JP2007185054A - Actuator - Google Patents

Actuator Download PDF

Info

Publication number
JP2007185054A
JP2007185054A JP2006002007A JP2006002007A JP2007185054A JP 2007185054 A JP2007185054 A JP 2007185054A JP 2006002007 A JP2006002007 A JP 2006002007A JP 2006002007 A JP2006002007 A JP 2006002007A JP 2007185054 A JP2007185054 A JP 2007185054A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stator
actuator
support
screwing
support member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006002007A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Nobuki Kondo
伸樹 近藤
Shinya Iguchi
真也 井口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IAI Corp
Original Assignee
IAI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IAI Corp filed Critical IAI Corp
Priority to JP2006002007A priority Critical patent/JP2007185054A/en
Publication of JP2007185054A publication Critical patent/JP2007185054A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Linear Motors (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actuator employing a linear motor, capable of attaining improvement of operating efficiency by facilitating positioning of a stator without causing complexity of configuration, enlargement and a cost increase of the actuator. <P>SOLUTION: This actuator includes; the linear motor provided with the stator laminated and arranged with a plurality of permanent magnets and extended in a shaft-like manner and a moving element having a coil movably provided on a peripheral side of the stator; and a pair of stator support portions supporting both ends of the stator. At least at either one side of this one pair of stator support portions, the stator is constructed so as to be movably supported in a direct or indirect manner by means of a thread structure and so as to be fixed at an optional position. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば、精密位置決めシステムに用いるリニアモータを使用したアクチュエータに係り、特に、固定子の位置決め機構の構成を改良することにより、固定子の位置決め作業の容易化を図ることができるように工夫したものに関する。 The present invention relates to an actuator using a linear motor used in a precision positioning system, for example, and in particular, by improving the configuration of the stator positioning mechanism, the stator positioning operation can be facilitated. It relates to something that was devised.

非接触駆動が可能なリニアモータは、例えば、精密位置決め装置の駆動機構として好適である。従来のリニアモータ及びそのようなリニアモータを使用したアクチュエータは、例えば、図22及び図23に示すような構成になっている。   A linear motor capable of non-contact driving is suitable as a driving mechanism for a precision positioning device, for example. Conventional linear motors and actuators using such linear motors are configured as shown in FIGS. 22 and 23, for example.

図22はリニアモータ701の構成を示す断面図であり、リニアモータ701は、固定子703と可動子705とから構成されている。上記固定子703は、非磁性センター軸707と、この非磁性センター軸707の外周に積層・配置されたリング状の複数個の永久磁石709と、上記複数個の永久磁石709の外周側に設置された非磁性薄肉パイプ711と、上記複数個の永久磁石709の両側位置において上記非磁性センター軸707に螺合されると共に上記非磁性薄肉パイプ711内にその一部が挿入・配置された一対のエンドキャップ713、713とから構成されている。   FIG. 22 is a cross-sectional view showing the configuration of the linear motor 701, and the linear motor 701 includes a stator 703 and a mover 705. The stator 703 is installed on the outer peripheral side of the nonmagnetic center shaft 707, a plurality of ring-shaped permanent magnets 709 stacked and arranged on the outer periphery of the nonmagnetic center shaft 707, and the plurality of permanent magnets 709. A pair of the non-magnetic thin-walled pipe 711 and the non-magnetic thin-walled pipe 711 that are screwed into the non-magnetic center shaft 707 at positions on both sides of the plurality of permanent magnets 709 and partially inserted into the non-magnetic thin-walled pipe 711. End caps 713 and 713.

又、上記可動子705であるが、コイルケース715と、このコイルケース715内に収容・配置されたコイル部717とから構成されている。   The mover 705 includes a coil case 715 and a coil portion 717 accommodated and disposed in the coil case 715.

上記固定子703は、図23に示すように、その両端を支持部材719、719によって支持されている。又、上記可動子705は直動ガイド機構721によってガイドされた状態で、図中左右方向(矢印a方向)に移動するものである。上記直動ガイド機構721は、一対のガイドレール723、723(図23では片側のみ示す)と夫々のガイドレール723、723に移動可能に係合するガイド部材725、725(図23では片側の2個のみ示す)とから構成されている。
尚、ガイドレール1本で構成する場合もある。
As shown in FIG. 23, the stator 703 is supported at both ends by support members 719 and 719. The movable element 705 is moved in the left-right direction (arrow a direction) in the figure while being guided by the linear motion guide mechanism 721. The linear guide mechanism 721 includes a pair of guide rails 723 and 723 (shown only on one side in FIG. 23) and guide members 725 and 725 (in FIG. 23, two on one side) that are movably engaged with the respective guide rails 723 and 723. (Only shown).
In some cases, the guide rail is constituted by one guide rail.

尚、同種のリニアモータの構成を開示するものとして、例えば、特許文献1等がある。   For example, Patent Document 1 discloses a configuration of a linear motor of the same type.

特開平10−313566号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-313566

ところで、この種のリニアモータ701を用いたアクチュエータの場合には、リニアモータ701の固定子703の原点位置を調整・設定する必要がある。つまり、リニアモータ701の固定子703をアクチュエータの軸方向の所定の位置に調整・設定する必要がある。 Incidentally, in the case of an actuator using this type of linear motor 701, it is necessary to adjust and set the origin position of the stator 703 of the linear motor 701. That is, it is necessary to adjust and set the stator 703 of the linear motor 701 at a predetermined position in the axial direction of the actuator.

