JP2008000079A - Physiological sensor for cellular electricity - Google Patents

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Koji Ushio
浩司 牛尾
Masaya Nakatani
将也 中谷
Soichiro Hiraoka
聡一郎 平岡
Akiyoshi Oshima
章義 大島
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sensor by solving a problem such that although a sucking means from lower directional side of a penetrated hole is used for holding and closely adhering a cell to the penetrated hole, in the case of presenting a bubble at the inside of the penetrated hole, troubles are caused for stable holding of the cell and for a highly accurate measurement. <P>SOLUTION: This physiological sensor for cellular electricity is equipped with a well 1 having a first penetrated hole 5, and a holding plate 2 having a second penetrated hole 6 making a contact with the lower direction of the well 1, and contacting a flow passage plate 3 having a cavity 8 equipped with the flowing-in port and flowing-out port at its both ends in the lower direction of the holding plate 2, and also contacting a sensor chip 4 having a diaphragm 9 equipped with a third penetrated hole 7 at the inside of the second penetrated hole 6 is constituted by installing at least one vibration element 13 for opposing to the third penetrated hole 7. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、細胞の活動によって発生する物理化学的変化を測定するために用いられる細胞内電位あるいは細胞外電位等の細胞電気生理現象を測定するための細胞電気生理センサに関するものである。   The present invention relates to a cell electrophysiological sensor for measuring a cell electrophysiological phenomenon such as an intracellular potential or an extracellular potential used for measuring a physicochemical change generated by a cell activity.

従来、電気生理学におけるパッチクランプ法は、細胞膜に存在するイオンチャンネル機能を測定する方法として知られており、このパッチクランプ法によってイオンチャンネルの様々な機能が解明されてきた。そして、イオンチャンネルの働きは細胞学において重要な関心ごとであり、これは薬剤の開発にも応用されている。   Conventionally, the patch clamp method in electrophysiology is known as a method for measuring the ion channel function existing in the cell membrane, and various functions of the ion channel have been elucidated by this patch clamp method. And the action of ion channels is an important concern in cytology, which has also been applied to drug development.

しかしながら、一方でパッチクランプ法は測定技術に微細なマイクロピペットを1個の細胞に高い精度で挿入するという極めて高い技能を必要としているため、熟練作業者が必要であり、高いスループットで測定を必要とする場合には適切な方法でない。   However, the patch clamp method, on the other hand, requires an extremely high skill to insert a fine micropipette into a single cell with a high degree of accuracy, and requires a skilled worker and requires high throughput. Is not an appropriate method.

このため、微細加工技術を利用した平板型プローブの開発がなされており、これらは個々の細胞についてマイクロピペットの挿入を必要としない自動化システムに適している。   For this reason, flat-type probes utilizing microfabrication techniques have been developed, which are suitable for automated systems that do not require the insertion of micropipettes for individual cells.

例えば、2つの領域を分離するキャリアに穴を設け、このキャリアの上下に設置した電極によって電界を発生させることで細胞を穴に効率よく保持し、上下の電極間で電気的測定を行うことで細胞の電気生理的測定を行う方法について開示している(例えば、特許文献1参照)。   For example, by providing a hole in the carrier that separates the two regions, generating an electric field by the electrodes placed above and below the carrier, efficiently holding the cells in the hole, and performing an electrical measurement between the upper and lower electrodes A method for performing electrophysiological measurement of cells is disclosed (for example, see Patent Document 1).

また、一つのチャネルが貫通している表面に、細胞の下面から吸引して位置決めした後、圧力差を増大させて細胞の下面の一部を破裂させることにより、液体中に含まれる細胞の測定を行う方法について開示している(例えば、特許文献2参照)。   In addition, after measuring and positioning from the lower surface of the cell to the surface through which one channel penetrates, measuring the cells contained in the liquid by increasing the pressure difference and rupturing a part of the lower surface of the cell Is disclosed (for example, see Patent Document 2).

これらに開示しているように、平板に作成された穴(貫通孔)はガラスピペットにおける先端穴と同様の役割を果たし、高精度な細胞の電気生理現象を記録できるとともに、平板の裏面側からの吸引などの方法により、細胞が自動的に引きつけられて、細胞を容易に保持できるという利点を有している。
特表2002−508516号公報 特表2003−511699号公報
As disclosed in these, the hole (through hole) created in the flat plate plays the same role as the tip hole in the glass pipette, and can record the electrophysiological phenomenon of the cell with high precision and from the back side of the flat plate. The cell is automatically attracted by a method such as suction, and thus has an advantage that the cell can be easily held.
Special table 2002-508516 gazette Japanese translation of PCT publication No. 2003-511699

前記従来の構成における細胞電気生理センサの主な目的は細胞の電気生理現象を従来のパッチクランプ法で使われる微細プローブを用いることなく簡便に計測することであり、そのためには確実に平板の一部に形成した貫通孔(穴)に細胞を密着保持させて測定することが必要である。   The main purpose of the cell electrophysiological sensor in the conventional configuration is to easily measure the electrophysiological phenomenon of cells without using a fine probe used in the conventional patch clamp method. It is necessary to measure the cells by closely holding the cells in the through-holes (holes) formed in the part.

しかしながら、特に気泡が貫通孔(穴)の中に残存した場合、高精度な細胞の電気生理現象の測定ができなくなるという課題を有していた。   However, particularly when bubbles remain in the through holes (holes), there is a problem that it is impossible to measure the electrophysiological phenomenon of the cells with high accuracy.

本発明は、前記従来の課題を解決するもので、貫通孔の内部に気泡の残留を少なくし、高精度に電気生理現象を測定することが可能な細胞電気生理センサを提供することを目的とする。   The present invention solves the above-described conventional problems, and an object thereof is to provide a cell electrophysiological sensor capable of measuring electrophysiological phenomena with high accuracy by reducing residual bubbles in a through hole. To do.

