JP2005243195A

JP2005243195A - Magnetic head device

Info

Publication number: JP2005243195A
Application number: JP2004055390A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiko Shinjo; 康彦新庄
Original assignee: Mitsumi Electric Co Ltd
Current assignee: Mitsumi Electric Co Ltd
Priority date: 2004-02-27
Filing date: 2004-02-27
Publication date: 2005-09-08

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To give compatibility to different formats. <P>SOLUTION: The magnetic head of each channel is provided with a 1st thin film magnetic head 3 having a 1st track width specified by a pair of magnetic poles 6, 8 formed on the upper surface of a substrate 2, and a 2nd thin film magnetic head 5 having a 2nd track width specified by a pair of magnetic poles 8, 10 positioned on the upper surface of the 1st thin film magnetic head 3. The 1st track width and the 2nd track width are different from each other. Recording and reproduction are performed in two kinds of formats with different track pitches by optionally changing over from one to the other for the use. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えばヘリカルスキャン方式に用いられるマルチチャンネルヘッドとして好適な磁気ヘッド装置に関する。 The present invention relates to a magnetic head device suitable as a multi-channel head used in, for example, a helical scan system.

従来より、外周面に磁気ヘッドが取り付けられた回転ドラムの外周面に磁気テープを斜めに巻き付け、回転ドラムの回転に伴って移動する磁気ヘッドを磁気テープに対して斜めに摺動させて、この磁気テープに対する信号の記録又は再生を行うようにした、ヘリカルスキャン方式と呼ばれる記録再生方式が提案されている。このヘリカルスキャン方式では、テープ走行方向に対して互いに異なるアジマスを有するトラックを交互に形成することにより、高密度記録を達成するとともに、走行する磁気テープ上を磁気ヘッドが高速で摺動して信号の記録及び再生を行うことで、データ転送レートの向上を実現している。 Conventionally, a magnetic tape is wound obliquely around the outer peripheral surface of a rotating drum having a magnetic head attached to the outer peripheral surface, and the magnetic head that moves as the rotating drum rotates is slid obliquely with respect to the magnetic tape. A recording / reproducing method called a helical scan method that records or reproduces a signal on a magnetic tape has been proposed. In this helical scan system, high-density recording is achieved by alternately forming tracks having azimuths different from each other in the tape running direction, and the magnetic head slides at high speed on the running magnetic tape. By performing recording and reproduction, the data transfer rate is improved.

このヘリカルスキャン方式に用いられる磁気ヘッドとしては、異なるチャンネル間のトラック高さをウェハ内で、高精度で一括生産できるというメリットがあることから、薄膜型磁気ヘッドが幅広く採用されている。例えば特許文献１においては、基板材と薄膜磁気ヘッドを内設する非磁性層と補助部材との先端に、これらの並んだ方向、または、これに対して所定角度傾けられた方向に沿って磁気テープと摺動する摺動面を形成する薄膜磁気ヘッドが提案されている。特許文献１記載の技術によれば、非磁性層を薄くでき、摺動面における非磁性層の面積を小さくすることができるので、磁気テープとの摺動性を向上することができる。
特開２０００−２４９９１２号公報 As a magnetic head used in this helical scan system, a thin film type magnetic head is widely used because it has a merit that the track height between different channels can be collectively produced in a wafer with high accuracy. For example, in Patent Document 1, magnetism is performed along the direction in which the substrate material, the nonmagnetic layer in which the thin film magnetic head is provided, and the auxiliary member are aligned with each other or inclined at a predetermined angle with respect to the auxiliary member. A thin film magnetic head that forms a sliding surface that slides on a tape has been proposed. According to the technique described in Patent Document 1, the nonmagnetic layer can be made thin and the area of the nonmagnetic layer on the sliding surface can be reduced, so that the slidability with the magnetic tape can be improved.
JP 2000-249912 A

ところで、これまでに磁気記録再生方式として多種多様なフォーマットが策定されており、例えばヘリカルスキャン方式を採用したＤＤＳ（Digital Date Storage）のみを例に挙げた場合でも、ＤＤＳ３、ＤＤＳ４、ＤＤＳ５等の複数のフォーマットが存在する。したがって、薄膜型磁気ヘッドが搭載される磁気記録再生装置においては下位互換性を保持することも重要となるが、フォーマット毎に要求されるトラックピッチが異なるため、単一のトラック幅を有して製造された薄膜型磁気ヘッドでは様々なフォーマットへの対応は困難である。 By the way, various formats have been established as magnetic recording / reproducing systems so far. For example, even when only a DDS (Digital Date Storage) adopting a helical scan system is taken as an example, a plurality of formats such as DDS3, DDS4, DDS5, etc. Format exists. Therefore, it is important to maintain backward compatibility in a magnetic recording / reproducing apparatus equipped with a thin film type magnetic head. However, since the track pitch required for each format differs, it has a single track width. It is difficult for the manufactured thin film magnetic head to cope with various formats.