具体的には、図24及び図25に示すような手順で位置決めを行っていた。まず、図24に示すように、固定子703の端部を支持部材719の貫通孔719a内に挿入する。これは左右両側において同様に行われる。次に、可動子705のコイル部717に電流を流す。それによって、可動子705が移動して任意の位置に停止する。その位置を目安にして固定子703の原点を調整・設定する。具体的には、作業員が手作業によって固定子703を左右方向に移動させることにより所望の位置に位置させる。固定子703の位置が調整・設定されたら、図25に示すように、固定ねじ部材731を支持部材719に設けられている雌ねじ部733に螺合させて固定する。   Specifically, the positioning was performed according to the procedure shown in FIGS. First, as shown in FIG. 24, the end portion of the stator 703 is inserted into the through hole 719 a of the support member 719. This is done similarly on the left and right sides. Next, a current is passed through the coil portion 717 of the mover 705. Thereby, the mover 705 moves and stops at an arbitrary position. The origin of the stator 703 is adjusted / set using the position as a guide. Specifically, the worker moves the stator 703 in the left-right direction by manual work to position it at a desired position. When the position of the stator 703 is adjusted and set, as shown in FIG. 25, the fixing screw member 731 is screwed and fixed to the female screw portion 733 provided on the support member 719.

又、図26及び図27に示すような構成もある。この場合には、支持部材719に割り735を設けたものであり、その他の構成は図24及び図25に示したものと同じである。又、既に述べた手順と同様の手順によって固定子703の位置を調整・設定するものである。   There are also configurations as shown in FIGS. In this case, the support member 719 is provided with a split 735, and the other configurations are the same as those shown in FIGS. Further, the position of the stator 703 is adjusted and set by the same procedure as described above.

上記従来の構成によると次のような問題があった。
すなわち、従来の場合には、固定子703を作業員が手作業によって直接移動させながらその位置を調整・設定する必要があり、煩雑な作業を余儀なくされているとともに作業に長時間を要していて作業効率が悪いという問題があった。
このような問題に対しては、例えば、磁極検出機能付のモータドライバを使用することが考えられ、それによって、アクチュエータの軸方向所定位置に決まった磁極を配置する必要がなくなり、それにより任意の位置を原点とすることが可能である。しかしながらそのための制御が複雑化してしまうという問題があった。又、上記磁極検出機能付のモータドライバも決して安価なものではなかった。
又、上記磁極検出機能付のモータドライバを使用した場合には、電源投入後最初の動作で磁極検出動作(いわゆるポールセンス)を行なう必要があり、よって、電源投入後直ぐに使用することができないという問題があった。
又、上記磁極検出機能付モータドライバを使用する以外にも、例えば、リニアアブソリュートエンコーダを使用する方法もある。この場合には、リニアアブソリュートエンコーダによって位置検出を行ない、それによって、磁極位置を割り出すというものである。しかしながらこの場合にも制御が複雑化してしまうとともにリニアアブソリュートエンコーダが非常に高価なものであるという問題があった。
The conventional configuration has the following problems.
That is, in the conventional case, it is necessary to adjust and set the position of the stator 703 while the operator moves it directly by hand, which necessitates complicated work and takes a long time. There was a problem that work efficiency was bad.
For such a problem, for example, it may be possible to use a motor driver with a magnetic pole detection function, which eliminates the need to place a fixed magnetic pole at a predetermined position in the axial direction of the actuator. The position can be the origin. However, there is a problem that the control for that purpose becomes complicated. Also, the motor driver with the magnetic pole detection function is not cheap.
In addition, when the motor driver with the magnetic pole detection function is used, it is necessary to perform a magnetic pole detection operation (so-called pole sensing) in the first operation after turning on the power, so that it cannot be used immediately after turning on the power. There was a problem.
In addition to using the motor driver with the magnetic pole detection function, for example, there is a method using a linear absolute encoder. In this case, the position is detected by a linear absolute encoder, thereby determining the magnetic pole position. In this case, however, the control is complicated and the linear absolute encoder is very expensive.

本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、構成の複雑化、装置の大型化、コストの上昇を来たすことなく、固定子の位置決め作業を容易化させて作業効率の向上を図ることが可能なリニアモータを採用したアクチュエータを提供することにある。   The present invention has been made based on such points, and the object of the present invention is to facilitate the positioning of the stator without complicating the configuration, increasing the size of the apparatus, and increasing the cost. An object of the present invention is to provide an actuator that employs a linear motor capable of improving efficiency.

