JP2007171350A - Sample stage - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a toothed rack having both of flexibility and accuracy and the design of a drive array of the rack. <P>SOLUTION: A sample stage comprises a supporting body and a long and narrow guide part formed on the supporting body and having a first length. At least one movable plate is mounted on the supporting body to be guided by the guide part. The drive array for moving the plate comprises at least one rotatable shaft, an actuator coupled with the shaft to rotate the shaft, a pinion interlocking and coupled with the shaft to transmit the rotation, and a toothed rack having a second length; where the teeth of the rack are engaged with teeth of the pinion and the rotational motion of the pinion is converted into the linear motion of the rack. The rack is flexible, so that a linear portion is suitably guided at least to one bent portion. To provide the rack with some rigid properties in spite of flexibility, the teeth of the rack is mechanically worked on an ethylene halide body. The pinion is suitably engaged with the rack on the outer surface of a bent part in the radius direction. The shaft can be coupled with the pinion in a freely opened state so as to be easily replaced. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

この発明は、第一長さの細長い案内配列によって案内され、支持プレートとその支持プレート上に配列された移動可能なプレートとから成る特に顕微鏡用の試料ステージに関する。この案内配列は案内面から成る。駆動機構は移動可能なプレートを移動させるために設けられている:駆動機構は回転軸と、アクチュエータを回転させて移動可能なプレートを移動させるために軸に連結されたアクチュエータとから成る。さらに、駆動機構はアクチュエータの運動をプレートに伝動する伝動機構から成る。この伝動機構は駆動機構から回転を伝達するために軸に連結された(少なくとも一つの)ピニオンと、第二長さの歯付きラックとを包含する。ラックはピニオンと係合し且つ移動可能なプレートに連結されて移動可能なプレートを移動させる歯から成る。歯付きラックを移動可能なプレートに連結させる連結器がある。この配列には、案内配列が歯付きラックとの案内連結部であり、然して案内配列の第一長さがラックの第二長さより長い。案内配列は少なくとも一つの湾曲された部分とラックが柔軟であるように適切に少なくとも一つの直線部分とから成る。
前記タイプの試料ステージが通常には顕微鏡に使用されるけれども、これら試料ステージは種々の適用に使用されることができる。
The present invention relates to a sample stage for a microscope, in particular, comprising a support plate and a movable plate arranged on the support plate, guided by an elongated guide arrangement of a first length. This guide arrangement consists of guide surfaces. A drive mechanism is provided for moving the movable plate: the drive mechanism comprises a rotating shaft and an actuator coupled to the shaft for rotating the actuator to move the movable plate. Further, the drive mechanism is composed of a transmission mechanism that transmits the motion of the actuator to the plate. The transmission mechanism includes (at least one) pinion coupled to a shaft for transmitting rotation from the drive mechanism and a second length toothed rack. The rack comprises teeth that engage the pinion and are connected to the movable plate to move the movable plate. There are connectors that connect the toothed rack to the movable plate. In this arrangement, the guide arrangement is a guide connection with the toothed rack, and the first length of the guide arrangement is longer than the second length of the rack. The guide arrangement consists of at least one curved part and suitably at least one straight part so that the rack is flexible.
Although these types of sample stages are typically used in microscopes, these sample stages can be used in a variety of applications.

国際特許出願公開第97/26576号明細書(特許文献1)による顕微鏡用試料ステージは静止支持プレートから成り、実施例では試料ステージがクロススライドとして形成され、そのクロススライドに連結された二つの滑りプレートから成る。これら滑りプレートはx,y座標の方向において移動可能である。駆動配列は滑りプレートを移動するために設けられている。二つの共軸方向旋回ノブはアクチュエータとして用いられる。   The microscope sample stage according to WO 97/26576 (Patent Document 1) consists of a stationary support plate, and in the embodiment, the sample stage is formed as a cross slide, and two slides connected to the cross slide. It consists of a plate. These sliding plates are movable in the x and y coordinate directions. A drive arrangement is provided for moving the sliding plate. Two coaxial pivot knobs are used as actuators.

これら共軸方向旋回ノブはそれぞれに回転軸を介してピニオンにしっかりと連結されて、ピニオンが頑丈な歯付きラックの歯と噛み合う。頑丈な歯付きラックの各ラックは連動滑りプレートにしっかりと連結されているので、対応旋回ノブの任意の旋回運動がその連動滑りプレートにしっかりと伝達される。   Each of these coaxial swivel knobs is securely connected to the pinion via a rotating shaft so that the pinion meshes with the teeth of a sturdy toothed rack. Since each rack of a sturdy toothed rack is securely connected to an interlocking sliding plate, any pivoting movement of the corresponding pivoting knob is securely transmitted to the interlocking sliding plate.

出来るだけ大きい移動工程が有効とされる物体を観察する要件がしばしばであり、そして公知の設計は連動滑りプレートより区別可能に長い歯付きラックを備える。しかしながら、この構造は、歯付きラックが滑りプレートの長さを著しく越えるので、例えば顕微鏡試料ステージ用のより高い空間要件ばかりではなく、物体を観察するのに必要な幾つかの場合における試料ステージを旋回することは、もはや出来ないか或いは制限された範囲のみである不利益を有する。   Often there is a requirement to observe an object where a moving process as large as possible is effective, and the known design comprises a toothed rack that is distinguishably longer than an interlocking sliding plate. However, this structure not only provides higher space requirements for, for example, the microscope sample stage, but also the sample stage in some cases necessary to observe the object, since the toothed rack significantly exceeds the length of the sliding plate. Turning has the disadvantage that it can no longer be done or is only limited.

そのような不利益を回避するために、ドイツ民主主義共和国特許第226091号明細書(特許文献2)は滑りプレート用の駆動手段としてケーブル引張りを示唆し、ケーブルが二つの偏向プーリーの周りに案内されている。滑りプレートは非積極的方法で接続されている。偏向プーリーは支持プレートの限度内に位置されていて且つ回転軸によって駆動される。そのような構造は成分の数により費用がかかり、ケーブルが高い磨減りを受けるから、かなりの保守やサービス作業を必要する。その他の不利益は、調整の必要な精度に影響を与える振動に帰着することである。   In order to avoid such disadvantages, DE 226091 suggests cable pulling as a driving means for the sliding plate, the cable being guided around two deflection pulleys. Has been. The sliding plates are connected in a non-positive manner. The deflection pulley is located within the limits of the support plate and is driven by the rotating shaft. Such a structure is expensive due to the number of components and requires considerable maintenance and service work as the cable is subject to high wear and tear. Another disadvantage is that it results in vibrations that affect the accuracy required for adjustment.

