JP2007180509A - 固体撮像装置及びこれを備えたカメラ - Google Patents

Abstract

【課題】良質な映像信号を高速に出力できる固体撮像装置を提供する。
【解決手段】駆動パルスφＨ１及びφＨ２の印加に応じて信号電荷を水平方向に転送する水平転送部１０と、複数の光電変換部５０および垂直転送部４０への信号電界の読み出しを制御する列方向に独立の駆動電極とを有する振り分け転送部２０を備えている。振り分け転送部２０の垂直転送部４０は、２ｎ＋１（ｎは１以上の整数）列毎に同じ電極構造を有し、駆動パルスφＶ１〜φＶ６、φＶ３Ｒ、φＶ３Ｌ、φＶ５ＲおよびφＶ５Ｌが印加される駆動電極Ｖ１〜Ｖ６、Ｖ３Ｒ、Ｖ３Ｌ、Ｖ５ＲおよびＶ５Ｌを備えている。駆動電極Ｖ１、Ｖ２、Ｖ４、Ｖ６は全列にわたる共通電極であり、駆動電極Ｖ３、Ｖ３Ｒ、Ｖ３ＬおよびＶ５、Ｖ５Ｒ、Ｖ５Ｌは各列において島状に分離した独立電極である。振り分け転送部２０は垂直転送部４０から水平転送部１０への信号電荷の読み出しを列毎に独立に制御する。
【選択図】図１Ｂ

Description

本発明は電荷結合素子を用いた固体撮像装置に関する。

デジタルスチルカメラなどに搭載される固体撮像装置は、小型軽量化、高信頼性に加え、高感度、高ダイナミックレンジさらに高解像度化が要望されている。

そこで、特許文献１および特許文献２に示される従来技術の固体撮像装置について説明する。

図７Ａ及び７Ｂは従来の固体撮像装置を示す図である。より特定的には、図７Ａは概略構成図であり、図７Ｂは撮像領域３０から水平転送部１０への信号電荷の読み出しを制御するために列方向に独立して設けられる複数の駆動電極を有する振り分け転送部２０のゲート構成図である。また、図８は振り分け転送部の配線概略図である。

図７Ａより、従来の固体撮像装置は、画素に対応して２次元状に配列され、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）および青（Ｂ）の３色のカラーフィルタのいずれかが設けられる複数の光電変換部５０と、駆動電極Ｖ１〜Ｖ６、Ｖ３Ｒ、Ｖ３Ｌ、Ｖ５ＲおよびＶ５Ｌを具備するＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）により構成されている。

さらに、従来の固体撮像装置は、駆動パルスφＶ１〜φＶ６、φＶ３Ｒ、φＶ３Ｌ、φＶ５ＲおよびφＶ５Ｌの印加に応じて、光電変換部５０で生成した信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直転送部４０と、駆動電極Ｈ１およびＨ２を備えている。

さらに、従来の固体撮像装置は、駆動パルスφＨ１およびφＨ２の印加に応じて信号電荷を出力アンプ６０へと水平方向に転送する水平転送部１０と、複数の光電変換部５０および垂直転送部４０が配置される撮像領域３０と水平転送部１０との間に配設され、かつ、撮像領域３０から水平転送部１０への信号電荷の読み出しを制御するために列方向に独立して設けられる複数の駆動電極が形成された振り分け転送部２０とを備えている。

また、図７Ｂより、振り分け転送部２０の垂直転送部４０は、２ｎ＋１（ｎは１以上の整数）列毎に同じ電極構造を有し、駆動パルスφＶ１〜φＶ６、φＶ３Ｒ、φＶ３Ｌ、φＶ５ＲおよびφＶ５Ｌが印加される駆動電極Ｖ１〜Ｖ６、Ｖ３Ｒ、Ｖ３Ｌ、Ｖ５ＲおよびＶ５Ｌを備えている。

なお、駆動電極Ｖ１、Ｖ２、Ｖ４およびＶ６は全列にわたる共通電極であり、駆動電極Ｖ３、Ｖ３Ｒ、Ｖ３Ｌ、Ｖ５、Ｖ５ＲおよびＶ５Ｌは各列において島状に分離した独立電極であり、振り分け転送部２０は、垂直転送部４０から水平転送部１０への信号電荷の読み出しを列毎に独立に制御する。