そこで本発明は、このような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、異なるフォーマットに対して互換性を有するマルチチャンネル型の磁気ヘッド装置を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been proposed in view of such a conventional situation, and an object of the present invention is to provide a multichannel magnetic head device having compatibility with different formats.

上述の問題を解決するために、本発明に係る磁気ヘッド装置は、複数チャンネルの磁気ヘッドを備えたマルチチャンネル型の磁気ヘッド装置であって、各チャンネルの磁気ヘッドは、第１のトラック幅を有する第１の書き込み用磁極と、前記第１のトラック幅とは異なる第２のトラック幅を有する第２の書き込み用磁極を有することを特徴とする。 In order to solve the above-described problem, a magnetic head device according to the present invention is a multi-channel magnetic head device including a plurality of channels of magnetic heads, and the magnetic head of each channel has a first track width. It has a first write magnetic pole and a second write magnetic pole having a second track width different from the first track width.

以上のような構成を有する磁気ヘッド装置では、トラック幅の互いに異なる２種類の書き込み用磁極を有するので、使用する磁極を任意に切り替えることにより、トラックピッチの異なる２種類のフォーマットでの記録再生が実現される。 Since the magnetic head device having the above configuration has two types of write magnetic poles having different track widths, recording / reproduction can be performed in two types of formats having different track pitches by arbitrarily switching the magnetic poles to be used. Realized.

本発明によれば、トラック幅の互いに異なる２種類の書き込み用磁極を有するため、異なるトラックピッチを要求する２つのフォーマットに対応可能なマルチチャンネル型の磁気ヘッド装置を提供することができる。 According to the present invention, since there are two types of write magnetic poles having different track widths, it is possible to provide a multi-channel type magnetic head device that can support two formats requiring different track pitches.

以下、本発明を適用したマルチチャンネル型の磁気ヘッド装置について、図面を参照して詳細に説明する。 Hereinafter, a multi-channel magnetic head device to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings.

図１は、本発明を適用したマルチチャンネル型の磁気ヘッド装置において、各チャンネルを構成する磁気ヘッドの一例である。本実施形態では、書き込み用磁極は薄膜型磁気ヘッドとして形成されているが、薄膜型磁気ヘッドは、薄膜形成技術によって常法に従い形成される。図１（ａ）において、磁気ヘッド１は、例えば非磁性のＡｌ₂Ｏ₃−ＴｉＣ等からなる基板２上に、第１の薄膜磁気ヘッド３と、例えばＡｌ₂Ｏ₃等からなる非磁性層４と、第２の薄膜磁気ヘッド５とをこの順に有する。図１（ｂ）に示すように、第１の薄膜磁気ヘッド３と第２の薄膜磁気ヘッド５とはトラック幅が互いに異なり、第１の薄膜磁気ヘッド３のトラック幅は、第２の薄膜磁気ヘッド５のトラック幅に比べて幅広とされている。 FIG. 1 is an example of a magnetic head constituting each channel in a multichannel magnetic head device to which the present invention is applied. In this embodiment, the writing magnetic pole is formed as a thin film type magnetic head, but the thin film type magnetic head is formed in accordance with a conventional method by a thin film forming technique. In FIG. 1A, a magnetic head 1 includes a first thin film magnetic head 3 and a nonmagnetic layer made of, for example, Al ₂ O ₃ on a substrate 2 made of, for example, nonmagnetic Al ₂ O ₃ —TiC. 4 and the second thin film magnetic head 5 in this order. As shown in FIG. 1B, the first thin film magnetic head 3 and the second thin film magnetic head 5 have different track widths, and the track width of the first thin film magnetic head 3 is the second thin film magnetic head. It is wider than the track width of the head 5.

