JP2007316640A - レーザ斑点を減少させる光変調器及び光変調器モジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】レーザ斑点(laser speckle)を減少させる光変調器及び光変調器モジュールを提供する。
【解決手段】本発明の光変調器モジュールは、入射光が入射されて、上記入射光を変調した出力光を出力する光変調器と、及び上記光変調器上に位置しながら、上記入射光と上記出力光が通過するし、光経路となる表面の一部に位相調整パターンが形成されている光透過性基板と、を含む。光透過性基板は、入射光の光経路となる表面一部または出力光の光経路となる表面一部に位相調整パターンが形成されてもよい。
【選択図】図4
【解決手段】本発明の光変調器モジュールは、入射光が入射されて、上記入射光を変調した出力光を出力する光変調器と、及び上記光変調器上に位置しながら、上記入射光と上記出力光が通過するし、光経路となる表面の一部に位相調整パターンが形成されている光透過性基板と、を含む。光透過性基板は、入射光の光経路となる表面一部または出力光の光経路となる表面一部に位相調整パターンが形成されてもよい。
【選択図】図4
Description
本発明は、1次元の線状光をスキャンして2次元映像をディスプレイする装置に関するもので、より詳細には、既存の光変調器または光変調器モジュールに位相調整パターンを形成し、レーザ斑点(laser speckle)を減少させるディスプレイ装置(Optical modulator and optical modulator module for reducing laser speckle)に関する。
人の目は、分解能(resolution)において、限界がある。目で物体を見る場合、目は物体を分解能に応じて多数の点に量子化する。例えば、人から3メートル程度の前に特定物体の表面がある場合、人の目は表面をそれぞれ1mmの直径を有する多数の点に分解して認知する。
図1は、人の目が拡散表面(diffuse surface)を見ることを示している。レーザ光源によるレーザ光16は、拡散表面14に照らされている。人の目12の網膜上には、拡散表面14の特定点18に関する像がうつる。特定点18より小さい拡散表面14上の模様は、目12により分解されることはできない。一つの特定点18内には、多数の散乱中心(scattering center)が含まれており、これらはレーザ光16を散乱させる。レーザ光16は、特性上に干渉性を有するので、散乱中心らは目12に干渉(interference)を発生させる。干渉により目12は最も明るい点から最も暗い点までの明暗度の範囲内にある特定点18を認知する。特定点18内のそれぞれの散乱中心は多様な光波(light wave)の中心となり、各光波等は補強干渉及び/または相殺干渉をして特定点18の明暗度を決定する。例えば、特定点18は、各光波が補強干渉をすると明るい点となり、相殺干渉をすると暗い点となる。よって、目12は拡散表面14に対して明るい点、中間明るさの点、暗い点などがランダムにパターニングされた粒子性パターンを作ることになるが、このような粒子性パターンを斑点(speckle)という。
図1では、人の目12を例示したが、一般的な光学システムも人の目12と同様な原理により、レーザ光のような干渉光で拡散表面14のような荒い表面を照らすと、斑点が検出される。
図2は、明るい点、中間明るさの点、暗い点が粒子性(granular)パターンを示す斑点の写真である。このような斑点は、表示される映像の画質を低下させる原因となるので減少させる必要がある。
図2に示されているような斑点は、N個の無相関(uncorrelated)斑点パターンを重畳させることで減少させることができる。N個の無相関斑点パターンが同様な平均強度を有する場合、斑点減少因子はNの平方根となることができる。また、N個の無相関斑点パターンが同様ではない平均強度を有する場合、斑点減少因子はNの平方根以下となる。また、無相関斑点パターンは、空間的に重畳されなくても平均時間、周波数または偏波により獲得することができる。
図3は、従来のレーザ斑点を減少させるためのディスプレイ装置の概略的な平面図である。
