JP2007335363A - Image display device - Google Patents

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Masahiko Kadowaki
正彦 門脇
Yoshie Kodera
喜衛 小寺
Yuichi Kijima
勇一 木島
Shigemi Hirasawa
重實 平澤
Nobutake Konishi
信武 小西
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Hitachi Ltd
Japan Display Inc
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Hitachi Ltd
Hitachi Displays Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an image display device in which a sealing of a vacuum panel composed of a rear substrate, a front substrate and a supporting body can be realized in a low temperature and selection freedom of an electron source material, an electrode wiring material or the like can be widened. <P>SOLUTION: The image display device is composed of a front substrate 1 inside which a cathode and a phosphor is provided and a rear substrate 2 inside which a plurality of anode wirings and a plurality of electron sources each formed on the anode wirings respectively and which is arranged facing the frond substrate with a predetermined distance, a frame shaped supporting body 3 interposed around a display area between the front substrate 1 and the rear substrate 2 to keep a predetermined distance, and a sealing member to airtightly seal both end faces of the supporting body 3 and the front substrate 1 and the rear substrate 2. The sealing member of vacuum side of a vacuum container is composed of a siloxane compound sealing member 10b having at least a phenyl group and that of an atmosphere side of the vacuum container is composed of a low melting point sealing member 10a and a hybrid sealing structure at a relatively low temperature can be realized. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、前面基板と背面基板との間に形成される真空中への電子放出を利用した画像表示装置に係り、特に両基板間を所定間隔に保持固定させる支持体のハイブリッド封着構造に関するものである。   The present invention relates to an image display device using electron emission into a vacuum formed between a front substrate and a back substrate, and more particularly to a hybrid sealing structure of a support that holds and fixes the two substrates at a predetermined interval. Is.

高輝度,高精細に優れたディスプレイデバイスとして従来からカラー陰極線管が広く用いられている。しかしながら、近年の情報処理装置やテレビ放送の高画質化に伴い、高輝度,高精細の特性を有すると共に軽量化,薄型化を実現可能とした平板型ディスプレイ(パネルディスプレイ)の要求が高まっている。   Conventionally, color cathode ray tubes have been widely used as display devices with excellent brightness and high definition. However, with the recent increase in image quality of information processing devices and television broadcasting, there is an increasing demand for flat panel displays (panel displays) that have high luminance and high definition characteristics and can be reduced in weight and thickness. .

その典型的な例として液晶表示装置,プラズマ表示装置などが実用化されている。また、特に高輝度化が可能なものとして電子源から真空中への電子放出を利用した画像表示装置(以下、電子放出型表示装置または電界放出型表示装置と呼ばれる。以下、FEDと呼ぶ)や低消費電力を特徴とする有機ELディスプレイなど種々の型式のパネル型表示装置の実用化も図られている。   As typical examples, liquid crystal display devices, plasma display devices and the like have been put into practical use. In particular, an image display device using electron emission from an electron source into a vacuum (hereinafter referred to as an electron emission display device or a field emission display device; hereinafter referred to as an FED), which can achieve high brightness, Various types of panel display devices such as an organic EL display characterized by low power consumption have been put into practical use.

このようなパネル型表示装置のうち、上記電界放出型表示装置には、C.A.Spindtらにより発案された電子放出構造を有するもの、メタル−インシュレータ−メタル(MIM)型の電子放出構造を有するもの、量子論的トンネル効果による電子放出現象を利用する電子放出構造(表面伝導型電子源とも呼ばれる)を有するもの、さらにはダイアモンド膜やグラファイト膜,カーボンナノチューブの有する電子放出現象を利用するものなどが知られている。   Among such panel type display devices, the field emission type display devices include those having an electron emission structure proposed by CASpindt et al., Those having a metal-insulator-metal (MIM) type electron emission structure, Known are those that have an electron emission structure (also called a surface conduction electron source) that uses the electron emission phenomenon due to the quantum tunnel effect, and those that use the electron emission phenomenon of diamond films, graphite films, and carbon nanotubes. It has been.

また、このようなパネル型表示装置のうち、電界放出型画像表示装置は、内面に電界放出型の電子源を有する陰極配線及び制御電極などを形成した背面基板と、この背面基板と対向する内面に陽極及び蛍光体を形成した前面基板とを両基板内周縁部に支持枠を介挿して貼り合わせて気密封着してパネルとし、そのパネルの密閉空間を外界の気圧より低圧または真空状態に保持されて構成される。上記制御電極は陰極配線とは絶縁層を介してあるいは絶縁間隙を有して当該陰極配線と交差させて設置される。   Of such panel type display devices, the field emission image display device includes a back substrate having a cathode wiring having a field emission type electron source and a control electrode formed on the inner surface, and an inner surface facing the rear substrate. The front substrate on which the anode and the phosphor are formed is bonded to the inner peripheral edge of both substrates through a support frame and hermetically sealed to form a panel, and the sealed space of the panel is set to a pressure lower than the atmospheric pressure or a vacuum state. Held and configured. The control electrode is disposed so as to intersect the cathode wiring with an insulating layer or an insulating gap from the cathode wiring.

また、上記制御電極には、陰極配線上に有する電子源からの電子を通過させる単数または複数の開孔を画素毎に有している。さらに背面基板と前面基板との間の間隔を所定値の間隔に保持するために当該背面基板と前面基板との間に間隔保持部材が介在されている。なお、この間隔保持部材は、例えばガラスやセラミックスの薄板で形成され、画素を避けた位置に植立される。   The control electrode has one or more apertures for each pixel that allow electrons from the electron source on the cathode wiring to pass therethrough. Further, a spacing member is interposed between the back substrate and the front substrate in order to keep the spacing between the back substrate and the front substrate at a predetermined value. The spacing member is formed of, for example, a thin plate of glass or ceramics, and is planted at a position avoiding the pixels.

