JP2007271346A - Semiconductor integrated circuit - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor integrated circuit improving malfunction detection rate of a memory cell peripheral circuit at low power consumption. <P>SOLUTION: The semiconductor integrated circuit coping with scan test including scan cells 302, 316 for application of a test signal, scan cells 307, 319 for outputting the test signal, and a memory cell 301 includes a bypass path circuit 317 that is a circuit between an input terminal and an output terminal of the memory cell 301 and provided outside the memory cell 301, a mode setting means 60 for setting the memory cell 301 into a transparent mode or a bypass path mode, and a selection means 65 for selecting an output of the bypass path circuit 317 and an output of the memory cell 301 set by the mode setting means 60. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、メモリセル周辺回路の故障検出率を向上させ、低消費電力で行う半導体集積回路に関するものである。   The present invention relates to a semiconductor integrated circuit that improves the failure detection rate of a peripheral circuit of a memory cell and performs with low power consumption.

ASIC(Application Specific Integrated Circuit)等に代表される大規模集積回路(LSI:Large Scale Integration)は、内部回路の複雑化、高密度及び高集積化等、加速度的に進展しており、このような半導体技術の進展に伴い、製造されるLSIに対する出荷検査(テスト)技術も様々な方式が提案されている。   Large scale integration (LSI: Large Scale Integration) represented by ASIC (Application Specific Integrated Circuit) etc. is accelerating as internal circuits become more complex, dense and highly integrated. Along with the progress of semiconductor technology, various methods of shipping inspection (test) technology for manufactured LSIs have been proposed.

大規模集積回路(以下、「LSI」と言う。)のテストは、テストパターン生成(TPG:Test Pattern Generator )により生成されたテストデータを、被検査対象回路(CUT:Circuit Under Test)へ入力し、出力解析(ORA:Output Response Analyser)により、被検査対象回路(以下、「CUT」と言う。)からの出力が、正常パターンである期待値と一致しているか否かを判断し、出荷検査を行うものであり、大きく分けて、LSIテスタ等のチップ外のテスタを用いて行う外部テストと、チップ上に搭載された簡易なテスタを用いて行う組み込み自己テスト(BIST:Built-In Self Test)がある。   For testing large-scale integrated circuits (hereinafter referred to as “LSI”), the test data generated by the test pattern generator (TPG) is input to the circuit under test (CUT). The output analysis (ORA: Output Response Analyzer) determines whether the output from the circuit to be inspected (hereinafter referred to as “CUT”) matches the expected value that is a normal pattern. Broadly divided, external test using an external tester such as LSI tester and built-in self test (BIST: Built-In Self Test) using a simple tester mounted on the chip. )

また、上記LSIのテストを実施するテスト工程において取り扱われる故障モデルは、製造工程で起こりうる故障原因を考えると、一様に取り扱うことはできないが、縮退故障モデルを適用するのが一般的と言われ、実用的に十分であると認知されている。   In addition, the failure model handled in the test process for carrying out the above-mentioned LSI test cannot be handled uniformly considering the cause of the failure that may occur in the manufacturing process, but it is generally said that the stuck-at fault model is applied. It is recognized that it is practically sufficient.

そのため、製造されたLSIに対するテスト工程では、縮退故障に対する故障検出率の向上やテストコストの削減する手法が注目され、現在、論理設計の段階から、故障検出率の向上及びコストの削減を考慮し、出荷テストを容易化するための様々なテスト容易化設計(DTF:Design For Testability)手法が提案されている。その設計手法には、回路の縮退故障を検査するテスト方式であるスキャンテストに対応し、LSI内部のロジック回路であるCUTの前段と後段にDフリップフロップ(D-Flip Flop)から構成するスキャンセル(又は、スキャンレジスタ)を設け、その間にテスト回路を付加し、内部素子の状態を外部へ出力することで、LSI内部のロジック回路の故障検出を行うロジック・スキャン設計手法がある。   For this reason, in the test process for manufactured LSIs, attention has been focused on techniques for improving fault coverage and reducing test costs for stuck-at faults, and considering the improvement of fault coverage and cost reduction from the logic design stage. Various design for testability (DTF) methods for facilitating the shipping test have been proposed. The design method corresponds to a scan test, which is a test method for inspecting stuck-at faults in a circuit, and a scan cell consisting of D flip-flops at the front and rear stages of the CUT, which is the logic circuit inside the LSI. There is a logic scan design method in which a failure is detected in a logic circuit in an LSI by providing a (or scan register), adding a test circuit therebetween, and outputting the state of an internal element to the outside.

このような手法により設計されたLSIは、テスト工程において、LSIテスタを用いて、ATPG(Automatic Test Pattern Generation)ツールで生成されたテストパターンを外部端子から入力し、出力端子からの応答結果によりLSI内部のCUTを観測、その結果、縮退故障を検出することができる。   An LSI designed by such a method uses an LSI tester to input a test pattern generated by an ATPG (Automatic Test Pattern Generation) tool from an external terminal in the test process. Observe the internal CUT and as a result, detect stuck-at faults.

そのため、複数個のメモリセルを搭載しているLSIのテストにおいて、もし、メモリセル周辺回路に対し、テスト工程におけるテスト方法に対応した対策(テスト回路付加)を行わず、テストを実施した場合、メモリセルはブラックボックスとして扱われ、メモリセルからの出力データが関係するメモリセル周辺回路は、シャドーロジック(故障検出不可能な回路)と言われる、外部端子からの制御及び観測不可能なロジックコーン(FFを頂点とする組み合わせ回路)が存在することになり、メモリセル周辺回路の故障検出率を低下させてしまう。   Therefore, in testing LSIs with multiple memory cells, if the test is performed without taking measures (test circuit addition) corresponding to the test method in the test process for the memory cell peripheral circuit, The memory cell is treated as a black box, and the memory cell peripheral circuit related to the output data from the memory cell is called a shadow logic (a circuit in which failure cannot be detected), which is a logic cone that cannot be controlled and observed from an external terminal. (Combination circuit having FF as a vertex) exists, and the failure detection rate of the memory cell peripheral circuit is lowered.

そこで、メモリセル周辺回路における対策方法として、アドレス入力に対しては、複数個の排他的論理和(XOR:eXclusive OR)回路をツリー状に構成した組み合わせ回路を用いて、アドレス入力信号を集約し、観測する方法がある。また、データ入出力に対しては、メモリセルを停止させた状態で、メモリセルに対して入力されるデータを、メモリセルの入力端子から出力端子へ迂回させる迂回パス回路を用いて、データ入力信号を観測する方法や、メモリセルのアドレス端子に入力されるアドレスデータ、ライトイネーブル(WEN:write enable)端子及びチップイネーブル(CEN:chip enable)端子に入力される信号、クロックCLK(clock)端子に入力されるシステムクロックを制御することで、メモリセルの入力データが一定時間後に、順次、出力データとして読み出されるトランスペアレントモードとして動作させ、データ入出力信号を観測する方法が挙げられる。   Therefore, as a countermeasure against memory cell peripheral circuits, address input signals are aggregated using a combinational circuit that consists of a plurality of exclusive OR (XOR) circuits in a tree shape for address input. There is a way to observe. For data input / output, data input using a bypass path circuit that bypasses the data input to the memory cell from the input terminal to the output terminal of the memory cell while the memory cell is stopped. Signal observation method, address data input to memory cell address terminal, signal input to write enable (WEN) terminal and chip enable (CEN) terminal, clock CLK (clock) terminal By controlling the system clock input to the memory cell, there is a method of observing data input / output signals by operating as a transparent mode in which the input data of the memory cell is sequentially read as output data after a certain time.

近年の半導体技術を考慮すると、LSIが搭載する複数個のメモリセルに対し、同時にテストを実行した場合、テスト実行時の回路活性化率が高く、消費電力や電流、熱等により、テストが不安定となる問題があるため、テスト時の消費電力量を少なくし、安定した状態でテストを行う必要がある。そのため、上記2つの方法のうち、どちらをテスト対策に用いるかについては、メモリセルを停止させた状態でテストを行うことができる、迂回パス回路が用いられている。   Considering semiconductor technology in recent years, when a test is simultaneously performed on a plurality of memory cells mounted on an LSI, the circuit activation rate during the test execution is high, and the test is not possible due to power consumption, current, heat, etc. Since there is a problem of stability, it is necessary to reduce power consumption during testing and perform testing in a stable state. Therefore, as to which of the above two methods is used as a test measure, a bypass path circuit that can perform a test with the memory cell stopped is used.

しかしながら、メモリセル周辺回路のテストにおいて、迂回パス回路を用いる方法は、メモリセルからの出力データと、メモリセルからの出力データを取り込む端子と、メモリセルを迂回させたデータを選択する回路における選択信号が入力するノードの故障検出ができず、各メモリセルからの出力データとメモリセルを迂回させた各データを選択する回路は、出力端子の数だけテスト箇所が存在するため、未検出の故障箇所が増加してしまうことが懸念される。   However, in the test of the peripheral circuit of the memory cell, the method of using the bypass path circuit is the selection in the circuit that selects the output data from the memory cell, the terminal that takes in the output data from the memory cell, and the data that bypasses the memory cell. The failure of the node to which the signal is input cannot be detected, and the circuit that selects the output data from each memory cell and each data that bypasses the memory cell has as many test points as there are output terminals, so an undetected failure There is concern that the number of locations will increase.

一方、メモリセルをトランスペアレントモードとして動作させる方法は、トランスペアレントモードとしてメモリセルを動作させるため、メモリセルのアドレス入力端子へ入力される信号が0に固定されており、0縮退故障との判別がつかないため、メモリセルのアドレス入力に関する周辺回路の故障検出率を低下させてしまう。また、テスト時の消費電力や安定性を考慮し、LSIが搭載するメモリセル全てを同時に動作させないように、メモリセルのクロック(以下、「CLK」と言う。)端子に入力するシステムクロック及びチップイネーブル(以下、「CEN」と言う。)端子に入力する信号を制御し、特定のメモリセルのみ動作させテストを実施した場合、停止させたメモリセルはシャドーロジックとなるため、複数のメモリセルのデータ出力を1つの比較器に取り込む回路によりテストを行う、メモリ組み込み自己テスト(以下、「メモリBIST」と言う。)の故障検出率を低下させてしまう。   On the other hand, in the method of operating the memory cell in the transparent mode, since the memory cell is operated in the transparent mode, the signal input to the address input terminal of the memory cell is fixed to 0, so that it can be distinguished from 0 stuck-at fault. Therefore, the failure detection rate of the peripheral circuit relating to the address input of the memory cell is lowered. In consideration of power consumption and stability during testing, the system clock and chip that are input to the memory cell clock (hereinafter referred to as “CLK”) terminal are used so that all memory cells mounted on the LSI are not operated simultaneously. When a test is performed by controlling a signal input to an enable (hereinafter referred to as “CEN”) terminal and operating only a specific memory cell, the stopped memory cell becomes shadow logic. This reduces the failure detection rate of the memory built-in self test (hereinafter referred to as “memory BIST”), which tests using a circuit that captures the data output into a single comparator.

本発明は、上記従来技術の問題点を鑑み、メモリセル周辺回路の故障検出率を向上させ、低消費電力で行う半導体集積回路を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a semiconductor integrated circuit which improves the failure detection rate of a peripheral circuit of a memory cell and performs with low power consumption in view of the problems of the conventional technology.

上記目的を達成するため、本発明の半導体集積回路は、テスト信号を印加するスキャンセルと、テスト信号を出力するスキャンセルと、メモリセルとを有するスキャンテストに対応した半導体集積回路であって、前記メモリセルの入力端子と出力端子間の回路であって、前記メモリセルの外に設けられた迂回パス回路と、前記メモリセルをトランスペアレントモード又は迂回パスモードへ設定する、モード設定手段と、前記迂回パス回路の出力と、前記モード設定手段により設定された前記メモリセルの出力とを選択する、選択手段とを備えるように構成することができる。尚、上記スキャンセルは、スキャンレジスタを含む。   To achieve the above object, a semiconductor integrated circuit according to the present invention is a semiconductor integrated circuit corresponding to a scan test having a scan cell for applying a test signal, a scan cell for outputting a test signal, and a memory cell, A circuit between an input terminal and an output terminal of the memory cell, a bypass path circuit provided outside the memory cell, and mode setting means for setting the memory cell to a transparent mode or a bypass path mode; Selection means for selecting the output of the bypass path circuit and the output of the memory cell set by the mode setting means can be provided. The scan cell includes a scan register.

これによって、本発明の半導体集積回路は、迂回パス回路を用いてテストを行うか、トランスペアレントモデルとしてテストを行うかを選択することができ、メモリセル周辺回路の故障検出率を向上させ、低消費電力でテストを行うことができる。   As a result, the semiconductor integrated circuit of the present invention can select whether to perform a test using a bypass path circuit or to perform a test as a transparent model, improve the fault detection rate of the peripheral circuit of the memory cell, and reduce the consumption. Tests can be done with electricity.

また、上記目的を達成するため、本発明の半導体集積回路は、前記メモリセル毎に、前記迂回パスモードであるか、又はトランスペアレントモードであるかを指示する命令コードを、一時的に保持する、インストラクションレジスタと、前記インストラクションレジスタに保持された命令コードを解読する、インストラクションデコーダと、前記インストラクションデコーダにより解読された、前記メモリセルに対応したモード設定信号を、一時的に保持する、モード設定信号レジスタとを有し、テストスキャン時に、前記モード設定信号レジスタの信号を読み出すように構成することができる。   In order to achieve the above object, the semiconductor integrated circuit of the present invention temporarily holds an instruction code that indicates whether the bypass path mode or the transparent mode is used for each memory cell. An instruction register, an instruction decoder for decoding an instruction code held in the instruction register, and a mode setting signal register for temporarily holding a mode setting signal corresponding to the memory cell decoded by the instruction decoder The mode setting signal register can be read out during a test scan.

これによって、本発明の半導体集積回路は、メモリセル毎に、迂回パス回路を用いてテストを行うか、トランスペアレントモデルとしてテストを行うかを制御することができる。   Thus, the semiconductor integrated circuit of the present invention can control whether to perform a test using a bypass path circuit or a test as a transparent model for each memory cell.

また、上記目的を達成するため、本発明の半導体集積回路は、前記選択手段に対し、選択信号を発生する、選択信号発生手段を有し、前記選択信号発生手段は、前記モード設定信号レジスタから読み出された、前記モード設定信号に基づき、前記テスト信号を、前記選択手段に供給するように構成することができる。   In order to achieve the above object, the semiconductor integrated circuit of the present invention has selection signal generation means for generating a selection signal for the selection means, and the selection signal generation means is connected to the mode setting signal register. The test signal may be supplied to the selection unit based on the read mode setting signal.

これによって、本発明の半導体集積回路は、迂回パス回路を用いたモード(以下、「迂回パスモード」と言う。)と、トランスペアレントモードで、メモリセル入出力データに関するテストを行う際に使用するデータ信号を、迂回パス回路からのデータ信号かメモリセルから出力されたデータ信号か選択することができる。   As a result, the semiconductor integrated circuit according to the present invention uses data that is used when testing memory cell input / output data in a mode using a detour path circuit (hereinafter referred to as a “detour path mode”) and a transparent mode. The signal can be selected between the data signal from the bypass path circuit and the data signal output from the memory cell.

また、上記目的を達成するため、本発明の半導体集積回路は、前記メモリセルに対し、アドレスを設定する、アドレス設定手段を有し、前記アドレス設定手段は、前記モード設定信号レジスタから読み出された、前記モード設定信号に基づき、前記テスト信号を、前記メモリセルのアドレス入力データとするように構成することができる。   In order to achieve the above object, the semiconductor integrated circuit of the present invention has address setting means for setting an address for the memory cell, and the address setting means is read from the mode setting signal register. Further, the test signal can be configured as address input data of the memory cell based on the mode setting signal.