レーザ光源146はレーザ光172を放出する。発散レンズ174、視準レンズ176及び円筒レンズ178を含む照明光学装置148は、レーザ光172を光変調器150上に集中させる。光変調器150により変調された変調光は、第1及び第2リリースレンズの182及び184と、シュリーレン停止180(Schliren stop)とを含むシュリーレン光学装置152と、数回のスキャンにより位相変異を生成する2次元の長方形配列を有する拡散器154と、プロジェクションレンズ186及びスキャニングミラー188を含むプロジェクション装置156とを通過してスクリーン164上に照される。
ここで、数回のスキャンの際に位相変異を生成するために、N個の無相関斑点パターンに相応する2次元の長方形配列を有する拡散器154を介してレーザ斑点を減少させることができるが、これは、既存のディスプレイ装置142に別に備えられる必要がある。また、中間映像平面(intermediate image plane)を必ず必要とするので、ディスプレイ装置142の全体の体積が大きくなり複雑になるという問題点がある。
そして、小型プロジェクタのような小型のディスプレイ装置が要求される所では使用が難しいという短所がある。
よって、本発明は別途の追加的な装置なしでレーザ斑点を減少させる位相調整パターンが光変調器または光変調器モジュールと一体化になって体積増加のない光変調器及び光変調器モジュールを提供する。
また、本発明はレーザ斑点を減少させて、表示される映像の画質の低下を防止できる光変調器及び光変調器モジュールを提供する。
また、本発明はモバイル光学系のような小型光学系でも適用できる光変調器及び光変調器モジュールを提供する。
本発明の以外の目的は、下記の説明を通してより易しく理解することができる。
上記の目的たちを達成するために、本発明の一実施形態によれば、入射光が入射され、上記入射光を変調した出力光を出力する光変調器と、及び上記光変調器上に位置しながら、上記入射光と上記出力光が通過するし、光経路となる表面一部に位相調整パターンが形成されている光透過性基板と、を含む光変調器モジュールが提供される。
好ましくは、上記光透過性基板には、上記入射光の光経路となる表面の一部に上記位相調整パターンが形成されることができる。また、上記光透過性基板には、上記出力光の光経路となる表面一部に上記位相調整パターンが形成されることができる。
好ましくは、上記入射光は、レーザ光であることができる。ここで、上記位相調整パターンは、上記レーザ光により発生されるレーザ斑点(speckle)を減少させることができる。
また、上記位相調整パターンは、それぞれ0及びパイ(π)ラジアンである第1及び第2相対位相変異を誘導することができる。そして、上記位相調整パターンは陰刻で形成され、バーカコード(Barker code)シーケンスパターンの深さを有することができる。また、上記位相調整パターンは陽核で形成され、バーカコードシーケンスパターンの高さを有することができる。ここで、上記深さ(h)または上記高さ(h)は、下記の数学式を満足させることができる。
ここで、λは光の波長、n0は上記光透過性基板の屈折率である。
上記の目的たちを達成するために、本発明の別の実施形態によれば、基板と、上記基板上に位置する絶縁層と、中央部分が上記絶縁層との間に所定間隔離隔されて位置しながら、表面に上部ミラーが形成されており、上記中央部分に第1位相調整パターンが形成されている構造物層と、及び上記構造物層の両側端上に形成されて上記構造物層の中央部分を上下に動かせる圧電駆動体と、を含む光変調器が提供される。
また、上記構造物層は上記中央部分において、長さ方向に一つ以上のスリット(slit)が形成されており、上記絶縁層は表面に下部ミラーが形成されていて、上記第1位相調整パターン下部に第2位相調整パターンが形成されてもよい。
好ましくは、上記第1位相調整パターンは、レーザ光により発生されるレーザ斑点を減少させることができる。ここで、上記第1位相調整パターンはそれぞれ0及びパイ(π)ラジアンである第1及び第2相対位相変異を誘導することができる。上記第1位相調整パターンは陰刻で形成されて、バーカコードシーケンスパターンの深さを有したり、または、上記第1位相調整パターンは陽核で形成されて、バーカコードシーケンスパターンの高さを有することができ、上記深さまたは上記高さは光の波長の1/4であることができる。
また、上記第2位相調整パターンは、レーザ光により発生されるレーザ斑点を減少させることができる。ここで、上記第2位相調整パターンはそれぞれ0及びパイ(π)ラジアンである第1及び第2相対位相変異を誘導することができる。上記第2位相調整パターンは陰刻で形成されて、バーカコードシーケンスパターンの深さを有したり、また、上記第2位相調整パターンは陽核で形成されて、バーカコードシーケンスパターンの高さを有することができ、上記深さまたは上記高さは光の波長の1/4であることができる。
