JP2007518140A - Optical fiber with lens chip and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

レンズチップ付き光ファイバの製造方法が提供される。この方法は、光透過性円柱形ファイバを提供するステップと、チップ部を形成するために、その光透過性円柱形ファイバの第一端部をエッチングするステップとを備える。そのチップ部が加熱されることにより、この加熱されたチップ部にレンズ面が形成される。このレンズチップ付き光ファイバは、他の光ファイバとの光位置調整、及びその光ファイバと光学装置との結合を容易にする。  A method of manufacturing an optical fiber with a lens chip is provided. The method includes providing a light transmissive cylindrical fiber and etching a first end of the light transmissive cylindrical fiber to form a tip portion. When the tip portion is heated, a lens surface is formed on the heated tip portion. This optical fiber with a lens chip facilitates the optical position adjustment with another optical fiber and the coupling between the optical fiber and the optical device.

Description

この出願は2004年1月8日出願の米国出願番号10/754,365の一部継続出願、2004年2月9日出願の米国出願番号10/775,793の一部継続出願、及び2004年2月24日出願の米国出願番号10/786,766の一部継続出願であり、これらは全て同一出願人によるものであり、あらゆる目的で参照することにより本願に盛り込まれている。   This application is a continuation-in-part of US application number 10 / 754,365 filed January 8, 2004, a continuation-in-part application of US application number 10 / 775,793, filed February 9, 2004, and 2004. No. 10 / 786,766, filed Feb. 24, all of which are by the same applicant and are incorporated herein by reference for all purposes.

本発明は、一般に光ファイバの形成工程に関し、より詳細にはレンズチップ付き光ファイバの形成方法に関する。   The present invention generally relates to an optical fiber forming process, and more particularly to a method of forming an optical fiber with a lens chip.

多くの適用例では、平面導波路、光集積回路、レーザ等の光源におけるものと同様の光波の伝播制御や、光ファイバへ結合される検出器が必要とされる。また別の適用例においては、ある光ファイバを別の光ファイバに接続することが必要とされる。残念ながらこのような適用例の多くが欠点を抱えており、その製造には細心の注意が必要とされる。   Many applications require light wave propagation control similar to that in light sources such as planar waveguides, optical integrated circuits, lasers, and detectors coupled to optical fibers. In another application, it is necessary to connect one optical fiber to another. Unfortunately, many of these applications have drawbacks that require careful attention to their manufacture.

例えば、レーザの動作温度が一定せず、ファイバ及びレーザの夫々で異なる寸法変動が引き起こされるために、光ファイバのレーザへの直接的な接続は妨げられる可能性がある。温度変動に伴う寸法変動により、ファイバのレーザに対する位置が変動したり、レーザからの分離が起こる。   For example, direct connection of the optical fiber to the laser may be hindered because the operating temperature of the laser is not constant and causes different dimensional variations in the fiber and the laser, respectively. Due to the dimensional fluctuation accompanying the temperature fluctuation, the position of the fiber with respect to the laser fluctuates and the separation from the laser occurs.

レーザ及びファイバの誘導されるモードの次元には大きな差異があるため、直接的な結合は一般的に非効率的である。この非効率性は、通常、レンズまたはレンズ群を使用してレーザからの発光を光ファイバに収束させることで解決される。   Direct coupling is generally inefficient because of the large differences in the dimensional dimensions of the laser and fiber guided modes. This inefficiency is usually solved by using a lens or lens group to focus the light emitted from the laser onto the optical fiber.

しかしながら、そのレンズまたはレンズ群を使用する光結合には更なる問題が生ずる。例えば、そのレンズとレーザとの正確な光位置調整を達成するのは困難である。時間の経過による環境温度変動に伴う寸法変動および機械的なずれにより、ファイバの位置調整が狂う。したがって、光ファイバの結合を改善可能である改良された光ファイバの形成方法が必要とされている。   However, further problems arise with optical coupling using the lens or lens group. For example, it is difficult to achieve accurate optical position adjustment between the lens and the laser. Due to dimensional fluctuations and mechanical deviations due to environmental temperature fluctuations over time, the fiber alignment is distorted. Accordingly, there is a need for an improved optical fiber formation method that can improve optical fiber coupling.

本発明は、光ファイバの少なくとも一端部に形成されたレンズを備える光ファイバを製造するための経済的な方法を提供するものである。   The present invention provides an economical method for producing an optical fiber comprising a lens formed on at least one end of the optical fiber.

その光ファイバの少なくとも一端が、例えば材料除去工程を使用して変形させられて、先細の端部または「チップ形成端部(tipped end)」が形成される。このチップ形成端部が本発明に従ってさらに処理され、このチップ形成端部に焦点距離を調節可能な集光レンズが形成される。本発明の工程により形成されたレンズチップ付き光ファイバ(lensed tip optical fiber)により、他の光ファイバとの光の位置調整や、光ファイバと、光源、平面導波路、及び光集積回路等の光学装置との接続が容易になる。   At least one end of the optical fiber is deformed using, for example, a material removal process to form a tapered end or “tipped end”. This chip forming end is further processed according to the present invention, and a condensing lens with adjustable focal length is formed at this chip forming end. Lens tip optical fiber formed by the process of the present invention is used to adjust the position of light with other optical fibers and optical fibers, light sources, planar waveguides, optical integrated circuits, etc. Connection with the device becomes easy.

