JP2007187095A

JP2007187095A - 超音波ポンプ

Info

Publication number: JP2007187095A
Application number: JP2006006121A
Authority: JP
Inventors: Chiaki Tanuma; 千秋田沼
Original assignee: Toshiba TEC Corp
Current assignee: Toshiba TEC Corp
Priority date: 2006-01-13
Filing date: 2006-01-13
Publication date: 2007-07-26

Abstract

【課題】圧電振動子を用い、逆止弁が不要な超音波ポンプを提供する。
【解決手段】容器２と、この容器２内に充填される液体３０の流入口４および流出口３と、前記流出口３に対向し前記容器２の一部をなす壁部材２ａの内面に取り付けられた超音波放射手段５と、を有する超音波ポンプ１であって、前記超音波放射手段５から超音波が前記流出口３に向けて放射されることによって前記液体３０を前記流出口３から流出させるようにした。
【選択図】図１

Description

本発明は、超音波振動子により放射される超音波による圧力によって液体を搬送する超音波ポンプに関する。

電磁気や回転機構を用いない液体搬送装置として、板状の圧電振動子を振動させることによりポンプ作用を得る圧電ポンプがある。例えば、特許文献１において、圧電ポンプは圧電振動子によって可変容積室を形成し、この可変容積室に連なる一対の流路に、流れ方向の異なる一対の逆止弁（可変容積室への流体流を許す逆止弁と可変容積室からの流体流を許す逆止弁）が設けられている。圧電振動子を振動させると、可変容積室の容積が変化し、それに伴い一対の逆止弁の一方が閉じ他方が開く動作を繰り返すことから、ポンプ作用が得られる。この圧電ポンプは、薄型にできることから、例えば水冷ノートパソコンの冷却水循環ポンプとして用いられている。
特開２００３−２８０６８号公報（図１参照）

このような圧電ポンプは、構造が簡単な圧電振動子を用いることができ、小型化、低消費電力化が可能であると考えられるが、一定方向の流れを作るために、逆止弁を設ける必要がある。このため、構造の簡素化、流れの安定化などに改善の余地があった。

本発明の目的は、圧電振動子を用い、逆止弁が不要な超音波ポンプを提供することにある。

容器と、この容器内に充填される液体の流入口および流出口と、前記流出口に対向し前記容器の一部をなす壁部材の内面に取り付けられた超音波放射手段と、を有する超音波ポンプであって、前記超音波放射手段から超音波が前記流出口に向けて放射されることによって前記液体を前記流出口から流出させるようにした。

本発明により、圧電振動子を用い逆止弁が不要な超音波ポンプを提供することができる。

［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施形態について図を用いて説明する。図１に、本発明の第１の実施の形態に係る超音波ポンプ１ａの断面図を示す。この超音波ポンプ１ａは、液体３０を収容する容器２と容器２に液体３０の流出口３と流入口４が設けられている。また、液体３０の流出口３に対向する容器２の壁部材２ａの内面には超音波放射手段５が設けられている。なお、容器２は、金属、樹脂、ガラス、セラミックスなどの材料を用いて形成され、それらの材料は搬送される液体３０の特徴により適宜選択される。容器２が搬送される液体３０に種類によって、腐食等を引き起こされることがあるからである。

超音波放射手段５には圧電振動子６が用いられる。駆動信号が圧電振動子６の両面に形成された電極（図示しない。）に印加されることにより圧電振動子６の両面から超音波が放射される。駆動信号は、外部に設けられた駆動信号源１０からリード線２７を経由して印加される。なお、駆動信号源１０の構成を図１２に示すように信号発生器１７と高周波増幅器１６から構成される。信号発生器１７は圧電振動子６の共振周波数付近の信号を発生する。高周波増幅器１６は信号発生器１７の信号を所望の出力になるように増幅する。例えば、１〜２０Ｗの電力を圧電振動子６に加えることにより印加される電力に応じて超音波出力が得られ、後述するように液体３０に流出口３のから流出させる圧力が付与される。

