標)の分布に含まれることとなる。このとき、図10に示されるように、SN比が小さくなる。   FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the magnitude of the SN ratio and the first index (or second index) calculated from the non-defective / defective product waveform data. In the unit frequency band in which the abnormal waveform component is included in the waveform component data of the defective product, the first index (or the second index) calculated from the waveform data of the defective product is the first index calculated from the waveform data of the non-defective product. (Or the second index) will depart from the distribution. At this time, as shown in FIG. 10, the SN ratio increases. On the other hand, in the unit frequency band in which the abnormal waveform component is not included in the waveform component data of the defective product, the first index (or the second index) calculated from the waveform data of the defective product is the first calculated from the waveform data of the non-defective product. It will be included in the distribution of one index (or second index). At this time, as shown in FIG. 10, the SN ratio becomes small.

なお、周波数決定用評価値は、式(3)で示される望大特性のSN比に限定されるものではない。この他に、平均値の差や、分布の差を示す相関比あるいはカルバックライブラー情報量、F値などを用いても良い。   Note that the frequency determination evaluation value is not limited to the desired signal-to-noise ratio represented by Equation (3). In addition to this, an average value difference, a correlation ratio indicating a distribution difference, a Cullback library information amount, an F value, or the like may be used.

候補帯域選定部35は、評価値演算部34によって演算された周波数決定用評価値(ここでは、望大特性のSN比)に基づいて、定常性の異常波形成分が発生していると予想される周波数帯域、ならびに、衝撃性の異常波形成分が発生していると予想される周波数帯域の候補を選定するものである。   The candidate band selection unit 35 is expected to generate a stationary abnormal waveform component based on the evaluation value for frequency determination calculated by the evaluation value calculation unit 34 (here, the SN ratio of the desired size characteristic). Frequency band candidates and frequency band candidates that are expected to generate shocking abnormal waveform components.

本実施形態での候補帯域選定部35の具体的な選定方法を図12を参照しながら説明する。まず、候補帯域選定部35は、各単位周波数帯域の第1指標および第2指標の各々の望大特性のSN比を、値の大きい順(以下、分離順位という)に並べる(図12において、○内の数字がSN比の大きい順を示している)。そして、候補帯域選定部35は、分離順位第1位のSN比に対応する単位周波数帯域を第1グループとする。ここで、分離順位第1位のSN比に対応する指標(第1指標または第2指標)を第1グループの指標とする。次に、候補帯域選定部35は、分離順位第2位のSN比に対応する指標(第1指標または第2指標)が第1グループの指標と同じであり、かつ、分離順位第2位のSN比に対応する単位周波数帯域が第1グループに含まれる単位周波数帯域と隣合う場合には、該分離順位第2位のSN比に対応する単位周波数帯域を第1グループに含め、そうでない場合には、該分離順位第2位のSN比に対応する単位周波数帯域を第2グループとする。その後、候補帯域選定部35は、分離順位の順に、各単位周波数帯域のグループ分けを行う。すなわち、候補帯域選定部35は、分離順位第n位のSN比に対応する指標(第1指標または第2指標)が作成済みの第Nグループの何れかのグループの指標と同じであり、かつ、分離順位第n位のSN比に対応する単位周波数帯域が該グループに含まれる単位周波数帯域と隣合う場合には、分離順位第n位のSN比に対応する単位周波数帯域を該グループに含め、そうでない場合には、分離順位第n位のSN比に対応する単位周波数帯域を第N+1グループとする。このようにして、候補帯域選定部35は、第6グループまで作成し、第1〜第5グループを、異常波形成分が発生していると予想される周波数帯域の候補(候補周波数帯域)として選定する。   A specific selection method of the candidate band selection unit 35 in the present embodiment will be described with reference to FIG. First, the candidate band selecting unit 35 arranges the SN ratios of the desired characteristics of the first index and the second index of each unit frequency band in descending order of values (hereinafter, referred to as separation order) (in FIG. 12, (The numbers in the circles indicate the order of increasing SN ratio). And the candidate zone | band selection part 35 makes the unit frequency zone corresponding to the S / N ratio of the isolation | separation ranking 1st as a 1st group. Here, an index (first index or second index) corresponding to the first SN ratio in the separation order is set as the index of the first group. Next, the candidate band selection unit 35 has the same index (first index or second index) corresponding to the S / N ratio of the second highest separation order as the first group index and the second highest separation order. When the unit frequency band corresponding to the SN ratio is adjacent to the unit frequency band included in the first group, the unit frequency band corresponding to the second highest SN ratio is included in the first group, and otherwise The unit frequency band corresponding to the S / N ratio of the second highest separation order is set as the second group. Thereafter, the candidate band selection unit 35 performs grouping of the unit frequency bands in the order of separation order. That is, the candidate band selecting unit 35 has the same index (first index or second index) corresponding to the SN ratio of the nth separation rank as the index of any group of the Nth group that has been created, and When the unit frequency band corresponding to the SN ratio of the nth separation order is adjacent to the unit frequency band included in the group, the unit frequency band corresponding to the SN ratio of the nth separation order is included in the group. Otherwise, the unit frequency band corresponding to the SN ratio of the nth separation order is set as the (N + 1) th group. In this manner, the candidate band selection unit 35 creates up to the sixth group, and selects the first to fifth groups as frequency band candidates (candidate frequency bands) where an abnormal waveform component is expected to occur. To do.

そして、グループの指標が第1指標である場合、当該グループを、定常性の異常波形成分の候補周波数帯域とし、グループの指標が第2指標である場合、当該グループを、衝撃性の異常波形成分の候補周波数帯域とする。   When the group index is the first index, the group is set as a candidate frequency band of the stationary abnormal waveform component, and when the group index is the second index, the group is defined as the impact abnormal waveform component. Candidate frequency band.

なお、対象製品によっては、定常性または衝撃性のいずれかの異常波形成分に偏る場合がある。このような場合であっても、上記の方法により候補周波数帯域を選定することにより、候補周波数帯域も、異常波形成分の偏りに応じて、定常性または衝撃性のいずれかに偏ることとなる。   Note that depending on the target product, there may be a bias toward abnormal waveform components that are either stationary or shocking. Even in such a case, by selecting the candidate frequency band by the above method, the candidate frequency band is also biased to either stationary or impact depending on the bias of the abnormal waveform component.

FFT強度グラフ作成部36は、各波形データをFFT解析し、検査実績情報が「良品」に対応する波形データのFFT解析結果を集計するとともに、検査実績情報が「不良品」に対応する波形データのFFT解析結果を集計する。そして、FFT強度グラフ作成部36は、図13に示されるように、集計したFFT解析結果に基づいて、検査実績情報「良品」/「不良品」の各々について、時間軸と周波数軸とで構成される2次元のFFT強度グラフを作成する。なお、図13において、強度は、濃淡(または色)によって表されている。   The FFT intensity graph creation unit 36 performs FFT analysis on each waveform data, totals the FFT analysis results of waveform data whose inspection result information corresponds to “non-defective product”, and waveform data whose inspection result information corresponds to “defective product”. The FFT analysis results are summarized. Then, as shown in FIG. 13, the FFT intensity graph creating unit 36 is configured with a time axis and a frequency axis for each of the inspection performance information “non-defective product” / “defective product” based on the tabulated FFT analysis results. A two-dimensional FFT intensity graph is created. In FIG. 13, the intensity is represented by shading (or color).