ピニオンと協働する柔軟な歯付きラックは、回転運動を直線運動へ変換する伝達ユニットとして米国特許第3822606号明細書(特許文献3)によるコンベアにおいて知られている。柔軟な歯付きラックはその部分のすべての部分において自由に曲げられる得るような弾性を有する。   A flexible toothed rack that cooperates with a pinion is known in conveyors according to US Pat. No. 3,822,606 as a transmission unit for converting rotational movement into linear movement. The flexible toothed rack has such elasticity that it can be bent freely in all parts of the part.

ドイツ特許出願公開第4413884号明細書(特許文献4)はファンモータの回転数の制御成分としてスライダーを有する真空掃除機を開示する。この構造において、スライダーと関連した歯付きラックは器具ハウジングの直線と曲った領域で案内されている。歯付きラックの長さはハウジングの寸法から独立していて、スライダーはハウジングの外縁にまで移動され得る。   German Patent Application No. 4414384 (Patent Document 4) discloses a vacuum cleaner having a slider as a component for controlling the rotational speed of a fan motor. In this construction, the toothed rack associated with the slider is guided in a straight and curved area of the instrument housing. The length of the toothed rack is independent of the dimensions of the housing, and the slider can be moved to the outer edge of the housing.

柔軟な歯付きラックが空間節約構造にできるけれども、それらの一つの問題は幾つかの応用においてあり、マイナス20℃から到達する全く異なる温度条件のもとで作動されなければならないか、或いは室温にまで下げる、又はより高く作動されなければならない。しかしながら、ドイツ特許出願公開第102004007306号明細書(特許文献5)は極端な条件の下で柔軟性を欠くポリオキシメチレンの使用を示唆した。   Although flexible toothed racks can be space-saving structures, one of those problems is in some applications and must be operated under completely different temperature conditions reaching from minus 20 ° C or at room temperature. Must be lowered or higher. However, German Offenlegungsschrift 102004007306 has suggested the use of polyoxymethylene which lacks flexibility under extreme conditions.

それ以上の問題は、歯付きラックが(時間及び/又はある温度範囲にわたり)柔軟であり、その間に歯とその距離が比較的頑丈であって必要な精度を与える矛盾した要件がある。   A further problem is the conflicting requirement that the toothed rack is flexible (over time and / or temperature range) while the teeth and their distance are relatively rugged and provide the required accuracy.

柔軟性/剛性の関係におけるまだ他の問題は幾つかの限定された柔軟性の歯付きラックが曲げた後に半径方向内部案内面から離れて動く傾向を有することである。しかしながら、これは、前記ドイツ文献によると、両方の歯が互いにから離脱される状況まで、歯付きラックの歯により半径方向内部面に位置されているピニオンの係合に影響を与える。   Yet another problem in the flexibility / stiffness relationship is that some limited flexibility toothed racks tend to move away from the radially inner guide surface after bending. However, according to the German document, this affects the engagement of pinions located on the radially inner surface by the teeth of the toothed rack until the situation where both teeth are separated from each other.

先行技術の他の問題は、それぞれのピニオンがある長さの回転軸に接続されなけならないことにある。しかしながら、軸の長さが異なる大きさの試料ステージ及び/又は顕微鏡に適用されなけならない。このことは先行技術の構造では不可能であった。
国際特許出願公開第97/26576号明細書 ドイツ民主主義共和国特許第226091号明細書 米国特許第3822606号明細書 ドイツ特許出願公開第4413884号明細書 ドイツ特許出願公開第102004007306号明細書
Another problem of the prior art is that each pinion must be connected to a length of rotating shaft. However, it must be applied to sample stages and / or microscopes with different axial lengths. This was not possible with prior art structures.
International Patent Application Publication No. 97/26576 German Democratic Republic Patent No. 226091 US Pat. No. 3,822,606 German Patent Application No. 4413884 German patent application 10200407306

この発明の目的は、前記不利益を克服し、特に柔軟性と精度の両方を与える歯付きラックとその駆動配列の設計を見出すことである。   The object of the present invention is to find a design of a toothed rack and its drive arrangement which overcomes the disadvantages and in particular gives both flexibility and accuracy.

他の目的は、それぞれの応用に適用できる駆動配列を提供することである。   Another object is to provide a drive arrangement that can be adapted to the respective application.

本発明の第一態様では、柔軟性/精度は1N/mm2 以下で実質的変更のない最高静止圧荷重のハロゲン化エチレン材料の細長い歯付きラックを備えることによって解決される。このハロゲン化材料が好ましくはポリテトラフルオロエチレン材料である。 In a first aspect of the present invention, flexibility / accuracy is solved by providing an elongated toothed rack of halogenated ethylene material with a maximum static pressure load of 1 N / mm 2 or less and substantially unchanged. This halogenated material is preferably a polytetrafluoroethylene material.

