JP2007163216A - Radiation detection device and radiation imaging system - Google Patents

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Yoshihiro Ogawa
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a highly-reliable radiation detection device capable of securing a uniform light quantity in a photoelectric conversion element array domain of a sensor panel, concerning the radiation detection device having a light irradiation function. <P>SOLUTION: This radiation detection device has a scintillator panel 1 for converting a radiation into light, a photoelectric conversion element array 2 wherein a plurality of photoelectric conversion elements for converting light into an electric signal are arranged in a two-dimensional array shape on a substrate 4, and the sensor panel 5 equipped with a wiring pad part 3 on the peripheral part. A light guide plate 6 smaller than the sensor panel 5 and approximately equal to the photoelectric conversion element array domain A1-A2 is installed, and a light generator 7 and a support substrate 8 are installed on a non-sensitive domain A2-B1 on its outside. The photoelectric conversion element array domain A1-A2 is irradiated with light from the light generator 7 through the light guide plate 6 as uniform light. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、医療診断機器、非破壊検査機器等に用いられる放射線検出装置および放射線撮像システムに関し、特に、X線撮影等に用いられる放射線検出装置および放射線撮像システムに関する。なお、本明細書においては、放射線の範疇に、X線、γ線などの電磁波も含むものとして説明する。   The present invention relates to a radiation detection apparatus and a radiation imaging system used for medical diagnostic equipment, non-destructive inspection equipment, and the like, and more particularly to a radiation detection apparatus and radiation imaging system used for X-ray photography and the like. In the present specification, the description will be made assuming that the category of radiation includes electromagnetic waves such as X-rays and γ-rays.

従来、X線蛍光体層が内部に備えられた蛍光スクリーンと両面塗布剤とを有するX線フィルムシステムが一般的にX線写真撮影に使用されてきた。しかし、最近、X線蛍光体層と2次元光検出器とを有するデジタル放射線検出装置の画像特性が良好であること、また、データがデジタルデータであるためネットワーク化したコンピュータシステムに取り込むことによってデータの共有化が図られる利点があることから、デジタル放射線検出装置について盛んに研究開発が行われ、種々の特許出願もされている。   Conventionally, an X-ray film system having a fluorescent screen having an X-ray phosphor layer provided therein and a double-side coating agent has been generally used for X-ray photography. However, recently, the image characteristics of a digital radiation detection apparatus having an X-ray phosphor layer and a two-dimensional photodetector are good, and since the data is digital data, the data is obtained by taking it into a networked computer system. Since there is an advantage that sharing of the digital radiation detection device has been achieved, research and development has been actively conducted on digital radiation detection devices, and various patent applications have been filed.

これらデジタル放射線検出装置の中でも、高感度で高鮮鋭な装置として、特許文献1に開示されているように、複数の光電変換素子及びTFT(Thin Film Transistor)等の電気素子が2次元に配置されている光電変換素子部からなる光検出器上に、放射線を光電変換素子で検出可能な光に変換するための蛍光体層を形成してなる放射線検出装置が知られている。   Among these digital radiation detection apparatuses, as disclosed in Patent Document 1, as a highly sensitive and sharp apparatus, a plurality of photoelectric conversion elements and electric elements such as TFTs (Thin Film Transistors) are two-dimensionally arranged. 2. Description of the Related Art A radiation detection apparatus is known in which a phosphor layer for converting radiation into light that can be detected by a photoelectric conversion element is formed on a photodetector including a photoelectric conversion element portion.

上記のように放射線を可視光に変換する蛍光体等のシンチレータ(波長変換体)と、複数の光電変換素子を有するセンサーパネルとを用いた放射線検出装置では、静止画撮影などにおいて、暗電流が生じることがある。これは、過去の放射線の照射履歴やバイアス印加履歴、光電変換素子内に残留した転送残りによる残留電荷、光電変換素子内の欠陥にトラップされたトラップ電荷等に起因している。また、複数回の画像を取得する動画撮影などにおいては、素子特性が変化してしまい、画像特性に悪影響を及ぼすといったことがある。特に、アモルファスシリコンなどの非単結晶半導体層を有する光電変換素子を用いた場合、光電変換素子は多くの欠陥を有するため、欠陥にトラップされたトラップ電荷の影響が大きい。   As described above, in a radiation detection apparatus using a scintillator (wavelength converter) such as a phosphor that converts radiation into visible light and a sensor panel having a plurality of photoelectric conversion elements, dark current is generated in still image shooting or the like. May occur. This is due to past radiation irradiation history, bias application history, residual charge due to transfer residue remaining in the photoelectric conversion element, trap charge trapped in a defect in the photoelectric conversion element, and the like. In addition, in moving image shooting in which images are acquired a plurality of times, element characteristics change, which may adversely affect image characteristics. In particular, when a photoelectric conversion element having a non-single-crystal semiconductor layer such as amorphous silicon is used, the photoelectric conversion element has many defects, so that the influence of trapped charges trapped in the defects is large.

その対策として、放射線検出装置の裏面側に光源を配置し、その光源から光電変換素子に光を照射することで、光電変換素子の特性を改善する技術が知られている。この技術は、光リセット、バイアス光照射、光キャリブレーション等とも言う。これによると、光照射により、光電変換素子に強制的に電荷を発生させそれを画像情報として用いずに読み出したり、欠陥に取り込まれる分だけの電荷を発生させて欠陥準位を埋めたりできる。   As a countermeasure, a technique for improving the characteristics of the photoelectric conversion element by arranging a light source on the back side of the radiation detection apparatus and irradiating the photoelectric conversion element with light from the light source is known. This technique is also called optical reset, bias light irradiation, optical calibration, and the like. According to this, it is possible to forcibly generate a charge in the photoelectric conversion element by light irradiation and read it without using it as image information, or to generate a charge equivalent to the amount taken into the defect to fill the defect level.