これによって、本発明の半導体集積回路は、テスト信号を、メモリセルのアドレス値として入力することができ、メモリセルの動作モード設定に従い、アドレスへの入力データを制御することができる。   Thus, the semiconductor integrated circuit of the present invention can input a test signal as an address value of the memory cell, and can control input data to the address according to the operation mode setting of the memory cell.

また、上記目的を達成するため、本発明の半導体集積回路は、前記メモリセルの動作を制御する制御信号を、前記メモリセルのチップイネーブル端子に供給する、動作制御信号供給手段を有し、前記動作制御信号供給手段は、前記モード設定信号レジスタから読み出された、前記モード設定信号に基づき、前記制御信号を、前記メモリセルのチップイネーブル端子へ供給するように構成することができる。   In order to achieve the above object, the semiconductor integrated circuit of the present invention has operation control signal supply means for supplying a control signal for controlling the operation of the memory cell to a chip enable terminal of the memory cell, The operation control signal supply means can be configured to supply the control signal to the chip enable terminal of the memory cell based on the mode setting signal read from the mode setting signal register.

これによって、本発明の半導体集積回路は、前記メモリセルへのデータ書き込み及び前記メモリセルの動作制御を行うことができ、メモリセルをトランスペアレントモードで動作させることができる。   Accordingly, the semiconductor integrated circuit of the present invention can perform data writing to the memory cell and operation control of the memory cell, and can operate the memory cell in a transparent mode.

また、上記目的を達成するため、本発明の半導体集積回路は、クロックを反転させる、クロック反転手段を有し、前記クロック反転手段は、前記モード設定信号レジスタから読み出された、前記モード設定信号に基づき、クロックを反転するように構成することができる。   In order to achieve the above object, a semiconductor integrated circuit according to the present invention has clock inversion means for inverting a clock, and the clock inversion means reads the mode setting signal read from the mode setting signal register. Based on the above, the clock can be inverted.

これによって、本発明の半導体集積回路は、クロック信号を反転することができ、トランスペアレントモード動作時に、メモリセルのCLK端子へ、反転されたクロック信号を入力することができ、トランスペアレントモデル動作時に、メモリセルへ入力されたデータを、順次、読み出すことができる。   Thus, the semiconductor integrated circuit of the present invention can invert the clock signal, and can input the inverted clock signal to the CLK terminal of the memory cell during the transparent mode operation. Data input to the cell can be read sequentially.

本発明は、メモリセル周辺回路の故障検出率を向上させ、低消費電力で行う半導体集積回路を提供することができる。   The present invention can provide a semiconductor integrated circuit that improves the failure detection rate of the peripheral circuit of the memory cell and performs with low power consumption.

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

まず、メモリセル周辺回路におけるテスト対策方法である迂回パス回路を用いた場合の回路構成について説明する。   First, a circuit configuration in the case of using a bypass path circuit, which is a test countermeasure method in a memory cell peripheral circuit, will be described.

図1は、本発明に係るLSI内部のメモリセル101及び迂回パス回路を用いたメモリセル周辺回路の構成例を示す図である。   FIG. 1 is a diagram showing a configuration example of a memory cell peripheral circuit using a memory cell 101 and a bypass path circuit in an LSI according to the present invention.

メモリセル101は、フリップフロップ(Flip Flop)等の順序回路を用いてデータを記憶するRAM(Random Access Memory)、同期式SRAM(Static Random Access Memory)である。   The memory cell 101 is a RAM (Random Access Memory) that stores data using a sequential circuit such as a flip-flop (Flip Flop) or a synchronous SRAM (Static Random Access Memory).

メモリセル101は、アドレス入力端子n+1ビット(A0〜An)、データ入力端子n+1ビット(Di0〜Din)、データ出力端子n+1ビット(Do0〜Don)、ライトイネーブル(WEN:write enable)端子、CEN端子、CLK端子を備えている。   The memory cell 101 has an address input terminal n + 1 bit (A0 to An), a data input terminal n + 1 bit (Di0 to Din), a data output terminal n + 1 bit (Do0 to Don), and a write enable (WEN: write). enable) terminal, CEN terminal, and CLK terminal.

メモリセル101は、CEN端子へ0(L:Low)の信号が印加された時に動作可能(ローアクティブ:low active)な状態となる。また、メモリセル101は、ライトイネーブル(以下、「WEN」と言う。)端子へ0(L)の信号が印加された時に、データ書き込みが可能となる。また、メモリセル101は、リードイネーブル(REN:read enable)が常に動作可能となっている。   The memory cell 101 becomes operable (low active) when a 0 (L: Low) signal is applied to the CEN terminal. The memory cell 101 can write data when a 0 (L) signal is applied to a write enable (hereinafter referred to as “WEN”) terminal. Further, the memory cell 101 is always operable in a read enable (REN).

メモリセル101は、CEN、WENがローアクティブ時に、クロック(以下、「CLK」と言う。)端子へ、クロック信号が印加され、データ入力端子(Di0〜Din)へデータ信号が印加された場合、メモリ内へデータが書き込まれ、格納される。また、メモリセル101は、CENがローアクティブ時に、アドレス入力端子(A0〜An)へアドレス入力信号が印加された場合、格納されたデータを、データ出力端子(Do0〜Don)から読み出すことができる。   In the memory cell 101, when CEN and WEN are low active, a clock signal is applied to a clock (hereinafter referred to as “CLK”) terminal and a data signal is applied to a data input terminal (Di0 to Din). Data is written and stored in the memory. The memory cell 101 can read stored data from the data output terminals (Do0 to Don) when an address input signal is applied to the address input terminals (A0 to An) when CEN is low active. .

次に、LSI内部のメモリセル周辺回路は、迂回パス回路108、スキャンセル(スキャンレジスタを含む。)102、104、105、107、110、選択回路(MUX:multiplexer)106、109、組み合わせ回路103を備えている。   Next, the memory cell peripheral circuit in the LSI includes a bypass path circuit 108, scan cells (including scan registers) 102, 104, 105, 107, 110, selection circuits (MUX: multiplexers) 106, 109, and a combinational circuit 103. It has.

迂回パス回路108は、メモリセル101のデータ入力端子(Di0〜Din)とデータ出力端子(Do0〜Don)間の回路であって、メモリセル101を迂回するように構成された回路である。迂回パス回路108は、データ人力信号を、メモリセル101の後段の回路へ出力する。   The bypass path circuit 108 is a circuit between the data input terminals (Di0 to Din) and the data output terminals (Do0 to Don) of the memory cell 101, and is configured to bypass the memory cell 101. The bypass path circuit 108 outputs the data human power signal to a circuit subsequent to the memory cell 101.

スキャンセル102、104、105、107、110は、入力端子(D)、出力端子(Q)、CLK端子を備えたDフリップフロップ(以下、「D-FF」と言う。)で、印加された信号を一時的に保持し、クロック信号で、保持した信号を出力するができる。また、スキャンセル102、104、105、107、110は、アドレス入力及びデータ入出力のテストを行う際に、テスト信号の印加(制御)、テスト後の信号出力(観測)先として使用される。アドレス入力のテストでは、テスト信号がスキャンセル102へ印加され、テスト後の信号がスキャンセル104へ出力される。また、データ入出力のテストでは、テスト信号がスキャンセル107へ印加され、テスト後の信号がスキャンセル110へ出力される。スキャンセル105は、WEN端子及びCEN端子へ入力するための制御信号が印加される。   The scan cells 102, 104, 105, 107, and 110 were applied by a D flip-flop (hereinafter referred to as “D-FF”) having an input terminal (D), an output terminal (Q), and a CLK terminal. The signal can be temporarily held, and the held signal can be output as a clock signal. Further, the scan cells 102, 104, 105, 107, and 110 are used as test signal application (control) and signal output (observation) destinations after the test when performing address input and data input / output tests. In the address input test, a test signal is applied to the scan cell 102 and a signal after the test is output to the scan cell 104. In the data input / output test, a test signal is applied to the scan cell 107 and a signal after the test is output to the scan cell 110. The scan cell 105 is applied with a control signal for inputting to the WEN terminal and the CEN terminal.

選択回路(以下、「MUX」と言う。)106、109は、複数個の入力端子、制御信号入力端子、出力端子を備えており、2つ以上の入力信号を、入力信号を選択制御信号に基づき選択し、1つの信号として出力する回路である。   The selection circuits (hereinafter referred to as “MUX”) 106 and 109 each have a plurality of input terminals, a control signal input terminal, and an output terminal. Two or more input signals can be used as input control signals. A circuit that selects and outputs as one signal.

MUX106は、テスト時と通常動作時によるメモリセル周辺回路の動作切り換えを制御する信号に基づき、メモリセル101のWEN端子、CEN端子へ印加する信号を切り換える。   The MUX 106 switches a signal to be applied to the WEN terminal and CEN terminal of the memory cell 101 based on a signal for controlling the operation switching of the memory cell peripheral circuit during the test and the normal operation.

MUX109は、テスト時と通常動作時によるメモリセル周辺回路の動作切り換えを制御する信号に基づき、迂回パス回路108から出力された信号と、メモリセル101のデータ出力端子(Do0〜Don)から出力された信号とを切り換えて出力する。   The MUX 109 is output from a signal output from the detour path circuit 108 and a data output terminal (Do0 to Don) of the memory cell 101 based on a signal for controlling switching of the operation of the memory cell peripheral circuit between the test and the normal operation. The signal is switched and output.

組み合わせ回路103は、複数個の排他的論理和(以下、「XOR」と言う。)回路をツリー状に構成した組み合わせ回路である。組み合わせ回路103は、アドレス入力信号を集約する。   The combinational circuit 103 is a combinational circuit in which a plurality of exclusive OR (hereinafter referred to as “XOR”) circuits are configured in a tree shape. The combinational circuit 103 collects address input signals.

次に、メモリセル101及び迂回パス回路を用いたメモリセル周辺回路は、ATPGEN信号、SCANEN信号、SYSTEM_CLK信号により制御される。   Next, the memory cell 101 and the memory cell peripheral circuit using the bypass path circuit are controlled by the ATPGEN signal, the SCANEN signal, and the SYSTEM_CLK signal.

ATPGEN信号は、メモリセル周辺回路において、テスト時と通常動作時の動作切り換えを制御する信号であり、ATPGEN信号が1(H)の場合、テスト状態へ、ATPGEN信号が0(L)の場合、通常動作状態へ遷移するように制御する。ATPGEN信号は、MUX106、109の制御信号入力端子へ印加される。   The ATPGEN signal is a signal that controls the operation switching between the test and normal operation in the memory cell peripheral circuit. When the ATPGEN signal is 1 (H), the test state is entered. When the ATPGEN signal is 0 (L), Control to transition to the normal operation state. The ATPGEN signal is applied to the control signal input terminals of the MUXs 106 and 109.

SCANEN信号は、メモリセル101の動作を制御する信号であり、SCANEN信号が1(H)の場合、メモリセル101を停止状態へ、SCANEN信号が0(L)の場合、メモリセル101を書き込み可能な動作状態へ遷移するように制御する。SCANEN信号は、MUX106の入力端子へ印加され、ATPGEN信号が1(H)の場合、メモリセル101のWEN端子、CEN端子へ印加される。   The SCANEN signal is a signal that controls the operation of the memory cell 101. When the SCANEN signal is 1 (H), the memory cell 101 can be stopped, and when the SCANEN signal is 0 (L), the memory cell 101 can be written. Control to transition to a different operating state. The SCANEN signal is applied to the input terminal of the MUX 106. When the ATPGEN signal is 1 (H), the SCANEN signal is applied to the WEN terminal and the CEN terminal of the memory cell 101.

SYSTEM_CLK信号は、システムクロック信号である。SYSTEM_CLK信号は、システムクロックと同期して動作するメモリセル101のCLK端子へ印加される。   The SYSTEM_CLK signal is a system clock signal. The SYSTEM_CLK signal is applied to the CLK terminal of the memory cell 101 that operates in synchronization with the system clock.

以下に、迂回パス回路108を用いた方法によるテスト動作の流れについて説明する。   Hereinafter, the flow of the test operation by the method using the bypass path circuit 108 will be described.

まず、迂回パス回路を用いる方法では、テスト状態を示す1(H)のATPGEN信号を発行し、MUX106、109の制御信号入力端子へ印加される。次に、低消費電力でテストを行うために、1(H)のSCANEN信号を発行し、0(L)のSYSTEM_CLK信号を発行する。その結果、メモリセル101のWEN端子及びCEN端子には、1(H)のATPGEN信号に基づき、MUX106によりSCANEN信号が選択され、1(H)のSCANEN信号が印加され、メモリセル101のCLK端子には、0(L)のSYSTEM_CLK信号が印加され、メモリセル101の動作を停止する。   First, in a method using a bypass path circuit, a 1 (H) ATPGEN signal indicating a test state is issued and applied to the control signal input terminals of the MUXs 106 and 109. Next, in order to perform the test with low power consumption, the SCANEN signal of 1 (H) is issued and the SYSTEM_CLK signal of 0 (L) is issued. As a result, the SCANEN signal is selected by the MUX 106 based on the 1 (H) ATPGEN signal, the 1 (H) SCANEN signal is applied to the WEN terminal and the CEN terminal of the memory cell 101, and the CLK terminal of the memory cell 101 Is applied with a SYSTEM_CLK signal of 0 (L), and the operation of the memory cell 101 is stopped.

アドレス入力に関するメモリセル周辺回路のテストは、アドレス入力データとしてスキャンセル102へ印加されたテスト信号が、組み合わせ回路103により集約され、集約された信号を、スキャンセル104で観測し、観測された信号が、正常パターンの期待値と一致しているか否かを判定する。   In the test of the memory cell peripheral circuit related to address input, test signals applied to the scan cell 102 as address input data are aggregated by the combinational circuit 103, and the aggregated signal is observed by the scan cell 104. Is equal to the expected value of the normal pattern.

また、迂回パス回路108を用いた入出力データに関するメモリセル周辺回路のテストは、入力データとしてスキャンセル107へ印加されたテスト信号が、迂回パス回路108を介して、MUX109の入力端子へ印加され、1(H)のATPGE信号に基づき、印加されたテスト信号がMUX109により選択され、選択されたテスト信号がMUX109の出力端子から出力される。その後、MUX109から出力されたテスト信号は、後段の組み合わせ回路を介して、スキャンセル110へ印加され、スキャンセル110により観測された信号が、正常パターンの期待値を一致しているか否かを判定する。   In the test of the memory cell peripheral circuit related to input / output data using the bypass path circuit 108, the test signal applied to the scan cell 107 as input data is applied to the input terminal of the MUX 109 via the bypass path circuit 108. , 1 (H) based on the ATPGE signal, the applied test signal is selected by the MUX 109, and the selected test signal is output from the output terminal of the MUX 109. Thereafter, the test signal output from the MUX 109 is applied to the scan cell 110 via a combinational circuit at the subsequent stage, and it is determined whether or not the signal observed by the scan cell 110 matches the expected value of the normal pattern. To do.

このように、迂回パス回路108を用いた方法は、低消費電力でテストを行うことができる。   As described above, the method using the detour path circuit 108 can perform the test with low power consumption.

しかし、迂回パス回路108を用いた方法は、入出力データに関するメモリセル101後段の周辺回路において、メモリセル101からの出力データと、メモリセル101の出力端子からMUX109の入力端子間のパスと、MUX109におけるATPGEN信号の入力端子が、テストされず、故障検出ができない。また、メモリセル101の出力端子からMUX109の入力端子間のパスとMUX109は、出力端子の数だけ存在するため、未検出の故障箇所が増加してしまう問題がある。   However, in the method using the bypass path circuit 108, the output data from the memory cell 101 and the path between the output terminal of the memory cell 101 and the input terminal of the MUX 109 in the peripheral circuit downstream of the memory cell 101 related to input / output data, The input terminal for the ATPGEN signal in the MUX 109 is not tested and failure detection is not possible. In addition, since there are as many MUXs 109 as there are paths between the output terminals of the memory cell 101 and the input terminals of the MUX 109, there is a problem in that the number of undetected faults increases.

