JP2007263859A - Vibration type measurement device - Google Patents

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JP2007263859A JP2006091484A JP2006091484A JP2007263859A JP 2007263859 A JP2007263859 A JP 2007263859A JP 2006091484 A JP2006091484 A JP 2006091484A JP 2006091484 A JP2006091484 A JP 2006091484A JP 2007263859 A JP2007263859 A JP 2007263859A
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Koyata Sugimoto
小弥太 杉本
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To remove fluctuations in a phase difference signal caused by the torsional vibration of a sensor tube. <P>SOLUTION: A flow measurement control circuit 40 comprises a filtering circuit 54 for outputting only AC components changing for each period of a measured phase difference signal, an amplitude change measurement circuit 60, and a filter constant change circuit 62, in which the amplitude change measurement circuit 60 determines the torsional vibrations of the sensor tubes 14, 15 caused by external vibration from the magnitude of the signals and the frequency of the filtering circuit 54, and the filter constant change circuit 62 changes a signal process condition so as to attenuate the torsional vibrations. With the above, even when the balance of the sensor tubes 14, 15 is changed by a temperature and then behaviors (amplitude and frequency) are changed, the phase difference signal unaffected by the torsional vibrations can be obtained and thereby a high pressure fluid can be measured precisely. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は振動式計測装置に係り、特にセンサチューブを振動させてセンサチューブに作用するコリオリ力に応じた変位を検出するように構成された振動式計測装置に関する。   The present invention relates to a vibration type measurement apparatus, and more particularly to a vibration type measurement apparatus configured to detect a displacement corresponding to a Coriolis force acting on a sensor tube by vibrating the sensor tube.

流体が供給された管路を振動させて流体の物理量を測定する振動式測定装置として、例えばコリオリ式質量流量計または振動式密度計などがある。以下、コリオリ式質量流量計について説明する。このコリオリ式質量流量計では、被測定流体が通過するセンサチューブを加振器により管径方向に振動させ、流量に比例したコリオリ力によるセンサチューブの変位をピックアップにより検出するよう構成されている。また、振動式密度計も上記コリオリ式質量流量計と同様な構成になっており、センサチューブが被測定流体の密度に応じた周波数で振動する。   For example, a Coriolis mass flow meter or a vibratory density meter is available as a vibratory measuring device that measures a physical quantity of a fluid by vibrating a pipeline supplied with the fluid. Hereinafter, the Coriolis type mass flow meter will be described. In this Coriolis type mass flow meter, a sensor tube through which a fluid to be measured passes is vibrated in a tube diameter direction by a vibrator, and a displacement of the sensor tube due to a Coriolis force proportional to the flow rate is detected by a pickup. Further, the vibration type density meter has the same configuration as the Coriolis type mass flow meter, and the sensor tube vibrates at a frequency corresponding to the density of the fluid to be measured.

従来のコリオリ式質量流量計では、一対のセンサチューブに流体を流し、加振器(駆動コイル)の駆動力により一対のセンサチューブを互いに近接、離間する方向に振動させる構成とされている(例えば、特許文献1参照)。また、従来は、加振器およびピックアップコイルがマグネットとコイルから構成されており、加振器の駆動コイルに駆動パルスまたは正負のある交番電圧(交流信号)が入力されると、センサチューブに取り付けられた駆動用マグネットに対して吸引力または反発力を作用させてセンサチューブを振動させ、振動するセンサチューブに取り付けられた検出用マグネットの変位をピックアップのセンサコイル(検出部)から出力される検出信号により検出するようになっている。   A conventional Coriolis mass flowmeter is configured to flow a fluid through a pair of sensor tubes and vibrate the pair of sensor tubes in a direction approaching and separating from each other by a driving force of a vibrator (drive coil) (for example, , See Patent Document 1). Conventionally, the exciter and the pickup coil are composed of a magnet and a coil. When a drive pulse or an alternating voltage (AC signal) with positive and negative is input to the drive coil of the exciter, it is attached to the sensor tube. The sensor tube is vibrated by applying an attractive force or a repulsive force to the drive magnet, and the displacement of the detection magnet attached to the vibrating sensor tube is detected from the sensor coil (detector) of the pickup. It is detected by a signal.

そして、コリオリの力は、センサチューブの振動方向に働き、かつセンサチューブの流入側と流出側とで逆方向である。そのため、センサチューブには、コリオリ力による捩れが生じ、この捩れ角がセンサチューブ内を流れる流体の質量流量に比例する。従って一対のセンサチューブの流入側と流出側の夫々の捩れる位置に振動及びコリオリ力による変位を検出する一対のピックアップ(コイルとマグネットとを組み合わせた振動センサ)を設け、上記センサチューブの捩れによって生じる両センサの出力検出信号の位相差(時間差)を計測して、質量流量を計測している。   The Coriolis force acts in the vibration direction of the sensor tube and is in the opposite direction between the inflow side and the outflow side of the sensor tube. Therefore, the sensor tube is twisted due to Coriolis force, and the twist angle is proportional to the mass flow rate of the fluid flowing in the sensor tube. Therefore, a pair of pickups (vibration sensors combining a coil and a magnet) for detecting displacement due to vibration and Coriolis force are provided at the twisting positions on the inflow side and the outflow side of the pair of sensor tubes. The mass flow rate is measured by measuring the phase difference (time difference) between the output detection signals of both sensors.

ところが、例えば自動車の燃料として使用されるCNGや水素などの高圧に加圧されたガスを供給するガス供給経路に上記コリオリ式質量流量計を設けて流量計測を行う場合、センサチューブの耐圧強度を高める必要がある。   However, when the Coriolis mass flow meter is provided in the gas supply path for supplying a gas pressurized to a high pressure such as CNG or hydrogen used as a fuel for automobiles, the pressure resistance of the sensor tube is reduced. Need to increase.

しかしながら、センサチューブの肉厚を厚くすると、センサチューブを振動させる加振器の駆動力を大きくしなければならず、かつセンサチューブの剛性が高くなった分、コリオリ力によるセンサチューブの変形が小さくなるので、入口側および出口側の振動センサの位相角(捩れ角)が小さくなってしまい、計測上の精度が低下する原因となっていた。   However, if the thickness of the sensor tube is increased, the driving force of the vibrator that vibrates the sensor tube must be increased, and the sensor tube is increased in rigidity, and the deformation of the sensor tube due to the Coriolis force is reduced. As a result, the phase angle (twist angle) of the vibration sensors on the inlet side and the outlet side becomes small, which causes a decrease in measurement accuracy.