最適帯域設定部37は、候補帯域選定部35によって選定された第1〜第5グループの候補周波数帯域の中から、特徴最適化部40によって特徴量およびそのパラメータが最適化される周波数帯域(最適周波数帯域)を決定するものである。   The optimum band setting unit 37 is a frequency band (optimum) in which the feature amount and its parameters are optimized by the feature optimization unit 40 from among the candidate frequency bands of the first to fifth groups selected by the candidate band selection unit 35. Frequency band).

本実施形態では、最適帯域設定部37は、候補帯域選定部35によって選定された第1〜第5グループの候補周波数帯域と、FFT強度グラフ作成部36によって作成された検査実績情報「良品」/「不良品」の各々に対応するFFT強度グラフとを表示装置2に表示させる。そして、最適帯域設定部37は、第1〜第5グループの候補周波数帯域の中から、ユーザによって指定された候補周波数帯域を最適周波数帯域として決定する。   In the present embodiment, the optimum band setting unit 37 includes the candidate frequency bands of the first to fifth groups selected by the candidate band selecting unit 35 and the inspection result information “non-defective” / An FFT intensity graph corresponding to each “defective product” is displayed on the display device 2. Then, the optimum band setting unit 37 determines the candidate frequency band designated by the user as the optimum frequency band from among the candidate frequency bands of the first to fifth groups.

なお、最適帯域設定部37は、最適周波数帯域として、複数の帯域を決定してもよい。異なる種類の異常波形成分(定常性の異常波形成分と衝撃性の異常波形成分)が同一の周波数帯域で発生するとは限らないからである。   The optimum band setting unit 37 may determine a plurality of bands as the optimum frequency band. This is because different types of abnormal waveform components (stationary abnormal waveform components and impact abnormal waveform components) do not always occur in the same frequency band.

ユーザは、FFT強度グラフと、候補周波数帯域とを見比べて、最適周波数帯域を指定することができる。   The user can specify the optimum frequency band by comparing the FFT intensity graph with the candidate frequency band.

(判定知識の作成処理の流れ)
次に、本実施形態に係る判定知識作成装置20における、判定知識の作成処理の流れについて、図14に示すフローチャートを参照しながら説明する。
(Flow of judgment knowledge creation process)
Next, the flow of determination knowledge creation processing in the determination knowledge creation device 20 according to the present embodiment will be described with reference to the flowchart shown in FIG.

まず、良否判定アルゴリズム生成部23の周波数パラメータ決定部30および特徴最適化部40は、波形データベース21から波形データを、検査実績データベース22から検査実績情報を読み込む(S1)。   First, the frequency parameter determination unit 30 and the feature optimization unit 40 of the pass / fail determination algorithm generation unit 23 read waveform data from the waveform database 21 and inspection result information from the inspection result database 22 (S1).

次に、周波数パラメータ決定部30の探索条件設定部31、および特徴最適化部40は、入力装置1へのユーザ入力に従って、最適解の探索条件を設定する(S2)。   Next, the search condition setting unit 31 and the feature optimization unit 40 of the frequency parameter determination unit 30 set search conditions for the optimal solution according to the user input to the input device 1 (S2).

具体的には、周波数パラメータ決定部30の探索条件設定部31は、ユーザ指示に従って、周波数パラメータ探索条件である、単位時間、フレームシフト幅、単位周波数帯域、第1指標および第2指標を設定する。ただし、探索条件設定部31は、ユーザ指示がない場合、周波数パラメータ探索条件をデフォルトに設定する。ここでは、探索条件設定部31は、デフォルト設定を行ったものとする。   Specifically, the search condition setting unit 31 of the frequency parameter determination unit 30 sets a unit time, a frame shift width, a unit frequency band, a first index, and a second index, which are frequency parameter search conditions, according to a user instruction. . However, the search condition setting unit 31 sets the frequency parameter search condition to default when there is no user instruction. Here, it is assumed that the search condition setting unit 31 performs default setting.

また、特徴最適化部40は、ユーザ指示に従って、探索方法として、分離度優先および分離数優先の何れかを設定する。   Further, the feature optimization unit 40 sets either separation priority or separation number priority as a search method according to a user instruction.

次に、周波数パラメータ決定部30は、異常波形成分が発生している最適周波数帯域の上下限を示す周波数パラメータを決定する(S3)。なお、S3の処理の詳細については後述する。   Next, the frequency parameter determination unit 30 determines a frequency parameter indicating the upper and lower limits of the optimum frequency band in which the abnormal waveform component is generated (S3). Details of the process of S3 will be described later.

続いて、特徴最適化部40は、波形データベース21に格納されている各波形データについて、周波数パラメータ決定部30によって決定された最適周波数帯域でフィルタリング処理を行い、フィルタ処理後データを生成する。そして、特徴最適化部40は、各フィルタ処理後データに基づいて、予め定められた複数種類の特徴量を演算する(S4)。   Subsequently, the feature optimization unit 40 performs filtering processing on each waveform data stored in the waveform database 21 in the optimal frequency band determined by the frequency parameter determination unit 30 to generate post-filtering data. Then, the feature optimization unit 40 calculates a plurality of predetermined feature amounts based on each filtered data (S4).

ここで、特徴最適化部40は、パラメータ有の特徴量について、当該パラメータの全ての組合せごとに、当該特徴量を演算する。すなわち、パラメータの組合せ数がm個の特徴量Mについて、特徴最適化部40は、各パラメータの組合せに対応する特徴量M−1〜M−mを演算する。   Here, the feature optimization unit 40 calculates the feature amount for each combination of the parameters for the feature amount with parameters. That is, for the feature quantity M having m parameter combinations, the feature optimization unit 40 calculates the feature quantities M-1 to M-m corresponding to each parameter combination.

次に、特徴最適化部40は、特徴量ごとに、検査実績データベース22に格納されている検査実績情報に基づいて、良品/不良品のグループ分けを行い、良品/不良品の分離度または分離数を示す特徴量決定用評価値を算出する(S5)。   Next, the feature optimizing unit 40 performs grouping of non-defective products / defective products based on the inspection performance information stored in the inspection performance database 22 for each feature amount, and the separation degree or separation of the non-defective products / defective products. An evaluation value for determining the feature quantity indicating the number is calculated (S5).