次に、メモリセル周辺回路におけるテスト対策方法であるトランスペアレントモードを用いた場合の回路構成について説明する。   Next, a circuit configuration in the case of using the transparent mode which is a test countermeasure method in the memory cell peripheral circuit will be described.

まず、トランスペアレントモードについて説明する。   First, the transparent mode will be described.

トランスペアレントモードとは、メモリセル201のアドレス入力端子(A0〜An)、WEN端子、CEN端子、CLK端子へ印加される信号を制御し、メモリセル201のデータ入力端子(Di0〜Din)へ入力されるデータを、一時的に保持し(キャプチャ動作)、順次、データ出力端子(Do0〜Don)からデータを出力(シフト動作)するように動作させるものであり、クロック信号と同期して動作するものである。よって、トランスペアレントモードは、メモリセル201をバッファセルのように動作させるものである。   In the transparent mode, signals applied to the address input terminals (A0 to An), WEN terminal, CEN terminal, and CLK terminal of the memory cell 201 are controlled and input to the data input terminals (Di0 to Din) of the memory cell 201. Data is temporarily stored (capture operation), and data is output (shift operation) sequentially from the data output terminals (Do0 to Don), and operates in synchronization with the clock signal. It is. Therefore, in the transparent mode, the memory cell 201 is operated like a buffer cell.

図2は、本発明に係るLSI内部のメモリセル201及びトランスペアレントモードのメモリセル周辺回路の構成例を示す図である。   FIG. 2 is a diagram showing a configuration example of the memory cell 201 and the transparent mode memory cell peripheral circuit in the LSI according to the present invention.

図2におけるメモリセル201およびメモリセル周辺回路の構成と、図1の回路の構成と違いは、入力データを迂回させる迂回パス回路108及び出力データを選択するMUX109がなく、メモリセル201をトランスペアレントモードとして動作させるための回路が付加された点であり、図2のメモリセル201及びメモリセル周辺回路が備える、スキャンセル(スキャンレジスタを含む。)202、206、207、211、212、MUX208、組み合わせ回路205は、図1の構成例で示す、スキャンセル102、104、105、107、110、MUX106、組み合わせ回路103と同じである。   The configuration of the memory cell 201 and the memory cell peripheral circuit in FIG. 2 is different from the configuration of the circuit in FIG. 1 in that there is no bypass path circuit 108 for bypassing input data and MUX 109 for selecting output data, and the memory cell 201 is set in a transparent mode. As shown in FIG. 2, the scan cells (including scan registers) 202, 206, 207, 211, 212, MUX 208, and combinations included in the memory cell 201 and the memory cell peripheral circuit in FIG. The circuit 205 is the same as the scan cells 102, 104, 105, 107, 110, the MUX 106, and the combinational circuit 103 shown in the configuration example of FIG.

よって、図2の説明では、図1と同様の構成例の説明を省略し、トランスペアレントモードを用いる方法において、付加された回路についてのみ説明する。   Therefore, in the description of FIG. 2, description of the same configuration example as in FIG. 1 is omitted, and only the added circuit in the method using the transparent mode will be described.

LSI内部のメモリセル周辺回路は、スキャンセル(スキャンレジスタを含む。)202、206、207、211、212、MUX208、210、組み合わせ回路205、反転(NOT)回路203、209、論理積(AND)回路204を備えている。   Memory cell peripheral circuits in the LSI include scan cells (including scan registers) 202, 206, 207, 211, 212, MUX 208, 210, combinational circuit 205, inverting (NOT) circuits 203, 209, and logical product (AND). A circuit 204 is provided.

論理積(以下、「AND」と言う。)回路204は、入力信号に対し、論理積演算を行い、演算結果を出力する回路で、各アドレス入力端子(A0〜An)の前段に備えられている。AND回路204は、アドレス入力の信号と、テスト時と通常動作時の動作切り換えを制御する信号との論理積演算を行う。   A logical product (hereinafter referred to as “AND”) circuit 204 performs a logical product operation on an input signal and outputs a result of the operation. The circuit 204 is provided in front of each address input terminal (A0 to An). Yes. The AND circuit 204 performs an AND operation between an address input signal and a signal for controlling operation switching between a test and a normal operation.

反転(以下、「NOT」と言う。)回路203、209は、入力した信号を反転させ出力する回路で、NOT回路203は、テスト時と通常動作時のアドレス入力信号を制御するための信号を、NOT回路209はクロック信号を反転させる。   Inverting (hereinafter referred to as “NOT”) circuits 203 and 209 are circuits that invert an input signal and output the signal. The NOT circuit 203 outputs a signal for controlling an address input signal during a test and a normal operation. The NOT circuit 209 inverts the clock signal.

MUX210は、テスト時と通常動作時のクロック信号を制御する信号に基づき、反転したクロック信号と通常のクロック信号とを切り換え出力する。   The MUX 210 switches and outputs an inverted clock signal and a normal clock signal based on a signal for controlling a clock signal during a test and a normal operation.

次に、メモリセル201及びトランスペアレントモードのメモリセル周辺回路は、ATPGEN信号、SCANEN信号、SYSTEM_CLK信号により制御される。   Next, the memory cell 201 and the transparent mode memory cell peripheral circuit are controlled by the ATPGEN signal, the SCANEN signal, and the SYSTEM_CLK signal.

ATPGEN信号は、メモリセル周辺回路において、テスト時と通常動作時の動作切り換えを制御する信号であり、ATPGEN信号が1(H)の場合、テスト状態へ、ATPGEN信号が0(L)の場合、通常動作状態へ遷移するように制御する。ATPGEN信号は、MUX208、210の制御信号入力端子へ、NOT回路203の入力端子へ印加される。   The ATPGEN signal is a signal that controls the operation switching between the test and normal operation in the memory cell peripheral circuit. When the ATPGEN signal is 1 (H), the test state is entered. When the ATPGEN signal is 0 (L), Control to transition to the normal operation state. The ATPGEN signal is applied to the control signal input terminals of the MUXs 208 and 210 and to the input terminal of the NOT circuit 203.

SCANEN信号は、メモリセル201の動作を制御する信号であり、SCANEN信号が1(H)の場合、メモリセル201へ一時的に保持されたデータをデータ出力端子(Do0〜Don)から読み出すシフト動作状態へ、SCANEN信号が0(L)の場合、データ入力端子(Di0〜Din)から入力されたデータをメモリセル201へ一時的に保持するキャプチャ動作状態へ遷移するように制御する。SCANEN信号は、MUX208の入力端子へ印加され、ATPGEN信号が1(H)の場合、メモリセル201のWEN端子、CEN端子へ印加される。   The SCANEN signal is a signal for controlling the operation of the memory cell 201. When the SCANEN signal is 1 (H), a shift operation for reading data temporarily held in the memory cell 201 from the data output terminals (Do0 to Don). When the SCANEN signal is 0 (L), control is performed so as to transit to a capture operation state in which data input from the data input terminals (Di0 to Din) is temporarily held in the memory cell 201. The SCANEN signal is applied to the input terminal of the MUX 208, and when the ATPGEN signal is 1 (H), it is applied to the WEN terminal and CEN terminal of the memory cell 201.

SYSTEM_CLK信号は、システムクロック信号である。SYSTEM_CLK信号は、MUX210の入力端子へ、NOT回路209の入力端子へ印加され、ATPGEN信号が1(H)の場合、NOT回路209により反転されたクロック信号が、ATPGEN信号が0(L)の場合、通常のクロック信号がメモリセル201のCLK端子へ印加される。   The SYSTEM_CLK signal is a system clock signal. The SYSTEM_CLK signal is applied to the input terminal of the MUX 210 and the input terminal of the NOT circuit 209. When the ATPGEN signal is 1 (H), the clock signal inverted by the NOT circuit 209 is when the ATPGEN signal is 0 (L). A normal clock signal is applied to the CLK terminal of the memory cell 201.

以下に、トランスペアレントモードを用いた方法によるテスト動作の流れについて説明する。   Hereinafter, the flow of the test operation by the method using the transparent mode will be described.

まず、トランスペアレントモードを用いる方法では、1(H)のATPGEN信号を発行し、MUX208、210により、入力端子に印加されたテスト信号を選択するように制御する。次に、メモリセル201をトランスペアレントモードで動作させテストを行うために、1(H)と0(L)を1サイクルとするSCANEN信号、SYSTEM_CLK信号を発行する。その結果、メモリセル201のWEN端子及びCEN端子には、1(H)のATPGEN信号に基づき、MUX208により選択されたSCANEN信号が印加され、メモリセル201のCLK端子には、MUX210により、NOT回路209で反転されたSYSTEM_CLK信号が印加され、メモリセル201をトランスペアレントモードとして動作する。   First, in the method using the transparent mode, a 1 (H) ATPGEN signal is issued, and the MUXs 208 and 210 are controlled to select the test signal applied to the input terminal. Next, in order to perform the test by operating the memory cell 201 in the transparent mode, a SCANEN signal and a SYSTEM_CLK signal are issued with 1 (H) and 0 (L) as one cycle. As a result, the SCANEN signal selected by the MUX 208 based on the 1 (H) ATPGEN signal is applied to the WEN terminal and the CEN terminal of the memory cell 201, and the NOT circuit is connected to the CLK terminal of the memory cell 201 by the MUX 210. The SYSTEM_CLK signal inverted at 209 is applied, and the memory cell 201 operates in the transparent mode.

トランスペアレントモードを用いた入出力データに関するメモリセル周辺回路のテストは、入力データとしてスキャンセル211へ印加されたテスト信号が、メモリセル201のデータ入力端子(Di0〜Din)を介して、メモリセル201へ一時的に保持され、データ出力端子(Do0〜Don)から、順次、出力される。その後、メモリセル201のデータ出力端子(Do0〜Don)から出力された信号は、後段の組み合わせ回路を介して、スキャンセル212へ印加され、スキャンセル212により観測された信号が、正常パターンの期待値を一致しているか否かを判定する。   In the test of the memory cell peripheral circuit related to input / output data using the transparent mode, the test signal applied to the scan cell 211 as input data is transmitted to the memory cell 201 via the data input terminals (Di0 to Din) of the memory cell 201. Are output temporarily from the data output terminals (Do0 to Don). Thereafter, the signal output from the data output terminals (Do0 to Don) of the memory cell 201 is applied to the scan cell 212 via the combinational circuit at the subsequent stage, and the signal observed by the scan cell 212 is expected to be a normal pattern. It is determined whether or not the values match.

また、トランスペアレントモードを用いたテストの中で、アドレス入力に関するメモリセル周辺回路のテストは、メモリセル201をトランスペアレントモードで動作させるため、ATPGEN信号がNOT回路203により反転され、0(L)のATPGEN信号が、各アドレス入力端子(A0〜An)の前段に備わるAND回路204へ入力され、アドレス入力データとしてスキャンセル202へ印加されたテスト信号が、AND回路204により、0(L)の信号で出力される。   In the test using the transparent mode, the memory cell peripheral circuit test related to the address input is performed by operating the memory cell 201 in the transparent mode, so that the ATPGEN signal is inverted by the NOT circuit 203, and the 0 (L) ATPGEN The signal is input to the AND circuit 204 provided in the previous stage of each address input terminal (A0 to An), and the test signal applied to the scan cell 202 as the address input data is a 0 (L) signal by the AND circuit 204. Is output.

このように、トランスペアレントモードを用いた方法は、アドレス入出データに関するメモリセル201前段の周辺回路において、メモリセル201のアドレス入力端子(A0〜An)へ入力されるアドレス入力データが、固定された0(L)の信号になるため、スキャンセル202からメモリセル201のアドレス入力端子(A0〜An)間のパスで、縮退故障による0(L)固定の信号なのか否かを判断することができず、故障検出率を低下させてしまう問題がある。また、テスト時の消費電力や安定性を考慮し、LSIが搭載するメモリセル全てを同時に動作させないように、メモリセル201のCLK端子に入力するクロック及びCEN端子に入力する信号を制御し、特定のメモリセル201のみ動作させテストを実施した場合、停止させたメモリセル(例えば、LSIに搭載された、メモリセル201以外のメモリセル。)はシャドーロジックとなるため、複数のメモリセルのデータ出力を1つの比較器に取り込む回路によりテストを行う、メモリBISTの故障検出率を低下させてしまう。   As described above, in the method using the transparent mode, the address input data input to the address input terminals (A0 to An) of the memory cell 201 is fixed in the peripheral circuit in the previous stage of the memory cell 201 related to the address input / output data. Since the signal is (L), it is possible to determine whether the signal is fixed to 0 (L) due to stuck-at fault in the path between the scan cell 202 and the address input terminals (A0 to An) of the memory cell 201. However, there is a problem of reducing the failure detection rate. In consideration of power consumption and stability during testing, the clock input to the CLK terminal of the memory cell 201 and the signal input to the CEN terminal are controlled and specified so that not all memory cells mounted on the LSI are operated simultaneously. When only the memory cell 201 is operated and the test is performed, the stopped memory cell (for example, a memory cell other than the memory cell 201 mounted on the LSI) becomes shadow logic, so that data output of a plurality of memory cells is performed. Test with a circuit that captures a single comparator, which reduces the failure detection rate of the memory BIST.

本発明は、図1及び図2において説明を行った、迂回パス回路108を用いた方法とトランスペアレントモードを用いた方法における問題点を解決し、メモリセル周辺回路の故障検出率を向上させ、低消費電力でテストを行うことができる回路構成を提案するものである。   The present invention solves the problems in the method using the bypass path circuit 108 and the method using the transparent mode described with reference to FIGS. 1 and 2, and improves the fault detection rate of the peripheral circuit of the memory cell. The present invention proposes a circuit configuration that can be tested with power consumption.

図3は、本発明の実施例に係るLSIテスタ40を用いたテストの流れを示す図である。   FIG. 3 is a diagram showing a test flow using the LSI tester 40 according to the embodiment of the present invention.

LSIテストは、テストパターン生成(以下、「TPG」と言う。)により生成されたテストデータをCUTへ印加し、出力解析(以下、「ORA」と言う。)により、CUTからの出力が、正常パターンである期待値と一致しているか否かを判断し、出荷テストを行うものであり、LSIテスタ等のチップ外のテスタを用いて行う。   In LSI testing, test data generated by test pattern generation (hereinafter referred to as “TPG”) is applied to the CUT, and output analysis (hereinafter referred to as “ORA”) results in normal output from the CUT. It is determined whether or not the pattern matches the expected value, and a shipping test is performed, which is performed using a tester outside the chip such as an LSI tester.

以下に、図3を用いて、実施例のLSIテストの流れについて説明する。   Hereinafter, the flow of the LSI test of the embodiment will be described with reference to FIG.

まず、LSIテストを行う前に、テストパターン生成を行う端末(例えば、PC:Personal Computer等。)において、CUTの論理設計に基づき、TPGにあたるATPGツール30により、テストパターン31を生成し、故障シミュレータにより、期待値パターン32を検証しておく。   First, before performing an LSI test, a test pattern 31 is generated by an ATPG tool 30 corresponding to a TPG, based on the logical design of the CUT, at a terminal (for example, PC: Personal Computer) that performs test pattern generation, and a fault simulator Thus, the expected value pattern 32 is verified.

この前処理を行った後、LSIテストでは、生成されたテストパターン31を読み取り、読み取ったテストパターン31を基に、テストデータとなる信号の波形形成401を行い、プローバ403に備わる検査端子(外部ピン)を端子駆動402により駆動させ、検査台42に設置されたLSI43のCUT前段に備わるスキャンセル(スキャンレジスタを含む。)へ、テスト信号を印加する(スキャンセルを外部ピンから制御する。)。   After this pre-processing, in the LSI test, the generated test pattern 31 is read, and based on the read test pattern 31, waveform formation 401 of a signal serving as test data is performed, and an inspection terminal (external terminal) provided in the prober 403 is provided. Pin) is driven by a terminal drive 402, and a test signal is applied to a scan cell (including a scan register) provided in the preceding stage of the CUT of the LSI 43 installed on the inspection table 42 (the scan cell is controlled from an external pin). .