この技術では、光源の配置構成として、センサーパネルと光源との間に液晶表示装置のバックライトに用いられるような導光板(光導波路)を配置した構成が検討されている。   In this technique, a configuration in which a light guide plate (optical waveguide) used for a backlight of a liquid crystal display device is arranged between a sensor panel and a light source as an arrangement configuration of the light source is being studied.

上記のような光照射を行う光源を備えた従来例の放射線検出装置について、以下に説明する。   A conventional radiation detection apparatus provided with a light source that performs light irradiation as described above will be described below.

図13は、従来例の放射線検出装置を示す断面図(特許文献2参照)で、X線フラットパネル検出器110と、光発生器120の配置を示している。X線フラットパネル検出器は、表面電極111、X線変換層112、検出アレイ層113から構成されている。光発生器120は、光反射フィルム121、導光板122、光源本体123、光拡散フィルム124から構成されている。   FIG. 13 is a cross-sectional view (see Patent Document 2) showing a conventional radiation detection apparatus, and shows the arrangement of the X-ray flat panel detector 110 and the light generator 120. The X-ray flat panel detector includes a surface electrode 111, an X-ray conversion layer 112, and a detection array layer 113. The light generator 120 includes a light reflection film 121, a light guide plate 122, a light source body 123, and a light diffusion film 124.

この構成において、光発生器120は、光源本体123からの光をX線フラットパネル検出器110に入射させることによって、前述した光電変換素子への光照射を行う。これにより、特に値の低い信号の信号電荷の伝送効率を向上させることができる。この光発生器120は、光照射用の導光板122が少なくとも受光面を覆う大きさで形成されている。
特開2000−284053号公報 特開2004−033659号公報
In this configuration, the light generator 120 causes the light from the light source body 123 to enter the X-ray flat panel detector 110 to irradiate the photoelectric conversion element described above. Thereby, it is possible to improve the transmission efficiency of signal charge of a signal having a particularly low value. The light generator 120 is formed in such a size that the light guide plate 122 for light irradiation covers at least the light receiving surface.
JP 2000-284053 A JP 2004-033659 A

しかしながら、上記従来例の放射線検出装置において、拡散板は光源本体部まで配置されていることから、光源本体に近い光電変換素子アレイは、通常の導光板からの透過光だけでなく、光源本体から光拡散フィルムを通じて照射された光が、追加して到達する。このため、光源本体に近い光電変換素子アレイは、その他の光電変換素子アレイに比較して光照射用の光量が過剰となってしまう。   However, in the radiation detection apparatus of the above-described conventional example, since the diffusion plate is disposed up to the light source main body, the photoelectric conversion element array close to the light source main body is not only transmitted light from a normal light guide plate but also from the light source main body. The light irradiated through the light diffusion film reaches additionally. For this reason, the photoelectric conversion element array close to the light source body has an excessive amount of light for light irradiation as compared with other photoelectric conversion element arrays.

また、不図示であるが、光電変換後の外部出力端子は必要であり、X線フラットパネル検出器の外側に外部出力端子を設置すると、この外部出力端子部と光源本体部が放射線撮影時の不感領域となり、放射線撮影範囲が限定されてしまう。この不感領域を極力小さくする必要がある。   Although not shown, an external output terminal after photoelectric conversion is necessary, and when the external output terminal is installed outside the X-ray flat panel detector, the external output terminal part and the light source body part are used for radiography. It becomes a dead area and the radiation imaging range is limited. It is necessary to make this dead area as small as possible.

さらに、この光源本体は、光反射フィルムと光拡散フィルムに挟まれているだけのため、外部から力が加わった場合に破損してしまう危険性がある。   Furthermore, since the light source body is only sandwiched between the light reflecting film and the light diffusing film, there is a risk that the light source body may be damaged when an external force is applied.

本発明は、光照射機能を有する放射線検出装置において、センサーパネルの光電変換素子アレイ領域に均一な光照射用の光量を確保し、信頼性の高い放射線検出装置を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a highly reliable radiation detection apparatus that secures a uniform amount of light for light irradiation in a photoelectric conversion element array region of a sensor panel in a radiation detection apparatus having a light irradiation function.

上記目的を達成するため、本発明に係る放射線検出装置は、入射する放射線を光電変換素子が感知可能な波長帯域の第1の光に変換するシンチレータと、前記第1の光を電気信号に変換する複数の光電変換素子が2次元アレイ状に配置された有効画素領域を有する光電変換素子アレイ及びその外周部に電極パッド部を備えたセンサーパネルとを有する放射線検出装置において、第2の光を発生する光発生器と、前記センサーパネルの前記シンチレータと対向した面に配置され、且つ、前記第2の光を前記光電変換素子アレイ側へ導いて照射するように構成された導光板とを備え、前記導光板は、前記センサーパネルよりも小さいことを特徴とする。前記第2の光は、前記第1の光と異なり、画像情報を有さない光である。   In order to achieve the above object, a radiation detection apparatus according to the present invention includes a scintillator that converts incident radiation into first light in a wavelength band that can be sensed by a photoelectric conversion element, and converts the first light into an electrical signal. In a radiation detection apparatus having a photoelectric conversion element array having an effective pixel region in which a plurality of photoelectric conversion elements are arranged in a two-dimensional array and a sensor panel having an electrode pad portion on the outer periphery thereof, the second light is emitted. And a light guide plate disposed on a surface of the sensor panel facing the scintillator and configured to guide and irradiate the second light to the photoelectric conversion element array side. The light guide plate is smaller than the sensor panel. Unlike the first light, the second light is light having no image information.

本発明において、前記導光板は、前記光電変換素子アレイの有効画素領域と略等しい大きさを有し、前記第2の光を前記光電変換素子アレイの有効画素領域に略等しい範囲に照射するようように構成されてもよい。「略等しい」とは実質的に同一という意味であり、言い換えると同一又は所定の誤差許容範囲内にあることを指している。   In the present invention, the light guide plate has a size substantially equal to the effective pixel area of the photoelectric conversion element array, and irradiates the second light to a range substantially equal to the effective pixel area of the photoelectric conversion element array. It may be configured as follows. “Substantially equal” means substantially the same, in other words, the same or within a predetermined error tolerance.