上記従来の課題を解決するべく本願発明の請求項1によるアクチュエータは、複数個の永久磁石を積層・配置してなるとともにシャフト状に延長された固定子と、上記固定子の外周側に移動可能に設置されコイルを備えた可動子とを具備してなるリニアモータと、上記固定子の両端を夫々支持する一対の固定子支持部と、を備えたアクチュエータにおいて、上記一対の固定子支持部の少なくとも一方において螺合構造を利用して直接的に又は間接的に固定子を移動可能に支持するとともに任意の位置にて固定可能に構成したことを特徴とするものである。
又、請求項2によるアクチュエータは、請求項1記載のアクチュエータにおいて、上記固定子支持部は、上記固定子の端部が挿入・配置される貫通孔を備えた支持部材と、上記固定子の端部側に直接又は間接に設けられた雌ねじ部と、上記支持部材を挟んで上記固定子の反対側から上記雌ねじ部に螺合される雄ねじ部材と、から構成されていて、上記雄ねじ部材を上記雌ねじ部に螺合させることにより固定子を移動させるようにしたことを特徴とするものである。
又、請求項3によるアクチュエータは、請求項1記載のアクチュエータにおいて、上記固定子支持部は、上記固定子の端部が挿入・配置される貫通孔を備えた支持部材と、上記固定子の端部に直接又は間接に設けられた雄ねじ部と、上記支持部材を挟んで上記固定子の反対側から上記雄ねじ部に螺合される雌ねじ部材と、から構成されていて、上記雌ねじ部材を上記雄ねじ部に螺合させることにより固定子を移動させるようにしたことを特徴とするものである。
又、請求項4によるアクチュエータは、請求項2又は請求項3に記載のアクチュエータにおいて、上記支持部材には固定ねじ部材が螺合されていて、上記固定子を移動させてその位置が調整・設定された後に固定ねじ部材を螺合させて上記固定子を固定させるように構成したことを特徴とするものである。
又、請求項5によるアクチュエータは、請求項1記載のアクチュエータにおいて、上記固定子支持部は、上記固定子の端部が挿入・配置される貫通孔を備えるとともに移動可能であって任意の位置に固定可能に設けられた支持部材と、支持部材を挟んで上記固定子の反対側に設置されたブラケットと、上記ブラケットを介して上記支持部材に螺合された螺合部材と、から構成されていて、上記螺合部材を適宜の方向に螺合させることにより支持部材ひいては固定子を移動させるようにしたことを特徴とするものである。
In order to solve the above-mentioned conventional problems, the actuator according to claim 1 of the present invention is formed by laminating and arranging a plurality of permanent magnets, and is movable to the outer peripheral side of the stator, which is extended in a shaft shape. An actuator including a linear motor provided with a mover provided with a coil and a pair of stator support portions that respectively support both ends of the stator. It is characterized in that at least one of the stators is movably supported directly or indirectly using a screwing structure and can be fixed at an arbitrary position.
The actuator according to claim 2 is the actuator according to claim 1, wherein the stator support portion includes a support member having a through-hole into which an end portion of the stator is inserted and arranged, and an end of the stator. A female screw part provided directly or indirectly on the part side, and a male screw member screwed into the female screw part from the opposite side of the stator across the support member, the male screw member being the above The stator is moved by being screwed into the female screw portion.
The actuator according to claim 3 is the actuator according to claim 1, wherein the stator support portion includes a support member having a through-hole into which an end portion of the stator is inserted and arranged, and an end of the stator. A male screw part provided directly or indirectly on the part, and a female screw member screwed to the male screw part from the opposite side of the stator across the support member, the female screw member being the male screw The stator is moved by being screwed to the portion.
The actuator according to claim 4 is the actuator according to claim 2 or 3, wherein a fixing screw member is screwed to the support member, and the position of the actuator is adjusted and set by moving the stator. After that, the fixing screw member is screwed together to fix the stator.
According to a fifth aspect of the present invention, in the actuator according to the first aspect, the stator support portion includes a through-hole into which an end portion of the stator is inserted and arranged, and is movable and can be moved to an arbitrary position. The support member is provided so as to be fixable, a bracket installed on the opposite side of the stator with the support member interposed therebetween, and a screwing member screwed into the support member via the bracket. The support member and thus the stator are moved by screwing the screw member in an appropriate direction.

以上述べたように本願発明によるアクチュエータによると、複数個の永久磁石を積層・配置してなるとともにシャフト状に延長された固定子と、上記固定子の外周側に移動可能に設置されコイルを備えた可動子とを具備してなるリニアモータと、上記固定子の両端を夫々支持する一対の固定子支持部と、を備えたアクチュエータにおいて、上記一対の固定子支持部の少なくとも一方において螺合構造を利用して直接的に又は間接的に固定子を移動可能に支持するとともに任意の位置にて固定可能に構成したので、構成の複雑化、コストの上昇を来たすことなく固定子の位置決め作業を容易化して作業効率の向上を図ることができる。   As described above, according to the actuator of the present invention, a plurality of permanent magnets are stacked and arranged, and the stator is extended in the shape of a shaft, and the coil is provided movably on the outer peripheral side of the stator. In an actuator comprising a linear motor comprising a movable element and a pair of stator support portions that respectively support both ends of the stator, a screwing structure is provided in at least one of the pair of stator support portions. The stator is movably supported directly or indirectly and is configured to be fixed at an arbitrary position, so that the positioning operation of the stator can be performed without increasing the complexity of the configuration and increasing the cost. It can be simplified and work efficiency can be improved.

以下、図1乃至図5を参照して本発明の第1の実施の形態を説明する。図1は本実施の形態によるアクチュエータの構成を示す側断面図である。まず、リニアモータ1があり、このリニアモータ1は固定子3と可動子5とから構成されている。上記固定子3は、非磁性センター軸7と、この非磁性センター軸7の外周に積層・配置されたリング状の複数個の永久磁石9と、上記複数個の永久磁石9の外周側に設置された非磁性薄肉パイプ11と、上記複数個の永久磁石9の両側位置において上記非磁性センター軸7に螺合されるとともに上記非磁性薄肉パイプ11内にその一部が挿入・配置された一対のエンドキャップ13、13とから構成されている。   Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a side sectional view showing a configuration of an actuator according to the present embodiment. First, there is a linear motor 1, and the linear motor 1 includes a stator 3 and a mover 5. The stator 3 is installed on a nonmagnetic center shaft 7, a plurality of ring-shaped permanent magnets 9 stacked and arranged on the outer periphery of the nonmagnetic center shaft 7, and on the outer peripheral side of the plurality of permanent magnets 9. A pair of the non-magnetic thin-walled pipe 11 and a plurality of permanent magnets 9 that are screwed into the non-magnetic center shaft 7 at positions on both sides of the plurality of permanent magnets 9 and partially inserted and arranged in the non-magnetic thin-wall pipe 11 End caps 13 and 13.

