JP2007167636A - 柔軟性があり伸縮可能、植え込み可能な高密度微小電極アレイの生成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】微小電極アレイは、金属製接触パッド26と金属製トレース28と金属製電極とを含む複数のパターン化した導電性特徴部を挟む、少なくとも第1と第2の植え込み可能で生体適合性のある高分子層14、32を含む。夫々の金属製トレース28は金属製接触パッド26と金属製電極間にあって、十分に丸みのある角とジグザグパターンを有する。後者の特徴は、ステント技術を用いて設ける。本発明は更に、微細加工技術とステント技術を組み合わせて、そのような柔軟性があり、伸縮可能で植え込み可能な微小電極アレイを製作する方法、並びに本発明の微小電極アレイを含む植え込み可能な医療用具を提供する。
【選択図】図2
Description
本発明は電極に関し、特に柔軟性があり伸縮可能で生体内に植え込み可能な高密度微小電極アレイに関する。本発明は、そのような柔軟性があり伸縮可能で植え込み可能な微小電極アレイ、ならびに本発明の微小電極アレイを含む植え込み可能な医療用具を製作する方法を更に提供する。
〔発明の背景〕
〔発明の概要〕
柔軟性があり伸縮可能で植え込み可能な微小電極アレイを製作する方法ならびに微小電極アレイ自身を提供する本発明を、本出願に伴う以下の説明と図面を参照して詳細に説明する。本出願に含まれる図面は例示目的であるので、縮尺どおりに示すものではない。例えば図2において、金属層は図示するよりもはるかに厚く、高分子層は図示したものよりもはるかに薄い。
(1) 植え込み可能な医療用具の要素として使用する微小電極アレイを形成する方法において、
少なくとも第1の植え込み可能で生体適合性を持つ高分子層(polymeric layer)を備える第1の構成体、ならびに金属製接触パッド、金属製トレース、および金属製電極を含む複数の導電性特徴部を備える第2の構成体を含む接着構成体を設ける工程であって、夫々の金属製トレースはジグザグパターン、および十分に丸みを帯びた角を有する、工程と、
第2の植え込み可能で生体適合性を持つ第2の高分子層を前記接着構成体に形成する工程であって、前記第2の高分子層は、前記複数の導電性特徴部を被覆し、前記金属製接触パッド、および金属製電極まで下方に延びたビアホールを内部に有する、工程と、
を含む、方法。
(2) 実施態様1記載の方法において、
前記第1の高分子層、および前記第2の高分子層は同一または異なる高分子材料(polymeric material)で構成され、
前記高分子材料は、シリコンポリマー、ポリウレタン、ポリアミド、パリレン、フッ素重合体、ポリオレフィン、コラーゲン、キチン、アルギン酸、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリエチレンオキシド、ポリビニルアルコール、ポリグリコール乳酸、ポリ乳酸、ポリカプロラクトン、ポリアミノ酸、ヒドロゲルからなる群から選択する、方法。
(3) 実施態様2記載の方法において、
前記第1の高分子層、および前記第2の高分子層は共にシリコンポリマーで構成される、方法。
(4) 実施態様3記載の方法において、
前記シリコンポリマーはポリ(ジメチルシロキサン)である、方法。
(5) 実施態様1記載の方法において、
前記複数の導電性特徴部は、プラチナ(Pt)、チタン(Ti)、およびニチノール(NiTi)からなる群から選択した導電性金属または導電性金属合金で構成される、方法。
(6) 実施態様5記載の方法において、
前記導電性金属または導電性金属合金はプラチナ(Pt)またはニチノール(NiTi)である、方法。
(7) 実施態様1記載の方法において、
前記接着基板を設ける前記工程は、
公称常温で接着する工程と、
前記第1の高分子層の露出面が前記複数の導電性特徴部の露出面と接触するように前記第1の構成体を前記第2の構成体に接触させる工程と、
を含む、方法。
(8) 実施態様1記載の方法において、
前記複数の導電性特徴部は、金属製シートまたは金属製フォイルをレーザエッチングすることにより、あるいは金属製シートまたは金属製フォイルをフォトリソグラフィ、およびエッチングすることにより形成される、方法。
(9) 実施態様1記載の方法において、
前記接着、および形成する前記工程を繰り返して多層3次元微小電極アレイを形成する、方法。
(10) 実施態様1記載の方法において、
前記ビアホール内に導電材料を形成する工程、
を更に含む、方法。
(11) 植え込み可能な医療用具の要素として使用する微小電極アレイにおいて、
金属製接触パッド、金属製トレース、および金属製電極を含む複数のパターン化した導電性特徴部が間に挟まれた、少なくとも第1の植え込み可能で生体適合性を持つ高分子層、および第2の植え込み可能で生体適合性を持つ高分子層、
を備え、
夫々の金属製トレースはジグザグパターン、および十分に丸みを帯びた角を有する、微小電極アレイ。
(12) 実施態様11記載の微小電極アレイにおいて、
前記第1の高分子層、および前記第2の高分子層は同一または異なる高分子材料で構成され、
前記高分子材料は、シリコンポリマー、ポリウレタン、ポリアミド、パリレン、フッ素重合体、ポリオレフィン、コラーゲン、キチン、アルギン酸、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリエチレンオキシド、ポリビニルアルコール、ポリグリコール乳酸、ポリ乳酸、ポリカプロラクトン、ポリアミノ酸、ヒドロゲルからなる群から選択する、微小電極アレイ。
(13) 実施態様12記載の微小電極アレイにおいて、
