JP2007299470A

JP2007299470A - 記録媒体および記録媒体製造方法

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Publication number: JP2007299470A
Application number: JP2006126809A
Authority: JP
Inventors: Tetsuo Hosokawa; 哲夫細川; Takeshi Mitsutani; 武史密谷; Fumio Tabata; 文夫田畑; Katsunori Miyata; 勝則宮田
Original assignee: Denso Ten Ltd; Fujitsu Ltd; Maxell High Tech Ltd; Hitachi Maxell Ltd
Current assignee: Denso Ten Ltd; Fujitsu Ltd; Maxell Holdings Ltd; Maxell High Tech Ltd
Priority date: 2006-04-28
Filing date: 2006-04-28
Publication date: 2007-11-15
Also published as: CN101064143A; US20070253317A1; EP1852861A3; TW200741706A; EP1852861A2

Abstract

【課題】市場で発生し得る再生波形の乱れを再現すること。
【解決手段】信号再生時の再生信号の質の低下に影響を与える原因（熱蓄積、シンメトリ、ノイズ、反射率、変調度、板厚など）の大小を表す指標の再生信号の質を低下させる設定値（設定値を最適値からずらすことによって、再生信号の質が低下する）によってレジスト原版２０にマークを形成する。そして、当該マークを形成したレジスト原版２０を用いて、ＲＯＭ媒体を作成する。
【選択図】図１

Description

この発明は、信号を記録する記録媒体等に関し、特に、市場で発生しえる再生波形の乱れを定量的に再現することができる記録媒体および記録媒体製造方法に関するものである。

近年、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＡＭ等の記録可能な光ディスク媒体が広く普及している。これら互換媒体は記録に使用された記録装置とは別の装置で再生される。どのような記録装置で記録されたデータでもエラー発生なしに正常に再生できなければならない。

しかし、記録装置が記録媒体にデータを書き込む記録条件は常に一定ではなく、記録装置のばらつき、温度等の環境変動、あるいは記録媒体の製造ばらつき等によって影響を受け、再生波形の歪、あるいはジッタ増大等の不具合が発生し最悪の場合はエラーが発生し再生できないケースもある。

このような記録媒体を再生する際のエラー発生を防ぐために再生検査ディスクを使用して再生装置の検査、あるいは設計を行っている。この再生検査ディスクとして利用される記録媒体としては、最適な条件でデータを記録した記録媒体や、何らかの原因で再生不良となった記録媒体が利用されている。

なお、特許文献１、特許文献２、特許文献３、特許文献４および特許文献５では、記録媒体の記録面の凹凸、基板反りなどの基板形状を変形させて、再生検査ディスクを製造する方法が開示されている。

また、特許文献６では、ジッタを確認するための信号を発生させるトラックパターンを再生検査ディスクに形成することで、所望のジッタに関する欠陥を備え、かつ再現性良好な再生検査ディスクを作成可能とする方法が開示されている。

特許第３６７４５４５号公報特開平１０−２３３０４０号公報特開平１０−８３５０６号公報特開２０００−３２２７８２号公報特開２００２−３３４４８１号公報特開平９−２７４７４１号公報

従来の再生検査では、記録に関連する様々な変動要因の影響を受けていない、最適な条件で記録された記録媒体を再生装置の再生検査ディスクとして用いていた。あるいは市場で記録に関連した原因で再生不良となった実際の記録媒体を使用して調査を実施し、改善の方法を検討することが行われていた。

実際の市場においては様々な原因により、記録媒体への記録条件が変動する。様々な記録条件で記録された記録媒体をエラーなく再生しなければならない。ところが、前述のように記録時の様々な変動を考慮せずに理想に近い条件で記録された記録媒体で再生装置の検査を行っても市場での様々な記録条件で記録された記録媒体の再生に関する不具合を予測することができない。

また、市場で不具合を起こした記録媒体を検査あるいは評価に使用する方法では、記録条件変動の原因が不明のため、偏った検査になってしまう可能性が高くなる。また、再生品質改善のための方針が得られないという問題もある。