又、上記可動子5であるが、コイルケース15と、このコイルケース15内に収容・配置されたコイル部17等から構成されている。   The movable element 5 includes a coil case 15 and a coil portion 17 accommodated and disposed in the coil case 15.

上記固定子3はその両端を固定子支持部19、19によって夫々支持されている。又、上記可動子5は直動ガイド機構21によってガイドされた状態で、図1中左右方向(矢印a方向)に移動するものである。上記直動ガイド機構21は、一対のガイドレール23、23(図1では片側のみ示す)と夫々のガイドレール23、23に移動可能に係合するガイド部材25、25(図1では片側の2個のみ示す)とから構成されている。
尚、ガイドレール1本で構成する場合もある。
Both ends of the stator 3 are supported by stator support portions 19 and 19, respectively. Further, the movable element 5 moves in the left-right direction (arrow a direction) in FIG. 1 while being guided by the linear motion guide mechanism 21. The linear guide mechanism 21 includes a pair of guide rails 23 and 23 (shown only on one side in FIG. 1) and guide members 25 and 25 (2 on one side in FIG. 1) movably engaged with the respective guide rails 23 and 23. (Only shown).
In some cases, the guide rail is constituted by one guide rail.

次に、上記固定子支持部19の構成を詳細に説明する。図1乃至図5に示すように、固定子支持部19は支持部材27を備えていて、この支持部材27は、図2乃至図4に示すように、逆T字形状をなしていて底板部27aと立設部27bとから構成されている。上記底板部27aには取付・固定用の貫通孔29、29が穿孔されていて、これら貫通孔29、29に図示しない固定ボルトを通して接地部に螺合させることにより固定されるものである。
又、支持部材27の形状は特に決まりはなく、底板部27aには取付・固定用の雌ねじが有り、図示しない固定ボルトを通して接地部に螺合させることにより固定されるものである。
Next, the configuration of the stator support portion 19 will be described in detail. As shown in FIGS. 1 to 5, the stator support portion 19 includes a support member 27. The support member 27 has an inverted T shape as shown in FIGS. 2 to 4, and has a bottom plate portion. 27a and a standing portion 27b. The bottom plate portion 27a has through-holes 29, 29 for attachment / fixation, and is fixed by screwing the through-holes 29, 29 through a fixing bolt (not shown) to a grounding portion.
The shape of the support member 27 is not particularly limited, and the bottom plate portion 27a has a female screw for mounting and fixing, and is fixed by being screwed to a grounding portion through a fixing bolt (not shown).

又、上記立設部27bには割り31、33が入っていて、これら割り31、33を介してブロック部35が変位可能な状態で設けられている。又、上記立設部27bには、図5に示すように、段付貫通孔37が形成されている。この段付貫通孔37は、図5(b)に示すように、大径孔37aと小径孔37bとから構成されている。この段付貫通孔37の大径孔37a内に、固定子3のエンドキャップ13の部分が挿入・配置されることになる。 The standing portion 27b includes splits 31 and 33, and the block portion 35 is provided in a displaceable manner through the splits 31 and 33. Further, as shown in FIG. 5, a stepped through hole 37 is formed in the standing portion 27b. As shown in FIG. 5B, the stepped through hole 37 is composed of a large diameter hole 37a and a small diameter hole 37b. The end cap 13 portion of the stator 3 is inserted and disposed in the large diameter hole 37 a of the stepped through hole 37.

又、図2に示すように、上記エンドキャップ13には雌ねじ部39が形成されている。一方、上記支持部材27を挟んで上記固定子3の反対側にはねじ部材41が配置されている。このねじ部材41は図示しない六角レンチによって回転されるタイプのものである。上記固定子3のエンドキャップ13を貫通孔37の大径孔37a内に挿入・配置し、その状態で反対側からねじ部材41を差し込んで雌ねじ部39に螺合させる。そして、ねじ部材41を螺合させていくことにより固定子3を引っ張ってその位置を移動させて所望の位置に調整・設定するものである。 Further, as shown in FIG. 2, the end cap 13 is formed with a female screw portion 39. On the other hand, a screw member 41 is disposed on the opposite side of the stator 3 with the support member 27 interposed therebetween. The screw member 41 is of a type rotated by a hexagon wrench (not shown). The end cap 13 of the stator 3 is inserted and arranged in the large-diameter hole 37a of the through-hole 37, and in this state, the screw member 41 is inserted from the opposite side and screwed into the female screw portion 39. Then, by screwing the screw member 41, the stator 3 is pulled to move its position and adjusted / set to a desired position.

又、上記支持部材27のブロック部35には固定ねじ部材43が螺合されている。この固定ねじ部材43は位置の調整が完了した固定子3の位置を固定するためのものである。
尚、既に説明した固定子支持部19、19の内一方の固定子支持部19の構成を説明したが、他方の固定子支持部19についても同様の構成になっている。
A fixing screw member 43 is screwed into the block portion 35 of the support member 27. The fixing screw member 43 is for fixing the position of the stator 3 whose position has been adjusted.
In addition, although the structure of one stator support part 19 among the already described stator support parts 19 and 19 has been described, the other stator support part 19 has the same structure.

以上の構成を基に固定子3の位置の調整・設定について説明する。
まず、固定子3の両端のエンドキャップ13、13を夫々の固定子支持部19、19の支持部材27、27の貫通孔37、37の大径孔37a、37a内に挿入・配置する。その状態を示すのが図1である。
The adjustment / setting of the position of the stator 3 will be described based on the above configuration.
First, the end caps 13 and 13 at both ends of the stator 3 are inserted and arranged in the large-diameter holes 37a and 37a of the through holes 37 and 37 of the support members 27 and 27 of the stator support portions 19 and 19, respectively. FIG. 1 shows this state.

