JP2007271578A - Infrared sensor measurement device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To simultaneously measure a plurality of infrared sensors by making a black body furnace compact. <P>SOLUTION: The black body furnace 11 comprises a cylindrical black body part 11a. The cylindrical black body part 11a has a black body face 11b of which an inner face is curved cylindrical. A sensor mounting part 12 holds 16 infrared sensors. An actuator 13 transports the sensor mounting part 12 from the position of an end 11c to the position of the side of an inner space 11d so that the black body face 11b of the cylindrical black body part 11a and field angles of the infrared sensors correspond to each other. The sensor mounting part 12 holds the infrared sensors at the positions, and emits an infrared ray from the black body face 11b to the infrared sensors. An output value measurement part 16 measures output values of each infrared sensors. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、赤外線センサ測定装置に関するものである。   The present invention relates to an infrared sensor measurement apparatus.

赤外線センサは、赤外線を感知して、その赤外線の赤外線量に対応する出力信号を出力するセンサである。   The infrared sensor is a sensor that senses infrared rays and outputs an output signal corresponding to the amount of infrared rays of the infrared rays.

各赤外線センサにおいて、赤外線の量が一定としても、その出力値が一定であるとは限らず、製造条件等により、ばらつきが生じる。   In each infrared sensor, even if the amount of infrared rays is constant, the output value is not always constant, and variation occurs depending on manufacturing conditions and the like.

赤外線センサの出力値は小さいため、赤外線センサには、この出力値を増幅する増幅器が接続される。そして、赤外線センサの出力値のばらつきを予め設定された範囲に抑えるため、この増幅器の増幅率は、赤外線センサの出力値に基づいて設定される。   Since the output value of the infrared sensor is small, an amplifier that amplifies the output value is connected to the infrared sensor. And in order to suppress the dispersion | variation in the output value of an infrared sensor to the preset range, the amplification factor of this amplifier is set based on the output value of an infrared sensor.

このような赤外線センサの出力値を測定する赤外線センサ測定装置がある（例えば、特許文献１参照）。   There is an infrared sensor measurement device that measures the output value of such an infrared sensor (see, for example, Patent Document 1).

この赤外線センサ測定装置は、黒体を備えている。黒体は、黒体自体の温度に対応した赤外線量の赤外線を放射するものであり、予め設定された温度に保持される。そして、この赤外線センサ測定装置は、測定対象の赤外線センサの出力信号の出力値を測定する。   This infrared sensor measurement device includes a black body. The black body emits infrared rays having an infrared ray amount corresponding to the temperature of the black body itself, and is maintained at a preset temperature. And this infrared sensor measuring apparatus measures the output value of the output signal of the infrared sensor of a measuring object.

従来の赤外線センサ測定装置には、黒体炉として、図１１（ａ）に示すような平面形の黒体面を有する平面黒体炉６１を備えたもの、あるいは、図１１（ｂ）に示すような球形をした黒体面を有するキャビティ型黒体炉７１を備えたものがある。
特開平６−２１３７０５号公報（第２、３頁、図１） A conventional infrared sensor measuring apparatus is provided with a flat black body furnace 61 having a flat black body surface as shown in FIG. 11 (a) as a black body furnace, or as shown in FIG. 11 (b). Some of them have a cavity type black body furnace 71 having a spherical black body surface.
Japanese Patent Laid-Open No. 6-213705 (pages 2, 3 and 1)

しかし、図１１（ａ）に示すような平面黒体炉６１を備えた従来の赤外線センサ測定装置では、測定できる赤外線センサの画角が制限されてしまい、赤外線センサの広い画角をカバーしようとすると、黒体面の面積を広くしなければならず、赤外線センサ測定装置が大型化する。   However, in the conventional infrared sensor measuring apparatus provided with the flat black body furnace 61 as shown in FIG. 11A, the angle of view of the infrared sensor that can be measured is limited, and an attempt is made to cover the wide angle of view of the infrared sensor. Then, the area of the black body surface has to be increased, and the infrared sensor measuring device is increased in size.

また、図１１（ｂ）に示すキャビティ型黒体炉７１を備えたものでは、赤外線を放射する開口部７１ａ口径が３〜４cm程度で、赤外線の放射領域が狭く、赤外線センサの赤外線を受光する画角をカバーして赤外線を放射するためには、さらに赤外線センサ測定装置が大型化する。   In addition, in the apparatus equipped with the cavity type blackbody furnace 71 shown in FIG. 11B, the aperture 71a radiating infrared rays has a diameter of about 3 to 4 cm, the infrared radiation area is narrow, and the infrared rays of the infrared sensor are received. In order to cover the angle of view and emit infrared rays, the infrared sensor measuring device is further enlarged.

また、複数の赤外線センサをウェーハの状態で、あるいは、ウェーハから切り出した状態で、その出力値を測定するという要求もあり、このような要求に対しても、従来の赤外線センサ測定装置では、不都合が生じる。   There is also a demand for measuring the output value of a plurality of infrared sensors in the state of a wafer or cut out from a wafer. Occurs.

即ち、図１１（ａ）に示すような平面黒体炉６１を備えたものでは、赤外線センサの画角の有効領域が平面黒体の範囲内となるように、ウェーハ、複数の赤外線を固定する固定治具の位置を調整する必要があり、固定治具の位置を複数回替える必要がある。   That is, in the case of having a flat blackbody furnace 61 as shown in FIG. 11A, the wafer and a plurality of infrared rays are fixed so that the effective area of the angle of view of the infrared sensor is within the range of the flat blackbody. It is necessary to adjust the position of the fixing jig, and it is necessary to change the position of the fixing jig a plurality of times.

また、図１１（ｂ）に示すようなキャビティ型黒体炉を備えたものでは、この黒体炉を用いて、複数の赤外線センサを同時に測定することは困難である。   In addition, with a cavity type black body furnace as shown in FIG. 11B, it is difficult to measure a plurality of infrared sensors simultaneously using this black body furnace.

本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたもので、小型化することが可能な赤外線センサ測定装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、複数の赤外線センサを容易に測定することが可能な赤外線センサ測定装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such conventional problems, and an object of the present invention is to provide an infrared sensor measurement device that can be miniaturized.
Another object of the present invention is to provide an infrared sensor measuring apparatus capable of easily measuring a plurality of infrared sensors.

この目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る赤外線センサ測定装置は、
赤外線センサに赤外線を放射することによって、前記赤外線センサから出力される信号の出力値を測定する赤外線センサ測定装置において、
凹面を内面とする黒体面を有し、前記黒体面から前記赤外線を放射する黒体炉と、
前記黒体炉の前記黒体面と前記赤外線センサの画角とが対応するように前記赤外線センサを保持するセンサ載置部と、を備えたことを特徴とする。 In order to achieve this object, an infrared sensor measurement device according to the first aspect of the present invention provides:
In an infrared sensor measurement device that measures an output value of a signal output from the infrared sensor by emitting infrared rays to the infrared sensor,
A black body furnace having a black body surface having a concave surface as an inner surface and emitting the infrared rays from the black body surface;
And a sensor mounting section for holding the infrared sensor so that the black body surface of the black body furnace corresponds to the angle of view of the infrared sensor.

