JP2007247867A - Slide type valve device and microchip with the same - Google Patents

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JP2007247867A JP2006075530A JP2006075530A JP2007247867A JP 2007247867 A JP2007247867 A JP 2007247867A JP 2006075530 A JP2006075530 A JP 2006075530A JP 2006075530 A JP2006075530 A JP 2006075530A JP 2007247867 A JP2007247867 A JP 2007247867A
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Michio Takayama
美知雄 高山
Takehiko Kitamori
武彦 北森
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a slide type valve device which has a simple flow passage mechanism capable of easily switching a passage without increasing thickness of layers when laminating them, and a microchip with the slide type valve device. <P>SOLUTION: This invention structures the slide type valve device and the microchip with the slide type valve device as follows: An upper plate 10 with an introduction port 11 and a middle plate 30 with a movable part 32, a lower plate 50 with a plurality of derivation ports 52 are laminated. A plurality of connection flow passages 31 are provided in the movable part 32. As the movable part 32 slides and moves, one of the plurality of connection flow passages 31 is connected with either the introduction port 11 or the derivation ports 52 and the flow passage is switched. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、スライドさせることによって流体が流れる流路を切り換えるスライド式バルブ装置及びスライド式バルブ装置を備えたマイクロチップに関する。   The present invention relates to a sliding valve device that switches a flow path through which a fluid flows by sliding and a microchip including the sliding valve device.

一般に例えば医療や環境測定の分野における装置には、例えば流体が流れる流路を設ける流路機構が設けられている。   In general, for example, devices in the fields of medical care and environmental measurement are provided with a flow path mechanism that provides a flow path through which a fluid flows, for example.

このような流路機構を設けたマイクロチップが非特許文献１に開示されおり、以下に簡単に説明する。   A microchip provided with such a flow path mechanism is disclosed in Non-Patent Document 1, and will be briefly described below.

このマイクロチップには、上板と、中板と、下板とが積層して設けられている。   In this microchip, an upper plate, an intermediate plate, and a lower plate are laminated.

上板には、流体を導入させる４つの導入口（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）と、流体を導出させる４つの導出口（ＡＣ，ＡＤ，ＢＣ，ＢＤ）と、が設けられている。   The upper plate is provided with four inlets (A, B, C, D) through which fluid is introduced and four outlets (AC, AD, BC, BD) through which fluid is introduced.

また上板には、導入口Ａ，Ｂとそれぞれ連通している流路ａ，ｂが設けられ、流路ａ，ｂはそれぞれ中板を介して下板に連通している。   The upper plate is provided with channels a and b communicating with the introduction ports A and B, respectively, and the channels a and b communicate with the lower plate via the middle plate.

また上板には、導入口Ｃ，Ｄとそれぞれ連通している流路ｃ，ｄが設けられている。これら流路ｃ，ｄには、それぞれ分岐点が設けられて、分岐点は、流路を２股に分けている。分けられた流路をそれぞれ流路ｃ１，ｃ２及び流路ｄ１，ｄ２と称する。この分けられた流路ｃ１，ｃ２及び流路ｄ１，ｄ２は、それぞれ中板を介して下板に連通している。   The upper plate is provided with flow paths c and d communicating with the inlets C and D, respectively. Each of the flow paths c and d is provided with a branch point, and the branch point divides the flow path into two branches. The divided flow paths are referred to as flow paths c1 and c2 and flow paths d1 and d2, respectively. The divided flow paths c1 and c2 and flow paths d1 and d2 communicate with the lower plate through intermediate plates, respectively.

下板には、流路ａ，ｂの分岐点が設けられており、流路を２股に分けている。分けられた流路をそれぞれ流路ａ１，ａ２及び流路ｂ１，ｂ２と称する。   The lower plate is provided with branch points of the flow paths a and b, and the flow path is divided into two forks. The divided flow paths are referred to as flow paths a1 and a2 and flow paths b1 and b2, respectively.

下板において、流路ａ１は流路ｃ１と合流し、中板を介して導出口ＡＣに連通し、流路ａ２は流路ｄ１と合流し、中板を介して導出口ＡＤに連通し、流路ｂ１は流路ｃ２と合流し、中板を介して導出口ＢＣに連通し、流路ｂ２は流路ｄ２と合流し、中板を介して導出口ＤＣに連通する。   In the lower plate, the flow channel a1 merges with the flow channel c1 and communicates with the outlet port AC through the middle plate, the flow channel a2 merges with the flow channel d1 and communicates with the outlet port AD through the middle plate, The flow path b1 merges with the flow path c2 and communicates with the outlet port BC through the middle plate, and the flow path b2 merges with the flow channel d2 and communicates with the outlet port DC through the middle plate.

このような流路機構において、導入口Ａ，Ｂから流入した流体は、流路ａ，ｂを通り中板を介して下板に流入し、下板に設けられた分岐点によりそれぞれ２方向に分かれて流路ａ１，ａ２及び流路ｂ１，ｂ２に流れる。また導入口Ｃ，Ｄから流入した流体は、流路ｃ，ｄを通り上板に設けられた分岐点によりそれぞれ２方向に分かれて流路ｃ１，ｃ２及び流路ｄ１，ｄ２を通り中板を介して下板に流入する。   In such a flow path mechanism, the fluid flowing in from the inlets A and B passes through the flow paths a and b, flows into the lower plate through the middle plate, and is divided into two directions by branch points provided on the lower plate, respectively. The flow is divided and flows to flow paths a1 and a2 and flow paths b1 and b2. The fluid flowing in from the inlets C and D passes through the flow paths c and d and is divided into two directions at branch points provided on the upper plate, and passes through the flow paths c1 and c2 and the flow paths d1 and d2 and passes through the middle plate. Flows into the lower plate.

流路ａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２，ｃ１，ｃ２，ｄ１，ｄ２を流れる流体は上述したように合流し、それぞれ導出口へ流れる。
Ｌａｂ Ｃｈｉｐ ２００２，２，１８８−１９２ The fluids flowing through the flow paths a1, a2, b1, b2, c1, c2, d1, and d2 merge as described above, and flow to the outlets, respectively.
Lab Chip 2002, 2, 188-192

前述した流路機構において、各流路は、固定されて形成されている。そのため例えば導入口Ａから流入した流体は４箇所の導出口の中から２箇所の導出口（ＡＣ、ＡＤ）にのみにしか流れないために流体の流れが制限されてしまう。上板または下板にさらに流路を設けて、例えば導入口Ａから流れた流体を４つの導出口（ＡＣ，ＡＤ，ＢＣ，ＢＤ）のいずれかに流れるように全ての導入口と導出口をそれぞれ対応させると流路機構が複雑になり、導入口から流入した流体が適切に導出口に流れない虞が生じてしまう。   In the above-described channel mechanism, each channel is fixedly formed. Therefore, for example, the fluid flowing in from the introduction port A flows only from the four outlets to the two outlets (AC, AD), so that the fluid flow is limited. A flow path is further provided in the upper plate or the lower plate, and for example, all the inlets and outlets are arranged so that the fluid flowing from the inlet A flows to one of the four outlets (AC, AD, BC, BD). If they correspond to each other, the flow path mechanism becomes complicated, and there is a possibility that the fluid flowing in from the inlet port does not appropriately flow to the outlet port.

また流体の流れを切り換えるために例えば流路に３方式や回転式の弁を設けると機構が複雑になり、上板、中板、下板を積層した際に層全体の厚みが増加してしまう。   Also, for example, if a three-way or rotary valve is provided in the flow path to switch the fluid flow, the mechanism becomes complicated, and the thickness of the entire layer increases when the upper plate, middle plate, and lower plate are stacked. .

そのために本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、簡易な流路機構であり、積層した際に層の厚みを増加させることなく簡易に流路を切り換えることができるスライド式バルブ装置及びスライド式バルブ装置を備えたマイクロチップを提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been made in view of the above circumstances, is a simple flow path mechanism, and can easily switch the flow path without increasing the layer thickness when stacked. Another object of the present invention is to provide a microchip having a sliding valve device.

本発明は目的を達成するために、流体が流れる流路が形成された平板状の部材に積層して配置されるスライド式バルブ装置であって、平板状の部材に対して相対的に移動し、流体が流れる複数の接続流路および、移動した際の位置決めを行う位置決め部を有する可動部と、可動部の移動距離を規定して、流路に接続する接続流路を決定する可動規定部と、を具備し、可動部の積層方向の長さは、可動部の移動範囲における長手方向の長さよりも短いことを特徴とするスライド式バルブ装置と、流体が流れる流路が形成された平板状の部材と、平板状の部材とは異なる位置に配置されるとともに、流体が流れる複数の接続流路を設け、接続流路の少なくとも１つを流路に接続させる切り換え部と、を具備し、切り換え部は、切り換え部と平板状の部材とが接する面と平行な方向に移動することによって複数の接続流路の少なくとも１つと流路とを接続させ、流路を切り換えることを特徴とするマイクロチップを提供する。   In order to achieve the object, the present invention is a slide type valve device that is disposed in a stacked manner on a flat plate member in which a fluid flow path is formed, and moves relative to the flat plate member. A movable part having a plurality of connection flow paths through which a fluid flows, a positioning part for positioning when moved, and a movable defining part for defining a moving distance of the movable part and determining a connection flow path to be connected to the flow path A sliding valve device characterized in that the length of the movable part in the stacking direction is shorter than the length in the longitudinal direction in the moving range of the movable part, and a flat plate on which a flow path for fluid flow is formed And a switching member that is arranged at a position different from the flat plate-shaped member, has a plurality of connection flow paths through which fluid flows, and connects at least one of the connection flow paths to the flow path. The switching part is flat with the switching part To connect a plurality of at least one flow channel connecting flow path by moving in the direction parallel to the plane of where the member contact, to provide a microchip, characterized in that changing over the channel.

本発明によれば、簡易な流路機構であり、積層した際に層の厚みを増加させることなく流路を切り換えることができるスライド式バルブ装置及びスライド式バルブ装置を備えたマイクロチップを提供することができる。   According to the present invention, there is provided a slide valve device that is a simple flow channel mechanism and can switch a flow channel without increasing the thickness of the layers when stacked, and a microchip including the slide valve device. be able to.