図9は、従来のこの種のパネル型表示装置としての画像表示装置の構成を説明する要部断面図である。この画像表示装置は、複数の電子放出素子5を搭載した背面基板2と、この背面基板2に対向して配置されるとともに電子放出素子5から放出される電子線の照射により画像が形成される画像形成部材6を搭載した前面基板1と、背面基板2と前面基板1との間にあって背面基板2及び前面基板1の周縁部を支持する枠状の支持体3と、前面基板1と背面基板2との間に支柱として配置されるスペーサ(間隔保持部材)4とから構成されている。   FIG. 9 is a cross-sectional view of an essential part for explaining the configuration of an image display device as a conventional panel type display device of this type. In this image display device, an image is formed by irradiation of an electron beam emitted from the back substrate 2 on which the plurality of electron emitters 5 are mounted, the back substrate 2 facing the back substrate 2 and being emitted from the electron emitters 5. A front substrate 1 on which an image forming member 6 is mounted; a frame-like support 3 between the rear substrate 2 and the front substrate 1 that supports the peripheral portion of the rear substrate 2 and the front substrate 1; and the front substrate 1 and the rear substrate 2 and a spacer (interval holding member) 4 disposed as a support post.

このように構成される画像表示装置は、図10に要部拡大断面図で示すように前面基板1と背面基板2との対向間の周縁部に、断面が略矩形状のガラス部材を枠状に組み立てて形成した支持体3がその両端面に例えばフリットガラス材からなる封着部材10a,10bにより接着されて接合固定され、さらにこの周縁部の内側にはガラス部材からなるスペーサ4がその両端面に例えばフリットガラス材からなる固定部材8を介在させて接着固定されている。これによって耐大気圧強度及び耐衝撃性を向上させている。この種の画像表示装置に関しては、例えば下記特許文献1等に開示されている。   The image display device configured as described above has a frame-shaped glass member having a substantially rectangular cross section at the peripheral edge between the front substrate 1 and the back substrate 2 as shown in FIG. The support 3 formed by assembling is bonded and fixed to both end faces by sealing members 10a and 10b made of, for example, frit glass material, and a spacer 4 made of a glass member is provided at both ends of the peripheral edge. The surface is bonded and fixed with a fixing member 8 made of, for example, a frit glass material interposed. This improves the atmospheric pressure resistance and impact resistance. This type of image display apparatus is disclosed in, for example, Patent Document 1 below.

特許第3241219号(特開平7−230776号公報)Japanese Patent No. 3241219 (Japanese Patent Laid-Open No. 7-230776)

特許文献1に記載されている画像表示装置は、前面基板1と背面基板2との間に支持体3の両端面を気密封着する封着部材として、一般的にフリットガラス材が用いられている。このフリットガラス材は、約450℃にて溶融封着した後、このフリットガラスの軟化点以下の温度、例えば約300℃〜400℃にて真空排気が行なわれる。したがって、例えば電子放出素子5としてMIM型電子源を用いた電子放出構造では、約450℃以上の耐熱性が要求される。このような温度制約の中で電気的特性の向上を目的として、電子源材料や電極配線材料の選択を行なうことは困難性が伴うという課題があった。   In the image display device described in Patent Document 1, a frit glass material is generally used as a sealing member that hermetically seals both end surfaces of a support 3 between a front substrate 1 and a back substrate 2. Yes. The frit glass material is melt-sealed at about 450 ° C. and then evacuated at a temperature below the softening point of the frit glass, for example, about 300 ° C. to 400 ° C. Therefore, for example, in an electron emission structure using an MIM type electron source as the electron emission element 5, heat resistance of about 450 ° C. or more is required. There is a problem that it is difficult to select an electron source material and an electrode wiring material for the purpose of improving electrical characteristics under such temperature constraints.

したがって、本発明は前述した従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、背面基板と前面基板と支持体とから構成される真空容器の封着を低温度で実現させることによって、電子源材料及び電極配線材料等の選択性を拡大することができる画像表示装置を提供することにある。   Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and an object thereof is to realize sealing of a vacuum vessel composed of a back substrate, a front substrate, and a support at a low temperature. Accordingly, an object of the present invention is to provide an image display device capable of expanding the selectivity of an electron source material, an electrode wiring material, and the like.

このような目的を達成するために本発明による画像表示装置は、前面基板及び背面基板の内周縁部と支持体の両端面とを気密封着させる封着部材が真空容器の真空側で少なくともフェニル基を有するシロキサン化合物封着部材を含み、当該真空容器の大気側で低融点封着部材を含むことにより、比較的低温度での封着が可能となるので、背景技術の課題を解決することができる。   In order to achieve such an object, the image display device according to the present invention has a sealing member that hermetically seals the inner peripheral edge portions of the front substrate and the rear substrate and both end surfaces of the support at least on the vacuum side of the vacuum vessel. By including a siloxane compound sealing member having a group and including a low-melting point sealing member on the atmosphere side of the vacuum vessel, it becomes possible to seal at a relatively low temperature, thereby solving the problems of the background art Can do.

また、本発明による画像表示装置は、好ましくは、上記構成において、フェニル基を有するシロキサン化合物封着部材として、フェニルヘプタメチルシクロテトラシロキサンと、2,6−シス−ジフェニルヘキサメチルシクロテトラシロキサンとを含むシリコンレジンを用いることを特徴としている。   The image display device according to the present invention preferably has phenyl heptamethylcyclotetrasiloxane and 2,6-cis-diphenylhexamethylcyclotetrasiloxane as the siloxane compound sealing member having a phenyl group in the above configuration. It is characterized by using a silicon resin containing.

また、本発明による画像表示装置は、好ましくは、上記構成において、フェニル基を有するシロキサン化合物封着部材が、200℃乃至300℃の温度で熱硬化することを特徴としている。   The image display device according to the present invention is preferably characterized in that, in the above configuration, the siloxane compound sealing member having a phenyl group is thermally cured at a temperature of 200 ° C. to 300 ° C.

