JP2007299489A - Method and apparatus for generating reading/verification operation in nonvolatile memory - Google Patents

Method and apparatus for generating reading/verification operation in nonvolatile memory Download PDF

Info

Publication number
JP2007299489A
JP2007299489A JP2006128150A JP2006128150A JP2007299489A JP 2007299489 A JP2007299489 A JP 2007299489A JP 2006128150 A JP2006128150 A JP 2006128150A JP 2006128150 A JP2006128150 A JP 2006128150A JP 2007299489 A JP2007299489 A JP 2007299489A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
current
word line
cell
current source
line voltage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006128150A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toru Tanzawa
丹沢 徹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Micron Technology Inc
Original Assignee
Micron Technology Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Micron Technology Inc filed Critical Micron Technology Inc
Priority to JP2006128150A priority Critical patent/JP2007299489A/en
Publication of JP2007299489A publication Critical patent/JP2007299489A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Read Only Memory (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To disclose a method and apparatus which generate word line voltage. <P>SOLUTION: The apparatus for generating the word line voltage is provided with a first current source, an adjustable current source and a voltage converter, and they are connected with a current addition node. The first current source generates first current, and voltage derived from the first current at least partially comprises a cell position dependent temperature coefficient varying with the position of a memory cell in the string of bit cells connected with each other. The adjustable current source generates second current which is independent substantially from temperature variation. The voltage converter is constituted so as to generate a word line signal having the word line voltage proportional to the first current. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、不揮発性半導体メモリに関する。更に詳細には、本発明は、半導体メモリの動作期間に発生する温度変動の補償に関する。   The present invention relates to a nonvolatile semiconductor memory. More particularly, the present invention relates to compensation for temperature fluctuations that occur during the operation of a semiconductor memory.

不揮発性半導体メモリは、コンピュータシステムから移動電話、パーソナル・ディジタル・アシスタント、カメラ、音楽プレーヤ等の個人用電気製品まで、広範な領域で益々評判を呼ぶようになっている。好評の拡大と共に個々の装置に多量のデータを置き、該装置を低電力消費で動作させる必要性が増してくる。   Non-volatile semiconductor memory has become increasingly popular in a wide range of areas, from computer systems to personal electronic products such as mobile phones, personal digital assistants, cameras and music players. With increasing popularity, there is an increasing need to place large amounts of data in individual devices and operate the devices with low power consumption.

電気的消去可能プログラマブル・メモリ(EEPROM)やフラッシュEEPROMのような不揮発性メモリは、基板と制御ゲートとの間に配置されたフローティング・ゲートを用いて電界効果トランジスタ(FET)に情報を蓄積する。図1はフラッシュ・メモリに用いられる従来のトランジスタを備えるフラッシュ・セルを示している。フラッシュ・セル10はドレイン12、ソース14、フローティング・ゲート16、制御ゲート18を備える。フローティング・ゲート16は、フローティング・ゲート16の上下に形成された誘電体層によって制御ゲート18及び基板から絶縁される。フラッシュ・メモリにおいては、複数のフラッシュ・セルの制御ゲートはワード線に結合される。こうして、ここでは制御ゲート上の信号又はその変動はVwlとして表される。   Nonvolatile memories, such as electrically erasable programmable memory (EEPROM) and flash EEPROM, store information in field effect transistors (FETs) using a floating gate disposed between the substrate and the control gate. FIG. 1 shows a flash cell comprising a conventional transistor used in a flash memory. The flash cell 10 includes a drain 12, a source 14, a floating gate 16, and a control gate 18. The floating gate 16 is insulated from the control gate 18 and the substrate by dielectric layers formed above and below the floating gate 16. In flash memory, the control gates of a plurality of flash cells are coupled to a word line. Thus, here the signal on the control gate or its variation is represented as Vwl.

フラッシュ・セルが最初に消去されると仮定すると、フローティング・ゲートに電荷を配することによってフラッシュ・セルがプログラムされる。電荷がフローティング・ゲートに蓄積されると、該電荷はフローティング・ゲートに効果的に捕らえられ、電力が除去されても失われない。その後、消去プロセスを用いて、蓄積された電荷をフローティング・ゲートから除去する。プログラミングと消去は、フラッシュ・セルの構造に依存して、アバランシェ注入、チャネル注入、トンネリング等の周知の種々のメカニズムを用いて達成される。   Assuming that the flash cell is erased first, the flash cell is programmed by placing charge on the floating gate. When charge is stored in the floating gate, it is effectively trapped in the floating gate and is not lost when power is removed. Thereafter, the stored charge is removed from the floating gate using an erase process. Programming and erasing are accomplished using various well-known mechanisms such as avalanche implantation, channel implantation, tunneling, etc., depending on the structure of the flash cell.

図2は、電流対電圧曲線としてのフラッシュ・セルの電流特性を表している。動作において、消去されたフラッシュ・セルは曲線20によって表されて二進の「1」として定義される電流特性を示す。フラッシュ・セルがプログラムされると、フローティング・ゲート上の追加の電荷によりフラッシュ・セルの電流特性は高い方の電圧へ移動する。フローティング・ゲートに電荷が蓄積されればされるほど、電流曲線は右へ移動する。曲線30は、二進の「0」として安全にプログラムされたフラッシュ・セルの電流特性を示している。曲線25は、「0」と見なされるべき許容可能な最小プログラミングでのフラッシュ・セルの電流特性を示している。線40はセンス増幅器がプログラムされたフラッシュ・セルとプログラムされていないフラッシュ・セルとを区別する電流閾値(Ith)を示している。フラッシュ・セルからの電流(Icell)がIthよりも小さいならば、フラッシュ・セルはプログラムされているとみなされ、Icellの方がIthよりも大きいならばフラッシュ・セルはプログラムされていないとみなされる。換言すると、センス増幅器が検出することができる充分大きな電流をフラッシュ・セルが流す、線50で表される閾値電圧(Vth)が存在する。つまり、プログラミング後は、プログラムされない電圧とプログラムされる電圧との中間に位置する電圧を印加することにより、フラッシュ・セルを読み取ることができる。この電圧を印加することにより電流が感知されるならば、フラッシュ・セルはプログラムされていないとみなされる(すなわち、この場合は「1」である)。電流が感知されないと、フラッシュ・セルはプログラムされているとみなされる(即ち、この場合は「0」である)。   FIG. 2 represents the current characteristics of the flash cell as a current versus voltage curve. In operation, an erased flash cell exhibits a current characteristic represented by curve 20 and defined as a binary “1”. As the flash cell is programmed, the additional charge on the floating gate moves the current characteristics of the flash cell to the higher voltage. The more charge is stored in the floating gate, the more the current curve moves to the right. Curve 30 shows the current characteristics of a flash cell that is safely programmed as binary “0”. Curve 25 shows the current characteristics of the flash cell with the minimum allowable programming that should be considered “0”. Line 40 shows the current threshold (Ith) that distinguishes between the programmed and unprogrammed flash cells for the sense amplifier. A flash cell is considered programmed if the current from the flash cell (Icell) is less than Ith, and a flash cell is considered unprogrammed if Icell is greater than Ith. . In other words, there is a threshold voltage (Vth), represented by line 50, through which the flash cell carries a sufficiently large current that the sense amplifier can detect. That is, after programming, the flash cell can be read by applying a voltage that is intermediate between the unprogrammed voltage and the programmed voltage. If a current is sensed by applying this voltage, the flash cell is considered unprogrammed (ie, “1” in this case). If no current is sensed, the flash cell is considered programmed (ie, “0” in this case).

図3は、読み出しプロセス期間にワード線で用いられる電圧に対してプログラムされているフラッシュ・セルに存在するマージンを表している。曲線25は、プログラムされているとみなされるべき許容可能な最小プログラミングでのフラッシュ・セルの電流特性を示している。フラッシュ・セルがプログラムされた後、検証プロセスが実行される。検証プロセスにおいては、プログラムされたフラッシュ・セルを読み出すのに許容できる最高の電圧であり、且つ、閾値電流Ithよりも小さい電流Icellを与える検証ワード線電圧(Vwl_v)を用いてフラッシュ・セル読み取る。この検証プロセスの後、フラッシュ・セルがプログラムされているものとして検出されない場合、フラッシュ・セルは再度プログラムされ、又は不良セルとしてマークされて代わりのセルと交換される。換言すると、Vwl_vはプログラムされていないフラッシュ・セルを読み出すワード線上の最高電圧を示している。つまり、フラッシュ・セルが通常の読み出し動作期間に読み出されるとき、プログラムされたフラッシュ・セルとプログラムされていないフラッシュ・セルとを区別するためのマージンが存在することを保証するよう、Vwl_vよりも小さいワード線電圧(Vwl_r)を用いることができる。   FIG. 3 represents the margin present in the flash cell being programmed for the voltage used on the word line during the read process. Curve 25 shows the current characteristics of the flash cell with the minimum allowable programming that should be considered programmed. After the flash cell is programmed, a verification process is performed. In the verification process, the flash cell is read using a verification word line voltage (Vwl_v) that provides the current Icell that is the highest voltage allowed to read the programmed flash cell and is smaller than the threshold current Ith. After this verification process, if the flash cell is not detected as being programmed, the flash cell is reprogrammed or marked as a bad cell and replaced with a replacement cell. In other words, Vwl_v represents the highest voltage on the word line from which unprogrammed flash cells are read. That is, when a flash cell is read during a normal read operation period, it is smaller than Vwl_v to ensure that there is a margin for distinguishing between programmed and unprogrammed flash cells. A word line voltage (Vwl_r) can be used.

前述したように、フラッシュ・セルの電流特性は、温度の変化と共に変動する。この変動を図4に示す。曲線25Lは低温でプログラムされたフラッシュ・セルを示している。線Vwl_v(LT)はフラッシュ・セルが低温において許容可能レベルにあると検証され得ることを示す。しかし、デバイスが高温にあると、フラッシュ・セルは電流曲線25Hを示す。高温においては、フラッシュ・セルがプログラムされているとして検証される最高電圧はVwl_v(HT)で示される。つまり、読み出しワード線電圧Vwl_rが低温及び高温に対して同一電圧であれば、低温でプログラムされ高温で読み出されるフラッシュ・セルでは、図4に示すように、検証マージンが減少する。フラッシュ・セルの電流特性は温度変化と共に変動するので、この温度変化は、プログラムされたフラッシュ・セルとプログラムされていないフラッシュ・セルとを区別するのに利用できるマージンを減少させる。   As described above, the current characteristics of flash cells vary with changes in temperature. This variation is shown in FIG. Curve 25L shows a flash cell programmed at a low temperature. Line Vwl_v (LT) indicates that the flash cell can be verified to be at an acceptable level at low temperatures. However, when the device is at a high temperature, the flash cell exhibits a current curve 25H. At high temperature, the highest voltage verified that the flash cell is programmed is denoted by Vwl_v (HT). That is, if the read word line voltage Vwl_r is the same voltage for the low temperature and the high temperature, the verification margin is reduced in the flash cell programmed at the low temperature and read at the high temperature, as shown in FIG. Since the current characteristics of the flash cell vary with temperature changes, this temperature change reduces the margin available to distinguish between programmed and unprogrammed flash cells.

また、フラッシュ・メモリ・セルの直列チェーンにおけるセルの位置はフラッシュ・メモリ・セルの閾値電圧を支配する。また、温度変化はメモリ・セルの直列チェーンを流れる電流の変化を生じる。図5において、NANDフラッシュ・アレイは、直列セル・チェーン88、89に配列されたフローティング・ゲート・セルのアレイ87からなる。それぞれのフローティング・ゲート・セルは直列セル・チェーン88、89においてドレインとソースの間が結合されている。複数の直列セル・チェーン88、89を通るワード線(WL_0〜WL_15)は、どのフローティング・ゲート・セルの制御ゲートにも結合されてその動作を制御する。   Also, the position of the cells in the series chain of flash memory cells dominates the threshold voltage of the flash memory cell. A temperature change also causes a change in the current flowing through the series chain of memory cells. In FIG. 5, the NAND flash array consists of an array 87 of floating gate cells arranged in series cell chains 88,89. Each floating gate cell is coupled between the drain and source in series cell chains 88 and 89. Word lines (WL_0-WL_15) through the plurality of serial cell chains 88, 89 are coupled to the control gate of any floating gate cell to control its operation.

動作において、ワード線(WL_0〜WL_15)は、書き込まれるべき又は読み出されるべき直列セル・チェーン88、89における個々のフローティング・ゲート・メモリ・セルを選択し、各直列セル・チェーン88、89における残りのフローティング・ゲート・メモリ・セルを通過モードで動作させる。フローティング・ゲート・メモリ・セルの各直列セル・チェーン88、89はソース選択ゲート94、95によってソース線90に結合され、また、ドレイン選択ゲート91、92によって個々のビット線(BL1〜BLN)に結合される。ソース選択ゲート94、95は制御ゲートの結合されたソース選択ゲート制御線SG(S)96によって制御される。ドレイン選択ゲート91、92はドレイン選択ゲート制御線SG(D)93によって制御される。   In operation, the word lines (WL_0-WL_15) select individual floating gate memory cells in the serial cell chain 88, 89 to be written or read, and the rest in each serial cell chain 88, 89. The floating gate memory cell is operated in the pass mode. Each series cell chain 88, 89 of floating gate memory cells is coupled to source line 90 by source select gates 94, 95, and to individual bit lines (BL1-BLN) by drain select gates 91, 92. Combined. The source selection gates 94 and 95 are controlled by a source selection gate control line SG (S) 96 to which a control gate is coupled. The drain selection gates 91 and 92 are controlled by a drain selection gate control line SG (D) 93.

