JP2007232493A - Method for testing electronic component - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電子部品の検査方法に係り、さらに詳しくは、たとえば多層電極における層間の密着力不足などの不良をも容易に検出することができる電子部品の検査方法に関する。 The present invention relates to an electronic component inspection method, and more particularly to an electronic component inspection method that can easily detect defects such as insufficient adhesion between layers in a multilayer electrode.
下記の特許文献1に示すように、電子部品における外装樹脂の密封性を検査する方法は、数多く知られている。しかしながら、従来の検査方法では、たとえばチップ型電子部品などの電子部品において、多層電極における層間の密着力不足などの不良を検出することが困難であった。
As shown in
多層電極における層間の密着力不足は、電極の外面を外観検査するのみでは見つけることができない。また、単に、電極間の直流抵抗を測定するのみでは、不良を見つけることが困難である。 Insufficient adhesion between layers in a multilayer electrode cannot be found only by visual inspection of the outer surface of the electrode. Moreover, it is difficult to find a defect simply by measuring the DC resistance between the electrodes.
特にサイズが小さいコイルチップ部品では、ワイヤが巻回してあるコイル部の外周を樹脂で被覆した後に、電極膜を形成しなければならない場合がある。そのような場合には、樹脂被覆した後に形成する外側電極膜と、その下地の電極膜との間に、樹脂残りなどの不純物が混入しやすい。そのような場合には、下地の電極膜と、その外側の電極膜との間で密着力が弱くなる。 In particular, in the case of a coil chip component having a small size, there is a case where an electrode film must be formed after coating the outer periphery of a coil portion around which a wire is wound with a resin. In such a case, impurities such as resin residues are likely to be mixed between the outer electrode film formed after resin coating and the underlying electrode film. In such a case, the adhesion between the underlying electrode film and the outer electrode film is weakened.
これらの電極膜間の密着力が弱くても、製造直後の電子部品における電極膜相互は接触しているために、電極間の直流抵抗を測定したとしても、不良を見つけることは困難である。
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、たとえば多層電極における層間の密着力不足などの不良をも容易に検出することができる電子部品の検査方法を提供することである。 The present invention has been made in view of such a situation, and an object of the present invention is to provide an electronic component inspection method capable of easily detecting defects such as insufficient adhesion between layers in a multilayer electrode.
上記目的を達成するために、本発明に係る電子部品の検査方法は、
少なくとも一対の電極を有する電子部品を準備する工程と、
前記電極間の直流抵抗を測定し、初期抵抗値を測定する工程と、
前記初期抵抗値を測定した後の前記電子部品を、減圧下の雰囲気中に曝す工程と、
減圧下の雰囲気中に曝した後の前記電子部品を、通常圧力に戻し、前記電極間の直流抵抗を測定し、減圧後抵抗値を測定する工程と、を有し、
前記初期抵抗値と前記減圧後抵抗値とを比較することにより前記電子部品の不良を判断することを特徴とする。
In order to achieve the above object, an electronic component inspection method according to the present invention includes:
Preparing an electronic component having at least a pair of electrodes;
Measuring a direct current resistance between the electrodes and measuring an initial resistance value;
Exposing the electronic component after measuring the initial resistance value in an atmosphere under reduced pressure;
The electronic component after being exposed to an atmosphere under reduced pressure is returned to normal pressure, the direct current resistance between the electrodes is measured, and the resistance value after reduced pressure is measured.
The electronic component is judged to be defective by comparing the initial resistance value and the post-depressurization resistance value.
好ましくは、前記電極が多層電極であり、前記電子部品の不良が、当該多層電極における層間剥がれである。 Preferably, the electrode is a multilayer electrode, and the defect of the electronic component is delamination in the multilayer electrode.
本発明の検査方法では、初期抵抗値を測定した後の電子部品を、減圧下の雰囲気中に曝す。そのため、たとえば多層電極における層間の密着力不足などの不良を有する電極の場合には、外側に位置する電極膜が膨らみ、内側の電極膜との間に隙間が大きくなる。その結果、減圧後抵抗値を測定すると、初期抵抗値に比較して、大幅に大きくなり、多層電極における層間の密着力不足などの不良を容易に検出することができる。 In the inspection method of the present invention, the electronic component after the initial resistance value is measured is exposed to an atmosphere under reduced pressure. Therefore, for example, in the case of an electrode having a defect such as insufficient adhesion between layers in a multilayer electrode, the electrode film located on the outer side expands, and a gap is increased between the inner electrode film and the inner electrode film. As a result, when the resistance value after depressurization is measured, it becomes significantly larger than the initial resistance value, and defects such as insufficient adhesion between layers in the multilayer electrode can be easily detected.