また、本発明による画像表示装置は、好ましくは、上記構成において、低融点封着部材として、300℃乃至380℃の温度で熱硬化する低融点フリットガラスを用いたことを特徴としている。   The image display device according to the present invention is preferably characterized in that, in the above configuration, a low melting point frit glass that is thermally cured at a temperature of 300 ° C. to 380 ° C. is used as the low melting point sealing member.

なお、本発明は、上記各構成及び後述する実施の形態に記載される構成に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱することなく、種々の変更が可能であることは言うまでもない。   It should be noted that the present invention is not limited to the configurations described in the above-described configurations and the embodiments described later, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the technical idea of the present invention. .

本発明によれば、封着部材は真空容器の高真空側が少なくともフェニル基を有するシロキサン化合物封着部材により封着し、真空容器の大気側が低融点系封着部材により封着することにより、低温度での封着と気密保持封止とが同時に実現可能となるので、電子源材料及び電極配線材料等の選択性及び品質安定性が向上できるとともに、電気的特性も向上でき、さらには製造エネルギーの削減が可能となる等の極めて優れた効果が得られる。   According to the present invention, the sealing member is sealed by sealing the high vacuum side of the vacuum container with a siloxane compound sealing member having at least a phenyl group, and sealing the atmosphere side of the vacuum container with a low melting point sealing member. Since sealing at temperature and hermetic holding sealing can be realized at the same time, selectivity and quality stability of electron source materials and electrode wiring materials can be improved, electrical characteristics can be improved, and manufacturing energy can be improved. It is possible to obtain extremely excellent effects such as reduction of the amount.

以下、本発明の具体的な実施の形態について、実施例の図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings of the examples.

図1は、本発明による画像表示装置の実施例1による電界放出型の表示装置の概略構成を説明する要部平面図、図2は図1のA−A´線に沿って切断した要部拡大断面図である。図1及び図2において、参照符号1は透光性ガラス板材からなる前面基板、参照符号2は前面基板1と同様に透光性ガラスまたはアルミナなどのセラミックス材からなる背面基板であり、これらの前面基板1及び背面基板2は、板厚が例えば約3mm程度の厚さで形成されている。   FIG. 1 is a plan view of a principal part for explaining a schematic configuration of a field emission display device according to a first embodiment of an image display apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a principal part cut along the line AA ′ of FIG. It is an expanded sectional view. 1 and 2, reference numeral 1 is a front substrate made of a translucent glass plate, and reference numeral 2 is a rear substrate made of a translucent glass or a ceramic material such as alumina in the same manner as the front substrate 1. The front substrate 1 and the rear substrate 2 are formed with a thickness of about 3 mm, for example.

また、参照符号3はガラス板またはフリットガラス板材などの成形体を棒状に切断し、枠状に組み合わせて接着固定して形成された外枠を兼ねた支持体であり、この支持体3は、前面基板1と背面基板2との間の内周縁部に後述する2種類の封着部材10a,10bにより接着固定されて設置され、前面基板1と背面基板2との間の間隔を所定寸法、例えば約3mm程度に保持させている。また、前面基板1及び背面基板2と支持体の両端面とが上記2種類の封着部材10a,10bによって接合され、気密封止されて真空容器が構成される。   Reference numeral 3 is a support that also serves as an outer frame that is formed by cutting a molded body such as a glass plate or a frit glass plate into a rod shape, and bonding and fixing it in a frame shape. The inner peripheral edge between the front substrate 1 and the rear substrate 2 is installed by being bonded and fixed by two kinds of sealing members 10a and 10b described later, and the distance between the front substrate 1 and the rear substrate 2 is set to a predetermined dimension. For example, it is held at about 3 mm. Further, the front substrate 1 and the rear substrate 2 and both end surfaces of the support are joined by the two kinds of sealing members 10a and 10b and hermetically sealed to constitute a vacuum container.

また、図2に示す参照符号4は間隔保持部材としての板状のスペーサであり、このスペーサ4は、例えば約0.1mm程度以下の薄いガラス板またはアルミナ等のセラミックス板材を約3mm程度の幅(高さ寸法)に切断して形成され、前面基板1及び背面基板2の基板面にほぼ垂直で一方向(X方向)に延在し、他方向(Y方向)に複数枚並設して後述する固定部材11a,11bにより固定配置され、支持体3と協働して前面基板1と背面基板2との間の間隔を所定の寸法に保持させている。   Further, reference numeral 4 shown in FIG. 2 is a plate-like spacer as a spacing member, and this spacer 4 is a thin glass plate of about 0.1 mm or less or a ceramic plate material such as alumina having a width of about 3 mm. (Height dimension) is formed by cutting, extending in one direction (X direction) substantially perpendicular to the substrate surface of the front substrate 1 and the rear substrate 2, and arranging a plurality of sheets in parallel in the other direction (Y direction) It is fixedly arranged by fixing members 11a and 11b, which will be described later, and the distance between the front substrate 1 and the rear substrate 2 is maintained at a predetermined dimension in cooperation with the support 3.

また、参照符号5は電子放出素子であり、この電子放出素子5は、図3に要部拡大断面図で示すように陰極配線51と、電子源52と、制御電極53とから構成され、背面基板2上に所定の間隔で配置されている。この陰極配線51は、背面基板2の内側表面に複数本が一方向(X方向)に延在し、他方向(Y方向)に並設されている。   Reference numeral 5 denotes an electron-emitting device. The electron-emitting device 5 includes a cathode wiring 51, an electron source 52, and a control electrode 53 as shown in an enlarged cross-sectional view of the main part in FIG. They are arranged on the substrate 2 at a predetermined interval. A plurality of the cathode wirings 51 extend in one direction (X direction) on the inner surface of the back substrate 2 and are arranged in parallel in the other direction (Y direction).