図5から分かるように、1つのメモリ・セルを読み出すためには、電流は直列セル・チェーン88、89における他のメモリ・セルを流れなければならない。したがって、残りのセルはドレイン接続又はソース接続と直列の寄生抵抗になる。直列セル・チェーン88の最も下側にあるセル_0 98はアレイのグランドに最も近いので、ドレイン線において15回の電圧降下を経験し、ソース線において1回の電圧降下を経験する。直列セル・チェーン88の最も上に位置するセル_15 97はソース線において15回の電圧降下を経験し、ドレイン線において1回の電圧降下を経験する。   As can be seen from FIG. 5, to read one memory cell, current must flow through the other memory cells in the series cell chain 88,89. Thus, the remaining cells have a parasitic resistance in series with the drain or source connection. Since the lowest cell_0 98 in series cell chain 88 is closest to the array ground, it experiences 15 voltage drops on the drain line and one voltage drop on the source line. Cell — 15 97 located at the top of series cell chain 88 experiences 15 voltage drops on the source line and experiences 1 voltage drop on the drain line.

知られているように、任意のトランジスタ(例えばメモリ・セル)の電流は、動作モードに依存して、トランジスタのVgsとVdsとによって決定される。飽和モードにおいては、セルの電流は大部分はVgsとともに変化し、Vdsの関数ではない。トランジスタ電流はVgsの二乗と共に変化する。線形モードにおいては、セルを流れる電流はVdsと共に変化する。 As is known, the current of any transistor (eg, memory cell) is determined by the transistor's V gs and V ds depending on the mode of operation. In saturation mode, the cell current varies mostly with V gs and is not a function of V ds . The transistor current varies with the square of Vgs . In the linear mode, the current through the cell varies with V ds .

最大利得を得るために特定のセルが飽和モードで動作していると仮定すると、直列セル・チェーン88の最も下のセル98はそのVgsに電圧降下を経験しない。直列セル・チェーン88の最も上のセル97はソース電圧の15回の電圧降下を経験する。セル電流は(Vgs−Vの関数であるから、V(すなわち、閾値電圧)が同一であるならば、ソース電圧の差はセル電流の変化を反映して二乗される。 Assuming that a particular cell is operating in saturation mode to obtain maximum gain, the bottom cell 98 of the series cell chain 88 does not experience a voltage drop at its V gs . The top cell 97 in the series cell chain 88 experiences 15 voltage drops in the source voltage. Since the cell current is a function of (V gs −V t ) 2 , if V t (ie, threshold voltage) is the same, the source voltage difference is squared to reflect the change in cell current.

温度と閾値電圧すなわちVレベルとの関係は、セル・ストリング又はメモリ・セルのチェーンにおけるセルの位置の関数である。閾値電圧すなわちVtレベルの変動は温度の関数であるばかりでなく、温度の変動にわたってセル・ストリングにおけるセルの位置と共に変動する。 Relationship between the temperature and the threshold voltage or V t level is a function of the position of the cell in the chain of the cell strings or memory cell. The variation in threshold voltage or Vt level is not only a function of temperature, but also varies with the position of the cell in the cell string over temperature variations.

フラッシュ・セルの電流特性は温度変化と共に変化するので、この温度変化は、プログラムされたフラッシュ・セルとプログラムされていないフラッシュ・セルとを区別するのに利用できるマージンを減少させる。また、閾値電圧すなわちVレベルも、メモリ・セルのストリングにおけるセルの位置の関数であるから、温度、フラッシュ・セルの特性及びセルのストリングにおけるフラッシュ・セルの位置に依存してワード線電圧を修正することにより、マージンを増すようワード線電圧を生成する必要性が存在する。 Since the current characteristics of the flash cell change with temperature, this temperature change reduces the margin available to distinguish between programmed and unprogrammed flash cells. The threshold voltage, or V t level, is also a function of the cell position in the string of memory cells, so the word line voltage depends on the temperature, the characteristics of the flash cell and the position of the flash cell in the cell string. There is a need to generate a word line voltage to increase the margin by modification.

ワード線電圧を生成するための方法及び装置が提供される。本発明の1つの実施の形態においては、ワード線電圧発生器は、電流加算ノードに結合された電流源であって、相互接続されたビット・セルのストリングにおけるメモリ・セルの位置と共に変化するセル位置依存性温度係数を有する第1電流を生成するよう構成された第1電流源を備える。また、ワード線電圧発生器は、温度変化から実質的に独立した第2電流を生成するよう構成された調整可能電流源と、第1電流に比例するワード線電圧を発生する電圧変換器とを備えている。   A method and apparatus for generating a word line voltage is provided. In one embodiment of the present invention, the word line voltage generator is a current source coupled to a current summing node, the cell changing with the position of the memory cell in the string of interconnected bit cells. A first current source configured to generate a first current having a position dependent temperature coefficient is provided. The word line voltage generator also includes an adjustable current source configured to generate a second current substantially independent of temperature changes, and a voltage converter that generates a word line voltage proportional to the first current. I have.

本発明の他の実施の形態においては、方法は、相互接続されたビット・セルのストリングにおけるメモリ・セルの位置と共に変化するセル位置依存性温度係数を有する第1電流を生成する。また、第2電流が生成され、これは温度変化から実質的に独立している。第1電流と第2電流は組み合わされて基準電流を生成し、基準電流は電圧変換器を通って流すことによってワード線電圧に変換される。   In another embodiment of the present invention, the method generates a first current having a cell location dependent temperature coefficient that varies with the location of the memory cell in the string of interconnected bit cells. A second current is also generated, which is substantially independent of the temperature change. The first current and the second current are combined to generate a reference current, which is converted to a word line voltage by flowing through a voltage converter.

他の実施の形態は、ワード線電圧発生器と、ワード線電圧発生器を有するデバイスを含む半導体ウェーハと、ここで記述するワード線電圧発生器を有するメモリ・デバイスを含む電子システムとを備える。   Another embodiment comprises a word line voltage generator, a semiconductor wafer including a device having a word line voltage generator, and an electronic system including a memory device having a word line voltage generator as described herein.

この説明における回路の中には、ダイオード接続されたトランジスタとして知られる周知の回路構成を含むものがある。ダイオード接続されたトランジスタは、相補型金属酸化物半導体(CMOS)トランジスタのゲートとドレインを接続するとき、又は、バイポーラ・トランジスタのベースとコレクタを接続するときに形成される。このように接続されると、トランジスタはp−nジャンクション・ダイオードと同様の電圧・電流特性で動作する。したがって、図にダイオードとして示された回路素子は、ダイオード特性を持つp−nジャンクションを作る任意のデバイス、例えば、従来のダイオード、ダイオード構成で接続されたバイポーラ・トランジスタ、ダイオード構成で接続されたCMOSデバイスにおいて実現され得る。また、ダイオード特性を持つ適宜のデバイスを、ダイオード、p−nジャンクション素子、ダイオード接続CMOSトランジスタ及びダイオード接続されたバイポーラ・トランジスタと呼ぶことにする。   Some of the circuits in this description include a well-known circuit configuration known as a diode-connected transistor. A diode connected transistor is formed when connecting the gate and drain of a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) transistor or when connecting the base and collector of a bipolar transistor. When connected in this way, the transistor operates with the same voltage and current characteristics as a pn junction diode. Thus, the circuit elements shown as diodes in the figure can be any device that creates a pn junction with diode characteristics, such as a conventional diode, a bipolar transistor connected in a diode configuration, a CMOS connected in a diode configuration. It can be realized in the device. Also, appropriate devices having diode characteristics will be referred to as diodes, pn junction elements, diode-connected CMOS transistors, and diode-connected bipolar transistors.

ここでの記述は、不揮発性メモリを電気的消去可能プログラマブル・メモリ(EEPROM)セル、フラッシュEEPROMセル及びフラッシュ・セルと呼ぶ。理解されるように、本発明の実施の形態はこれらの不揮発性メモリ・セルのうちの任意のもので実施することができる。   In this description, the nonvolatile memory is referred to as an electrically erasable programmable memory (EEPROM) cell, a flash EEPROM cell, and a flash cell. As will be appreciated, embodiments of the invention may be implemented with any of these non-volatile memory cells.

多くの実施の形態において、本発明は、温度、フラッシュ・セルの特性及びフラッシュ・セルのストリングすなわち直列チェーンにおけるフラッシュ・セルの位置に依存してワード線電圧を修正することによってマージンを広げるための回路及び方法を含む。図6は、異なる温度及びフラッシュ・セルのストリングすなわち直列チェーンにおけるフラッシュ・セルの異なる位置に対して読み出しワード線電圧Vwl_rを変えることによって広げられた検証マージンを示している。図4と同様に、曲線25Lは低温でプログラムされたフラッシュ・セルを示し、曲線25Hは高温で読み出されるフラッシュ・セルを示している。Vwl_v(LT)はフラッシュ・セルが低温で検証される最高電圧を示しており、同様にVwl_v(HT)はフラッシュ・セルが高温で検証される最高電圧を示している。Vwl_rは、フラッシュ・セルの現特性に一致させようとする又は現温度に対して補償しようとする補償を実行しないときの読み出しワード線電圧である。図4と同様に、Vwl_rとVwl_v(HT)との間に、比較的小さい検証マージンが「未補償検証マージン」として示されている。しかし、読み出しが行われるワード線電圧を修正するならば、検証マージンを広げることが可能である。Vwl_r(HT)は、高温期間での読み出しプロセスに対する修正された電圧を示している。読み出しプロセス期間にワード線電圧を下げることにより、検証マージンは、Vwl_v(HT)とVwl_r(HT)との間の差として「補償済み検証マージン」によって示されるように広げられる。   In many embodiments, the present invention is intended to extend the margin by modifying the word line voltage depending on temperature, flash cell characteristics, and flash cell string or flash cell position in the series chain. Includes circuits and methods. FIG. 6 illustrates the verification margin extended by varying the read word line voltage Vwl_r for different temperatures and different locations of the flash cells in the string of flash cells or series chain. Similar to FIG. 4, curve 25L shows a flash cell programmed at low temperature and curve 25H shows a flash cell read at high temperature. Vwl_v (LT) indicates the highest voltage at which the flash cell is verified at a low temperature, and similarly Vwl_v (HT) indicates the maximum voltage at which the flash cell is verified at a high temperature. Vwl_r is the read word line voltage when no compensation is attempted to match the current characteristics of the flash cell or to compensate for the current temperature. Similar to FIG. 4, a relatively small verification margin is shown as an “uncompensated verification margin” between Vwl_r and Vwl_v (HT). However, if the word line voltage to be read is corrected, the verification margin can be widened. Vwl_r (HT) indicates the modified voltage for the read process during the high temperature period. By lowering the word line voltage during the read process, the verification margin is widened as indicated by the “compensated verification margin” as the difference between Vwl_v (HT) and Vwl_r (HT).

フラッシュ・セルに対してプログラムされた値を示す他の方法は、ワード線電圧に対するフラッシュ・セルの閾値電圧の確率分布である。図7は、フラッシュ・セルが2つの状態(すなわち、プログラムされた状態とプログラムされていない状態)にある、双レベルのフラッシュ・セルの分布を示している。線60Lは、低温でのプログラムされていないフラッシュ・セルに対するVthの分布を示しており、線60Hは、高温でのプログラムされていないフラッシュ・セルに対するVthの分布を示している。同様に、線62Lは、低温でのプログラムされたフラッシュ・セルに対するVthの分布を示しており、線62Hは、高温でのプログラムされたフラッシュ・セルに対するVthの分布を示している。線68は、プログラムされたフラッシュ・セルとプログラムされていないフラッシュ・セルとを区別するために読み出し期間に用いられる電圧レベルを示す。図7は、プログラムされた状態を二進の1で、プログラムされていない状態を二進の0で示す。しかし、当業者が認識するように、これは任意の定義であり、逆に定義してもよい。   Another way to indicate the programmed value for the flash cell is the probability distribution of the flash cell threshold voltage versus the word line voltage. FIG. 7 shows a bi-level flash cell distribution with the flash cells in two states (ie, a programmed state and an unprogrammed state). Line 60L shows the Vth distribution for an unprogrammed flash cell at low temperature, and line 60H shows the Vth distribution for an unprogrammed flash cell at high temperature. Similarly, line 62L shows the Vth distribution for a programmed flash cell at low temperature, and line 62H shows the Vth distribution for a programmed flash cell at high temperature. Line 68 shows the voltage level used during the read period to distinguish between programmed and unprogrammed flash cells. FIG. 7 shows the programmed state as binary ones and the unprogrammed state as binary zeros. However, as those skilled in the art will recognize, this is an arbitrary definition and may be defined in reverse.