そこで、従来のコリオリ式質量流量計では、センサチューブの入口側と出口側の距離を狭めたり、センサチューブの長さを伸ばしたりして、コリオリ力による捩れすなわち位相角を増やすようにすることが検討されている。
特開平6−331406号公報
Therefore, in the conventional Coriolis type mass flow meter, the distance between the inlet side and the outlet side of the sensor tube is shortened or the length of the sensor tube is increased to increase the twist, that is, the phase angle due to the Coriolis force. It is being considered.
JP-A-6-331406

しかしながら、コリオリ式質量流量計において、コリオリ力に対するピックアップによる検出感度を上げることは、外部からの振動に対してセンサチューブが強度的に弱くなることを意味しており、例えば、センサチューブ全体がコリオリ力と同じ方向に振動してしまい、長時間かかって減衰するような現象が生じる場合がある。   However, in a Coriolis mass flow meter, increasing the detection sensitivity of a Coriolis force by picking up means that the sensor tube is weakened against vibrations from the outside. For example, the entire sensor tube is Coriolis. It may vibrate in the same direction as the force, causing a phenomenon that decays over a long time.

そのため、従来のものでは、センサチューブの真の流量と異なった検出信号に基づいて流量調整弁を制御するようなことが発生したり、流量がゼロのときに信号が出力させないためのゼロカット回路が動作して実際の流量と異なった値を出力することになり、流量制御及び計測精度が低下するおそれがある。   For this reason, in the conventional one, a zero cut circuit for controlling the flow rate adjustment valve based on a detection signal different from the true flow rate of the sensor tube or for preventing the signal from being output when the flow rate is zero. Will operate and output a value different from the actual flow rate, which may reduce the flow control and measurement accuracy.

さらに、ピックアップにより検出された信号の1周期ごとのばらつきは長時間平均化するとゼロとなるが、1周期ごとのばらつきが大きい場合には、必要な精度にまで平均化するための時間が長くなるといった問題が生じる。   Further, the variation for each cycle of the signal detected by the pickup becomes zero when averaged for a long time, but when the variation for each cycle is large, the time for averaging to the required accuracy becomes longer. Problems arise.

そこで、本発明は上記事情に鑑み、上記課題を解決した振動式計測装置を提供することを目的とする。   Therefore, in view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a vibration type measuring apparatus that solves the above-described problems.

上記課題を解決するため、本発明は以下のような手段を有する。   In order to solve the above problems, the present invention has the following means.

請求項1記載の発明は、 被測定流体が流れるセンサチューブと、前記センサチューブを加振する加振器と、前記センサチューブの流入側変位を検出する流入側ピックアップと、前記センサチューブの流出側変位を検出する流出側ピックアップと、前記流入側ピックアップから得られる第1の検出信号と前記流出側ピックアップから得られる第2の検出信号との位相差を測定する位相差測定手段とを有する振動式計測装置において、前記位相差信号の変化に基づいて前記センサチューブに作用するコリオリ力以外の外乱による前記センサチューブの振動状態が変動したか否かを測定する振動状態測定手段と、前記センサチューブが前記コリオリ力以外の外乱による振動成分を有する場合に、そのときの振動周波数に応じて位相差信号の処理を変更する信号処理変更手段と、備えており、記課題を解決するものである。   The invention according to claim 1 includes a sensor tube through which a fluid to be measured flows, a vibrator for vibrating the sensor tube, an inflow side pickup for detecting an inflow side displacement of the sensor tube, and an outflow side of the sensor tube. An oscillating type having an outflow side pickup for detecting displacement, and a phase difference measuring means for measuring a phase difference between a first detection signal obtained from the inflow side pickup and a second detection signal obtained from the outflow side pickup. In the measurement apparatus, a vibration state measurement unit that measures whether or not the vibration state of the sensor tube has changed due to a disturbance other than the Coriolis force acting on the sensor tube based on the change in the phase difference signal, and the sensor tube includes: When there is a vibration component due to disturbance other than the Coriolis force, the phase difference signal is processed according to the vibration frequency at that time. A signal processing changing means for further comprises solves the serial problems.

前記信号処理変更手段は、前記コリオリ力以外の外乱により前記センサチューブが周期的に変動する場合に、その周期に応じた平均値を演算して位相差信号を補正することが望ましい。   When the sensor tube periodically changes due to disturbances other than the Coriolis force, the signal processing changing unit preferably calculates an average value corresponding to the period and corrects the phase difference signal.

前記信号処理変更手段は、前記コリオリ力以外の外乱により前記センサチューブが周期的に変動する場合に、その周期を検出する変動周期検出手段と、該変動周期検出手段により検出された変動周期に応じてフィルタ定数を変更して平均化時間を演算する演算手段と、を有することが望ましい。   The signal processing changing means includes a fluctuation period detecting means for detecting a period when the sensor tube periodically fluctuates due to a disturbance other than the Coriolis force, and a fluctuation period detected by the fluctuation period detecting means. And calculating means for calculating the averaging time by changing the filter constant.

本発明によれば、センサチューブが前記コリオリ力以外の外乱による振動成分を有する場合に、そのときの振動周波数に応じて位相差信号の処理を変更するため、例えば、センサチューブを変形しやすくして高圧に加圧されたガスなどを感度良く計測できるようにした場合でもねじれ振動(外乱)によるセンサチューブの周期的な変動による位相差信号の誤差を除去することが可能になる。そのため、比較的比重の小さい高圧ガスの流量を計測する場合にセンサチューブにコリオリ力以外の作用で捩れ振動が生じても正確に計測することが可能になる。   According to the present invention, when the sensor tube has a vibration component due to a disturbance other than the Coriolis force, the processing of the phase difference signal is changed according to the vibration frequency at that time. Thus, even when gas pressurized at a high pressure can be measured with high sensitivity, it is possible to eliminate errors in the phase difference signal due to periodic fluctuations in the sensor tube due to torsional vibration (disturbance). Therefore, when measuring the flow rate of the high-pressure gas having a relatively small specific gravity, it is possible to accurately measure even if torsional vibration occurs in the sensor tube due to an action other than the Coriolis force.

以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。   The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は本発明になる振動式測定装置の一実施例としてのコリオリ式質量流量計の正面図である。図2は図1に示すコリオリ式質量流量計の側面図である。尚、振動式測定装置は、被測流体の密度、及び密度を利用して質量流量を求めることができるため、振動式密度計及びコリオリ式質量流量計として用いられる。振動式密度計とコリオリ式質量流量計とは、同様な構成であるので、本実施例では質量流量計として用いた場合について詳細に説明する。   FIG. 1 is a front view of a Coriolis mass flow meter as an embodiment of a vibration type measuring apparatus according to the present invention. FIG. 2 is a side view of the Coriolis mass flow meter shown in FIG. The vibration type measuring device can be used as a vibration type density meter and a Coriolis type mass flow meter because the mass flow rate can be obtained using the density and density of the fluid to be measured. Since the vibration type density meter and the Coriolis type mass flow meter have the same configuration, this embodiment will be described in detail when used as a mass flow meter.