次に、その状態で可動子5のコイル部17に電流を流す。それによって、可動子5が移動して任意の位置に停止する。その状態から固定子3の原点を検知して固定子3をその原点位置に移動させてセットする作業を行なう。
例えば、図1において、固定子3を図中左側に移動させたい場合には、図2乃至図4に示すように、ねじ部材41を固定子3の雌ねじ部39に螺合させる。そして、図3に示すように、ねじ部材41の頭を支持部材27の立設部27bに当接させた状態で螺合させていく。それによって、固定子3が図中左側に引っ張られて移動していく。その際、右側はフリーの状態になっている。
Next, a current is passed through the coil portion 17 of the mover 5 in this state. Thereby, the mover 5 moves and stops at an arbitrary position. From this state, the origin of the stator 3 is detected, and the stator 3 is moved to the origin position and set.
For example, in FIG. 1, when it is desired to move the stator 3 to the left side in the drawing, the screw member 41 is screwed into the female screw portion 39 of the stator 3 as shown in FIGS. Then, as shown in FIG. 3, the screw member 41 is screwed in a state where the head of the screw member 41 is in contact with the standing portion 27 b of the support member 27. As a result, the stator 3 is pulled and moved to the left in the figure. At that time, the right side is free.

逆に、図1において、固定子3を図中右側に移動させたい場合には、右側において、ねじ部材41を固定子3の雌ねじ部39に螺合させる。そして、ねじ部材41の頭を支持部材27の立設部27bに当接させた状態で螺合させていく。それによって、固定子3が図中右側に引っ張られて移動していく。その際、左はフリーの状態になっている。 On the contrary, in FIG. 1, when the stator 3 is to be moved to the right side in the drawing, the screw member 41 is screwed into the female screw portion 39 of the stator 3 on the right side. Then, the screw member 41 is screwed in a state where the head of the screw member 41 is in contact with the standing portion 27 b of the support member 27. Thereby, the stator 3 is pulled and moved to the right side in the figure. At that time, the left is in a free state.

このような作業を行なうことにより固定子3を所望の位置に位置決めするものである。固定子3の位置決めが終了した後、左右の固定子支持部19、19において、固定ねじ部材43をそれぞれ螺合させて、固定子3を固定するものである。 By performing such operations, the stator 3 is positioned at a desired position. After the positioning of the stator 3 is completed, the fixing screw members 43 are respectively screwed in the left and right stator support portions 19 and 19 to fix the stator 3.

以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、固定子3の位置決め作業が容易化されたものである。これは従来作業員が手作業によって固定子3を直接把持した状態で移動させていたのに対して、この実施の形態の場合にはねじ部材41を回転操作することによって行なうことができるように構成したからである。
又、ねじ部材41を回転させることにより固定子3を移動させるようにしているので微調整が容易になったものであり、それによって、固定子3を所望の位置に容易且つ迅速に位置決めすることが可能になったものである。そして、固定子3の位置決め作業の効率化を図ることができるものである。
又、この実施の形態の場合には、左右の固定子支持部19、19において同様の位置調整機構としているので、例えば、左側の位置調整機構を使用して固定子3を図中左側に移動させ過ぎた場合には、右側の位置調整機構を使用して右側に戻せばよく、位置の調整・設定作業がより容易になっているものである。
尚、
左右何れか一方にのみ位置調整機構を設ける構成も考えられる。
As described above, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
First, the positioning operation of the stator 3 is facilitated. In contrast to the conventional method in which the worker moves the stator 3 while directly holding the stator 3 by hand, in the case of this embodiment, the screw member 41 can be rotated. It is because it constituted.
Further, since the stator 3 is moved by rotating the screw member 41, the fine adjustment is facilitated, whereby the stator 3 can be easily and quickly positioned at a desired position. Is now possible. And the efficiency of the positioning operation | work of the stator 3 can be aimed at.
In the case of this embodiment, since the same position adjustment mechanism is used in the left and right stator support portions 19 and 19, for example, the left position adjustment mechanism is used to move the stator 3 to the left in the figure. If too much is used, the position adjustment mechanism on the right side may be used to return to the right side, which makes position adjustment / setting work easier.
still,
A configuration in which the position adjustment mechanism is provided only on either the left or right side is also conceivable.

次に、図6乃至図8を参照して本発明の第2の実施の形態を説明する。
この第2の実施の形態の場合には、固定子3のエンドキャップ13に雄ねじ部101を設け、一方、支持部材27を挟んで固定子3の反対側に雌ねじ部材としてのナット103を配置し、ナット103を雄ねじ部101に螺合させることにより固定子3を移動させるようにしたものである。
その他の構成は前記第1の実施の形態の場合と同じであり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
よって、前記第1の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏することができる。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the case of this second embodiment, a male screw portion 101 is provided on the end cap 13 of the stator 3, while a nut 103 as a female screw member is arranged on the opposite side of the stator 3 with the support member 27 interposed therebetween. The stator 3 is moved by screwing the nut 103 into the male screw portion 101.
Other configurations are the same as those in the first embodiment, and the same portions are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
Therefore, the same operation and effect as in the case of the first embodiment can be obtained.

