JP2008004155A

JP2008004155A - Multichannel head

Info

Publication number: JP2008004155A
Application number: JP2006171688A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiko Maejima; 和彦前島; Shinya Oyama; 信也大山; Yoshiyuki Mizoguchi; 義之溝口
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2006-06-21
Filing date: 2006-06-21
Publication date: 2008-01-10

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multichannel head achieving narrow pitches. <P>SOLUTION: The multichannel head is provided with a substrate 11, and a plurality of writing elements 5 and a plurality of reading elements 7 arrayed in a track width direction in the upper part of a stacking direction. The plurality of writing elements are provided with coils 17. In at least a pair of writing elements adjacent to each other in the track width direction, the positions of the coils are shifted from each other in the stacking direction. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、複数の記録素子と複数の再生素子とを具備するマルチチャンネルヘッドに関するものである。 The present invention relates to a multi-channel head including a plurality of recording elements and a plurality of reproducing elements.

従来より、コンピュータ分野においては、データのバックアップ装置としてリニアテープに対して磁気情報の記録・再生を行うデータストレージ装置がある。特許文献１には、そのようなデータストレージ装置に用いられているマルチチャンネルヘッドの一例が示されている。 2. Description of the Related Art Conventionally, in the computer field, there is a data storage device for recording / reproducing magnetic information on / from a linear tape as a data backup device. Patent Document 1 shows an example of a multi-channel head used in such a data storage device.

かかるマルチチャンネルヘッドにおいては、リニアテープの走行方向と直交する方向に沿って複数の記録素子及び再生素子が並べて配置されている。より詳細には、一つの記録素子と一つの再生素子とからなる一組の素子対が、複数組設けられており、まず、この素子対自体がリニアテープの走行方向と直交する方向に沿って並んでいる。そして、各素子対の記録素子自体も、隣り合う素子対の記録素子との関係で、リニアテープの走行方向と直交する方向に沿って並んでいる。さらに、再生素子も同様であり、各素子対の再生素子自体が、隣り合う素子対の再生素子との関係で、リニアテープの走行方向と直交する方向に沿って並んでいる。
特開２００５−２７６２６７号公報 In such a multi-channel head, a plurality of recording elements and reproducing elements are arranged side by side along a direction orthogonal to the running direction of the linear tape. More specifically, a plurality of element pairs each including one recording element and one reproducing element are provided. First, the element pairs themselves are along a direction orthogonal to the running direction of the linear tape. Are lined up. The recording elements themselves of each element pair are also arranged in a direction orthogonal to the running direction of the linear tape in relation to the recording elements of the adjacent element pair. Further, the reproducing element is the same, and the reproducing elements themselves of each element pair are arranged along a direction orthogonal to the running direction of the linear tape in relation to the reproducing elements of the adjacent element pairs.
JP 2005-276267 A

近年、磁気情報の記録・再生に対しては、大容量化、高速読み書き化が望まれており、マルチチャンネルヘッドにおいても、隣り合う素子間の間隔を狭ピッチ化できれば好ましい。
本発明は、狭ピッチ化が可能なマルチチャンネルヘッドを提供することを目的とするものである。 In recent years, for recording / reproducing magnetic information, it has been desired to increase the capacity and to read / write at high speed, and even in a multi-channel head, it is preferable if the interval between adjacent elements can be reduced.
An object of the present invention is to provide a multi-channel head capable of narrowing the pitch.

上述した課題を解決するため、本発明に係るマルチチャンネルヘッドは、基板と、該基板の積層方向上方においてトラック幅方向に並べて配置された複数の書込素子及び複数の読取素子とを備えたマルチチャンネルヘッドであって、前記複数の書込素子には、コイルが設けられており、トラック幅方向に隣り合う少なくとも一対の前記書込素子においては、コイルの位置が相互に積層方向にずらされている。 In order to solve the above-described problems, a multi-channel head according to the present invention includes a substrate, and a multi-channel head including a plurality of write elements and a plurality of read elements arranged in the track width direction above the substrate in the stacking direction. In the channel head, the plurality of write elements are provided with coils, and in at least a pair of the write elements adjacent in the track width direction, the positions of the coils are shifted from each other in the stacking direction. Yes.

