JP2007304544A - Negative resist for forming protrusion for liquid crystal alignment, protrusion for liquid crystal alignment, color filter, liquid crystal display element and manufacturing method of liquid crystal display element - Google Patents

Negative resist for forming protrusion for liquid crystal alignment, protrusion for liquid crystal alignment, color filter, liquid crystal display element and manufacturing method of liquid crystal display element Download PDF

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Tatsuya Matsukubo
竜也 松窪
Minoru Suezaki
穣 末崎
Toru Takahashi
徹 高橋
Yoshio Nishimura
善雄 西村
Sayaka Kobayashi
さやか 小林
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a negative resist for forming a protrusion for liquid crystal alignment capable of forming the protrusion for liquid crystal alignment having excellent adhesiveness to a substrate even when a bottom area is minute and excellent height and shape stability, to provide the protrusion for liquid crystal alignment formed by using the negative resist for the protrusion for liquid crystal alignment, to provide a color filter, to provide a liquid crystal display element and to provide a manufacturing method of the liquid crystal display element. <P>SOLUTION: In the negative resist for forming the protrusion for liquid crystal alignment containing an alkali-soluble resin, a polymerizable monomer, a photopolymerization initiator and a silane coupling agent, the alkali-soluble resin has a double bond in its molecule and has ≥100 mg KOH/g acid value. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、底面積が微小な場合であっても、基板に対する密着性に優れ、かつ、高さ及び形状安定性に優れる液晶配向用突起を形成することができる液晶配向用突起形成用ネガ型レジスト、該液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを用いてなる液晶配向用突起、カラーフィルター、液晶表示素子及び液晶表示素子の製造方法に関する。 The present invention provides a liquid crystal alignment projection forming negative type capable of forming a liquid crystal alignment projection having excellent adhesion to a substrate and excellent height and shape stability even when the bottom area is small. The present invention relates to a resist, a protrusion for liquid crystal alignment using the negative resist for forming a protrusion for liquid crystal alignment, a color filter, a liquid crystal display element, and a method for manufacturing a liquid crystal display element.

一般に、液晶表示装置は、カラーフィルター、ブラックマトリックス、線状透明電極、配向膜等が形成された2枚の基板間に、該基板に対して垂直方向や平行方向に配向した液晶が注入された構造となっている。これら2枚の基板間に注入された液晶は、電場無印加の状態では基板に対して垂直方向や平行方向等に配向されているが、電場の印加により配向状態が変化し、液晶を透過する光の透過量を調整することができる。 Generally, in a liquid crystal display device, liquid crystal aligned in a direction perpendicular or parallel to the substrate is injected between two substrates on which a color filter, a black matrix, a linear transparent electrode, an alignment film, and the like are formed. It has a structure. The liquid crystal injected between these two substrates is aligned in a vertical direction, a parallel direction, or the like with respect to the substrate in the state where no electric field is applied, but the alignment state is changed by the application of an electric field, and the liquid crystal is transmitted. The amount of transmitted light can be adjusted.

このような液晶表示装置は、従来のブラウン管を用いた表示装置と比べて薄型でかつ消費電力の少ないことから、近年、大画面テレビに利用する液晶テレビとして実用化されている。しかし、液晶表示素子には、ブラウン管を用いた表示装置と比べて視野角が狭いという問題あり、大画面の液晶テレビの普及に伴い、視野角の改良が強く求められていた。 Such a liquid crystal display device has been put to practical use as a liquid crystal television used for a large-screen television in recent years because it is thinner and consumes less power than a conventional display device using a cathode ray tube. However, the liquid crystal display element has a problem that the viewing angle is narrower than that of a display device using a cathode ray tube, and with the widespread use of a large-screen liquid crystal television, an improvement in the viewing angle has been strongly demanded.

液晶表示装置の視野角を改善する方法として、従来、透明電極上にアーチ状の突起を形成し、この突起のスロープを利用して液晶を局所的に傾け、一画素内で液晶を多方向に分割配向させる方法が知られている。このような透明電極上に形成するアーチ状の突起は、従来、ポジ型レジストを用いたフォトリソグラフの手法により断面が略矩形状の突起を形成し、その後、該突起を加熱しリフローさせることでアーチ状としていた。このようなポジ型レジストとして、例えば、特許文献1には、ナフトキノンジアジド化合物とノボラック樹脂とを含有するものが開示されている。 As a method for improving the viewing angle of a liquid crystal display device, conventionally, an arch-shaped protrusion is formed on a transparent electrode, and the liquid crystal is locally tilted by using the slope of the protrusion so that the liquid crystal can be oriented in multiple directions within one pixel. A method of dividing and aligning is known. Conventionally, the arch-shaped protrusion formed on such a transparent electrode is formed by forming a protrusion having a substantially rectangular cross section by a photolithographic technique using a positive resist, and then heating and reflowing the protrusion. It was arched. As such a positive resist, for example, Patent Document 1 discloses a resist containing a naphthoquinonediazide compound and a novolac resin.

しかしながら、ポジ型レジストを用いて透明基板上に形成した突起は、加熱リフローさせてアーチ状にするため、形成するパターンのボトム幅や加熱温度によって、得られる突起のアーチ形状の高さや、基板と接触する角度等が異なったものとなり、液晶の配向ムラ、更には表示ムラが発生するという問題があった。また、特許文献1に開示のポジ型レジストは、加熱により未反応のナフトキノンジアジトとノボラック樹脂とがカップリング反応し、レジストを赤変させるという問題があった。また、ナフトキノンジアジドの光分解で生成させたアルカリ可溶性のカルボン酸により、露光部と未露光部のアルカリ現像液に対する溶解性の差を発現させるため、光架橋反応により著しくアルカリ現像液に対する溶解性の差を発生させるネガ型レジストに比べ、現像条件のマージンが狭く、空気中の酸素による現像劣化の影響を受けるため、現像状態の管理が困難であった。更に、液晶表示装置の製造過程においては、透明電極上に突起を形成する工程以外にも種々のレジストを用いる工程が含まれるが、カラーフィルター工程で使用されるレジストは、通常、ネガ型レジストであるため、カラーフィルター基板上に突起を形成する工程のみポジ型レジストを用いることは、製造工程の煩雑化の原因となっていた。 However, the projections formed on the transparent substrate using the positive resist are heated and reflowed to form an arch shape. Therefore, depending on the bottom width of the pattern to be formed and the heating temperature, the height of the arch shape of the obtained projection, There is a problem in that the contact angle and the like differ, and liquid crystal alignment unevenness and display unevenness occur. In addition, the positive resist disclosed in Patent Document 1 has a problem in that the unreacted naphthoquinone diazite and the novolak resin undergo a coupling reaction by heating to cause the resist to turn red. In addition, the alkali-soluble carboxylic acid produced by photolysis of naphthoquinonediazide causes a difference in solubility in the alkaline developer between the exposed and unexposed areas. Compared to negative resists that generate a difference, the margin of development conditions is narrow, and it is affected by development deterioration due to oxygen in the air, so it is difficult to manage the development state. Further, the manufacturing process of the liquid crystal display device includes a step of using various resists in addition to the step of forming protrusions on the transparent electrode, but the resist used in the color filter step is usually a negative resist. For this reason, the use of a positive resist only in the process of forming protrusions on the color filter substrate has caused the manufacturing process to become complicated.

これに対して、例えば、特許文献2には、アルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤及び光重合性モノマーを主成分とするネガ型レジストを用いて電極上に突起を設けることが開示されている。しかしながら、この方法では、形成する液晶配向用突起の一つの底面積が小さい場合には、現像条件のマージンが狭く、突起の基板に対する密着性の低下を伴うことが問題であった。 On the other hand, for example, Patent Document 2 discloses providing a protrusion on an electrode using a negative resist mainly composed of an alkali-soluble resin, a photopolymerization initiator, and a photopolymerizable monomer. However, this method has a problem that, when the bottom area of one of the liquid crystal alignment protrusions to be formed is small, the margin of the developing condition is narrow, and the adhesion of the protrusion to the substrate is reduced.

更に、特許文献3には、液晶分割配向用突起形成用のネガ型レジストとして、エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤、アルカリ可溶性樹脂を主成分とする感光性樹脂組成物が開示されている。しかしながら、この感光性樹脂組成物は、目標形状を得るためには230℃という高い温度での加熱溶融が必要となるため、樹脂自体がダメージを受けてしまい、また、突起をカラーフィルター上に形成した場合には、カラーフィルターの着色顔料又は染料にダメージを与えてしまい表示品質自体を低下させてしまう問題があった。
特開平7−92689号公報 特開2003−330011号公報 特開2006−11359号公報
Furthermore, Patent Document 3 discloses a photosensitive resin composition mainly composed of an ethylenically unsaturated compound, a photopolymerization initiator, and an alkali-soluble resin as a negative resist for forming projections for liquid crystal split alignment. . However, this photosensitive resin composition requires heating and melting at a high temperature of 230 ° C. in order to obtain a target shape, so that the resin itself is damaged and protrusions are formed on the color filter. In such a case, there is a problem that the color pigment or dye of the color filter is damaged and the display quality itself is deteriorated.
JP-A-7-92689 JP 2003-330011 A JP 2006-11359 A

本発明は、底面積が微小な場合であっても、基板に対する密着性に優れ、かつ、高さ及び形状安定性に優れる液晶配向用突起を形成することができる液晶配向用突起形成用ネガ型レジスト、該液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを用いてなる液晶配向用突起、カラーフィルター、液晶表示素子及び液晶表示素子の製造方法である。 The present invention provides a liquid crystal alignment projection forming negative type capable of forming a liquid crystal alignment projection having excellent adhesion to a substrate and excellent height and shape stability even when the bottom area is small. A method for producing a resist, a liquid crystal alignment protrusion, a color filter, a liquid crystal display element, and a liquid crystal display element using the negative resist for forming the liquid crystal alignment protrusion.

本発明は、アルカリ可溶性樹脂、重合性単量体、光重合開始剤及びシランカップリング剤を含有する液晶配向用突起形成用ネガ型レジストであって、上記アルカリ可溶性樹脂は、分子内に重合性二重結合を有し、かつ、酸価が100mgKOH/g以上である液晶配向用突起形成用ネガ型レジストである。
以下に本発明を詳述する。
The present invention is a negative resist for liquid crystal alignment projection formation containing an alkali-soluble resin, a polymerizable monomer, a photopolymerization initiator, and a silane coupling agent, and the alkali-soluble resin is polymerizable within the molecule. This is a negative resist for forming protrusions for liquid crystal alignment having a double bond and an acid value of 100 mgKOH / g or more.
The present invention is described in detail below.

本発明者らは、鋭意検討した結果、カラーフィルター等の基板表面に液晶を分割配向させるための液晶配向用突起形成用のネガ型レジストを、アルカリ可溶性樹脂、重合性単量体、光重合開始剤、及び、シランカップリング剤を含有する組成とし、上記アルカリ可溶性樹脂が、分子内に重合性二重結合を有するとともに、特定の値以上の酸価を有するものとすることで、フォトリソグラフの手法により、例えば、底面積が120μm以下と微小な場合であっても基板に対する密着性に優れ、かつ、高さ及び形状安定性に優れたアーチ形状の液晶配向用突起を形成することができることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies, the present inventors have found that a negative resist for forming protrusions for liquid crystal alignment for splitting and aligning liquid crystals on a substrate surface such as a color filter, an alkali-soluble resin, a polymerizable monomer, and a photopolymerization start And a composition containing a silane coupling agent, and the alkali-soluble resin has a polymerizable double bond in the molecule and has an acid value of a specific value or more. By the method, for example, even when the bottom area is as small as 120 μm 2 or less, it is possible to form an arch-shaped liquid crystal alignment protrusion having excellent adhesion to the substrate and excellent height and shape stability. As a result, the present invention has been completed.

本発明の液晶配向用突起形成用ネガ型レジスト(以下、本発明のネガ型レジストともいう)は、アルカリ可溶性樹脂を含有する。
上記アルカリ可溶性樹脂は、分子内に重合性二重結合を有するものである。このようなアルカリ可溶性樹脂としては特に限定されず、例えば、カルボキシル基含有単官能不飽和化合物と不飽和二重結合を有する単官能化合物とを共重合した共重合体等のアルカリ可溶性カルボキシル基含有高分子化合物が挙げられる。
The negative resist for forming liquid crystal alignment projections of the present invention (hereinafter also referred to as negative resist of the present invention) contains an alkali-soluble resin.
The alkali-soluble resin has a polymerizable double bond in the molecule. Such an alkali-soluble resin is not particularly limited, and for example, an alkali-soluble carboxyl group-containing copolymer such as a copolymer obtained by copolymerizing a carboxyl group-containing monofunctional unsaturated compound and a monofunctional compound having an unsaturated double bond. Examples include molecular compounds.