ここで、圧電振動子６の製作方法について説明する。ます、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ系）、マグネシウムニオブ酸鉛（ＰＭＮ系）、ニッケルニオブ酸鉛（ＰＮＮ系）等を主成分とする圧電セラミックの表面に電極が形成され圧電振動子６が得られる。電極は、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、ＣＶＤなどの真空成膜法により、アルミニウム、パラジウム、ニッケル、金、銅などの金属膜が被着される。その他の方法として、メッキ法などによりニッケルなどの金属膜を形成するか、あるいは、焼成銀などの金属ペーストを塗布した後に所望の温度で焼結するなどの方法で両面に電極を形成してもよい。このように電極が形成された圧電振動子６は、厚み方向の分極処理が行われる。

上記した圧電振動子６の変形例を図１３に示す。この圧電振動子６は、自励発振方式の駆動制御回路に用いられる電極として励振電極１８とフィードバック電極１９を設けられている。駆動信号源１０へフィードバックを行うことで、図１２に示した信号発生器１７を省略することが出来る。自励発振回路としては、様々な方法があり適宜選択すればよい。本実施例では、圧電振動子の片一方の電極の一部に、振動子の中心に向って、例えば、幅１ｍｍの電極を形成し、フィードバック電極１９とした。

超音波放射手段５を構成する圧電振動子６の前面には，整合部材７が設けられている。この整合部材７は、圧電振動子６から放射される超音波を媒体に伝搬させる際に伝搬ロスを小さく抑えるために設けられる。圧電振動子６から放射される超音波が媒体である液体３０に伝搬される際に圧電振動子６と液体３０の固有の音響インピーダンスの値のギャップが大きいほどこの伝搬ロスは大きくなる。このような伝搬ロスを低減させるための整合部材７が設けられる。

ここで整合部材７の最適な設計について説明する。超音波は、固有音響インピーダンスが異なる物質同士が成す境界に入射すると、一部は、透過し一部が反射する。一般に物体の密度と音速の積（物質の密度ρ×音速ｖ）をその物体の「固有音響インピーダンス」と呼ぶ。いま固有音響インピーダンスがそれぞれ、Ｚ_１、Ｚ_２である二つの物質の境界面に超音波が垂直に入射したとする。このときの振幅反射率Ｒ_Ｅは、式（１）で与えられる。本実施の形態では、媒質Iは圧電振動子６であり、媒質IIは整合部材７である。また媒質IIIは搬送される液体３０である。

図１５に示すように，媒質Iと媒質IIIの間に，厚さＬの中間層IIが挟まれている。媒質Iに強さIｉの音波が入射したとき，中間層IIを通りぬけて，媒質IIIに透過する音の強さI t、媒質I, II, IIIの各々の音速，密度をｃ₁，ｃ₂，ｃ₃，ρ₁，ρ₂，ρ₃とする。平面境界における音波の入射透過と同様の扱いにより次式の結果を得る。

ここで、λ₂は、λ₂＝Ｃ₂／ｆ₂である。

図１６に示すように、Ｌ＝λ_２／４、Ｚ_２＝√Ｚ_１Ｚ_３の条件が成立する場合には、τI＝Iｔ／Iｉ＝１が得られ，入射波は無損失で（反射損失がない形で）媒質IIIに透過する。理想的には，Ｌ＝λ_２／４、Ｚ_２＝√Ｚ_１Ｚ_３の条件が成立するように中間層である整合部材７を挿入することにより，媒質I、すなわち圧電振動子６から放射された音波のエネルギーをそのまま伝搬ロスを生じさせることなく媒質III、すなわち搬送される液体３０に伝えることができる。

従って整合部材７は上記したように、固有音響インピーダンスが、式（１）および式（２）を満たす材料および厚みを決定することができる。しかし、固有音響インピーダンスは、物質に固有のものであるので上記の関係式を満足させ、音波の伝搬ロスを極小にすることは容易でない。少なくとも媒質Iである圧電振動子６と搬送される液体のそれぞれの固有音響インピーダンスの値の中間値となるような整合部材の材質と厚みを選択することにより音波の伝搬ロスを低減することができる。そこで、整合層部材７の材料としては、樹脂、ガラス、セラミックスなどが用いられ、圧電振動子６と搬送する液体のそれぞれの音響インピーダンスの中間の値を持つ材料が選定される。その厚みとしては、λ/４のものが用いられる。