次に、LSIテストでは、LSI43のCUT後段に備わるスキャンセルから、テスト信号に対する出力を出力検知404で検知し、検知された出力値と期待値パターン32の期待値とをパターン比較405により比較し、その比較結果を基に、出力結果解析により解析を行い、解析結果を出力する。   Next, in the LSI test, the output for the test signal is detected by the output detection 404 from the scan cell provided in the latter stage of the CUT of the LSI 43, and the detected output value and the expected value of the expected value pattern 32 are compared by the pattern comparison 405. Based on the comparison result, analysis is performed by output result analysis, and the analysis result is output.

このように、LSIテスタを用いたテストは、予め用意しておいたテストパターンと期待値パターンを基に、テスト信号を、LSIテスタ40の備える外部端子から、CUTの前段に備わるスキャンセルへ印加し、その出力結果を、CUTの後段に備わるスキャンセルから検出し、パターン比較405により出力値を期待値とを比較することで、LSI43の出荷テストを行う。   As described above, in the test using the LSI tester, the test signal is applied from the external terminal provided in the LSI tester 40 to the scan cell provided in the preceding stage of the CUT based on the test pattern and the expected value pattern prepared in advance. Then, the output result is detected from the scan cell provided in the subsequent stage of the CUT, and the LSI 43 is subjected to a shipping test by comparing the output value with the expected value by the pattern comparison 405.

図4は、本発明の実施例に係るモード設定手段60の構成例及び動作の流れを示す図である。   FIG. 4 is a diagram showing a configuration example and a flow of operation of the mode setting means 60 according to the embodiment of the present invention.

本発明は、メモリセル周辺回路の故障検出率を向上させ、低消費電力でテストを行うことができる回路構成を実現するため、図1に示す迂回パス回路108を用いた方法と、図2に示すトランスペアレントモードを用いた方法を組み合わせ、LSI43に搭載される複数個のメモリセルに対して、迂回パス回路用いるメモリセルとトランスペアレントモードを用いるメモリセルとを、テストを行う際に一度に設定する手段として、モード設定手段60を有している。   In order to improve the fault detection rate of the peripheral circuit of the memory cell and realize a circuit configuration capable of performing the test with low power consumption, the present invention provides a method using the bypass path circuit 108 shown in FIG. A method of setting a memory cell using a bypass path circuit and a memory cell using a transparent mode at a time when performing a test for a plurality of memory cells mounted on the LSI 43 by combining the methods using the transparent mode shown in FIG. As shown in FIG.

まず、モード設定手段60の構成例について説明する。   First, a configuration example of the mode setting unit 60 will be described.

図4に示す、モード設定手段60の構成は、インストラクションレジスタ51、インストラクションデコーダ52、モード設定信号レジスタ53を備えている。   The configuration of the mode setting means 60 shown in FIG. 4 includes an instruction register 51, an instruction decoder 52, and a mode setting signal register 53.

インストラクションレジスタ51は、トランスペアレントモードとして動作させるための命令コードを設定するためのレジスタで、IEEE1149.1(Institute of Electrical and Electronic Engineers 1149.1)に準拠したTAP(Test Access Port)のTDi端子から、命令コードが設定される。   The instruction register 51 is a register for setting an instruction code for operating in the transparent mode. An instruction code is received from a TDi terminal of a TAP (Test Access Port) compliant with IEEE 1149.1 (Institute of Electrical and Electronic Engineers 1149.1). Is set.

インストラクションレジスタ51に設定される命令コードは、IEEE1149.1のユーザ命令コードを用いて、メモリセル毎に予め用意されている。例えば、LSI43に搭載されるメモリセルの内、メモリセルA、Zを迂回パスモード、メモリセルB、Yをトランスペアレントモードとして動作させるために、メモリセルA、B、X、Yに対応したユーザ命令コードを(例えば、「10001」、「10010」、「10011」、「10100」のような5ビットのコード。)を用意しておく。   The instruction code set in the instruction register 51 is prepared in advance for each memory cell using the IEEE1149.1 user instruction code. For example, in order to operate the memory cells A and Z in the bypass path mode and the memory cells B and Y in the transparent mode among the memory cells mounted on the LSI 43, a user command corresponding to the memory cells A, B, X, and Y A code (for example, a 5-bit code such as “10001”, “10010”, “10011”, “10100”) is prepared.

インストラクションデコーダ52は、インストラクションレジスタ51に設定された命令コードを解読(デコード)するデコーダである。   The instruction decoder 52 is a decoder that decodes (decodes) an instruction code set in the instruction register 51.

モード設定信号レジスタ53は、インストラクションデコーダ52により解読(デコード)された、複数個のメモリセルに対する命令(モード設定)を保持するためのレジスタである。モード設定信号レジスタ53は、TAPのTRSTによりレジスタ内の設定を初期化することができる。   The mode setting signal register 53 is a register for holding an instruction (mode setting) for a plurality of memory cells decoded (decoded) by the instruction decoder 52. The mode setting signal register 53 can initialize the setting in the register by TRST of TAP.

次に、モード設定手段60の動作の流れについて説明する。   Next, the operation flow of the mode setting means 60 will be described.

モード設定手段60は、図4に示す通り、テストを行う前に実行される前処理であり、予め用意された、LSI43に搭載されるメモリセルの内、特定のメモリセルを迂回パスモードとして動作させるための命令コードを、TAPのTDi端子からインストラクションレジスタ51に設定し、インストラクションデコーダ52により解読(デコード)し、解読(デコード)された命令(モード設定)を、モード設定信号レジスタ53へ設定する。また、モード設定手段60は、複数個の命令コードを解読(デコード)する場合、インストラクションデコーダ52で解読(デコード)を行った命令コードをTAPのTDo端子へシフトし、インストラクションレジスタ51へ、解読(デコード)されていない命令コードを順次設定することで、複数個の命令コードを解読(デコード)し、解読された複数個の命令(モード設定)をモード設定信号レジスタ53へ設定する。   As shown in FIG. 4, the mode setting means 60 is a pre-process executed before the test, and operates in a bypass path mode with a specific memory cell prepared in advance in the LSI 43 mounted on the LSI 43. Is set in the instruction register 51 from the TDi terminal of the TAP, decoded by the instruction decoder 52, and the decoded instruction (mode setting) is set in the mode setting signal register 53. . Further, when decoding a plurality of instruction codes, the mode setting means 60 shifts the instruction code decoded by the instruction decoder 52 to the TDo terminal of the TAP and decodes it to the instruction register 51 ( By sequentially setting the instruction codes that have not been decoded, the plurality of instruction codes are decoded (decoded), and the plurality of decoded instructions (mode setting) are set in the mode setting signal register 53.

このように、モード設定手段60は、テストを行う前に、予め、LSI43に搭載される複数個のメモリセルに対して、テストの際に、迂回パスモードを用いるメモリセルを指定することができる。   As described above, the mode setting means 60 can designate in advance a memory cell using the bypass path mode for a plurality of memory cells mounted on the LSI 43 before performing the test. .

これによって、LSIテストでは、モード設定手段60によりモード設定信号レジスタ53に設定した命令(モード設定)を基に、図4に示すモード設定信号(MEM_BYPASS信号)を各メモリセルへ発行し、迂回パスモードのメモリセルとトランスペアレントモードのメモリセルの動作制御を実現している。   Thus, in the LSI test, the mode setting signal (MEM_BYPASS signal) shown in FIG. 4 is issued to each memory cell based on the command (mode setting) set in the mode setting signal register 53 by the mode setting means 60, and the bypass path The operation control of the memory cell in the mode and the memory cell in the transparent mode is realized.

図5は、本発明の実施例に係るLSI43内部のメモリセル301及び主要なメモリセル周辺回路の構成例を示す図である。   FIG. 5 is a diagram showing a configuration example of the memory cell 301 inside the LSI 43 and main memory cell peripheral circuits according to the embodiment of the present invention.

図5におけるメモリセル301は、図1、図2の構成例で示すメモリセル101、201と同じである。よって、図5におけるメモリセル301の説明は省略する。   A memory cell 301 in FIG. 5 is the same as the memory cells 101 and 201 shown in the configuration examples of FIGS. Therefore, description of the memory cell 301 in FIG. 5 is omitted.

LSI43内部のメモリセル周辺回路は、迂回パス回路317、スキャンセル(スキャンレジスタを含む。)302、307、310、316、319、MUX308、311、312、314、315、318、組み合わせ回路306、NOT回路303、313、AND回路305、309、論理和(OR)回路304を備えている。   The memory cell peripheral circuit in the LSI 43 includes a bypass path circuit 317, scan cells (including scan registers) 302, 307, 310, 316, 319, MUX 308, 311, 312, 314, 315, 318, combinational circuit 306, NOT Circuits 303 and 313, AND circuits 305 and 309, and a logical sum (OR) circuit 304 are provided.

迂回パス回路317は、メモリセル301のデータ入力端子(Di0〜Din)とデータ出力端子(Do0〜Don)間の回路であって、メモリセル301を迂回するように構成された回路である。迂回パス回路317は、データ人力信号を、メモリセル301の後段の回路へ出力する。   The bypass path circuit 317 is a circuit between the data input terminals (Di0 to Din) and the data output terminals (Do0 to Don) of the memory cell 301, and is configured to bypass the memory cell 301. The bypass path circuit 317 outputs the data human power signal to a circuit subsequent to the memory cell 301.

スキャンセル302、307、310、316、319は、入力端子(D)、出力端子(Q)、CLK端子を備えたD-FFで、印加された信号を一時的に保持し、クロックの1(H)の信号で、保持した信号を出力するができる。また、スキャンセル302、307、310、316、319は、アドレス入力及びデータ入出力に関するメモリセル周辺回路のテストを行う際に、テスト信号印加(制御)、テスト後の信号出力(観測)先として使用される。アドレス入力のテストでは、テスト信号がスキャンセル302へ印加され、テスト後の信号がスキャンセル307へ出力される。また、データ入出力のテストでは、テスト信号がスキャンセル316へ印加され、テスト後の信号がスキャンセル319へ出力される。スキャンセル310は、WEN端子及びCEN端子へ入力するための制御信号が印加される。   The scan cells 302, 307, 310, 316, and 319 are D-FFs each having an input terminal (D), an output terminal (Q), and a CLK terminal, and temporarily hold an applied signal. The held signal can be output with the signal of H). The scan cells 302, 307, 310, 316, and 319 are used as test signal application (control) and post-test signal output (observation) destinations when testing memory cell peripheral circuits related to address input and data input / output. used. In the address input test, a test signal is applied to the scan cell 302, and a signal after the test is output to the scan cell 307. In the data input / output test, a test signal is applied to the scan cell 316, and a signal after the test is output to the scan cell 319. A control signal for inputting the scan cell 310 to the WEN terminal and the CEN terminal is applied.

MUX308、311、312、314、315、318は、複数個の入力端子、制御信号入力端子、出力端子を備えており、2つ以上の入力信号を、テスト時と通常動作時の動作切り換えを制御する信号に基づき選択し、1つの信号として出力する回路である。MUX308、311、312、314、315、318は、テスト時と通常動作時による出力信号を切り換え出力する。また、MUX308、311、314は、迂回パスモードとトランスペアレントモードによる出力信号を切り換え出力する。   The MUXs 308, 311, 312, 314, 315, and 318 have a plurality of input terminals, control signal input terminals, and output terminals, and control switching of two or more input signals during testing and normal operation. This is a circuit that selects and outputs as a single signal based on the signal to be transmitted. The MUXs 308, 311, 312, 314, 315, and 318 switch and output output signals according to the test and normal operation. In addition, the MUXs 308, 311, and 314 switch and output output signals in the bypass path mode and the transparent mode.

組み合わせ回路306は、複数個のXOR回路をツリー状に構成した組み合わせ回路である。組み合わせ回路103は、アドレス入力信号を集約する。   The combinational circuit 306 is a combinational circuit in which a plurality of XOR circuits are configured in a tree shape. The combinational circuit 103 collects address input signals.

NOT回路303、313は、入力した信号を反転させ出力する回路で、NOT回路303は、テスト時と通常動作時のアドレス入力信号を制御するための信号を、NOT回路313はシステムクロック信号を反転させる。   NOT circuits 303 and 313 are circuits that invert the input signals and output them. The NOT circuit 303 inverts the signal for controlling the address input signal during the test and normal operation, and the NOT circuit 313 inverts the system clock signal. Let

AND回路305、309は、入力信号に対し、論理積演算を行い、演算結果を出力する回路である。AND回路305は、各アドレス入力端子(A0〜An)の前段に備えられており、アドレス入力の信号と、テスト時と通常動作時のアドレス入力信号を制御するための制御信号との論理積演算を行う。また、AND回路309は、MUX308の後段に備えられており、MUX308から出力された信号と、テスト時と通常動作時の動作切り換えを制御する信号との論理積演算を行う。   The AND circuits 305 and 309 are circuits that perform an AND operation on an input signal and output an operation result. The AND circuit 305 is provided in the preceding stage of each address input terminal (A0 to An), and performs an AND operation between the address input signal and a control signal for controlling the address input signal at the time of test and normal operation. I do. The AND circuit 309 is provided in the subsequent stage of the MUX 308, and performs an AND operation between the signal output from the MUX 308 and a signal for controlling the operation switching between the test time and the normal operation.

論理和(以下、「OR」と言う。)回路304は、入力信号に対し、論理和演算を行い、演算結果を出力する回路で、NOT回路303後段に備えられており、NOT回路303により反転された、メモリセル周辺回路におけるテスト時と通常動作時の動作切り換えを制御する信号と、モード設定手段60により設定され、テストを行う際に発行されるモード設定信号との論理和演算を行う。   A logical sum (hereinafter referred to as “OR”) circuit 304 is a circuit that performs a logical sum operation on an input signal and outputs an operation result. The OR operation of the signal for controlling the operation switching between the test and normal operation in the memory cell peripheral circuit and the mode setting signal set by the mode setting means 60 and issued when the test is performed is performed.

次に、本発明の実施例に係るLSI43内部のメモリセル301及び主要なメモリセル周辺回路は、ATPGEN信号、SCANEN信号、SYSTEM_CLK信号、MEM_BYPASS信号により制御される。   Next, the memory cell 301 and the main memory cell peripheral circuit inside the LSI 43 according to the embodiment of the present invention are controlled by the ATPGEN signal, the SCANEN signal, the SYSTEM_CLK signal, and the MEM_BYPASS signal.

ATPGEN信号は、メモリセル周辺回路において、テスト時と通常動作時の動作切り換えを制御する信号であり、ATPGEN信号が1(H)の場合、テスト状態へ、ATPGEN信号が0(L)の場合、通常動作状態へ遷移するように制御する。ATPGEN信号は、MUX308、312、315、318の制御信号入力端子へ、AND回路309の入力端子へ、NOT回路309の入力端子へ印加される。   The ATPGEN signal is a signal that controls the operation switching between the test and normal operation in the memory cell peripheral circuit. When the ATPGEN signal is 1 (H), the test state is entered. When the ATPGEN signal is 0 (L), Control to transition to the normal operation state. The ATPGEN signal is applied to the control signal input terminals of the MUXs 308, 312, 315, and 318, to the input terminal of the AND circuit 309, and to the input terminal of the NOT circuit 309.