上記カルボキシル基含有単官能不飽和化合物としては特に限定されず、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等が挙げられる。
また、上記不飽和二重結合を有する単官能化合物としては特に限定されず、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸2−メチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニルオキシエチル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニル、(メタ)アクリル酸ベンジル等の(メタ)アクリル酸エステル系単量体が挙げられる。なお、本明細書において、(メタ)アクリルとは、アクリル及び/又はメタクリルを意味する。
The carboxyl group-containing monofunctional unsaturated compound is not particularly limited, and examples thereof include acrylic acid and methacrylic acid.
The monofunctional compound having an unsaturated double bond is not particularly limited. For example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, (Meth) acrylic acid 2-ethylhexyl, (meth) acrylic acid hydroxyethyl, (meth) acrylic acid cyclohexyl, (meth) acrylic acid 2-methylcyclohexyl, (meth) acrylic acid dicyclopentanyloxyethyl, (meth) acrylic And (meth) acrylic acid ester monomers such as isobornyl acid, dicyclopentanyl (meth) acrylate, and benzyl (meth) acrylate. In addition, in this specification, (meth) acryl means acryl and / or methacryl.

また、上記アルカリ可溶性カルボキシル基含有高分子化合物は、スチレン、α−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−クロロスチレン等の芳香族ビニル系単量体;アクリロニトリル、メタクリロニトリル等のシアン化ビニル化合物;無水マレイン酸等の不飽和ジカルボン酸無水物;フェニルマレイミド、ベンジルマレイミド、ナフチルマレイミド、o−クロロフェニルマレイミド等の芳香族置換マレイミド;メチルマレイミド、エチルマレイミド、プロピルマレイミド、イソプロピルマレイミド等のアルキル置換マレイミド等からなる成分を含有してもよい。 The alkali-soluble carboxyl group-containing polymer compound includes aromatic vinyl monomers such as styrene, α-methylstyrene, p-methylstyrene, and p-chlorostyrene; vinyl cyanide compounds such as acrylonitrile and methacrylonitrile. Unsaturated maleic anhydrides such as maleic anhydride; aromatic substituted maleimides such as phenylmaleimide, benzylmaleimide, naphthylmaleimide, o-chlorophenylmaleimide; alkyl-substituted maleimides such as methylmaleimide, ethylmaleimide, propylmaleimide, isopropylmaleimide, etc. You may contain the component which consists of.

更に、上記アルカリ可溶性カルボキシル基含有高分子化合物は、現像時の溶解性を制御する等の目的で水酸基を有する単官能不飽和化合物を含有してもよい。
上記水酸基を有する単官能不飽和化合物としては特に限定されず、例えば、分子内に水酸基を1つ有するモノマーとしては、例えば、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート等が挙げられる。
Furthermore, the alkali-soluble carboxyl group-containing polymer compound may contain a monofunctional unsaturated compound having a hydroxyl group for the purpose of controlling solubility during development.
The monofunctional unsaturated compound having a hydroxyl group is not particularly limited, and examples of the monomer having one hydroxyl group in the molecule include 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, Examples include 2-hydroxypropyl methacrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate.

上記アルカリ可溶性カルボキシル基含有高分子化合物において、カルボキシル基含有単官能不飽和化合物に起因する成分の比の好ましい下限は5重量%、好ましい上限は50重量%である。5重量%未満であると、アルカリ可溶性を付与することが困難であり、50重量%を超えると、現像時の膨潤が著しくパターンの形成が困難となることがある。より好ましい下限は10重量%、より好ましい上限は40重量%である。 In the alkali-soluble carboxyl group-containing polymer compound, the preferred lower limit of the ratio of components attributable to the carboxyl group-containing monofunctional unsaturated compound is 5% by weight, and the preferred upper limit is 50% by weight. If it is less than 5% by weight, it is difficult to impart alkali solubility, and if it exceeds 50% by weight, swelling during development may be remarkably difficult to form a pattern. A more preferred lower limit is 10% by weight, and a more preferred upper limit is 40% by weight.

上記カルボキシル基含有単官能不飽和化合物と不飽和二重結合を有する単官能化合物とを共重合する方法としては特に限定されず、例えば、ラジカル重合開始剤及び必要に応じて分子量調節剤を用いて、塊状重合、溶液重合、懸濁重合、分散重合、乳化重合等の従来公知の方法により重合する方法が挙げられる。なかでも、溶液重合が好適である。 The method for copolymerizing the carboxyl group-containing monofunctional unsaturated compound and the monofunctional compound having an unsaturated double bond is not particularly limited. For example, using a radical polymerization initiator and, if necessary, a molecular weight regulator. And polymerizing by a conventionally known method such as bulk polymerization, solution polymerization, suspension polymerization, dispersion polymerization, and emulsion polymerization. Of these, solution polymerization is preferred.

溶液重合法により上記アルカリ可溶性カルボキシル基含有高分子化合物を製造する場合の溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、グリコール等の脂肪族アルコール類;セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類;カルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール類;酢酸セロソルブ、酢酸カルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のエステル類;ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル類;テトラヒドロフラン等の環状エーテル、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類;ジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミド等の極性を有する有機溶剤等を用いることができる。 Solvents for producing the alkali-soluble carboxyl group-containing polymer compound by solution polymerization include, for example, aliphatic alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol and glycol; cellosolvs such as cellosolve and butylcellosolve; carbitol and butyl Carbitols such as carbitol; esters such as cellosolve acetate, carbitol acetate and propylene glycol monomethyl ether acetate; ethers such as diethylene glycol dimethyl ether; cyclic ethers such as tetrahydrofuran; ketones such as cyclohexanone, methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone; A polar organic solvent such as dimethyl sulfoxide or dimethylformamide can be used.

また、懸濁重合、分散重合、乳化重合等の非水系の分散重合により上記アルカリ可溶性カルボキシル基含有高分子化合物を製造する場合の媒体としては、例えば、ベンゼン、トルエン、ヘキサン、シクロヘキサン等の液状の炭化水素や、その他の非極性の有機溶剤等を用いることができる。 In addition, as a medium for producing the alkali-soluble carboxyl group-containing polymer compound by non-aqueous dispersion polymerization such as suspension polymerization, dispersion polymerization, emulsion polymerization, etc., for example, liquid such as benzene, toluene, hexane, cyclohexane, etc. Hydrocarbons and other nonpolar organic solvents can be used.

上記ラジカル重合開始剤としては特に限定されず、例えば、過酸化物、アゾ開始剤等の従来公知のラジカル重合開始剤を用いることができる。また、上記分子量調節剤としては、例えば、α−メチルスチレンダイマー、メルカプタン系の連鎖移動剤等を用いることができる。 It does not specifically limit as said radical polymerization initiator, For example, conventionally well-known radical polymerization initiators, such as a peroxide and an azo initiator, can be used. Moreover, as said molecular weight regulator, (alpha) -methylstyrene dimer, a mercaptan-type chain transfer agent, etc. can be used, for example.

本発明のネガ型レジストにおいて、上記アルカリ可溶性樹脂としては、なかでも、側鎖に(メタ)アクリル基とカルボキシル基とを有するアルカリ可溶性(メタ)アクリル共重合体が好適である。上記アルカリ可溶性樹脂として、側鎖に(メタ)アクリル基とカルボキシル基とを有するアルカリ可溶性(メタ)アクリル共重合体を選択した場合には、本発明のネガ型レジストを硬化させてなる液晶配向用突起に高い感度、解像度、基板による密着性が得られる。この理由としては、アルカリ可溶性樹脂の側鎖のアクリル基が露光時に反応することでアルカリ可溶性樹脂自体も架橋構造の中に取り込まれる結果、現像けずれやパターン剥がれが抑制されるためであると考えられる。
また、上記アルカリ可溶性(メタ)アクリル共重合体は、セグメントの極性が低いため、本発明のネガ型レジスト中での相溶性に優れる。これにより、液晶配向用突起の製造時の現像処理において現像ムラ等の不具合が生じることもない。
In the negative resist of the present invention, the alkali-soluble resin is preferably an alkali-soluble (meth) acrylic copolymer having a (meth) acryl group and a carboxyl group in the side chain. When an alkali-soluble (meth) acrylic copolymer having a (meth) acrylic group and a carboxyl group in the side chain is selected as the alkali-soluble resin, the negative resist of the present invention is cured for liquid crystal alignment. High sensitivity, resolution, and adhesion by the substrate can be obtained on the protrusions. This is because the alkali-soluble resin itself is taken into the cross-linked structure due to the reaction of the acrylic group in the side chain of the alkali-soluble resin during the exposure, so that development shift and pattern peeling are suppressed. It is done.
Moreover, since the said alkali-soluble (meth) acryl copolymer has the low polarity of a segment, it is excellent in the compatibility in the negative resist of this invention. As a result, problems such as development unevenness do not occur in the development process during the production of the liquid crystal alignment protrusions.

上記アルカリ可溶性(メタ)アクリル共重合体としては、下記式(1a)、(1b)、(1c)、(1d)及び(1e)で表される構造単位からなる共重合体が好適である。 As the alkali-soluble (meth) acrylic copolymer, a copolymer composed of structural units represented by the following formulas (1a), (1b), (1c), (1d) and (1e) is preferable.

Figure 2007304544
Figure 2007304544

式(1a)、(1b)、(1c)、(1d)及び(1e)中、A及びAは、水素、下記式(2a)、(2b)、(2c)又は(2d)を表し、A又はAのいずれか一方が水素である場合、他方は下記式(2a)、(2b)、(2c)又は(2d)のいずれかである。Rは、水素及び/又はメチル基を表し、Rは、アルキル基、フェニル基、アルキル基若しくはアルコキシ基を含むフェニル基、ヒドロキシアルキル基又は脂環式炭化水素を表し、Rは、ニトリル基又はフェニル基を表し、Rは、アルキル基、ヒドロキシアルキル基又はラジカル重合性基含有脂肪族炭化水素を表す。また、a、b、c、d、eは、各成分のモル比率(%)を表し、a+b+c+d+e=100とするとき、a、b及びdは0〜90、cは5〜50、eは5〜60である。 In formulas (1a), (1b), (1c), (1d) and (1e), A 1 and A 2 represent hydrogen, the following formulas (2a), (2b), (2c) or (2d) , A 1 or A 2 is hydrogen, the other is any of the following formulas (2a), (2b), (2c) or (2d). R 1 represents hydrogen and / or a methyl group, R 2 represents an alkyl group, a phenyl group, a phenyl group containing an alkyl group or an alkoxy group, a hydroxyalkyl group or an alicyclic hydrocarbon, and R 3 represents a nitrile R 4 represents an alkyl group, a hydroxyalkyl group, or a radically polymerizable group-containing aliphatic hydrocarbon. Moreover, a, b, c, d, and e represent the molar ratio (%) of each component, and when a + b + c + d + e = 100, a, b and d are 0 to 90, c is 5 to 50, and e is 5 ~ 60.

Figure 2007304544
Figure 2007304544

上記アルカリ可溶性(メタ)アクリル共重合体の重量平均分子量としては特に限定されないが、好ましい下限は3000、好ましい上限は10万である。3000未満であると、液晶配向用突起の密着性が低下することがあり、10万を超えると、解像度が低下することがある。より好ましい下限は5000、より好ましい上限は5万である。
なお、本明細書において、上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定を行い、ポリスチレン換算により求められる値である。
Although it does not specifically limit as a weight average molecular weight of the said alkali-soluble (meth) acryl copolymer, A preferable minimum is 3000 and a preferable upper limit is 100,000. If it is less than 3000, the adhesion of the liquid crystal alignment protrusions may be lowered, and if it exceeds 100,000, the resolution may be lowered. A more preferred lower limit is 5000, and a more preferred upper limit is 50,000.
In addition, in this specification, the said weight average molecular weight is a value calculated | required by polystyrene conversion, measuring with gel permeation chromatography.

上記アルカリ可溶性(メタ)アクリル共重合体の製造方法としては特に限定されないが、例えば、側鎖にカルボキシル基を有する(メタ)アクリル共重合体に、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物を開環付加重合させてカルボキシル基の一部を変性し、更に、変性により生じた水酸基及び/又は残存しているカルボキシル基の一部にイソシアネート化合物、エポキシ化合物、ラクトン化合物、アルコール化合物等を反応させる方法が挙げられる。 Although it does not specifically limit as a manufacturing method of the said alkali-soluble (meth) acryl copolymer, For example, an alicyclic epoxy group containing unsaturated compound is ring-opened to the (meth) acryl copolymer which has a carboxyl group in a side chain. A method in which a part of the carboxyl group is modified by addition polymerization, and further, an isocyanate compound, an epoxy compound, a lactone compound, an alcohol compound, or the like is reacted with a hydroxyl group generated by modification and / or a part of the remaining carboxyl group. Can be mentioned.

上記側鎖にカルボキシル基を有する(メタ)アクリル共重合体の製造方法としては特に限定されず、例えば、カルボキシル基含有単官能不飽和化合物と、(メタ)アクリル酸エステル系単量体とをラジカル重合開始剤及び必要に応じて分子量調整剤を用いて塊状重合、溶液重合、懸濁重合、分散重合、乳化重合等の従来公知の方法により共重合する方法が挙げられる。 The method for producing the (meth) acrylic copolymer having a carboxyl group in the side chain is not particularly limited. For example, a carboxyl group-containing monofunctional unsaturated compound and a (meth) acrylic acid ester monomer are used as radicals. Examples thereof include a method of copolymerization by a conventionally known method such as bulk polymerization, solution polymerization, suspension polymerization, dispersion polymerization or emulsion polymerization using a polymerization initiator and, if necessary, a molecular weight adjusting agent.

