JP2007221170A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 酸化金属溶解剤、保護膜形成剤及び水を含有してなる金属研磨濃縮液を調製し、
   金属研磨濃縮液を研磨前に希釈する際に、金属の酸化剤を配合して金属研磨液を得ることを特徴とする金属用研磨液の調製方法。
2. 金属研磨濃縮液が水によって希釈される請求項１に記載の金属用研磨液の調製方法。
3. 金属研磨濃縮液が水によって５倍以上に希釈する請求項１又は請求項２に記載の金属用研磨液の調製方法。
4. 金属研磨濃縮液が水によって１０倍以上に希釈する請求項１又は請求項２に記載の金属用研磨液の調製方法。
5. 上記の保護膜形成剤が、親水性を有する保護膜形成剤を含有する請求項１〜４のいずれか１項に記載の金属用研磨液の調製方法。
6. 親水性基がカルボキシル基又はチオール基である請求項５に記載の金属用研磨液の調製方法。
7. 上記金属研磨濃縮液を調製する際に、上記保護膜形成剤を４０℃以上の温度で水に溶解させ、これと酸化金属溶解剤及び水とを混合することによって上記金属研磨濃縮液を得る、請求項１に記載の金属研磨液の調製方法。
8. 酸化金属溶解剤、保護膜形成剤及び水を含有してなる金属研磨濃縮液を用意し、
   金属研磨濃縮液を研磨前に希釈する際に、金属の酸化剤を配合して金属研磨液を得て、
   該金属用研磨液を使用して金属膜を研磨することを特徴とする金属研磨方法。
9. 研磨前に水によって希釈される請求項８に記載の金属研磨方法。
10. 研磨前に水によって１０倍以上に希釈される請求項８に記載の金属研磨方法。
11. 親水性基を有する保護膜形成剤を含有する請求項８〜１０のいずれか１項に記載の金属研磨方法。