JP2007265620A - Magnetic recording medium - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えばハードディスク駆動装置(HDD)に組み込まれる磁気ディスクといった磁気記録媒体に関する。 The present invention relates to a magnetic recording medium such as a magnetic disk incorporated in a hard disk drive (HDD).
一般に、磁気ディスクでは基板の表面に記録用の磁性層が積層される。こういった磁性層は、Co原子に基づき形成される磁性結晶粒で構成される。周知の通りに、磁性層では結晶粒界に沿ってCr原子の偏析が実施される。その結果、磁性結晶粒同士の間にはCr非磁性壁が形成される。Cr非磁性壁は磁性結晶粒同士の相互作用を抑制する。こうして磁性結晶粒同士の相互作用が抑制されると、磁気情報の読み出しにあたってノイズは低減される。 Generally, in a magnetic disk, a recording magnetic layer is laminated on the surface of a substrate. Such a magnetic layer is composed of magnetic crystal grains formed based on Co atoms. As is well known, Cr atoms are segregated along the grain boundaries in the magnetic layer. As a result, Cr nonmagnetic walls are formed between the magnetic crystal grains. Cr nonmagnetic walls suppress the interaction between magnetic crystal grains. When the interaction between the magnetic crystal grains is suppressed in this way, noise is reduced when reading magnetic information.
記録密度の向上にあたって磁性層内では磁性結晶粒の微小化が要求される。一般に、磁性層の膜厚が十分に薄膜化されれば磁性結晶粒の微小化は実現されることが広く知られる。しかしながら、磁性層の膜厚が減少すると、tBr(膜厚と残留磁化との積)の減少に伴い磁性層から漏れ出る磁界の強さは弱まる。したがって、十分な大きさの再生出力は確保されることができない。しかも、磁性層の膜厚の減少は保磁力Hcの低下を引き起こす。保磁力Hcが過度に低下すると、磁性層に記録された磁気情報は熱攪乱などに起因して容易に破壊されてしまう。 In order to improve the recording density, it is required to reduce the size of magnetic crystal grains in the magnetic layer. In general, it is widely known that miniaturization of magnetic crystal grains can be realized if the thickness of the magnetic layer is sufficiently reduced. However, when the thickness of the magnetic layer decreases, the strength of the magnetic field leaking from the magnetic layer decreases with a decrease in tBr (product of the film thickness and residual magnetization). Therefore, a sufficiently large reproduction output cannot be ensured. In addition, a decrease in the thickness of the magnetic layer causes a decrease in the coercive force Hc. If the coercive force Hc is excessively reduced, the magnetic information recorded on the magnetic layer is easily destroyed due to thermal disturbance or the like.
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、これまで以上に高い周波数の書き込み信号に十分に対応することができ、かつ、保磁力の低下を伴わずに十分に磁性層の薄膜化を実現することができる磁気記録媒体を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and can sufficiently cope with a write signal having a higher frequency than ever, and sufficiently reduce the thickness of the magnetic layer without decreasing the coercive force. An object of the present invention is to provide a magnetic recording medium that can be realized.
上記目的を達成するために、本発明によれば、第1飽和磁束密度を有する第1磁性層と、第1磁性層上に積層されて、第1飽和磁束密度よりも大きい第2飽和磁束密度を有する第2磁性層とを備えることを特徴とする磁気記録媒体が提供される。 In order to achieve the above object, according to the present invention, a first magnetic layer having a first saturation magnetic flux density and a second saturation magnetic flux density that is laminated on the first magnetic layer and is larger than the first saturation magnetic flux density. And a second magnetic layer having a magnetic recording medium.
こういった磁気記録媒体では、第1磁性層および第2磁性層の積層体で磁気記録層は形成される。第2磁性層は第1磁性層に比べて大きな飽和磁束密度を有することから、第1磁性層単独で磁気記録層が提供される場合に比べて大きな残留磁化が積層体の磁気記録層には確保されることができる。したがって、積層体全体の膜厚が縮小されても、十分な大きさのtBr(膜厚と残留磁化との積)は確保されることができる。十分な大きさの再生出力は確保されることができる。 In such a magnetic recording medium, the magnetic recording layer is formed of a laminate of the first magnetic layer and the second magnetic layer. Since the second magnetic layer has a larger saturation magnetic flux density than the first magnetic layer, a large remanent magnetization is generated in the magnetic recording layer of the laminate as compared with the case where the first magnetic layer is provided alone. Can be secured. Therefore, even if the film thickness of the entire laminate is reduced, a sufficiently large tBr (product of film thickness and residual magnetization) can be ensured. A sufficiently large reproduction output can be ensured.