次に、図9乃至図11を参照して本発明の第3の実施の形態を説明する。この実施の形態の場合には、支持部材27の立設部27aの貫通孔37の小径孔37bに雌ねじ部201が設けられている。そこにボルト41を螺合させていくことにより、固定子3を押し出すように構成されている。すなわち、前記第1、第2の実施の形態の場合には固定子3を引っ張ることによりその位置を調整するように構成していたが、この第3の実施の形態の場合にはこれを押すことによりその位置を調整するようにしたものである。
その他の構成は前記第1、第2の実施の形態の場合と同じであり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
よって、前記第1、第2の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏することができる。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the case of this embodiment, the internal thread portion 201 is provided in the small diameter hole 37 b of the through hole 37 of the standing portion 27 a of the support member 27. The stator 3 is pushed out by screwing a bolt 41 there. That is, in the case of the first and second embodiments, the position is adjusted by pulling the stator 3, but in the case of the third embodiment, this is pushed. The position is adjusted accordingly.
Other configurations are the same as those in the first and second embodiments, and the same portions are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
Therefore, the same operation and effect as in the first and second embodiments can be obtained.

次に、図12乃至図14を参照して本発明の第4の実施の形態を説明する。この場合には、支持部材27と固定子3との間に
固定子位置調整用部材301を配置させている。この固定子位置調整用部材301には穴303が形成されていて、この穴303内に固定子3のエンドキャップ13を挿入・配置させ、それを固定ねじ部材305をねじ込むことにより固定する。上記固定子位置調整用部材301には雄ねじ部307が突出・配置されている。又、上記固定子位置調整用部材301には割り309、311が形成されていて、これら割り309、311を介してブロック部313が設けられている。
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In this case, a stator position adjusting member 301 is disposed between the support member 27 and the stator 3. A hole 303 is formed in the stator position adjusting member 301, and the end cap 13 of the stator 3 is inserted and disposed in the hole 303, and is fixed by screwing a fixing screw member 305. A male screw portion 307 protrudes and is disposed on the stator position adjusting member 301. Further, the stator position adjusting member 301 is formed with splits 309 and 311, and a block portion 313 is provided through the splits 309 and 311.

一方、支持部材27を挟んで上記固定子位置調整用部材301の反対側には雌ねじ部材としてのナット315が配置されている。又、支持部材27の貫通孔37の大径孔37aには上記固定子位置調整用部材301が挿入・配置される程度の大きさに構成されている。
その他前記各実施の形態の構成と同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
On the other hand, a nut 315 as a female screw member is disposed on the opposite side of the stator position adjusting member 301 with the support member 27 interposed therebetween. Further, the large-diameter hole 37a of the through hole 37 of the support member 27 is configured to have such a size that the stator position adjusting member 301 is inserted and arranged.
In addition, the same reference numerals are given to the same parts as those of the above-described embodiments, and the description thereof is omitted.

以上の構成を基にその作用を説明する。
まず、固定子3を固定子位置調整部材301に挿入・固定する。すなわち、固定子3のエンドキャップ13を穴303内に挿入・配置させ、固定ねじ部材305を螺合させることにより固定するものである。
次に、固定子位置調整部材301を支持部材27の貫通孔37の大径孔37a内に挿入する。後は、ナット315を雄ねじ部307に螺合させることにより、固定子位置調整部材301ひいては固定子3を引っ張ってその位置の調整・設定を行なう。
The operation will be described based on the above configuration.
First, the stator 3 is inserted and fixed to the stator position adjusting member 301. That is, the end cap 13 of the stator 3 is inserted and arranged in the hole 303 and fixed by screwing the fixing screw member 305.
Next, the stator position adjusting member 301 is inserted into the large diameter hole 37 a of the through hole 37 of the support member 27. Thereafter, the nut 315 is screwed into the male threaded portion 307, whereby the stator position adjusting member 301 and then the stator 3 are pulled to adjust and set the position.

よって、前記第1〜第3の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができる。 Therefore, the same effects as those of the first to third embodiments can be obtained.

次に、図15乃至図18を参照して本発明の第5の実施の形態を説明する。この実施の形態の場合には、前記第4の実施の形態において、固定子位置調整部材301側に雌ねじ部401を設け、支持部材27を挟んで反対側にねじ部材403を配置し、ねじ部材403を雌ねじ部401に螺合させることにより、固定子位置調整部材301ひいては固定子3を引っ張ってその位置を調整するようにしたものである。
その他の構成は前記第4の実施の形態の場合と同じであり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
よって、前記第4の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏することができる。
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the case of this embodiment, in the fourth embodiment, the female screw portion 401 is provided on the stator position adjusting member 301 side, the screw member 403 is disposed on the opposite side across the support member 27, and the screw member By screwing 403 into the female thread portion 401, the stator position adjusting member 301 and then the stator 3 are pulled to adjust its position.
Other configurations are the same as those of the fourth embodiment, and the same portions are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
Therefore, the same operation and effect as in the case of the fourth embodiment can be obtained.

次に、図19乃至図21を参照して本発明の第6の実施の形態を説明する。この実施の形態の場合には、固定子支持部19の支持部材27を移動可能に構成し、その外側に別のブラケット501を設置・固定している。このブラケット501に貫通孔503を穿孔し、又、上記支持部材27側に雌ねじ部505を設けている。そして、ねじ部材507を上記貫通孔503を通して上記雌ねじ部505に螺合させることにより支持部材27ひいては固定子3を引っ張ってその位置を調整・設定するものである。

その他の構成は前記第1〜第5の実施の形態の場合と同じであり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
よって、前記各実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏することができる。
Next, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the case of this embodiment, the support member 27 of the stator support portion 19 is configured to be movable, and another bracket 501 is installed and fixed on the outside thereof. A through hole 503 is formed in the bracket 501, and a female screw portion 505 is provided on the support member 27 side. Then, the screw member 507 is screwed into the female screw portion 505 through the through hole 503, whereby the support member 27 and then the stator 3 are pulled to adjust and set the position.