また、所望の固有音響インピーダンスを得るために、図４に示すように、整合部材７を複数の固有音響インピーダンスが異なる整合部材を積層し、超音波の伝搬ロスをより少なくすることができる。具体的な実施例では、アクリル樹脂とシリコーン樹脂を組み合わせることで、図４に示すように整合部材７を例えば、７ａ、７ｂと７ｃの三層にして、それぞれの固有音響インピーダンスをそれぞれＺ_ａ、Ｚ_ｂ、Ｚ_ｃとし、また、圧電振動子６と搬送される液体の固有音響インピーダンスをそれぞれＺ_１、Ｚ_３としたとき、Ｚ_１＞Ｚ_ａ＞Ｚ_ｂ＞Ｚ_ｃ＞Ｚ_３なる関係を満足するように、例えば、アクリル樹脂とシリコーン樹脂を組み合わせることで整合部材の各層を形成することにより超音波の伝播ロスをさらに低減することができる。

また，圧電振動子６の後面には，この圧電振動子６から放射された音波が壁部材２ａによって反射されて再び圧電振動子６に戻り、圧電振動子６から前面（流出口３方向）に放射される音波と干渉を起こすことになる。特に、反射波と前面に放射される音波と位相が異なると、音波の振動が不均一になり圧電振動子６から前面方向の音波エネルギーが低下してしまう。特に、壁部材２ａが金属のような材料で形成されている場合は、容器の製作は容易ではあるが、壁部材の内部で反射した音波が減衰せずに容器内に放射されるため、位相のずれた音波によるエネルギーの低下があり、好適な材料とは言えない。

圧電振動子６から放射される超音波を用いて本発明のような一方向へ液体３０を搬送するような用途の場合は、液体３０を搬送する方向と反対の方向に放射される超音波は、上記したような弊害が大きいので可能な限り減衰させる必要がある。そこで図１に示す圧電振動子６が取り付けられている壁部材２は、例えば、数十μｍのサイズのＷ粉末をエポキシ樹脂に分散させて形成されている。樹脂材料中に粒子を分散させると伝搬される超音波の吸収と散乱の両方が起こり超音波の伝搬を効果的に減衰させることができるためである。

なお、上記した壁部材２と同様に容器２の全体に超音波の吸収性を有する材料で形成してもよい。特に容器２の製作が簡単になる場合等に好適である。

また、壁部材２ａが容器２と同一材料、例えば金属材料等で形成されている場合は、圧電振動子６から放射される超音波の吸収が十分でなく、むしろ反射し前方に放射される超音波と干渉して、前面方向への放射強度を弱める場合がある。そこで図２に示すように圧電振動子６と壁部材２ａの間に超音波吸収部材８を介在させる。超音波吸収部材８として、例えば、上記したのと同様に、材料として数十μｍのサイズのＷ粉末をエポキシ樹脂に分散させたものを用い、２液混合型のエポキシ樹脂（Epotek301）に中心サイズが３０μｍのＷ粉末を９０wｔ％配合分散させて、１２０℃で硬化させたものを用い、この超音波吸収部材８の厚みは、圧電振動子６の約１０倍程度のものを用いる。この厚みは、超音波が超音波吸収部材８で十分吸収される程度に適宜実験的に決めることができる。このように少なくとも超音波吸収部材８が容器２の材料より圧電振動子６から放射される超音波の吸収の大きい材料で形成することにより前面方向へ放射される超音波エネルギーを高めることができる。好ましくは、上記したように、この超音波吸収部材８について、超音波を散乱させる金属等の微粉末と超音波を吸収する樹脂材の配合分散比や厚み等を適宜実験的に求めて超音波の前面方向への反射を効果的に低減させることができ、圧電振動子６から放射される超音波の前面方向への音波エネルギーを高めることができる。

上記したような圧電振動子６の後方に放射される超音波の前面への反射を低減する他の実施例を図３に示す。壁部材２ａの圧電振動子６が取り付けられている部位が一部開放されている。具体的な例として、図３に示すように圧電振動子６の周縁以外の内部に対向する壁部材２ａに孔部１１が形成されている。この場合、壁部材２ａには、孔部１１が形成されているが容器２は、圧電振動子６の周縁部により孔部１１が封止されているので液体３０が外部へ流出することはない。この孔部１１により圧電振動子６の後部が開放されているので、この圧電振動子６により後部に放射される超音波は、空気層に放射されるため圧電振動子６の前面へ反射されることはないので、圧電振動子６による前面への超音波の伝搬によって影響を及ぼすことはない。