なお、電子部品を、減圧下の雰囲気中に曝さない場合に、初期抵抗値のみを測定しても、良品と不良品との区別が付かない。 Note that, when the electronic component is not exposed to an atmosphere under reduced pressure, even if only the initial resistance value is measured, it is not possible to distinguish between a good product and a defective product.
好ましくは、大気圧よりも75kPa以上低い、さらに好ましくは100kPa以上低い減圧下の雰囲気中に、初期抵抗値を測定した後の前記電子部品を曝す。このような減圧雰囲気下に電子部品を曝すことで、多層電極における層間の密着力不足などの不良を見つけやすくなる。 Preferably, the electronic component after the initial resistance value is measured is exposed to an atmosphere under reduced pressure that is 75 kPa or more lower than atmospheric pressure, more preferably 100 kPa or more. By exposing the electronic component to such a reduced pressure atmosphere, it becomes easy to find defects such as insufficient adhesion between layers in the multilayer electrode.
好ましくは、複数の前記電子部品における前記初期抵抗値の平均と、前記減圧後抵抗値の平均とを比較することにより、前記電子部品の不良品が含まれる製品群を判断する。初期抵抗値の平均と、減圧後抵抗値の平均とを比較するので、不良となる電子部品の特定は困難であるが、不良品が含まれる製品群を有効に判別することができる。平均値で判断するので、減圧の前後で、電子部品を整列させて特定する必要はなく、その取り扱いが容易である。 Preferably, a product group including a defective product of the electronic component is determined by comparing an average of the initial resistance values of the plurality of electronic components with an average of the resistance values after decompression. Since the average of the initial resistance value and the average of the resistance value after decompression are compared, it is difficult to identify defective electronic components, but it is possible to effectively determine a product group including defective products. Since the determination is based on the average value, it is not necessary to align and specify the electronic components before and after decompression, and the handling is easy.
あるいは、各電子部品における個別毎の初期抵抗値および前記減圧後抵抗値を比較することにより、電子部品の不良を個別に判断しても良い。その場合には、不良となる電子部品のみを特定して排除することも可能である。ただし、この方法では、減圧の前後で、電子部品を整列させるなどすることにより、電子部品を特定する必要がある。 Or you may judge the defect of an electronic component separately by comparing the initial resistance value for every individual in each electronic component, and the said resistance value after pressure reduction. In that case, it is also possible to identify and eliminate only defective electronic components. However, in this method, it is necessary to specify the electronic component by aligning the electronic component before and after decompression.
好ましくは、複数の前記電子部品が基板または保持板上に並べて配置された状態で、各電子部品における個別毎の初期抵抗値および前記減圧後抵抗値を測定する。この場合には、減圧の前後で、電子部品を特定することができ、各電子部品における個別毎の初期抵抗値および前記減圧後抵抗値を比較しやすい。 Preferably, the initial resistance value and the post-depressurization resistance value for each individual electronic component are measured in a state where the plurality of electronic components are arranged side by side on a substrate or a holding plate. In this case, the electronic component can be specified before and after decompression, and it is easy to compare the initial resistance value for each individual electronic component and the resistance value after decompression.