磁気ヘッド１についてより詳細に説明すると、第１の薄膜磁気ヘッド３は、基板２の上面に、下部磁極６と、層間絶縁膜７、及び上部磁極８とが順次積層された構造とされる。また、第１の薄膜磁気ヘッド３は、層間絶縁膜７中に薄膜状に形成されたコイル９を有する。書き込み用磁極である下部磁極６と上部磁極８とは、巻回されたコイル９の中心付近で磁気的に接触するとともに、磁気テープとの摺動面１ａ側で所定間隔を有する磁気ギャップＧ１を構成するように形成される。第１の薄膜磁気ヘッド３は、薄膜型磁気ヘッド１の摺動面１ａにおいて、トラック幅を規定する下部磁極６及び上部磁極８を臨ませるように形成されている。第１の薄膜磁気ヘッド３の上面には、略全面に亘り非磁性層４が形成されている。 The magnetic head 1 will be described in more detail. The first thin film magnetic head 3 has a structure in which a lower magnetic pole 6, an interlayer insulating film 7, and an upper magnetic pole 8 are sequentially laminated on the upper surface of the substrate 2. The first thin film magnetic head 3 has a coil 9 formed in a thin film shape in the interlayer insulating film 7. The lower magnetic pole 6 and the upper magnetic pole 8, which are write magnetic poles, are in magnetic contact near the center of the wound coil 9 and have a magnetic gap G1 having a predetermined interval on the sliding surface 1a side with the magnetic tape. Formed to compose. The first thin-film magnetic head 3 is formed on the sliding surface 1a of the thin-film magnetic head 1 so as to face the lower magnetic pole 6 and the upper magnetic pole 8 that define the track width. On the upper surface of the first thin film magnetic head 3, a nonmagnetic layer 4 is formed over substantially the entire surface.

また、第１の薄膜磁気ヘッド３のトラック幅に比べて狭トラック幅とされた第２の薄膜磁気ヘッド５は、非磁性層４を介して第１の薄膜磁気ヘッド３上に積層される。第２の薄膜磁気ヘッド５は、非磁性層４の上面に、下部磁極１０と、層間絶縁膜１１と、上部磁極１２とが順次積層された構造とされる。第２の薄膜磁気ヘッド５の構造は、基本的には先の第１の薄膜磁気ヘッド３と同様であり、層間絶縁膜１１中に薄膜状に形成されたコイル１３を有する。下部磁極１０と上部磁極１２とは、巻回されたコイル１３の中心付近で接触するとともに、磁気テープとの摺動面１ａ側で所定間隔を有する磁気ギャップＧ２を構成するように形成される。第２の薄膜磁気ヘッド５は、薄膜型磁気ヘッド１の摺動面１ａにおいて、トラック幅を規定する下部磁極１０及び上部磁極１２を臨ませるように形成されている。第２の薄膜磁気ヘッド５の上面には、略全面に亘って保護層１４が形成されている。 The second thin film magnetic head 5 having a narrower track width than the first thin film magnetic head 3 is stacked on the first thin film magnetic head 3 via the nonmagnetic layer 4. The second thin film magnetic head 5 has a structure in which a lower magnetic pole 10, an interlayer insulating film 11, and an upper magnetic pole 12 are sequentially stacked on the upper surface of the nonmagnetic layer 4. The structure of the second thin film magnetic head 5 is basically the same as that of the first thin film magnetic head 3 and has a coil 13 formed in a thin film shape in the interlayer insulating film 11. The lower magnetic pole 10 and the upper magnetic pole 12 are formed so as to be in contact with each other in the vicinity of the center of the wound coil 13 and to form a magnetic gap G2 having a predetermined interval on the sliding surface 1a side with the magnetic tape. The second thin film magnetic head 5 is formed on the sliding surface 1a of the thin film magnetic head 1 so as to face the lower magnetic pole 10 and the upper magnetic pole 12 that define the track width. On the upper surface of the second thin film magnetic head 5, a protective layer 14 is formed over substantially the entire surface.

なお、前述の磁気ヘッド１において、第１の薄膜磁気ヘッド３と第２の薄膜磁気ヘッド５は、磁気ギャップＧ１と磁気ギャップＧ２の一方のギャップ端位置が略一致するように配置されている
次に、本発明を適用した磁気ヘッド１により、ヘリカルスキャン方式で磁気テープにデータの記録を行う場合について、図２を参照しながら説明する。 In the magnetic head 1 described above, the first thin film magnetic head 3 and the second thin film magnetic head 5 are arranged so that the gap end positions of one of the magnetic gap G1 and the magnetic gap G2 substantially coincide with each other. A case where data is recorded on the magnetic tape by the helical scan method using the magnetic head 1 to which the present invention is applied will be described with reference to FIG.