さらに、特許文献１〜５において再生検査ディスクの製造方法が開示されているが、記録媒体の記録面の凹凸、基板反りなどの基板形状を変形させるものであり、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ等の記録媒体への記録条件変動による再生波形の乱れを再現することができない。また、特許文献６において開示されている再生検査用ディスクの製造方法であっても、上述したような記録条件変動による再生波形の乱れを再現することはできなかった。

実際に市場に出荷されているディスクのばらつき要因は、基板の反り、記録面の凹凸のような基板形状の変形だけでなく、記録条件ばらつきも含めた総合的なばらつきが混在することで再生エラーのような重大な品質問題が発生する。

この発明は、上述した従来技術による問題点を解消するためになされたものであり、市場で発生しえる再生波形の乱れを定量的かつ安定に再現することができる記録媒体および記録媒体製造方法を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するため、本発明は、信号を記録する記録媒体であって、信号再生時の再生信号の質の低下に影響を与える原因の大小を表す指標の再生信号の質を低下させる設定値によってスタンパにマークを形成させ、当該マークを形成したスタンパを用いて信号が記録されたことを特徴とする。

また、本発明は、上記発明において、前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は変調度であり、当該変調度が０．６〜０．８に設定されていることを特徴とする。

また、本発明は、上記発明において、前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は熱蓄積であり、当該熱蓄積による波形の乱れ量が０〜０．３に設定されていることを特徴とする。

また、本発明は、上記発明において、前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因はシンメトリであり、当該シンメトリが−０．１５〜−０．０５に設定されていることを特徴とする。

また、本発明は、上記発明において、前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は反射率であり、当該反射率が６０％〜８０％に設定されていることを特徴とする。

また、本発明は、上記発明において、前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は記録媒体の板厚であり、当該板厚が１．１ｍｍ〜１．２ｍｍに設定されていることを特徴とする。

また、本発明は、上記発明において、前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因はランダムなノイズであり、重畳されるノイズピークが０〜１１ｎｓに設定されていることを特徴とする。

また、本発明は、上記発明において、前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は、変調度、熱蓄積、シンメトリ、反射率、板厚およびランダムなノイズのうち少なくとも一つを含んでいることを特徴とする。

また、本発明は、信号を記録した記録媒体を製造する記録媒体製造方法であって、信号再生時の再生信号の質の低下に影響を与える原因の大小を表す指標の再生信号の質を低下させる設定値によってスタンパにマークを形成するマーク形成工程と、前記マーク形成工程によって形成されたスタンパを用いて信号が記録された記録媒体を製造する製造工程と、を含んだことを特徴とする。

また、本発明は、記録媒体であって、所定のマークにおける位相ピットの深さが均一ではなく、前記マークにおける前縁部の最大深さと後縁部の最大深さよりも浅い部分が、前記前縁部と前記後縁部との間に形成されていることを特徴とする。

また、本発明は、上記発明において、前記浅い部分の長さが、短マークよりも長マークにおいて長く形成されていることを特徴とする。

また、本発明は、上記発明において、前記浅い部分は、最短マークの場合形成されていないことを特徴とする。

本発明によれば、記録媒体は、信号再生時の再生信号の質の低下に影響を与える原因の大小を表す指標の再生信号の質を低下させる設定値によってマークが形成されたスタンパを用いて信号が記録されているので、市場で発生しえる再生波形の乱れを定量的に再現することができる。また、スタンパと同一ピット形状をもつ記録媒体を安定的に大量に生産することができる。

また、本発明によれば、信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は変調度であり、この変調度が０．６〜０．８に設定されているので、市場で発生しえる再生波形の乱れを定量的に再現することができる。

また、本発明によれば、信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は熱蓄積であり、この熱蓄積による波形の乱れ量が０〜０．３に設定されているので、市場で発生しえる再生波形の乱れを定量的に再現することができる。

また、本発明によれば、信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因はシンメトリであり、このシンメトリが−０．１５〜−０．０５に設定されているので、市場で発生しえる再生波形の乱れを定量的に再現することができる。