フラッシュ・セルはマルチレベルであってよく、2つの二進状態よりも多い状態を示すようにフラッシュ・セルをマルチのVthレベルでプログラムしてもよい。図8は4レベルのフラッシュ・セルを示している。低温で「11」状態にプログラムされたフラッシュ・セルに対するVthの分布は線70Lで、高温で「11」状態にプログラムされたフラッシュ・セルに対するVthの分布は線70Hで示す。同様に、低温で「10」状態にプログラムされたフラッシュ・セルに対するVthの分布は線72Lで、高温で「10」状態にプログラムされたフラッシュ・セルに対するVthの分布は線72Hで示す。低温で「00」状態にプログラムされたフラッシュ・セルに対するVthの分布は線74Lで、高温で「00」状態にプログラムされたフラッシュ・セルに対するVthの分布は線74Hで示す。最後に、低温で「01」状態にプログラムされたフラッシュ・セルに対するVthの分布は線76Lで、高温で「01」状態にプログラムされたフラッシュ・セルに対するVthの分布は線76Hで示す。線82、84、86は4つのプログラムされた状態を区別するために読み出し期間に用いられる電圧レベルを示している。図8は、4つの異なる分布を表す二進値に対する可能な割当を示す。しかし、当業者は認識するように、この状態定義は他の二進の組み合わせにより定義可能である。さらに、当業者は認識するように、2又は4以外の多くの状態が本発明の範囲内に入る。   The flash cell may be multi-level and the flash cell may be programmed with multiple Vth levels to indicate more than two binary states. FIG. 8 shows a four level flash cell. The Vth distribution for flash cells programmed to the “11” state at low temperature is shown by line 70L, and the Vth distribution for flash cells programmed to the “11” state at high temperature is shown by line 70H. Similarly, the Vth distribution for a flash cell programmed to a “10” state at low temperature is represented by line 72L, and the Vth distribution for a flash cell programmed to a “10” state at high temperature is represented by line 72H. The Vth distribution for a flash cell programmed to a “00” state at low temperature is shown by line 74L, and the Vth distribution for a flash cell programmed to a “00” state at high temperature is shown by line 74H. Finally, the Vth distribution for the flash cell programmed to the “01” state at low temperature is shown by line 76L, and the Vth distribution for the flash cell programmed to the “01” state at high temperature is shown by line 76H. Lines 82, 84 and 86 show the voltage levels used during the readout period to distinguish between the four programmed states. FIG. 8 shows possible assignments for binary values representing four different distributions. However, as those skilled in the art will appreciate, this state definition can be defined by other binary combinations. Furthermore, as those skilled in the art will appreciate, many states other than 2 or 4 fall within the scope of the present invention.

図9は、第1電流源110、調整可能電流源120及び電圧変換器140を備えるワード線電圧発生器100の回路モデルである。第1電流源110は電流加算ノード150に結合され、第1電流(It)を生成するよう構成される。第1電流から導出される電圧は、フラッシュ・セルの閾値電圧の温度係数に実質的に等しい温度係数を含む。換言すると、第1電流源110のみが電圧変換器140に結合されているならば、第1電流源110は、電圧変換器140における電圧降下がフラッシュ・セルの閾値電圧の温度係数と実質的に等しいように構成される。さらに言い換えるならば、dVwl/dT=d(R*It)/dT〜dVt_cell/dTである。ただし、Rは電圧変換器140の抵抗値であり、Vt_cellはフラッシュ・セルの閾値電圧である。   FIG. 9 is a circuit model of the word line voltage generator 100 including the first current source 110, the adjustable current source 120 and the voltage converter 140. The first current source 110 is coupled to the current summing node 150 and is configured to generate a first current (It). The voltage derived from the first current includes a temperature coefficient substantially equal to the temperature coefficient of the threshold voltage of the flash cell. In other words, if only the first current source 110 is coupled to the voltage converter 140, the first current source 110 has a voltage drop across the voltage converter 140 substantially equal to the temperature coefficient of the flash cell threshold voltage. Configured to be equal. In other words, dVwl / dT = d (R * It) / dT to dVt_cell / dT. However, R is the resistance value of the voltage converter 140, and Vt_cell is the threshold voltage of the flash cell.

調整可能電流源120は電流加算ノード150に結合され、温度変化から実質的に独立した第2電流(Ich)を生成するよう構成される。第1電流源110と調整可能電流源120とを組み合わせて電流加算ノード150に基準電流を生成させる。電圧変換器140は、抵抗素子のような変換器要素において基準電流を減少させることによって電流加算ノード150での電流に比例するIR降下を作るよう構成される。   Adjustable current source 120 is coupled to current summing node 150 and is configured to generate a second current (Ich) that is substantially independent of temperature changes. The first current source 110 and the adjustable current source 120 are combined to cause the current summing node 150 to generate a reference current. The voltage converter 140 is configured to create an IR drop that is proportional to the current at the current summing node 150 by reducing the reference current in a converter element, such as a resistive element.

第1電流源110は、温度及びフラッシュ・セルの特性に依存して、電流加算ノード150に供給する電流の量を適合させて修正する。つまり、第1電流源110からの電流の変化はワード線上の電圧の変化を生じる。換言すると、Vt_cellが温度の関数であることに関係した方法で、Itは温度の関数である(すなわち、It=f(T))。   The first current source 110 adapts and modifies the amount of current supplied to the current summing node 150 depending on the temperature and flash cell characteristics. That is, a change in current from the first current source 110 causes a change in voltage on the word line. In other words, It is a function of temperature in a manner related to Vt_cell being a function of temperature (ie, It = f (T)).

調整可能電流源120は、検証動作期間には第1電流源電流を、読み出し動作期間には第2電流源電流を持つよう調整され得る充電電流(Ith)(これは第2電流とも呼ばれる)を生成する。換言すると、検証動作期間にはIch=A*Icであり、読み出し動作期間にはIch=B*Icである。さらに、調整可能電流源120は、読み出し動作と検証動作との間の温度差に起因して総加算電流を歪めることがないよう、温度変化から実質的に独立するよう構成される。   The adjustable current source 120 has a charging current (Ith) that can be adjusted to have a first current source current during a verification operation period and a second current source current during a read operation period (this is also called a second current). Generate. In other words, Ich = A * Ic during the verification operation period, and Ich = B * Ic during the read operation period. Further, the adjustable current source 120 is configured to be substantially independent of temperature changes so as not to distort the total sum current due to the temperature difference between the read operation and the verify operation.

したがって、電流加算ノード150に結果として生じる電流はIsum=It+Ich、すなわち、検証動作期間にはIsum=f(T)+A*Ic、読み出し動作期間にはIsum=f(T)+B*Icとなる。この構成により、フラッシュ・セルが読み出し動作及び検証動作の期間に適応するのと同じようにして温度変化に適応するよう構成されたワード線電圧を発生させることができる。また、AとBの値は、マルチレベルのそれぞれのレベルでの読み出し動作と検証動作との間の差に加えて、マルチレベルのフラッシュ・セルに結合されたワード線に対する複数の電圧を生成するのに適した複数の加算電流を生じるように選択される。   Therefore, the resulting current at current summing node 150 is Isum = It + Ich, that is, Isum = f (T) + A * Ic during the verify operation period and Isum = f (T) + B * Ic during the read operation period. With this configuration, it is possible to generate a word line voltage that is configured to adapt to temperature changes in the same way that the flash cell adapts during the read and verify operations. Also, the values of A and B generate a plurality of voltages for the word lines coupled to the multi-level flash cell, in addition to the difference between the read and verify operations at each of the multi-levels. Are selected to produce a plurality of summing currents suitable for

図10は、第1電流源110’、調整可能電流源120’、調整可能電流シンク130’及び電圧変換器140’を備えるワード線電圧発生器100’の回路モデルである。第1電流源110’はフラッシュ・セルの温度係数に実質的に等しい温度係数を有することにより、図9の第1電流源110と同様である。   FIG. 10 is a circuit model of a word line voltage generator 100 'including a first current source 110', an adjustable current source 120 ', an adjustable current sink 130' and a voltage converter 140 '. The first current source 110 'is similar to the first current source 110 of FIG. 9 by having a temperature coefficient substantially equal to the temperature coefficient of the flash cell.

調整可能電流源120’は、検証動作期間には第1電流源電流を持ち、読み出し動作期間には第2電流源電流を持つよう調整され得る充電電流(Ich)を生成する。換言すると、検証動作期間にはIch=A*Icであり、読み出し動作期間にはIch=B*Icである。さらに、調整可能電流源120’は、読み出し動作と検証動作との間の温度差に起因して総加算電流を歪めることがないよう、温度変化から実質的に独立するよう構成される。   The adjustable current source 120 'generates a charging current (Ich) that can be adjusted to have a first current source current during the verify operation period and a second current source current during the read operation period. In other words, Ich = A * Ic during the verification operation period, and Ich = B * Ic during the read operation period. Further, the adjustable current source 120 'is configured to be substantially independent of temperature changes so as not to distort the total sum current due to the temperature difference between the read operation and the verify operation.

調整可能電流源120’と同じように、調整可能電流シンク130’は検証動作期間には第1シンク電流を持ち、読み出し動作期間には第2シンク電流を持つよう調整され得る放電電流(Idis)(これは第3電流とも呼ばれる)を生成する。換言すると、検証動作期間にはIdis=C*Idであり、読み出し動作期間にはIdis=D*Idである。さらに、調整可能電流シンク130’は、読み出し動作と検証動作との間の温度差に起因して総加算電流を歪めることがないよう、温度変化から実質的に独立するよう構成される。   As with the adjustable current source 120 ′, the adjustable current sink 130 ′ has a first sink current during the verify operation period and a discharge current (Idis) that can be adjusted to have the second sink current during the read operation period. (This is also called the third current). In other words, Idis = C * Id during the verification operation period, and Idis = D * Id during the read operation period. Further, the adjustable current sink 130 'is configured to be substantially independent of temperature changes so as not to distort the total sum current due to a temperature difference between the read operation and the verify operation.

したがって、電流加算ノード150’に結果として生じる電流はIsum=It+Ich+Idis、すなわち、検証動作期間にはIsum=f(T)+A*Ic+C*Id、読み出し動作期間にはIsum=f(T)+B*Ic+D*Idとなる。この構成により、フラッシュ・セルが読み出し動作及び検証動作の期間に適応するのと同じようにして温度変化に適応するよう構成されたワード線電圧を発生させることができる。   Therefore, the resulting current at current summing node 150 ′ is Isum = It + Ich + Idis, ie, Isum = f (T) + A * Ic + C * Id during the verify operation period and Isum = f (T) + B * Ic + D during the read operation period. * Id. With this configuration, it is possible to generate a word line voltage that is configured to adapt to temperature changes in the same way that the flash cell adapts during the read and verify operations.

構成例として、図10のワード線電圧発生器100’は検証動作期間にはC=0、読み出し動作期間にはB=0として構成され得る。当該構成においては、検証動作期間には、可変電流源は電流加算ノード150’に電流を与えるが、可変電流シンクは効果的にオフである。同様に、読み出し動作期間には、可変電流源は効果的にオフであり、可変電流シンクはシンク電流を電流加算ノード150’に加える。言うまでもなく、当業者であれば認識するように、本発明の範囲内で係数A、B、C、Dの他の多くの組み合わせを想定することができる。また、A、B、C、Dの値は、マルチレベルのそれぞれのレベルでの読み出し動作と検証動作との間の差に加えて、マルチレベル・フラッシュ・セルに結合されたワード線に対する複数の電圧を生成するのに適した複数の加算電流を生じるように選択される。   As a configuration example, the word line voltage generator 100 ′ of FIG. 10 may be configured with C = 0 during the verification operation period and B = 0 during the read operation period. In this configuration, during the verification period, the variable current source provides current to the current summing node 150 ', but the variable current sink is effectively off. Similarly, during the read operation period, the variable current source is effectively off and the variable current sink adds a sink current to the current summing node 150 '. Of course, as those skilled in the art will appreciate, many other combinations of coefficients A, B, C, D can be envisioned within the scope of the present invention. In addition, the values of A, B, C, and D may include a plurality of values for the word lines coupled to the multilevel flash cell, in addition to the difference between the read operation and the verify operation at each multilevel level. It is selected to produce a plurality of summing currents suitable for generating a voltage.

図11は、第1電流源110”、調整可能電流源120”、調整可能電流シンク130”及び電圧変換器140”、可変電流コントローラ170及び可変電流セレクタ180を備えるワード線電圧発生器100”の回路図である。動作において、ワード線電圧発生器は図9及び図10の既に検討した実施の形態と同様に動作する。図11の実施の形態においては、電圧変換器140”は電流加算ノード150”と接地との間に結合された抵抗素子Rとして実現され得る。さらに、第1電流源110”は、ソースが電源に結合され、ドレインが電流加算ノード150”に結合されたpチャネル・トランジスタ(Ps)として実現され得る。pチャネル・トランジスタPsのゲートは、Psを流れる電流の量を制御するよう、整合電流コントローラ160によって生成される温度補償済みバイアス信号165に結合される。この整合電流コントローラ160については後に詳述する。   FIG. 11 shows a word line voltage generator 100 ″ comprising a first current source 110 ″, an adjustable current source 120 ″, an adjustable current sink 130 ″ and a voltage converter 140 ″, a variable current controller 170 and a variable current selector 180. In operation, the word line voltage generator operates in a manner similar to the previously discussed embodiment of Figures 9 and 10. In the embodiment of Figure 11, the voltage converter 140 "is a current summing node. 150 ″ and ground can be implemented as a resistive element R. Further, the first current source 110 ″ can be a p-channel transistor with a source coupled to the power supply and a drain coupled to the current summing node 150 ″. The gate of the p-channel transistor Ps can be implemented as a transistor (Ps), and the matching current controller is controlled to control the amount of current flowing through Ps. 160 is coupled to a temperature compensated bias signal 165 generated by. This matching current controller 160 will be described in detail later.