本発明の一態様では、光ファイバ部材の製造方法が提供される。この方法は、光ファイバ部材の少なくとも一端部を変形させるステップと、レンズ面を形成するために、その光ファイバ部材の変形した端部にエネルギを加えるステップとを備える。   In one aspect of the present invention, a method for manufacturing an optical fiber member is provided. The method includes deforming at least one end of the optical fiber member and applying energy to the deformed end of the optical fiber member to form a lens surface.

本発明の別の態様では、レンズチップ付き光ファイバの製造方法が提供される。この方法は、光透過性円柱形ファイバを提供するステップと、チップ部(tip)を形成するために、光透過性円柱形ファイバの第一端部をエッチングするステップとを含む。このチップ部が加熱されることで、加熱されたチップ部にレンズ面が形成される。   In another aspect of the present invention, a method of manufacturing an optical fiber with a lens chip is provided. The method includes providing a light transmissive cylindrical fiber and etching a first end of the light transmissive cylindrical fiber to form a tip. By heating the tip portion, a lens surface is formed on the heated tip portion.

本発明のさらに別の態様では、光透過性円柱形ファイバの第一端部に形成された第一レンズ面を備える光ファイバが提供される。そのレンズ面は、その光透過性円柱形ファイバの少なくとも一端部を変形させ、且つ、この光透過性円柱形ファイバの変形した端部にエネルギを加えることによって形成される。   In yet another aspect of the present invention, an optical fiber is provided that includes a first lens surface formed at a first end of a light transmissive cylindrical fiber. The lens surface is formed by deforming at least one end of the light transmissive cylindrical fiber and applying energy to the deformed end of the light transmissive cylindrical fiber.

本発明のレンズチップ付き光ファイバの形成方法は、チップ部におけるレンズの調節可能な半径または焦点距離を経済的な価格で提供する。このレンズチップ付き光ファイバにより、他の光ファイバ、または光源、平面導波路、光集積回路のような様々な分離して統合された光学装置との光の位置調整がより容易になる。各光ファイバが「内蔵型」のレンズを備えるため、独立したレンズは殆どの光ファイバパッケージから取り外すことが可能である。独立したレンズを取り外すことにより、必要とされる部品点数が減り、一般的な光学パッケージにつきものの多数のレンズまたはレンズ群間の位置調整ずれの可能性が除去される。部品点数の減少により、光学パッケージはより単純なものとなり、光学部品のパッケージングおよび製造工程に一般に関連する、費用のかかるパッケージング関連の人件費が削減され、そして、光学パッケージの小型化が可能となる。小型化はコストの低減のみならず、小型システム設計がより簡便に実施できることを意味する。   The method for forming an optical fiber with a lens tip of the present invention provides an adjustable radius or focal length of the lens at the tip portion at an economical price. This optical fiber with a lens chip makes it easier to align the light with other optical fibers or various separately integrated optical devices such as light sources, planar waveguides, and optical integrated circuits. Since each optical fiber includes a “built-in” lens, an independent lens can be removed from most optical fiber packages. Removing an independent lens reduces the number of parts required and eliminates the possibility of misalignment between multiple lenses or lens groups associated with a typical optical package. Reduced component count makes optical packages simpler, reduces costly packaging-related labor costs typically associated with optical component packaging and manufacturing processes, and allows for smaller optical packages It becomes. Miniaturization means not only cost reduction but also small system design can be implemented more easily.

本発明の範囲は、特許請求の範囲によって定義され、参照することにより本項に盛り込まれる。当業者は、以下に記載する1つ以上の態様の詳細な記述を考察することにより、その更なる利点の認識は勿論のこと、本発明の態様をより完全に理解できるであろう。参照する添付図面の簡単な説明を先に記載する。   The scope of the invention is defined by the claims, and is incorporated into this section by reference. Those skilled in the art will appreciate a further complete understanding of the present invention, as well as an appreciation of its additional advantages, by reviewing the detailed description of one or more aspects set forth below. A brief description of the accompanying drawings to which reference is made will first be given.

本発明の態様およびその利点は、以下の詳細な記述を参照することで最もよく理解される。1つ以上の図で図示される類似の構成要素は、類似の参照番号で表示されるものとする。   Aspects of the present invention and their advantages are best understood by referring to the detailed description that follows. Similar components illustrated in one or more figures shall be denoted by similar reference numerals.

図1は、本発明の一実施形態係る光ファイバ上にレンズチップを形成するための工程100を示すフローチャートである。工程100は、例えばガラス(SiO)又はプラスチック等からなる円柱形のロッドまたはファイバ等である一本または束状の円柱形部材(s102)を提供するステップを備えている。 FIG. 1 is a flowchart illustrating a process 100 for forming a lens chip on an optical fiber according to an embodiment of the present invention. The process 100 includes providing a single or bundled cylindrical member (s102), such as a cylindrical rod or fiber made of glass (SiO 2 ) or plastic, for example.