また、図８より、振り分け転送部２０の駆動電極Ｖ３、Ｖ３Ｒ、Ｖ３Ｌ、Ｖ５、Ｖ５ＲおよびＶ５Ｌには、独立配線１１０を介して駆動パルスが入力されている。

この場合、振り分け転送部２０に駆動パルスを供給するために、独立電極Ｖ３、Ｖ３Ｒ、Ｖ３Ｌ、Ｖ５、Ｖ５Ｒ、Ｖ５Ｌ用に計６本の独立配線１１０が必要である。駆動電極Ｖ３、Ｖ３Ｒ、Ｖ３Ｌには、各独立配線１１０は、撮像領域３０の水平転送方向を延びて接続され、駆動電極Ｖ５、Ｖ５ＲおよびＶ５Ｌには、各独立配線１１０は、水平転送部上を超えて接続される。
特開２００４−１８０２８４号公報 特開２００５−１６６８２６号公報

従来技術で示された固体撮像装置においては、駆動電極Ｖ５、Ｖ５ＲおよびＶ５Ｌに接続される独立配線は、アルミニウム層に形成される。この場合、水平転送部はタングステン層によって遮光されることとなり、十分な遮光特性を得ることが出来ない場合があるという課題を有していた。

上記従来の課題に鑑み、本発明は、振り分け転送部を有し、かつ、水平転送部の遮光性を更に向上させるために、水平転送部がアルミニウム層等の遮光性能が高い金属層で覆われた固体撮像装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決するために、本発明の第１の局面は、信号電荷を生成する光電変換部と、信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、垂直転送部から信号電荷を受け取り、受け取った信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、垂直転送部から水平転送部へ信号電荷を転送するために列方向に独立して設けられる複数の駆動電極を備えた振り分け転送部と、水平転送部上に形成されると共に、駆動電極に接続され、水平転送部を遮光する第１の配線とを備える固体撮像装置に向けられている。

水平転送部は、第１の配線のみで遮光されることがより好ましい。

第１の配線は、アルミニウム層に形成されることがより好ましい。

本発明の固体撮像装置は、水平転送部上に形成される第２の遮光層を更に備えていることがより好ましい。

また、本発明の固体撮像装置は、振り分け転送部上に形成される第２の遮光層を更に備えることがより好ましい。

また、本発明の固体撮像装置は、水平転送部上に形成される第２の配線を更に備えることがより好ましい。

また、第２の配線は、アルミニウム層である第２の遮光層に形成されることがより好ましい。

また、本発明の固体撮像装置は、振り分け転送部は、ｎ（ｎは２以上の整数）列毎に同じ電極構造を有することがより好ましい。

更に、本発明の固体撮像装置は、振り分け転送部上の領域と、水平転送部上の領域との少なくとも一方に形成される黒色のオンチップレンズ層を更に備えることがより好ましい。

あるいは、本発明の固体撮像装置は、振り分け転送部上の領域と、水平転送部上の領域との少なくとも一方に形成される着色したオンチップレンズ層を更に備えることがより好ましい。

また、本発明の第２の局面は、第１の局面に係る固体撮像装置を備えたカメラに向けられている。

本発明に係る固体撮像装置によれば、画素混合において信号電荷を捨てることなく、また水平転送部において各混合画素群の重心は等間隔を有するので、水平方向の画素数を削減し、かつ、モワレや偽信号を生じることなく良質な映像信号を高速に出力できる。

また、駆動電極のための独立配線を撮像領域の水平転送方向側から全ての配線を形成するため、水平転送部の遮光をアルミニウム層で遮光することができ、従来技術よりも優れた遮光性能を得ることが出来る。

また、水平電荷転送部の遮光を高さ方向において、より高い位置にあるアルミニウム層等の金属層で遮光することができるので、ポリシリコンゲート電極と遮光層との端子間容量を低く抑えることができ、水平転送部の時定数によるパルス鈍りを低減することができ、水平転送をより高速で駆動することができ、出力信号のデータレートの高速化ができる。