ハロゲン化エチレンと特にポリテトラフルオロエチレンが細長い歯付きラックに形成されるために、通常には焼結され得て、次に必要な柔軟性と、同時に必要な精度を与えるのに必要な歯の剛性とを有しなかったから、成形は二つの工程において行われなければならないことになる:
1.ある柔軟性を与えるために実質的に平行構成における長い高分子鎖を得るように材料を押出すること。この為には、1N/mm2 以下の、好ましくは約0.7N/mm2 の許容圧の材料は、材料がより高い剛性を備える傾向があるから、理想であることがわっかった。「許容圧」という用語は、例えばウイーンにおけるカインドル(Kaindle)或いはハードにおけるファイグル(Faigle)(オーストリア)の供給者によって、ポリテトラフルオロエチレンの含有量に於ける表で慣例的に使用されている。
2.第二工程において、押出し細長いロッドの外面は、好ましくは簡単に材料に歯を機械加工する或いは切断することによって僅かに加熱される。これは驚くべき効果を有する:ポリテトラフルオロエチレンのようなハロゲン化エチレンが温度によりほとんど影響されないと知られているけれども、室温上の比較的低い温度がより高い剛性を有する。理論に見出されることを望むことなしに、温度の増加がその含有量を減少させる可塑剤に影響を与えることが最も確からしい。それで、歯を機械加工する中に表面を局部的に加熱することによって、それぞれの面領域がより硬く或いはさらに頑丈になる。少なくとも40℃、例えば50℃の局部的に加えられた熱(機械加工の短時間中)が所望の剛性を備えるのに十分であることがわかった。
Because the halogenated ethylene and especially polytetrafluoroethylene are formed into an elongated toothed rack, they can usually be sintered, and then the necessary toothing to provide the necessary flexibility and at the same time the required accuracy. Because it did not have rigidity, molding would have to be done in two steps:
1. Extruding material to obtain long polymer chains in a substantially parallel configuration to give some flexibility. For this purpose, materials with a permissible pressure of 1 N / mm 2 or less, preferably about 0.7 N / mm 2 , have proven to be ideal since the materials tend to have higher stiffness. The term “allowable pressure” is customarily used in tables on polytetrafluoroethylene content, for example by suppliers of Kaindle in Vienna or Faigle in Austria (Austria).
2. In the second step, the outer surface of the extruded elongated rod is heated slightly, preferably by simply machining or cutting teeth into the material. This has a surprising effect: although halogenated ethylenes such as polytetrafluoroethylene are known to be hardly affected by temperature, relatively low temperatures above room temperature have higher stiffness. Without wishing to be found in theory, it is most probable that an increase in temperature affects a plasticizer that reduces its content. Thus, by locally heating the surface during machining of the teeth, each face area becomes harder or more robust. It has been found that locally applied heat (during a short time of machining) of at least 40 ° C., for example 50 ° C., is sufficient to provide the desired stiffness.

この表面硬化がさらに必要である本体の柔軟性に影響を与えるのを避けるために、機械加工された歯付きラックを直ちに、好ましくは第三工程において室温まで或いはより低く冷却することがこのましい。   In order to avoid affecting the flexibility of the body where this surface hardening is further required, it is advisable to cool the machined toothed rack immediately, preferably to room temperature or lower in the third step. .

それ故に、本発明は柔軟な本体と硬い歯付き表面の両方を有する歯付きラックを製造する方法に関するものであることがわかる。   Thus, it can be seen that the present invention relates to a method of manufacturing a toothed rack having both a flexible body and a hard toothed surface.

本発明の第二態様では、それぞれのピニオンが軸を交換でき且つ異なる長さの軸を必要とする異なる寸法の顕微鏡或いは器具に試料ステージを組み立てできる開放可能な連結器によって連動された軸に連結されていることが提供されている。   In the second aspect of the invention, each pinion can be exchanged and connected to an interlocked shaft by a releasable coupler that can assemble the sample stage to a different sized microscope or instrument that requires a different length of the shaft. Has been provided.

更なる詳細部や利点は添付図面を参照しながら次の記述から明らかになる。   Further details and advantages will become apparent from the following description with reference to the accompanying drawings.

図1には、顕微鏡(図示されていない)のために適切に使用される試料ステージが表示される。この試料ステージはコンソール3aのような適切な支持配列によって支持された少なくとも二つの水平プレート2と3から成る。そのプレート2は例えばx座標の方向に、即ちその側面の一つと実質的に平行な一方向に直線的に移動でき、その間にクロススライドの場合において順にプレート2を支持するプレート3は、詳細に後で記載されるように、y座標に対応する方向に、即ちプレート2の変位の方向に垂直に移動できる。幾つか例では、x或いはy座標の一方で十分である。支持コンソール3aは顕微鏡の足部分或いは保持部分に連結され得る。   FIG. 1 displays a sample stage that is suitably used for a microscope (not shown). The sample stage consists of at least two horizontal plates 2 and 3 supported by a suitable support arrangement such as a console 3a. The plate 2 can move linearly, for example in the direction of the x-coordinate, i.e. in one direction substantially parallel to one of its sides, while the plate 3 supporting the plate 2 in the case of a cross-slide in turn As will be described later, it can be moved in a direction corresponding to the y-coordinate, ie perpendicular to the direction of displacement of the plate 2. In some examples, one of the x or y coordinates is sufficient. The support console 3a can be connected to the foot portion or the holding portion of the microscope.

水平プレート2と3を移動するために、ノブ6と7を旋回することにより作動される(両方プレート2と3が移動できるならば)適切に共軸方向回転可能軸4と5がある。適切に、旋回ノブ7は内部軸5に連結され、その間に旋回ノブ6は軸4に連結されており、その配列はさらに逆転されることができた。プレート2と3の前記変位は試料ステージのおよそ中心に配列される物体の種々の細部を観察できるために役立つ。各軸4と5はプレート2と3の異なる一方の運動に連動される。それ故に、軸4と5の共軸方向配列が空間を節約し、ノブ6と7による手動作動を容易とするけれども、さらに分離された二つの軸(とノブ)を有することが可能であった。   In order to move the horizontal plates 2 and 3, there are suitably coaxially rotatable shafts 4 and 5 which are actuated by turning the knobs 6 and 7 (if both plates 2 and 3 can be moved). Suitably, the swivel knob 7 is connected to the inner shaft 5 while the swivel knob 6 is connected to the shaft 4 and the arrangement could be further reversed. Said displacement of the plates 2 and 3 is useful in order to be able to observe various details of the object arranged approximately in the center of the sample stage. Each axis 4 and 5 is associated with one different movement of the plates 2 and 3. Therefore, although the coaxial arrangement of shafts 4 and 5 saves space and facilitates manual actuation with knobs 6 and 7, it was possible to have two separate shafts (and knobs). .

図2では、プレート2と3は図1と逆さまに上側で表現され、旋回ノブ7により作動された(図1)軸5の回転運動をこの図においてプレート3の下にある移動可能なプレート2の直線変位へ変換するために駆動機構と伝達機構を例示する。   In FIG. 2, the plates 2 and 3 are represented upside down from FIG. 1, and the rotational movement of the shaft 5 actuated by the swivel knob 7 (FIG. 1) is the movable plate 2 below the plate 3 in this figure. A drive mechanism and a transmission mechanism are illustrated in order to convert the linear displacement into a linear displacement.