前記センサ載置部は、複数の赤外線センサを保持するものであってもよい。   The sensor placement unit may hold a plurality of infrared sensors.

前記黒体炉は、内面が略円筒形に彎曲した黒体面を有する略円筒型黒体部からなるものであって、
前記センサ載置部は、前記黒体炉の前記黒体面と前記赤外線センサの画角とが対応するように前記赤外線センサを保持するようにしてもよい。 The black body furnace is composed of a substantially cylindrical black body portion having a black body surface whose inner surface is bent into a substantially cylindrical shape,
The sensor placement unit may hold the infrared sensor so that the black body surface of the black body furnace corresponds to the angle of view of the infrared sensor.

前記黒体炉は、内面が球形に彎曲して一部が開口した黒体面を有し、開口した開口部と前記黒体面とで内部空間が形成された球型黒体部からなるものであって、
前記センサ載置部は、前記黒体炉の前記黒体面と前記赤外線センサの画角とが対応するように、前記赤外線センサの受光面が前記球型黒体部の前記開口部から前記内部空間側の位置となるように前記赤外線センサを保持するようにしてもよい。 The black body furnace is composed of a spherical black body portion having a black body surface whose inner surface is bent into a spherical shape and partially opened, and an internal space is formed by the opened opening portion and the black body surface. And
In the sensor mounting portion, the light receiving surface of the infrared sensor extends from the opening of the spherical black body portion to the internal space so that the black body surface of the black body furnace corresponds to the angle of view of the infrared sensor. You may make it hold | maintain the said infrared sensor so that it may become a position on the side.

前記黒体炉は、内面が略円筒形に彎曲した黒体面を有する略円筒型黒体部を、前記略円筒型黒体部の端面を互いに対向させて複数備えたものであり、
前記センサ載置部は、前記赤外線センサあるいは前記黒体炉の少なくともいずれかを移動することにより、前記略円筒型黒体部の黒体面と前記赤外線センサの画角とが対応するように前記赤外線センサを保持するとともに、
前記略円筒型黒体部のそれぞれの黒体面から、互いに異なる赤外線量の赤外線を放射するように前記略円筒型黒体部の温度を制御する温度制御部を備えてもよい。 The black body furnace is provided with a plurality of substantially cylindrical black body portions having a black body surface whose inner surface is bent into a substantially cylindrical shape with the end surfaces of the substantially cylindrical black body portions facing each other.
The sensor placement unit moves at least one of the infrared sensor and the black body furnace, so that the black body surface of the substantially cylindrical black body unit corresponds to the angle of view of the infrared sensor. While holding the sensor,
You may provide the temperature control part which controls the temperature of the said substantially cylindrical black body part so that the infrared rays of mutually different infrared rays amount may be radiated | emitted from each black body surface of the said substantially cylindrical black body part.

前記黒体炉は、凹面を内面とする彎曲した黒体面を有する彎曲型黒体部が複数互いに隣接して略円筒型に形成されたものであり、
前記センサ載置部は、前記赤外線センサを回転して、前記黒体炉の各黒体面と前記赤外線センサの画角とが対応するように前記赤外線センサを保持するとともに、
前記彎曲型黒体部のそれぞれの黒体面から、互いに異なる赤外線量の赤外線を放射するように前記彎曲型黒体部の温度を制御する温度制御部を備えてもよい。 The black body furnace is formed in a substantially cylindrical shape adjacent to each other a plurality of curved black body portions having a curved black body surface with a concave surface as an inner surface,
The sensor placement unit rotates the infrared sensor to hold the infrared sensor so that each black body surface of the black body furnace corresponds to the angle of view of the infrared sensor,
You may provide the temperature control part which controls the temperature of the said curve type black body part so that the infrared rays of mutually different infrared rays amount may be radiated | emitted from each black body surface of the said curve type black body part.

前記センサ載置部の動作を制御する移動装置を備えてもよい。   You may provide the moving apparatus which controls operation | movement of the said sensor mounting part.

本発明によれば、赤外線センサ測定装置を小型化することができる。また、複数の赤外線センサを同時に測定することができる。   According to the present invention, the infrared sensor measurement device can be reduced in size. In addition, a plurality of infrared sensors can be measured simultaneously.

以下、本発明の実施の形態に係る装置を図面を参照して説明する。
（実施形態１）
実施形態１に係る赤外線センサ測定装置１の構成を図１に示す。
実施形態１に係る赤外線センサ測定装置１は、赤外線を感知する赤外線センサに赤外線を放射することによって、赤外線センサから出力されるセンサ信号の出力値を測定するものであり、黒体炉１１と、センサ載置部１２と、アクチュエータ１３と、温度検出部１４と、温度制御部１５と、出力値測定部１６と、からなる。 Hereinafter, an apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
(Embodiment 1)
The configuration of the infrared sensor measurement apparatus 1 according to the first embodiment is shown in FIG.
The infrared sensor measuring apparatus 1 according to the first embodiment measures an output value of a sensor signal output from an infrared sensor by radiating infrared rays to an infrared sensor that senses infrared rays. The sensor mounting unit 12, the actuator 13, the temperature detection unit 14, the temperature control unit 15, and the output value measurement unit 16 are included.

黒体炉１１は、赤外線を放射する黒体炉であり、円筒型黒体部１１ａからなる。円筒型黒体部１１ａは、円筒形に彎曲し、凹面を内面とする黒体面１１ｂと、開口した端部１１ｃと、を有している。そして、端部１１ｃと黒体面１１ｂとによって内部空間１１ｄが形成される。   The black body furnace 11 is a black body furnace that emits infrared rays, and includes a cylindrical black body portion 11a. The cylindrical black body portion 11a is bent into a cylindrical shape, and has a black body surface 11b having a concave surface as an inner surface, and an open end portion 11c. An internal space 11d is formed by the end portion 11c and the black body surface 11b.

センサ載置部１２は、複数の赤外線センサを保持するものである。センサ載置部１２は、複数の赤外線センサをウェーハの状態で、あるいは、ウェーハから切り出した状態で保持する。   The sensor placement unit 12 holds a plurality of infrared sensors. The sensor mounting unit 12 holds a plurality of infrared sensors in a wafer state or in a state cut out from a wafer.

本実施形態１のセンサ載置部１２は、複数の赤外線センサとして、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、１６個の赤外線センサ２を保持するものとする。図２（ａ）は、１６個の赤外線センサ２が４×４個（素子）の平方型に配列されて保持された状態を示し、図２（ｂ）は、１６個の赤外線センサ２が直列に配列されて保持された状態を示す。センサ載置部１２は、このいずれかの状態で１６個の赤外線センサ２を保持する。   As shown in FIGS. 2A and 2B, the sensor placement unit 12 of the first embodiment holds 16 infrared sensors 2 as a plurality of infrared sensors. 2A shows a state in which 16 infrared sensors 2 are arranged and held in a 4 × 4 (element) square shape, and FIG. 2B shows 16 infrared sensors 2 connected in series. Shows the state of being arranged and held. The sensor placement unit 12 holds the 16 infrared sensors 2 in either state.

センサ載置部１２は、この１６個の赤外線センサ２を、黒体炉１１の端部１１ｃの位置から内部空間１１ｄ側の位置で赤外線センサ２を保持する。   The sensor mounting unit 12 holds the sixteen infrared sensors 2 at positions closer to the internal space 11 d than the position of the end 11 c of the black body furnace 11.