上記脂環式エポキシ基含有不飽和化合物としては特に限定されないが、例えば、3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート等が好適に用いられる。 Although it does not specifically limit as said alicyclic epoxy group containing unsaturated compound, For example, 3, 4- epoxy cyclohexyl (meth) acrylate etc. are used suitably.

上記イソシアネート化合物としては特に限定されないが、例えば、炭素数が2〜18のアルキルイソシアネート、重合性基含有イソシアネートが好適に用いられる。上記重合性基含有イソシアネートを用いると、光硬化時の感度の上昇や、耐熱性、耐薬品性、タックフリー性等の様々な物性の更なる向上が実現される。
上記重合性基含有イソシアネートとしては特に限定されないが、例えば、(メタ)アクリロイル基が炭素数2〜6のアルキレン基を介してイソシアネート基と結合したものを使用することが好ましい。具体的には、例えば、2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート、2−メタクリロイルエチルイソシアネート、2−アクリロイルエチルイソシアネート等が挙げられ、2−メタクリロイルエチルイソシアネート、及び、2−アクリロイルエチルイソシアネートは、それぞれ、カレンズMOI、及び、カレンズAOI(いずれも昭和電工社製)として市販されている。
Although it does not specifically limit as said isocyanate compound, For example, C2-C18 alkyl isocyanate and polymeric group containing isocyanate are used suitably. When the polymerizable group-containing isocyanate is used, the sensitivity during photocuring is increased, and various physical properties such as heat resistance, chemical resistance, and tack-free property are further improved.
Although it does not specifically limit as said polymerizable group containing isocyanate, For example, it is preferable to use what the (meth) acryloyl group couple | bonded with the isocyanate group through the C2-C6 alkylene group. Specifically, for example, 2-acryloyloxyethyl isocyanate, 2-methacryloylethyl isocyanate, 2-acryloylethyl isocyanate and the like can be mentioned, and 2-methacryloylethyl isocyanate and 2-acryloylethyl isocyanate are respectively Karenz MOI, And it is marketed as Karenz AOI (all are made by Showa Denko KK).

上記変性により生じた側鎖に水酸基及び/又はカルボキシル基を有する(メタ)アクリル共重合体に上記イソシアネート化合物を反応させる方法としては特に限定されず、少量の触媒存在下、上記イソシアネート化合物を、上記変性により生じた側鎖に水酸基及び/又はカルボキシル基を有する(メタ)アクリル共重合体の溶液中に滴下又は混合する方法が挙げられる。
この際に用いられる触媒としては特に限定されず、例えば、ラウリン酸、ジブチル錫等が挙げられる。
また、必要に応じて、p−メトキシフェノール、ヒドロキノン、ナフチルアミン、tert−ブチルカテコール、2,3−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール等の重合禁止剤を用いてもよい。
更に、増粘等を抑制する目的で、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、ヘプタノール、オクタノール、デカノール等のアルコールによる処理を行ってもよい。
The method of reacting the isocyanate compound with the (meth) acrylic copolymer having a hydroxyl group and / or a carboxyl group in the side chain generated by the modification is not particularly limited, and the isocyanate compound is added in the presence of a small amount of the catalyst. The method of dripping or mixing in the solution of the (meth) acryl copolymer which has a hydroxyl group and / or a carboxyl group in the side chain produced by modification | denaturation is mentioned.
The catalyst used in this case is not particularly limited, and examples thereof include lauric acid and dibutyltin.
If necessary, a polymerization inhibitor such as p-methoxyphenol, hydroquinone, naphthylamine, tert-butylcatechol, 2,3-di-tert-butyl-p-cresol may be used.
Furthermore, for the purpose of suppressing thickening and the like, treatment with an alcohol such as methanol, ethanol, propanol, butanol, pentanol, hexanol, heptanol, octanol, decanol or the like may be performed.

上記製造方法に従い、上記変性により生じた側鎖に水酸基及びカルボキシル基を有する(メタ)アクリル共重合体にイソシアネート化合物を反応させた場合には、式(2b)に示される構造単位が形成される。 When an isocyanate compound is reacted with a (meth) acrylic copolymer having a hydroxyl group and a carboxyl group in the side chain generated by the modification according to the above production method, a structural unit represented by the formula (2b) is formed. .

上記エポキシ化合物としては特に限定されず、例えば、炭素数2〜18のアルキルエポキシ化合物、炭素数が2〜18のアルコキシエポキシ化合物や重合性基含有エポキシ化合物が挙げられる。 It does not specifically limit as said epoxy compound, For example, a C2-C18 alkyl epoxy compound, a C2-C18 alkoxy epoxy compound, and a polymeric group containing epoxy compound are mentioned.

上記エポキシ化合物として、上記重合性基含有エポキシ化合物を用いると、光硬化時の感度の上昇や、耐熱性、耐薬品性、タックフリー性等の様々な物性の更なる向上が実現される。
上記重合性基含有エポキシ化合物としては特に限定されないが、例えば、(メタ)アクリロイル基が炭素数2〜6のアルキレン基を介してエポキシ基と結合したものが好ましい。具体的には、例えば、(メタ)アクリル酸グリシジル等が挙げられる。
When the polymerizable group-containing epoxy compound is used as the epoxy compound, it is possible to realize improvement in various physical properties such as an increase in sensitivity during photocuring, heat resistance, chemical resistance, and tack-free property.
Although it does not specifically limit as said polymerizable group containing epoxy compound, For example, the (meth) acryloyl group couple | bonded with the epoxy group through the C2-C6 alkylene group is preferable. Specifically, glycidyl (meth) acrylate etc. are mentioned, for example.

上記変性により生じた側鎖に水酸基及び/又はカルボキシル基を有する(メタ)アクリル共重合体に上記エポキシ化合物を反応させる方法としては特に限定されず、少量の触媒存在下、上記エポキシ化合物を、上記変性により生じた側鎖に水酸基及び/又はカルボキシル基を有する(メタ)アクリル共重合体の溶液中に滴下又は混合する方法が挙げられる。
この際に用いられる触媒としては特に限定されず、例えば、トリエチルアミン、トリプロミルアミン、テトラメチルエチレンジアミン、ジメチルラウリルアミン、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド、トリメチルセチルアンモニウムブロマイド、テトラブチルアンモニウムブロマイド、トリメチルブチルホスホニウムブロマイド、テトラブチルホスホニウムブロマイド等が挙げられる。
また、必要に応じて、p−メトキシフェノール、ヒドロキノン、ナフチルアミン、tert−ブチルカテコール、2,3−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール等の重合禁止剤を用いてもよい。
The method for reacting the epoxy compound with a (meth) acrylic copolymer having a hydroxyl group and / or a carboxyl group in the side chain generated by the modification is not particularly limited, and the epoxy compound is added in the presence of a small amount of catalyst. The method of dripping or mixing in the solution of the (meth) acryl copolymer which has a hydroxyl group and / or a carboxyl group in the side chain produced by modification | denaturation is mentioned.
The catalyst used in this case is not particularly limited. And butylphosphonium bromide.
If necessary, a polymerization inhibitor such as p-methoxyphenol, hydroquinone, naphthylamine, tert-butylcatechol, 2,3-di-tert-butyl-p-cresol may be used.

上記製造方法に従い、上記変性により生じた側鎖に水酸基及び/又はカルボキシル基を有する(メタ)アクリル共重合体にエポキシ化合物を反応させた場合には、式(2c)及び(2d)に示される構造単位が形成される。 When an epoxy compound is reacted with a (meth) acrylic copolymer having a hydroxyl group and / or a carboxyl group in the side chain produced by the modification according to the above production method, it is represented by the formulas (2c) and (2d). A structural unit is formed.

上記変性により生じた側鎖に水酸基及び/又はカルボキシル基を有する(メタ)アクリル共重合体に、上記イソシアネート化合物やエポキシ化合物、ラクトン化合物、アルコール化合物等を反応させる際には、上記(メタ)アクリル共重合体中に含まれる水酸基のうち0〜100モル%に相当する量を反応させることができる。 When the above-mentioned isocyanate compound, epoxy compound, lactone compound, alcohol compound or the like is reacted with the (meth) acrylic copolymer having a hydroxyl group and / or a carboxyl group in the side chain produced by the modification, the (meth) acrylic compound is reacted. Of the hydroxyl groups contained in the copolymer, an amount corresponding to 0 to 100 mol% can be reacted.

また、変性により生じた側鎖に水酸基及び/又はカルボキシル基を有する(メタ)アクリル共重合体に上記イソシアネート化合物やエポキシ化合物、ラクトン化合物、アルコール化合物等を反応させる際には、上記(メタ)アクリル共重合体中に含まれるカルボキシル基のうち、0〜90モル%に相当する量を反応させることができる。90モル%を超えると、残存するカルボキシル基の量が少なくなりすぎるため、アルカリ可溶性が損なわれ、現像性が低下することがある。 Further, when the above-mentioned isocyanate compound, epoxy compound, lactone compound, alcohol compound or the like is reacted with a (meth) acrylic copolymer having a hydroxyl group and / or a carboxyl group in the side chain generated by modification, the above (meth) acrylic is reacted. Among the carboxyl groups contained in the copolymer, an amount corresponding to 0 to 90 mol% can be reacted. If it exceeds 90 mol%, the amount of the remaining carboxyl groups becomes too small, so that alkali solubility is impaired and developability may be lowered.

上記式(1a)、(1b)、(1c)、(1d)及び(1e)中のa、b、c、d、eは各成分のモル比率(%)を表し、a+b+c+d+e=100とするとき、a、b及びdの下限は0%、上限は90%である。また、cの下限は5%、上限は50%である。また、eの下限は5%、上限は60%である。cの下限は5%、上限は50%であるが、5%未満、すなわち、カルボキシル基含有の構造単位のモル比率が5%未満であると、アルカリ可溶性を付与することが困難であり、50%を超えると、現像時の膨潤が著しく、パターンの形成が困難となる。また、eの好ましい下限は5%、好ましい上限は60%であるが、5%未満であるとアルカリ可溶性樹脂の架橋構造への取り込みが不充分となり架橋密度が低下した結果、現像工程でのけずれが大きくなりすぎて、液晶配向用突起の高さばらつきが生じ、60%を超えると、架橋構造の架橋密度が高くなりすぎて、アーチ上の形状を安定して形成しづらくなる。 In the above formulas (1a), (1b), (1c), (1d) and (1e), a, b, c, d and e represent the molar ratio (%) of each component, and when a + b + c + d + e = 100 , A, b and d have a lower limit of 0% and an upper limit of 90%. The lower limit of c is 5%, and the upper limit is 50%. The lower limit of e is 5%, and the upper limit is 60%. The lower limit of c is 5%, and the upper limit is 50%. However, when the molar ratio of the carboxyl group-containing structural unit is less than 5%, it is difficult to impart alkali solubility. If it exceeds 50%, the swelling during development is remarkable and it becomes difficult to form a pattern. Further, the preferable lower limit of e is 5%, and the preferable upper limit is 60%. However, if it is less than 5%, the incorporation of the alkali-soluble resin into the crosslinked structure becomes insufficient and the crosslinking density is lowered. When the deviation becomes too large, the height of the liquid crystal alignment protrusions varies, and when it exceeds 60%, the crosslink density of the crosslink structure becomes too high, making it difficult to stably form the shape on the arch.

本発明のネガ型レジストにおいて、上記アルカリ可溶性樹脂は、酸価の下限が100mgKOH/gである。100mgKOH/g未満であると、本発明のネガ型レジストの解像性が低下してしまい、アーチ形状の液晶配向用突起を安定的に形成することができない。酸価の上限としては特に限定されないが、好ましい上限は150mgKOH/gである。150mgKOH/gを超えると、本発明のネガ型レジストを用いてなる液晶配向用突起の基板に対する密着性が低下することがある。より好ましい下限は110mgKOH/g、より好ましい上限は140mgKOH/gである。
なお、本明細書において、上記アルカリ可溶性樹脂の酸価は、アルカリ可溶性樹脂1gを有機溶剤へ溶かし、フェノールフタレインを指示薬として水酸化カリウムで滴定するとき、中和までに要する水酸化カリウムのmg数で示される。
In the negative resist of the present invention, the alkali-soluble resin has a lower acid value of 100 mgKOH / g. If it is less than 100 mgKOH / g, the resolution of the negative resist of the present invention is lowered, and arch-shaped projections for liquid crystal alignment cannot be stably formed. Although it does not specifically limit as an upper limit of an acid value, A preferable upper limit is 150 mgKOH / g. If it exceeds 150 mgKOH / g, the adhesion of the liquid crystal alignment protrusions using the negative resist of the present invention to the substrate may be lowered. A more preferable lower limit is 110 mgKOH / g, and a more preferable upper limit is 140 mgKOH / g.
In the present specification, the acid value of the alkali-soluble resin is defined as mg of potassium hydroxide required for neutralization when 1 g of the alkali-soluble resin is dissolved in an organic solvent and titrated with potassium hydroxide using phenolphthalein as an indicator. Indicated by a number.