プレート3は第一直線部分9a,曲がった部分9bと,例えば部分9aに実質的に(しかし必ずしも必要ない)垂直に延びる他の直線部分9cを包含する溝9を有する。この溝9には、図4と5における大きな寸法で表現される柔軟な歯付きラック8が形成されて延びている。溝9内で歯付きラック8を移動できるために、ラック8は溝9の長さより短い長さを有する。   The plate 3 has a groove 9 that includes a first straight portion 9a, a bent portion 9b, and another straight portion 9c that extends substantially (but not necessarily) perpendicular to the portion 9a, for example. In this groove 9, a flexible toothed rack 8 represented by the large dimensions in FIGS. 4 and 5 is formed and extended. In order to be able to move the toothed rack 8 in the groove 9, the rack 8 has a length shorter than the length of the groove 9.

軸5に連結されたピニオン10は歯付きラック8の歯17(図4)と係合し、滑り運動を歯付きラック8に与える。図2に示された実施例において、ピニオン10は前記曲がった部分9bの範囲内に位置されているけれども、直線部分9cの直接結合部分に位置されている。従って、歯付きラック8の歯17(図4)は曲がった部分9bに関して(図3を参照)少なくともおよそ半径方向内面にある。ピニオンは回転可能にプレート3に支持されている。この細部は図3において大きな寸法に表現され、歯付きラックは簡略化のために省略されている。   The pinion 10 connected to the shaft 5 engages with the teeth 17 (FIG. 4) of the toothed rack 8 to give a sliding motion to the toothed rack 8. In the embodiment shown in FIG. 2, the pinion 10 is positioned within the bent portion 9b but is positioned at the direct coupling portion of the straight portion 9c. Accordingly, the teeth 17 (FIG. 4) of the toothed rack 8 are at least approximately on the radially inner surface with respect to the bent portion 9b (see FIG. 3). The pinion is rotatably supported by the plate 3. This detail is represented in large dimensions in FIG. 3 and the toothed rack is omitted for the sake of simplicity.

ピニオン10の回転運動をプレート2の直線運動へ変換するために、歯付きラック8と一緒に動く連結プレート12がある。さらに、連結プレート12は示さないが、しかし公知である方法でプレート2に連結されている。連結プレート12は単に摩擦的にラック8やプレート2に連結されている。連結プレート12が直線部分9aに移動するから、プレート2は、一方では歯付きラック8と連結プレート12により且つプレート3のスロットのような案内面13により両方でx座標と呼ばれる同じ方向に案内される。   There is a connecting plate 12 that moves with the toothed rack 8 to convert the rotational movement of the pinion 10 into the linear movement of the plate 2. Furthermore, the connecting plate 12 is not shown, but is connected to the plate 2 in a known manner. The connecting plate 12 is frictionally connected to the rack 8 and the plate 2. Since the connecting plate 12 moves to the straight section 9a, the plate 2 is guided in the same direction, called the x-coordinate, both on the one hand by the toothed rack 8 and the connecting plate 12 and by a guide surface 13 like a slot in the plate 3. The

それ故に、回転軸5がその旋回ノブ7により旋回されるならば、ピニオン10と歯付きラック8の伝達機構が案内面13に沿ってプレート2を支持するプレート3の下に位置した(図2で見ると)プレート2を動かし、それで試料ステージ1のx座標に動く。支持プレート3の溝9を曲げることにより、移動可能なプレート2の変位行程は比較的に長いけれども、そのプレートが端位置に到達するときに歯付きラックが試料ステージ1の外形を越えて横方向に突き出すことはない。   Therefore, if the rotating shaft 5 is swung by the swivel knob 7, the transmission mechanism of the pinion 10 and the toothed rack 8 is located below the plate 3 supporting the plate 2 along the guide surface 13 (FIG. 2). Move the plate 2 and thus move to the x coordinate of the sample stage 1. By bending the groove 9 of the support plate 3, the displacement stroke of the movable plate 2 is relatively long, but when the plate reaches the end position, the toothed rack extends laterally beyond the outer shape of the sample stage 1. Never stick out.

試料ステージがクロススライドとして形成されてxとy座標に対応する方向において移動できるならば、支持コンソール或いは図2におけるプレート3と同様な対応支持プレートは軸4に連結される他のピニオンを支持さなければならなく、しかし他の直線部分9cに沿って動く連結プレートを備える。それ故に、クロススライドにより、軸4、5の一方がプレート3に支持されたピニオン10と連結されるように他方の軸5或いは4に連結されたそれぞれのピニオンを貫通しなければならないことが明らかである。   If the sample stage is formed as a cross slide and can be moved in a direction corresponding to the x and y coordinates, a support plate similar to the support console or plate 3 in FIG. It must be provided, but with a connecting plate that moves along the other straight part 9c. Therefore, it is clear that the cross slide must pass through each pinion connected to the other shaft 5 or 4 so that one of the shafts 4 and 5 is connected to the pinion 10 supported by the plate 3. It is.

既に述べたように、歯付きラックは図3と図4に詳細に例示されている。特に図3と図4の比較は、ラック8が曲がった部分9bを通って移動するときにその長さにわたり曲げられる十分な柔軟性を有しなければならないことを明らかにする。柔軟性を増強するために、後から説明されるように、歯付きラック8はそれが図7による実施例に使用されるならば、半径方向内面に切開部18から成る。他方では、歯17が曲げられないが、しかしその形状を保ち、ピニオン10の精密な係合とプレート2の正確な変位とをできることが重要である。それ故に、この歯付きラック8が反対の要件を受けることが明らかである。   As already mentioned, the toothed rack is illustrated in detail in FIGS. In particular, a comparison between FIGS. 3 and 4 reveals that the rack 8 must have sufficient flexibility to bend over its length as it moves through the bent portion 9b. To increase the flexibility, as will be explained later, the toothed rack 8 comprises a cut 18 on the radially inner surface if it is used in the embodiment according to FIG. On the other hand, the teeth 17 are not bent, but it is important to be able to keep their shape and allow precise engagement of the pinion 10 and accurate displacement of the plate 2. It is therefore clear that this toothed rack 8 is subject to the opposite requirements.