尚、赤外線センサ２自身の温度が変化すると、赤外線センサ２の出力値も変化するため、センサ載置部１２は、赤外線センサ２の温度を一定に保持するための温度保持機構（図示せず）を備える。   When the temperature of the infrared sensor 2 itself changes, the output value of the infrared sensor 2 also changes. Therefore, the sensor mounting unit 12 has a temperature holding mechanism (not shown) for holding the temperature of the infrared sensor 2 constant. Is provided.

図３に示すように、センサ載置部１２は、１６個の赤外線センサ２の受光面と円筒型黒体部１１ａの黒体面１１ｂとが対応するように赤外線センサ２を保持する。   As shown in FIG. 3, the sensor mounting unit 12 holds the infrared sensor 2 so that the light receiving surfaces of the 16 infrared sensors 2 correspond to the black body surface 11b of the cylindrical black body portion 11a.

従って、センサ載置部１２は、１６個の赤外線センサ２の受光面が黒体面１１ｂの方向に向くように、内部空間１１ｄ側にて、１６個の赤外線センサ２を保持する。   Accordingly, the sensor placement unit 12 holds the 16 infrared sensors 2 on the inner space 11d side so that the light receiving surfaces of the 16 infrared sensors 2 face the black body surface 11b.

アクチュエータ１３は、センサ載置部１２の動作を制御するものであり、黒体面１１ｂと赤外線センサ２の画角θとが対応する位置までセンサ載置部１２を移送する。   The actuator 13 controls the operation of the sensor placement unit 12 and moves the sensor placement unit 12 to a position where the black body surface 11b and the angle of view θ of the infrared sensor 2 correspond.

温度検出部１４は、黒体面１１ｂの温度を検出するものであり、検出した黒体面１１ｂの温度データを温度制御部１５に供給する。   The temperature detection unit 14 detects the temperature of the black body surface 11 b and supplies the detected temperature data of the black body surface 11 b to the temperature control unit 15.

温度制御部１５は、黒体面１１ｂの温度を予め設定された温度に制御するためのものである。温度制御部１５は、温度検出部１４から供給された黒体面１１ｂの温度データと予め設定された温度との差を誤差信号として、この誤差信号が０となるように、黒体面１１ｂの温度制御を行う。温度制御部１５は、このような温度制御を行うため、メモリ（図示せず）を備え、この予め設定された温度データをメモリに記憶する。   The temperature control unit 15 is for controlling the temperature of the black body surface 11b to a preset temperature. The temperature control unit 15 uses the difference between the temperature data of the black body surface 11b supplied from the temperature detection unit 14 and a preset temperature as an error signal, and controls the temperature of the black body surface 11b so that the error signal becomes zero. I do. In order to perform such temperature control, the temperature control unit 15 includes a memory (not shown) and stores the preset temperature data in the memory.

尚、円筒型黒体部１１ａは、側面に液体が循環するように構成され、温度制御部１５は、この液体の温度を制御することにより、黒体面１１ｂの温度を予め設定された温度に制御する。   The cylindrical black body portion 11a is configured so that liquid circulates on the side surface, and the temperature control unit 15 controls the temperature of the liquid to control the temperature of the black body surface 11b to a preset temperature. To do.

出力値測定部１６は、１６個の赤外線センサ２が出力した出力値を測定するためのものである。   The output value measurement unit 16 is for measuring the output values output from the 16 infrared sensors 2.

次に実施形態１に係る赤外線センサ測定装置１の動作を説明する。
温度検出部１４は、黒体面１１ｂの温度を検出し、検出した温度データを温度制御部１５に供給する。 Next, the operation of the infrared sensor measurement apparatus 1 according to the first embodiment will be described.
The temperature detection unit 14 detects the temperature of the black body surface 11 b and supplies the detected temperature data to the temperature control unit 15.

温度制御部１５は、温度検出部１４から供給された黒体面１１ｂの温度データと予め設定された温度との誤差信号に基づいて、黒体面１１ｂの温度制御を行う。   The temperature control unit 15 controls the temperature of the black body surface 11b based on an error signal between the temperature data of the black body surface 11b supplied from the temperature detection unit 14 and a preset temperature.

センサ載置部１２は、１６個の赤外線センサ２を保持し、アクチュエータ１３は、このセンサ載置部１２を、黒体炉１１へと移送する。   The sensor placement unit 12 holds 16 infrared sensors 2, and the actuator 13 transfers the sensor placement unit 12 to the black body furnace 11.

図３に示すように、アクチュエータ１３は、１６個の赤外線センサ２の受光面が黒体面１１ｂと対応するように内側まで、センサ載置部１２を移送する。   As shown in FIG. 3, the actuator 13 moves the sensor mounting portion 12 to the inside so that the light receiving surfaces of the 16 infrared sensors 2 correspond to the black body surface 11b.

このようにして、黒体面１１ｂから、センサ載置部１２に保持された１６個の赤外線センサ２の画角θに対応する全有効領域内に、赤外線が放射される。   In this way, infrared rays are radiated from the black body surface 11 b into the entire effective area corresponding to the angle of view θ of the 16 infrared sensors 2 held by the sensor placement unit 12.

出力値測定部１６は、この状態で、１６個の赤外線センサ２が出力した出力値を、ほぼ同時に測定する。   In this state, the output value measuring unit 16 measures the output values output from the 16 infrared sensors 2 almost simultaneously.

以上説明したように、本実施形態１によれば、赤外線センサ測定装置１は、円筒型黒体部１１ａからなる黒体炉１１を備え、センサ載置部１２は、１６個の赤外線センサ２を保持して、黒体炉１１の黒体面１１ｂと赤外線センサ２の画角とが対応するように、端部１１ｃよりも内部空間１１ｄ側で１６個の赤外線センサ２を保持するようにした。   As described above, according to the first embodiment, the infrared sensor measurement device 1 includes the black body furnace 11 including the cylindrical black body portion 11a, and the sensor placement unit 12 includes 16 infrared sensors 2. The sixteen infrared sensors 2 are held on the inner space 11d side of the end 11c so that the black body surface 11b of the black body furnace 11 and the angle of view of the infrared sensor 2 correspond to each other.

従って、赤外線センサ２の画角θが大きくても、黒体炉１１は、赤外線センサ２の画角θに対応する全有効領域に赤外線を放射することができ、黒体炉１１を小型化することができる。   Therefore, even if the angle of view θ of the infrared sensor 2 is large, the black body furnace 11 can radiate infrared rays to the entire effective region corresponding to the angle of view θ of the infrared sensor 2, thereby reducing the size of the black body furnace 11. be able to.

また、センサ載置部１２の位置を一度設定すれば、同じ位置ですべての赤外線センサ２の出力値を測定することができ、ウェーハの状態で、あるいは、並べた状態で、容易にほぼ同時測定することができる。   In addition, once the position of the sensor mounting portion 12 is set, the output values of all the infrared sensors 2 can be measured at the same position, and can be easily measured almost simultaneously in a wafer state or in a lined state. can do.