本発明に係る電子部品の製造方法は、
巻芯部の軸方向両端に一対のフランジを有するコア部を準備する工程と、
前記巻芯部の周囲にワイヤを巻回してコイル部を形成する工程と、
前記フランジ部の端面および外周に下地電極層を形成する工程と、
前記フランジの外周に、前記下地電極層と接続するように前記ワイヤの継線部を形成する工程と、
前記コイル部の外周および前記フランジ部の外周にキャビティを形成する工程と、
前記キャビティに樹脂を注入し、各フランジの外周に位置する前記ワイヤの継線部を途中まで被覆する樹脂製フランジ被覆部と、当該フランジ被覆部と一体に形成され、前記コイル部の周囲を被覆する外装樹脂部とを成形する工程と、
前記外装樹脂部が形成された後に、前記外装樹脂部の両端部外周を覆い、しかも、前記下地電極層の外周の一部および端面を覆うように、端部電極を形成する工程とを有し、
前記端部電極と前記下地電極との密着不良を、前記検査方法により検査することを特徴とする。
An electronic component manufacturing method according to the present invention includes:
Preparing a core part having a pair of flanges at both axial ends of the core part;
Forming a coil part by winding a wire around the core part; and
Forming a base electrode layer on the end face and outer periphery of the flange portion;
Forming a connecting portion of the wire on the outer periphery of the flange so as to be connected to the base electrode layer;
Forming a cavity in the outer periphery of the coil portion and the outer periphery of the flange portion;
Resin is injected into the cavity, and a resin flange covering portion covering the connecting portion of the wire located on the outer periphery of each flange to the middle, and the flange covering portion are formed integrally, covering the periphery of the coil portion A step of molding an exterior resin part to be performed;
Forming an end electrode so as to cover the outer periphery of both end portions of the exterior resin portion after the formation of the exterior resin portion and to cover a part of the outer periphery and the end surface of the base electrode layer. ,
A defect in adhesion between the end electrode and the base electrode is inspected by the inspection method.
本発明の方法では、端部電極と前記下地電極との密着不良を生じさせることなく、外装樹脂部の一部となる樹脂製フランジ被覆部が、フランジの外周に位置するワイヤの継線部を途中まで被覆する構造を持つ樹脂成形品を製造することができる。 In the method of the present invention, the resin flange covering portion, which is a part of the exterior resin portion, does not cause poor adhesion between the end electrode and the base electrode, and the wire connecting portion located on the outer periphery of the flange is provided. A resin molded product having a structure of covering partway can be manufactured.
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図1は本発明の一実施形態に係る表面実装型電子部品としてのコイルチップ部品の縦断面図、
図2は図1に示すコイルチップ部品の製造工程の一例を示す金型と部品の要部断面図、
図3は多層電極における層間の密着力不足を示す概略図、
図4は本発明の一実施形態に係るコイルチップ部品の検査方法を示す概略図、
図5は図4に示す検査方法に用いる減圧装置における減圧時間と圧力との関係を示すグラフ、
図6は本発明の一実施例に係る検査方法の効果を示すグラフである。
コイルチップ部品
Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings.
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a coil chip component as a surface mount electronic component according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of main parts of a mold and a part showing an example of a manufacturing process of the coil chip part shown in FIG.
FIG. 3 is a schematic diagram showing a lack of adhesion between layers in a multilayer electrode,
FIG. 4 is a schematic diagram showing a coil chip component inspection method according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a graph showing the relationship between pressure reduction time and pressure in the pressure reducing device used in the inspection method shown in FIG.
FIG. 6 is a graph showing the effect of the inspection method according to one embodiment of the present invention.