SCANEN信号は、メモリセル301の動作を制御する信号であり、SCANEN信号が1(H)の場合、メモリセル301へ一時的に保持されたデータを、データ出力端子(Do0〜Don)から読み出すシフト動作状態へ、SCANEN信号が0(L)の場合、データ入力端子(Di0〜Din)から入力されたデータを、メモリセル301へ一時的に保持するキャプチャ動作状態へ遷移するように制御する。SCANEN信号は、MUX311の入力端子へ印加される。   The SCANEN signal is a signal for controlling the operation of the memory cell 301. When the SCANEN signal is 1 (H), the data temporarily stored in the memory cell 301 is read from the data output terminals (Do0 to Don). When the SCANEN signal is 0 (L), control is performed so that the data input from the data input terminals (Di0 to Din) is transited to the capture operation state in which the memory cell 301 is temporarily held. The SCANEN signal is applied to the input terminal of the MUX 311.

SYSTEM_CLK信号は、システムクロック信号である。SYSTEM_CLK信号は、MUX315の入力端子へ、NOT回路313の入力端子へ印加される。   The SYSTEM_CLK signal is a system clock signal. The SYSTEM_CLK signal is applied to the input terminal of the MUX 315 and to the input terminal of the NOT circuit 313.

MEM_BYPASS信号は、モード設定手段60により、モード設定信号レジスタ53に設定した命令(モード設定)を基に、モード設定信号として各メモリセルへ発行され、迂回パスモードのメモリセル301とトランスペアレントモードのメモリセル301の動作を制御する信号であり、MEM_BYPASS信号が1(H)の場合、迂回パスモードとして動作させ、MEM_BYPASS信号が0(L)の場合、トランスペアレントモードとして動作させるように制御する。MEM_BYPASS信号は、MUX308、311、314の制御信号入力端子へ印加され、OR回路304の入力端子へ印加される。   The MEM_BYPASS signal is issued to each memory cell as a mode setting signal based on the command (mode setting) set in the mode setting signal register 53 by the mode setting means 60, and the memory cell 301 in the bypass path mode and the memory in the transparent mode This signal controls the operation of the cell 301. When the MEM_BYPASS signal is 1 (H), it is operated as a bypass path mode, and when the MEM_BYPASS signal is 0 (L), it is controlled so as to operate as a transparent mode. The MEM_BYPASS signal is applied to the control signal input terminals of the MUXs 308, 311 and 314, and is applied to the input terminal of the OR circuit 304.

次に、LSI43内部のメモリセル周辺回路は、アドレス設定手段61、選択信号発生手段62、動作制御信号供給手段63、クロック反転手段64、選択手段65を有している。   Next, the memory cell peripheral circuit in the LSI 43 includes an address setting unit 61, a selection signal generation unit 62, an operation control signal supply unit 63, a clock inversion unit 64, and a selection unit 65.

アドレス設定手段61は、トランスペアレントモードの場合、メモリセル301のアドレス入力へ、0(L)のアドレス入力データを設定するように、メモリセル301前段に備えられたAND回路305の入力端子へ制御信号を印加する。アドレス設定手段61は、NOT回路303、OR回路304で構成されており、AND回路305の前段に備わっている。アドレス設定手段61は、NOT回路303の入力端子へATPGEN信号が印加され、反転されたATPGEN信号とMEM_BYPASS信号が、OR回路304の入力端子へ印加され、その演算結果が、OR回路304の出力端子から出力される。   In the transparent mode, the address setting means 61 controls a control signal to the input terminal of the AND circuit 305 provided in the preceding stage of the memory cell 301 so as to set 0 (L) address input data to the address input of the memory cell 301. Apply. The address setting means 61 includes a NOT circuit 303 and an OR circuit 304, and is provided in the previous stage of the AND circuit 305. In the address setting means 61, the ATPGEN signal is applied to the input terminal of the NOT circuit 303, the inverted ATPGEN signal and the MEM_BYPASS signal are applied to the input terminal of the OR circuit 304, and the calculation result is the output terminal of the OR circuit 304. Is output from.

図6に、本発明の実施例に係るアドレス設定手段61のタイムチャートの例を示す。   FIG. 6 shows an example of a time chart of the address setting means 61 according to the embodiment of the present invention.

図6(a)は、迂回パスモード時のタイムチャートであり、ATPGEN信号をAに、MEM_BYPASS信号をBに、出力信号をCに示す。また、図6(b)は、トランスペアレントモード時のタイムチャートであり、ATPGEN信号をAに、MEM_BYPASS信号をBに、出力信号をCに示す。   FIG. 6A is a time chart in the bypass path mode, in which the ATPGEN signal is indicated by A, the MEM_BYPASS signal is indicated by B, and the output signal is indicated by C. FIG. 6B is a time chart in the transparent mode, in which the ATPGEN signal is indicated by A, the MEM_BYPASS signal is indicated by B, and the output signal is indicated by C.

アドレス設定手段61は、図6(a)の迂回パスモードの場合(MEM_BYPASS信号が1(H)の場合)、図6(a)のA及びBに示す通り、1(H)のATPGEN信号、MEM_BYPASS信号が印加される。その結果、アドレス設定手段61は、NOT回路303により、0(L)のATPGEN信号へ反転され、反転された0(L)のATPGEN信号と1(H)のMEM_BYPASS信号が、OR回路304の入力端子へ印加され、図6(a)のCに示す、1(H)の信号が出力される。よって、図6(a)の迂回パスモードの場合は、アドレス設定手段61の後段に備わるAND回路305の入力端子へ印加される制御信号が、1(H)であるため、スキャンセル302へ印加されたテスト信号が、組み合わせ回路を介して、メモリセル301のアドレス入力端子(A0〜An)へアドレス入力データとして印加される。   In the bypass path mode of FIG. 6A (when the MEM_BYPASS signal is 1 (H)), the address setting means 61, as shown in A and B of FIG. 6A, 1 (H) ATPGEN signal, The MEM_BYPASS signal is applied. As a result, the address setting means 61 is inverted to 0 (L) ATPGEN signal by the NOT circuit 303, and the inverted 0 (L) ATPGEN signal and 1 (H) MEM_BYPASS signal are input to the OR circuit 304. When applied to the terminal, a 1 (H) signal shown in C of FIG. 6 (a) is output. 6A, since the control signal applied to the input terminal of the AND circuit 305 provided in the subsequent stage of the address setting means 61 is 1 (H), it is applied to the scan cell 302. The test signal thus applied is applied as address input data to the address input terminals (A0 to An) of the memory cell 301 via the combinational circuit.

また、アドレス設定手段61は、図6(b)のトランスペアレントモードの場合(MEM_BYPASS信号が0(L)の場合)、図6(b)のA及びBに示す通り、1(H)のATPGEN信号、0(L)のMEM_BYPASS信号が印加される。その結果、アドレス設定手段61は、NOT回路303により、0(L)のATPGEN信号へ反転され、反転された0(L)のATPGEN信号と0(L)のMEM_BYPASS信号が、OR回路304の入力端子へ印加され、図6(b)のCに示す、0(L)の信号が出力される。よって、図6(b)のトランスペアレントモードの場合は、アドレス設定手段61の後段に備わるAND回路305の入力端子へ印加される制御信号が、0(L)であるため、メモリセル301のアドレス入力端子(A0〜An)へ、0(L)の信号がアドレス入力データとして印加される。   Further, in the transparent mode of FIG. 6 (b) (when the MEM_BYPASS signal is 0 (L)), the address setting means 61, as shown in A and B of FIG. 6 (b), 1 (H) ATPGEN signal , 0 (L) MEM_BYPASS signal is applied. As a result, the address setting means 61 is inverted to a 0 (L) ATPGEN signal by the NOT circuit 303, and the inverted 0 (L) ATPGEN signal and the 0 (L) MEM_BYPASS signal are input to the OR circuit 304. Applied to the terminal, a 0 (L) signal shown in C of FIG. 6B is output. Therefore, in the transparent mode of FIG. 6B, since the control signal applied to the input terminal of the AND circuit 305 provided in the subsequent stage of the address setting means 61 is 0 (L), the address input of the memory cell 301 is performed. A 0 (L) signal is applied to the terminals (A0 to An) as address input data.

このように、アドレス設定手段61は、迂回パスモードの場合、スキャンセル302に印加されたテスト信号を、メモリセル301へアドレス入力データとして設定し、トランスペアレントモードの場合、メモリセル301へ、0(L)のアドレス入力データを設定する。   As described above, the address setting means 61 sets the test signal applied to the scan cell 302 as address input data in the memory cell 301 in the bypass path mode, and 0 ( L) Address input data is set.

これによって、アドレス設定手段61は、迂回パスモードの場合とトランスペアレントモードの場合において、メモリセル301のアドレス入力データを制御することを実現している。   Thereby, the address setting means 61 realizes control of the address input data of the memory cell 301 in the bypass path mode and the transparent mode.

選択信号発生手段62は、迂回パスモードの場合、迂回パス回路317からの出力データをMUX318により選択し、トランスペアレントモードの場合、メモリセル301のデータ出力端子(Do0〜Don)から出力された出力データをMUX318により選択するように制御する信号を発生する。選択信号発生手段62は、MUX318、AND回路309で構成されており、スキャンセル307の後段に備わっている。選択信号発生手段62は、MUX318の入力端子へスキャンセル307から出力された信号が印加され、もう一方の入力端子へ1(H)の信号が印加される。また、選択信号発生手段62は、MUX318の制御信号入力端子へ、MEM_BYPASS信号が印加されており、MEM_BYPASS信号に基づき、入力端子に印加された信号を選択する。次に、選択信号発生手段62は、MUX318により選択され出力された信号とATPGEN信号とを、AND回路309の入力端子へ印加し、その演算結果が、AND回路309の出力端子から出力される。   The selection signal generation means 62 selects output data from the bypass path circuit 317 by the MUX 318 in the bypass path mode, and output data output from the data output terminals (Do0 to Don) of the memory cell 301 in the transparent mode. Is generated by the MUX 318. The selection signal generating means 62 is composed of a MUX 318 and an AND circuit 309 and is provided in the subsequent stage of the scan cell 307. In the selection signal generating means 62, the signal output from the scan cell 307 is applied to the input terminal of the MUX 318, and the 1 (H) signal is applied to the other input terminal. In addition, the selection signal generating means 62 applies the MEM_BYPASS signal to the control signal input terminal of the MUX 318, and selects the signal applied to the input terminal based on the MEM_BYPASS signal. Next, the selection signal generator 62 applies the signal selected and output by the MUX 318 and the ATPGEN signal to the input terminal of the AND circuit 309, and the calculation result is output from the output terminal of the AND circuit 309.

図7に、本発明の実施例に係る選択信号発生手段62のタイムチャートの例を示す。   FIG. 7 shows an example of a time chart of the selection signal generating means 62 according to the embodiment of the present invention.

図7(a)は、迂回パスモード時のタイムチャートであり、スキャンセル307へ印加されたテスト信号をAに、ATPGEN信号をBに、MEM_BYPASS信号をCに、出力信号をDに示す。また、図7(b)は、トランスペアレントモード時のタイムチャートであり、スキャンセル307へ印加されたテスト信号をAに、ATPGEN信号をBに、MEM_BYPASS信号をCに、出力信号をDに示す。   FIG. 7A is a time chart in the bypass path mode, in which the test signal applied to the scan cell 307 is indicated by A, the ATPGEN signal is indicated by B, the MEM_BYPASS signal is indicated by C, and the output signal is indicated by D. FIG. 7B is a time chart in the transparent mode, in which the test signal applied to the scan cell 307 is A, the ATPGEN signal is B, the MEM_BYPASS signal is C, and the output signal is D.

選択信号発生手段62は、図7(a)の迂回パスモードの場合(MEM_BYPASS信号が1(H)の場合)、図7(a)のB及びCに示す通り、1(H)のATPGEN信号、MEM_BYPASS信号が印加される。また、選択信号発生手段62は、スキャンセル307の前段に備わる組み合わせ回路306により集約され出力されたアドレス入力信号が、スキャンセル307へ印加され、図7(a)のAに示すような信号となる。その結果、選択信号発生手段62は、1(H)のMEM_BYPASS信号に基づき、MUX308により、1(H)の信号が選択され、1(H)のATPGEN信号と、MUX308により選択された1(H)の信号が、AND回路309の入力端子へ印加され、図7(a)のDに示す、1(H)の信号が発生される。よって、図7(a)の迂回パスモードの場合は、選択信号発生手段62の後段に備わるMUX318の制御信号入力端子へ1(H)の信号が印加され、迂回パス回路317からの出力データがMUX318により選択される。   In the bypass path mode shown in FIG. 7 (a) (when the MEM_BYPASS signal is 1 (H)), the selection signal generator 62 generates an ATPGEN signal of 1 (H) as shown in B and C of FIG. 7 (a). , MEM_BYPASS signal is applied. Further, the selection signal generating means 62 applies the address input signals aggregated and output by the combinational circuit 306 provided in the preceding stage of the scan cell 307 to the scan cell 307, and generates a signal as shown in A of FIG. Become. As a result, the selection signal generator 62 selects the 1 (H) signal by the MUX 308 based on the 1 (H) MEM_BYPASS signal, and the 1 (H) ATPGEN signal and the 1 (H) selected by the MUX 308. ) Is applied to the input terminal of the AND circuit 309, and a 1 (H) signal shown at D in FIG. 7A is generated. Therefore, in the bypass path mode of FIG. 7A, a 1 (H) signal is applied to the control signal input terminal of the MUX 318 provided in the subsequent stage of the selection signal generating means 62, and the output data from the bypass path circuit 317 is Selected by MUX 318.

選択信号発生手段62は、図7(b)のトランスペアレントモードの場合(MEM_BYPASS信号が0(L)の場合)、図7(b)のB及びCに示す通り、1(H)のATPGEN信号、0(L)のMEM_BYPASS信号が印加される。また、選択信号発生手段62は、アドレス設定手段61により0(L)のアドレス入力データとなっているため、スキャンセル307から出力される信号は、図7(b)のAに示す通り、0(L)の信号となる。その結果、選択信号発生手段62は、0(L)のMEM_BYPASS信号に基づき、MUX308により、スキャンセル307からの入力信号0(L)が選択され、1(H)のATPGEN信号と、MUX308により選択された0(L)の信号が、AND回路309の入力端子へ印加され、図7(b)のDに示す、0(L)の信号が発生される。よって、図7(b)のトランスペアレントモードの場合は、選択信号発生手段62の後段に備わるMUX318の制御信号入力端子へ0(L)の信号が印加され、メモリセル301のデータ出力端子(Do0〜Don)から出力された出力データがMUX318により選択される。   In the transparent mode of FIG. 7B (when the MEM_BYPASS signal is 0 (L)), the selection signal generating means 62, as shown in B and C of FIG. A 0 (L) MEM_BYPASS signal is applied. Further, since the selection signal generating means 62 has 0 (L) address input data by the address setting means 61, the signal output from the scan cell 307 is 0 as shown in A of FIG. (L) signal. As a result, the selection signal generating means 62 selects the input signal 0 (L) from the scan cell 307 by the MUX 308 based on the 0 (L) MEM_BYPASS signal, and selects the 1 (H) ATPGEN signal and the MUX 308. The 0 (L) signal thus applied is applied to the input terminal of the AND circuit 309, and a 0 (L) signal is generated as indicated by D in FIG. 7 (b). Therefore, in the transparent mode of FIG. 7B, a 0 (L) signal is applied to the control signal input terminal of the MUX 318 provided in the subsequent stage of the selection signal generating means 62, and the data output terminals (Do0 to The output data output from Don) is selected by the MUX 318.

このように、選択信号発生手段62は、迂回パスモードの場合、迂回パス回路317からの出力データを選択し、トランスペアレントモードの場合、メモリセル301のデータ出力端子(Do0〜Don)から出力された出力データを選択するように制御する信号を発生する。   As described above, the selection signal generator 62 selects the output data from the bypass path circuit 317 in the bypass path mode, and is output from the data output terminals (Do0 to Don) of the memory cell 301 in the transparent mode. A signal is generated to control to select output data.