図1及び図2に示されるように、質量流量計10は、マニホルド12と、マニホルド12の上面に接続され、平行に形成された逆U字状のセンサチューブ14,15と、センサチューブ14,15の円弧状の中間部分14c,15c間に取り付けられた加振器16と、センサチューブ14と15との流入側の相対変位(相対速度)を検出する流入側振動ピックアップ18と、センサチューブ14と15との流出側の相対変位(相対速度)を検出する流出側振動ピックアップ20を有する。マニホルド12は、例えば、直方体形状の金属ブロックからなり、一方の端部に流入口12aが設けられ、他方の端部に流出口12bが設けられている。そして、センサチューブ14,15の流入側端部14a,15aが流入口12aに連通され、センサチューブ14,15の流出側端部14b,15bが流出口12bに連通されている。従って、流入口12aに流入された流体は、センサチューブ14,15を通過して流出口12bより外部に流出される。   As shown in FIGS. 1 and 2, the mass flow meter 10 includes a manifold 12, inverted U-shaped sensor tubes 14, 15 connected to the upper surface of the manifold 12 and formed in parallel, A vibration exciter 16 attached between 15 arcuate intermediate portions 14c, 15c, an inflow-side vibration pickup 18 for detecting the inflow-side relative displacement (relative speed) between the sensor tubes 14 and 15, and the sensor tube 14 And an outflow side vibration pickup 20 for detecting the relative displacement (relative speed) on the outflow side between the first and second components. The manifold 12 is made of, for example, a rectangular parallelepiped metal block, and has an inlet 12a at one end and an outlet 12b at the other end. The inflow side end portions 14a and 15a of the sensor tubes 14 and 15 are communicated with the inflow port 12a, and the outflow side end portions 14b and 15b of the sensor tubes 14 and 15 are communicated with the outflow port 12b. Therefore, the fluid that has flowed into the inflow port 12a passes through the sensor tubes 14 and 15 and flows out to the outside through the outflow port 12b.

加振器16は、センサチューブ14の先端に取り付けられた励振コイル16aとセンサチューブ15の先端に取り付けられたマグネット16bからなる。また、振動ピックアップ18は、振動するセンサチューブ14に取り付けられたセンサコイル18aと、センサチューブ15に取り付けられたマグネット18bとからなる。また、振動ピックアップ20は、センサチューブ14に取り付けられたセンサコイル20aと、センサチューブ15に取り付けられたマグネット20bとからなる。   The vibration exciter 16 includes an excitation coil 16 a attached to the tip of the sensor tube 14 and a magnet 16 b attached to the tip of the sensor tube 15. The vibration pickup 18 includes a sensor coil 18 a attached to the vibrating sensor tube 14 and a magnet 18 b attached to the sensor tube 15. The vibration pickup 20 includes a sensor coil 20 a attached to the sensor tube 14 and a magnet 20 b attached to the sensor tube 15.

また、センサチューブ14,15の流入側またはマニホルド12の流入口12a付近の温度を測定する温度センサ30が設けられている。   A temperature sensor 30 is provided for measuring the temperature on the inflow side of the sensor tubes 14 and 15 or in the vicinity of the inlet 12 a of the manifold 12.

加振器16、流入側振動ピックアップ18、流出側振動ピックアップ20は、図1に示すように正面からみてセンサチューブ14,15の中間位置を横切る縦線に対して対称に、且つ加振器16を中心に流入側振動ピックアップ18と流出側振動ピックアップ20とが対称に設けられている。そして、加振器16は流量計測制御回路40により駆動制御され、流入側振動ピックアップ18、流出側振動ピックアップ20により検出された検出信号は、流量計測制御回路40に入力される。   As shown in FIG. 1, the vibrator 16, the inflow-side vibration pickup 18, and the outflow-side vibration pickup 20 are symmetrical with respect to the vertical line crossing the intermediate position of the sensor tubes 14 and 15 as viewed from the front, and The inflow side vibration pickup 18 and the outflow side vibration pickup 20 are provided symmetrically with respect to the center. The vibrator 16 is driven and controlled by the flow rate measurement control circuit 40, and detection signals detected by the inflow side vibration pickup 18 and the outflow side vibration pickup 20 are input to the flow rate measurement control circuit 40.

加振器16は、励振コイル16aに正負のある交番電圧(交流信号)が印加されて生じる磁界に対してマグネット16bが吸引または反発することで、センサチューブ14の中間部分を横方向(Y方向)に振動させる。当然センサチューブ15へはその反力として同じ力が働き、反対方向に振動する。   The exciter 16 is configured so that the magnet 16b attracts or repels a magnetic field generated by applying a positive and negative alternating voltage (AC signal) to the excitation coil 16a, thereby moving the intermediate portion of the sensor tube 14 in the lateral direction (Y direction). ). Naturally, the same force acts on the sensor tube 15 as the reaction force, and the sensor tube 15 vibrates in the opposite direction.

流入側振動ピックアップ18は、上記コイル18aと、マグネット18bから構成されているので、コイル18a,マグネット18bが流入側のセンサチューブ14とセンサチューブ15とともに近接・離間するため、センサコイル18aからはセンサコイル18aとマグネット18bの変位量(変位速度)に応じた検出信号を出力される。また、流出側ピックアップ20は、上記コイル20aと、マグネット20bから構成されているので、コイル20a、マグネット20bが流出側のセンサチューブ14とセンサチューブ15とともに近接・離間するため、センサコイル20aからはセンサコイル20aとマグネット20bの変位量(変位速度)に応じた検出信号が出力される。   Since the inflow-side vibration pickup 18 is composed of the coil 18a and the magnet 18b, the coil 18a and the magnet 18b come close to and away from the sensor tube 14 and the sensor tube 15 on the inflow side. A detection signal corresponding to the displacement amount (displacement speed) of the coil 18a and the magnet 18b is output. Further, since the outflow side pickup 20 is composed of the coil 20a and the magnet 20b, the coil 20a and the magnet 20b come close to and away from the sensor tube 14 and the sensor tube 15 on the outflow side. A detection signal corresponding to the displacement amount (displacement speed) of the sensor coil 20a and the magnet 20b is output.