問題を解決するために、歯付きラック8は、1N/mm2 以下の実質的変更なしの最高静止圧荷重のハロゲン化エチレン材料、好ましくはポリテトラフルオロエチレン(PTFE)の押出しロッドから形成される。これは、表面面積あたりの比較的低い許容圧であり、材料に比較的良好な柔軟性を与える。特に好ましくは0.5N/mm2 以上、例えば0.7N/mm2 のPTFEである。 To solve the problem, the toothed rack 8 is formed from an extruded rod of a maximum static pressure load halogenated ethylene material, preferably polytetrafluoroethylene (PTFE), with no substantial change of 1 N / mm 2 or less. . This is a relatively low permissible pressure per surface area and gives the material a relatively good flexibility. Particularly preferred is PTFE of 0.5 N / mm 2 or more, for example 0.7 N / mm 2 .

しかしながら、そのような弾性材料により、歯17が曲げられ、プレート2の位置の正確な調整を阻止した。しかし、驚くべきことに、歯付きラックの表面の熱処理により表面がさらに頑丈になる。この現象の起こり得る理由は上記に説明されていた。   However, such an elastic material bent the teeth 17 and prevented precise adjustment of the position of the plate 2. Surprisingly, however, the heat treatment of the surface of the toothed rack makes the surface more robust. The possible reasons for this phenomenon have been explained above.

歯17は表面をいずれにしても切断されるか、或いは機械加工されなければならないから、表面のみを硬化するために機械加工により発生した熱を使用し、しかし柔軟状態においてラック8の本体を維持することが適している。これを制御の下で保つために、約40℃、例えば50℃より高い熱が発生される機械加工直後にラック8を冷却することが適している。この方法では、歯付きラック8は柔軟なカバー或いは本体と歯17を包含する硬化表面との両方を有するものを得られる。   Since the teeth 17 must be cut or machined at any surface, the heat generated by machining is used to cure only the surface, but the body of the rack 8 is maintained in a flexible state. It is suitable to do. In order to keep this under control, it is suitable to cool the rack 8 immediately after machining when heat of about 40 ° C., for example higher than 50 ° C. is generated. In this way, the toothed rack 8 is obtained having both a flexible cover or body and a hardened surface containing the teeth 17.

柔軟な歯付きラック8は種々の形状と種々のタイプの歯を有する。歯はそれぞれに歯付きラックの長手方向軸線19に垂直な平面に横たわるが、しかし、この方法では、プレート2に与えられた運動がよりスムーズであるから、図4に示される如く、長手方向軸線19に関して傾斜された歯を備えることが好ましい。20°と30°の間の傾斜角度と約0.5のモジュールを備えることによって、精度として最高の結果が達成された。実際の例では、傾斜角度が21.4°である。   The flexible toothed rack 8 has various shapes and various types of teeth. The teeth each lie in a plane perpendicular to the longitudinal axis 19 of the toothed rack, but in this way the movement imparted to the plate 2 is smoother, so that as shown in FIG. Preferably, the teeth are inclined with respect to 19. By providing a tilt angle between 20 ° and 30 ° and a module of about 0.5, the best results were achieved as accuracy. In an actual example, the inclination angle is 21.4 °.

図4において見られているように、曲げを補強するために(湾曲された部分9bに関して)歯付きラック8の半径方向内面に好ましくは楔状切開部18がある。少なくとも図7の場合には、切開部18は歯17とおよそ正反対である。これら切開部18は、図5に示される如く、ラックの長手方向軸線19と垂直な平面で適切に切断される。図4では、切開部18は、隣接歯17の間の距離が切開部18間の距離より小さいように間隔を置かれている。しかしながら、これは各場合において必要ない、と言うのは図7の実施例では歯と切開部18間のおよそ同じ距離を備えることが有効であるからである。なぜなら、切開部18の距離は大きく曲がった部分9bの曲率半径に依存する(図2)からである。それ故に、歯17の距離より小さい切開部18の距離を選択することができた。切開部18の形状は示される如く楔状に形成されるが、しかしラック8の曲げの最も良く適合する異なる形状を有する。さらに、溝9内のより良い案内のためにラック8の端領域における歯を省略するのに役立つ。   As seen in FIG. 4, there is preferably a wedge-shaped incision 18 on the radially inner surface of the toothed rack 8 (with respect to the curved portion 9b) to reinforce the bending. At least in the case of FIG. 7, the incision 18 is approximately opposite the teeth 17. These incisions 18 are appropriately cut in a plane perpendicular to the longitudinal axis 19 of the rack, as shown in FIG. In FIG. 4, the incisions 18 are spaced so that the distance between adjacent teeth 17 is less than the distance between the incisions 18. However, this is not necessary in each case because it is advantageous to have approximately the same distance between the teeth and the incision 18 in the embodiment of FIG. This is because the distance of the incision 18 depends on the radius of curvature of the bent portion 9b (FIG. 2). Therefore, the incision 18 distance smaller than the tooth 17 distance could be selected. The shape of the incision 18 is wedge-shaped as shown, but has a different shape that best fits the bending of the rack 8. Furthermore, it helps to omit the teeth in the end region of the rack 8 for better guidance in the groove 9.

図6において見られるように、溝9は導入した柔軟な歯付きラック8が全体的に支持プレート3の表面14の下にあるような支持プレート3内の深さを有する。支持プレート3の表面14における溝により形成されたスロット16の幅15は異なる部分9a,9bと9cにおいて異なる。連結プレート12が位置される部分9aには、スロット16の幅15は溝9の最高幅と便宜上で一致する。しかしながら、溝の湾曲された或いは曲がった部分9bには、スロット16の幅15が長さにわたり徐々に減少させるならば、その間に直線部分9cにてピニオン10が配列されていて、幅15が溝9の最大幅より十分に小さい(図3を参照)ことが好ましい。   As can be seen in FIG. 6, the groove 9 has a depth in the support plate 3 such that the introduced flexible toothed rack 8 is entirely below the surface 14 of the support plate 3. The width 15 of the slot 16 formed by the groove in the surface 14 of the support plate 3 is different in the different parts 9a, 9b and 9c. In the portion 9a where the connecting plate 12 is located, the width 15 of the slot 16 coincides with the maximum width of the groove 9 for convenience. However, in the curved or bent portion 9b of the groove, if the width 15 of the slot 16 is gradually reduced over the length, the pinions 10 are arranged in the straight portion 9c, and the width 15 is the groove. Preferably it is sufficiently smaller than the maximum width of 9 (see FIG. 3).