特徴量決定用評価値の算出方法は公知の技術を用いればよい。すなわち、特徴最適化部40は、特徴量毎の評価値を背景技術の欄に記載の式(1)を用いて求め、S2において、探索方法「分離度優先」を設定している場合、背景技術の欄に記載の式(2)に従って、特徴量決定用評価値Valを算出し、探索方法「分離数優先」を設定している場合、背景技術の欄に記載の式(2)′に従って、特徴量決定用評価値Valを算出する。   A known technique may be used as a method for calculating the feature value determination evaluation value. That is, the feature optimizing unit 40 obtains an evaluation value for each feature amount using the formula (1) described in the background art section, and when the search method “separation priority” is set in S2, When the evaluation value Val for determining the feature quantity is calculated according to the formula (2) described in the technology column and the search method “separation number priority” is set, the equation (2) ′ described in the background technology column is used. Then, an evaluation value Val for determining the feature amount is calculated.

そして、特徴最適化部40は、特徴量決定用評価値が最も高い特徴量を演算するための特徴(アルゴリズム)を最適解(有効特徴)とし、当該特徴量、ならびに、パラメータ有の場合にはその演算パラメータの値をルール作成部50に出力する(S6)。   Then, the feature optimizing unit 40 sets the feature (algorithm) for calculating the feature amount having the highest feature amount determination evaluation value as the optimum solution (effective feature), and when the feature amount and the parameter are present, The value of the calculation parameter is output to the rule creation unit 50 (S6).

その後、ルール作成部50は、特徴最適化部40によって決定された特徴量(パラメータ有の特徴量の場合には、その演算パラメータの値)に基づいて、ファジィルールを作成し、検査装置10のファジィルール記憶部16に格納する(S7)。これにより、処理を終了する。   Thereafter, the rule creation unit 50 creates a fuzzy rule based on the feature amount determined by the feature optimization unit 40 (in the case of a feature amount with a parameter, the value of the operation parameter). It is stored in the fuzzy rule storage unit 16 (S7). Thereby, the process is terminated.

(最適周波数帯域の決定処理の流れ)
次に、周波数パラメータ決定部30における最適周波数帯域の決定処理の流れを図15に示すフローチャートを参照しながら説明する。
(Flow of determining optimal frequency band)
Next, the flow of the optimum frequency band determination process in the frequency parameter determination unit 30 will be described with reference to the flowchart shown in FIG.

まず、波形データ分割処理部32は、波形データベース21に格納されている各波形データから、S2で設定した単位時間およびフレームシフト幅の複数のフレームデータを抽出する。さらに、波形データ分割処理部32は、各フレームデータに対してフィルタリング処理を行い、S2で設定した単位周波数帯域ごとの波形成分データに分割する(S11)。   First, the waveform data division processing unit 32 extracts a plurality of frame data having a unit time and a frame shift width set in S2 from each waveform data stored in the waveform database 21. Further, the waveform data division processing unit 32 performs a filtering process on each frame data, and divides it into waveform component data for each unit frequency band set in S2 (S11).

次に、指標演算部33は、図6に示されるように、各波形データについて、単位周波数帯域ごとに第1指標(ここでは、時間方向の平均値)および第2指標(ここでは、時間方向の分散値)を演算する(S12)。そして、指標演算部33は、図9に示されるように、波形IDと、単位周波数帯域と、第1指標と、第2指標とが対応付けられた指標データを生成する。   Next, as shown in FIG. 6, the index calculation unit 33, for each waveform data, for each unit frequency band, the first index (here, the average value in the time direction) and the second index (here, the time direction) Is calculated (S12). Then, as illustrated in FIG. 9, the index calculation unit 33 generates index data in which the waveform ID, the unit frequency band, the first index, and the second index are associated with each other.

続いて、評価値演算部34は、検査実績データベース22の検査実績情報を参照して、各波形IDを良品/不良品の何れかに分ける。そして、評価値演算部34は、図9に示される指標データに基づいて、単位周波数帯域ごとに、良品の波形成分データから演算された平均値と、不良品の波形成分データから演算された平均値との分離度合いを示す望大特性のSN比を演算する。同様に、評価値演算部34は、単位周波数帯域ごとに、良品の波形成分データから演算された分散値と、不良品の波形成分データから演算された分散値との分離度合いを示す望大特性のSN比を演算する(S13)。そして、評価値演算部34は、図11に示されるように、単位周波数帯域と、第1指標に対するSN比と、第2指標に対するSN比とが対応付けられた評価値データを生成する。   Subsequently, the evaluation value calculation unit 34 refers to the inspection result information in the inspection result database 22 and divides each waveform ID into either a non-defective product or a defective product. Then, the evaluation value calculation unit 34 calculates the average value calculated from the non-defective waveform component data and the average calculated from the defective waveform component data for each unit frequency band based on the index data shown in FIG. The SN ratio of the desired characteristic indicating the degree of separation from the value is calculated. Similarly, for each unit frequency band, the evaluation value calculation unit 34 is a telescopic characteristic indicating the degree of separation between the dispersion value calculated from the non-defective waveform component data and the dispersion value calculated from the defective waveform component data. Is calculated (S13). Then, as illustrated in FIG. 11, the evaluation value calculation unit 34 generates evaluation value data in which the unit frequency band, the SN ratio with respect to the first index, and the SN ratio with respect to the second index are associated with each other.

その後、候補帯域選定部35は、S13で算出されたSN比の大きさに従って、図12に示されるように、5つの候補周波数帯域を選定する(S14)。当該選定方法の詳細については上述したので、ここでは説明を省略する。   Thereafter, the candidate band selecting unit 35 selects five candidate frequency bands as shown in FIG. 12 according to the magnitude of the SN ratio calculated in S13 (S14). Since the details of the selection method have been described above, the description thereof is omitted here.

次に、FFT強度グラフ作成部36は、各波形データに基づいて、FFT強度グラフを求める。そして、FFT強度グラフ作成部36は、良品の各波形データに対応するFFT強度グラフを集約し、1つのFFT強度グラフを生成する。同様に、FFT強度グラフ作成部36は、不良モードの種類ごとに、不良品の各波形データに対応するFFT強度グラフを集約し、1つのFFT強度グラフを生成する(S15)。   Next, the FFT intensity graph creation unit 36 obtains an FFT intensity graph based on each waveform data. Then, the FFT intensity graph creation unit 36 aggregates the FFT intensity graphs corresponding to the non-defective waveform data, and generates one FFT intensity graph. Similarly, the FFT intensity graph creating unit 36 aggregates FFT intensity graphs corresponding to each waveform data of defective products for each type of defective mode, and generates one FFT intensity graph (S15).

次に、最適帯域設定部37は、候補帯域選定部35が選択した候補周波数帯域と、FFT強度グラフ作成部36が作成したFFT強度グラフとを表示装置2に表示するとともに、候補周波数帯域の再選定の指示を受け付ける(S16)。このとき、ユーザは、FFT強度グラフと候補周波数帯域とを見比べて、候補周波数帯域が異常波形成分を含む帯域か否かを確認することができる。そして、再選定が必要であると判断した場合、ユーザは、再選定の指示を入力装置1に入力すればよい。一方、再選定が必要でない、つまり、候補周波数帯域の中に異常波形成分を適格に含む周波数帯域があると判断した場合、ユーザは、当該周波数帯域を最適周波数帯域として選択入力すればよい。   Next, the optimum band setting unit 37 displays the candidate frequency band selected by the candidate band selecting unit 35 and the FFT intensity graph created by the FFT intensity graph creating unit 36 on the display device 2, and re-candidate the candidate frequency band. A selection instruction is accepted (S16). At this time, the user can check whether the candidate frequency band is a band including an abnormal waveform component by comparing the FFT intensity graph with the candidate frequency band. When it is determined that reselection is necessary, the user may input a reselection instruction to the input device 1. On the other hand, when it is determined that reselection is not necessary, that is, there is a frequency band that appropriately includes the abnormal waveform component in the candidate frequency band, the user may select and input the frequency band as the optimum frequency band.