（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態について図面を参照して説明する。

図１Ａは、本発明の第１の実施形態における固体撮像装置の概略構成図であり、図１Ｂは、振り分け転送部のゲート構成図である。

図１Ａより、撮像領域に入射した光は光電変換部５０によって光電変換され、信号電荷が発生する。信号電荷は光電変換部から読み出しトランジスタ等（図示せず）によって垂直転送部４０に読み出される。その後、信号電荷は、垂直転送部４０で転送されて水平転送部１０に到達する。

また、本発明の実施形態に係る固体撮像装置は、画素に対して２次元状に配列され、かつ、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色のカラーフィルタのいずれかが配置された複数の光電変換部５０と、駆動電極Ｖ１〜Ｖ６、Ｖ３Ｒ、Ｖ３Ｌ、Ｖ５Ｒ及びＶ５Ｌを備えている。

また、本実施形態に係る固体撮像装置は、駆動パルスφＶ１〜φＶ６、φＶ３Ｒ、φＶ３Ｌ、φＶ５Ｒ及びφＶ５Ｌの印加に応じて光電変換部５０で生成した信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直転送部４０と、駆動電極Ｈ１及びＨ２を具備する水平転送部を備えている。

さらに、本実施形態に係る固体撮像装置は、駆動パルスφＨ１及びφＨ２の印加に応じて、信号電荷を水平方向に転送する水平転送部１０と、複数の光電変換部５０および垂直転送部４０からの信号電荷の読み出しを制御する列方向に独立の駆動電極と、を設けた振り分け転送部２０を備えている。

また、図１Ａ及び１Ｂより、振り分け転送部２０の垂直転送部４０は、２ｎ＋１（ｎは１以上の整数）列毎に同じ電極構造を有し、駆動パルスφＶ１〜φＶ６、φＶ３Ｒ、φＶ３Ｌ、φＶ５ＲおよびφＶ５Ｌが印加される駆動電極Ｖ１〜Ｖ６、Ｖ３Ｒ、Ｖ３Ｌ、Ｖ５ＲおよびＶ５Ｌを備えている。

なお、駆動電極Ｖ１、Ｖ２、Ｖ４、Ｖ６は全列にわたる共通電極であり、駆動電極Ｖ３、Ｖ３Ｒ、Ｖ３ＬおよびＶ５、Ｖ５Ｒ、Ｖ５Ｌは各列において島状に分離した駆動電極である。また、振り分け転送部２０は、垂直転送部４０から水平転送部１０への信号電荷の読み出しを列毎に独立に制御する。

以上の構成により、本発明の本実施形態に係る固体撮像装置は、水平方向の画素数を削減し、かつ、モワレや偽信号を生じることなく良質な映像信号を高速に出力できる固体撮像装置を実現することが出来る。

次に、図２に、本発明の実施形態に係る固体撮像装置を駆動する駆動パルスのタイミングチャートを示す。

なお、本発明の実施形態に係る固体撮像装置は、駆動パルスφＶ１〜φＶ６、φＶ３Ｒ、φＶ３Ｌ、φＶ５ＲおよびφＶ５Ｌが高レベルの場合、駆動パルスが印加された駆動電極はストレージ部となり、また、駆動パルスφＶ１〜φＶ６、φＶ３Ｒ、φＶ３Ｌ、φＶ５ＲおよびφＶ５Ｌが低レベルの場合、駆動パルスが印加された駆動電極はバリア部となる。

まず、図２のタイミングＡでは、駆動電極Ｖ５Ｌ、Ｖ６がストレージとなり、Ｖ５Ｌラインの電荷のみ水平転送部１０へ転送される。Ｖ５Ｌラインから水平転送部１０への電荷の転送が終了すると、水平転送部１０の駆動電極Ｈ１およびＨ２を駆動させることによって、転送された電荷を順方向（出力アンプ６０に向かう方向）に２画素分移動させる。