以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。
以下の説明において、図中、可動部が一方向にのみスライド移動する方向をＸ軸方向とし、このＸ軸方向と直交する方向（可動部のスライド移動を規定する可動規定部の移動方向、または可動部が二方向に移動する際、Ｘ軸方向と直交する方向）をＹ軸方向としている。Ｘ軸及びＹ軸方向に直交する方向（導入口を設けている第１の部材と、可動部と可動規定部と設けている第２の部材と、導出口を設けている第３の部材と、が積層する方向）をＺ軸方向とする。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
In the following description, in the figure, the direction in which the movable part slides in only one direction is defined as the X-axis direction, and the direction orthogonal to the X-axis direction (the moving direction of the movable defining part defining the sliding movement of the movable part When the movable part moves in two directions, the direction perpendicular to the X-axis direction) is taken as the Y-axis direction. A direction orthogonal to the X-axis and Y-axis directions (a first member provided with an introduction port, a second member provided with a movable portion and a movable defining portion, and a third member provided with a lead-out port) Is the Z-axis direction.

図１乃至図３を参照して第１の実施形態について説明する。
図１は、本実施形態におけるスライド式バルブ装置を示す概略斜視図である。図２（ａ）は、可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示している。図２（ｂ）は、可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する（図２（ａ）に移動した方向とは反対方向）際の中板の上面図を示している。図２（ｃ）は、可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示している。図３（ａ）は、スライド式バルブ装置において流体が流れる際の流れを示す概略図を示している。図３（ｂ）は、スライド式バルブ装置において流体が流れる際の流れを示す概略斜視図を示している。 The first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 3.
FIG. 1 is a schematic perspective view showing a sliding valve device in the present embodiment. FIG. 2A shows a top view of the intermediate plate when the movable part moves relative to the fixed guide. FIG. 2B shows a top view of the intermediate plate when the movable portion moves relative to the fixed guide (the direction opposite to the direction moved in FIG. 2A). FIG. 2C shows a top view of the intermediate plate when the movable portion moves relative to the fixed guide. Fig.3 (a) has shown the schematic which shows the flow at the time of the fluid flowing in a slide type valve apparatus. FIG.3 (b) has shown the schematic perspective view which shows the flow at the time of the fluid flowing in a slide type valve apparatus.

図１に示すようにスライド式バルブ装置１には、平板状の第１の部材（以下、上板と称する）１０と、第２の部材（以下、中板と称する）３０と、平板状の第３の部材（以下、下板と称する）５０と、が厚み方向に並べられ積層している。また、このスライド式バルブ装置１は、半導体製造技術を利用して製造される。   As shown in FIG. 1, the sliding valve device 1 includes a flat plate-like first member (hereinafter referred to as an upper plate) 10, a second member (hereinafter referred to as an intermediate plate) 30, and a flat plate-like member. A third member (hereinafter referred to as a lower plate) 50 is aligned and stacked in the thickness direction. The sliding valve device 1 is manufactured using a semiconductor manufacturing technique.

上板１０には、図示しない流体を導入させる導入口１１が設けられている。この導入口１１には、導入した流体を流入させる流路１２が連通している。   The upper plate 10 is provided with an inlet 11 for introducing a fluid (not shown). The introduction port 11 communicates with a flow path 12 through which the introduced fluid flows.

上板１０の下方に並べられている中板３０には、可動部３２と、可動規定部３３と、固定ガイド３５と、が設けられている。   The middle plate 30 arranged below the upper plate 10 is provided with a movable portion 32, a movable defining portion 33, and a fixed guide 35.

可動部３２は、上板１０及び下板５０との当接面に対して平行な方向に２次元に、且つ上板１０及び下板５０に対して相対的にスライド移動する。また可動部３２には、流路１２と接続する接続流路３１ａ，３１ｂ，３１ｃと、スライド移動した際に可動規定部３３又は固定ガイド３５と当接して可動部３２の位置決めを行う位置決め部３２ａ，３２ｂ，３２ｃと、が設けられている。これら位置決め部３２ａ，３２ｂ，３２ｃは、可動規定部３３又は固定ガイド３５と当接する可動部３２の側面である。なお可動部３２はスライド移動することで接続流路３１ａ，３１ｂ，３１ｃのいずれか１つを、流路１２と、下板５０に設けられる流路５１ａ，５１ｂ，５１ｃのいずれか１つと、に接続させ流路を切り換える。なお接続流路３１ａは流路５１ａと、接続流路３１ｂは流路５１ｂと、接続流路３１ｃは流路５１ｃとのみに接続する（詳細については後述する）。このように可動部３２は、流路を切り換える切り換え部である。この可動部３２の積層（厚み）方向の長さは、可動部３２がスライド移動する範囲の長手方向（本実施形態ではＸ軸方向）の長さよりも短くなっている。   The movable portion 32 slides in a two-dimensional manner in a direction parallel to the contact surface between the upper plate 10 and the lower plate 50 and relatively with respect to the upper plate 10 and the lower plate 50. The movable part 32 includes connection flow paths 31a, 31b, 31c connected to the flow path 12, and a positioning part 32a that contacts the movable defining part 33 or the fixed guide 35 when the slide part is moved to position the movable part 32. , 32b, and 32c. These positioning portions 32 a, 32 b, and 32 c are side surfaces of the movable portion 32 that contacts the movable defining portion 33 or the fixed guide 35. The movable part 32 slides to change any one of the connection flow paths 31a, 31b, and 31c to the flow path 12 and any one of the flow paths 51a, 51b, and 51c provided in the lower plate 50. Connect and switch the flow path. The connection channel 31a is connected only to the channel 51a, the connection channel 31b is connected to the channel 51b, and the connection channel 31c is connected only to the channel 51c (details will be described later). Thus, the movable part 32 is a switching part which switches a flow path. The length of the movable portion 32 in the stacking (thickness) direction is shorter than the length in the longitudinal direction (X-axis direction in this embodiment) of the range in which the movable portion 32 slides.

可動規定部３３は、可動部３２と同一平面上に設けられており、可動部３２の移動する平面と同一平面上をスライド移動して可動部３２の位置決め部３２ｃに当接し、これにより可動部３２の移動距離を規定する。   The movable defining portion 33 is provided on the same plane as the movable portion 32, slides on the same plane as the movable portion 32 moves, and comes into contact with the positioning portion 32c of the movable portion 32, thereby moving the movable portion. 32 movement distances are defined.

固定ガイド３５は、可動部３２のスライド移動を規定する部材であり、可動部３２のスライド移動を規定する２つの規定部３４ａ，３４ｂが設けられている。   The fixed guide 35 is a member that regulates the sliding movement of the movable part 32, and two regulation parts 34 a and 34 b that regulate the sliding movement of the movable part 32 are provided.

下板５０には、可動部３２がスライド移動した際に接続流路３１ａ，３１ｂ，３１ｃとそれぞれ接続し、導入口１１から導入された流体が流れる流路５１ａ，５１ｂ，５１ｃと、流路５１ａ，５１ｂ，５１ｃにそれぞれ連通する導出口５２ａ，５２ｂ，５２ｃが設けられている。   The lower plate 50 is connected to the connection flow paths 31a, 31b, 31c when the movable part 32 slides, and the flow paths 51a, 51b, 51c through which the fluid introduced from the introduction port 11 flows, and the flow path 51a. , 51b, 51c are provided with outlets 52a, 52b, 52c, respectively.

なお可動部３２がスライド移動し、位置決め部３２ａが規定部３４ａに当接した際、接続流路３１ａは、流路１２、流路５１ａと接続するように可動部３２に設けられている。   When the movable part 32 slides and the positioning part 32a comes into contact with the defining part 34a, the connection channel 31a is provided in the movable part 32 so as to be connected to the channel 12 and the channel 51a.

また、可動部３２がスライド移動し、位置決め部３２ｂが規定部３４ｂに当接した際、接続流路３１ｂは、流路１２、流路５１ｂと接続するように可動部３２に設けられている。   Further, when the movable part 32 slides and the positioning part 32b contacts the defining part 34b, the connection channel 31b is provided in the movable part 32 so as to be connected to the channel 12 and the channel 51b.

また、可動規定部３３が位置決め部３２ｃに当接し、可動部３２の移動距離を規定した際、接続流路３１ｃは、流路１２、流路５１ｃと接続するように可動部３２に設けられている。   Further, when the movable defining portion 33 abuts on the positioning portion 32c and defines the moving distance of the movable portion 32, the connection flow path 31c is provided in the movable section 32 so as to be connected to the flow path 12 and the flow path 51c. Yes.

次に図２（ａ）乃至図２（ｃ）を参照して可動部をスライド移動させて流路を切り換える方法について詳細に説明する。   Next, a method for switching the flow path by sliding the movable portion will be described in detail with reference to FIGS. 2 (a) to 2 (c).

図１（ａ）に示す状態において、流体を導入口１１から導入させ導出口５２ａへ導出させるために図２（ａ）に示すように可動部３２を一軸方向（Ｘ軸方向）にスライド移動させて、位置決め部３２ａを規定部３４ａに当接させる。これにより接続流路３１ａが、上板１０に設けられた流路１２と下板５０に設けられた流路５１ａと接続し、１つの流路が形成されることになる。   In the state shown in FIG. 1 (a), in order to introduce the fluid from the inlet 11 and lead it to the outlet 52a, the movable part 32 is slid in one axis direction (X-axis direction) as shown in FIG. 2 (a). Then, the positioning portion 32a is brought into contact with the defining portion 34a. Thereby, the connection flow path 31a is connected to the flow path 12 provided in the upper plate 10 and the flow path 51a provided in the lower plate 50, so that one flow path is formed.