Other configurations are the same as those in the first to fifth embodiments, and the same portions are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
Therefore, the same actions and effects as those in the above embodiments can be obtained.

尚、本発明は前記第1〜第6の実施の形態に限定されるものではない。要は固定子の少なくとも一端を螺合構造によって直接又は間接に支持し、その螺合構造を利用して固定子を移動させてその位置の調整・設定ができるようなものであればよい。
又、前記第1〜第6の実施の形態の場合には、左右の固定子支持部19、19を同様の構成としたが、左右何れかのみを位置調整可能な構成としてもよい。
又、その他の構成については図示したものはあくまで一例であってそれに限定されるものではない。
The present invention is not limited to the first to sixth embodiments. In short, it is sufficient that at least one end of the stator is supported directly or indirectly by a screwing structure, and the position can be adjusted and set by moving the stator using the screwing structure.
Further, in the first to sixth embodiments, the left and right stator support portions 19 and 19 have the same configuration, but only the left or right may be configured to be position adjustable.
In addition, the other configurations shown are merely examples and are not limited thereto.

本発明はリニアモータを採用したアクチュエータに係り、特に、固定子の位置決め機構の構成を改良することにより、固定子の位置決め作業の容易化を図ることができるように工夫したものに関し、例えば、精密位置決めにシステムに使用するアクチュエータに好適である。 The present invention relates to an actuator that employs a linear motor, and more particularly to an actuator devised so as to facilitate the positioning operation of the stator by improving the configuration of the stator positioning mechanism. It is suitable for an actuator used in a system for positioning.

本発明の第1の実施の形態を示す図で、アクチュエータの構成を示す側断面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a sectional side view which shows the structure of an actuator. 本発明の第1の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a disassembled perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第1の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための斜視図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第1の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a disassembled perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第1の実施の形態を示す図で、図5(a)はリニアモータの固定子を支持する支持部材等の構成を示す側面図、図5(b)は図5(a)のb−b断面図である。FIGS. 5A and 5B are views showing a first embodiment of the present invention, FIG. 5A is a side view showing the configuration of a support member and the like that support a stator of a linear motor, and FIG. 5B is a view of FIG. It is bb sectional drawing. 本発明の第2の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is a disassembled perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第2の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための斜視図である。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is a perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第2の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is a disassembled perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第3の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。It is a figure which shows the 3rd Embodiment of this invention, and is a disassembled perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第3の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための斜視図である。It is a figure which shows the 3rd Embodiment of this invention, and is a perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第3の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。It is a figure which shows the 3rd Embodiment of this invention, and is a disassembled perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第4の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。It is a figure which shows the 4th Embodiment of this invention, and is a disassembled perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第4の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための斜視図である。It is a figure which shows the 4th Embodiment of this invention, and is a perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第4の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。It is a figure which shows the 4th Embodiment of this invention, and is a disassembled perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第5の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。It is a figure which shows the 5th Embodiment of this invention, and is an exploded perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第5の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための斜視図である。It is a figure which shows the 5th Embodiment of this invention, and is a perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第5の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。It is a figure which shows the 5th Embodiment of this invention, and is an exploded perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第5の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。It is a figure which shows the 5th Embodiment of this invention, and is an exploded perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第6の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。It is a figure which shows the 6th Embodiment of this invention, and is an exploded perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第6の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための斜視図である。It is a figure which shows the 6th Embodiment of this invention, and is a perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 本発明の第6の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。It is a figure which shows the 6th Embodiment of this invention, and is an exploded perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 従来例を示す図で、リニアモータの構成を示す側断面図である。It is a figure which shows a prior art example, and is a sectional side view which shows the structure of a linear motor. 従来例を示す図で、アクチュエータの構成を示す側断面図である。It is a figure which shows a prior art example, and is a sectional side view which shows the structure of an actuator. 従来例を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。It is a figure which shows a prior art example, and is an exploded perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 従来例を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための斜視図である。It is a figure which shows a prior art example, and is a perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 従来例を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。It is a figure which shows a prior art example, and is an exploded perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor. 従来例を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための斜視図である。It is a figure which shows a prior art example, and is a perspective view for demonstrating sequentially the positioning operation | work of the stator of a linear motor.

符号の説明Explanation of symbols

1 リニアモータ
3 固定子
5 可動子
7 非磁性センター軸
9 永久磁石
11 非磁性薄肉パイプ11
13 エンドキャップ
15 コイルケース
17 コイル部
19 固定子支持部
27 支持部材
39 雌ねじ部
41 ねじ部材
43 固定ねじ部材



























1 linear motor 3 stator 5 mover 7 nonmagnetic center shaft 9 permanent magnet 11 nonmagnetic thin-walled pipe 11
13 End cap 15 Coil case 17 Coil part 19 Stator support part 27 Support member 39 Female thread part 41 Screw member 43 Fixed screw member



























Claims (5)