可変電流コントローラ170と可変電流セレクタ180は、調整可能電流源120”及び調整可能電流シンク130”を制御する。可変電流コントローラ170については後に詳述する。発生された信号はpチャネル・トランジスタ1A、2A、4Aのゲート及びnチャネル・トランジスタ1B、2B、4Bのゲートに結合される。pチャネル・トランジスタ1A、2A、4Aは、2Aのサイズが1Aの2倍であり、4Aのサイズが2Aの2倍であるよう、二進の重み付けがなされたゲート・サイズを持つよう構成される。可変電流セレクタ180は信号trm_1p、trm_2p、trm_4p、trm_1n、trm_2n、trm_4nを生成する。この構成により、可変電流コントローラ170は、重み付けされた電流を電流加算ノード150”に加えることができるようtrm_1p、trm_2p、trm_4pをアサート又はネゲートすることができる。例えば、pチャネル・トランジスタ1Aが10μAを供給するとすると、pチャネル・トランジスタ2Aは20μAを供給するよう構成され、pチャネル・トランジスタ4Aは40μAを供給するよう構成され、調整可能電流源120”は0〜70μAの電流を供給するよう構成されるが、これに限られるものではない。   Variable current controller 170 and variable current selector 180 control adjustable current source 120 "and adjustable current sink 130". The variable current controller 170 will be described in detail later. The generated signal is coupled to the gates of p-channel transistors 1A, 2A, 4A and to the gates of n-channel transistors 1B, 2B, 4B. The p-channel transistors 1A, 2A, 4A are configured to have a binary weighted gate size so that the size of 2A is twice that of 1A and the size of 4A is twice that of 2A . The variable current selector 180 generates signals trm_1p, trm_2p, trm_4p, trm_1n, trm_2n, trm_4n. With this configuration, the variable current controller 170 can assert or negate trm_1p, trm_2p, trm_4p so that a weighted current can be applied to the current summing node 150 ″. For example, the p-channel transistor 1A has 10 μA. If so, p-channel transistor 2A is configured to supply 20 μA, p-channel transistor 4A is configured to supply 40 μA, and adjustable current source 120 ″ is configured to supply a current of 0-70 μA. However, it is not limited to this.

調整可能電流シンク130”は二進の重み付けがされたnチャネル・トランジスタ1B、2B、4Bを制御することによって同様に動作する。言うまでもなく、二進の重み付けは調整可能電流源120”及び調整可能電流シンク130”を作るための1つの代表的な方法である。当業者は認識するように、本発明の範囲内で多くの他の方法を実施することができる。さらに、二進の重み付けは、選択された素子のダイナミック・レンジを修正するよう増減され得る。例えば、二進の重み付けは0〜3の選択へ減少され、又は0〜15の選択へ増加されるが、これに限られるものではない。   Adjustable current sink 130 "operates similarly by controlling binary weighted n-channel transistors 1B, 2B, 4B. Needless to say, binary weighting is adjustable current source 120" and adjustable. One exemplary method for making the current sink 130 ". As those skilled in the art will appreciate, many other methods can be implemented within the scope of the present invention. In addition, binary weighting is , May be increased or decreased to modify the dynamic range of the selected element, for example, binary weighting is reduced to a selection of 0-3 or increased to a selection of 0-15, but is not limited to this is not.

可変電流コントローラ170は、ノード172(vgp_c)でのバイアス電圧を制御することにより、pチャネル・トランジスタ1A、2A、4Aを流れる電流の量を微調整する。同様に、nチャネル・トランジスタ1B、2B、4Bを流れる電流の量は、ノード174(vgn_c)でのバイアス電圧を制御することにより微調整される。この微調整と二進の重み付けとの組み合わせを用いて、可変電流源からの各二進の重み付けされた電流源を組み合わせることにより、温度変化から実質的に独立した総合的な第2電流Ichを作ることができる。同様に、微調整と二進の重み付けとの組み合わせを用いて、可変電流シンクからの各二進の重み付けされた電流シンクを組み合わせることにより、温度変化から実質的に独立した総合的な第3電流Idisを作ることができる。   The variable current controller 170 finely adjusts the amount of current flowing through the p-channel transistors 1A, 2A, 4A by controlling the bias voltage at node 172 (vgp_c). Similarly, the amount of current flowing through n-channel transistors 1B, 2B, 4B is fine tuned by controlling the bias voltage at node 174 (vgn_c). Using this combination of fine adjustment and binary weighting, by combining each binary weighted current source from the variable current source, an overall second current Ich that is substantially independent of temperature changes is obtained. Can be made. Similarly, by combining each binary weighted current sink from the variable current sink using a combination of fine adjustment and binary weighting, an overall third current that is substantially independent of temperature changes. Idis can be made.

図12A〜図12Gは、図11の整合電流コントローラ160の種々の実施の形態の回路図である。図12A〜図12Dは、電流ミラー構成で結合されたpチャネル・トランジスタP1、P2と、電流ミラー構成で結合されたnチャネル・トランジスタN1、N2とを備える整合電流源163を有する。この整合電流源163は、電流加算ミラー構成について周知のように、トランジスタが同一サイズを持つよう整合されているならば等しい電流を有する、P1を通る第1電流I1とP2を通る第2電流I2とを作る。   12A-12G are circuit diagrams of various embodiments of the matching current controller 160 of FIG. 12A-12D have a matching current source 163 comprising p-channel transistors P1, P2 coupled in a current mirror configuration and n-channel transistors N1, N2 coupled in a current mirror configuration. This matching current source 163, as is well known for current summing mirror configurations, has a first current I1 through P1 and a second current I2 through P2, which have equal current if the transistors are matched to have the same size. And make.

図12Aは、負の温度係数を有する整合電流コントローラ160を示している。抵抗素子R1は所定の電圧降下を生じ、N2を通る第2電流を作る。しかし、ダイオードにおいては、pnジャンクションは負の温度係数を持ち、pnジャンクションにおける電圧降下の変化は温度変化に逆比例する。換言すると、温度の上昇につれて、pnジャンクションでの電圧降下は低下する。例えば、シリコンの場合、pnジャンクションでの電圧降下は約−2.2mV/°Cで温度変化に逆比例する。したがって、ダイオードD1は負の温度係数を持つダイオード電圧降下を示す。整合電流源は、温度補償済みバイアス信号165がダイオードD1の負の温度係数に関係した負の温度係数を持つように、電流I1、I2を実質的に同じになるよう維持する動作を行う。   FIG. 12A shows a matching current controller 160 having a negative temperature coefficient. Resistive element R1 produces a predetermined voltage drop and creates a second current through N2. However, in a diode, the pn junction has a negative temperature coefficient, and the change in voltage drop at the pn junction is inversely proportional to the temperature change. In other words, the voltage drop at the pn junction decreases as the temperature increases. For example, in the case of silicon, the voltage drop at the pn junction is approximately -2.2 mV / ° C and is inversely proportional to the temperature change. Thus, diode D1 exhibits a diode voltage drop with a negative temperature coefficient. The matching current source operates to keep the currents I1, I2 substantially the same so that the temperature compensated bias signal 165 has a negative temperature coefficient related to the negative temperature coefficient of the diode D1.

図12Bは、正の温度係数を有する整合電流コントローラ160を示している。ダイオードD1、D2は、ダイオードD1が相対サイズ1の接合面積を有し、ダイオードD2がダイオードD1のサイズのN倍の接合面積を持つよう、相対サイズの接合面積を持つよう構成される。サイズは違うがエミッタ電流が同一である2つのダイオードは異なる電流密度を持つことになり、その結果、pnジャンクションにおける電圧降下が僅かに異なってくる。ダイオードの温度係数が負であることにより、温度が上昇すると、ダイオードD1の電圧降下はダイオードD2の電圧降下よりも大きい割合で低下する。一般に、この差はΔVbeと呼ばれ、2つのダイオードD1、D2間の電圧降下の差を表す。したがって、第1のダイオードD1における電圧降下は、第2のダイオードD2の電圧降下と抵抗R1の電圧降下との組み合わせに等しい。したがって、第1電流I1と第2電流I2とを実質的に同一に維持するには、抵抗R1における電圧降下(ΔVbe)は直接の温度相関を有する(すなわち、温度の上昇と共に電圧変化が増加する)。また、ΔVbeは絶対温度比例(PTAT)である電圧とも呼ばれる。これは、温度補償済みバイアス信号165が実質的に温度から独立した状態を続けるように、ダイオードD1の負の温度係数とは実質的に反対の正の温度係数で、温度変化に比例して電圧が調整されるからである。 FIG. 12B shows a matching current controller 160 having a positive temperature coefficient. The diodes D1 and D2 are configured to have a junction area of relative size such that the diode D1 has a junction area of relative size 1 and the diode D2 has a junction area N times the size of the diode D1. Two diodes of different sizes but the same emitter current will have different current densities, resulting in a slightly different voltage drop at the pn junction. When the temperature rises due to the negative temperature coefficient of the diode, the voltage drop of the diode D1 drops at a rate greater than the voltage drop of the diode D2. In general, this difference is called ΔV be and represents the difference in voltage drop between the two diodes D1 and D2. Thus, the voltage drop across the first diode D1 is equal to the combination of the voltage drop across the second diode D2 and the voltage drop across the resistor R1. Therefore, to keep the first current I1 and the second current I2 substantially the same, the voltage drop (ΔV be ) at the resistor R1 has a direct temperature correlation (ie, the voltage change increases with increasing temperature). To do). ΔV be is also called a voltage that is absolute temperature proportional (PTAT). This is a voltage proportional to the temperature change, with a positive temperature coefficient substantially opposite to the negative temperature coefficient of diode D1, so that the temperature compensated bias signal 165 continues to be substantially temperature independent. Is adjusted.

図12Cは、図12Aの実施の形態と図12Bの実施の形態との間の温度係数を持つ整合電流コントローラ160を示している。動作において、図11Cの実施の形態は図11Bの実施の形態と同様に動作する。しかし、図11Cの実施の形態は抵抗R2を有する。この結果、第2電流I2は副電流I2aと副電流I2bとに分割される。副電流I2aは前述のΔVbe項に起因して温度変化に直接関係する。一方、副電流I2bは電流I2を増加させるように動作し、その結果、第2電流I2はオフセット(Iptco)を持つ正の温度係数を有することになる。この場合、副電流I2aは正の温度係数を生成し、副電流I2bはオフセットを生成する。その結果、温度補償済みバイアス信号165はIptcoに直接関係した電圧を有する。N1、N2のトランジスタ・サイズに対するR1とR2との間の異なる抵抗比を選択して、温度変化から実質的に独立した状態を保ちながら、温度補償済みバイアス信号165を異なる値に修正するようにしてもよい。 FIG. 12C shows a matching current controller 160 with a temperature coefficient between the embodiment of FIG. 12A and the embodiment of FIG. 12B. In operation, the embodiment of FIG. 11C operates similarly to the embodiment of FIG. 11B. However, the embodiment of FIG. 11C has a resistance R2. As a result, the second current I2 is divided into a subcurrent I2a and a subcurrent I2b. The subcurrent I2a is directly related to the temperature change due to the aforementioned ΔV be term. On the other hand, the secondary current I2b operates to increase the current I2, and as a result, the second current I2 has a positive temperature coefficient having an offset (Iptco). In this case, the secondary current I2a generates a positive temperature coefficient, and the secondary current I2b generates an offset. As a result, the temperature compensated bias signal 165 has a voltage directly related to Iptco. Select different resistance ratios between R1 and R2 for N1, N2 transistor sizes to modify temperature compensated bias signal 165 to different values while remaining substantially independent of temperature changes. May be.

図12Dの実施の形態は図12Cの実施の形態と同じであるが、抵抗R1t,R2tにバイパス・トランジスタN3、N4をそれぞれ設けた点で相違する。この構成により、R1(及びR1t)を流れる副電流I2aに起因する電圧降下を修正する微調整能力が可能になる。同様に、R2(及びR2t)を流れる副電流I2aに起因する電圧降下が修正される。言うまでもなく、この微調整能力は2つ以上の選択可能な抵抗へと拡大できる。   The embodiment of FIG. 12D is the same as the embodiment of FIG. 12C, but differs in that bypass transistors N3 and N4 are provided in resistors R1t and R2t, respectively. This configuration allows a fine adjustment capability to correct the voltage drop due to the subcurrent I2a flowing through R1 (and R1t). Similarly, the voltage drop due to the secondary current I2a flowing through R2 (and R2t) is corrected. Needless to say, this fine-tuning capability can be expanded to more than one selectable resistance.

