JP2007335204A - 発光素子の製造装置および発光素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被処理基板上に、有機層を含む複数の層を有する発光素子を形成するための複数の処理室を有し、前記複数の処理室に前記被処理基板が順次搬送される発光素子の製造装置であって、前記複数の処理室が実質的に直線状に接続されるとともに、隣接する2つの前記処理室の間で前記被処理基板が搬送される場合、当該2つの処理室が前記被処理基板上の層と反応性を有しないガスで満たされるよう構成されていることを特徴とする発光素子の製造装置。
【選択図】図1
Description
被処理基板上に有機層を含む複数の層を有する発光素子を形成するための、複数の処理室を有し、前記複数の処理室に前記被処理基板が順次搬送される発光素子の製造装置であって、
前記複数の処理室が実質的に直線状に接続されるとともに、隣接する2つの前記処理室の間で前記被処理基板が搬送される場合、当該2つの処理室が前記被処理基板上の層と反応性を有しないガスで満たされるよう構成されていることを特徴とする発光素子の製造装置により、また、
請求項2に記載したように、
前記被処理基板上の層に対応して、前記ガスが変更されることを特徴とする請求項1記載の発光素子の製造装置により、また、
請求項3に記載したように、
前記複数の処理室は、少なくとも、
前記有機層を成膜するための有機層成膜室と、
前記有機層に電圧を印加するための電極を成膜するための電極成膜室と、を含むことを特徴とする請求項1または2記載の発光素子の製造装置により、また、
請求項4に記載したように、
前記有機層は、電圧が印加されることで発光する発光層を含む多層構造を有し、前記有機層成膜室は、蒸着法により、前記多層構造が連続的に成膜されるように構成されていることを特徴とする請求項3記載の発光素子の製造装置により、また、
請求項5に記載したように、
前記有機層成膜室には、
前記被処理基板を保持する保持台と
複数の成膜原料を前記被処理基板上に供給するための複数の成膜原料供給部が設置されていることを特徴とする請求項4記載の発光素子の製造装置により、また、
請求項6に記載したように、
複数の前記成膜原料供給部は直線状に配列され、前記保持台は、成膜に対応して当該成膜原料供給部の配列に沿って移動されるように構成されていることを特徴とする請求項5記載の発光素子の製造装置により、また、
請求項7に記載したように、
前記複数の処理室は、前記有機層と前記電極との間に前記発光層の発光効率を良好にするための、仕事関数調整層を形成する調整層成膜室を含むことを特徴とする請求項4乃至6のうち、いずれか1項記載の発光素子の製造装置により、また、
請求項8に記載したように、
前記仕事関数調整層は、アルカリ金属よりなることを特徴とする請求項7記載の発光素子の製造装置により、また、
請求項9に記載したように、
被処理基板上に有機層を含む複数の層を有する発光素子を形成するための複数の処理行程が、複数の処理室で順次行われる発光素子の製造方法であって、
前記複数の処理室が実質的に直線状に接続されるとともに、隣接する2つの前記処理室の間で前記被処理基板が搬送される場合、当該2つの処理室が前記被処理基板上の層と反応性を有しないガスで満たされることを特徴とする発光素子の製造方法により、また、
請求項10に記載したように、
前記被処理基板上の層に対応して、前記ガスが変更されることを特徴とする請求項9記載の発光素子の製造方法により、また、
請求項11に記載したように、
前記複数の処理工程は、少なくとも、
前記有機層を成膜する有機層成膜工程と、
前記有機層に電圧を印加するための電極を成膜する電極成膜工程と、を含むことを特徴とする請求項9または10記載の発光素子の製造方法により、また、
請求項12に記載したように、
前記有機層は、電圧が印加されることで発光する発光層を含む多層構造を有し、前記有機層成膜工程では、蒸着法により、前記多層構造が連続的に成膜されることを特徴とする請求項11記載の発光素子の製造方法により、また、
請求項13に記載したように、