その後、最適帯域設定部37は、候補周波数帯域の再選定の指示の有無を確認する(S17)。再選定の指示が入力された場合(S17でYes)、探索条件設定部31は、周波数パラメータ探索条件の再入力を促す画面を表示装置2に表示し、ユーザ入力に従って、周波数パラメータ探索条件の再設定を行う(S18)。   Thereafter, the optimum band setting unit 37 confirms whether or not there is an instruction to reselect candidate frequency bands (S17). When a reselection instruction is input (Yes in S17), the search condition setting unit 31 displays a screen for prompting re-input of the frequency parameter search condition on the display device 2, and the frequency parameter search condition is reset according to the user input. Setting is performed (S18).

一方、再選定の指示がない場合(S17でNo)、最適帯域設定部37は、ユーザ入力で指定された候補周波数帯域を最適周波数帯域として決定し、該最適周波数帯域の上下限を示す周波数パラメータを検査装置10の特徴量演算パラメータ記憶部15に格納する(S19)。   On the other hand, when there is no reselection instruction (No in S17), the optimum band setting unit 37 determines the candidate frequency band designated by the user input as the optimum frequency band, and the frequency parameter indicating the upper and lower limits of the optimum frequency band Is stored in the feature amount calculation parameter storage unit 15 of the inspection apparatus 10 (S19).

(変形例)
上記説明では、検査実績情報には、良品/不良品の判定結果が含まれるとした。しかしながら、これに限らず、検査実績情報には、不良品である場合に、不良(異常)の種類(クラス)を示すクラス別情報が含まれていてもよい。
(Modification)
In the above description, it is assumed that the inspection result information includes a non-defective / defective product determination result. However, the present invention is not limited to this, and the inspection result information may include class-specific information indicating the type (class) of a defect (abnormality) when the product is a defective product.

この場合、FFT強度グラフ作成部36は、クラスごとに、波形データのFFT解析結果を集計し、FFT強度グラフを作成すればよい。これにより、ユーザは、どのクラスの異常がどの周波数で発生しているのかを確認することができる。   In this case, the FFT intensity graph creation unit 36 may compile the FFT analysis results of the waveform data for each class and create an FFT intensity graph. Thereby, the user can confirm which class of abnormality is occurring at which frequency.

また、上記説明では、特徴最適化部40は、全ての特徴(アルゴリズム)について、良品/不良品を最も良く分離可能な特徴量決定用評価値を算出し、当該特徴量決定用評価値が最も大きな特徴を最適解(有効特徴)としてルール作成部50に出力するものとした。しかしながら、これに限らず、特徴最適化部40は、最適解を探索する手法として、GA(遺伝的アルゴリズム)、NN(ニューラルネットワーク)、SVM(サポートベクターマシン)などを用いてもよい。   In the above description, the feature optimization unit 40 calculates, for all features (algorithms), feature value determination evaluation values that can best separate non-defective / defective products, and the feature value determination evaluation value is the highest. A large feature is output to the rule creation unit 50 as an optimal solution (effective feature). However, the present invention is not limited to this, and the feature optimization unit 40 may use GA (genetic algorithm), NN (neural network), SVM (support vector machine), or the like as a method for searching for an optimal solution.

また、上記説明では、最適帯域設定部37は、ユーザ入力に従って、候補周波数帯域の中から指定された帯域を最適周波数帯域として決定するものとした。しかしながら、これに限らず、最適帯域設定部37は、候補周波数帯域の全てを最適周波数帯域として決定してもよい。この場合、ユーザの操作を省くことができる。   In the above description, the optimum band setting unit 37 determines a band designated from the candidate frequency bands as the optimum frequency band according to the user input. However, the present invention is not limited to this, and the optimum band setting unit 37 may determine all candidate frequency bands as optimum frequency bands. In this case, a user operation can be omitted.

また、上記説明では、候補帯域選定部35は、図12に示される方法に従って、5つの候補周波数帯域を選定するものとした。しかしながら、選定方法がこれに限定されるものではない。例えば、候補帯域選定部35は、特徴量決定用評価値の順位が第1位の単位周波数帯域のみを候補周波数帯域としてもよい。もしくは、候補帯域選定部35は、特徴量決定用評価値の順位が第1〜n位までの単位周波数帯域を候補周波数帯域としてもよい。   In the above description, the candidate band selection unit 35 selects five candidate frequency bands in accordance with the method shown in FIG. However, the selection method is not limited to this. For example, the candidate band selection unit 35 may set only the unit frequency band having the first rank of the feature value determination evaluation value as the candidate frequency band. Or the candidate band selection part 35 is good also considering the unit frequency band to which the order of the evaluation value for feature-value determination to the 1st to n-th rank as a candidate frequency band.

以上のように、本実施形態の判定知識作成装置20は、取得した波形データに対し、特徴量抽出処理を行って得られた特徴量に基づいて、検査対象物が良品であるか不良品であるかを検査する検査装置10における、前記検査対象物に適したアルゴリズムである有効特徴を求める装置である。そして、判定知識作成装置20は、予め与えられた良品の波形データおよび不良品の波形データから、異常波形成分が発生している最適周波数帯域を示す周波数パラメータを決定する周波数パラメータ決定部(周波数パラメータ決定手段)30と、周波数パラメータ決定部30によって決定された周波数パラメータで示される最適周波数帯域の波形成分に基づいて、上記有効特徴を求める特徴最適化部(特徴最適化手段)40とを備える。   As described above, the determination knowledge creating apparatus 20 according to the present embodiment determines whether the inspection target is a good product or a defective product based on the feature value obtained by performing the feature value extraction process on the acquired waveform data. In the inspection apparatus 10 for inspecting whether or not there is, an effective feature that is an algorithm suitable for the inspection object is obtained. Then, the determination knowledge creating device 20 uses a frequency parameter determination unit (frequency parameter) that determines a frequency parameter indicating an optimum frequency band in which an abnormal waveform component is generated from waveform data of a good product and a defective product given in advance. And a feature optimizing unit (feature optimizing unit) 40 for obtaining the effective feature based on the waveform component in the optimum frequency band indicated by the frequency parameter determined by the frequency parameter determining unit 30.

上述したように、特徴量を演算するための演算アルゴリズム(「特徴」)は、特徴量を演算するためのパラメータの組合せを考慮すると、約48兆通りもの膨大な数となる。この中で最も組合せ数が多いのは、特徴量を抽出する周波数帯域を示す周波数パラメータであり、約200万通りである。   As described above, the calculation algorithm (“feature”) for calculating the feature amount is an enormous number of about 48 trillion when considering the combination of parameters for calculating the feature amount. Among them, the number of combinations having the largest number is a frequency parameter indicating a frequency band from which a feature amount is extracted, and there are about 2 million kinds.