図12Eは、フラッシュ・メモリ・セルM1を用いて、選択されているフラッシュ・メモリ・セルの特性を作るための整合電流コントローラ160を示している。pチャネル・トランジスタP3はダイオード構成に接続されて電流源を作る。フラッシュ・メモリ・セルM1は、メモリ・アレイにおけるフラッシュ・メモリ・セルの電流特性と同様の電流特性と温度依存性で動作する。nチャネル・トランジスタN5はバイアス電圧Vbiasによって制御されて、pチャネル・トランジスタP3を流れる電流を更に修正し、その結果、温度補償済みバイアス信号165に出力される電圧を修正する。   FIG. 12E illustrates a matching current controller 160 that uses the flash memory cell M1 to create the characteristics of the selected flash memory cell. The p-channel transistor P3 is connected in a diode configuration to create a current source. The flash memory cell M1 operates with current characteristics and temperature dependence similar to the current characteristics of the flash memory cells in the memory array. N-channel transistor N5 is controlled by bias voltage Vbias to further modify the current through p-channel transistor P3 and, as a result, modify the voltage output to temperature compensated bias signal 165.

図12Fは、図12Eと同様に、フラッシュ・メモリ・セルM2を用いて、選択されているフラッシュ・メモリ・セルの特性を作るための整合電流コントローラ160を示している。pチャネル・トランジスタP3はダイオード構成で接続されて電流源を作る。フラッシュ・メモリ・セルM2は、メモリ・アレイにおけるフラッシュ・メモリ・セルの電流特性と同様の電流特性と温度依存性で動作する。しかし、図12Fの実施の形態においては、フラッシュ・メモリ・セルの制御ゲートとフローティング・ゲートは動作的に結合されている。この構成により、プログラムされたフラッシュ・セルを一層正確に作ることができ、フラッシュ・メモリ・セルM2に対するプログラミング動作を生成する機構を提供する必要性を解消する。nチャネル・トランジスタN5はバイアス電圧Vbiasによって制御され、pチャネル・トランジスタP3を流れる電流を更に修正し、その結果、温度補償済みバイアス信号165を修正する。   FIG. 12F shows a matching current controller 160 for creating the characteristics of the selected flash memory cell using the flash memory cell M2, similar to FIG. 12E. The p-channel transistor P3 is connected in a diode configuration to create a current source. The flash memory cell M2 operates with current characteristics and temperature dependence similar to the current characteristics of the flash memory cells in the memory array. However, in the embodiment of FIG. 12F, the control gate and floating gate of the flash memory cell are operatively coupled. With this arrangement, programmed flash cells can be made more accurately, eliminating the need to provide a mechanism for generating programming operations for flash memory cell M2. N-channel transistor N5 is controlled by bias voltage Vbias to further modify the current through p-channel transistor P3 and, as a result, modify temperature compensated bias signal 165.

図12Gは、nチャネル・トランジスタN6を用いて、選択されているフラッシュ・メモリ・セルの特性を作るための整合電流コントローラ160を示している。pチャネル・トランジスタはダイオード構成で接続されて電流源を作る。nチャネル・トランジスタN6はメモリ・アレイにおけるフラッシュ・メモリ・セルの電流特性と同様の電流特性と温度依存性で動作する。nチャネル・トランジスタN5はバイアス電圧Vbiasによって制御され、pチャネル・トランジスタP3を流れる電流を更に修正し、その結果、温度補償済みバイアス信号165を修正する。   FIG. 12G shows a matching current controller 160 that uses n-channel transistor N6 to create the characteristics of the selected flash memory cell. The p-channel transistors are connected in a diode configuration to create a current source. N-channel transistor N6 operates with current characteristics and temperature dependence similar to those of flash memory cells in the memory array. N-channel transistor N5 is controlled by bias voltage Vbias to further modify the current through p-channel transistor P3 and, as a result, modify temperature compensated bias signal 165.

図13は、図11の可変電流コントローラ170の代表的な実施の形態の回路図である。pチャネル・トランジスタP3、P4、nチャネル・トランジスタN7、N8、ダイオードD3、D4及び抵抗R3、R4は、図12Cの整合電流コントローラ160と同様の方法で、オフセット(Iptco)付きの正の温度係数を作るよう動作する。その結果、温度変動から実質的に独立するようにノード172(vgp_c)が生成され、該ノードは図11に示す調整可能電流源120”のpチャネル・トランジスタに対するバイアス・レベルを作る。pチャネル・トランジスタP5及びnチャネル・トランジスタN9は、図11に示す調整可能電流シンク130”のnチャネル・トランジスタに対して適切なバイアス・レベルで、ノード172(vgp_c)に関係するノード174(vgn_c)にバイアス信号を生成するよう動作する。   FIG. 13 is a circuit diagram of a representative embodiment of the variable current controller 170 of FIG. p-channel transistors P3, P4, n-channel transistors N7, N8, diodes D3, D4 and resistors R3, R4 are positive temperature coefficient with offset (Iptco) in a manner similar to the matching current controller 160 of FIG. 12C. Works to make. The result is a node 172 (vgp_c) that is substantially independent of temperature variations, which creates a bias level for the p-channel transistor of the adjustable current source 120 ″ shown in FIG. Transistor P5 and n-channel transistor N9 are biased at node 174 (vgn_c) relative to node 172 (vgp_c) at an appropriate bias level relative to the n-channel transistor of adjustable current sink 130 ″ shown in FIG. Operates to generate a signal.

前述のとおり、個々のメモリ・セルを流れる電流を変えることによって温度が検証マージンに影響を与えるばかりでなく、メモリ・セルを流れる電流もメモリ・セルのストリング又はチェーンにおけるメモリ・セルの位置によって影響される。フラッシュ・メモリ・セルの直列チェーンにおけるセルの位置がメモリ・セルの閾値電圧を支配する間に、温度変化も、メモリ・セルの直列チェーンを流れる電流の変化を生じさせる。   As mentioned above, not only does temperature affect the verification margin by changing the current flowing through the individual memory cells, but the current flowing through the memory cells is also affected by the location of the memory cells in the string or chain of memory cells. Is done. While the cell position in the flash memory cell series chain dominates the threshold voltage of the memory cell, temperature changes also cause changes in the current flowing through the memory cell series chain.

図14Aはメモリ・セル_0 98の等価回路を示しており、図14Bはメモリ・セル_15 97の等価回路を示している。図5を参照して述べたとおり、NANDフラッシュ・アレイはストリング又はセル・チェーンに配列されたフローティング・ゲート・セルのアレイからなり、それぞれのフローティング・ゲート・セルは直列セル・チェーン88’においてドレインとソースが結合されている。動作において、ワード線(WL_0〜WL_15)は書き込まれるべき又は読み出されるべき直列セル・チェーンにおける個々のフローティング・ゲート・メモリ・セルを選択し、それぞれの直列セル・チェーンにおける残りのフローティング・ゲート・メモリ・セルを通過モードで動作させる。例えば、図14Aは、セル_0 98が選択され、それぞれの他のセルが通過モードに構成されたときの等価回路を示している。図示のとおり、セル_0 98の上側の抵抗はRd0として識別され、セルのチェーンにおける抵抗の和と等価である。具体的には、Rd0=RSGD+RCELL−15+RCELL−14+・・・+RCELL−1であり、Rs0=RSGSである。ただし、RSGDはドレイン選択ゲートの抵抗であり、RSGSはソース選択ゲートの抵抗である。同様に、図14Bは、セル_15 97が選択され、それぞれの他のセルが通過モードに構成されたときの等価回路を示している。図示のとおり、セル_15 97の上側の抵抗はRs15として識別され、セルのチェーンにおける抵抗の和と等価である。具体的には、Rs15=RSGS+RCELL−14+RCELL−13+・・・+RCELL−0であり、Rd15=RSGDである。 14A shows an equivalent circuit of the memory cell_0 98, and FIG. 14B shows an equivalent circuit of the memory cell_1597. As described with reference to FIG. 5, a NAND flash array consists of an array of floating gate cells arranged in a string or cell chain, each floating gate cell being drained in a series cell chain 88 '. And the source is combined. In operation, the word lines (WL_0-WL_15) select individual floating gate memory cells in the series cell chain to be written or read and the remaining floating gate memory in each series cell chain. • Operate the cell in pass-through mode. For example, FIG. 14A shows an equivalent circuit when cell_0 98 is selected and each other cell is configured in pass mode. As shown, the upper resistance of cell_0 98 is identified as R d0 and is equivalent to the sum of the resistances in the chain of cells. Specifically, R d0 = R SGD + R CELL-15 + R CELL-14 +... + R CELL-1 and R s0 = R SGS . Here, R SGD is the resistance of the drain selection gate, and R SGS is the resistance of the source selection gate. Similarly, FIG. 14B shows an equivalent circuit when cell — 1597 is selected and each other cell is configured in pass mode. As illustrated, the upper resistance of the cell _15 97 is identified as R s15, it is equivalent to the sum of the resistances in the chain of cells. Specifically, R s15 = R SGS + R CELL-14 + R CELL-13 +... + R CELL-0 , and R d15 = R SGD .

明らかに、1つのメモリ・セルを読み出すために、電流は直列セル・チェーンにおける他のメモリ・セルを流れなければならない。したがって、残りのセルは、ドレイン接続又はソース接続と直列の寄生抵抗になる。直列セル・チェーン88の最も下側のセル_0 98はアレイの接地に最も近いので、ドレイン線においては15回の電圧降下を経験し、ソース線においては1回の電圧降下を経験する。直列セル・チェーン88の最も上側のセル_0 97はソース線において15回の電圧降下を、ドレイン線において1回の電圧降下をそれぞれ経験する。   Obviously, to read one memory cell, current must flow through the other memory cells in the series cell chain. Thus, the remaining cells have a parasitic resistance in series with the drain or source connection. Since the bottom cell_0 98 of series cell chain 88 is closest to the array ground, it experiences 15 voltage drops on the drain line and one voltage drop on the source line. The uppermost cell_0 97 of the series cell chain 88 experiences 15 voltage drops on the source line and 1 voltage drop on the drain line.

図15は、ワード線電圧Vwlによって活性化されたときにメモリ・セルを流れる代表的な電流を示すグラフで、高温と低温でプロットしたものである。図示のとおり、対数目盛りでの高温(HT)及び低温(LT)の電流のグラフは互いに一致せず、第1閾値電流Ith1と第2閾値電流Ith2とを有するプログラムされたフラッシュ・セル電流Icellを持つように識別される領域を作る。グラフから明らかなように、相互接続されたフラッシュ・メモリ・セルのストリング又はチェーンにおけるセルの位置と共に変動する位置依存性温度係数が存在する。第1閾値電流Ith1の温度依存性はRs0(HT)>Rs0(LT)且つRs15(HT)>Rs15(LT)を生じ、Rsの温度依存性に起因するVtの温度依存性は|dVt0/dT|<|dVt15/dT|である。第2閾値電流Ith2の温度依存性はRs0(HT)<Rs0(LT)且つRs15(HT)<Rs15(LT)を生じ、Rsの温度依存性に起因するVtの温度依存性は|dVt0/dT|<|dVt15/dT|である。 FIG. 15 is a graph showing typical currents flowing through the memory cells when activated by the word line voltage Vwl, plotted at high and low temperatures. As shown, the graphs of the high temperature (HT) and low temperature (LT) currents on the logarithmic scale do not match each other and the programmed flash cell current Icell having the first threshold current Ith1 and the second threshold current Ith2 is Create an area identified to have. As is apparent from the graph, there is a position-dependent temperature coefficient that varies with the position of the cells in the string or chain of interconnected flash memory cells. The temperature dependence of the first threshold current Ith1 results in R s0 (HT)> R s0 (LT) and R s15 (HT)> R s15 (LT), and the temperature dependence of Vt due to the temperature dependence of Rs is | DVt0 / dT | <| dVt15 / dT |. The temperature dependence of the second threshold current Ith2 results in R s0 (HT) <R s0 (LT) and R s15 (HT) <R s15 (LT), and the temperature dependence of Vt due to the temperature dependence of Rs is | DVt0 / dT | <| dVt15 / dT |.

図16Aは、代表的な16個のメモリ・セルのストリング又はチェーンの両端のセル位置に対する第1閾値電流を示しており、図16Bは、代表的な16個のメモリ・セルのストリング又はチェーンの両端のセル位置に対する第2閾値電流を示している。図示のとおり、メモリ・セルのストリング又はチェーンにおけるセル位置は温度変動を示している。例えば、図16Bの第2閾値電流Ith2の場合、セル_15はセル_0よりもビット線に近いのでセル_15はセル_0よりもソース電圧が低い。したがって、温度の上昇に伴って、セル_15のソース電圧は低くなる。これは、セル電流が減少してVt_cellを温度にしたがって増加させ、図16Bに示す温度依存性を生じるからである。したがって、メモリ・セルのストリング又はチェーンにおけるメモリ・セルの位置に関係する温度補償は、温度変動に対する検証マージンの拡大にさらに貢献する。   FIG. 16A shows the first threshold current for cell locations across a typical string or chain of 16 memory cells, and FIG. 16B illustrates the string or chain of a typical 16 memory cell. The second threshold current for the cell positions at both ends is shown. As shown, cell positions in a string or chain of memory cells indicate temperature variations. For example, in the case of the second threshold current Ith2 in FIG. 16B, since the cell_15 is closer to the bit line than the cell_0, the cell_15 has a lower source voltage than the cell_0. Therefore, the source voltage of the cell_15 decreases as the temperature increases. This is because the cell current is decreased and Vt_cell is increased according to the temperature, resulting in the temperature dependence shown in FIG. 16B. Thus, temperature compensation related to the location of memory cells in a string or chain of memory cells further contributes to an increased verification margin for temperature variations.