図２では、記録用磁気ヘッドとして、本発明を適用した一対の磁気ヘッド１ａ及び１ｂを、回転ドラムの外周面の対極位置に配置して磁気テープに記録を行う場合について説明する。磁気ヘッド１ａ及び１ｂのアジマス角度は互いに逆方向である。図２（ａ）に示すように、例えばトラックピッチ（チャンネル段差）ＴｐＡを採用する第１のフォーマットで記録を行う場合には、トラック幅Ｗ１を有する第１の薄膜磁気ヘッド３ａ、３ｂを用い、アジマス角の極性が互いに逆のトラックを交互に順次形成する。アジマス角の極性が互いに逆のトラックを交互に順次形成することにより、隣接トラックによるクロストーク成分が低減される。この際、一方の第１の薄膜磁気ヘッド３ａで記録されたトラックの幅方向の一方の縁を、他方の第１の薄膜磁気ヘッド３ｂで重ね書きするように記録を行う。これにより、トラックピッチＴｐＡを有するトラックパターンが得られる。 In FIG. 2, a case where a pair of magnetic heads 1a and 1b to which the present invention is applied is arranged at a counter electrode position on the outer peripheral surface of a rotating drum and recording is performed on a magnetic tape will be described. The azimuth angles of the magnetic heads 1a and 1b are opposite to each other. As shown in FIG. 2A, for example, when recording is performed in a first format employing a track pitch (channel step) TpA, first thin film magnetic heads 3a and 3b having a track width W1 are used. Tracks having opposite azimuth angle polarities are alternately formed. By alternately and sequentially forming tracks having opposite azimuth angle polarities, crosstalk components due to adjacent tracks are reduced. At this time, recording is performed such that one edge in the width direction of the track recorded by one first thin film magnetic head 3a is overwritten by the other first thin film magnetic head 3b. Thereby, a track pattern having a track pitch TpA is obtained.

また、図２（ｂ）に示すように、例えば狭トラックピッチＴｐＢを採用する第２のフォーマットで記録を行う場合には、第１の薄膜磁気ヘッド３から第２の薄膜磁気ヘッド５に切り替えて記録を行う。図２（ｂ）に示すように、幅狭のトラック幅Ｗ２を有する第２の薄膜磁気ヘッド５ａ、５ｂを用い、アジマス角の極性が互いに逆のトラックを交互に順次形成するとともに、一方の第２の薄膜磁気ヘッド５ａで記録されたトラックの幅方向の一方の縁を、他方の第２の薄膜磁気ヘッド５ｂで重ね書きするように記録を行う。これにより、トラックピッチＴｐＢを有するトラックパターンが得られる。 As shown in FIG. 2B, for example, when recording is performed in the second format employing the narrow track pitch TpB, the first thin film magnetic head 3 is switched to the second thin film magnetic head 5. Make a record. As shown in FIG. 2 (b), the second thin film magnetic heads 5a and 5b having a narrow track width W2 are used to alternately and alternately form tracks having opposite azimuth angle polarities. Recording is performed such that one edge in the width direction of the track recorded by the second thin film magnetic head 5a is overwritten by the other second thin film magnetic head 5b. Thereby, a track pattern having a track pitch TpB is obtained.

以上のように、磁気ヘッド１は、異なるトラック幅を有する２種類の書き込み用磁極（薄膜磁気ヘッド）を備えるので、異なるフォーマットに対応可能であり、例えばＤＤＳのような下位互換性を保持する磁気記録再生装置に搭載されるマルチチャンネル型磁気ヘッドとして利用でき、さらなる転送レートの向上に貢献できる。 As described above, since the magnetic head 1 includes two types of write magnetic poles (thin film magnetic heads) having different track widths, the magnetic head 1 is compatible with different formats, for example, a magnetic field that maintains backward compatibility such as DDS. It can be used as a multi-channel magnetic head mounted on a recording / reproducing apparatus, and can contribute to further improvement in transfer rate.

また、磁気ヘッド１によれば、各薄膜磁気ヘッド３，５が薄膜形成技術により製造されるため、従来の機械加工による製造工程に比べてトラック幅やトラックピッチ（チャンネル段差）をサブマイクロメーター単位で高精度に位置合わせすることができる。したがって、容易且つ高精度にトラック幅やトラックピッチの調整を行うことができる。 Further, according to the magnetic head 1, since each thin film magnetic head 3 and 5 is manufactured by a thin film forming technique, the track width and the track pitch (channel step) are set in units of submicrometers as compared with the manufacturing process by conventional machining. Can be aligned with high accuracy. Therefore, the track width and the track pitch can be adjusted easily and with high accuracy.