本発明において、前記光発生器は、前記センサーパネルの前記シンチレータと対向した面における前記導光板の外側に配置され、前記光発生器の周辺部に、前記センサーパネルを支持する支持部材が配置されてもよい。前記支持部材は、前記センサーパネルの外周部に配置されてもよい。前記支持部材は、衝撃干渉材としての機能を有してもよい。前記支持部材は、光反射材としての機能を有してもよい。   In the present invention, the light generator is disposed outside the light guide plate on a surface of the sensor panel facing the scintillator, and a support member that supports the sensor panel is disposed in a peripheral portion of the light generator. May be. The support member may be disposed on an outer peripheral portion of the sensor panel. The support member may have a function as an impact interference material. The support member may have a function as a light reflecting material.

本発明において、前記光発生器は、一部に光反射面を有してもよい。前記導光板は、前記センサーパネル側の面に光拡散シートを設置していてもよい。前記導光板は、前記センサーパネル側とは反対側の面に光反射シートを設置していてもよい。前記光電変換素子は、絶縁性基板上に配置された非単結晶半導体層を有してもよい。   In the present invention, the light generator may partially have a light reflecting surface. The light guide plate may be provided with a light diffusion sheet on the surface on the sensor panel side. The light guide plate may be provided with a light reflecting sheet on a surface opposite to the sensor panel side. The photoelectric conversion element may include a non-single-crystal semiconductor layer disposed on an insulating substrate.

本発明に係る放射線撮像システムは、上記いずれかに記載の放射線検出装置を備えたことを特徴とする。本発明において、前記放射線検出装置からの信号を処理する信号処理手段と、前記信号処理手段からの信号を記録するための記録手段と、前記信号処理手段からの信号を表示するための表示手段と、前記信号処理手段からの信号を伝送するための伝送処理手段と、前記放射線を発生させるための放射線源とをさらに備えてもよい。   A radiation imaging system according to the present invention includes any one of the radiation detection apparatuses described above. In the present invention, signal processing means for processing a signal from the radiation detection apparatus, recording means for recording a signal from the signal processing means, and display means for displaying a signal from the signal processing means The signal processing means may further comprise a transmission processing means for transmitting a signal and a radiation source for generating the radiation.

本発明によれば、センサーパネルよりも小さい導光板を設置することで、光照射用の光量の不均一が是正される。また、センサーパネルの大きさ以内で導光板、光発生器、支持部材を設置することができる。これにより、不感領域が最小限に抑えられ、放射線撮影時のセンサーパネルの使用可能領域が広がると共に、支持部材が設置できることで、光発生器の機械的強度が増す。従って、使用範囲が広く、より安定した信頼性の高い放射線検出装置を得ることができる。   According to the present invention, non-uniformity in the amount of light for light irradiation is corrected by installing a light guide plate smaller than the sensor panel. Further, the light guide plate, the light generator, and the support member can be installed within the size of the sensor panel. As a result, the insensitive area is minimized, the usable area of the sensor panel during radiography is expanded, and the support member can be installed, thereby increasing the mechanical strength of the light generator. Therefore, it is possible to obtain a radiation detection apparatus that has a wide range of use and is more stable and reliable.

以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、本明細書では、放射線はX線、γ線、あるいはα線、β線等の粒子線を含むものである。また、シンチレータ(波長変換体)は、入射するX線、γ線などの放射線を光電変換素子が感知可能な波長帯域の光に変換するものである。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the present specification, radiation includes X-rays, γ-rays, or particle beams such as α-rays and β-rays. The scintillator (wavelength converter) converts incident radiation such as X-rays and γ-rays into light in a wavelength band that can be detected by the photoelectric conversion element.

図1は、本実施形態の放射線検出装置を示す断面図である。本実施形態の放射線検出装置は、放射線をシンチレータで光に変換し、その光を光電変換素子で電気信号に変換する間接変換型のものに適用している。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing the radiation detection apparatus of the present embodiment. The radiation detection apparatus of the present embodiment is applied to an indirect conversion type device that converts radiation into light with a scintillator and converts the light into an electrical signal with a photoelectric conversion element.

図1中、1はシンチレータパネル、2は光電変換素子アレイ、3は配線・電極パッド部、4は基板である。このシンチレータパネル1、光電変換素子アレイ2、配線・電極パッド部3、及び基板4により、センサーパネル5が構成される。   In FIG. 1, 1 is a scintillator panel, 2 is a photoelectric conversion element array, 3 is a wiring / electrode pad section, and 4 is a substrate. The scintillator panel 1, the photoelectric conversion element array 2, the wiring / electrode pad portion 3, and the substrate 4 constitute a sensor panel 5.

このうち、シンチレータパネル1は、放射線検出装置に入射するX線を可視光に変換するシンチレータ(例えば蛍光体)で構成される。このシンチレータパネル11の実装方法は、光電変換素子アレイ2上にシンチレータを積層させたカーボンやフィルムを貼り合わせる方式でも、光電変換素子アレイ2上に直接シンチレータを堆積させる方式でも、いずれでも適用可能である。   Among these, the scintillator panel 1 is comprised by the scintillator (for example, fluorescent substance) which converts the X-ray which injects into a radiation detection apparatus into visible light. The scintillator panel 11 can be mounted either by a method in which carbon or a film in which a scintillator is laminated on the photoelectric conversion element array 2 is bonded, or by a method in which the scintillator is directly deposited on the photoelectric conversion element array 2. is there.