また、本発明のネガ型レジスト中のアルカリ可溶性樹脂の含有量は、全固形分に対して、通常40重量%以上、好ましくは50重量%以上であり、通常90重量%以下、好ましくは80重量%以下である。アルカリ可溶性樹脂の量が少なすぎると、耐熱性の低下、現像溶解速度の低下等を招き易く、多すぎると感度の低下、画像断面形状の再現性不良を招きやすい。 The content of the alkali-soluble resin in the negative resist of the present invention is usually 40% by weight or more, preferably 50% by weight or more, and usually 90% by weight or less, preferably 80% by weight with respect to the total solid content. % Or less. If the amount of the alkali-soluble resin is too small, it tends to cause a decrease in heat resistance and a development dissolution rate, and if it is too much, it tends to cause a decrease in sensitivity and poor reproducibility of the image cross-sectional shape.

本発明のネガ型レジストは、重合性単量体を含有する。
上記重合性単量体としては、エチレン性不飽和結合を分子内に1個以上有する化合物を意味するが、重合性、架橋性及びそれに伴う露光部と非露光部の現像液溶解性の差異を拡大できる等の点から、エチレン性不飽和結合を分子内に2個以上有する化合物であることが好ましく、また、その不飽和結合は(メタ)アクリロイルオキシ基に由来するアクリレート化合物が更に好ましい。
The negative resist of the present invention contains a polymerizable monomer.
The polymerizable monomer means a compound having one or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule, but the difference in the solubility of the developer between the exposed portion and the non-exposed portion due to the polymerizable property, the cross-linkability and the accompanying property. From the viewpoint of expansion, it is preferable that the compound has two or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule, and the unsaturated bond is more preferably an acrylate compound derived from a (meth) acryloyloxy group.

エチレン性不飽和結合を分子内に1個以上有する化合物としては、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸、イタコン酸、シトラコン酸等の不飽和カルボン酸、及びそのアルキルエステル、(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリルアミド、スチレン等が挙げられる。 Examples of the compound having one or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule include unsaturated carboxylic acids such as (meth) acrylic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, itaconic acid, citraconic acid, and alkyl esters thereof. , (Meth) acrylonitrile, (meth) acrylamide, styrene and the like.

エチレン性不飽和結合を分子内に2個有する化合物としては、例えば、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、2−ブチル−2−エチル−1,3−プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールエステルジアクリレート、ジエチレングリコール(メタ)アクリレート、トリエチレングリコール(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコール(メタ)アクリレート、ヘキサエチレングリコール(メタ)アクリレート、ノナエチレングリコール(メタ)アクリレート等のポリエチレングリコール(メタ)アクリレート;ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ヘキサエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ノナエチレングリコールジ(メタ)アクリレート等のポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート等が挙げられる。 Examples of the compound having two ethylenically unsaturated bonds in the molecule include neopentyl glycol di (meth) acrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol di (meth) acrylate, and 2-butyl-2-ethyl. -1,3-propanediol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, hydroxypivalic acid neopentyl glycol ester diacrylate, diethylene glycol (meth) acrylate, triethylene glycol Polyethylene glycol (meth) acrylates such as (meth) acrylate, tetraethylene glycol (meth) acrylate, hexaethylene glycol (meth) acrylate, nonaethylene glycol (meth) acrylate; Polyethylene glycol di (meth) acrylates such as cold di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, hexaethylene glycol di (meth) acrylate, nonaethylene glycol di (meth) acrylate Etc.

また、エチレン性不飽和結合を分子内に3個以上有する化合物としては、例えば、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレート化合物等が挙げられる。これらのエチレン性不飽和結合を分子内に3個以上有する化合物は、重合反応の進行が速く、露光感度を向上させやすいことから特に好適である。
これらの重合性単量体は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
Examples of the compound having three or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule include trimethylolethane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tetra (meth) acrylate, and pentaerythritol. Multifunctional (meth) acrylate compounds such as tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, etc. Is mentioned. A compound having 3 or more of these ethylenically unsaturated bonds in the molecule is particularly suitable because the polymerization reaction proceeds rapidly and the exposure sensitivity is easily improved.
These polymerizable monomers may be used independently and 2 or more types may be used together.

本発明のネガ型レジスト中の重合性単量体の含有量としては特に限定されないが、全固形分に対して、好ましい下限は10重量%、好ましい上限は50重量%である。10重量%未満であると、感度の低下、画像断面形状の再現性不良等を招きやすく、50重量%を超えると、耐熱性の低下、現像溶解速度の低下等を招きやすい。より好ましい下限は20重量%、より好ましい上限は40重量%以下である。 Although it does not specifically limit as content of the polymerizable monomer in the negative resist of this invention, A preferable minimum is 10 weight% and a preferable upper limit is 50 weight% with respect to the total solid. If it is less than 10% by weight, it tends to cause a decrease in sensitivity and poor reproducibility of the image cross-sectional shape, and if it exceeds 50% by weight, it tends to cause a decrease in heat resistance and a decrease in development dissolution rate. A more preferred lower limit is 20% by weight, and a more preferred upper limit is 40% by weight or less.

本発明のネガ型レジストは、突起高さや、基板と接触する形状を安定させるために、アルカリ可溶性樹脂の含有量と重合性単量体の含有量とが特定の比率であることが好ましい。具体的には、(アルカリ可溶性樹脂の含有量)/(重合性単量体の含有量)の重量比の好ましい下限は1、好ましい上限は3.5であり、より好ましい下限は1.5、より好ましい上限は3である。 In the negative resist of the present invention, the content of the alkali-soluble resin and the content of the polymerizable monomer are preferably in a specific ratio in order to stabilize the protrusion height and the shape in contact with the substrate. Specifically, the preferred lower limit of the weight ratio of (alkali-soluble resin content) / (polymerizable monomer content) is 1, the preferred upper limit is 3.5, and the more preferred lower limit is 1.5. A more preferred upper limit is 3.

本発明のネガ型レジストは、光重合開始剤を含有する。
上記光重合開始剤としては特に限定されず、従来公知のものが挙げられ、例えば、紫外線によりエチレン性不飽和基を重合させるラジカルを発生させることのできる化合物及び紫外線により酸を発生させる化合物等が挙げられる。
The negative resist of the present invention contains a photopolymerization initiator.
The photopolymerization initiator is not particularly limited and includes conventionally known photopolymerization initiators, such as a compound capable of generating a radical that polymerizes an ethylenically unsaturated group by ultraviolet light, and a compound that generates an acid by ultraviolet light. Can be mentioned.

上記光重合開始剤の具体例としては、例えば、2−(4−メトキシフェニル) −4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s −トリアジン、2−(4−エトキシカルボニルナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等のハロメチル化トリアジン誘導体、ハロメチル化オキサジアゾール誘導体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ビス(3'−メトキシフェニル)イミダゾール2量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体等のイミダゾール誘導体、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾイン、ベンゾインアルキルエーテル類、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン等のアントラキノン誘導体、ベンズアンスロン誘導体、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、2−メチルベンゾフェノン、3−メチルベンゾフェノン、4−メチルベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、4−ブロモベンゾフェノン、2−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体、2,2,−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、α−ヒドロキシ−2−メチルフェニルプロパノン、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル−(p−イソプロピルフェニル)ケトン、1−ヒドロキシ−1−(p−ドデシルフェニル)ケトン、2−メチル−(4'−(メチルチオ)フェニル)−2−モルホリノ−1−プロパノン、1,1,1,−トリクロロメチル−(p−ブチルフェニル)ケトン等のアセトフェノン誘導体、チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4 −ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導体、p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、p−ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸エステル誘導体、9−フェニルアクリジン、9−(p−メトキシフェニル)アクリジン等のアクリジン誘導体、9,10−ジメチルベンズフェナジン等のフェナジン誘導体、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ジ−クロライド、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−フェニル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−2,6−ジ−フルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−2,4−ジ−フルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,6−ジ−フルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−2,6−ジ−フルオロ−3−(ピル−1−イル)−フェニ−1−イル等のチタノセン誘導体、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、4−ジメチルアミノエチルベンゾエ-ト、4−ジメチルアミノイソアミルベンゾエ-ト、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、2−エチルヘキシル−1,4−ジメチルアミノベンゾエート、2,5−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、7−ジエチルアミノ−3−(4−ジエチルアミノベンゾイル)クマリン、4−(ジエチルアミノ)カルコン等のα−アミノアルキルフェノン系化合物、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−,2−(O−ベンゾイルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O-アセチルオキシム)等のオキシム誘導体類等が挙げられる。これらの光重合開始剤は単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Specific examples of the photopolymerization initiator include, for example, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxynaphthyl) -4,6-bis. (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxycarbonylnaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) ) -S-triazine and other halomethylated triazine derivatives, halomethylated oxadiazole derivatives, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-bis (3′-methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- ( -Methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, imidazole derivatives such as 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, benzoin methyl ether, benzoin phenyl ether, benzoin isobutyl ether, Benzoin such as benzoin isopropyl ether, benzoin alkyl ethers, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone and other anthraquinone derivatives, benzanthrone derivatives, benzophenone, Michler's ketone, 2-methylbenzophenone Benzene such as 3-methylbenzophenone, 4-methylbenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4-bromobenzophenone, 2-carboxybenzophenone Phenone derivative, 2,2, -dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, α-hydroxy-2-methylphenylpropanone, 1-hydroxy-1-methylethyl- (P-isopropylphenyl) ketone, 1-hydroxy-1- (p-dodecylphenyl) ketone, 2-methyl- (4 ′-(methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone, 1,1,1, -Acetophenone derivatives such as trichloromethyl- (p-butylphenyl) ketone, thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4 -Diisopropylthio Thioxanthone derivatives such as Sandton, benzoic acid ester derivatives such as ethyl p-dimethylaminobenzoate, ethyl p-diethylaminobenzoate, acridine derivatives such as 9-phenylacridine, 9- (p-methoxyphenyl) acridine, 9,10- Phenazine derivatives such as dimethylbenzphenazine, di-cyclopentadienyl-Ti-di-chloride, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-phenyl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,4 , 5,6-pentafluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,5,6-tetrafluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis -2,4,6-trifluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-2,6-di-phenyl Luolophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-2,4-di-fluorophen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,4,5,6- Pentafluorophen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,6-di-fluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-2,6-di-fluoro- Titanocene derivatives such as 3- (pyr-1-yl) -phen-1-yl, 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2- Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 4-dimethylaminoethylbenzo -To, 4-dimethylaminoisoamylbenzoate, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, 2-ethylhexyl-1,4-dimethylaminobenzoate, 2,5-bis (4-diethylaminobenzal) Α-aminoalkylphenone compounds such as cyclohexanone, 7-diethylamino-3- (4-diethylaminobenzoyl) coumarin, 4- (diethylamino) chalcone, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl]- , 2- (O-benzoyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) and other oxime derivatives And the like. These photoinitiators may be used independently and 2 or more types may be used together.

本発明のネガ型レジストにおいて、上記光重合開始剤の含有量としては特に限定されないが、アルカリ可溶性樹脂と重合性単量体の合計を100重量部とした場合に、好ましい下限は0.1重量部、好ましい上限は15重量部である。0.1重量部未満であると、本発明のネガ型レジストが光硬化しないことがあり、15重量部を超えると、フォトリソグラフィーにおいてアルカリ現像できないことがある。より好ましい下限は0.5重量部、より好ましい上限は10重量部である。
また、後述するように、本発明のネガ型レジストを用いて、液晶配向用突起とカラムスペーサとを同時に形成する場合には、上記光重合開始の含有量の好ましい下限は、アルカリ可溶性樹脂及び重合性単量体の合計100重量部に対して0.5重量部、好ましい上限は10重量部である。0.5重量部未満であると、光硬化が不充分となり、カラムスペーサ及び液晶配向用突起の基板に対する密着性が低下することがあり、10重量部を超えると、光硬化反応が進みすぎて、後述する工程を経て作製する液晶配向用突起の形状がカラムスペーサに近いものとなり、液晶配向異常を生じる原因となることがある。
In the negative resist of the present invention, the content of the photopolymerization initiator is not particularly limited, but when the total of the alkali-soluble resin and the polymerizable monomer is 100 parts by weight, the preferred lower limit is 0.1 weight. Parts, and the preferred upper limit is 15 parts by weight. If the amount is less than 0.1 parts by weight, the negative resist of the present invention may not be photocured. If the amount exceeds 15 parts by weight, alkali development may not be possible in photolithography. A more preferred lower limit is 0.5 parts by weight, and a more preferred upper limit is 10 parts by weight.
As will be described later, when the liquid crystal alignment protrusion and the column spacer are formed at the same time using the negative resist of the present invention, the preferred lower limit of the content of the photopolymerization start is alkali-soluble resin and polymerization. 0.5 parts by weight with respect to a total of 100 parts by weight of the functional monomers, and the preferred upper limit is 10 parts by weight. If it is less than 0.5 part by weight, the photocuring becomes insufficient, and the adhesion of the column spacer and the liquid crystal alignment projection to the substrate may be lowered. If it exceeds 10 parts by weight, the photocuring reaction proceeds too much. The shape of the liquid crystal alignment protrusions produced through the steps described later is close to that of the column spacer, which may cause a liquid crystal alignment abnormality.