次に、図２のタイミングＢでは、駆動電極Ｖ５、Ｖ６がストレージとなり、Ｖ５ラインの電荷のみ水平転送部１０へ転送される。この結果、タイミングＡで水平転送部１０へ転送されたＶ５Ｌラインの電荷と水平転送部内でＶ５ラインの電荷が混合される。電荷が混合された後に水平転送部１０の駆動電極Ｈ１およびＨ２を駆動させることによって、混合された電荷を順方向に２画素分移動させる。

次に、図２のタイミングＣでは、駆動電極Ｖ５Ｒ、Ｖ６がストレージとなり、Ｖ５Ｒラインの電荷のみ水平転送部へ転送される。この結果、混合されたＶ５およびＶ５Ｌラインの電荷は、更にＶ５Ｒラインの電荷と水平転送部内で混合される。

すなわち、本発明の実施形態に係る固体撮像装置は、垂直転送部４０、水平転送部１０および振り分け転送部２０に各駆動パルスを印加して駆動することにより、水平方向に並ぶ３画素の信号電荷を混合することが出来る。

次に、図３は本発明の本実施形態に係る固体撮像装置の振り分け転送部２０と水平転送部１０の一部分を示す図であり、配線構造の概略を示している。

図３より、本発明の本実施形態に係る固体撮像装置において、駆動電極Ｖ３、Ｖ３Ｒ、Ｖ３Ｌ、Ｖ５およびＶ５Ｒへ駆動パルスを印加するための第１の配線１１０は、振り分け転送部上を水平転送方向に延びるように形成され、駆動電極Ｖ５Ｌへ駆動パルスを供給する第１の配線１００のみが水平転送部１０上を全て覆うように形成される。

さらに、垂直転送部４０と水平転送部１０の繋ぎ部付近において、信号電荷の読み出しを列毎に独立に制御する振り分け転送部２０に設けられている各駆動電極Ｖ３、Ｖ３Ｒ、Ｖ３ＬおよびＶ５、Ｖ５Ｒには、各々独立に設けられる第１の配線１１０によって、駆動パルスφＶ３、φＶ３Ｒ、φＶ３Ｌ、φＶ５、φＶ５Ｒが供給される。

すなわち、本発明の実施形態に係る固体撮像装置においては、駆動電極Ｖ３、Ｖ３Ｒ、Ｖ３ＬおよびＶ５、Ｖ５Ｒへ駆動パルスを供給するための第１の配線１１０は、全て撮像領域３０の水平転送方向側から振り分け転送部２０に配線される構造となっている。

また、駆動電極Ｖ５Ｌへ駆動パルスを印加するための第１の配線１００は、水平転送部１０を全て覆うように形成されている。なお、駆動電極Ｖ５Ｌの配線に使用した第１の配線１００は、アルミニウム等の遮光性の高い金属よりなる金属層に形成される。

さらに、本発明の詳細な理解を助けるために、本実施形態と従来技術とを比較しながら説明する。

図９は、従来技術の固体撮像装置のポリシリコンゲート電極とアルミニウム層からなる水平転送部の配線レイアウトの詳細図であり、図１０は図９のＮ−Ｎ’における従来構造の水平転送部の断面図である。

一方、図４は本発明の実施形態に係る固体撮像装置のポリシリコンゲート電極２１０、２２０とアルミニウム層１００、１１０からなる配線レイアウトの詳細図であり、図５は図４のＭ−Ｍ‘における本実施形態例の水平転送部１０の断面図である。

図９、図１０より、従来技術の固体撮像装置はシリコン基板６００と、シリコン基板６００上に形成される複数のポリシリコンゲート電極２１０及び２２０と、ポリシリコンゲート電極２１０及び２２０を覆うように形成される第１の遮光層３００と、第１の遮光層３００上に形成される層間膜４００と、層間膜４００上に形成されるバリアメタル５００と、バリアメタル上に形成される第１の配線１１０とを備える。このように、従来の固体撮像装置においては、水平転送部１０は、タングステンよりなる第１の遮光層３００と第１の配線１１０のアルミニウム層とによって遮光されている。