光電変換素子アレイ2は、光を電気信号に変換する複数の光電変換素子が2次元アレイ状に配置された有効画素領域を有している。この光電変換素子アレイ2は、一例として、駆動配線と信号線に接続されたスイッチング素子としてのTFT(Thin Film Transistor)素子と、そのTFT素子に接続された光電変換素子とから構成されている。この光電変換素子及びTFT素子としては、絶縁性基板上に設けられたアモルファスシリコンなどの非単結晶半導体層を有するものが用いられる。   The photoelectric conversion element array 2 has an effective pixel region in which a plurality of photoelectric conversion elements that convert light into electric signals are arranged in a two-dimensional array. For example, the photoelectric conversion element array 2 includes a TFT (Thin Film Transistor) element as a switching element connected to a drive wiring and a signal line, and a photoelectric conversion element connected to the TFT element. As this photoelectric conversion element and TFT element, those having a non-single crystal semiconductor layer such as amorphous silicon provided on an insulating substrate are used.

図1において、A1−A2間は光電変換素子アレイ2の有効画素領域に対応する光電変換素子アレイ領域であり、A2−B1間はセンサーパネル5の端部から光電変換素子アレイ2までの不感領域である。   In FIG. 1, the area between A1 and A2 is a photoelectric conversion element array area corresponding to the effective pixel area of the photoelectric conversion element array 2, and the area between A2 and B1 is a dead area from the end of the sensor panel 5 to the photoelectric conversion element array 2. It is.

また、同図において、6は導光板、7は光発生器である。この導光板6及び光発生器7により、光電変換素子アレイ2への光照射を行う光照射部10が構成される。導光板6は、シャーシ9上にセンサーパネル5よりも小さく、光電変換素子アレイ領域A1−A2に略等しい大きさで設置されている。   In the figure, 6 is a light guide plate and 7 is a light generator. The light guide plate 6 and the light generator 7 constitute a light irradiation unit 10 that performs light irradiation on the photoelectric conversion element array 2. The light guide plate 6 is smaller than the sensor panel 5 on the chassis 9 and has a size substantially equal to the photoelectric conversion element array region A1-A2.

これによると、光発生器7からの光が導光板6を介してセンサーパネル5側の光電変換素子アレイA1−A2領域内へ照射される。この光照射により、光電変換素子アレイ2内の各光電変換素子に強制的に電荷を発生させ、それを画像情報として用いずに読み出したり、欠陥に取り込まれる分だけの電荷を発生させて欠陥準位を埋めたりできる。これにより、光電変換素子の特性改善を図ることができる。   According to this, the light from the light generator 7 is irradiated through the light guide plate 6 into the photoelectric conversion element array A1-A2 region on the sensor panel 5 side. By this light irradiation, electric charges are forcibly generated in the respective photoelectric conversion elements in the photoelectric conversion element array 2 and read without using them as image information, or charges corresponding to the amount taken into the defects are generated, thereby generating defect levels. You can fill the rank. Thereby, the characteristic improvement of a photoelectric conversion element can be aimed at.

さらに、8は光発生器102の保護及び外周部の機械的強度を増すための支持部材、9はSUS(ステンレス鋼)等で構成された取り付け用シャーシである。支持部材8は、導光板6と同じ高さに形成され、光電変換素子アレイ2の領域以外に設置される。また、支持部材8の光発生器7上部は、本実施形態では光発生器102から導光板6への光の伝達効率を高めるために光反射機能を持つ。支持部材8、光発生器7、及び導光板6の上部に、前述のセンサーパネル5が設置される。   Further, 8 is a support member for protecting the light generator 102 and increasing the mechanical strength of the outer peripheral portion, and 9 is a mounting chassis made of SUS (stainless steel) or the like. The support member 8 is formed at the same height as the light guide plate 6 and is installed outside the region of the photoelectric conversion element array 2. Further, the upper portion of the light generator 7 of the support member 8 has a light reflecting function in order to increase the light transmission efficiency from the light generator 102 to the light guide plate 6 in this embodiment. Above the support member 8, the light generator 7, and the light guide plate 6, the aforementioned sensor panel 5 is installed.

以上のセンサーパネル5、導光板6、光発生器7、支持部材8、及びシャーシ9により、本実施形態の放射線検出装置が構成される。この放射線検出装置によれば、光電変換素子アレイ領域A1−A2と導光板6とを略等しい大きさとすることで、光電変換素子アレイ領域A1−A2で均一な光量が得られる。また、光発生器7をセンサーパネル5の占有領域内(不感領域A2−B1)に設置しているので、不感領域を最小限に抑え、放射線撮影時のセンサーパネル5の使用可能領域を広げることが可能である。さらに支持部材8が機械的保護部を兼ねているので、外部圧力や衝撃等による光発生器7の破壊を防止できる。従って、本実施形態によれば、信頼性が高く、広範囲な撮影条件を持つ放射線検出装置を得ることができる。   The sensor panel 5, the light guide plate 6, the light generator 7, the support member 8, and the chassis 9 constitute the radiation detection apparatus of this embodiment. According to this radiation detection apparatus, by making the photoelectric conversion element array region A1-A2 and the light guide plate 6 have substantially the same size, a uniform amount of light can be obtained in the photoelectric conversion element array region A1-A2. Further, since the light generator 7 is installed in the area occupied by the sensor panel 5 (insensitive area A2-B1), the insensitive area is minimized and the usable area of the sensor panel 5 during radiography is expanded. Is possible. Further, since the support member 8 also serves as a mechanical protection part, it is possible to prevent the light generator 7 from being broken due to external pressure or impact. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to obtain a radiation detection apparatus having high reliability and a wide range of imaging conditions.

次に、本実施形態の放射線検出装置について、下記の実施例を用いて詳細に説明する。   Next, the radiation detection apparatus of this embodiment will be described in detail using the following examples.