前記第1の高分子層、および前記第2の高分子層は共に、シリコンポリマー、ポリウレタン、ポリアミド、パリレン、フッ素重合体、ポリオレフィン、コラーゲン、キチン、アルギン酸、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリエチレンオキシド、ポリビニルアルコール、ポリグリコール乳酸、ポリ乳酸、ポリカプロラクトン、ポリアミノ酸、ヒドロゲルで構成される、微小電極アレイ。
(14) 実施態様13記載の微小電極アレイにおいて、
前記シリコンポリマーはポリ(ジメチルシロキサン)である、微小電極アレイ。
(15) 実施態様11記載の微小電極アレイにおいて、
前記複数の導電性特徴部は、プラチナ(Pt)、チタン(Ti)、およびニチノール(NiTi)からなる群から選択した導電性金属または導電性金属合金で構成される、微小電極アレイ。
(16) 実施態様15記載の微小電極アレイにおいて、
前記導電性金属または導電性金属合金は、プラチナ(Pt)またはニチノール(NiTi)である、微小電極アレイ。
(17) 実施態様11記載の微小電極アレイにおいて、
前記第2の高分子層内に、前記金属製接触パッド、および前記金属製電極を露出する、導電的に充填される複数のビアホール、
を更に備える、微小電極アレイ。
(18) 実施態様11記載の微小電極アレイにおいて、
前記ジグザグパターンは約2から約200の曲がり角、および角度を含む、微小電極アレイ。
(19) 実施態様11記載の微小電極アレイにおいて、
第2の高分子層の頂上に、追加した植え込み可能で生体適合性の高分子層、
を更に備え、
前記複数の導電性特徴部も夫々の前記高分子層間に存在する、微小電極アレイ。
(20) 植え込み可能な医療用具において、
金属製接触パッド、金属製トレース、および金属製電極を含む複数のパターン化した導電性特徴部を間に挟む、少なくとも第1の植え込み可能で生体適合性を持つ高分子層、および第2の植え込み可能で生体適合性を持つ高分子層、
を含み、
夫々の前記金属製トレースはジグザグパターン、および十分に丸みを帯びた角を有し、
前記第2の高分子層は、前記金属製接触パッド、および前記金属製電極まで下方に延びて導電的に充填されるビアホールを有する、用具。
Claims (20)
- 植え込み可能な医療用具の要素として使用する微小電極アレイを形成する方法において、
第1の植え込み可能で生体適合性を持つ高分子層(polymeric layer)を少なくとも備える第1の構成体、ならびに金属製接触パッド、金属製トレース、および金属製電極を含む複数の導電性特徴部を備える第2の構成体を含む接着構成体を設ける工程であって、夫々の金属製トレースはジグザグパターン、および十分に丸みを帯びた角を有する、工程と、
第2の植え込み可能で生体適合性を持つ第2の高分子層を前記接着構成体に形成する工程であって、前記第2の高分子層は、前記複数の導電性特徴部を被覆し、前記金属製接触パッド、および金属製電極まで下方に延びたビアホールを内部に有する、工程と、
を含む、方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記第1の高分子層、および前記第2の高分子層は同一または異なる高分子材料(polymeric material)で構成され、
前記高分子材料は、シリコンポリマー、ポリウレタン、ポリアミド、パリレン、フッ素重合体、ポリオレフィン、コラーゲン、キチン、アルギン酸、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリエチレンオキシド、ポリビニルアルコール、ポリグリコール乳酸、ポリ乳酸、ポリカプロラクトン、ポリアミノ酸、ヒドロゲルからなる群から選択する、方法。 - 請求項2記載の方法において、
前記第1の高分子層、および前記第2の高分子層は共にシリコンポリマーで構成される、方法。 - 請求項3記載の方法において、
前記シリコンポリマーはポリ(ジメチルシロキサン)である、方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記複数の導電性特徴部は、プラチナ(Pt)、チタン(Ti)、およびニチノール(NiTi)からなる群から選択した導電性金属または導電性金属合金で構成される、方法。 - 請求項5記載の方法において、
前記導電性金属または導電性金属合金はプラチナ(Pt)またはニチノール(NiTi)である、方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記接着基板を設ける前記工程は、
公称常温で接着する工程と、
前記第1の高分子層の露出面が前記複数の導電性特徴部の露出面と接触するように前記第1の構成体を前記第2の構成体に接触させる工程と、
を含む、方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記複数の導電性特徴部は、金属製シートまたは金属製フォイルをレーザエッチングすることにより、あるいは金属製シートまたは金属製フォイルをフォトリソグラフィ、およびエッチングすることにより形成される、方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記接着、および形成する前記工程を繰り返して多層3次元微小電極アレイを形成する、方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記ビアホール内に導電材料を形成する工程、
を更に含む、方法。 - 植え込み可能な医療用具の要素として使用する微小電極アレイにおいて、
金属製接触パッド、金属製トレース、および金属製電極を含む複数のパターン化した導電性特徴部が間に挟まれた、少なくとも第1の植え込み可能で生体適合性を持つ高分子層、および第2の植え込み可能で生体適合性を持つ高分子層、