図3は質量流量計10の流量計測制御回路40を示すブロック図である。図3に示されるように、流量計測制御回路40は、本質安全防爆バリア回路42、励振回路44、振幅検出・励振・位相差(時間差)検出回路(以下「位相差検出回路」という)46とを有する。さらに、温度センサ30により検出された温度信号が入力されるバリア回路32、温度測定回路34、ヤング率演算回路36を有する。   FIG. 3 is a block diagram showing the flow rate measurement control circuit 40 of the mass flow meter 10. As shown in FIG. 3, the flow measurement control circuit 40 includes an intrinsically safe explosion-proof barrier circuit 42, an excitation circuit 44, an amplitude detection / excitation / phase difference (time difference) detection circuit (hereinafter referred to as “phase difference detection circuit”) 46, and Have Furthermore, it has a barrier circuit 32 to which a temperature signal detected by the temperature sensor 30 is inputted, a temperature measurement circuit 34, and a Young's modulus calculation circuit 36.

また、流量計測制御回路40は、位相差検出回路46から出力された位相差(時間差)信号をヤング率演算回路36から入力された温度補正値に基づいて補正するゲイン可変アンプ50と、ヤング率・V/F変換を行って流量パルスを出力する流量出力回路52と、位相差の変動周期に応じて位相差信号を平均化するフィルタリング回路54とを有する。さらに、流量計測制御回路40は、位相差信号の振幅変化を測定する振幅変化測定回路(振動状態測定手段)60と、振幅変化測定回路60より出力された捩れ振動周波数、捩れ振動振幅より平均化時間(変動周期)を演算してフィルタ定数を変更するフィルタ定数変更回路(信号処理変更手段)62とを有する。   The flow rate measurement control circuit 40 also includes a variable gain amplifier 50 that corrects the phase difference (time difference) signal output from the phase difference detection circuit 46 based on the temperature correction value input from the Young's modulus calculation circuit 36, and the Young's modulus. A flow rate output circuit 52 that performs V / F conversion and outputs a flow rate pulse, and a filtering circuit 54 that averages the phase difference signal in accordance with the phase difference fluctuation period. Further, the flow measurement control circuit 40 averages the amplitude change measurement circuit (vibration state measuring means) 60 for measuring the amplitude change of the phase difference signal, and the torsional vibration frequency and the torsional vibration amplitude output from the amplitude change measurement circuit 60. And a filter constant changing circuit (signal processing changing means) 62 for calculating the time (fluctuation period) and changing the filter constant.

フィルタ定数変更回路62は、コリオリ力以外の外乱によりセンサチューブ14,15が周期的に変動する場合に、その周期を求め(変動周期検出手段)、フィルタ定数を変更して変動周期に応じた平均化時間を演算(演算手段)する。フィルタリング回路54は、フィルタ定数変更回路62から出力されたフィルタ定数に基づいて時間差信号を平均化する。   The filter constant changing circuit 62 obtains the period when the sensor tubes 14 and 15 periodically fluctuate due to disturbances other than the Coriolis force (fluctuation period detecting means), changes the filter constant, and averages according to the fluctuation period. The calculation time is calculated (calculation means). The filtering circuit 54 averages the time difference signal based on the filter constant output from the filter constant changing circuit 62.

上記構成になる質量流量計10において、流量計測時は流量計測制御回路40によって加振器16が駆動され、センサチューブ14および15の振動特性(固有振動数)に応じた周期、振幅でセンサチューブ14,15の中間部分14c,15cを振動させる。そして、センサチューブ14,15は、マニホルド12に固定された両端を支点として円弧状の中間部分14c,15cが近接、離間方向(Y方向、図2参照)に振動する。   In the mass flow meter 10 having the above-described configuration, the vibrator 16 is driven by the flow measurement control circuit 40 during flow rate measurement, and the sensor tube has a period and amplitude according to the vibration characteristics (natural frequency) of the sensor tubes 14 and 15. The intermediate portions 14c and 15c of 14 and 15 are vibrated. The sensor tubes 14 and 15 vibrate in the proximity and separation directions (Y direction, see FIG. 2) with the arc-shaped intermediate portions 14c and 15c using the both ends fixed to the manifold 12 as fulcrums.

このとき、振動するセンサチューブ14と15に流体が流れると、その流量に応じた大きさのコリオリ力が発生する。そのため、センサチューブ14の流入側と流出側で動作遅れが生じ、これにより流入側ピックアップ18のセンサ信号と流出側ピックアップ20のセンサ信号との間に位相差が生じる。   At this time, when a fluid flows through the vibrating sensor tubes 14 and 15, a Coriolis force having a magnitude corresponding to the flow rate is generated. Therefore, an operation delay occurs between the inflow side and the outflow side of the sensor tube 14, thereby causing a phase difference between the sensor signal of the inflow side pickup 18 and the sensor signal of the outflow side pickup 20.

流量計測制御回路40は、上記流入側センサ信号と流出側センサ信号との位相差が流量に比例するため、当該位相差に基づいて流量を演算する。よって、センサチューブ14の変位が流入側ピックアップ18及び流出側ピックアップ20により検出されると、上記センサチューブ14の振動に伴う上記位相差が流量計測制御回路40により質量流量に変換される。   Since the phase difference between the inflow side sensor signal and the outflow side sensor signal is proportional to the flow rate, the flow rate measurement control circuit 40 calculates the flow rate based on the phase difference. Therefore, when the displacement of the sensor tube 14 is detected by the inflow side pickup 18 and the outflow side pickup 20, the phase difference accompanying the vibration of the sensor tube 14 is converted into a mass flow rate by the flow rate measurement control circuit 40.

例えば、質量流量計10を水素ディスペンサに設けて高圧水素の流量計測及び充填制御を行う場合、センサチューブ14,15を振動させて質量流量に比例するコリオリ力を流入側の振動波形と流出側の振動波形との差から測定する。高圧水素に耐えうるセンサチューブ14,15の肉厚では、発生する時間差が小さく現行の大きさや長さでは測定できない位相差(時間差)となってしまう。そのため、センサチューブ14,15の長さを伸ばしたり、マニホルド12との接続部分の間隔を振動ピックアップ取付位置の間隔よりも小さくすることでセンサチューブ14,15を捩れやすくして位相差を大きくすることを必要となってくる。しかし、コリオリ力に対する感度を上げることは、外部からの振動に対して弱くなることを意味しており,センサチューブ全体がコリオリ力と同じ方向に振動してしまい、長時間かかって減衰するような現象が見られる。   For example, when the mass flow meter 10 is provided in a hydrogen dispenser to perform high-pressure hydrogen flow measurement and filling control, the sensor tubes 14 and 15 are vibrated to generate a Coriolis force proportional to the mass flow rate on the inflow side vibration waveform and the outflow side. Measure from the difference from the vibration waveform. With the thickness of the sensor tubes 14 and 15 that can withstand high-pressure hydrogen, the generated time difference is small, resulting in a phase difference (time difference) that cannot be measured with the current size or length. Therefore, the sensor tubes 14 and 15 are easily twisted by increasing the length of the sensor tubes 14 and 15 or by making the interval between the connection portions with the manifold 12 smaller than the interval between the vibration pickup mounting positions, thereby increasing the phase difference. It will be necessary. However, increasing the sensitivity to the Coriolis force means that it becomes weaker against external vibrations, and the entire sensor tube vibrates in the same direction as the Coriolis force and decays over a long period of time. The phenomenon is seen.