各円柱形部材の第一端部は、エッチングされた端部、変形した端部、またはチップ部を形成するために、材料を除去することによって変形させられる(s104)。一実施形態では、このチップ部は、液体槽に入った反応液または噴霧される反応液に円柱形部材の各端部をさらすことによって形成される。一実施形態においては、材料除去液またはエッチング液を含む液体槽中に円柱形部材の少なくとも一端部が少なくとも部分的に浸漬される。別の実施形態においては、適切な材料除去液またはエッチング液が円柱形部材の少なくとも一端部に噴霧される。以下にさらに詳述するように、そのエッチング液により、通常まず、各部材の周縁部から材料を除去することで各部材の一部をエッチングし又は変形させる。その周縁部からの材料除去により、通常、円柱形部材の端部にチップ部が形成される。   The first end of each cylindrical member is deformed by removing material to form an etched end, a deformed end, or a tip (s104). In one embodiment, the tip portion is formed by exposing each end of the cylindrical member to a reaction solution that has entered a liquid bath or to be sprayed. In one embodiment, at least one end of the cylindrical member is at least partially immersed in a liquid bath containing a material removal or etchant. In another embodiment, a suitable material removal or etchant is sprayed onto at least one end of the cylindrical member. As will be described in more detail below, a portion of each member is typically etched or deformed by first removing material from the periphery of each member with the etchant. By removing the material from the peripheral portion, a tip portion is usually formed at the end of the cylindrical member.

一実施形態においては、各円柱形部材の第二端部もまた、液体槽に入った反応液または噴霧される反応液にさらされる。この円柱形部材の第二端部は、エッチング液を含む液体槽中に少なくとも部分的に浸漬される。別の実施形態では、その円柱形部材の第二端部上に適切なエッチング液が噴霧される。材料を除去することにより、その円柱形部材の第二端部にチップ部が形成される。   In one embodiment, the second end of each cylindrical member is also exposed to the reaction liquid that enters the liquid tank or is sprayed. The second end of the cylindrical member is at least partially immersed in a liquid bath containing an etchant. In another embodiment, a suitable etchant is sprayed onto the second end of the cylindrical member. By removing the material, a tip portion is formed at the second end of the cylindrical member.

一実施形態においては、円柱形部材のチップ形成端部がエネルギ源にさらされ、これによりチップ形成端部が加熱される(s106)。以下でさらに詳述するように、チップ形成端部を加熱することで、チップ形成端部にレンズ面が形成される。   In one embodiment, the tip forming end of the cylindrical member is exposed to an energy source, which heats the tip forming end (s106). As will be described in more detail below, a lens surface is formed at the chip forming end by heating the chip forming end.

図2は、本発明の一実施形態係る円柱形部材202を含むエッチング槽の簡略図である。一実施形態においては、各円柱形部材202はロッド、円柱、ファイバまたは他の類似形状をした部材にすることができる。あるいは、円柱形部材は、例えば正方形、長方形、またはいくつかの平面導波路、フォトニック装置およびオプトエレクトロニック装置での適用により適した他の多角形断面等の非円形断面を有するか、または非円形断面に予め変形させることができる。   FIG. 2 is a simplified diagram of an etching bath including a cylindrical member 202 according to an embodiment of the present invention. In one embodiment, each cylindrical member 202 can be a rod, cylinder, fiber, or other similar shaped member. Alternatively, the cylindrical member has a non-circular cross-section, such as a square, rectangular, or other polygonal cross-section more suitable for application in some planar waveguides, photonic devices and optoelectronic devices, or non-circular It can be pre-deformed into a cross section.

各円柱形部材202の直径および長さは、通常その用途によって決定される。一実施形態において、各円柱形部材202の直径dは、標準単一モードファイバの長さと同じであり、典型的なコア寸法が約9μm、外径が約125μmである。一般に、各円柱形部材202の直径dは、その用途に応じて約100μmより小さい範囲から約数mmの範囲にすることができる。別の実施形態においては、円柱形部材202は多モードファイバにすることができる。   The diameter and length of each cylindrical member 202 is typically determined by its application. In one embodiment, the diameter d of each cylindrical member 202 is the same as the length of a standard single mode fiber, with a typical core dimension of about 9 μm and an outer diameter of about 125 μm. In general, the diameter d of each cylindrical member 202 can range from less than about 100 μm to about several millimeters depending on the application. In another embodiment, the cylindrical member 202 can be a multimode fiber.

一実施形態においては、例えば本発明の一実施形態に係るエッチング工程を使用して材料を除去することにより、円柱形部材202の端部204を変形させてもよい。   In one embodiment, the end 204 of the cylindrical member 202 may be deformed, for example, by removing material using an etching process according to one embodiment of the present invention.

図2を再度参照すると、一実施形態においては、端部204は、液体槽206中に端部204を配置することで変形させられる。   Referring back to FIG. 2, in one embodiment, the end 204 is deformed by placing the end 204 in the liquid bath 206.