しかも、こういった第1および第2磁性層の積層体では十分な保磁力が確保されることができる。膜厚の減少にも拘わらず保磁力の低下は回避されることができる。その結果、第1および第2磁性層に記録された磁気情報は確実に記録磁性層内に保持されることができる。 In addition, a sufficient coercive force can be ensured in such a laminate of the first and second magnetic layers. A decrease in coercive force can be avoided despite a decrease in film thickness. As a result, the magnetic information recorded in the first and second magnetic layers can be reliably held in the recording magnetic layer.
第1磁性層には、例えば、Co原子に基づき形成される磁性結晶粒と、磁性結晶粒同士の間に形成されるCr非磁性壁とが含まれればよい。同様に、第2磁性層には、Co原子に基づき形成される磁性結晶粒と、磁性結晶粒同士の間に形成されるCr非磁性壁とが含まれればよい。このとき、第2磁性層に含まれるCr原子の含有量は第1磁性層に含まれるCr原子のそれよりも小さく設定されればよい。ただし、第2磁性層の飽和磁束密度は0.5[T]以上に確保されることが要求される。 The first magnetic layer may include, for example, magnetic crystal grains formed based on Co atoms and Cr nonmagnetic walls formed between the magnetic crystal grains. Similarly, the second magnetic layer only needs to include magnetic crystal grains formed based on Co atoms and Cr nonmagnetic walls formed between the magnetic crystal grains. At this time, the content of Cr atoms contained in the second magnetic layer may be set smaller than that of Cr atoms contained in the first magnetic layer. However, the saturation magnetic flux density of the second magnetic layer is required to be secured to 0.5 [T] or more.
前述のように十分な大きさのtBrが確保されつつ第1および第2磁性層の膜厚が縮小されると、第1および第2磁性層では磁性結晶粒の微小化は実現されることができる。記録再生分解能特性は高められる。第1および第2磁性層には十分に高い周波数で磁気情報は書き込まれることができる。こうして書き込み信号の周波数が高められれば、磁気記録媒体の記録密度は高められることができる。 As described above, if the thickness of the first and second magnetic layers is reduced while ensuring a sufficiently large tBr, the magnetic crystal grains can be miniaturized in the first and second magnetic layers. it can. The recording / reproducing resolution characteristic is enhanced. Magnetic information can be written to the first and second magnetic layers at a sufficiently high frequency. If the frequency of the write signal is increased in this way, the recording density of the magnetic recording medium can be increased.
本発明者の検証によれば、第2磁性層の膜厚は0.5〜3.0nmの範囲で設定されることが望まれる。第2磁性層では、第1磁性層に比べて例えばCrといった非磁性原子の含有量が小さいことから、磁性結晶粒同士の間に十分な非磁性壁が形成されることはできない。第2磁性層では磁性結晶粒同士の間で磁気的相互作用が十分に断ち切られることができない。第2磁性層の膜厚が3.0nmを越えると、第1および第2磁性層の積層体では第1磁性層の特性に比べて第2磁性層の特性が大きく影響してしまう。磁気情報の読み出しにあたってノイズは十分に低減されることができない。 According to the inventor's verification, it is desirable that the thickness of the second magnetic layer be set in the range of 0.5 to 3.0 nm. In the second magnetic layer, since the content of nonmagnetic atoms such as Cr is smaller than that in the first magnetic layer, a sufficient nonmagnetic wall cannot be formed between the magnetic crystal grains. In the second magnetic layer, the magnetic interaction between the magnetic crystal grains cannot be sufficiently cut off. When the thickness of the second magnetic layer exceeds 3.0 nm, the characteristics of the second magnetic layer are greatly affected in the laminated body of the first and second magnetic layers as compared with the characteristics of the first magnetic layer. Noise cannot be sufficiently reduced when reading magnetic information.