また、本発明によれば、信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は反射率であり、この反射率が６０％〜８０％に設定されているので、市場で発生しえる再生波形の乱れを定量的に再現することができる。

また、本発明によれば、信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は記録媒体の板厚であり、この板厚が１．１ｍｍ〜１．２ｍｍに設定されているので、市場で発生しえる再生波形の乱れを定量的に再現することができる。

また、本発明によれば、信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因はランダムなノイズであり、重畳されるノイズピークが０〜１１ｎｓに設定されているので、市場で発生しえる再生波形の乱れを定量的に再現することができる。

また、本発明によれば、信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は、変調度、熱蓄積、シンメトリ、反射率、板厚およびランダムなノイズのうち少なくとも一つを含んでいるので、市場で発生しえる再生波形の乱れを定量的に再現することができる。

また、本発明によれば、所定のマークにおける位相ピットの深さが均一ではなく、このマークにおける前縁部の最大深さと後縁部の最大深さよりも浅い部分が、前縁部と後縁部との間に形成されているので、市場で発生しえる再生波形の乱れを再現することができる。

また、本発明によれば、位相ピットに形成される浅い部分の長さが、短マークよりも長マークにおいて長く形成されているので、市場で発生しえる再生波形の乱れを再現することができる。

また、本発明によれば、浅い部分は、最短マークの場合形成されていないので、市場で発生しえる再生波形の乱れを再現することができる。

以下に添付図面を参照して、この発明に係る記録媒体および記録媒体製造方法の好適な実施の形態を詳細に説明する。

本発明は、信号再生時の再生信号の質の低下に影響を与える原因（熱蓄積、シンメトリ、ノイズ、反射率、変調度、板厚など）の大小を表す指標の再生信号の質を低下させる設定値（設定値を最適値からずらすことによって、再生信号の質が低下する）によってスタンパにマークを形成させ、当該マークを形成したスタンパによって信号が記録された記録媒体およびその製造方法に関する発明である。

このように、本発明にかかる記録媒体は、市場で発生し得る再生波形の乱れを再現することができるので、この記録媒体を利用して再生装置の検査などを行うことで、再生装置の検査をより的確に行うことができる。

図１は、本実施例にかかる記録媒体の製造方法の概念を示す図である。ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、のようなＲＯＭ系光ディスクの位相ピットは、図１に示すような露光装置１０により形成される。レーザ光をレジスト原版２０に照射する（プリズム４０およびレンズ５０を介してレーザ光源３０から照射されたレーザ光をレジスト原版２０に照射する）ことにより、レジスト原版２０に位相ピットが形成されたスタンパが完成する。

図２は、レジスト原版２０に形成される位相ピットの一例を示す図である。レーザ光源３０からのレーザ光のパルス幅を調整することによって様々な長さの位相ピットがレジスト原版２０上に形成される。この位相ピットを長くするには、露光波形のパルス幅を長く設定すればよい。位相ピットの長さは一般的に、３Ｔ〜１１Ｔによって定義され、Ｔの前に付く数字が大きいほど、位相ピットが長くなる（最短の位相ピットは３Ｔであり、最長の位相ピットは１１Ｔとなる）。

上記したような露光プロセスによって作成されたスタンパを成型機の金型に取り付け、ポリカーボネイト等の樹脂基板を成形することによって、スタンパと同一ピット形状を持った記録媒体が安定的に大量に生産することが可能となる。

露光プロセスにおいて位相ピットの形状を調整し、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ等の記録系媒体における様々な記録条件変動による再生波形の乱れを再現できれば、ＲＯＭ媒体を記録系媒体の再生検査用の媒体に使用できる。すなわち、様々な記録条件の変動により発生した記録系媒体のマーク形状変化による再生波形の乱れをＲＯＭ媒体の位相ピットの調整で再現できれば再生波形の乱れの程度を固定化でき、安定で再現性のよい検査が可能となる。