液体槽206は、ファイバから材料を除去するのに適した所望の任意の化学物質配合物を含むことができる。一実施形態において、液体槽206はHF酸208を含む。薄い油層が液体槽206に加えられてもよく、これによりHF酸208の表面に油膜210が形成される。HF酸208の表面上に油膜210を加えることにより、エッチング処理の深さを調整するための境界が酸表面に形成される。一般に、エッチングの深さは、端部204を浸漬させる深さによって調節されるが、場合によってはHF酸に浸漬された部位を越えてHF酸がその部材を「せり上がり」、非浸漬部位まで不必要にエッチングされるということが起こる。油膜210は、エッチング止めとして機能し、HF酸が油膜210を越えてせり上がるのを防ぐ。   The liquid bath 206 can include any desired chemical formulation suitable for removing material from the fiber. In one embodiment, the liquid bath 206 includes HF acid 208. A thin oil layer may be added to the liquid bath 206, thereby forming an oil film 210 on the surface of the HF acid 208. By adding the oil film 210 on the surface of the HF acid 208, a boundary for adjusting the depth of the etching process is formed on the acid surface. In general, the depth of etching is controlled by the depth at which the end portion 204 is immersed, but in some cases, the HF acid “lifts” the part beyond the part soaked in HF acid to the non-soaked part. It happens that it is etched unnecessarily. Oil film 210 functions as an etch stop and prevents HF acid from rising over oil film 210.

端部204は、所望の量の材料を除去するのに十分な特定の時間にわたって液体槽206中に配置される。材料除去に必要な時間は、各部材202の材料組成、及び液体槽206の組成と濃度に関係する。   The end 204 is placed in the liquid bath 206 for a specific time sufficient to remove the desired amount of material. The time required for material removal is related to the material composition of each member 202 and the composition and concentration of the liquid tank 206.

図3に示される一実施形態において、各円柱形部材202は、コア領域C1およびコア領域C1を取り巻く周縁領域P1から構成される。処理中には、周縁領域P1がHF酸208に直接接触するとともに、HF酸208にさらされる表面領域がより広いため、液体槽208がコア領域C1に影響を及ぼす前に、周縁領域P1に影響が及ぼされる。このことは、角部領域302の上面および側面が同時にさらされることから、この角部領域で特に顕著である。使用されるファイバの種類もまた、チップ部がどのように形成されるかに影響する。ファイバのコア領域C1がその周縁領域P1よりも高純度であるファイバもあり、純度の低い領域ほど液体による材料除去がしやすい。   In one embodiment shown in FIG. 3, each cylindrical member 202 is composed of a core region C1 and a peripheral region P1 surrounding the core region C1. During processing, the peripheral area P1 is in direct contact with the HF acid 208 and the surface area exposed to the HF acid 208 is wider, so the liquid bath 208 affects the peripheral area P1 before affecting the core area C1. Is affected. This is particularly noticeable in this corner region because the top and side surfaces of the corner region 302 are exposed simultaneously. The type of fiber used also affects how the tip is formed. In some fibers, the core region C1 of the fiber is higher in purity than the peripheral region P1, and the material with a lower purity is easier to remove material.

変形した端部304の長さLは、例えば、油膜210の下方のHF酸208へ部材202が浸漬される深さによって調節される。一方、変形した端部304の鋭度(または勾配)Sは、部材202が液体槽206内に保持される時間及びHF酸208の濃度によって調節される。   The length L of the deformed end portion 304 is adjusted by, for example, the depth at which the member 202 is immersed in the HF acid 208 below the oil film 210. On the other hand, the sharpness (or gradient) S of the deformed end 304 is adjusted by the time that the member 202 is held in the liquid tank 206 and the concentration of the HF acid 208.

本発明の材料除去工程は、ゆっくりとした工程であるという利点がある。従って、その製造者は、材料除去工程の進行具合を継続的に確認することができ、端部304が所望の寸法に到達した時点で液体槽206から端部204を取り出すことができる。   The material removal process of the present invention has the advantage of being a slow process. Therefore, the manufacturer can continuously check the progress of the material removal process, and can remove the end portion 204 from the liquid tank 206 when the end portion 304 reaches a desired dimension.

この材料除去工程によって得られた構造が、図4Aに示されるチップ形成部材400である。   The structure obtained by this material removing step is a chip forming member 400 shown in FIG. 4A.