曲がった部分9bの範囲と半径方向内面におけるピニオン10の配列は、ピニオン10がある角度にわたり歯付きラック9によって囲まれるという事実から役立つけれども、柔軟性と剛性と反対の要件が、柔軟な歯付きラックの本出願において、他の問題を生じることがわかった:十分な柔軟性と同時に十分な剛性を(価格を上昇させた異なる組立て構成部材から成る歯付きラックを少なくとも製造することなしに)備えることは難しいから、人は中間物を求めなければならない。それ故に、歯付きラック8の柔軟なコアのみが、図7の矢印20により例示されるように、曲がった部分9bの領域において延びる傾向を有する。これは、図2にて表現されるように、ピニオンが半径方向内面にあったならば、ピニオン10の歯からラック8の歯を離脱させたことを意味する。それ故に、図7に見られるごとく、半径方向外面にピニオン10を配列することが最も有益である。これは、一方ではピニオン10と歯17との共働を促進させ、他方では正反対側に切開部18(図4)の効果と干渉せない。それとはちがって、ラックの弾性は遊びのない歯の相互係合を生じるので、プレート2或いは3の調整或いは変位の精度が改良される。   Although the extent of the bent portion 9b and the arrangement of the pinions 10 on the radially inner surface is helpful from the fact that the pinions 10 are surrounded by the toothed rack 9 over a certain angle, the requirements opposite to flexibility and stiffness are flexible toothed In this application of racks it has been found that another problem arises: having sufficient flexibility as well as sufficient rigidity (at least without producing a toothed rack of different assembled components at an increased price) Because it is difficult, people must seek intermediates. Therefore, only the flexible core of the toothed rack 8 has a tendency to extend in the region of the bent portion 9b, as illustrated by the arrow 20 in FIG. This means that if the pinion was on the radially inner surface, the teeth of the rack 8 were detached from the teeth of the pinion 10 as represented in FIG. Therefore, as seen in FIG. 7, it is most beneficial to arrange the pinions 10 on the radially outer surface. This promotes the cooperation of the pinion 10 and the teeth 17 on the one hand and does not interfere with the effect of the incision 18 (FIG. 4) on the opposite side. In contrast, the resiliency of the rack results in tooth-free engagement of play, thus improving the accuracy of adjustment or displacement of the plate 2 or 3.

図7は、もう一度、駆動配列の幾つかの細部を示す。軸4、5の内部軸5に連結される一つのピニオン10のみが示されるけれども、軸4がプレート3の表面の平面と平行な平面で終わることは明らかである。それ故に、プレート3がクロススライドを形成するためにプレート2の方向と垂直な方向に移動するならば、軸4の下端が第三(図7において:上)支持プレートにより支持された他のピニオンに連結され、その支持プレートを通して軸5が貫通する。例えば円形形状(星形状、或いは円形のような、しかし平らになった或いは同様な)から逸脱するピニオンに中心孔を備えることにより、その孔を通して補足的外部横断面形状の軸4或いは5が対になった状況に延びていることで、それぞれのピニオンに連結させることが公知の方法で行われる間には、共軸方向軸4と5をもつユニットを形成し且つスロット孔22を貫通したねじによってプレート3に固定される軸受ブロック21(透明なブロックとして示される)を備えることが可能である。この方法では、異なる長さ及び/又は寸法の及び/又は選択的に手動作動可能な旋回ノブ或いはモータ駆動への接続部を備えた対の軸4、5の備えて、単にその軸受ブロック21を介して対を連結することにより要件、顕微鏡などの寸法によってそのような対の軸4、5をピニオン10に据付け連結することが容易である。   FIG. 7 once again shows some details of the drive arrangement. Although only one pinion 10 connected to the inner shaft 5 of the shafts 4 and 5 is shown, it is clear that the shaft 4 ends in a plane parallel to the plane of the surface of the plate 3. Therefore, if the plate 3 moves in a direction perpendicular to the direction of the plate 2 to form a cross slide, the lower end of the shaft 4 is another pinion supported by a third (in FIG. 7: upper) support plate. And the shaft 5 passes through the support plate. For example, by providing a central hole in a pinion that deviates from a circular shape (such as a star shape or circular, but flattened or similar), a complementary external cross-sectional axis 4 or 5 is paired through the hole. In this way, the screw forming the unit with the coaxial axes 4 and 5 and penetrating through the slot hole 22 while being connected in a known manner to the respective pinion It is possible to provide a bearing block 21 (shown as a transparent block) fixed to the plate 3 by. In this way, a pair of shafts 4, 5 with different lengths and / or dimensions and / or selectively manually actuable swivel knobs or connections to a motor drive are provided and the bearing block 21 is simply replaced. It is easy to install and connect the shafts 4, 5 of such a pair to the pinion 10 according to the requirements, the dimensions of the microscope, etc.

例:
長さ273mmと直径4mmのポリテトラフルオロエチレン(PTFE)のロッドは、実質的に平行な高分子鎖を得るように押出された後に、歯カッターにより切断され、特殊形状が可能であったけれども、インボリュウート或いはサイクロイドのような特殊形状を歯に与えるよりむしろ単なる切断部の形状の歯を形成する。単なる切断部は限定された範囲に加熱を保つために生産がより簡単で且つより迅速である。歯付き部分はラックの一端において開始する長さで160mmであった。切断部或いは歯は長手方向軸線(図5を参照)に関して21.4°の角度を有し、互いからの歯の距離が1mmであって、各切断の幅が0.3mmであって且つ深さは各歯の天部から測って1.3mmであった。
Example:
Although polytetrafluoroethylene (PTFE) rods of length 273 mm and diameter 4 mm were extruded to obtain substantially parallel polymer chains and then cut by a tooth cutter, a special shape was possible, Rather than giving the tooth a special shape such as involute or cycloid, it forms a tooth with a simple cut shape. Simple cuts are easier and faster to produce to keep heating to a limited extent. The toothed portion was 160 mm in length starting at one end of the rack. The cuts or teeth have an angle of 21.4 ° with respect to the longitudinal axis (see FIG. 5), the distance of the teeth from each other is 1 mm, the width of each cut is 0.3 mm and the depth The length measured from the top of each tooth was 1.3 mm.