前記有機層成膜工程と前記電極成膜工程との間に前記発光層の発光効率を良好にするための、仕事関数調整層を成膜する調整層成膜工程を含むことを特徴とする請求項12記載の発光素子の製造方法により、また、
請求項14に記載したように、
前記仕事関数調整層は、アルカリ金属よりなることを特徴とする請求項13記載の発光素子の製造方法により、解決する。
101a,102a,103a,104a,105a,106a,107a,108a,109a,201a,202a,203,204a,205a,206a,207a,208a,209a,210a ゲートバルブ
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150,250 制御装置
151,251 基板搬送制御手段
152,252 雰囲気制御手段
153,253 基板処理制御手段
154,254 記憶手段
155,255 入出力手段
Claims (14)
- 被処理基板上に有機層を含む複数の層を有する発光素子を形成するための、複数の処理室を有し、前記複数の処理室に前記被処理基板が順次搬送される発光素子の製造装置であって、
前記複数の処理室が実質的に直線状に接続されるとともに、隣接する2つの前記処理室の間で前記被処理基板が搬送される場合、当該2つの処理室が前記被処理基板上の層と反応性を有しないガスで満たされるよう構成されていることを特徴とする発光素子の製造装置。 - 前記被処理基板上の層に対応して、前記ガスが変更されることを特徴とする請求項1記載の発光素子の製造装置。
- 前記複数の処理室は、少なくとも、
前記有機層を成膜するための有機層成膜室と、
前記有機層に電圧を印加するための電極を成膜するための電極成膜室と、を含むことを特徴とする請求項1または2記載の発光素子の製造装置。 - 前記有機層は、電圧が印加されることで発光する発光層を含む多層構造を有し、前記有機層成膜室は、蒸着法により、前記多層構造が連続的に成膜されるように構成されていることを特徴とする請求項3記載の発光素子の製造装置。
- 前記有機層成膜室には、
前記被処理基板を保持する保持台と
複数の成膜原料を前記被処理基板上に供給するための複数の成膜原料供給部が設置されていることを特徴とする請求項4記載の発光素子の製造装置。 - 複数の前記成膜原料供給部は直線状に配列され、前記保持台は、成膜に対応して当該成膜原料供給部の配列に沿って移動されるように構成されていることを特徴とする請求項5記載の発光素子の製造装置。
- 前記複数の処理室は、前記有機層と前記電極との間に前記発光層の発光効率を良好にするための、仕事関数調整層を形成する調整層成膜室を含むことを特徴とする請求項4乃至6のうち、いずれか1項記載の発光素子の製造装置。
- 前記仕事関数調整層は、アルカリ金属よりなることを特徴とする請求項7記載の発光素子の製造装置。
- 被処理基板上に有機層を含む複数の層を有する発光素子を形成するための複数の処理行程が、複数の処理室で順次行われる発光素子の製造方法であって、
前記複数の処理室が実質的に直線状に接続されるとともに、隣接する2つの前記処理室の間で前記被処理基板が搬送される場合、当該2つの処理室が前記被処理基板上の層と反応性を有しないガスで満たされることを特徴とする発光素子の製造方法。 - 前記被処理基板上の層に対応して、前記ガスが変更されることを特徴とする請求項9記載の発光素子の製造方法。
- 前記複数の処理工程は、少なくとも、
前記有機層を成膜する有機層成膜工程と、
前記有機層に電圧を印加するための電極を成膜する電極成膜工程と、を含むことを特徴とする請求項9または10記載の発光素子の製造方法。 - 前記有機層は、電圧が印加されることで発光する発光層を含む多層構造を有し、前記有機層成膜工程では、蒸着法により、前記多層構造が連続的に成膜されることを特徴とする請求項11記載の発光素子の製造方法。
- 前記有機層成膜工程と前記電極成膜工程との間に前記発光層の発光効率を良好にするための、仕事関数調整層を成膜する調整層成膜工程を含むことを特徴とする請求項12記載の発光素子の製造方法。
- 前記仕事関数調整層は、アルカリ金属よりなることを特徴とする請求項13記載の発光素子の製造方法。
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