まず、図2〜図7を参照して、本発明の第1の実施例を説明する。   First, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

本実施例による放射線検出装置には、図2及び図3に示すように、シャーシ9上にセンサーパネル5よりも小さく、光電変換素子アレイ領域A1−A2に略等しい大きさの導光板6が設置されている。導光板6は、光伝播の効率が良く透明度の高い樹脂素材、例えばアクリル樹脂等が好ましい。この導光板6の大きさは、光の拡散成分を考慮し、光電変換素子アレイ領域A1−A2よりも1〜2mm程度大きくしておくと、さらに良い。   In the radiation detection apparatus according to the present embodiment, as shown in FIGS. 2 and 3, a light guide plate 6 that is smaller than the sensor panel 5 and has a size substantially equal to the photoelectric conversion element array region A1-A2 is installed on the chassis 9. Has been. The light guide plate 6 is preferably made of a resin material having high light propagation efficiency and high transparency, such as an acrylic resin. The size of the light guide plate 6 is more preferably about 1-2 mm larger than the photoelectric conversion element array region A1-A2 in consideration of the light diffusion component.

また、導光板6の外側において、光電変換素子アレイ領域A1−A2以外の不感領域B2−A1、A2−B1に位置する外周部には、光発生器7と、導光板6と同じ高さに加工した支持部材8とが設置されている。光発生器7は、例えばLED(Light Emitting Diode)、冷陰極管や半導体レーザー等の高出力光源が好ましい。   Further, outside the light guide plate 6, the light generator 7 and the light guide plate 6 are at the same height on the outer periphery located in the insensitive regions B <b> 2-A <b> 1 and A <b> 2-B <b> 1 other than the photoelectric conversion element array region A <b> 1-A <b> 2. The processed support member 8 is installed. The light generator 7 is preferably a high output light source such as an LED (Light Emitting Diode), a cold cathode tube, or a semiconductor laser.

支持部材8は、事前に光発生器7と一体加工しておくことも可能である。支持部材8の光発生器7上部面は、光発生器102から導光板6への光の伝達効率を高めるために光発生器7からの光を透過させない方が好ましい。このため、本実施例では、支持部材8は、シャーシ9と同じSUSで構成され、衝撃干渉材としての機能と兼用して、光反射材としての機能を有している。シャーシ9は、導光板6から光電変換素子アレイ領域A1−A2へ照射される光の照射効率を高めるために光反射機能を兼ねるとさらに良い。支持部材8のセンサーパネル接着面の巾は、実装上、5〜15mm程必要とされるため、本実施形態ではその範囲内に設定している。   The support member 8 can be integrated with the light generator 7 in advance. It is preferable that the upper surface of the light generator 7 of the support member 8 does not transmit light from the light generator 7 in order to increase the light transmission efficiency from the light generator 102 to the light guide plate 6. For this reason, in this embodiment, the support member 8 is made of the same SUS as the chassis 9 and has a function as a light reflecting material in combination with a function as an impact interference material. More preferably, the chassis 9 also serves as a light reflection function in order to increase the irradiation efficiency of the light irradiated from the light guide plate 6 to the photoelectric conversion element array region A1-A2. Since the width of the sensor panel bonding surface of the support member 8 is required to be about 5 to 15 mm for mounting, it is set within the range in this embodiment.

支持部材8の設置場所は、全体重量を軽くするため、図4に示すように基板4上の光電変換素子アレイ2の外周部(4辺からなる枠状の周辺領域)における四隅にそれぞれ支持部材8を配置することが可能である。或いは、図5に示すように外周部の4辺のそれぞれの中央部へ支持部材8を配置することも可能である。その他、強度を上げるため、これら四隅や中央部等の配置の組み合わせを採用することも可能である。また、さらに強度を上げるため、図6に示すように光電変換素子アレイ2の外周部の4辺のうちの2辺(図中の左辺及び右辺)を構成する左右全域に支持部材8を配置することが可能である。或いは、図7に示すように4辺の外周部全体へ枠状に支持部材8を設置することも可能である。   In order to reduce the overall weight, the support members 8 are installed at four corners in the outer peripheral portion (a frame-shaped peripheral region having four sides) of the photoelectric conversion element array 2 on the substrate 4 as shown in FIG. 8 can be arranged. Or as shown in FIG. 5, it is also possible to arrange | position the supporting member 8 to each center part of four sides of an outer peripheral part. In addition, in order to increase the strength, it is also possible to employ a combination of the arrangement of these four corners and the central portion. Further, in order to further increase the strength, as shown in FIG. 6, support members 8 are arranged in the entire left and right sides constituting two sides (the left side and the right side in the drawing) of the four sides of the outer peripheral portion of the photoelectric conversion element array 2. It is possible. Alternatively, as shown in FIG. 7, the support member 8 can be installed in a frame shape on the entire outer periphery of the four sides.

従って、本実施例によれば、光照射機能を有する放射線検出装置において、光電変換素子アレイ領域A1−A2と導光板6とを略等しい大きさとすることで、光電変換素子アレイ領域A1−A2で均一な光量が得られる。また、光発生器7をセンサーパネル5の占有領域(不感領域B2−A1、A2−B1)内に設置しているので、不感領域を最小限に抑え、放射線撮影時のセンサーパネルの使用可能領域を広げることが可能である。さらに、支持部材8が機械的保護部を兼ねているので、外部圧力や衝撃等による光発生器7の破壊を防止できる。従って、信頼性が高く、広範囲な撮影条件を持つ放射線検出装置が得られる。   Therefore, according to the present embodiment, in the radiation detection apparatus having the light irradiation function, the photoelectric conversion element array area A1-A2 and the light guide plate 6 are made to have substantially the same size, so that the photoelectric conversion element array area A1-A2 A uniform amount of light can be obtained. Further, since the light generator 7 is installed in the area occupied by the sensor panel 5 (insensitive areas B2-A1, A2-B1), the insensitive area is minimized, and the usable area of the sensor panel at the time of radiography. Can be expanded. Furthermore, since the support member 8 also serves as a mechanical protection part, it is possible to prevent the light generator 7 from being damaged due to external pressure, impact, or the like. Therefore, a radiation detection apparatus having high reliability and a wide range of imaging conditions can be obtained.