このように可動部３２がスライド移動することで流路が切り換わり、導入口１１から導入された流体は、流路１２、接続流路３１ａ、流路５１ａを経由して導出口５２ａに流れる。   Thus, the flow path is switched by the sliding movement of the movable portion 32, and the fluid introduced from the introduction port 11 flows to the outlet port 52a via the flow channel 12, the connection flow channel 31a, and the flow channel 51a.

また、図２（ａ）に移動させた方向とは反対方向に可動部３２をスライド移動させて、図２（ｂ）に示すように位置決め部３２ｂを規定部３４ｂに当接させる。これにより接続流路３１ｂが、上板１０に設けられた流路１２と下板５０に設けられた流路５１ｂと接続し、１つの流路が形成されることになる。   Further, the movable portion 32 is slid in the direction opposite to the direction moved in FIG. 2A, and the positioning portion 32b is brought into contact with the defining portion 34b as shown in FIG. 2B. As a result, the connection flow path 31b is connected to the flow path 12 provided on the upper plate 10 and the flow path 51b provided on the lower plate 50, thereby forming one flow path.

このように可動部３２がスライド移動することで流路が切り換わり、導入口１１から導入された流体は、流路１２、接続流路３１ｂ、流路５１ｂを経由して導出口５２ｂに流れる。   Thus, the flow path is switched by the sliding movement of the movable portion 32, and the fluid introduced from the introduction port 11 flows to the outlet port 52b via the flow channel 12, the connection flow channel 31b, and the flow channel 51b.

また例えば図２（ｂ）に示す状態から図２（ａ）に示す状態に移動させる際に、可動規定部３３を可動部３２に向けてスライド移動させ、位置決め部３２ｂが規定部３４ｂに当接する前に可動規定部３３を位置決め部３２ｃに当接させ、可動部３２の移動距離を規定する。これにより図２（ｃ）に示すように接続流路３１ｃが、上板１０に設けられた流路１２と下板５０に設けられた流路５１ｃと接続し、１つの流路が形成されることになる。このように可動部３２がスライド移動することで流路が切り換わり、また可動規定部３３の設置位置が調整されることによって可動部３２の移動距離を調整可能である。   For example, when moving from the state shown in FIG. 2B to the state shown in FIG. 2A, the movable defining portion 33 is slid toward the movable portion 32, and the positioning portion 32b contacts the defining portion 34b. Before the movable defining portion 33 is brought into contact with the positioning portion 32c, the moving distance of the movable portion 32 is defined. Thereby, as shown in FIG. 2C, the connection flow path 31c is connected to the flow path 12 provided in the upper plate 10 and the flow path 51c provided in the lower plate 50, thereby forming one flow path. It will be. Thus, the flow path is switched by the sliding movement of the movable portion 32, and the moving distance of the movable portion 32 can be adjusted by adjusting the installation position of the movable defining portion 33.

上述したように可動部３２がスライド移動することで流路が切り換わり、導入口１１から導入された流体は、流路１２、接続流路３１ｃ、流路５１ｃを経由して導出口５２ｃに流れる。   As described above, the flow path is switched by the sliding movement of the movable portion 32, and the fluid introduced from the introduction port 11 flows to the outlet port 52c via the flow channel 12, the connection flow channel 31c, and the flow channel 51c. .

次に図２（ｃ）、図３（ａ）及び図３（ｂ）を参照して１つの流路が形成された際の流体の流れについて詳細に説明する。図３（ａ）においては接続流路３１ａ，３１ｂ、流路５１ａ，５１ｂ、導出口５２ａ，５２ｂを省略している。   Next, the flow of fluid when one flow path is formed will be described in detail with reference to FIGS. 2 (c), 3 (a), and 3 (b). In FIG. 3A, the connection channels 31a and 31b, the channels 51a and 51b, and the outlets 52a and 52b are omitted.

図２（ｃ）、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように可動部３２の位置は、可動規定部３３によって規定され、流路１２は接続流路３１ｃと接続し、接続流路３１ｃは流路５１ｃと接続している。図３（ａ）に示すようにスライド式バルブ装置１の上方及び下方には、流体の流れる流路が形成された平板状のマイクロ化学チップが配置されている。スライド式バルブ装置１の上方に配置されたマイクロ化学チップ上の流路から流れ込んだ流体は、導入口１１、流路１２、接続流路３１ｃ、流路５１ｃ、導出口５２ｃを流れる。そしてスライド式バルブ装置１の下方に配置されたマイクロ化学チップ上の流路へと流れる。   As shown in FIGS. 2 (c), 3 (a), and 3 (b), the position of the movable portion 32 is defined by the movable defining portion 33, and the flow path 12 is connected to the connection flow path 31c. The path 31c is connected to the flow path 51c. As shown in FIG. 3A, a flat microchemical chip having a fluid flow path is disposed above and below the sliding valve device 1. The fluid that has flowed in from the flow path on the microchemical chip disposed above the sliding valve device 1 flows through the inlet 11, the flow path 12, the connection flow path 31c, the flow path 51c, and the outlet 52c. And it flows into the flow path on the microchemical chip arrange | positioned under the slide type valve apparatus 1. FIG.

本実施形態は、上板１０と下板５０の間に中板３０を設け、中板３０に可動部３２を設け、可動部３２に簡易な流路機構である接続流路３１ａ，３１ｂ，３１ｃを設けている。この可動部３２を、スライド移動させることにより、簡易に流路を切り換えることができる。   In the present embodiment, an intermediate plate 30 is provided between the upper plate 10 and the lower plate 50, a movable portion 32 is provided on the intermediate plate 30, and connection channels 31a, 31b, and 31c, which are simple flow path mechanisms, are provided in the movable portion 32. Is provided. The flow path can be easily switched by sliding the movable portion 32.

また可動部３２がスライド移動し、位置決め部３２ａを規定部３４ａに当接させる、または位置決め部３２ｂを規定部３４ｂに当接させる、または可動部３２と同一平面内に設けられている可動規定部３３が位置決め部３２ｃに当接し、可動部３２の移動距離を規定することによって流路が切り換わる。このように当接によって流路を切り換えるためにずれることなく１つの流路が形成される。位置決め部３２ａ，３２ｂ，３２ｃ、規定部３４ａ，３４ｂは、同一平面上に設けられているために層を厚くすることなく正確に位置決めができ流路を切り換えることができる。   Further, the movable portion 32 slides, and the positioning portion 32a is brought into contact with the defining portion 34a, or the positioning portion 32b is brought into contact with the defining portion 34b, or the movable defining portion provided in the same plane as the movable portion 32. The flow path is switched by 33 abutting the positioning part 32c and defining the moving distance of the movable part 32. In this way, one flow path is formed without shifting to switch the flow path by contact. Since the positioning portions 32a, 32b, 32c and the defining portions 34a, 34b are provided on the same plane, the positioning can be accurately performed without increasing the thickness of the layer, and the flow path can be switched.

また中板３０と同一平面上に接続流路３１ａ，３１ｂ，３１ｃが設けられているために、層を厚くすることなく可動部３２をスライド移動させることで流路を切り換えることができる。   Further, since the connection flow paths 31a, 31b, and 31c are provided on the same plane as the intermediate plate 30, the flow path can be switched by sliding the movable portion 32 without increasing the thickness of the layer.

なお本実施形態は、３つの接続流路（３１ａ，３１ｂ，３１ｃ）を設けている。しかしこの数に限定されることはなく、３つ以上設けても良い。その場合、接続流路の数に合わせて流路及び導出口を下板５０に設ける。また可動規定部３３は、設置位置を調整できるために、接続流路にあわせて可動部３２の移動距離を規定すればよい。これにより接続流路の数に合わせて（３つ以上）流路を切り換えることが可能である。   In the present embodiment, three connection channels (31a, 31b, 31c) are provided. However, the number is not limited and three or more may be provided. In that case, the lower plate 50 is provided with channels and outlets according to the number of connection channels. Moreover, since the movable provision part 33 can adjust an installation position, what is necessary is just to prescribe | regulate the movement distance of the movable part 32 according to a connection flow path. Thereby, the flow paths can be switched in accordance with the number of connection flow paths (three or more).

本実施形態では流体は上板１０に設けた導入口１１から可動部３２のスライド移動により接続流路３１を切り換えて下板５０に設けた導出口５２に流れる流路機構としたが、この機構に限定されることはない。   In this embodiment, the fluid is configured as a flow path mechanism in which the connection flow path 31 is switched by the sliding movement of the movable portion 32 from the inlet 11 provided in the upper plate 10 and flows to the outlet 52 provided in the lower plate 50. It is not limited to.

そこで次に図４及び図５を参照して本実施形態における第１の変形例について説明する。   Next, a first modification of the present embodiment will be described with reference to FIGS. 4 and 5.

図４は、本変形例におけるスライド式バルブ装置を示す概略斜視図である。図５は、スライド式バルブ装置において流体が流れる際の流れを示す概略斜視図を示している。   FIG. 4 is a schematic perspective view showing a sliding valve device according to this modification. FIG. 5 is a schematic perspective view showing a flow when a fluid flows in the slide type valve device.

本変形例では上板１０には、図示しない流体を導入させる導入口１１が設けられている。この導入口１１には、導入した流体を流入させる流路１２が連通している。また前述した実施形態では、流路５１ａ，５１ｂ，５１ｃと導出口５２ａ，５２ｂ，５２ｃを下板５０に設けたが、これら流路及び導出口を上板１０に設けている。また上板１０の上方には、平板状の第４の部材（以下、頂板と称する）２０が積層されている。   In this modification, the upper plate 10 is provided with an introduction port 11 for introducing a fluid (not shown). The introduction port 11 communicates with a flow path 12 through which the introduced fluid flows. In the embodiment described above, the flow paths 51 a, 51 b, 51 c and the outlets 52 a, 52 b, 52 c are provided in the lower plate 50, but these flow paths and the outlet are provided in the upper plate 10. A flat plate-like fourth member (hereinafter referred to as a top plate) 20 is laminated above the upper plate 10.

中板３０の構成は、前述した第１の実施形態と同様である。   The configuration of the intermediate plate 30 is the same as that of the first embodiment described above.