また、上記第1位相調整パターンと上記第2位相調整パターンは、同様な形状を有することができる。
上記の目的たちを達成するために、本発明のさらに別の実施形態によれば、1次元線状光をスキャンして2次元映像を表示するディスプレイ装置において、光源と、上記光源から入射光が入射され、上記入射光を変調した出力光を出力する光変調器と、上記光変調器上に位置しながら、上記入射光と上記出力光が通過するし、光経路となる表面の一部に位相調整パターンが形成されている光透過性基板と、及び上記出力光をスクリーン上に所定方向にスキャンするスキャニングミラーと、を含むディスプレイ装置が提供される。
好ましくは、上記光透過性基板には上記入射光の光経路となる表面の一部に上記位相調整パターンが形成されていたり、上記光透過性基板には上記出力光の光経路となる表面の一部に上記位相調整パターンが形成されることができる。
ここで、上記光源はレーザ光源であり、上記入射光及び上記出力光はレーザ光であることができる。
上記の目的たちを達成するために、本発明のさらに別の実施形態によれば、1次元線状光をスキャンして2次元映像を表示するディスプレイ装置において、光源と、上記光源から入射光が入射され、上記入射光を変調した出力光を出力する光変調器と、及び上記出力光をスクリーン上に所定方向にスキャンするスキャニングミラーと、を含み、上記光変調器は、基板と、上記基板上に位置する絶縁層と、中央部分が上記絶縁層との間で所定間隔離隔されて位置し、表面に上部ミラーが形成されており、上記中央部分に第1位相調整パターンが形成される構造物層と、また、上記構造物層の両側端上に形成され、上記構造物層の中央部分を上下に動かせる圧電駆動体と、を含むことを特徴とするディスプレイ装置が提供される。
また、上記構造物層は上記中央部分に、長さ方向に一つ以上のスリット(slit)が形成されており、上記絶縁層は表面に下部ミラーが形成されていて、上記第1位相調整パターン下部に第2位相調整パターンが形成されてもよい。
本発明による光変調器及び光変調器モジュールは、別途の追加的な装置なしでレーザ斑点を減少させる位相調整パターンが光変調器または光変調器モジュールと一体になって体積が増加しない。
また、レーザ斑点を減少させて、表示される映像の画質低下を防止することができる。
また、モバイル光学系のような小型プロジェクション装置にも適用できる。そして、追加装置が不要であるので全体装置を構成する費用が少く、重さの軽いという長所がある。
以下、添付図面を参照して本発明によるレーザ斑点を減少させる光変調器、光変調器モジュール及びこれを含むディスプレイ装置の好ましい実施例を詳しく説明する。本発明を説明することにおいて、係わる公知技術の具体的な説明が本発明の要旨をかえって不明にすると判断される場合、その詳細な説明を略する。本明細書の説明過程に使用される数字(例えば、第1、第2など)は、同様または類似である個体を順次に区分するための識別記号に過ぎない。
図4は、本発明の好ましい一実施例によるディスプレイ装置の平面図であり、図5は、図4に示した光軸に沿って展開したディスプレイ装置の側面図であり、図6は、本発明の好ましい一実施例によるディスプレイ装置に含まれる光変調器の斜視図である。
ディスプレイ装置400は、光源401、照明光学系402、光変調器405、プロジェクション光学系407及びスキャニングミラー410を含む。照明光学系402及びプロジェクション光学系407が一般的なディスプレイ装置に含まれるものであることは、当該技術分野において通常の知識を持った者(以下「当業者」と称する)であれば容易く認識することができる。
光源401は、照明光学系402を通過して光軸412に沿って光変調器405に入射光を放出する。本発明では、レーザ光の干渉性を用い、それに応ずるレーザ斑点を減少させることが目的であるため、光源401としてはレーザ光を放出するレーザ光源またはレーザダイオード(laser diode)であることが好ましい。