この陰極配線51の端部は、陰極配線引き出し線51aとして背面基板2の二辺に分けられて気密封着部の外側に引き出されている。この陰極配線51は、例えば蒸着法などにより形成するか、または例えば粒径約1μm〜5μm程度の導電性銀粒子に絶縁性を発現する低融点ガラスを混合した銀ペーストを厚膜印刷し、例えば約600℃の温度にて加熱焼成して形成することなどにより設けられている。   The end portion of the cathode wiring 51 is divided into two sides of the back substrate 2 as a cathode wiring lead line 51a and is drawn to the outside of the hermetic seal portion. The cathode wiring 51 is formed by, for example, a vapor deposition method, or a thick paste is used to print a silver paste in which conductive silver particles having a particle size of about 1 μm to 5 μm are mixed with a low-melting glass that expresses insulation, for example, It is formed by heating and baking at a temperature of about 600 ° C.

また、制御電極53は、陰極配線51の上方に陰極配線51と絶縁されて配置され、この制御電極53の端部は、制御電極引き出し線53aとして背面基板2の他の一辺で気密封着部の外側に引き出されている。   The control electrode 53 is disposed above the cathode wiring 51 so as to be insulated from the cathode wiring 51, and an end portion of the control electrode 53 serves as a control electrode lead-out line 53a on the other side of the rear substrate 2 and is hermetically sealed. It is pulled out outside.

さらに、陰極配線51上に所定の間隔で配置された電子源52は、メタル−インシュレータ−メタル(MIM)型の電子放出素子、量子論的トンネル効果による電子放出現象を利用する電子放出構造(表面伝導型電子源とも称される)素子、ダイアモンド膜やグラファイト膜またはカーボンナノチューブなどから形成されている。この形成方法としては、例えば厚膜印刷されて焼成された陰極配線51の表面にカーボンナノチューブペーストを印刷し、例えば真空中にて約590℃の温度で加熱焼成する方法などが用いられる。   Further, an electron source 52 arranged at a predetermined interval on the cathode wiring 51 is a metal-insulator-metal (MIM) type electron-emitting device, and an electron-emitting structure (surface) utilizing an electron-emitting phenomenon due to a quantum tunnel effect. (Also referred to as a conduction electron source), a diamond film, a graphite film, or a carbon nanotube. As this formation method, for example, a method of printing a carbon nanotube paste on the surface of the cathode wiring 51 which has been printed and fired with a thick film, and heated and fired at a temperature of about 590 ° C. in a vacuum, for example, is used.

また、参照符号6は、画像形成部材であり、この画像形成部材6は、蛍光体膜61とこの蛍光体膜61上に被着されたメタルバック膜62とブラックマトリクス(BM)膜63とから形成され、前面基板1の内面上に配置されている。   Reference numeral 6 denotes an image forming member. The image forming member 6 includes a phosphor film 61, a metal back film 62 deposited on the phosphor film 61, and a black matrix (BM) film 63. Formed and disposed on the inner surface of the front substrate 1.

また、参照符号10aは、図4に要部拡大断面図で示すように前面基板1及び背面基板2の内周縁部と、支持体3の上下端面の外周縁部、つまり、大気側と接する周縁部とを封着する低融点封着部材であり、この低融点封着部材10aは、例えばPbOとB23とZnOとを主成分とする結晶化フリットガラスにより形成されている。 Reference numeral 10a denotes an inner peripheral edge of the front substrate 1 and the rear substrate 2, and an outer peripheral edge of the upper and lower end surfaces of the support 3, that is, a peripheral edge in contact with the atmosphere side, as shown in an enlarged cross-sectional view of the main part in FIG. The low melting point sealing member 10a is formed of, for example, crystallized frit glass mainly composed of PbO, B 2 O 3 and ZnO.

また、参照符号10bは、前面基板1及び背面基板2の内周縁部と支持体3の上下端面の内周縁部、つまり、高真空側と接する周縁部とを封着するフェニル基を有するシロキサン化合物封着部材であり、このフェニル基を有するシロキサン化合物封着部材10bは、例えばフェニルヘプタメチルシクロテトラシロキサンと、2,6−シス−ジフェニルヘキサメチルシクロテトラシロキサンとを含むシリコンレジンにより形成されている。なお、これらの低融点封着部材10a及びシロキサン化合物封着部材10bのシール厚さTは、図3に示すようにそれぞれ約20μm程度である。   Reference numeral 10b denotes a siloxane compound having a phenyl group that seals the inner peripheral edge portions of the front substrate 1 and the rear substrate 2 and the inner peripheral edge portions of the upper and lower end surfaces of the support 3, that is, the peripheral edge portion in contact with the high vacuum side. The siloxane compound sealing member 10b which is a sealing member and has a phenyl group is formed of a silicon resin containing, for example, phenylheptamethylcyclotetrasiloxane and 2,6-cis-diphenylhexamethylcyclotetrasiloxane. . The seal thickness T of the low melting point sealing member 10a and the siloxane compound sealing member 10b is about 20 μm as shown in FIG.

このフェニル基を有するシロキサン化合物封着部材10bは、フェニルヘプタメチルシクロテトラシロキサン及び2,6−シス−ジフェニルヘキサメチルシクロテトラシロキサンをトルエン,キシレンまたはソルベントナフサ等の有機溶媒に溶解し、約100℃〜150℃にて約2時間〜5時間加熱し、溶媒を蒸発させながら、縮合反応させ、反応生成物の粘度を約100cps〜1000cpsに調整することによってペースト状接着材を形成することができる。   This siloxane compound sealing member 10b having a phenyl group is obtained by dissolving phenylheptamethylcyclotetrasiloxane and 2,6-cis-diphenylhexamethylcyclotetrasiloxane in an organic solvent such as toluene, xylene, or solvent naphtha, and is about 100 ° C. A paste-like adhesive can be formed by heating at ˜150 ° C. for about 2 hours to 5 hours, causing the condensation reaction while evaporating the solvent, and adjusting the viscosity of the reaction product to about 100 cps to 1000 cps.