前記従来の課題を解決するために、本発明は、第三の貫通孔を有するウエルと、このウエルの下方に当接した第二の貫通孔を有した保持プレートと、この保持プレートの下方に液体の流入口と流出口を両端に備えた空洞を有した流路プレートを当接し、前記第二の貫通孔の内部に第三の貫通孔を備えたダイアフラムを有したセンサチップを当接した細胞電気生理センサであって、前記第三の貫通孔に対向するように振動子を少なくとも一つ以上設けた構成とするものである。   In order to solve the above-described conventional problems, the present invention provides a well having a third through hole, a holding plate having a second through hole in contact with the lower portion of the well, and a lower portion of the holding plate. A flow path plate having a cavity having a liquid inlet and an outlet at both ends is contacted, and a sensor chip having a diaphragm having a third through hole is contacted inside the second through hole. In the cell electrophysiological sensor, at least one vibrator is provided so as to face the third through hole.

本発明の細胞電気生理センサは、細胞を保持するための貫通孔の内部の閉空間における気泡の残留を少なくすることによって、安定した細胞の保持を実現した細胞電気生理センサを実現し、電気生理現象を高精度に測定することができる。   The cell electrophysiological sensor of the present invention realizes a cell electrophysiological sensor that realizes stable cell retention by reducing the remaining of bubbles in the closed space inside the through-hole for retaining cells, and thereby provides electrophysiology. The phenomenon can be measured with high accuracy.

(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1における細胞電気生理センサについて図面を参照しながら説明する。
(Embodiment 1)
Hereinafter, the cell electrophysiological sensor according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は本発明の実施の形態1における細胞電気生理センサの断面図であり、図2はその要部拡大断面図である。   FIG. 1 is a cross-sectional view of a cell electrophysiological sensor according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of an essential part thereof.

図1および図2において、1は樹脂よりなるウエルであり、このウエル1に細胞外液18を貯留しておくための第一の貫通孔5を形成している。この第一の貫通孔5は断面形状をテーパー状に形成しておくことによって、電解液などの液体または細胞などを投入するときに効率が良い。   In FIG. 1 and FIG. 2, reference numeral 1 denotes a well made of resin, and a first through hole 5 for storing the extracellular fluid 18 is formed in the well 1. The first through-hole 5 is formed with a tapered cross-sectional shape, so that it is efficient when a liquid such as an electrolytic solution or cells are introduced.

また、前記ウエル1の下方には第二の貫通孔6を有した樹脂よりなる保持プレート2を当接しており、この保持プレート2の第二の貫通孔6の内部には、少なくとも一つの第三の貫通孔7を備えたダイアフラム9を有したセンサチップ4がセットされている。このセンサチップ4はシリコン基板またはシリコン酸化物をフォトリソグラフィー、ドライエッチングなどの半導体加工技術によって形成することによって効率良く作製することが可能であり、そのときの寸法形状としては、ダイアフラム9の厚み;20μm、第三の貫通孔7の開口径:5μmφ以下の形状で一体的に形成している。この第三の貫通孔7の開口径は細胞を保持するために最適な大きさの寸法形状とすることができ、この第三の貫通孔7の開口径は細胞20の大きさによって適宜選択することができる。   A holding plate 2 made of resin having a second through hole 6 is in contact with the lower portion of the well 1, and at least one first through hole is formed in the second through hole 6 of the holding plate 2. A sensor chip 4 having a diaphragm 9 having three through holes 7 is set. The sensor chip 4 can be efficiently manufactured by forming a silicon substrate or silicon oxide by a semiconductor processing technique such as photolithography or dry etching, and the dimension and shape at that time includes the thickness of the diaphragm 9; 20 μm, the diameter of the third through-hole 7 is integrally formed with a shape of 5 μmφ or less. The opening diameter of the third through-hole 7 can be set to an optimum size for holding cells, and the opening diameter of the third through-hole 7 is appropriately selected according to the size of the cell 20. be able to.

さらに、前記保持プレート2の下方には、その両端に液体を流出入させるための空洞8を有した流路プレート3を当接して細胞電気生理センサを構成しており、前記第三の貫通孔7の上面に細胞20を密着保持し、この細胞の電気生理現象を測定することができるようになっている。そして、前記空洞8には入口16から細胞内液19を充填し、出口17から吸引ポンプなどを用いて吸引することによって細胞内液19を充填することができる。   Further, a cell electrophysiological sensor is configured below the holding plate 2 by contacting a flow path plate 3 having cavities 8 for allowing liquid to flow in and out at both ends thereof, and the third through hole. The cell 20 is held in close contact with the upper surface of the cell 7, and the electrophysiological phenomenon of the cell can be measured. The cavity 8 can be filled with the intracellular liquid 19 by filling the intracellular liquid 19 from the inlet 16 and sucking from the outlet 17 using a suction pump or the like.

また、前記ウエル1、保持プレート2、および流路プレート3はすべて樹脂で構成しておくと都合がよい、特に好ましくは熱可塑性樹脂を用いることがより好ましい。これにより、これらの材料は熱溶着などの手段を用いることによって接着剤を使用することなく互いに強固に接合することができる。さらに好ましくは、これらの熱可塑性樹脂はポリカーボネート(PC)、ポリエチレン(PE)、オレフィンポリマー、ポリメタクリル酸メチルアセテート(PMMA)のいずれか、またはこれらの組み合わせを用いることである。これらの材料は熱溶着によって接合を効率良く行いやすい。さらに好ましくは、これら熱可塑性樹脂が環状オレフィンポリマー、線状オレフィンポリマー、またはこれらが重合した環状オレフィンコポリマー、またはポリエチレン(PE)からなる熱可塑性樹脂が作業性、製造コスト、材料の入手性の観点から好ましい。特に、環状オレフィンコポリマーは透明性、アルカリ・酸などの無機系薬剤に対する耐性が強く、本発明の製造工程もしくは使用環境に適している。   Further, it is convenient that the well 1, the holding plate 2 and the flow path plate 3 are all made of resin, and it is particularly preferable to use a thermoplastic resin. Thereby, these materials can be firmly bonded to each other without using an adhesive by using means such as heat welding. More preferably, these thermoplastic resins are polycarbonate (PC), polyethylene (PE), olefin polymer, polymethyl methacrylate acetate (PMMA), or a combination thereof. These materials are easily joined efficiently by heat welding. More preferably, the thermoplastic resin is a cyclic olefin polymer, a linear olefin polymer, a cyclic olefin copolymer obtained by polymerizing them, or a thermoplastic resin made of polyethylene (PE). From the viewpoint of workability, production cost, and availability of materials. To preferred. In particular, the cyclic olefin copolymer is highly transparent and highly resistant to inorganic chemicals such as alkalis and acids, and is suitable for the production process or use environment of the present invention.