（実施形態２）
実施形態２に係る赤外線センサ測定装置は、内面が球形に彎曲した黒体面を有する球型黒体部からなる黒体炉を備えて、複数の赤外線センサの出力値を測定するようにしたものである。 (Embodiment 2)
The infrared sensor measurement device according to the second embodiment includes a black body furnace having a spherical black body portion having a black body surface curved in a spherical shape, and measures output values of a plurality of infrared sensors. is there.

実施形態２に係る赤外線センサ測定装置１の構成を図４に示す。
実施形態２に係る赤外線センサ測定装置１は、黒体炉２１と、温度検出部１４と、温度制御部１５と、出力値測定部１６と、を備える。 The configuration of the infrared sensor measurement apparatus 1 according to Embodiment 2 is shown in FIG.
The infrared sensor measurement device 1 according to the second embodiment includes a black body furnace 21, a temperature detection unit 14, a temperature control unit 15, and an output value measurement unit 16.

黒体炉２１は、球型黒体部２１ａからなる。球型黒体部２１ａは、その内面がほぼ半球形に彎曲して一部が開口した黒体面２１ｂと、開口した開口部２１ｃと、を有している。そして、黒体面２１ｂと開口部２１ｃとによって内部空間２１ｄが形成される。   The black body furnace 21 includes a spherical black body portion 21a. The spherical black body portion 21a has a black body surface 21b whose inner surface is bent into a substantially hemispherical shape and partially opened, and an opened portion 21c. An internal space 21d is formed by the black body surface 21b and the opening 21c.

センサ載置部１２は、図５に示すように、球型黒体部２１ａの黒体面２１ｂと赤外線センサ２の画角θとが対応する位置として、赤外線センサ２の受光面が、球型黒体部２１ａの開口部２１ｃから内部空間２１ｄ側の位置となるように、赤外線センサ２を保持する。アクチュエータ１３は、この位置までセンサ載置部１２を移送する。   As shown in FIG. 5, the sensor mounting portion 12 is configured such that the light receiving surface of the infrared sensor 2 has a spherical black surface at a position where the black body surface 21 b of the spherical black body portion 21 a corresponds to the field angle θ of the infrared sensor 2. The infrared sensor 2 is held so as to be positioned on the inner space 21d side from the opening 21c of the body part 21a. The actuator 13 moves the sensor placement unit 12 to this position.

アクチュエータ１３がこの位置までセンサ載置部１２を移送すると、球型黒体部２１ａの黒体面２１ｂは、１６個の赤外線センサ２に赤外線を放射する。
そして、出力値測定部１６は、この状態で、１６個の赤外線センサ２が出力した出力値を、ほぼ同時に測定する。 When the actuator 13 moves the sensor mounting portion 12 to this position, the black body surface 21b of the spherical black body portion 21a radiates infrared rays to the 16 infrared sensors 2.
And the output value measurement part 16 measures the output value which 16 infrared sensors 2 output in this state substantially simultaneously.

以上説明したように、本実施形態２によれば、球型黒体部２１ａからなる黒体炉２１を備え、センサ載置部１２は、球型黒体部２１ａの開口部２１ｃから内部空間２１ｄ側の位置にて赤外線センサ２を保持するようにした。   As described above, according to the second embodiment, the black body furnace 21 including the spherical black body portion 21a is provided, and the sensor placement unit 12 is connected to the internal space 21d from the opening 21c of the spherical black body portion 21a. The infrared sensor 2 is held at the side position.

従って、実施形態１と同様に、黒体炉２１を小型化することができ、１６個の赤外線センサ２の位置を一度設定すれば、容易に、すべての赤外線センサ２の出力値をほぼ同時に測定することができる。   Therefore, similar to the first embodiment, the black body furnace 21 can be reduced in size, and once the positions of the 16 infrared sensors 2 are set, the output values of all the infrared sensors 2 can be easily measured almost simultaneously. can do.

（実施形態３）
実施形態３に係る赤外線センサ測定装置は、球面の一部からなる黒体面を有する球型黒体部からなる黒体炉を備え、センサ載置部を複数備えて、複数の赤外線センサの出力値を測定するようにしたものである。 (Embodiment 3)
The infrared sensor measurement device according to the third embodiment includes a black body furnace including a spherical black body portion having a black body surface which is a part of a spherical surface, and includes a plurality of sensor placement portions, and output values of a plurality of infrared sensors. Is to be measured.

実施形態３に係る赤外線センサ測定装置１の構成を図６に示す。
実施形態３に係る赤外線センサ測定装置１は、黒体炉３１と、温度検出部１４と、温度制御部１５と、出力値測定部１６と、を備える。 The configuration of the infrared sensor measurement apparatus 1 according to the third embodiment is shown in FIG.
The infrared sensor measurement apparatus 1 according to the third embodiment includes a black body furnace 31, a temperature detection unit 14, a temperature control unit 15, and an output value measurement unit 16.

黒体炉３１は、球型黒体部３１ａからなり、球型黒体部３１ａは、その内面が球型に彎曲した黒体面３１ｂと、開口した開口部３１ｃと、を有している。そして、黒体面３１ｂと開口部３１ｃとで内部空間３１ｄが形成されている。   The black body furnace 31 includes a spherical black body portion 31a, and the spherical black body portion 31a has a black body surface 31b whose inner surface is bent into a spherical shape, and an opening portion 31c having an opening. An internal space 31d is formed by the black body surface 31b and the opening 31c.

この球型黒体部３１ａの開口部３１ｃに、複数のセンサ載置部が備えられる。図６では、３つのセンサ載置部が備えられており、各センサ載置部１２−１〜１２−３は、図２に示すように１６個の赤外線センサ２を保持する。   A plurality of sensor mounting portions are provided in the opening 31c of the spherical black body portion 31a. In FIG. 6, three sensor placement units are provided, and each sensor placement unit 12-1 to 12-3 holds 16 infrared sensors 2 as illustrated in FIG. 2.

このセンサ載置部１２−１〜１２−３は、平行に配置されてもよいし、図７に示すように、センサ載置部１２−１，１２−３が、センサ載置部１２−２に対して角度を持って配置されてもよい。   The sensor placement units 12-1 to 12-3 may be arranged in parallel. As shown in FIG. 7, the sensor placement units 12-1 and 12-3 are arranged as sensor placement units 12-2. May be arranged at an angle with respect to.

但し、図７に示すように配置された場合、センサ載置部１２−１，１２−３は、このセンサ載置部１２−１，１２−３にそれぞれ保持された赤外線センサ２の画角θ１，θ３が、いずれも球型黒体部３１ａの黒体面３１ｂと対応するように配置される。   However, when arranged as shown in FIG. 7, the sensor placement units 12-1 and 12-3 have the angle of view θ <b> 1 of the infrared sensor 2 held by each of the sensor placement units 12-1 and 12-3. , Θ3 are arranged so as to correspond to the black body surface 31b of the spherical black body portion 31a.

このように、実施形態３によれば、球型黒体部３１ａの開口部３１ｃに、複数のセンサ載置部１２−１〜１２−３を備えることにより、さらに、多くの赤外線センサ２の出力値をほぼ同時に測定することができる。   As described above, according to the third embodiment, by providing the plurality of sensor mounting portions 12-1 to 12-3 in the opening 31c of the spherical black body portion 31a, the output of many infrared sensors 2 is further increased. Values can be measured almost simultaneously.