その他、第1磁性層は下地磁性層上に積層されてもよい。この下地磁性層には、例えば、Co原子に基づき形成される磁性結晶粒と、磁性結晶粒同士の間に形成されるCr非磁性壁とが含まれればよい。こういった下地磁性層の働きによれば、第1磁性層ではいわゆる面内方向に良好に磁化容易軸が確立されることができる。ただし、下地磁性層の膜厚は0.1〜3.5nmの範囲で設定されることが望まれる。本発明者の検証によれば、下地磁性層の膜厚がこの範囲から逸脱すると、磁気情報の読み出しにあたってノイズは十分に低減されることができなくなってしまう。 In addition, the first magnetic layer may be laminated on the base magnetic layer. For example, the base magnetic layer may include magnetic crystal grains formed based on Co atoms and Cr nonmagnetic walls formed between the magnetic crystal grains. According to such a function of the under magnetic layer, the easy axis of magnetization can be well established in the so-called in-plane direction in the first magnetic layer. However, it is desirable that the thickness of the under magnetic layer be set in the range of 0.1 to 3.5 nm. According to the verification by the present inventor, when the thickness of the underlying magnetic layer deviates from this range, noise cannot be sufficiently reduced when reading magnetic information.
さらに、下地磁性層は非磁性下地層上に積層されてもよい。この非磁性下地層には例えばCrといった非磁性原子が含まれればよい。この非磁性下地層にCr層が用いられる場合には、非磁性下地層の膜厚は例えば0.5〜7.0nm程度に設定されればよい。 Furthermore, the under magnetic layer may be laminated on the nonmagnetic under layer. This nonmagnetic underlayer may contain nonmagnetic atoms such as Cr. When a Cr layer is used for the nonmagnetic underlayer, the film thickness of the nonmagnetic underlayer may be set to about 0.5 to 7.0 nm, for example.
なお、以上のような磁気記録媒体には、例えばハードディスク駆動装置(HDD)に組み込まれる磁気ディスクのほか、様々な磁気記録媒体が含まれることができる。 The magnetic recording medium as described above can include various magnetic recording media in addition to a magnetic disk incorporated in, for example, a hard disk drive (HDD).
以上のように本発明によれば、磁気記録媒体はこれまで以上に高い周波数の書き込み信号に十分に対応することができる。その結果、磁気記録媒体の記録密度は高められることができる。 As described above, according to the present invention, the magnetic recording medium can sufficiently cope with a write signal having a higher frequency than ever before. As a result, the recording density of the magnetic recording medium can be increased.
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
図1は磁気記録媒体駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置(HDD)11の内部構造を概略的に示す。このHDD11は、例えば平たい直方体の内部空間を区画する箱形の筐体本体12を備える。収容空間には、記録媒体としての1枚以上の磁気ディスク13が収容される。磁気ディスク13はスピンドルモータ14の回転軸に装着される。スピンドルモータ14は例えば7200rpmや10000rpmといった高速度で磁気ディスク13を回転させることができる。筐体本体12には、筐体本体12との間で収容空間を密閉する蓋体すなわちカバー(図示されず)が結合される。