本発明によれば、トラック幅方向に隣り合う書込素子において、コイルの位置が相互に積層方向にずらされているため、コイル相互間の干渉が回避され、書込素子の間隔をトラック幅方向に詰めることができ、すなわち、狭ピッチ化することができる。 According to the present invention, in the write elements adjacent to each other in the track width direction, the positions of the coils are shifted from each other in the stacking direction, so that interference between the coils is avoided, and the interval between the write elements is set in the track width direction. In other words, the pitch can be narrowed.

なお、本発明の他の特徴及びそれによる作用効果は、添付図面を参照し、実施の形態によって更に詳しく説明する。 The other features of the present invention and the operational effects thereof will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

以下、本発明に係る実施の形態を、添付図面に基づいて説明する。なお、図中、同一符号は同一又は対応部分を示すものとする。また、本明細書及び特許請求の範囲における上下方向は積層方向に沿う方向であり、基板側など積層がより先行する側を下側、保護層など積層が後続される側を上側として表現している。 Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts. In addition, the vertical direction in the present specification and claims is a direction along the stacking direction, and the side on which stacking is preceded, such as the substrate side, is expressed as the lower side, and the side on which stacking, such as the protective layer, is followed, is expressed as the upper side. Yes.

本実施の形態に係るマルチチャンネルヘッドは、コンピュータのデータのバックアップを行うＬＴＯ（Linear Tape-Open）規格などの磁気テープ記憶装置において、リニアテープに対して磁気情報の記録・再生を行う磁気ヘッドとして適用されうる。 The multi-channel head according to the present embodiment is a magnetic head for recording / reproducing magnetic information on / from a linear tape in a magnetic tape storage device such as an LTO (Linear Tape-Open) standard that backs up computer data. Can be applied.

図１に、本実施の形態に係るマルチチャンネルヘッドを示す。マルチチャンネルヘッド１は、２枚の帯状ヘッドチップ３を対称的に貼り合わせて構成されている。ヘッドチップ３のそれぞれには、複数の書込素子５と、複数の読取素子７とが設けられている。 FIG. 1 shows a multi-channel head according to the present embodiment. The multi-channel head 1 is configured by attaching two strip-shaped head chips 3 symmetrically. Each of the head chips 3 is provided with a plurality of writing elements 5 and a plurality of reading elements 7.

より詳細には、まず、一つの書込素子５と、一つの読取素子７とをまとめて一つの素子対９とした場合、ヘッドチップ３のそれぞれには、本実施の形態では、１６個の素子対９が配置されている。素子対９は、トラック幅方向Ｘ、すなわち後述するマルチチャンネルヘッド１のシフト方向Ｓであって、リニアテープ１１の走行方向Ｔとほぼ直交する方向に並べて配置されている。 More specifically, first, when one writing element 5 and one reading element 7 are combined into one element pair 9, each head chip 3 has 16 pieces in this embodiment. An element pair 9 is arranged. The element pairs 9 are arranged side by side in the track width direction X, that is, the shift direction S of the multi-channel head 1 described later, and substantially perpendicular to the traveling direction T of the linear tape 11.

次に、図２及び図３に基づいて、ヘッドチップの要部について説明する。図２及び図３は、ヘッドチップにおける素子対を部分的（２つ分）に拡大し、媒体（リニアテープ）対向面側から示した図である。また、図２は、媒体対向面における端面図であり、図３は、コイルを含む断面で切断した断面図である。 Next, the main part of the head chip will be described with reference to FIGS. FIGS. 2 and 3 are diagrams in which the element pair in the head chip is partially enlarged (for two) and shown from the medium (linear tape) facing surface side. 2 is an end view of the medium facing surface, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along a cross section including the coil.