（実施形態４）
実施形態４に係る赤外線センサ測定装置は、内面が円筒形に彎曲した黒体面を有する２つの円筒型黒体部からなる黒体炉を備え、各黒体面から赤外線センサに、それぞれ、異なる赤外線量の赤外線を放射して、複数の赤外線センサの出力値を測定するようにしたものである。 (Embodiment 4)
The infrared sensor measurement device according to Embodiment 4 includes a black body furnace including two cylindrical black body portions each having a black body surface curved in a cylindrical shape, and each infrared sensor has a different amount of infrared rays. The infrared rays are emitted and the output values of a plurality of infrared sensors are measured.

実施形態４に係る赤外線センサ測定装置１の構成を図８に示す。
実施形態４に係る赤外線センサ測定装置１は、黒体炉４１と、温度検出部１４−１，１４−２と、温度制御部１５−１，１５−２と、を備える。 The configuration of the infrared sensor measurement apparatus 1 according to the fourth embodiment is shown in FIG.
The infrared sensor measurement apparatus 1 according to Embodiment 4 includes a black body furnace 41, temperature detection units 14-1 and 14-2, and temperature control units 15-1 and 15-2.

黒体炉４１は、実施形態１と同様の円筒型黒体部をその端面を互いに対向させて複数連ねたものである。図８は、２つの円筒型黒体部４１−１ａ，４１−２ａからなる黒体炉４１を示す。円筒型黒体部４１−１ａは、黒体面４１−１ｂと、端部４１−１ｃと、内部空間４１−１ｄと、を有している。円筒型黒体部４１−２ａは、黒体面４１−２ｂと、端部４１−２ｃと、内部空間４１−２ｄと、を有している。   The black body furnace 41 is formed by connecting a plurality of cylindrical black body portions similar to those of the first embodiment with their end faces facing each other. FIG. 8 shows a black body furnace 41 composed of two cylindrical black body portions 41-1a and 41-2a. The cylindrical black body portion 41-1a has a black body surface 41-1b, an end portion 41-1c, and an internal space 41-1d. The cylindrical black body part 41-2a has a black body surface 41-2b, an end part 41-2c, and an internal space 41-2d.

温度検出部１４−１，１４−２は、それぞれ、黒体面４１−１ｂ，４１−２ｂの温度を検出して、その温度データを温度制御部１５−１，１５−２に供給する。   The temperature detection units 14-1 and 14-2 detect the temperatures of the black body surfaces 41-1b and 41-2b, respectively, and supply the temperature data to the temperature control units 15-1 and 15-2.

温度制御部１５−１は、温度検出部１４−１から供給された温度データに基づいて、この黒体面４１−１ｂの温度を、例えば、３５°Ｃとなるように制御する。   The temperature control unit 15-1 controls the temperature of the black body surface 41-1b to be, for example, 35 ° C. based on the temperature data supplied from the temperature detection unit 14-1.

温度制御部１５−２は、温度検出部１４−２から供給された温度データに基づいて、この黒体面４１−２ｂの温度を、例えば、７０°Ｃとなるように制御する。   The temperature control unit 15-2 controls the temperature of the black body surface 41-2b to be, for example, 70 ° C. based on the temperature data supplied from the temperature detection unit 14-2.

このようにして、黒体炉４１の２つの黒体面４１−１ｂ，４１−２ｂは、互いに異なる赤外線量の赤外線を放射する。   In this way, the two black body surfaces 41-1b and 41-2b of the black body furnace 41 emit infrared rays having different infrared amounts.

また、実施形態４に係る赤外線センサ測定装置１は、複数のセンサ載置部１２を備え、アクチュエータ１３は、黒体炉４１の各黒体面４１−１ｂ，４１−２ｂと赤外線センサ２の画角とが対応するように、この複数のセンサ載置部１２を移送する。   Further, the infrared sensor measurement device 1 according to the fourth embodiment includes a plurality of sensor placement units 12, and the actuator 13 includes the black body surfaces 41-1 b and 41-2 b of the black body furnace 41 and the angle of view of the infrared sensor 2. The plurality of sensor placement portions 12 are transferred so that the

３５°Ｃに制御された黒体面４１−１ｂから赤外線センサ２に赤外線を放射する場合、アクチュエータ１３は、黒体面４１−１ｂから赤外線センサ２の受光面に赤外線が放射されるように、センサ載置部１２を移送する。   When infrared rays are emitted from the black body surface 41-1b controlled to 35 ° C. to the infrared sensor 2, the actuator 13 is mounted on the sensor so that infrared rays are emitted from the black body surface 41-1b to the light receiving surface of the infrared sensor 2. The placement unit 12 is transferred.

アクチュエータ１３が、このようにセンサ載置部１２を移送すると、センサ載置部１２は、黒体面４１−１ｂと赤外線センサ２の画角とが対応する位置にて赤外線センサ２を保持する。そして、黒体面４１−１ｂから赤外線センサ２に赤外線が放射され、出力値測定部１６は、この状態で赤外線センサ２の出力値を測定する。   When the actuator 13 moves the sensor placement unit 12 in this way, the sensor placement unit 12 holds the infrared sensor 2 at a position where the black body surface 41-1b and the angle of view of the infrared sensor 2 correspond. And infrared rays are radiated | emitted from the black body surface 41-1b to the infrared sensor 2, and the output value measurement part 16 measures the output value of the infrared sensor 2 in this state.

出力値測定部１６がこの状態で赤外線センサ２の出力値を測定すると、アクチュエータ１３は、黒体面４１−２ｂから赤外線センサ２の受光面に赤外線が放射されるように、センサ載置部１２を移送する。   When the output value measuring unit 16 measures the output value of the infrared sensor 2 in this state, the actuator 13 moves the sensor mounting unit 12 so that infrared rays are emitted from the black body surface 41-2b to the light receiving surface of the infrared sensor 2. Transport.

センサ載置部１２は、黒体面４１−２ｂと赤外線センサ２の画角とが対応する位置にて赤外線センサ２を保持し、黒体面４１−２ｂから赤外線センサ２に赤外線が放射される。そして、出力値測定部１６は、この状態で赤外線センサ２の出力値を測定する。   The sensor placement unit 12 holds the infrared sensor 2 at a position where the black body surface 41-2b and the angle of view of the infrared sensor 2 correspond to each other, and infrared rays are radiated from the black body surface 41-2b to the infrared sensor 2. And the output value measurement part 16 measures the output value of the infrared sensor 2 in this state.

以上説明したように、本実施形態４によれば、赤外線センサ測定装置１は、それぞれ、異なる温度に制御された黒体面４１−１ｂ，４１−２ｂを有する２つの円筒型黒体部４１−１ａ，４１−２ａを備えるようにした。また、センサ載置部１２は、赤外線センサ２を保持したまま、赤外線センサ２の画角と、黒体面４１−１ｂ，４１−２ｂとがそれぞれ対応するように移動するようにした。   As described above, according to the fourth embodiment, the infrared sensor measurement apparatus 1 includes the two cylindrical black body portions 41-1a each having the black body surfaces 41-1b and 41-2b controlled at different temperatures. , 41-2a. Moreover, the sensor mounting part 12 was made to move so that the angle of view of the infrared sensor 2 and the black body surfaces 41-1b and 41-2b correspond to each other while holding the infrared sensor 2.