このようにして得られたペースト状接着材を例えばディスペンサー等により、支持体3の上下端面の内側(高真空側)に塗布し、さらに支持体3の上下端面の外側(大気側)にPbOとB23とZnOとを主成分とする低融点フリットガラス材を例えばディスペンサー等により塗布した後、真空チャンバーに入れ、約100Pa程度の減圧中で約100℃に加熱しながら、真空排気し、溶媒の蒸発及び脱泡処理を行なって一度大気中に取り出す。 The paste-like adhesive thus obtained is applied to the inside (high vacuum side) of the upper and lower end surfaces of the support 3 with, for example, a dispenser, and further PbO and the outside of the upper and lower end surfaces of the support 3 (atmosphere side). A low melting point frit glass material mainly composed of B 2 O 3 and ZnO is applied by, for example, a dispenser, and then placed in a vacuum chamber and evacuated while being heated to about 100 ° C. in a reduced pressure of about 100 Pa. The solvent is evaporated and degassed, and once taken out to the atmosphere.

次に、支持体3の上下端面の接着材を塗布した部分に接合すべき前面基板1及び背面基板2を重ね合わせ、外面(図1中のZ方向)から荷重を加えながら圧着し、大気中にて約200℃〜300℃に加熱してペースト状接着材を硬化させたシロキサン化合物封着部材10bにより気密接合されることになる。   Next, the front substrate 1 and the back substrate 2 to be bonded are superposed on the portions of the upper and lower end surfaces of the support 3 to which the adhesive material is applied, and are pressure-bonded while applying a load from the outer surface (Z direction in FIG. 1). The airtight joining is performed by the siloxane compound sealing member 10b that has been heated to about 200 ° C. to 300 ° C. to cure the paste adhesive.

次に、約300℃以上350℃以下の温度に加熱された窒素雰囲気中にて低融点フリットガラス材を溶融させながら、約370℃で真空排気を行ない、所定の真空度に達した後、約380℃に加熱焼成して硬化させた低融点封着部材10aにより気密接合されることになる。   Next, evacuation is performed at about 370 ° C. while melting the low melting point frit glass material in a nitrogen atmosphere heated to a temperature of about 300 ° C. to 350 ° C., and after reaching a predetermined degree of vacuum, Airtight joining is performed by the low melting point sealing member 10a that is cured by heating and baking at 380 ° C.

なお、上記実施例では、シロキサン化合物封着部材10bの封着法について詳細に説明したが、低融点封着部材10aの封着法は、フリットガラス材を公知のコーテング法によりシロキサン化合物封着部材10bの塗布工程と同時に並行して進行させて行ない、一連の加熱処理工程を経ることによって低融点封着部材10aとシロキサン化合物封着部材10bとによる気密接合を同一工程で形成することもできる。   In the above-described embodiment, the sealing method of the siloxane compound sealing member 10b has been described in detail. The sealing method of the low melting point sealing member 10a is a siloxane compound sealing member made of a frit glass material by a known coating method. It is also possible to form the hermetic joint between the low-melting point sealing member 10a and the siloxane compound sealing member 10b in the same process by performing a series of heat treatment processes in parallel with the coating process 10b.

これらの封着部材10a,10bは、それぞれ支持体3の上下端面に前面基板1と背面基板2とを配置させてZ方向に積層された前面基板1と背面基板2との周縁部が気密封着される。また、支持体3と前面基板1,背面基板2とで囲繞された部分が図1に示す画像表示領域12を構成しており、この表示領域12の部分はその内部が真空状態に保持される。   These sealing members 10a and 10b have a front substrate 1 and a rear substrate 2 arranged on the upper and lower end surfaces of the support 3, respectively, and the peripheral portions of the front substrate 1 and the rear substrate 2 stacked in the Z direction are hermetically sealed. Worn. A portion surrounded by the support 3 and the front substrate 1 and the rear substrate 2 constitutes the image display region 12 shown in FIG. 1, and the inside of the display region 12 is maintained in a vacuum state. .

また、参照符号11a,11bは、スペーサ4と前面基板1及び背面基板2とをそれぞれ接着固定する固定部材である。この固定部材11aは、ヒステリシス特性を有する物質として例えばB23とPbOとZnOとを主成分とする結晶化フリットガラスにより形成され、背面基板2とスペーサ4の下端面42とが接合固定されている。 Reference numerals 11a and 11b are fixing members for bonding and fixing the spacer 4 to the front substrate 1 and the rear substrate 2, respectively. The fixing member 11a is formed of, for example, crystallized frit glass mainly containing B 2 O 3 , PbO, and ZnO as a substance having hysteresis characteristics, and the back substrate 2 and the lower end surface 42 of the spacer 4 are bonded and fixed. ing.

また、固定部材11bは、例えばSiO2とB23とPbOとを主成分とする非晶質フリットガラスにより形成され、前面基板1とスペーサ4の上端面41とが接合固定されている。これらの固定部材11a及び固定部材11bのうち、固定部材11bは、スペーサ4の硬度とほぼ同等もしくは低い硬度を有する非晶質フリットガラス等により形成されている。 The fixing member 11b is formed of amorphous frit glass mainly composed of SiO 2 , B 2 O 3 and PbO, for example, and the front substrate 1 and the upper end surface 41 of the spacer 4 are bonded and fixed. Of these fixing members 11a and 11b, the fixing member 11b is formed of amorphous frit glass or the like having a hardness substantially equal to or lower than the hardness of the spacer 4.