本発明のネガ型レジストは、酸素による反応障害を軽減するために反応助剤を含有してもよい。このような反応助剤と水素引き抜き型の光反応開始剤とを併用することにより光を照射したときの硬化速度を向上させることができる。 The negative resist of the present invention may contain a reaction aid in order to reduce reaction disturbance due to oxygen. By using such a reaction aid and a hydrogen abstraction type photoreaction initiator in combination, the curing rate when irradiated with light can be improved.

上記反応助剤としては、n−ブチルアミン、ジ−n−ブチルアミン、トリエチルアミン、トリエチレンテトラミン、p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル等のアミン系;トリ−n−ブチルホスフィン等のホスフィン系;s−ベンジルイソチウロニウム−p−トルエンスルフィネート等のスルホン酸のもの等を用いることができる。これらの反応助剤は、単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。 Examples of the reaction aid include amines such as n-butylamine, di-n-butylamine, triethylamine, triethylenetetramine, ethyl p-dimethylaminobenzoate, isoamyl p-dimethylaminobenzoate; tri-n-butylphosphine, etc. Phosphinic compounds such as sulphonic acid such as s-benzylisothiouronium-p-toluenesulfinate can be used. These reaction aids may be used alone or in combination of two or more.

本発明のネガ型レジストは、シランカップリング剤を含有する。
上記シランカップリング剤は、本発明のネガ型レジストと基板との密着性を向上させる役割を果たし、このようなシランカップリング剤としては特に限定されず、従来公知のものを用いることができる。なかでも、官能基としてアクリロキシ基又はメタクリロキシ基を有するものが好ましい。官能基としてアクリロキシ基待メタクリロキシ基を有するシランカップリング剤を含有することで、本発明のネガ型レジストの基材との密着性を大幅に向上させることができる。
The negative resist of the present invention contains a silane coupling agent.
The silane coupling agent serves to improve the adhesion between the negative resist of the present invention and the substrate. Such a silane coupling agent is not particularly limited, and conventionally known ones can be used. Especially, what has an acryloxy group or a methacryloxy group as a functional group is preferable. By containing a silane coupling agent having an acryloxy group-waiting methacryloxy group as a functional group, the adhesion of the negative resist of the present invention to the substrate can be greatly improved.

上記アクリロキシ基を有するシランカップリング剤としては、例えば、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
また、上記メタクリロキシ基を有するシランカップリング剤としては、例えば、3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
これらのシランカップリング剤は単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
Examples of the silane coupling agent having an acryloxy group include 3-acryloxypropyltrimethoxysilane and 3-acryloxypropyltriethoxysilane.
Examples of the silane coupling agent having a methacryloxy group include 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, and 3-methacryloxypropyltri An ethoxysilane etc. are mentioned.
These silane coupling agents may be used independently and 2 or more types may be used together.

本発明のネガ型レジストにおいて、上記シランカップリング剤の含有量としては特に限定されないが、アルカリ可溶性樹脂と重合性単量体の合計を100重量部とした場合に、好ましい下限は0.1重量部、好ましい上限は15重量部である。0.1重量部未満であると、基板との密着性が低下することがあり、15重量部を超えると、フォトリソグラフィーにおいてアルカリ現像残りが生じることがある。より好ましい下限は1重量部、より好ましい上限は10重量部である。 In the negative resist of the present invention, the content of the silane coupling agent is not particularly limited, but when the total of the alkali-soluble resin and the polymerizable monomer is 100 parts by weight, the preferred lower limit is 0.1 weight. Parts, and the preferred upper limit is 15 parts by weight. If it is less than 0.1 part by weight, the adhesion to the substrate may be lowered, and if it exceeds 15 parts by weight, an alkali development residue may occur in photolithography. A more preferred lower limit is 1 part by weight, and a more preferred upper limit is 10 parts by weight.

本発明のネガ型レジストは、通常、上述した本発明のネガ型レジストを構成する各成分が有機溶剤を用いて、固形分濃度の下限が5重量%、上限が50重量%、好ましくは下限が10重量%、上限が40重量%の範囲となるように調液して使用される。
上記有機溶剤としては、上述の各成分を溶解・分散さることができ、取り扱い性に優れるものであれば特に限定されない。具体的には、例えば、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(以下「PGMAc」と略記する。)、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、トルエン、クロロホルム、ジクロロメタン、酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、テトラハイドロフラン等が挙げられる。
また、上記有機溶剤としては、沸点が100〜200℃の範囲が好適に用いられ、より好ましくは沸点が120〜180℃の範囲のものが用いられる。
In the negative resist of the present invention, the components constituting the negative resist of the present invention described above usually use an organic solvent, the lower limit of the solid content concentration is 5% by weight, the upper limit is 50% by weight, preferably the lower limit is It is used after being prepared so that the content is 10% by weight and the upper limit is in the range of 40% by weight.
The organic solvent is not particularly limited as long as it can dissolve and disperse the above-described components and has excellent handleability. Specifically, for example, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate (hereinafter abbreviated as “PGMAc”), methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, toluene, Examples include chloroform, dichloromethane, ethyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate, methanol, ethanol, propanol, butanol, tetrahydrofuran and the like.
Moreover, as said organic solvent, the range whose boiling point is 100-200 degreeC is used suitably, More preferably, the thing of the range whose boiling point is 120-180 degreeC is used.

次に、本発明のネガ型レジストを用いて液晶配向用突起を製造する方法を説明する。
本発明のネガ型レジストを用いて液晶配向用突起を製造するには、まず、本発明のネガ型レジストを所定の厚さになるように基板上に塗工して被膜を形成する。
上記塗工の方法としては特に限定されず、例えば、スピンコート、スリット&スピン、スリットコート、スプレーコート、ディップコート、バーコート等の従来公知の塗工法を用いることができる。
Next, a method for manufacturing a liquid crystal alignment protrusion using the negative resist of the present invention will be described.
In order to produce the liquid crystal alignment protrusions using the negative resist of the present invention, first, the negative resist of the present invention is applied on a substrate to have a predetermined thickness to form a coating.
The coating method is not particularly limited, and for example, conventionally known coating methods such as spin coating, slit & spin, slit coating, spray coating, dip coating, and bar coating can be used.

次いで、形成した被膜上に、所定のパターンが形成されたマスクを介して、紫外線等の活性光線を照射する。これにより、光照射部においては、本発明のネガ型レジスト中に含まれるアルカリ可溶性樹脂と重合性単量体と光重合開始剤とが反応して光硬化する。
上記活性光線の照射波長としては特に限定されないが、波長250〜400nm程度の紫外線を用いることが好ましく。活性光線の照射量としては、好ましい下限は50mJ/cm、好ましい上限は200mJ/cm未満である。50mJ/cm未満であると、光硬化が不充分で続くアルカリ処理を行ったときに露光部まで溶解しパターンが形成されないことがある。200mJ/cm以上であると、被膜表面部の光硬化が充分に進みすぎて製造する液晶配向用突起の形状が台形型となり、液晶配向異常を生じる原因となることがある。
Next, actinic rays such as ultraviolet rays are irradiated on the formed film through a mask on which a predetermined pattern is formed. Thereby, in the light irradiation part, the alkali-soluble resin, the polymerizable monomer, and the photopolymerization initiator contained in the negative resist of the present invention are reacted and photocured.
The irradiation wavelength of the active light is not particularly limited, but it is preferable to use ultraviolet rays having a wavelength of about 250 to 400 nm. The irradiation dose of an actinic ray, preferable lower limit is 50 mJ / cm 2, a preferred upper limit is less than 200 mJ / cm 2. If it is less than 50 mJ / cm 2 , the photocuring is insufficient and the subsequent alkali treatment may dissolve the exposed area and a pattern may not be formed. When it is 200 mJ / cm 2 or more, the photocuring of the surface portion of the film is sufficiently advanced, and the shape of the liquid crystal alignment protrusions to be manufactured becomes a trapezoidal shape, which may cause a liquid crystal alignment abnormality.

次いで、光硬化後の光硬化物をアルカリ現像して基板上に本発明のネガ型レジストの光硬化物からなる所定のパターンの液晶配向用突起を形成する。
上記アルカリ現像処理で使用する溶剤としては、未硬化部の塗布膜を溶解させる能力のある溶剤であれば特に限定されず、例えば、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の無機アルカリ化合物、或いはジエタノールアミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、水酸化テトラアルキルアンモニウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド等の有機アルカリ化合物を含有した水溶液が挙げられる。
Next, the photocured product after photocuring is alkali-developed to form a liquid crystal alignment projection having a predetermined pattern made of the photocured product of the negative resist of the present invention on the substrate.
The solvent used in the alkali development treatment is not particularly limited as long as it is a solvent capable of dissolving the coating film of the uncured part. For example, sodium carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium silicate An aqueous solution containing an inorganic alkali compound such as potassium silicate, sodium hydroxide or potassium hydroxide, or an organic alkali compound such as diethanolamine, triethylamine, triethanolamine, tetraalkylammonium hydroxide or tetramethylammonium hydroxide.

上記アルカリ現像液には、必要に応じて、界面活性剤、水溶性の有機溶剤、湿潤剤、水酸基又はカルボン酸基を有する低分子化合物等を含有させることもできる。特に、界面活性剤は現像性、解像性、地汚れ等に対して改良効果をもつものが多いため添加するのは好ましい。 If necessary, the alkali developer may contain a surfactant, a water-soluble organic solvent, a wetting agent, a low molecular compound having a hydroxyl group or a carboxylic acid group, and the like. In particular, it is preferable to add a surfactant because many surfactants have an improving effect on developability, resolution, background stains, and the like.

上記アルカリ現像液に使用する界面活性剤としては、例えば、ナフタレンスルホン酸ナトリウム基、ベンゼンスルホン酸ナトリウム基を有するアニオン性界面活性剤、ポリアルキレンオキシ基を有するノニオン性界面活性剤、テトラアルキルアンモニウム基を有するカチオン性界面活性剤等が挙げられる。 Examples of the surfactant used in the alkali developer include an anionic surfactant having a sodium naphthalenesulfonate group, a sodium benzenesulfonate group, a nonionic surfactant having a polyalkyleneoxy group, and a tetraalkylammonium group. And cationic surfactants having

アルカリ現像処理の方法としては特に限定されないが、通常、10〜50℃、好ましくは15〜45℃の現像温度で、浸漬現像、スプレー現像、ブラシ現像、超音波現像等の方法により行われる。 Although it does not specifically limit as a method of an alkali image development process, Usually, it is carried out by methods, such as immersion development, spray development, brush development, ultrasonic development, at the development temperature of 10-50 degreeC, Preferably 15-45 degreeC.

最後に乾燥オーブンで充分に乾燥させる。乾燥温度としては220℃以下が好ましく、乾燥時間は30分以下であることが好ましい。温度が220℃を超え、乾燥時間が30分を超えて長くなると、上記液晶配向用突起をカラーフィルター上に形成した場合、開口部の着色顔料又は染料にダメージを与えてしまい表示品質自体を低下させてしまう恐れがある。 Finally, it is thoroughly dried in a drying oven. The drying temperature is preferably 220 ° C. or less, and the drying time is preferably 30 minutes or less. When the temperature exceeds 220 ° C. and the drying time is longer than 30 minutes, when the liquid crystal alignment protrusion is formed on the color filter, the color pigment or dye in the opening is damaged and the display quality itself is deteriorated. There is a risk of letting you.

本発明のネガ型レジストは、含有するアルカリ可溶性樹脂が分子内に重合性二重結合を有し、かつ、酸価が100mgKOH/g以上であるため、解像性に優れたものとなり、例えば、底面積が120μm以下と微小な場合であっても、高さ及び形状安定性に優れる液晶配向用突起を製造することができる。更に、上述したアルカリ可溶性樹脂、重合性単量体、光重合開始剤及びシランカップリング剤を含有する組成からなるため、製造する液晶配向用突起は、基板に対する密着性に優れたものとなる。このような本発明のネガ型レジストを用いてなり、底面積が120μm以下である液晶配向用突起もまた、本発明の1つである。 The negative resist of the present invention has excellent resolution since the contained alkali-soluble resin has a polymerizable double bond in the molecule and the acid value is 100 mgKOH / g or more. Even when the bottom area is as small as 120 μm 2 or less, a liquid crystal alignment protrusion having excellent height and shape stability can be produced. Furthermore, since it consists of a composition containing the alkali-soluble resin, polymerizable monomer, photopolymerization initiator, and silane coupling agent described above, the liquid crystal alignment protrusions to be manufactured have excellent adhesion to the substrate. A projection for aligning a liquid crystal, which uses such a negative resist of the present invention and has a bottom area of 120 μm 2 or less, is also one aspect of the present invention.