Coil chip parts
まず、本発明の一実施形態に係る検査方法の対象となる表面実装型電子部品について説明する。図1に示すように、本発明の一実施形態に係る表面実装型電子部品としてのコイルチップ部品2は、コア部(芯材)としてのドラムコア4を有する。ドラムコア4は、フェライト材料で構成してある。ドラムコア4は、コイル部10を構成するワイヤ10aが、コア4の軸方向に沿って巻回してある巻芯部4aを有する。
First, a surface mount electronic component that is an object of an inspection method according to an embodiment of the present invention will be described. As shown in FIG. 1, a
巻芯部4aの軸方向の両端である第1端部および第2端部には、それぞれ第1フランジ4bおよび第2フランジ4cが一体に形成してある。第1フランジ4bおよび第2フランジ4cの外形寸法は、巻芯部4aの外径寸法よりも大きくなっている。
A
巻芯部4aの横断面は、特に限定されず、長方形断面、円形断面、あるいは、その他の断面形状であっても良い。第1フランジ4bおよび第2フランジ4cの横断面形状は、長方形断面などの角形形状である。第1フランジ4bおよび第2フランジ4cは、同じサイズであり、たとえば縦が0.82mm、横が0.30mm程度である。また、巻芯部4aの外径は、0.42mm程度である。ドラムコア4の軸方向全長(部品2の全長と略同じ)L0は、1.637mm程度である。
The cross section of the core part 4a is not particularly limited, and may be a rectangular cross section, a circular cross section, or other cross sectional shapes. The cross-sectional shape of the
図1に示すように、コイル部10を構成するワイヤ10aの両端に形成してある継線部10bおよび10cは、各フランジ4bおよび4cの外周位置において、下地電極層20と接続される。ワイヤ10aの継線部10bおよび10cは、下地電極層20が形成された後に、各フランジ4bおよび4cの外周に熱圧着などの手段で固定され、これらの継線接続が確保される。
As shown in FIG. 1, the connecting
下地電極層20は、1層目が1.0〜2.0μmの無電解Niメッキ、2層目が1.0〜2.0μmの電解Niメッキである。
The
下地電極層20と継線部10bおよび10cが接続された後、コイル部10が形成してある巻芯部4aの外周凹部に、樹脂をモールド成形して外装樹脂部30が形成される。外装樹脂部30を構成する樹脂としては、特に限定されず、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリエステル樹脂などが例示される。
After the
外装樹脂部30は、たとえば図2に示す金型80および82を用いて成型される。図2に示すように、金型80および82が閉じることにより形成される複数のキャビティ84の内部に、コイル部10が形成してある継線済のドラムコア4を、隣接するドラムコア4の第1フランジ4bの端面が、隣のドラムコア4の第2フランジの端面に接触するように、軸方向に並んで配置する。
The
金型80および82には、隣接して配置されたドラムコア4の第1フランジ4bと第2フランジ4cとの接触部外周を保持する保持用凸部86が形成してあり、その両側に、図1に示す樹脂製フランジ被覆部30aを形成するための周方向隙間88が形成してある。周方向隙間88は、キャビティ84に連通してあり、キャビティ84に樹脂を射出して成形し、金型80,82を開くことで、図1に示すフランジ被覆部30aを有する外装樹脂部30が一体化された複数の素子本体5が得られる。外装樹脂部30の4側面は、それぞれ平坦面である。
The
各素子本体5の外装樹脂部30の外径寸法は、第1フランジ4bおよび第2フランジ4cの外形寸法(コア部の最大外形寸法)よりも大きくなり、第1フランジ4bおよび第2フランジ4cの外周には、所定厚みのフランジ被覆部30aが形成される。フランジ被覆部30aは、外装樹脂部30と一体に成型され、フランジ部4b,4cの外周を、内側から外側に向けて軸方向途中位置まで覆うように形成してある。
The outer diameter of the
このフランジ被覆部30aの厚みは、後述する段差状凹部50の深さH1に対応する。また、このフランジ被覆部30aの軸方向の長さは、後述する段差状凹部50の軸方向幅(W1)を適切に調整するように決定される。
The thickness of the
外装樹脂部30が形成された後に、素子本体5の軸方向両端部に、一対の端部電極40を形成することで、コイルチップ部品2が得られる。端部電極40は、外装樹脂部30を形成した後に形成される。
After the
この実施形態では、各端部電極40は、1層目が1.0〜2.0μmの無電解Niメッキ、2層目が1.0〜2.0μmの電解Niメッキ、3層目が3.0〜4.0μmの電解Snメッキである。端部電極40の厚みは、8μm以下である。
In this embodiment, each
各端部電極40は、各フランジ4b,4cの端面から当該フランジ4b,4cの外周面を直接に覆うと共に、外装樹脂部30のフランジ被覆部30aを覆うように、段差状に形成してある。各端部電極40は、各フランジ4b,4cの端面と、当該フランジ4b,4cの外周面の一部で、下地電極層20および継線部10bおよび10cに対して直接に接続してある。しかも、各端部電極40は、外装樹脂部30のフランジ被覆部30aを覆うように形成してあることから、各端部40の外周面には、周方向に連続する段差状凹部50が形成される。
Each
図1に示すように、段差状凹部50は、素子本体5の軸方向端面から所定幅(W1)で形成してあり、各端部電極の全幅(W0)に対しての比率(W1/W0)が、好ましくは0.1〜0.8、さらに好ましくは0.3〜0.6である。比率(W1/W0)を上記範囲にすることで、端部電極40とコイルの継線部10b,10cとの接続が十分に確保され、端部電極40と外装樹脂部30との接合強度も高い。また、この範囲にすることで、ツームストーン現象を抑制させる効果が大きい。
As shown in FIG. 1, the step-shaped
なお、ツームストーン現象とは、表面実装型電子部品を基板へ実装する時に、電子部品の両端部に形成してある端部電極のハンダペースト面で発生するモーメントのアンバランスにより、電子部品が立ち上がってしまい、接合不良となる現象である。 The tombstone phenomenon means that when an electronic component is mounted on a substrate, the electronic component starts up due to an imbalance of moments generated on the solder paste surfaces of the end electrodes formed at both ends of the electronic component. This is a phenomenon that results in poor bonding.