本発明では、記録系媒体の再生波形の乱れをＲＯＭ媒体で再現させるべく、露光波形（スタンパにマークを形成するレーザ光の波形）のプロファイルの時間とパワー値を様々に変化させた。図３は、露光波形の一例を示す図である。露光条件を変更（例えば、図３に示すｈ₁／ｈ₂を変更）することによって、記録系媒体の記録条件変動による再生波形の乱れを再現することができる。

続いて、ＲＯＭ媒体の再生波形の例を示す。図４は、乱れがなく理想に近い再生波形の一例を示す図であり、図５は、熱蓄積の影響を受けた再生波形の一例を示す図である。図４の理想的な再生波形に比べると図５の再生波形では非対象な波形の乱れが発生していることがわかる。ここで、ｄ／ｂ（図５参照）を熱蓄積による波形乱れ量と定義する。

このうち、ｂは再生波形の最大値から最小値までの距離を示す値であり、ｄは再生波形の最小値から（熱蓄積の影響によって発生する）本来の再生波形とは異なる波形の平らな部分（あるいはこの波形の最大値など）までの距離を示す。

この熱蓄積による波形乱れ量ｄ／ｂは、図３に示した露光波形を調整することでその水準を変更することが可能である。図６は、露光波形のｈ₁／ｈ₂と熱蓄積による波形乱れ量ｄ／ｂとの関係を示す図である。同図に示すように露光波形のｈ₁／ｈ₂を調整することで、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷなどの記録系媒体における熱蓄積による再生波形の乱れを再現可能であることがわかる。

図７は、ＲＯＭ媒体の製造プロセスを説明するための説明図である。熱蓄積による波形乱れ量ｄ／ｂが０〜０．３となるようにｈ₁／ｈ₂を調整し、図７に示す製造プロセスによって市場におけるＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ媒体への記録時の熱蓄積による波形乱れを再現できる。実際の市場でのＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷのｄ／ｂのばらつきは０〜０．３の範囲であり、この範囲にｄ／ｂを設定したＲＯＭ媒体を作成することで、一定条件の再現性の良い検査媒体を作成することができる。

図８−１は、ｈ₁／ｈ₂を調整した場合にレジスト基板に形成される位相ピットの一例を示す図である。同図に示すように、ｈ₁／ｈ₂を調整すること、具体的にはｈ₁とｈ₂の露光出力(Power)やｈ₁とｈ₂の露光部分の幅(露光時間)を調整することによって、所定マーク長における位相ピットの深さが前縁から後縁まで一定ではない特殊な位相ピットをスタンパに形成することができる。従って、このような特殊な位相ピットを有するスタンパで作成したＲＯＭ媒体を再生装置により再生した場合に、再生波形に所定の乱れを生じさせる、つまり、再生波形を特殊な形状に変形させることができる。

なお、図３にかかる露光波形において、ｈ₁／ｈ₂＝１ならば、所定マーク長における位相ピットの深さは前縁部から後縁部までほぼ一定の良好な位相ピットをスタンパに作成することができ、このような良好な位相ピットを有するスタンパで作成したＲＯＭ媒体を再生装置により再生した場合に、良好な再生波形を得ることができる。

図８−２は、ｈ₁／ｈ₂を調整した場合にレジスト基板に形成される位相ピットの断面図である。なお、図８−２では、一例として、図８−１の位相ピットのうち、丸で囲んだ位相ピットの断面図を示している。同図に示すように、この位相ピットは深さが前縁部から後縁部までほぼ一定ではなく、中間部において深さを変化させている。具体的には、前縁部の最大深さと後縁部の最大深さよりも浅い部分が、前縁部と後縁部との間に形成されている。この浅い部分は、露光の出力を所定の露光時間に渡って高レベルから所定量低下させることによってレジスト基板に形成することができ、この所定の露光時間や所定量を変化させることにより、複数種類の様々な形状の特殊な位相ピットパターンを形成することができる。

また、この浅い部分の長さは、レジスト基板に形成されるマーク長によって異なるようにして、マーク長によって依存する熱蓄積による再生波形への影響を再現可能に構成する。具体的には、浅い部分の長さは、レジスト基板に形成されるマーク長が長くなるにしたがって長くする。したがって、スタンパ及びそのスタンパにより形成されたＲＯＭ媒体において、例えば、最短マーク（３Ｔ）には図８−２に示すような浅い部分は形成せず、１１Ｔの長マークの浅い部分の長さは７Ｔの短マークより長く形成する。