を備え、
夫々の金属製トレースはジグザグパターン、および十分に丸みを帯びた角を有する、微小電極アレイ。 - 請求項11記載の微小電極アレイにおいて、
前記第1の高分子層、および前記第2の高分子層は同一または異なる高分子材料で構成され、
前記高分子材料は、シリコンポリマー、ポリウレタン、ポリアミド、パリレン、フッ素重合体、ポリオレフィン、コラーゲン、キチン、アルギン酸、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリエチレンオキシド、ポリビニルアルコール、ポリグリコール乳酸、ポリ乳酸、ポリカプロラクトン、ポリアミノ酸、ヒドロゲルからなる群から選択する、微小電極アレイ。 - 請求項12記載の微小電極アレイにおいて、
前記第1の高分子層、および前記第2の高分子層は共に、シリコンポリマー、ポリウレタン、ポリアミド、パリレン、フッ素重合体、ポリオレフィン、コラーゲン、キチン、アルギン酸、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリエチレンオキシド、ポリビニルアルコール、ポリグリコール乳酸、ポリ乳酸、ポリカプロラクトン、ポリアミノ酸、ヒドロゲルで構成される、微小電極アレイ。 - 請求項13記載の微小電極アレイにおいて、
前記シリコンポリマーはポリ(ジメチルシロキサン)である、微小電極アレイ。 - 請求項11記載の微小電極アレイにおいて、
前記複数の導電性特徴部は、プラチナ(Pt)、チタン(Ti)、およびニチノール(NiTi)からなる群から選択した導電性金属または導電性金属合金で構成される、微小電極アレイ。 - 請求項15記載の微小電極アレイにおいて、
前記導電性金属または導電性金属合金は、プラチナ(Pt)またはニチノール(NiTi)である、微小電極アレイ。 - 請求項11記載の微小電極アレイにおいて、
前記第2の高分子層内に、前記金属製接触パッド、および前記金属製電極を露出する、導電的に充填される複数のビアホール、
を更に備える、微小電極アレイ。 - 請求項11記載の微小電極アレイにおいて、
前記ジグザグパターンは約2から約200の曲がり角、および角度を含む、微小電極アレイ。 - 請求項11記載の微小電極アレイにおいて、
第2の高分子層の頂上に、追加した植え込み可能で生体適合性の高分子層、
を更に備え、
前記複数の導電性特徴部も夫々の前記高分子層間に存在する、微小電極アレイ。 - 植え込み可能な医療用具において、
金属製接触パッド、金属製トレース、および金属製電極を含む複数のパターン化した導電性特徴部を間に挟む、少なくとも第1の植え込み可能で生体適合性を持つ高分子層、および第2の植え込み可能で生体適合性を持つ高分子層、
を含み、
夫々の前記金属製トレースはジグザグパターン、および十分に丸みを帯びた角を有し、
前記第2の高分子層は、前記金属製接触パッド、および前記金属製電極まで下方に延びて導電的に充填されるビアホールを有する、用具。
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
US11/288,759 US20070123963A1 (en) | 2005-11-29 | 2005-11-29 | Method for producing flexible, stretchable, and implantable high-density microelectrode arrays |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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---|---|---|---|
JP2006320633A Abandoned JP2007167636A (ja) | 2005-11-29 | 2006-11-28 | 柔軟性があり伸縮可能、植え込み可能な高密度微小電極アレイの生成方法 |
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---|---|
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012010978A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Japan Science & Technology Agency | 生体適合性ポリマー基板 |
JP2012511963A (ja) * | 2008-12-11 | 2012-05-31 | エムシー10 インコーポレイテッド | 医療用途のための伸張性または可撓性電子部品を使用するシステム、方法、およびデバイス |
JP2012517295A (ja) * | 2009-02-06 | 2012-08-02 | メド−エル エレクトロメディジニシェ ゲラテ ゲーエムベーハー | 可変機械的調節配線を有する埋め込み型電極 |
JP2013514146A (ja) * | 2009-12-16 | 2013-04-25 | ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ ユニヴァーシティー オブ イリノイ | コンフォーマル電子機器を使用した生体内での電気生理学 |
JP2015514487A (ja) * | 2012-04-20 | 2015-05-21 | サピエンス ステアリング ブレイン スティムレーション ベー ヴィ | 自立式薄膜、特に神経用途向けシステム用の自立式薄膜 |
WO2018051493A1 (ja) * | 2016-09-16 | 2018-03-22 | 富士通株式会社 | 電子装置および電子装置の製造方法 |