図17は、第1電流源110’’’、調整可能電流源120”、調整可能電流シンク130”、電圧変換器140”、可変電流コントローラ170及び可変電流セレクタ180を有するワード線電圧発生器100’’’の回路図である。動作において、ワード線電圧発生器は前述の図9〜図11の実施の形態と同様に動作するが、図17の実施の形態においては、第1電流源110’’’は電流加算ノード150’’’に結合されたワード線調整可能電流源310を備える。   FIG. 17 illustrates a word line voltage generator 100 having a first current source 110 ′ ″, an adjustable current source 120 ″, an adjustable current sink 130 ″, a voltage converter 140 ″, a variable current controller 170, and a variable current selector 180. In operation, the word line voltage generator operates in the same manner as in the embodiment of FIGS. 9 to 11 described above, but in the embodiment of FIG. '' 'Comprises a word line adjustable current source 310 coupled to a current summing node 150' ''.

可変電流コントローラ170及び可変電流セレクタ180は調整可能電流源120”と調整可能電流シンク130”を制御する。発生された信号はpチャネル・トランジスタ1A、2A、4A及びnチャネル・トランジスタ1B、2B、4Bのゲートにそれぞれ結合される。pチャネル・トランジスタ1A、2A、4Aは、2Aが1Aのサイズの2倍であり、4Aが2Aのサイズの2倍であるように、二進の重み付けがなされたゲート・サイズを持つよう構成される。可変電流セレクタ180は信号trm_1p、trm_2p、trm_4p、trm_1n、trm_2n、trm_4nを生成する。この構成により、可変電流コントローラ170は電流加算ノード150’’’への重み付けされた電流を可能とするよう、trm_1p、trm_2p、trm_4pをアサート又はネゲートすることができる。例えば、pチャネル・トランジスタ1Aが10μAを供給するよう構成され、pチャネル・トランジスタ2Aが20μAを供給するよう構成され、pチャネル・トランジスタ4Aが40μAを供給するよう構成されると、調整可能電流源120”は0から70μAの電流を供給するよう構成されるが、これに限定されるものではない。   Variable current controller 170 and variable current selector 180 control adjustable current source 120 "and adjustable current sink 130". The generated signal is coupled to the gates of p-channel transistors 1A, 2A, 4A and n-channel transistors 1B, 2B, 4B, respectively. The p-channel transistors 1A, 2A, 4A are configured to have a binary weighted gate size such that 2A is twice the size of 1A and 4A is twice the size of 2A. The The variable current selector 180 generates signals trm_1p, trm_2p, trm_4p, trm_1n, trm_2n, trm_4n. With this configuration, the variable current controller 170 can assert or negate trm_1p, trm_2p, trm_4p to allow weighted current to the current summing node 150 "". For example, when p-channel transistor 1A is configured to supply 10 μA, p-channel transistor 2A is configured to supply 20 μA, and p-channel transistor 4A is configured to supply 40 μA, an adjustable current source 120 ″ is configured to supply a current of 0 to 70 μA, but is not limited thereto.

調整可能電流シンク130”は二進の重み付けがされたトランジスタ1B、2B、4Bヲ制御することによって同様に動作する。言うまでもなく、二進の重み付けは調整可能電流源120”と調整可能電流シンク130”を作るための1つの代表的な方法である。当業者は認識するように、本発明の範囲内で多くの他の方法を実施することができる。さらに、二進の重み付けは選択される電流のダイナミック・レンジを修正するよう増減することができる。例えば、二進の重み付けを、0〜3の選択に対しては減少させ、0〜15に対しては増加させることができるが、これに限られるものではない。   The adjustable current sink 130 "operates similarly by controlling the binary weighted transistors 1B, 2B, 4B. Of course, the binary weighting is adjustable current source 120" and adjustable current sink 130. Is one exemplary method for producing ". As those skilled in the art will appreciate, many other methods can be implemented within the scope of the present invention. In addition, binary weighting is selected. It can be increased or decreased to modify the current dynamic range, for example, binary weighting can be reduced for selections of 0-3 and increased for 0-15, It is not limited to.

可変電流コントローラ170は、ノード172(vgp_c)でのバイアス電圧を制御することによってpチャネル・トランジスタ1A、2A、4Aを流れる電流の量を微調整する。同様に、nチャネル・トランジスタ1B、2B、4Bを流れる電流の量はノード174(vgn_c)でのバイアス電圧を制御することにより微調整される。この微調整と可変の重み付けとの組み合わせを用いて、可変電流源からの各重み付けされた電流源を組み合わせることによって、温度変化から実質的に独立した総合的な第2電流Ichを作ることができる。同様に、微調整と可変の重み付けとの組み合わせを用いて、可変電流源からの各重み付けされた電流源を組み合わせることによって、温度変化から実質的に独立した総合的な第3電流Idisを作ることができる。   The variable current controller 170 fine tunes the amount of current flowing through the p-channel transistors 1A, 2A, 4A by controlling the bias voltage at node 172 (vgp_c). Similarly, the amount of current flowing through n-channel transistors 1B, 2B, 4B is fine tuned by controlling the bias voltage at node 174 (vgn_c). By using this combination of fine adjustment and variable weighting, by combining each weighted current source from the variable current source, an overall second current Ich that is substantially independent of temperature changes can be created. . Similarly, using a combination of fine tuning and variable weighting to create a comprehensive third current Idis that is substantially independent of temperature changes by combining each weighted current source from the variable current source. Can do.

第1電流源110’’’は、ワード線調整可能電流源310を流れる電流の量を制御するための整合コントローラ160を備えるように構成される。整合コントローラ160は温度補償済みバイアス信号165を生成して、前述のように、ワード線調整可能電流源310を流れる電流を制御する。整合コントローラ160とワード線電流セレクタ320はワード線調整可能電流源310を制御する。整合コントローラ160からの温度補償済みバイアス信号165はpチャネル・トランジスタ1A、2A、4Aのゲートに結合される。pチャネル・トランジスタ1A、2A、4Aは、2Aが1Aのサイズの2倍であり、4Aが2Aのサイズの2倍であるように二進の重み付けがなされたゲート・サイズを持つよう構成される。ワード線電流セレクタ320は信号trmt_1b、trmt_2b、trmt_4bを生成する。この構成により、ワード線電流セレクタ320は、ワード線アドレスにしたがって電流加算ノード150”に重み付けされた電流を加えることができるようtrmt_1b、trmt_2b、trmt_4bをアサート又はネゲートすることができる。   The first current source 110 ″ ″ is configured to include a matching controller 160 for controlling the amount of current flowing through the word line adjustable current source 310. Matching controller 160 generates temperature compensated bias signal 165 to control the current through word line adjustable current source 310 as described above. The matching controller 160 and the word line current selector 320 control the word line adjustable current source 310. Temperature compensated bias signal 165 from matching controller 160 is coupled to the gates of p-channel transistors 1A, 2A, 4A. p-channel transistors 1A, 2A, 4A are configured to have a gate weight that is binary weighted so that 2A is twice the size of 1A and 4A is twice the size of 2A . The word line current selector 320 generates signals trmt_1b, trmt_2b, and trmt_4b. With this configuration, the word line current selector 320 can assert or negate trmt_1b, trmt_2b, trmt_4b so that a weighted current can be applied to the current summing node 150 ″ according to the word line address.

図18は、本発明の実施の形態によるワード線電流セレクタ320の論理を示している。例えば、ワード線電流セレクタ320はメモリ・セルの代表的な16ワード線ストリング又はチェーンについて図示されているが、これに限定されるものではない。周知のように、16本という量のワード線は4本の二進アドレス線(RA3、RA2、RA1、RA0)を用いて一義的にアドレス指定される。この実施の形態において、図17のワード線用調整可能電流源310を制御するための信号trmt_1b、trmt_2b、trmt_4bは、0、0、RA3と加算するキャリ加法を用いる二進加算器へ入力される一定の基底値trmt_1b_base=1、trmt_2b_base=1、trmt_4b_base=0から生成される。二進加算器からの加算された出力が制御信号を生じ、RA3=0のときにはtrmt_1b=1、trmt_2b=1、trmt_4b=0であり、RA3=1のときにはtrmt_1b=0、trmt_2b=0、trmt_4b=1である。   FIG. 18 shows the logic of the word line current selector 320 according to an embodiment of the present invention. For example, the word line current selector 320 is illustrated for a typical 16 word line string or chain of memory cells, but is not so limited. As is well known, the quantity of 16 word lines is uniquely addressed using 4 binary address lines (RA3, RA2, RA1, RA0). In this embodiment, the signals trmt_1b, trmt_2b, trmt_4b for controlling the word line adjustable current source 310 of FIG. 17 are input to a binary adder that uses carry addition to add 0, 0, RA3. The constant base values trmt_1b_base = 1, trmt_2b_base = 1, and trmt_4b_base = 0. The added output from the binary adder generates a control signal. When RA3 = 0, trmt_1b = 1, trmt_2b = 1, trmt_4b = 0, and when RA3 = 1, trmt_1b = 0, trmt_2b = 0, trmt_4b = 1.

図19は、本発明の別の実施の形態によるワード線電流セレクタ320の論理を示している。同様の例を用いると、ワード線電流セレクタ320はメモリ・セルの代表的な16ワード線ストリング又はチェーンについて図示され、16本という量のワード線は4本の二進アドレス線(RA3、RA2、RA1、RA0)を用いて一義的にアドレス指定される。この実施の形態においては、図17のワード線用調整可能電流源310を制御するための信号trmt_1b、trmt_2b、trmt_4bは、0、RA3、RA2と加算するキャリ加法を用いる二進加算器へ入力される一定の基底値trmt_1b_base=1、trmt_2b_base=1、trmt_4b_base=0から生成される。二進加算器からの加算された出力は、図19の真理値表に示す制御信号を生じる。   FIG. 19 illustrates the logic of the word line current selector 320 according to another embodiment of the invention. Using a similar example, the word line current selector 320 is illustrated for a typical 16 word line string or chain of memory cells, where as many as 16 word lines are 4 binary address lines (RA3, RA2,. (RA1, RA0) are uniquely addressed. In this embodiment, the signals trmt_1b, trmt_2b, trmt_4b for controlling the word line adjustable current source 310 of FIG. 17 are input to a binary adder using carry addition that adds 0, RA3, RA2. Constant base values trmt_1b_base = 1, trmt_2b_base = 1, trmt_4b_base = 0. The added output from the binary adder produces the control signals shown in the truth table of FIG.

図20は、本発明の一つの実施の形態に係るワード線電圧発生器100を備えるフラッシュ・メモリの代表的な実施の形態のブロック図である。フラッシュ・メモリは、フラッシュ・メモリ・セルの配列210と、アドレス入力に基づいて適宜のワード線を選択する行デコーダ220と、列デコーダ225とを備える。選択された列は読み出しのためにセンス増幅器ブロック230へ送られる。さらに、センス増幅器ブロック230は、プログラミング及び消去の期間にフラッシュ・セルのソース、フラッシュ・セルのドレイン又はそれら両方に適宜の電圧を加えるのに用いられる。インタフェース・ブロック235は外部回路とセンス増幅器ブロック230との間でのデータ入力とデータ出力とをインタフェースする回路を備える。コントローラ240及びコマンド・バッファ245はフラッシュ・メモリ内の種々の動作及び外部回路から受信されたコマンドを制御する。アドレス・バッファ250は外部回路と行デコーダ220と列デコーダ225との間のアドレスを一時記憶する。メモリの配列210のアーキテクチャに依存して、アドレス・バッファ250はアドレスの一部を行デコーダ220及び列デコーダ225へ送る。   FIG. 20 is a block diagram of a representative embodiment of a flash memory comprising a word line voltage generator 100 according to one embodiment of the present invention. The flash memory includes an array 210 of flash memory cells, a row decoder 220 that selects an appropriate word line based on an address input, and a column decoder 225. The selected column is sent to the sense amplifier block 230 for reading. In addition, sense amplifier block 230 is used to apply appropriate voltages to the source of the flash cell, the drain of the flash cell, or both during programming and erasing. The interface block 235 includes a circuit for interfacing data input and data output between the external circuit and the sense amplifier block 230. Controller 240 and command buffer 245 control various operations within the flash memory and commands received from external circuitry. The address buffer 250 temporarily stores an address between the external circuit and the row decoder 220 and the column decoder 225. Depending on the architecture of memory array 210, address buffer 250 sends a portion of the address to row decoder 220 and column decoder 225.

スイッチ290は現動作モードによってワード線のうちの適宜のものを選択する。Vwl発生器100は、本発明の実施の形態にしたがって読み出し動作及び検証動作のためのワード線電圧を発生する。Vpgm発生器262はプログラミング動作のためのワード線電圧を発生する。   Switch 290 selects an appropriate one of the word lines according to the current operation mode. The Vwl generator 100 generates a word line voltage for a read operation and a verify operation according to an embodiment of the present invention. Vpgm generator 262 generates word line voltages for programming operations.