従来では、約48兆通りの組合せの中から総当り的に最適解(有効特徴)を探索していたが、上記の構成によれば、まず最初に、異常波形成分が発生している最適周波数帯域を周波数パラメータとして決定し、その後に有効特徴を求める。   Conventionally, an optimal solution (effective feature) has been searched out of about 48 trillion combinations, but according to the above configuration, first, the optimal frequency at which an abnormal waveform component is generated A band is determined as a frequency parameter, and then an effective feature is obtained.

そのため、200万通りから、最適な1つまたは数個の周波数パラメータを探索する時間は、48兆通りから探索する時間に比べて、一層短縮することができる。また、先に周波数パラメータが決定されているので、当該周波数パラメータで示される帯域において、有効特徴を求める時間も短時間で済む。また、周波数パラメータを探索する時間と、有効特徴を求める時間との合計も、48兆通りから探索する時間に比べて、短くなる。このように、段階的に有効特徴を求めることで、判定知識としての特徴量の最適解を短時間で出力することができる。   Therefore, the time for searching for one or several optimal frequency parameters from 2 million ways can be further shortened compared to the time for searching from 48 trillion ways. In addition, since the frequency parameter is determined first, the time required to obtain the effective feature in the band indicated by the frequency parameter is short. Further, the total time for searching for the frequency parameter and the time for finding the effective feature is also shorter than the time for searching from 48 trillion ways. In this way, by obtaining effective features step by step, it is possible to output an optimum solution of feature amounts as judgment knowledge in a short time.

また、48兆通りから総当り的に探索する場合に比べて、先に周波数パラメータを決定し、決定した周波数パラメータから有効特徴を求めているという導出過程を顧客に対して説明しやすくなり、顧客の信用を得ることができる。   In addition, compared with the case where the search is brute force from 48 trillion ways, it becomes easier to explain to the customer the derivation process in which the frequency parameter is determined first and the effective feature is obtained from the determined frequency parameter. You can get credit for.

特に、周波数パラメータは、異常波形成分を捉えているか否かを決める重要な要素である。そして、周波数パラメータを決定する段階で、顧客は、良品/不良品の波形データと、決定された周波数パラメータとを比較することで、周波数パラメータが最適であることを確認することも可能である。その結果、特徴量の導出過程に対する顧客の信用を一層得ることができる。   In particular, the frequency parameter is an important factor that determines whether or not an abnormal waveform component is captured. At the stage of determining the frequency parameter, the customer can confirm that the frequency parameter is optimal by comparing the non-defective / defective product waveform data with the determined frequency parameter. As a result, it is possible to further obtain customer confidence in the process of deriving the feature amount.

さらに、周波数パラメータ決定部30は、良品の波形データおよび不良品の波形データから、複数の単位周波数帯域の波形成分を抽出し、各波形成分の特徴を示す指標(第1指標および第2指標:第1の値)を算出する指標演算部(第1算出手段)33と、単位周波数帯域ごとに、良品の波形データに対応する指標と、不良品の波形データに対応する指標との分離状態を示す周波数決定用評価値(第2の値)を算出する評価値演算部(第2算出手段)34と、周波数決定用評価値に基づいて、周波数パラメータを決定する候補帯域選定部(選定手段)35、FFT強度作成部(FFT強度グラフ作成手段)36および最適帯域設定部(最適周波数帯域決定手段)37とを備える。   Further, the frequency parameter determination unit 30 extracts waveform components of a plurality of unit frequency bands from the non-defective product waveform data and the defective product waveform data, and indexes indicating the characteristics of the respective waveform components (first index and second index: The index calculation unit (first calculation means) 33 for calculating the first value), and the separation state between the index corresponding to the non-defective waveform data and the index corresponding to the waveform data of the defective product for each unit frequency band. An evaluation value calculation unit (second calculation unit) 34 that calculates an evaluation value for frequency determination (second value) to be shown, and a candidate band selection unit (selection unit) that determines a frequency parameter based on the evaluation value for frequency determination 35, an FFT intensity creating unit (FFT intensity graph creating unit) 36 and an optimum band setting unit (optimum frequency band determining unit) 37.

上述したように、ある単位周波数帯域において、良品の波形データに対応する指標と不良品の波形データに対応する指標とが分離しているということは、当該単位周波数帯域において、不良品の波形成分に異常波形成分が発生していることを意味する。   As described above, the index corresponding to the non-defective product waveform data and the index corresponding to the non-defective product waveform data are separated in a certain unit frequency band. This means that an abnormal waveform component is generated.

そのため、良品の波形データに対応する指標と、不良品の波形データに対応する指標とがより一層分離していることを示す周波数決定用評価値を持つ単位周波数帯域、つまり、異常波形成分が発生している単位周波数帯域を、最適周波数帯域として決定することができる。   Therefore, a unit frequency band with an evaluation value for frequency determination indicating that the index corresponding to the waveform data of the non-defective product and the index corresponding to the waveform data of the defective product are further separated, that is, an abnormal waveform component is generated. The unit frequency band being used can be determined as the optimum frequency band.

なお、指標演算部33は、波形成分の強度を示す第1指標(例えば、平均値や中央値など)を算出する。定常性の異常波形成分は、良品にはない強度が、不良品において追加される。そのため、第1指標に基づいた周波数決定評価値により、候補帯域選定部35および最適帯域設定部37は、定常性の異常波形成分が発生している周波数帯域を最適周波数帯域として決定することができる。   The index calculator 33 calculates a first index (for example, an average value or a median value) indicating the intensity of the waveform component. The strength of a stationary abnormal waveform component not added to a non-defective product is added to a defective product. Therefore, based on the frequency determination evaluation value based on the first index, the candidate band selection unit 35 and the optimum band setting unit 37 can determine the frequency band in which the stationary abnormal waveform component is generated as the optimum frequency band. .

また、指標演算部33は、波形成分の強度の時間方向のばらつきを示す第2指標(例えば、分散値、尖り度、最大値)を算出する。衝撃性の異常波形成分は、良品にも存在する強度が不良品において時間的にばらつくものである。そのため、第2指標に基づいた周波数決定評価値により、候補帯域選定部35および最適帯域設定部37は、衝撃性の異常波形成分が発生している周波数帯域を最適周波数帯域として決定することができる。   In addition, the index calculation unit 33 calculates a second index (for example, a variance value, a kurtosis degree, a maximum value) indicating the variation in the time direction of the intensity of the waveform component. The abnormal waveform component of impact property is a thing in which strength present in non-defective products varies with time in defective products. Therefore, based on the frequency determination evaluation value based on the second index, the candidate band selection unit 35 and the optimal band setting unit 37 can determine the frequency band in which the impact abnormal waveform component is generated as the optimal frequency band. .