頂板２０には、導入口１１と連通する連結流路２１ａと、導出口５２ａと連通する連結流路２１ｂと、導出口５２ｂと連通する連結流路２１ｃと、導出口５２ｃと連通する連結流路２１ｄと、流路２２ａ，２２ｂが設けられている。流路２２ａの一部は、連結流路２１ａと連結流路２１ｂの間に設けられている。流路２２ｂの一部は、連結流路２１ａと連結流路２１ｃの間に設けられている。   The top plate 20 includes a connection channel 21a that communicates with the inlet port 11, a connection channel 21b that communicates with the outlet port 52a, a connection channel 21c that communicates with the outlet port 52b, and a connection channel that communicates with the outlet port 52c. 21d and flow paths 22a and 22b are provided. A part of the flow path 22a is provided between the connection flow path 21a and the connection flow path 21b. A part of the flow path 22b is provided between the connection flow path 21a and the connection flow path 21c.

本変形例は、例えば連結流路２１ａと、導入口１１と、流路１２と、接続流路３１ｃと、流路５１ｃと、導出口５２ｃと、連結流路２１ｄと、が連通し、１本の流路が形成される。   In this modification, for example, the connecting channel 21a, the inlet port 11, the channel 12, the connecting channel 31c, the channel 51c, the outlet port 52c, and the connecting channel 21d communicate with each other. The flow path is formed.

つまり流体は、頂板２０に形成された連結流路２１ａ、連結流路２１ａと連通する導入口１１、流路１２、可動部３２のスライド移動により流路１２と接続している接続流路３１（接続流路３１ａ，３１ｂ，３１ｃのいずれか１つ）の一端から他端へと流れ、他端と接続している流路５１（流路５１ａ，５１ｂ，５１ｃのいずれか１つ）、流路５１と接続している導出口５２、導出口５２と連通している連結流路２１へと、流れる。図５には、連結流路２１ａから流れた流体が、導入口１１に導入し、流路１２、接続流路３１ｃ、流路５１ｃ、を経由して導出口５２ｃから導出し、図５には図示しない連結流路２１ｄに流れた場合の例を示している。   That is, the fluid is connected to the flow path 12 by sliding movement of the connection flow path 21 a formed in the top plate 20, the introduction port 11 communicating with the connection flow path 21 a, the flow path 12, and the movable portion 32 ( One of the connection flow paths 31a, 31b, and 31c) flows from one end to the other end, and is connected to the other end of the flow path 51 (any one of the flow paths 51a, 51b, and 51c), the flow path It flows to the outlet 52 connected to 51 and the connecting channel 21 communicating with the outlet 52. In FIG. 5, the fluid that has flowed from the connection channel 21a is introduced into the introduction port 11, and is led out from the outlet port 52c via the channel 12, the connection channel 31c, and the channel 51c. An example in the case of flowing into a connection channel 21d (not shown) is shown.

このように本変形例は、上記第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに流体を導入させる流路（本変形例における連結流路２１ａ）と導出させる流路（本変形例における連結流路２１ｂ、２１ｃ）の間に流路（本変形例における流路２２ａ，２２ｂ）が設けられていても可動部３２をスライド移動させ、流路を切り換えて迂回させることで頂板２０の様々な箇所に流体を流すことができる。   Thus, this modification can obtain the same effects as those of the first embodiment. Further, a flow path (flow paths 22a and 22b in the present modification) is provided between a flow path for introducing fluid (the connection flow path 21a in the present modification) and a flow path (the connection flow paths 21b and 21c in the present modification). The fluid can be caused to flow to various locations of the top plate 20 by sliding the movable portion 32 and switching the flow path to make a detour.

次に図６を参照して本実施形態における第２の変形例について説明する。   Next, a second modification of the present embodiment will be described with reference to FIG.

図６（ａ）は、可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示している。図６（ｂ）は、可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する（図６（ａ）に移動した方向とは反対方向）際の中板の上面図を示している。図６（ｃ）は、可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示している。   FIG. 6A shows a top view of the intermediate plate when the movable portion moves relative to the fixed guide. FIG. 6B shows a top view of the intermediate plate when the movable portion moves relative to the fixed guide (the direction opposite to the direction moved in FIG. 6A). FIG. 6C shows a top view of the intermediate plate when the movable part moves relative to the fixed guide.

本変形例において流体は、１つの導入口から流入し、２つの導出口に流れる。そのため第１の実施形態の接続流路の形状と本変形例における接続流路の形状は、異なる形状である。   In this modification, the fluid flows from one inlet and flows to two outlets. Therefore, the shape of the connection channel of the first embodiment is different from the shape of the connection channel in the present modification.

本変形例における上板１０と下板５０の構成は前述した第１の実施形態と同様であるために詳細な説明は省略する。   Since the configurations of the upper plate 10 and the lower plate 50 in the present modification are the same as those in the first embodiment described above, detailed description thereof is omitted.

本変形例における接続流路３１ａは、Ｌ字形状の流路である。図６（ａ）に示すように位置決め部３２ａが規定部３４ａに当接した際に、接続流路３１ａは流路１２、流路５１ａ、流路５１ｃと接続する。これにより導入口１１から導入された流体は、流路１２、接続流路３１ａ、を経由して流路５１ａ、流路５１ｃの２方向に分かれて流れ、導出口５２ａ、導出口５２ｃに流れる。   The connection channel 31a in this modification is an L-shaped channel. As shown in FIG. 6A, when the positioning portion 32a comes into contact with the defining portion 34a, the connection channel 31a is connected to the channel 12, the channel 51a, and the channel 51c. As a result, the fluid introduced from the introduction port 11 flows in two directions of the flow channel 51a and the flow channel 51c via the flow channel 12 and the connection flow channel 31a, and then flows to the discharge port 52a and the discharge port 52c.

本変形例における接続流路３１ｂは、前述した第１の実施形態と同様の形状の流路である。図６（ｂ）に示すように位置決め部３２ｂが規定部３４ｂに当接した際に、接続流路３１ｂは流路１２、流路５１ａ、流路５１ｂと接続する。これにより導入口１１から導入された流体は、流路１２、接続流路３１ｂ、を経由して流路５１ａ、流路５１ｂの２方向に分かれて流れ、導出口５２ａ、導出口５２ｂに流れる。   The connection channel 31b in this modification is a channel having the same shape as that of the first embodiment described above. As shown in FIG. 6B, when the positioning portion 32b comes into contact with the defining portion 34b, the connection channel 31b is connected to the channel 12, the channel 51a, and the channel 51b. Thereby, the fluid introduced from the introduction port 11 flows in two directions of the flow channel 51a and the flow channel 51b via the flow channel 12 and the connection flow channel 31b, and then flows to the discharge port 52a and the discharge port 52b.

本変形例における接続流路３１ｃは、Ｌ字形状の流路である。図６（ｃ）に示すように可動規定部３３が位置決め部３２ｃに当接した際に、接続流路３１ｃは流路１２、流路５１ｂ、流路５１ｃと接続する。これにより導入口１１から導入された流体は、流路１２、接続流路３１ａ、を経由して流路５１ｂ、流路５１ｃの２方向に分かれて流れ、導出口５２ｂ、導出口５２ｃに流れる。   The connection channel 31c in this modification is an L-shaped channel. As shown in FIG. 6C, when the movable defining portion 33 contacts the positioning portion 32c, the connection flow path 31c is connected to the flow path 12, the flow path 51b, and the flow path 51c. Thereby, the fluid introduced from the introduction port 11 flows in two directions of the flow channel 51b and the flow channel 51c via the flow channel 12 and the connection flow channel 31a, and then flows to the discharge port 52b and the discharge port 52c.

このように本変形は、流体を１つの導入口１１から２つの導出口５２へと流出させている。例えば各導出口に連通する流路に試薬Ａ，Ｂ，Ｃが挿入されている場合、流体を導入させることで試薬Ａと試薬Ｂ、試薬Ｂと試薬Ｃ、試薬Ｃと試薬Ａ、と、流体と、の反応の比較を容易に行うことができる。また、各試薬と流体との反応状況を比較して評価することができる。   As described above, in this modification, the fluid is caused to flow out from the one inlet 11 to the two outlets 52. For example, when the reagents A, B, and C are inserted into the channels communicating with the outlets, the reagent A and the reagent B, the reagent B and the reagent C, the reagent C and the reagent A, and the fluid are introduced by introducing the fluid. And the reaction can be easily compared. In addition, the reaction state between each reagent and the fluid can be compared and evaluated.

また本変形例は、接続流路３１の形状を変形したのみであり、それ以外は前述した第１の実施形態と同様である。そのため前述した第１の実施形態と同様の効果を得ることができるのは言うまでもない。   Further, the present modification is the same as that of the first embodiment described above except that the shape of the connection channel 31 is modified. Therefore, it goes without saying that the same effect as that of the first embodiment described above can be obtained.

次に図７を参照して本発明に関わる第２の実施形態について詳細に説明する。前述した第１の実施形態と同一部位については同符合を付し、その詳細な説明は省略する。
図７（ａ）乃至図７（ｃ）は、可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示している。 Next, a second embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to FIG. The same parts as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
FIGS. 7A to 7C are top views of the intermediate plate when the movable part moves relative to the fixed guide.

本実施形態における上板１０と下板５０の構成は、前述した第１の実施形態と同様なため詳細な説明は省略する。   Since the configurations of the upper plate 10 and the lower plate 50 in the present embodiment are the same as those in the first embodiment described above, detailed description thereof is omitted.

本実施形態における中板３０には、可動部３２と、可動規定部３３と、固定ガイド３５と、が設けられている。   The middle plate 30 in the present embodiment is provided with a movable portion 32, a movable defining portion 33, and a fixed guide 35.