また、段差状凹部50は、各端部電極40の最大外周面寸法からの深さ(H1)が10〜40μmとなるように形成してある。深さH1をこの範囲にすることで、端部電極40とコイルの継線部10b,10cとの接続が十分に確保され、端部電極40と外装樹脂部30との接合強度も高い。また、この範囲にすることで、ツームストーン現象を抑制させる効果が大きい。また、この深さH1が深すぎると、限られたチップサイズでは、相対的に、ドラムコア4におけるフランジ部4b,4cの最大外形寸法が小さくなり、電気的な性能が低下してしまう傾向にある。
Further, the stepped
各端部電極40の最大外周面の全高さ(H0)に対して段差状凹部50の深さ(H1)の比率(H1/H0)は、0.011〜0.045の範囲にある。この比率の範囲に設定することで、端部電極40とコイルの継線部10b,10cとの接続が十分に確保され、端部電極40と外装樹脂部30との接合強度も高い。また、この範囲にすることで、ツームストーン現象を抑制させる効果が大きい。
The ratio (H1 / H0) of the depth (H1) of the stepped
本実施形態では、特に、チップの最大高さH0が、0.9mm以下の小型で、5mg以下の軽量なコイルチップ部品2であっても、実装に際してのハンダのリフロー時に、端部電極40の底面に形成してある段差状凹部50と基板60との隙間にハンダが入り込む。その段差状凹部50は、端部電極40の周方向に連続して形成してあるために、ハンダの回り込み量も十分に確保することができる。その結果、いわゆるツームストーン現象を効果的に防止することができ、実装不良を防止することができる。
In the present embodiment, in particular, even when the chip maximum height H0 is a small
たとえば従来のコイルチップ部品(段差状凹部50がない)では、10万個に10個程度の割合で、ツームストーン現象が生じていたのに対して、本発明の実施例(段差状凹部50がある)では、ツームストーン現象が生じたものは0個であった。 For example, in the conventional coil chip component (there is no stepped recess 50), the tombstone phenomenon occurred at a ratio of about 10 per 100,000, whereas the embodiment of the present invention (the stepped recess 50) In some cases, no tombstone phenomenon occurred.
また、本実施形態では、段差状凹部50にハンダが回り込むことで、ハンダにより形成されるフィレットの大きさを小さくしても十分な接合強度が得られ、高密度な実装が可能になる。
Further, in the present embodiment, since the solder wraps around the stepped
また、本実施形態では、フランジ4b,4cの最大外形寸法よりも大きな外形寸法を有する外装樹脂部30の両端部外周を覆うように、端部電極40を形成することで、段差状凹部50を形成してある。このために、フランジ自体に加工する必要はなく、フランジの体積が減少することはなく、コイルチップとしての性能には全く影響しない。しかも、樹脂成形により段差状凹部50を形成することができるので、製造工程が煩雑になることもない。
In the present embodiment, the stepped
さらに本実施形態では、図1に示す各端部電極40の軸方向幅W0を、好ましくは0.41mmとすることで、端部電極40の縁部間に位置する外装樹脂部30の平坦面30bの軸方向幅L1を0.817mm程度にすることができる。この平坦面30bの軸方向幅L1は、部品2の全長L0に対して、30〜70%の長さである。
Furthermore, in this embodiment, the axial width W0 of each
このような軸方向長さL1を有する外装樹脂部30の上側平坦部30bは、吸着ノズルにより良好に吸着保持が可能である。しかも、端部電極40の厚みが8μm以下と薄いので、吸着ノズルの端が端部電極40の上に位置したとしても、吸着ノズルにより吸着作用はそれほど低下せず、十分な吸着力で部品を保持することができる。
コイルチップ部品の検査方法
The upper
Inspection method of coil chip parts
上述したコイルチップ部品2などの電子部品では、下地電極層20および端部電極40が共に多層電極で構成してある。しかも、コイルチップ部品2の製造過程では、下地電極層20の形成工程と、端部電極40の形成工程の間には、外装樹脂30の形成工程が入る。そのため、図3に示すように、特に下地電極層20と端部電極40との間には、樹脂バリの残りなどの不純物31が入り込みやすい。
In the electronic component such as the
下地電極層20と端部電極40との間に不純物31が入り込むと、それらの間の密着力が低下し、長期間の使用により導通不良などの不具合が発生するおそれがある。しかしながら、多層電極間における密着不良を外観から検査することは困難であった。また、単なる導通試験でも、多層電極間における密着不良を検査することは困難であった。
If the
そこで、本実施形態では、以下の方法により、長期間の使用により将来において生じるおそれがある導通不良などの不具合を容易に検出する。 Therefore, in the present embodiment, problems such as poor conduction that may occur in the future due to long-term use are easily detected by the following method.