また、単位周波数帯域ごとの周波数決定評価値を、良品の波形データに対応する指標と不良品の波形データに対応する指標とがより分離している順に並べたときの順位を分離順位とするとき、候補帯域選定部35は、分離順位の上位の複数の単位周波数帯域を、候補周波数帯域とし、最適帯域設定部37が該候補周波数帯域を最適周波数帯域として決定する。   Also, when the frequency determination evaluation values for each unit frequency band are arranged in the order in which the index corresponding to the non-defective product waveform data and the index corresponding to the non-defective product waveform data are separated, the separation order is used. The candidate band selection unit 35 sets a plurality of unit frequency bands higher in the separation order as candidate frequency bands, and the optimum band setting unit 37 determines the candidate frequency band as the optimum frequency band.

これにより、良品の波形データに対応する指標と、不良品の波形データに対応する指標とがより分離している複数の単位周波数帯域を最適周波数帯域として決定することができる。異常波形成分は、故障モードによって発生する周波数が異なる。そのため、複数種類の故障モードに対応する異常波形成分が発生している場合でも、各異常波形成分が発生している周波数帯域を最適周波数帯域として決定することができる。   Thereby, a plurality of unit frequency bands in which the index corresponding to the non-defective product waveform data and the index corresponding to the defective waveform data are further separated can be determined as the optimum frequency band. The frequency of the abnormal waveform component varies depending on the failure mode. Therefore, even when abnormal waveform components corresponding to a plurality of types of failure modes are generated, the frequency band in which each abnormal waveform component is generated can be determined as the optimum frequency band.

さらに、判定知識作成装置20は、分離順位の上位の複数の単位周波数帯域を候補周波数帯域として選定する候補帯域選定部(選定手段)35と、良品の波形データに対応するFFT強度グラフ、ならびに、上記不良品の波形データに対応するFFT強度グラフを作成するFFT強度グラフ作成部(FFT強度グラフ作成手段)36と、FFT強度グラフと候補帯域選定部35が選定した複数の候補周波数帯域とを表示装置2に表示させ、ユーザ入力に従って、該複数の候補周波数帯域の中から最適周波数帯域を決定する最適帯域設定部(最適周波数帯域決定手段)37とを備える。   Furthermore, the determination knowledge creation device 20 includes a candidate band selection unit (selection unit) 35 that selects a plurality of unit frequency bands of higher separation order as candidate frequency bands, an FFT intensity graph corresponding to non-defective waveform data, and An FFT intensity graph creating unit (FFT intensity graph creating means) 36 for creating an FFT intensity graph corresponding to the waveform data of the defective product, and a plurality of candidate frequency bands selected by the FFT intensity graph and the candidate band selecting unit 35 are displayed. An optimum band setting unit (optimum frequency band determining means) 37 that is displayed on the apparatus 2 and determines an optimum frequency band from among the plurality of candidate frequency bands according to a user input is provided.

上記の構成によれば、ユーザは、表示されたFFT強度グラフと候補周波数帯域とを比較しながら、どの候補周波数帯域を最適周波数帯域とするかを選択することができる。ユーザは、FFT強度グラフを確認することで、例えば異常なノイズや外れ値の影響によって選定された候補周波数帯域を最適周波数帯域から除外することが可能となる。   According to the above configuration, the user can select which candidate frequency band is the optimum frequency band while comparing the displayed FFT intensity graph with the candidate frequency band. By checking the FFT intensity graph, the user can exclude the candidate frequency band selected, for example, due to the influence of abnormal noise or outliers from the optimum frequency band.

さらに、判定知識作成装置20において、候補帯域選定部35は、分離順位の上位の複数の単位周波数帯域の中に、隣り合う単位周波数帯域がある場合、これら隣り合う単位周波数帯域をまとめて、1つの候補周波数帯域とする。   Further, in the determination knowledge creating apparatus 20, when there are adjacent unit frequency bands in the plurality of unit frequency bands higher in the separation order, the candidate band selecting unit 35 collects these adjacent unit frequency bands as 1 One candidate frequency band.

検査装置では、複数の故障モードを一度の検査で判定することが望まれる。しかしながら、故障モードによって異常波形成分が発生する周波数帯域は異なる。また、検査装置によって一度に検査できる周波数帯域の個数には制限がある(例えば5個)。   In the inspection apparatus, it is desired to determine a plurality of failure modes by a single inspection. However, the frequency band in which the abnormal waveform component is generated differs depending on the failure mode. In addition, there is a limit to the number of frequency bands that can be inspected at once by the inspection apparatus (for example, 5).

しかしながら、上記の構成によれば、隣り合う単位周波数帯域をまとめて、1つの候補周波数帯域とする。その結果、この候補周波数帯域を選択することで、異常波形成分が発生している複数の隣り合う単位周波数帯域を1つの最適周波数帯域として決定することができる。この1つの最適周波数帯域には、複数の異常波形成分が含まれており、これら異常波形成分が異なる故障モードによるものであるとき、複数の故障モードを一度に検査することが可能となる。   However, according to the above configuration, adjacent unit frequency bands are grouped into one candidate frequency band. As a result, by selecting this candidate frequency band, a plurality of adjacent unit frequency bands in which abnormal waveform components are generated can be determined as one optimum frequency band. The single optimum frequency band includes a plurality of abnormal waveform components, and when these abnormal waveform components are due to different failure modes, the plurality of failure modes can be inspected at a time.

本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the claims. That is, embodiments obtained by combining technical means appropriately modified within the scope of the claims are also included in the technical scope of the present invention.

最後に、判定知識作成装置20の各ブロック、良否判定アルゴリズム生成部23は、ハードウェアロジックによって構成してもよいし、次のようにCPUを用いてソフトウェアによって実現してもよい。   Finally, each block of the determination knowledge creation device 20 and the pass / fail determination algorithm generation unit 23 may be configured by hardware logic, or may be realized by software using a CPU as follows.

すなわち、判定知識作成装置20は、各機能を実現する制御プログラムの命令を実行するCPU(central processing unit)、上記プログラムを格納したROM(read only memory)、上記プログラムを展開するRAM(random access memory)、上記プログラムおよび各種データを格納するメモリ等の記憶装置(記録媒体)などを備えている。そして、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウェアである判定知識作成装置20の制御プログラムのプログラムコード(実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム)をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を、上記判定知識作成装置20に供給し、そのコンピュータ(またはCPUやMPU)が記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。   That is, the determination knowledge creating device 20 includes a CPU (central processing unit) that executes instructions of a control program that realizes each function, a ROM (read only memory) that stores the program, and a RAM (random access memory) that expands the program. ), A storage device (recording medium) such as a memory for storing the program and various data. An object of the present invention is a recording medium in which a program code (execution format program, intermediate code program, source program) of a control program of the determination knowledge creating apparatus 20 which is software for realizing the above-described functions is recorded so as to be readable by a computer. Can also be achieved by reading the program code recorded on the recording medium and executing it by the computer (or CPU or MPU).