FIG. 1 schematically shows an internal structure of a hard disk drive (HDD) 11 as a specific example of a magnetic recording medium drive. The
収容空間にはヘッドアクチュエータ15がさらに収容される。このヘッドアクチュエータ15は、垂直方向に延びる支軸16に回転自在に支持されるアクチュエータブロック17を備える。アクチュエータブロック17には、支軸16から水平方向に延びる剛体のアクチュエータアーム18が規定される。アクチュエータアーム18は磁気ディスク13の表面および裏面ごとに配置される。アクチュエータブロック17は例えば鋳造に基づきアルミニウムから成型されればよい。
The
アクチュエータアーム18の先端にはヘッドサスペンション19が取り付けられる。ヘッドサスペンション19は、アクチュエータアーム18の先端から前方に向かって延びる。周知の通り、ヘッドサスペンション19の前端には浮上ヘッドスライダ21が支持される。こうして浮上ヘッドスライダ21はアクチュエータブロック17に連結される。浮上ヘッドスライダ21は磁気ディスク13の表面に向き合わせられる。
A
浮上ヘッドスライダ21にはいわゆる磁気ヘッドすなわち電磁変換素子(図示されず)が搭載される。この電磁変換素子は、例えば、スピンバルブ膜やトンネル接合膜の抵抗変化を利用して磁気ディスク13から情報を読み出す巨大磁気抵抗効果素子(GMR)やトンネル接合磁気抵抗効果素子(TMR)といった読み出し素子(図示されず)と、薄膜コイルパターンで生成される磁界を利用して磁気ディスク13に情報を書き込む薄膜磁気ヘッドといった書き込み素子(図示されず)とで構成されればよい。
A so-called magnetic head, that is, an electromagnetic transducer (not shown) is mounted on the flying
浮上ヘッドスライダ21には、磁気ディスク13の表面に向かってヘッドサスペンション19から押し付け力が作用する。磁気ディスク13の回転に基づき磁気ディスク13の表面で生成される気流の働きで浮上ヘッドスライダ21には浮力が作用する。ヘッドサスペンション19の押し付け力と浮力とのバランスで磁気ディスク13の回転中に比較的に高い剛性で浮上ヘッドスライダ21は浮上し続けることができる。
A pressing force is applied to the flying
アクチュエータブロック17には例えばボイスコイルモータ(VCM)といった動力源22が接続される。この動力源22の働きでアクチュエータブロック17は支軸16回りで回転することができる。こうしたアクチュエータブロック16の回転に基づきアクチュエータアーム17およびヘッドサスペンション19の揺動は実現される。浮上ヘッドスライダ21の浮上中に、支軸16回りでアクチュエータアーム18が揺動すると、浮上ヘッドスライダ21は半径方向に磁気ディスク13の表面を横切ることができる。周知の通り、複数枚の磁気ディスク13が筐体本体12内に組み込まれる場合には、隣接する磁気ディスク13同士の間で2本のアクチュエータアーム18すなわち2つのヘッドサスペンション19が配置される。
A
図2は磁気ディスク13の断面構造を詳細に示す。この磁気ディスク13は、支持体としての基板21と、この基板21の表裏面に広がる多結晶構造膜22とを備える。基板21は、例えば、ディスク形のAl本体23と、Al本体23の表裏面に広がるNiP膜24とで構成されればよい。ただし、基板21にはガラス基板が用いられてもよい。多結晶構造膜22に磁気情報は記録される。多結晶構造膜22の表面は例えばダイヤモンドライクカーボンといった炭素保護膜25や潤滑膜26で被覆される。
FIG. 2 shows the cross-sectional structure of the
多結晶構造膜22は、基板21の表面に広がる下地結晶層27を備える。この下地結晶層27は、NiP膜24の表面に積層形成される第1非磁性下地層27aと、この第1非磁性下地層27aの表面に積層形成される第2非磁性下地層27bとを備える。第1および第2非磁性下地層27a、27bは例えばCrといった非磁性材料から構成されればよい。ただし、第2非磁性下地層27bにはCrよりも大きい格子定数を有するMoやWが添加される。
The
第2非磁性下地層27bの表面には下地磁性層28が広がる。下地磁性層28は例えばCoCrTa合金といったhcp構造(六方細密構造)のCo系合金から構成されればよい。下地磁性層28には、Cr、Ta、Mo、Mn、ReおよびRuの少なくともいずれか1つが添加されればよい。下地磁性層28ではCo原子に基づき磁性結晶粒は形成される。磁性結晶粒同士の間にはCr非磁性壁が形成される。Cr非磁性壁は磁性結晶粒同士の磁気的相互作用を断ち切ることができる。下地磁性層28の膜厚は例えば0.1〜3.5nmの範囲で設定されればよい。
The under
下地磁性層28の表面には第1磁性層29が広がる。この第1磁性層29は例えばCoCrPtB合金の積層体29a、29bから構成されればよい。このとき、例えば下側のCoCrPtB層29aでは上側のCoCrPtB層29bよりも大きな含有量でPtが含まれればよく、上側のCoCrPtB層29bでは下側のCoCrPtB層29aよりも小さな含有量でCrが含まれればよい。第1磁性層29ではCo原子に基づき磁性結晶粒は形成される。磁性結晶粒同士の間にはCr非磁性壁が形成される。Cr非磁性壁は磁性結晶粒同士の磁気的相互作用を断ち切ることができる。その他、第1磁性層29は単層のCo系合金から構成されてもよい。