ヘッドチップ３は、複数膜の積層態様によって構成されている。基板１１の積層方向Ｙの上方には、複数の書込素子５がトラック幅方向Ｘに並べて配置されている。さらに、複数の書込素子５の積層方向Ｙの上方には、複数の読取素子７がトラック幅方向Ｘに並べて配置されている。 The head chip 3 is configured by a laminated mode of a plurality of films. Above the stacking direction Y of the substrate 11, a plurality of write elements 5 are arranged in the track width direction X. Further, a plurality of reading elements 7 are arranged side by side in the track width direction X above the stacking direction Y of the plurality of writing elements 5.

図２に示されるように、書込素子５は、下部ポール部１３ａを含む下部ヨーク１３と、上部ポール部１５ａを含む上部ヨーク１５と、コイル１７と、ギャップ膜１９とを有している。読取素子７は、磁気抵抗効果膜であり、例えばＧＭＲやＴＭＲなどとして構成されている。読取素子７の積層方向Ｙの上下には、上部磁気シールド２１及び下部磁気シールド２３が設けられている。 As shown in FIG. 2, the writing element 5 includes a lower yoke 13 including a lower pole portion 13a, an upper yoke 15 including an upper pole portion 15a, a coil 17, and a gap film 19. The reading element 7 is a magnetoresistive effect film, and is configured as, for example, GMR or TMR. An upper magnetic shield 21 and a lower magnetic shield 23 are provided above and below the reading element 7 in the stacking direction Y.

図３に示されるように、トラック幅方向Ｘに隣り合う一対の書込素子５の間においては、コイル１７の位置が相互に積層方向にずらされている。具体的に説明すると、本実施の形態では、コイル１７はそれぞれ上下２層構成を採用しており、図３の図示左側のコイル１７は、上部コイル層１７ａ及び下部コイル層１７ｂを有しており、図示右側のコイル１７は、上部コイル層１７ｃ及び下部コイル層１７ｄを有している。そして、図示左側のコイル１７の上部コイル層１７ａ及び下部コイル層１７ｂと、図示右側のコイル１７の上部コイル層１７ｃ及び下部コイル層１７ｄとは、相互に積層方向にずらされている。すなわち、図示右側の下部コイル層１７ｄは、図示左側の下部コイル層１７ｂよりも一段、積層方向上方に位置しており、図示左側の上部コイル層１７ａは、図示右側の下部コイル層１７ｄよりも一段、積層方向上方に位置しており、図示右側の上部コイル層１７ｃは、図示左側の上部コイル層１７ａよりも一段、積層方向上方に位置している。 As shown in FIG. 3, between the pair of write elements 5 adjacent in the track width direction X, the position of the coil 17 is shifted in the stacking direction. More specifically, in this embodiment, the coils 17 each have a two-layer structure, and the left coil 17 in FIG. 3 has an upper coil layer 17a and a lower coil layer 17b. The coil 17 on the right side of the figure has an upper coil layer 17c and a lower coil layer 17d. The upper coil layer 17a and the lower coil layer 17b of the left coil 17 shown in the drawing and the upper coil layer 17c and the lower coil layer 17d of the right coil 17 shown in the drawing are shifted from each other in the stacking direction. That is, the lower coil layer 17d on the right side of the figure is positioned one level higher than the lower coil layer 17b on the left side of the figure, and the upper coil layer 17a on the left side of the figure is one stage higher than the lower coil layer 17d on the right side of the figure. The upper coil layer 17c on the right side in the figure is positioned one level higher than the upper coil layer 17a on the left side in the figure.