照明光学系402は、光源401から放出される光413を光軸412と平行になるように集める集光レンズ403(Condenser)と、光変調器405のミラーたち上に集光レンズ403により集まった光413を集中させる円筒レンズ404とを含む。その他にも示されてはいないが、集光レンズ403の代りに発散レンズと視準レンズとを用いて円筒レンズ404に光413を伝達することもできる。照明光学系402は、光源401からの光413が、図5では、y軸方向には平行であり、z軸には垂直である平面方向に集中させ1次元線状光形態で光変調器405上に入射するようにする。ここで、光変調器405への光413、すなわち、入射光413の入射角は反射光と回折光とがプロジェクション光学系407のシュリーレン停止部409に到逹する角を有する。
勿論、照明光学系402以外の異なる光学系によって光変調器405に入射光413を照らすこともできる。また、本発明で使用されるレンズは、単一構成品レンズに制限されず、複合レンズまたは反射性光学素子に代替されることもできる。
光変調器405は、それぞれミラー層を有する複数のリボン(415−1、...、415−n、ここで、nは任意の自然数)が円筒レンズ404の焦点線(ここでは図5のY軸)に沿って線状配列されている。光変調器405は、光変調器駆動回路(図示せず)の電気信号に応じて各リボン(415−1、...、415−n)を上下方向(ここでは、図6のZ軸方向)に駆動させ入射光を変調する。
図6を参照すると、光変調器405は多数のリボン(415−1、...、415−n、以下415と称する)を含み、図6では(l−1)番目、l番目、(l+1)番目のリボン(415−(l−1)、415−l、415−(l+1))(ここで、l<n)を中心として説明する。
光変調器405は、基板(図示せず)上に位置する絶縁層610と、中央部分630が絶縁層610との間で所定間隔離隔されて位置する構造物層600と、構造物層600の両端上に形成されて構造物層600の中央部分630を上下に動かせる圧電駆動体(図示せず)と、を含む。構造物層600は、中央部分630を含む一表面上に光反射特性を有する上部ミラー650が形成されている。構造物層600及び上部ミラー650を含んで一方向に長い模様を有しているためリボン415と称する。
リボン415の中央部分630にスリット640が形成されなかった場合には、一つ以上のリボン415が集まって映像中の一つの画素を担当することになる。複数のリボン415は、圧電駆動体にかかる電圧(光変調器駆動回路の電気信号に応じて変化する)に応じて上下に駆動する。複数のリボン415がすべて一定した高さを維持しながら、例えば、偶数番目のリボンに第1電圧がかかって偶数番目のリボンが上方向または下方向に動くと、偶数番目のリボンから反射される第1反射光と、奇数番目のリボンから反射される第2反射光との間に経路差が発生し回折(干渉)が発生することになり、この特性を用いて光の強度を変調できるようになる。これにより、映像の各画素の明暗度を表現することができる。
また、リボン415の中央部分630に一つ以上のスリット640が形成された場合(図6の例はスリットが一つである場合)には、一つのリボン415が映像中の一つの画素を担当する。スリット640は、リボン415の長さ方向(図6のx軸方向)への長い長方形のホール(hole)であることが好ましい。この際、絶縁層610の表面に光反射特性を有する下部ミラー620が形成されていなくてはならない。圧電駆動体にかかる電圧を調節すれば、リボン415が上下に動くことになり、リボン415表面の上部ミラー650と絶縁層の下部ミラー620との間の間隔調節が可能になる。上部ミラー650から反射される第3反射光と下部ミラー620から反射される第4反射光との間に経路差が発生して回折(干渉)が発生する。
リボン415にスリット640がある場合もない場合も両方とも各反射光の間の経路差を用いて一つの画素の明暗度を表現することになり、各反射光は回折(干渉)原理により反射光420以外に+1回折次数と−1回折次数(D+1、D−1)などの回折光421及び422を作り出す。以下、本発明では後述するプロジェクション光学系407に含まれるシュリーレン停止部409から反射光420を進行させるし、+1回折次数と−1回折次数(D+1、D−1)などの回折光421及び422の進行を停止させることを中心として説明する。勿論、必要により、シュリーレン停止部409が反射光420を停止させて、+1回折次数と−1回折次数(D+1、D−1)などの回折光421及び422を進行させることもできる。また、リボン415を上下に駆動させるために、圧電駆動体以外の静電方式による駆動体などを使用することもできる。