これによって、選択信号発生手段62は、迂回パスモードの場合とトランスペアレントモードの場合において、メモリセル301の入出力データを制御することを実現している。   As a result, the selection signal generating unit 62 controls the input / output data of the memory cell 301 in the bypass path mode and the transparent mode.

動作制御信号供給手段63は、迂回パスモードの場合、1(H)の信号を、トランスペアレントモードの場合、メモリセル301の動作を制御するSCANEN信号を、メモリセル301のWEN端子、CEN端子へ印加するように制御する信号を供給する。選択信号発生手段62は、MUX311で構成されており、MUX312の前段に備わっている。選択信号発生手段62は、MUX311の入力端子へ1(H)の信号が印加され、もう一方の入力端子へ、SCANEN信号が印加され、MUX311の出力端子から選択された信号が出力される。   The operation control signal supply means 63 applies a 1 (H) signal in the bypass path mode and a SCANEN signal for controlling the operation of the memory cell 301 to the WEN terminal and CEN terminal of the memory cell 301 in the transparent mode. Supply a signal to control. The selection signal generating means 62 is composed of a MUX 311 and is provided in the preceding stage of the MUX 312. The selection signal generation means 62 applies a 1 (H) signal to the input terminal of the MUX 311, applies a SCANEN signal to the other input terminal, and outputs a selected signal from the output terminal of the MUX 311.

図8に、本発明の実施例に係る動作制御信号供給手段63のタイムチャートの例を示す。   FIG. 8 shows an example of a time chart of the operation control signal supply means 63 according to the embodiment of the present invention.

図8(a)は、迂回パスモード時のタイムチャートであり、SCANEN信号をAに、MEM_BYPASS信号をBに、出力信号をCに、WEN端子へ印加される信号をDに、CEN端子へ印加される信号をEに示す。また、図8(b)は、トランスペアレントモード時のタイムチャートであり、SCANEN信号をAに、MEM_BYPASS信号をBに、出力信号をCに、WEN端子へ印加される信号をDに、CEN端子へ印加される信号をEに示す。   Fig. 8 (a) is a time chart in the detour path mode. The SCANEN signal is applied to A, the MEM_BYPASS signal is applied to B, the output signal is applied to C, the signal applied to the WEN terminal is applied to D, and the CEN terminal is applied. The signal is shown in E. FIG. 8B is a time chart in the transparent mode. The SCANEN signal is set to A, the MEM_BYPASS signal is set to B, the output signal is set to C, the signal applied to the WEN terminal is set to D, and the CEN terminal is set. The applied signal is shown in E.

動作制御信号供給手段63は、図8(a)の迂回パスモードの場合(MEM_BYPASS信号が1(H)の場合)、図8(a)のA及びBに示す通り、0(L)と1(H)を1サイクルとするSCANEN信号、1(H)のMEM_BYPASS信号が印加される。その結果、動作制御信号供給手段63は、1(H)のMEM_BYPASS信号に基づき、MUX311により、1(H)の信号が選択され、MUX311の出力端子より、図8(a)のCに示す、1(H)の信号が出力される。よって、図8(a)の迂回パスモードの場合は、動作制御信号手段63の後段に備わるMUX312の制御信号入力端子へ1(H)の信号が印加され、MUX312の制御信号入力端子へ印加された1(H)のATPGEN信号に基づき、図8(a)のD及びEに示す、1(H)の信号が、メモリセル301のWEN端子、CEN端子へ印加される。   In the bypass path mode of FIG. 8A (when the MEM_BYPASS signal is 1 (H)), the operation control signal supply means 63 is 0 (L) and 1 as shown in A and B of FIG. A SCANEN signal with (H) as one cycle and a MEM_BYPASS signal with 1 (H) are applied. As a result, the operation control signal supply means 63 selects the 1 (H) signal by the MUX 311 based on the MEM_BYPASS signal of 1 (H), and the output terminal of the MUX 311 indicates to C in FIG. 1 (H) signal is output. Therefore, in the bypass path mode of FIG. 8A, a 1 (H) signal is applied to the control signal input terminal of the MUX 312 provided in the subsequent stage of the operation control signal means 63, and is applied to the control signal input terminal of the MUX 312. Based on the 1 (H) ATPGEN signal, the 1 (H) signal indicated by D and E in FIG. 8A is applied to the WEN terminal and CEN terminal of the memory cell 301.

動作制御信号供給手段63は、図8(b)のトランスペアレントモードの場合(MEM_BYPASS信号が0(L)の場合)、図8(b)のA及びBに示す通り、0(L)と1(H)と1サイクルとするSCANEN信号、0(L)のMEM_BYPASS信号が印加される。その結果、動作制御信号供給手段63は、0(L)のMEM_BYPASS信号に基づき、MUX311により、0(L)と1(H)を1サイクルとするSCANEN信号が選択され、MUX311の出力端子より、図8(b)のCに示す、SCANEN信号が出力される。よって、図8(b)のトランスペアレントモードの場合は、動作制御信号手段63の後段に備わるMUX312の制御信号入力端子へSCANEN信号が印加され、MUX312の制御信号入力端子へ印加された1(H)のATPGEN信号に基づき、図8(b)のD及びEに示す、SCANEN信号が、メモリセル301のWEN端子、CEN端子へ印加される。   In the transparent mode shown in FIG. 8B (when the MEM_BYPASS signal is 0 (L)), the operation control signal supply means 63 outputs 0 (L) and 1 (as shown in A and B of FIG. 8B). H) and SCANEN signal for 1 cycle, and 0 (L) MEM_BYPASS signal are applied. As a result, the operation control signal supply means 63 selects the SCANEN signal with 0 (L) and 1 (H) as one cycle by the MUX 311 based on the 0 (L) MEM_BYPASS signal, and from the output terminal of the MUX 311, A SCANEN signal indicated by C in FIG. 8B is output. Therefore, in the transparent mode of FIG. 8B, the SCANEN signal is applied to the control signal input terminal of the MUX 312 provided in the subsequent stage of the operation control signal means 63, and 1 (H) applied to the control signal input terminal of the MUX 312. Based on the ATPGEN signal, the SCANEN signal indicated by D and E in FIG. 8B is applied to the WEN terminal and CEN terminal of the memory cell 301.

このように、動作制御信号供給手段63は、迂回パスモードの場合、1(H)の信号を、トランスペアレントモードの場合、0(L)と1(H)を1サイクルとするSCANEN信号を、メモリセル301のWEN端子、CEN端子へ印加するように制御する信号を供給する。   As described above, the operation control signal supply means 63 stores the SCANEN signal in which the 1 (H) signal in the bypass path mode and the 0 (L) and 1 (H) in one cycle in the transparent mode as the memory. A signal for controlling to be applied to the WEN terminal and the CEN terminal of the cell 301 is supplied.

これによって、動作制御信号供給手段63は、迂回パスモードの場合、メモリセル301を停止させ、トランスペアレントモードの場合、メモリセル301のデータ入力端子(Di0〜Din)へ印加されたデータ信号を、順次、データ出力端子(Do0〜Don)から出力するように制御することを実現している。   Accordingly, the operation control signal supply unit 63 stops the memory cell 301 in the bypass path mode, and sequentially applies the data signal applied to the data input terminals (Di0 to Din) of the memory cell 301 in the transparent mode. , And control to output from the data output terminals (Do0 to Don).

クロック反転手段64は、迂回パスモードの場合、0(L)の信号を、トランスペアレントモードの場合、メモリセル301の動作を制御するため反転させたSYSTEM_CLK信号を、メモリセル301のCLK端子へ印加する。クロック反転手段64は、MUX314で構成されており、MUX315の前段に備わっている。クロック反転手段64は、MUX314の入力端子へ0(L)の信号が印加され、もう一方の入力端子へ、NOT回路313により反転されたSYSTEM_CLK信号が印加され、MUX314の出力端子から選択されたクロック信号が出力される。   The clock inverting means 64 applies a 0 (L) signal to the CLK terminal of the memory cell 301 in the bypass mode, and an inverted SYSTEM_CLK signal to control the operation of the memory cell 301 in the transparent mode. . The clock inversion means 64 is configured by the MUX 314 and is provided in the previous stage of the MUX 315. In the clock inversion means 64, a 0 (L) signal is applied to the input terminal of the MUX 314, the SYSTEM_CLK signal inverted by the NOT circuit 313 is applied to the other input terminal, and the clock selected from the output terminal of the MUX 314 is selected. A signal is output.

図9に、本発明の実施例に係るクロック反転手段64のタイムチャートの例を示す。   FIG. 9 shows an example of a time chart of the clock inverting means 64 according to the embodiment of the present invention.

図9(a)は、迂回パスモード時のタイムチャートであり、SYSTEM_CLK信号をAに、MEM_BYPASS信号をBに、出力信号をCに、CLK端子へ印加される信号をDに示す。また、図9(b)は、トランスペアレントモード時のタイムチャートであり、SYSTEM_CLK信号をAに、MEM_BYPASS信号をBに、出力信号をCに、CLK端子へ印加される信号をDに示す。   FIG. 9A is a time chart in the bypass path mode, where the SYSTEM_CLK signal is A, the MEM_BYPASS signal is B, the output signal is C, and the signal applied to the CLK terminal is D. FIG. 9B is a time chart in the transparent mode, where the SYSTEM_CLK signal is A, the MEM_BYPASS signal is B, the output signal is C, and the signal applied to the CLK terminal is D.

クロック反転手段64は、図9(a)の迂回パスモードの場合(MEM_BYPASS信号が1(H)の場合)、図9(a)のA及びBに示す通り、0(L)と1(H)を1サイクルとするSYSTEM_CLK信号、1(H)のMEM_BYPASS信号が印加される。その結果、クロック反転手段64は、1(H)のMEM_BYPASS信号に基づき、MUX314により、0(L)の信号が選択され、MUX314の出力端子より、図9(a)のCに示す、0(L)の信号が出力される。よって、図9(a)の迂回パスモードの場合は、クロック反転手段64の後段に備わるMUX315の制御信号入力端子へ0(L)の信号が印加され、MUX315の制御信号入力端子へ印加された1(H)のATPGEN信号に基づき、図9(a)のDに示す、0(L)の信号が、メモリセル301のCLK端子へ印加される。   In the bypass path mode shown in FIG. 9A (when the MEM_BYPASS signal is 1 (H)), the clock inverting means 64 outputs 0 (L) and 1 (H) as shown in A and B of FIG. ) Is a SYSTEM_CLK signal and 1 (H) MEM_BYPASS signal is applied. As a result, the clock inversion means 64 selects the 0 (L) signal by the MUX 314 based on the 1 (H) MEM_BYPASS signal, and the 0 (L) shown in C of FIG. L) signal is output. Therefore, in the bypass path mode of FIG. 9A, a 0 (L) signal is applied to the control signal input terminal of the MUX 315 provided in the subsequent stage of the clock inverting means 64, and is applied to the control signal input terminal of the MUX 315. Based on the 1 (H) ATPGEN signal, a 0 (L) signal indicated by D in FIG. 9A is applied to the CLK terminal of the memory cell 301.

クロック反転手段64は、図9(b)のトランスペアレントモードの場合(MEM_BYPASS信号が0(L)の場合)、図9(b)のA及びBに示す通り、0(L)と1(H)と1サイクルとするSYSTEM_CLK信号、0(L)のMEM_BYPASS信号が印加される。その結果、クロック反転手段64は、0(L)のMEM_BYPASS信号に基づき、MUX314により、前段のNOT回路313により反転され1(H)と0(L)を1サイクルとするSYSTEM_CLK信号が選択され、MUX314の出力端子より、図9(b)のCに示す、反転されたSYSTEM_CLK信号が出力される。よって、図9(b)のトランスペアレントモードの場合は、クロック反転手段64の後段に備わるMUX315の制御信号入力端子へ、反転されたSYSTEM_CLK信号が印加され、MUX315の制御信号入力端子へ印加された1(H)のATPGEN信号に基づき、図9(b)のDに示す、反転されたSYSTEM_CLK信号が、メモリセル301のCLK端子へ印加される。   In the transparent mode of FIG. 9B (when the MEM_BYPASS signal is 0 (L)), the clock inverting means 64 is 0 (L) and 1 (H) as shown in A and B of FIG. 9B. Then, the SYSTEM_CLK signal for 1 cycle and the 0 (L) MEM_BYPASS signal are applied. As a result, based on the MEM_BYPASS signal of 0 (L), the clock inversion means 64 is inverted by the NOT circuit 313 of the previous stage by the MUX 314 and the SYSTEM_CLK signal having 1 (H) and 0 (L) as one cycle is selected. An inverted SYSTEM_CLK signal indicated by C in FIG. 9B is output from the output terminal of the MUX 314. Therefore, in the transparent mode of FIG. 9B, the inverted SYSTEM_CLK signal is applied to the control signal input terminal of the MUX 315 provided in the subsequent stage of the clock inverting means 64, and the 1 applied to the control signal input terminal of the MUX 315. Based on the ATPGEN signal in (H), the inverted SYSTEM_CLK signal shown in D of FIG. 9B is applied to the CLK terminal of the memory cell 301.

このように、クロック反転手段64は、迂回パスモードの場合、0(L)の信号を、トランスペアレントモードの場合、1(H)と0(L)を1サイクルとする反転されたSYSTEM_CLK信号を、メモリセル301のCLK端子へ印加する。   In this way, the clock inverting means 64 outputs a signal of 0 (L) in the bypass path mode, and an inverted SYSTEM_CLK signal having 1 (H) and 0 (L) as one cycle in the transparent mode. Applied to the CLK terminal of the memory cell 301.

これによって、クロック反転手段64は、迂回パスモードの場合、メモリセル301を停止させ、トランスペアレントモードの場合、メモリセル301のデータ入力端子(Di0〜Din)へ印加されたデータ信号を、順次、データ出力端子(Do0〜Don)から出力するように制御することを実現している。   Thereby, the clock inversion means 64 stops the memory cell 301 in the bypass path mode, and sequentially applies the data signal applied to the data input terminals (Di0 to Din) of the memory cell 301 in the transparent mode. Control is performed to output from the output terminals (Do0 to Don).

選択手段65は、迂回パスモードの場合、迂回パス回路317からのデータ信号を、トランスペアレントモードの場合、メモリセル301のデータ出力端子(Do0〜Don)から出力されたデータ信号を選択する。選択手段65は、MUX318で構成されており、メモリセル301の後段に備わっている。選択手段65は、MUX318の入力端子へ迂回パス回路317からのデータ信号が印加され、もう一方の入力端子へ、メモリセル301のデータ出力端子(Do0〜Don)から出力されたデータ信号が印加され、MUX318の出力端子から選択されたデータ信号が出力される。   The selection means 65 selects the data signal from the bypass path circuit 317 in the bypass path mode, and the data signal output from the data output terminals (Do0 to Don) of the memory cell 301 in the transparent mode. The selection means 65 is composed of a MUX 318 and is provided in the subsequent stage of the memory cell 301. In the selection means 65, the data signal from the bypass path circuit 317 is applied to the input terminal of the MUX 318, and the data signal output from the data output terminals (Do0 to Don) of the memory cell 301 is applied to the other input terminal. The selected data signal is output from the output terminal of the MUX 318.

選択手段65は、迂回パスモードの場合(MEM_BYPASS信号が1(H)の場合)、選択信号発生手段62により発生された1(H)の選択制御信号が、MUX318の制御信号入力端子へ印加される。その結果、選択手段65は、1(H)の選択制御信号に基づき、MUX318により、迂回パス回路317からのデータ信号が選択され、MUX318の出力端子より、選択されたデータ信号が出力される。   In the bypass path mode (when the MEM_BYPASS signal is 1 (H)), the selection unit 65 applies the 1 (H) selection control signal generated by the selection signal generation unit 62 to the control signal input terminal of the MUX 318. The As a result, the selection unit 65 selects the data signal from the bypass path circuit 317 by the MUX 318 based on the 1 (H) selection control signal, and outputs the selected data signal from the output terminal of the MUX 318.