［第２の実施の形態］
次に本発明の第２の実施の形態について図を用いて説明する。図５に超音波放射手段５を構成する圧電振動子６と整合部材７の積層体５ａから放射される超音波が流出口３に集束するように放射面が凹面状に加工されている。このような形状の積層体５ａは、超音波を集束させることができる、いわゆる“音響レンズ”をなす。音響レンズをなす積層体５ａから放射される超音波は流出口３付近に集束されるので液体３０の搬送効率を飛躍的に高めることができる。なお、圧電振動子６の放射面は研磨加工等により凹面状に加工される。整合部材７は、選定される材料、例えば、アクリル樹脂を成形により圧電振動子６との接合面が一致するように凹面状に加工され、圧電振動子６に接着等により積層される。また、圧電振動子６と整合部材７の積層体５ａは、底部に超音波吸収材８が充填されたに円筒状のケースに収納され、超音波放射手段５が形成され壁部材２ａに取り付けられる。なお、壁部材２ａの超音波照射手段５の取付け面を凹面状に加工して上記凹面状の積層体を取り付けてもよい。

上記第２の実施の形態における他の例として超音波ポンプ１ｇを図７に示す。容器２の壁部材２ａの流出口３に対向する位置に圧電振動子６と整合部材７の積層体５ａからなる超音波放射手段５が取り付けられている。整合部材７は、その超音波の放射面が流出口３付近に超音波が集束されるように凹面状に形成され、音響レンズをなしている。この整合部材７は、例えばアクリル樹脂で形成されている場合は成型により形成され、圧電振動子６の超音波の放射面に接着材等により接着されている。このような音響レンズをなす構造により放射される超音波の出力を流出口３付近に集束することができるので液体３０の搬送効率を飛躍的に高めることができる。

第２の実施の形態の他の変形例としての超音波ポンプ１ｆを図６に示す。上記した図７に示した超音波ポンプ１ｇと主要部は同様であるが、この超音波ポンプ１ｆは、壁部材２ａの超音波放射手段５の裏面に対向する部位に孔部１１が設けられている。圧電振動子６から裏面方向に放射される超音波は、空気層に伝搬し流出口３方向への反射は起こらない。このような構成にすることにより超音波放射手段５から放射される超音波は流出口３付近に集束され、流体３０の流出口３方向への搬送の効率を高めることができる。また、裏面方向に放射される超音波が流出口３方向に反射されることもないので、流出口３方向に放射される超音波に干渉することない。

次に、第２の実施の形態における他の超音波ポンプを図８に示す。図８に示す超音波ポンプ１ｉは、上記した超音波１ｇと主要部は同様であるが、超音波を液体の流出口３付近に集束させる音響レンズが異なる。超音波放射手段５を構成する圧電振動子５の上面に積層される音響レンズとしてフレネルレンズ１３が設けられている。このフレネルレンズ１３の詳細な構造を図１０−Ａに示し、そのＡ−Ａ断面を図１０−Ｂに示す。フレネルレンズ１３は、圧電振動子５により放射される超音波を液体３０の流出口３付近に集束させるように輪帯と呼ばれるリング状の溝１５が所定の間隔で形成されている。また、このフレネルレンズ１３の材料は、例えばアクリルが好適な材料の一つとして用いられる。圧電振動子６の組成の主成分がチタン酸ジルコン酸鉛で充填される液体３０が水の場合は、これらの固有音響インピーダンスの中間の値を有するからである。

フレネルレンズの溝（輪帯）は、公知の次式で計算される。

フレネルレンズ１３は、アクリル樹脂を機械加工して作成した。焦点距離Ｆ＝４ｍｍ、超音波の波長λ＝１．１２ｍｍとし、直径が２０ｍｍの円盤状のアクリル樹脂に、表に示された輪帯の数値にしたがって溝１５を形成した。溝１５の深さは０．８４ｍｍ、レンズ全体の厚みは、１．１２ｍｍとした。このように加工したフレネルレンズは、溝１５の深さと、全体の厚みを適当に合わせることと音響レンズを構成する材料の固有音響インピーダンスを適当に合わせることで、整合部材の機能を備えることができる。すなわち、音響レンズ全体の厚みから溝１５の深さを差し引いた加工残りの厚みをλ／４とすることで、整合層としての機能を発揮することができる。このように加工したフレネルレンズを圧電振動子６に接着剤で接着し、超音波発生手段５とした。上記したように超音波をフレネルレンズ１３で流出口３付近に集束させることにより流体の搬送効率を高めることができる。