次に、図8を参照して、本発明の第2の実施例を説明する。   Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

本実施例による放射線検出装置には、図8に示すように、第1の実施例の構成(図3参照)に追加して、導光板6とその上部に位置する基板4との間に、光拡散シート11が導光板6に略等しい大きさで配置されている。また、支持部材8は、導光板6の高さに光拡散シート11の厚み分を加えた高さと同じ高さに加工して配置されている。その他の構成は、第1の実施例と同様である。   In the radiation detection apparatus according to the present embodiment, as shown in FIG. 8, in addition to the configuration of the first embodiment (see FIG. 3), between the light guide plate 6 and the substrate 4 positioned above the light guide plate 6, The light diffusing sheet 11 is arranged in a size substantially equal to the light guide plate 6. The support member 8 is processed and arranged at the same height as the height of the light guide plate 6 plus the thickness of the light diffusion sheet 11. Other configurations are the same as those of the first embodiment.

光拡散シート11は、アクリル樹脂やポリカーボネート等の樹脂の表面に不規則な凹凸を形成したシートである。この光拡散シート11を導光板6の上部に設置することで、光電変換素子アレイ領域A1−A2に、より均一な光照射用の光を得ることができる。   The light diffusion sheet 11 is a sheet in which irregular irregularities are formed on the surface of a resin such as acrylic resin or polycarbonate. By installing this light diffusion sheet 11 on the upper part of the light guide plate 6, more uniform light for light irradiation can be obtained in the photoelectric conversion element array region A1-A2.

なお、支持部材8の設置場所は、第1の実施例と同様に、全体重量を軽くするために四隅や中央部へ配置の他、強度を上げるためにこれら配置等の組み合わせや、さらに強度を上げるために左右全域や、外周部全体へ枠状に設置することが可能である。   As in the first embodiment, the installation location of the support member 8 is arranged at the four corners and the central portion in order to reduce the overall weight, as well as combinations of these arrangements to increase the strength, and further strength. In order to raise it, it is possible to install it in a frame shape in the entire left and right or the entire outer peripheral part.

従って、本実施例によれば、第1の実施例と同様の効果に加え、光拡散シート11を配置することで、より均一な光照射用の光を得ることができるといった利点がある。   Therefore, according to the present embodiment, in addition to the same effect as the first embodiment, there is an advantage that more uniform light for light irradiation can be obtained by arranging the light diffusion sheet 11.

次に、図9を参照して、本発明の第3の実施例を説明する。   Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

本実施例による放射線検出装置には、図9に示すように、第2の実施例の構成(図8参照)に追加して、導光板6とその下部に位置するシャーシ9との間に、光反射シート12が配置されている。光反射シート12は、さらに導光板6の外側の不感領域B2−A1、A2−B1に延びて、光発生器7の下部まで配置されている。その他の構成は、第1の実施例と同様である。   As shown in FIG. 9, in the radiation detection apparatus according to the present embodiment, in addition to the configuration of the second embodiment (see FIG. 8), between the light guide plate 6 and the chassis 9 positioned below it, A light reflecting sheet 12 is disposed. The light reflecting sheet 12 further extends to the insensitive areas B2-A1 and A2-B1 outside the light guide plate 6 and is arranged to the lower part of the light generator 7. Other configurations are the same as those of the first embodiment.

光反射シート12の材質は、Al/PET(ポリエチレンテレフタレート)もしくは白PETが好ましい。この光反射シート12を導光板6及び光発生器7の下部に設置することで、光照射用の光の伝達効率を高めることが可能である。   The material of the light reflecting sheet 12 is preferably Al / PET (polyethylene terephthalate) or white PET. By installing the light reflecting sheet 12 below the light guide plate 6 and the light generator 7, it is possible to increase the transmission efficiency of light for light irradiation.

従って、本実施例によれば、第1の実施例と同様の効果に加え、光反射シート12を配置することで、光照射用の光の伝達効率を高めることができるといった利点がある。   Therefore, according to this embodiment, in addition to the same effects as those of the first embodiment, there is an advantage that the transmission efficiency of light for light irradiation can be increased by arranging the light reflecting sheet 12.

次に、図10を参照して、本発明の第4の実施例を説明する。   Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

本実施例による放射線検出装置には、図10に示すように、第1の実施例の構成(図3参照)に加え、導光板6とその下部に位置するシャーシ9との間に、光反射シート12が配置されている。光反射シート12は、さらに導光板6の外側の不感領域B2−A1、A2−B1に延びて、光発生器7及び支持部材8を覆うように上部、下部、及び支持部材8の外側の側面部に配置されている。   As shown in FIG. 10, in the radiation detection apparatus according to the present embodiment, in addition to the configuration of the first embodiment (see FIG. 3), light reflection is performed between the light guide plate 6 and the chassis 9 positioned below the light guide plate 6. A sheet 12 is disposed. The light reflecting sheet 12 further extends to the insensitive areas B2-A1 and A2-B1 outside the light guide plate 6 so as to cover the light generator 7 and the supporting member 8, and the outer side surface of the upper and lower portions and the supporting member 8. It is arranged in the part.

光反射シート12の材質は、第3の実施例と同様にAl/PETもしくは白PETが好ましい。この光反射シート12を導光板6及び光発生器7の下部に設置することで、光照射用の光の伝達効率を高めることが可能である。   The material of the light reflecting sheet 12 is preferably Al / PET or white PET as in the third embodiment. By installing the light reflecting sheet 12 below the light guide plate 6 and the light generator 7, it is possible to increase the transmission efficiency of light for light irradiation.

また、光反射シート12で覆った光発生器7の上部は、支持部材8を省略して、導光板6の高さと同一にしておく。この構成により、支持部材8の使用量を少なくすることができ、放射線検出装置の軽量化が可能である。   Further, the upper portion of the light generator 7 covered with the light reflection sheet 12 is made the same as the height of the light guide plate 6 by omitting the support member 8. With this configuration, the usage amount of the support member 8 can be reduced, and the weight of the radiation detection apparatus can be reduced.