そして、前記第三の貫通孔7とダイアフラム9に対向する位置に振動エネルギを発生させるための振動子13を配置し、この振動子13を保持しておくための振動プレート12を設けた構成としている。この振動子13としては、例えば圧電材料を上下の電極で挟んだ構造からなる圧電素子、あるいは電磁コイルからなる電磁素子などを所定の寸法に加工して作製したものを用いることができる。   A vibrator 13 for generating vibration energy is disposed at a position facing the third through hole 7 and the diaphragm 9, and a vibration plate 12 for holding the vibrator 13 is provided. Yes. As the vibrator 13, for example, a piezoelectric element having a structure in which a piezoelectric material is sandwiched between upper and lower electrodes or an electromagnetic element made of an electromagnetic coil or the like processed to a predetermined dimension can be used.

特に、薄膜プロセスによって圧電薄膜を形成することがこの細胞電気生理センサの大きさを考慮すると適している。この圧電薄膜を用いた振動子13は白金などの貴金属電極からなる下部電極の上にPZT薄膜を成膜形成し、このPZT薄膜の上に金電極などの上部電極を形成することによって積層構造を有した圧電薄膜振動子からなる振動子13を形成することができる。このとき、振動プレート12はガラス基板あるいはシリコン基板などの耐熱性を有する材料を用いることが好ましい。   In particular, it is suitable to form a piezoelectric thin film by a thin film process in consideration of the size of the cell electrophysiological sensor. The vibrator 13 using the piezoelectric thin film is formed by forming a PZT thin film on a lower electrode made of a noble metal electrode such as platinum and forming an upper electrode such as a gold electrode on the PZT thin film. The vibrator 13 composed of the piezoelectric thin film vibrator can be formed. At this time, the vibration plate 12 is preferably made of a heat-resistant material such as a glass substrate or a silicon substrate.

また、圧電素子、電磁素子などの振動子13を貼り付ける場合には樹脂材料などを用いることができる。   Further, when the vibrator 13 such as a piezoelectric element or an electromagnetic element is attached, a resin material or the like can be used.

さらに、前記振動子13は細胞外液18の中で用いることを前提としており、前記細胞外液18の中で振動子13に電位あるいは電流を印加することから、絶縁性を確保しておく必要があり、絶縁材にて被覆しておくことが不可欠である。これらの材料としては、二酸化ケイ素、酸化アルミニウムなどの無機酸化物によるパッシベーション膜、あるいはシリコン樹脂、エポキシ樹脂などの防水性に優れた有機絶縁性樹脂が好ましい。   Furthermore, since the vibrator 13 is assumed to be used in the extracellular fluid 18 and a potential or current is applied to the vibrator 13 in the extracellular fluid 18, it is necessary to ensure insulation. It is indispensable to cover with an insulating material. As these materials, a passivation film made of an inorganic oxide such as silicon dioxide or aluminum oxide, or an organic insulating resin having an excellent waterproof property such as a silicon resin or an epoxy resin is preferable.

そして、細胞20を保持した第三の貫通孔7を介して第一の電極14と第二の電極15との間において、細胞20を保持したセンサチップ4で発生する電気的指標、たとえば電位、電流などを測定することができる。ここで、第一の電極14は薄膜プロセスを用いて金属薄膜を形成し、第二の電極15は第二の貫通孔6を塞ぐように導電性樹脂ペーストなどを用いて充填して形成することができる。   An electrical index generated in the sensor chip 4 holding the cell 20 between the first electrode 14 and the second electrode 15 via the third through-hole 7 holding the cell 20, for example, a potential, Current and the like can be measured. Here, the first electrode 14 is formed by forming a metal thin film using a thin film process, and the second electrode 15 is formed by filling with a conductive resin paste or the like so as to close the second through hole 6. Can do.

そして、これらの第一の電極14および第二の電極15は配線パターン電極へと接続している。   The first electrode 14 and the second electrode 15 are connected to the wiring pattern electrode.

次に、本発明の細胞電気生理センサを用いて細胞の電気生理活動を測定する方法について簡単に述べる。   Next, a method for measuring cell electrophysiological activity using the cell electrophysiological sensor of the present invention will be briefly described.

まず、図2に示すようにウエル1に細胞外液18を充填し、空洞8に細胞内液19をウエル1の入口16から出口17にかけて吸引することで充填する。ここで、細胞外液18とは、K+イオンが4mM程度、Na+イオンが145mM程度、Cl-イオンが123mM程度添加された電解液であり、細胞内液19とは、例えば哺乳類筋細胞の場合、代表的にはK+イオンが155mM、Na+イオンが12mM程度、Cl-イオンが4.2mM程度添加された電解液である。 First, as shown in FIG. 2, the well 1 is filled with the extracellular fluid 18, and the cavity 8 is filled by sucking the intracellular fluid 19 from the inlet 16 to the outlet 17 of the well 1. Here, the extracellular fluid 18 is an electrolytic solution to which about 4 mM of K + ions, about 145 mM of Na + ions, and about 123 mM of Cl ions are added. The intracellular fluid 19 is, for example, that of mammalian muscle cells. In this case, it is typically an electrolyte solution to which K + ions are added at about 155 mM, Na + ions at about 12 mM, and Cl ions at about 4.2 mM.