上記記録媒体としては、例えば、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フロッピー(登録商標)ディスク/ハードディスク等の磁気ディスクやCD−ROM/MO/MD/DVD/CD−R等の光ディスクを含むディスク系、ICカード(メモリカードを含む)/光カード等のカード系、あるいはマスクROM/EPROM/EEPROM/フラッシュROM等の半導体メモリ系などを用いることができる。   Examples of the recording medium include tapes such as magnetic tapes and cassette tapes, magnetic disks such as floppy (registered trademark) disks / hard disks, and disks including optical disks such as CD-ROM / MO / MD / DVD / CD-R. Card system such as IC card, IC card (including memory card) / optical card, or semiconductor memory system such as mask ROM / EPROM / EEPROM / flash ROM.

また、判定知識作成装置20を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネットワークを介して供給してもよい。この通信ネットワークとしては、特に限定されず、例えば、インターネット、イントラネット、エキストラネット、LAN、ISDN、VAN、CATV通信網、仮想専用網(virtual private network)、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、通信ネットワークを構成する伝送媒体としては、特に限定されず、例えば、IEEE1394、USB、電力線搬送、ケーブルTV回線、電話線、ADSL回線等の有線でも、IrDAやリモコンのような赤外線、Bluetooth(登録商標)、802.11無線、HDR、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムコードが電子的な伝送で具現化された、搬送波に埋め込まれたコンピュータデータ信号の形態でも実現され得る。   Further, the determination knowledge creating device 20 may be configured to be connectable to a communication network, and the program code may be supplied via the communication network. The communication network is not particularly limited. For example, the Internet, intranet, extranet, LAN, ISDN, VAN, CATV communication network, virtual private network, telephone line network, mobile communication network, satellite communication. A net or the like is available. Also, the transmission medium constituting the communication network is not particularly limited. For example, even in the case of wired such as IEEE 1394, USB, power line carrier, cable TV line, telephone line, ADSL line, etc., infrared rays such as IrDA and remote control, Bluetooth ( (Registered trademark), 802.11 wireless, HDR, mobile phone network, satellite line, terrestrial digital network, and the like can also be used. The present invention can also be realized in the form of a computer data signal embedded in a carrier wave in which the program code is embodied by electronic transmission.

本発明は、エンジンなどの製品から発生する音や振動を用いて、良品/不良品の判定を行う検査装置における判定知識を作成する装置に適用できる。   The present invention can be applied to an apparatus that creates determination knowledge in an inspection apparatus that performs determination of a non-defective product / defective product by using sound and vibration generated from a product such as an engine.

本実施形態に係る判定知識作成装置が備える周波数パラメータ決定部の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the frequency parameter determination part with which the determination knowledge preparation apparatus which concerns on this embodiment is provided. 本実施形態に係る検査装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the inspection apparatus which concerns on this embodiment. パラメータ有の特徴量の演算例を示す図である。It is a figure which shows the example of a calculation of the feature-value with a parameter. 本実施形態に係る判定知識作成装置の概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows schematic structure of the determination knowledge preparation apparatus which concerns on this embodiment. 波形データベースが記憶する波形データの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the waveform data which a waveform database memorize | stores. 波形成分データの強度値と第1・第2指標との対応関係を示す図である。It is a figure which shows the correspondence of the intensity value of waveform component data, and a 1st, 2nd parameter | index. 定常性の異常波形成分が発生している場合の良品/不良品の波形強度の平均値の差を示す図である。It is a figure which shows the difference of the average value of the waveform intensity | strength of a non-defective product / defective product when the stationary abnormal waveform component has generate | occur | produced. 衝撃性の異常波形成分が発生している場合の良品/不良品の波形強度の分散値の差を示す図である。It is a figure which shows the difference of the dispersion | distribution value of the waveform intensity | strength of a non-defective product / defective product when the abnormal waveform component of impact property has generate | occur | produced. 指標演算部が生成する指標データのデータ構造を示す図である。It is a figure which shows the data structure of the parameter | index data which an parameter | index calculating part produces | generates. SN比の大小と、良品/不良品の波形データから演算された第1指標および第2指標との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the magnitude | size of SN ratio, and the 1st parameter | index and the 2nd parameter | index calculated from the waveform data of a good article / defective article. 評価値演算部が生成する評価値データのデータ構造を示す図である。It is a figure which shows the data structure of the evaluation value data which an evaluation value calculating part produces | generates. 異常波形成分が発生していると予想される周波数帯域の候補の選定方法を示す図である。It is a figure which shows the selection method of the candidate of the frequency band where it is estimated that the abnormal waveform component has generate | occur | produced. FFT強度グラフの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a FFT intensity | strength graph. 本実施形態における、判定知識の作成処理の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the creation process of the judgment knowledge in this embodiment. 最適周波数帯域(周波数パラメータ)の決定処理の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the determination process of an optimal frequency band (frequency parameter). 従来の判定知識の作成処理の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the creation processing of the conventional judgment knowledge.

符号の説明Explanation of symbols

1 入力装置
2 表示装置
10 検査装置
15 特徴量演算パラメータ記憶部
16 ファジィルール記憶部
20 判定知識作成装置
21 波形データベース
22 検査実績データベース
30 周波数パラメータ決定部(周波数パラメータ決定手段)
31 探索条件設定部
32 波形データ分割処理部
33 指標演算部(第1算出手段)
34 評価値演算部(第2算出手段)
35 候補帯域選定部(選定手段)
36 FFT強度グラフ作成部(FFT強度グラフ作成手段)
37 最適帯域設定部(最適周波数帯域決定手段)
40 特徴最適化部(特徴最適化手段)
50 ルール作成部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Input device 2 Display apparatus 10 Inspection apparatus 15 Feature-value calculation parameter memory | storage part 16 Fuzzy rule memory | storage part 20 Judgment knowledge creation apparatus 21 Waveform database 22 Inspection performance database 30 Frequency parameter determination part (frequency parameter determination means)
31 Search condition setting unit 32 Waveform data division processing unit 33 Index calculation unit (first calculation means)
34 Evaluation Value Calculation Unit (Second Calculation Unit)
35 Candidate band selection section (selection means)
36 FFT strength graph creation unit (FFT strength graph creation means)
37 Optimum band setting unit (optimum frequency band determining means)
40 Feature optimization unit (feature optimization means)
50 Rule creation department

Claims (12)