複数個の永久磁石を積層・配置してなるとともにシャフト状に延長された固定子と、上記固定子の外周側に移動可能に設置されコイルを備えた可動子とを具備してなるリニアモータと、
上記固定子の両端を夫々支持する一対の固定子支持部と、
を備えたアクチュエータにおいて、
上記一対の固定子支持部の少なくとも一方において螺合構造を利用して直接的に又は間接的に固定子を移動可能に支持するとともに任意の位置にて固定可能に構成したことを特徴とするアクチュエータ。
A linear motor comprising a stator that is formed by laminating and arranging a plurality of permanent magnets and extended in the shape of a shaft; and a mover having a coil that is movably installed on the outer periphery of the stator. ,
A pair of stator support portions for supporting both ends of the stator, and
In an actuator with
An actuator characterized in that at least one of the pair of stator support portions supports the stator movably directly or indirectly using a screwing structure and can be fixed at an arbitrary position. .
請求項1記載のアクチュエータにおいて、
上記固定子支持部は、上記固定子の端部が挿入・配置される貫通孔を備えた支持部材と、上記固定子の端部側に直接又は間接に設けられた雌ねじ部と、上記支持部材を挟んで上記固定子の反対側から上記雌ねじ部に螺合される雄ねじ部材と、から構成されていて、上記雄ねじ部材を上記雌ねじ部に螺合させることにより固定子を移動させるようにしたことを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 1, wherein
The stator support portion includes a support member having a through hole into which an end portion of the stator is inserted and arranged, a female screw portion provided directly or indirectly on the end portion side of the stator, and the support member And a male screw member that is screwed into the female screw portion from the opposite side of the stator, and the stator is moved by screwing the male screw member into the female screw portion. An actuator characterized by.
請求項1記載のアクチュエータにおいて、
上記固定子支持部は、上記固定子の端部が挿入・配置される貫通孔を備えた支持部材と、上記固定子の端部に直接又は間接に設けられた雄ねじ部と、上記支持部材を挟んで上記固定子の反対側から上記雄ねじ部に螺合される雌ねじ部材と、から構成されていて、上記雌ねじ部材を上記雄ねじ部に螺合させることにより固定子を移動させるようにしたことを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 1, wherein
The stator support portion includes a support member having a through-hole into which an end portion of the stator is inserted and arranged, a male screw portion provided directly or indirectly at the end portion of the stator, and the support member. A female screw member that is screwed into the male screw portion from the opposite side of the stator, and the stator is moved by screwing the female screw member into the male screw portion. Characteristic actuator.
請求項2又は請求項3に記載のアクチュエータにおいて、
上記支持部材には固定ねじ部材が螺合されていて、上記固定子を移動させてその位置が調整・設定された後に固定ねじ部材を螺合させて上記固定子を固定させるように構成したことを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 2 or claim 3,
A fixing screw member is screwed onto the support member, and the stator is fixed by moving the stator and adjusting and setting the position thereof, and then screwing the fixing screw member. An actuator characterized by.
請求項1記載のアクチュエータにおいて、
上記固定子支持部は、上記固定子の端部が挿入・配置される貫通孔を備えるとともに移動可能であって任意の位置に固定可能に設けられた支持部材と、支持部材を挟んで上記固定子の反対側に設置されたブラケットと、上記ブラケットを介して上記支持部材に螺合された螺合部材と、から構成されていて、上記螺合部材を適宜の方向に螺合させることにより支持部材ひいては固定子を移動させるようにしたことを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 1, wherein
The stator support portion includes a support member provided with a through-hole into which an end portion of the stator is inserted and arranged, and is movable and can be fixed at an arbitrary position. A bracket installed on the opposite side of the child, and a screwing member screwed to the support member via the bracket, and supported by screwing the screwing member in an appropriate direction. An actuator characterized by moving a member and by extension a stator.
JP2006002007A 2006-01-10 2006-01-10 Actuator Pending JP2007185054A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006002007A JP2007185054A (en) 2006-01-10 2006-01-10 Actuator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006002007A JP2007185054A (en) 2006-01-10 2006-01-10 Actuator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007185054A true JP2007185054A (en) 2007-07-19

Family

ID=38340676

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006002007A Pending JP2007185054A (en) 2006-01-10 2006-01-10 Actuator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007185054A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7714465B2 (en) * 2008-08-12 2010-05-11 Hiwin Mikrosystem Corp. Anti-deformation mechanism for an axial rod motor

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0275984A (en) * 1988-09-12 1990-03-15 G D S:Kk Passive radar equipment
JP2005347310A (en) * 2004-05-31 2005-12-15 Juki Corp Electronic component mounting apparatus

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0275984A (en) * 1988-09-12 1990-03-15 G D S:Kk Passive radar equipment
JP2005347310A (en) * 2004-05-31 2005-12-15 Juki Corp Electronic component mounting apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7714465B2 (en) * 2008-08-12 2010-05-11 Hiwin Mikrosystem Corp. Anti-deformation mechanism for an axial rod motor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5194472B2 (en) Linear motor and tool moving device having the same
US8511235B2 (en) Linear transport device
JP5292707B2 (en) Moving magnet type linear motor
KR101641396B1 (en) Combined linear and rotary actuator
KR100965342B1 (en) Zero point setting method for linear motor
WO2012039449A1 (en) Inchworm actuator
JP2007221960A (en) Cylindrical linear motor
JP2010183728A (en) Linear actuator
JP5116317B2 (en) Cylindrical linear motor
JP2010127797A (en) Small-sized material testing machine
JP2009014542A (en) Material testing machine
JP2007185054A (en) Actuator
JP5268312B2 (en) Linear motor and linear motor mounting method
KR20180030864A (en) Transverse flux linear motor
US20090015077A1 (en) Linear motor
JP2008228545A (en) Moving magnet type linear motor
JP2023029428A (en) Lens barrel and imaging device
JP6128509B2 (en) Actuator
JPH07170710A (en) Linear actuator
JP4916933B2 (en) Permanent magnet fixing structure of direct acting motor
JP2006353022A (en) Linear motor
JP7158661B2 (en) vertical linear actuator
US20090026848A1 (en) Linear motor
JP6959023B2 (en) Linear actuator
JP2020195200A (en) Linear actuator and xy-table

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20081224

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110217

A977 Report on retrieval

Effective date: 20110224

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A521 Written amendment

Effective date: 20110411

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A02 Decision of refusal

Effective date: 20111014

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02