JP2019506953A (ja) * | 2016-02-22 | 2019-03-14 | ザ チャールズ スターク ドレイパー ラボラトリー インク | 埋め込み可能な神経電極インターフェースプラットフォームを製造する方法 |
US10441185B2 (en) | 2009-12-16 | 2019-10-15 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Flexible and stretchable electronic systems for epidermal electronics |
US11185685B2 (en) | 2016-07-18 | 2021-11-30 | CorTecGmbH | Elastic neural electrode and method for fabricating the same |
Families Citing this family (50)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8527026B2 (en) | 1997-03-04 | 2013-09-03 | Dexcom, Inc. | Device and method for determining analyte levels |
US6001067A (en) | 1997-03-04 | 1999-12-14 | Shults; Mark C. | Device and method for determining analyte levels |
US20030032874A1 (en) | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Dexcom, Inc. | Sensor head for use with implantable devices |
EP1648298A4 (en) | 2003-07-25 | 2010-01-13 | Dexcom Inc | OXYGEN-IMPROVED MEMBRANE SYSTEMS FOR IMPLANTABLE DEVICES |
US8277713B2 (en) | 2004-05-03 | 2012-10-02 | Dexcom, Inc. | Implantable analyte sensor |
US8744546B2 (en) | 2005-05-05 | 2014-06-03 | Dexcom, Inc. | Cellulosic-based resistance domain for an analyte sensor |
WO2007065216A2 (en) * | 2005-12-06 | 2007-06-14 | Cochlear Limited | Cochlear implant assembly |
WO2007120381A2 (en) | 2006-04-14 | 2007-10-25 | Dexcom, Inc. | Analyte sensor |
US20080027524A1 (en) | 2006-07-26 | 2008-01-31 | Maschino Steven E | Multi-electrode assembly for an implantable medical device |
US8532761B2 (en) | 2006-12-15 | 2013-09-10 | Nasophlex B.V. | Resuscitation device and method for resuscitation |
US8364284B2 (en) | 2008-09-15 | 2013-01-29 | Boston Scientific Neuromodulation Corporation | Implantable electric stimulation system and methods of making and using |
US8250745B1 (en) | 2008-01-24 | 2012-08-28 | Advanced Bionics, Llc | Process for manufacturing a microcircuit cochlear electrode array |
ITTO20080152A1 (it) * | 2008-02-29 | 2009-09-01 | Fond Istituto Italiano Di Tecnologia | Matrice di microelettrodi a base di materiali conduttori polimerici otticamente trasparenti, e procedimento per la sua fabbricazione |
US8583204B2 (en) | 2008-03-28 | 2013-11-12 | Dexcom, Inc. | Polymer membranes for continuous analyte sensors |
US11730407B2 (en) | 2008-03-28 | 2023-08-22 | Dexcom, Inc. | Polymer membranes for continuous analyte sensors |
WO2009121026A1 (en) * | 2008-03-28 | 2009-10-01 | Dexcom, Inc. | Polymer membranes for continuous analyte sensors |