このような相互の積層方向のずれに基づいて、図示左側の上部コイル層１７ａ及び下部コイル層１７ｂの右側端部と、図示右側の上部コイル層１７ｃ及び下部コイル層１７ｄの左側端部とは、積層方向Ｙから投影的にみて、トラック幅方向Ｘに重なる領域を有する。 Based on such a shift in the stacking direction, the right end portions of the upper coil layer 17a and the lower coil layer 17b on the left side of the drawing and the left end portions of the upper coil layer 17c and the lower coil layer 17d on the right side of the drawing are It has a region overlapping in the track width direction X when viewed from the stacking direction Y.

また、上記の構成に起因し、図示右側のコイル１７において、図示左側の下部コイル層１７ｂと積層方向同層の位置には、第１の絶縁層１９ｂが形成されている。図示左側のコイル１７において、図示右側の下部コイル層１７ｄと積層方向同層の位置には、第２の絶縁層１９ｄが形成されている。図示右側のコイル１７において、図示左側の上部コイル層１７ａと積層方向同層の位置には、第３の絶縁層１９ａが形成されている。図示左側のコイル１７において、図示右側の上部コイル層１７ｃと積層方向同層の位置には、第４の絶縁層１９ｃが形成されている。 Further, due to the above configuration, in the coil 17 on the right side of the drawing, a first insulating layer 19b is formed at the same position as the lower coil layer 17b on the left side of the drawing in the stacking direction. In the coil 17 on the left side of the figure, a second insulating layer 19d is formed at the same layer position as the lower coil layer 17d on the right side of the figure. In the coil 17 on the right side of the figure, a third insulating layer 19a is formed at the same layer as the upper coil layer 17a on the left side of the figure. In the coil 17 on the left side of the figure, a fourth insulating layer 19c is formed at the same layer as the upper coil layer 17c on the right side of the figure.

なお、図３の図示左側のコイルのコイル層１７ａ及び１７ｂの左側端部には、参照符号１７ｃ、１７ｄで示されるコイル層の一部が図示されているが、これは、さらに図示左側に位置するコイルのコイル層の右側端部が部分的に図示されているものである。また、図３の紙面最も右側において参照符号１７ａ、１７ｂで示されたコイル層の一部も同様であり、より右側に位置するコイルのコイル層の左側端部が部分的に図示されているに過ぎない。これより諒解されるように、本実施の形態では、下段配置をとるコイル層１７ａ、１７ｂからなるコイルと、上段配置をとるコイル層１７ｃ、１７ｄからなるコイルとが、トラック幅方向に交互に繰り返されるように配置されている。また、積層方向において同層に位置する層に対しては、共通のアルファベット小文字ａ，ｂ，ｃ，ｄを割り当てた参照符号を付している。 A part of the coil layer indicated by reference numerals 17c and 17d is shown at the left end of the coil layers 17a and 17b of the left coil shown in FIG. The right end portion of the coil layer of the coil is partially illustrated. The same applies to the part of the coil layer indicated by reference numerals 17a and 17b on the rightmost side of FIG. 3, and the left end of the coil layer of the coil located on the right side is partially shown. Not too much. As will be understood from this, in the present embodiment, the coil composed of the coil layers 17a and 17b having the lower arrangement and the coil composed of the coil layers 17c and 17d having the upper arrangement are alternately repeated in the track width direction. Are arranged to be. Further, reference numerals assigned common alphabetic lowercase letters a, b, c, and d are attached to layers located in the same layer in the stacking direction.

図３に示した態様はあくまでも例示であり、本発明に係るマルチチャンネルヘッドにおいては、書込素子のコイルは必ずしも２層コイルとして構成されている必要はなく、３層以上のコイル層を備えていてもよいし、逆に１層のコイル層だけで構成されているものであってもよい。また、トラック幅方向に隣り合う全ての対の書込素子においてコイルの位置が積層方向にずらされていることを要するものではなく、複数の書込素子のうち、トラック幅方向に隣り合う少なくとも一対の書込素子においてコイルの位置が積層方向にずらされていれば、本発明に包含されるものである。さらに、本発明は、トラック幅方向に隣り合う全てのコイルのコイル層同士が積層方向Ｙから投影的にみて重なっていない態様も包含するものである。 The embodiment shown in FIG. 3 is merely an example, and in the multi-channel head according to the present invention, the coil of the writing element does not necessarily have to be configured as a two-layer coil, and includes three or more coil layers. Alternatively, it may be composed of only one coil layer. In addition, it is not necessary that the positions of the coils are shifted in the stacking direction in all pairs of write elements adjacent in the track width direction, and at least a pair of write elements adjacent in the track width direction among the plurality of write elements. If the position of the coil is shifted in the stacking direction in the writing element, the invention is included in the present invention. Furthermore, the present invention includes an aspect in which the coil layers of all the coils adjacent in the track width direction do not overlap each other when viewed from the stacking direction Y.