図21に示すように、半導体ウェーハ400は本発明にしたがって複数の半導体メモリ300を含み、各半導体メモリ300はワード線電圧発生の少なくとも1つの実施の形態又は本明細書に記述した方法を組み込んでいる。言うまでもなく、理解されるように、半導体メモリ300はシリコン・ウェーハ以外の基板、例えば、シリコン・オン・インシュレータ(SOI)基板、シリコン・オン・グラス(SOG)基板、シリコン・オン・サファイア(SOS)基板の上に作ることができる。   As shown in FIG. 21, a semiconductor wafer 400 includes a plurality of semiconductor memories 300 in accordance with the present invention, each semiconductor memory 300 incorporating at least one embodiment of word line voltage generation or a method described herein. Yes. It will be appreciated that the semiconductor memory 300 may be a substrate other than a silicon wafer, such as a silicon on insulator (SOI) substrate, a silicon on glass (SOG) substrate, or a silicon on sapphire (SOS). Can be made on a substrate.

図22に示すように、本発明にしたがって、電子システム500は入力装置510、出力装置520、プロセッサ530及びメモリ・デバイス540を備える。メモリ・デバイス540はワード線電圧発生の少なくとも1つの実施の形態又は本明細書に記述した方法をメモリ・デバイス540に組み込む少なくとも1つの半導体メモリ300’を備えている。   As shown in FIG. 22, in accordance with the present invention, electronic system 500 includes an input device 510, an output device 520, a processor 530, and a memory device 540. Memory device 540 includes at least one semiconductor memory 300 'that incorporates into memory device 540 at least one embodiment of word line voltage generation or a method described herein.

好ましい実施の形態に関して本発明を説明してきたが、当業者は認識し理解するように、本発明は実施の形態に限定されるものではない。むしろ、特許請求された発明の範囲から逸脱することなく、好ましい実施の形態に対する多くの追加、削除、修正を行うことができる。さらに、発明者が考える発明の範囲内に包含される形で、1つの実施の形態の特徴を他の実施の形態の特徴と組み合わせることができる。   Although the present invention has been described in terms of a preferred embodiment, the present invention is not limited to the embodiments, as those skilled in the art will recognize and understand. Rather, many additions, deletions, and modifications may be made to the preferred embodiment without departing from the scope of the claimed invention. Furthermore, the features of one embodiment can be combined with the features of another embodiment in a manner that is within the scope of the invention contemplated by the inventors.

フラッシュ・メモリ・セルの回路図である。FIG. 3 is a circuit diagram of a flash memory cell. フラッシュ・メモリ・セルの種々の電流のグラフ表示である。2 is a graphical representation of various currents in a flash memory cell. フラッシュ・メモリ・セルにおける検証マージンのグラフ表示である。4 is a graphical representation of verification margin in a flash memory cell. フラッシュ・メモリ・セルにおける低減された検証マージンのグラフ表示である。FIG. 6 is a graphical representation of reduced verification margin in a flash memory cell. フラッシュ・メモリ・アレイの一部の単純化された図で、フラッシュ・メモリ・セルの直列チェーンを示している。A simplified diagram of a portion of a flash memory array shows a serial chain of flash memory cells. フラッシュ・メモリ・セルにおける補償済み検証マージンのグラフ表示である。FIG. 6 is a graphical representation of a compensated verification margin in a flash memory cell. 双レベル・フラッシュ・メモリ・セルに対する閾値電圧の分布グラフである。Figure 6 is a threshold voltage distribution graph for a dual level flash memory cell. マルチレベル・フラッシュ・メモリ・セルに対する閾値電圧の分布グラフである。6 is a threshold voltage distribution graph for a multi-level flash memory cell. 本発明の代表的な実施の形態の回路モデルである。It is a circuit model of typical embodiment of the present invention. 本発明の他の代表的な実施の形態の回路モデルである。It is a circuit model of other typical embodiments of the present invention. 本発明の他の代表的な実施の形態の回路図である。It is a circuit diagram of other typical embodiment of the present invention. 整合電流コントローラの種々の実施の形態の回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram of various embodiments of a matching current controller. 整合電流コントローラの種々の実施の形態の回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram of various embodiments of a matching current controller. 整合電流コントローラの種々の実施の形態の回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram of various embodiments of a matching current controller. 整合電流コントローラの種々の実施の形態の回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram of various embodiments of a matching current controller. 整合電流コントローラの種々の実施の形態の回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram of various embodiments of a matching current controller. 整合電流コントローラの種々の実施の形態の回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram of various embodiments of a matching current controller. 整合電流コントローラの種々の実施の形態の回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram of various embodiments of a matching current controller. 本発明の代表的な実施の形態に係る可変電流コントローラの回路図である。1 is a circuit diagram of a variable current controller according to a representative embodiment of the present invention. メモリ・セルのストリング又はチェーンにおける種々のメモリ・セルの等価回路を示す図である。FIG. 3 shows an equivalent circuit of various memory cells in a string or chain of memory cells. メモリ・セルのストリング又はチェーンにおける種々のメモリ・セルの等価回路を示す図である。FIG. 3 shows an equivalent circuit of various memory cells in a string or chain of memory cells. セル・トランジスタの温度依存性を示すグラフである。It is a graph which shows the temperature dependence of a cell transistor. メモリ・セルのストリング又はチェーンにおける種々のセルの温度依存性を示すグラフである。Figure 7 is a graph showing the temperature dependence of various cells in a string or chain of memory cells. メモリ・セルのストリング又はチェーンにおける種々のセルの温度依存性を示すグラフである。Figure 7 is a graph showing the temperature dependence of various cells in a string or chain of memory cells. 本発明の代表的な実施の形態に係る、メモリ・セルのストリング又はチェーンにおける行アドレス位置に応答する種々の電流セレクタの回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram of various current selectors responsive to row address positions in a string or chain of memory cells, according to an exemplary embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態に係るワード線電流セレクタ320の論理を示す図である。It is a figure which shows the logic of the word line current selector 320 concerning embodiment of this invention. 本発明の他の実施の形態に係るワード線電流セレクタ320の論理を示す図である。It is a figure which shows the logic of the word line current selector 320 concerning other embodiment of this invention. 本発明の代表的な実施の形態に係るワード線電圧発生器を備えるフラッシュ・メモリのブロック図である。1 is a block diagram of a flash memory including a word line voltage generator according to an exemplary embodiment of the present invention. 本発明の代表的な実施の形態に係るワード線電圧発生器を含む複数の半導体デバイスを備える半導体ウェーハである。1 is a semiconductor wafer including a plurality of semiconductor devices including a word line voltage generator according to a representative embodiment of the present invention. 本発明の代表的な実施の形態に係るワード線電圧発生器を含む複数の半導体メモリを示す計算システム図である。1 is a calculation system diagram showing a plurality of semiconductor memories including a word line voltage generator according to a representative embodiment of the present invention. FIG.

Claims (29)