そのため、コリオリ力による位相差(DC成分:流量)の他に外部からの振動(外乱)でセンサチューブ14,15が捩れるような振動が残る現象が発生することがある。この場合には、真の流量と異なった信号に基づいて流量制御することになり、流量がゼロのときに流量パルスを出力しためのゼロカット回路が動作して、実際の流量と異なった値を出力することになる。さらに、1周期ごとの流量信号のばらつきは長時間平均化するとゼロとなるが、ばらつきが大きい場合には、必要な精度にまで平均化するための時間が長くなる。   Therefore, in addition to the phase difference (DC component: flow rate) due to Coriolis force, a phenomenon may occur in which vibrations such as the sensor tubes 14 and 15 remain twisted due to external vibrations (disturbances). In this case, the flow rate is controlled based on a signal different from the true flow rate, and when the flow rate is zero, a zero cut circuit for outputting a flow rate pulse is activated, resulting in a value different from the actual flow rate. Will be output. Further, the variation of the flow rate signal for each cycle becomes zero when averaged for a long time, but when the variation is large, the time for averaging to the required accuracy becomes long.

そこで、本実施例では、位相差信号(時間差信号)の一周期ごとのばらつき(移動平均やフィルタした値との差)が大きい場合に、センサチューブ14,15が励振モードの他に、捩れ振動が存在して振動が異常となっていると判断する手段として振幅変化測定回路60と、その振動を抑制する制御回路としてフィルタ定数変更回路62、フィルタリング回路54を設けたものである。   Therefore, in this embodiment, when the variation of the phase difference signal (time difference signal) for each cycle (difference from the moving average or the filtered value) is large, the sensor tubes 14 and 15 are twisted in addition to the excitation mode. Is provided with an amplitude change measuring circuit 60 as means for judging that vibration is abnormal and a filter constant changing circuit 62 and a filtering circuit 54 as control circuits for suppressing the vibration.

ここで、上記センサチューブ14を加振器15により振動させて被測流体の流量を計測する場合の原理について図4及び図5を参照して説明する。図4は加振器15がセンサチューブ14を振動させる状態を模式的に示す図である。図5は振動するセンサチューブ14に作用するコリオリ力を模式的に示す図である。   Here, the principle in the case of measuring the flow rate of the fluid to be measured by vibrating the sensor tube 14 with the vibrator 15 will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a diagram schematically showing a state in which the vibrator 15 vibrates the sensor tube 14. FIG. 5 is a diagram schematically showing the Coriolis force acting on the vibrating sensor tube 14.

図4に示されるように、流量計測時は、加振器16の励振コイル16aに対して上記流量計測制御回路40の励振回路44から正負のある交番電圧(交流信号)が交互に出力されることで、励振コイル16aとセンサチューブ15に設置されているマグネット16bに同じ値で反対方向の力が発生するので、センサチューブ14,15の中間部分とセンサチューブ15は共振状態で振動する。   As shown in FIG. 4, during flow rate measurement, positive and negative alternating voltages (AC signals) are alternately output from the excitation circuit 44 of the flow rate measurement control circuit 40 to the excitation coil 16 a of the vibrator 16. As a result, forces in the opposite direction with the same value are generated in the excitation coil 16a and the magnet 16b installed in the sensor tube 15, so that the intermediate portion of the sensor tubes 14 and 15 and the sensor tube 15 vibrate in a resonance state.

図5に示されるように、センサチューブ14の流入側と流出側とでは、逆方向のコリオリ力+F,−Fが作用する。これにより、センサチューブ14と15は、流入側と流出側とで振動に位相差が生じる。   As shown in FIG. 5, reverse Coriolis forces + F and −F act on the inflow side and the outflow side of the sensor tube 14. Thereby, the sensor tubes 14 and 15 have a phase difference in vibration between the inflow side and the outflow side.

すなわち、センサチューブ14の中間部分14cが図4中一点鎖線で示すように駆動されるとき、図4中破線で示すようにセンサチューブ14の流入側にコリオリ力+Fが作用し、センサチューブ14の流出側にコリオリ力−Fが作用する。また、センサチューブ14が図4中破線で示すように駆動されるとき、図5中実線で示すようにセンサチューブ14の流入側にコリオリ力−Fが作用し、センサチューブ14の流出側にコリオリ力+Fが作用する。   That is, when the intermediate portion 14c of the sensor tube 14 is driven as shown by a one-dot chain line in FIG. 4, a Coriolis force + F acts on the inflow side of the sensor tube 14 as shown by a broken line in FIG. Coriolis force -F acts on the outflow side. Further, when the sensor tube 14 is driven as indicated by a broken line in FIG. 4, the Coriolis force −F acts on the inflow side of the sensor tube 14 as indicated by the solid line in FIG. Force + F acts.

このセンサチューブ14の変位は、振動ピックアップ18,20のセンサコイル18a,20aにより検出され、流量計測制御回路40において、加振器16に入力された励振信号との位相差(時間差)Δtの信号に変換され、さらに流量パルスに変換される。即ち、流量計測制御回路40は、次式の演算を用いて質量流量Qmを算出する。
Qm=A・Δt…(1)
但し、(1)式において、Aは当該質量流量計固有の定数である。
The displacement of the sensor tube 14 is detected by the sensor coils 18a and 20a of the vibration pickups 18 and 20, and a signal having a phase difference (time difference) Δt from the excitation signal input to the vibrator 16 in the flow measurement control circuit 40. And further converted into a flow rate pulse. That is, the flow rate measurement control circuit 40 calculates the mass flow rate Qm by using the following equation.
Qm = A · Δt (1)
However, in the formula (1), A is a constant specific to the mass flow meter.

また、コリオリ力は、センサチューブ14の振動周波数と同じ周波数で作用する。しかしながら、外部からの雑音や振動などの外乱によって引き起こされたセンサチューブ14の捩れ振動は、センサチューブ14の振動周波数と異なった周波数である。そのため、位相差(時間差)Δtを検出すると、一周期ごとに時間差が大きくなったり小さくなったりするというような現象が起こる。   Further, the Coriolis force acts at the same frequency as the vibration frequency of the sensor tube 14. However, the torsional vibration of the sensor tube 14 caused by external noise such as noise and vibration has a frequency different from the vibration frequency of the sensor tube 14. For this reason, when the phase difference (time difference) Δt is detected, a phenomenon occurs in which the time difference increases or decreases every cycle.