直線切開部は互いからの1mmの距離にロッドの正反対面(歯に関して)に切断され、各切開部の幅が0.3mmであって、深さが1.3mmであった。それ故に、切開部と歯が等しく寸法されたことが明らかである。   The straight incisions were cut on the diametrically opposite surface of the rod (with respect to the teeth) at a distance of 1 mm from each other, with each incision having a width of 0.3 mm and a depth of 1.3 mm. It is therefore clear that the incision and the teeth are equally sized.

機械加工中にロッドは50℃を越えて幾らか加熱されるが、しかし1秒の期間に冷却されるか、或いは室温(20℃)まで下降されて熱がラック本体の内部へ浸透することを避ける。   During machining, the rod is somewhat heated above 50 ° C, but is cooled in a 1 second period or lowered to room temperature (20 ° C) to allow heat to penetrate into the interior of the rack body. avoid.

それで、得られた歯付きラックは前記実施例のプレート3のように、プレートの溝9内に挿入されて、一端から他端まで溝9の長さを走行するように駆動されていた。120,000回走行した後に、歯付きラックの表面の知覚可能な変化が観察されなかった。   Thus, the obtained toothed rack was inserted into the groove 9 of the plate like the plate 3 of the above embodiment, and was driven so as to travel the length of the groove 9 from one end to the other end. After running 120,000 times, no perceptible change in the surface of the toothed rack was observed.

本発明の範囲内で無数の態様が可能である;例えば歯付きラック8用のガイドは、そのような溝が精度と正確度を増強させるけれども、必ずしも溝9の形状である必要はない。   A myriad of embodiments are possible within the scope of the present invention; for example, a guide for a toothed rack 8 need not necessarily be in the shape of a groove 9, although such a groove enhances accuracy and accuracy.

各プレートがアクチュエータ装置によってx或いはy座標の方向のいずれかに移動できるプレート配列をもつクロススライドとして形成された試料ステージの斜視図を示す。FIG. 2 shows a perspective view of a sample stage formed as a cross slide with a plate array in which each plate can be moved in either the x or y coordinate direction by an actuator device. 一枚の移動可能なプレート用の柔軟な歯付きラックを包含する駆動機構を例示する図1と逆に上面に旋回された他の斜視図を示す。FIG. 3 shows another perspective view pivoted on top, as opposed to FIG. 1, illustrating a drive mechanism including a flexible toothed rack for a single movable plate. 図2の細部を拡大寸法でを示す。FIG. 2 shows details of FIG. 2 in enlarged dimensions. 柔軟な歯付きラックの実施例の斜視図を示す。FIG. 4 shows a perspective view of an embodiment of a flexible toothed rack. その長手方向軸線の平面に関して傾斜された歯を有する歯付きラックの実施例の平面図を示す。FIG. 3 shows a plan view of an embodiment of a toothed rack having teeth inclined with respect to the plane of its longitudinal axis. 歯付きラックの案内配列の横断面図を示す。Figure 2 shows a cross-sectional view of a guide arrangement for a toothed rack. 図2と同様な斜視図として示された細部であるが、しかし選択的実施例である。FIG. 2 is a detail shown as a perspective view similar to FIG. 2, but is an alternative embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1.....試料ステージ
2,3...水平プレート
3a....コンソール
4,5...軸
6,7...旋回ノブ
8.....歯付きラック
9.....溝
10....ピニオン
12....連結プレート
13....案内面
17....歯
18....切開部
1. . . . . Sample stage 2,3. . . Horizontal plate 3a. . . . Console 4,5. . . Axes 6,7. . . Swivel knob 8. . . . . Toothed rack 9. . . . . Groove 10. . . . Pinion 12. . . . Connecting plate 13. . . . Guide surface 17. . . . Teeth 18. . . . Incision

Claims (12)