可動部３２は、上板１０及び下板５０との当接面に対して平行に、且つ可動規定部３３に対して相対的に一軸方向（Ｘ軸方向）にのみスライド移動する。また可動部３２には、スライド移動した際に流路１２と接続する接続流路３１ａ，３１ｂ，３１ｃと、スライド移動した際に可動部３２の位置決めを行う位置決め部３２ａ，３２ｂと、が設けられている。なお可動部３２はスライド移動することで接続流路３１ａ，３１ｂ，３１ｃのいずれか１つを流路１２と、下板５０に設けられる流路５１ａ，５１ｂ，５１ｃのいずれか１つと、に接続させ流路を切り換える。なお第１の実施形態と同様に接続流路３１ａは流路５１ａと、接続流路３１ｂは流路５１ｂと、接続流路３１ｃは流路５１ｃとのみに接続する（詳細については後述する）。このように可動部３２は、流路を切り換える切り換え部である。   The movable portion 32 slides only in one axis direction (X-axis direction) in parallel with the contact surface between the upper plate 10 and the lower plate 50 and relative to the movable defining portion 33. The movable part 32 is provided with connection flow paths 31a, 31b, 31c that connect to the flow path 12 when sliding, and positioning parts 32a, 32b that position the movable part 32 when sliding. ing. The movable portion 32 slides to connect any one of the connection channels 31a, 31b, and 31c to the channel 12 and any one of the channels 51a, 51b, and 51c provided on the lower plate 50. Switch the flow path. As in the first embodiment, the connection channel 31a is connected only to the channel 51a, the connection channel 31b is connected to the channel 51b, and the connection channel 31c is connected only to the channel 51c (details will be described later). Thus, the movable part 32 is a switching part which switches a flow path.

可動規定部３３は、上板１０及び下板５０との当接面に対して平行に、且つ固定ガイド３５に対して相対的に一軸方向（Ｙ軸方向）にのみスライド移動する。可動規定部３３には、可動部３２の可動規定部３３に対する一軸方向の移動（Ｙ軸方向）を規定する枠状の規定部３７が設けられている。   The movable defining portion 33 slides only in one axis direction (Y-axis direction) in parallel to the contact surfaces of the upper plate 10 and the lower plate 50 and relative to the fixed guide 35. The movable defining portion 33 is provided with a frame-shaped defining portion 37 that defines a uniaxial movement (Y-axis direction) of the movable portion 32 with respect to the movable defining portion 33.

これにより可動部３２は、自身のスライド移動（Ｘ軸方向）と、可動規定部３３によるスライド移動（Ｙ軸方向）と、によって固定されている固定ガイド３５に対して二軸方向（２次元（Ｘ軸方向とＹ軸方向））に相対移動することになる。   Thereby, the movable part 32 is biaxially (two-dimensional (two-dimensional ( X-axis direction and Y-axis direction)).

固定ガイド３５は、可動規定部３３のスライド移動を規定する部材であり、可動規定部３３のスライド移動を規定する２つの規定部３４ａ，３４ｂが設けられている。   The fixed guide 35 is a member that regulates the sliding movement of the movable regulation part 33, and two regulation parts 34 a and 34 b that regulate the sliding movement of the movable regulation part 33 are provided.

枠状の規定部３７は、固定ガイド３５に対する可動部３２のＸ軸方向の移動と、可動規定部３３のＹ軸方向の移動と、を規定する。   The frame-shaped defining portion 37 defines the movement of the movable portion 32 with respect to the fixed guide 35 in the X-axis direction and the movement of the movable defining portion 33 in the Y-axis direction.

可動部３２、可動規定部３３がスライド移動し、位置決め部３２ａが規定部３７に当接し、規定部３７が規定部３４ａに当接した際に、接続流路３１ａが、流路１２、流路５１ａと接続するように可動部３２に設けられている。   When the movable portion 32 and the movable defining portion 33 slide, the positioning portion 32a contacts the defining portion 37, and the defining portion 37 contacts the defining portion 34a, the connection channel 31a is connected to the channel 12, the channel It is provided in the movable part 32 so as to be connected to 51a.

可動部３２、可動規定部３３がスライド移動し、位置決め部３２ａが規定部３７に当接し、規定部３７が規定部３４ｂに当接した際に、接続流路３１ｂが、流路１２、流路５１ｂと接続するように可動部３２に設けられている。   When the movable portion 32 and the movable defining portion 33 slide, the positioning portion 32a contacts the defining portion 37, and the defining portion 37 contacts the defining portion 34b, the connection flow path 31b becomes the flow path 12, the flow path It is provided in the movable part 32 so as to be connected to 51b.

可動部３２、可動規定部３３がスライド移動し、位置決め部３２ｂが規定部３７に当接し、規定部３７が規定部３４ｂに当接した際に、接続流路３１ｃが、流路１２、流路５１ｃと接続するように可動部３２に設けられている。   When the movable portion 32 and the movable defining portion 33 are slid, the positioning portion 32b is in contact with the defining portion 37, and the defining portion 37 is in contact with the defining portion 34b, the connection flow path 31c is connected to the flow path 12 and the flow path. The movable portion 32 is provided so as to be connected to the 51c.

次に図７（ａ）乃至図７（ｃ）を参照して流路を切り換えるために可動部及び可動規定部をスライド移動させる方法について詳細に説明する。   Next, with reference to FIGS. 7A to 7C, a method of sliding the movable part and the movable defining part in order to switch the flow path will be described in detail.

図７（ａ）に示すように可動規定部３３を一軸方向（Ｙ軸方向）にスライド移動させて、規定部３７を規定部３４ａに当接させる。また位置決め部３２ａを規定部３７に当接するようにＸ軸方向に移動させる。これにより接続流路３１ａが、流路１２と下板５０に設けられた流路５１ａと接続し、１つの流路が形成されることになる。   As shown in FIG. 7A, the movable defining portion 33 is slid in one axis direction (Y-axis direction) to bring the defining portion 37 into contact with the defining portion 34a. Further, the positioning part 32a is moved in the X-axis direction so as to come into contact with the defining part 37. Thereby, the connection flow path 31a connects with the flow path 12 and the flow path 51a provided in the lower board 50, and one flow path is formed.

このように可動部３２、可動規定部３３がスライド移動することで流路が切り換わり、導入口１１から導入された流体は、流路１２、接続流路３１ａ、流路５１ａを経由して導出口５２ａに流れる。   As the movable part 32 and the movable defining part 33 slide in this way, the flow path is switched, and the fluid introduced from the introduction port 11 is guided through the flow path 12, the connection flow path 31a, and the flow path 51a. It flows to the outlet 52a.

また、図７（ａ）に示す状態から可動規定部３３をＹ軸方向にスライド移動させて、図７（ｂ）に示すように規定部３７を規定部３４ｂに当接させる。可動部３２は、位置決め部３２ａを規定部３７に当接した状態である。これにより接続流路３１ｂが、上板１０に設けられた流路１２と下板５０に設けられた流路５１ｂと接続し、１つの流路が形成されることになる。   Further, the movable defining portion 33 is slid in the Y-axis direction from the state shown in FIG. 7A, and the defining portion 37 is brought into contact with the defining portion 34b as shown in FIG. 7B. The movable part 32 is in a state where the positioning part 32 a is in contact with the defining part 37. As a result, the connection flow path 31b is connected to the flow path 12 provided on the upper plate 10 and the flow path 51b provided on the lower plate 50, thereby forming one flow path.

このように可動部３２、可動規定部３３がスライド移動することで流路が切り換わり、導入口１１から導入された流体は、流路１２、接続流路３１ｂ、流路５１ｂを経由して導出口５２ｂに流れる。   As the movable part 32 and the movable defining part 33 slide in this way, the flow path is switched, and the fluid introduced from the introduction port 11 is guided via the flow path 12, the connection flow path 31b, and the flow path 51b. It flows to the outlet 52b.

また図７（ｂ）に示す状態から可動部３２をＸ軸方向にスライド移動させて、図７（ｃ）に示すように位置決め部３２ｂを規定部３７に当接させる。これによりに接続流路３１ｃが、上板１０に設けられた流路１２と下板５０に設けられた流路５１ｃと接続し、１つの流路が形成されることになる。   Further, the movable portion 32 is slid in the X-axis direction from the state shown in FIG. 7B, and the positioning portion 32b is brought into contact with the defining portion 37 as shown in FIG. As a result, the connection flow path 31c is connected to the flow path 12 provided in the upper plate 10 and the flow path 51c provided in the lower plate 50, so that one flow path is formed.

このように可動部３２、可動規定部３３がスライド移動することで流路が切り換わり、導入口１１から導入された流体は、流路１２、接続流路３１ｃ、流路５１ｃを経由して導出口５２ｃに流れる。   As the movable part 32 and the movable defining part 33 slide in this way, the flow path is switched, and the fluid introduced from the introduction port 11 is guided through the flow path 12, the connection flow path 31c, and the flow path 51c. It flows to the outlet 52c.

もちろん図７（ａ）に示す状態から可動部３２及び可動規定部３３をスライド移動させて図７（ｃ）に示す配置にしても１つの流路が形成されることになる。   Of course, even if the movable portion 32 and the movable defining portion 33 are slid from the state shown in FIG. 7A and arranged as shown in FIG. 7C, one flow path is formed.

このように本実施形態は、上述した第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また可動部３２は、２方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）にスライド移動可能であるため接続流路が広範囲に移動でき、結果として広範囲に流路を形成することができる。   As described above, the present embodiment can obtain the same effects as those of the first embodiment described above. Further, since the movable portion 32 can slide in two directions (X-axis direction and Y-axis direction), the connection flow path can move over a wide range, and as a result, the flow path can be formed over a wide range.

次に図８乃至図１０を参照して本発明に関わる第３の実施形態について詳細に説明する。前述した第１の実施形態と同一部位については同符合を付し、その詳細な説明は省略する。
図８（ａ）は、可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示し、図８（ｂ）は、図８（ａ）に示したＡ−Ｂ線における概略断面図を示している。図９（ａ）は、可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示し、図９（ｂ）は、図９（ａ）に示したＡ−Ｂ線における概略断面図を示している。図１０（ａ）は、可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示し、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示したＡ−Ｂ線における概略断面図を示している。 Next, a third embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. The same parts as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
FIG. 8A shows a top view of the intermediate plate when the movable part moves relative to the fixed guide, and FIG. 8B shows a cross-sectional view taken along the line AB shown in FIG. A schematic sectional view is shown. FIG. 9A shows a top view of the intermediate plate when the movable part moves relative to the fixed guide, and FIG. 9B shows a cross-sectional view taken along line AB in FIG. 9A. A schematic sectional view is shown. FIG. 10A shows a top view of the intermediate plate when the movable portion moves relative to the fixed guide, and FIG. 10B shows a cross-sectional view taken along line AB in FIG. A schematic sectional view is shown.