光変調器405は、一つまたは二つ以上のリボン415が映像の一画素の明暗度を表現するように入射光を変調して出力光を放出する。出力光は、前に説明したように、反射光420と、回折光421及び422とを含む。光変調器405は、図5及び図6のy軸方向に平行に配列された多数のリボン415により1次元直線映像を表現する。特定時点で、光変調器405は2次元映像中のある一つの1次元直線映像(垂直方向または水平方向)の明暗度を表現し、スキャニングミラー410はスクリーン411上の特定位置に当該1次元直線映像を表示する。スキャン周波数に応じて光変調器405は多数の1次元直線映像を変調し、スキャニングミラー410が所定方向(一方向または両方向)にスキャンして、全体的に2次元映像を表示することになる。
光変調器405からの出力光420、421及び422は、プロジェクション光学系407を通過してスキャニングミラー410に伝達される。プロジェクション光学系407は、プロジェクションレンズ408及びシュリーレン停止部409を含む。プロジェクションレンズ408は、1次元直線映像である出力光420、421及び422を2次元空間映像に広がった(1次元直線映像が左右に広がった形態)後にスキャニングミラー410を介して最終的にスクリーン411上に1次元直線映像として投影されるようにする。シュリーレン停止部409は、出力光のうち、反射光420または回折光421及び422を選別して通過させる。
ガルバノミラーは第1スキャン運動(A)により元に戻り、第2スキャン運動(B)により1次元直線映像である出力光をスクリーン411上に投映する。勿論、その反対であることもできる。また、ガルバノミラーの代りにポリゴンミラー(図示せず)が位置して一方向のみに回転しながら出力光をスクリーン411上に投映することもできる。本発明ではガルバノミラーとポリゴンミラーを通称してスキャニングミラーと称する。
光変調器405からプロジェクション光学系407に進むことにおいて、レーザ斑点を減少させるための位相調整部分が含まれるが、以下では、位相調整によりレーザ斑点を減少させる装置及びその方法を詳しく説明する。
図7は、本発明の好ましい一実施形態による光透過性基板に位相調整パターンが形成された光変調器モジュールの断面図である。
光変調器モジュール700は、光変調器405と光透過性基板710とを含む。光透過性基板710は、光変調器405の両表面のうち光変調に係わる一面の上部に位置し、入射光413と出力光420、421及び422とを通過させる。光変調器405は微小電気(電圧、電流など)に応じて機械的な運動をするメムス(MEMS、Micro Electro Mechanical Systems)装置であるため、外部環境による影響を最小化するためにモジュール(module)化する。モジュール化を通して外部環境(特に空気)による影響を最小化し、かつモジュール自体の大きさも最小化するために、図7に示したように入射光413と、出力光420、421及び422とが通過できる光透過性基板710を用いて光変調器405にて機械的な運動をするリボン415部分を密封する。
光透過性基板710は、光を99%以上透過できる材質であって、ガラスなどで構成される。
図7を参照すると、光透過性基板710の表面のうち、出力光420、421及び422が通過する光経路内に位相調整パターン720が形成されている。
位相調整パターン720は陰刻に形成され、二つの深さ(0またはh)を有している。各深さに応じて出力光420、421及び422は0ラジアンの第1相対位相変異、またはパイ(π) ラジアンの第2相対位相変異が誘導される。は、位相調整パターン720は、図7に示したことと異なって、陽核に形成されることができ、この場合、二つの高さ(0またはh)を有する。各高さに応じて出力光420、421及び422は、0またはパイ(π) ラジアンの第1または第2相対位相変異が誘導される。
また、位相調整パターン720は、出力光420、421及び422の光経路の代りに、入射光413の光経路となる表面の一部730に形成されることもできる。しかし、この場合、図4及び5に示したディスプレイ装置400のコントラスト比(contrastratio)が悪くなる。よって、位相調整パターン720は、出力光420、421及び422が通過する光透過性基板710の表面730中の一部に形成されることが好ましい。
光変調器405のリボン表面から位相調整パターン720までの距離(z0、すなわち、d+D)は、下記の数学式3を満足しなくてはならない。
ここで、z0>D