A first
第1磁性層29の表面には第2磁性層31が広がる。この第2磁性層31は例えばCoCrTa合金といったhcp構造のCo系合金から構成されればよい。第2磁性層31ではCo原子に基づき磁性結晶粒は形成される。磁性結晶粒同士の間にはCr非磁性壁が形成される。Cr非磁性壁は磁性結晶粒同士の磁気的相互作用を断ち切ることができる。第2磁性層31の膜厚は例えば0.5〜3.0nmの範囲で設定されればよい。ここで、第2磁性層31には、前述の第1磁性層29に比べて大きな飽和磁束密度Bsが与えられる。こういった飽和磁束密度Bsの実現にあたって第2磁性層31には第1磁性層29に比べて小さい含有量(原子%)でCr原子が含まれればよい。第2磁性層31には0.5[T]以上の飽和磁束密度Bsが確保されればよい。
The second
以上のような多結晶構造膜22では、第1および第2磁性層29、31の積層体で磁気記録層は形成される。第2磁性層31は第1磁性層29に比べて大きな飽和磁束密度Bsを有することから、第1磁性層29単独で磁気記録層が提供される場合に比べて大きな残留磁化Brが積層体の磁気記録層には確保されることができる。したがって、積層体全体の膜厚が縮小されても、十分な大きさのtBr(膜厚と残留磁化との積)は確保されることができる。十分な大きさの再生出力は確保されることができる。
In the
こうして十分な大きさのtBrが確保されつつ第1および第2磁性層29、31の膜厚が縮小されると、第1および第2磁性層29、31では磁性結晶粒の微小化は実現されることができる。記録再生分解能特性は高められる。第1および第2磁性層29、31には十分に高い周波数で磁気情報は書き込まれることができる。こうして書き込み信号の周波数が高められれば、磁気ディスク13の記録密度は高められることができる。記録再生分解能Resは次式で表現される。
If the thickness of the first and second
しかも、こういった第1および第2磁性層29、31の積層体では十分な保磁力Hcが確保されることができる。膜厚の減少にも拘わらず保磁力Hcの低下は回避されることができる。その結果、第1および第2磁性層29、31に記録された磁気情報は確実に記録磁性層内に保持されることができる。
In addition, a sufficient coercive force Hc can be ensured in the laminated body of the first and second
次に磁気ディスク13の製造方法を簡単に説明する。まず、ディスク形の基板21は用意される。基板21の表面には予めNiP膜24が積層形成される。NiP膜24の形成にあたって例えば無電解めっき法は用いられる。基板21は例えばスパッタリング装置に装着される。このスパッタリング装置内で基板21の表面には多結晶構造膜22が形成される。形成方法の詳細は後述される。その後、多結晶構造膜22の表面には炭素保護膜25や潤滑膜26が形成される。炭素保護膜25は例えばCVD法(化学的気相蒸着法)に基づき積層形成されればよい。
Next, a method for manufacturing the
スパッタリング装置ではいわゆるDCマグネトロンスパッタリング法に基づき多結晶構造膜22は成膜される。成膜にあたってスパッタリング装置のチャンバ内にはArガスが導入される。チャンバ内は例えば0.67[Pa]の圧力下に保持される。Arガスの導入に先立ってチャンバ内には4.0×10−5[Pa]程度の真空環境が確立される。
In the sputtering apparatus, the
成膜に先立って基板21は摂氏220度程度に加熱される。加熱に基づき基板21の表面に付着する不純物は除去される。ここでは、基板21は少なくとも摂氏200度以上に加熱されることが望まれる。ただし、摂氏270度を超えると、NiP膜24の結晶化に基づきNiP膜24で磁化が確立されてしまう。したがって、基板21の温度は摂氏270度以下に留められる。
Prior to film formation, the
図3に示されるように、基板21の表面には第1非磁性下地層27aが成膜される。成膜にあたってCrターゲットは用いられる。Cr原子33は基板21の表面に堆積する。Cr原子33は基板21上で結晶粒を形成する。基板21は高温に維持されることから、基板21上に形成されるCr層34では所定の向きに結晶の配向は揃えられる。Cr層34は例えば膜厚5.0nm程度に成膜される。
As shown in FIG. 3, a first
続いて図4に示されるように、Cr層34の表面には第2非磁性下地層27bが成膜される。成膜にあたってCrMoターゲットが用いられる。CrMoターゲットには所定の含有量でMoが添加される。こうしてCr層34の表面にはCrMo合金層35が形成される。CrMo合金層35内では前述のCr層34に基づきエピタキシャル成長が確立される。CrMo合金層35は膜厚2.0nm程度に成膜される。
Subsequently, as shown in FIG. 4, a second
続いて図5に示されるように、CrMo合金層35の表面には下地磁性層28が成膜される。成膜にあたってCoCrTaターゲットは用いられる。CrMo合金層35の表面にはCoCrTa合金層36が形成される。CoCrTa合金層36内では前述のCrMo層35に基づきエピタキシャル成長が確立される。CoCrTa合金層36の膜厚は0.1〜3.5nm程度の範囲で設定されればよい。