図4Aに示されるように、チップ形成部材400は、少なくとも1つのチップ形成端部402と基部404とを含む。図4Bに示される一実施形態においては、チップ形成端部402がエネルギ源410にさらされ、これによりチップ形成端部402が加熱される。この加熱処理により、チップ形成端部402におけるコア領域C1及び外縁部P1の双方が溶融する。その溶融の結果生じた表面張力により、その部材の一部分の端部に曲面が形成され、レンズ面408が形成される。加熱する位置およびチップ形成端部402に与えられるエネルギの量によって、レンズ面408の物理的形状および半径が決定され、これによってチップ形成端部402に形成されたレンズ面408の焦点距離が決定される。   As shown in FIG. 4A, the chip forming member 400 includes at least one chip forming end 402 and a base 404. In one embodiment shown in FIG. 4B, the tip forming end 402 is exposed to an energy source 410, which heats the tip forming end 402. By this heat treatment, both the core region C1 and the outer edge portion P1 in the chip forming end portion 402 are melted. Due to the surface tension generated as a result of the melting, a curved surface is formed at the end of a part of the member, and a lens surface 408 is formed. The heating position and the amount of energy applied to the tip forming end 402 determine the physical shape and radius of the lens surface 408, thereby determining the focal length of the lens surface 408 formed at the tip forming end 402. The

レンズチップを形成するために必要なエネルギの供給方法は、熱(つまり火炎)、電気火花、電気アーク放電および以下に述べる実施形態における同等物を含む任意の適切なエネルギ発生手段を使用しても達成できる。   The method of supplying the energy necessary to form the lens chip may be any suitable energy generating means including heat (ie, flame), electric spark, electric arc discharge and equivalents in the embodiments described below. Can be achieved.

図4Bを再度参照すると、一実施形態において、チップ形成部材400のチップ形成端部402は、市販の接合装置のようなアーク発生装置406内に配置される。アーク発生装置406は、アークまたは火花を提供でき、これによりあらゆる所定の光透過性部材の材料を加熱処理することができる。この加熱処理により、上述のようにレンズ面408が形成される。   Referring again to FIG. 4B, in one embodiment, the tip forming end 402 of the tip forming member 400 is placed in an arc generator 406, such as a commercially available joining device. The arc generator 406 can provide an arc or spark, which can heat the material of any given light transmissive member. By this heat treatment, the lens surface 408 is formed as described above.

他の実施形態において、加熱を行うエネルギ源410は、本発明により材料を加熱しレンズ面408を形成するために、チップ形成端部402近傍に配置されたグロー放電、またはレンズ形成端部402の材料が吸収可能な波長の高出力レーザにすることができる。   In other embodiments, the heating energy source 410 is a glow discharge disposed near the tip forming end 402 or the lens forming end 402 to heat the material and form the lens surface 408 according to the present invention. A high-power laser having a wavelength that can be absorbed by the material can be obtained.

図4Cは、本発明の一実施形態に係る加熱工程後の単一の光透過性のチップ形成部材402についての側面図を含む。チップ形成端部304は、互いに直交する2つの方向または他の異なる方向に異なる曲率半径を有するように、加熱処理により変形させられる。図4Cには、チップ形成端部402の異なる位置に形成された楕円形、半楕円形、平凸非球面等の曲面412a、412b、及び412cが詳細に示され、これらの曲面は、レンズ面408の長軸に対して異なる光軸に異なる光学性能を提供することができる。   FIG. 4C includes a side view of a single light transmissive tip forming member 402 after the heating step according to one embodiment of the present invention. The chip forming end 304 is deformed by heat treatment so as to have different radii of curvature in two directions orthogonal to each other or in other different directions. 4C shows in detail the curved surfaces 412a, 412b, and 412c, such as elliptical, semi-elliptical, and plano-convex aspherical surfaces, which are formed at different positions of the chip forming end portion 402. These curved surfaces are the lens surfaces. Different optical performance can be provided for different optical axes relative to the major axis of 408.

レンズ形成端部402のレンズ面408が形成される部位は、レンズ形成端部402の長さLに亘るエネルギの付加または加熱の強さ、およびエネルギ源にさらした時間の長さに関係する。一実施形態においては、レンズ形成端部402が長さLを有する。エネルギが長さLに亘る部位に加えられることにより、レンズ形成端部402におけるその部位にレンズ面408が形成される。一実施形態においては、レンズ面408が形成される長さLに亘る部位は、約15°から約20°の角度または勾配を有しており、光ファイバ或いは導波路を結合およびパッケージングする用途に特に有用である。   The portion of the lens forming end 402 where the lens surface 408 is formed is related to the amount of energy applied or heated over the length L of the lens forming end 402 and the length of time exposed to the energy source. In one embodiment, the lens forming end 402 has a length L. When energy is applied to a portion extending over the length L, a lens surface 408 is formed at that portion of the lens forming end 402. In one embodiment, the portion over the length L where the lens surface 408 is formed has an angle or slope of about 15 ° to about 20 °, and is used to couple and package optical fibers or waveguides. Is particularly useful.

レンズ面408の曲率および寸法は、その特定の用途の要件に応じて調節可能である。レンズ面408の製造仕様および許容誤差は、その特定の用途によって決定され、したがってそのエンドユーザにより規定される。   The curvature and dimensions of the lens surface 408 can be adjusted according to the requirements of that particular application. The manufacturing specifications and tolerances of the lens surface 408 are determined by its particular application and are therefore defined by its end user.