しかし、図９から明らかなように、第１の配線１１０のアルミニウム層がストライプ状に形成されるため、水平転送部１０のうち、第１の遮光層３００であるタングステン層だけで遮光される部分が生じる。そのため、水平転送部１０のうち、タングステン層だけで遮光される部分は十分な遮光特性を得ることが出来ない場合がある。

また、水平転送部１０上には、第１の遮光層３００であるタングステン層とポリシリコンゲート電極２１０、２２０で形成されている水平転送電極とが、シリコン基板６００の法線方向において、近接しているため、第１の遮光層３００とポリシリコンゲート電極２１０、２２０との間の端子間容量が増加する場合がある。

これに対して、本発明の実施形態に係る固体撮像装置は、図４、図５にあるように、シリコン基板６００と、シリコン基板６００上に形成される複数のポリシリコンゲート電極２１０及び２２０と、ポリシリコンゲート電極２１０及び２２０を覆うように形成される層間膜４００と、層間膜４００上に形成されるバリアメタル５００と、バリアメタル５００上に形成される第１の配線１００とを備える。このように、本実施形態に係る固体撮像装置は、水平転送部１０がアルミニウム層によって遮光されている構造を有する。

すなわち、水平転送部１０をアルミニウム等の遮光性の高い金属よりなる金属層で遮光することができるため、従来技術よりも優れた遮光性能を得ることが出来る。

さらに、本発明の実施形態に係る固体撮像装置は、駆動電極Ｖ５Ｌに駆動パルスを供給する配線が水平転送部１０を全て覆うように形成されていることにより、駆動電極に駆動パルスを供給するために撮像領域３０の水平転送方向側から振り分け転送部２０に接続される配線に要するスペースを１本分減らすことができる。

また、その他の駆動電極Ｖ３、Ｖ３Ｒ、Ｖ３Ｌ、Ｖ５、Ｖ５Ｒを全て撮像領域３０の水平転送方向側から配線することが出来る。

さらに、本発明の実施形態に係る固体撮像装置は、水平転送部１０の遮光は、タングステン層が形成される層よりも上層に形成されるアルミニウム層によってなされるため、図５に示されるように、ポリシリコンゲート電極と遮光層との間の端子間容量を低減することができる。

すなわち、本発明の実施形態に係る固体撮像装置によれば、ポリシリコンゲート電極２１０、２２０と、アルミニウム層に形成される第１の配線１００との端子間容量を低減することにより、水平転送部１０の端子間容量と抵抗とから求められる時定数を低減することができ、その結果、水平転送駆動パルスの鈍りを減らすことができる。

さらに、端子間容量を低減することができるため、従来技術よりも水平転送部１０の高速転送を行うことが出来る。

また、本発明の実施形態に係る固体撮像装置においては、水平転送部１０を遮光するために用いるアルミニウム層の遮光層を、振り分け転送部２０内の駆動電極Ｖ５Ｌ用の配線として用いているため、微細セルにおいても駆動電極の配線を形成することが出来る。

さらに、従来技術では水平転送部上に形成される配線に駆動電極Ｖ５Ｌに供給する駆動パルスを印加しているため、水平転送部の駆動電極Ｈ１およびＨ２と、駆動電極Ｖ５Ｌに接続される当該配線との間でカップリングが起こり、水平駆動パルスに駆動電極Ｖ５Ｌのパルスが影響を及ぼし、水平転送不良が起こるということが懸念される。これに対して、本発明の固体撮像装置では、図２に示されるように、遮光層として機能するアルミニウム層（第１の配線１００）に駆動パルスが印加される期間は、水平ブランキング期間（水平転送部が静止している期間）に含まれるため、水平転送部１０の遮光層に駆動パルスを印加することによる水平転送不良は発生しない。

さらに、従来の固体撮像装置では、撮像領域に用いられているタングステン層を水平転送部１０の遮光のために用いていたが、本発明の固体撮像装置では、アルミニウム層の一部で駆動電極Ｖ５Ｌの配線と、遮光膜とを兼ねることができるため、配線および遮光のために新たな層を形成する必要がない。