上述した方法により製造されたコイルチップ部品2のうち、製造ロット毎に、たとえば20個の製品をサンプリングして取り出し、図4に示すように、プリント基板あるいは単なる保持板70の上に整列して配置し、それぞれのコイルチップ部品2の直流抵抗RDCを、大気圧下で測定する。測定された直流抵抗RDCを初期抵抗値RDCiとして、整列されたコイルチップ部品2毎に個別に、検査装置のメモリに記憶しておく。なお、直流抵抗RDCは、図1に示す一対の端子電極40の間の電気抵抗を抵抗測定器により測定することにより求める。
For example, 20 products are sampled out of the
次に、保持板70の上に配置してあるコイルチップ部品2を、減圧装置72の内部に入れて、コイルチップ部品2の周囲を、減圧下の雰囲気中に曝す。減圧装置72では、たとえば図5に示すように、10〜60秒程度で、装置72の内部を、大気圧よりも75kPa以上低くし、さらに好ましくは100kPa以上低い減圧下の雰囲気とする。75kPa以上低くした場合に不具合品(不良品)の検出が可能となった。減圧の保持時間は、特に限定されないが、30秒〜5分程度が好ましい。
Next, the
その後、減圧装置72からコイルチップ部品2を保持板70と共に取り出し、大気圧下で、再び、それぞれのコイルチップ部品2の直流抵抗RDCを測定する。減圧処理後に測定された直流抵抗RDCを、減圧後抵抗値RDCfとして、整列されたコイルチップ部品2毎に個別にメモリに記憶する。
Thereafter, the
その後、検査装置の判断手段(CPU)では、各コイルチップ部品2毎に、減圧後抵抗値RDCfと、初期抵抗値RDCiとを比較する。たとえば以下のような計算を行い、変化率C(%)を測定する。
C=(RDCf−RDCi)*100/RDCi
Thereafter, the judgment means (CPU) of the inspection device compares the post-depressurization resistance value R DC f with the initial resistance value R DC i for each
C = (R DC f−R DC i) * 100 / R DC i
本実施形形態では、たとえば変化率が1%以上を、多層電極における層間の密着不良と判断することができる。しかも、本実施形態の方法では、減圧処理の前後で、コイルチップ部品2を保持板70の上に配列してあるので、密着不良となるコイルチップ部品2を特定することができ、不良となる電子部品のみを特定して排除、あるいは再処理することも可能である。
In the present embodiment, for example, a change rate of 1% or more can be determined as an adhesion failure between layers in a multilayer electrode. In addition, in the method of the present embodiment, the
本実施形態の検査方法では、初期抵抗値を測定した後のコイルチップ部品2を、減圧下の雰囲気中に曝す。そのため、たとえば多層電極20,40における層間の密着力不足などの不良を有する電極の場合には、外側に位置する端部電極40が膨らみ、内側の下地電極層との間に隙間が大きくなる。その結果、減圧後抵抗値RDCfを測定すると、初期抵抗値RDCiに比較して、大幅に大きくなり、多層電極における層間の密着力不足などの不良を容易に検出することができる。
In the inspection method of the present embodiment, the
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
たとえば、上述した実施形態の検査方法では、保持板70の上にコイルチップ部品2を整列して配置したが、本発明では、必ずしもコイルチップ部品2を整列して配置する必要はない。たとえば網の中に、初期抵抗値RDCiを測定した後の複数のコイルチップ部品2を入れて、その網を減圧装置72の内部に入れて、減圧雰囲気下に曝し、その後に、大気圧下で、網からコイルチップ部品2を取り出し、それぞれ減圧後抵抗値RDCfを測定しても良い。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be variously modified within the scope of the present invention.