US8682408B2 (en) | 2008-03-28 | 2014-03-25 | Dexcom, Inc. | Polymer membranes for continuous analyte sensors |
NL2001694C2 (en) * | 2008-06-18 | 2009-12-22 | Nasophlex B V | Ear stimulator for producing a stimulation signal to an ear. |
NL2001697C2 (en) * | 2008-06-18 | 2009-12-22 | Nasophlex B V | Nose stimulator for producing a stimulation signal to a nose. |
NL2001698C2 (en) | 2008-06-18 | 2009-12-22 | Nasophlex B V | Cardioverter / defibrillator. |
DE102008034714B4 (de) * | 2008-07-25 | 2012-01-19 | Siemens Medical Instruments Pte. Ltd. | Hörhilfe mit transparentem elektrischem Hörschlauch |
US8704423B2 (en) * | 2008-08-22 | 2014-04-22 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Asymmetric dielectric elastomer composite material |
US8560039B2 (en) | 2008-09-19 | 2013-10-15 | Dexcom, Inc. | Particle-containing membrane and particulate electrode for analyte sensors |
US9061134B2 (en) * | 2009-09-23 | 2015-06-23 | Ripple Llc | Systems and methods for flexible electrodes |
US20110270356A1 (en) * | 2010-02-26 | 2011-11-03 | Mckenzie David Robert | Polymeric encapsulation of medical device components |
US8332052B1 (en) | 2010-03-18 | 2012-12-11 | Advanced Bionics | Microcircuit cochlear electrode array and method of manufacture |
IT1399202B1 (it) | 2010-03-30 | 2013-04-11 | Corbelli | Metodo per la produzione di manufatti elastomerici funzionalizzati e manufatti cosi' ottenuti |
FR2960787B1 (fr) * | 2010-06-09 | 2012-07-27 | Commissariat Energie Atomique | Procede de fabrication d'un implant souple retinien intraoculaire a electrodes en diamant dope |
DE102011009020B4 (de) * | 2011-01-20 | 2022-03-17 | Acandis Gmbh | Hörprothese und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Hörprothese |
US9415207B2 (en) * | 2011-05-11 | 2016-08-16 | Advanced Bionics Ag | Mid-scalar electrode array |
EP2626108A1 (en) | 2012-02-08 | 2013-08-14 | Sapiens Steering Brain Stimulation B.V. | A lead for brain applications |
US9486168B2 (en) | 2012-04-27 | 2016-11-08 | The General Hospital Corporation | Implantable electrode system |
EP3705159B1 (en) | 2012-07-26 | 2024-04-10 | Nyxoah SA | Insert tool for selectively powering an implant unit |
US9114356B2 (en) * | 2012-09-20 | 2015-08-25 | Clean Air Group, Inc. | Fiberglass dielectric barrier ionization discharge device |
US9919147B2 (en) * | 2014-03-19 | 2018-03-20 | Second Sight Medical Products, Inc. | Electrode arrays and their lead for use in biomedical implants |
JP6195399B2 (ja) * | 2014-07-11 | 2017-09-13 | インテル・コーポレーション | 屈曲可能で伸縮自在な電子デバイスおよびその製造方法 |