従って、本実施例によれば、第1の実施例と同様の効果に加え、光反射シート12を配置することで光照射用の光の伝達効率を高めると共に、光発生器上部の支持部材8を省略することで放射線検出装置の軽量化を図ることができるといった利点がある。   Therefore, according to the present embodiment, in addition to the same effects as those of the first embodiment, the light reflection sheet 12 is arranged to increase the transmission efficiency of light for light irradiation, and the support member 8 on the upper portion of the light generator. There is an advantage that the weight of the radiation detection apparatus can be reduced by omitting.

なお、支持部材8の設置場所は、第1の実施例と同様に、全体重量を軽くするために四隅や中央部へ配置の他、強度を上げるためにこれら配置等の組み合わせや、さらに強度を上げるために左右全域や、外周部全体へ枠状に設置することが可能である。   As in the first embodiment, the installation location of the support member 8 is arranged at the four corners and the central portion in order to reduce the overall weight, as well as combinations of these arrangements to increase the strength, and further strength. In order to raise it, it is possible to install it in a frame shape in the entire left and right or the entire outer peripheral part.

次に、図11を参照して、本発明の第5の実施例を説明する。   Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

本実施例による放射線検出装置は、図11に示すように、第4の実施例の図10の構成に追加して、導光板6とその上部に位置する基板4との間に、光拡散シート11が導光板6に略等しい大きさで配置されている。   As shown in FIG. 11, the radiation detection apparatus according to the present embodiment adds a light diffusion sheet between the light guide plate 6 and the substrate 4 positioned above the light guide plate 6 in addition to the configuration of FIG. 10 of the fourth embodiment. 11 is arranged in the light guide plate 6 in substantially the same size.

光拡散シート11は、第2の実施例と同様に、アクリル樹脂やポリカーボネートの樹脂の表面に不規則な凹凸を形成したシートである。この光拡散シート11を導光板6の上部に設置することで、光電変換素子アレイ領域A1−A2に、より均一な光照射用の光を得ることができる。   The light diffusion sheet 11 is a sheet in which irregular irregularities are formed on the surface of an acrylic resin or a polycarbonate resin, as in the second embodiment. By installing this light diffusion sheet 11 on the upper part of the light guide plate 6, more uniform light for light irradiation can be obtained in the photoelectric conversion element array region A1-A2.

従って、本実施例によれば、第4の実施例と同様の効果に加え、光拡散シート11を導光板6の上部に配置することで、より均一な光照射用の光を得ることができるといった利点がある。   Therefore, according to the present embodiment, in addition to the same effects as those of the fourth embodiment, more uniform light irradiation light can be obtained by arranging the light diffusion sheet 11 on the light guide plate 6. There are advantages such as.

本発明の第6の実施例では、本発明に係る放射線検出装置を用いた放射線撮像システムについて説明する。   In the sixth embodiment of the present invention, a radiation imaging system using the radiation detection apparatus according to the present invention will be described.

図12は本実施例の概要図である。図12において、X線チューブ6050で発生したX線6060は患者あるいは被験者6061の胸部6062を透過し、シンチレータを上部に実装した放射線検出装置6040に入射する。この入射したX線には患者6061の体内部の情報が含まれている。X線の入射に対応してシンチレータは発光し、これを光電変換して、電気的情報を得る。この情報はデジタルに変換され。イメージプロセッサ6070により画像処理され制御室のディスプレイ6080で観察できる。   FIG. 12 is a schematic diagram of this embodiment. In FIG. 12, the X-ray 6060 generated by the X-ray tube 6050 passes through the chest 6062 of the patient or subject 6061 and enters the radiation detection device 6040 having a scintillator mounted thereon. This incident X-ray includes information inside the body of the patient 6061. The scintillator emits light in response to the incidence of X-rays, and this is photoelectrically converted to obtain electrical information. This information is converted to digital. The image is processed by the image processor 6070 and can be observed on the display 6080 in the control room.

また、この情報は電話回線6090等の伝送手段により遠隔地へ転送でき、別の場所のドクタールームなどディスプレイ6081に表示もしくは光ディスク等の保存手段に保存することができ、遠隔地の医師が診断することも可能である。またフィルムプロセッサ6100によりフィルム6110に記録することもできる。   Further, this information can be transferred to a remote place by a transmission means such as a telephone line 6090 and can be displayed on a display 6081 such as a doctor room in another place or stored in a storage means such as an optical disk, and a doctor at a remote place makes a diagnosis. It is also possible. It can also be recorded on the film 6110 by the film processor 6100.

以上説明したように、本発明は、医療用のX線センサ等に応用することが可能であるが、無破壊検査等のそれ以外の用途に応用した場合にも有効である。   As described above, the present invention can be applied to medical X-ray sensors and the like, but is also effective when applied to other uses such as nondestructive inspection.

本発明の第1の実施形態に係る放射線検出装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the radiation detection apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 第1の実施形態に係る放射線検出装置を示す平面図である。It is a top view which shows the radiation detection apparatus which concerns on 1st Embodiment. 本発明の第1の実施例に係る放射線検出装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the radiation detection apparatus which concerns on 1st Example of this invention. 第1の実施例において、支持部材を四隅に設置した場合の設置位置を示す平面図である。In a 1st Example, it is a top view which shows the installation position at the time of installing a supporting member in four corners. 第1の実施例において、支持部材を中央部に設置した場合の設置位置を示す平面図である。In a 1st Example, it is a top view which shows the installation position at the time of installing a supporting member in the center part. 第1の実施例において、支持部材を左右全域に設置した場合の設置位置を示す平面図である。In a 1st Example, it is a top view which shows the installation position at the time of installing a supporting member in the left-right whole area. 第1の実施例において、支持部材を外周部全体に枠状に設置した場合の設置位置を示す平面図である。In a 1st Example, it is a top view which shows the installation position at the time of installing a supporting member in the frame shape in the whole outer peripheral part. 本発明の第2の実施例に係る放射線検出装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the radiation detection apparatus which concerns on the 2nd Example of this invention. 本発明の第3の実施例に係る放射線検出装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the radiation detection apparatus which concerns on the 3rd Example of this invention. 本発明の第4の実施例に係る放射線検出装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the radiation detection apparatus which concerns on the 4th Example of this invention. 本発明の第5の実施例に係る放射線検出装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the radiation detection apparatus which concerns on the 5th Example of this invention. 本発明の第6の実施例に係る放射線検出装置を用いた放射線撮像システムを説明する概要図である。It is a schematic diagram explaining the radiation imaging system using the radiation detection apparatus which concerns on the 6th Example of this invention. 従来例の放射線検出装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the radiation detection apparatus of a prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