本実施形態における上板１０は、前述した第１の実施形態と同様なために詳細な説明は省略する。   Since the upper plate 10 in the present embodiment is the same as that of the first embodiment described above, detailed description thereof is omitted.

本実施形態は、可動部３２のスライド移動を規定する可動規定部３３を下板５０に設けている。   In the present embodiment, the lower plate 50 is provided with a movable defining portion 33 that defines the sliding movement of the movable portion 32.

本実施形態における中板３０には、可動部３２と、固定ガイド３５と、が設けられている。   The middle plate 30 in the present embodiment is provided with a movable portion 32 and a fixed guide 35.

可動部３２は、上述した第１の実施形態と同様に上板１０及び下板５０との当接面に対して平行に、且つ上板１０及び下板５０に対して相対的に一軸方向にのみにスライド移動する。また可動部３２には、流路１２と接続する接続流路３１ａ，３１ｂ，３１ｃと、スライド移動した際に可動部３２の位置決めを行う位置決め部３２ａ，３２ｂと、開口部４２と、が設けられている。なお可動部３２はスライド移動することで接続流路３１ａ，３１ｂ，３１ｃのいずれか１つを流路１２と、下板５０に設けられる流路５１ａ，５１ｂ，５１ｃのいずれか１つと、に接続させ流路を切り換える。なお第１の実施形態と同様に接続流路３１ａは流路５１ａと、接続流路３１ｂは流路５１ｂと、接続流路３１ｃは流路５１ｃとのみに接続する（詳細については後述する）。このように可動部３２は、流路を切り換える切り換え部である。   The movable portion 32 is parallel to the contact surface between the upper plate 10 and the lower plate 50 and uniaxially relative to the upper plate 10 and the lower plate 50 in the same manner as in the first embodiment. Move to slide only. Further, the movable part 32 is provided with connection flow paths 31a, 31b, 31c connected to the flow path 12, positioning parts 32a, 32b for positioning the movable part 32 when sliding, and an opening 42. ing. The movable portion 32 slides to connect any one of the connection channels 31a, 31b, and 31c to the channel 12 and any one of the channels 51a, 51b, and 51c provided on the lower plate 50. Switch the flow path. As in the first embodiment, the connection channel 31a is connected only to the channel 51a, the connection channel 31b is connected to the channel 51b, and the connection channel 31c is connected only to the channel 51c (details will be described later). Thus, the movable part 32 is a switching part which switches a flow path.

固定ガイド３５は、可動部３２のスライド移動を規定する部材であり、可動部３２のスライド移動を規定する２つの規定部３４ａ，３４ｂが設けられている。   The fixed guide 35 is a member that regulates the sliding movement of the movable part 32, and two regulation parts 34 a and 34 b that regulate the sliding movement of the movable part 32 are provided.

下板５０には、可動規定部３３と、可動部３２がスライド移動した際に接続流路３１ａ，３１ｂ，３１ｃとそれぞれ接続し、導入口１１から導入された流体が流れる流路５１ａ，５１ｂ，５１ｃと、流路５１ａ，５１ｂ，５１ｃにそれぞれ連通する導出口５２ａ，５２ｂ，５２ｃが設けられている。可動部３２がＸ軸方向のスライド移動する際に、可動規定部３３は、例えばエアーを発生させて開口部４２を介して例えば風船といった膨張部材３６を膨らませる。この膨張部材３６が可動部３２のスライド移動を規定し、よって可動部３２の移動距離が規定される。   The lower plate 50 is connected to the movable regulation part 33 and the connection flow paths 31a, 31b, 31c when the movable part 32 slides, and the flow paths 51a, 51b, 51c, through which the fluid introduced from the introduction port 11 flows. 51c and lead-out ports 52a, 52b, 52c communicating with the flow paths 51a, 51b, 51c, respectively, are provided. When the movable portion 32 slides in the X-axis direction, the movable defining portion 33 generates air, for example, and inflates an expansion member 36 such as a balloon through the opening 42. The expansion member 36 defines the sliding movement of the movable part 32, and thus the movement distance of the movable part 32 is defined.

可動部３２がスライド移動し、可動部３２と同一方向に移動する位置決め部３２ａが規定部３４ａに当接した際、接続流路３１ａは、流路１２、流路５１ａと接続するように可動部３２に設けられている。   When the movable portion 32 slides and the positioning portion 32a that moves in the same direction as the movable portion 32 comes into contact with the defining portion 34a, the connection flow path 31a is connected to the flow path 12 and the flow path 51a. 32.

可動部３２がスライド移動し、可動部３２と同一方向に移動する位置決め部３２ｂが規定部３４ｂに当接した際、接続流路３１ｂは、流路１２、流路５１ｂと接続するように可動部３２に設けられている。   When the movable portion 32 slides and the positioning portion 32b that moves in the same direction as the movable portion 32 comes into contact with the defining portion 34b, the connection flow path 31b is connected to the flow path 12 and the flow path 51b. 32.

また、エアーによって膨張した膨張部材３６が可動部３２の移動距離を規定した際、接続流路３１ｃは、流路１２、流路５１ｃと接続するように可動部３２に設けられている。   Further, when the expansion member 36 expanded by air defines the moving distance of the movable portion 32, the connection flow path 31c is provided in the movable section 32 so as to be connected to the flow path 12 and the flow path 51c.

次に可動部をスライド移動させて流路を切り換える方法について詳細に説明する。   Next, a method for switching the flow path by sliding the movable part will be described in detail.

可動部３２を一軸方向（Ｘ軸方向）にスライド移動させて、図８（ａ），図８（ｂ）に示すように位置決め部３２ａを規定部３４ａに当接させる。これにより接続流路３１ａが、上板１０に設けられた流路１２と下板５０に設けられた流路５１ａと接続し、１つの流路が形成されることになる。   The movable portion 32 is slid in one axis direction (X-axis direction), and the positioning portion 32a is brought into contact with the defining portion 34a as shown in FIGS. 8 (a) and 8 (b). Thereby, the connection flow path 31a is connected to the flow path 12 provided in the upper plate 10 and the flow path 51a provided in the lower plate 50, so that one flow path is formed.

このように可動部３２がスライド移動することで流路が切り換わり、導入口１１から導入された流体は、流路１２、接続流路３１ａ、流路５１ａを経由して導出口５２ａに流れる。   Thus, the flow path is switched by the sliding movement of the movable portion 32, and the fluid introduced from the introduction port 11 flows to the outlet port 52a via the flow channel 12, the connection flow channel 31a, and the flow channel 51a.

また、図８（ａ）に移動させた方向とは反対方向に可動部３２をスライド移動させて、図９（ａ），図９（ｂ）に示すように位置決め部３２ｂを規定部３４ｂに当接させる。これにより接続流路３１ｂが、上板１０に設けられた流路１２と下板５０に設けられた流路５１ｂと接続し、１つの流路が形成されることになる。   Further, the movable part 32 is slid in the direction opposite to the direction moved in FIG. 8A, and the positioning part 32b is brought into contact with the defining part 34b as shown in FIGS. 9A and 9B. Make contact. As a result, the connection flow path 31b is connected to the flow path 12 provided on the upper plate 10 and the flow path 51b provided on the lower plate 50, thereby forming one flow path.

このように可動部３２がスライド移動することで流路が切り換わり、導入口１１から導入された流体は、流路１２、接続流路３１ｂ、流路５１ｂを経由して導出口５２ｂに流れる。   Thus, the flow path is switched by the sliding movement of the movable portion 32, and the fluid introduced from the introduction port 11 flows to the outlet port 52b via the flow channel 12, the connection flow channel 31b, and the flow channel 51b.

また例えば図９（ａ）に示す状態から図８（ａ）に示す状態に可動部３２に向けてスライド移動させる際に、図１０（ａ），図１０（ｂ）に示すように可動規定部３３が例えばエアーを発生させて開口部４２を介して膨張部材３６を膨らませる。この膨張部材３６が可動部３２のスライド移動を規定する。これにより接続流路３１ｃが、上板に設けられた流路１２と下板に設けられた流路５１ｃと接続し、１つの流路が形成されることになる。   Further, for example, when sliding the movable portion 32 from the state shown in FIG. 9A to the state shown in FIG. 8A, as shown in FIGS. 10A and 10B, the movable defining portion 33 generates air, for example, and inflates the expansion member 36 through the opening 42. The expansion member 36 defines the sliding movement of the movable portion 32. As a result, the connection flow path 31c is connected to the flow path 12 provided on the upper plate and the flow path 51c provided on the lower plate, so that one flow path is formed.

このように可動部３２がスライド移動することで流路が切り換わり、導入口１１から導入された流体は、流路１２、接続流路３１ｃ、流路５１ｃを経由して導出口５２ｃに流れる。   Thus, the flow path is switched by the sliding movement of the movable portion 32, and the fluid introduced from the inlet 11 flows to the outlet 52c via the flow path 12, the connection flow path 31c, and the flow path 51c.

もちろん図８（ａ）に示す状態から図９（ａ）に示す状態に可動部３２をスライド移動させる際に、上述したように可動規定部３３が例えばエアーを発生させて開口部４２を介して膨張部材３６を膨らませても流路が切り換わり、１つの流路が形成されることになる。   Of course, when the movable portion 32 is slid from the state shown in FIG. 8A to the state shown in FIG. 9A, the movable defining portion 33 generates air, for example, via the opening 42 as described above. Even if the expansion member 36 is inflated, the flow path is switched and one flow path is formed.