また、図３に示した態様では、下段配置をとるコイル層１７ａ、１７ｂからなるコイルと、上段配置をとるコイル層１７ｃ、１７ｄからなるコイルとが繰り返される２段配置態様として例示したが、本発明では、これに限定されるものではなく、下段配置、中段配置、上段配置をとる３段配置態様の構成でもよく、さらに、４段以上の配置で実施することも可能である。 Further, in the mode shown in FIG. 3, although illustrated as a two-stage arrangement mode in which the coil composed of the coil layers 17 a and 17 b taking the lower arrangement and the coil consisting of the coil layers 17 c and 17 d taking the upper arrangement are repeated, The present invention is not limited to this, and may be configured in a three-stage arrangement mode in which a lower stage arrangement, a middle stage arrangement, and an upper stage arrangement are adopted, and further, four or more stages may be implemented.

上記のように、コイルの位置は積層方向にずらされている一方、トラック幅方向に並んだ書込素子間において、媒体対向面に現れる下部ポール部１３ａと上部ポール部１５ａとの位置は、図２に示されるように、積層方向に揃って一直線に整列している。 As described above, the position of the coil is shifted in the stacking direction, while the positions of the lower pole portion 13a and the upper pole portion 15a that appear on the medium facing surface between the write elements arranged in the track width direction are as shown in FIG. As shown in FIG. 2, they are aligned along the stacking direction.

次に、図１のような本実施の形態に係るマルチチャンネルヘッド１の製造プロセスについて説明する。マルチチャンネルヘッド１は、２枚の帯状ヘッドチップ３を対称的に貼り合わせて構成されるが、各ヘッドチップ３は次のようにして製造される。なお、成膜プロセスやパターン形成プロセスそれ自体は、周知の態様で行うことができ、その詳細な説明は省略する。 Next, a manufacturing process of the multichannel head 1 according to the present embodiment as shown in FIG. 1 will be described. The multi-channel head 1 is configured by attaching two strip-shaped head chips 3 symmetrically, and each head chip 3 is manufactured as follows. The film forming process and the pattern forming process itself can be performed in a known manner, and detailed description thereof is omitted.

まず、基板１１を層状に構成する。続いて、基板１１の上方に、所定のスペーサ層２５ａを介して下部ヨーク１３を形成する。その上に、コイル１７、ギャップ膜１９、上部ヨーク１５の上部ポール部１５ａを形成した後、上部ヨーク１５のポール部以外のヨーク部を形成する。 First, the board | substrate 11 is comprised in layered form. Subsequently, the lower yoke 13 is formed above the substrate 11 via a predetermined spacer layer 25a. A coil 17, a gap film 19, and an upper pole portion 15 a of the upper yoke 15 are formed thereon, and then a yoke portion other than the pole portion of the upper yoke 15 is formed.