ところで、図１における磁気ヘッド１においては、使用するフォーマットによっては、第１の薄膜磁気ヘッド３と第２の薄膜磁気ヘッド５とで、隣接する片側の磁極を共通化することができる。このような構成を有する磁気ヘッドについて、以下、図３を参照しながら説明する。 By the way, in the magnetic head 1 in FIG. 1, depending on the format used, the first thin film magnetic head 3 and the second thin film magnetic head 5 can share the magnetic poles on one side adjacent to each other. The magnetic head having such a configuration will be described below with reference to FIG.

図３に示す磁気ヘッド３１は、図１に示す磁気ヘッド１と同様に、薄膜形成技術によって常法に従い形成される。図３（ａ）において、磁気ヘッド３１は、Ａｌ₂Ｏ₃−ＴｉＣやＡｌ₂Ｏ₃等からなる基板３２上に、第１の薄膜磁気ヘッド３３と、第２の薄膜磁気ヘッド３４とをこの順に有する。図３（ｂ）に示すように、第１の薄膜磁気ヘッド３１と第２の薄膜磁気ヘッド３４とはトラック幅が互いに異なり、第１の薄膜磁気ヘッド３１のトラック幅は、第２の薄膜磁気ヘッド３４のトラック幅に比べて幅広とされている。 The magnetic head 31 shown in FIG. 3 is formed according to a conventional method by a thin film forming technique, similarly to the magnetic head 1 shown in FIG. In FIG. 3A, a magnetic head 31 includes a first thin film magnetic head 33 and a second thin film magnetic head 34 on a substrate 32 made of Al ₂ O ₃ —TiC, Al ₂ O ₃ or the like. Have in order. As shown in FIG. 3B, the first thin film magnetic head 31 and the second thin film magnetic head 34 have different track widths, and the track width of the first thin film magnetic head 31 is the second thin film magnetic head. It is wider than the track width of the head 34.

図３（ａ）に示すように、磁気ヘッド３１は、第１の薄膜磁気ヘッド３３と第２の薄膜磁気ヘッド３４との間に非磁性層が介在せず、第１の薄膜磁気ヘッド３３における上部磁極と、第２の薄膜磁気ヘッド３４における下部磁極との機能を兼ねる共通磁極３５を有する。 As shown in FIG. 3A, the magnetic head 31 has no nonmagnetic layer between the first thin film magnetic head 33 and the second thin film magnetic head 34. It has a common magnetic pole 35 that also functions as the upper magnetic pole and the lower magnetic pole in the second thin film magnetic head 34.

磁気ヘッド３１についてより詳細に説明すると、第１の薄膜磁気ヘッド３３は、基板３２の上面に、下部磁極３６と、層間絶縁膜３７と、共通磁極３５とが順次積層された構造とされている。また、第１の薄膜磁気ヘッド３３は、層間絶縁膜３７中に薄膜状に形成されたコイル３８を有する。下部磁極３６と共通磁極３５とは、巻回されたコイル３８の中心付近で接触するとともに、磁気テープとの摺動面３１ｓ側で所定間隔を有する磁気ギャップＧ３１を構成するように形成されている。第１の薄膜磁気ヘッド３３は、薄膜型磁気ヘッド３１の摺動面３１ａにおいて、トラック幅を規定する下部磁極３６及び共通磁極３５を臨ませるように形成されている。 The magnetic head 31 will be described in more detail. The first thin film magnetic head 33 has a structure in which a lower magnetic pole 36, an interlayer insulating film 37, and a common magnetic pole 35 are sequentially stacked on the upper surface of a substrate 32. . The first thin film magnetic head 33 includes a coil 38 formed in a thin film shape in an interlayer insulating film 37. The lower magnetic pole 36 and the common magnetic pole 35 are formed in contact with each other in the vicinity of the center of the wound coil 38 and to form a magnetic gap G31 having a predetermined interval on the sliding surface 31s side with the magnetic tape. . The first thin film magnetic head 33 is formed on the sliding surface 31 a of the thin film type magnetic head 31 so as to face the lower magnetic pole 36 and the common magnetic pole 35 that define the track width.