従って、赤外線センサ測定装置１は、黒体面４１−１ｂ，４１−２ｂから、それぞれ、異なる赤外線量の赤外線が放射されたときの出力値を連続して測定することができる。   Therefore, the infrared sensor measuring apparatus 1 can continuously measure output values when infrared rays having different infrared amounts are emitted from the black body surfaces 41-1b and 41-2b, respectively.

（実施形態５）
実施形態５に係る赤外線センサ測定装置は、内面が彎曲した黒体面を有する彎曲型黒体部が複数互いに隣接した黒体炉を備え、各黒体面から赤外線センサに、それぞれ、異なる赤外線量の赤外線を放射して、複数の赤外線センサの出力値を測定するようにしたものである。 (Embodiment 5)
The infrared sensor measurement device according to the fifth embodiment includes a black body furnace in which a plurality of curved black body portions each having a black body surface with a curved inner surface are adjacent to each other, and infrared rays having different amounts of infrared rays are respectively transmitted from each black body surface to the infrared sensor. And the output values of a plurality of infrared sensors are measured.

実施形態５に係る赤外線センサ測定装置１の構成を図９に示す。
実施形態５に係る赤外線センサ測定装置１は、黒体炉５１と、温度検出部１４−１，１４−２と、温度制御部１５−１，１５−２と、を備える。 FIG. 9 shows the configuration of the infrared sensor measurement apparatus 1 according to the fifth embodiment.
The infrared sensor measurement device 1 according to the fifth embodiment includes a black body furnace 51, temperature detection units 14-1 and 14-2, and temperature control units 15-1 and 15-2.

黒体炉５１は、凹面を内面とする彎曲した黒体面を有する彎曲型黒体部５１−１ａ，５１−２ａが互いに隣接して略円筒型に形成されたものである。
彎曲型黒体部５１−１ａは、その内面が半円筒形に彎曲した黒体面５１−１ｂを有し、彎曲型黒体部５１−２ａは、その内面が半円筒形に彎曲した黒体面５１−２ｂを有している。 The black body furnace 51 is formed by forming curved black body portions 51-1a and 51-2a having curved black body surfaces with concave surfaces as inner surfaces, in a substantially cylindrical shape, adjacent to each other.
The curved black body portion 51-1a has a black body surface 51-1b whose inner surface is bent into a semicylindrical shape, and the curved black body portion 51-2a is a black body surface 51 whose inner surface is bent into a semicylindrical shape. -2b.

そして、黒体炉５１は、この彎曲型黒体部５１−１ａの黒体面５１−１ｂと、彎曲型黒体部５１−２ａの黒体面５１−２ｂと、を対向させることにより、形成される。   The black body furnace 51 is formed by making the black body surface 51-1b of the curved black body portion 51-1a and the black body surface 51-2b of the curved black body portion 51-2a face each other. .

温度検出部１４−１，１４−２は、それぞれ、黒体面５１−１ｂ，５１−２ｂの温度を検出し、その温度データを温度制御部１５−１，１５−２に供給する。   The temperature detection units 14-1 and 14-2 detect the temperatures of the black body surfaces 51-1b and 51-2b, respectively, and supply the temperature data to the temperature control units 15-1 and 15-2.

温度制御部１５−１，１５−２は、それぞれ、温度検出部１４−１，１４−２から供給された温度データに基づいて、黒体面５１−１ｂ，５１−２ｂの温度を、例えば、３５°，７０°Ｃとなるように制御する。   Based on the temperature data supplied from the temperature detectors 14-1 and 14-2, the temperature controllers 15-1 and 15-2 set the temperatures of the black body surfaces 51-1b and 51-2b to 35, for example, respectively. The temperature is controlled to be 70 ° C.

温度制御部１５−１，１５−２が、このような制御を行うことによって、２つの黒体面５１−１ｂ，５１−２ｂは、互いに対向して異なる赤外線量の赤外線を放射する。   When the temperature controllers 15-1 and 15-2 perform such control, the two black body surfaces 51-1b and 51-2b radiate infrared rays of different infrared amounts to face each other.

３５°Ｃに設定された黒体面５１−１ｂから赤外線センサ２の受光面に赤外線を放射する場合、アクチュエータ１３は、黒体面５１−１ｂと赤外線センサ２の画角とが対応するように、センサ載置部１２を回転する。   When the infrared ray is radiated from the black body surface 51-1b set to 35 ° C. to the light receiving surface of the infrared sensor 2, the actuator 13 causes the sensor so that the black body surface 51-1b corresponds to the angle of view of the infrared sensor 2. The mounting part 12 is rotated.

アクチュエータ１３がこのようにセンサ載置部１２を回転すると、黒体面５１−１ｂから、赤外線センサ２に赤外線が放射される。そして、出力値測定部１６は、この状態で赤外線センサ２の出力値を測定する。   When the actuator 13 rotates the sensor mounting portion 12 in this way, infrared rays are radiated from the black body surface 51-1b to the infrared sensor 2. And the output value measurement part 16 measures the output value of the infrared sensor 2 in this state.

出力値測定部１６がこの状態で赤外線センサ２の出力値を測定すると、アクチュエータ１３は、黒体面５１−２ｂから赤外線センサ２の受光面に赤外線が放射されるように、センサ載置部１２を回転する。   When the output value measuring unit 16 measures the output value of the infrared sensor 2 in this state, the actuator 13 moves the sensor mounting unit 12 so that infrared light is emitted from the black body surface 51-2b to the light receiving surface of the infrared sensor 2. Rotate.

センサ載置部１２は、黒体面５１−２ｂと赤外線センサ２の画角とが対応する位置にて赤外線センサ２を保持し、黒体面５１−２ｂから赤外線センサ２の受光面に赤外線が放射される。そして、出力値測定部１６は、この状態で赤外線センサ２の出力値を測定する。   The sensor mounting unit 12 holds the infrared sensor 2 at a position where the black body surface 51-2b and the angle of view of the infrared sensor 2 correspond to each other, and infrared rays are emitted from the black body surface 51-2b to the light receiving surface of the infrared sensor 2. The And the output value measurement part 16 measures the output value of the infrared sensor 2 in this state.

以上説明したように、本実施形態５によれば、黒体炉５１は、凹面を内面とする彎曲した黒体面を有する彎曲型黒体部５１−１ａ，５１−２ａが互いに隣接して略円筒型に形成されたものである。そして、この２つの黒体面５１−１ｂ，５１−２ｂを異なる温度に制御して、センサ載置部１２は、赤外線センサ２を回転させて、それぞれ、黒体面５１−１ｂ，５１−２ｂから、赤外線センサ２の受光面に赤外線が放射されるように、保持するようにした。   As described above, according to the fifth embodiment, the blackbody furnace 51 includes the curved black body portions 51-1a and 51-2a having curved black body surfaces having concave surfaces as inner surfaces, and are substantially cylindrical. It is formed into a mold. Then, the two black body surfaces 51-1b and 51-2b are controlled to different temperatures, and the sensor placement unit 12 rotates the infrared sensor 2 so that the black body surfaces 51-1b and 51-2b respectively. The infrared sensor 2 is held so that infrared rays are emitted to the light receiving surface.