また、本発明の液晶配向用突起を液晶表示素子のカラーフィルター上に設けた場合、該カラーフィルターを用いてなる液晶表示素子は視野角が広いものとなる。
本発明の液晶配向用突起形成用ネガ型レジスト、又は、本発明の液晶配向用突起を用いてなるカラーフィルターもまた、本発明の1つである。
更に、本発明の液晶配向用突起形成用ネガ型レジスト、本発明の液晶配向用突起、又は、本発明のカラーフィルターを用いてなる液晶表示素子もまた、本発明の1つである。
In addition, when the liquid crystal alignment protrusion of the present invention is provided on the color filter of the liquid crystal display element, the liquid crystal display element using the color filter has a wide viewing angle.
The negative resist for forming projections for liquid crystal alignment of the present invention or a color filter using the projection for liquid crystal alignment of the present invention is also one aspect of the present invention.
Further, a negative resist for forming a liquid crystal alignment protrusion of the present invention, a liquid crystal alignment protrusion of the present invention, or a liquid crystal display element using the color filter of the present invention is also one aspect of the present invention.

本発明の液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを用いた液晶表示素子の製造方法であって、上記液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを基板に塗工してレジスト膜を形成する工程(1)、上記レジスト膜の液晶配向用突起形成部分及びカラムスペーサ形成部分に所定のパターンが形成されたマスクを介して活性光線を照射する工程(2)、及び、上記レジスト膜を現像することにより、カラムスペーサ及び液晶配向用突起を同時に形成する工程(3)を有する液晶表示素子の製造方法を用いた場合、液晶配向用突起及びカラムスペーサの同時形成が可能となり、製造工程を短縮して、液晶表示素子の生産性を大幅に向上することができる。このような液晶表示素子の製造方法もまた本発明の1つである。 A method of manufacturing a liquid crystal display element using a negative resist for forming a projection for liquid crystal alignment according to the present invention, wherein the negative resist for forming a liquid crystal alignment protrusion is applied to a substrate to form a resist film (1 ), A step (2) of irradiating actinic rays through a mask having a predetermined pattern formed on the liquid crystal alignment protrusion forming portion and the column spacer forming portion of the resist film, and developing the resist film, When the manufacturing method of the liquid crystal display element having the step (3) of simultaneously forming the column spacer and the liquid crystal alignment protrusion is used, the liquid crystal alignment protrusion and the column spacer can be simultaneously formed, thereby shortening the manufacturing process and reducing the liquid crystal The productivity of the display element can be greatly improved. Such a liquid crystal display device manufacturing method is also one aspect of the present invention.

本発明の液晶表示素子の製造方法では、まず、本発明の液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを基板に塗工してレジスト膜を形成する工程(1)を行う。
上記レジスト膜の厚さは、後述するカラムスペーサや液晶配向用突起の形状によって所望の厚みに調整する。なお、塗工の方法としては、上述した本発明のネガ型レジストを用いて液晶配向用突起を製造する方法と同様に、従来公知の塗工法を用いることができる。
In the method for producing a liquid crystal display element of the present invention, first, a step (1) of forming a resist film by applying the liquid crystal alignment projection forming negative resist of the present invention to a substrate is performed.
The thickness of the resist film is adjusted to a desired thickness depending on the shape of column spacers and liquid crystal alignment protrusions described later. As a coating method, a conventionally known coating method can be used in the same manner as the method for producing the liquid crystal alignment protrusion using the negative resist of the present invention described above.

本発明の液晶表示素子の製造方法では、次いで、上記レジスト膜の液晶配向用突起形成部分及びカラムスペーサ形成部分に所定のパターンが形成されたマスクを介して活性光線を照射する工程(2)を行う。これにより、光照射部においては、本発明の液晶配向用突起形成用ネガ型レジスト中に含まれるアルカリ可溶性樹脂と重合性単量体と光重合開始剤とが反応して光硬化する。 In the method for manufacturing a liquid crystal display element of the present invention, the step (2) of irradiating actinic rays through a mask in which a predetermined pattern is formed on the liquid crystal alignment protrusion forming portion and the column spacer forming portion of the resist film is then performed. Do. Thereby, in the light irradiation part, the alkali-soluble resin, the polymerizable monomer, and the photopolymerization initiator contained in the negative resist for forming a projection for liquid crystal alignment according to the present invention are reacted and photocured.

上記工程(2)においては、照射量の異なる活性光線をレジスト膜の液晶配向用突起形成部分及びカラムスペーサ形成部分に照射することで、液晶配向用突起とカラムスペーサとを同時に形成することが可能となる。 In the step (2), the liquid crystal alignment protrusion and the column spacer can be simultaneously formed by irradiating the liquid crystal alignment protrusion forming portion and the column spacer forming portion of the resist film with actinic rays having different irradiation amounts. It becomes.

上記工程(2)において、上記活性光線としては、波長が250〜440nm程度の紫外線を用いることが好ましく、波長が365nm程度の紫外線を用いることがより好ましい。 In the step (2), it is preferable to use an ultraviolet ray having a wavelength of about 250 to 440 nm, and more preferably an ultraviolet ray having a wavelength of about 365 nm as the actinic ray.

上記活性光線として紫外線を用いる場合、上記レジスト膜の液晶配向用突起形成部分に照射する紫外線の照射量の好ましい下限は80mJ/cm、好ましい上限は160mJ/cmである。80mJ/cm未満であると、光硬化が不充分で続くアルカリ処理を行ったときに露光部まで溶解し、所望の形状の液晶配向用突起が形成されないことがある。160mJ/cmを超えると、被膜表面部の光硬化が充分に進みすぎ、得られる液晶配向用突起の形状がカラムスペーサに近いものとなることがある。 When using ultraviolet rays as the active light, the preferable lower limit of the dose of ultraviolet rays to be irradiated to the liquid crystal alignment protrusions forming part of the resist film is 80 mJ / cm 2, the upper limit is preferably 160 mJ / cm 2. If it is less than 80 mJ / cm 2 , the photo-curing may be insufficient and the liquid crystal alignment protrusions having a desired shape may not be formed when the alkali treatment is continued and the exposed portion is dissolved. When it exceeds 160 mJ / cm 2 , the photocuring of the coating film surface portion is sufficiently advanced, and the shape of the obtained liquid crystal alignment protrusions may be close to that of the column spacer.

また、上記活性光線として紫外線を用いる場合、上記レジスト膜のカラムスペーサ形成部分に照射する紫外線の照射量の好ましい下限は200mJ/cm、好ましい上限は400mJ/cmである。200mJ/cm未満であると、得られるカラムスペーサの形状が突起形状となって、セルギャップの均一性が低下することがあり、400mJ/cmを超えると、紫外線の積算照射時間が長くなり、液晶表示素子の生産性が低下することがある。 When ultraviolet rays are used as the actinic rays, the preferable lower limit of the amount of ultraviolet rays irradiated to the column spacer forming portion of the resist film is 200 mJ / cm 2 , and the preferable upper limit is 400 mJ / cm 2 . If it is less than 200 mJ / cm 2 , the shape of the obtained column spacer becomes a protrusion shape, and the uniformity of the cell gap may be lowered. If it exceeds 400 mJ / cm 2 , the cumulative irradiation time of ultraviolet rays becomes longer. The productivity of the liquid crystal display element may be reduced.

上述のように、レジスト膜に照射量の異なる活性光線を照射する方法としては、例えば、ハーフトーンマスクを使用して、液晶配向用突起形成部分及びカラムスペーサ形成部分への露光を同時に行う方法や、液晶配向用突起形成部分及びカラムスペーサ形成部分への露光を照射量を変更して複数回行う方法等が挙げられるが、上記ハーフトーンマスクを使用する方法を用いた場合、製造工程を削減することが可能となることから好ましい。
なお、上記ハーフトーンマスクとは、活性光線の透過率が異なる複数の領域を有するマスクのことをいい、このようなハーフトーンマスクを用いることで、露光時に任意のパターンに対して活性光線の照射量を調整して露光を行うことが可能となる。
As described above, as a method of irradiating the resist film with actinic rays having different irradiation doses, for example, using a halftone mask, simultaneously exposing the liquid crystal alignment protrusion formation portion and the column spacer formation portion, The method of performing exposure to the liquid crystal alignment protrusion forming portion and the column spacer forming portion multiple times by changing the irradiation amount, etc., can be used, but when the method using the halftone mask is used, the manufacturing process is reduced. It is preferable because it becomes possible.
The halftone mask refers to a mask having a plurality of regions having different actinic ray transmittances. By using such a halftone mask, irradiation with an actinic ray is performed on an arbitrary pattern during exposure. Exposure can be performed by adjusting the amount.

本発明の液晶表示素子の製造方法において、ハーフトーンマスクを使用する際に、上記ハーフトーンマスクの液晶配向用突起のパターン部分における活性光線透過率は、カラムスペーサのパターン部分の活性光線透過率を100%とした場合、好ましい下限が20%、好ましい上限が60%である。20%未満であると、所望の液晶配向用突起が形成できないことがあり、60%を超えると、液晶配向用突起の形状がカラムスペーサに近いものとなることがある。 In the method for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention, when a halftone mask is used, the actinic light transmittance in the pattern portion of the liquid crystal alignment protrusion of the halftone mask is the active light transmittance of the column spacer pattern portion. When 100% is set, the preferable lower limit is 20% and the preferable upper limit is 60%. If it is less than 20%, a desired liquid crystal alignment protrusion may not be formed. If it exceeds 60%, the shape of the liquid crystal alignment protrusion may be close to that of a column spacer.

本発明の液晶表示素子の製造方法では、次いで、上記レジスト膜を現像することにより、カラムスペーサ及び液晶配向用突起を同時に形成する工程(3)を行う。
なお、上記工程(3)において、上記レジスト膜を現像する際に使用する現像液、上記現像液に必要に応じて含有させる、界面活性剤、水溶性の有機溶剤、湿潤剤、低分子化合物等については、上述した本発明のネガ型レジストを用いて液晶配向用突起を製造する方法と同様のものを用いることができる。
また、上記現像処理の方法、乾燥方法についても、上述した本発明のネガ型レジストを用いて液晶配向用突起を製造する方法と同様の方法を用いることができる。
In the method for manufacturing a liquid crystal display element of the present invention, the step (3) of simultaneously forming column spacers and liquid crystal alignment protrusions is then performed by developing the resist film.
In the step (3), a developer used for developing the resist film, a surfactant, a water-soluble organic solvent, a wetting agent, a low molecular compound, etc., contained as needed in the developer. For the above, the same method as the method for producing the liquid crystal alignment protrusions using the negative resist of the present invention described above can be used.
Also, with respect to the development processing method and the drying method, a method similar to the method for producing the liquid crystal alignment protrusions using the negative resist of the present invention described above can be used.

本発明によると、底面積が微小な場合であっても、基板に対する密着性に優れ、かつ、高さ及び形状安定性に優れる液晶配向用突起を形成することができる液晶配向用突起形成用ネガ型レジスト、該液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを用いてなる液晶配向用突起、カラーフィルター、液晶表示装置及び液晶表示素子の製造方法を提供することができる。 According to the present invention, even when the bottom area is small, the liquid crystal alignment projection forming negative capable of forming the liquid crystal alignment projection having excellent adhesion to the substrate and excellent in height and shape stability. A liquid crystal alignment protrusion, a color filter, a liquid crystal display device, and a method of manufacturing a liquid crystal display element using the negative resist for forming a liquid crystal alignment protrusion can be provided.

以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples.

(実施例1)
(1)アルカリ可溶性樹脂(P−1)の合成
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計、ガス導入管を備えたフラスコにPGMAc150重量部を取り、窒素置換しながら攪拌し110℃に昇温した。
次に、メタクリル酸32.6重量部(0.38モル)、メチルメタクリレート31.1重量部(0.31モル)からなるモノマー混合物に、t−ブチルヒドロパーオキサイド(日本油脂社製、パーブチルO)3.6重量部を滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、更に110℃で3時間攪拌し続けエージングを行った。
次に、3、4−エポキシシクロへキシルメタクリレート36.4重量部(0.20モル)、トリフェニルフォスフィン0.36重量部及びメチルハイドロキノン0.15重量部を加えて、100℃で10時間反応させた。反応は空気/窒素雰囲気下で行った。これにより、酸価100mgKOH/g、二重結合当量(不飽和基1モルあたりの樹脂のg重量)500、重量平均分子量15000のアルカリ可溶性樹脂(P−1)(固形分40%)を得た。
Example 1
(1) Synthesis of alkali-soluble resin (P-1) A flask equipped with a stirring device, a dropping funnel, a condenser, a thermometer, and a gas introduction tube was charged with 150 parts by weight of PGMAc, stirred while purging with nitrogen, and heated to 110 ° C. .
Next, to a monomer mixture consisting of 32.6 parts by weight (0.38 mol) of methacrylic acid and 31.1 parts by weight (0.31 mol) of methyl methacrylate, t-butyl hydroperoxide (manufactured by NOF Corporation, Perbutyl O ) 3.6 parts by weight of the dropping funnel was dropped into the flask over 2 hours, and further stirred at 110 ° C. for 3 hours for aging.
Next, 36.4 parts by weight (0.20 mol) of 3,4-epoxycyclohexyl methacrylate, 0.36 parts by weight of triphenylphosphine and 0.15 parts by weight of methylhydroquinone were added, and the mixture was heated at 100 ° C. for 10 hours. Reacted. The reaction was carried out in an air / nitrogen atmosphere. As a result, an alkali-soluble resin (P-1) (solid content 40%) having an acid value of 100 mgKOH / g, a double bond equivalent (g weight of resin per mole of unsaturated groups) of 500, and a weight average molecular weight of 15000 was obtained. .