この状態で、ウエル1の内部に設置された第一の電極14と空洞8の内部に設置された第二の電極15との間で、100kΩ〜10MΩ程度の抵抗値を観測することができる。これは細胞外液18あるいは細胞内液19が浸透し、第一の電極14と第二の電極15との間で電気回路が形成されるからである。   In this state, a resistance value of about 100 kΩ to 10 MΩ can be observed between the first electrode 14 installed inside the well 1 and the second electrode 15 installed inside the cavity 8. This is because the extracellular fluid 18 or the intracellular fluid 19 penetrates and an electric circuit is formed between the first electrode 14 and the second electrode 15.

ここで、ウエル1と空洞8とセンサチップ4に細胞外液18を充填する時、第三の貫通孔7が細胞20を保持できる程度の微小な形状となっているため、第三の貫通孔7の中に細胞外液18あるいは細胞内液19が浸透せず気泡が残る場合がある。この気泡が残留した場合、ウエル1の内部に設置した第一の電極14と空洞8に連通するように設置した第二の電極15との間で抵抗値が不安定となったり、細胞20の微小な電気的変化を検出することが困難となる。   Here, when the well 1, cavity 8 and sensor chip 4 are filled with the extracellular fluid 18, the third through-hole 7 has a minute shape enough to hold the cell 20, so the third through-hole 7, the extracellular fluid 18 or the intracellular fluid 19 may not permeate and air bubbles may remain. If this bubble remains, the resistance value becomes unstable between the first electrode 14 installed inside the well 1 and the second electrode 15 installed so as to communicate with the cavity 8, or the cell 20 It becomes difficult to detect minute electrical changes.

そのため、この気泡を除去しない限り、次のステップである細胞20の投入と細胞20の保持、そして最終目的である細胞の電気生理現象の測定を行うことができない。そこで、この残留した気泡を除去するため、第三の貫通孔7およびダイアフラム9に対向するように設けた振動子13によって振動を与えることで、液体である細胞外液18を介して第三の貫通孔7とダイアフラム9に振動エネルギを伝えることができる。そして、このダイアフラム9が振動することによって第三の貫通孔7の内壁が振動・変形し、第三の貫通孔7の内部に留まっていた気泡も振動することになり、第三の貫通孔7の内壁から気泡が離れる機会ができることになる。この振動を連続して、あるいは間欠的に繰り返し与えるなかで、確実に効率良く第三の貫通孔7の内部から気泡を除去することができる。   Therefore, unless the bubbles are removed, the next step, that is, the introduction of the cell 20, the retention of the cell 20, and the measurement of the electrophysiological phenomenon of the cell, which is the final purpose, cannot be performed. Therefore, in order to remove the remaining bubbles, the third through-hole 7 and the diaphragm 9 are vibrated by the vibrator 13 provided so as to face the third through-hole 7 and the diaphragm 9, so that the third liquid is passed through the extracellular fluid 18 that is a liquid. Vibration energy can be transmitted to the through hole 7 and the diaphragm 9. When the diaphragm 9 vibrates, the inner wall of the third through hole 7 vibrates and deforms, and the bubbles remaining in the third through hole 7 also vibrate. There will be an opportunity for bubbles to leave the inner wall. Bubbles can be reliably and efficiently removed from the inside of the third through-hole 7 while applying this vibration continuously or intermittently.

これによって、細胞電気生理現象の測定の第一段階であるウエル1の内部に設置した第一の電極14と空洞8の内部に設置した第二の電極15との間の導通抵抗値を安定して維持することができ、その後の細胞電気生理現象の測定を効率良く、確実に行うことができることになる。   This stabilizes the conduction resistance value between the first electrode 14 installed in the well 1 and the second electrode 15 installed in the cavity 8, which is the first stage of measurement of the cell electrophysiological phenomenon. Thus, the subsequent measurement of cellular electrophysiology can be performed efficiently and reliably.

なお、ダイアフラム9を振動させることから、ダイアフラム9の表面あるいは近傍に付着した気泡も除去できるという効果も有していることはいうまでもない。   Needless to say, since the diaphragm 9 is vibrated, air bubbles adhering to or near the surface of the diaphragm 9 can be removed.

また、第三の貫通孔7の内部に残留した気泡を完全に除去するために最適な位置に振動子13を配置することが重要であり、振動子13と、第三の貫通孔7およびダイアフラム9とが液体18を介して対向する位置に平行で配置することが、最も効率良く振動子13の振動エネルギを第三の貫通孔7およびダイアフラム9に伝達し、気泡の除去に最も効果的な振動を与えることができる。   In addition, it is important to arrange the vibrator 13 at an optimal position in order to completely remove bubbles remaining in the third through hole 7. The vibrator 13, the third through hole 7, and the diaphragm 9 is arranged in parallel with the position facing the liquid 18 via the liquid 18, the vibration energy of the vibrator 13 is most efficiently transmitted to the third through-hole 7 and the diaphragm 9, and is most effective for removing bubbles. Can give vibration.

また、振動子13は振動プレート12の一部に固着している。この振動プレート12は振動子13を固着保持しておくためのものであり、この振動プレート12の形状を最適な形状とし、可動可能とすることによって気泡の除去に最適な位置に振動子13を配置することができる。例えば、ダイアフラム9との距離を変化させたり、角度を傾斜させたりすることも可能である。   The vibrator 13 is fixed to a part of the vibration plate 12. The vibration plate 12 is used to hold the vibrator 13 in a fixed state. The vibration plate 12 is formed in an optimum shape and movable so that the vibrator 13 is placed at an optimum position for removing bubbles. Can be arranged. For example, it is possible to change the distance from the diaphragm 9 or to incline the angle.

そして、振動子13に電気接続を前記振動プレート12の配線パターンを介して接続することができる。   In addition, an electrical connection can be made to the vibrator 13 via the wiring pattern of the vibration plate 12.