このように本実施形態は、上述した第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また可動部３２のみが固定ガイド３５に対して相対移動し、第１の実施形態に比べて可動規定部３３は移動せず、エアーを発生させて可動部３２の移動を規定するために、装置全体をコンパクトにすることができる。   As described above, the present embodiment can obtain the same effects as those of the first embodiment described above. In addition, only the movable part 32 moves relative to the fixed guide 35, and the movable defining part 33 does not move compared to the first embodiment, and air is generated to regulate the movement of the movable part 32. The whole can be made compact.

次に図１１乃至図１２を参照して本発明に関わる第４の実施形態について説明する。前述した第１の実施形態と同一部位については同符合を付し、その詳細な説明は省略する。   Next, a fourth embodiment according to the present invention will be described with reference to FIGS. The same parts as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図１１は、本実施形態におけるスライド式バルブ装置を備えたマイクロチップを示す概略斜視図である。図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は、スライド式バルブ装置を備えたマイクロチップにおいて可動部をスライド移動させ、流路を切り換えて流体が流れる際の流れを示す概略斜視図を示している。   FIG. 11 is a schematic perspective view showing a microchip provided with the sliding valve device in the present embodiment. FIGS. 12A and 12B are schematic perspective views showing a flow when a fluid flows by switching a flow path by sliding a movable portion in a microchip having a slide type valve device. .

本実施形態では、上板１０、中板３０、中板７０、下板５０を積層している。   In the present embodiment, the upper plate 10, the middle plate 30, the middle plate 70, and the lower plate 50 are laminated.

本実施形態では例えば上板１０には、図示しない流体を導入させる２つの導入口１１ａ，１１ｂが設けられている。導入口１１ａ，１１ｂには、それぞれ導入した流体を流入させる流路１２ａ，１２ｂが連通している。また前述した第１の実施形態の変形例１と同様に、流路５１と導出口５２を設けている。   In the present embodiment, for example, the upper plate 10 is provided with two inlets 11a and 11b for introducing a fluid (not shown). Flow paths 12a and 12b through which the introduced fluid flows are communicated with the introduction ports 11a and 11b, respectively. Moreover, the flow path 51 and the outlet 52 are provided like the modification 1 of 1st Embodiment mentioned above.

中板３０には、可動部３２と、固定ガイド３５と、が設けられている。   The intermediate plate 30 is provided with a movable portion 32 and a fixed guide 35.

可動部３２は、上板１０、中板７０及び下板５０との当接面に対して平行に、且つ上板１０、中板７０及び下板５０に対して相対的に一軸方向にのみにスライド移動する。また可動部３２には、流路１２ａと連通する接続流路３１ａと、流路１２ｂと連通する接続流路３１ｂと、スライド移動した際に可動部３２の位置決めを行う位置決め部３２ａ，３２ｂと、が設けられている。なお可動部３２はスライド移動することで流路１２ａ、接続流路３１ａ、後述する下板５０に設けられる流路５５、または流路１２ｂ、接続流路３１ｂ、下板５０に設けられる流路５５のどちらか一方を接続させ流路を切り換える。このように可動部３２は、流路を切り換える切り換え部である。この可動部３２は、中板７０とは異なる位置に形成されており、切り換え部は、流路５５が形成される平面とは異なる平面上に配置されている。   The movable part 32 is parallel to the contact surface with the upper plate 10, the middle plate 70 and the lower plate 50, and only in one axial direction relative to the upper plate 10, the middle plate 70 and the lower plate 50. Move the slide. The movable part 32 includes a connection channel 31a that communicates with the channel 12a, a connection channel 31b that communicates with the channel 12b, positioning units 32a and 32b that position the movable unit 32 when slid, Is provided. The movable portion 32 is slid to move the flow path 12a, the connection flow path 31a, the flow path 55 provided in the lower plate 50 described later, or the flow path 12b, the connection flow path 31b, and the flow path 55 provided in the lower plate 50. Either one of them is connected to switch the flow path. Thus, the movable part 32 is a switching part which switches a flow path. The movable portion 32 is formed at a position different from the middle plate 70, and the switching portion is disposed on a plane different from the plane on which the flow path 55 is formed.

固定ガイド３５は、可動部３２のスライド移動を規定する部材であり、可動部３２のスライド移動を規定する２つの規定部３４ａ，３４ｂと、流路５１と連通する流路４１が設けられている。   The fixed guide 35 is a member that regulates the sliding movement of the movable part 32, and is provided with two regulation parts 34 a and 34 b that regulate the sliding movement of the movable part 32, and a flow path 41 that communicates with the flow path 51. .

可動部３２及び可動規定部３３は、固定されている固定ガイド３５に対してもそれぞれ一軸方向に相対移動する。   The movable part 32 and the movable defining part 33 also move relative to each other in the uniaxial direction with respect to the fixed guide 35 that is fixed.

接続流路３１ａ，３１ｂは、可動部３２に設けられた位置決め部３２ａ，３２ｂが規定部３４ａ，３４ｂに当接した際に流路１２ａ，１２ｂ、流路５１ａ，５１ｂと接続するように可動部３２に設けられている。   The connection flow paths 31a and 31b are movable parts so as to be connected to the flow paths 12a and 12b and the flow paths 51a and 51b when the positioning parts 32a and 32b provided in the movable part 32 come into contact with the defining parts 34a and 34b. 32.

中板７０には、接続流路３１ａ，３１ｂと連通する流路７１、流路４１と連通する流路７２、が設けられている。   The intermediate plate 70 is provided with a flow channel 71 that communicates with the connection flow channels 31 a and 31 b and a flow channel 72 that communicates with the flow channel 41.

下板５０には、流路７１、流路７２と連通する流路５５が設けられている。流路５５には、例えば試薬を挿入する円形状の挿入部５６が設けられている。   The lower plate 50 is provided with a flow path 71 and a flow path 55 communicating with the flow path 72. The channel 55 is provided with a circular insertion portion 56 for inserting a reagent, for example.

次に図１２（ａ）乃至図１２（ｂ）を参照して可動部をスライド移動させて流路を切り換える方法について詳細に説明する。   Next, a method for switching the flow path by sliding the movable portion will be described in detail with reference to FIGS. 12 (a) to 12 (b).

図１１に示す状態において、流体を導入口１１ａから導入させ導出口５２へ導出させるために図１２（ａ）に示すように可動部３２を一軸方向（Ｘ軸方向）にスライド移動させて、位置決め部３２ａを規定部３４ａに当接させる。当接により接続流路３１ａは、上板１０に設けられた流路１２ａと流路７１と接続し、１つの流路が形成されることになる。   In the state shown in FIG. 11, in order to introduce the fluid from the inlet 11a and lead it to the outlet 52, the movable part 32 is slid in one axis direction (X-axis direction) as shown in FIG. The part 32a is brought into contact with the defining part 34a. By contact, the connection flow path 31a is connected to the flow path 12a and the flow path 71 provided on the upper plate 10, so that one flow path is formed.

このように可動部３２がスライド移動することで流路が切り換わり、導入口１１ａから導入された流体は、流路１２ａ、接続流路３１ａ、流路７１、流路５５、流路７２、流路４１、流路５１、を経由して導出口５２に流れる。
その際、流体が挿入部５６に流れた際に、流体が試薬と混合し、混合した流体が導出口５２に流れる。 As the movable part 32 slides in this way, the flow path is switched, and the fluid introduced from the introduction port 11a is flow path 12a, connection flow path 31a, flow path 71, flow path 55, flow path 72, flow. It flows to the outlet port 52 via the channel 41 and the channel 51.
At that time, when the fluid flows to the insertion portion 56, the fluid mixes with the reagent, and the mixed fluid flows to the outlet 52.

また、図１２（ａ）に移動させた方向とは反対方向に可動部３２をスライド移動させて、図１２（ｂ）に示すように位置決め部３２ｂを規定部３４ｂに当接させる。当接により接続流路３１ｂが、上板１０に設けられた流路１２ｂと流路７１と接続し、１つの流路が形成されることになる。   Further, the movable part 32 is slid in the direction opposite to the direction moved in FIG. 12A, and the positioning part 32b is brought into contact with the defining part 34b as shown in FIG. 12B. The contact flow path 31b is connected to the flow path 12b and the flow path 71 provided on the upper plate 10 by the contact, so that one flow path is formed.

このように可動部３２がスライド移動することで流路が切り換わり、導入口１１ｂから導入された流体は、流路１２ｂ、接続流路３１ｂ、流路７１、流路５５、流路７２、流路４１、流路５１、を経由して導出口５２に流れる。   As the movable part 32 slides in this way, the flow path is switched, and the fluid introduced from the introduction port 11b is the flow path 12b, the connection flow path 31b, the flow path 71, the flow path 55, the flow path 72, the flow. It flows to the outlet port 52 via the channel 41 and the channel 51.

その際、流体が挿入部５６に流れた際に、流体が試薬と混合し、混合した流体が導出口５２に流れる。   At that time, when the fluid flows to the insertion portion 56, the fluid mixes with the reagent, and the mixed fluid flows to the outlet 52.

もちろん図１２（ｂ）に示す状態から図１２（ａ）に示す状態に可動部３２をスライド移動させても１つの流路が形成されることになる。   Of course, even if the movable portion 32 is slid from the state shown in FIG. 12B to the state shown in FIG. 12A, one flow path is formed.

このように本実施形態は、上記第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また例えば流路１２ａから流体Ａを導入させ、流路１２ｂから流体Ｂを導入させる場合、可動部を３２をスライド移動させて流路を切り換えることで、流体Ａと試薬の混合、または流体Ｂと試薬の混合を容易に行うことができる。   As described above, the present embodiment can obtain the same effects as those of the first embodiment. Further, for example, when introducing the fluid A from the flow path 12a and introducing the fluid B from the flow path 12b, the fluid A and the reagent are mixed or the fluid B Reagents can be easily mixed.

本実施形態では２つの導入口を設けたがこの数に限定されることがないのはいうまでもない。   In this embodiment, two inlets are provided, but it goes without saying that the number is not limited to this.