図3に示す流量計測制御回路40において、コリオリ力に対しての位相差信号は、DC成分であり、捩れ振動に対してはAC成分として観測される。そのため、測定した位相差信号の一周期ごとに変化するAC成分のみを出力するフィルタリング回路54、振幅変化測定回路60及びフィルタ定数変更回路62を設け、振幅変化測定回路60でフィルタリング回路54の信号の大きさと周波数から外部振動によるセンサチューブ14,15の捩れ振動を求め、フィルタ定数変更回路62で捩れ振動を減衰させるように信号処理条件を変更する。   In the flow rate measurement control circuit 40 shown in FIG. 3, the phase difference signal with respect to the Coriolis force is a DC component, and the torsional vibration is observed as an AC component. Therefore, a filtering circuit 54, an amplitude change measuring circuit 60, and a filter constant changing circuit 62 that output only an AC component that changes for each cycle of the measured phase difference signal are provided, and the amplitude change measuring circuit 60 outputs the signal of the filtering circuit 54. The torsional vibration of the sensor tubes 14 and 15 due to external vibration is obtained from the magnitude and frequency, and the signal processing conditions are changed by the filter constant changing circuit 62 so as to attenuate the torsional vibration.

これにより、センサチューブ14,15のバランスが温度などで変化して、捩れ信号の挙動(振幅や周波数)が変化しても捩れ振動の影響がない位相差信号が得られるので、精度よく高圧流体(例えば、水素やCNGなど)を計測することができる。また、流量計測制御回路40は、流量制御などの用途に応じて応答周波数や時定数を設定した場合でも、フィルタリング回路54、振幅変化測定回路60及びフィルタ定数変更回路62により捩れ振動の周波数の影響がないフィルタ定数や平均化処理ができるので、精度よく高圧流体を計測することができる。   Thereby, even if the balance of the sensor tubes 14 and 15 changes with temperature and the behavior (amplitude and frequency) of the torsion signal changes, a phase difference signal that is not affected by torsional vibration can be obtained. (For example, hydrogen, CNG, etc.) can be measured. In addition, even when the response frequency and the time constant are set according to the application such as the flow rate control, the flow measurement control circuit 40 is affected by the frequency of the torsional vibration by the filtering circuit 54, the amplitude change measurement circuit 60, and the filter constant change circuit 62. Therefore, high-pressure fluid can be measured with high accuracy.

ここで、振動ピックアップ18,20のセンサ信号の波形による位相差について図6、図7を参照して説明する。また、図6、図7において、一定の流量を計測した場合の実験データであり、一定のコリオリ力が発生している。ここでは、正弦波の中央(センサ信号が0ボルト)の点での位相差Δtを測定したように図示してある。   Here, the phase difference due to the waveform of the sensor signals of the vibration pickups 18 and 20 will be described with reference to FIGS. Moreover, in FIG. 6, FIG. 7, it is experimental data at the time of measuring a fixed flow volume, and a fixed Coriolis force has generate | occur | produced. Here, the phase difference Δt at the center of the sine wave (sensor signal is 0 volt) is measured.

図6(A)(B)は振動ピックアップ18,20のセンサ信号の波形図である。図6(A)に示されるように、流入側のセンサ信号S1(実線で示す)と流出側のセンサ信号S2(破線で示す)との位相差Δtは、コリオリ力によって生じた時間差であり、図6(B)に示されるように、流量が時間の経過と共に一定であれば、一定値となる。   6A and 6B are waveform diagrams of sensor signals of the vibration pickups 18 and 20, respectively. As shown in FIG. 6A, the phase difference Δt between the inflow side sensor signal S1 (indicated by a solid line) and the outflow side sensor signal S2 (indicated by a broken line) is a time difference caused by the Coriolis force, As shown in FIG. 6B, if the flow rate is constant over time, the flow rate is constant.

図7(A)(B)はセンサチューブ14,15に他の振動たとえばねじり振動が発生した場合に検出された振動ピックアップ18,20のセンサ信号の波形図である。図7(A)に示されるように、流入側のセンサ信号S1(実線で示す)と流出側のセンサ信号S2(破線で示す)との位相差Δtは、A領域でプラスであるが、B領域でほとんどゼロに変化し、C領域でプラスに戻る。通常の流量計測において、流量が変化した場合には、位相差Δtが流量変化に比例して増減する。   FIGS. 7A and 7B are waveform diagrams of sensor signals of the vibration pickups 18 and 20 detected when other vibrations such as torsional vibration are generated in the sensor tubes 14 and 15. As shown in FIG. 7A, the phase difference Δt between the inflow side sensor signal S1 (indicated by a solid line) and the outflow side sensor signal S2 (indicated by a broken line) is positive in the A region, It changes to almost zero in the region and returns to positive in the C region. In normal flow measurement, when the flow rate changes, the phase difference Δt increases or decreases in proportion to the flow rate change.

しかしながら、センサチューブ14,15に他の振動、例えばねじり振動(外乱)が発生した場合には、位相差Δtが急速に増減したり、流量があるのにゼロに低下するといった現象が生じる。例えば、図7(B)に示されるように、領域Bの位相差Δtがゼロに低下した場合は、センサチューブ14,15に外乱によるねじり振動が発生したものと判定することが可能になる。   However, when other vibrations such as torsional vibration (disturbance) occur in the sensor tubes 14 and 15, a phenomenon occurs in which the phase difference Δt increases or decreases rapidly or decreases to zero even though there is a flow rate. For example, as shown in FIG. 7B, when the phase difference Δt in the region B decreases to zero, it is possible to determine that torsional vibration due to disturbance has occurred in the sensor tubes 14 and 15.

また、図7(A)に示すセンサ信号の波形では、振動ピックアップ18のセンサ信号S1と振動ピックアップ20のセンサ信号S2は、時々刻々と時間軸方向の間隔すなわち位相差(時間差)が発生しており、図7(B)に示されるように、位相差Δtの測定結果(センサ信号S1とS2の位相差)には1周期ごとにばらつき(階段状に変化)が生じることが分かる。   Further, in the sensor signal waveform shown in FIG. 7A, the sensor signal S1 of the vibration pickup 18 and the sensor signal S2 of the vibration pickup 20 have an interval in the time axis direction, that is, a phase difference (time difference). As shown in FIG. 7B, it can be seen that the measurement result (phase difference between the sensor signals S1 and S2) of the phase difference Δt varies (changes in a stepped manner) every cycle.