選択手段65は、トランスペアレントモードの場合(MEM_BYPASS信号が0(L)の場合)、選択信号発生手段62により発生された0(L)の選択制御信号が、MUX318の制御信号入力端子へ印加される。その結果、選択手段65は、0(L)の選択制御信号に基づき、MUX318により、メモリセル301のデータ出力端子(Do0〜Don)から出力されたデータ信号が選択され、MUX318の出力端子より、選択されたデータ信号が出力される。   In the transparent mode (when the MEM_BYPASS signal is 0 (L)), the selection unit 65 applies the 0 (L) selection control signal generated by the selection signal generation unit 62 to the control signal input terminal of the MUX 318. . As a result, the selection means 65 selects the data signal output from the data output terminals (Do0 to Don) of the memory cell 301 by the MUX 318 based on the 0 (L) selection control signal, and from the output terminal of the MUX 318, The selected data signal is output.

このように、選択手段65は、迂回パスモードの場合、迂回パス回路317からのデータ信号を、トランスペアレントモードの場合、メモリセル301のデータ出力端子(Do0〜Don)から出力されたデータ信号を、MUX318により選択する。   As described above, the selection unit 65 selects the data signal from the bypass path circuit 317 in the bypass path mode, and the data signal output from the data output terminals (Do0 to Don) of the memory cell 301 in the transparent mode. Select with MUX 318.

これによって、選択手段65は、迂回パスモードの場合とトランスペアレントモードの場合において、メモリセル301の入出力データを制御し、入出力データに関するメモリセル周辺回路のテストを行うことができる。   Accordingly, the selection unit 65 can control the input / output data of the memory cell 301 in the bypass path mode and the transparent mode, and can test the memory cell peripheral circuit related to the input / output data.

図10、11は、本発明の実施例に係るメモリセル301及びメモリセル周辺回路において、製品テストを行った場合のタイミングチャートの例を示すものである。   10 and 11 show examples of timing charts when a product test is performed in the memory cell 301 and the memory cell peripheral circuit according to the embodiment of the present invention.

図10は、本発明の実施例に係るアドレス入力に関するメモリセル周辺回路テスト時のタイムチャートの例を示す図である。また、アドレス入力に関するメモリセル周辺回路のテストは、トランスペアレントモードでは行えないため、迂回パスモードで動作するよう、モード設定手段60により、モード設定信号レジスタ53に設定した命令(モード設定)に従い1(H)のMEM_BYPASS信号が発行され、メモリセル301が迂回パスモードとして動作し、テストを行う。   FIG. 10 is a diagram showing an example of a time chart during a memory cell peripheral circuit test relating to address input according to the embodiment of the present invention. Further, since the test of the memory cell peripheral circuit related to the address input cannot be performed in the transparent mode, 1 (in accordance with the instruction (mode setting) set in the mode setting signal register 53 by the mode setting means 60 so as to operate in the bypass path mode. H) MEM_BYPASS signal is issued, and the memory cell 301 operates as a bypass path mode to perform a test.

図10は、スキャンセル302の後段に備わる組み合わせ回路の出力信号をA、B、C及びDに、メモリセル301の前段に備わりアドレス入力データを制御するAND回路305の出力信号をE、F、G及びHに、アドレス入力データを集約する組み合わせ回路306の出力信号をIに示す。   FIG. 10 shows output signals of the combination circuit provided in the subsequent stage of the scan cell 302 to A, B, C and D, and output signals of the AND circuit 305 provided in the previous stage of the memory cell 301 to control the address input data, E, F, In G and H, the output signal of the combinational circuit 306 that aggregates the address input data is shown in I.

まず、アドレス入力に関するメモリセル周辺回路のテストは、スキャンセル302へデータ信号が印加される。印加されたデータ信号は、スキャンセル302の後段に備わる組み合わせ回路へ印加される。また、アドレス入力に関するメモリセル周辺回路のテストでは、1(H)のATPGEN信号と1(H)のMEM_BYPASS信号に基づき、アドレス設定手段61により、1(H)の信号が出力される。よって、スキャンセル302へ印加されたテスト信号が組み合わせ回路へ印加され、図10に示すA、B、C及びDのような信号が、組み合わせ回路から出力された場合、組み合わせ回路の後段に備わるAND回路305の入力端子へ印加され、AND回路305のもう一方の入力端子には、アドレス設定手段61により出力された1(H)の信号が印加され、図10に示すE、F、G及びHのような信号が出力される。   First, a data signal is applied to the scan cell 302 in the test of the memory cell peripheral circuit related to address input. The applied data signal is applied to a combinational circuit provided in the subsequent stage of the scan cell 302. In the test of the memory cell peripheral circuit related to the address input, the address setting means 61 outputs a 1 (H) signal based on the 1 (H) ATPGEN signal and the 1 (H) MEM_BYPASS signal. Therefore, when the test signal applied to the scan cell 302 is applied to the combinational circuit and signals such as A, B, C, and D shown in FIG. 10 are output from the combinational circuit, an AND provided in the subsequent stage of the combinational circuit. The 1 (H) signal applied to the input terminal of the circuit 305 and output from the address setting means 61 is applied to the other input terminal of the AND circuit 305, and E, F, G, and H shown in FIG. The following signal is output.

次に、AND回路305から出力された信号は、組み合わせ回路306の入力端子へ印加され、アドレス入力データとして集約される。集約された信号は、図10のIに示すような信号となり、組み合わせ回路306の出力端子から出力され、スキャンセル307へ印加される。   Next, the signals output from the AND circuit 305 are applied to the input terminals of the combinational circuit 306 and are collected as address input data. The aggregated signal becomes a signal as shown in I of FIG. 10, is output from the output terminal of the combinational circuit 306, and is applied to the scan cell 307.

また、アドレス入力に関するメモリセル周辺回路のテストは、低消費電力対応のため、メモリセル301を停止させた状態で行う。そのため、メモリセル301のWEN端子、CEN端子へは、1(H)のATPGEN信号と、1(H)のMEM_BYPASS信号に基づき、動作制御信号供給手段63により、1(H)のSCANEN信号が印加され、メモリセル301のCLK端子へは、1(H)のATPGEN信号と、1(H)のMEM_BYPASS信号に基づき、クロック反転手段64により、0(L)のSYSTEM_CLK信号が印加され、メモリセル301を停止させる。   The memory cell peripheral circuit test related to address input is performed in a state where the memory cell 301 is stopped for low power consumption. Therefore, the 1 (H) SCANEN signal is applied to the WEN terminal and CEN terminal of the memory cell 301 by the operation control signal supply means 63 based on the 1 (H) ATPGEN signal and the 1 (H) MEM_BYPASS signal. Then, a 0 (L) SYSTEM_CLK signal is applied to the CLK terminal of the memory cell 301 by the clock inversion means 64 based on the 1 (H) ATPGEN signal and the 1 (H) MEM_BYPASS signal. Stop.

このように、アドレス入力に関するメモリセル周辺回路のテストは、スキャンセル302へ、アドレス入力のテストパターンであるデータ信号が印加され、アドレス入力に関するメモリ周辺回路を介して、スキャンセル307へ信号を出力し、その出力値を、正常パターンである期待値と比較することで、アドレス入力に関するメモリセル周辺回路が故障しているか否かを判断することができる。   As described above, in the test of the memory cell peripheral circuit related to the address input, the data signal which is the test pattern of the address input is applied to the scan cell 302, and the signal is output to the scan cell 307 via the memory peripheral circuit related to the address input. Then, by comparing the output value with an expected value that is a normal pattern, it is possible to determine whether or not the memory cell peripheral circuit related to the address input has failed.

これによって、トランスペアレントモードを用いてテストを行った際、テストを行うことが出来なかったアドレス入力に関するメモリセル周辺回路に対し、迂回パスモードとして動作するように制御することでテストすることが可能となり、故障検出率を向上させることができる。   As a result, when testing using the transparent mode, it is possible to test the memory cell peripheral circuit related to the address input that could not be tested by controlling it to operate as a bypass path mode. The failure detection rate can be improved.

図11は、本発明の実施例に係る入出力データに関するメモリセル周辺回路のテスト時のタイムチャートの例を示す図である。   FIG. 11 is a diagram showing an example of a time chart at the time of testing the memory cell peripheral circuit related to input / output data according to the embodiment of the present invention.

図11(a)は、迂回パスモード時のタイムチャートであり、スキャンセル316の後段に備わる組み合わせ回路の出力信号をA、B、C及びDに、メモリセル301の後段に備わるMUX318の出力信号をE、F、G及びHに示す。   FIG. 11A is a time chart in the detour path mode, in which output signals of the combinational circuit provided in the subsequent stage of the scan cell 316 are output to A, B, C, and D, and output signals of the MUX 318 provided in the subsequent stage of the memory cell 301. Are shown in E, F, G and H.

まず、入出力データに関するメモリセル周辺回路のテストは、スキャンセル316へデータ信号が印加される。印加されたデータ信号は、スキャンセル316の後段に備わる組み合わせ回路へ印加される。よって、組み合わせ回路から図11(a)に示すA、B、C及びDのような信号が出力された場合、迂回パス回路317を介して、メモリセル301の後段に備わるMUX318の入力端子へ印加される。この時、MUX318の制御信号入力端子へは、1(H)のATPGEN信号と、モード設定手段60により、モード設定信号レジスタ53に設定した命令(モード設定)に従い発行された1(H)のMEM_BYPASS信号に基づき、選択信号発生手段62により発生された1(H)の選択制御信号が印加される。その結果、MUX318は、印加された1(H)の選択制御信号により、迂回パス回路317から印加されたデータ信号を選択し、出力端子から、図11(a)に示すE、F、G及びHのような信号を出力する。   First, a data signal is applied to the scan cell 316 in the test of the memory cell peripheral circuit related to input / output data. The applied data signal is applied to a combinational circuit provided in the subsequent stage of the scan cell 316. Therefore, when signals such as A, B, C, and D shown in FIG. 11A are output from the combinational circuit, they are applied to the input terminal of the MUX 318 provided in the subsequent stage of the memory cell 301 via the bypass path circuit 317. Is done. At this time, the 1 (H) MEM_BYPASS issued to the control signal input terminal of the MUX 318 according to the 1 (H) ATPGEN signal and the command (mode setting) set in the mode setting signal register 53 by the mode setting means 60. Based on the signal, 1 (H) selection control signal generated by the selection signal generating means 62 is applied. As a result, the MUX 318 selects the data signal applied from the detour path circuit 317 based on the applied 1 (H) selection control signal, and E, F, G, and E shown in FIG. Outputs a signal such as H.

次に、MUX318から出力された信号は、後段の組み合わせ回路を介して、スキャンセル319へ印加される。   Next, the signal output from the MUX 318 is applied to the scan cell 319 via a subsequent combinational circuit.

また、入出力データに関するメモリセル周辺回路のテストは、低消費電力対応のため、迂回パスモードの場合、メモリセル301を停止させた状態で行う。そのため、メモリセル301のWEN端子、CEN端子へは、1(H)のATPGEN信号と、1(H)のMEM_BYPASS信号に基づき、動作制御信号供給手段63により、1(H)のSCANEN信号が印加され、メモリセル301のCLK端子へは、1(H)のATPGEN信号と、1(H)のMEM_BYPASS信号に基づき、クロック反転手段64により、0(L)のSYSTEM_CLK信号が印加され、メモリセル301を停止させる。   Further, the test of the memory cell peripheral circuit related to input / output data is performed in a state where the memory cell 301 is stopped in the bypass path mode in order to cope with low power consumption. Therefore, the 1 (H) SCANEN signal is applied to the WEN terminal and CEN terminal of the memory cell 301 by the operation control signal supply means 63 based on the 1 (H) ATPGEN signal and the 1 (H) MEM_BYPASS signal. Then, a 0 (L) SYSTEM_CLK signal is applied to the CLK terminal of the memory cell 301 by the clock inversion means 64 based on the 1 (H) ATPGEN signal and the 1 (H) MEM_BYPASS signal. Stop.

このように、入出力データに関するメモリセル周辺回路のテストは、スキャンセル316へ、入力データのテストパターンであるデータ信号が印加され、迂回パス回路317を介して、スキャンセル319へ信号を出力し、その出力値を、正常パターンである期待値と比較することで、入出力データに関するメモリセル周辺回路が故障しているか否かを判断することができる。   As described above, in the test of the peripheral circuit of the memory cell related to the input / output data, the data signal which is the test pattern of the input data is applied to the scan cell 316, and the signal is output to the scan cell 319 via the bypass path circuit 317. By comparing the output value with an expected value that is a normal pattern, it is possible to determine whether or not the memory cell peripheral circuit related to the input / output data has failed.

これによって、低消費電力に対応し、トランスペアレントモードを用いてテストを行った際、メモリBISTの故障検出率低下の原因であった、停止したメモリセル301における入出力データに関するメモリセル周辺回路に対し、迂回パスモードとして動作するように制御することでテストすることが可能となり、故障検出率を向上させることができる。   As a result, the memory cell peripheral circuit related to the input / output data in the stopped memory cell 301 that caused the failure detection rate reduction of the memory BIST when the test was performed using the transparent mode corresponding to the low power consumption. It is possible to test by controlling to operate as a detour path mode, and to improve the failure detection rate.

図11(b)は、トランスペアレントモード時のタイムチャートであり、メモリセル301のCLK端子へ印加される信号をAに、WEN端子へ印加される信号をBに、CEN端子へ印加される信号をCに、スキャンセル316の後段に備わる組み合わせ回路の出力信号をD、E、F及びGに、メモリセル301のデータ出力端子(Do0〜Don)から出力される信号をH、I、J及びKに示す。   FIG. 11B is a time chart in the transparent mode. A signal applied to the CLK terminal of the memory cell 301 is A, a signal applied to the WEN terminal is B, and a signal applied to the CEN terminal is shown. C, D, E, F, and G are output signals of the combinational circuit provided in the subsequent stage of the scan cell 316, and H, I, J, and K are signals output from the data output terminals (Do0 to Don) of the memory cell 301. Shown in

まず、入出力データに関するメモリセル周辺回路のテストは、スキャンセル316へデータ信号が印加される。印加されたデータ信号は、スキャンセル316の後段に備わる組み合わせ回路へ印加される。よって、組み合わせ回路から図11(b)に示すD、E、F及びGのような信号が出力された場合、メモリセル301のデータ入力端子(Di0〜Din)へ印加される。   First, a data signal is applied to the scan cell 316 in the test of the memory cell peripheral circuit related to input / output data. The applied data signal is applied to a combinational circuit provided in the subsequent stage of the scan cell 316. Therefore, when signals such as D, E, F, and G shown in FIG. 11B are output from the combinational circuit, they are applied to the data input terminals (Di0 to Din) of the memory cell 301.

また、入出力データに関するメモリセル周辺回路のテストは、メモリセル301をトランスペアレントモードで動作させるため、メモリセル301のWEN端子、CEN端子へは、1(H)のATPGEN信号と、0(L)のMEM_BYPASS信号に基づき、動作制御信号供給手段63により、0(L)と1(H)を1サイクルとするSCANEN信号が印加され、メモリセル301のCLK端子へは、1(H)のATPGEN信号と、1(H)のMEM_BYPASS信号に基づき、クロック反転手段64により、1(H)と0(L)を1サイクルとする反転されたSYSTEM_CLK信号が印加され、メモリセル301をトランスペアレントモードとして、スキャンシフトとキャプチャ動作を交互に動作する。   In the test of the memory cell peripheral circuit related to input / output data, since the memory cell 301 is operated in the transparent mode, the ATPGEN signal of 1 (H) and 0 (L) are supplied to the WEN terminal and CEN terminal of the memory cell 301. Based on the MEM_BYPASS signal, the operation control signal supply means 63 applies a SCANEN signal with 0 (L) and 1 (H) as one cycle, and the CLK terminal of the memory cell 301 has a 1 (H) ATPGEN signal. Based on the MEM_BYPASS signal of 1 (H), the inverted SYSTEM_CLK signal with 1 (H) and 0 (L) as one cycle is applied by the clock inversion means 64, and the memory cell 301 is set in the transparent mode and scanned. Shift and capture operations operate alternately.