または、光透過性基板710の厚みは次の条件を満足する。
ここで、dは光変調器405の上面と光透過性基板710の下面との間の間隔である。
または、光透過性基板710の厚みは次の条件を満足する。
ここで、Tは光幅(beam width)またはX軸での一つのピクセルの大きさ、すなわち、リボンピッチ(pitch)を表し、λは光の波長を表す。
d<<Dである場合、光変調器405の上面と光透過性基板710との間の間隔dは無視することができ、この場合、光透過性基板710の厚みは次のようである。
位相調整パターン720は、バーカコード(Barker code)シーケンスパターンを従うことにより、バーカコードシーケンスパターンは最大13の長さを有する無相関シーケンスパターンであって、下記の数学式6のようなバーカコードの一例及び下記の数学式7により生成される。
ここで、rect(x−i)は、xがiないしi+1の区間に限って1であり、その外の区間では0である関数である。N(N=13)は、バーカコードの長さである。上記の数学式6と数学式7により獲得されるバーカコードシーケンスパターンが図8に示されている。
上記の数学式6において、陽(+)の符号は0ラジアンである第1相対位相変異を、陰(−)符号はパイ(π) ラジアンである第2相対位相変異を意味する。勿論、その反対であることもできる。バーカコードシーケンスパターンにおいての深さ、または高さhは、下記の数学式8を満足させなくてはならない。
ここで、n0は光透過性基板720の屈折率(refractive index)である。
図7に示された位相調整パターン720はh*H(x)である。上記数学式6に記載した位相調整パターン720の全長は光変調器405にてx軸方向に単一ピクセルサイズ、または光幅(beam width)Tと等しくなければならない。このパターンは光と位相調整パターン720との不一致を避けるために、x軸方向に周期的に繰り返されることができる。
上記数学式6によるパターンの特徴は、パターンの自己相関関数(autocorrelation function)が狭小なピーク(略単一ビットまたはピッチ(T/N)と同様)と低いサイドローブ準位(low side lobe level)を有することである。これは単一ピッチ(T/N)以上の距離Δx分(Δx≧T/N)x軸方向にこのパターンをシフトさせた後には以前パターンとは係わらないことを意味する。
図8に示すようなバーカコードシーケンスパターンを位相調整パターン720として用いることにより無相関斑点パターンを重畳してレーザ斑点を減少させることができる。本例ではバーカコードシーケンスパターンの長さが13であるので、斑点減少因子は最大13の平方根となることができる。
図9は、本発明の好ましい別の実施例による位相調整パターンを有する光変調器の斜視図である。
光変調器405の各リボン415には、スリット640が形成されている。各リボン415の中央部分630、すなわち、上部ミラー650に第1位相調整パターンHup(x)910が形成されている。また、絶縁層610表面の下部ミラー620が形成された部分に第2位相調整パターンHdn(x)920が形成されている。
第1位相調整パターン910及び第2位相調整パターン920は、同様である(Hup(x)=Hdn(x))ことが好ましく、図8に示したようなバーカコードシーケンスパターン(H(x))であることもできる。また、陰刻に形成(図9に示した)されるか、または陽核に形成されることができる。
また、光変調器405の各リボン415にスリット640が形成されていない場合には、各リボン415の上部ミラー650のみに第1位相調整パターン910が形成されることができる。この場合、二つ以上のリボン415を用いて一つの画素の明暗度を表現することになる。
いかなる場合でも位相調整パターン900は、光変調器405のリボン415の表面に形成されているので(すなわち、z0=0)、上記の数学式3を常に満足する。ここで、第1位相調整パターン910及び/または第2位相調整パターン920の深さ(または高さ)hは、λ/4であればよい(位相変異の反射タイプ)。
上述した説明によれば、光変調器モジュールの光透過性基板710または光変調器のリボン415の表面に位相調整パターンを形成する。1次元線状光であった出力光は、プロジェクション光学系407で2次元空間光として広がり、プロジェクションレンズ408により一つの1次元線状光に集光され、スキャニングミラー410によりスクリーン411上に向かうことになる。