図９は、露光波形と再生波形の関係を示す図である。露光波形に示すように、高レベル(POWER−200）と５０％低下させた低レベル（POWER−100）を使用する。例えば、マーク長が７Ｔの場合は最初の１Ｔ部分（前縁部）を高レベルにし、２Ｔ部分（中間部）を低レベルにし、３Ｔ〜７Ｔ部分（後縁部）を高レベルにする。さらにマーク長が１Ｔ長くなる毎に１Ｔずつ低レベルの長さを長くしていき、マーク長が１１Ｔの場合は最初の１Ｔ部分（前縁部）を高レベルにし、２Ｔ〜６Ｔ部分（中間部分）を低レベルにし、７Ｔ〜１１Ｔ部分（後縁部）を高レベルにする。このように、マーク長に応じて、露光波形のｈ₁／ｈ₂のレベル及び幅（照射時間）を制御することにより位相ピットをレジスト基板に形成し、スタンパ及びそのスタンパを基に検査用ＲＯＭ媒体を作成し、その位相ピットＲＯＭにより、マーク長に依存する熱蓄積現象による再生波形への影響を正確に再現可能にする。

また、図９の再生波形は、前述の露光波形から位相ピットを作成したスタンパを基にＲＯＭ媒体を作成し、マーク長が７Ｔと１１Ｔのものを再生した場合を示している。７Ｔの場合は再生波形に多少の歪みがでる程度であるが、１１Ｔの場合は再生波形に段差形状の歪みを生じさせることができる。

したがって、市場における記録条件変動を正確に再現した位相ピットＲＯＭを形成し、熱蓄積による波形乱れ量ｄ／ｂをより正確に再現した検査媒体を作成することができる。

続いて、シンメトリ(Symmetry)の説明を行う。図３に示す露光波形全体のパワー（ｈ₂）を調整することで、シンメトリを再現することができる。シンメトリは、
Symmetry=(1/2-I_D/I₁₁)×100(%)
によって定義することができる（図４参照）。ここで、I_Dは、I₃のピーク値の半値を示し、I₃は、最短マーク（３Ｔ）にかかる最小値から最大値までの距離を示す。図１０は、露光パワーとシンメトリとの関係を示す図である。

シンメトリを０〜−１０％の範囲に設定することにより、市場におけるＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷへの記録時のパワー変動によるシンメトリを表現できる。実際の市場での記録系媒体のシンメトリのばらつきは、−０．１５〜−０．０５であるため、この範囲にシンメトリを設定したＲＯＭ媒体を作成することで、一定条件の再現性のよい検査媒体を作成することができる。

また、上記したシンメトリは、最短マーク（３Ｔ）を形成させる露光波形のパルス幅を調整することでも、シンメトリを変化させることが可能である。図１１は、最短マークのパルス幅（３Ｔピット長）とシンメトリとの関係を示す図である。露光波形によって形成される最短マーク（３Ｔ）の長さをｌ₃、最長マークの長さ（１１Ｔ）をｌ₁₁とすると、ｌ₁₁をｌ₃で割った値が、０．２５〜０．２７に含まれるように、最短マークのパルス幅を調整することで、一定条件の再現性のよい検査媒体を作成することができる。

ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ等の記録系媒体では、記録時の熱干渉あるいは媒体表面の形状に関係する様々な要素によるノイズ上昇により、再生波形のＳＮ比が低下し、ジッタが増加する。すなわち、図１に示した露光装置１０にランダムなノイズを印加することによってジッタ値を変化させることができる。

図１２は、印加ノイズのレベル（補正レベル）とジッタとの関係を示す図である。スタンパの作成工程において、カッティングの信号上に乱数などで決定したランダムノイズを印加することによりジッタ値を定量的に大きくすることができる。印加ノイズのレベルを調整することによって、ジッタの増加量を調整することができ、一定条件の再現性の良い検査媒体をＲＯＭ媒体によって作成することができる。