ワード線電圧発生器であって、
電流加算ノードに結合され、第1電流を生成するよう構成された電流源であって、前記第1電流から導出された電圧が、相互接続されたビット・セルのストリングにおけるメモリ・セルの位置と共に変動するセル位置依存性温度係数を少なくとも部分的に含む第1電流源と、
前記電流加算ノードに結合され、温度変化から実質的に独立した第2電流を生成するよう構成された調整可能電流源と、
前記電流加算ノードに結合され、前記第1電流に比例するワード線電圧を持つワード線信号を発生する電圧変換器と、
を具備するワード線電圧発生器。
A word line voltage generator,
A current source coupled to a current summing node and configured to generate a first current, wherein the voltage derived from the first current, together with the position of the memory cell in the string of interconnected bit cells A first current source that at least partially includes a varying cell location dependent temperature coefficient;
An adjustable current source coupled to the current summing node and configured to generate a second current substantially independent of temperature changes;
A voltage converter coupled to the current summing node for generating a word line signal having a word line voltage proportional to the first current;
A word line voltage generator comprising:
前記第1電流源の前記第1電流が、少なくとも1つのビット・セルの閾値電圧の温度係数と実質的に等しい温度係数を更に持つ、請求項1に記載のワード線電圧発生器。   The word line voltage generator of claim 1, wherein the first current of the first current source further has a temperature coefficient substantially equal to a temperature coefficient of a threshold voltage of at least one bit cell. 前記第1電流源が、相互接続されたビット・セルのストリングにおけるメモリ・セルの位置に少なくとも部分的に応答して複数の異なる電流源レベルで前記第1電流を生成するよう構成された複数の電流源発生器を備える、請求項1に記載のワード線電圧発生器。   A plurality of current sources configured to generate the first current at a plurality of different current source levels in response to at least a portion of a location of a memory cell in a string of interconnected bit cells; The word line voltage generator of claim 1, comprising a current source generator. 前記セル位置依存性温度係数が、相互接続されたビット・セルのストリングにおけるメモリ・セルの位置の最上位アドレス・ビットから決定される、請求項1に記載のワード線電圧発生器。   The word line voltage generator of claim 1, wherein the cell location dependent temperature coefficient is determined from a most significant address bit of a memory cell location in a string of interconnected bit cells. 前記セル位置依存性温度係数が、相互接続されたビット・セルのストリングにおけるメモリ・セルの位置の複数のアドレス・ビットから決定される、請求項1に記載のワード線電圧発生器。   The word line voltage generator of claim 1, wherein the cell location dependent temperature coefficient is determined from a plurality of address bits of memory cell locations in a string of interconnected bit cells. 前記複数の電流源発生器が、整合電流コントローラからの温度補償済みバイアス信号に少なくとも部分的に応答して前記複数の異なる電流源レベルで前記第1電流を生成するよう構成される、請求項3に記載のワード線電圧発生器。   4. The plurality of current source generators are configured to generate the first current at the plurality of different current source levels in response at least in part to a temperature compensated bias signal from a matching current controller. The word line voltage generator described in 1. 前記整合電流コントローラが、
第1電流信号と、それと実質的に等しい電流であって前記温度補償済みバイアス信号と関係する第2電流信号とを生成する整合電流源と、
前記第1電流信号と接地との間に結合された第1pnジャンクション素子と、
前記第2電流信号と接地との間に結合された第1抵抗素子と、
を備える、請求項6に記載のワード線電圧発生器。
The matching current controller is
A matched current source that generates a first current signal and a second current signal that is substantially equal to the current current and that is related to the temperature compensated bias signal;
A first pn junction element coupled between the first current signal and ground;
A first resistive element coupled between the second current signal and ground;
The word line voltage generator according to claim 6.
前記整合電流コントローラが、
第1電流信号と、それと実質的に等しい電流であって前記温度補償済みバイアス信号と関係する第2電流信号とを生成する整合電流源と、
前記第1電流信号と接地との間に結合された第1pnジャンクション素子と、
前記第2電流信号と接地との間に直列に結合された、第1抵抗素子及び第2pnジャンクション素子と、
を備える、請求項6に記載のワード線電圧発生器。
The matching current controller is
A matched current source that generates a first current signal and a second current signal that is substantially equal to the current current and that is related to the temperature compensated bias signal;
A first pn junction element coupled between the first current signal and ground;
A first resistance element and a second pn junction element coupled in series between the second current signal and ground;
The word line voltage generator according to claim 6.
前記整合電流コントローラが、
第1電流信号と、それと実質的に等しい電流であって前記温度補償済みバイアス信号と関係する第2電流信号とを生成する整合電流源と、
前記第1電流信号と接地との間に結合された第1pnジャンクション素子と、
前記第2電流信号と接地との間に直列に結合された、第1抵抗素子及び第2pnジャンクション素子と、
前記第2電流信号と接地との間に結合された第2抵抗素子と、
を備える、請求項6に記載のワード線電圧発生器。
The matching current controller is
A matched current source that generates a first current signal and a second current signal that is substantially equal to the current current and that is related to the temperature compensated bias signal;
A first pn junction element coupled between the first current signal and ground;
A first resistance element and a second pn junction element coupled in series between the second current signal and ground;
A second resistive element coupled between the second current signal and ground;
The word line voltage generator according to claim 6.
前記第1抵抗素子と前記第2抵抗素子が選択的に可変であるように構成されてなる、請求項9に記載のワード線電圧発生器。   The word line voltage generator according to claim 9, wherein the first resistance element and the second resistance element are configured to be selectively variable. 前記整合電流コントローラが、少なくとも1つのビット・セルと実質的に同じフラッシュ・セルを流れるバイアスされた電流から前記温度補償済みバイアス信号を生成する、請求項6に記載のワード線電圧発生器。   The word line voltage generator of claim 6, wherein the matching current controller generates the temperature compensated bias signal from a biased current flowing through substantially the same flash cell as at least one bit cell. 前記調整可能電流源が、検証プロセス期間に第1電流源電流を生成し、読み出しプロセス期間に第2電流源電流を生成するよう構成される、請求項1に記載のワード線電圧発生器。   The word line voltage generator of claim 1, wherein the adjustable current source is configured to generate a first current source current during a verification process and a second current source current during a read process. 前記調整可能電流源が、複数の異なる電流源レベルで前記第2電流源電流を生成するよう構成された複数の電流源発生器を備える、請求項1に記載のワード線電圧発生器。   The word line voltage generator of claim 1, wherein the adjustable current source comprises a plurality of current source generators configured to generate the second current source current at a plurality of different current source levels. 前記複数の異なる電流源レベルのうちの1つのレベルが検証プロセス期間に生成され、前記複数の異なる電流源レベルのうちの他の1つのレベルが読み出しプロセス期間に生成される、請求項13に記載のワード線電圧発生器。   The level of one of the plurality of different current source levels is generated during a verification process period and the other level of the plurality of different current source levels is generated during a read process period. Word line voltage generator. 前記少なくとも1つのビット・セルが少なくとも1つのマルチレベル・ビット・セルであり、
前記複数の異なる電流源レベルのうちの少なくとも1つのレベルが、前記少なくとも1つのマルチレベル・ビット・セルの第1電圧レベルに対して生成され、
前記複数の異なる電流源レベルのうちの少なくとも1つの別のレベルが、前記少なくとも1つのマルチレベル・ビット・セルの追加の電圧レベルに対して生成される、
請求項13に記載のワード線電圧発生器。
The at least one bit cell is at least one multi-level bit cell;
At least one level of the plurality of different current source levels is generated for a first voltage level of the at least one multi-level bit cell;
Another level of at least one of the plurality of different current source levels is generated for an additional voltage level of the at least one multi-level bit cell;
The word line voltage generator according to claim 13.
前記電流加算ノードに結合され、温度変化から実質的に独立した第3電流をシンクするよう構成された調整可能電流シンクを更に備える、請求項1に記載のワード線電圧発生器。   The word line voltage generator of claim 1, further comprising an adjustable current sink coupled to the current summing node and configured to sink a third current substantially independent of temperature changes. 第1電流を生成し、該第1電流から、相互接続されたビット・セルのストリングにおけるメモリ・セルの位置と共に変動するセル位置依存性温度係数を少なくとも部分的に含む電圧を導出するステップと、
温度変化から実質的に独立した第2電流を生成するステップと、
前記第1電流と前記第2電流とを組み合わせて基準電流を生成するステップと、
前記基準電流を電圧変換器に流すことにより、前記基準電流をワード線電圧に変換するステップと、
を具備する方法。
Generating a first current and deriving from the first current a voltage that at least partially includes a cell location dependent temperature coefficient that varies with the location of the memory cell in the string of interconnected bit cells;
Generating a second current substantially independent of the temperature change;
Combining the first current and the second current to generate a reference current;
Converting the reference current to a word line voltage by passing the reference current through a voltage converter;
A method comprising:
第1電流を生成する前記ステップが、前記第1電流を生成し、該第1電流から、相互接続されたビット・セルの閾値電圧の温度係数に実質的に等しい温度係数を更に含む電圧を導出するステップを含む、請求項17に記載の方法。   The step of generating a first current generates the first current, from which a voltage further including a temperature coefficient substantially equal to the temperature coefficient of the threshold voltage of the interconnected bit cells is derived. 18. The method of claim 17, comprising the step of: 第1電流を生成する前記ステップが、相互接続されたビット・セルのストリングにおけるメモリの位置に少なくとも部分的に応答して複数の第1電流を生成するステップを含む、請求項17に記載の方法。   The method of claim 17, wherein generating the first current comprises generating a plurality of first currents at least partially in response to a location of a memory in a string of interconnected bit cells. . 前記複数の第1電流が、相互接続されたビット・セルのストリングにおけるメモリの位置の最上位アドレス・ビットから決定される、請求項19に記載の方法。   20. The method of claim 19, wherein the plurality of first currents are determined from a most significant address bit of a memory location in a string of interconnected bit cells. 複数の第1電流を生成する前記ステップが、相互接続されたビット・セルのストリングにおけるメモリの位置の複数のアドレス・ビットから決定される、請求項19に記載の方法。   20. The method of claim 19, wherein the step of generating a plurality of first currents is determined from a plurality of address bits at a memory location in a string of interconnected bit cells. 第2電流を生成する前記ステップが、
検証プロセス期間に第1電流源電流を生成するステップと、
読み出しプロセス期間に第2電流源電流を生成するステップと、
を含む、請求項17に記載の方法。
Said step of generating a second current comprises:
Generating a first current source current during the verification process;
Generating a second current source current during a read process;
The method of claim 17, comprising:
調整可能電流シンクから生成され、温度変化から実質的に独立した第3電流を生成するステップと、
前記第3電流を前記第1電流及び前記第2電流と組み合わせて前記基準電流を生成するステップと、
を更に備える、請求項17に記載の方法。
Generating a third current generated from the adjustable current sink and substantially independent of temperature changes;
Combining the third current with the first current and the second current to generate the reference current;
The method of claim 17, further comprising:
少なくとも1つのワード線電圧発生器を備える半導体メモリであって、
電流加算ノードに結合され、第1電流を生成するよう構成された電流源であって、前記第1電流から導出された電圧が、相互接続されたビット・セルのストリングにおけるメモリ・セルの位置と共に変動するセル位置依存性温度係数を少なくとも部分的に含む第1電流源と、
前記電流加算ノードに結合され、前記第1電流に比例するワード線電圧を持つワード線信号を発生するよう構成された電圧変換器と、
を具備する半導体メモリ。
A semiconductor memory comprising at least one word line voltage generator,
A current source coupled to a current summing node and configured to generate a first current, wherein the voltage derived from the first current, together with the position of the memory cell in the string of interconnected bit cells A first current source that at least partially includes a varying cell location dependent temperature coefficient;
A voltage converter coupled to the current summing node and configured to generate a word line signal having a word line voltage proportional to the first current;
A semiconductor memory comprising:
前記第1電流源が、相互接続されたビット・セルのストリングにおけるメモリ・セルの位置に少なくとも部分的に応答して複数の異なる電流源レベルで前記第1電流を生成するよう構成された複数の電流源発生器を備える、請求項24に記載の半導体メモリ。   A plurality of current sources configured to generate the first current at a plurality of different current source levels in response to at least a portion of a location of a memory cell in a string of interconnected bit cells; 25. The semiconductor memory of claim 24, comprising a current source generator. 前記セル位置依存性温度係数が、相互接続されたビット・セルのストリングにおけるメモリ・セルの位置の最上位アドレス・ビットから決定される、請求項24に記載の半導体メモリ。   25. The semiconductor memory of claim 24, wherein the cell location dependent temperature coefficient is determined from a most significant address bit of a memory cell location in a string of interconnected bit cells. 前記セル位置依存性温度係数が、相互接続されたビット・セルのストリングにおけるメモリ・セルの位置の複数のアドレス・ビットから決定される、請求項24に記載の半導体メモリ。   25. The semiconductor memory of claim 24, wherein the cell location dependent temperature coefficient is determined from a plurality of address bits of memory cell locations in a string of interconnected bit cells. 半導体ウェーハであって、
少なくとも1つのワード線電圧発生器を有する少なくとも1つの半導体デバイスを具備し、
前記ワード線電圧発生器が、
電流加算ノードに結合され、第1電流を生成するよう構成された電流源であって、前記第1電流から導出された電圧が、相互接続されたビット・セルのストリングにおけるメモリ・セルの位置と共に変動するセル位置依存性温度係数を少なくとも部分的に含む第1電流源と、
前記電流加算ノードに結合され、前記第1電流に比例するワード線電圧を持つワード線信号を発生するよう構成された電圧変換器と、
を備える半導体ウェーハ。
A semiconductor wafer,
Comprising at least one semiconductor device having at least one word line voltage generator;
The word line voltage generator is
A current source coupled to a current summing node and configured to generate a first current, wherein the voltage derived from the first current, together with the position of the memory cell in the string of interconnected bit cells A first current source that at least partially includes a varying cell location dependent temperature coefficient;
A voltage converter coupled to the current summing node and configured to generate a word line signal having a word line voltage proportional to the first current;
A semiconductor wafer comprising:
電子システムであって、
少なくとも1つの入力装置と、
少なくとも1つの出力装置と、
プロセッサと、
少なくとも1つのワード線電圧発生器を有する少なくとも1つのメモリ・デバイスであって、前記ワード線電圧発生器が、
電流加算ノードに結合され、第1電流を生成するよう構成された電流源であって、前記第1電流から導出された電圧が、相互接続されたビット・セルのストリングにおけるメモリ・セルの位置と共に変動するセル位置依存性温度係数を少なくとも部分的に含む第1電流源と、
前記電流加算ノードに結合され、前記第1電流に比例するワード線電圧を持つワード線信号を発生するよう構成された電圧変換器と、
を備えるメモリ・デバイスと、
を具備する電子システム。
An electronic system,
At least one input device;
At least one output device;
A processor;
At least one memory device having at least one word line voltage generator, the word line voltage generator comprising:
A current source coupled to a current summing node and configured to generate a first current, wherein the voltage derived from the first current, together with the position of the memory cell in the string of interconnected bit cells A first current source including at least partially a varying cell location dependent temperature coefficient;
A voltage converter coupled to the current summing node and configured to generate a word line signal having a word line voltage proportional to the first current;
A memory device comprising:
An electronic system comprising:
JP2006128150A 2006-05-02 2006-05-02 Method and apparatus for generating reading/verification operation in nonvolatile memory Pending JP2007299489A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006128150A JP2007299489A (en) 2006-05-02 2006-05-02 Method and apparatus for generating reading/verification operation in nonvolatile memory

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006128150A JP2007299489A (en) 2006-05-02 2006-05-02 Method and apparatus for generating reading/verification operation in nonvolatile memory

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007299489A true JP2007299489A (en) 2007-11-15

Family

ID=38768845

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006128150A Pending JP2007299489A (en) 2006-05-02 2006-05-02 Method and apparatus for generating reading/verification operation in nonvolatile memory

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007299489A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10176881B2 (en) 2016-08-26 2019-01-08 Samsung Electronics Co., Ltd. Non-volatile memory devices having temperature and location dependent word line operating voltages

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10302492A (en) * 1997-02-27 1998-11-13 Toshiba Corp Semiconductor integrated circuit device and memory
JPH10320983A (en) * 1997-05-15 1998-12-04 Toshiba Corp Non-volatile semiconductor memory device
JP2000285692A (en) * 1999-04-01 2000-10-13 Sony Corp Non-volatile semiconductor memory, data write-in method, and data read-out method
JP2001035177A (en) * 1999-07-22 2001-02-09 Toshiba Corp Voltage generating circuit
US6377090B1 (en) * 1999-08-31 2002-04-23 Stmicroelectronics, S.A. Power-on-reset circuit
US20040223371A1 (en) * 2003-05-08 2004-11-11 Micron Technology, Inc. NAND flash memory with improved read and verification threshold uniformity
JP2005173905A (en) * 2003-12-10 2005-06-30 Toshiba Corp Reference power circuit

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10302492A (en) * 1997-02-27 1998-11-13 Toshiba Corp Semiconductor integrated circuit device and memory
JPH10320983A (en) * 1997-05-15 1998-12-04 Toshiba Corp Non-volatile semiconductor memory device
JP2000285692A (en) * 1999-04-01 2000-10-13 Sony Corp Non-volatile semiconductor memory, data write-in method, and data read-out method
JP2001035177A (en) * 1999-07-22 2001-02-09 Toshiba Corp Voltage generating circuit
US6377090B1 (en) * 1999-08-31 2002-04-23 Stmicroelectronics, S.A. Power-on-reset circuit
US20040223371A1 (en) * 2003-05-08 2004-11-11 Micron Technology, Inc. NAND flash memory with improved read and verification threshold uniformity
JP2006528403A (en) * 2003-05-08 2006-12-14 マイクロン テクノロジー インコーポレイテッド Memory with uniform read and verify thresholds
JP2005173905A (en) * 2003-12-10 2005-06-30 Toshiba Corp Reference power circuit

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10176881B2 (en) 2016-08-26 2019-01-08 Samsung Electronics Co., Ltd. Non-volatile memory devices having temperature and location dependent word line operating voltages

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7489556B2 (en) Method and apparatus for generating read and verify operations in non-volatile memories
US7957215B2 (en) Method and apparatus for generating temperature-compensated read and verify operations in flash memories
US7542363B2 (en) Semiconductor memory device enhancing reliability in data reading
US8509008B2 (en) Internal voltage generator of semiconductor memory device
JP4427361B2 (en) Nonvolatile semiconductor memory
JP5150407B2 (en) Semiconductor memory device
US7184348B2 (en) Sensing circuit for a semiconductor memory
KR100777848B1 (en) Semiconductor memory device with a voltage generatig circuit which generates a plurality of voltages using a small number of items of data
US7656225B2 (en) Voltage generation circuit and semiconductor memory device including the same
US9368224B2 (en) Self-adjusting regulation current for memory array source line
US20050286302A1 (en) Flash memory device including bit line voltage clamp circuit for controlling bit line voltage during programming, and bit line voltage control method thereof
JPH097383A (en) Nonvolatile semiconductor memory device and its word-line driving method
JPH09180472A (en) Multivalued storage nonvolatile semiconductor memory and its column selection circuit
KR100660534B1 (en) Program verify method of nonvolatile memory device
JP2000235799A (en) Non-volatile multi-level memory and its read-out method
JP2000076878A (en) Non-volatile semiconductor storage device
JP4763689B2 (en) Semiconductor device and reference voltage generation method
US20100284226A1 (en) Voltage generation circuit and nonvolatile memory device including the same
JP6501325B1 (en) Semiconductor memory device
JP2007299489A (en) Method and apparatus for generating reading/verification operation in nonvolatile memory
KR20180008173A (en) Memory device having negative voltage generator
KR100645059B1 (en) Voltage trimming circuit capable of accurate voltage control and semiconductor memory device having the same
US7269065B2 (en) Nonvolatile semiconductor storage apparatus and readout method
US20240233838A1 (en) Semiconductor storage device
JPH10320983A (en) Non-volatile semiconductor memory device

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20080710

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20080710

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20080805

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080805

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20080717

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101202

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101214

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110628