また、第１の薄膜磁気ヘッド３３のトラック幅に比べて狭いトラック幅を有する第２の薄膜磁気ヘッド３４は、共通磁極３５と、層間絶縁膜３９と、上部磁極４０とが順次積層された構造とされている。また、第２の薄膜磁気ヘッド３４は、層間絶縁膜３９中に薄膜状に形成されたコイル４１を有する。共通磁極３５と上部磁極４０とは、巻回されたコイル４１の中心付近で接触するとともに、磁気テープとの摺動面３１ｓ側で所定間隔を有する磁気ギャップＧ３２を構成するように形成されている。第２の薄膜磁気ヘッド３４は、磁気ヘッド３１の摺動面３１ｓにおいて、トラック幅を規定する共通磁極３５及び上部磁極４０を臨ませるように形成されている。第２の薄膜磁気ヘッド３４の上面には、略全面に亘り保護層４２が形成されている。 The second thin film magnetic head 34 having a track width narrower than the track width of the first thin film magnetic head 33 has a structure in which a common magnetic pole 35, an interlayer insulating film 39, and an upper magnetic pole 40 are sequentially stacked. It is said that. The second thin film magnetic head 34 includes a coil 41 formed in a thin film shape in an interlayer insulating film 39. The common magnetic pole 35 and the upper magnetic pole 40 are formed so as to be in contact with each other in the vicinity of the center of the wound coil 41 and to form a magnetic gap G32 having a predetermined interval on the sliding surface 31s side with the magnetic tape. . The second thin film magnetic head 34 is formed on the sliding surface 31 s of the magnetic head 31 so as to face the common magnetic pole 35 and the upper magnetic pole 40 that define the track width. On the upper surface of the second thin film magnetic head 34, a protective layer 42 is formed over substantially the entire surface.

次に、磁気ヘッド３１により、ヘリカルスキャン方式で磁気テープにデータの記録を行う場合について、図４を参照しながら説明する。 Next, the case where data is recorded on the magnetic tape by the helical scan method using the magnetic head 31 will be described with reference to FIG.

図４では、図２と同様に、記録用磁気ヘッドとして、本発明を適用した一対の磁気ヘッド３１ａ及び３１ｂを、回転ドラムの外周面の対極位置に配置して磁気テープに記録を行う場合について説明する。磁気ヘッド３１ａ及び３１ｂのアジマス角度は互いに逆方向とされている。図４（ａ）に示すように、例えば幅広のトラックピッチＴｐＣを採用する第３のフォーマットで記録を行う場合には、幅広のトラック幅Ｗ３１を有する第１の薄膜磁気ヘッド３３ａ、３３ｂを用い、アジマス角の極性が互いに逆のトラックを交互に順次形成する。アジマス角の極性が互いに逆のトラックを交互に順次形成することにより、隣接トラックによるクロストーク成分が低減される。この際、一方の第１の薄膜磁気ヘッド３３ａで記録されたトラックの幅方向の一方の縁を、他方の第１の薄膜磁気ヘッド３３ｂで重ね書きするように、記録を行う。これにより、トラックピッチＴｐＣを有するトラックパターンが得られる。 In FIG. 4, as in FIG. 2, as a recording magnetic head, a pair of magnetic heads 31a and 31b to which the present invention is applied are arranged at the counter electrode position on the outer peripheral surface of the rotating drum and recording is performed on the magnetic tape. explain. The azimuth angles of the magnetic heads 31a and 31b are opposite to each other. As shown in FIG. 4A, for example, when recording in the third format employing a wide track pitch TpC, the first thin film magnetic heads 33a and 33b having a wide track width W31 are used. Tracks having opposite azimuth angle polarities are alternately formed. By alternately and sequentially forming tracks having opposite azimuth angle polarities, crosstalk components due to adjacent tracks are reduced. At this time, recording is performed such that one edge in the width direction of the track recorded by one first thin film magnetic head 33a is overwritten by the other first thin film magnetic head 33b. Thereby, a track pattern having a track pitch TpC is obtained.

また、図４（ｂ）に示すように、例えば狭トラックピッチＴｐＤを採用する第４のフォーマットで記録を行う場合には、第１の薄膜磁気ヘッド３３から第２の薄膜磁気ヘッド３４に切り替えて記録を行う。図４（ｂ）に示すように、幅狭のトラック幅Ｗ３２を有する第２の薄膜磁気ヘッド３４ａ、３４ｂを用い、アジマス角の極性が互いに逆のトラックを交互に順次形成するとともに、一方の第２の薄膜磁気ヘッド３４ａで記録されたトラックの幅方向の一方の縁を、他方の第２の薄膜磁気ヘッド３４ｂで重ね書きするように、記録を行う。これにより、トラックピッチＴｐＤを有するトラックパターンが得られる。 As shown in FIG. 4B, for example, when recording is performed in a fourth format employing a narrow track pitch TpD, the first thin film magnetic head 33 is switched to the second thin film magnetic head 34. Make a record. As shown in FIG. 4B, the second thin film magnetic heads 34a and 34b having a narrow track width W32 are used to alternately and sequentially form tracks having opposite azimuth angle polarities. Recording is performed such that one edge in the width direction of the track recorded by the second thin film magnetic head 34a is overwritten by the other second thin film magnetic head 34b. Thereby, a track pattern having a track pitch TpD is obtained.