(2)液晶配向用突起形成用ネガ型レジストの調製
(1)で得られたアルカリ可溶性樹脂(P−1)溶液200重量部、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA)40重量部、光反応開始剤としてOXE−01(チバスペシャリティケミカルズ社製)5重量部、アクリロキシ基を有するシランカップリング剤として3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン(KBM−5103、信越化学社製)10重量部、及び、溶剤としてPGMAc100重量部を混合して液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを調製した。
(2) Preparation of negative resist for forming liquid crystal alignment protrusions 200 parts by weight of the alkali-soluble resin (P-1) solution obtained in (1), 40 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA), photoinitiator 5 parts by weight of OXE-01 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals), 10 parts by weight of 3-acryloxypropyltrimethoxysilane (KBM-5103, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a silane coupling agent having an acryloxy group, and as a solvent A negative resist for forming protrusions for liquid crystal alignment was prepared by mixing 100 parts by weight of PGMAc.

(実施例2)
(1)アルカリ可溶性樹脂(P−2)の合成
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計、ガス導入管を備えたフラスコにPGMAc150重量部を取り、窒素置換しながら攪拌し110℃に昇温した。
次に、メタクリル酸35.6重量部(0.41モル)、メチルメタクリレート28.0重量部(0.28モル)からなるモノマー混合物に、t−ブチルヒドロパーオキサイド(日本油脂社製、パーブチルO)3.6重量部を滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、更に110℃で3時間攪拌し続けエージングを行った。
次に、3、4−エポキシシクロへキシルメタクリレート36.4重量部(0.20モル)、トリフェニルフォスフィン0.36重量部及びメチルハイドロキノン0.15重量部を加えて、100℃で10時間反応させた。反応は空気/窒素雰囲気下で行った。これにより、酸価120mgKOH/g、二重結合当量(不飽和基1モルあたりの樹脂のg重量)500、重量平均分子量15000のアルカリ可溶性樹脂(P−2)(固形分40%)を得た。
(Example 2)
(1) Synthesis of alkali-soluble resin (P-2) A flask equipped with a stirrer, a dropping funnel, a condenser, a thermometer, and a gas introduction pipe was charged with 150 parts by weight of PGMAc, stirred while purging with nitrogen, and heated to 110 ° C. .
Next, a monomer mixture composed of 35.6 parts by weight (0.41 mol) of methacrylic acid and 28.0 parts by weight (0.28 mol) of methyl methacrylate was added to t-butyl hydroperoxide (manufactured by NOF Corporation, Perbutyl O ) 3.6 parts by weight of the dropping funnel was dropped into the flask over 2 hours, and further stirred at 110 ° C. for 3 hours for aging.
Next, 36.4 parts by weight (0.20 mol) of 3,4-epoxycyclohexyl methacrylate, 0.36 parts by weight of triphenylphosphine and 0.15 parts by weight of methylhydroquinone were added, and the mixture was heated at 100 ° C. for 10 hours. Reacted. The reaction was carried out in an air / nitrogen atmosphere. As a result, an alkali-soluble resin (P-2) (solid content 40%) having an acid value of 120 mgKOH / g, a double bond equivalent (g weight of resin per mole of unsaturated groups) of 500, and a weight average molecular weight of 15000 was obtained. .

(2)液晶配向用突起形成用ネガ型レジストの調製
(1)で得られたアルカリ可溶性樹脂(P−2)溶液200重量部、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート40重量部、光反応開始剤としてOXE−01(チバスペシャリティケミカルズ社製)5重量部、アクリロキシ基を有するシランカップリング剤として3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン(KBM−5103、信越化学社製)10重量部、及び、溶剤としてPGMAc100重量部を混合して液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを調製した。
(2) Preparation of negative resist for forming liquid crystal alignment projections 200 parts by weight of the alkali-soluble resin (P-2) solution obtained in (1), 40 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate, OXE- as a photoinitiator 5 parts by weight of 01 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals), 10 parts by weight of 3-acryloxypropyltrimethoxysilane (KBM-5103, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a silane coupling agent having an acryloxy group, and 100 parts by weight of PGMac as a solvent Were mixed to prepare a negative resist for forming projections for liquid crystal alignment.

(実施例3)
液晶配向用突起形成用ネガ型レジストの調製において、アクリロキシ基を有するシランカップリング剤として3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン(KBM−5103、信越化学社製)10重量部に代えて、メタクリロキシ基を有するシランカップリング剤として3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(KBM−503、信越化学社製)10重量部を用いた以外は、実施例2と同様にして液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを調製した。
(Example 3)
In the preparation of the negative resist for forming liquid crystal alignment protrusions, instead of 10 parts by weight of 3-acryloxypropyltrimethoxysilane (KBM-5103, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a silane coupling agent having an acryloxy group, a methacryloxy group was used. A negative resist for forming protrusions for liquid crystal alignment was prepared in the same manner as in Example 2 except that 10 parts by weight of 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane (KBM-503, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was used as the silane coupling agent. Prepared.

(実施例4)
液晶配向用突起形成用ネガ型レジストの調製において、アクリロキシ基を有するシランカップリング剤として3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン(KBM−5103、信越化学社製)10重量部に代えて、メタクリロキシ基を有するシランカップリング剤として3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン(KBE−503、信越化学社製)を10重量部を用いた以外は、実施例2と同様にして液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを調製した。
Example 4
In the preparation of the negative resist for forming liquid crystal alignment protrusions, instead of 10 parts by weight of 3-acryloxypropyltrimethoxysilane (KBM-5103, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a silane coupling agent having an acryloxy group, a methacryloxy group was used. Negative resist for forming protrusions for liquid crystal alignment in the same manner as in Example 2 except that 10 parts by weight of 3-methacryloxypropyltriethoxysilane (KBE-503, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was used as the silane coupling agent. Was prepared.

(比較例1)
(1)アルカリ可溶性樹脂(P−3)の合成
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計、ガス導入管を備えたフラスコにPGMAc150重量部を取り、窒素置換しながら攪拌し110℃に昇温した。
次に、メタクリル酸15.4重量部(0.18モル)、メチルメタクリレート84.7重量部(0.85モル)からなるモノマー混合物に、t−ブチルヒドロパーオキサイド(日本油脂社製、パーブチルO)3.6重量部を滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、更に110℃で4時間攪拌し反応させた。これにより、酸価100mgKOH/g、重量平均分子量15000のアルカリ可溶性樹脂(P−3)(固形分40%)を得た。
(Comparative Example 1)
(1) Synthesis of alkali-soluble resin (P-3) A flask equipped with a stirrer, a dropping funnel, a condenser, a thermometer, and a gas introduction tube was charged with 150 parts by weight of PGMAc, stirred while purging with nitrogen, and heated to 110 ° C. .
Next, a monomer mixture consisting of 15.4 parts by weight (0.18 mole) of methacrylic acid and 84.7 parts by weight (0.85 mole) of methyl methacrylate was added to t-butyl hydroperoxide (manufactured by NOF Corporation, Perbutyl O ) 3.6 parts by weight of the dropping funnel was dropped into the flask over 2 hours, and the mixture was further stirred at 110 ° C. for 4 hours to be reacted. As a result, an alkali-soluble resin (P-3) (solid content 40%) having an acid value of 100 mgKOH / g and a weight average molecular weight of 15000 was obtained.

(2)液晶配向用突起形成用ネガ型レジストの調製
(1)で得られたアルカリ可溶性樹脂(P−3)溶液200重量部、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート40重量部、光反応開始剤としてOXE−01(チバスペシャリティケミカルズ社製)5重量部、アクリロキシ基を有するシランカップリング剤として3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン(KBM−5103、信越化学社製)10重量部、及び、溶剤としてPGMAc100重量部を混合して液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを調製した。
(2) Preparation of negative resist for forming liquid crystal alignment projections 200 parts by weight of the alkali-soluble resin (P-3) solution obtained in (1), 40 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate, OXE- as a photoinitiator 5 parts by weight of 01 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals), 10 parts by weight of 3-acryloxypropyltrimethoxysilane (KBM-5103, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a silane coupling agent having an acryloxy group, and 100 parts by weight of PGMac as a solvent Were mixed to prepare a negative resist for forming projections for liquid crystal alignment.

(比較例2)
(1)アルカリ可溶性樹脂(P−4)の合成
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計、ガス導入管を備えたフラスコにPGMAc150重量部を取り、窒素置換しながら攪拌し110℃に昇温した。
次に、メタクリル酸29.5重量部(0.34モル)、メチルメタクリレート34.5重量部(0.35モル)からなるモノマー混合物に、t−ブチルヒドロパーオキサイド(日本油脂社製、パーブチルO)3.6重量部を滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、更に110℃で3時間攪拌し続けエージングを行った。
次に、3、4−エポキシシクロへキシルメタクリレート36.4重量部(0.20モル)、トリフェニルフォスフィン0.36重量部及びメチルハイドロキノン0.15重量部を加えて、100℃で10時間反応させた。反応は空気/窒素雰囲気下で行った。これにより、酸価80mgKOH/g、二重結合当量(不飽和基1モルあたりの樹脂のg重量)500、重量平均分子量15000のアルカリ可溶性樹脂(P−4)(固形分40%)を得た。
(Comparative Example 2)
(1) Synthesis of alkali-soluble resin (P-4) A flask equipped with a stirring device, a dropping funnel, a condenser, a thermometer, and a gas introduction tube was charged with 150 parts by weight of PGMAc, stirred while purging with nitrogen, and heated to 110 ° C. .
Next, a monomer mixture consisting of 29.5 parts by weight (0.34 mol) of methacrylic acid and 34.5 parts by weight (0.35 mol) of methyl methacrylate was added to t-butyl hydroperoxide (manufactured by NOF Corporation, Perbutyl O ) 3.6 parts by weight of the dropping funnel was dropped into the flask over 2 hours, and further stirred at 110 ° C. for 3 hours for aging.
Next, 36.4 parts by weight (0.20 mol) of 3,4-epoxycyclohexyl methacrylate, 0.36 parts by weight of triphenylphosphine and 0.15 parts by weight of methylhydroquinone were added, and the mixture was heated at 100 ° C. for 10 hours. Reacted. The reaction was carried out in an air / nitrogen atmosphere. As a result, an alkali-soluble resin (P-4) (solid content 40%) having an acid value of 80 mgKOH / g, a double bond equivalent (g weight of resin per mole of unsaturated groups) of 500, and a weight average molecular weight of 15000 was obtained. .

(2)液晶配向用突起形成用ネガ型レジストの調製
(1)で得られたアルカリ可溶性樹脂(P−4)溶液200重量部、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート40重量部、光反応開始剤としてOXE−01(チバスペシャリティケミカルズ社製)5重量部、アクリロキシ基を有するシランカップリング剤として3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン(KBM−5103、信越化学社製)10重量部、及び、溶剤としてPGMAc100重量部を混合して液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを調製した。
(2) Preparation of negative resist for forming liquid crystal alignment projections 200 parts by weight of the alkali-soluble resin (P-4) solution obtained in (1), 40 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate, OXE- as a photoinitiator 5 parts by weight of 01 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals), 10 parts by weight of 3-acryloxypropyltrimethoxysilane (KBM-5103, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a silane coupling agent having an acryloxy group, and 100 parts by weight of PGMac as a solvent Were mixed to prepare a negative resist for forming projections for liquid crystal alignment.

(比較例3)
アクリロキシ基を有するシランカップリング剤を添加しなかった以外は、実施例2と同様にして液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを調製した。
(Comparative Example 3)
A negative resist for forming liquid crystal alignment protrusions was prepared in the same manner as in Example 2 except that the silane coupling agent having an acryloxy group was not added.

(参考例1)
アクリロキシ基を有するシランカップリング剤として3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン(KBM−5103、信越化学社製)10重量部に代えて、エポキシ基を持つシランカップリング剤として3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(KBM−403、信越化学社製)を10重量部用いた以外は、実施例2と同様にして液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを調製した。
(Reference Example 1)
Instead of 10 parts by weight of 3-acryloxypropyltrimethoxysilane (KBM-5103, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a silane coupling agent having an acryloxy group, 3-glycidoxypropyltrisilane as a silane coupling agent having an epoxy group A negative resist for forming liquid crystal alignment protrusions was prepared in the same manner as in Example 2 except that 10 parts by weight of methoxysilane (KBM-403, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was used.

(評価)
実施例1〜4及び比較例1〜3、参考例1で得られた液晶配向用突起形成用ネガ型レジストについて、液晶配向用突起を形成したもので以下の方法により評価を行った。それぞれの結果を表1に示した。
結果を表1に示した。
(Evaluation)
For the negative resists for forming liquid crystal alignment protrusions obtained in Examples 1 to 4, Comparative Examples 1 to 3, and Reference Example 1, the liquid crystal alignment protrusions were formed and evaluated by the following methods. The results are shown in Table 1.
The results are shown in Table 1.