以上は記録系媒体の記録条件の変動による再生波形の乱れをＲＯＭ媒体で再現する方法を述べたが、実際の市場においては記録条件変動に加えて、基板関連、記録膜関連の変動も発生している。これら基板関連、記録膜関連の変動要因も同時に基板で再現することで、より実際の市場での記録媒体の状態を正確に反映した検査媒体を提供することが可能になる。

例えば、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−Ｒ等の記録系媒体では記録膜の材質、膜厚が製造ばらつきによって変化する。記録膜の材質、膜厚ばらつきにより再生時における反射率が変動してしまう。ＲＯＭ媒体の金属反射膜成膜工程でスパッタパワーあるいはスパッタ時間を調整することで反射層の膜厚の変更が可能となる。図１３は、Ａｌ膜厚と反射率との関係を示す図である。図１３に示すように、Ａｌ（Aluminum）成膜時の投入パワーを変化させて膜厚を変化させることによって反射率を調節することができる。

反射率を６０〜８０％に設定することで記録系媒体の市場でのばらつきを再現することが可能となる。上述した露光プロセス調整による再生波形の乱れを再現させた基板を用いてＡｌ成膜プロセスの調整により、反射率を変えることで、実際の市場でのばらつきを反映した検査媒体を再現性よく提供することが可能となる。

また、記録系媒体のトラッキング用グルーブ深さのばらつき等によって変調度が変化する。変調度は、成型工程（図７参照）での金型温度を調整することでＲＯＭ媒体で再現させることが可能である。図１４は、金型温度と変調度との関係を示す図である。金型温度を調整して、変調度を０．６〜０．８に設定し、前述の他の変動要因と組み合わせることで市場でのばらつきを反映した検査媒体を再現性よく提供することが可能となる。

また、ＲＯＭ媒体製造プロセスの成形工程（図７参照）で、ポリカーボネートなどの樹脂量を変更し、基板の板厚を約１．１ｍｍ〜１．２ｍｍに設定し、記録膜等を含めた記録媒体の媒体の板厚を１．１ｍｍ〜１．２ｍｍに設定し、前述の他の変動要因と組み合わせることで市場のばらつきを反映した検査媒体を再現性よく提供することができる。図１５は、樹脂量と板厚との関係を示す図である。その他にも、基板の反りや偏心を更に調整し、前述の他の変動要因と組み合わせることで市場のばらつきを反映した検査媒体を再現性よく提供することができる。なお、検査媒体の板厚は、ユーザが使用する記録媒体とほぼ同じ厚さであれば良く、１．１〜１．２ｍｍに限定されるものではない。

実際の市場においては、上述したような複数の変動要因が単独で発生することは珍しく、これら複数の変動要因が同時に発生することが普通である。したがって、再生装置の検査においても、これら複数の変動要因を単独で検査するだけでは実際の市場での状況を再現できず、正確な検査ができない。

そこで、図１６に示す直交表を用いて上記問題を解消させることができる。図１６は、本実施例にかかる直交表の一例を示す図である。図１６に示すような直交表を配列にしたがって各種変動要因を同時に設定することで市場のばらつきを再現することが可能となる。また、直交表の配列に従って、上記各種誤差因子の水準を設定し、各行の検査ディスクの再生波形のジッタを計測することにより、上記各変動要因の寄与率が明確になり、再生装置の再生品質向上のための設計指針を得ることができる。

なお、図１６に示す直交表のNo.1〜No.18の行に該当する設定値（１）〜（３）は、それぞれ直交表中の第一水準〜第三水準に対応する。例えば、行「Ｎｏ．１」列「Ｂ」によって直交する設定値（１）は、熱蓄積の第一水準「０」となる。また、ここでは直交表Ｌ１８を用いて説明したが、他の直交表Ｌ９、Ｌ８、Ｌ１２などを用いて水準設定しても構わない。