Subsequently, as shown in FIG. 5, a base
続いて図6に示されるように、CoCrTa合金層36の表面には第1磁性層29および第2磁性層31が相次いで成膜される。第1磁性層29の成膜にあたってCoCrPtBターゲットが用いられる。同様に、第2磁性層31の成膜にあたってCoCrTaターゲットは用いられる。このとき、CoCrTaターゲットでは、CoCrPtBターゲットに比べてCrの含有量(原子%)は抑制される。CoCrTa合金層36の表面にはCoCrPtB合金層37、38が相次いで形成される。各CoCrPtB合金層37、38ではエピタキシャル成長に基づき磁性結晶粒が確立される。前述のCr層34の働きでCoCrPtB合金層37、38では面内方向に良好に磁化容易軸が確立される。基板21が高温に維持されることから、磁性結晶粒同士の間にはCr原子39が偏析する。Cr原子39は非磁性壁を作り出す。CoCrPtB合金層38の表面にはCoCrTa合金層41が形成される。CoCrTa合金層41では0.5[T]程度の飽和磁束密度Bsが確保されればよい。第1および第2磁性層29、31の積層体の膜厚tはtBr=5.5[nTm]程度を目安に設定されればよい。
Subsequently, as shown in FIG. 6, the first
本発明者は、以上のように製造された多結晶構造膜22の磁気特性を検証した。第1非磁性下地層27aすなわちCr層34の膜厚は5.0nmに設定された。第2非磁性下地層27bすなわちCrMo合金層35の膜厚2.0nmに設定された。第2磁性層31すなわちCoCrTa合金層41の飽和磁束密度Bsは0.5[T]に設定された。この設定にあたって第2磁性層31に含まれるCr原子の含有量(原子%)は調整された。第1および第2磁性層29、31の積層体ではtBrは5.5[nTm]に設定された。
The inventor has verified the magnetic characteristics of the
本発明者は多結晶構造膜22の記録再生分解能Resを測定した。測定にあたってGMR(巨大磁気抵抗効果)ヘッドは用いられた。このとき、下地磁性層28すなわちCoCrTa合金層36の膜厚は1.0nm、2.0nmおよび3.0nmといった具合に変更された。同様に、用意された1比較例では下地磁性層28の形成は省略された。図7から明らかなように、下地磁性層28の膜厚が2.0nm付近で記録再生分解能Resは最大値を記録した。下地磁性層28の膜厚が0.1〜3.5nmの範囲で設定されると、記録再生分解能Resは十分に高められることが確認された。
The inventor measured the recording / reproducing resolution Res of the
同様に、本発明者は多結晶構造膜22の記録再生分解能Resを測定した。ここでは、下地磁性層28の膜厚は2.0nmに固定された。その一方で、第2磁性層31すなわちCoCrTa合金層41の膜厚は0.5nm、1.0nm、1.5nm、2.0nmおよび4.0nmといった具合に変更された。第2磁性層31の膜厚の変更に伴い第1磁性層29の膜厚は調整された。調整にあたって第1および第2磁性層29、31の積層体ではtBrは5.5[nTm]に設定された。用意された1比較例では第2磁性層31の形成は省略された。図8から明らかなように、第2磁性層31の膜厚が2.0〜2.5nm付近で記録再生分解能Resは最大値を記録した。第2磁性層31の膜厚が0.5〜3.0nmの範囲で設定されると、記録再生分解能Resは十分に高められることが確認された。
Similarly, the inventor measured the recording / reproducing resolution Res of the
さらに、本発明者は、前述と同様に第2磁性層31の膜厚を変化させながら多結晶構造膜22の保磁力Hcを測定した。測定にあたってVSM(振動サンプル磁力計)は用いられた。図9から明らかなように、第2磁性層31の膜厚の大きさに拘わらず、一定の保磁力Hcが確保されることが確認された。すなわち、第2磁性層31の膜厚の増加に伴い第1および第2磁性層29、31の積層体で膜厚が減少しても十分な保磁力Hcが確保されることが確認された。
Furthermore, the inventor measured the coercive force Hc of the
(付記1) 第1飽和磁束密度を有する第1磁性層と、第1磁性層上に積層されて、第1飽和磁束密度よりも大きい第2飽和磁束密度を有する第2磁性層とを備えることを特徴とする磁気記録媒体。 (Supplementary Note 1) A first magnetic layer having a first saturation magnetic flux density and a second magnetic layer laminated on the first magnetic layer and having a second saturation magnetic flux density greater than the first saturation magnetic flux density. A magnetic recording medium characterized by the above.