この位相差Δtの変動(ばらつき)は、周期的に発生するため、センサチューブ14,15にねじり振動によって生じているものと考えられる。そして、センサチューブ14,15にねじり振動が生じた場合、センサチューブ14,15の流入側と流出側とでは、一方で位相が進み、他方で位相が遅れため、流入側と流出側の位相差の平均値との差をとれば捩れ振動そのものであることになる。   Since the fluctuation (variation) in the phase difference Δt occurs periodically, it is considered that the sensor tubes 14 and 15 are caused by torsional vibration. When torsional vibration occurs in the sensor tubes 14 and 15, the phase is advanced on the one side and the phase is delayed on the other side of the sensor tubes 14 and 15, so that the phase difference between the inflow side and the outflow side occurs. If the difference from the average value is taken, it is torsional vibration itself.

従って、流量計測制御回路40では、図3に示す回路構成とすることにより、この位相差信号から捩れ振動の周波数、振幅を求め、ねじれ振動による外乱成分を除去するように演算している。すなわち、流量計測制御回路40においては、位相差検出回路46の出力から位相差信号に含まれるDC成分(これがコリオリ力による時間差)と位相差信号に含まれるAC成分(センサチューブ14,15が捩れて振動している信号)を振幅変化測定回路60で分離することで、センサチューブ14,15のねじれ振動を検出し、その信号に応じて流量信号をフィルタリング回路54もしくはフィルタ定数変更回路62により移動平均する回路の定数を変更して、流量信号を生成する。   Therefore, the flow rate measurement control circuit 40 obtains the frequency and amplitude of the torsional vibration from the phase difference signal by using the circuit configuration shown in FIG. 3, and calculates to remove the disturbance component due to the torsional vibration. That is, in the flow measurement control circuit 40, the DC component (this is a time difference due to Coriolis force) included in the phase difference signal from the output of the phase difference detection circuit 46 and the AC component (the sensor tubes 14 and 15 are twisted) included in the phase difference signal. Signal) is separated by the amplitude change measurement circuit 60 to detect torsional vibration of the sensor tubes 14 and 15, and the flow rate signal is moved by the filtering circuit 54 or the filter constant changing circuit 62 according to the signal. The flow rate signal is generated by changing the constant of the circuit to be averaged.

図8乃至図10にセンサチューブ14,15に流体を流した状態でねじれ振動(外乱)が加わった場合の位相差信号の変化をグラフI(破線)で示す。この一定流量を計測する状態において、位相差信号は、例えば、センサチューブ14,15のねじれ振動によって4周期に1回程度で位相差信号が上下(増減方向に変動)している。また、本実施例のセンサチューブ14,15を用いた場合には、4周期のn倍の周期の位相差信号成分が存在していることが実験データより分かる。   FIG. 8 to FIG. 10 show graph I (broken line) changes in the phase difference signal when torsional vibration (disturbance) is applied in a state where fluid flows through the sensor tubes 14 and 15. In the state where this constant flow rate is measured, the phase difference signal moves up and down (fluctuates in the increase / decrease direction) about once every four cycles due to, for example, torsional vibration of the sensor tubes 14 and 15. In addition, when the sensor tubes 14 and 15 of the present embodiment are used, it can be seen from the experimental data that there are phase difference signal components having a period n times 4 periods.

ここで、フィルタリング回路54によりフィルタ処理および移動平均処理した場合の時間差信号の変化を見てみると、時定数固定とした場合のフィルタ処理のグラフII(図8参照)と平均時間固定の移動平均処理のグラフIII(図9参照)では、1周期の4分の1の周波数の成分が残っていることが分かる。(尚、図9の平均時間は、10周期に相当している。)
また、本実施例では、センサチューブ14,15のねじれ振動が4周期に1回起こっていることから、4周期の1回の倍数平均時間を平均時間となるように移動平均の処理を変えてみると、図10のグラフIVに示されるように、位相差のばらつきが減少しており、平均時間固定に比べ約1/2に減少し、フィルタ処理に比べて位相差信号の変動が約1/3に減少することが分かる。
Here, looking at changes in the time difference signal when the filtering process and the moving average process are performed by the filtering circuit 54, the graph II of the filter process when the time constant is fixed (see FIG. 8) and the moving average with the fixed average time. In the processing graph III (see FIG. 9), it can be seen that a component having a frequency of one quarter of one cycle remains. (The average time in FIG. 9 corresponds to 10 cycles.)
In this embodiment, since the torsional vibration of the sensor tubes 14 and 15 occurs once every four periods, the moving average process is changed so that the average time of one multiple of the four periods becomes the average time. As shown in the graph IV of FIG. 10, the variation in the phase difference is reduced, it is reduced to about ½ compared to the average time fixed, and the fluctuation of the phase difference signal is about 1 compared to the filter processing. It can be seen that it decreases to / 3.

このように、センサチューブ14,15に発生したねじり振動の周期に応じた位相差信号の平均化処理を行うことにより、ねじり振動による位相差のばらつきを減少させることができ、質量流量計10による計測精度をより高めることが可能になる。特に、比較的比重の小さい水素やCNGなどの高圧ガスの質量流量を計測する場合には、計測感度を高めるためにセンサチューブ14,15の剛性や支持強度を下げることがある。このような、センサチューブ14,15の剛性や支持強度が低下した場合においては、前述したようなセンサチューブ14,15にねじれ振動が発生することおそれがある。しかしながら、本実施例のように流量計測制御回路40においては、位相差検出回路46の出力から位相差信号に含まれるコリオリ力による位相差とセンサチューブ14,15が捩れて振動している信号成分を振幅変化測定回路60で分離することで、センサチューブ14,15のねじれ振動を検出し、その信号に応じて流量信号をフィルタリング回路54もしくはフィルタ定数変更回路62により移動平均する回路の定数を変更して、流量信号を生成するため、ねじれ振動による信号成分を除去した位相差信号が得られ、流量計測精度が確保される。   Thus, by performing the averaging process of the phase difference signal according to the period of the torsional vibration generated in the sensor tubes 14 and 15, the variation in the phase difference due to the torsional vibration can be reduced. Measurement accuracy can be further improved. In particular, when measuring the mass flow rate of a high-pressure gas such as hydrogen or CNG having a relatively small specific gravity, the rigidity and support strength of the sensor tubes 14 and 15 may be lowered in order to increase measurement sensitivity. When such rigidity and support strength of the sensor tubes 14 and 15 are lowered, there is a possibility that torsional vibration may occur in the sensor tubes 14 and 15 as described above. However, in the flow rate measurement control circuit 40 as in this embodiment, the phase difference due to the Coriolis force included in the phase difference signal from the output of the phase difference detection circuit 46 and the signal component in which the sensor tubes 14 and 15 are twisted and vibrated. Is separated by the amplitude change measurement circuit 60, and the torsional vibration of the sensor tubes 14 and 15 is detected, and the constant of the circuit for moving and averaging the flow rate signal by the filtering circuit 54 or the filter constant changing circuit 62 is changed according to the signal. Thus, in order to generate the flow rate signal, a phase difference signal from which signal components due to torsional vibrations are removed is obtained, and flow rate measurement accuracy is ensured.