1 シンチレータパネル
2 光電変換素子アレイ
3 配線・電極パッド部
4 基板
5 センサーパネル
6 導光板
7 光発生器
8 支持部材
9 シャーシ
10 光照射部
11 光拡散シート
12 光反射シート
A1−A2 光電変換素子アレイ領域
A2−B1、B2−A1 不感領域
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Scintillator panel 2 Photoelectric conversion element array 3 Wiring and electrode pad part 4 Board | substrate 5 Sensor panel 6 Light guide plate 7 Light generator 8 Support member 9 Chassis 10 Light irradiation part 11 Light diffusion sheet 12 Light reflection sheet A1-A2 Photoelectric conversion element array Area A2-B1, B2-A1 Insensitive area

Claims (12)

入射する放射線を光電変換素子が感知可能な波長帯域の第1の光に変換するシンチレータと、前記第1の光を電気信号に変換する複数の光電変換素子が2次元アレイ状に配置された有効画素領域を有する光電変換素子アレイ及びその外周部に電極パッド部を備えたセンサーパネルとを有する放射線検出装置において、
第2の光を発生する光発生器と、
前記センサーパネルの前記シンチレータと対向した面に配置され、且つ、前記第2の光を前記光電変換素子アレイ側へ導いて照射するように構成された導光板とを備え、
前記導光板は、前記センサーパネルよりも小さいことを特徴とする放射線検出装置。
A scintillator that converts incident radiation into first light in a wavelength band that can be sensed by the photoelectric conversion element, and a plurality of photoelectric conversion elements that convert the first light into an electric signal are arranged in a two-dimensional array. In a radiation detection apparatus having a photoelectric conversion element array having a pixel region and a sensor panel having an electrode pad portion on the outer periphery thereof,
A light generator for generating second light;
A light guide plate disposed on a surface of the sensor panel facing the scintillator and configured to guide and irradiate the second light to the photoelectric conversion element array side;
The radiation detection apparatus, wherein the light guide plate is smaller than the sensor panel.
前記導光板は、前記光電変換素子アレイの有効画素領域と略等しい大きさを有し、前記第2の光を前記光電変換素子アレイの有効画素領域に略等しい範囲へ導いて照射するように構成されたことを特徴とする請求項1に記載の放射線検出装置。   The light guide plate has a size substantially equal to the effective pixel area of the photoelectric conversion element array, and is configured to guide and irradiate the second light to a range substantially equal to the effective pixel area of the photoelectric conversion element array. The radiation detection apparatus according to claim 1, wherein: 前記光発生器は、前記センサーパネルの前記シンチレータと対向した面における前記導光板の外側に配置され、
前記光発生器の周辺部に、前記センサーパネルを支持する支持部材が配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載の放射線検出装置。
The light generator is disposed outside the light guide plate on a surface of the sensor panel facing the scintillator,
The radiation detection apparatus according to claim 1, wherein a support member that supports the sensor panel is disposed in a peripheral portion of the light generator.
前記支持部材は、前記センサーパネルの外周部に配置されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の放射線検出装置。   The radiation detection apparatus according to claim 1, wherein the support member is disposed on an outer peripheral portion of the sensor panel. 前記支持部材は、衝撃干渉材としての機能を有していることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の放射線検出装置。   The radiation detection apparatus according to claim 1, wherein the support member has a function as an impact interference material. 前記支持部材は、光反射材としての機能を有していることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の放射線検出装置。   The radiation detection apparatus according to claim 1, wherein the support member has a function as a light reflecting material. 前記光発生器は、一部に光反射面を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の放射線検出装置。   The radiation detector according to claim 1, wherein the light generator has a light reflecting surface in part. 前記導光板は、前記センサーパネル側の面に光拡散シートを設置していることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の放射線検出装置。   The radiation detection apparatus according to claim 1, wherein the light guide plate is provided with a light diffusion sheet on a surface on the sensor panel side. 前記導光板は、前記センサーパネル側とは反対側の面に光反射シートを設置していることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の放射線検出装置。   The radiation detection apparatus according to claim 1, wherein the light guide plate is provided with a light reflection sheet on a surface opposite to the sensor panel. 前記光電変換素子は、絶縁性基板上に配置された非単結晶半導体層を有することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の放射線検出装置。   The radiation detection apparatus according to claim 1, wherein the photoelectric conversion element includes a non-single-crystal semiconductor layer disposed on an insulating substrate. 請求項1乃至10のいずれか1項に記載の放射線検出装置を備えたことを特徴とする放射線撮像システム。   A radiation imaging system comprising the radiation detection apparatus according to claim 1. 前記放射線検出装置からの信号を処理する信号処理手段と、
前記信号処理手段からの信号を記録するための記録手段と、
前記信号処理手段からの信号を表示するための表示手段と、
前記信号処理手段からの信号を伝送するための伝送処理手段と、
前記放射線を発生させるための放射線源とをさらに備えたことを特徴とする請求項11記載の放射線撮像システム。
Signal processing means for processing signals from the radiation detection device;
Recording means for recording a signal from the signal processing means;
Display means for displaying a signal from the signal processing means;
Transmission processing means for transmitting a signal from the signal processing means;
The radiation imaging system according to claim 11, further comprising a radiation source for generating the radiation.
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