図９に超音波ポンプ１ｊを示す。上記した超音波ポンプ１ｉと主要部が同様な構造である。相違するところは壁部材２ａの超音波放射手段５と対向する部位に孔１１が形成されている。図に示すように超音波放射手段５を構成する圧電振動子６の裏面が開放されることにより放射される超音波が空気層を伝搬するため前方方向、すなわち流体３０の流出口３方向への反射は起こらないので圧電振動子６から裏面方向に放射された超音波は、空気層に伝搬し、流出口３方向への反射は起こらない。このような構成にすることにより超音波放射手段５から放射される超音波は流出口３付近に集束され、流体の流出口３方向への搬送の効率を高めることができる。また、裏面方向に放射される超音波が流出口３方向に反射されることもないので、流出口３方向に放射される超音波に干渉することない。

［第３の実施の形態］
本発明の第３の実施の形態を図１１を用いて説明する。超音波ポンプ１ｈは、壁部材２ａの液体３０の流出口３に対向する部位の外面に圧電振動子６が取付けられている。また、壁部材２ａの圧電振動子６が取り付けられている部位の内面には凹面部１２が形成されている。この凹面部１２の形状は、圧電振動子６から放射される超音波が液体の流出口３の集束するように加工され、いわゆる“音響レンズ”をなしている。また、凹面部１２が形成されている材質は、圧電振動子６から放射される超音波が容器２に充填される液体に効率よく伝搬されるように固有音響インピーダンスが圧電振動子６のそれより小さく、充填される液体３０より大きい材料が選定される。例えば、圧電振動子６の材料が主成分としてジルコン酸鉛で、充填される液体が水が用いられる場合は、アクリル樹脂が好適である。

このように超音波放射手段５の構成のうち、圧電振動子６が容器２の外面に取付られているので搬送される液体３０から隔離されるので浸食されることもない。また、圧電振動子６の電極やリード配線等も液体と触れることもないので防水等の対策を施す必要もなく、装置の設計の自由度が大きい等の利点を有する。

以上に説明した本発明の実施の形態においては、超音波放射手段として圧電振動子を用いた構成を例示した。圧電振動子に代えて、電歪素子、磁歪素子等を用いることも可能である。

次に、本発明の超音波ポンプを用いたＣＰＵの冷却システムについて図を用いて説明する。図１４は、コンピュータに搭載されたＣＰＵ２１を冷却するシステムで上記した本発明の超音波ポンプ１を適用した例である。本システムは、コンピュータ等に搭載されたＣＰＵ２１と熱的に結合された放熱板２０、熱交換器２４および超音波ポンプ２２が送液パイプ２６で互いに連結され、超音波ポンプ２２が駆動制御回路２３により駆動されることにより冷却液が循環されるようなっている。また、ＣＰＵ２１の発熱が放熱板２０に伝熱され、放熱板２０により温度上昇した冷却液が送風機２５により熱交換器２４中で冷却されるようになっている。このようなシステムは、例えば、パソコンのような小型化が要請されるような機器には、本発明の超音波ポンプ１を用いることにより小型化が可能でしかも送液経路中に設けることが可能であるために特に好適なポンプである。

本発明の第１の実施の形態に係る超音波ポンプの断面図である。本発明の第１の実施の形態に係る他の超音波ポンプの断面図である。本発明の第１の実施の形態に係る他の超音波ポンプの断面図である。本発明の第１の実施の形態に係る他の超音波ポンプの断面図である。第２の実施の形態の超音波ポンプの断面構造である。第２の実施の形態の変形例としての超音波ポンプの断面構造である。第２の実施の形態の他の変形例としての超音波ポンプの断面構造である。第２の実施の形態の他の変形例としての超音波ポンプの断面構造である。第２の実施の形態の他の変形例としての超音波ポンプの断面構造である。フレネルレンズの正面図である。図１０−ＡのＡ−Ａ断面を示す図である。本発明の第３の実施の形態に係る超音波ポンプの断面図である。本発明の超音波ポンプに使用される圧電振動子を駆動する駆動信号源の構成を示す図である。他の駆動方法に用いられる圧電振動子６の変形例である。本発明の著音波ポンプが用いられるＣＰＵの冷却システムを示す模式図である。超音波が伝搬する異なる媒質の物性の関係を示す図である。超音波が伝搬する異なる媒質の物性と音響固有インピーダンスの関係を示す図である。