ここで、図４を参照しながら、コイルの形成について詳細に説明する。まず、（ａ）に示されるように、図３図示の一対に関し、図示左側の下部ヨーク１３の上方に、下部コイル層１７ｂを形成すると共に、その同層において、図示右側の下部ヨーク１３の上方に、第１の絶縁層１９ｂを形成する。次に、（ｂ）に示されるように、図示右側の第１の絶縁層１９ｂの上方に、下部コイル層１７ｄを形成すると共に、その同層において、図示左側の下部コイル層１７ｂの上方に、第２の絶縁層１９ｄを形成する。図示右側の下部コイル層１７ｄの形成においては、下部コイル層１７ｄの左側端部が、図示左側の下部コイル層１７ｂの右側端部の上に重なるように配置される。 Here, the formation of the coil will be described in detail with reference to FIG. First, as shown in FIG. 3A, with respect to the pair shown in FIG. 3, a lower coil layer 17b is formed above the lower yoke 13 on the left side of the figure, and in the same layer above the lower yoke 13 on the right side of the figure. Then, the first insulating layer 19b is formed. Next, as shown in (b), a lower coil layer 17d is formed above the first insulating layer 19b on the right side of the figure, and in the same layer, above the lower coil layer 17b on the left side of the figure, A second insulating layer 19d is formed. In the formation of the lower coil layer 17d on the right side in the figure, the left end portion of the lower coil layer 17d is disposed so as to overlap the right end portion of the lower coil layer 17b on the left side in the figure.

次に、（ｃ）に示されるように、図示左側の第２の絶縁層１９ｄの上方に、上部コイル層１７ａを形成すると共に、その同層において、図示右側の下部コイル層１７ｄの上方に、第３の絶縁層１９ａを形成する。図示左側の上部コイル層１７ａの形成においては、上部コイル層１７ａの右側端部が、図示右側の下部コイル層１７ｄの左側端部の上に重なるように配置される。さらに、（ｄ）に示されるように、図示右側の第３の絶縁層１９ａの上方に、上部コイル層１７ｃを形成すると共に、その同層において、図示左側の上部コイル層１７ａの上方に、第４の絶縁層１９ｃを形成する。図示右側の上部コイル層１７ｃの形成においては、上部コイル層１７ｃの左側端部が、図示左側の上部コイル層１７ａの右側端部の上に重なるように配置される。 Next, as shown in (c), an upper coil layer 17a is formed above the second insulating layer 19d on the left side of the figure, and in the same layer, above the lower coil layer 17d on the right side of the figure, A third insulating layer 19a is formed. In the formation of the upper coil layer 17a on the left side in the drawing, the right end portion of the upper coil layer 17a is disposed so as to overlap the left end portion of the lower coil layer 17d on the right side in the drawing. Furthermore, as shown in (d), an upper coil layer 17c is formed above the third insulating layer 19a on the right side of the figure, and in the same layer, on the upper side of the upper coil layer 17a on the left side of the figure, Four insulating layers 19c are formed. In the formation of the upper coil layer 17c on the right side in the figure, the left end portion of the upper coil layer 17c is disposed so as to overlap the right end portion of the upper coil layer 17a on the left side in the figure.

コイル１７を含め書込素子５の形成が終了したならば、続いて、図２に示されるように、書込素子５の上方にスペーサ層２５ｂを形成する。さらに、その上方に、下部磁気シールド２３、読取素子７、上部磁気シールド２１及び保護層２５ｅ等を形成する。 When the formation of the write element 5 including the coil 17 is completed, a spacer layer 25b is subsequently formed above the write element 5 as shown in FIG. Further, a lower magnetic shield 23, a reading element 7, an upper magnetic shield 21, a protective layer 25e, and the like are formed thereon.