以上のように、磁気ヘッド３１は、２種類の書き込み用磁極（薄膜磁気ヘッド）を備えるので、異なるフォーマットのトラックピッチに対応可能であり、例えばＤＤＳのような下位互換性を保持する磁気記録再生装置に搭載されるマルチチャンネル型磁気ヘッドとして利用できる。 As described above, since the magnetic head 31 includes two types of magnetic poles for writing (thin film magnetic head), it can cope with track pitches of different formats, for example, magnetic recording / reproducing that maintains backward compatibility such as DDS. It can be used as a multi-channel magnetic head mounted on the apparatus.

また、第１の薄膜磁気ヘッド３３の上部磁極と第２の薄膜磁気ヘッド３４の下部磁極とを同一の部材で構成すると、図５に示すように、長さの長い共通磁極３５の長さ方向中途位置において、第２の薄膜磁気ヘッド３４の上部磁極４０の端部との間に図中点線で示すようなフリンジ磁界が発生するため、記録特性への悪影響が懸念されるが、図３に示す磁気ヘッド３１でヘリカルスキャン方式によりトラックパターンのトラック幅方向の一部を重ね書きするように記録する場合、前記フリンジ磁界の影響を受けることなく、良好な記録特性で記録を行うことができる。図４（ｂ）における磁気ヘッド３１ａのトラックパターンを例にとると、磁気ヘッド３１ａの第２の薄膜磁気ヘッド３４ａによるトラックパターンのうちフリンジ磁界の影響を受ける領域は、トラックパターンのうち幅方向の一方の縁付近であって、追従する第２の薄膜磁気ヘッド３４ｂの磁界の乱れのない端部によって重ね書きされるためである。したがって、磁気ヘッド３１は、第１の薄膜磁気ヘッド３３の上部磁極と第２の薄膜磁気ヘッド３４の下部磁極とを共通化することによる記録特性の劣化を生じることなく、異なるフォーマットに対応可能である。 Further, when the upper magnetic pole of the first thin film magnetic head 33 and the lower magnetic pole of the second thin film magnetic head 34 are made of the same member, as shown in FIG. Since a fringe magnetic field as shown by a dotted line in the figure is generated between the end of the upper magnetic pole 40 of the second thin-film magnetic head 34 at the midway position, there is a concern about an adverse effect on recording characteristics. When recording is performed so that a part of the track pattern in the track width direction is overwritten by the helical scan method with the magnetic head 31 shown, recording can be performed with good recording characteristics without being affected by the fringe magnetic field. Taking the track pattern of the magnetic head 31a in FIG. 4B as an example, the region affected by the fringe magnetic field in the track pattern by the second thin film magnetic head 34a of the magnetic head 31a is the width direction of the track pattern. This is because the overwriting is performed by the end of the second thin film magnetic head 34b that follows the edge of the second thin film magnetic head 34b that does not disturb the edge. Therefore, the magnetic head 31 can cope with different formats without deteriorating the recording characteristics due to the common use of the upper magnetic pole of the first thin film magnetic head 33 and the lower magnetic pole of the second thin film magnetic head 34. is there.

以上のように、磁気ヘッド３１は、異なるトラック幅を有する２種類の磁気ヘッドを備えるので、異なるフォーマットに対応可能であり、例えばＤＤＳのような下位互換性を保持する磁気記録再生装置に搭載されるマルチチャンネル型磁気ヘッドとして利用でき、さらなる転送レートの向上に貢献できる。 As described above, since the magnetic head 31 includes two types of magnetic heads having different track widths, the magnetic head 31 can support different formats, and is mounted on a magnetic recording / reproducing apparatus that maintains backward compatibility, such as DDS. It can be used as a multi-channel magnetic head and contributes to further improvement in transfer rate.

また、磁気ヘッド３１によれば、各薄膜磁気ヘッド３３，３４が薄膜形成技術により製造されるため、製造工程においてトラック幅やトラックピッチ（チャンネル段差）をサブマイクロメーター単位で高精度に位置合わせすることができる。したがって、容易且つ高精度にトラック幅やトラックピッチの調整を行うことができる。 Further, according to the magnetic head 31, since the thin film magnetic heads 33 and 34 are manufactured by the thin film formation technique, the track width and the track pitch (channel step) are aligned with high accuracy in units of submicrometers in the manufacturing process. be able to. Therefore, the track width and the track pitch can be adjusted easily and with high accuracy.