符号の説明

１超音波ポンプ
２容器
２ａ壁部材
３流出口
４流入口
５超音波放射手段
５ａ積層体
６圧電振動子
７整合部材
８超音波吸収部材
９ケース
１０駆動信号源
１１開放孔
１２内壁凹部
１３フレネルレンズ
１４輪帯
１５溝
１６高周波増幅器
１７駆動信号発生器
１８励振電極
１９フィードバック電極
２０放熱板
２１ＣＰＵ
２２超音波ポンプ
２３駆動制御回路
２４熱交換器
２５送風機
２６送液パイプ
３０液体

Claims

容器と、この容器内に充填される液体の流入口および流出口と、前記流出口に対向し前記容器の一部をなす壁部材の内面に取り付けられた超音波放射手段と、を有する超音波ポンプであって、前記超音波放射手段から超音波が前記流出口に向けて放射されることによって前記液体を前記流出口から流出させることを特徴とする超音波ポンプ。
前記超音波放射手段は、超音波を放射する圧電部振動子と前記超音波を放射する方向に整合部材が積層された積層体であって、前記整合部材の固有音響ピーダンスが前記圧電振動子の固有音響ピーダンスより小さく、かつ前記液体の固有音響ピーダンスより大きいことを特徴とする請求項１記載の超音波ポンプ。
前記壁部材は、前記積層体が取付けられている領域の一部が開放されていることを特徴とする請求項２記載の超音波ポンプ。
前記壁部材の前記超音波の吸収係数は、前記容器を構成する前記壁部材以外の超音波の吸収係数より大きいことを特徴とする請求項２記載の超音波ポンプ。
超音波吸収部材が前記内壁部材と前記積層体との間に設けられ、前記超音波吸収部材の前記超音波の吸収係数が前記内壁部材の吸収係数より大きいことを特徴とする請求項２記載の超音波ポンプ。
前記整合部材は、固有音響インピーダンスが前記圧電振動子の固有音響インピーダンスより小さく、かつ充填される液体の固有音響インピーダンスより大きい材料からなる複数の整合部材が積層されたものであって、これらの複数の整合部材は、超音波の放射方向に向けて順次固有音響インピーダンスが小さくなるように積層されていることを特徴とする請求項２乃至請求項５のいずれかに記載の超音波ポンプ。
前記超音波放射手段がこの超音波放射手段から放射される超音波が前記流出口の方向に集束するように構成された音響レンズを含むことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の超音波ポンプ。
前記積層体が前記圧電振動子から放射される超音波が前記流出口の方向に集束するように凹面状に形成されていることを特徴とする請求項７記載の超音波ポンプ。
前記積層体の整合部材が前記圧電振動子から放射される超音波が前記流出口の方向に集束するように凹面状に形成されていることを特徴とする請求項７記載の超音波ポンプ。
前記積層体の整合部材が前記圧電振動子から放射される超音波が前記流出口の方向に集束するようにフレネルレンズからなることを特徴とする請求項７記載の超音波ポンプ。
容器と、この容器内に充填される液体の流入口および流出口と、前記流出口に対向し前記容器の一部をなす壁部材の外面に取り付けられた超音波放射手段と、を有する超音波ポンプであって、前記超音波放射手段から超音波が前記流出口に向けて放射されることによって前記液体を前記流出口から流出させることを特徴とする超音波ポンプ。
前記超音波放射手段は圧電振動子であって、前記壁部材の前記圧電部材の取り付けられた前記容器の内面が前記超音波を前記流出口の方向に集束させるように凹面状に形成されていることを特徴とする請求項１１記載の超音波ポンプ。
前記壁部材の固有音響インピーダンスが前記圧電振動子の固有音響インピーダンスより小さく、かつ前記液体固有音響インピーダンスのより大きいことを特徴とする請求項１１記載の超音波ポンプ。