以上のようなマルチチャンネルヘッド１によれば、トラック幅方向に隣り合う書込素子において、コイルの位置が相互に積層方向にずらされている。このため、ずらされたコイル１７間では、各コイル層１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄが平面的にみてオーバーラップする位置関係にありながら、実際には相互に当接することはなく、その分、書込素子５の間隔をトラック幅方向Ｘに詰めることができ、すなわち、狭ピッチ化することができる。具体的には、図５に示されるように、トラック幅方向Ｘの寸法Ｄ＝２．５［ｍｍ］の中に、１６個の素子対９、すなわち１６個ずつの書込素子５及び読取素子７を配置することが可能となった。 According to the multichannel head 1 as described above, the positions of the coils are shifted from each other in the stacking direction in the write elements adjacent in the track width direction. For this reason, the coil layers 17a, 17b, 17c, and 17d are positioned so as to overlap each other between the shifted coils 17, but actually do not contact each other. The interval between the insertion elements 5 can be reduced in the track width direction X, that is, the pitch can be reduced. Specifically, as shown in FIG. 5, in the dimension D = 2.5 [mm] in the track width direction X, 16 element pairs 9, that is, 16 write elements 5 and 16 read elements each. 7 can be arranged.

また、上記のように、コイルの位置は積層方向にずらされている一方、トラック幅方向に並んだ書込素子間においては、下部ポール部１３ａと上部ポール部１５ａとの位置が、積層方向に揃って一直線に整列している。このため、トラック幅方向Ｘに整列する書込素子５のポール部を２層分の成膜工程で形成することができ、プロセスの複雑化を回避することができる。さらに、トラック幅方向Ｘに整列する書込素子５の下部ポール部及び上部ポール部のそれぞれが、トラック幅方向Ｘに直線的に整列するので、書き込み精度を高精度に維持することができる。すなわち、上記のように狭ピッチ化を進めるべくコイル１７を積層方向にずらして構成しておりながら、プロセスの複雑化を回避し、且つ、書き込み精度を高精度に維持することができる。 Further, as described above, the position of the coil is shifted in the stacking direction, while the positions of the lower pole portion 13a and the upper pole portion 15a are in the stacking direction between the write elements arranged in the track width direction. They are all aligned. For this reason, the pole portion of the writing element 5 aligned in the track width direction X can be formed by the film forming process for two layers, and the process can be prevented from becoming complicated. Furthermore, since each of the lower pole portion and the upper pole portion of the writing element 5 aligned in the track width direction X is linearly aligned in the track width direction X, the writing accuracy can be maintained with high accuracy. That is, as described above, the coil 17 is configured to be shifted in the stacking direction in order to advance the pitch reduction, while avoiding process complexity and maintaining high writing accuracy.

以上、好ましい実施の形態を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の改変態様を採り得ることは自明である。 Although the contents of the present invention have been specifically described with reference to the preferred embodiments, various modifications can be made by those skilled in the art based on the basic technical idea and teachings of the present invention. It is self-explanatory.

本発明に係るマルチチャンネルヘッドを示す図である。It is a figure which shows the multichannel head which concerns on this invention. ヘッドチップにおける素子対の部分拡大図であって、媒体対向面における端面図である。FIG. 4 is a partially enlarged view of an element pair in a head chip, and is an end view on a medium facing surface. ヘッドチップにおける素子対の部分拡大図であって、コイルを含む断面で切断した断面図である。It is the elements on larger scale of the element pair in a head chip, Comprising: It is sectional drawing cut | disconnected by the cross section containing a coil. トラック幅方向に隣り合う書込素子に関し、コイル層の製造手順を示す図である。It is a figure which shows the manufacture procedure of a coil layer regarding the write element adjacent in a track width direction. 本実施の形態に係るマルチチャンネルヘッドに関し、トラック幅方向の所定寸法内に含まれる書込素子及び読取素子の数を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing the number of write elements and read elements included in a predetermined dimension in the track width direction with respect to the multi-channel head according to the present embodiment.

Explanation of symbols

１マルチチャンネルヘッド
５書込素子
７読取素子
１１基板
１７コイル 1 Multi-channel head 5 Write element 7 Read element 11 Substrate 17 Coil

Claims

A multi-channel head comprising a substrate, and a plurality of write elements and a plurality of read elements arranged in the track width direction above the substrate in the stacking direction,
The plurality of write elements are provided with coils.
In at least a pair of the write elements adjacent to each other in the track width direction, the positions of the coils are shifted from each other in the stacking direction.
Multi channel head.