なお、振動子13の振動効率を高めるために振動プレート12と振動子13の間に振動を制御するゴムなどの弾性体を介して固定することが効果的である。   In order to increase the vibration efficiency of the vibrator 13, it is effective to fix the vibration plate 12 and the vibrator 13 via an elastic body such as rubber that controls vibration.

また、本実施の形態1における細胞電気生理センサにおいては、振動子13とダイアフラム9との距離を0.5〜3.0mmを移動させた場合において、その効果を確認している。さらに、ダイアフラム9に対して振動子13の振動面の傾き角が±10度の範囲においても同じ効果を発揮することを確認している。   In the cell electrophysiological sensor according to the first embodiment, the effect is confirmed when the distance between the vibrator 13 and the diaphragm 9 is moved by 0.5 to 3.0 mm. Furthermore, it has been confirmed that the same effect is exhibited even when the tilt angle of the vibration surface of the vibrator 13 with respect to the diaphragm 9 is within a range of ± 10 degrees.

次に、気泡を除去した細胞電気生理センサにウエル1から細胞20を投入する。そして、ウエル1の入口16または出口17の一方を減圧すると、細胞20は第三の貫通孔7に引き付けられた後、この第三の貫通孔7を塞いで密着保持され、ウエル1側と空洞8側の電気抵抗が十分に高いGΩ以上の絶縁状態となる(ギガシールと呼ぶ)。   Next, the cells 20 are introduced from the well 1 into the cell electrophysiological sensor from which bubbles have been removed. When one of the inlet 16 and outlet 17 of the well 1 is depressurized, the cells 20 are attracted to the third through-hole 7, and then the third through-hole 7 is closed and held in close contact with the well 1 side and the cavity. The electric resistance on the 8th side is sufficiently high and is in an insulating state of GΩ or more (referred to as a giga seal).

この状態において、細胞20の電気生理活動によって細胞内外の電位が変化した場合に、わずかな電位差あるいは電流変化であっても高精度な測定が可能となる。   In this state, when the potential inside and outside the cell changes due to the electrophysiological activity of the cell 20, highly accurate measurement is possible even with a slight potential difference or current change.

さらに好ましくは、気泡を除去するステップにおいて、振動子13の振動周波数をダイアフラム9が共振する周波数とすることによって、ダイアフラム9、つまり第三の貫通孔7の壁面を大きく共振振動させ、さらに効率良く気泡を除去することができる。ダイアフラム9の外径;500μmφ、厚み;20μmとしたとき、そのときの共振周波数は1.2MHzであり、そのときの振動子13の形状としては、外径;700μm、厚み;50μmの圧電薄膜を形成することによって振動周波数1.0〜1.4MHzのものを発振させることができた。   More preferably, in the step of removing bubbles, the vibration frequency of the vibrator 13 is set to a frequency at which the diaphragm 9 resonates, so that the diaphragm 9, that is, the wall surface of the third through-hole 7 is greatly resonated and vibrated more efficiently. Bubbles can be removed. When the outer diameter of the diaphragm 9 is 500 μmφ and the thickness is 20 μm, the resonance frequency at that time is 1.2 MHz, and the shape of the vibrator 13 at that time is a piezoelectric thin film having an outer diameter of 700 μm and a thickness of 50 μm. As a result, it was possible to oscillate one having an oscillation frequency of 1.0 to 1.4 MHz.

また、ダイアフラム9の振動モードを、ダイアフラム9の全面が厚み方向に振動する振動モードとすることによって、第三の貫通孔7の内壁がハの字型に開閉振動することになり、気泡も大きく伸縮振動・変形することになる。   Further, by setting the vibration mode of the diaphragm 9 to a vibration mode in which the entire surface of the diaphragm 9 vibrates in the thickness direction, the inner wall of the third through-hole 7 is opened and closed in a square shape, and the bubbles are also large. It will be stretched and deformed.

その結果、効率良く第三の貫通孔7の内部から気泡を除去することができるようになり、これによって微小な気泡であっても確実に効率良く気泡を除去することが可能である。   As a result, it becomes possible to efficiently remove bubbles from the inside of the third through-hole 7, and thus it is possible to reliably remove bubbles even if they are minute bubbles.

また、前記振動子13の振動周波数を変化させながら振動を与えることによって、ダイアフラム9を様々なモードで振動・変形させることによって、前記と同様に第三の貫通孔7の内部の気泡の除去を確実に行うことができる。例えば、前記形状の振動子13を用いて1〜1.4MHzの範囲で周波数を可変させることによってサイズの異なる気泡に対して有効である。これは、振動子13の振動周波数を変化させながら振動を与えることによって、第三の貫通孔7の中の様々な大きさの気泡を直接、共振振動させ変形させるとともに、気泡を破壊することができ、第三の貫通孔7より様々な大きさの気泡を除去することができるからであると考えられる。   Further, by applying vibration while changing the vibration frequency of the vibrator 13, the diaphragm 9 is vibrated and deformed in various modes, thereby removing bubbles inside the third through hole 7 in the same manner as described above. It can be done reliably. For example, it is effective for bubbles having different sizes by varying the frequency in the range of 1 to 1.4 MHz using the vibrator 13 having the shape. This is because by applying vibration while changing the vibration frequency of the vibrator 13, bubbles of various sizes in the third through hole 7 are directly oscillated and deformed, and the bubbles can be destroyed. This is considered to be because bubbles of various sizes can be removed from the third through hole 7.

また、振動周波数を変化させながら行うことによって、気泡に対して直接振動を与えるだけでなく、先に説明したダイアフラム9の共振振動による気泡の除去も行え、さらに効率良い気泡の除去を行うことができる。   Moreover, by performing vibration while changing the vibration frequency, not only the bubbles are directly vibrated, but also the bubbles can be removed by the resonance vibration of the diaphragm 9 described above, and the bubbles can be removed more efficiently. it can.