図5は、本発明の一実施形態に係る本発明の適用例を示す簡略図である。この適用例においては、標準的な光学パッケージ500aと、本発明のレンズチップ付き光ファイバを備える新規なパッケージ500bとを比較している。その標準的な光学パッケージ500aは、レーザモジュールを備える。このレーザモジュールは、駆動および環境温度制御装置502、レーザ504、レンズ群506、隔離装置508、および標準光ファイバ510を含む。レンズ群506は、レーザ504からの光を集光し、光ファイバ510に光を指向および収束させる。関連する多くの部品は、適切に位置調整され、所定の位置に固定されなくてはならない。異なる構成部品を位置調整するには、各構成部品が調節可能でなくてはならず、それと同時に適切に位置調整された構成部品を所定の位置に精密に固定する必要がある。実際は、これらの構成部品を調節可能にし、かつその位置調整された位置からずれないように所定の位置に固定するには妥協が必要となる。従って、従来のパッケージ500aでは、最適な位置調整をすることは決してできず、よってレーザ504からの光の多くは光ファイバ510に指向されない。   FIG. 5 is a simplified diagram showing an application example of the present invention according to an embodiment of the present invention. In this application example, a standard optical package 500a is compared with a new package 500b including the optical fiber with a lens chip of the present invention. The standard optical package 500a includes a laser module. The laser module includes a drive and environmental temperature control device 502, a laser 504, a lens group 506, an isolation device 508, and a standard optical fiber 510. The lens group 506 condenses the light from the laser 504 and directs and converges the light on the optical fiber 510. Many related parts must be properly aligned and fixed in place. To position different components, each component must be adjustable, and at the same time, properly positioned components must be precisely fixed in place. In practice, a compromise is required to make these components adjustable and fixed in place so that they do not deviate from their aligned positions. Thus, the conventional package 500a can never be optimally aligned, so much of the light from the laser 504 is not directed to the optical fiber 510.

また、この新規な光学パッケージ500bは、駆動および環境温度制御装置502を有するレーザモジュール、レーザ504、および隔離装置508を備えている。しかしながら、この適用例においては、レンズ群506が取り外され、標準光ファイバ510が本発明の工程により作成されたレンズチップ付き光ファイバ512に置き換えられていることが有利な点である。焦点距離及び形状が調整されたレンズチップ付き光ファイバ512はレンズ面408を有しており、レーザ504からの大部分の光を効率的に集光し、光ファイバ512を介してその光を指向させるように、このレンズ面408をレーザ504の出力面の近くに配置することができる。本発明の一実施形態にそって製造されたレンズチップ付き光ファイバ512を使用することにより、80%もの光結合効率が達成できることが実験により示される。   The new optical package 500b also includes a laser module having a drive and environmental temperature control device 502, a laser 504, and an isolation device 508. However, in this application example, it is advantageous that the lens group 506 is removed and the standard optical fiber 510 is replaced with an optical fiber 512 with a lens chip produced by the process of the present invention. The optical fiber 512 with a lens chip whose focal length and shape are adjusted has a lens surface 408, which condenses most of the light from the laser 504 efficiently and directs the light through the optical fiber 512. This lens surface 408 can be placed close to the output surface of the laser 504 so that it does. Experiments show that an optical coupling efficiency of as much as 80% can be achieved by using an optical fiber 512 with a lens chip manufactured according to an embodiment of the present invention.

図6は、本発明の一実施形態に係る本発明の別の適用例の簡略図である。この適用例においては、標準的な光学パッケージ600aと、本発明のレンズチップ付き光ファイバを備える新規なパッケージ600bとを比較している。その標準的な光学パッケージ600aは、2つの標準光ファイバ604と606との間に光学部品602を備えている。標準ファイバ604及び606を適切に位置調整するために、光学部品602と各標準光ファイバ604及び606との間に、レンズ608と610とを配置する。レンズ608は、入力側の光ファイバ604からの光を集光して、その光を光学部品602の入力側の導波路上に収束させる。光学部品の出力側のレンズ610は、光学部品602の出力側の導波路からの光を集光し、その光を光ファイバ606に再び収束させる。レンズ608および610と、光学部品602並びに2つの光ファイバ604及び606との位置調整には、全ての部品が最適な状態に調節可能である必要がある一方、最適な位置調整には、全ての部品を所定の位置に精密に固定する必要があり、これは実際問題として実行不可能である。   FIG. 6 is a simplified diagram of another application example of the present invention according to an embodiment of the present invention. In this application example, a standard optical package 600a is compared with a new package 600b including the optical fiber with a lens chip of the present invention. The standard optical package 600 a includes an optical component 602 between two standard optical fibers 604 and 606. In order to properly align the standard fibers 604 and 606, lenses 608 and 610 are placed between the optical component 602 and each standard optical fiber 604 and 606. The lens 608 collects light from the input-side optical fiber 604 and converges the light on the input-side waveguide of the optical component 602. The lens 610 on the output side of the optical component collects light from the waveguide on the output side of the optical component 602 and converges the light again on the optical fiber 606. For the alignment of the lenses 608 and 610 with the optical component 602 and the two optical fibers 604 and 606, all components need to be adjusted to an optimal state, whereas for optimal alignment, The part must be precisely fixed in place, which is practically not feasible.