よって、メモリセル301は、印加されたデータ信号を、順次、データ出力端子(Do0〜Don)へ、図11(b)に示すH、I、J及びKのような信号を出力し、MUX318の入力端子へ印加され、MUX318の制御信号入力端子へは、1(H)のATPGEN信号と、トモード設定手段60により、モード設定信号レジスタ53に設定した命令(モード設定)に従い発行された0(L)のMEM_BYPASS信号に基づき、選択信号発生手段62により発生された0(L)の選択制御信号が印加される。その結果、MUX318は、印加された0(L)の選択制御信号により、メモリセル301のデータ出力端子(Do0〜Don)から印加されたデータ信号を選択し、出力端子から、図11(b)に示すH、I、J及びKと同様の信号を出力する。   Therefore, the memory cell 301 sequentially outputs the applied data signal to the data output terminals (Do0 to Don) such as H, I, J, and K shown in FIG. 0 (L) issued to the control signal input terminal of the MUX 318 according to the ATPGEN signal of 1 (H) and the command (mode setting) set in the mode setting signal register 53 by the mode setting means 60. ), A selection control signal of 0 (L) generated by the selection signal generating means 62 is applied. As a result, the MUX 318 selects the data signal applied from the data output terminals (Do0 to Don) of the memory cell 301 according to the applied 0 (L) selection control signal, and the output signal from FIG. The same signals as H, I, J and K shown in FIG.

次に、MUX318から出力された信号は、後段の組み合わせ回路を介して、スキャンセル319へ印加される。   Next, the signal output from the MUX 318 is applied to the scan cell 319 via a subsequent combinational circuit.

このように、入出力データに関するメモリセル周辺回路のテストは、スキャンセル316へ、入力データのテストパターンであるデータ信号が印加され、トランスペアレントモードで動作するメモリセル301のデータ入出力端子(Di0〜Din、Do0〜Don)を介して、スキャンセル319へ信号を出力し、その出力値を、正常パターンである期待値と比較することで、入出力データに関するメモリセル周辺回路が故障しているか否かを判断することができる。   As described above, in the test of the memory cell peripheral circuit related to the input / output data, the data signal which is the test pattern of the input data is applied to the scan cell 316, and the data input / output terminals (Di0 to Di0) of the memory cell 301 operating in the transparent mode. Din, Do0 to Don), a signal is output to scan cell 319, and the output value is compared with an expected value that is a normal pattern to determine whether a memory cell peripheral circuit related to input / output data has failed. Can be determined.

これによって、迂回パスモードでテストを行った際、テストを行うことが出来なかったメモリセル301からの出力データと、メモリセル301のデータ出力端子(Do0〜Don)からMUX318の入力端子間のパスと、MUX318における選択制御信号の入力端子に対し、トランスペアレントモードとしてメモリセル301を動作するように制御することでテストすることが可能となり、故障検出率を向上させることができる。   Thus, when the test is performed in the bypass path mode, the output data from the memory cell 301 that could not be tested and the path between the data output terminal (Do0 to Don) of the memory cell 301 and the input terminal of the MUX 318 Then, it becomes possible to test the input terminal of the selection control signal in the MUX 318 by controlling the memory cell 301 to operate in the transparent mode, and the failure detection rate can be improved.

以上のように、本発明の実施例によれば、迂回パス回路317を用いる方法と、メモリセル301をトランスペアレントモードとして動作させる方法とを組み合わせ、アドレス設定手段61、選択信号発生手段62、動作制御信号供給手段63、クロック反転手段64、選択手段65を有するメモリセル周辺回路を構成し、モード設定手段60によりモード設定信号レジスタ53へ設定した命令(モード設定)に従い、LSI43が搭載するメモリセル毎に、モード設定信号(MEM_BYPASS信号)を発行し、迂回パスモードとトランスペアレントモードを設定することで、迂回パスモードのメモリセルとトランスペアレントモードのメモリセルとの動作を制御することができ、低消費電力でテストが行え、迂回パス回路317を用いた方法の問題点である、テストを行うことができないメモリセル301からの出力データと、メモリセル301のデータ出力端子(Do0〜Don)からMUX318の入力端子間のパスと、MUX318における選択制御信号の入力端子に対し、テストを行うことができ、トランスペアレントモードを用いた方法で問題となっている、テストを行うことができないアドレス入力に関するメモリセル周辺回路に対し、テストを行うことができ、メモリセル周辺回路の故障検出率を向上させ、低消費電力でテストを行うことができる。   As described above, according to the embodiment of the present invention, the method of using the bypass path circuit 317 and the method of operating the memory cell 301 in the transparent mode are combined, and the address setting unit 61, the selection signal generating unit 62, and the operation control are combined. A memory cell peripheral circuit having a signal supply unit 63, a clock inversion unit 64, and a selection unit 65 is configured, and each memory cell mounted on the LSI 43 according to an instruction (mode setting) set in the mode setting signal register 53 by the mode setting unit 60 In addition, by issuing the mode setting signal (MEM_BYPASS signal) and setting the bypass path mode and transparent mode, the operation of the memory cell in the bypass path mode and the memory cell in the transparent mode can be controlled, and low power consumption This is a problem of the method using the detour path circuit 317. The output data from the memory cell 301 that cannot be tested, the path between the data output terminal (Do0 to Don) of the memory cell 301 and the input terminal of the MUX 318, and the input terminal of the selection control signal in the MUX 318 Tests can be performed on memory cell peripheral circuits related to address inputs that cannot be tested, which is a problem in the method using the transparent mode. Test rate can be improved and power consumption can be reduced.

各実施例に基づき本発明の説明を行ってきたが、上記実施例に挙げた形状に、その他の要素との組み合わせ等、ここで示した要件に、本発明が限定されるものではない。   Although the present invention has been described based on each embodiment, the present invention is not limited to the requirements shown here, such as combinations of other elements with the shapes listed in the above embodiments.

これらの点に関しては、本発明の主旨をそこなわない範囲で変更することが可能であり、その応用形態に応じて適切に定めることができる。   With respect to these points, the present invention can be changed within a range that does not detract from the gist of the present invention, and can be appropriately determined according to the application form.

本発明に係るLSI内部のメモリセル及び迂回パス回路を用いたメモリセル周辺回路の構成例を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration example of a memory cell peripheral circuit using a memory cell and a bypass path circuit in an LSI according to the present invention. 本発明に係るLSI内部のメモリセル及びトランスペアレントモードのメモリセル周辺回路の構成例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a configuration example of a memory cell and a transparent mode memory cell peripheral circuit in an LSI according to the present invention. 本発明の実施例に係るLSIテスタを用いたテストの流れを示す図である。It is a figure which shows the flow of the test using the LSI tester based on the Example of this invention. 本発明の実施例に係るトランスペアレントモード設定手段の構成例及び動作の流れを示す図である。It is a figure which shows the structural example and flow of operation | movement of the transparent mode setting means based on the Example of this invention. 本発明の実施例に係るLSI内部のメモリセル及び主要なメモリセル周辺回路の構成例を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration example of a memory cell inside an LSI and a main memory cell peripheral circuit according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施例に係るアドレス設定手段のタイムチャートの例を示す図である。It is a figure which shows the example of the time chart of the address setting means based on the Example of this invention. 本発明の実施例に係る選択信号発生手段のタイムチャートの例を示す図である。It is a figure which shows the example of the time chart of the selection signal generation means which concerns on the Example of this invention. 本発明の実施例に係る動作制御信号供給手段のタイムチャートの例を示す図である。It is a figure which shows the example of the time chart of the operation control signal supply means which concerns on the Example of this invention. 本発明の実施例に係るクロック反転手段のタイムチャートの例を示す図である。It is a figure which shows the example of the time chart of the clock inversion means based on the Example of this invention. 本発明の実施例に係るアドレス入力に関するメモリセル周辺回路テスト時のタイムチャートの例を示す図である。It is a figure which shows the example of the time chart at the time of the memory cell peripheral circuit test regarding the address input which concerns on the Example of this invention. 本発明の実施例に係る迂回パスモードによる入出力データに関するメモリセル周辺回路のテスト時のタイムチャートの例を示す図である。It is a figure which shows the example of the time chart at the time of the test of the memory cell peripheral circuit regarding the input / output data by the detour path mode which concerns on the Example of this invention. 本発明の実施例に係るトランスペアレントモードによる入出力データに関するメモリセル周辺回路のテスト時のタイムチャートの例を示す図である。It is a figure which shows the example of the time chart at the time of the test of the memory cell peripheral circuit regarding the input / output data by the transparent mode which concerns on the Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

301 メモリセル(同期式SRAM)
302、307、310、316、319 スキャンセル(D-FF)
308、311、312、314、315、318 選択回路(MUX:マルチプレクサ)
305、309 論理積回路(AND回路)
304 論理和回路(OR回路)
306 組み合わせ回路(ツリー状のXOR回路)
303、313 反転回路(NOT回路)
317 迂回パス回路
301 memory cell (synchronous SRAM)
302, 307, 310, 316, 319 Scan cell (D-FF)
308, 311, 312, 314, 315, 318 selection circuit (MUX: multiplexer)
305, 309 AND circuit (AND circuit)
304 OR circuit (OR circuit)
306 Combination circuit (Tree-like XOR circuit)
303, 313 Inversion circuit (NOT circuit)
317 Detour path circuit

Claims (6)

テスト信号を印加するスキャンセルと、
テスト信号を出力するスキャンセルと、
メモリセルとを有するスキャンテストに対応した半導体集積回路であって、
前記メモリセルの入力端子と出力端子間の回路であって、前記メモリセルの外に設けられた迂回パス回路と、
前記メモリセルをトランスペアレントモード又は迂回パスモードへ設定する、モード設定手段と、
前記迂回パス回路の出力と、前記モード設定手段により設定された前記メモリセルの出力とを選択する、選択手段とを有することを特徴とするスキャンテストに対応した半導体集積回路。
A scan cell for applying a test signal;
A scan cell that outputs a test signal;
A semiconductor integrated circuit corresponding to a scan test having a memory cell,
A circuit between an input terminal and an output terminal of the memory cell, and a bypass path circuit provided outside the memory cell;
Mode setting means for setting the memory cell to a transparent mode or a bypass path mode;
A semiconductor integrated circuit corresponding to a scan test, comprising: selection means for selecting an output of the bypass path circuit and an output of the memory cell set by the mode setting means.
前記メモリセル毎に、前記迂回パスモードであるか、又はトランスペアレントモードであるかを指示する命令コードを、一時的に保持する、インストラクションレジスタと、
前記インストラクションレジスタに保持された命令コードを解読する、インストラクションデコーダと、
前記インストラクションデコーダにより解読された、前記メモリセルに対応したモード設定信号を、一時的に保持する、モード設定信号レジスタとを有し、
テストスキャン時に、前記モード設定信号レジスタの信号を読み出すことを特徴とする請求項1に記載のスキャンテストに対応した半導体集積回路。
An instruction register that temporarily holds an instruction code indicating whether the bypass path mode or the transparent mode is set for each memory cell;
An instruction decoder for decoding an instruction code held in the instruction register;
A mode setting signal register that temporarily holds a mode setting signal corresponding to the memory cell, decoded by the instruction decoder;
2. The semiconductor integrated circuit corresponding to a scan test according to claim 1, wherein a signal of the mode setting signal register is read out during a test scan.
前記選択手段に対し、選択信号を発生する、選択信号発生手段を有し、
前記選択信号発生手段は、
前記モード設定信号レジスタから読み出された、前記モード設定信号に基づき、前記テスト信号を、前記選択手段に供給することを特徴とする請求項1及び2に記載のスキャンテストに対応した半導体集積回路。
A selection signal generating means for generating a selection signal for the selection means;
The selection signal generating means includes
3. The semiconductor integrated circuit corresponding to the scan test according to claim 1, wherein the test signal is supplied to the selection unit based on the mode setting signal read from the mode setting signal register. .
前記メモリセルに対し、アドレスを設定する、アドレス設定手段を有し、
前記アドレス設定手段は、
前記モード設定信号レジスタから読み出された、前記モード設定信号に基づき、前記テスト信号を、前記メモリセルのアドレス入力データとすることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載のスキャンテストに対応した半導体集積回路。
Address setting means for setting an address for the memory cell;
The address setting means includes
4. The test signal as address input data of the memory cell based on the mode setting signal read from the mode setting signal register. A semiconductor integrated circuit that supports scan testing.
前記メモリセルの動作を制御する制御信号を、前記メモリセルのチップイネーブル端子に供給する、動作制御信号供給手段を有し、
前記動作制御信号供給手段は、
前記モード設定信号レジスタから読み出された、前記モード設定信号に基づき、前記制御信号を、前記メモリセルのチップイネーブル端子へ供給することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載のスキャンテストに対応した半導体集積回路。
An operation control signal supply means for supplying a control signal for controlling the operation of the memory cell to a chip enable terminal of the memory cell;
The operation control signal supply means includes
5. The control signal is supplied to a chip enable terminal of the memory cell based on the mode setting signal read from the mode setting signal register. 6. Integrated circuit that supports the scan test.
クロックを反転させる、クロック反転手段を有し、
前記クロック反転手段は、
前記モード設定信号レジスタから読み出された、前記モード設定信号に基づき、クロックを反転することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載のスキャンテストに対応した半導体集積回路。
A clock inversion means for inverting the clock;
The clock inverting means
6. The semiconductor integrated circuit corresponding to the scan test according to claim 1, wherein a clock is inverted based on the mode setting signal read from the mode setting signal register.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009199703A (en) * 2008-02-25 2009-09-03 Nec Computertechno Ltd Integrated circuit, operation test method therefor and operation test program
JP2009210449A (en) * 2008-03-05 2009-09-17 Fujitsu Microelectronics Ltd Semiconductor integrated circuit
JP2019168316A (en) * 2018-03-23 2019-10-03 株式会社東芝 Semiconductor integrated circuit

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06118133A (en) * 1992-10-05 1994-04-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Testing of lsi
JP2000321335A (en) * 1999-05-13 2000-11-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd Scan test circuit
JP2001059856A (en) * 1999-08-23 2001-03-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd Integrated circuit device, its testing method, database for its design, and its designing method
JP2001099896A (en) * 1999-07-28 2001-04-13 Hitachi Ltd Semiconductor integrated circuit and recording medium
JP2001235524A (en) * 2000-02-22 2001-08-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd Semiconductor integrated circuit device and its test method, ram/rom test circuit and its test method
JP2004279310A (en) * 2003-03-18 2004-10-07 Kawasaki Microelectronics Kk Semiconductor integrated circuit

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06118133A (en) * 1992-10-05 1994-04-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Testing of lsi
JP2000321335A (en) * 1999-05-13 2000-11-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd Scan test circuit
JP2001099896A (en) * 1999-07-28 2001-04-13 Hitachi Ltd Semiconductor integrated circuit and recording medium
JP2001059856A (en) * 1999-08-23 2001-03-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd Integrated circuit device, its testing method, database for its design, and its designing method
JP2001235524A (en) * 2000-02-22 2001-08-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd Semiconductor integrated circuit device and its test method, ram/rom test circuit and its test method
JP2004279310A (en) * 2003-03-18 2004-10-07 Kawasaki Microelectronics Kk Semiconductor integrated circuit

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009199703A (en) * 2008-02-25 2009-09-03 Nec Computertechno Ltd Integrated circuit, operation test method therefor and operation test program
JP2009210449A (en) * 2008-03-05 2009-09-17 Fujitsu Microelectronics Ltd Semiconductor integrated circuit
JP2019168316A (en) * 2018-03-23 2019-10-03 株式会社東芝 Semiconductor integrated circuit

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