従って、赤外線センサ測定装置１は、実施形態４と同様に、黒体面５１−１ｂ，５１−２ｂから、それぞれ、異なる赤外線量の赤外線が放射されたときの出力値を連続して測定することができる。   Therefore, the infrared sensor measuring apparatus 1 can continuously measure the output values when infrared rays of different infrared amounts are emitted from the black body surfaces 51-1b and 51-2b, respectively, as in the fourth embodiment. it can.

尚、本発明を実施するにあたっては、種々の形態が考えられ、上記実施の形態に限られるものではない。
例えば、黒体面は、円筒形、球面の一部に限られるものではなく、例えば、多面体、円錐面のように、彎曲した面であれば、どのような形状のものであってもよい。 In carrying out the present invention, various forms are conceivable and the present invention is not limited to the above-described embodiment.
For example, the black body surface is not limited to a cylindrical shape or a part of a spherical surface, and may be any shape as long as it is a curved surface such as a polyhedron or a conical surface.

上記実施形態１の円筒型黒体部１１ａ、実施形態４の円筒型黒体部４１−１ａ，４１−２ａは、円筒が彎曲したような形状のものであってもよいし、端部１１ｃ、４１−１ｃ、４１−２ｃが閉じたものであってもよい。   The cylindrical black body portion 11a of the first embodiment and the cylindrical black body portions 41-1a and 41-2a of the fourth embodiment may be shaped like a curved cylinder, or the end portion 11c, 41-1c and 41-2c may be closed.

また、上記実施形態５の半円筒型黒体部５１−１ａ，５１−２ａも、図１０に示すように、閉じた端部を有するものであってもよい。   Further, the semi-cylindrical black body portions 51-1a and 51-2a of the fifth embodiment may also have closed ends as shown in FIG.

上記実施形態１〜５のそれぞれの黒体部１１ａ、２１ａ、３１ａ、４１−１ａ、４１−２ａ、５１−１ａ、５１−２ａは、内面が彎曲していればよく、外面はどのような形状であってもよい。   As for each black body part 11a, 21a, 31a, 41-1a, 41-2a, 51-1a, 51-2a of the said Embodiments 1-5, what is necessary is that an inner surface bends and what kind of shape an outer surface is. It may be.

上記実施形態１〜５では、センサ載置部１２の動作を制御するアクチュエータ１３を備えるようにした。しかし、センサ載置部１２の位置を手動で設定するのであれば、アクチュエータ１３は備えなくても良い。   In the first to fifth embodiments, the actuator 13 that controls the operation of the sensor placement unit 12 is provided. However, if the position of the sensor placement unit 12 is manually set, the actuator 13 may not be provided.

上記実施形態１〜５では、赤外線センサ２を１６個の素子を同時に測定する場合について説明した。しかし、赤外線センサ２を１つとしても、上記実施形態１〜５を適用することができる。   In the first to fifth embodiments, the case where the infrared sensor 2 measures 16 elements simultaneously has been described. However, even if the number of the infrared sensors 2 is one, the first to fifth embodiments can be applied.

本発明の実施形態１に係る赤外線センサ測定装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the infrared sensor measuring apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図１に示すセンサ載置部とセンサ載置部に保持された複数の赤外線センサとを示す図であり、（ａ）は、１６個の赤外線センサが４×４の平方型に配置された例を示し、（ｂ）は、１６個が直列に配置された例を示す。It is a figure which shows the sensor mounting part shown in FIG. 1 and the some infrared sensor hold | maintained at the sensor mounting part, (a) is an example by which 16 infrared sensors are arrange | positioned at 4x4 square type. (B) shows an example in which 16 pieces are arranged in series. アクチュエータがセンサ載置部を黒体炉の内部空間まで移送したときの円筒型黒体部の断面を示す図である。It is a figure which shows the cross section of a cylindrical black body part when an actuator transfers a sensor mounting part to the internal space of a black body furnace. 本発明の実施形態２に係る赤外線センサ測定装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the infrared sensor measuring apparatus which concerns on Embodiment 2 of this invention. 図４に示す球型黒体部の断面図である。It is sectional drawing of the spherical black body part shown in FIG. 本発明の実施形態３に係る赤外線センサ測定装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the infrared sensor measuring device which concerns on Embodiment 3 of this invention. 図６に示す黒体炉の断面図である。It is sectional drawing of the blackbody furnace shown in FIG. 本発明の実施形態４に係る赤外線センサ測定装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the infrared sensor measuring device which concerns on Embodiment 4 of this invention. 本発明の実施形態５に係る赤外線センサ測定装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the infrared sensor measuring device which concerns on Embodiment 5 of this invention. 本発明の実施形態５の黒体炉の応用例を示す図である。It is a figure which shows the application example of the blackbody furnace of Embodiment 5 of this invention. 従来の黒体炉を示す図である。It is a figure which shows the conventional blackbody furnace.

符号の説明Explanation of symbols

１ 赤外線センサ測定装置
２ 赤外線センサ
１１，２１，３１，４１，５１ 黒体炉
１１ｂ，２１ｂ，３１ｂ，４１−１ｂ，４１−２ｂ、５１−１ｂ，５１−２ｂ 黒体面
１１ｄ，２１ｄ，３１ｄ，４１−１ｄ，４１−２ｄ 内部空間
１２，１２−１〜１２−３ センサ載置部
１３ アクチュエータ
１５，１５−１，１５−２ 温度制御部
１６ 出力値測定部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Infrared sensor measuring apparatus 2 Infrared sensor 11, 21, 31, 41, 51 Blackbody furnace 11b, 21b, 31b, 41-1b, 41-2b, 51-1b, 51-2b Black body surface 11d, 21d, 31d, 41 -1d, 41-2d Internal space 12, 12-1 to 12-3 Sensor placement unit 13 Actuator 15, 15-1, 15-2 Temperature control unit 16 Output value measurement unit

Claims (7)