スクリーン上にスキャニングされる光は、人の目の解像領域(human eye resolution area)に移動する。上記数学式7による位相調整パターンを有する。すべての設計が正確であれば、光幅は人の目の解像領域の大きさに一致することになる。光がピッチ距離(M*T/N)(Mはスクリーン上での倍率)分シフトする度に人の目に新しい無相関ランダム強度(new non correlated random intensity)を生成する。このような無相関強度の総数はNと等しい。結果的にN回平均化された強度レベルが人の目に生成される。この過程が全体スクリーンを通じて繰り返され、全体斑点コントラストはNの平方根倍減ることになる。
上記では、本発明の好ましい実施例を参照して説明したが、当業者であれば特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から脱しない範囲内で本発明を多様に修正及び変更させることができると理解することができるだろう。
Claims (18)
- 入射光が入射され、前記入射光を変調した出力光を出力する光変調器と、及び
前記光変調器上に位置しながら、前記入射光と前記出力光とが通過するし、光経路となる表面の一部に位相調整パターンが形成されている光透過性基板と、
を含む光変調器モジュール。 - 前記光透過性基板は、前記入射光の光経路となる表面一部または前記出力光の光経路となる表面一部に前記位相調整パターンが形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光変調器モジュール。
- 前記入射光は、レーザ光であることを特徴とする請求項1に記載の光変調器モジュール。
- 前記位相調整パターンは、前記レーザ光により発生されるレーザ斑点(speckle)を減少させることを特徴とする請求項3に記載の光変調器モジュール。
- 前記位相調整パターンは、それぞれ0及びパイ(π) ラジアンである相対位相変異を誘導することを特徴とする請求項1に記載の光変調器モジュール。
- 前記位相調整パターンは、陰刻または陽核で形成され、バーカコード(Barker code)シーケンスパターンの深さまたは高さを有することを特徴とする請求項5に記載の光変調器モジュール。
- 前記深さ(h)または前記高さ(h)は、下記の数学式を満足させることを特徴とする請求項6に記載の光変調器モジュール。
- 基板と、
前記基板上に位置する絶縁層と、
中央部分が前記絶縁層と所定間隔離隔されて位置し、表面に上部ミラーが形成され、前記中央部分に第1位相調整パターンが形成されている構造物層と、及び
前記構造物層の両側端上に形成され、前記構造物層の中央部分を上下に動かせる圧電駆動体と、
を含む光変調器。 - 前記構造物層は、前記中央部分に長さ方向に一つ以上のスリット(slit)が形成され、
前記絶縁層は、表面に下部ミラーが形成され、前記第1位相調整パターン下部に第2位相調整パターンが形成されることを特徴とする請求項8に記載の光変調器。 - 前記第1位相調整パターンは、レーザ光により発生されるレーザ斑点を減少させることを特徴とする請求項8に記載の光変調器。
- 前記第1位相調整パターンは、それぞれ0及びパイ(π) ラジアンである相対位相変異を誘導することを特徴とする請求項10に記載の光変調器。
- 前記第1位相調整パターンは、陰刻または陽核で形成され、バーカコードシーケンスパターンの深さまたは高さを有することを特徴とする請求項11に記載の光変調器。
- 前記深さまたは高さは、光の波長の1/4であることを特徴とする請求項12に記載の光変調器。
- 前記第2位相調整パターンは、レーザ光により発生されるレーザ斑点を減少させることを特徴とする請求項9に記載の光変調器。
- 前記第2位相調整パターンは、それぞれ0及びパイ(π) ラジアンである相対位相変異を誘導することを特徴とする請求項14に記載の光変調器。
- 前記第2位相調整パターンは、陰刻または陽核で形成され、バーカコードシーケンスパターンの深さまたは高さを有することを特徴とする請求項15に記載の光変調器。
- 前記深さまたは前記高さは、光の波長の1/4であることを特徴とする請求項16に記載の光変調器。
- 前記第1位相調整パターンと前記第2位相調整パターンは、同一な形状を有することを特徴とする請求項9に記載の光変調器。
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