上述してきたように、本実施例によれば、信号再生時の再生信号の質の低下に影響を与える原因（熱蓄積、シンメトリ、ノイズ、反射率、変調度、板厚など）の大小を表す指標の再生信号の質を低下させる設定値（設定値を最適値からずらすことによって、再生信号の質が低下する）によってレジスト原版２０にマークを形成する。そして、当該マークを形成したレジスト原版２０を用いて、ＲＯＭ媒体を作成するので、市場で発生し得る再生波形の乱れを再現することができ、このＲＯＭ媒体を利用して再生装置の検査などを行うことで、再生装置の検査をより的確に行うことができる。

（付記１）信号を記録する記録媒体であって、
信号再生時の再生信号の質の低下に影響を与える原因の大小を表す指標の再生信号の質を低下させる設定値によってスタンパにマークを形成させ、当該マークを形成したスタンパを用いて信号が記録されたことを特徴とする記録媒体。

（付記２）前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は変調度であり、当該変調度が０．６〜０．８に設定されていることを特徴とする付記１に記載の記録媒体。

（付記３）前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は熱蓄積であり、当該熱蓄積による波形の乱れ量が０〜０．３に設定されていることを特徴とする付記１または２に記載の記録媒体。

（付記４）前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因はシンメトリであり、当該シンメトリが−０．１５〜−０．０５に設定されていることを特徴とする付記１、２または３に記載の記録媒体。

（付記５）前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は反射率であり、当該反射率が６０％〜８０％に設定されていることを特徴とする付記１〜４のいずれか一つに記載の記録媒体。

（付記６）前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は記録媒体の板厚であり、当該板厚が１．１ｍｍ〜１．２ｍｍに設定されていることを特徴とする付記１〜５のいずれか一つに記載の記録媒体。

（付記７）前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因はランダムなノイズであり、重畳されるノイズピークが０〜１１ｎｓに設定されていることを特徴とする付記１〜６のいずれか一つに記載の記録媒体。

（付記８）前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は、変調度、熱蓄積、シンメトリ、反射率、板厚およびランダムなノイズのうち少なくとも一つを含んでいることを特徴とする付記１に記載の記録媒体。

（付記９）信号を記録した記録媒体を製造する記録媒体製造方法であって、
信号再生時の再生信号の質の低下に影響を与える原因の大小を表す指標の再生信号の質を低下させる設定値によってスタンパにマークを形成するマーク形成工程と、
前記マーク形成工程によって形成されたスタンパを用いて信号が記録された記録媒体を製造する製造工程と、
を含んだことを特徴とする記録媒体製造方法。

（付記１０）前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は変調度であり、当該変調度が０．６〜０．８に設定されていることを特徴とする付記９に記載の記録媒体製造方法。

（付記１１）前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は熱蓄積であり、当該熱蓄積による波形の乱れ量が０〜０．３に設定されていることを特徴とする付記９または１０に記載の記録媒体製造方法。

（付記１２）前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因はシンメトリであり、当該シンメトリが−０．１５〜−０．０５に設定されていることを特徴とする付記９、１０または１１に記載の記録媒体製造方法。

（付記１３）前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は反射率であり、当該反射率が６０％〜８０％に設定されていることを特徴とする付記９〜１２のいずれか一つに記載の記録媒体製造方法。

（付記１４）前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は板厚であり、当該板厚が１．１ｍｍ〜１．２ｍｍに設定されていることを特徴とする付記９〜１３のいずれか一つに記載の記録媒体製造方法。

（付記１５）前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は、ランダムなノイズであり、重畳されるノイズピークが０〜１１ｎｓに設定されていることを特徴とする付記９〜１４のいずれか一つに記載の記録媒体製造方法。

（付記１６）前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は、変調度、熱蓄積、シンメトリ、反射率、板厚およびランダムなノイズのうち少なくとも一つを含んでいることを特徴とする付記９に記載の記録媒体製造方法。

（付記１７）所定のマークにおける位相ピットの深さが均一ではなく、前記マークにおける前縁部の最大深さと後縁部の最大深さよりも浅い部分が、前記前縁部と前記後縁部との間に形成されていることを特徴とする記録媒体。