TWI696448B (zh) * | 2014-11-11 | 2020-06-21 | 芬蘭商腦部關懷公司 | 植入式電極裝置及其製造方法 |
MX2017015586A (es) | 2015-06-01 | 2018-08-23 | Univ Illinois | Sistemas electronicos miniaturizados con capacidades de energia inalambrica y comunicacion de campo cercano. |
US11029198B2 (en) | 2015-06-01 | 2021-06-08 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Alternative approach for UV sensing |
WO2017100708A1 (en) * | 2015-12-11 | 2017-06-15 | Second Sight Medical Products, Inc. | Electrode arrays for a visual prosthesis |
DE102016110137A1 (de) * | 2016-06-01 | 2017-12-07 | Medizinische Hochschule Hannover | Formadaptives medizinisches Implantat sowie Verwendung einer elektrischen Signalquelle |
US10801906B2 (en) * | 2016-11-14 | 2020-10-13 | Nutech Ventures | Hydrogel microphone |
US11602630B2 (en) | 2017-06-07 | 2023-03-14 | Neuronexus Technologies, Inc. | Systems and methods for flexible electrode arrays |
US11647960B2 (en) * | 2017-08-28 | 2023-05-16 | Cortec Gmbh | Flexible neural electrode array |
US10729564B2 (en) | 2018-01-12 | 2020-08-04 | Ripple Llc | Sensor system |
CN109350846A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-02-19 | 深圳先进技术研究院 | 一种功能化宽幅植入式微电极阵列及其制备方法与应用 |
WO2021073828A1 (en) * | 2019-10-14 | 2021-04-22 | Ecole Polytechnique Federale De Lausanne (Epfl) | Hybrid soft-rigid electrical interconnection system |
KR102316273B1 (ko) * | 2019-10-15 | 2021-10-25 | 이화여자대학교 산학협력단 | 레이저 패터닝과 감광성 폴리머 절연막을 이용한 평면형 다중 전극 어레이 제조 방법 |
US20220134113A1 (en) * | 2020-10-29 | 2022-05-05 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Stretchable electrode assembly |
CN113683051A (zh) * | 2021-07-26 | 2021-11-23 | 长春理工大学 | 基于介电泳组装原理的大面积电子电路制造技术 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ATE375070T1 (de) * | 1996-01-31 | 2007-10-15 | Cochlear Ltd | Dünnfilm-herstellungstechnik für implantierbare elektroden |
US6503847B2 (en) * | 2001-04-26 | 2003-01-07 | Institute Of Microelectronics | Room temperature wafer-to-wafer bonding by polydimethylsiloxane |
US7146221B2 (en) * | 2001-11-16 | 2006-12-05 | The Regents Of The University Of California | Flexible electrode array for artifical vision |
WO2004011083A1 (en) * | 2002-07-25 | 2004-02-05 | The Regents Of The University Of California | Reinforcement elements in a silicone electrode array |
US6878643B2 (en) * | 2002-12-18 | 2005-04-12 | The Regents Of The University Of California | Electronic unit integrated into a flexible polymer body |