(液晶配向用突起の作成)
透明導電膜が形成されたガラス基板上に、各実施例、比較例及び参考例で得られた液晶配向用突起形成用ネガ型レジストをスピンコートにより塗布し、80℃、2分間乾燥して塗膜を得た。得られた塗膜に、8μm角のドットパターンマスクを介して100mJ/cmの紫外線を照射した後、0.1%炭酸ナトリウム水溶液により60秒間現像し、純水にて30秒間洗浄した。その後、200℃、30分のベーキング処理を行った後、液晶配向用突起パターンを得た。
(Creation of liquid crystal alignment protrusions)
On a glass substrate on which a transparent conductive film has been formed, the negative resist for forming liquid crystal alignment projections obtained in each of the Examples, Comparative Examples, and Reference Examples is applied by spin coating, and dried at 80 ° C. for 2 minutes. A membrane was obtained. The obtained coating film was irradiated with 100 mJ / cm 2 ultraviolet rays through an 8 μm square dot pattern mask, developed with a 0.1% aqueous sodium carbonate solution for 60 seconds, and washed with pure water for 30 seconds. Thereafter, after baking at 200 ° C. for 30 minutes, a liquid crystal alignment projection pattern was obtained.

(突起形状の評価)
光学顕微鏡及びSEMにより、突起形状がドーム形状であるかを観察し、以下の基準により評価した。
○:全体的にゆるやかなドーム形状をしており、突起先端部に平らな領域が無い。またすそびきも見られない。
×:突起先端部に平らな領域、あるいはすそびきが確認できる。
(Evaluation of protrusion shape)
Whether the protrusion shape was a dome shape was observed with an optical microscope and SEM, and evaluated according to the following criteria.
○: Overall, it has a gentle dome shape, and there is no flat area at the tip of the protrusion. In addition, no snoring is seen.
X: A flat region or a sliding can be confirmed at the tip of the protrusion.

(パターン底面積と密着性の評価)
光学顕微鏡及びSEMにより、液晶配向用突起の底面積と密着性関係を観察し、以下の基準により評価した。
密着性の評価
○:液晶配向用突起の底面積が120μm以下で現像での剥がれ無し
×:液晶配向用突起の底面積が120μm以下で現像での剥がれ有り
(Evaluation of pattern bottom area and adhesion)
The relationship between the bottom area of the liquid crystal alignment protrusions and the adhesiveness was observed with an optical microscope and SEM, and evaluated according to the following criteria.
Evaluation of adhesion ○: No peeling during development when the bottom area of the liquid crystal alignment protrusion is 120 μm 2 or less ×: There is peeling during development when the bottom area of the liquid crystal alignment protrusion is 120 μm 2 or less

Figure 2007304544
Figure 2007304544

(実施例5)
透明導電膜が形成されたガラス基板上に、実施例1で得られた液晶配向用突起形成用ネガ型レジストをスピンコートにより塗布し、80℃、2分間乾燥して塗膜を得た。
得られた塗膜に、液晶配向用突起及びカラムスペーサのパターン形状の紫外線透過領域を有する8μm角のハーフトーンマスク(液晶配向用突起のパターン部分の紫外線透過率40%、カラムスペーサのパターン部分の紫外線透過率100%)を介して、液晶配向用突起形成部分に120mJ/cm、カラムスペーサ形成部分に300mJ/cmの紫外線(波長365nm)を照射した。次いで、0.1%炭酸ナトリウム水溶液により60秒間現像し、純水にて30秒間洗浄した。その後、200℃、30分のベーキング処理を行うことにより、液晶配向用突起及びカラムスペーサを形成した。
(Example 5)
On the glass substrate on which the transparent conductive film was formed, the negative resist for forming liquid crystal alignment protrusions obtained in Example 1 was applied by spin coating, and dried at 80 ° C. for 2 minutes to obtain a coating film.
On the obtained coating film, an 8 μm square halftone mask having a UV light transmission region in the pattern shape of the liquid crystal alignment protrusion and the column spacer (40% UV transmittance of the pattern portion of the liquid crystal alignment protrusion, UV transmittance of 100%) through the, 120 mJ / cm 2 to the liquid crystal alignment protrusions formed part was irradiated with ultraviolet rays (wavelength 365 nm) of 300 mJ / cm 2 to the column spacer forming portion. Next, the film was developed with a 0.1% aqueous sodium carbonate solution for 60 seconds and washed with pure water for 30 seconds. Then, the liquid crystal aligning protrusion and the column spacer were formed by performing a baking process at 200 ° C. for 30 minutes.

形成された液晶配向用突起及びカラムスペーサの形状について、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて観察したところ、液晶配向用突起については、全体的にゆるやかなドーム形状をしており、突起先端部に平らな領域が無く、すそびきも見られなかった。
また、カラムスペーサについては、パターンのエッジがシャープな状態であり、パターン表面は平滑な状態であった。
The shapes of the formed liquid crystal alignment protrusions and column spacers were observed using a scanning electron microscope (SEM). As a result, the liquid crystal alignment protrusions were generally loosely dome-shaped, and the tips of the protrusions There was no flat area and no swaying was seen.
Moreover, about the column spacer, the edge of the pattern was in a sharp state, and the pattern surface was in a smooth state.

本発明によれば、底面積が微小な場合であっても、基板に対する密着性に優れ、かつ、高さ及び形状安定性に優れる液晶配向用突起を形成することができる液晶配向用突起形成用ネガ型レジスト、該液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを用いてなる液晶配向用突起、カラーフィルター、液晶表示素子及び液晶表示素子の製造方法を提供することができる。 According to the present invention, even when the bottom area is small, the liquid crystal alignment protrusion can be formed that has excellent adhesion to the substrate and is excellent in height and shape stability. A negative resist, a liquid crystal alignment protrusion, a color filter, a liquid crystal display element, and a method for manufacturing the liquid crystal display element using the negative resist for forming a liquid crystal alignment protrusion can be provided.

Claims (10)

アルカリ可溶性樹脂、重合性単量体、光重合開始剤及びシランカップリング剤を含有する液晶配向用突起形成用ネガ型レジストであって、
前記アルカリ可溶性樹脂は、分子内に重合性二重結合を有し、かつ、酸価が100mgKOH/g以上である
ことを特徴とする液晶配向用突起形成用ネガ型レジスト。
A negative resist for forming protrusions for liquid crystal alignment containing an alkali-soluble resin, a polymerizable monomer, a photopolymerization initiator, and a silane coupling agent,
The negative resist for forming a projection for liquid crystal alignment, wherein the alkali-soluble resin has a polymerizable double bond in a molecule and has an acid value of 100 mgKOH / g or more.
アルカリ可溶性樹脂は、側鎖に(メタ)アクリル基とカルボキシル基とを有するアルカリ可溶性(メタ)アクリル共重合体であり、下記式(1a)、(1b)、(1c)、(1d)及び(1e)で表される構造単位からなる共重合体であることを特徴とする請求項1記載の液晶配向用突起形成用ネガ型レジスト。
Figure 2007304544
式(1a)、(1b)、(1c)、(1d)及び(1e)中、A及びAは、水素、下記式(2a)、(2b)、(2c)又は(2d)を表し、A又はAのいずれか一方が水素である場合、他方は下記式(2a)、(2b)、(2c)又は(2d)のいずれかである。Rは、水素及び/又はメチル基を表し、Rは、アルキル基、フェニル基、アルキル基若しくはアルコキシ基を含むフェニル基、ヒドロキシアルキル基又は脂環式炭化水素を表し、Rは、ニトリル基又はフェニル基を表し、Rは、アルキル基、ヒドロキシアルキル基又はラジカル重合性基含有脂肪族炭化水素を表す。また、a、b、c、d、eは、各成分のモル比率(%)を表し、a+b+c+d+e=100とするとき、a、b及びdは0〜90、cは5〜50、eは5〜60である。
Figure 2007304544
The alkali-soluble resin is an alkali-soluble (meth) acrylic copolymer having a (meth) acrylic group and a carboxyl group in the side chain, and the following formulas (1a), (1b), (1c), (1d) and ( The negative resist for forming a projection for liquid crystal alignment according to claim 1, wherein the negative resist is a copolymer comprising the structural unit represented by 1e).
Figure 2007304544
In formulas (1a), (1b), (1c), (1d) and (1e), A 1 and A 2 represent hydrogen, the following formulas (2a), (2b), (2c) or (2d) , A 1 or A 2 is hydrogen, the other is any of the following formulas (2a), (2b), (2c) or (2d). R 1 represents hydrogen and / or a methyl group, R 2 represents an alkyl group, a phenyl group, a phenyl group containing an alkyl group or an alkoxy group, a hydroxyalkyl group or an alicyclic hydrocarbon, and R 3 represents a nitrile R 4 represents an alkyl group, a hydroxyalkyl group, or a radically polymerizable group-containing aliphatic hydrocarbon. Moreover, a, b, c, d, and e represent the molar ratio (%) of each component, and when a + b + c + d + e = 100, a, b and d are 0 to 90, c is 5 to 50, and e is 5 ~ 60.
Figure 2007304544
シランカップリング剤は、官能基としてアクリロキシ基又はメタクリロキシ基を有することを特徴とする請求項1又は2記載の液晶配向用突起形成用ネガ型レジスト。 The negative resist for forming a projection for liquid crystal alignment according to claim 1 or 2, wherein the silane coupling agent has an acryloxy group or a methacryloxy group as a functional group. 請求項1、2又は3記載の液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを用いてなり、底面積が120μm以下であることを特徴とする液晶配向用突起。 A projection for forming a liquid crystal alignment, comprising the negative resist for forming a protrusion for aligning liquid crystal according to claim 1, wherein the bottom area is 120 μm 2 or less. 請求項1、2又は3記載の液晶配向用突起形成用ネガ型レジスト、若しくは、請求項4記載の液晶配向用突起を用いてなることを特徴とするカラーフィルター。 A color filter comprising the liquid crystal alignment protrusion forming negative resist according to claim 1, or the liquid crystal alignment protrusion according to claim 4. 請求項1、2又は3記載の液晶配向用突起形成用ネガ型レジスト、請求項4記載の液晶配向用突起、若しくは、請求項5記載のカラーフィルターを用いてなることを特徴とする液晶表示素子。 A liquid crystal display element comprising the negative alignment resist for forming liquid crystal alignment protrusions according to claim 1, 2 or 3, the liquid crystal alignment protrusion according to claim 4, or the color filter according to claim 5. . 請求項1、2又は3記載の液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを用いた液晶表示素子の製造方法であって、
前記液晶配向用突起形成用ネガ型レジストを基板に塗工してレジスト膜を形成する工程(1)、
前記レジスト膜の液晶配向用突起形成部分及びカラムスペーサ形成部分に所定のパターンが形成されたマスクを介して活性光線を照射する工程(2)、及び、
前記レジスト膜を現像することにより、カラムスペーサ及び液晶配向用突起を同時に形成する工程(3)を有する
ことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
A method for producing a liquid crystal display element using the negative resist for forming a protrusion for liquid crystal alignment according to claim 1,
A step (1) of forming a resist film by coating the substrate with the liquid crystal alignment projection forming negative resist;
Irradiating actinic rays through a mask in which a predetermined pattern is formed on the liquid crystal alignment protrusion forming portion and the column spacer forming portion of the resist film, and
A method of manufacturing a liquid crystal display element, comprising developing a resist film to form a column spacer and a liquid crystal alignment protrusion at the same time (3).
液晶配向用突起形成部分及びカラムスペーサ形成部分に所定のパターンが形成されたマスクは、カラムスペーサのパターン部分の活性光線透過率を100%としたとき、液晶配向用突起のパターン部分の活性光線透過率が20〜60%であることを特徴とする請求項7記載の液晶表示素子の製造方法。 A mask in which a predetermined pattern is formed on the liquid crystal alignment protrusion formation portion and the column spacer formation portion, when the active light transmittance of the column spacer pattern portion is 100%, the active light transmission of the pattern portion of the liquid crystal alignment protrusion The method according to claim 7, wherein the rate is 20 to 60%. 工程(2)において、 レジスト膜の液晶配向用突起形成部分に80〜160mJ/cmの紫外線を照射することを特徴とする請求項7又は8記載の液晶表示素子の製造方法。 The method for manufacturing a liquid crystal display element according to claim 7 or 8, wherein in the step (2), an ultraviolet ray of 80 to 160 mJ / cm 2 is irradiated to a liquid crystal alignment protrusion forming portion of the resist film. 工程(2)において、レジスト膜のカラムスペーサ形成部分に200〜400mJ/cmの紫外線を照射することを特徴とする請求項7、8又は9記載の液晶表示素子の製造方法。 10. The method for producing a liquid crystal display element according to claim 7, wherein the column spacer formation portion of the resist film is irradiated with ultraviolet rays of 200 to 400 mJ / cm < 2 > in the step (2).
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