赤外線センサに赤外線を放射することによって、前記赤外線センサから出力される信号の出力値を測定する赤外線センサ測定装置において、
凹面を内面とする黒体面を有し、前記黒体面から前記赤外線を放射する黒体炉と、
前記黒体炉の前記黒体面と前記赤外線センサの画角とが対応するように前記赤外線センサを保持するセンサ載置部と、を備えた、
ことを特徴とする赤外線センサ測定装置。 In an infrared sensor measurement device that measures an output value of a signal output from the infrared sensor by emitting infrared rays to the infrared sensor,
A black body furnace having a black body surface having a concave surface as an inner surface and emitting the infrared rays from the black body surface;
A sensor placement unit that holds the infrared sensor so that the black body surface of the black body furnace corresponds to the angle of view of the infrared sensor,
An infrared sensor measuring device characterized by the above. 前記センサ載置部は、複数の赤外線センサを保持するものである、
ことを特徴とする請求項１に記載の赤外線センサ測定装置。 The sensor placement unit holds a plurality of infrared sensors.
The infrared sensor measuring device according to claim 1. 前記黒体炉は、内面が略円筒形に彎曲した黒体面を有する略円筒型黒体部からなるものであって、
前記センサ載置部は、前記黒体炉の前記黒体面と前記赤外線センサの画角とが対応するように前記赤外線センサを保持する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の赤外線センサ測定装置。 The black body furnace is composed of a substantially cylindrical black body portion having a black body surface whose inner surface is bent into a substantially cylindrical shape,
The sensor placement unit holds the infrared sensor so that the black body surface of the black body furnace corresponds to the angle of view of the infrared sensor,
The infrared sensor measurement device according to claim 1 or 2, wherein 前記黒体炉は、内面が球形に彎曲して一部が開口した黒体面を有し、開口した開口部と前記黒体面とで内部空間が形成された球型黒体部からなるものであって、
前記センサ載置部は、前記黒体炉の前記黒体面と前記赤外線センサの画角とが対応するように、前記赤外線センサの受光面が前記球型黒体部の前記開口部から前記内部空間側の位置となるように前記赤外線センサを保持する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の赤外線センサ測定装置。 The black body furnace is composed of a spherical black body portion having a black body surface whose inner surface is bent into a spherical shape and partially opened, and an internal space is formed by the opened opening portion and the black body surface. And
In the sensor mounting portion, the light receiving surface of the infrared sensor extends from the opening of the spherical black body portion to the internal space so that the black body surface of the black body furnace corresponds to the angle of view of the infrared sensor. Holding the infrared sensor so as to be on the side,
The infrared sensor measurement device according to claim 1 or 2, wherein 前記黒体炉は、内面が略円筒形に彎曲した黒体面を有する略円筒型黒体部を、前記略円筒型黒体部の端面を互いに対向させて複数備えたものであり、
前記センサ載置部は、前記赤外線センサあるいは前記黒体炉の少なくともいずれかを移動することにより、前記略円筒型黒体部の黒体面と前記赤外線センサの画角とが対応するように前記赤外線センサを保持するとともに、
前記略円筒型黒体部のそれぞれの黒体面から、互いに異なる赤外線量の赤外線を放射するように前記略円筒型黒体部の温度を制御する温度制御部を備えた、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の赤外線センサ測定装置。 The black body furnace is provided with a plurality of substantially cylindrical black body portions having a black body surface whose inner surface is bent into a substantially cylindrical shape with the end surfaces of the substantially cylindrical black body portions facing each other.
The sensor placement unit moves at least one of the infrared sensor and the black body furnace, so that the black body surface of the substantially cylindrical black body unit corresponds to the angle of view of the infrared sensor. While holding the sensor,
A temperature control unit that controls the temperature of the substantially cylindrical black body part so as to radiate infrared rays of different infrared amounts from the respective black body surfaces of the substantially cylindrical black body part,
The infrared sensor measurement device according to claim 1 or 2, wherein 前記黒体炉は、凹面を内面とする彎曲した黒体面を有する彎曲型黒体部が複数互いに隣接して略円筒型に形成されたものであり、
前記センサ載置部は、前記赤外線センサを回転して、前記黒体炉の各黒体面と前記赤外線センサの画角とが対応するように前記赤外線センサを保持するとともに、
前記彎曲型黒体部のそれぞれの黒体面から、互いに異なる赤外線量の赤外線を放射するように前記彎曲型黒体部の温度を制御する温度制御部を備えた、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の赤外線センサ測定装置。 The black body furnace is formed in a substantially cylindrical shape adjacent to each other a plurality of curved black body portions having a curved black body surface with a concave surface as an inner surface,
The sensor placement unit rotates the infrared sensor to hold the infrared sensor so that each black body surface of the black body furnace corresponds to the angle of view of the infrared sensor,
A temperature control unit that controls the temperature of the curved black body portion so as to emit infrared rays of different infrared amounts from the respective black body surfaces of the curved black body portion,
The infrared sensor measurement device according to claim 1 or 2, wherein 前記センサ載置部の動作を制御する移動装置を備えた、
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の赤外線センサ測定装置。
A moving device for controlling the operation of the sensor placement unit;
The infrared sensor measuring apparatus according to claim 1, wherein the infrared sensor measuring apparatus is a single-sided infrared sensor measuring apparatus.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011215155A (en) * 2011-06-15 2011-10-27 Seiko Npc Corp Infrared sensor measuring device
CN104713699A (en) * 2015-02-04 2015-06-17 北京环境特性研究所 Measuring device and method for noise equivalent temperature differences of infrared camera in different environments
CN109297606A (en) * 2018-11-29 2019-02-01 烟台艾睿光电科技有限公司 Infrared thermal imaging temperature measurement component temperature calibration device and temperature calibration method
JP2020534513A (en) * 2017-08-09 2020-11-26 レオナルド・エッセ・ピ・ア Geometric and radiometric calibration and test equipment for electro-optical thermal IR instruments, with different angular spread heat having different geometries and thermal IR radiation with different hot-cold transitions. Geometric and radiometric calibration and testing equipment designed to simulate IR sources

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6266130A (en) * 1985-09-18 1987-03-25 Okazaki Seisakusho:Kk Minute cavity radiator device
JPH01280227A (en) * 1988-05-06 1989-11-10 Seiichi Okuhara Black body furnace
JPH0540059A (en) * 1991-08-07 1993-02-19 Natl Space Dev Agency Japan<Nasda> Radiometer calibration device
JPH0854284A (en) * 1994-08-11 1996-02-27 Chino Corp Temperature calibrating apparatus
JPH09292283A (en) * 1996-04-26 1997-11-11 Nippon Avionics Co Ltd Automatic forming device for temperature table for infrared thermal image device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6266130A (en) * 1985-09-18 1987-03-25 Okazaki Seisakusho:Kk Minute cavity radiator device
JPH01280227A (en) * 1988-05-06 1989-11-10 Seiichi Okuhara Black body furnace
JPH0540059A (en) * 1991-08-07 1993-02-19 Natl Space Dev Agency Japan<Nasda> Radiometer calibration device
JPH0854284A (en) * 1994-08-11 1996-02-27 Chino Corp Temperature calibrating apparatus
JPH09292283A (en) * 1996-04-26 1997-11-11 Nippon Avionics Co Ltd Automatic forming device for temperature table for infrared thermal image device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011215155A (en) * 2011-06-15 2011-10-27 Seiko Npc Corp Infrared sensor measuring device
CN104713699A (en) * 2015-02-04 2015-06-17 北京环境特性研究所 Measuring device and method for noise equivalent temperature differences of infrared camera in different environments
JP2020534513A (en) * 2017-08-09 2020-11-26 レオナルド・エッセ・ピ・ア Geometric and radiometric calibration and test equipment for electro-optical thermal IR instruments, with different angular spread heat having different geometries and thermal IR radiation with different hot-cold transitions. Geometric and radiometric calibration and testing equipment designed to simulate IR sources
JP7328209B2 (en) 2017-08-09 2023-08-16 レオナルド・エッセ・ピ・ア Geometric and radiometric calibration and test apparatus for electro-optical thermal IR instruments having different angular spread thermal with different geometries and with thermal IR emissions containing different hot-cold transitions Geometric and radiometric calibration and test equipment designed to simulate IR sources
CN109297606A (en) * 2018-11-29 2019-02-01 烟台艾睿光电科技有限公司 Infrared thermal imaging temperature measurement component temperature calibration device and temperature calibration method

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