このような構成において、陰極配線51上に配置された電子源52から放射された電子は、約100V程度のグリット電圧の印加された制御電極53の電子通過孔で制御され、この電子通過孔を通過し、数KV〜10数KVの陽極電圧の印加された画像形成部材に向かい、メタルバック層(陽極)62を通過して蛍光体層61に射突して蛍光体61を発光させ、映視像面に所望の表示を行う構成となっている。そして、陰極配線51と制御電極53との交差部にマトリクス状に単位画素が形成され、このマトリクス配列された画素により表示領域が形成される。一般的には、単位画素の三個のグループで赤(R),緑(G),青(B)からなるカラー画素が形成される。   In such a configuration, electrons radiated from the electron source 52 arranged on the cathode wiring 51 are controlled by the electron passage holes of the control electrode 53 to which a grit voltage of about 100 V is applied. Passes through the image forming member to which an anode voltage of several KV to 10 KV is applied, passes through the metal back layer (anode) 62, and strikes the phosphor layer 61 to cause the phosphor 61 to emit light. A desired display is configured on the viewing surface. Unit pixels are formed in a matrix at intersections between the cathode wiring 51 and the control electrode 53, and a display region is formed by the pixels arranged in the matrix. Generally, a color pixel composed of red (R), green (G), and blue (B) is formed by three groups of unit pixels.

このように構成された画像表示装置は、前面基板1と背面基板2と支持体3との組立体で構成される真空容器の高真空側ではフェニル基を有するシロキサン化合物封着部材10bが約300℃以下の温度により熱硬化して強固に接着固定して接合され、真空容器の大気側では低融点系封着部材10aが約380℃以下の温度により熱硬化して強固に接着固定して接合されるので、ガラスの融点(約430℃)以下の低温度での気密封着及び気密保持封止が同時に得られる。   In the image display device configured as described above, the siloxane compound sealing member 10b having a phenyl group is about 300 on the high vacuum side of the vacuum container constituted by the assembly of the front substrate 1, the rear substrate 2, and the support 3. Heat-cured at a temperature of ℃ or less and firmly bonded and fixed and bonded. On the atmosphere side of the vacuum vessel, the low-melting-point sealing member 10a is heat-cured at a temperature of about 380 ℃ and firmly bonded and fixed and bonded. Therefore, hermetic sealing and hermetic maintenance sealing at a low temperature below the melting point (about 430 ° C.) of the glass can be obtained at the same time.

なお、シロキサン化合物封着部材10bは、約300℃で硬化して強固に接合固定されるので、低融点フリットガラスを溶融させて低融点封着部材10aの加熱焼成温度(約400℃)に対してもシロキサン化合物封着部材10bが形状変化を起すことなく、強固に硬化されて接合される。   Since the siloxane compound sealing member 10b is cured at about 300 ° C. and is firmly bonded and fixed, the low melting point frit glass is melted to the heating and firing temperature (about 400 ° C.) of the low melting point sealing member 10a. However, the siloxane compound sealing member 10b is firmly cured and bonded without causing a shape change.

これによって、一般的にフリットガラス材を用いることで約400℃にて溶融封着し、このフリットガラス材の軟化点以下の温度(例えば約400℃以下)で真空排気を行なっていた一連の気密封着工程及び真空排気工程等に比べて高温度で長時間に亘って曝されることがなくなるので、電子源材料及び電極材料等の酸化促進を阻止することがきできる。   As a result, a series of gas that has been melt-sealed at about 400 ° C. by using a frit glass material and evacuated at a temperature below the softening point of the frit glass material (for example, about 400 ° C. or less). Compared to the sealing process and the evacuation process, it is not exposed for a long time at a high temperature, so that the promotion of oxidation of the electron source material and the electrode material can be prevented.

なお、フェニル基を有するシロキサン化合物封着部材10bは、ペースト状接着材を加熱処理してシート状接着材に加工し、支持体3の両端面の内縁部に重ね合わせて上記同様の温度条件で封着させても同様の封着構造が実現可能となる。シロキサン化合物封着部材10bとしてシート状接着材を用いることにより、脱泡処理時の脱ガスが少なく、耐熱性に優れている。   In addition, the siloxane compound sealing member 10b having a phenyl group is processed into a sheet-like adhesive by heat-treating a paste-like adhesive, and is superposed on inner edge portions of both end faces of the support 3 under the same temperature conditions as described above. Even if it is sealed, a similar sealing structure can be realized. By using a sheet-like adhesive as the siloxane compound sealing member 10b, there is little degassing during the defoaming treatment, and the heat resistance is excellent.

また、このように構成される画像表示装置は、前面基板1及び背面基板2と支持体とのハイブリッド封着が約400℃以下の比較的低温度で形成することができるので、製造時の消費エネルギーを削減することが可能となる。また、比較的低温度で封着が可能となることから、真空封着時の温度条件に耐え得る電子源材料及び電極配線材料等を選択することが可能となるので、品質安定性が向上できるとともに、電気的特性も向上できる。   In addition, the image display device configured as described above can be formed at a relatively low temperature of about 400 ° C. or less because the hybrid sealing of the front substrate 1 and the rear substrate 2 and the support can be performed at a relatively low temperature. It becomes possible to reduce energy. In addition, since sealing can be performed at a relatively low temperature, it is possible to select an electron source material, an electrode wiring material, and the like that can withstand the temperature conditions at the time of vacuum sealing, thereby improving quality stability. In addition, the electrical characteristics can be improved.

図5は、本発明による画像表示装置の実施例2を説明する支持体の封着構造の構成を示す要部断面図であり、前述した図と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。図5において、図4と異なる点は、前面基板1及び背面基板2の内周縁部と支持体3の上下端面がシロキサン化合物封着部材10bにより封着され、このシロキサン化合物封着部材10bの大気と接する最表面で低融点封着部材10aにより封着されている。   FIG. 5 is a cross-sectional view of an essential part showing the structure of a support sealing structure for explaining an image display device according to a second embodiment of the present invention. Is omitted. 5 is different from FIG. 4 in that the inner peripheral edge portions of the front substrate 1 and the rear substrate 2 and the upper and lower end surfaces of the support 3 are sealed with a siloxane compound sealing member 10b, and the atmosphere of the siloxane compound sealing member 10b. It is sealed by the low melting point sealing member 10a at the outermost surface in contact with the surface.