新規な光学パッケージ600bもまた、光学部品602を備えている。しかしながら、この実施形態では、レンズチップ付き光ファイバ612及び614が標準ファイバ604及び606の代わりに使用されている。レンズチップ付き光ファイバ612および614は、レンズ面408を備えているため、光ファイバ612および614に対して自動的に位置調整され、レンズおよび複雑なパッケージ設計に幾つもの調節固定器具を必要としなくなる。新規な光学パッケージ600bにより、パッケージ設計および光位置調整工程が簡略化され、同時に、光学パッケージの信頼性が向上する。さらに、適切に設計され調節されたレンズチップ付きファイバは、光結合効率を向上させ、光学パッケージの大きさを小型化する。   The new optical package 600b also includes an optical component 602. However, in this embodiment, optical fibers 612 and 614 with lens chips are used instead of standard fibers 604 and 606. Since the optical fibers 612 and 614 with lens tips have a lens surface 408, they are automatically aligned relative to the optical fibers 612 and 614, eliminating the need for several adjustment fixtures for the lens and complex package design. . The new optical package 600b simplifies the package design and optical position adjustment process, and at the same time improves the reliability of the optical package. In addition, a properly designed and tuned fiber with a lens chip improves optical coupling efficiency and reduces the size of the optical package.

本発明のレンズチップ付き光ファイバは、他の数多くの用途に使用可能である。例えば、本発明のレンズチップ付き光ファイバは、気密密閉されたリード線の位置調整/結合のために使用することができる。このレンズは、様々な高密度波長分割多重(DWDM)方式の構成部品、オプトエレクトロニクス部品、光学部品、および光集積回路における結合性または相互接続性を向上させるために、ファイバリボン上に形成することが可能であり、そして高効率の受信器を形成するように入射光を検知器に収束させるのに使用することができる。また、このレンズチップ付き光ファイバは、様々な医療分野におけるレーザ手術器具や、マイクロイメージング、バイオプローブ、スペクトル分析等の持ち運び可能なセンサに使用することもできる。   The optical fiber with a lens chip of the present invention can be used for many other applications. For example, the optical fiber with a lens chip of the present invention can be used for position adjustment / coupling of a hermetically sealed lead wire. This lens must be formed on a fiber ribbon to improve connectivity or interconnectivity in various DWDM components, optoelectronic components, optical components, and optical integrated circuits. Can be used and can be used to focus the incident light onto the detector to form a highly efficient receiver. Moreover, this optical fiber with a lens chip can also be used for portable instruments such as laser surgical instruments in various medical fields, micro-imaging, bioprobes, and spectrum analysis.

上記実施形態は、本発明を例示するものであり、限定するものではない。また、本発明の原理にそって種々の改変や変更が可能なことは理解されるであろう。従って、本発明の範囲は特許請求の範囲によってのみ定義される。   The above embodiments are illustrative of the present invention and are not limiting. It will be understood that various modifications and changes may be made in accordance with the principles of the present invention. Accordingly, the scope of the invention is defined only by the claims.

本発明の工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process of this invention. 本発明の一実施形態に係る液体槽の簡略図である。It is a simplification figure of the liquid tank concerning one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る円柱形部材の一端における変形した端部の形成を示す簡略図である。It is a simplified diagram showing formation of a deformed end portion at one end of a cylindrical member according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る材料除去工程から得られる構造の簡略図である。It is a simplified diagram of the structure obtained from the material removal process concerning one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る図4Aの構造における変形した端部上にレンズを形成する工程を示す簡略図である。FIG. 4B is a simplified diagram illustrating a process of forming a lens on a deformed end in the structure of FIG. 4A according to one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る図4Aの構造における変形した端部上に形成可能である焦点距離を調節可能なレンズ面を示す簡略図である。FIG. 4B is a simplified diagram illustrating a lens surface with adjustable focal length that can be formed on a deformed end in the structure of FIG. 4A according to one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る本発明の適用例を示す簡略図である。It is a simplified diagram showing an application example of the present invention according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る本発明の別の適用例を示す簡略図である。It is a simplification figure showing another example of application of the present invention concerning one embodiment of the present invention.

Claims (20)