For example, in the inspection method according to the above-described embodiment, the
この実施形態では、初期抵抗値RDCiの平均値と、減圧後抵抗値RDCfの平均値とを算出し、それらのデータから、上記と同様にして変化率C(%)の平均値を求める。たとえば不具合品(不良品)が1個も含まれない20個のサンプル(通常品)では、表1に示すように、個々のサンプルの変化率も1%以下であり、その変化率も1%以下である。 In this embodiment, the average value of the initial resistance value R DC i and the average value of the resistance value R DC f after decompression are calculated, and the average value of the rate of change C (%) is calculated in the same manner as described above. Ask for. For example, in 20 samples (normal products) that do not contain any defective products (defective products), as shown in Table 1, the rate of change of each sample is 1% or less, and the rate of change is also 1%. It is as follows.
これに対して、たとえば不具合品(不良品)が含まれる20個のサンプルでは、表1に示すように、個々のサンプルの変化率で、1%以上のサンプルや、3%以上のサンプルや、5%以上のサンプルや、10%以上のサンプルが含まれ、その変化率も3%以上となる。表1において、変化率の平均値をグラフ化したものを、図6に示す。 On the other hand, for example, in 20 samples including defective products (defective products), as shown in Table 1, the rate of change of each sample is 1% or more samples, 3% or more samples, Samples of 5% or more and samples of 10% or more are included, and the rate of change thereof is 3% or more. In Table 1, what plotted the average value of the change rate is shown in FIG.
表1および図6に示すように、変化率の平均値が、たとえば3%以上を、多層電極における層間の密着不良と判断することができる。しかも、本実施形態の方法では、減圧処理の前後で、コイルチップ部品2をランダムに配置することができるので、コイルチップ部品2の取り扱いが容易である。この実施形態では、密着不良となるコイルチップ部品2を特定することができないが、不良となる電子部品が含まれるサンプルのグループを特定して排除、あるいは再処理することも可能である。
As shown in Table 1 and FIG. 6, it can be determined that the average value of the rate of change is 3% or more, for example, as a poor adhesion between layers in the multilayer electrode. In addition, in the method of the present embodiment, the
また、本発明に係る電子部品の具体的な断面構造は、図1に示す実施形態に限定されず、種々の態様があり得る。さらに、本発明では、多層電極の材料や電極形成方法は特に限定されない。たとえば下地電極層20は、AgペーストまたはAg−Pdペーストなどの焼き付けにより形成された電極層でも良く、また、端部電極40は、電解メッキ法やスパッタリング法により形成されたCuやNiなどの電極で構成しても良い。
Moreover, the specific cross-sectional structure of the electronic component according to the present invention is not limited to the embodiment shown in FIG. Furthermore, in the present invention, the material of the multilayer electrode and the electrode forming method are not particularly limited. For example, the
2… コイルチップ部品
4… ドラムコア
4a… 巻芯部
4b… 第1フランジ
4c… 第2フランジ
5… 素子本体
10… コイル部
10a… ワイヤ
10b,10c… 継線部
20… 下地電極層
30… 外装樹脂部
30a… フランジ被覆部
30b… 平坦面
31… 不純物
40… 端部電極
50… 段差状凹部
60… 基板
70… 保持板
72… 減圧装置
80,82… 金型
84… キャビティ
86… 保持用凸部
88… 周方向隙間
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記電極間の直流抵抗を測定し、初期抵抗値を測定する工程と、
前記初期抵抗値を測定した後の前記電子部品を、減圧下の雰囲気中に曝す工程と、
減圧下の雰囲気中に曝した後の前記電子部品を、通常圧力に戻し、前記電極間の直流抵抗を測定し、減圧後抵抗値を測定する工程と、を有し、
前記初期抵抗値と前記減圧後抵抗値とを比較することにより前記電子部品の不良を判断することを特徴とする電子部品の検査方法。 Preparing an electronic component having at least a pair of electrodes;
Measuring a direct current resistance between the electrodes and measuring an initial resistance value;
Exposing the electronic component after measuring the initial resistance value in an atmosphere under reduced pressure;
The electronic component after being exposed to an atmosphere under reduced pressure is returned to normal pressure, the direct current resistance between the electrodes is measured, and the resistance value after reduced pressure is measured.
A method of inspecting an electronic component, comprising: determining a defect of the electronic component by comparing the initial resistance value and the reduced resistance value.
6. The electronic component inspection according to claim 4, wherein the initial resistance value and the post-depressurization resistance value of each electronic component are measured in a state where the plurality of electronic components are arranged side by side on a substrate or a holding plate. Method.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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