取得した波形データに対し、特徴抽出処理を行って得られた特徴量に基づいて、検査対象物が良品であるか不良品であるかを検査する検査装置における、上記検査対象物に適したアルゴリズムである有効特徴を求める判定知識作成装置であって、
予め与えられた良品の波形データおよび不良品の波形データから、異常波形成分が発生している最適周波数帯域を示す周波数パラメータを決定する周波数パラメータ決定手段と、
上記周波数パラメータ決定手段によって決定された周波数パラメータで示される最適周波数帯域の波形成分に基づいて、上記有効特徴を求める特徴最適化手段とを備えることを特徴とする判定知識作成装置。
An algorithm suitable for the inspection object in an inspection apparatus that inspects whether the inspection object is a non-defective product or a defective product based on the feature amount obtained by performing feature extraction processing on the acquired waveform data It is a judgment knowledge creation device for obtaining an effective feature,
A frequency parameter determining means for determining a frequency parameter indicating an optimum frequency band in which an abnormal waveform component is generated from the waveform data of a good product and a defective product given in advance;
A determination knowledge creating apparatus comprising: a feature optimization unit that obtains the effective feature based on a waveform component in an optimum frequency band indicated by the frequency parameter determined by the frequency parameter determination unit.
上記周波数パラメータ決定手段は、
上記良品の波形データおよび不良品の波形データから、複数の単位周波数帯域の波形成分を抽出し、各波形成分に基づいて第1の値を算出する第1算出手段と、
上記単位周波数帯域ごとに、良品の波形データに対応する第1の値と、不良品の波形データに対応する第1の値との分離状態を示す第2の値を算出する第2算出手段とを備え、
上記第2の値に基づいて、上記周波数パラメータを決定することを特徴とする請求項1に記載の判定知識作成装置。
The frequency parameter determining means includes
First calculation means for extracting a waveform component of a plurality of unit frequency bands from the waveform data of the non-defective product and the waveform data of the defective product, and calculating a first value based on each waveform component;
Second calculation means for calculating, for each unit frequency band, a second value indicating a separation state between a first value corresponding to non-defective product waveform data and a first value corresponding to defective product waveform data; With
The determination knowledge creating apparatus according to claim 1, wherein the frequency parameter is determined based on the second value.
上記第1算出手段は、上記第1の値として、上記波形成分の強度を示す値を算出することを特徴とする請求項2に記載の判定知識作成装置。   The determination knowledge creating apparatus according to claim 2, wherein the first calculation means calculates a value indicating the intensity of the waveform component as the first value. 上記第1算出手段は、上記第1の値として、上記波形成分の強度の平均値または中央値を算出することを特徴とする請求項2に記載の判定知識作成装置。   The determination knowledge creating apparatus according to claim 2, wherein the first calculation unit calculates an average value or a median value of the intensities of the waveform components as the first value. 上記第1算出手段は、上記第1の値として、上記波形成分における単位時間ごとの強度の、ばらつきを示す値を算出することを特徴とする請求項2に記載の判定知識作成装置。   The determination knowledge creating apparatus according to claim 2, wherein the first calculation unit calculates a value indicating variation in intensity for each unit time in the waveform component as the first value. 上記第1算出手段は、上記第1の値として、上記波形成分における単位時間ごとの強度の分散値、上記波形成分の尖り度、または、上記波形成分の最大値を算出することを特徴とする請求項2に記載の判定知識作成装置。   The first calculation means calculates, as the first value, a variance value of intensity per unit time in the waveform component, a kurtosis degree of the waveform component, or a maximum value of the waveform component. The determination knowledge creating apparatus according to claim 2. 上記単位周波数帯域ごとの第2の値を、良品の波形データに対応する第1の値と不良品の波形データに対応する第1の値とがより分離している順に並べたときの順位を分離順位とするとき、
上記周波数パラメータ決定手段は、上記分離順位の上位の複数の単位周波数帯域を、上記最適周波数帯域として決定することを特徴とする請求項2に記載の判定知識作成装置。
The order when the second value for each unit frequency band is arranged in the order in which the first value corresponding to the non-defective waveform data and the first value corresponding to the defective waveform data are further separated. When using separation order
3. The determination knowledge creating apparatus according to claim 2, wherein the frequency parameter determining means determines a plurality of unit frequency bands higher in the separation order as the optimum frequency band.
上記単位周波数帯域ごとの第2の値を、良品の波形データに対応する第1の値と不良品の波形データに対応する第1の値とがより分離している順に並べたときの順位を分離順位とするとき、
上記周波数パラメータ決定手段は、
上記分離順位の上位の複数の単位周波数帯域を候補周波数帯域として選定する選定手段と、
上記良品の波形データに対応するFFT強度グラフ、ならびに、上記不良品の波形データに対応するFFT強度グラフを作成するグラフ作成手段と、
上記FFT強度グラフと上記選定手段が選定した複数の候補周波数帯域とを表示装置に表示させ、ユーザ入力に従って、該複数の候補周波数帯域の中から最適周波数帯域を決定する最適周波数帯域決定手段とを備えることを特徴とする請求項2に記載の判定知識作成装置。
The order when the second value for each unit frequency band is arranged in the order in which the first value corresponding to the non-defective waveform data and the first value corresponding to the defective waveform data are further separated. When using separation order
The frequency parameter determining means includes
Selection means for selecting a plurality of unit frequency bands higher in the separation order as candidate frequency bands;
An FFT intensity graph corresponding to the waveform data of the non-defective product, and a graph creating means for creating an FFT intensity graph corresponding to the waveform data of the defective product;
The FFT intensity graph and a plurality of candidate frequency bands selected by the selecting means are displayed on a display device, and an optimum frequency band determining means for determining an optimum frequency band from the plurality of candidate frequency bands according to a user input The determination knowledge creating apparatus according to claim 2, further comprising:
上記選定手段は、上記分離順位の上位の複数の単位周波数帯域の中に、隣り合う単位周波数帯域がある場合、これら隣り合う単位周波数帯域をまとめて、1つの上記候補周波数帯域とすることを特徴とする請求項8に記載の判定知識作成装置。   In the case where there are adjacent unit frequency bands in the plurality of unit frequency bands higher in the separation order, the selecting means collectively sets the adjacent unit frequency bands into one candidate frequency band. The determination knowledge creating apparatus according to claim 8. 取得した波形データに対し、特徴抽出処理を行って得られた特徴量に基づいて、検査対象物が良品であるか不良品であるかを検査する検査装置における、上記検査対象物に適したアルゴリズムである有効特徴を求める判定知識作成装置の判定知識作成方法であって、
予め与えられた良品の波形データおよび不良品の波形データから、異常波形成分が発生している最適周波数帯域を示す周波数パラメータを決定する周波数パラメータ決定ステップと、
上記周波数パラメータで示される最適周波数帯域の波形成分に基づいて、上記有効特徴を求める特徴最適化ステップとを含むことを特徴とする判定知識作成方法。
An algorithm suitable for the inspection object in an inspection apparatus that inspects whether the inspection object is a non-defective product or a defective product based on the feature amount obtained by performing feature extraction processing on the acquired waveform data A determination knowledge creation method of a determination knowledge creation device for obtaining an effective feature is,
A frequency parameter determining step for determining a frequency parameter indicating an optimum frequency band in which an abnormal waveform component is generated from waveform data of a good product and a defective product given in advance;
And a feature optimization step for obtaining the effective feature based on a waveform component in an optimum frequency band indicated by the frequency parameter.
請求項1〜9のいずれか1項に記載の判定知識作成装置における上記各手段として機能させるためのプログラム。   The program for functioning as said each means in the determination knowledge preparation apparatus of any one of Claims 1-9. 請求項11に記載のプログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体。   A computer-readable recording medium on which the program according to claim 11 is recorded.
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