US7085605B2 (en) * | 2003-01-23 | 2006-08-01 | Epic Biosonics Inc. | Implantable medical assembly |
US7337012B2 (en) * | 2003-04-30 | 2008-02-26 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Stretchable polymer-based electronic device |
US7265298B2 (en) * | 2003-05-30 | 2007-09-04 | The Regents Of The University Of California | Serpentine and corduroy circuits to enhance the stretchability of a stretchable electronic device |
US7036220B2 (en) * | 2003-12-18 | 2006-05-02 | The Regents Of The University Of California | Pin-deposition of conductive inks for microelectrodes and contact via filling |
-
2005
- 2005-11-29 US US11/288,759 patent/US20070123963A1/en not_active Abandoned
-
2006
- 2006-11-23 CA CA002568710A patent/CA2568710A1/en not_active Abandoned
- 2006-11-24 AT AT06256012T patent/ATE430597T1/de not_active IP Right Cessation
- 2006-11-24 DE DE602006006640T patent/DE602006006640D1/de active Active
- 2006-11-24 EP EP06256012A patent/EP1790380B1/en active Active
- 2006-11-28 JP JP2006320633A patent/JP2007167636A/ja not_active Abandoned
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012511963A (ja) * | 2008-12-11 | 2012-05-31 | エムシー10 インコーポレイテッド | 医療用途のための伸張性または可撓性電子部品を使用するシステム、方法、およびデバイス |
JP2012517295A (ja) * | 2009-02-06 | 2012-08-02 | メド−エル エレクトロメディジニシェ ゲラテ ゲーエムベーハー | 可変機械的調節配線を有する埋め込み型電極 |
JP2019051321A (ja) * | 2009-12-16 | 2019-04-04 | ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ ユニヴァーシティー オブ イリノイ | コンフォーマル電子機器を使用した生体内での電気生理学 |
JP2013514146A (ja) * | 2009-12-16 | 2013-04-25 | ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ ユニヴァーシティー オブ イリノイ | コンフォーマル電子機器を使用した生体内での電気生理学 |
US10918298B2 (en) | 2009-12-16 | 2021-02-16 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | High-speed, high-resolution electrophysiology in-vivo using conformal electronics |
JP2017080421A (ja) * | 2009-12-16 | 2017-05-18 | ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ ユニヴァーシティー オブ イリノイ | コンフォーマル電子機器を使用した生体内での電気生理学 |
US10441185B2 (en) | 2009-12-16 | 2019-10-15 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Flexible and stretchable electronic systems for epidermal electronics |
JP2012010978A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Japan Science & Technology Agency | 生体適合性ポリマー基板 |
JP2015514487A (ja) * | 2012-04-20 | 2015-05-21 | サピエンス ステアリング ブレイン スティムレーション ベー ヴィ | 自立式薄膜、特に神経用途向けシステム用の自立式薄膜 |
JP2019506953A (ja) * | 2016-02-22 | 2019-03-14 | ザ チャールズ スターク ドレイパー ラボラトリー インク | 埋め込み可能な神経電極インターフェースプラットフォームを製造する方法 |
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