光ファイバ部材の製造方法であって、
光ファイバ部材の少なくとも一端部を変形させる変形ステップと、
レンズ面を形成するために、前記光ファイバ部材の変形した端部にエネルギを加えるステップと、
を備えることを特徴とする、光ファイバ部材の製造方法。
A method of manufacturing an optical fiber member,
A deformation step of deforming at least one end of the optical fiber member;
Applying energy to the deformed end of the optical fiber member to form a lens surface;
The manufacturing method of the optical fiber member characterized by the above-mentioned.
前記変形ステップが、前記光ファイバ部材の前記少なくとも一端部から材料を除去するステップを備えることを特徴とする、請求項1に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 1, wherein the deforming step includes a step of removing material from the at least one end portion of the optical fiber member. 前記変形ステップが、前記光ファイバ部材の前記少なくとも一端部をエッチング液にさらすことにより当該光ファイバ部材の当該少なくとも一端部をエッチングするステップを備えることを特徴とする、請求項1に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 1, wherein the deforming step includes a step of etching the at least one end portion of the optical fiber member by exposing the at least one end portion of the optical fiber member to an etching solution. . 前記エッチング液がHF酸を含むことを特徴とする、請求項3に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 3, wherein the etching solution contains HF acid. 前記光ファイバ部材が、ガラス、ポリマー、及びプラスチックから成る群から選択される材料を含むことを特徴とする、請求項1に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 1, wherein the optical fiber member includes a material selected from the group consisting of glass, polymer, and plastic. 前記変形した端部にエネルギを加えるステップが、前記レンズ面を形成するために、前記変形した端部を加熱する加熱ステップを備えることを特徴とする、請求項1に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 1, wherein the step of applying energy to the deformed end includes a heating step of heating the deformed end to form the lens surface. 前記レンズ面が、凸状、凹状、または平面状のレンズ面を備えることを特徴とする、請求項6に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 6, wherein the lens surface includes a convex, concave, or planar lens surface. 前記変形ステップが、前記光ファイバ部材の両端部から材料を除去するステップを備えることを特徴とする、請求項1に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 1, wherein the deforming step includes a step of removing material from both ends of the optical fiber member. 前記加熱ステップが、前記各端部にレンズ面を形成するために、両端部を加熱するステップを備えることを特徴とする、請求項8に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 8, wherein the heating step includes a step of heating both ends in order to form a lens surface at each end. 前記変形した端部が第一の長さを有しており、前記エネルギを加えるステップが、約15°から約20°の間の角度を有する当該変形した端部上の位置に前記レンズ面を形成するために、前記第一の長さに亘る位置にエネルギを加えるステップを備えることを特徴とする、請求項1に記載の製造方法。   The deformed end has a first length and the step of applying energy places the lens surface in a position on the deformed end having an angle between about 15 ° and about 20 °. The manufacturing method according to claim 1, further comprising the step of applying energy to a position over the first length to form. 前記エネルギを加えるステップが、前記変形した端部を熱源にさらすステップを備えることを特徴とする、請求項1に記載の製造方法。   The method of claim 1, wherein applying the energy comprises exposing the deformed end to a heat source. 前記エネルギを加えるステップが、前記変形した端部を火花に向けて移動させるステップを備えることを特徴とする、請求項1に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 1, wherein the step of applying energy comprises a step of moving the deformed end portion toward a spark. レンズチップ付き光ファイバの製造方法であって、
光透過性円柱形ファイバを提供する提供ステップと、
チップ部を形成するために、前記光透過性円柱形ファイバの第一端部をエッチングするエッチングステップと、
レンズ面を形成するために、前記チップ部を加熱する加熱ステップと、
を備えることを特徴とする、レンズチップ付き光ファイバの製造方法。
A method of manufacturing an optical fiber with a lens chip, comprising:
Providing a light transmissive cylindrical fiber;
An etching step of etching a first end of the light-transmitting cylindrical fiber to form a tip portion;
A heating step of heating the tip portion to form a lens surface;
A method for producing an optical fiber with a lens chip, comprising:
前記光透過性円柱形ファイバが、ガラス、ポリマー、及びプラスチックから成る群から選択される材料を含むことを特徴とする、請求項13に記載の製造方法。   The method of claim 13, wherein the light transmissive cylindrical fiber comprises a material selected from the group consisting of glass, polymer, and plastic. 前記エッチングステップが、前記光透過性円柱形ファイバの前記第一端部をエッチング液にさらすことにより、前記光透過性円柱形ファイバをエッチングするステップを備えることを特徴とする、請求項13に記載の製造方法。   14. The etching step of claim 13, wherein the etching step comprises etching the light transmissive cylindrical fiber by exposing the first end of the light transmissive cylindrical fiber to an etchant. Manufacturing method. 前記エッチング液がHF酸を含むことを特徴とする、請求項13に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 13, wherein the etching solution contains HF acid. 前記レンズ面が、凸状、凹状、または平面状のレンズ面を備えることを特徴とする、請求項13に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 13, wherein the lens surface includes a convex, concave, or planar lens surface. 前記エッチングステップが、前記光透過性円柱形ファイバの前記第一端部、及び第二端部をエッチングするステップを備えることを特徴とする、請求項13に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 13, wherein the etching step includes a step of etching the first end and the second end of the light-transmitting cylindrical fiber. 前記加熱ステップが、前記第一端部および前記第二端部の双方を加熱して、該各端部にレンズ面を形成するステップを備えることを特徴とする、請求項18に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 18, wherein the heating step includes a step of heating both the first end portion and the second end portion to form a lens surface at each end portion. . 光透過性円柱形ファイバの第一端部に形成された第一レンズ面であって、前記光透過性円柱形ファイバの少なくとも一端部を変形させ、且つ、当該光透過性円柱形ファイバの当該変形した端部にエネルギを加えることによって形成された第一レンズ面を備えることを特徴とする、光ファイバ。
A first lens surface formed at a first end of a light transmissive cylindrical fiber, wherein at least one end of the light transmissive cylindrical fiber is deformed, and the deformation of the light transmissive cylindrical fiber is performed. An optical fiber comprising a first lens surface formed by applying energy to the end.
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