さらに、振動子13をダイアフラム9に対してほぼ平行に対向配置することによって、振動子13の振動が細胞外液18あるいは細胞内液19を介して効率良くダイアフラム9に伝達し、第三の貫通孔7の中の気泡が抜けやすい方向へダイアフラム9が振動することになり、第三の貫通孔7の内部に残留した気泡の除去を速やかに行うことができる。   Furthermore, by arranging the vibrator 13 so as to face the diaphragm 9 substantially in parallel, the vibration of the vibrator 13 is efficiently transmitted to the diaphragm 9 via the extracellular fluid 18 or the intracellular fluid 19, and the third penetration is made. The diaphragm 9 vibrates in the direction in which the bubbles in the holes 7 are easily removed, and the bubbles remaining in the third through holes 7 can be quickly removed.

なお、振動子13による振動を与えながら流路プレート3の空洞8側を減圧することで、振動子13の振動によって気泡が振動・変形するとともに、気泡が変形したところにさらに圧力が加わることで、第三の貫通孔7の側壁から気泡を除去できやすくなる。   Note that by reducing the pressure on the cavity 8 side of the flow path plate 3 while applying vibration by the vibrator 13, the vibration of the vibrator 13 causes the bubbles to vibrate and deform, and further pressure is applied to the place where the bubbles are deformed. It becomes easy to remove bubbles from the side wall of the third through-hole 7.

さらに、振動子13の振動周波数を第三の貫通孔7の中に入る大きさの体積の気泡を共振させる周波数とし、気泡自身を直接振動・変形させることによって、第三の貫通孔7の内壁から気泡を移動させる、あるいは気泡を破壊することもできる。これによって、気泡の除去を効率的に行うことができることから、細胞の電気生理現象の測定を効率良く確実に行うことができる。   Furthermore, the vibration frequency of the vibrator 13 is set to a frequency for resonating a bubble having a volume that enters the third through-hole 7, and the inner wall of the third through-hole 7 is directly vibrated and deformed. It is also possible to move the bubbles from or break the bubbles. As a result, it is possible to efficiently remove the bubbles, and thus it is possible to efficiently and reliably measure the electrophysiological phenomenon of the cells.

次に、振動子13の振動によって振動子13と流路プレート3の壁面との間で振動子13の面と流路プレート3の壁面と平行な方向に節あるいは山ができるように定在波を発生させることによって、定在波の節に気泡を留ませることができる。これは振動子13の振動による音波の放射圧によって気泡が力を受けるためであり、定在波の山の部分では気泡に与える力が大きく、節の部分では力が0となるため、定在波の節に気泡が集まるような力を受けるからである。例えば、ダイアフラム9と振動子13との距離を3.0mmとしたとき、定在波の節を3個発生させるためには1.0MHz以上の周波数で振動させることによってその効果を発揮することができる。   Next, a standing wave is formed such that a node or a mountain is formed in a direction parallel to the surface of the vibrator 13 and the wall surface of the flow path plate 3 between the vibrator 13 and the wall surface of the flow path plate 3 by the vibration of the vibrator 13. By generating a bubble, it is possible to keep bubbles in a standing wave node. This is because the bubble receives a force due to the radiation pressure of the sound wave caused by the vibration of the vibrator 13, and the force applied to the bubble is large at the peak portion of the standing wave, and the force is zero at the node portion. This is because it receives the force that bubbles gather at the wave node. For example, when the distance between the diaphragm 9 and the vibrator 13 is set to 3.0 mm, in order to generate three standing wave nodes, the effect can be exhibited by vibrating at a frequency of 1.0 MHz or more. it can.

そして、その後振動子13の位相を変化させることで定在波を移動させ、定在波の節に留まった気泡も運ぶことができる。その結果、第三の貫通孔7の中の気泡を除去することができ、これによっても細胞20の測定を効率良く、確実に行うことができる。また、ダイアフラム9と振動子13との距離を短くするためには振動周波数を高く設定する必要がある。   Then, by changing the phase of the vibrator 13 thereafter, the standing wave is moved, and the bubbles remaining in the standing wave node can also be carried. As a result, the air bubbles in the third through-hole 7 can be removed, and the measurement of the cells 20 can be performed efficiently and reliably. Further, in order to shorten the distance between the diaphragm 9 and the vibrator 13, it is necessary to set the vibration frequency high.

このとき、振動子13をダイアフラム9に対して対向して設置し、かつ振動子13の面とダイアフラム9の面を平行に設置することによって、振動子13と流路プレート3と壁面との間に定在波を確実に発生させることができ、より効率良く気泡除去を行うことができる。   At this time, the vibrator 13 is placed opposite to the diaphragm 9 and the face of the vibrator 13 and the face of the diaphragm 9 are placed parallel to each other between the vibrator 13, the flow path plate 3 and the wall surface. Therefore, it is possible to reliably generate a standing wave and to remove bubbles more efficiently.

なお、この細胞電気生理センサは第三の貫通孔7において設置する方向として、ダイアフラム9が第一の貫通孔5側へ近くなるようにセットしても良い。この選択は測定する細胞20の性質によって最適に決定されるべきである。   The cell electrophysiological sensor may be set so that the diaphragm 9 is closer to the first through hole 5 as the direction of installation in the third through hole 7. This selection should be optimally determined by the nature of the cell 20 being measured.

(実施の形態2)
以下、本発明の実施の形態2における細胞電気生理センサについて図面を参照しながら説明する。
(Embodiment 2)
Hereinafter, a cell electrophysiological sensor according to Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to the drawings.

図3は本発明の実施の形態2における細胞電気生理センサの断面図であり、図4は別の例の細胞電気生理センサの構成を説明するための断面図である。なお、本実施の形態2における細胞電気生理センサの基本的な構成は実施の形態1で説明した細胞電気生理センサの構成とほぼ同様であり、図面において実施の形態1と同じ機能を持つ構成部材については同番号を付与し、その説明は省略する。   FIG. 3 is a cross-sectional view of the cell electrophysiological sensor according to Embodiment 2 of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining the configuration of another example of the cell electrophysiological sensor. The basic configuration of the cell electrophysiological sensor in the second embodiment is almost the same as the configuration of the cell electrophysiological sensor described in the first embodiment, and the constituent members having the same functions as those in the first embodiment in the drawings. Are given the same numbers, and explanations thereof are omitted.