なお、本実施形態の固体撮像装置では、アルミニウム層である第１の配線１００により水平転送部１０の遮光をしたが、本発明のその他の実施形態として水平転送部１０に第１及び第２の遮光層よりなる２層構造のアルミニウム層を形成し、第１の配線と遮光膜とを兼ねる第１の遮光層に加えて、第２の遮光層を用いて水平転送部１０を遮光してもよい。また、水平転送部１０上にアルミニウムによって第１及び第２の遮光層を形成した場合、駆動電極Ｖ３、Ｖ３Ｒ、Ｖ３Ｌ、Ｖ５、Ｖ５ＲおよびＶ５Ｌに接続される配線を、第１の遮光層に形成される第１の配線と、第２の遮光層に形成される第２の配線とに振り分けた配線構造としてもよい。

なお、本実施形態の固体撮像装置では、アルミニウム層に形成される第１の配線１１０が駆動電極Ｖ３、Ｖ３Ｒ、Ｖ３Ｌ、Ｖ５、Ｖ５ＲおよびＶ５Ｌに接続されるが、本発明のその他の実施形態として、振り分け転送部２０上に２層構造のアルミニウム層を形成し、駆動電極Ｖ３、Ｖ３Ｒ、Ｖ３Ｌ、Ｖ５、Ｖ５ＲおよびＶ５Ｌに接続される配線を、第１のアルミニウム層に形成される第１の配線と、第２のアルミニウム層に形成される第２の配線とに振り分けた配線構造としてもよい。

なお、本発明の固体撮像装置において、水平転送部１０上にオンチップレンズ層を形成してもよいし、振り分け転送部２０上に黒色のオンチップレンズ層を形成してもよい。

なお、本発明の固体撮像装置は、黒色のオンチップレンズ層は、複数の色を積層した例えば、ＲとＢを積層した黒色に近いレンズ層にしてもよい。

なお、オンチップレンズ層の形成は、例えば光電変換部５０へのカラーフィルタの形成工程で行われればよい。これによって、新たな製造工程を加えること無く、転送部への光の進入を防止することができるので、画質の劣化を簡易に防止することができる。

なお、本実施形態では、２ｎ＋１列毎周期で同じ電極構造を有する固体撮像装置を例として説明を行ったが、本発明のその他の実施形態として、２ｎ（ｎは１以上の整数）列毎周期で同じ電極構造を有する固体撮像装置にも同様に本発明を適用することができる。

なお、本実施形態では、カラーフィルタの例としてＲＧＢの３色フィルタで説明したが、本発明のその他の実施形態として、カラーフィルタは、シアン、マゼンタ、黄、緑などの４色フィルタであっても構わない。

なお、本実施形態の固体撮像装置は、駆動電極Ｖ３、Ｖ３Ｒ、Ｖ３Ｌ、Ｖ５、Ｖ５ＲおよびＶ５Ｌへの配線は撮像領域の水平転送方向の両側から配線する構造としていたが、本発明のその他の実施形態として、片側からの配線であっても構わない。

（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態に係る固体撮像装置を搭載したカメラについて、図面を参照しながら説明する。

図６は、本発明の第２の実施形態に係る固体撮像装置を搭載したカメラを示すブロック図である。

図６より、本実施形態に係るカメラは、レンズ１０００と、上記の第１の実施形態に係る固体撮像装置１０１０と、駆動回路１０２０と、信号処理部１０３０と、外部インターフェイス１０４０とを備える。

このカメラにおいて、レンズ１０００を透過した光は、固体撮像装置１０１０に入る。信号処理部１０３０は、駆動回路１０２０を制御して固体撮像装置１０１０を駆動して、固体撮像装置１０１０からの出力信号を取り込み、取り込んだ出力信号に種々の処理を施す。信号処理部１０３０で処理された信号は、外部インターフェイス１０４０を通して外部に出力される。

このような構成を備えた本発明の実施形態に係るカメラは、固体撮像装置１０１０から高速にデータを出力させることが出来る。

また、固体撮像装置１０１０は遮光性に優れているため、光が遮光層を透過することによる水平方向のスミアや、空転送部にスミア成分が入ることによるクランプミス等の不良を防ぐことが出来る。