また本発明は、上記実施形態及び変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。   Further, the present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications as they are, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the scope of the invention in the implementation stage. In addition, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the embodiment.

本実施形態におけるスライド式バルブ装置を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the slide type valve apparatus in this embodiment. 図２（ａ）は、可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示している。図２（ｂ）は、可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する（図２（ａ）に移動した方向とは反対方向）際の中板の上面図を示している。図２（ｃ）は、可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示している。FIG. 2A shows a top view of the intermediate plate when the movable part moves relative to the fixed guide. FIG. 2B shows a top view of the intermediate plate when the movable portion moves relative to the fixed guide (the direction opposite to the direction moved in FIG. 2A). FIG. 2C shows a top view of the intermediate plate when the movable portion moves relative to the fixed guide. 図３（ａ）は、スライド式バルブ装置において流体が流れる際の流れを示す概略図を示している。図３（ｂ）は、スライド式バルブ装置において流体が流れる際の流れを示す概略斜視図を示している。Fig.3 (a) has shown the schematic which shows the flow at the time of the fluid flowing in a slide type valve apparatus. FIG.3 (b) has shown the schematic perspective view which shows the flow at the time of the fluid flowing in a slide type valve apparatus. 第１の実施形態の変形例１におけるスライド式バルブ装置を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the slide type valve apparatus in the modification 1 of 1st Embodiment. スライド式バルブ装置において流体が流れる際の流れを示す概略斜視図を示している。The schematic perspective view which shows the flow at the time of the fluid flowing in a slide type valve apparatus is shown. 図６（ａ）は、第１の実施形態の変形例２における可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示している。図６（ｂ）は、第１の実施形態の変形例２における可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する（図６（ａ）に移動した方向とは反対方向）際の中板の上面図を示している。図６（ｃ）は、第１の実施形態の変形例２における可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示している。FIG. 6A shows a top view of the intermediate plate when the movable part in the second modification of the first embodiment moves relative to the fixed guide. FIG. 6B shows the middle plate when the movable part in the second modification of the first embodiment moves relative to the fixed guide (the direction opposite to the direction moved in FIG. 6A). A top view is shown. FIG. 6C shows a top view of the intermediate plate when the movable part in the second modification of the first embodiment moves relative to the fixed guide. 図７（ａ）は、第２の実施形態における可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示している。図７（ｂ）は、第２の実施形態における可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示している。図７（ｃ）は、第２の実施形態における可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示している。FIG. 7A shows a top view of the intermediate plate when the movable portion in the second embodiment moves relative to the fixed guide. FIG. 7B shows a top view of the intermediate plate when the movable portion in the second embodiment moves relative to the fixed guide. FIG. 7C shows a top view of the intermediate plate when the movable portion in the second embodiment moves relative to the fixed guide. 図８（ａ）は、可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示し、図８（ｂ）は、図８（ａ）に示したＡ−Ｂ線における概略断面図を示している。FIG. 8A shows a top view of the intermediate plate when the movable part moves relative to the fixed guide, and FIG. 8B shows a cross-sectional view taken along the line AB shown in FIG. A schematic sectional view is shown. 図９（ａ）は、可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示し、図９（ｂ）は、図９（ａ）に示したＡ−Ｂ線における概略断面図を示している。FIG. 9A shows a top view of the intermediate plate when the movable part moves relative to the fixed guide, and FIG. 9B shows a cross-sectional view taken along line AB in FIG. 9A. A schematic sectional view is shown. 図１０（ａ）は、可動部が固定ガイドに対して相対的に移動する際の中板の上面図を示し、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示したＡ−Ｂ線における概略断面図を示している。FIG. 10A shows a top view of the intermediate plate when the movable portion moves relative to the fixed guide, and FIG. 10B shows a cross-sectional view taken along line AB in FIG. A schematic sectional view is shown. 第４の実施形態おけるスライド式バルブ装置を備えたマイクロチップ示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the microchip provided with the slide type valve apparatus in 4th Embodiment. 図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は、スライド式バルブ装置を備えたマイクロチップにおいて可動部をスライド移動させ、流路を切り換えて流体が流れる際の流れを示す概略斜視図を示している。FIGS. 12A and 12B are schematic perspective views showing a flow when a fluid flows by switching a flow path by sliding a movable portion in a microchip having a slide type valve device. .

符号の説明Explanation of symbols

１…スライド式バルブ装置、１０…第１の部材（上板）、１１，１１ａ，１１ｂ…導入口、１２，１２ａ，１２ｂ…流路、２０…頂板、２１，２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ…連結流路、２２ａ，２２ｂ，４１，５１，５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５５，７１，７２…流路、３０…第２の部材（中板）、３１，３１ａ，３１ｂ，３１ｃ…接続流路、３２…可動部、３２ａ，３２ｂ，３２ｃ…位置決め部、３３…可動規定部、３４ａ，３４ｂ，３７…規定部、３５…固定ガイド、３６…膨張部材、４２…開口部、５０…第３の部材（下板）、５２，５２ａ，５２ｂ，５２ｃ…導出口、５６…挿入部、７０…中板。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Sliding valve apparatus, 10 ... 1st member (upper board), 11, 11a, 11b ... introduction port, 12, 12a, 12b ... flow path, 20 ... Top plate, 21, 21a, 21b, 21c, 21d ... Connection flow path, 22a, 22b, 41, 51, 51a, 51b, 51c, 55, 71, 72 ... flow path, 30 ... second member (medium plate), 31, 31a, 31b, 31c ... connection flow path, 32 ... movable part, 32a, 32b, 32c ... positioning part, 33 ... movable defining part, 34a, 34b, 37 ... defining part, 35 ... fixed guide, 36 ... expansion member, 42 ... opening, 50 ... third member (Lower plate), 52, 52a, 52b, 52c... Outlet, 56.

Claims (12)

流体が流れる流路が形成された平板状の部材に積層して配置されるスライド式バルブ装置であって、
前記平板状の部材に対して相対的に移動し、前記流体が流れる複数の接続流路及び移動した際の位置決めを行う位置決め部を有する可動部と、
前記可動部の移動距離を規定して、前記流路に接続する前記接続流路を決定する可動規定部と、
を具備し、
前記可動部の積層方向の長さは、前記可動部の移動範囲における長手方向の長さよりも短いことを特徴とするスライド式バルブ装置。 A slide type valve device that is arranged in a stacked manner on a flat plate member in which a flow path for fluid is formed,
A movable part having a positioning part that moves relative to the flat plate-like member and performs positioning when the fluid flows and a plurality of connection flow paths through which the fluid flows;
A movable defining part that defines a moving distance of the movable part and determines the connection flow path connected to the flow path;
Comprising
The length of the movable part in the stacking direction is shorter than the length in the longitudinal direction in the moving range of the movable part. 前記可動部は、２次元に移動することを特徴とする請求項１に記載のスライド式バルブ装置。   The sliding valve device according to claim 1, wherein the movable portion moves two-dimensionally. 前記可動部の移動方向は、前記平板状の部材と、前記可動部と、の当接面に平行な方向であることを特徴とする請求項２に記載のスライド式バルブ装置。   The sliding valve device according to claim 2, wherein the moving direction of the movable part is a direction parallel to a contact surface between the flat plate-like member and the movable part. 前記可動規定部は、前記可動部と当接することにより前記移動距離を規定することを特徴とする請求項１に記載のスライド式バルブ装置。   The sliding valve device according to claim 1, wherein the movable defining portion defines the moving distance by contacting the movable portion. 前記可動規定部は、前記移動距離を調整可能であることを特徴とする請求項１に記載のスライド式バルブ装置。   The sliding valve device according to claim 1, wherein the movable defining portion is capable of adjusting the moving distance. 前記可動規定部は、設置位置を調整されることによって前記可動部が移動する移動距離を調整することを特徴とする請求項５に記載のスライド式バルブ装置。   The sliding valve device according to claim 5, wherein the movable defining portion adjusts a moving distance by which the movable portion moves by adjusting an installation position. 前記可動規定部は、前記可動部の移動する平面と平行な平面上を移動することを特徴とする請求項１に記載のスライド式バルブ装置。   The sliding valve device according to claim 1, wherein the movable defining portion moves on a plane parallel to a plane on which the movable portion moves. 前記可動規定部は、前記可動部と同一平面上に設けられていることを特徴とする請求項７に記載のスライド式バルブ装置。   The sliding valve device according to claim 7, wherein the movable defining portion is provided on the same plane as the movable portion. 前記可動規定部は、前記可動部の移動する平面に対して直交方向に移動することを特徴とする請求項１に記載のスライド式バルブ装置。   The sliding valve device according to claim 1, wherein the movable defining portion moves in a direction orthogonal to a plane on which the movable portion moves. 前記可動規定部は、エアーを発生させて前記移動距離を規定することを特徴とする請求項９に記載のスライド式バルブ装置。   The sliding valve device according to claim 9, wherein the movable defining portion defines the moving distance by generating air. 半導体製造技術を利用して製造されることを特徴とする請求項１に記載のスライド式バルブ装置。   The sliding valve device according to claim 1, wherein the sliding valve device is manufactured by using a semiconductor manufacturing technique. 流体が流れる流路が形成された平板状の部材と、
前記平板状の部材とは異なる位置に配置されるとともに、前記流体が流れる複数の接続流路を設け、前記接続流路の少なくとも１つを前記流路に接続させる切り換え部と、
を具備し、
前記切り換え部は、当該切り換え部と前記平板状の部材とが接する面と平行な方向に移動することによって複数の前記接続流路の少なくとも１つと前記流路とを接続させ、流路を切り換えることを特徴とするマイクロチップ。 A plate-like member in which a flow path for fluid is formed;
A switching unit that is arranged at a position different from the flat plate-shaped member, and that includes a plurality of connection flow paths through which the fluid flows, and connects at least one of the connection flow paths to the flow path;
Comprising
The switching unit is configured to connect at least one of the plurality of connection channels and the channel by moving in a direction parallel to a surface in contact with the switching unit and the flat plate-like member, and switch the channel. A microchip characterized by
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