（ａ）は本発明を適用した磁気ヘッドの一例を示す要部概略断面図であり、（ｂ）は磁気テープ摺動方向から見た磁気ヘッドを模式的に示す図である。(A) is a principal part schematic sectional drawing which shows an example of the magnetic head to which this invention is applied, (b) is a figure which shows typically the magnetic head seen from the magnetic tape sliding direction. （ａ）は図１の磁気ヘッドにおける第１の薄膜磁気ヘッドにより形成されるトラックパターンを模式的に示す図であり、（ｂ）は図１の磁気ヘッドにおける第２の薄膜磁気ヘッドにより形成されるトラックパターンを模式的に示す図である。(A) is a figure which shows typically the track pattern formed with the 1st thin film magnetic head in the magnetic head of FIG. 1, (b) is formed with the 2nd thin film magnetic head in the magnetic head of FIG. FIG. 3 is a diagram schematically showing a track pattern. （ａ）は本発明を適用した磁気ヘッドの変形例を示す要部概略断面図であり、（ｂ）は磁気テープ摺動方向から見た磁気ヘッドを模式的に示す図である。(A) is a principal part schematic sectional drawing which shows the modification of the magnetic head to which this invention is applied, (b) is a figure which shows typically the magnetic head seen from the magnetic tape sliding direction. （ａ）は図３の磁気ヘッドにおける第１の薄膜磁気ヘッドにより形成されるトラックパターンを模式的に示す図であり、（ｂ）は図３の磁気ヘッドにおける第２の薄膜磁気ヘッドにより形成されるトラックパターンを模式的に示す図である。(A) is a figure which shows typically the track pattern formed with the 1st thin film magnetic head in the magnetic head of FIG. 3, (b) is formed with the 2nd thin film magnetic head in the magnetic head of FIG. FIG. 3 is a diagram schematically showing a track pattern. 図３に示す磁気ヘッドにおいてフリンジ磁界が発生する状態を模式的に示す図である。FIG. 4 is a diagram schematically showing a state in which a fringe magnetic field is generated in the magnetic head shown in FIG. 3.

Explanation of symbols

１磁気ヘッド、２基板、３第１の薄膜磁気ヘッド、４非磁性層、５第２の薄膜磁気ヘッド、６下部磁極、７層間絶縁膜、８上部磁極、９コイル、１０下部磁極、１１層間絶縁膜、１２上部磁極、１３コイル、１４保護層、３１磁気ヘッド、３２基板、３３第１の薄膜磁気ヘッド、３４第２の薄膜磁気ヘッド、３５共通磁極、３６下部磁極、３７層間絶縁膜、３８コイル、３９層間絶縁膜、４０上部磁極、４１コイル、４２保護層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic head, 2 Substrate, 3 1st thin film magnetic head, 4 Nonmagnetic layer, 5 2nd thin film magnetic head, 6 Lower magnetic pole, 7 Interlayer insulation film, 8 Upper magnetic pole, 9 Coil, 10 Lower magnetic pole, 11 Interlayer Insulating film, 12 Upper magnetic pole, 13 Coil, 14 Protective layer, 31 Magnetic head, 32 Substrate, 33 First thin film magnetic head, 34 Second thin film magnetic head, 35 Common magnetic pole, 36 Lower magnetic pole, 37 Interlayer insulating film, 38 coils, 39 interlayer insulation film, 40 upper magnetic pole, 41 coils, 42 protective layer

Claims

A multi-channel magnetic head device having a multi-channel magnetic head,
The magnetic head of each channel has a first write magnetic pole having a first track width and a second write magnetic pole having a second track width different from the first track width. Magnetic head device.

2. The magnetic head according to claim 1, wherein in the magnetic head of each channel, the first write magnetic pole and the second write magnetic pole are arranged so that one gap end position is substantially coincident. apparatus.

3. A magnetic head device according to claim 1, wherein one of the first magnetic pole for writing and the second magnetic pole for writing has a common magnetic pole on one side.

4. The magnetic head device according to claim 1, wherein the first write magnetic pole and the second write magnetic pole are each a magnetic pole of a thin film magnetic head.

5. The magnetic head device according to claim 4, wherein the magnetic head of each channel is formed by stacking thin film magnetic heads.