したがって、本発明の実施形態に係るカメラは、高輝度被写体撮像時には特にクランプミス等の不具合を発生することなく、良質な画像を撮影することができる。

本発明の固体撮像装置は、高フレームレートを必要とする固体撮像装置に対して有用である。特に高解像度かつ動画撮影時に高フレームレートを必要とするデジタルスチルカメラ等に対して有用である。

本発明の第１の実施形態における固体撮像装置の概略構成図 本発明の第１の実施形態における振り分け転送部のゲート構成図 本発明の第１の実施形態におけるタイミングチャート 本発明の第１の実施形態における振り分け転送部の配線概略図 本発明の第１の実施形態におけるポリシリコンゲート電極とアルミニウムからなる水平転送部の配線レイアウトの詳細を示した図 本発明の第１の実施形態における水平転送部の断面図 本発明の第２の実施形態におけるカメラのブロック図 従来の技術における固体撮像装置の概略構成図 従来の技術における振り分け転送部のゲート構成図 従来の技術における振り分け転送部の配線概略図 従来の技術におけるポリシリコンゲート電極とアルミニウム層からなる水平転送部の配線レイアウトの詳細を示した図 従来の技術における水平転送部の断面図

符号の説明

１０ 水平転送部
２０ 振り分け転送部
３０ 撮像領域
４０ 垂直転送部
５０ 光電変換部
６０ アンプ
１００、１１０ 第１配線
１２０ 遮光層
２１０、２２０ ポリシリコンゲート電極
４００ 層間膜
５００ バリアメタル
６００ シリコン基板
１０００ レンズ
１０１０ 固体撮像装置
１０２０ 駆動回路
１０３０ 信号処理部
１０４０ 外部インターフェイス

Claims (11)

1. 固体撮像装置であって、
   信号電荷を生成する光電変換部と、
   前記信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、
   前記垂直転送部から前記信号電荷を受け取り、受け取った信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、
   前記垂直転送部から前記水平転送部へ信号電荷を転送するために列方向に独立して設けられる複数の駆動電極を備えた振り分け転送部と、
   前記水平転送部上に形成されると共に、前記駆動電極に接続され、前記水平転送部を遮光する第１の配線とを備える、固体撮像装置。
2. 前記水平転送部は、前記第１の配線のみで遮光されることを特徴とする、請求項１に記載の固体撮像装置。
3. 前記第１の配線は、アルミニウム層に形成されることを特徴とする、請求項２に記載の固体撮像装置。
4. 前記水平転送部上に形成される第２の遮光層を更に備える、請求項１に記載の固体撮像装置。
5. 前記振り分け転送部上に形成される第２の遮光層を更に備える、請求項２に記載の固体撮像装置。
6. 前記水平転送部上に形成される第２の配線を更に備える、請求項１に記載の固体撮像装置。
7. 前記第２の配線は、アルミニウム層である前記第２の遮光層に形成されることを特徴とする請求項６に記載の固体撮像装置。
8. 前記振り分け転送部は、ｎ（ｎは２以上の整数）列毎に同じ電極構造を有することを特徴とする、請求項１に記載の固体撮像装置。
9. 前記振り分け転送部上の領域と、前記水平転送部上の領域との少なくとも一方に形成される黒色のオンチップレンズ層を更に備える、請求項１に記載の固体撮像装置。
10. 前記振り分け転送部上の領域と、前記水平転送部上の領域との少なくとも一方に形成される着色したオンチップレンズ層を更に備える、請求項１に記載の固体撮像装置。
11. 固体撮像装置を有するカメラであって、
    前記固体撮像装置は、
    信号電荷を生成する光電変換部と、
    前記信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、
    前記垂直転送部から前記信号電荷を受け取り、受け取った信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、
    前記垂直転送部から前記水平転送部へ信号電荷を転送するために列方向に独立して設けられる複数の駆動電極を備えた振り分け転送部と、
    前記水平転送部上に形成されると共に、前記駆動電極に接続され、前記水平転送部を遮光する第１の配線とを備える、カメラ。

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