ここでは、本実施の形態2における細胞電気生理センサが実施の形態1における細胞電気生理センサの構成と大きく異なっているところについて詳細に説明する。   Here, the point that the cellular electrophysiological sensor in the second embodiment is greatly different from the configuration of the cellular electrophysiological sensor in the first embodiment will be described in detail.

図3において、本実施の形態2における細胞電気生理センサが実施の形態1の構成と大きく異なっている点は、流路プレート3に設けた空洞8の一部に第三の貫通孔7に対向して配置するように振動子13を配置していることである。   In FIG. 3, the cellular electrophysiological sensor in the second embodiment is greatly different from the configuration in the first embodiment in that a part of the cavity 8 provided in the flow path plate 3 is opposed to the third through hole 7. That is, the vibrator 13 is arranged so as to be arranged in the same manner.

このような構成の振動子13に、電流あるいは電圧を印加することによって振動を与え、液体18を媒体としてダイアフラム9または第三の貫通孔7の中の気泡に振動エネルギを伝達し、この振動エネルギによって気泡を除去することができる。これによって、実施の形態1と同様の構成と効果を実現することができる。   Vibration is applied to the vibrator 13 having such a configuration by applying a current or a voltage, and vibration energy is transmitted to the bubbles in the diaphragm 9 or the third through-hole 7 using the liquid 18 as a medium. Can remove the bubbles. As a result, the same configuration and effect as in the first embodiment can be realized.

また、このような構成とすることによって、第一の貫通孔5および第二の貫通孔6の寸法形状が小さい場合、最適な位置に振動子13を配置することができない構造であったとしても、所望の位置に振動子13を配置することができる。そして、振動プレート12が不必要となり、製造プロセスを簡略化することができる。   Further, by adopting such a configuration, even when the first through hole 5 and the second through hole 6 are small in size and shape, the vibrator 13 may not be disposed at an optimal position. The vibrator 13 can be arranged at a desired position. And the vibration plate 12 becomes unnecessary, and a manufacturing process can be simplified.

また、ダイアフラム9と振動子13の配置関係が少しずれたとしても、外形の大きな振動子13を配置することによって、その振動面積が大きいことから、確実に、より大きな振動エネルギをダイアフラム9へ伝達することができる。   Further, even if the positional relationship between the diaphragm 9 and the vibrator 13 is slightly shifted, the vibration area is large by arranging the vibrator 13 having a large outer shape, so that larger vibration energy is reliably transmitted to the diaphragm 9. can do.

さらに、より広い面積に振動エネルギを伝達することができることから、センサチップ4近傍の保持プレート2の下面などに残存している気泡を除去することも可能である。このように、周辺部分に残留した気泡なども含んで、より効率良く気泡を除去することができる細胞電気生理センサを実現することができる。   Furthermore, since vibration energy can be transmitted over a wider area, bubbles remaining on the lower surface of the holding plate 2 near the sensor chip 4 can be removed. In this way, it is possible to realize a cell electrophysiological sensor that can remove bubbles more efficiently, including bubbles remaining in the peripheral portion.

また、ダイアフラム9の直下に振動子13を配置できることから、ダイアフラム9と振動子13との距離を近距離に配置することが可能であり、0.2〜1.0mmまでの距離に振動子13を配置することが可能である。   In addition, since the vibrator 13 can be arranged immediately below the diaphragm 9, the distance between the diaphragm 9 and the vibrator 13 can be arranged at a short distance, and the vibrator 13 is set at a distance of 0.2 to 1.0 mm. Can be arranged.

なお、空洞8の中に振動子13を形成するためには、圧電素子からなる振動子13を接着剤などを用いて空洞8の所定の部所に接合することによって安価に作製することができる。また、実施の形態1と同様にして薄膜プロセスを用いて圧電薄膜からなる積層圧電素子を直接空洞8の所望の位置へ形成しても良い。   In order to form the vibrator 13 in the cavity 8, it can be manufactured at low cost by bonding the vibrator 13 made of a piezoelectric element to a predetermined portion of the cavity 8 using an adhesive or the like. . Further, similarly to the first embodiment, a laminated piezoelectric element made of a piezoelectric thin film may be directly formed at a desired position of the cavity 8 using a thin film process.

そして、前記振動子13は細胞内液19の中で、電圧あるいは電流を印加することから、絶縁性を確保しておくことが必要である。そのため、振動子13の表面を絶縁材にて被覆しておくことが重要である。これらの材料としては、絶縁性無機材料、シリコン樹脂、エポキシ樹脂などの防水性に優れた絶縁性樹脂が好ましい。   The vibrator 13 applies a voltage or a current in the intracellular fluid 19, and therefore it is necessary to ensure insulation. Therefore, it is important to cover the surface of the vibrator 13 with an insulating material. As these materials, insulating resins having excellent waterproof properties such as insulating inorganic materials, silicon resins, and epoxy resins are preferable.

また、空洞8の内部で細胞内液19を介して定在波を発生させ、この定在波によって第三の貫通孔7の中の気泡を補足し、移動・除去することができる。例えば、ダイアフラム9と振動子13との距離を0.5mmとしたとき、振動子13の振動周波数を6.0MHzとすることによって、ダイアフラム9と振動子13との間に3個の定在波の節を形成することができる。このように、定在波の節を3個以上形成し、その定在波の節を移動させることによって気泡を移動除去させることができる。これによっても、実施の形態1で説明した定在波の効果と同様の効果を得ることができる。   In addition, a standing wave can be generated inside the cavity 8 via the intracellular fluid 19, and the bubbles in the third through-hole 7 can be captured, moved, and removed by the standing wave. For example, when the distance between the diaphragm 9 and the vibrator 13 is 0.5 mm, three standing waves are provided between the diaphragm 9 and the vibrator 13 by setting the vibration frequency of the vibrator 13 to 6.0 MHz. Can be formed. In this way, it is possible to move and remove bubbles by forming three or more standing wave nodes and moving the standing wave nodes. Also by this, an effect similar to the effect of the standing wave described in the first embodiment can be obtained.