尚、上記実施例では、センサチューブ14,15の形状を逆U字状に形成した場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、他の形状(例えば、直管状、流入側端部と流出側端部との間隔を狭くしたΩ形状、あるいはJ字状に曲げた形状など)でも良いのは勿論である。   In the above embodiment, the case where the sensor tubes 14 and 15 are formed in an inverted U shape has been described as an example. However, the present invention is not limited to this, and other shapes (for example, straight tube, inflow side end portion) Of course, it may be an Ω shape in which the distance between the end portion and the outflow side end portion is narrow, or a shape bent in a J shape.

また、上記実施例では、計測される高圧流体として水素やCNGを例示したが、これ以外の高圧ガスを計測する場合にも適用できるのは言うまでもない。   Moreover, in the said Example, although hydrogen and CNG were illustrated as a high pressure fluid to be measured, it cannot be overemphasized that it is applicable also when measuring high pressure gas other than this.

本発明になる振動式測定装置の一実施例としてのコリオリ式質量流量計の正面図である。It is a front view of a Coriolis type mass flow meter as one example of a vibration type measuring device according to the present invention. 図1に示すコリオリ式質量流量計の側面図である。It is a side view of the Coriolis type mass flow meter shown in FIG. 質量流量計10の流量計測制御回路40を示すブロック図である。3 is a block diagram showing a flow rate measurement control circuit 40 of the mass flow meter 10. FIG. 加振器15がセンサチューブ14を振動させる状態を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the state which the vibrator 15 vibrates the sensor tube. 振動するセンサチューブ14に作用するコリオリ力を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the Coriolis force which acts on the sensor tube 14 to vibrate. 振動ピックアップ18,20のセンサ信号の波形図である。It is a wave form diagram of a sensor signal of vibration pickups 18 and 20. センサチューブ14,15に他の振動たとえばねじり振動が発生した場合に検出された振動ピックアップ18,20のセンサ信号の波形図である。It is a wave form diagram of a sensor signal of vibration pickups 18 and 20 detected when other vibration, for example, torsional vibration occurs in sensor tubes 14 and 15. ねじれ振動(外乱)が加わった場合の位相差信号の変化をグラフIとフィルタ処理を行ったグラフIIを示す波形図である。It is a wave form diagram which shows graph II which performed the graph I and the filter process which performed the change of the phase difference signal when torsional vibration (disturbance) is added. ねじれ振動(外乱)が加わった場合の位相差信号の変化をグラフIと移動平均処理を行ったグラフIIIを示す波形図である。It is a wave form diagram which shows the graph III which performed the graph I and the moving average process about the change of the phase difference signal when torsional vibration (disturbance) is added. ねじれ振動(外乱)が加わった場合の位相差信号の変化をグラフIと移動平均処理を行ったグラフIVを示す波形図である。It is a wave form diagram which shows the graph IV which performed the graph I and the moving average process about the change of the phase difference signal when a torsional vibration (disturbance) is added.

符号の説明Explanation of symbols

10 質量流量計
12 マニホルド
14,15 センサチューブ
16 加振器
18 流入側振動ピックアップ
20 流出側振動ピックアップ
30 温度センサ
34 温度測定回路
36 ヤング率演算回路
40 流量計測制御回路
44 励振回路
46 振幅検出・励振・位相差検出回路
50 ゲイン可変アンプ
52 流量出力回路
54 フィルタリング回路
60 振幅変化測定回路
62 フィルタ定数変更回路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Mass flow meter 12 Manifold 14, 15 Sensor tube 16 Exciter 18 Inflow side vibration pickup 20 Outflow side vibration pickup 30 Temperature sensor 34 Temperature measurement circuit 36 Young's modulus calculation circuit 40 Flow measurement control circuit 44 Excitation circuit 46 Amplitude detection / excitation Phase difference detection circuit 50 Gain variable amplifier 52 Flow rate output circuit 54 Filtering circuit 60 Amplitude change measuring circuit 62 Filter constant changing circuit

Claims (3)

被測定流体が流れるセンサチューブと、
前記センサチューブを加振する加振器と、
前記センサチューブの流入側変位を検出する流入側ピックアップと、
前記センサチューブの流出側変位を検出する流出側ピックアップと、
前記流入側ピックアップから得られる第1の検出信号と前記流出側ピックアップから得られる第2の検出信号との位相差を測定する位相差測定手段とを有する振動式計測装置において、
前記位相差信号の変化に基づいて前記センサチューブに作用するコリオリ力以外の外乱による前記センサチューブの振動状態が変動したか否かを測定する振動状態測定手段と、
前記センサチューブが前記コリオリ力以外の外乱による振動成分を有する場合に、そのときの振動周波数に応じて位相差信号の処理を変更する信号処理変更手段と、
を備えたことを特徴する振動式計測装置。
A sensor tube through which the fluid to be measured flows;
A vibrator for vibrating the sensor tube;
An inflow side pickup for detecting an inflow side displacement of the sensor tube;
An outflow side pickup for detecting outflow side displacement of the sensor tube;
In a vibration type measuring apparatus having a phase difference measuring means for measuring a phase difference between a first detection signal obtained from the inflow side pickup and a second detection signal obtained from the outflow side pickup,
Vibration state measuring means for measuring whether or not the vibration state of the sensor tube has changed due to a disturbance other than the Coriolis force acting on the sensor tube based on the change of the phase difference signal;
When the sensor tube has a vibration component due to disturbances other than the Coriolis force, signal processing changing means for changing the processing of the phase difference signal according to the vibration frequency at that time;
A vibration type measuring apparatus characterized by comprising:
前記信号処理変更手段は、前記コリオリ力以外の外乱により前記センサチューブが周期的に変動する場合に、その周期に応じた平均値を演算して位相差信号を補正することを特徴する請求項1に記載の振動式計測装置。   2. The signal processing changing unit corrects the phase difference signal by calculating an average value corresponding to the period when the sensor tube periodically varies due to disturbances other than the Coriolis force. The vibration-type measuring device described in 1. 前記信号処理変更手段は、
前記コリオリ力以外の外乱により前記センサチューブが周期的に変動する場合に、その周期を求める変動周期検出手段と、
該変動周期検出手段により検出された変動周期に応じてフィルタ定数を変更して平均化時間を演算する演算手段と、
を有することを特徴する請求項2に記載の振動式計測装置。
The signal processing changing means includes
When the sensor tube periodically fluctuates due to disturbances other than the Coriolis force, fluctuation period detecting means for obtaining the period;
A calculation means for calculating the averaging time by changing the filter constant according to the fluctuation period detected by the fluctuation period detection means;
The vibration type measuring apparatus according to claim 2, wherein
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