このような構成においては、低融点封着部材10aがシロキサン化合物封着部材10bの気密保持としてのバリア層となる封着構造が得られるので、上記実施例1と同様の効果が得られる。   In such a configuration, a sealing structure in which the low-melting-point sealing member 10a serves as a barrier layer as an airtight holding of the siloxane compound sealing member 10b is obtained, so that the same effect as in the first embodiment can be obtained.

図6は、本発明に係わる画像表示装置を構成する背面基板の内面側から見た要部平面図である。図6において、ガラスまたはセラミックス材などを好適とする背面基板1の主面(前面)には、第1の方向(Y方向)に延在して第1の方向と交差する第2の方向(X方向)に並設された複数のデータ線(または陰極ラインとも称する)DLと、第2の方向(X方向)に延在して第2の方向と交差する第1の方向(Y方向)に並設された複数の走査線SLとを有している。マトリクス状に配置されたこれらのデータ線DL及び走査線SLの交差部または交差部近傍には電子放出素子が形成されている。   FIG. 6 is a plan view of the main part as seen from the inner surface side of the rear substrate constituting the image display device according to the present invention. In FIG. 6, the main surface (front surface) of the back substrate 1 that is preferably made of glass or a ceramic material has a second direction that extends in the first direction (Y direction) and intersects the first direction ( A plurality of data lines (also referred to as cathode lines) DL arranged in parallel in the X direction) and a first direction (Y direction) extending in the second direction (X direction) and intersecting the second direction And a plurality of scanning lines SL arranged side by side. Electron emitting elements are formed at or near the intersection of the data lines DL and the scanning lines SL arranged in a matrix.

走査線SLは、その一端が走査ドライバSDに接続されている。一方、データ線DLはその一端がデータドライバDDに接続されている。前面基板は、図中、破線部分に沿って対向して配置される。前面基板2と背面基板1とはその対向領域の外周に沿って接着され、内部ガスを排気して封止される。前述したスペーサは走査線SL上に配置される。   One end of the scanning line SL is connected to the scanning driver SD. On the other hand, one end of the data line DL is connected to the data driver DD. The front substrate is disposed to face along the broken line portion in the drawing. The front substrate 2 and the rear substrate 1 are bonded along the outer periphery of the opposing region, and sealed by exhausting the internal gas. The above-described spacer is disposed on the scanning line SL.

図7は、本発明に係わる画像表示装置を構成する前面基板の内面側から見た要部平面図である。図7において、透光性ガラス材からなる前面基板2の内面には、図6に示す複数のデータ線DLの長さ方向に沿って赤色蛍光体層PHR,緑色蛍光体層PHG及び青色蛍光体層PHBを有する蛍光面PHが形成され、さらにこの蛍光面PHには各赤色蛍光体層PHR,緑色蛍光体層PHG及び青色蛍光体層PHBを区画するブラックマトリクス膜BMが形成されている。   FIG. 7 is a plan view of an essential part seen from the inner surface side of the front substrate constituting the image display device according to the present invention. In FIG. 7, on the inner surface of the front substrate 2 made of a translucent glass material, a red phosphor layer PHR, a green phosphor layer PHG, and a blue phosphor along the length direction of the plurality of data lines DL shown in FIG. A phosphor screen PH having a layer PHB is formed, and a black matrix film BM that partitions the red phosphor layer PHR, the green phosphor layer PHG, and the blue phosphor layer PHB is formed on the phosphor screen PH.

図8は、前面基板2の内面に形成された蛍光面PHの拡大断面図である。図8において、蛍光面PHを構成する各赤色蛍光体層PHR,緑色蛍光体層PHG及び青色蛍光体層PHBはブラックマトリクス膜BMの一部を覆って形成されている。また、この蛍光面PH上には各赤色蛍光体層PHR,緑色蛍光体層PHG及び青色蛍光体層PHBの発光光を効率的に反射させるメタルバック膜MTが形成されている。このメタルバック膜MTには陽極電圧が印加され、陽極電極として機能する。前述したスペーサはブラックマトリクス膜BM上に配置される。   FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of the phosphor screen PH formed on the inner surface of the front substrate 2. In FIG. 8, each red phosphor layer PHR, green phosphor layer PHG, and blue phosphor layer PHB constituting the phosphor screen PH are formed so as to cover a part of the black matrix film BM. On the phosphor screen PH, a metal back film MT that efficiently reflects the light emitted from the red phosphor layer PHR, the green phosphor layer PHG, and the blue phosphor layer PHB is formed. An anode voltage is applied to the metal back film MT and functions as an anode electrode. The aforementioned spacer is disposed on the black matrix film BM.

また、前述した実施例においては、画像表示装置として内面に蛍光体層及びブラックマトリクス膜を有し、蛍光体層及びブラックマトリクス膜の背面にメタルバック膜(陽極電極)を有する前面基板を用いた表示装置に適用した場合について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。   In the embodiment described above, a front substrate having a phosphor layer and a black matrix film on the inner surface and a metal back film (anode electrode) on the back surface of the phosphor layer and the black matrix film is used as the image display device. Although the case of applying to a display device has been described, the present invention is not limited to this.

また、前述した実施例においては、前面基板1と背面基板2とを固定する固定部材11a,11bを前面基板1側と背面基板2とで組成が異なる場合について説明したが、本発明はこれにも限定されるものではなく、組成が同一の固定部材を用いても前述と同様の効果が得られる。   In the above-described embodiment, the case where the fixing members 11a and 11b for fixing the front substrate 1 and the back substrate 2 have different compositions on the front substrate 1 side and the back substrate 2 has been described. However, the same effect as described above can be obtained even when a fixing member having the same composition is used.