次に、本実施の形態2における別の例の細胞電気生理センサの構成について図4を用いて説明する。図4において、特に異なっている点は、振動子13をセンサチップ4のダイアフラム9の一面に形成していることである。   Next, the configuration of another example of the cell electrophysiological sensor according to the second embodiment will be described with reference to FIG. In FIG. 4, the difference is that the vibrator 13 is formed on one surface of the diaphragm 9 of the sensor chip 4.

このような構成とすることによって、第三の貫通孔7の中の気泡を効率よく移動・除去することができる。   By setting it as such a structure, the bubble in the 3rd through-hole 7 can be moved and removed efficiently.

なお、図4では、振動子13をダイアフラム9の下面に形成しているが、ダイアフラム9の上面に形成しても同様の効果を発揮することができる。   In FIG. 4, the vibrator 13 is formed on the lower surface of the diaphragm 9, but the same effect can be exhibited even if it is formed on the upper surface of the diaphragm 9.

そして、この振動子13はダイアフラム9の表層に薄膜プロセスを用いて圧電薄膜を形成することによって、例えば外径;500μmφ、厚み;20μmの積層の薄膜圧電素子からなる振動子13を直接ダイアフラム9の表層に形成することができる。   The vibrator 13 is formed by forming a piezoelectric thin film on the surface layer of the diaphragm 9 using a thin film process, so that, for example, the vibrator 13 formed of a thin film piezoelectric element having a laminated outer diameter of 500 μmφ and a thickness of 20 μm is directly attached to the diaphragm 9. It can be formed on the surface layer.

この振動子13は振動周波数;1.5MHzで振動させることができ、第三の貫通孔7の内部に残留した気泡を効率よく除去することができた。   The vibrator 13 can be vibrated at a vibration frequency of 1.5 MHz, and the bubbles remaining inside the third through hole 7 can be efficiently removed.

本発明の細胞電気生理センサは、細胞電気生理活動の測定を効率良く、確実に行うことにおいて有用である。   The cell electrophysiological sensor of the present invention is useful in measuring cell electrophysiological activity efficiently and reliably.

本発明の実施の形態1における細胞電気生理センサの断面図Sectional drawing of the cell electrophysiological sensor in Embodiment 1 of this invention 同要部拡大断面図Enlarged sectional view of the main part 本発明の実施の形態2における細胞電気生理センサの断面図Sectional drawing of the cell electrophysiological sensor in Embodiment 2 of this invention 同別の例の細胞電気生理センサの要部拡大断面図The principal part expanded sectional view of the cell electrophysiological sensor of another example

符号の説明Explanation of symbols

1 ウエル
2 保持プレート
3 流路プレート
4 センサチップ
5 第一の貫通孔
6 第二の貫通孔
7 第三の貫通孔
8 空洞
9 ダイアフラム
12 振動プレート
13 振動子
14 第一の電極
15 第二の電極
16 入口
17 出口
18 細胞外液
19 細胞内液
20 細胞
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Well 2 Holding plate 3 Flow path plate 4 Sensor chip 5 1st through-hole 6 2nd through-hole 7 3rd through-hole 8 Cavity 9 Diaphragm 12 Vibrating plate 13 Vibrator 14 1st electrode 15 2nd electrode 16 Inlet 17 Outlet 18 Extracellular fluid 19 Intracellular fluid 20 Cell

Claims (7)

第一の貫通孔を有するウエルと、このウエルの下方に当接した第二の貫通孔を有した保持プレートと、この保持プレートの下方に液体の流入口と流出口を両端に備えた空洞を有した流路プレートを当接し、前記第二の貫通孔の内部に第三の貫通孔を備えたダイアフラムを有したセンサチップを当接した細胞電気生理センサであって、前記第三の貫通孔に対向するように少なくとも一つの振動子を設けた細胞電気生理センサ。 A well having a first through-hole, a holding plate having a second through-hole abutting below the well, and a cavity having a liquid inlet and outlet at both ends below the holding plate. A cell electrophysiological sensor that abuts a sensor plate having a diaphragm having a diaphragm having a third through hole inside the second through hole, wherein the third through hole is in contact with the flow path plate. A cell electrophysiological sensor provided with at least one vibrator so as to oppose to the cell. 第二の貫通孔と振動子の間に液体を充填した請求項1に記載の細胞電気生理センサ。 The cell electrophysiological sensor according to claim 1, wherein a liquid is filled between the second through hole and the vibrator. 振動子の振動周波数をダイアフラムが共振する周波数とした請求項1に記載の細胞電気生理センサ。 The cell electrophysiological sensor according to claim 1, wherein the vibration frequency of the vibrator is a frequency at which the diaphragm resonates. 振動子の振動によってダイアフラムを厚さ方向に振動させる請求項1に記載の細胞電気生理センサ。 The cellular electrophysiological sensor according to claim 1, wherein the diaphragm is vibrated in the thickness direction by vibration of the vibrator. 振動子の振動周波数を変化させる請求項1に記載の細胞電気生理センサ。 The cell electrophysiological sensor according to claim 1, wherein the vibration frequency of the vibrator is changed. 振動子と第三の貫通孔との間に定在波を発生させる請求項1に記載の細胞電気生理センサ。 The cell electrophysiological sensor according to claim 1, wherein a standing wave is generated between the vibrator and the third through hole. 振動子とダイアフラムの面を平行に配置した請求項1に記載の細胞電気生理センサ。 The cell electrophysiological sensor according to claim 1, wherein the surface of the vibrator and the diaphragm are arranged in parallel.
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