(付記2) 付記1に記載の磁気記録媒体において、前記第2飽和磁束密度は0.5[T]以上に設定されることを特徴とする磁気記録媒体。 (Supplementary note 2) The magnetic recording medium according to supplementary note 1, wherein the second saturation magnetic flux density is set to 0.5 [T] or more.
(付記3) 付記1または2に記載の磁気記録媒体において、前記第1磁性層は、Co原子に基づき形成される磁性結晶粒と、磁性結晶粒同士の間に形成されるCr非磁性壁とを含むことを特徴とする磁気記録媒体。
(Supplementary Note 3) In the magnetic recording medium according to
(付記4) 付記3に記載の磁気記録媒体において、前記第2磁性層は、Co原子に基づき形成される磁性結晶粒と、磁性結晶粒同士の間に形成されるCr非磁性壁とを含み、第2磁性層に含まれるCr原子の含有量は第1磁性層に含まれるCr原子のそれよりも小さく設定されることを特徴とする磁気記録媒体。 (Supplementary note 4) In the magnetic recording medium according to supplementary note 3, the second magnetic layer includes magnetic crystal grains formed based on Co atoms and Cr nonmagnetic walls formed between the magnetic crystal grains. The content of Cr atoms contained in the second magnetic layer is set smaller than that of Cr atoms contained in the first magnetic layer.
(付記5) 付記1〜4のいずれかに記載の磁気記録媒体において、前記第2磁性層の膜厚は0.5〜3.0nmの範囲で設定されることを特徴とする磁気記録媒体。 (Additional remark 5) The magnetic recording medium in any one of additional remarks 1-4 WHEREIN: The film thickness of a said 2nd magnetic layer is set in 0.5-3.0 nm, The magnetic recording medium characterized by the above-mentioned.
(付記6) 付記1に記載の磁気記録媒体において、前記第1磁性層は下地磁性層上に積層され、この下地磁性層は、Co原子に基づき形成される磁性結晶粒と、磁性結晶粒同士の間に形成されるCr非磁性壁とを含むことを特徴とする磁気記録媒体。 (Supplementary note 6) In the magnetic recording medium according to supplementary note 1, the first magnetic layer is stacked on a base magnetic layer, and the base magnetic layer includes magnetic crystal grains formed on the basis of Co atoms and magnetic crystal grains. A magnetic recording medium comprising a Cr nonmagnetic wall formed between the two.
(付記7) 付記6に記載の磁気記録媒体において、前記下地磁性層の膜厚は0.1〜3.5nmの範囲で設定されることを特徴とする磁気記録媒体。 (Additional remark 7) The magnetic recording medium of Additional remark 6 WHEREIN: The film thickness of the said base magnetic layer is set in the range of 0.1-3.5 nm, The magnetic recording medium characterized by the above-mentioned.
(付記8) 付記6または7に記載の磁気記録媒体において、前記下地磁性層は非磁性下地層上に積層されることを特徴とする磁気記録媒体。 (Supplementary note 8) The magnetic recording medium according to supplementary note 6 or 7, wherein the under magnetic layer is laminated on a nonmagnetic under layer.
13 磁気記録媒体としての磁気ディスク、29 第1磁性層、31 第2磁性層。 13 Magnetic disk as magnetic recording medium, 29 1st magnetic layer, 31 2nd magnetic layer.
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