また、前述した実施例においては、画像表示装置として内面に蛍光体及びブラックマトリクスを有し、蛍光体及びブラックマトリクスの背面に陽極を有する前面基板を用いたFEDに適用した場合について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、プラズマディスプレイ(PDP)やメタル−インシュレータ−メタル型電子放出源を有するパネル型ディスプレイ(MIM−FED)等に適用しても前述と全く同様の効果が得られることは勿論である。   In the above-described embodiments, the case where the image display device is applied to an FED using a front substrate having a phosphor and a black matrix on the inner surface and an anode on the back surface of the phosphor and the black matrix has been described. The present invention is not limited to this, and the same effects as described above can be obtained when applied to a plasma display (PDP), a panel display (MIM-FED) having a metal-insulator-metal electron emission source, or the like. Of course, is obtained.

さらには、前述した実施例の気密封着構造を、プロジェクタ照明ランプの封止構造や断熱窓ガラスの封着構造や真空装置の封止構造に適用することも可能である。   Furthermore, it is also possible to apply the hermetic sealing structure of the above-described embodiment to a sealing structure of a projector illumination lamp, a sealing structure of a heat insulating window glass, or a sealing structure of a vacuum device.

本発明による画像表示装置の実施例1による構成を示す模式平面図である。It is a schematic plan view which shows the structure by Example 1 of the image display apparatus by this invention. 図1のA−A´線の要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view of the AA 'line of FIG. 図2の支持枠の辺部の構造を示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view which shows the structure of the side part of the support frame of FIG. 図3の支持枠の封着構造の詳細を示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the detail of the sealing structure of the support frame of FIG. 本発明による画像表示装置の実施例2による支持枠の封着構造の詳細を示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the detail of the sealing structure of the support frame by Example 2 of the image display apparatus by this invention. 本発明による画像表示装置の背面基板の構成を示す要部平面図である。It is a principal part top view which shows the structure of the back substrate of the image display apparatus by this invention. 本発明による画像表示装置の前面基板の構成を示す要部平面図である。It is a principal part top view which shows the structure of the front substrate of the image display apparatus by this invention. 本発明による画像表示装置の前面基板に形成される蛍光面の構成を示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the structure of the fluorescent screen formed in the front substrate of the image display apparatus by this invention. 従来の画像表示装置の基本構造を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows the basic structure of the conventional image display apparatus. 図9に示す画像表示装置の支持枠の封着構造を示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the sealing structure of the support frame of the image display apparatus shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1・・・前面基板、2・・・背面基板、3・・・支持体、4・・・スペーサ(間隔保持部材)、5・・・電子放出素子、51・・・陰極配線、51a・・・陰極配線引き出し線、52・・・電子源、53・・・制御電極、53a・・・制御電極引き出し線、6・・・画像形成部材、61・・・蛍光体膜、62・・・メタルバック膜、63・・・ブラックマトリクス膜、10a・・・低融点封着部材、10b・・・シロキサン化合物封着部材、11a・・・固定部材、11b・・・固定部材、12・・・表示領域。

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Front substrate, 2 ... Back substrate, 3 ... Support body, 4 ... Spacer (space | interval holding member), 5 ... Electron emission element, 51 ... Cathode wiring, 51a ... Cathode wiring lead-out line 52... Electron source 53... Control electrode 53 a Control electrode lead-out line 6 Image forming member 61 Phosphor film 62 Metal Back film 63 ... Black matrix film 10a ... Low melting point sealing member 10b ... Siloxane compound sealing member 11a ... Fixing member 11b ... Fixing member 12 ... Display region.

Claims (4)

内面に陽極及び蛍光体を有する前面基板と、
複数の電子源を内面に有し、且つ前記前面基板と所定の間隔を有して対向配置された背面基板と、
前記前面基板と前記背面基板との間に形成される表示領域を周回して介挿され、且つ前記所定の間隔を保持する枠状の支持体と、
前記支持体の両端面と前記前面基板及び前記背面基板とを気密封着する封着部材と、
を有し、
前記支持体の端面と前記前面基板及び前記背面基板とをそれぞれ封着部材を介在させて気密封着してなる真空容器を形成する画像表示装置であって、
前記封着部材は、前記真空容器の真空側が少なくともフェニル基を有するシロキサン化合物封着部材で構成されていることを特徴とする画像表示装置。
A front substrate having an anode and a phosphor on the inner surface;
A back substrate having a plurality of electron sources on the inner surface and arranged to face the front substrate at a predetermined interval;
A frame-shaped support body that is inserted around a display area formed between the front substrate and the rear substrate, and that holds the predetermined interval;
A sealing member that hermetically seals the both end faces of the support and the front substrate and the rear substrate;
Have
An image display device for forming a vacuum container, wherein the end face of the support and the front substrate and the rear substrate are hermetically sealed with a sealing member interposed therebetween,
The image display device, wherein the sealing member is formed of a siloxane compound sealing member having at least a phenyl group on the vacuum side of the vacuum vessel.
前記フェニル基を有するシロキサン化合物封着部材は、フェニルヘプタメチルシクロテトラシロキサンと、2,6−シス−ジフェニルヘキサメチルシクロテトラシロキサンとを含むシリコンレジンからなることを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。   The said siloxane compound sealing member which has a phenyl group consists of a silicone resin containing phenylheptamethylcyclotetrasiloxane and 2,6-cis-diphenylhexamethylcyclotetrasiloxane. Image display device. 前記フェニル基を有するシロキサン化合物封着部材は、200℃以上300℃以下の温度で熱硬化することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の画像表示装置。   The image display device according to claim 1, wherein the siloxane compound sealing member having a phenyl group is thermally cured at a temperature of 200 ° C. or more and 300 ° C. or less. 前記低融点封着部材は、300℃以上380℃以下の温度で熱硬化する低融点フリットガラスからなることを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。


The image display device according to claim 1, wherein the low melting point sealing member is made of low melting point frit glass that is thermally cured at a temperature of 300 ° C. or higher and 380 ° C. or lower.


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