支持手段と;その支持手段上の第一長さの細長い案内手段と;前記案内手段により案内される前記支持手段上の移動可能なプレートと;前記プレート手段を移動する駆動手段であって、前記駆動手段は、回転可能な軸手段と、前記軸手段に連結されて前記軸手段を回転させるアクチュエータ手段と、前記軸手段に連結されて回転を伝達するピニオン手段と、長手方向軸線に沿って延びる第二長さの歯付きラック手段と、前記ラック手段が前記ピニオン手段と係合する歯から成って前記移動可能なプレートと連結されて前記プレート手段を移動させること、前記歯付きラック手段を前記移動可能なプレート手段に連結させる連結手段とを包含するものと;から成り、然して前記案内手段は前記歯付きラック手段との案内連結部であり、前記第一長さが前記第二長さより長く、少なくとも一つの湾曲された部分から成り、前記歯付きラック手段は前記湾曲された部分を追従できるように異なる温度状態の下で柔軟であるために、1N/mm2 以下で実質的変更のない最高許容静止圧荷重のハロゲン化エチレン材料であることを特徴とする試料ステージ。 Support means; a first length of elongated guide means on the support means; a movable plate on the support means guided by the guide means; drive means for moving the plate means, The driving means includes a rotatable shaft means, an actuator means connected to the shaft means for rotating the shaft means, a pinion means connected to the shaft means for transmitting rotation, and extends along a longitudinal axis. A second length toothed rack means, the rack means comprising teeth engaged with the pinion means and connected to the movable plate to move the plate means; And connecting means connected to the movable plate means, wherein the guide means is a guide connecting portion with the toothed rack means, and the first means Is longer than the second length, it consists of at least one curved portion, for the toothed rack means is flexible under different temperature conditions to be able to follow the curved portion, 1N / mm A specimen stage characterized by being a halogenated ethylene material having a maximum allowable static pressure load of 2 or less and substantially unchanged. 前記ハロゲン化エチレンがポリテトラフルオロエチレンであることを特徴とする請求項1に記載された試料ステージ。   The sample stage according to claim 1, wherein the halogenated ethylene is polytetrafluoroethylene. 前記歯付きラックは長さに渡って間隔をおいて前記曲がった部分に面するよう位置され、それで屈曲を容易とする切開部から成ることを特徴とする請求項1に記載された試料ステージ。   The sample stage of claim 1, wherein the toothed rack comprises an incision that is positioned to face the bent portion at intervals over its length, thereby facilitating bending. 前記切開部は前記歯付きラックの歯の約±10%の距離を有するように間隔をおいていることを特徴とする請求項3に記載された試料ステージ。   4. The sample stage according to claim 3, wherein the incisions are spaced so as to have a distance of about ± 10% of the teeth of the toothed rack. 前記ハロゲン化エチレンは0.5N/mm2 以上で実質的の変更ない許容静止圧荷重をもつことを特徴とする請求項1に記載された試料ステージ。 The sample stage according to claim 1, wherein the halogenated ethylene has an allowable static pressure load of 0.5 N / mm 2 or more and substantially unchanged. 前記ハロゲン化エチレンは約0.7N/mm2 で実質的変更のない許容静止圧荷重をもつことを特徴とする請求項1に記載された試料ステージ。 2. The sample stage of claim 1, wherein the ethylene halide has an allowable static pressure load of about 0.7 N / mm < 2 > and substantially unchanged. 前記歯付きラック手段の前記歯は単なる切断の形状であることを特徴とする請求項1に記載された試料ステージ。   2. The sample stage according to claim 1, wherein the teeth of the toothed rack means have a simple cutting shape. 前記歯付きラック手段の前記歯は前記長手方向軸線の平面に関して傾斜されていることを特徴とする請求項1に記載された試料ステージ。   The sample stage according to claim 1, wherein the teeth of the toothed rack means are inclined with respect to a plane of the longitudinal axis. 支持手段と;その支持手段上の第一長さの細長い案内手段と;前記案内手段により案内される前記支持手段上の移動可能なプレートと;前記プレート手段を移動する駆動手段であって、前記駆動手段は、回転可能な軸手段と、前記軸手段に連結されて前記軸手段を回転するアクチュエータ手段と、前記軸手段に連結されて回転を伝動するピニオン手段と、第二長さの歯付きラック手段と、前記ラック手段が前記ピニオン手段と係合する歯から成って前記移動可能なプレートと連結されて前記プレート手段を移動させること、前記歯付きラック手段を前記移動可能なプレート手段に連結させる連結手段とを包含するものと;から成り、然して前記案内手段は前記歯付きラック手段との案内連結部であり、前記第一長さが前記第二長さより長く、少なくとも一つの湾曲された部分と少なくとも一つの直線部分とから成り、前記歯付きラック手段は前記湾曲された部分にて曲げられるときに半径方向外面に面するように配列され、その間に前記ピニオン手段が前記歯付きラック手段の外面に面するように適切に配列されていることことを特徴とする試料ステージ。   Support means; a first length of elongated guide means on the support means; a movable plate on the support means guided by the guide means; drive means for moving the plate means, The driving means includes a rotatable shaft means, an actuator means connected to the shaft means for rotating the shaft means, a pinion means connected to the shaft means for transmitting rotation, and a second length toothed The rack means and the rack means are composed of teeth engaged with the pinion means and are connected to the movable plate to move the plate means, and the toothed rack means is connected to the movable plate means The guide means is a guide connection portion with the toothed rack means, the first length being longer than the second length, Comprising at least one curved portion and at least one straight portion, the toothed rack means being arranged to face a radially outer surface when bent at the curved portion, the pinion therebetween A sample stage characterized in that the means are suitably arranged to face the outer surface of the toothed rack means. 前記ピニオンは前記曲げた部分をちょうど結合する位置において前記歯付きラックに対して押圧するよう配列されていることを特徴とする請求項7に記載された試料ステージ。   8. The sample stage according to claim 7, wherein the pinions are arranged to press against the toothed rack at a position where the bent portions are just joined. 支持手段と;その支持手段上の第一長さの細長い案内手段と;前記案内手段により案内される前記支持手段上の移動可能なプレートと;前記プレート手段を移動する駆動手段であって、前記駆動手段は、回転可能な軸手段と、前記軸手段に連結されて前記軸手段を回転するアクチュエータ手段と、前記軸手段に連結されて回転を伝動するピニオン手段と、前記軸手段と前記ピニオン手段とを相互連結する第一連結手段であって、前記連結手段が前記軸手段の交換できる開放タイプであるものと、前記歯付きラック手段を前記移動可能なプレート手段に連結させる第二連結手段とを包含するものと;から成り、然して前記案内手段は前記歯付きラック手段との案内連結部であり、前記第一長さが前記第二長さより長く、少なくとも一つの湾曲された部分と少なくとも一つの直線部分とから成ることを特徴とする試料ステージ。   Support means; a first length of elongated guide means on the support means; a movable plate on the support means guided by the guide means; drive means for moving the plate means, The driving means includes: rotatable shaft means; actuator means coupled to the shaft means for rotating the shaft means; pinion means coupled to the shaft means for transmitting rotation; the shaft means and the pinion means A first connecting means for connecting the toothed rack means to the movable plate means; and a second connecting means for connecting the toothed rack means to the movable plate means. Wherein the guide means is a guide connection with the toothed rack means, the first length being longer than the second length and at least one curvature. Portion and the sample stage, characterized in that it consists of at least one straight portion. 前記軸手段は一対の共軸方向軸から成ることを特徴とする請求項9に記載された試料ステージ。   The sample stage according to claim 9, wherein the shaft means includes a pair of coaxial axes.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020008604A1 (en) * 2018-07-05 2020-01-09 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ Rack gear mount structure and rack gear

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020008604A1 (en) * 2018-07-05 2020-01-09 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ Rack gear mount structure and rack gear
CN112368493A (en) * 2018-07-05 2021-02-12 谐波传动系统有限公司 Rack mounting structure and rack
JPWO2020008604A1 (en) * 2018-07-05 2021-05-13 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ Rack gear mounting structure and rack gear
JP7019277B2 (en) 2018-07-05 2022-02-15 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ Rack gear mounting structure and rack gear
TWI802686B (en) * 2018-07-05 2023-05-21 日商和諧驅動系統股份有限公司 Rack gear mounting structure and rack gear

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