（付記１８）前記浅い部分の長さが、短マークよりも長マークにおいて長く形成されていることを特徴とする付記１７に記載の記録媒体。

（付記１９）前記浅い部分は、最短マークの場合形成されていないことを特徴とする付記１７に記載の記録媒体。

以上のように、本発明にかかる記録媒体および記録媒体製造方法は、市場で発生し得る再生波形の乱れを再現して、再生装置の検査を行う再生装置検査システムなどに対して有用である。

本実施例にかかる記録媒体の製造方法の概念を示す図である。レジスト原版に形成される位相ピットの一例を示す図である。露光波形の一例を示す図である。乱れがなく理想に近い再生波形の一例を示す図である。熱蓄積の影響を受けた再生波形の一例を示す図である。露光波形のｈ₁／ｈ₂と熱蓄積による波形乱れ量ｄ／ｂとの関係を示す図である。ＲＯＭ媒体の製造プロセスを説明するための説明図である。ｈ₁／ｈ₂を調整した場合にレジスト基板に形成される位相ピットの一例を示す図である。ｈ₁／ｈ₂を調整した場合にレジスト基板に形成される位相ピットの断面図である。露光波形と再生波形との関係を示す図である。露光パワーとシンメトリとの関係を示す図である。最短マークのパルス幅とシンメトリとの関係を示す図である。印加ノイズのレベルとジッタとの関係を示す図である。Ａｌ膜厚と反射率との関係を示す図である。金型温度と変調度との関係を示す図である。樹脂量と板厚との関係を示す図である。本実施例にかかる直交表の一例を示す図である。

符号の説明

１０露光装置
２０レジスト原版
３０レーザ光源
４０プリズム
５０レンズ

Claims

信号を記録する記録媒体であって、
信号再生時の再生信号の質の低下に影響を与える原因の大小を表す指標の再生信号の質を低下させる設定値によってスタンパにマークを形成させ、当該マークを形成したスタンパを用いて信号が記録されたことを特徴とする記録媒体。
前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は変調度であり、当該変調度が０．６〜０．８に設定されていることを特徴とする請求項１に記載の記録媒体。
前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は熱蓄積であり、当該熱蓄積による波形の乱れ量が０〜０．３に設定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の記録媒体。
前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因はシンメトリであり、当該シンメトリが−０．１５〜−０．０５に設定されていることを特徴とする請求項１、２または３に記載の記録媒体。
前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は反射率であり、当該反射率が６０％〜８０％に設定されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の記録媒体。
前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は記録媒体の板厚であり、当該板厚が１．１ｍｍ〜１．２ｍｍに設定されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の記録媒体。
前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因はランダムなノイズであり、重畳されるノイズピークが０〜１１ｎｓに設定されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の記録媒体。
前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は、変調度、熱蓄積、シンメトリ、反射率、板厚およびランダムなノイズのうち少なくとも一つを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の記録媒体。
信号を記録した記録媒体を製造する記録媒体製造方法であって、
信号再生時の再生信号の質の低下に影響を与える原因の大小を表す指標の再生信号の質を低下させる設定値によってスタンパにマークを形成するマーク形成工程と、
前記マーク形成工程によって形成されたスタンパを用いて信号が記録された記録媒体を製造する製造工程と、
を含んだことを特徴とする記録媒体製造方法。
前記信号再生時における再生信号の質の低下に影響を与える原因は、変調度、熱蓄積、シンメトリ、反射率、板厚およびランダムなノイズのうち少なくとも一つを含んでいることを特徴とする請求項９に記載の記録媒体製造方法。
所定のマークにおける位相ピットの深さが均一ではなく、前記マークにおける前縁部の最大深さと後縁部の最大深さよりも浅い部分が、前記前縁部と前記後縁部との間に形成されていることを特徴とする記録媒体。
前記浅い部分の長さが、短マークよりも長マークにおいて長く形成されていることを特徴とする請求項１１に記載の記録媒体。
前記浅い部分は、最短マークの場合形成されていないことを特徴とする請求項１１に記載の記録媒体。